JPH1145748A - 電流端子 - Google Patents
電流端子Info
- Publication number
- JPH1145748A JPH1145748A JP20171997A JP20171997A JPH1145748A JP H1145748 A JPH1145748 A JP H1145748A JP 20171997 A JP20171997 A JP 20171997A JP 20171997 A JP20171997 A JP 20171997A JP H1145748 A JPH1145748 A JP H1145748A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- insulator
- terminal
- packing
- hole
- current terminal
- Prior art date
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- Withdrawn
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- Connections Arranged To Contact A Plurality Of Conductors (AREA)
- Insulators (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】安価で且つ気密性に優れた電流端子を提供す
る。 【解決手段】真空装置の真空容器Ｓ内に消費電力を供給
する電流端子１であって、前記真空容器Ｓの壁に、その
壁に設けられた貫通孔Ｓ１に挿通され第１のパッキング
１１４を介して気密状態にて取り付けられる絶縁碍子１
１と、その絶縁碍子１１を貫通する貫通孔１１１に挿通
される端子棒１２とからなり、その端子棒１２と前記絶
縁碍子１１間が第２のパッキング１１８を介して気密状
態にて連結可能とされている。
る。 【解決手段】真空装置の真空容器Ｓ内に消費電力を供給
する電流端子１であって、前記真空容器Ｓの壁に、その
壁に設けられた貫通孔Ｓ１に挿通され第１のパッキング
１１４を介して気密状態にて取り付けられる絶縁碍子１
１と、その絶縁碍子１１を貫通する貫通孔１１１に挿通
される端子棒１２とからなり、その端子棒１２と前記絶
縁碍子１１間が第２のパッキング１１８を介して気密状
態にて連結可能とされている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、真空電気炉、真空
容器内の証明・動力・発熱装置を有する真空装置等に使
用される電流端子に関するものである。
容器内の証明・動力・発熱装置を有する真空装置等に使
用される電流端子に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、真空装置に使用される電流端子と
しては、例えば、特開昭５８─８９７８６号公報に記載
のように、外周に突起したストッパを有する絶縁碍子
と、この絶縁端子の筒内を貫通するとともにヒビ割れの
起き難い接着剤によって絶縁端子に固定した端子棒と、
前記絶縁碍子の外周に沿って設けたＯ─リング溝に取り
付けられたＯ─リングとからなり、電流端子は筒状の絶
縁碍子を真空容器壁の取付け孔にＯ─リングを介して嵌
合するものが記載されている。
しては、例えば、特開昭５８─８９７８６号公報に記載
のように、外周に突起したストッパを有する絶縁碍子
と、この絶縁端子の筒内を貫通するとともにヒビ割れの
起き難い接着剤によって絶縁端子に固定した端子棒と、
前記絶縁碍子の外周に沿って設けたＯ─リング溝に取り
付けられたＯ─リングとからなり、電流端子は筒状の絶
縁碍子を真空容器壁の取付け孔にＯ─リングを介して嵌
合するものが記載されている。
【０００３】しかし、上記のような従来の電子端子の場
合には、絶縁端子に端子棒をヒビ割れの起き難い接着剤
によって固定する必要があるので、ヒビ割れの起き難い
高価な接着剤を用いる必要があるために電流端子の値段
が高くなるばかりでなく、端子棒の径にはばらつきがあ
るために、絶縁端子に端子棒を固定して均一な製品とす
るのがむずかしいという問題点がある。
合には、絶縁端子に端子棒をヒビ割れの起き難い接着剤
によって固定する必要があるので、ヒビ割れの起き難い
高価な接着剤を用いる必要があるために電流端子の値段
が高くなるばかりでなく、端子棒の径にはばらつきがあ
るために、絶縁端子に端子棒を固定して均一な製品とす
るのがむずかしいという問題点がある。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記のよう
な従来の問題点を解消し、安価で且つ気密性に優れた電
流端子を提供することを目的としてなされたものであ
る。
な従来の問題点を解消し、安価で且つ気密性に優れた電
流端子を提供することを目的としてなされたものであ
る。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本願の請求項１に記載の
発明（本発明１）は、真空装置の真空容器内に消費電力
を供給する電流端子であって、前記真空容器の壁に、そ
の壁に設けられた貫通孔に挿通され第１のパッキングを
介して取り付けられる絶縁碍子と、その絶縁碍子を貫通
する貫通孔に挿通される端子棒とからなり、その端子棒
と前記絶縁碍子間が第２のパッキングを介して気密状態
にて連結可能とされている電流端子である。
発明（本発明１）は、真空装置の真空容器内に消費電力
を供給する電流端子であって、前記真空容器の壁に、そ
の壁に設けられた貫通孔に挿通され第１のパッキングを
介して取り付けられる絶縁碍子と、その絶縁碍子を貫通
する貫通孔に挿通される端子棒とからなり、その端子棒
と前記絶縁碍子間が第２のパッキングを介して気密状態
にて連結可能とされている電流端子である。
【０００６】本願の請求項２に記載の発明（本発明２）
は、真空装置の真空容器内に消費電力を供給する電流端
子であって、前記真空容器の壁の貫通孔の設けられた部
分の外側に第１のパッキングを介して取り付けられる絶
縁碍子と、その絶縁碍子に設けられた貫通孔及び前記真
空容器の貫通孔に挿通される端子棒とからなり、その端
子棒と前記絶縁碍子間が第２のパッキングを介して気密
状態にて連結可能とされている電流端子である。
は、真空装置の真空容器内に消費電力を供給する電流端
子であって、前記真空容器の壁の貫通孔の設けられた部
分の外側に第１のパッキングを介して取り付けられる絶
縁碍子と、その絶縁碍子に設けられた貫通孔及び前記真
空容器の貫通孔に挿通される端子棒とからなり、その端
子棒と前記絶縁碍子間が第２のパッキングを介して気密
状態にて連結可能とされている電流端子である。
【０００７】本発明において、端子棒と絶縁碍子間を第
２のパッキングを介して気密状態に連結する手段として
は、例えば、絶縁碍子と螺合する蓋体により第２のパッ
キングを端子棒と絶縁碍子との間に押圧する方法、端子
棒と螺合するナットにより第２のパッキングを端子棒と
絶縁碍子との間に押圧する方法、端子棒と絶縁碍子との
間に第２のパッキングを直接介在させる方法等が挙げら
れる。
２のパッキングを介して気密状態に連結する手段として
は、例えば、絶縁碍子と螺合する蓋体により第２のパッ
キングを端子棒と絶縁碍子との間に押圧する方法、端子
棒と螺合するナットにより第２のパッキングを端子棒と
絶縁碍子との間に押圧する方法、端子棒と絶縁碍子との
間に第２のパッキングを直接介在させる方法等が挙げら
れる。
【０００８】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
を参照して説明する。図１は、本発明の電子端子の一例
を示す断面図である。図１において、１は真空装置の真
空容器Ｓ内に消費電力を供給する電流端子であって、絶
縁碍子１１と端子棒１２と蓋体１３とからなる。
を参照して説明する。図１は、本発明の電子端子の一例
を示す断面図である。図１において、１は真空装置の真
空容器Ｓ内に消費電力を供給する電流端子であって、絶
縁碍子１１と端子棒１２と蓋体１３とからなる。
【０００９】絶縁碍子１１は縦長に形成されており、下
端部側が真空容器Ｓの内側に配設され、上端部側が真空
容器Ｓの外側に配設される。絶縁碍子１１には、その長
手方向に沿って中心を貫通する貫通孔１１１が設けられ
ており、略中央部の周りには周方向に沿って鍔部１１２
が設けられ、鍔部１１２の下面には周方向に沿って凹溝
１１３が設けられている。凹溝１１３内には、絶縁継手
１１と真空容器Ｓとの間をシールする第１のパッキング
１１４が装着されている。
端部側が真空容器Ｓの内側に配設され、上端部側が真空
容器Ｓの外側に配設される。絶縁碍子１１には、その長
手方向に沿って中心を貫通する貫通孔１１１が設けられ
ており、略中央部の周りには周方向に沿って鍔部１１２
が設けられ、鍔部１１２の下面には周方向に沿って凹溝
１１３が設けられている。凹溝１１３内には、絶縁継手
１１と真空容器Ｓとの間をシールする第１のパッキング
１１４が装着されている。
【００１０】絶縁碍子１１の下端部の外周面には雄ねじ
１１５が形成されており、その雄ねじ１１５を真空容器
Ｓの壁の貫通孔Ｓ１に形成された雌ねじと螺合すること
により、第１のパッキング１１４を介して真空容器Ｓに
気密状態にて取り付けることができるようになってい
る。
１１５が形成されており、その雄ねじ１１５を真空容器
Ｓの壁の貫通孔Ｓ１に形成された雌ねじと螺合すること
により、第１のパッキング１１４を介して真空容器Ｓに
気密状態にて取り付けることができるようになってい
る。
【００１１】絶縁碍子１１の上端部の外周面には、蓋体
螺合用の第２の雄ねじ１１６が形成されており、上端の
端面には、貫通孔１１１の上端から端縁に向かうにつれ
て次第に径大となる傾斜面１１７が形成されてすり鉢状
の窪みが形成されおり、その中には第２のパッキング１
１８が装着されている。
螺合用の第２の雄ねじ１１６が形成されており、上端の
端面には、貫通孔１１１の上端から端縁に向かうにつれ
て次第に径大となる傾斜面１１７が形成されてすり鉢状
の窪みが形成されおり、その中には第２のパッキング１
１８が装着されている。
【００１２】蓋体１３には、中心に端子棒１２を挿通す
る貫通孔１３１が設けられており、側壁部の内周面には
絶縁継手１１の上端部の雄ねじ１１６と螺合する雌ねじ
１３２が形成されている。
る貫通孔１３１が設けられており、側壁部の内周面には
絶縁継手１１の上端部の雄ねじ１１６と螺合する雌ねじ
１３２が形成されている。
【００１３】蓋体１３を、その雌ねじ１３２を絶縁継手
１１の上端部の外周面に形成された第２の雄ねじ１１６
と螺合することにより、蓋体１３の天板の裏面にて絶縁
継手本体１１の上端のすり鉢状の窪みに装着された第２
のパッキング１１８を押圧して、端子棒１２と絶縁碍子
１１間を第２のパッキング１１８を介して気密状態にて
連結できるようになっている。
１１の上端部の外周面に形成された第２の雄ねじ１１６
と螺合することにより、蓋体１３の天板の裏面にて絶縁
継手本体１１の上端のすり鉢状の窪みに装着された第２
のパッキング１１８を押圧して、端子棒１２と絶縁碍子
１１間を第２のパッキング１１８を介して気密状態にて
連結できるようになっている。
【００１４】図２は、本発明の電子端子の別の例を示す
断面図である。図２において、２は真空装置の真空容器
Ｓ内に消費電力を供給する電流端子であって、外部絶縁
碍子２１と内部絶縁碍子２２と端子棒２３とからなる。
断面図である。図２において、２は真空装置の真空容器
Ｓ内に消費電力を供給する電流端子であって、外部絶縁
碍子２１と内部絶縁碍子２２と端子棒２３とからなる。
【００１５】外部絶縁碍子２１の中心には貫通孔２１１
が設けられており、下面には周方向に沿って凹溝２１２
が設けられている。凹溝２１２内には、外部絶縁碍子２
１と真空容器Ｓとの間をシールする第１のパッキング２
１３が設けられいる。外部絶縁碍子２１の上面には貫通
孔２１１と連通する拡径部２１４が設けられている。内
部絶縁碍子２２の中心には貫通孔２２１が設けられてい
る。
が設けられており、下面には周方向に沿って凹溝２１２
が設けられている。凹溝２１２内には、外部絶縁碍子２
１と真空容器Ｓとの間をシールする第１のパッキング２
１３が設けられいる。外部絶縁碍子２１の上面には貫通
孔２１１と連通する拡径部２１４が設けられている。内
部絶縁碍子２２の中心には貫通孔２２１が設けられてい
る。
【００１６】端子棒２３の上部及び下部の外周面には、
それぞれ、雄ねじ２３１，２３２が形成されている。端
子棒２３の下部は、真空容器Ｓに設けられた貫通孔Ｓ１
及び内部絶縁碍子２２の貫通孔２２１を挿通するように
真空容器Ｓ内に配設され、雄ねじ２３２にワッシャー２
４を介してナット２５が螺合されるようにして、真空容
器Ｓに固定できるようになっている。
それぞれ、雄ねじ２３１，２３２が形成されている。端
子棒２３の下部は、真空容器Ｓに設けられた貫通孔Ｓ１
及び内部絶縁碍子２２の貫通孔２２１を挿通するように
真空容器Ｓ内に配設され、雄ねじ２３２にワッシャー２
４を介してナット２５が螺合されるようにして、真空容
器Ｓに固定できるようになっている。
【００１７】真空容器Ｓの外側に配設される端子棒２３
の上部は、凹溝２１２内に第１のパッキング２１３を真
空容器Ｓとの間に介在させるようにして、上部絶縁碍子
２１の貫通孔２１１に挿通され、拡径部２１４内に第２
のパッキング２１５をワッシャー２６との間に介在さ
れ、雄ねじ２３１にワッシャー２６を介してナット２７
が螺合されるようにして、真空容器Ｓと外部絶縁碍子２
１との間が第１のパッキング２１３により、端子棒２３
と外部絶縁碍子２１との間が第２のパッキング２１５に
より気密状態にて連結できるようになっている。
の上部は、凹溝２１２内に第１のパッキング２１３を真
空容器Ｓとの間に介在させるようにして、上部絶縁碍子
２１の貫通孔２１１に挿通され、拡径部２１４内に第２
のパッキング２１５をワッシャー２６との間に介在さ
れ、雄ねじ２３１にワッシャー２６を介してナット２７
が螺合されるようにして、真空容器Ｓと外部絶縁碍子２
１との間が第１のパッキング２１３により、端子棒２３
と外部絶縁碍子２１との間が第２のパッキング２１５に
より気密状態にて連結できるようになっている。
【００１８】
【発明の効果】本発明の電子端子は、上記のようにされ
ていることにより、安価で且つ気密性に優れている。
ていることにより、安価で且つ気密性に優れている。
【図１】本発明の電子端子の一例を示す断面図である。
【図２】本発明の電子端子の別の例を示す断面図であ
る。
る。
Ｓ 真空容器 Ｓ１，１１１，２１１ 貫通孔 １，２ 電子端子 １１ 絶縁碍子 １２，２３ 端子棒 １３ 蓋体 ２１ 外部絶縁碍子 ２２ 内部絶縁碍子 １１３，２１３ 第１のパッキング １１８，２１５ 第２のパッキング ２５，２７ ナット
Claims (2)
- 【請求項１】 真空装置の真空容器内に消費電力を供給
する電流端子であって、前記真空容器の壁に、その壁に
設けられた貫通孔に挿通され第１のパッキングを介して
取り付けられる絶縁碍子と、その絶縁碍子を貫通する貫
通孔に挿通される端子棒とからなり、その端子棒と前記
絶縁碍子間が第２のパッキングを介して気密状態にて連
結可能とされていることを特徴とする電流端子。 - 【請求項２】 真空装置の真空容器内に消費電力を供給
する電流端子であって、前記真空容器の壁の貫通孔の設
けられた部分の外側に第１のパッキングを介して取り付
けられる絶縁碍子と、その絶縁碍子に設けられた貫通孔
及び前記真空容器の貫通孔に挿通される端子棒とからな
り、その端子棒と前記絶縁碍子間が第２のパッキングを
介して気密状態にて連結可能とされていることを特徴と
する電流端子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20171997A JPH1145748A (ja) | 1997-07-28 | 1997-07-28 | 電流端子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20171997A JPH1145748A (ja) | 1997-07-28 | 1997-07-28 | 電流端子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1145748A true JPH1145748A (ja) | 1999-02-16 |
Family
ID=16445806
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20171997A Withdrawn JPH1145748A (ja) | 1997-07-28 | 1997-07-28 | 電流端子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1145748A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100306719B1 (ko) * | 1999-05-12 | 2001-09-26 | 이정빈 | 고온,고압 용기의 전원 연결플러그 |
| WO2010008076A1 (ja) * | 2008-07-18 | 2010-01-21 | シャープ株式会社 | プラズマ処理装置用電力導入端子およびプラズマ処理装置 |
| KR200462698Y1 (ko) * | 2011-05-20 | 2012-09-24 | 김재호 | 주상변압기용 부싱 |
| WO2019230605A1 (ja) * | 2018-06-01 | 2019-12-05 | ショット日本株式会社 | 気密端子 |
-
1997
- 1997-07-28 JP JP20171997A patent/JPH1145748A/ja not_active Withdrawn
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100306719B1 (ko) * | 1999-05-12 | 2001-09-26 | 이정빈 | 고온,고압 용기의 전원 연결플러그 |
| WO2010008076A1 (ja) * | 2008-07-18 | 2010-01-21 | シャープ株式会社 | プラズマ処理装置用電力導入端子およびプラズマ処理装置 |
| KR200462698Y1 (ko) * | 2011-05-20 | 2012-09-24 | 김재호 | 주상변압기용 부싱 |
| WO2019230605A1 (ja) * | 2018-06-01 | 2019-12-05 | ショット日本株式会社 | 気密端子 |
| JP2019212418A (ja) * | 2018-06-01 | 2019-12-12 | ショット日本株式会社 | 気密端子 |
| US11417983B2 (en) | 2018-06-01 | 2022-08-16 | Schott Japan Corporation | Airtight terminal |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20061013 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20061018 |
|
| A761 | Written withdrawal of application |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A761 Effective date: 20061218 |