JPH11354056A - 真空内作業装置の保安方法およびｘ線発生装置の保安方法 - Google Patents
真空内作業装置の保安方法およびｘ線発生装置の保安方法Info
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- JPH11354056A JPH11354056A JP16306098A JP16306098A JPH11354056A JP H11354056 A JPH11354056 A JP H11354056A JP 16306098 A JP16306098 A JP 16306098A JP 16306098 A JP16306098 A JP 16306098A JP H11354056 A JPH11354056 A JP H11354056A
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- vacuum
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- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 イオンゲージ等の真空計を用いることなく、
簡易に密封室内の真空圧を監視し、密封室内での安全な
作業を確保できるようにする 【解決手段】 ターボ分子ポンプにより真空引きされる
密封室内で、ターゲットに向けて電子銃から電子を発射
することにより、ターゲット表面からＸ線を発生させる
Ｘ線発生装置において、真空吸引動作実行中のターボ分
子ポンプのモータ負荷電流Ｉを監視し、真空吸引動作実
行中のターボ分子ポンプのモータ負荷電流Ｉが、あらか
じめ定めた下限値Ｉ１よりも低くなったとき、密封室内
でのＸ線発生動作を許容する。また、真空吸引動作実行
中のターボ分子ポンプのモータ負荷電流Ｉが、あらかじ
め定めた上限値Ｉ０よりも高くなったとき、密封室内で
のＸ線発生動作を停止させる。
簡易に密封室内の真空圧を監視し、密封室内での安全な
作業を確保できるようにする 【解決手段】 ターボ分子ポンプにより真空引きされる
密封室内で、ターゲットに向けて電子銃から電子を発射
することにより、ターゲット表面からＸ線を発生させる
Ｘ線発生装置において、真空吸引動作実行中のターボ分
子ポンプのモータ負荷電流Ｉを監視し、真空吸引動作実
行中のターボ分子ポンプのモータ負荷電流Ｉが、あらか
じめ定めた下限値Ｉ１よりも低くなったとき、密封室内
でのＸ線発生動作を許容する。また、真空吸引動作実行
中のターボ分子ポンプのモータ負荷電流Ｉが、あらかじ
め定めた上限値Ｉ０よりも高くなったとき、密封室内で
のＸ線発生動作を停止させる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、ターボ分子ポン
プにより真空引きされる密封室内で所定の作業を実行す
る真空内作業装置（例えば、Ｘ線発生装置）の保安方法
に関する。
プにより真空引きされる密封室内で所定の作業を実行す
る真空内作業装置（例えば、Ｘ線発生装置）の保安方法
に関する。
【０００２】
【従来の技術】図４はＸ線発生装置の一般的な構成例を
示す模式図である。同図に示すように、Ｘ線発生装置
は、密封室１内に電子銃２とターゲット（対陰極）３と
を対向して配置し、電子銃２のフィラメントから発射し
た電子をターゲット３に衝突させ、その際にターゲット
３の表面から発生するＸ線を、透過窓４から取り出す構
成を備えている。電子銃２のフィラメントから発射した
電子を効率よく放出させ、フィラメントの寿命を長く保
つためには、密封室１内の分子を排出して真空雰囲気を
形成する必要があり、このためにターボ分子ポンプが用
いられている。
示す模式図である。同図に示すように、Ｘ線発生装置
は、密封室１内に電子銃２とターゲット（対陰極）３と
を対向して配置し、電子銃２のフィラメントから発射し
た電子をターゲット３に衝突させ、その際にターゲット
３の表面から発生するＸ線を、透過窓４から取り出す構
成を備えている。電子銃２のフィラメントから発射した
電子を効率よく放出させ、フィラメントの寿命を長く保
つためには、密封室１内の分子を排出して真空雰囲気を
形成する必要があり、このためにターボ分子ポンプが用
いられている。
【０００３】しかしながら、ターゲット３や密封室１へ
の電子の衝突などにより密封室１内にガスが発生するこ
とは避けられない。また、密封室１のシール部が損耗し
て高度な気密性を保持できなくなることもある。このよ
うな原因から密封室１内の真空圧が過度に高くなると、
ガス濃度の高い部分等で放電が発生し、放電が継続する
とその部分に放電経路が形成され、その後は耐圧が極端
に悪くなる。また、密封室１内の各構成部材を損傷させ
る危険もある。
の電子の衝突などにより密封室１内にガスが発生するこ
とは避けられない。また、密封室１のシール部が損耗し
て高度な気密性を保持できなくなることもある。このよ
うな原因から密封室１内の真空圧が過度に高くなると、
ガス濃度の高い部分等で放電が発生し、放電が継続する
とその部分に放電経路が形成され、その後は耐圧が極端
に悪くなる。また、密封室１内の各構成部材を損傷させ
る危険もある。
【０００４】そこで、従来のＸ線発生装置には、密封室
１内にイオンゲージ等からなる真空計が配設してあり、
該真空計により密封室１内の真空圧を常時測定してお
り、真空圧が一定のレベルより低くなったとき（高真空
状態となったとき）、Ｘ線を発生させるための動作を許
容するとともに、真空圧が一定のレベルより高くなった
ときは該Ｘ線発生動作を強制的に停止させる真空スイッ
チ（保安回路）が設けられていた。
１内にイオンゲージ等からなる真空計が配設してあり、
該真空計により密封室１内の真空圧を常時測定してお
り、真空圧が一定のレベルより低くなったとき（高真空
状態となったとき）、Ｘ線を発生させるための動作を許
容するとともに、真空圧が一定のレベルより高くなった
ときは該Ｘ線発生動作を強制的に停止させる真空スイッ
チ（保安回路）が設けられていた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上述したように、従来
のＸ線発生装置には、イオンゲージ等の真空計を用いた
真空スイッチが設けてあったが、この種の真空計は一般
に高価格であり、そのため製品コストの低価格化を図る
上で大きな障壁となっていた。
のＸ線発生装置には、イオンゲージ等の真空計を用いた
真空スイッチが設けてあったが、この種の真空計は一般
に高価格であり、そのため製品コストの低価格化を図る
上で大きな障壁となっていた。
【０００６】また、周知のとおりイオンゲージはイオン
生成用のフィラメントを備えているが、このフィラメン
トは低真空で通電した場合に断線し易く、また断線しな
い程度の真空圧でも消耗し易く耐久性が低い。したがっ
て、保守管理コストも高価格となる問題を有していた。
さらに、フィラメントが損傷した場合、その交換作業終
了までＸ線発生動作を停止させる必要があり、稼働効率
にも悪影響を与えることがあった。
生成用のフィラメントを備えているが、このフィラメン
トは低真空で通電した場合に断線し易く、また断線しな
い程度の真空圧でも消耗し易く耐久性が低い。したがっ
て、保守管理コストも高価格となる問題を有していた。
さらに、フィラメントが損傷した場合、その交換作業終
了までＸ線発生動作を停止させる必要があり、稼働効率
にも悪影響を与えることがあった。
【０００７】この発明は、上述した事情に鑑みてなされ
たもので、イオンゲージ等の真空計を用いることなく、
簡易に密封室内の真空圧を監視し、密封室内での安全な
作業を確保できるようにすることを目的とする。
たもので、イオンゲージ等の真空計を用いることなく、
簡易に密封室内の真空圧を監視し、密封室内での安全な
作業を確保できるようにすることを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、この発明は、ターボ分子ポンプにより真空引きされ
る密封室内で、所定の作業を実行する真空内作業装置に
おいて、真空吸引動作実行中のターボ分子ポンプのモー
タ負荷電流を監視し、該モータ負荷電流の値に基づき密
封室内での作業を制御する方法としてある。
に、この発明は、ターボ分子ポンプにより真空引きされ
る密封室内で、所定の作業を実行する真空内作業装置に
おいて、真空吸引動作実行中のターボ分子ポンプのモー
タ負荷電流を監視し、該モータ負荷電流の値に基づき密
封室内での作業を制御する方法としてある。
【０００９】密封室内に真空雰囲気が形成され、ターボ
分子ポンプのモータが定常運転に入ると、同モータにか
かる負荷は低減され、低い負荷電流でターボ分子ポンプ
のモータが運転を持続する。ところが、密封室内の真空
圧が高くなると、定常運転時よりも多くのガスを排出す
るために、ターボ分子ポンプのモータにかかる負荷が上
昇し、モータ負荷電流が真空圧にほぼ比例して上昇す
る。
分子ポンプのモータが定常運転に入ると、同モータにか
かる負荷は低減され、低い負荷電流でターボ分子ポンプ
のモータが運転を持続する。ところが、密封室内の真空
圧が高くなると、定常運転時よりも多くのガスを排出す
るために、ターボ分子ポンプのモータにかかる負荷が上
昇し、モータ負荷電流が真空圧にほぼ比例して上昇す
る。
【００１０】この発明は、このような密封室内の真空圧
とターボ分子ポンプのモータ負荷電流との関係に着目
し、真空内作業装置の動作を制御することを特徴として
いる。例えば、モータ負荷電流の値に基づいて、次の
（イ）または（ロ）のように密封室内での作業を制御す
る。
とターボ分子ポンプのモータ負荷電流との関係に着目
し、真空内作業装置の動作を制御することを特徴として
いる。例えば、モータ負荷電流の値に基づいて、次の
（イ）または（ロ）のように密封室内での作業を制御す
る。
【００１１】（イ）真空吸引動作実行中のターボ分子ポ
ンプのモータ負荷電流が、あらかじめ定めた所定値より
も低くなったときに、密封室内での作業を実行可能とす
る。 （ロ）真空吸引動作実行中のターボ分子ポンプのモータ
負荷電流が、あらかじめ定めた所定値よりも高くなった
ときに、密封室内での作業を停止させる。
ンプのモータ負荷電流が、あらかじめ定めた所定値より
も低くなったときに、密封室内での作業を実行可能とす
る。 （ロ）真空吸引動作実行中のターボ分子ポンプのモータ
負荷電流が、あらかじめ定めた所定値よりも高くなった
ときに、密封室内での作業を停止させる。
【００１２】なお一般に、ターボ分子ポンプには、モー
タ負荷電流が過大に流れたとき、真空吸引動作を停止す
るような保安回路が付加されている。この発明は、かか
るターボ分子ポンプの保安回路により真空吸引動作が停
止する以前の状態（すなわち、真空吸引動作実行中）に
おいて、ターボ分子ポンプのモータ負荷電流を監視し
て、真空内作業装置自体の作業動作を制御するものであ
る。
タ負荷電流が過大に流れたとき、真空吸引動作を停止す
るような保安回路が付加されている。この発明は、かか
るターボ分子ポンプの保安回路により真空吸引動作が停
止する以前の状態（すなわち、真空吸引動作実行中）に
おいて、ターボ分子ポンプのモータ負荷電流を監視し
て、真空内作業装置自体の作業動作を制御するものであ
る。
【００１３】またこの発明は、ターボ分子ポンプにより
真空引きされる密封室内で、ターゲットに向けて電子銃
から電子を発射することにより、ターゲット表面からＸ
線を発生させるＸ線発生装置において、上述した密封室
内の真空圧とターボ分子ポンプのモータ負荷電流との関
係に着目して、次の（ａ）または（ｂ）のように密封室
内でのＸ線発生動作を制御することを特徴としている。
真空引きされる密封室内で、ターゲットに向けて電子銃
から電子を発射することにより、ターゲット表面からＸ
線を発生させるＸ線発生装置において、上述した密封室
内の真空圧とターボ分子ポンプのモータ負荷電流との関
係に着目して、次の（ａ）または（ｂ）のように密封室
内でのＸ線発生動作を制御することを特徴としている。
【００１４】（ａ）真空吸引動作実行中のターボ分子ポ
ンプのモータ負荷電流を監視し、真空吸引動作実行中の
ターボ分子ポンプのモータ負荷電流が、あらかじめ定め
た下限値よりも低くなったとき、密封室内でのＸ線発生
動作を許容する。 （ｂ）真空吸引動作実行中のターボ分子ポンプのモータ
負荷電流を監視し、真空吸引動作実行中のターボ分子ポ
ンプのモータ負荷電流が、あらかじめ定めた上限値より
も高くなったとき、密封室内でのＸ線発生動作を停止さ
せる。
ンプのモータ負荷電流を監視し、真空吸引動作実行中の
ターボ分子ポンプのモータ負荷電流が、あらかじめ定め
た下限値よりも低くなったとき、密封室内でのＸ線発生
動作を許容する。 （ｂ）真空吸引動作実行中のターボ分子ポンプのモータ
負荷電流を監視し、真空吸引動作実行中のターボ分子ポ
ンプのモータ負荷電流が、あらかじめ定めた上限値より
も高くなったとき、密封室内でのＸ線発生動作を停止さ
せる。
【００１５】本発明によれば、ターボ分子ポンプのモー
タ負荷電流を監視することにより簡易に密封室内の真空
圧を測定できるので、イオンゲージ等の真空計が必要な
くなり、製品コスト低価格化を実現できる。加えて、真
空計の保守管理コストが必要なくなり、しかも真空計の
保守に伴う稼働効率の低下もなくすことができるメリッ
トがある。
タ負荷電流を監視することにより簡易に密封室内の真空
圧を測定できるので、イオンゲージ等の真空計が必要な
くなり、製品コスト低価格化を実現できる。加えて、真
空計の保守管理コストが必要なくなり、しかも真空計の
保守に伴う稼働効率の低下もなくすことができるメリッ
トがある。
【００１６】
【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の形態につ
いて図面を参照して詳細に説明する。この実施形態で
は、ターボ分子ポンプにより真空引きされる密封室内で
所定の作業を実行する真空内作業装置としてＸ線発生装
置を取り上げ、同装置の保安方法について具体的に説明
していく。
いて図面を参照して詳細に説明する。この実施形態で
は、ターボ分子ポンプにより真空引きされる密封室内で
所定の作業を実行する真空内作業装置としてＸ線発生装
置を取り上げ、同装置の保安方法について具体的に説明
していく。
【００１７】既述したようにＸ線発生装置は、密封室１
内に電子銃２とターゲット（対陰極）３とを対向して配
置し、電子銃２から発射した電子をターゲット３に衝突
させ、その際にターゲット３の表面から発生するＸ線
を、透過窓４から取り出す構成を備えている（図４参
照）。
内に電子銃２とターゲット（対陰極）３とを対向して配
置し、電子銃２から発射した電子をターゲット３に衝突
させ、その際にターゲット３の表面から発生するＸ線
を、透過窓４から取り出す構成を備えている（図４参
照）。
【００１８】電子銃２から発射した電子を効率よく放出
させるためには、密封室１内の分子を排出して高真空雰
囲気を形成する必要があり、このためにターボ分子ポン
プ（以下、「ＴＭＰ」と省略することもある）が用いら
れている。
させるためには、密封室１内の分子を排出して高真空雰
囲気を形成する必要があり、このためにターボ分子ポン
プ（以下、「ＴＭＰ」と省略することもある）が用いら
れている。
【００１９】図１はＸ線発生装置の密封室１内を真空排
気する際における、ＴＭＰのモータ負荷電流Ｉ、モータ
電圧Ｖ、モータ回転数Ｒ、および密封室１内の真空圧Ｐ
の関係を示す図である。補助真空ポンプにより密封室１
内を粗排気した後、ＴＭＰを始動する。始動直後は、モ
ータの回転数Ｒを上げるために大きなパワーが必要とな
るため、モータ電圧Ｖは大きい値に設定する（期間
）。このとき、モータには大きな負荷が作用するため
に、モータ負荷電流Ｉも大きい値を示す。
気する際における、ＴＭＰのモータ負荷電流Ｉ、モータ
電圧Ｖ、モータ回転数Ｒ、および密封室１内の真空圧Ｐ
の関係を示す図である。補助真空ポンプにより密封室１
内を粗排気した後、ＴＭＰを始動する。始動直後は、モ
ータの回転数Ｒを上げるために大きなパワーが必要とな
るため、モータ電圧Ｖは大きい値に設定する（期間
）。このとき、モータには大きな負荷が作用するため
に、モータ負荷電流Ｉも大きい値を示す。
【００２０】ＴＭＰのモータ回転数Ｒが上昇し、所定の
回転数に安定すると、モータ電圧Ｖは小さい値に切り替
えられる（時点）。その後は慣性力により低トルクに
てモータが高速回転を維持するため、モータ負荷電流Ｉ
も小さくなる（期間）。
回転数に安定すると、モータ電圧Ｖは小さい値に切り替
えられる（時点）。その後は慣性力により低トルクに
てモータが高速回転を維持するため、モータ負荷電流Ｉ
も小さくなる（期間）。
【００２１】真空吸引動作実行中は、密封室１内が真空
排気されていくに応じて、モータ負荷電流Ｉが緩やかに
小さくなって、その後真空圧Ｐが密封室１内に発生した
ガスと平衡になり、モータ負荷電流Ｉも一定となる。こ
こで、密封室１内に過度のガスが発生して真空圧が上昇
すると、ＴＭＰのモータに対する回転負荷が大きくな
る。したがって、ＴＭＰのモータ回転数を維持するため
にモータ負荷電流が真空圧にほぼ比例して上昇する。図
２は密封室内のガス発生による真空圧の変化に対応した
ＴＭＰモータ負荷電流の変化を拡大して示す図である。
排気されていくに応じて、モータ負荷電流Ｉが緩やかに
小さくなって、その後真空圧Ｐが密封室１内に発生した
ガスと平衡になり、モータ負荷電流Ｉも一定となる。こ
こで、密封室１内に過度のガスが発生して真空圧が上昇
すると、ＴＭＰのモータに対する回転負荷が大きくな
る。したがって、ＴＭＰのモータ回転数を維持するため
にモータ負荷電流が真空圧にほぼ比例して上昇する。図
２は密封室内のガス発生による真空圧の変化に対応した
ＴＭＰモータ負荷電流の変化を拡大して示す図である。
【００２２】この実施形態に係る保安方法は、上述した
ような真空吸引動作実行中におけるＴＭＰのモータ負荷
電流Ｉの変化に着目し、モータ負荷電流Ｉがあらかじめ
設定した値Ｉ１より小さくなったときに、Ｘ線の発生動
作を許容するとともに、モータ負荷電流Ｉがあらかじめ
設定した値Ｉ２を越えたときに、Ｘ線の発生動作を強制
的に停止するようにしてある。これらの設定値Ｉ１，Ｉ
２は、任意に設定することができる。この実施形態で
は、Ｉ２＞Ｉ１としてある。
ような真空吸引動作実行中におけるＴＭＰのモータ負荷
電流Ｉの変化に着目し、モータ負荷電流Ｉがあらかじめ
設定した値Ｉ１より小さくなったときに、Ｘ線の発生動
作を許容するとともに、モータ負荷電流Ｉがあらかじめ
設定した値Ｉ２を越えたときに、Ｘ線の発生動作を強制
的に停止するようにしてある。これらの設定値Ｉ１，Ｉ
２は、任意に設定することができる。この実施形態で
は、Ｉ２＞Ｉ１としてある。
【００２３】Ｘ線発生装置には各種の保安回路が付加さ
れており、この実施形態に係る保安方法もそのうちの一
つとして用いられ、Ｘ線発生装置の制御プログラムに組
み込まれる。なお、モータにかかる負荷が増大して、モ
ータ負荷電流Ｉが所定の限界値Ｉ０（＞Ｉ２＞Ｉ１）を
越えると、強制的に真空吸引動作を停止するように制御
されている。このようなＴＭＰに対する保安制御は、従
来から行われていた。
れており、この実施形態に係る保安方法もそのうちの一
つとして用いられ、Ｘ線発生装置の制御プログラムに組
み込まれる。なお、モータにかかる負荷が増大して、モ
ータ負荷電流Ｉが所定の限界値Ｉ０（＞Ｉ２＞Ｉ１）を
越えると、強制的に真空吸引動作を停止するように制御
されている。このようなＴＭＰに対する保安制御は、従
来から行われていた。
【００２４】図３はこの実施形態に係る保安方法を適用
したＸ線発生装置の動作制御を示すフローチャートであ
る。まず、補助ポンプを作動して密封室１内を大気圧か
ら粗排気し（Ｓ１）、所定の値まで密封室１内を減圧し
た後、ＴＭＰを作動するとともに（Ｓ２）、ＴＭＰのモ
ータ負荷電流Ｉを検出する（Ｓ３）。
したＸ線発生装置の動作制御を示すフローチャートであ
る。まず、補助ポンプを作動して密封室１内を大気圧か
ら粗排気し（Ｓ１）、所定の値まで密封室１内を減圧し
た後、ＴＭＰを作動するとともに（Ｓ２）、ＴＭＰのモ
ータ負荷電流Ｉを検出する（Ｓ３）。
【００２５】そして、モータ負荷電流Ｉが設定値Ｉ１よ
り小さくなったとき（Ｓ４）、Ｘ線発生動作を許容する
（Ｓ５）。Ｘ線発生動作の許容は、Ｘ線発生装置の表示
部に表示される。Ｘ線発生動作が許容されると、オペレ
ータによるＸ線発生装置の作動操作が有効となり、Ｘ線
発生装置が作動して、Ｘ線発生動作が実行される（Ｓ
６）。
り小さくなったとき（Ｓ４）、Ｘ線発生動作を許容する
（Ｓ５）。Ｘ線発生動作の許容は、Ｘ線発生装置の表示
部に表示される。Ｘ線発生動作が許容されると、オペレ
ータによるＸ線発生装置の作動操作が有効となり、Ｘ線
発生装置が作動して、Ｘ線発生動作が実行される（Ｓ
６）。
【００２６】Ｘ線発生装置の制御部は、Ｘ線発生動作
中、ＴＭＰのモータ負荷電流Ｉの検出信号を入力してお
り、モータ負荷電流Ｉが設定値Ｉ２を越えたとき（Ｓ
７）、Ｘ線発生動作を強制的に停止させる（Ｓ８）。
中、ＴＭＰのモータ負荷電流Ｉの検出信号を入力してお
り、モータ負荷電流Ｉが設定値Ｉ２を越えたとき（Ｓ
７）、Ｘ線発生動作を強制的に停止させる（Ｓ８）。
【００２７】なおこの発明は、Ｘ線発生装置以外にも、
ターボ分子ポンプにより真空引きされる密封室内で所定
の作業を実行する各種の真空内作業装置に適用すること
ができる。また、この発明の適用により真空計の設置は
必要なくなるが、密封室内の真空圧力をより高精度に監
視するために、この発明の保安方法とは別に、真空計を
任意に設置することは自由である。
ターボ分子ポンプにより真空引きされる密封室内で所定
の作業を実行する各種の真空内作業装置に適用すること
ができる。また、この発明の適用により真空計の設置は
必要なくなるが、密封室内の真空圧力をより高精度に監
視するために、この発明の保安方法とは別に、真空計を
任意に設置することは自由である。
【００２８】
【発明の効果】以上説明したように、この発明によれ
ば、ターボ分子ポンプのモータ負荷電流を監視すること
により簡易に密封室内の真空圧を測定できるので、イオ
ンゲージ等の真空計が必要なくなり、製品コスト低価格
化を実現できる。加えて、真空計の保守管理コストが必
要なくなり、しかも真空計の保守に伴う稼働効率の低下
もなくすことができる
ば、ターボ分子ポンプのモータ負荷電流を監視すること
により簡易に密封室内の真空圧を測定できるので、イオ
ンゲージ等の真空計が必要なくなり、製品コスト低価格
化を実現できる。加えて、真空計の保守管理コストが必
要なくなり、しかも真空計の保守に伴う稼働効率の低下
もなくすことができる
【図１】Ｘ線発生装置の密封室内を真空排気する際にお
ける、ＴＭＰのモータ負荷電流Ｉ、モータ電圧Ｖ、モー
タ回転数Ｒ、および密封室内の真空圧Ｐの関係を示す図
である。
ける、ＴＭＰのモータ負荷電流Ｉ、モータ電圧Ｖ、モー
タ回転数Ｒ、および密封室内の真空圧Ｐの関係を示す図
である。
【図２】密封室内のガス発生による真空圧の変化に対応
したＴＭＰモータ負荷電流の変化を拡大して示す図であ
る。
したＴＭＰモータ負荷電流の変化を拡大して示す図であ
る。
【図３】この発明の実施形態に係る保安方法を適用した
Ｘ線発生装置の動作制御を示すフローチャートである。
Ｘ線発生装置の動作制御を示すフローチャートである。
【図４】Ｘ線発生装置の一般的な構成例を示す模式図で
ある。
ある。
１：密封室 ２：電子銃 ３：ターゲット ４：透過窓
Claims (5)
- 【請求項１】 ターボ分子ポンプにより真空引きされる
密封室内で、所定の作業を実行する真空内作業装置にお
いて、 真空吸引動作実行中の前記ターボ分子ポンプのモータ負
荷電流を監視し、該モータ負荷電流の値に基づき前記密
封室内での作業を制御することを特徴とする真空内作業
装置の保安方法。 - 【請求項２】 請求項１記載の真空内作業装置の保安方
法において、 前記真空吸引動作実行中のターボ分子ポンプのモータ負
荷電流が、あらかじめ定めた所定値よりも低くなったと
きに、前記密封室内での作業を実行可能とすることを特
徴とする真空内作業装置の保安方法。 - 【請求項３】 請求項１または２記載の真空内作業装置
の保安方法において、 前記真空吸引動作実行中のターボ分子ポンプのモータ負
荷電流が、あらかじめ定めた所定値よりも高くなったと
きに、前記密封室内での作業を停止させることを特徴と
する真空内作業装置の保安方法。 - 【請求項４】 ターボ分子ポンプにより真空引きされる
密封室内で、ターゲットに向けて電子銃から電子を発射
することにより、ターゲット表面からＸ線を発生させる
Ｘ線発生装置において、 真空吸引動作実行中の前記ターボ分子ポンプのモータ負
荷電流を監視し、 前記真空吸引動作実行中のターボ分子ポンプのモータ負
荷電流が、あらかじめ定めた下限値よりも低くなったと
き、前記密封室内でのＸ線発生動作を許容することを特
徴とするＸ線発生装置の保安方法。 - 【請求項５】 ターボ分子ポンプにより真空引きされる
密封室内で、ターゲットに向けて電子銃から電子を発射
することにより、ターゲット表面からＸ線を発生させる
Ｘ線発生装置において、 真空吸引動作実行中の前記ターボ分子ポンプのモータ負
荷電流を監視し、 前記真空吸引動作実行中のターボ分子ポンプのモータ負
荷電流が、あらかじめ定めた上限値よりも高くなったと
き、前記密封室内でのＸ線発生動作を停止させることを
特徴とするＸ線発生装置の保安方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16306098A JPH11354056A (ja) | 1998-06-11 | 1998-06-11 | 真空内作業装置の保安方法およびｘ線発生装置の保安方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16306098A JPH11354056A (ja) | 1998-06-11 | 1998-06-11 | 真空内作業装置の保安方法およびｘ線発生装置の保安方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11354056A true JPH11354056A (ja) | 1999-12-24 |
Family
ID=15766423
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16306098A Pending JPH11354056A (ja) | 1998-06-11 | 1998-06-11 | 真空内作業装置の保安方法およびｘ線発生装置の保安方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11354056A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN118053645A (zh) * | 2024-04-16 | 2024-05-17 | 电子科技大学 | 一种用于回旋行波管功率模块的抽真空制冷系统 |
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1998
- 1998-06-11 JP JP16306098A patent/JPH11354056A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN118053645A (zh) * | 2024-04-16 | 2024-05-17 | 电子科技大学 | 一种用于回旋行波管功率模块的抽真空制冷系统 |
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