JPH1141057A - 圧電振動部品 - Google Patents
圧電振動部品Info
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- JPH1141057A JPH1141057A JP9192783A JP19278397A JPH1141057A JP H1141057 A JPH1141057 A JP H1141057A JP 9192783 A JP9192783 A JP 9192783A JP 19278397 A JP19278397 A JP 19278397A JP H1141057 A JPH1141057 A JP H1141057A
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
- H03H9/46—Filters
- H03H9/54—Filters comprising resonators of piezoelectric or electrostrictive material
- H03H9/56—Monolithic crystal filters
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 共振部間の干渉を抑制することができ、良好
な共振特性を得ることができるだけでなく、素子の機械
的強度が十分な大きさとされている圧電振動部品を得
る。 【解決手段】 圧電基板２に複数の共振部を構成してな
り、共振部間の干渉を抑制するためにスリット１１が圧
電基板２の一側面２ａから圧電基板２内に入るように形
成されており、スリット１１の長さをａ、共振部におけ
る第１，第２の共振電極３，４の対向方向に沿うギャッ
プ５の幅をｇ、圧電基板２の側面２ａ〜２ｄ及びスリッ
ト１１の側面のうち、ギャップ５の中心から最も近い側
面２ｃまでの距離をＬ1 、圧電基板２の第２の方向に沿
う外寸をＬとしたときに、Ｌ1−ｇ／２＝ｂとすると、
ｂ＜ａ≦（３／４）Ｌとされている圧電振動部品１。
な共振特性を得ることができるだけでなく、素子の機械
的強度が十分な大きさとされている圧電振動部品を得
る。 【解決手段】 圧電基板２に複数の共振部を構成してな
り、共振部間の干渉を抑制するためにスリット１１が圧
電基板２の一側面２ａから圧電基板２内に入るように形
成されており、スリット１１の長さをａ、共振部におけ
る第１，第２の共振電極３，４の対向方向に沿うギャッ
プ５の幅をｇ、圧電基板２の側面２ａ〜２ｄ及びスリッ
ト１１の側面のうち、ギャップ５の中心から最も近い側
面２ｃまでの距離をＬ1 、圧電基板２の第２の方向に沿
う外寸をＬとしたときに、Ｌ1−ｇ／２＝ｂとすると、
ｂ＜ａ≦（３／４）Ｌとされている圧電振動部品１。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば、帯域フィ
ルタとして用いられる圧電振動部品に関し、より詳細に
は、圧電基板に複数の共振部を構成し、共振部間の干渉
を抑制するためのスリットが形成されている圧電振動部
品の改良に関する。
ルタとして用いられる圧電振動部品に関し、より詳細に
は、圧電基板に複数の共振部を構成し、共振部間の干渉
を抑制するためのスリットが形成されている圧電振動部
品の改良に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、圧電基板に複数の共振部を構成し
てなるエネルギー閉じ込め型の圧電フィルタが知られて
いる。この種の圧電フィルタでは、同一圧電基板上に複
数の共振部が構成されているため、共振部間の干渉を抑
制するために、圧電基板にスリットを設けた構造のもの
が提案されている。例えば、実開昭５８−１３５１２８
号公報には、矩形の圧電基板に２個の共振部を構成し、
共振部間に圧電基板の一側面から中央に向かって延びる
ようにスリットを形成した圧電振動部品が開示されてい
る。
てなるエネルギー閉じ込め型の圧電フィルタが知られて
いる。この種の圧電フィルタでは、同一圧電基板上に複
数の共振部が構成されているため、共振部間の干渉を抑
制するために、圧電基板にスリットを設けた構造のもの
が提案されている。例えば、実開昭５８−１３５１２８
号公報には、矩形の圧電基板に２個の共振部を構成し、
共振部間に圧電基板の一側面から中央に向かって延びる
ようにスリットを形成した圧電振動部品が開示されてい
る。
【０００３】また、実開平１−５９３２６号公報には、
圧電基板に複数の振動部を形成し、振動部間の干渉を抑
制するために、振動部間にスリットを形成してなる圧電
振動部品が開示されており、ここでは、スリットの切り
込み口近傍の両肩部にリード取付電極が形成されてい
る。そして、両肩のリード取付電極に跨がるように１つ
のリード端子を接合することにより、共振部間の干渉を
抑制すると共に、スリットを形成したことによる圧電基
板の変形の抑制及び機械的強度の低下の抑制が図られて
いる。
圧電基板に複数の振動部を形成し、振動部間の干渉を抑
制するために、振動部間にスリットを形成してなる圧電
振動部品が開示されており、ここでは、スリットの切り
込み口近傍の両肩部にリード取付電極が形成されてい
る。そして、両肩のリード取付電極に跨がるように１つ
のリード端子を接合することにより、共振部間の干渉を
抑制すると共に、スリットを形成したことによる圧電基
板の変形の抑制及び機械的強度の低下の抑制が図られて
いる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、圧電基
板にスリットを形成することにより複数の共振部間の干
渉を抑制した従来の圧電振動部品では、スリットを形成
したために機械的強度が十分ではないためか、共振特性
は良好であるものの、取扱いに際し圧電基板の割れや欠
けが生じることがあるという問題があった。
板にスリットを形成することにより複数の共振部間の干
渉を抑制した従来の圧電振動部品では、スリットを形成
したために機械的強度が十分ではないためか、共振特性
は良好であるものの、取扱いに際し圧電基板の割れや欠
けが生じることがあるという問題があった。
【０００５】本発明の目的は、圧電基板に複数の共振部
を構成し、共振部間の干渉を抑制するためにスリットが
形成されている圧電振動部品において、共振特性が良好
であるだけでなく、十分な機械的強度を有し、従って、
取扱いに際しての割れや欠けが生じ難い圧電振動部品を
提供することにある。
を構成し、共振部間の干渉を抑制するためにスリットが
形成されている圧電振動部品において、共振特性が良好
であるだけでなく、十分な機械的強度を有し、従って、
取扱いに際しての割れや欠けが生じ難い圧電振動部品を
提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】請求項１に記載の発明
は、圧電基板に複数の共振部が構成されており、かつ共
振部間の干渉を抑制するためのスリットが圧電基板の一
側面から第１の方向に沿って圧電基板内に延びており、
各共振部がギャップを隔てて対向するように圧電基板の
一方主面に形成された第１，第２の共振電極と、圧電基
板の他方主面に形成されており、かつ圧電基板を介して
第１，第２の共振電極と重なり合っている共通電極とを
有する圧電振動部品において、前記スリットの長さを
ａ、前記共振部における第１，第２の共振電極の対向方
向に沿うギャップ幅をｇ、圧電基板の側面及びスリット
側面のうち、ギャップの中心から最も近い側面までの距
離をＬ 1 、圧電基板の第１の方向に沿う外寸をＬとした
ときに、Ｌ1 −ｇ／２＝ｂとすると、ｂ＜ａ≦（３／
４）Ｌ〔以下、式（１）という。〕とされていることを
特徴とする。
は、圧電基板に複数の共振部が構成されており、かつ共
振部間の干渉を抑制するためのスリットが圧電基板の一
側面から第１の方向に沿って圧電基板内に延びており、
各共振部がギャップを隔てて対向するように圧電基板の
一方主面に形成された第１，第２の共振電極と、圧電基
板の他方主面に形成されており、かつ圧電基板を介して
第１，第２の共振電極と重なり合っている共通電極とを
有する圧電振動部品において、前記スリットの長さを
ａ、前記共振部における第１，第２の共振電極の対向方
向に沿うギャップ幅をｇ、圧電基板の側面及びスリット
側面のうち、ギャップの中心から最も近い側面までの距
離をＬ 1 、圧電基板の第１の方向に沿う外寸をＬとした
ときに、Ｌ1 −ｇ／２＝ｂとすると、ｂ＜ａ≦（３／
４）Ｌ〔以下、式（１）という。〕とされていることを
特徴とする。
【０００７】すなわち、本発明は、圧電基板の寸法と、
第１，第２の共振電極の形成位置、及びスリットの長さ
との関係に着目し、上記式（１）を満たすように構成す
ることにより、共振部間の干渉を抑制することを可能と
するだけでなく、共振特性を劣化させることなく十分な
機械的強度を得ることを可能としたことに特徴を有す
る。
第１，第２の共振電極の形成位置、及びスリットの長さ
との関係に着目し、上記式（１）を満たすように構成す
ることにより、共振部間の干渉を抑制することを可能と
するだけでなく、共振特性を劣化させることなく十分な
機械的強度を得ることを可能としたことに特徴を有す
る。
【０００８】
【発明の実施の形態】図１は、本発明の一実施例に係る
圧電振動部品を示す平面図及び底面図である。
圧電振動部品を示す平面図及び底面図である。
【０００９】この圧電振動部品１は、厚み縦振動を利用
した２個のエネルギー閉じ込め型共振部を有する圧電フ
ィルタである。圧電振動部品１は、略矩形の圧電基板２
を用いて構成されている。圧電基板２は、チタン酸ジル
コン酸鉛系セラミックスのような圧電セラミックスまた
は水晶等の圧電単結晶により構成し得る。圧電セラミッ
クスを用いた場合には、圧電基板２は、少なくとも後述
の第１，第２の共振部において厚み方向に分極処理され
ている。
した２個のエネルギー閉じ込め型共振部を有する圧電フ
ィルタである。圧電振動部品１は、略矩形の圧電基板２
を用いて構成されている。圧電基板２は、チタン酸ジル
コン酸鉛系セラミックスのような圧電セラミックスまた
は水晶等の圧電単結晶により構成し得る。圧電セラミッ
クスを用いた場合には、圧電基板２は、少なくとも後述
の第１，第２の共振部において厚み方向に分極処理され
ている。
【００１０】圧電基板２の上面には、第１の共振部を構
成するために、第１，第２の共振電極３，４がギャップ
５を隔てて対向されている。圧電基板２の下面において
は、第１，第２の共振電極と重なり合うように共通電極
６が形成されている。
成するために、第１，第２の共振電極３，４がギャップ
５を隔てて対向されている。圧電基板２の下面において
は、第１，第２の共振電極と重なり合うように共通電極
６が形成されている。
【００１１】他方、第１の共振部が構成されている部分
と所定距離を隔てて、第２の共振部を構成するために、
圧電基板２の上面に、第１，第２の共振電極７，８がギ
ャップ９を介して対向するように形成されている。第
１，第２の共振電極７，８と重なり合うように、圧電基
板２の下面には共通電極１０が形成されている。
と所定距離を隔てて、第２の共振部を構成するために、
圧電基板２の上面に、第１，第２の共振電極７，８がギ
ャップ９を介して対向するように形成されている。第
１，第２の共振電極７，８と重なり合うように、圧電基
板２の下面には共通電極１０が形成されている。
【００１２】第１，第２の共振部間の干渉を抑制するた
めに、スリット１１が圧電基板２の側面２ａから中央に
向かって延びるように形成されている。なお、第１の共
振電極３は、接続導電部１２ａを介して圧電基板２の側
面２ａとは反対側の側面２ｂ近傍に形成された入力電極
１３に接続されている。他方、第２の共振電極８は、接
続導電部１２ｂを介して圧電基板２の側面２ｂ近傍にお
いて圧電基板２の上面に形成された出力電極１４に電気
的に接続されている。
めに、スリット１１が圧電基板２の側面２ａから中央に
向かって延びるように形成されている。なお、第１の共
振電極３は、接続導電部１２ａを介して圧電基板２の側
面２ａとは反対側の側面２ｂ近傍に形成された入力電極
１３に接続されている。他方、第２の共振電極８は、接
続導電部１２ｂを介して圧電基板２の側面２ｂ近傍にお
いて圧電基板２の上面に形成された出力電極１４に電気
的に接続されている。
【００１３】第１の共振部の第２の共振電極４と第２の
共振部の第１の共振電極７は、圧電基板２の上面に形成
された接続導電部１２ｃにより相互に接続されている。
他方、圧電基板２の下面においては、共通電極６，９
が、それぞれ、接続導電部１２ｄ，１２ｅによりアース
電極１５に接続されている。アース電極１５は、圧電基
板２の下面において側面２ｂ近傍に形成されている。
共振部の第１の共振電極７は、圧電基板２の上面に形成
された接続導電部１２ｃにより相互に接続されている。
他方、圧電基板２の下面においては、共通電極６，９
が、それぞれ、接続導電部１２ｄ，１２ｅによりアース
電極１５に接続されている。アース電極１５は、圧電基
板２の下面において側面２ｂ近傍に形成されている。
【００１４】本実施例の圧電振動部品１の特徴は、上記
スリット１１の長さをａ、共振部における第１，第２の
共振電極３，４の対向方向に沿うギャップ幅をｇ、圧電
基板の側面及びスリット１１の側面のうち、ギャップ
５，９の中心Ｏから最も近い側面までの距離をＬ1 、圧
電基板の第１の方向に沿う外寸、すなわちスリット１１
の延びる方向に沿う寸法をＬとしたときに、Ｌ1 −ｇ／
２＝ｂとすると、ｂ＜ａ≦（３／４）Ｌとされているこ
とにあり、それによって第１，第２の共振部間の干渉を
抑制し得るとともに、圧電振動部品１の機械的強度が十
分な大きさとされている。これを、具体的な実験例に基
づき説明する。
スリット１１の長さをａ、共振部における第１，第２の
共振電極３，４の対向方向に沿うギャップ幅をｇ、圧電
基板の側面及びスリット１１の側面のうち、ギャップ
５，９の中心Ｏから最も近い側面までの距離をＬ1 、圧
電基板の第１の方向に沿う外寸、すなわちスリット１１
の延びる方向に沿う寸法をＬとしたときに、Ｌ1 −ｇ／
２＝ｂとすると、ｂ＜ａ≦（３／４）Ｌとされているこ
とにあり、それによって第１，第２の共振部間の干渉を
抑制し得るとともに、圧電振動部品１の機械的強度が十
分な大きさとされている。これを、具体的な実験例に基
づき説明する。
【００１５】いま、圧電振動部品１として、上記外寸Ｌ
＝３．５ｍｍ、ギャップの中心Ｏから圧電基板２の側面
２ａ，２ｂまでの距離のうち短い方をＬ1 、すなわち圧
電基板２のスリットが形成されている側面２ａと該側面
と反対側の側面２ｂのうちギャップの中心から短い方の
側面までの距離をＬ1 とし、第１の共振部が構成されて
いる側の圧電基板の側面２ｃとスリット１１との間の圧
電基板部分において、ギャップの中心Ｏからスリット１
１の側面１１ａまでの距離と、ギャップの中心からスリ
ットとは半体側のスリットと略平行に延びる側面２ｃま
たは２ｄまでの距離のうち、短い方をＬ2 、長い方をＬ
3 としたときに、Ｌ＝３．５ｍｍ、Ｌ1＝Ｌ2 ＝１．３
ｍｍ及びＬ2 ＋Ｌ3 ＝２．５ｍｍとし、中心周波数１
０．７ＭＨｚの圧電フィルタをスリット１１の長さを種
々変更して作製した。
＝３．５ｍｍ、ギャップの中心Ｏから圧電基板２の側面
２ａ，２ｂまでの距離のうち短い方をＬ1 、すなわち圧
電基板２のスリットが形成されている側面２ａと該側面
と反対側の側面２ｂのうちギャップの中心から短い方の
側面までの距離をＬ1 とし、第１の共振部が構成されて
いる側の圧電基板の側面２ｃとスリット１１との間の圧
電基板部分において、ギャップの中心Ｏからスリット１
１の側面１１ａまでの距離と、ギャップの中心からスリ
ットとは半体側のスリットと略平行に延びる側面２ｃま
たは２ｄまでの距離のうち、短い方をＬ2 、長い方をＬ
3 としたときに、Ｌ＝３．５ｍｍ、Ｌ1＝Ｌ2 ＝１．３
ｍｍ及びＬ2 ＋Ｌ3 ＝２．５ｍｍとし、中心周波数１
０．７ＭＨｚの圧電フィルタをスリット１１の長さを種
々変更して作製した。
【００１６】このスリットの長さａを変化させて、中心
周波数から３００ｋＭＨｚ、あるいは３５０ｋＭＨｚ離
れた周波数位置の減衰量を測定した。結果を図４〜図７
に示す。
周波数から３００ｋＭＨｚ、あるいは３５０ｋＭＨｚ離
れた周波数位置の減衰量を測定した。結果を図４〜図７
に示す。
【００１７】なお、図４は、スリットの長さと、中心周
波数に対して３００ｋＭＨｚ低い周波数位置における減
衰量との関係を、図５は、スリットの長さと中心周波数
に対して３００ｋＭＨｚ高い周波数位置における減衰量
との関係を示し、図６はスリットの長さと中心周波数に
対して３５０ｋＭＨｚ低い周波数位置における減衰量と
の関係を、図７はスリットの長さと、中心周波数に対し
て３５０ｋＭＨｚ高い周波数位置における減衰量との関
係を示す図である。
波数に対して３００ｋＭＨｚ低い周波数位置における減
衰量との関係を、図５は、スリットの長さと中心周波数
に対して３００ｋＭＨｚ高い周波数位置における減衰量
との関係を示し、図６はスリットの長さと中心周波数に
対して３５０ｋＭＨｚ低い周波数位置における減衰量と
の関係を、図７はスリットの長さと、中心周波数に対し
て３５０ｋＭＨｚ高い周波数位置における減衰量との関
係を示す図である。
【００１８】図４〜図７から明らかなように、中心周波
数ｆ0 ±３００ｋＭＨｚ及び±３５０ｋＭＨｚの各離調
点の減衰特性から、スリット１１の長さａを、ａ＝ｂよ
りも長く、すなわち、スリット１１の長さａをＬ1 −ｇ
／２よりも深くすることにより、十分な減衰特性を確保
することができ、特に、通常のＦＭラジオ用帯域フィル
タとして、必要なフィルタ特性を確保し得ることがわか
る。
数ｆ0 ±３００ｋＭＨｚ及び±３５０ｋＭＨｚの各離調
点の減衰特性から、スリット１１の長さａを、ａ＝ｂよ
りも長く、すなわち、スリット１１の長さａをＬ1 −ｇ
／２よりも深くすることにより、十分な減衰特性を確保
することができ、特に、通常のＦＭラジオ用帯域フィル
タとして、必要なフィルタ特性を確保し得ることがわか
る。
【００１９】そこで、上記条件を満たす圧電振動部品に
おいて、さらに、素子強度の観点から、圧電振動部品１
の圧電基板２のスリット１１の深さを種々変更し、抗折
強度を測定した。図８に、抗折強度比とスリット長さの
比との関係を示す。なお、スリット長さの比とは、圧電
基板の外寸Ｌに対するスリット長さの割合（％）を示
し、抗折強度比は、図３に略図的に示すように、圧電振
動部品１の圧電基板２の側面２ｃ，２ｄ近傍において圧
電基板２の下面を支点１４，１５で支持し、圧電基板２
のスリット１１の最奥部１１ｂと側面２ｂとの間の基板
部分中央に外力Ｆを上方から加え、圧電基板２が破損し
た場合の外力Ｆの最小値を測定し、該測定値のスリット
が形成されていない場合の値に対する比（％）である。
おいて、さらに、素子強度の観点から、圧電振動部品１
の圧電基板２のスリット１１の深さを種々変更し、抗折
強度を測定した。図８に、抗折強度比とスリット長さの
比との関係を示す。なお、スリット長さの比とは、圧電
基板の外寸Ｌに対するスリット長さの割合（％）を示
し、抗折強度比は、図３に略図的に示すように、圧電振
動部品１の圧電基板２の側面２ｃ，２ｄ近傍において圧
電基板２の下面を支点１４，１５で支持し、圧電基板２
のスリット１１の最奥部１１ｂと側面２ｂとの間の基板
部分中央に外力Ｆを上方から加え、圧電基板２が破損し
た場合の外力Ｆの最小値を測定し、該測定値のスリット
が形成されていない場合の値に対する比（％）である。
【００２０】また、図８における実線は、圧電基板２の
側面２ａと２ｂとの間の寸法、すなわち第１の方向に沿
う外寸Ｌが２ｍｍの場合を、一点鎖線の３ｍｍの場合
を、破線は４ｍｍの場合を、２点鎖線は５ｍｍの場合の
結果を示す。
側面２ａと２ｂとの間の寸法、すなわち第１の方向に沿
う外寸Ｌが２ｍｍの場合を、一点鎖線の３ｍｍの場合
を、破線は４ｍｍの場合を、２点鎖線は５ｍｍの場合の
結果を示す。
【００２１】図８から明らかなように、圧電基板２の上
記外寸Ｌを、２〜５ｍｍ程度とした場合、スリット１１
の長さａが外寸Ｌの７５％を超えると抗折強度が急激に
劣化することわかる。従って、Ｌの値にかかわらず、ス
リット１１の長さａは、（３／４）Ｌ以下とすべきこと
がわかる。
記外寸Ｌを、２〜５ｍｍ程度とした場合、スリット１１
の長さａが外寸Ｌの７５％を超えると抗折強度が急激に
劣化することわかる。従って、Ｌの値にかかわらず、ス
リット１１の長さａは、（３／４）Ｌ以下とすべきこと
がわかる。
【００２２】よって、図４〜図７及び図８の結果から、
共振部間の干渉を抑制して離調点における減衰量を確保
し、かつ十分な素子強度を得るには、スリット１１の長
さを、ｂより大きく、（３／４）Ｌ以下とすべきことが
わかる。
共振部間の干渉を抑制して離調点における減衰量を確保
し、かつ十分な素子強度を得るには、スリット１１の長
さを、ｂより大きく、（３／４）Ｌ以下とすべきことが
わかる。
【００２３】また、上記中心周波数の圧電フィルタを構
成した場合、圧電基板２の上記第１の方向に沿う外寸Ｌ
が２．０ｍｍ未満では、スリット１１の長さを変化させ
たとしても、素子強度が同様に劣化し得ることが確かめ
られた。従って、好ましくは、上記中心周波数の圧電振
動部品１を構成する場合、第１の方向に沿う圧電基板２
の外寸Ｌは２．０ｍｍ以上とすることが望ましい。
成した場合、圧電基板２の上記第１の方向に沿う外寸Ｌ
が２．０ｍｍ未満では、スリット１１の長さを変化させ
たとしても、素子強度が同様に劣化し得ることが確かめ
られた。従って、好ましくは、上記中心周波数の圧電振
動部品１を構成する場合、第１の方向に沿う圧電基板２
の外寸Ｌは２．０ｍｍ以上とすることが望ましい。
【００２４】さらに、本願発明者は、スリット１１の長
さを種々変更し、スプリアスの発生具合を実験により確
かめた。結果を図９に示す。図９は、スリット１１の長
さと、スプリアス改善効果との関係を示す図である。こ
の場合、スプリアス改善効果（ｄＢ）は、中心周波数に
おける減衰量を０ｄＢとして、５００ｋＨｚ〜１ＭＨｚ
の幅の周波数範囲内における最小減衰量をいい、この値
が大きい程スプリアスが改善されていることになる。
さを種々変更し、スプリアスの発生具合を実験により確
かめた。結果を図９に示す。図９は、スリット１１の長
さと、スプリアス改善効果との関係を示す図である。こ
の場合、スプリアス改善効果（ｄＢ）は、中心周波数に
おける減衰量を０ｄＢとして、５００ｋＨｚ〜１ＭＨｚ
の幅の周波数範囲内における最小減衰量をいい、この値
が大きい程スプリアスが改善されていることになる。
【００２５】図９から明らかなように、スリット１１の
長さａが、ｂ／４を超えると、スリットの長さの増大に
連れて、スプリアス改善効果がより一層大きくなってい
くことがわかる。また、通常、ＦＭラジオ受信機の帯域
フィルタとして必要なスプリアス改善効果は４０ｄＢ以
上であることが認められている。従って、図９から、上
記用途に用いる圧電フィルタとしては、スリット１１の
長さは、ｂ以上とすることで安定したレベルで４０ｄＢ
以上のスプリアス抑制効果が得られる。
長さａが、ｂ／４を超えると、スリットの長さの増大に
連れて、スプリアス改善効果がより一層大きくなってい
くことがわかる。また、通常、ＦＭラジオ受信機の帯域
フィルタとして必要なスプリアス改善効果は４０ｄＢ以
上であることが認められている。従って、図９から、上
記用途に用いる圧電フィルタとしては、スリット１１の
長さは、ｂ以上とすることで安定したレベルで４０ｄＢ
以上のスプリアス抑制効果が得られる。
【００２６】さらに、上述した圧電基板２の寸法のう
ち、寸法Ｌ2 とＬ3 との間が２．０ｍｍ未満の場合、寸
法Ｌ2 が０．８ｍｍ未満の場合、あるいは寸法Ｌ3 が
０．８ｍｍ未満の場合、スリット１１の形成により、エ
ネルギー閉じ込めに必要な共振部及び振動エリアを十分
に確保することができなくなり、特性の劣化が得られ
た。従って、好ましくは、上記寸法Ｌ2 は０．８ｍｍ以
上であることが望ましく、同様に、Ｌ2 ＋Ｌ3 は２．０
ｍｍ以上、Ｌ3 は０．８ｍｍ以上であることが望まし
い。
ち、寸法Ｌ2 とＬ3 との間が２．０ｍｍ未満の場合、寸
法Ｌ2 が０．８ｍｍ未満の場合、あるいは寸法Ｌ3 が
０．８ｍｍ未満の場合、スリット１１の形成により、エ
ネルギー閉じ込めに必要な共振部及び振動エリアを十分
に確保することができなくなり、特性の劣化が得られ
た。従って、好ましくは、上記寸法Ｌ2 は０．８ｍｍ以
上であることが望ましく、同様に、Ｌ2 ＋Ｌ3 は２．０
ｍｍ以上、Ｌ3 は０．８ｍｍ以上であることが望まし
い。
【００２７】
【発明の効果】以上のように、本発明に係る圧電振動部
品では、圧電基板に複数の共振部を構成し、共振部間の
干渉を抑制するためのスリットが圧電基板の一側面から
第１の方向に沿って圧電基板内に延びている圧電振動部
品において、上記共振部を構成する第１，第２の共振電
極及びスリットの形成位置について、上述した式（１）
を満たすように構成しているので、スリットの両側の共
振部間の干渉を効果的に抑制することができ、良好な共
振特性を得ることができるだけでなく、十分な機械的強
度を有する圧電振動部品を提供することが可能となる。
品では、圧電基板に複数の共振部を構成し、共振部間の
干渉を抑制するためのスリットが圧電基板の一側面から
第１の方向に沿って圧電基板内に延びている圧電振動部
品において、上記共振部を構成する第１，第２の共振電
極及びスリットの形成位置について、上述した式（１）
を満たすように構成しているので、スリットの両側の共
振部間の干渉を効果的に抑制することができ、良好な共
振特性を得ることができるだけでなく、十分な機械的強
度を有する圧電振動部品を提供することが可能となる。
【図１】本発明の一実施例に係る圧電振動部品を説明す
るための平面図。
るための平面図。
【図２】本発明の一実施例の圧電振動部品を説明するた
めの底面図。
めの底面図。
【図３】実施例の圧電振動部品の抗折強度を測定する方
法を説明するための模式的平面図及び正面図。
法を説明するための模式的平面図及び正面図。
【図４】スリットの長さと、中心周波数から３００ｋＭ
Ｈｚ低い離調点における減衰量との関係を示す図。
Ｈｚ低い離調点における減衰量との関係を示す図。
【図５】スリットの長さと、中心周波数から３００ｋＭ
Ｈｚ高い離調点における減衰量との関係を示す図。
Ｈｚ高い離調点における減衰量との関係を示す図。
【図６】スリットの長さと、中心周波数から３５０ｋＭ
Ｈｚ低い離調点における減衰量との関係を示す図。
Ｈｚ低い離調点における減衰量との関係を示す図。
【図７】スリットの長さと、中心周波数から３５０ｋＭ
Ｈｚ高い離調点における減衰量との関係を示す図。
Ｈｚ高い離調点における減衰量との関係を示す図。
【図８】スリットの長さの比と圧電基板の抗折強度比と
の関係を示す図。
の関係を示す図。
【図９】スリットの長さとスプリアス改善効果との関係
を示す図。
を示す図。
１…圧電振動部品 ２…圧電基板 ２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄ…圧電基板の側面 ３，７…第１の共振電極 ４，８…第２の共振電極 ５，９…ギャップ ６，１０…共通電極 １１…スリット ａ…スリットの長さ
Claims (1)
- 【請求項１】 圧電基板に複数の共振部が構成されてお
り、かつ共振部間の干渉を抑制するためのスリットが圧
電基板の一側面から第１の方向に沿って圧電基板内に延
びており、各共振部がギャップを隔てて対向するように
圧電基板の一方主面に形成された第１，第２の共振電極
と、圧電基板の他方主面に形成されており、かつ圧電基
板を介して第１，第２の共振電極と重なり合っている共
通電極とを有する圧電振動部品において、 前記スリットの長さをａ、前記共振部における第１，第
２の共振電極の対向方向に沿うギャップ幅をｇ、圧電基
板の側面及びスリット側面のうち、ギャップの中心から
最も近い側面までの距離をＬ1 、圧電基板の第１の方向
に沿う外寸をＬとしたときに、Ｌ1 −ｇ／２＝ｂとする
と、ｂ＜ａ≦（３／４）Ｌとされていることを特徴とす
る、圧電振動部品。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9192783A JPH1141057A (ja) | 1997-07-17 | 1997-07-17 | 圧電振動部品 |
| CNB981155057A CN1170324C (zh) | 1997-07-17 | 1998-06-26 | 压电振动装置 |
| US09/116,635 US6087758A (en) | 1997-07-17 | 1998-07-16 | Piezoelectric vibration device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9192783A JPH1141057A (ja) | 1997-07-17 | 1997-07-17 | 圧電振動部品 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1141057A true JPH1141057A (ja) | 1999-02-12 |
Family
ID=16296934
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9192783A Pending JPH1141057A (ja) | 1997-07-17 | 1997-07-17 | 圧電振動部品 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6087758A (ja) |
| JP (1) | JPH1141057A (ja) |
| CN (1) | CN1170324C (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5605433B2 (ja) * | 2010-11-01 | 2014-10-15 | 株式会社村田製作所 | 圧電振動装置 |
| US9279739B2 (en) | 2012-04-20 | 2016-03-08 | The Regents Of The University Of Michigan, University Of Michigan Office Of Technology Transfer | Virtual noncontact excitation |
| US9991770B2 (en) | 2013-08-09 | 2018-06-05 | Black & Decker Inc. | Spring post for brush card for a power tool |
| US20150042204A1 (en) | 2013-08-09 | 2015-02-12 | Black & Decker Inc. | Brush assembly for an electric motor |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3633134A (en) * | 1969-10-10 | 1972-01-04 | Motorola Inc | Crystal band pass filter circuit |
| DE2009379C3 (de) * | 1970-02-27 | 1975-01-30 | Gebrueder Junghans Gmbh, 7230 Schramberg | Piezoelektrischer Oszillator in Form einer Stimmgabel als Zeitnormal für zeithaltende Geräte |
| JPS58135128A (ja) * | 1982-02-05 | 1983-08-11 | Mitsubishi Metal Corp | インジウムの回収方法 |
| JPS603222A (ja) * | 1983-06-20 | 1985-01-09 | Murata Mfg Co Ltd | 圧電共振装置およびその製造方法 |
| JPS6039913A (ja) * | 1983-08-15 | 1985-03-02 | Murata Mfg Co Ltd | 圧電フイルタ |
| JPS6459326A (en) * | 1987-08-31 | 1989-03-07 | Seiko Epson Corp | Active device |
-
1997
- 1997-07-17 JP JP9192783A patent/JPH1141057A/ja active Pending
-
1998
- 1998-06-26 CN CNB981155057A patent/CN1170324C/zh not_active Expired - Lifetime
- 1998-07-16 US US09/116,635 patent/US6087758A/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN1211105A (zh) | 1999-03-17 |
| CN1170324C (zh) | 2004-10-06 |
| US6087758A (en) | 2000-07-11 |
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