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JPH11339967A - Organic el element - Google Patents

Organic el element

Info

Publication number
JPH11339967A
JPH11339967A JP10159923A JP15992398A JPH11339967A JP H11339967 A JPH11339967 A JP H11339967A JP 10159923 A JP10159923 A JP 10159923A JP 15992398 A JP15992398 A JP 15992398A JP H11339967 A JPH11339967 A JP H11339967A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
organic
layer
oxide
aluminum
electrode
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP10159923A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Michio Arai
三千男 荒井
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
TDK Corp
Original Assignee
TDK Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by TDK Corp filed Critical TDK Corp
Priority to JP10159923A priority Critical patent/JPH11339967A/en
Publication of JPH11339967A publication Critical patent/JPH11339967A/en
Withdrawn legal-status Critical Current

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  • Electroluminescent Light Sources (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To improve heat resistance and weather resistance, to reduce a leak and a dark spot and to improve productivity by providing an organic layer related to a luminescent function between a pair of electrodes formed on a substrate, and providing an insulating layer between the organic layer and one electrode. SOLUTION: A first electrode 2, an insulating layer 3, an organic layer 4 and a second electrode 5 are laminated in sequence on a substrate 1 to form an organic EL element. When an AC voltage is applied between the electrodes 2, 5, holes and electrodes are injected into the organic layer 4 by polarization of the insulating layer 3 and recombined for luminescent. Two or more luminescence layers may be laminated. A layer having a hole injection transport material or a layer having an electron injection transport material may be provided in the organic layer 4. A first electrode 2, organic layer 4, insulating layer 3 and a second electrode 5 may be laminated in sequence on the substrate 1. The organic layer 4 participates in a luminescent function and has a function for generating stimulater via the transport of holes and electrons and the recombination of holes and electrons.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、有機EL素子に関
し、詳しくは、交流駆動する有機EL素子に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an organic EL device, and more particularly, to an AC driven organic EL device.

【0002】[0002]

【従来の技術】有機EL素子は、蛍光性有機化合物を含
む薄膜を、電子注入電極とホール注入電極とで挟んだ構
成を有し、前記薄膜に電子およびホールを注入して再結
合させることにより励起子(エキシトン)を生成させ、
このエキシトンが失活する際の光の放出(蛍光・燐光)
を利用して発光する素子である。
2. Description of the Related Art An organic EL device has a structure in which a thin film containing a fluorescent organic compound is sandwiched between an electron injection electrode and a hole injection electrode, and electrons and holes are injected into the thin film and recombined. Generate excitons,
Light emission when this exciton is deactivated (fluorescence / phosphorescence)
This is an element that emits light by utilizing.

【0003】有機EL素子の特徴は、10V前後の電圧
で数100から数10000cd/m2ときわめて高い輝度
の面発光が可能であり、また蛍光物質の種類を選択する
ことにより青色から赤色までの発光が可能なことであ
る。
[0003] The characteristics of the organic EL element are that it can emit a very high luminance of several hundreds to several tens of thousands cd / m 2 at a voltage of about 10 V, and can change the color from blue to red by selecting the type of fluorescent substance. Light emission is possible.

【0004】ところで、有機EL素子として、ホール注
入電極にスズドープ酸化インジウム(ITO)透明電極
を使用し、ホール注入輸送層等用のホール注入輸送性化
合物にテトラアリーレンジアミン誘導体を使用した構成
のものが知られている(特開昭63−295695号
等)。
Meanwhile, an organic EL device having a structure using a tin-doped indium oxide (ITO) transparent electrode as a hole injection electrode and a tetraarylenediamine derivative as a hole injection / transport compound for a hole injection / transport layer or the like is known. It is known (JP-A-63-29569, etc.).

【0005】しかし、例えばN,N,N’,N’−テト
ラキス(−m−ビフェニル)−1,1’−ビフェニル−
4,4’−ジアミンのようなテトラアリーレンジアミン
誘導体の層をITO透明電極上に直接形成した場合、テ
トラアリーレンジアミン誘導体の結晶化や層の剥離によ
って発光寿命が十分でないという問題がある。
However, for example, N, N, N ', N'-tetrakis (-m-biphenyl) -1,1'-biphenyl-
When a layer of a tetraarylenediamine derivative such as 4,4′-diamine is formed directly on the ITO transparent electrode, there is a problem that the luminescence lifetime is not sufficient due to crystallization of the tetraarylenediamine derivative or separation of the layer.

【0006】このような問題に対処するために、ITO
透明電極とテトラアリーレンジアミン誘導体を含有する
層との間に、ホール注入輸送性化合物でもある4,
4’,4”−トリス(−N−(−3−メチルフェニル)
−N−フェニルアミノ)トリフェニルアミン(MTDA
TA)を含有する層を設け、ホール注入効果を得るとと
もに、両層の密着性を改善することが行われている(特
開平4−308688号等)。しかしながら、例えば
4,4’,4”−トリス(−N−(−3−メチルフェニ
ル)−N−フェニルアミノ)トリフェニルアミンはガラ
ス転移温度が80℃程度であり、耐熱性が不十分であ
る。
In order to deal with such a problem, ITO
4, which is also a hole injecting and transporting compound, between the transparent electrode and the layer containing the tetraarylenediamine derivative.
4 ', 4 "-tris (-N-(-3-methylphenyl)
-N-phenylamino) triphenylamine (MTDA
It has been practiced to provide a layer containing TA) to obtain a hole injection effect and to improve the adhesion between the two layers (Japanese Patent Laid-Open No. 4-308688, etc.). However, for example, 4,4 ′, 4 ″ -tris (-N-(-3-methylphenyl) -N-phenylamino) triphenylamine has a glass transition temperature of about 80 ° C. and insufficient heat resistance. .

【0007】また、発光層と電子注入電極との間にも電
子注入輸送層を設け、電子注入効果を得るとともに、両
者の密着性を改善することも行われている。電子注入輸
送層としては、キノリン誘導体等が用いられている。
An electron injection transport layer is also provided between the light emitting layer and the electron injection electrode to obtain an electron injection effect and to improve the adhesion between the two. A quinoline derivative or the like is used for the electron injection transport layer.

【0008】有機EL素子は、実用上、高い電界強度下
において使用されるものであって発熱からは逃れられな
いものであるため、上記の4,4’,4”−トリス(−
N−(−3−メチルフェニル)−N−フェニルアミノ)
トリフェニルアミン等、有機材料の耐熱性の悪さは深刻
であり、これに起因して発光寿命が十分でないという問
題が生じる。
The organic EL element is used under a high electric field intensity in practical use and cannot escape heat generation. Therefore, the above-mentioned 4,4 ′, 4 ″ -tris (−)
N-(-3-methylphenyl) -N-phenylamino)
The heat resistance of organic materials such as triphenylamine is serious, and this causes a problem that the light emission lifetime is not sufficient.

【0009】また、これらの有機材料が経時的に劣化し
たり、その界面における物性が悪化してくると、リーク
電流による誤発光現象が生じるようになったり、ダーク
スポットと称する非発光領域が発生、拡大し、表示品質
を著しく損ねてしまう。
If these organic materials deteriorate with time or the physical properties at the interface deteriorate, erroneous light emission due to leak current may occur or a non-light emitting region called a dark spot may occur. And display quality is significantly impaired.

【0010】さらに、ホール注入層、電子注入層等に使
用される有機材料は比較的高価である。このため、大盤
のディスプレイや、量産品への応用を考えた場合、コス
トの低減が重要な問題となってくる。
Further, organic materials used for the hole injection layer, the electron injection layer and the like are relatively expensive. For this reason, cost reduction is an important issue when considering application to large displays and mass-produced products.

【0011】[0011]

【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、耐熱
性、耐候性が高く、リークやダークスポットの発生が少
なく、量産性が高く、低コスト化の可能な有機EL素子
を提供することである。
SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide an organic EL device which has high heat resistance and weather resistance, has little occurrence of leaks and dark spots, has high mass productivity, and can be manufactured at low cost. It is.

【0012】[0012]

【課題を解決するための手段】上記目的は、以下の構成
により達成される。 (1) 基板上に、一対の電極と、これらの電極間に少
なくとも発光機能に関与する1種または2種以上の有機
層を有し、前記有機層と前記いずれか一方の電極との間
に、絶縁層を有する有機EL素子。 (2) 前記電極の少なくとも一方が、錫ドープ酸化イ
ンジウムまたは亜鉛ドープ酸化インジウムである上記
(1)の有機EL素子。 (3) 前記絶縁層の膜厚が2〜50nmである上記
(1)または(2)の有機EL素子。 (4) 前記絶縁層が、酸化ケイ素、窒化ケイ素、酸化
鉛、酸化アルミニウム、酸化チタン、酸化ジルコニウ
ム、酸化ハフニウム、酸化ニオブ、酸化タンタル、酸化
リチウム、酸化カルシウム、酸化ストロンチウムおよび
酸化バリウムの1種または2種以上を含有する上記
(1)〜(3)のいずれかの有機EL素子。 (5) 交流駆動される上記(1)〜(4)のいずれか
の有機EL素子。 (6) 前記有機層として、8−キノリノールまたはそ
の誘導体を配位子とするアルミニウム錯体、テトラアリ
ールベンジシン化合物およびルブレンを含有する層を有
する上記(1)〜(5)のいずれかの有機EL素子。
The above object is achieved by the following constitution. (1) On a substrate, a pair of electrodes and at least one or more organic layers involved in at least a light emitting function are provided between the electrodes, and between the organic layer and one of the electrodes. And an organic EL device having an insulating layer. (2) The organic EL device according to (1), wherein at least one of the electrodes is tin-doped indium oxide or zinc-doped indium oxide. (3) The organic EL device according to (1) or (2), wherein the thickness of the insulating layer is 2 to 50 nm. (4) the insulating layer is one of silicon oxide, silicon nitride, lead oxide, aluminum oxide, titanium oxide, zirconium oxide, hafnium oxide, niobium oxide, tantalum oxide, lithium oxide, calcium oxide, strontium oxide, and barium oxide; The organic EL device according to any one of the above (1) to (3), comprising at least two types. (5) The organic EL device according to any one of (1) to (4), which is driven by an alternating current. (6) The organic EL according to any one of (1) to (5) above, wherein the organic layer has a layer containing an aluminum complex having 8-quinolinol or a derivative thereof as a ligand, a tetraarylbendicine compound, and rubrene. element.

【0013】[0013]

【発明の実施の形態】本発明の有機EL素子は、基板上
に、一対の電極と、これらの電極間に少なくとも発光機
能に関与する1種または2種以上の有機層を有し、前記
有機層といずれか一方の側の電極との間に絶縁層を有す
る。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION The organic EL device of the present invention has a pair of electrodes on a substrate, and one or more organic layers involved in at least a light emitting function between these electrodes. An insulating layer is provided between the layer and the electrode on either side.

【0014】電極と、有機層と、その間の絶縁層とはコ
ンデンサとして機能し、電極に電圧をかけると誘電分極
が生じる。従って、これを交流電圧とすることにより有
機層に電子・ホールが注入され、発光層中でホールと電
子とが再結合し、発光する。絶縁層は、誘電体であれば
よい。
The electrode, the organic layer, and the insulating layer therebetween function as a capacitor, and when a voltage is applied to the electrode, dielectric polarization occurs. Therefore, by setting this to an AC voltage, electrons and holes are injected into the organic layer, and the holes and electrons are recombined in the light emitting layer to emit light. The insulating layer may be a dielectric.

【0015】通常、有機EL素子は、発光層以外に、ホ
ール注入層や電子注入層等の有機層を有する。これらを
設ける代わりに、無機材料を用いた絶縁層を設けること
により、耐熱性が向上し、酸化被膜などで有機層を挟み
込むこととなるため耐候性が向上し、素子の長寿命化を
図れる。また、比較的高価な有機物質ではなく、安価で
入手しやすい無機材料を用いているので、製造が容易と
なり、製造コストを低減することができる。さらには、
電極との接続性も良好になる。このため、リークの発生
やダークスポットの発生が少ない。
Usually, an organic EL device has an organic layer such as a hole injection layer and an electron injection layer in addition to the light emitting layer. By providing an insulating layer using an inorganic material instead of providing them, heat resistance is improved, and an organic layer is sandwiched by an oxide film or the like, so that weather resistance is improved and the life of the element can be extended. In addition, since an inexpensive and easily available inorganic material is used instead of a relatively expensive organic substance, the production becomes easy and the production cost can be reduced. Furthermore,
The connectivity with the electrodes is also improved. Therefore, the occurrence of leaks and the occurrence of dark spots are small.

【0016】絶縁層の厚さはコンデンサとしての役割を
果たせ、十分な発光が得られれば特に限定されるもので
はない。具体的には、形成材料によっても異なるが、通
常、2〜50nm、特に10〜20nmが好ましい。厚
さがこれより薄いと、十分な効果が得られない。これよ
り厚いと、十分な発光が得られない。
The thickness of the insulating layer can serve as a capacitor, and is not particularly limited as long as sufficient light emission can be obtained. Specifically, although it differs depending on the forming material, it is usually preferably 2 to 50 nm, particularly preferably 10 to 20 nm. If the thickness is smaller than this, a sufficient effect cannot be obtained. If the thickness is larger than this, sufficient light emission cannot be obtained.

【0017】絶縁層を構成する材料としては、酸化ケイ
素(SiO2 )、窒化ケイ素(Si34 )、酸化鉛
(PbO、PbO2)、酸化アルミニウム(Al2
3 )、酸化チタン(TiO2 )、酸化ジルコニウム(Z
rO2)、酸化ハフニウム(HfO2)、酸化ニオブ(N
25 )、酸化タンタル(Ta25 )、酸化リチウム
(Li2O)、酸化カルシウム(CaO)、酸化ストロ
ンチウム(SrO)、酸化バリウム(BaO)等が好ま
しい。また、これらの複合酸化物、例えば、チタン酸バ
リウム(BaTiO3)、ニオブ酸リチウム(LiNb
3)、ジルコニウム酸鉛(PbZrO3)、PZT系材
料(Pb(TiZr)O3)等でもよい。これらの材料
は、通常、その化学量論組成で存在するが、O量やN量
などは多少偏倚していてもよい。また、これらは1種を
用いてもよいし、2種以上を用いてもよい。2種以上を
併用するときは、別層にして積層したり、混合したりす
ればよい。なお、絶縁層2つの組成は異なっていてもよ
い。
Materials constituting the insulating layer include silicon oxide (SiO 2 ), silicon nitride (Si 3 N 4 ), lead oxide (PbO, PbO 2 ), and aluminum oxide (Al 2 O).
3 ), titanium oxide (TiO 2 ), zirconium oxide (Z
rO 2 ), hafnium oxide (HfO 2 ), niobium oxide (N
b 2 O 5), tantalum oxide (Ta 2 O 5), lithium oxide (Li 2 O), calcium oxide (CaO), strontium oxide (SrO), and barium oxide (BaO) are preferred. Further, these composite oxides, for example, barium titanate (BaTiO 3 ), lithium niobate (LiNb)
O 3), lead zirconate (PbZrO 3), PZT-based material (Pb (TiZr) O 3) or the like. These materials usually exist in the stoichiometric composition, but the O amount and the N amount may be slightly deviated. These may be used alone or in combination of two or more. When two or more kinds are used in combination, they may be stacked as separate layers or mixed. Note that the compositions of the two insulating layers may be different.

【0018】絶縁層の誘電率は、1〜200が好まし
い。誘電率がこれより小さいと、十分な効果が得られな
い。
The dielectric constant of the insulating layer is preferably from 1 to 200. If the dielectric constant is smaller than this, a sufficient effect cannot be obtained.

【0019】絶縁層は、光取り出し側に形成される場
合、発光波長帯域、通常400〜700nm、特に各発光
光に対する光透過率が80%以上、特に90%以上であ
ることが好ましい。発光光は絶縁層を通って取り出され
る場合、その透過率が低くなると、発光層からの発光自
体が減衰され、発光素子として必要な輝度が得られなく
なる傾向がある。
When the insulating layer is formed on the light extraction side, the light transmittance is preferably 80% or more, particularly 90% or more for the emission wavelength band, usually 400 to 700 nm, particularly for each emitted light. When the emitted light is extracted through the insulating layer, if the transmittance is reduced, the emission itself from the light emitting layer is attenuated, and the luminance required for the light emitting element tends not to be obtained.

【0020】なお、誘電材料である絶縁層は、有機層と
いずれか一方の電極との間に形成されるため、交流駆動
した場合、絶縁層が形成された側では誘電層を挟んで、
注入される電子またはホールの位相が反転ないし回転す
ることがある。この場合、位相の回転は、絶縁層により
形成されたキャパシタに由来するものである。従って、
駆動回路中にこれをキャンセルするような回路因子、例
えばインダクタ成分を設けたり、絶縁層を有しない側の
電極に同様なキャパシタ成分(位相補償コンデンサ等)
を設けてもよい。
Since the insulating layer, which is a dielectric material, is formed between the organic layer and one of the electrodes, when AC driving is performed, the insulating layer is formed on the side where the insulating layer is formed.
The phase of the injected electrons or holes may be inverted or rotated. In this case, the phase rotation originates in the capacitor formed by the insulating layer. Therefore,
A circuit factor that cancels this out in the drive circuit, for example, an inductor component is provided, or a similar capacitor component (such as a phase compensation capacitor) is provided on the electrode having no insulating layer.
May be provided.

【0021】また、駆動周波数を十分高くして、キャパ
シタの影響(位相の影響)を少なくすることが好まし
い。本発明の有機EL素子は、交流駆動する。通常、印
加電圧は20〜100V程度、動作周波数としては、好
ましくは100Hz以上、特に1k〜10MHz 程度が好ま
しい。あるいは、同様なパルス駆動であってもよい。こ
の際、定電流駆動であっても、定電圧駆動であってもよ
い。
It is preferable that the driving frequency is set sufficiently high to reduce the influence of the capacitor (the effect of the phase). The organic EL device of the present invention is driven by an alternating current. Usually, the applied voltage is about 20 to 100 V, and the operating frequency is preferably 100 Hz or more, particularly preferably about 1 k to 10 MHz. Alternatively, similar pulse driving may be used. At this time, either constant current drive or constant voltage drive may be used.

【0022】光を取り出さない側の電極としては、導電
性物質であればよく、例えば、Al、Ti、Ta、K、
Li、Na、Mg、La、Ce、Ca、Sr、Ba、A
g、In、Sn、Zn、Zr等の金属元素単体、または
それらを含む2成分、3成分の合金系が挙げられる。中
でもAlまたはAl合金が好ましい。Al合金として
は、AlとSc,Nb,Zr,Hf,Nd,Ta,C
u,Si,Cr,Mo,Mn,Ni,Pd,Ptおよび
W等の遷移元素との合金が挙げられる。Al合金を用い
る場合、Alと遷移元素の1種以上との合金が好まし
く、その際Alは90at%以上、特に95at%以上であ
ることが好ましい。
The electrode on the side from which light is not extracted may be any conductive material, for example, Al, Ti, Ta, K,
Li, Na, Mg, La, Ce, Ca, Sr, Ba, A
g, In, Sn, Zn, Zr, and the like, or a binary or ternary alloy system containing them. Among them, Al or an Al alloy is preferable. As the Al alloy, Al and Sc, Nb, Zr, Hf, Nd, Ta, C
alloys with transition elements such as u, Si, Cr, Mo, Mn, Ni, Pd, Pt and W. When an Al alloy is used, an alloy of Al and one or more transition elements is preferable. In this case, the Al content is preferably 90 at% or more, particularly preferably 95 at% or more.

【0023】光を取り出す側の電極は、透明ないし半透
明な電極が好ましい。透明電極としては、ITO(錫ド
ープ酸化インジウム)、IZO(亜鉛ドープ酸化インジ
ウム)、ZnO、SnO2 、In23 等があるが、特
にITO(錫ドープ酸化インジウム)、IZO(亜鉛ド
ープ酸化インジウム)が好ましい。ITOは、通常In
2 3 とSnOとを化学量論組成で含有するが、O量は
多少これから偏倚していてもよい。In23 に対する
SnO2 の混合比は、1〜20wt%、さらには5〜12
wt%が好ましい。また、IZOでのIn23 に対する
ZnO2 の混合比は、通常、12〜32wt%程度であ
る。なお、電極両方とも上記の透明電極として両面から
光を取り出す構成としてもよい。
The electrode on the light extraction side is preferably a transparent or translucent electrode. Examples of the transparent electrode include ITO (tin-doped indium oxide), IZO (zinc-doped indium oxide), ZnO, SnO 2 , In 2 O 3, etc. In particular, ITO (tin-doped indium oxide) and IZO (zinc-doped indium oxide) Is preferred. ITO is usually In
Although 2 O 3 and SnO are contained in a stoichiometric composition, the amount of O may slightly deviate from this. The mixing ratio of SnO 2 to In 2 O 3 is 1 to 20% by weight, more preferably 5 to 12%.
wt% is preferred. The mixing ratio of ZnO 2 to In 2 O 3 in IZO is usually about 12 to 32 wt%. In addition, both electrodes may be configured as the above-mentioned transparent electrodes to extract light from both surfaces.

【0024】光を取り出す側の電極は、発光波長帯域、
通常400〜700nm、特に各発光光に対する光透過率
が80%以上、特に90%以上であることが好ましい。
透過率が低くなると、発光層からの発光自体が減衰さ
れ、発光素子として必要な輝度が得られなくなる傾向が
ある。
The electrode on the light extraction side has an emission wavelength band,
The light transmittance is usually 400 to 700 nm, particularly preferably 80% or more, particularly 90% or more for each emitted light.
When the transmittance is low, the light emission from the light emitting layer itself is attenuated, and the luminance required for the light emitting element tends not to be obtained.

【0025】電極の厚さは、50〜500nm、特に50
〜300nmの範囲が好ましい。また、その上限は特に制
限はないが、あまり厚いと透過率の低下や剥離などの心
配が生じる。厚さが薄すぎると、十分な効果が得られ
ず、製造時の膜強度等の点でも問題がある。
The thickness of the electrode is 50-500 nm, especially 50
The range of -300 nm is preferred. The upper limit is not particularly limited. However, if the thickness is too large, there is a fear that the transmittance is reduced or the layer is peeled off. If the thickness is too small, a sufficient effect cannot be obtained, and there is a problem in film strength at the time of production and the like.

【0026】絶縁層は、CVD、PVD法などにより形
成することができる。PVD法ではスパッタ法が好まし
く、中でもRFスパッタ法が好ましい。
The insulating layer can be formed by CVD, PVD, or the like. In the PVD method, a sputtering method is preferable, and among them, an RF sputtering method is preferable.

【0027】絶縁層を蒸着法で形成する場合、真空蒸着
の条件は特に限定されないが、10-4Pa以下の真空度と
し、蒸着速度は0.01〜1nm/sec 程度とすることが
好ましい。また、真空中で連続して有機層を含む有機E
L構造体の各層を形成することが好ましい。真空中で連
続して形成すれば、各層の界面に不純物が吸着すること
を防げるため、高特性が得られる。
When the insulating layer is formed by a vapor deposition method, the conditions for vacuum vapor deposition are not particularly limited, but it is preferable that the degree of vacuum be 10 -4 Pa or less and the vapor deposition rate be about 0.01 to 1 nm / sec. In addition, organic E containing an organic layer continuously in vacuum
It is preferable to form each layer of the L structure. If they are formed continuously in a vacuum, impurities can be prevented from adsorbing at the interface between the layers, so that high characteristics can be obtained.

【0028】絶縁層をスパッタ法で形成する場合、スパ
ッタガスには、通常のスパッタ装置に使用される不活性
ガスが使用できる。中でも、Ar、Kr、Xeのいずれ
か、あるいは、これらの少なくとも1種以上のガスを含
む混合ガスを用いることが好ましい。
When the insulating layer is formed by a sputtering method, an inert gas used in a usual sputtering apparatus can be used as a sputtering gas. Among them, it is preferable to use any of Ar, Kr, and Xe, or a mixed gas containing at least one of these gases.

【0029】スパッタガスにAr、Kr、Xeのいずれ
かを主スパッタガスとして用いる場合、基板ターゲット
間距離の積は20〜60Pa・cm、特に30〜50Pa・cm
の範囲が好ましい。この条件であればいずれのスパッタ
ガスを用いても好ましい結果を得ることができるが、特
にArを用いることが好ましい。
When any of Ar, Kr, and Xe is used as the main sputtering gas, the product of the distance between the substrate targets is 20 to 60 Pa · cm, particularly 30 to 50 Pa · cm.
Is preferable. Under these conditions, a preferable result can be obtained by using any sputtering gas, but it is particularly preferable to use Ar.

【0030】また、酸素欠損を補うため、スパッタガス
に加えてO2等の酸素ガスを混合して用いてもよい。酸
素ガスの分圧は、スパッタガスに対して0.1〜100
%程度となるように導入すればよい。なお、基板温度、
スパッタガス圧、ターゲット、基板間距離、投入電力等
の成膜条件によって、酸素ガスを同一分圧条件で導入し
ても、バリヤー層中に取り込まれる酸素の量が異なるた
め、これらの条件に合わせて最適な分圧を適宜調整すれ
ばよい。
In order to compensate for oxygen deficiency, an oxygen gas such as O 2 may be mixed and used in addition to the sputtering gas. The partial pressure of the oxygen gas is 0.1 to 100 with respect to the sputtering gas.
% May be introduced. The substrate temperature,
Even if oxygen gas is introduced under the same partial pressure conditions depending on the film forming conditions such as sputtering gas pressure, target, distance between substrates, input power, etc., the amount of oxygen taken in the barrier layer varies, The optimal partial pressure may be adjusted as needed.

【0031】スパッタ法としては、RFスパッタ法を用
いることが好ましい。RFスパッタ装置の電力は1〜1
0W/cm2 の範囲が好ましい。周波数は1〜100MHz
が好ましい。成膜レートは5〜100nm/min 、特に5
〜50nm/min の範囲が好ましい。動作圧力は0.1〜
1Paの範囲が好ましい。
As a sputtering method, it is preferable to use an RF sputtering method. The power of the RF sputtering device is 1 to 1
A range of 0 W / cm 2 is preferred. Frequency is 1-100MHz
Is preferred. The deposition rate is 5 to 100 nm / min, especially 5
The range is preferably from 50 to 50 nm / min. Operating pressure is 0.1 ~
A range of 1 Pa is preferred.

【0032】電極は、蒸着法等によっても形成できる
が、好ましくはスパッタ法、特にDCスパッタあるいは
パルススパッタ法により形成することが好ましい。
The electrode can be formed by a vapor deposition method or the like, but is preferably formed by a sputtering method, particularly, a DC sputtering method or a pulse sputtering method.

【0033】ターゲットとしては、通常、電極の組成と
同じものを用いる。スパッタ時のスパッタガスの圧力
は、0.1〜5Pa、さらに好ましくは0.1〜1Paの範
囲が好ましい。
A target having the same composition as the electrode is usually used. The pressure of the sputtering gas during sputtering is preferably in the range of 0.1 to 5 Pa, more preferably 0.1 to 1 Pa.

【0034】スパッタガスには、通常のスパッタ装置に
使用される不活性ガスが使用できる。中でも、Ar、K
r、Xeのいずれか、あるいは、これらの少なくとも1
種以上のガスを含む混合ガスを用いることが好ましい。
これらは不活性ガスであり、かつ、比較的原子量が大き
いため好ましい。
As the sputtering gas, an inert gas used in a usual sputtering apparatus can be used. Above all, Ar, K
r or Xe, or at least one of these
It is preferable to use a mixed gas containing at least one kind of gas.
These are preferred because they are inert gases and have a relatively large atomic weight.

【0035】スパッタ法としてはRF電源を用いた高周
波スパッタ法等も可能であるが、成膜レートの制御が容
易であるDCスパッタ法を用いることが好ましい。DC
スパッタ装置の電力としては、好ましくは0.1〜10
W/cm2、特に0.5〜7W/cm2の範囲である。また、
成膜レートは0.1〜100nm/min 、特に1〜30nm
/min の範囲が好ましい。
As a sputtering method, a high-frequency sputtering method using an RF power source or the like is possible, but it is preferable to use a DC sputtering method, which can easily control a film formation rate. DC
The power of the sputtering apparatus is preferably 0.1 to 10
W / cm 2, in particular in the range of 0.5~7W / cm 2. Also,
The deposition rate is 0.1 to 100 nm / min, especially 1 to 30 nm
/ Min is preferred.

【0036】上記電極を蒸着法で形成する場合、真空蒸
着の条件は特に限定されないが、10-4Pa以下の真空度
とし、蒸着速度は0.01〜1nm/sec 程度とすること
が好ましい。また、真空中で連続して各層を形成するこ
とが好ましい。真空中で連続して形成すれば、各層の界
面に不純物が吸着することを防げるため、高特性が得ら
れる。
When the above-mentioned electrode is formed by a vapor deposition method, the conditions for vacuum vapor deposition are not particularly limited, but it is preferable that the degree of vacuum be 10 -4 Pa or less and the vapor deposition rate be about 0.01 to 1 nm / sec. Further, it is preferable to form each layer continuously in a vacuum. If they are formed continuously in a vacuum, impurities can be prevented from adsorbing at the interface between the layers, so that high characteristics can be obtained.

【0037】本発明の有機EL素子の一構成例を図1示
す。図1において、本発明の有機EL素子は、基板1上
に、第1の電極2と、絶縁層3と、有機層4と、第2の
電極5とを順次有し、電極2、5間にに交流電圧をかけ
ると、絶縁層3の分極作用により、有機層中にホールと
電子とが注入されて再結合し、発光する。発光層は2層
以上積層してもよい。また、有機層中には、ホール注入
輸送性材料を有する層や、電子注入輸送性材料を有する
層を設けてもよい。
FIG. 1 shows a structural example of the organic EL device of the present invention. In FIG. 1, the organic EL device of the present invention has a first electrode 2, an insulating layer 3, an organic layer 4, and a second electrode 5 on a substrate 1 in that order. When an AC voltage is applied to the substrate, holes and electrons are injected into the organic layer due to the polarization action of the insulating layer 3 and recombine to emit light. Two or more light emitting layers may be stacked. Further, a layer having a hole injecting and transporting material or a layer having an electron injecting and transporting material may be provided in the organic layer.

【0038】また、図2に示すように、本発明の有機E
L素子は、基板1上に、第1の電極2と、有機層4と、
絶縁層3と、第2の電極5とを順次有する構成であって
もよい。
As shown in FIG. 2, the organic E of the present invention
The L element has a first electrode 2, an organic layer 4,
A configuration in which the insulating layer 3 and the second electrode 5 are sequentially provided may be employed.

【0039】本発明の有機層は、発光機能に関与し、ホ
ール(正孔)および電子の輸送機能、ホールと電子の再
結合により励起子を生成させる機能を有する。この有機
層、つまり発光層には、比較的電子的にニュートラルな
化合物を用いることが好ましい。
The organic layer of the present invention is involved in the light emitting function, has the function of transporting holes (holes) and electrons, and the function of generating excitons by recombination of holes and electrons. It is preferable to use a relatively electronically neutral compound for the organic layer, that is, the light emitting layer.

【0040】発光層の厚さは、特に制限されるものでは
なく、形成方法によっても異なるが、通常5〜500nm
程度、特に10〜300nmとすることが好ましい。
The thickness of the light emitting layer is not particularly limited and varies depending on the forming method.
It is preferable that the thickness be in the range of 10 to 300 nm.

【0041】有機EL素子の発光層には、発光機能を有
する化合物である蛍光性物質を含有させる。このような
蛍光性物質としては、例えば、特開昭63−26469
2号公報に開示されているような化合物、例えばキナク
リドン、ルブレン、スチリル系色素等の化合物から選択
される少なくとも1種が挙げられる。また、トリス(8
−キノリノラト)アルミニウム等の8−キノリノールま
たはその誘導体を配位子とする金属錯体色素などのキノ
リン誘導体、テトラフェニルブタジエン、アントラセ
ン、ペリレン、コロネン、12−フタロペリノン誘導体
等が挙げられる。さらには、特願平6−110569号
のフェニルアントラセン誘導体、特願平6−11445
6号のテトラアリールエテン誘導体等を用いることがで
きる。
The light emitting layer of the organic EL element contains a fluorescent substance which is a compound having a light emitting function. Examples of such a fluorescent substance include, for example, JP-A-63-26469.
No. 2 discloses at least one compound selected from compounds such as quinacridone, rubrene, and styryl dyes. Also, Tris (8
-Quinolinolato) quinoline derivatives such as metal complex dyes having 8-quinolinol or a derivative thereof as a ligand such as aluminum, tetraphenylbutadiene, anthracene, perylene, coronene, and 12-phthaloperinone derivatives. Further, phenylanthracene derivatives disclosed in Japanese Patent Application No. 6-110569, and Japanese Patent Application No. 6-11445.
No. 6 tetraarylethene derivative or the like can be used.

【0042】また、それ自体で発光が可能なホスト物質
と組み合わせて使用することが好ましく、ドーパントと
しての使用が好ましい。このような場合の発光層におけ
る化合物の含有量は0.01〜20wt% 、さらには0.
1〜15wt% であることが好ましい。ホスト物質と組み
合わせて使用することによって、ホスト物質の発光波長
特性を変化させることができ、長波長に移行した発光が
可能になるとともに、素子の発光効率や安定性が向上す
る。
Further, it is preferable to use in combination with a host substance capable of emitting light by itself, and it is preferable to use it as a dopant. In such a case, the content of the compound in the light emitting layer is 0.01 to 20% by weight, and more preferably 0.1 to 20% by weight.
It is preferably 1 to 15% by weight. When used in combination with a host substance, the emission wavelength characteristics of the host substance can be changed, light emission shifted to a longer wavelength becomes possible, and the luminous efficiency and stability of the device are improved.

【0043】ホスト物質としては、キノリノラト錯体が
好ましく、さらには8−キノリノールまたはその誘導体
を配位子とするアルミニウム錯体が好ましい。このよう
なアルミニウム錯体としては、特開昭63−26469
2号、特開平3−255190号、特開平5−7073
3号、特開平5−258859号、特開平6−2158
74号等に開示されているものを挙げることができる。
The host substance is preferably a quinolinolato complex, and more preferably an aluminum complex having 8-quinolinol or a derivative thereof as a ligand. Such an aluminum complex is disclosed in JP-A-63-26469.
No. 2, JP-A-3-255190, JP-A-5-7073
3, JP-A-5-258859, JP-A-6-2158
No. 74 and the like.

【0044】具体的には、まず、トリス(8−キノリノ
ラト)アルミニウム、ビス(8−キノリノラト)マグネ
シウム、ビス(ベンゾ{f}−8−キノリノラト)亜
鉛、ビス(2−メチル−8−キノリノラト)アルミニウ
ムオキシド、トリス(8−キノリノラト)インジウム、
トリス(5−メチル−8−キノリノラト)アルミニウ
ム、8−キノリノラトリチウム、トリス(5−クロロ−
8−キノリノラト)ガリウム、ビス(5−クロロ−8−
キノリノラト)カルシウム、5,7−ジクロル−8−キ
ノリノラトアルミニウム、トリス(5,7−ジブロモ−
8−ヒドロキシキノリノラト)アルミニウム、ポリ[亜
鉛(II)−ビス(8−ヒドロキシ−5−キノリニル)メ
タン]等がある。
Specifically, first, tris (8-quinolinolato) aluminum, bis (8-quinolinolato) magnesium, bis (benzo {f} -8-quinolinolato) zinc, bis (2-methyl-8-quinolinolato) aluminum Oxide, tris (8-quinolinolato) indium,
Tris (5-methyl-8-quinolinolato) aluminum, 8-quinolinolatolithium, tris (5-chloro-
8-quinolinolato) gallium, bis (5-chloro-8-
Quinolinolato) calcium, 5,7-dichloro-8-quinolinolatoaluminum, tris (5,7-dibromo-
8-hydroxyquinolinolato) aluminum and poly [zinc (II) -bis (8-hydroxy-5-quinolinyl) methane].

【0045】また、8−キノリノールまたはその誘導体
のほかに他の配位子を有するアルミニウム錯体であって
もよく、このようなものとしては、ビス(2−メチル−
8−キノリノラト)(フェノラト)アルミニウム(III)
、ビス(2−メチル−8−キノリノラト)(オルト−
クレゾラト)アルミニウム(III) 、ビス(2−メチル−
8−キノリノラト)(メタークレゾラト)アルミニウム
(III) 、ビス(2−メチル−8−キノリノラト)(パラ
−クレゾラト)アルミニウム(III) 、ビス(2−メチル
−8−キノリノラト)(オルト−フェニルフェノラト)
アルミニウム(III) 、ビス(2−メチル−8−キノリノ
ラト)(メタ−フェニルフェノラト)アルミニウム(II
I) 、ビス(2−メチル−8−キノリノラト)(パラ−
フェニルフェノラト)アルミニウム(III) 、ビス(2−
メチル−8−キノリノラト)(2,3−ジメチルフェノ
ラト)アルミニウム(III) 、ビス(2−メチル−8−キ
ノリノラト)(2,6−ジメチルフェノラト)アルミニ
ウム(III) 、ビス(2−メチル−8−キノリノラト)
(3,4−ジメチルフェノラト)アルミニウム(III) 、
ビス(2−メチル−8−キノリノラト)(3,5−ジメ
チルフェノラト)アルミニウム(III) 、ビス(2−メチ
ル−8−キノリノラト)(3,5−ジ−tert−ブチルフ
ェノラト)アルミニウム(III) 、ビス(2−メチル−8
−キノリノラト)(2,6−ジフェニルフェノラト)ア
ルミニウム(III) 、ビス(2−メチル−8−キノリノラ
ト)(2,4,6−トリフェニルフェノラト)アルミニ
ウム(III) 、ビス(2−メチル−8−キノリノラト)
(2,3,6−トリメチルフェノラト)アルミニウム(I
II) 、ビス(2−メチル−8−キノリノラト)(2,
3,5,6−テトラメチルフェノラト)アルミニウム(I
II) 、ビス(2−メチル−8−キノリノラト)(1−ナ
フトラト)アルミニウム(III) 、ビス(2−メチル−8
−キノリノラト)(2−ナフトラト)アルミニウム(II
I) 、ビス(2,4−ジメチル−8−キノリノラト)
(オルト−フェニルフェノラト)アルミニウム(III) 、
ビス(2,4−ジメチル−8−キノリノラト)(パラ−
フェニルフェノラト)アルミニウム(III) 、ビス(2,
4−ジメチル−8−キノリノラト)(メタ−フェニルフ
ェノラト)アルミニウム(III) 、ビス(2,4−ジメチ
ル−8−キノリノラト)(3,5−ジメチルフェノラ
ト)アルミニウム(III) 、ビス(2,4−ジメチル−8
−キノリノラト)(3,5−ジ−tert−ブチルフェノラ
ト)アルミニウム(III) 、ビス(2−メチル−4−エチ
ル−8−キノリノラト)(パラ−クレゾラト)アルミニ
ウム(III) 、ビス(2−メチル−4−メトキシ−8−キ
ノリノラト)(パラ−フェニルフェノラト)アルミニウ
ム(III) 、ビス(2−メチル−5−シアノ−8−キノリ
ノラト)(オルト−クレゾラト)アルミニウム(III) 、
ビス(2−メチル−6−トリフルオロメチル−8−キノ
リノラト)(2−ナフトラト)アルミニウム(III) 等が
ある。
In addition to 8-quinolinol or a derivative thereof, an aluminum complex having another ligand may be used, such as bis (2-methyl-
8-quinolinolato) (phenolato) aluminum (III)
, Bis (2-methyl-8-quinolinolato) (ortho-
Cresolato) aluminum (III), bis (2-methyl-
8-quinolinolato) (meth-cresolate) aluminum
(III), bis (2-methyl-8-quinolinolato) (para-cresolato) aluminum (III), bis (2-methyl-8-quinolinolato) (ortho-phenylphenolate)
Aluminum (III), bis (2-methyl-8-quinolinolato) (meth-phenylphenolato) aluminum (II
I), bis (2-methyl-8-quinolinolato) (para-
Phenylphenolato) aluminum (III), bis (2-
Methyl-8-quinolinolato) (2,3-dimethylphenolato) aluminum (III), bis (2-methyl-8-quinolinolato) (2,6-dimethylphenolato) aluminum (III), bis (2-methyl- 8-quinolinolato)
(3,4-dimethylphenolato) aluminum (III),
Bis (2-methyl-8-quinolinolato) (3,5-dimethylphenolato) aluminum (III), bis (2-methyl-8-quinolinolato) (3,5-di-tert-butylphenolato) aluminum (III) ), Bis (2-methyl-8)
-Quinolinolato) (2,6-diphenylphenolato) aluminum (III), bis (2-methyl-8-quinolinolato) (2,4,6-triphenylphenolato) aluminum (III), bis (2-methyl- 8-quinolinolato)
(2,3,6-trimethylphenolato) aluminum (I
II), bis (2-methyl-8-quinolinolato) (2,
3,5,6-tetramethylphenolato) aluminum (I
II), bis (2-methyl-8-quinolinolato) (1-naphthrat) aluminum (III), bis (2-methyl-8
-Quinolinolato) (2-naphthrat) aluminum (II
I), bis (2,4-dimethyl-8-quinolinolato)
(Ortho-phenylphenolato) aluminum (III),
Bis (2,4-dimethyl-8-quinolinolato) (para-
Phenylphenolato) aluminum (III), bis (2,
4-dimethyl-8-quinolinolato) (meta-phenylphenolato) aluminum (III), bis (2,4-dimethyl-8-quinolinolato) (3,5-dimethylphenolato) aluminum (III), bis (2 4-dimethyl-8
-Quinolinolato) (3,5-di-tert-butylphenolato) aluminum (III), bis (2-methyl-4-ethyl-8-quinolinolato) (para-cresolato) aluminum (III), bis (2-methyl) -4-methoxy-8-quinolinolato) (para-phenylphenolato) aluminum (III), bis (2-methyl-5-cyano-8-quinolinolato) (ortho-cresolato) aluminum (III),
Bis (2-methyl-6-trifluoromethyl-8-quinolinolato) (2-naphthrat) aluminum (III);

【0046】このほか、ビス(2−メチル−8−キノリ
ノラト)アルミニウム(III) −μ−オキソ−ビス(2−
メチル−8−キノリノラト)アルミニウム(III) 、ビス
(2,4−ジメチル−8−キノリノラト)アルミニウム
(III) −μ−オキソ−ビス(2,4−ジメチル−8−キ
ノリノラト)アルミニウム(III) 、ビス(4−エチル−
2−メチル−8−キノリノラト)アルミニウム(III) −
μ−オキソ−ビス(4−エチル−2−メチル−8−キノ
リノラト)アルミニウム(III) 、ビス(2−メチル−4
−メトキシキノリノラト)アルミニウム(III) −μ−オ
キソ−ビス(2−メチル−4−メトキシキノリノラト)
アルミニウム(III) 、ビス(5−シアノ−2−メチル−
8−キノリノラト)アルミニウム(III) −μ−オキソ−
ビス(5−シアノ−2−メチル−8−キノリノラト)ア
ルミニウム(III) 、ビス(2−メチル−5−トリフルオ
ロメチル−8−キノリノラト)アルミニウム(III) −μ
−オキソ−ビス(2−メチル−5−トリフルオロメチル
−8−キノリノラト)アルミニウム(III) 等であっても
よい。
In addition, bis (2-methyl-8-quinolinolato) aluminum (III) -μ-oxo-bis (2-
Methyl-8-quinolinolato) aluminum (III), bis (2,4-dimethyl-8-quinolinolato) aluminum
(III) -μ-oxo-bis (2,4-dimethyl-8-quinolinolato) aluminum (III), bis (4-ethyl-
2-methyl-8-quinolinolato) aluminum (III)-
μ-oxo-bis (4-ethyl-2-methyl-8-quinolinolato) aluminum (III), bis (2-methyl-4
-Methoxyquinolinolato) aluminum (III) -μ-oxo-bis (2-methyl-4-methoxyquinolinolato)
Aluminum (III), bis (5-cyano-2-methyl-
8-quinolinolato) aluminum (III) -μ-oxo-
Bis (5-cyano-2-methyl-8-quinolinolato) aluminum (III), bis (2-methyl-5-trifluoromethyl-8-quinolinolato) aluminum (III) -μ
-Oxo-bis (2-methyl-5-trifluoromethyl-8-quinolinolato) aluminum (III) and the like.

【0047】このほかのホスト物質としては、特願平6
−110569号に記載のフェニルアントラセン誘導体
や特願平6−114456号に記載のテトラアリールエ
テン誘導体なども好ましい。
Other host materials include Japanese Patent Application No.
Also preferred are phenylanthracene derivatives described in -110569 and tetraarylethene derivatives described in Japanese Patent Application No. 6-114456.

【0048】また、発光層は、必要に応じて、少なくと
も1種のホール輸送性化合物と少なくとも1種の電子輸
送性化合物との混合層とすることも好ましく、さらには
この混合層中にドーパントを含有させることが好まし
い。このような混合層におけるドーパントの含有量は、
ホール輸送性化合物と電子輸送性化合物との合計量に対
して0.01〜20wt% 、さらには0.1〜15wt% と
することが好ましい。
The light emitting layer is preferably a mixed layer of at least one type of hole transporting compound and at least one type of electron transporting compound, if necessary. It is preferable to include them. The content of the dopant in such a mixed layer is
The content is preferably 0.01 to 20% by weight, more preferably 0.1 to 15% by weight, based on the total amount of the hole transporting compound and the electron transporting compound.

【0049】混合層では、キャリアのホッピング伝導パ
スができるため、各キャリアは極性的に有利な物質中を
移動し、逆の極性のキャリア注入は起こりにくくなるた
め、有機化合物がダメージを受けにくくなり、素子寿命
がのびるという利点がある。また、前述のドーパントを
このような混合層に含有させることにより、混合層自体
のもつ発光波長特性を変化させることができ、発光波長
を長波長に移行させることができるとともに、発光強度
を高め、素子の安定性を向上させることもできる。
In the mixed layer, a hopping conduction path of carriers is formed, so that each carrier moves in a material having a favorable polarity, and carrier injection of the opposite polarity is less likely to occur, so that the organic compound is less likely to be damaged. This has the advantage that the element life is extended. Further, by including the above-described dopant in such a mixed layer, the emission wavelength characteristics of the mixed layer itself can be changed, the emission wavelength can be shifted to a longer wavelength, and the emission intensity is increased, The stability of the device can be improved.

【0050】混合層に用いられるホール輸送性化合物に
は、例えば、特開昭63−295695号公報、特開平
2−191694号公報、特開平3−792号公報、特
開平5−234681号公報、特開平5−239455
号公報、特開平5−299174号公報、特開平7−1
26225号公報、特開平7−126226号公報、特
開平8−100172号公報、EP0650955A1
等に記載されている各種有機化合物を用いることができ
る。例えば、テトラアリールベンジシン化合物(トリア
リールジアミンないしトリフェニルジアミン:TP
D)、芳香族三級アミン、ヒドラゾン誘導体、カルバゾ
ール誘導体、トリアゾール誘導体、イミダゾール誘導
体、アミノ基を有するオキサジアゾール誘導体、ポリチ
オフェン等である。これらの化合物は、1種のみを用い
ても、2種以上を併用してもよい。
The hole transporting compound used in the mixed layer includes, for example, JP-A-63-295695, JP-A-2-191694, JP-A-3-792, JP-A-5-234681, JP-A-5-239455
JP, JP-A-5-299174, JP-A-7-1
No. 26225, JP-A-7-126226, JP-A-8-100172, EP0650955A1
And the like can be used. For example, a tetraarylbendicine compound (triaryldiamine or triphenyldiamine: TP
D), aromatic tertiary amines, hydrazone derivatives, carbazole derivatives, triazole derivatives, imidazole derivatives, oxadiazole derivatives having an amino group, polythiophene and the like. These compounds may be used alone or in combination of two or more.

【0051】ホール輸送性の化合物としては、強い蛍光
を持ったアミン誘導体、例えばトリフェニルジアミン誘
導体、さらにはスチリルアミン誘導体、芳香族縮合環を
持つアミン誘導体を用いるのが好ましい。
As the hole transporting compound, it is preferable to use an amine derivative having strong fluorescence, for example, a triphenyldiamine derivative, a styrylamine derivative, or an amine derivative having an aromatic condensed ring.

【0052】電子輸送性の化合物としては、キノリン誘
導体、さらには8−キノリノールないしその誘導体を配
位子とする金属錯体、特にトリス(8−キノリノラト)
アルミニウム(Alq3 )を用いることが好ましい。ま
た、フェニルアントラセン誘導体、テトラアリールエテ
ン誘導体を用いるのも好ましい。オキサジアゾール誘導
体、ペリレン誘導体、ピリジン誘導体、ピリミジン誘導
体、キノキサリン誘導体、ジフェニルキノン誘導体、ニ
トロ置換フルオレン誘導体等を用いることができる。こ
れらの化合物は、1種のみを用いても、2種以上を併用
してもよい。
Examples of the electron-transporting compound include quinoline derivatives, 8-quinolinol or a metal complex having a derivative thereof as a ligand, particularly tris (8-quinolinolato).
It is preferable to use aluminum (Alq 3 ). It is also preferable to use a phenylanthracene derivative or a tetraarylethene derivative. An oxadiazole derivative, a perylene derivative, a pyridine derivative, a pyrimidine derivative, a quinoxaline derivative, a diphenylquinone derivative, a nitro-substituted fluorene derivative, or the like can be used. These compounds may be used alone or in combination of two or more.

【0053】この場合の混合比は、それぞれのキャリア
移動度とキャリア濃度によるが、一般的には、ホール輸
送性化合物の化合物/電子輸送性化合物の重量比が、1
/99〜99/1、さらに好ましくは10/90〜90
/10、特に好ましくは20/80〜80/20程度と
なるようにすることが好ましい。
The mixing ratio in this case depends on the respective carrier mobility and carrier concentration. In general, the weight ratio of the compound of the hole transporting compound / the electron transporting compound is 1
/ 99-99 / 1, more preferably 10 / 90-90
/ 10, particularly preferably about 20/80 to 80/20.

【0054】また、混合層の厚さは、分子層一層に相当
する厚み以上で、有機化合物層の膜厚未満とすることが
好ましい。具体的には1〜85nmとすることが好まし
く、さらには5〜60nm、特には5〜50nmとすること
が好ましい。
The thickness of the mixed layer is preferably not less than the thickness of one molecular layer and less than the thickness of the organic compound layer. Specifically, the thickness is preferably 1 to 85 nm, more preferably 5 to 60 nm, particularly preferably 5 to 50 nm.

【0055】また、混合層の形成方法としては、異なる
蒸着源より蒸発させる共蒸着が好ましいが、蒸気圧(蒸
発温度)が同程度あるいは非常に近い場合には、予め同
じ蒸着ボード内で混合させておき、蒸着することもでき
る。混合層は化合物同士が均一に混合している方が好ま
しいが、場合によっては、化合物が島状に存在するもの
であってもよい。発光層は、一般的には、有機蛍光物質
を蒸着するか、あるいは、樹脂バインダー中に分散させ
てコーティングすることにより、発光層を所定の厚さに
形成する。
As a method of forming a mixed layer, co-evaporation in which evaporation is performed from different evaporation sources is preferable. However, when the vapor pressures (evaporation temperatures) are approximately the same or very close, they are mixed in advance in the same evaporation board. Alternatively, it can be deposited. In the mixed layer, it is preferable that the compounds are uniformly mixed, but in some cases, the compounds may exist in an island shape. The light-emitting layer is generally formed to a predetermined thickness by vapor-depositing an organic fluorescent substance or by dispersing and coating the resin in a resin binder.

【0056】特に発光層として好ましいものに、8−キ
ノリノールまたはその誘導体を配位子とするアルミニウ
ム錯体と、テトラアリールベンジシン化合物に、ルブレ
ン、クマリン等の蛍光物質をドープした混合層が挙げら
れる。8−キノリノールまたはその誘導体を配位子とす
るアルミニウム錯体と、テトラアリールベンジシン化合
物との混合比は上記の範囲内であることが好ましい。ル
ブレン等のドーピング蛍光物質は、この混合層に対し、
0.01〜20mol%であることが好ましい。
Particularly preferred as the light-emitting layer are an aluminum complex having 8-quinolinol or a derivative thereof as a ligand, and a mixed layer in which a tetraarylbendicine compound is doped with a fluorescent substance such as rubrene or coumarin. The mixing ratio of the aluminum complex having 8-quinolinol or a derivative thereof as a ligand and the tetraarylbendicine compound is preferably in the above range. The doping fluorescent substance such as rubrene,
Preferably it is 0.01 to 20 mol%.

【0057】さらに、上記絶縁膜を成膜しない側の発光
層と電極の間には、ホール注入輸送層または電子注入輸
送層を形成してもよい。
Further, a hole injecting and transporting layer or an electron injecting and transporting layer may be formed between the electrode and the light emitting layer on which the insulating film is not formed.

【0058】ホール注入輸送層には、例えば、特開昭6
3−295695号公報、特開平2−191694号公
報、特開平3−792号公報、特開平5−234681
号公報、特開平5−239455号公報、特開平5−2
99174号公報、特開平7−126225号公報、特
開平7−126226号公報、特開平8−100172
号公報、EP0650955A1等に記載されている各
種有機化合物を用いることができる。例えば、テトラア
リールベンジシン化合物(トリアリールジアミンないし
トリフェニルジアミン:TPD)、芳香族三級アミン、
ヒドラゾン誘導体、カルバゾール誘導体、トリアゾール
誘導体、イミダゾール誘導体、アミノ基を有するオキサ
ジアゾール誘導体、ポリチオフェン等である。これらの
化合物は、1種のみを用いても、2種以上を併用しても
よい。2種以上を併用するときは、別層にして積層した
り、混合したりすればよい。
The hole injecting and transporting layer is described in, for example,
JP-A-3-295695, JP-A-2-191694, JP-A-3-792, JP-A-5-234681
JP, JP-A-5-239455, JP-A-5-5-2
JP-A-99174, JP-A-7-126225, JP-A-7-126226, JP-A-8-100172
Various organic compounds described in JP-A No. 06509555 A1 and the like can be used. For example, a tetraarylbendicine compound (triaryldiamine or triphenyldiamine: TPD), an aromatic tertiary amine,
Examples include hydrazone derivatives, carbazole derivatives, triazole derivatives, imidazole derivatives, oxadiazole derivatives having an amino group, and polythiophene. These compounds may be used alone or in combination of two or more. When two or more kinds are used in combination, they may be stacked as separate layers or mixed.

【0059】ホール注入輸送層をホール注入層とホール
輸送層とに分ける場合は、ホール注入輸送層用の化合物
のなかから好ましい組合せを選択して用いたり、上記絶
縁材料からなるホール注入層と組み合わせて用いること
ができる。このとき、ホール注入電極(ITO等)側か
らイオン化ポテンシャルの小さい化合物の順に積層する
ことが好ましい。また、ホール注入電極表面には薄膜性
の良好な化合物を用いることが好ましい。このような積
層順については、ホール注入輸送層を2層以上設けると
きも同様である。このような積層順とすることによっ
て、駆動電圧が低下し、電流リークの発生やダークスポ
ットの発生・成長を防ぐことができる。また、素子化す
る場合、蒸着を用いているので1〜10nm程度の薄い膜
も均一かつピンホールフリーとすることができるため、
ホール注入層にイオン化ポテンシャルが小さく、可視部
に吸収をもつような化合物を用いても、発光色の色調変
化や再吸収による効率の低下を防ぐことができる。ホー
ル注入輸送層は、発光層等と同様に上記の化合物を蒸着
することにより形成することができる。
When the hole injecting / transporting layer is divided into a hole injecting / transporting layer and a hole injecting / transporting layer, a preferable combination is selected from the compounds for the hole injecting / transporting layer. Can be used. At this time, it is preferable to laminate the compounds in order from the hole injecting electrode (ITO or the like) with the smallest ionization potential. Further, it is preferable to use a compound having a good thin film property on the surface of the hole injection electrode. Such a stacking order is the same when two or more hole injection transport layers are provided. With such a stacking order, the driving voltage is reduced, and the occurrence of current leakage and the occurrence and growth of dark spots can be prevented. In addition, in the case of forming an element, since a thin film of about 1 to 10 nm can be made uniform and pinhole-free because evaporation is used,
Even if a compound having a small ionization potential and having absorption in the visible region is used for the hole injection layer, it is possible to prevent a change in the color tone of the emission color and a decrease in efficiency due to reabsorption. The hole injecting and transporting layer can be formed by vapor deposition of the above compound in the same manner as the light emitting layer and the like.

【0060】また、電子注入輸送層には、トリス(8−
キノリノラト)アルミニウム(Alq3 )等の8−キノ
リノールまたはその誘導体を配位子とする有機金属錯体
などのキノリン誘導体、オキサジアゾール誘導体、ペリ
レン誘導体、ピリジン誘導体、ピリミジン誘導体、キノ
キサリン誘導体、ジフェニルキノン誘導体、ニトロ置換
フルオレン誘導体等を用いることができる。電子注入輸
送層は発光層を兼ねたものであってもよく、このような
場合はトリス(8−キノリノラト)アルミニウム等を使
用することが好ましい。電子注入輸送層の形成は、発光
層と同様に、蒸着等によればよい。
In the electron injection / transport layer, tris (8-
Quinolinolato) aluminum (quinoline derivatives such as organic metal complexes of 8-quinolinol or a derivative thereof Alq 3) or the like as a ligand, oxadiazole derivatives, perylene derivatives, pyridine derivatives, pyrimidine derivatives, quinoxaline derivatives, diphenylquinone derivatives, Nitro-substituted fluorene derivatives and the like can be used. The electron injection / transport layer may also serve as the light emitting layer. In such a case, it is preferable to use tris (8-quinolinolato) aluminum or the like. The electron injecting and transporting layer may be formed by vapor deposition or the like, similarly to the light emitting layer.

【0061】電子注入輸送層を電子注入層と電子輸送層
とに分ける場合には、電子注入輸送層用の化合物の中か
ら好ましい組み合わせを選択して用いたり、上記絶縁材
料を用いた電子注入層と組み合わせて用いることができ
る。このとき、電子注入電極側から電子親和力の値の大
きい化合物の順に積層することが好ましい。このような
積層順については、電子注入輸送層を2層以上設けると
きも同様である。
When the electron injecting / transporting layer is divided into an electron injecting layer and an electron transporting layer, a preferable combination is selected from the compounds for the electron injecting / transporting layer and used. Can be used in combination. At this time, it is preferable to stack the compounds in descending order of the electron affinity value from the electron injection electrode side. Such a stacking order is the same when two or more electron injection / transport layers are provided.

【0062】有機EL構造体各層を成膜した後に、Si
X 等の無機材料、テフロン、塩素を含むフッ化炭素重
合体等の有機材料等を用いた保護膜を形成してもよい。
保護膜は透明でも不透明であってもよく、保護膜の厚さ
は50〜1200nm程度とする。保護膜は、前記の反応
性スパッタ法の他に、一般的なスパッタ法、蒸着法、P
ECVD法等により形成すればよい。
After forming each layer of the organic EL structure, the Si
Inorganic materials O X such as Teflon, a protective film may be formed using an organic material such as fluorocarbon polymers containing chlorine.
The protective film may be transparent or opaque, and the thickness of the protective film is about 50 to 1200 nm. The protective film can be formed by a general sputtering method, a vapor deposition method,
It may be formed by an ECVD method or the like.

【0063】さらに、素子の有機層や電極の酸化を防い
だり、機械的ダメージから保護するために、素子上に封
止板を設けることが好ましい。封止板は、湿気の侵入を
防ぐために、接着性樹脂等を用いて接着し密封する。封
止ガスは、Ar、He、N2等の不活性ガス等が好まし
い。また、この封止ガスの水分含有量は、100ppm以
下、より好ましくは10ppm以下、特には1ppm以下であ
ることが好ましい。この水分含有量に下限値は特にない
が、通常0.1ppm程度である。
Further, it is preferable to provide a sealing plate on the element in order to prevent oxidation of the organic layer and the electrode of the element and to protect the element from mechanical damage. The sealing plate is bonded and sealed with an adhesive resin or the like in order to prevent moisture from entering. The sealing gas is preferably an inert gas such as Ar, He, and N 2 . Further, the moisture content of the sealing gas is preferably 100 ppm or less, more preferably 10 ppm or less, and particularly preferably 1 ppm or less. Although there is no particular lower limit for this water content, it is usually about 0.1 ppm.

【0064】封止板の材料としては、好ましくは平板状
であって、ガラスや石英、樹脂等の透明ないし半透明材
料が挙げられるが、特にガラスが好ましい。このような
ガラス材として、例えば、ソーダ石灰ガラス、鉛アルカ
リガラス、ホウケイ酸ガラス、アルミノケイ酸ガラス、
シリカガラス等のガラス組成のものが好ましい。
The material of the sealing plate is preferably a flat plate, and may be a transparent or translucent material such as glass, quartz, resin, etc., but glass is particularly preferred. As such a glass material, for example, soda-lime glass, lead-alkali glass, borosilicate glass, aluminosilicate glass,
Glass compositions such as silica glass are preferred.

【0065】封止板の高さを調整する手段としては、特
に制限されるものではないが、スペーサーを用いること
が好ましい。スペーサーを用いることにより、安価で、
容易に所望の高さを得ることができる。スペーサーの材
料としては、樹脂ビーズ、シリカビーズ、ガラスビー
ズ、ガラスファイバー等が挙げられ、特にガラスビーズ
等が好ましい。スペーサーは、通常、粒径の揃った粒状
物であるが、その形状は特に限定されるものではなく、
スペーサーとしての機能に支障のないものであれば種々
の形状であってもよい。その大きさとしては、円換算の
直径が1〜20μm 、より好ましくは1〜10μm 、特
に2〜8μm が好ましい。このような直径のものは、粒
長100μm 以下程度であることが好ましく、その下限
は特に規制されるものではないが、通常1μm 程度であ
る。
The means for adjusting the height of the sealing plate is not particularly limited, but it is preferable to use a spacer. By using spacers, it is inexpensive,
A desired height can be easily obtained. Examples of the material of the spacer include resin beads, silica beads, glass beads, and glass fibers, and glass beads are particularly preferable. The spacer is usually a granular material having a uniform particle size, but the shape is not particularly limited,
Various shapes may be used as long as the function as a spacer is not hindered. The size is preferably a circle-converted diameter of 1 to 20 μm, more preferably 1 to 10 μm, and particularly preferably 2 to 8 μm. The particle having such a diameter is preferably about 100 μm or less in grain length, and the lower limit is not particularly limited, but is usually about 1 μm.

【0066】なお、封止板に凹部を形成した場合には、
スペーサーは使用しても、使用しなくてもよい。使用す
る場合の好ましい大きさとしては、前記範囲でよいが、
特に2〜8μm の範囲が好ましい。
When a recess is formed in the sealing plate,
Spacers may or may not be used. The preferred size when used is within the above range,
Particularly, the range of 2 to 8 μm is preferable.

【0067】スペーサーは、予め封止用接着剤中に混入
されていても、接着時に混入してもよい。封止用接着剤
中におけるスペーサーの含有量は、好ましくは0.01
〜30wt%、より好ましくは0.1〜5wt%である。
The spacer may be mixed in the sealing adhesive in advance, or may be mixed at the time of bonding. The content of the spacer in the sealing adhesive is preferably 0.01
-30 wt%, more preferably 0.1-5 wt%.

【0068】接着剤としては、安定した接着強度が保
て、気密性が良好なものであれば特に限定されるもので
はないが、カチオン硬化タイプの紫外線硬化型エポキシ
樹脂接着剤を用いることが好ましい。
The adhesive is not particularly limited as long as it can maintain stable adhesive strength and has good airtightness, but it is preferable to use a cationic curing type ultraviolet curing epoxy resin adhesive. .

【0069】基板材料としては特に限定するものではな
く、積層する有機EL構造体の電極の材質等により適宜
決めることができ、例えば、Al等の金属材料や、ガラ
ス、石英や樹脂等の透明ないし半透明材料、あるいは不
透明であってもよく、この場合はガラス等のほか、アル
ミナ等のセラミックス、ステンレス等の金属シートに表
面酸化などの絶縁処理を施したもの、フェノール樹脂等
の熱硬化性樹脂、ポリカーボネート等の熱可塑性樹脂な
どを用いることができる。
The substrate material is not particularly limited and can be appropriately determined depending on the material of the electrodes of the organic EL structure to be laminated. For example, a metal material such as Al, or a transparent or transparent material such as glass, quartz, or resin. The material may be translucent or opaque. In this case, in addition to glass, ceramics such as alumina, metal sheets such as stainless steel are subjected to insulation treatment such as surface oxidation, and thermosetting resins such as phenolic resin And a thermoplastic resin such as polycarbonate.

【0070】基板に色フィルター膜や蛍光性物質を含む
色変換膜、あるいは誘電体反射膜を用いて発光色をコン
トロールしてもよい。
The emission color may be controlled by using a color filter film, a color conversion film containing a fluorescent substance, or a dielectric reflection film on the substrate.

【0071】色フィルター膜には、液晶ディスプレイ等
で用いられているカラーフィルターを用いればよいが、
有機EL素子の発光する光に合わせてカラーフィルター
の特性を調整し、取り出し効率・色純度を最適化すれば
よい。
As the color filter film, a color filter used in a liquid crystal display or the like may be used.
The characteristics of the color filter may be adjusted in accordance with the light emitted from the organic EL element to optimize the extraction efficiency and the color purity.

【0072】また、EL素子材料や蛍光変換層が光吸収
するような短波長の外光をカットできるカラーフィルタ
ーを用いれば、素子の耐光性・表示のコントラストも向
上する。
Further, if a color filter capable of cutting off short-wavelength external light which is absorbed by the EL element material or the fluorescence conversion layer is used, the light resistance of the element and the display contrast are improved.

【0073】また、誘電体多層膜のような光学薄膜を用
いてカラーフィルターの代わりにしてもよい。
Further, an optical thin film such as a dielectric multilayer film may be used instead of the color filter.

【0074】蛍光変換フィルター膜は、EL発光の光を
吸収し、蛍光変換膜中の蛍光体から光を放出させること
で、発光色の色変換を行うものであるが、組成として
は、バインダー、蛍光材料、光吸収材料の三つから形成
される。
The fluorescence conversion filter film absorbs the EL light and emits light from the phosphor in the fluorescence conversion film to convert the color of the emitted light. It is formed from a fluorescent material and a light absorbing material.

【0075】蛍光材料は、基本的には蛍光量子収率が高
いものを用いればよく、EL発光波長域に吸収が強いこ
とが望ましい。実際には、レーザー色素などが適してお
り、ローダミン系化合物・ペリレン系化合物・シアニン
系化合物・フタロシアニン系化合物(サブフタロシアニ
ン等も含む)・ナフタロイミド系化合物・縮合環炭化水
素系化合物・縮合複素環系化合物・スチリル系化合物・
クマリン系化合物等を用いればよい。
Basically, a fluorescent material having a high fluorescence quantum yield may be used, and it is desirable that the fluorescent material has strong absorption in the EL emission wavelength region. Actually, laser dyes and the like are suitable, and rhodamine compounds, perylene compounds, cyanine compounds, phthalocyanine compounds (including subphthalocyanines, etc.), naphthalimide compounds, condensed ring hydrocarbon compounds, condensed heterocyclic compounds Compounds, styryl compounds,
A coumarin compound or the like may be used.

【0076】バインダーは、基本的に蛍光を消光しない
ような材料を選べばよく、フォトリソグラフィー・印刷
等で微細なパターニングが出来るようなものが好まし
い。また、ITO、IZO等ホール注入電極、あるいは
その上に成膜される薄膜の成膜時にダメージを受けない
ような材料が好ましい。
As the binder, a material that basically does not quench the fluorescence may be selected, and a binder that can be finely patterned by photolithography, printing, or the like is preferable. Further, a material which does not suffer damage when forming a hole injection electrode such as ITO or IZO or a thin film formed thereon is preferable.

【0077】光吸収材料は、蛍光材料の光吸収が足りな
い場合に用いるが、必要のない場合は用いなくてもよ
い。また、光吸収材料は、蛍光性材料の蛍光を消光しな
いような材料を選べばよい。
The light absorbing material is used when the light absorption of the fluorescent material is insufficient, but may be omitted when unnecessary. Further, a material which does not quench the fluorescence of the fluorescent material may be selected as the light absorbing material.

【0078】有機層の形成には、均質な薄膜が形成でき
ることから、真空蒸着法を用いることが好ましい。真空
蒸着法を用いた場合、アモルファス状態または結晶粒径
が0.1μm 以下の均質な薄膜が得られる。
For forming an organic layer, it is preferable to use a vacuum deposition method since a uniform thin film can be formed. When a vacuum deposition method is used, a homogeneous thin film having an amorphous state or a crystal grain size of 0.1 μm or less can be obtained.

【0079】真空蒸着の条件は特に限定されないが、1
-4Pa以下の真空度とし、蒸着速度は0.01〜1nm/
sec 程度とすることが好ましい。また、真空中で連続し
て各層を形成することが好ましい。真空中で連続して形
成すれば、各層の界面に不純物が吸着することを防げる
ため、高特性が得られる。また、素子の駆動電圧を低く
したり、ダークスポットの発生・成長を抑制したりする
ことができる。
The conditions for vacuum deposition are not particularly limited.
The degree of vacuum is 0 -4 Pa or less, and the deposition rate is 0.01 to 1 nm /
It is preferable to set it to about sec. Further, it is preferable to form each layer continuously in a vacuum. If they are formed continuously in a vacuum, impurities can be prevented from adsorbing at the interface between the layers, so that high characteristics can be obtained. Further, the driving voltage of the element can be reduced, and the occurrence and growth of dark spots can be suppressed.

【0080】これら各層の形成に真空蒸着法を用いる場
合において、1層に複数の化合物を含有させる場合、化
合物を入れた各ボートを個別に温度制御して共蒸着する
ことが好ましい。
When a plurality of compounds are contained in one layer in the case where a vacuum evaporation method is used for forming each of these layers, it is preferable to co-deposit each boat containing the compounds by individually controlling the temperature.

【0081】[0081]

【実施例】以下、本発明の具体的実施例を比較例ととも
に示し、本発明をさらに詳細に説明する。 <実施例1>ガラス基板上に、スパッタ法でITO透明
電極薄膜を100nmの厚さに成膜し、パターニングし
た。このITO透明電極が形成されたガラス基板を、中
性洗剤、アセトン、エタノールを用いて超音波洗浄し、
煮沸エタノール中から引き上げて乾燥した。透明電極表
面をUV/O3 洗浄した後、真空蒸着装置の基板ホルダ
ーに固定して、槽内を1×10-4Pa以下まで減圧した。
EXAMPLES Hereinafter, the present invention will be described in more detail by showing specific examples of the present invention together with comparative examples. <Example 1> An ITO transparent electrode thin film having a thickness of 100 nm was formed on a glass substrate by sputtering and patterned. The glass substrate on which the ITO transparent electrode is formed is subjected to ultrasonic cleaning using a neutral detergent, acetone, and ethanol,
It was pulled up from boiling ethanol and dried. After the surface of the transparent electrode was washed with UV / O 3, it was fixed to a substrate holder of a vacuum evaporation apparatus, and the pressure in the tank was reduced to 1 × 10 −4 Pa or less.

【0082】次に、ターゲットにSiO2を用い、RF
スパッタ法で、SiO2絶縁層を、成膜速度5nm/min
で、20nmの厚さに成膜した。このときのスパッタガス
はAr100sccmで、動作圧力は1Paとした。また、温
度は室温で、投入電力は周波数13.56MHzで100
W、基板・ターゲット間は5cmであった。
Next, using SiO 2 as a target, RF
By sputtering, a SiO 2 insulating layer is formed at a deposition rate of 5 nm / min.
Then, a film was formed to a thickness of 20 nm. The sputtering gas at this time was Ar 100 sccm, and the operating pressure was 1 Pa. The temperature was room temperature, and the input power was 100 at a frequency of 13.56 MHz.
W, the distance between the substrate and the target was 5 cm.

【0083】さらに、減圧を保ったまま、N,N,
N’,N’−テトラキス(m−ビフェニル)−1,1’
−ビフェニル−4,4’−ジアミン(TPD)と、トリ
ス(8−キノリノラト)アルミニウム(Alq3)と、
ルブレンとを、全体の蒸着速度0.2nm/secとして40
nmの厚さに蒸着し、発光層とした。TPD:Alq3
1:1(重量比)、この混合物に対してルブレンを0.
5mol%ドープした。
Further, N, N, N
N ', N'-tetrakis (m-biphenyl) -1,1'
-Biphenyl-4,4'-diamine (TPD), tris (8-quinolinolato) aluminum (Alq3),
Rubrene at an overall deposition rate of 0.2 nm / sec.
It was deposited to a thickness of nm to form a light emitting layer. TPD: Alq 3 =
1: 1 (weight ratio), rubrene was added to this mixture in an amount of 0.1.
Doped at 5 mol%.

【0084】さらに、減圧を保ったまま、トリス(8−
キノリノラト)アルミニウム(Alq3)を蒸着速度
0.2nm/secとして30nmの厚さに蒸着し、電子注入輸
送層とした。
Further, the tris (8-
(Quinolinolato) aluminum (Alq 3 ) was deposited at a deposition rate of 0.2 nm / sec to a thickness of 30 nm to form an electron injection transport layer.

【0085】さらに、スパッタ法で、Alを100nmの
厚さに成膜し、もう一方の電極とした。
Further, Al was deposited to a thickness of 100 nm by sputtering to form another electrode.

【0086】最後にガラス封止板を貼り合わせ、有機E
L素子とした。
Lastly, a glass sealing plate is attached, and organic E
An L element was used.

【0087】また、比較サンプルとして、ガラス基板上
に、ITOホール注入電極を100nmの厚さに成膜し、
N,N’−ジフェニル−N,N’−ビス[N−(4−メ
チルフェニル)−N−フェニル−(4−アミノフェニ
ル)]−1,1’−ビフェニル−4,4’−ジアミンを
蒸着速度0.2nm/sec で50nmの膜厚に蒸着してホー
ル注入層とし、TPDとAlq3 とルブレンとを全体の
蒸着速度0.2nm/secとして40nmの厚さに蒸着して発
光層とし(TPD:Alq3 =1:1(重量比)、この
混合物に対してルブレン0.5mol%)、MgAg電子
注入電極を100nmの厚さに成膜し、さらに、Al保護
電極を100nmの厚さに成膜し、ガラス封止して比較例
の有機EL素子を作製した。
As a comparative sample, an ITO hole injection electrode was formed on a glass substrate to a thickness of 100 nm.
N, N'-diphenyl-N, N'-bis [N- (4-methylphenyl) -N-phenyl- (4-aminophenyl)]-1,1'-biphenyl-4,4'-diamine is deposited A hole injection layer is formed by vapor deposition at a rate of 0.2 nm / sec to a thickness of 50 nm, and TPD, Alq 3 and rubrene are vapor deposited to a thickness of 40 nm at an overall deposition rate of 0.2 nm / sec to form a light emitting layer ( TPD: Alq 3 = 1: 1 (weight ratio, rubrene 0.5 mol% with respect to this mixture), a MgAg electron injection electrode having a thickness of 100 nm, and an Al protection electrode having a thickness of 100 nm. A film was formed and sealed with glass to produce an organic EL device of a comparative example.

【0088】作製した本発明の有機EL素子を駆動電圧
100V、周波数1kHzで駆動した。比較例の有機EL
素子は10mA/cm2 の定電流駆動した。この結果、本発
明の有機EL素子は、従来の比較例の有機EL素子と同
等の発光が確認できた。また、リークの発生も、ダーク
スポットの発生も見られなかった。しかも、比較例の有
機EL素子よりも寿命が長かった。
The manufactured organic EL device of the present invention was driven at a driving voltage of 100 V and a frequency of 1 kHz. Organic EL of Comparative Example
The device was driven at a constant current of 10 mA / cm 2 . As a result, it was confirmed that the organic EL device of the present invention emitted light equivalent to the organic EL device of the conventional comparative example. In addition, neither leakage nor dark spots were observed. In addition, the life was longer than that of the organic EL device of the comparative example.

【0089】絶縁層をSi34 、PbO、PbO2、A
23 、TiO2 、ZrO2、HfO2 、Nb25
Ta25 、Li2O、CaO、SrO、BaO、BaT
iO3、LiNbO3、PbZrO3、Pb(TiZr)
3としても同等の結果が得られた。
The insulating layer is made of Si 3 N 4 , PbO, PbO 2 , A
l 2 O 3 , TiO 2 , ZrO 2 , HfO 2 , Nb 2 O 5 ,
Ta 2 O 5 , Li 2 O, CaO, SrO, BaO, BaT
iO 3 , LiNbO 3 , PbZrO 3 , Pb (TiZr)
Similar results were obtained with O 3 .

【0090】<実施例2>実施例1において、ITO透
明電極成膜後、減圧状態を保ったまま、N,N’−ジフ
ェニル−N,N’−ビス[N−(4−メチルフェニル)
−N−フェニル−(4−アミノフェニル)]−1,1’
−ビフェニル−4,4’−ジアミンを蒸着速度0.2nm
/sec で50nmの膜厚に蒸着し、ホール注入層とした。
<Example 2> In Example 1, after forming the ITO transparent electrode, N, N'-diphenyl-N, N'-bis [N- (4-methylphenyl)
-N-phenyl- (4-aminophenyl)]-1,1 '
-Biphenyl-4,4'-diamine is deposited at a deposition rate of 0.2 nm.
/ Sec at a film thickness of 50 nm to form a hole injection layer.

【0091】次いで、N,N,N’,N’−テトラキス
(m−ビフェニル)−1,1’−ビフェニル−4,4’
−ジアミン(TPD)を蒸着速度0.2nm/secで20nm
の厚さに蒸着し、ホール輸送層とした。
Next, N, N, N ', N'-tetrakis (m-biphenyl) -1,1'-biphenyl-4,4'
Diamine (TPD) is deposited at a deposition rate of 0.2 nm / sec at a thickness of 20 nm.
To form a hole transport layer.

【0092】さらに、実施例1と同様にして発光層を形
成した後、実施例1と同様にして、SiO2絶縁層を、
成膜速度5nm/minで、20nmの厚さに成膜した。
Further, after forming the light emitting layer in the same manner as in the first embodiment, the SiO 2 insulating layer was formed in the same manner as in the first embodiment.
The film was formed to a thickness of 20 nm at a film forming speed of 5 nm / min.

【0093】その他は実施例1と同様にして有機EL素
子を得た。得られた有機EL素子を実施例1と同様に比
較サンプルと比較したところ、実施例1と同様の結果が
得られた。
The other steps were the same as in Example 1 to obtain an organic EL device. When the obtained organic EL device was compared with a comparative sample in the same manner as in Example 1, the same results as in Example 1 were obtained.

【0094】[0094]

【発明の効果】以上のように、本発明によれば、耐熱
性、耐候性が高く、リークやダークスポットの発生が少
なく、量産性が高く、低コスト化の可能な有機EL素子
を提供することができる。
As described above, according to the present invention, an organic EL device having high heat resistance, high weather resistance, low occurrence of leaks and dark spots, high mass productivity, and low cost can be provided. be able to.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の有機EL素子の一構成例を模式的に表
した、概略断面図である。
FIG. 1 is a schematic cross-sectional view schematically showing one configuration example of an organic EL device of the present invention.

【図2】本発明の有機EL素子の他の構成例を模式的に
表した、概略断面図である。
FIG. 2 is a schematic cross-sectional view schematically showing another configuration example of the organic EL device of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 基板 2 第1の電極 3 絶縁層 4 有機層 5 第2の電極 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Substrate 2 1st electrode 3 Insulating layer 4 Organic layer 5 2nd electrode

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 基板上に、一対の電極と、これらの電極
間に少なくとも発光機能に関与する1種または2種以上
の有機層を有し、 前記有機層と前記いずれか一方の電極との間に、絶縁層
を有する有機EL素子。
1. A substrate having a pair of electrodes and one or more organic layers involved in at least a light-emitting function between these electrodes on a substrate, wherein the organic layer and one of the electrodes are An organic EL element having an insulating layer between them.
【請求項2】 前記電極の少なくとも一方が、錫ドープ
酸化インジウムまたは亜鉛ドープ酸化インジウムである
請求項1の有機EL素子。
2. The organic EL device according to claim 1, wherein at least one of said electrodes is made of tin-doped indium oxide or zinc-doped indium oxide.
【請求項3】 前記絶縁層の膜厚が2〜50nmである
請求項1または2の有機EL素子。
3. The organic EL device according to claim 1, wherein said insulating layer has a thickness of 2 to 50 nm.
【請求項4】 前記絶縁層が、酸化ケイ素、窒化ケイ
素、酸化鉛、酸化アルミニウム、酸化チタン、酸化ジル
コニウム、酸化ハフニウム、酸化ニオブ、酸化タンタ
ル、酸化リチウム、酸化カルシウム、酸化ストロンチウ
ムおよび酸化バリウムの1種または2種以上を含有する
請求項1〜3のいずれかの有機EL素子。
4. The insulating layer is made of one of silicon oxide, silicon nitride, lead oxide, aluminum oxide, titanium oxide, zirconium oxide, hafnium oxide, niobium oxide, tantalum oxide, lithium oxide, calcium oxide, strontium oxide and barium oxide. The organic EL device according to any one of claims 1 to 3, wherein the organic EL device contains one or more species.
【請求項5】 交流駆動される請求項1〜4のいずれか
の有機EL素子。
5. The organic EL device according to claim 1, which is driven by an alternating current.
【請求項6】 前記有機層として、8−キノリノールま
たはその誘導体を配位子とするアルミニウム錯体、テト
ラアリールベンジシン化合物およびルブレンを含有する
層を有する請求項1〜5のいずれかの有機EL素子。
6. The organic EL device according to claim 1, wherein the organic layer has a layer containing an aluminum complex having 8-quinolinol or a derivative thereof as a ligand, a tetraarylbendicine compound, and rubrene. .
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1172312A1 (en) 2000-07-14 2002-01-16 Itoh Electric Co., Ltd. A control method for a roller with a built-in motor
WO2021073286A1 (en) * 2019-10-16 2021-04-22 福州大学 SINGLE-END ELECTRICAL CONTACTING AND SINGLE-END CHARGE CARRIER INJECTING μLED LIGHT-EMITTING AND DISPLAY DEVICE AND PREPARATION METHOD THEREFOR

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