JPH1167577A - 積層型セラミック電子部品の製造方法 - Google Patents
積層型セラミック電子部品の製造方法Info
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- JPH1167577A JPH1167577A JP9224634A JP22463497A JPH1167577A JP H1167577 A JPH1167577 A JP H1167577A JP 9224634 A JP9224634 A JP 9224634A JP 22463497 A JP22463497 A JP 22463497A JP H1167577 A JPH1167577 A JP H1167577A
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- JP
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- green sheet
- carrier film
- thickness adjusting
- ceramic electronic
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 高積層セラミック電子部品において、積層す
るグリーンシート周辺部の切断及びキャリヤフィルムの
静電気によるコーナ部の折れ曲がりを防止する製造方法
を提供することを目的とする。 【解決手段】 無効層６上に、キャリヤフィルム１上の
グリーンシート２に内部電極３とＬ字型厚さ調整用電極
４を形成したグリーンシート２を反転し積層を行った
後、キャリヤフィルム１の剥離はＬ字型厚さ調整用電極
４を形成した位置付近から、静電気除去機能を有するロ
ーラ８を用いて行う。
るグリーンシート周辺部の切断及びキャリヤフィルムの
静電気によるコーナ部の折れ曲がりを防止する製造方法
を提供することを目的とする。 【解決手段】 無効層６上に、キャリヤフィルム１上の
グリーンシート２に内部電極３とＬ字型厚さ調整用電極
４を形成したグリーンシート２を反転し積層を行った
後、キャリヤフィルム１の剥離はＬ字型厚さ調整用電極
４を形成した位置付近から、静電気除去機能を有するロ
ーラ８を用いて行う。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は積層型セラミック電
子部品の製造方法に関するものである。
子部品の製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来の積層型セラミック電子部品の製造
方法を図を用いて説明する。
方法を図を用いて説明する。
【０００３】図３はキャリヤフィルム１の上に形成され
たグリーンシート２の面に内部電極３を塗布した状態を
示す平面図、図４は無効層６面上に内部電極３を印刷し
たグリーンシート２を積層後キャリヤフィルム１を剥離
する方法を示した図である。
たグリーンシート２の面に内部電極３を塗布した状態を
示す平面図、図４は無効層６面上に内部電極３を印刷し
たグリーンシート２を積層後キャリヤフィルム１を剥離
する方法を示した図である。
【０００４】予め用意した下部無効層６面に、キャリヤ
フィルム１上のグリーンシート２面に内部電極３を印刷
した第１のグリーンシート２ａを反転して積層加圧した
後、図４に示すようにキャリヤフィルム１面に接着テー
プ１０を巻きつけたローラ８を当接させ、キャリヤフィ
ルム１を剥離する。次に第１のグリーンシート２ａ上
に、キャリヤフィルム１上のグリーンシート面に内部電
極３を印刷した第２のグリーンシート２ｂを反転すると
ともに、内部電極３の長手方向にずらし幅７だけ第２の
グリーンシート２ｂをずらした後に積層加圧し、その
後、キャリヤフィルム１を剥離する。次いで更に第３の
グリーンシートは第１のグリーンシート２ａと一致さ
せ、第４のグリーンシートは第２のグリーンシート２ｂ
と一致させるように順次必要数積層加圧した後、更に予
め準備した上部無効層を重ねて本加圧する。その後グリ
ーンブロックを所定形状に裁断、焼成を行って積層型セ
ラミック電子部品を作製する方法が一般的に用いられて
いた。
フィルム１上のグリーンシート２面に内部電極３を印刷
した第１のグリーンシート２ａを反転して積層加圧した
後、図４に示すようにキャリヤフィルム１面に接着テー
プ１０を巻きつけたローラ８を当接させ、キャリヤフィ
ルム１を剥離する。次に第１のグリーンシート２ａ上
に、キャリヤフィルム１上のグリーンシート面に内部電
極３を印刷した第２のグリーンシート２ｂを反転すると
ともに、内部電極３の長手方向にずらし幅７だけ第２の
グリーンシート２ｂをずらした後に積層加圧し、その
後、キャリヤフィルム１を剥離する。次いで更に第３の
グリーンシートは第１のグリーンシート２ａと一致さ
せ、第４のグリーンシートは第２のグリーンシート２ｂ
と一致させるように順次必要数積層加圧した後、更に予
め準備した上部無効層を重ねて本加圧する。その後グリ
ーンブロックを所定形状に裁断、焼成を行って積層型セ
ラミック電子部品を作製する方法が一般的に用いられて
いた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】積層型セラミック電子
部品の高積層化に対応し内部電極３を印刷したグリーン
シート２ａ，２ｂを多く積層した場合、グリーンシート
２ａ，２ｂ面に内部電極３が印刷された部分と、印刷さ
れていないコーナ部分との厚み差が大きくなり、積層体
全面を均一に加圧することが難しく、積層加圧後にキャ
リヤフィルム１を剥離する際、積層厚みが多くなるに従
いグリーンシート２ａ，２ｂの内部電極３が印刷されて
いない周辺部５がキャリヤフィルム１にくっついたまま
剥離されたり、又はキャリヤフィルム１を剥離する際の
応力で積層体の接着面が剥がれるという現象が発生した
り、また更に剥離したキャリヤフィルム１にグリーンシ
ート２ａ，２ｂが静電気で再び吸着されグリーンシート
２ａ，２ｂのコーナ部分が折れ曲がるという問題点があ
った。
部品の高積層化に対応し内部電極３を印刷したグリーン
シート２ａ，２ｂを多く積層した場合、グリーンシート
２ａ，２ｂ面に内部電極３が印刷された部分と、印刷さ
れていないコーナ部分との厚み差が大きくなり、積層体
全面を均一に加圧することが難しく、積層加圧後にキャ
リヤフィルム１を剥離する際、積層厚みが多くなるに従
いグリーンシート２ａ，２ｂの内部電極３が印刷されて
いない周辺部５がキャリヤフィルム１にくっついたまま
剥離されたり、又はキャリヤフィルム１を剥離する際の
応力で積層体の接着面が剥がれるという現象が発生した
り、また更に剥離したキャリヤフィルム１にグリーンシ
ート２ａ，２ｂが静電気で再び吸着されグリーンシート
２ａ，２ｂのコーナ部分が折れ曲がるという問題点があ
った。
【０００６】
【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
に本発明は、グリーンシートの高積層化対応において、
グリーンシートの内部電極が印刷された部分と、印刷さ
れていない周辺部分との厚み差を解消するために、グリ
ーンシートに厚さ調整電極を内部電極の印刷と同時に印
刷することで、グリーンシートを多く積層加圧した場合
でも積層体全体を均一に加圧することができ、キャリヤ
フィルムの剥離開始位置付近と内部電極印刷部分のグリ
ーンシート同士の接着強度が同じになり、キャリヤフィ
ルムにグリーンシートがくっついたまま剥離されること
はなくなる。
に本発明は、グリーンシートの高積層化対応において、
グリーンシートの内部電極が印刷された部分と、印刷さ
れていない周辺部分との厚み差を解消するために、グリ
ーンシートに厚さ調整電極を内部電極の印刷と同時に印
刷することで、グリーンシートを多く積層加圧した場合
でも積層体全体を均一に加圧することができ、キャリヤ
フィルムの剥離開始位置付近と内部電極印刷部分のグリ
ーンシート同士の接着強度が同じになり、キャリヤフィ
ルムにグリーンシートがくっついたまま剥離されること
はなくなる。
【０００７】
【発明の実施の形態】本発明の請求項１に記載の発明
は、セラミックグリーンシートを所定枚数加圧積層した
下部無効層体面上に、キャリヤフィルム上のグリーンシ
ート面に内部電極と厚さ調整用電極を印刷した第１のグ
リーンシートを反転して積層加圧後、前記キャリヤフィ
ルムを剥離し、次に第１のグリーンシート上に、キャリ
ヤフィルム上のグリーンシート面に内部電極と厚さ調整
用電極を印刷した第２のグリーンシートを反転して積層
加圧後キャリヤフィルムを剥離し、その後予め準備した
セラミックグリーンシートを所定数加圧積層した上部無
効層体を重ねて、本加圧を行う工程を備えた積層型セラ
ミック電子部品の製造方法であり、厚さ調整用電極を設
けることにより、グリーンシートを多く積層した積層体
の内部電極部分と内部電極の印刷されていない部分との
厚み差が少なくなり、積層体全体を均一に加圧すること
ができる。従ってグリーンシートを多く積層した場合で
も、キャリヤフィルムを剥離する時に発生するトラブル
を解消することができる。
は、セラミックグリーンシートを所定枚数加圧積層した
下部無効層体面上に、キャリヤフィルム上のグリーンシ
ート面に内部電極と厚さ調整用電極を印刷した第１のグ
リーンシートを反転して積層加圧後、前記キャリヤフィ
ルムを剥離し、次に第１のグリーンシート上に、キャリ
ヤフィルム上のグリーンシート面に内部電極と厚さ調整
用電極を印刷した第２のグリーンシートを反転して積層
加圧後キャリヤフィルムを剥離し、その後予め準備した
セラミックグリーンシートを所定数加圧積層した上部無
効層体を重ねて、本加圧を行う工程を備えた積層型セラ
ミック電子部品の製造方法であり、厚さ調整用電極を設
けることにより、グリーンシートを多く積層した積層体
の内部電極部分と内部電極の印刷されていない部分との
厚み差が少なくなり、積層体全体を均一に加圧すること
ができる。従ってグリーンシートを多く積層した場合で
も、キャリヤフィルムを剥離する時に発生するトラブル
を解消することができる。
【０００８】本発明の請求項２に記載の発明は、厚さ調
整用電極をグリーンシートの周辺部にＬ字型に少なくと
も一つ以上印刷するものであり、これによりグリーンシ
ートを多く積層した場合でも、積層体の内部電極部分と
内部電極の印刷されていない周辺部との厚み差が少なく
なり全体を均一に加圧することができる。従ってグリー
ンシートを多く積層した積層体のキャリヤフィルムを剥
離する時に発生するトラブルを解消することができる。
整用電極をグリーンシートの周辺部にＬ字型に少なくと
も一つ以上印刷するものであり、これによりグリーンシ
ートを多く積層した場合でも、積層体の内部電極部分と
内部電極の印刷されていない周辺部との厚み差が少なく
なり全体を均一に加圧することができる。従ってグリー
ンシートを多く積層した積層体のキャリヤフィルムを剥
離する時に発生するトラブルを解消することができる。
【０００９】本発明の請求項３に記載の発明は、Ｌ字型
厚さ調整用電極を内部電極と略同じ厚さに印刷するもの
であり、これによりグリーンシートを多く積層した積層
体の内部電極部分と周辺部との厚み差を解消することが
できる。従ってグリーンシートを多積層後にキャリヤフ
ィルムを剥離する時のトラブルを解消することができ
る。
厚さ調整用電極を内部電極と略同じ厚さに印刷するもの
であり、これによりグリーンシートを多く積層した積層
体の内部電極部分と周辺部との厚み差を解消することが
できる。従ってグリーンシートを多積層後にキャリヤフ
ィルムを剥離する時のトラブルを解消することができ
る。
【００１０】本発明の請求項４に記載の発明は、Ｌ字型
の厚さ調整用電極を、グリーンシート積層加圧後にキャ
リヤフィルムを剥離開始する周辺部付近に設けるもので
あり、周辺部にＬ字型の厚さ調整用電極を設けることに
よりグリーンシートを積層した積層体の内部電極部分と
周辺部との厚み差が少なくなり、全体を均一に加圧する
ことができる。しかもグリーンシート積層後にキャリヤ
フィルムを剥離開始する位置付近に設けることで、剥離
開始付近の積層したグリーンシート同士の接着力が強
く、キャリヤフィルムのみを容易に剥離することができ
る。
の厚さ調整用電極を、グリーンシート積層加圧後にキャ
リヤフィルムを剥離開始する周辺部付近に設けるもので
あり、周辺部にＬ字型の厚さ調整用電極を設けることに
よりグリーンシートを積層した積層体の内部電極部分と
周辺部との厚み差が少なくなり、全体を均一に加圧する
ことができる。しかもグリーンシート積層後にキャリヤ
フィルムを剥離開始する位置付近に設けることで、剥離
開始付近の積層したグリーンシート同士の接着力が強
く、キャリヤフィルムのみを容易に剥離することができ
る。
【００１１】本発明の請求項５に記載の発明は、Ｌ字型
厚さ調整用電極の幅を、順次積層する上、下のグリーン
シートの内部電極のずらし幅より大きく、かつずらし幅
の二倍を超えない幅とするものである。これにより積層
セラミックコンデンサのように、内部電極を印刷したグ
リーンシートを一段毎、交互に一定量ずらして積層する
場合においても、常に積層体の内部電極部分と周辺部と
の厚み差が生じることなく、積層体全体を均一に加圧す
ることができる。
厚さ調整用電極の幅を、順次積層する上、下のグリーン
シートの内部電極のずらし幅より大きく、かつずらし幅
の二倍を超えない幅とするものである。これにより積層
セラミックコンデンサのように、内部電極を印刷したグ
リーンシートを一段毎、交互に一定量ずらして積層する
場合においても、常に積層体の内部電極部分と周辺部と
の厚み差が生じることなく、積層体全体を均一に加圧す
ることができる。
【００１２】本発明の請求項６に記載の発明は、Ｌ字型
厚さ調整用電極の辺の長さを積層するグリーンシートの
短辺の三分の一より長くするものであり、これはグリー
ンシートを積層後、キャリヤフィルムを剥離する時、剥
離開始位置付近がある大きさの面積で、周辺部分のグリ
ーンシート同士が強く接着していれば、グリーンシート
からキャリヤフィルムを容易に剥離することができるか
らである。
厚さ調整用電極の辺の長さを積層するグリーンシートの
短辺の三分の一より長くするものであり、これはグリー
ンシートを積層後、キャリヤフィルムを剥離する時、剥
離開始位置付近がある大きさの面積で、周辺部分のグリ
ーンシート同士が強く接着していれば、グリーンシート
からキャリヤフィルムを容易に剥離することができるか
らである。
【００１３】本発明の請求項７に記載の発明は、Ｌ字型
厚さ調整用電極の屈曲部の幅を他の部分より広くするも
のであり、これは積層後のグリーンシートからキャリヤ
フィルムを剥離開始する位置付近のグリーンシート同士
の接着面積を大きくし、接着力を強固なものにするため
である。
厚さ調整用電極の屈曲部の幅を他の部分より広くするも
のであり、これは積層後のグリーンシートからキャリヤ
フィルムを剥離開始する位置付近のグリーンシート同士
の接着面積を大きくし、接着力を強固なものにするため
である。
【００１４】本発明の請求項８に記載の発明は、Ｌ字型
厚さ調整用電極の屈曲部を円弧状とするものであり、屈
曲部を円弧状にすることにより、積層後のグリーンシー
トからキャリヤフィルムを剥離開始する位置付近のグリ
ーンシート同士の接着面積を大きくすることができる。
従ってグリーンシート同士の接着力はより強固なものに
なる。
厚さ調整用電極の屈曲部を円弧状とするものであり、屈
曲部を円弧状にすることにより、積層後のグリーンシー
トからキャリヤフィルムを剥離開始する位置付近のグリ
ーンシート同士の接着面積を大きくすることができる。
従ってグリーンシート同士の接着力はより強固なものに
なる。
【００１５】（実施の形態１）以下、本発明の一実施の
形態を図を用いて説明する。
形態を図を用いて説明する。
【００１６】図１は、キャリヤフィルム１上に形成した
グリーンシート２面に内部電極３と厚さ調整用電極４を
印刷した状態を示し、５は周辺部である。図２は、内部
電極３等を印刷したグリーンシート２を所定枚数積層し
た積層体のキャリヤフィルム１を剥離する状態を示し、
６は無効層、７は内部電極３のずらし幅、８は静電気除
去用にアースされたローラ、９は導電性両面接着テープ
である。
グリーンシート２面に内部電極３と厚さ調整用電極４を
印刷した状態を示し、５は周辺部である。図２は、内部
電極３等を印刷したグリーンシート２を所定枚数積層し
た積層体のキャリヤフィルム１を剥離する状態を示し、
６は無効層、７は内部電極３のずらし幅、８は静電気除
去用にアースされたローラ、９は導電性両面接着テープ
である。
【００１７】先ず、チタン酸バリウムを主成分とする組
成のスラリーをキャリヤフィルム１面上に２０μｍの厚
さに塗布、乾燥した後、キャリヤフィルム１と共に縦１
５０mm×横１４５mmの寸法に切断したグリーンシート２
を作成する。次に、前記グリーンシート２を１０枚積層
加圧して無効層６とする。次いで図１に示すように、中
央部に縦２．１mm×横０．８mmの内部電極３群、周辺部
５部分に厚さ調整用電極４として幅２．０mm、長さは接
した二辺全体に、しかも屈曲部が円弧状のＬ字形状の厚
さ調整用電極４を印刷した第１層目のグリーンシート２
を反転して無効層６上に重ね、加圧後、キャリヤフィル
ム１を剥離する。次いで第２層目の内部電極３の等が印
刷されたグリーンシート２を反転し、内部電極３を、そ
の長さ方向に、ずらし幅７として１．２mmずらして重
ね、加圧した後、キャリヤフィルム１を剥離する。その
後奇数層は第１層目の内部電極３の上方位置、偶数層は
第２層目の内部電極３の上方位置と重なるように、順次
三十層グリーンシート２の積層、加圧、キャリヤフィル
ム１の剥離を繰返した後、更に上部無効層６を重ねて１
００ｋｇ／cm2の圧力で本加圧を行い積層体を作製し
た。
成のスラリーをキャリヤフィルム１面上に２０μｍの厚
さに塗布、乾燥した後、キャリヤフィルム１と共に縦１
５０mm×横１４５mmの寸法に切断したグリーンシート２
を作成する。次に、前記グリーンシート２を１０枚積層
加圧して無効層６とする。次いで図１に示すように、中
央部に縦２．１mm×横０．８mmの内部電極３群、周辺部
５部分に厚さ調整用電極４として幅２．０mm、長さは接
した二辺全体に、しかも屈曲部が円弧状のＬ字形状の厚
さ調整用電極４を印刷した第１層目のグリーンシート２
を反転して無効層６上に重ね、加圧後、キャリヤフィル
ム１を剥離する。次いで第２層目の内部電極３の等が印
刷されたグリーンシート２を反転し、内部電極３を、そ
の長さ方向に、ずらし幅７として１．２mmずらして重
ね、加圧した後、キャリヤフィルム１を剥離する。その
後奇数層は第１層目の内部電極３の上方位置、偶数層は
第２層目の内部電極３の上方位置と重なるように、順次
三十層グリーンシート２の積層、加圧、キャリヤフィル
ム１の剥離を繰返した後、更に上部無効層６を重ねて１
００ｋｇ／cm2の圧力で本加圧を行い積層体を作製し
た。
【００１８】尚、積層加圧後にキャリヤフィルム１の剥
離は図２に示す方法で行い、カーボンを主成分とする導
電性両面接着テープ９を表面に貼付けたローラ８をキャ
リヤフィルム１の厚さ調整用電極４が印刷された周辺部
付近に当接させ、接着した後、ローラ８を上方に移動し
回転させながらキャリヤフィルム１の剥離を行った。こ
の方法によりキャリヤフィルム１の剥離の際に生じた静
電気は、アースを介して除去されるためキャリヤフィル
ム１が剥離された積層体の接着力の弱い周辺部５部分を
再吸着して剥がし、端部を折り曲げるという現象が発生
することはない。
離は図２に示す方法で行い、カーボンを主成分とする導
電性両面接着テープ９を表面に貼付けたローラ８をキャ
リヤフィルム１の厚さ調整用電極４が印刷された周辺部
付近に当接させ、接着した後、ローラ８を上方に移動し
回転させながらキャリヤフィルム１の剥離を行った。こ
の方法によりキャリヤフィルム１の剥離の際に生じた静
電気は、アースを介して除去されるためキャリヤフィル
ム１が剥離された積層体の接着力の弱い周辺部５部分を
再吸着して剥がし、端部を折り曲げるという現象が発生
することはない。
【００１９】また更にグリーンシート２の周辺部５に形
成したＬ字型厚さ調整用電極４が内部電極３の形成部分
と周辺部５の厚み差を解消し、グリーンシート２の高積
層の場合においても、積層体全体を均一に加圧、接着す
ることができ、キャリヤフィルム１が剥離される際にグ
リーンシート２の周辺部５を切断する事なく、きれいに
剥離することができる。従ってグリーンシート２の積層
工程でのトラブルの発生を防止することができる。以上
のようにグリーンシート２を積層した積層体の歩留り及
び作業時間を従来方法と比較して（表１）に示した。
成したＬ字型厚さ調整用電極４が内部電極３の形成部分
と周辺部５の厚み差を解消し、グリーンシート２の高積
層の場合においても、積層体全体を均一に加圧、接着す
ることができ、キャリヤフィルム１が剥離される際にグ
リーンシート２の周辺部５を切断する事なく、きれいに
剥離することができる。従ってグリーンシート２の積層
工程でのトラブルの発生を防止することができる。以上
のようにグリーンシート２を積層した積層体の歩留り及
び作業時間を従来方法と比較して（表１）に示した。
【００２０】
【表１】
【００２１】（表１）に示すように本発明の製造方法で
は、キャリヤフィルム１を剥離する際にグリーンシート
２の周辺部５が切断され、一緒に剥離されることがない
ため、作製された積層体は総て完全なものとなる。また
キャリヤフィルム１の剥離に静電気除去機能を有する機
構を用いたため、グリーンシート２同士の接着力の弱い
周辺部５が剥離の際に生じる静電気により吸着され、そ
の端部が折れ曲がる現象が発生せず、その手直し時間が
解消され積層作業を連続して行うことができる。
は、キャリヤフィルム１を剥離する際にグリーンシート
２の周辺部５が切断され、一緒に剥離されることがない
ため、作製された積層体は総て完全なものとなる。また
キャリヤフィルム１の剥離に静電気除去機能を有する機
構を用いたため、グリーンシート２同士の接着力の弱い
周辺部５が剥離の際に生じる静電気により吸着され、そ
の端部が折れ曲がる現象が発生せず、その手直し時間が
解消され積層作業を連続して行うことができる。
【００２２】尚、本実施形態において厚さ調整用電極４
をキャリヤフィルム１の剥離開始位置付近のグリーンシ
ート２周辺部に形成したが、完全を期すためにはグリー
ンシート２の四辺の周辺部５全面に設けることが望まし
い。しかしグリーンシート２の三十層程度の積層の場合
は一ヵ所のみで十分にトラブルを防止することが可能で
ある。また厚さ調整用電極４をグリーンシートの二辺全
体に形成したが、少なくともグリーンシート２の短辺の
三分の一以上の長さがあればグリーンシート２の周辺部
５がキャリヤフィルム１の剥離の際に切断しないことが
確認されている。また更にＬ字型の厚さ調整用電極４の
屈曲部を円弧状に、しかも他の部分より幅を大きくする
ことで、キャリヤフィルム１の剥離開始位置付近に複数
個のＬ字型厚さ調整用電極４を形成しなくても、その効
果が十分に発揮されることも確認されている。
をキャリヤフィルム１の剥離開始位置付近のグリーンシ
ート２周辺部に形成したが、完全を期すためにはグリー
ンシート２の四辺の周辺部５全面に設けることが望まし
い。しかしグリーンシート２の三十層程度の積層の場合
は一ヵ所のみで十分にトラブルを防止することが可能で
ある。また厚さ調整用電極４をグリーンシートの二辺全
体に形成したが、少なくともグリーンシート２の短辺の
三分の一以上の長さがあればグリーンシート２の周辺部
５がキャリヤフィルム１の剥離の際に切断しないことが
確認されている。また更にＬ字型の厚さ調整用電極４の
屈曲部を円弧状に、しかも他の部分より幅を大きくする
ことで、キャリヤフィルム１の剥離開始位置付近に複数
個のＬ字型厚さ調整用電極４を形成しなくても、その効
果が十分に発揮されることも確認されている。
【００２３】
【発明の効果】以上本発明によれば、グリーンシート面
の中央部に内部電極、その周辺部に調整用電極を形成し
たグリーンシートを用いることにより、高積層対応の積
層型セラミック電子部品の製造において、グリーンシー
トの周辺部が切断されるという問題点が解消され、生産
効率の良い、優れた積層型セラミック電子部品の製造方
法を提供することが可能となる。
の中央部に内部電極、その周辺部に調整用電極を形成し
たグリーンシートを用いることにより、高積層対応の積
層型セラミック電子部品の製造において、グリーンシー
トの周辺部が切断されるという問題点が解消され、生産
効率の良い、優れた積層型セラミック電子部品の製造方
法を提供することが可能となる。
【図１】本発明の一実施形態のグリーンシート面に形成
した内部電極と厚さ調整用電極の印刷状態を示す平面図
した内部電極と厚さ調整用電極の印刷状態を示す平面図
【図２】同、キャリヤフィルムの剥離方法を示す正面図
【図３】従来のグリーンシート面に形成した内部電極の
印刷状態を示す平面図
印刷状態を示す平面図
【図４】同、キャリヤフィルムの剥離方法を示す正面図
１ キャリヤフィルム ２ グリーンシート ３ 内部電極 ４ 厚さ調整用電極 ５ 周辺部 ６ 無効層 ７ ずらし幅 ８ ローラ ９ 導電性両面接着テープ
Claims (8)
- 【請求項１】 セラミックグリーンシートを所定枚数加
圧積層した下部無効層体面上に、キャリヤフィルム上の
グリーンシート面に内部電極と厚さ調整用電極を印刷し
た第１のグリーンシートを反転して積層加圧後、前記キ
ャリヤフィルムを剥離し、次に第１のグリーンシート上
に、キャリヤフィルム上のグリーンシート面に内部電極
と厚さ調整用電極を印刷した第２のグリーンシートを反
転して積層加圧後キャリヤフィルムを剥離し、その後予
め準備したセラミックグリーンシートを所定数加圧積層
した上部無効層体を重ねて本加圧を行う工程を備えた積
層型セラミック電子部品の製造方法。 - 【請求項２】 厚さ調整用電極をグリーンシートの周辺
部にＬ字型に少なくとも一つ以上印刷することを特徴と
する請求項１に記載の積層型セラミック電子部品の製造
方法。 - 【請求項３】 Ｌ字型厚さ調整用電極を内部電極と略同
じ厚さに印刷する請求項１、または請求項２に記載の積
層型セラミック電子部品の製造方法。 - 【請求項４】 Ｌ字型厚さ調整用電極を、グリーンシー
ト積層加圧後にキャリヤフィルムを剥離開始する周辺部
付近に設けた請求項１から請求項３の何れか一つに記載
の積層型セラミック電子部品の製造方法。 - 【請求項５】 Ｌ字型厚さ調整用電極の幅を、順次積層
する第１、第２のグリーンシートの内部電極のずらし幅
より大きく、かつずらし幅の二倍を超えない幅とする請
求項１から請求項４の何れか一つに記載の積層型セラミ
ック電子部品の製造方法。 - 【請求項６】 Ｌ字型厚さ調整用電極の辺の長さを積層
するグリーンシートの短辺の三分の一より長くした請求
項１から請求項５の何れか一つに記載の積層型セラミッ
ク電子部品の製造方法。 - 【請求項７】 Ｌ字型厚さ調整用電極の屈曲部幅を他の
部分より広くした請求項１から請求項６の何れか一つに
記載の積層型セラミック電子部品の製造方法。 - 【請求項８】 Ｌ字型厚さ調整用電極の屈曲部を円弧状
とした請求項７に記載の積層型セラミック電子部品の製
造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9224634A JPH1167577A (ja) | 1997-08-21 | 1997-08-21 | 積層型セラミック電子部品の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9224634A JPH1167577A (ja) | 1997-08-21 | 1997-08-21 | 積層型セラミック電子部品の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1167577A true JPH1167577A (ja) | 1999-03-09 |
Family
ID=16816792
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9224634A Pending JPH1167577A (ja) | 1997-08-21 | 1997-08-21 | 積層型セラミック電子部品の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1167577A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| AT411165B (de) * | 2001-01-18 | 2003-10-27 | Bleckmann Gmbh | Laminiereinrichtung und verfahren zur herstellung von glaskeramikbeschichtungen im durchlaufbetrieb |
| WO2005004182A3 (ja) * | 2003-06-20 | 2005-04-14 | Tdk Corp | グリーンシートの積層方法と積層セラミック電子部品の製造方法 |
-
1997
- 1997-08-21 JP JP9224634A patent/JPH1167577A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| AT411165B (de) * | 2001-01-18 | 2003-10-27 | Bleckmann Gmbh | Laminiereinrichtung und verfahren zur herstellung von glaskeramikbeschichtungen im durchlaufbetrieb |
| WO2005004182A3 (ja) * | 2003-06-20 | 2005-04-14 | Tdk Corp | グリーンシートの積層方法と積層セラミック電子部品の製造方法 |
| US7234215B2 (en) | 2003-06-20 | 2007-06-26 | Tdk Corporation | Stacking method of green sheet and a manufacturing method of multilayer ceramic electronic device |
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