JPH11307916A - プリント回路基板の製造方法 - Google Patents
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 38
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 23
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 claims abstract description 71
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 41
- 230000000873 masking effect Effects 0.000 claims description 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 57
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 abstract description 54
- 239000010949 copper Substances 0.000 abstract description 54
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 abstract description 34
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 abstract description 28
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 abstract description 28
- -1 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 abstract description 20
- 239000007788 liquid Substances 0.000 abstract description 14
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 abstract description 11
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 abstract description 4
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 abstract description 4
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 abstract description 3
- 238000002844 melting Methods 0.000 abstract description 3
- 230000008018 melting Effects 0.000 abstract description 3
- 229920005989 resin Polymers 0.000 abstract description 2
- 239000011347 resin Substances 0.000 abstract description 2
- 239000010410 layer Substances 0.000 abstract 4
- 150000001879 copper Chemical class 0.000 abstract 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 abstract 1
- 239000002344 surface layer Substances 0.000 abstract 1
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M Acrylate Chemical compound [O-]C(=O)C=C NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 36
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 18
- KCTAWXVAICEBSD-UHFFFAOYSA-N prop-2-enoyloxy prop-2-eneperoxoate Chemical compound C=CC(=O)OOOC(=O)C=C KCTAWXVAICEBSD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 14
- 238000001723 curing Methods 0.000 description 13
- 238000005476 soldering Methods 0.000 description 11
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 10
- IISBACLAFKSPIT-UHFFFAOYSA-N bisphenol A Chemical compound C=1C=C(O)C=CC=1C(C)(C)C1=CC=C(O)C=C1 IISBACLAFKSPIT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 8
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 8
- LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N Ethylene glycol Chemical compound OCCO LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 description 7
- ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 2-Butanone Chemical compound CCC(C)=O ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000003513 alkali Substances 0.000 description 6
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 6
- 238000011161 development Methods 0.000 description 6
- 239000000178 monomer Substances 0.000 description 6
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 5
- 150000001252 acrylic acid derivatives Chemical class 0.000 description 5
- 230000000740 bleeding effect Effects 0.000 description 5
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 5
- 125000004435 hydrogen atom Chemical group [H]* 0.000 description 5
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 5
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 description 5
- QIGBRXMKCJKVMJ-UHFFFAOYSA-N Hydroquinone Chemical compound OC1=CC=C(O)C=C1 QIGBRXMKCJKVMJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- CDBYLPFSWZWCQE-UHFFFAOYSA-L Sodium Carbonate Chemical compound [Na+].[Na+].[O-]C([O-])=O CDBYLPFSWZWCQE-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 4
- ISAOCJYIOMOJEB-UHFFFAOYSA-N benzoin Chemical compound C=1C=CC=CC=1C(O)C(=O)C1=CC=CC=C1 ISAOCJYIOMOJEB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 4
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 4
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 4
- 239000011889 copper foil Substances 0.000 description 4
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 4
- 239000003999 initiator Substances 0.000 description 4
- 229920000193 polymethacrylate Polymers 0.000 description 4
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 4
- 125000000391 vinyl group Chemical group [H]C([*])=C([H])[H] 0.000 description 4
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 2-Propenoic acid Natural products OC(=O)C=C NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- HRPVXLWXLXDGHG-UHFFFAOYSA-N Acrylamide Chemical compound NC(=O)C=C HRPVXLWXLXDGHG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- XEKOWRVHYACXOJ-UHFFFAOYSA-N Ethyl acetate Chemical compound CCOC(C)=O XEKOWRVHYACXOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N Isopropanol Chemical compound CC(C)O KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N Methanol Chemical compound OC OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N Toluene Chemical compound CC1=CC=CC=C1 YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- ZJCCRDAZUWHFQH-UHFFFAOYSA-N Trimethylolpropane Chemical compound CCC(CO)(CO)CO ZJCCRDAZUWHFQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- MTHSVFCYNBDYFN-UHFFFAOYSA-N diethylene glycol Chemical compound OCCOCCO MTHSVFCYNBDYFN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- GYZLOYUZLJXAJU-UHFFFAOYSA-N diglycidyl ether Chemical class C1OC1COCC1CO1 GYZLOYUZLJXAJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 3
- 125000003700 epoxy group Chemical group 0.000 description 3
- LNEPOXFFQSENCJ-UHFFFAOYSA-N haloperidol Chemical compound C1CC(O)(C=2C=CC(Cl)=CC=2)CCN1CCCC(=O)C1=CC=C(F)C=C1 LNEPOXFFQSENCJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- RAXXELZNTBOGNW-UHFFFAOYSA-N imidazole Natural products C1=CNC=N1 RAXXELZNTBOGNW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 3
- 239000003208 petroleum Substances 0.000 description 3
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 3
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 3
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 description 3
- 229920002554 vinyl polymer Polymers 0.000 description 3
- 239000011800 void material Substances 0.000 description 3
- OUPZKGBUJRBPGC-UHFFFAOYSA-N 1,3,5-tris(oxiran-2-ylmethyl)-1,3,5-triazinane-2,4,6-trione Chemical compound O=C1N(CC2OC2)C(=O)N(CC2OC2)C(=O)N1CC1CO1 OUPZKGBUJRBPGC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RBGUKBSLNOTVCD-UHFFFAOYSA-N 1-methylanthracene-9,10-dione Chemical compound O=C1C2=CC=CC=C2C(=O)C2=C1C=CC=C2C RBGUKBSLNOTVCD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- BTJPUDCSZVCXFQ-UHFFFAOYSA-N 2,4-diethylthioxanthen-9-one Chemical compound C1=CC=C2C(=O)C3=CC(CC)=CC(CC)=C3SC2=C1 BTJPUDCSZVCXFQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- SMZOUWXMTYCWNB-UHFFFAOYSA-N 2-(2-methoxy-5-methylphenyl)ethanamine Chemical compound COC1=CC=C(C)C=C1CCN SMZOUWXMTYCWNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- KWOLFJPFCHCOCG-UHFFFAOYSA-N Acetophenone Chemical compound CC(=O)C1=CC=CC=C1 KWOLFJPFCHCOCG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VTYYLEPIZMXCLO-UHFFFAOYSA-L Calcium carbonate Chemical compound [Ca+2].[O-]C([O-])=O VTYYLEPIZMXCLO-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N Diethyl ether Chemical compound CCOCC RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N Phenol Chemical compound OC1=CC=CC=C1 ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- JUJWROOIHBZHMG-UHFFFAOYSA-N Pyridine Chemical compound C1=CC=NC=C1 JUJWROOIHBZHMG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 235000000126 Styrax benzoin Nutrition 0.000 description 2
- 244000028419 Styrax benzoin Species 0.000 description 2
- 235000008411 Sumatra benzointree Nutrition 0.000 description 2
- WYURNTSHIVDZCO-UHFFFAOYSA-N Tetrahydrofuran Chemical compound C1CCOC1 WYURNTSHIVDZCO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- TZCXTZWJZNENPQ-UHFFFAOYSA-L barium sulfate Chemical compound [Ba+2].[O-]S([O-])(=O)=O TZCXTZWJZNENPQ-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- 229960002130 benzoin Drugs 0.000 description 2
- 239000012965 benzophenone Substances 0.000 description 2
- 125000003178 carboxy group Chemical group [H]OC(*)=O 0.000 description 2
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 2
- 239000011162 core material Substances 0.000 description 2
- JHIVVAPYMSGYDF-UHFFFAOYSA-N cyclohexanone Chemical compound O=C1CCCCC1 JHIVVAPYMSGYDF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ZUOUZKKEUPVFJK-UHFFFAOYSA-N diphenyl Chemical compound C1=CC=CC=C1C1=CC=CC=C1 ZUOUZKKEUPVFJK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 125000003055 glycidyl group Chemical group C(C1CO1)* 0.000 description 2
- MSNOMDLPLDYDME-UHFFFAOYSA-N gold nickel Chemical compound [Ni].[Au] MSNOMDLPLDYDME-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 235000019382 gum benzoic Nutrition 0.000 description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- WGCNASOHLSPBMP-UHFFFAOYSA-N hydroxyacetaldehyde Natural products OCC=O WGCNASOHLSPBMP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- JDSHMPZPIAZGSV-UHFFFAOYSA-N melamine Chemical compound NC1=NC(N)=NC(N)=N1 JDSHMPZPIAZGSV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 2
- 229920003986 novolac Polymers 0.000 description 2
- 239000004843 novolac epoxy resin Substances 0.000 description 2
- QWVGKYWNOKOFNN-UHFFFAOYSA-N o-cresol Chemical compound CC1=CC=CC=C1O QWVGKYWNOKOFNN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 2
- WXZMFSXDPGVJKK-UHFFFAOYSA-N pentaerythritol Chemical compound OCC(CO)(CO)CO WXZMFSXDPGVJKK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000006116 polymerization reaction Methods 0.000 description 2
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 2
- 229910000029 sodium carbonate Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 2
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 2
- WGTYBPLFGIVFAS-UHFFFAOYSA-M tetramethylammonium hydroxide Chemical compound [OH-].C[N+](C)(C)C WGTYBPLFGIVFAS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- GETQZCLCWQTVFV-UHFFFAOYSA-N trimethylamine Chemical compound CN(C)C GETQZCLCWQTVFV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- DTGKSKDOIYIVQL-WEDXCCLWSA-N (+)-borneol Chemical group C1C[C@@]2(C)[C@@H](O)C[C@@H]1C2(C)C DTGKSKDOIYIVQL-WEDXCCLWSA-N 0.000 description 1
- SZCWBURCISJFEZ-UHFFFAOYSA-N (3-hydroxy-2,2-dimethylpropyl) 3-hydroxy-2,2-dimethylpropanoate Chemical compound OCC(C)(C)COC(=O)C(C)(C)CO SZCWBURCISJFEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XKSUVRWJZCEYQQ-UHFFFAOYSA-N 1,1-dimethoxyethylbenzene Chemical compound COC(C)(OC)C1=CC=CC=C1 XKSUVRWJZCEYQQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MSAHTMIQULFMRG-UHFFFAOYSA-N 1,2-diphenyl-2-propan-2-yloxyethanone Chemical compound C=1C=CC=CC=1C(OC(C)C)C(=O)C1=CC=CC=C1 MSAHTMIQULFMRG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VZXTWGWHSMCWGA-UHFFFAOYSA-N 1,3,5-triazine-2,4-diamine Chemical compound NC1=NC=NC(N)=N1 VZXTWGWHSMCWGA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RYHBNJHYFVUHQT-UHFFFAOYSA-N 1,4-Dioxane Chemical compound C1COCCO1 RYHBNJHYFVUHQT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DKEGCUDAFWNSSO-UHFFFAOYSA-N 1,8-dibromooctane Chemical compound BrCCCCCCCCBr DKEGCUDAFWNSSO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BOCJQSFSGAZAPQ-UHFFFAOYSA-N 1-chloroanthracene-9,10-dione Chemical compound O=C1C2=CC=CC=C2C(=O)C2=C1C=CC=C2Cl BOCJQSFSGAZAPQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012956 1-hydroxycyclohexylphenyl-ketone Substances 0.000 description 1
- XLPJNCYCZORXHG-UHFFFAOYSA-N 1-morpholin-4-ylprop-2-en-1-one Chemical compound C=CC(=O)N1CCOCC1 XLPJNCYCZORXHG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OFAPSLLQSSHRSQ-UHFFFAOYSA-N 1H-triazine-2,4-diamine Chemical compound NN1NC=CC(N)=N1 OFAPSLLQSSHRSQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CERJZAHSUZVMCH-UHFFFAOYSA-N 2,2-dichloro-1-phenylethanone Chemical compound ClC(Cl)C(=O)C1=CC=CC=C1 CERJZAHSUZVMCH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GIMQKKFOOYOQGB-UHFFFAOYSA-N 2,2-diethoxy-1,2-diphenylethanone Chemical compound C=1C=CC=CC=1C(OCC)(OCC)C(=O)C1=CC=CC=C1 GIMQKKFOOYOQGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PIZHFBODNLEQBL-UHFFFAOYSA-N 2,2-diethoxy-1-phenylethanone Chemical compound CCOC(OCC)C(=O)C1=CC=CC=C1 PIZHFBODNLEQBL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KWVGIHKZDCUPEU-UHFFFAOYSA-N 2,2-dimethoxy-2-phenylacetophenone Chemical compound C=1C=CC=CC=1C(OC)(OC)C(=O)C1=CC=CC=C1 KWVGIHKZDCUPEU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BRKORVYTKKLNKX-UHFFFAOYSA-N 2,4-di(propan-2-yl)thioxanthen-9-one Chemical compound C1=CC=C2C(=O)C3=CC(C(C)C)=CC(C(C)C)=C3SC2=C1 BRKORVYTKKLNKX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UXCIJKOCUAQMKD-UHFFFAOYSA-N 2,4-dichlorothioxanthen-9-one Chemical compound C1=CC=C2C(=O)C3=CC(Cl)=CC(Cl)=C3SC2=C1 UXCIJKOCUAQMKD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HLIQLHSBZXDKLV-UHFFFAOYSA-N 2-(2-hydroxyethoxy)-1-phenoxyethanol Chemical class OCCOCC(O)OC1=CC=CC=C1 HLIQLHSBZXDKLV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- TXBCBTDQIULDIA-UHFFFAOYSA-N 2-[[3-hydroxy-2,2-bis(hydroxymethyl)propoxy]methyl]-2-(hydroxymethyl)propane-1,3-diol Chemical compound OCC(CO)(CO)COCC(CO)(CO)CO TXBCBTDQIULDIA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CDAWCLOXVUBKRW-UHFFFAOYSA-N 2-aminophenol Chemical compound NC1=CC=CC=C1O CDAWCLOXVUBKRW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NQBXSWAWVZHKBZ-UHFFFAOYSA-N 2-butoxyethyl acetate Chemical compound CCCCOCCOC(C)=O NQBXSWAWVZHKBZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZCDADJXRUCOCJE-UHFFFAOYSA-N 2-chlorothioxanthen-9-one Chemical compound C1=CC=C2C(=O)C3=CC(Cl)=CC=C3SC2=C1 ZCDADJXRUCOCJE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KMNCBSZOIQAUFX-UHFFFAOYSA-N 2-ethoxy-1,2-diphenylethanone Chemical compound C=1C=CC=CC=1C(OCC)C(=O)C1=CC=CC=C1 KMNCBSZOIQAUFX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZNQVEEAIQZEUHB-UHFFFAOYSA-N 2-ethoxyethanol Chemical compound CCOCCO ZNQVEEAIQZEUHB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SVONRAPFKPVNKG-UHFFFAOYSA-N 2-ethoxyethyl acetate Chemical compound CCOCCOC(C)=O SVONRAPFKPVNKG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UINDRJHZBAGQFD-UHFFFAOYSA-N 2-ethyl-1-methylimidazole Chemical compound CCC1=NC=CN1C UINDRJHZBAGQFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SJEBAWHUJDUKQK-UHFFFAOYSA-N 2-ethylanthraquinone Chemical compound C1=CC=C2C(=O)C3=CC(CC)=CC=C3C(=O)C2=C1 SJEBAWHUJDUKQK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XMLYCEVDHLAQEL-UHFFFAOYSA-N 2-hydroxy-2-methyl-1-phenylpropan-1-one Chemical compound CC(C)(O)C(=O)C1=CC=CC=C1 XMLYCEVDHLAQEL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BQZJOQXSCSZQPS-UHFFFAOYSA-N 2-methoxy-1,2-diphenylethanone Chemical compound C=1C=CC=CC=1C(OC)C(=O)C1=CC=CC=C1 BQZJOQXSCSZQPS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LXBGSDVWAMZHDD-UHFFFAOYSA-N 2-methyl-1h-imidazole Chemical compound CC1=NC=CN1 LXBGSDVWAMZHDD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QTWJRLJHJPIABL-UHFFFAOYSA-N 2-methylphenol;3-methylphenol;4-methylphenol Chemical compound CC1=CC=C(O)C=C1.CC1=CC=CC(O)=C1.CC1=CC=CC=C1O QTWJRLJHJPIABL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MYISVPVWAQRUTL-UHFFFAOYSA-N 2-methylthioxanthen-9-one Chemical compound C1=CC=C2C(=O)C3=CC(C)=CC=C3SC2=C1 MYISVPVWAQRUTL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UMWZLYTVXQBTTE-UHFFFAOYSA-N 2-pentylanthracene-9,10-dione Chemical compound C1=CC=C2C(=O)C3=CC(CCCCC)=CC=C3C(=O)C2=C1 UMWZLYTVXQBTTE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZCUJYXPAKHMBAZ-UHFFFAOYSA-N 2-phenyl-1h-imidazole Chemical compound C1=CNC(C=2C=CC=CC=2)=N1 ZCUJYXPAKHMBAZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YTPSFXZMJKMUJE-UHFFFAOYSA-N 2-tert-butylanthracene-9,10-dione Chemical compound C1=CC=C2C(=O)C3=CC(C(C)(C)C)=CC=C3C(=O)C2=C1 YTPSFXZMJKMUJE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LLEASVZEQBICSN-UHFFFAOYSA-N 2-undecyl-1h-imidazole Chemical compound CCCCCCCCCCCC1=NC=CN1 LLEASVZEQBICSN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GRWFFFOEIHGUBG-UHFFFAOYSA-N 3,4-Epoxy-6-methylcyclohexylmethyl-3,4-epoxy-6-methylcyclo-hexanecarboxylate Chemical compound C1C2OC2CC(C)C1C(=O)OCC1CC2OC2CC1C GRWFFFOEIHGUBG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SZUPZARBRLCVCB-UHFFFAOYSA-N 3-(2-undecylimidazol-1-yl)propanenitrile Chemical compound CCCCCCCCCCCC1=NC=CN1CCC#N SZUPZARBRLCVCB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WADSJYLPJPTMLN-UHFFFAOYSA-N 3-(cycloundecen-1-yl)-1,2-diazacycloundec-2-ene Chemical compound C1CCCCCCCCC=C1C1=NNCCCCCCCC1 WADSJYLPJPTMLN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AHIPJALLQVEEQF-UHFFFAOYSA-N 4-(oxiran-2-ylmethoxy)-n,n-bis(oxiran-2-ylmethyl)aniline Chemical compound C1OC1COC(C=C1)=CC=C1N(CC1OC1)CC1CO1 AHIPJALLQVEEQF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OECTYKWYRCHAKR-UHFFFAOYSA-N 4-vinylcyclohexene dioxide Chemical compound C1OC1C1CC2OC2CC1 OECTYKWYRCHAKR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OCKGQJQLOJJVIU-UHFFFAOYSA-N 6-(2-methylphenyl)-1h-triazine-2,4-diamine Chemical compound CC1=CC=CC=C1C1=CC(N)=NN(N)N1 OCKGQJQLOJJVIU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GZVHEAJQGPRDLQ-UHFFFAOYSA-N 6-phenyl-1,3,5-triazine-2,4-diamine Chemical compound NC1=NC(N)=NC(C=2C=CC=CC=2)=N1 GZVHEAJQGPRDLQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OXQXGKNECHBVMO-UHFFFAOYSA-N 7-oxabicyclo[4.1.0]heptane-4-carboxylic acid Chemical compound C1C(C(=O)O)CCC2OC21 OXQXGKNECHBVMO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910002012 Aerosil® Inorganic materials 0.000 description 1
- DKPFZGUDAPQIHT-UHFFFAOYSA-N Butyl acetate Natural products CCCCOC(C)=O DKPFZGUDAPQIHT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GAWIXWVDTYZWAW-UHFFFAOYSA-N C[CH]O Chemical group C[CH]O GAWIXWVDTYZWAW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SJIXRGNQPBQWMK-UHFFFAOYSA-N DEAEMA Natural products CCN(CC)CCOC(=O)C(C)=C SJIXRGNQPBQWMK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M Ilexoside XXIX Chemical compound C[C@@H]1CC[C@@]2(CC[C@@]3(C(=CC[C@H]4[C@]3(CC[C@@H]5[C@@]4(CC[C@@H](C5(C)C)OS(=O)(=O)[O-])C)C)[C@@H]2[C@]1(C)O)C)C(=O)O[C@H]6[C@@H]([C@H]([C@@H]([C@H](O6)CO)O)O)O.[Na+] DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M 0.000 description 1
- 229920000877 Melamine resin Polymers 0.000 description 1
- CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-N Methacrylic acid Chemical compound CC(=C)C(O)=O CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NTIZESTWPVYFNL-UHFFFAOYSA-N Methyl isobutyl ketone Chemical compound CC(C)CC(C)=O NTIZESTWPVYFNL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UIHCLUNTQKBZGK-UHFFFAOYSA-N Methyl isobutyl ketone Natural products CCC(C)C(C)=O UIHCLUNTQKBZGK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WHNWPMSKXPGLAX-UHFFFAOYSA-N N-Vinyl-2-pyrrolidone Chemical compound C=CN1CCCC1=O WHNWPMSKXPGLAX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AFVKGNIFEOFNAS-UHFFFAOYSA-N NC1(CC(=CC(=C1C)N)C1=NN=NC=C1)C Chemical compound NC1(CC(=CC(=C1C)N)C1=NN=NC=C1)C AFVKGNIFEOFNAS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SODQWWRDFPCNEZ-UHFFFAOYSA-N NC1=C(C(=NN=N1)N)CC Chemical compound NC1=C(C(=NN=N1)N)CC SODQWWRDFPCNEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910002651 NO3 Inorganic materials 0.000 description 1
- NHNBFGGVMKEFGY-UHFFFAOYSA-N Nitrate Chemical compound [O-][N+]([O-])=O NHNBFGGVMKEFGY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N O-Xylene Chemical compound CC1=CC=CC=C1C CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IDCBOTIENDVCBQ-UHFFFAOYSA-N TEPP Chemical compound CCOP(=O)(OCC)OP(=O)(OCC)OCC IDCBOTIENDVCBQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GSEJCLTVZPLZKY-UHFFFAOYSA-N Triethanolamine Chemical compound OCCN(CCO)CCO GSEJCLTVZPLZKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000007983 Tris buffer Substances 0.000 description 1
- 235000010724 Wisteria floribunda Nutrition 0.000 description 1
- MPIAGWXWVAHQBB-UHFFFAOYSA-N [3-prop-2-enoyloxy-2-[[3-prop-2-enoyloxy-2,2-bis(prop-2-enoyloxymethyl)propoxy]methyl]-2-(prop-2-enoyloxymethyl)propyl] prop-2-enoate Chemical compound C=CC(=O)OCC(COC(=O)C=C)(COC(=O)C=C)COCC(COC(=O)C=C)(COC(=O)C=C)COC(=O)C=C MPIAGWXWVAHQBB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UGLYZYWXVZIHEC-UHFFFAOYSA-N [4,4-bis(methylamino)cyclohexa-1,5-dien-1-yl]-phenylmethanone Chemical compound C1=CC(NC)(NC)CC=C1C(=O)C1=CC=CC=C1 UGLYZYWXVZIHEC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NJYZCEFQAIUHSD-UHFFFAOYSA-N acetoguanamine Chemical compound CC1=NC(N)=NC(N)=N1 NJYZCEFQAIUHSD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000003926 acrylamides Chemical class 0.000 description 1
- 150000001298 alcohols Chemical class 0.000 description 1
- 125000002723 alicyclic group Chemical group 0.000 description 1
- 150000005215 alkyl ethers Chemical class 0.000 description 1
- WNROFYMDJYEPJX-UHFFFAOYSA-K aluminium hydroxide Chemical compound [OH-].[OH-].[OH-].[Al+3] WNROFYMDJYEPJX-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 1
- 125000004103 aminoalkyl group Chemical group 0.000 description 1
- 150000004056 anthraquinones Chemical class 0.000 description 1
- 150000004945 aromatic hydrocarbons Chemical class 0.000 description 1
- CJDPJFRMHVXWPT-UHFFFAOYSA-N barium sulfide Chemical compound [S-2].[Ba+2] CJDPJFRMHVXWPT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N barium titanate Chemical compound [Ba+2].[Ba+2].[O-][Ti]([O-])([O-])[O-] JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910002113 barium titanate Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002585 base Substances 0.000 description 1
- RWCCWEUUXYIKHB-UHFFFAOYSA-N benzophenone Chemical compound C=1C=CC=CC=1C(=O)C1=CC=CC=C1 RWCCWEUUXYIKHB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000008366 benzophenones Chemical class 0.000 description 1
- 125000001797 benzyl group Chemical group [H]C1=C([H])C([H])=C(C([H])=C1[H])C([H])([H])* 0.000 description 1
- 235000010290 biphenyl Nutrition 0.000 description 1
- 239000004305 biphenyl Substances 0.000 description 1
- JRPRCOLKIYRSNH-UHFFFAOYSA-N bis(oxiran-2-ylmethyl) benzene-1,2-dicarboxylate Chemical compound C=1C=CC=C(C(=O)OCC2OC2)C=1C(=O)OCC1CO1 JRPRCOLKIYRSNH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KIKYOFDZBWIHTF-UHFFFAOYSA-N bis(oxiran-2-ylmethyl) cyclohex-3-ene-1,2-dicarboxylate Chemical compound C1CC=CC(C(=O)OCC2OC2)C1C(=O)OCC1CO1 KIKYOFDZBWIHTF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MQDJYUACMFCOFT-UHFFFAOYSA-N bis[2-(1-hydroxycyclohexyl)phenyl]methanone Chemical compound C=1C=CC=C(C(=O)C=2C(=CC=CC=2)C2(O)CCCCC2)C=1C1(O)CCCCC1 MQDJYUACMFCOFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004841 bisphenol A epoxy resin Substances 0.000 description 1
- 239000004842 bisphenol F epoxy resin Substances 0.000 description 1
- CDQSJQSWAWPGKG-UHFFFAOYSA-N butane-1,1-diol Chemical compound CCCC(O)O CDQSJQSWAWPGKG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000019 calcium carbonate Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000007809 chemical reaction catalyst Substances 0.000 description 1
- 239000004927 clay Substances 0.000 description 1
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 1
- 238000012790 confirmation Methods 0.000 description 1
- XCJYREBRNVKWGJ-UHFFFAOYSA-N copper(II) phthalocyanine Chemical compound [Cu+2].C12=CC=CC=C2C(N=C2[N-]C(C3=CC=CC=C32)=N2)=NC1=NC([C]1C=CC=CC1=1)=NC=1N=C1[C]3C=CC=CC3=C2[N-]1 XCJYREBRNVKWGJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229930003836 cresol Natural products 0.000 description 1
- HPXRVTGHNJAIIH-UHFFFAOYSA-N cyclohexanol Chemical compound OC1CCCCC1 HPXRVTGHNJAIIH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000000113 cyclohexyl group Chemical group [H]C1([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])(*)C([H])([H])C1([H])[H] 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- QGBSISYHAICWAH-UHFFFAOYSA-N dicyandiamide Chemical compound NC(N)=NC#N QGBSISYHAICWAH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007865 diluting Methods 0.000 description 1
- 239000000539 dimer Substances 0.000 description 1
- 125000003438 dodecyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 1
- 238000010292 electrical insulation Methods 0.000 description 1
- 238000007610 electrostatic coating method Methods 0.000 description 1
- 239000000839 emulsion Substances 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 150000002148 esters Chemical class 0.000 description 1
- 150000002170 ethers Chemical class 0.000 description 1
- 125000005448 ethoxyethyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])OC([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 1
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 1
- 125000000524 functional group Chemical group 0.000 description 1
- 150000002334 glycols Chemical class 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 125000000623 heterocyclic group Chemical group 0.000 description 1
- XXMIOPMDWAUFGU-UHFFFAOYSA-N hexane-1,6-diol Chemical compound OCCCCCCO XXMIOPMDWAUFGU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FUZZWVXGSFPDMH-UHFFFAOYSA-N hexanoic acid Chemical compound CCCCCC(O)=O FUZZWVXGSFPDMH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229930195733 hydrocarbon Natural products 0.000 description 1
- 125000002768 hydroxyalkyl group Chemical group 0.000 description 1
- 150000002460 imidazoles Chemical class 0.000 description 1
- 230000005764 inhibitory process Effects 0.000 description 1
- 239000011256 inorganic filler Substances 0.000 description 1
- 229910003475 inorganic filler Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- ZFSLODLOARCGLH-UHFFFAOYSA-N isocyanuric acid Chemical compound OC1=NC(O)=NC(O)=N1 ZFSLODLOARCGLH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000002576 ketones Chemical class 0.000 description 1
- ZLNQQNXFFQJAID-UHFFFAOYSA-L magnesium carbonate Chemical compound [Mg+2].[O-]C([O-])=O ZLNQQNXFFQJAID-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 239000001095 magnesium carbonate Substances 0.000 description 1
- 229910000021 magnesium carbonate Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 239000000155 melt Substances 0.000 description 1
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 1
- JAYXSROKFZAHRQ-UHFFFAOYSA-N n,n-bis(oxiran-2-ylmethyl)aniline Chemical compound C1OC1CN(C=1C=CC=CC=1)CC1CO1 JAYXSROKFZAHRQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229940088644 n,n-dimethylacrylamide Drugs 0.000 description 1
- UQKAOOAFEFCDGT-UHFFFAOYSA-N n,n-dimethyloctan-1-amine Chemical compound CCCCCCCCN(C)C UQKAOOAFEFCDGT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YLGYACDQVQQZSW-UHFFFAOYSA-N n,n-dimethylprop-2-enamide Chemical compound CN(C)C(=O)C=C YLGYACDQVQQZSW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SLCVBVWXLSEKPL-UHFFFAOYSA-N neopentyl glycol Chemical compound OCC(C)(C)CO SLCVBVWXLSEKPL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AFEQENGXSMURHA-UHFFFAOYSA-N oxiran-2-ylmethanamine Chemical class NCC1CO1 AFEQENGXSMURHA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NWVVVBRKAWDGAB-UHFFFAOYSA-N p-methoxyphenol Chemical compound COC1=CC=C(O)C=C1 NWVVVBRKAWDGAB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004806 packaging method and process Methods 0.000 description 1
- 239000012466 permeate Substances 0.000 description 1
- 125000001997 phenyl group Chemical group [H]C1=C([H])C([H])=C(*)C([H])=C1[H] 0.000 description 1
- IGALFTFNPPBUDN-UHFFFAOYSA-N phenyl-[2,3,4,5-tetrakis(oxiran-2-ylmethyl)phenyl]methanediamine Chemical compound C=1C(CC2OC2)=C(CC2OC2)C(CC2OC2)=C(CC2OC2)C=1C(N)(N)C1=CC=CC=C1 IGALFTFNPPBUDN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IEQIEDJGQAUEQZ-UHFFFAOYSA-N phthalocyanine Chemical compound N1C(N=C2C3=CC=CC=C3C(N=C3C4=CC=CC=C4C(=N4)N3)=N2)=C(C=CC=C2)C2=C1N=C1C2=CC=CC=C2C4=N1 IEQIEDJGQAUEQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920003207 poly(ethylene-2,6-naphthalate) Polymers 0.000 description 1
- 229940113115 polyethylene glycol 200 Drugs 0.000 description 1
- 239000011112 polyethylene naphthalate Substances 0.000 description 1
- 229920005862 polyol Polymers 0.000 description 1
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 description 1
- 239000002244 precipitate Substances 0.000 description 1
- UMJSCPRVCHMLSP-UHFFFAOYSA-N pyridine Natural products COC1=CC=CN=C1 UMJSCPRVCHMLSP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011342 resin composition Substances 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 1
- 239000011734 sodium Substances 0.000 description 1
- 229910052708 sodium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 239000006228 supernatant Substances 0.000 description 1
- 239000000454 talc Substances 0.000 description 1
- 229910052623 talc Inorganic materials 0.000 description 1
- YLQBMQCUIZJEEH-UHFFFAOYSA-N tetrahydrofuran Natural products C=1C=COC=1 YLQBMQCUIZJEEH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000001029 thermal curing Methods 0.000 description 1
- YRHRIQCWCFGUEQ-UHFFFAOYSA-N thioxanthen-9-one Chemical compound C1=CC=C2C(=O)C3=CC=CC=C3SC2=C1 YRHRIQCWCFGUEQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000013008 thixotropic agent Substances 0.000 description 1
- OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N titanium oxide Inorganic materials [Ti]=O OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000003918 triazines Chemical class 0.000 description 1
- ZIBGPFATKBEMQZ-UHFFFAOYSA-N triethylene glycol Chemical compound OCCOCCOCCO ZIBGPFATKBEMQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000008096 xylene Substances 0.000 description 1
- 125000002256 xylenyl group Chemical class C1(C(C=CC=C1)C)(C)* 0.000 description 1
Landscapes
- Non-Metallic Protective Coatings For Printed Circuits (AREA)
- Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)
- Manufacturing Of Printed Wiring (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 膜厚の精度が良く、解像性低下がなく、シン
ボルインキのスクリーン印刷のニジミもなく、ハンダ付
け不良が改良され、接続不良を少なく出来る画期的なプ
リント回路基板の製造方法を提供すること。 【解決手段】 回路パターンが形成された基板と、支持
体上に形成されたネガ型ソルダーレジスト層を熱圧着に
より貼合わせ、ハンダの位置をマスクして露光・硬化を
行った後、前記支持体を剥離することにより、回路パタ
ーン上に形成されたネガ型ソルダーレジスト層の表面を
平坦にして形成するプリント回路基板の製造方法。
ボルインキのスクリーン印刷のニジミもなく、ハンダ付
け不良が改良され、接続不良を少なく出来る画期的なプ
リント回路基板の製造方法を提供すること。 【解決手段】 回路パターンが形成された基板と、支持
体上に形成されたネガ型ソルダーレジスト層を熱圧着に
より貼合わせ、ハンダの位置をマスクして露光・硬化を
行った後、前記支持体を剥離することにより、回路パタ
ーン上に形成されたネガ型ソルダーレジスト層の表面を
平坦にして形成するプリント回路基板の製造方法。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、改良されたプリン
ト回路基板の製造方法に関するものである。より詳しく
は、本発明は、ドライフイルム型ソルダーレジストを用
い、レジストの表面が平坦に基板上に形成され、ICチ
ップ等を基板に高信頼性で実装することができるプリン
ト回路基板の製造方法に関するものである。
ト回路基板の製造方法に関するものである。より詳しく
は、本発明は、ドライフイルム型ソルダーレジストを用
い、レジストの表面が平坦に基板上に形成され、ICチ
ップ等を基板に高信頼性で実装することができるプリン
ト回路基板の製造方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】携帯用電子機器の高性能化、軽量化、小
型化が急速に進む中、今まで半導体、プリント基板、実
装とそれぞれが独立した産業として存在していたが、半
導体の集積度が上がり、動作周波数が高くなり、配線密
度が上がって、その形態も変化し、三者の境界領域がな
くなりつつある。現在、これらの接続の信頼性が非常に
重要なポイントになっており、実装技術がクローズアッ
プされている。現在、プリント基板はガラス布−エポキ
シ樹脂等を基材とした多層板が主流になっており、これ
をコア材として両面に更に回路を積み上げるビルドアッ
プ基板が携帯用電子機器において急激に増えつつある
が、表面の半田或はニッケル−金メッキを施す時のソル
ダーレジストは、この10年液状のフォトソルダーレジ
ストが主に使われている。
型化が急速に進む中、今まで半導体、プリント基板、実
装とそれぞれが独立した産業として存在していたが、半
導体の集積度が上がり、動作周波数が高くなり、配線密
度が上がって、その形態も変化し、三者の境界領域がな
くなりつつある。現在、これらの接続の信頼性が非常に
重要なポイントになっており、実装技術がクローズアッ
プされている。現在、プリント基板はガラス布−エポキ
シ樹脂等を基材とした多層板が主流になっており、これ
をコア材として両面に更に回路を積み上げるビルドアッ
プ基板が携帯用電子機器において急激に増えつつある
が、表面の半田或はニッケル−金メッキを施す時のソル
ダーレジストは、この10年液状のフォトソルダーレジ
ストが主に使われている。
【0003】一般にプリント回路基板の製造法の一例と
しては、基板表面が全て銅で覆われている銅張積層板に
回路形成用レジストを設け、パターンマスク上から露光
・現像してレジストの回路パターンを形成し、レジスト
膜のない銅箔部分をエッチング除去後、更に、レジスト
膜をアルカリで除去し、回路を形成する。その表面にフ
ォトソルダーレジストを設け、半田或はニッケル−金メ
ッキを施す場所を露光・現像によつて開けてメッキを施
す方法(サブトラクティブ法基板)が挙げられる。
しては、基板表面が全て銅で覆われている銅張積層板に
回路形成用レジストを設け、パターンマスク上から露光
・現像してレジストの回路パターンを形成し、レジスト
膜のない銅箔部分をエッチング除去後、更に、レジスト
膜をアルカリで除去し、回路を形成する。その表面にフ
ォトソルダーレジストを設け、半田或はニッケル−金メ
ッキを施す場所を露光・現像によつて開けてメッキを施
す方法(サブトラクティブ法基板)が挙げられる。
【0004】現在、プリント回路基板の製造方法として
大きく分けて、アディティブ法と、前記のサブトラクテ
ィブ法がある。図1は基板1の両面に銅回路2を形成後
のプリント基板の状態を示す断面の概略図であり、
(a)はサブトラクティブ法基板であり、(b)はアデ
ィティブ法基板を示す。アディティブ法では、銅回路2
の形成後の表面が平坦になるが、銅回路を全て長時間メ
ッキで形成するため、絶縁材料にメッキ液が染み込み、
絶縁性が低くなるという欠点を有する。サブトラクティ
ブ法では、エッチングで銅回路2を形成するため、銅回
路の形成後の表面に凹凸ができる。この凹凸が原因とな
り、その後のフォトソルダーレジスト形成でも凹凸が残
り、フォトソルダーレジストの解像性低下、シンボルイ
ンキのスクリーン印刷のニジミ、またハンダ付けの不良
等が発生する問題がある。
大きく分けて、アディティブ法と、前記のサブトラクテ
ィブ法がある。図1は基板1の両面に銅回路2を形成後
のプリント基板の状態を示す断面の概略図であり、
(a)はサブトラクティブ法基板であり、(b)はアデ
ィティブ法基板を示す。アディティブ法では、銅回路2
の形成後の表面が平坦になるが、銅回路を全て長時間メ
ッキで形成するため、絶縁材料にメッキ液が染み込み、
絶縁性が低くなるという欠点を有する。サブトラクティ
ブ法では、エッチングで銅回路2を形成するため、銅回
路の形成後の表面に凹凸ができる。この凹凸が原因とな
り、その後のフォトソルダーレジスト形成でも凹凸が残
り、フォトソルダーレジストの解像性低下、シンボルイ
ンキのスクリーン印刷のニジミ、またハンダ付けの不良
等が発生する問題がある。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】上記の問題を改善する
ため、これまでに取り組まれているサブトラクティブ法
のプリント回路基板の平坦化法は、銅回路をハーフエッ
チングし、薄膜化する方法、或は液状の熱硬化型ソルダ
ーレジストをスクリーン印刷により形成するものである
が、図2(a)基板の平坦化前、に示すように、十分な
平坦化が得られないため、熱硬化後に銅回路上の不要な
ソルダーレジストを研磨して、取り除き平坦化を行って
いた(図2(b)基板の平坦化後参照)。この方法で
は、一回の研磨では十分に研磨できないため、数回の研
磨を必要とし、コストと時間が掛かるものであった。こ
のため、殆どのサブトラクティブ法のプリント基板は、
平坦化を行なわないまま液状フォトソルダーレジストを
上に形成するだけであった。
ため、これまでに取り組まれているサブトラクティブ法
のプリント回路基板の平坦化法は、銅回路をハーフエッ
チングし、薄膜化する方法、或は液状の熱硬化型ソルダ
ーレジストをスクリーン印刷により形成するものである
が、図2(a)基板の平坦化前、に示すように、十分な
平坦化が得られないため、熱硬化後に銅回路上の不要な
ソルダーレジストを研磨して、取り除き平坦化を行って
いた(図2(b)基板の平坦化後参照)。この方法で
は、一回の研磨では十分に研磨できないため、数回の研
磨を必要とし、コストと時間が掛かるものであった。こ
のため、殆どのサブトラクティブ法のプリント基板は、
平坦化を行なわないまま液状フォトソルダーレジストを
上に形成するだけであった。
【0006】従って、本発明の目的は、上記サブトラク
ティブ法の従来技術の欠点を克服し、アディティブ法に
匹敵する平坦性を有するプリント回路基板の製造方法を
提供しようとするものである。本発明の他の目的は、そ
の後の工程で、膜厚の精度が良く、解像性低下がなく、
シンボルインキのスクリーン印刷のニジミもなく、ハン
ダ付け不良が改良され、接続不良を少なく出来る画期的
なプリント回路基板の製造方法を提供することである。
本発明の他の目的は、扱いが容易で、且つ低コストで行
うことができ、環境問題がなく、携帯用電子機器の実装
基板に最適であるプリント回路基板の製造方法を提供す
ることにある。
ティブ法の従来技術の欠点を克服し、アディティブ法に
匹敵する平坦性を有するプリント回路基板の製造方法を
提供しようとするものである。本発明の他の目的は、そ
の後の工程で、膜厚の精度が良く、解像性低下がなく、
シンボルインキのスクリーン印刷のニジミもなく、ハン
ダ付け不良が改良され、接続不良を少なく出来る画期的
なプリント回路基板の製造方法を提供することである。
本発明の他の目的は、扱いが容易で、且つ低コストで行
うことができ、環境問題がなく、携帯用電子機器の実装
基板に最適であるプリント回路基板の製造方法を提供す
ることにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】本発明者等は、上記サブ
トラクティブ法でも、アディティブ法と変わらない平坦
性を有するプリント基板の作成方法を鋭意検討した結
果、本発明の目的が下記の方法でドライフイルム型ソル
ダーレジストを使用して銅回路の凹凸形状を平坦化する
ことにより、達成されることを見出し、本発明に到達し
た。即ち、本発明は、下記構成である。 (1) プリント回路基板の製造方法において、回路パ
ターンが形成された基板と、支持体(フィルム)の1面
上に形成されたネガ型ソルダーレジスト層を熱圧着によ
り貼合わせ、ハンダの位置をマスクして露光・硬化を行
った後、前記支持体を剥離することにより、回路パター
ン上に形成されたネガ型ソルダーレジスト層の表面を平
坦にして形成することを特徴とするプリント回路基板の
製造方法。 (2) 前記ネガ型ソルダーレジスト層が、50℃〜1
10℃の温度で溶融する層であることを特徴とする前記
(1)記載のプリント回路基板の製造方法。
トラクティブ法でも、アディティブ法と変わらない平坦
性を有するプリント基板の作成方法を鋭意検討した結
果、本発明の目的が下記の方法でドライフイルム型ソル
ダーレジストを使用して銅回路の凹凸形状を平坦化する
ことにより、達成されることを見出し、本発明に到達し
た。即ち、本発明は、下記構成である。 (1) プリント回路基板の製造方法において、回路パ
ターンが形成された基板と、支持体(フィルム)の1面
上に形成されたネガ型ソルダーレジスト層を熱圧着によ
り貼合わせ、ハンダの位置をマスクして露光・硬化を行
った後、前記支持体を剥離することにより、回路パター
ン上に形成されたネガ型ソルダーレジスト層の表面を平
坦にして形成することを特徴とするプリント回路基板の
製造方法。 (2) 前記ネガ型ソルダーレジスト層が、50℃〜1
10℃の温度で溶融する層であることを特徴とする前記
(1)記載のプリント回路基板の製造方法。
【0008】上記回路パターンが形成された基板上に形
成されたネガ型ソルダーレジスト層の形成において、平
坦化とは、基板上のネガ型ソルダーレジスト層表面の表
面粗さの凹凸の最大値と最小値の差が1μm以下である
ことをいう。上記プリント回路基板とは、基板上に、回
路パターンと、絶縁層(ソルダーレジスト層)、チップ
等を実装するための金属パターンを有するものをいう。
また、上記シンボルインキとは、IC、コンデンサー、
抵抗等のチップを実装する際の位置確認マークのことを
いう。
成されたネガ型ソルダーレジスト層の形成において、平
坦化とは、基板上のネガ型ソルダーレジスト層表面の表
面粗さの凹凸の最大値と最小値の差が1μm以下である
ことをいう。上記プリント回路基板とは、基板上に、回
路パターンと、絶縁層(ソルダーレジスト層)、チップ
等を実装するための金属パターンを有するものをいう。
また、上記シンボルインキとは、IC、コンデンサー、
抵抗等のチップを実装する際の位置確認マークのことを
いう。
【0009】
【発明の実施の形態】以下、本発明のプリント回路基板
の製造方法について詳細に説明する。本発明は、図3に
示す、支持体(フィルム)6の1面上にネガ型ソルダー
レジスト層5が形成された、ドライフイルム型ソルダー
レジストを用いることにより、プリント回路基板表面の
凹凸を平坦化し、埋め込み性に非常に優れ、接続不良を
少なくでき、サブトラクティブ法の長所(高い絶縁性、
銅の引張り強度)とアディティブ法の平坦性を併せ持つ
プリント回路基板の製造方法である。
の製造方法について詳細に説明する。本発明は、図3に
示す、支持体(フィルム)6の1面上にネガ型ソルダー
レジスト層5が形成された、ドライフイルム型ソルダー
レジストを用いることにより、プリント回路基板表面の
凹凸を平坦化し、埋め込み性に非常に優れ、接続不良を
少なくでき、サブトラクティブ法の長所(高い絶縁性、
銅の引張り強度)とアディティブ法の平坦性を併せ持つ
プリント回路基板の製造方法である。
【0010】本発明のプリント回路基板は、下記の工程
により構成される。 (1)上記回路パターンが形成された基板と、本発明の
支持体(フィルム)の1面上に形成されたネガ型ソルダ
ーレジスト層(ドライフイルム型ソルダーレジストのレ
ジスト層)を重ね、加熱ロール(50〜110℃)を用
いたフイルムラミネーターを用い、熱圧着により貼合わ
せる。 (2)通常のプリント基板用露光機でハンダの位置をマ
スクを当てて露光を行う。 (3)ドライフイルム型ソルダーレジストのレジスト層
の支持体を剥離する。 (4)通常のアルカリ現像、水洗、ポストキュア。 (5)シンボルインキ印刷、ポストキュア。 (6)ハンダメッキ又は金メッキ。
により構成される。 (1)上記回路パターンが形成された基板と、本発明の
支持体(フィルム)の1面上に形成されたネガ型ソルダ
ーレジスト層(ドライフイルム型ソルダーレジストのレ
ジスト層)を重ね、加熱ロール(50〜110℃)を用
いたフイルムラミネーターを用い、熱圧着により貼合わ
せる。 (2)通常のプリント基板用露光機でハンダの位置をマ
スクを当てて露光を行う。 (3)ドライフイルム型ソルダーレジストのレジスト層
の支持体を剥離する。 (4)通常のアルカリ現像、水洗、ポストキュア。 (5)シンボルインキ印刷、ポストキュア。 (6)ハンダメッキ又は金メッキ。
【0011】本発明のドライフイルム型ソルダーレジス
トにおける支持体としては、ポリエチレンテレフタレー
ト、ポリエチレンナフタレート等を用いることができ
る。その厚さは15〜40μmが好ましい。本発明のド
ライフイルム型ソルダーレジストのネガ型レジストは、
溶融温度が50〜110℃であるものが好ましく、より
好ましくは70〜90℃である。このレジストの溶融温
度を調整するには、レジスト中に含まれる各成分の分子
量を選択することで行うことができる。このネガ型レジ
ストは、エポキシ樹脂を含有するレジストであり、下記
のネガ型レジストが好ましい。しかし、これらのレジス
トに限定されるものではない。
トにおける支持体としては、ポリエチレンテレフタレー
ト、ポリエチレンナフタレート等を用いることができ
る。その厚さは15〜40μmが好ましい。本発明のド
ライフイルム型ソルダーレジストのネガ型レジストは、
溶融温度が50〜110℃であるものが好ましく、より
好ましくは70〜90℃である。このレジストの溶融温
度を調整するには、レジスト中に含まれる各成分の分子
量を選択することで行うことができる。このネガ型レジ
ストは、エポキシ樹脂を含有するレジストであり、下記
のネガ型レジストが好ましい。しかし、これらのレジス
トに限定されるものではない。
【0012】以下、上記の好ましいネガ型レジストにつ
いて詳しく説明する。上記ネガ型レジストは、酸ペンダ
ント型エポキシアクリレートとエポキシ樹脂とを含有す
ることにより、上記の露光により、酸ペンダント型エポ
キシアクリレートが光重合するが、エポキシ樹脂は反応
せずに残留している。上記のネガ型レジストは、アルカ
リ水溶液による現像ができ、環境問題が生じない。この
ようなアルカリ現像型は、中和すれば樹脂分は沈殿する
ので、上澄みの水溶液は無害となり排水することができ
る。また、製造ラインは密閉する必要がなく、製造コス
トは格段に安い。
いて詳しく説明する。上記ネガ型レジストは、酸ペンダ
ント型エポキシアクリレートとエポキシ樹脂とを含有す
ることにより、上記の露光により、酸ペンダント型エポ
キシアクリレートが光重合するが、エポキシ樹脂は反応
せずに残留している。上記のネガ型レジストは、アルカ
リ水溶液による現像ができ、環境問題が生じない。この
ようなアルカリ現像型は、中和すれば樹脂分は沈殿する
ので、上澄みの水溶液は無害となり排水することができ
る。また、製造ラインは密閉する必要がなく、製造コス
トは格段に安い。
【0013】ネガ型レジストに配合されるエポキシ樹脂
としては、具体的には、ビスフェノールA型エポキシ樹
脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、フェノールノボ
ラック型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキ
シ樹脂、ブロム化エポキシ樹脂、ビキシレノール型エポ
キシ樹脂、ビフェノール型エポキシ樹脂などのグリシジ
ルエーテル類;3,4−エポキシ−6−メチルシクロヘ
キシルメチル−3,4−エポキシ−6−メチルシクロヘ
キサンカルボキシレート、3,4−エポキシシクロヘキ
シルメチル−3,4−エポキシシクロヘキサンカルボキ
シレート、1−エポキシエチル−3,4−エポキシシク
ロヘキサンなどの脂環式エポキシ樹脂;フタル酸ジグリ
シジルエステル、テトラヒドロフタル酸ジグリシジルエ
ステル、ダイマー酸グリシジルエステルなどのグリシジ
ルエステル類;テトラグリシジルジアミノジフェニルメ
タン、トリグリシジルp−アミノフェノール、N,N−
ジグリシジルアニリンなどのグリシジルアミン類;1,
3−ジグリシジル−5,5−ジメチルヒダントイン、ト
リグリシジルイソシアヌレートなどの複素環式エポキシ
樹脂などが挙げられる。
としては、具体的には、ビスフェノールA型エポキシ樹
脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、フェノールノボ
ラック型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキ
シ樹脂、ブロム化エポキシ樹脂、ビキシレノール型エポ
キシ樹脂、ビフェノール型エポキシ樹脂などのグリシジ
ルエーテル類;3,4−エポキシ−6−メチルシクロヘ
キシルメチル−3,4−エポキシ−6−メチルシクロヘ
キサンカルボキシレート、3,4−エポキシシクロヘキ
シルメチル−3,4−エポキシシクロヘキサンカルボキ
シレート、1−エポキシエチル−3,4−エポキシシク
ロヘキサンなどの脂環式エポキシ樹脂;フタル酸ジグリ
シジルエステル、テトラヒドロフタル酸ジグリシジルエ
ステル、ダイマー酸グリシジルエステルなどのグリシジ
ルエステル類;テトラグリシジルジアミノジフェニルメ
タン、トリグリシジルp−アミノフェノール、N,N−
ジグリシジルアニリンなどのグリシジルアミン類;1,
3−ジグリシジル−5,5−ジメチルヒダントイン、ト
リグリシジルイソシアヌレートなどの複素環式エポキシ
樹脂などが挙げられる。
【0014】なかでも、組成物の経時安定性の観点か
ら、結晶性エポキシ樹脂が好ましい。ここで、結晶性エ
ポキシ樹脂とは、常温で固形の比較的低分子のエポキシ
樹脂である。このようなエポキシ樹脂は結晶性があるた
め、溶剤にも溶けにくく、従ってエポキシ基と非常に反
応しやすいカルボキシル基を有する化合物と組み合わせ
ても粘度経時変化が少なく安定性がよい。結晶性エポキ
シ樹脂として、好ましくは、油化シェルエポキシエポキ
シ(株)製YX−4000H等のビフェニル系グリシジ
ルエーテル、東都化成(株)製YDC−1312等のハ
イドロキノン系グリシジルエーテル、トリグリシジルイ
ソシアヌレート等が挙げられる。
ら、結晶性エポキシ樹脂が好ましい。ここで、結晶性エ
ポキシ樹脂とは、常温で固形の比較的低分子のエポキシ
樹脂である。このようなエポキシ樹脂は結晶性があるた
め、溶剤にも溶けにくく、従ってエポキシ基と非常に反
応しやすいカルボキシル基を有する化合物と組み合わせ
ても粘度経時変化が少なく安定性がよい。結晶性エポキ
シ樹脂として、好ましくは、油化シェルエポキシエポキ
シ(株)製YX−4000H等のビフェニル系グリシジ
ルエーテル、東都化成(株)製YDC−1312等のハ
イドロキノン系グリシジルエーテル、トリグリシジルイ
ソシアヌレート等が挙げられる。
【0015】これらエポキシ樹脂は、1種単独でまたは
2種以上を組み合わせて使用することができる。
2種以上を組み合わせて使用することができる。
【0016】上記のネガ型レジストに配合される酸ペン
ダント型アクリレートとしては、例えば酸ペンダント型
オルトクレゾールノボラックエポキシアクリレート、酸
ペンダント型フェノールノボラックエポキシアクリレー
ト、酸ペンダント型ビスフェノールAエポキシアクリレ
ート、又は酸ペンダント型ビスフェノールFエポキシア
クリレートなど、一般的に知られているものが用いられ
る。また、下記一般式(I)で示される酸ペンダント型
臭素化エポキシアクリレートを好ましく用いることもで
きる。
ダント型アクリレートとしては、例えば酸ペンダント型
オルトクレゾールノボラックエポキシアクリレート、酸
ペンダント型フェノールノボラックエポキシアクリレー
ト、酸ペンダント型ビスフェノールAエポキシアクリレ
ート、又は酸ペンダント型ビスフェノールFエポキシア
クリレートなど、一般的に知られているものが用いられ
る。また、下記一般式(I)で示される酸ペンダント型
臭素化エポキシアクリレートを好ましく用いることもで
きる。
【0017】
【化1】
【0018】上記式(I)中、X1 〜X3 は各々独立
に、水素原子、
に、水素原子、
【0019】
【化2】
【0020】を表し、但しX1 〜X3 のうち少なくとも
2つは水素原子以外の基を表す。nは0.3〜1.5を
表す。上記一般式(I)において、X1 〜X3 のうち少
なくとも2つは水素原子以外の基を表すが、好ましくは
X1 、X3 が水素原子以外の基であり、X2 が水素原子
である場合が好ましい。また、nは0.3〜1.5の数
字を表すが、好ましくは0.4〜1.0、より好ましく
は0.5〜0.8である。
2つは水素原子以外の基を表す。nは0.3〜1.5を
表す。上記一般式(I)において、X1 〜X3 のうち少
なくとも2つは水素原子以外の基を表すが、好ましくは
X1 、X3 が水素原子以外の基であり、X2 が水素原子
である場合が好ましい。また、nは0.3〜1.5の数
字を表すが、好ましくは0.4〜1.0、より好ましく
は0.5〜0.8である。
【0021】上記一般式(I)の酸ペンダント型臭素化
エポキシアクリレートは、従来の酸ペンダント型臭素化
エポキシアクリレートと比較して、ペンダントさせる酸
の構造と数を選択し、なおかつ繰り返し構造の数nを比
較的小さいものに特定化して、該化合物の分子量を低分
子量としたものである。
エポキシアクリレートは、従来の酸ペンダント型臭素化
エポキシアクリレートと比較して、ペンダントさせる酸
の構造と数を選択し、なおかつ繰り返し構造の数nを比
較的小さいものに特定化して、該化合物の分子量を低分
子量としたものである。
【0022】上記一般式(I)で示される酸ペンダント
型臭素化エポキシアクリレートの製造方法としては、基
本的にエポキシ基1個に対し、1分子のアクリル酸を反
応させるが、臭素化エポキシ樹脂のエポキシ基1当量当
たりアクリル酸を0.8〜1.1当量となる範囲にある
ことが好ましい。
型臭素化エポキシアクリレートの製造方法としては、基
本的にエポキシ基1個に対し、1分子のアクリル酸を反
応させるが、臭素化エポキシ樹脂のエポキシ基1当量当
たりアクリル酸を0.8〜1.1当量となる範囲にある
ことが好ましい。
【0023】ネガ型レジスト中の酸ペンダント型エポキ
シアクリレートの含有量は、特に限定されるものではな
く、エポキシ樹脂のエポキシ当量によって適切に選択さ
れる。具体的には、酸ペンダント型エポキシアクリレー
トのカルボキシル当量とエポキシ樹脂のエポキシ当量の
比が、好ましくは1:1.5〜1:2.5となるよう
に、配合される。この範囲以外では、このエポキシが少
ないと後述する工程(5)の熱圧着後の基板に対する密
着性がでにくい傾向にある。あるいはエポキシが多すぎ
ると現像性が悪くなる傾向になる。
シアクリレートの含有量は、特に限定されるものではな
く、エポキシ樹脂のエポキシ当量によって適切に選択さ
れる。具体的には、酸ペンダント型エポキシアクリレー
トのカルボキシル当量とエポキシ樹脂のエポキシ当量の
比が、好ましくは1:1.5〜1:2.5となるよう
に、配合される。この範囲以外では、このエポキシが少
ないと後述する工程(5)の熱圧着後の基板に対する密
着性がでにくい傾向にある。あるいはエポキシが多すぎ
ると現像性が悪くなる傾向になる。
【0024】ネガ型レジストには、酸ペンダント型エポ
キシアクリレートは2種以上含まれてもよい。
キシアクリレートは2種以上含まれてもよい。
【0025】ネガ型レジストは、上記成分の他に、光重
合開始剤を含有し、さらに必要に応じて光重合性ビニル
モノマー、エポキシ樹脂の硬化促進剤、潜在性硬化剤等
を含有することができる。
合開始剤を含有し、さらに必要に応じて光重合性ビニル
モノマー、エポキシ樹脂の硬化促進剤、潜在性硬化剤等
を含有することができる。
【0026】上記光重合開始剤としては、例えばベンゾ
イン、ベンゾインメチルエーテル、ぺンゾインエチルエ
ーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾイン
イソブチルエーテル、ベンジルメチルケタールなどのベ
ンゾインとそのアルキルエーテル類;アセトフェノン、
2,2−ジメトキシ−2−フェニルアセトフェノン、2
−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニルプロパン−1
−オン、ジエトキシアセトフェノン、2,2−ジエトキ
シ−2−フェニルアセトフェノン、1,1−ジクロロア
セトフェノン、1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニル
ケトン、2−メチル−1−〔4−(メチルチオ)フェニ
ル〕−2−モルフォリノ−プロパン−1−オンなどのア
セトフェノン類;メチルアントラキノン、2−エチルア
ントラキノン、2−タシャリーブチルアントラキノン、
1−クロロアントラキノン、2−アミルアントラキノン
などのアントラキノン類;チオキサントン、2,4−ジ
エチルチオキサントン、2−クロロチオキサントン、
2,4−ジクロロチオキサントン、2−メチルチオキサ
ントン、2,4−ジイソプロピルチオキサントンなどの
チオキサントン類;アセトフェノンジメチルケタール、
ベンジルジメチルケタールなどのケタール類;ベンゾフ
ェノン、4,4−ビスメチルアミノベンゾフェノンなど
のベンゾフェノン類及びアゾ化合物などが挙げられる
が、なかでもアセトフェノン類とチオキサントン類が好
ましく、より好ましくはアセトフェノン類とチオキサン
トン類の両方を使用することが好ましい。上記光重合開
始剤のネガ型レジストへの配合量の目安としては、酸ペ
ンダント型エポキシアクリレートと光重合性ビニルモノ
マーも含めた総ビニル基の数に対して比例して添加する
ことが好ましいが、これらレジストの固形分総重量に対
して1.4〜2.6重量%が好ましい。
イン、ベンゾインメチルエーテル、ぺンゾインエチルエ
ーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾイン
イソブチルエーテル、ベンジルメチルケタールなどのベ
ンゾインとそのアルキルエーテル類;アセトフェノン、
2,2−ジメトキシ−2−フェニルアセトフェノン、2
−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニルプロパン−1
−オン、ジエトキシアセトフェノン、2,2−ジエトキ
シ−2−フェニルアセトフェノン、1,1−ジクロロア
セトフェノン、1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニル
ケトン、2−メチル−1−〔4−(メチルチオ)フェニ
ル〕−2−モルフォリノ−プロパン−1−オンなどのア
セトフェノン類;メチルアントラキノン、2−エチルア
ントラキノン、2−タシャリーブチルアントラキノン、
1−クロロアントラキノン、2−アミルアントラキノン
などのアントラキノン類;チオキサントン、2,4−ジ
エチルチオキサントン、2−クロロチオキサントン、
2,4−ジクロロチオキサントン、2−メチルチオキサ
ントン、2,4−ジイソプロピルチオキサントンなどの
チオキサントン類;アセトフェノンジメチルケタール、
ベンジルジメチルケタールなどのケタール類;ベンゾフ
ェノン、4,4−ビスメチルアミノベンゾフェノンなど
のベンゾフェノン類及びアゾ化合物などが挙げられる
が、なかでもアセトフェノン類とチオキサントン類が好
ましく、より好ましくはアセトフェノン類とチオキサン
トン類の両方を使用することが好ましい。上記光重合開
始剤のネガ型レジストへの配合量の目安としては、酸ペ
ンダント型エポキシアクリレートと光重合性ビニルモノ
マーも含めた総ビニル基の数に対して比例して添加する
ことが好ましいが、これらレジストの固形分総重量に対
して1.4〜2.6重量%が好ましい。
【0027】また、光重合性ビニルモノマーとしては、
例えば2−エチルヘキシル(メタ)アクリレート、ラウ
リル(メタ)アクリレート、シクロヘキシル(メタ)ア
クリレート、テトラヒドロフルフリール(メタ)アクリ
レート、イソボロニル(メタ)アクリレート、フェニル
(メタ)アクリレート、ベンジル(メタ)アクリレー
ト、フェノキシジエチレングリコール(メタ)アクリレ
ートなどの(メタ)アクリル酸のエステル類;ヒドロキ
シエチル(メタ)アクリレート、ヒドロキシプロピル
(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メ
タ)アクリレートなどのヒドロキシアルキル(メタ)ア
クリレート類;メトキシエチル(メタ)アクリレート、
エトキシエチル(メタ)アクリレートなどのアルコキシ
アルキレングリコールモノ(メタ)アクリレート類;エ
チレングリコールジ(メタ)アクリレート、ブタンジオ
ールジ(メタ)アクリレート、ネオペンチルグリコール
ジ(メタ)アクリレート、1,6−ヘキサンジオールジ
(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ
(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ
(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ
(メタ)アクリレートなどのアルキレンポリオールポリ
(メタ)アクリレート;ジエチレングリコールジ(メ
タ)アクリレート、トリエチレングリコールジ(メタ)
アクリレート、ポリエチレングリコール200ジ(メ
タ)アクリレート、ポリエトキシ化トリメチロールプロ
パントリ(メタ)アクリレート、ポリプロポキシ化トリ
メチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ポリエ
トキシ化ビスフェノールAジ(メタ)アクリレート、ポ
リプロポキシ化ビスフェノールAジ(メタ)アクリレー
ト、ポリエトキシ化水添ビスフェノールAジ(メタ)ア
クリレート、ポリプロポキシ化水添ビスフェノールAジ
(メタ)アクリレート、ポリエトキシ化ジシクロペンタ
ニエルジ(メタ)アクリレート、ポリプロポキシ化ジシ
クロペンタニエルジ(メタ)アクリレートなどのポリオ
キシアルキレングリコールポリ(メタ)アクリレート
類;ヒドロキシピバリン酸ネオペンチルグリコールエス
テルジ(メタ)アクリレートなどのエステルタイプのポ
リ(メタ)アクリレート類;トリス〔(メタ)アクリロ
キシエチル〕イソシアヌレートなどのイソシアヌレート
型ポリ(メタ)アクリレート類;N,N−ジメチルアミ
ノエチル(メタ)アクリレート、N,N−ジメチルアミ
ノプロピル(メタ)アクリレート、N,N−ジエチルア
ミノエチル(メタ)アクリレート、t−ブチルアミノエ
チル(メタ)アクリレートなどのアミノアルキル(メ
タ)アクリレート類;(メタ)アクリルアミド、N−メ
チル(メタ)アクリルアミド、N,N−ジメチルアクリ
ルアミド、N,N−ジメチル(メタ)アクリルアミド、
(メタ)アクリロイルモルホリンなどの(メタ)アクリ
ルアミド類;ビニルピロリドンなどが挙げられる。これ
らのなかでも耐熱性に優れる点から3官能以上のアクリ
レートが好ましい。
例えば2−エチルヘキシル(メタ)アクリレート、ラウ
リル(メタ)アクリレート、シクロヘキシル(メタ)ア
クリレート、テトラヒドロフルフリール(メタ)アクリ
レート、イソボロニル(メタ)アクリレート、フェニル
(メタ)アクリレート、ベンジル(メタ)アクリレー
ト、フェノキシジエチレングリコール(メタ)アクリレ
ートなどの(メタ)アクリル酸のエステル類;ヒドロキ
シエチル(メタ)アクリレート、ヒドロキシプロピル
(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メ
タ)アクリレートなどのヒドロキシアルキル(メタ)ア
クリレート類;メトキシエチル(メタ)アクリレート、
エトキシエチル(メタ)アクリレートなどのアルコキシ
アルキレングリコールモノ(メタ)アクリレート類;エ
チレングリコールジ(メタ)アクリレート、ブタンジオ
ールジ(メタ)アクリレート、ネオペンチルグリコール
ジ(メタ)アクリレート、1,6−ヘキサンジオールジ
(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ
(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ
(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ
(メタ)アクリレートなどのアルキレンポリオールポリ
(メタ)アクリレート;ジエチレングリコールジ(メ
タ)アクリレート、トリエチレングリコールジ(メタ)
アクリレート、ポリエチレングリコール200ジ(メ
タ)アクリレート、ポリエトキシ化トリメチロールプロ
パントリ(メタ)アクリレート、ポリプロポキシ化トリ
メチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ポリエ
トキシ化ビスフェノールAジ(メタ)アクリレート、ポ
リプロポキシ化ビスフェノールAジ(メタ)アクリレー
ト、ポリエトキシ化水添ビスフェノールAジ(メタ)ア
クリレート、ポリプロポキシ化水添ビスフェノールAジ
(メタ)アクリレート、ポリエトキシ化ジシクロペンタ
ニエルジ(メタ)アクリレート、ポリプロポキシ化ジシ
クロペンタニエルジ(メタ)アクリレートなどのポリオ
キシアルキレングリコールポリ(メタ)アクリレート
類;ヒドロキシピバリン酸ネオペンチルグリコールエス
テルジ(メタ)アクリレートなどのエステルタイプのポ
リ(メタ)アクリレート類;トリス〔(メタ)アクリロ
キシエチル〕イソシアヌレートなどのイソシアヌレート
型ポリ(メタ)アクリレート類;N,N−ジメチルアミ
ノエチル(メタ)アクリレート、N,N−ジメチルアミ
ノプロピル(メタ)アクリレート、N,N−ジエチルア
ミノエチル(メタ)アクリレート、t−ブチルアミノエ
チル(メタ)アクリレートなどのアミノアルキル(メ
タ)アクリレート類;(メタ)アクリルアミド、N−メ
チル(メタ)アクリルアミド、N,N−ジメチルアクリ
ルアミド、N,N−ジメチル(メタ)アクリルアミド、
(メタ)アクリロイルモルホリンなどの(メタ)アクリ
ルアミド類;ビニルピロリドンなどが挙げられる。これ
らのなかでも耐熱性に優れる点から3官能以上のアクリ
レートが好ましい。
【0028】光重合性モノマーの配合量は、多い程感
度、解像度が良好となるが、多すぎるとタックが発生し
たり、重合度が高くなるので、露光、現像後にクラック
が生じたりすることがある。上記光重合性モノマーのネ
ガ型レジストへの配合量の目安としては、これらレジス
トの固形分100重量部に対して8〜20重量部が好ま
しく、より好ましくは10〜18重量部である。
度、解像度が良好となるが、多すぎるとタックが発生し
たり、重合度が高くなるので、露光、現像後にクラック
が生じたりすることがある。上記光重合性モノマーのネ
ガ型レジストへの配合量の目安としては、これらレジス
トの固形分100重量部に対して8〜20重量部が好ま
しく、より好ましくは10〜18重量部である。
【0029】エポキシ樹脂の硬化促進剤及び潜在性硬化
剤として具体的には、2−メチルイミダゾール、2−エ
チル−3−メチルイミダゾール、2−ウンデシルイミダ
ゾール、2−フェニルイミダゾール、1−シアノエチル
ー2エチルイミダゾール、1−シアノエチル−2ウンデ
シルイミダゾール、等のイミダゾール化合物;メラミ
ン、グアナミン、アセトグアナミン、ベンゾグアナミ
ン、エチルジアミノトリアジン、2,4−ジアミノトリ
アジン、2,4−ジアミノ−6−トリルトリアジン、
2、4−ジアミノ−6−キシリルトリアジン等のトリア
ジン誘導体;トリメチルアミン、トリエタノールアミ
ン、N,N−ジメチルオクチルアミン、ピリジン、m−
アミノフェノール等の三級アミン類;ジアザビシクロウ
ンデセン、ジシアンジアミドなどが挙けられる。これら
の硬化促進剤は単独または併用して使用する事が出来
る。また、既に酸ペンダント型エポキシアクリレートの
製造の際に、反応触媒として使用したものが残存してい
る場合には、改めて使用する必要はない場合もある。
剤として具体的には、2−メチルイミダゾール、2−エ
チル−3−メチルイミダゾール、2−ウンデシルイミダ
ゾール、2−フェニルイミダゾール、1−シアノエチル
ー2エチルイミダゾール、1−シアノエチル−2ウンデ
シルイミダゾール、等のイミダゾール化合物;メラミ
ン、グアナミン、アセトグアナミン、ベンゾグアナミ
ン、エチルジアミノトリアジン、2,4−ジアミノトリ
アジン、2,4−ジアミノ−6−トリルトリアジン、
2、4−ジアミノ−6−キシリルトリアジン等のトリア
ジン誘導体;トリメチルアミン、トリエタノールアミ
ン、N,N−ジメチルオクチルアミン、ピリジン、m−
アミノフェノール等の三級アミン類;ジアザビシクロウ
ンデセン、ジシアンジアミドなどが挙けられる。これら
の硬化促進剤は単独または併用して使用する事が出来
る。また、既に酸ペンダント型エポキシアクリレートの
製造の際に、反応触媒として使用したものが残存してい
る場合には、改めて使用する必要はない場合もある。
【0030】なお、上記エポキシ樹脂の硬化促進剤及び
潜在性硬化剤の配合量は、エポキシ樹脂に対し、1〜1
5重量%が適当である。
潜在性硬化剤の配合量は、エポキシ樹脂に対し、1〜1
5重量%が適当である。
【0031】ネガ型レジストには、上記各成分以外に、
さらに必要に応じて各種の添加剤、例えばタルク、硫酸
バリウム、炭酸カルシウム、炭酸マグネシウム、チタン
酸バリウム、水酸化アルミニウム、酸化アルミニウム、
シリカ、クレーなどの無機充填剤;アエロジルなどのチ
キソトロピー付与剤;フタロシアニンブルー、フタロシ
アニングリーン、酸化チタンなどの着色剤;シリコー
ン、フッ素系のレベリング剤や消泡剤;ハイドロキノ
ン、ハイドロキノンモノメチルエーテルなどの重合禁止
剤などを電気絶縁性及び塗膜性能を高める目的で添加す
ることができる。
さらに必要に応じて各種の添加剤、例えばタルク、硫酸
バリウム、炭酸カルシウム、炭酸マグネシウム、チタン
酸バリウム、水酸化アルミニウム、酸化アルミニウム、
シリカ、クレーなどの無機充填剤;アエロジルなどのチ
キソトロピー付与剤;フタロシアニンブルー、フタロシ
アニングリーン、酸化チタンなどの着色剤;シリコー
ン、フッ素系のレベリング剤や消泡剤;ハイドロキノ
ン、ハイドロキノンモノメチルエーテルなどの重合禁止
剤などを電気絶縁性及び塗膜性能を高める目的で添加す
ることができる。
【0032】本発明のドライフイルム型ソルダーレジス
トのネガ型レジストは、上記のネガ型レジストからなる
層を表面上に形成する。ネガ型レジスト層を形成する方
法としては、支持体表面にネガ型レジストをスピンコー
ター法やスクリーン印刷法、静電塗装法、ロールコータ
ー法、カーテンコーター法などにより塗布し、乾燥する
方法を挙げることができる。硬化後に得られたネガ型レ
ジスト層の膜厚は、銅回路の高さ、配線密度に応じて、
膜厚を調整することが好ましい。即ち、銅回路の高さが
低く、配線密度が大きれば、レジスト層の膜厚は薄くて
もよいし、銅回路の高さが高く、配線密度が小さけれ
ば、レジスト層の膜厚は厚くなる。レジスト層の膜厚は
目安としては、好ましくは銅回路の高さの100%以
上、より好ましくは120%以上の膜厚であり、一般の
サブトラクティブ基板では銅回路の高さに応じて18〜
84μmの範囲が好ましい。
トのネガ型レジストは、上記のネガ型レジストからなる
層を表面上に形成する。ネガ型レジスト層を形成する方
法としては、支持体表面にネガ型レジストをスピンコー
ター法やスクリーン印刷法、静電塗装法、ロールコータ
ー法、カーテンコーター法などにより塗布し、乾燥する
方法を挙げることができる。硬化後に得られたネガ型レ
ジスト層の膜厚は、銅回路の高さ、配線密度に応じて、
膜厚を調整することが好ましい。即ち、銅回路の高さが
低く、配線密度が大きれば、レジスト層の膜厚は薄くて
もよいし、銅回路の高さが高く、配線密度が小さけれ
ば、レジスト層の膜厚は厚くなる。レジスト層の膜厚は
目安としては、好ましくは銅回路の高さの100%以
上、より好ましくは120%以上の膜厚であり、一般の
サブトラクティブ基板では銅回路の高さに応じて18〜
84μmの範囲が好ましい。
【0033】ネガ型レジスト層を塗布する際には有機溶
剤を用いることができる。ここで用いることができる有
機溶剤としては、例えばトルエン、キシレンなどの芳香
族炭化水素;メタノール、イソプロピルアルコールなど
のアルコール類;酢酸エチル、酢酸ブチルなどのエステ
ル類;1,4−ジオキサン、テトラヒドロフランなどの
エーテル類;メチルエチルケトン、メチルイソブチルケ
トンなどのケトン類;セロソルブ、ブチルセロソルブア
セテート、セロソルブアセテートなどのグリコール誘導
体;シクロヘキサノン、シクロヘキサノールなどの脂環
式炭化水素及び石油エーテル、石油ナフサなどの石油系
溶剤などを挙げることができる。
剤を用いることができる。ここで用いることができる有
機溶剤としては、例えばトルエン、キシレンなどの芳香
族炭化水素;メタノール、イソプロピルアルコールなど
のアルコール類;酢酸エチル、酢酸ブチルなどのエステ
ル類;1,4−ジオキサン、テトラヒドロフランなどの
エーテル類;メチルエチルケトン、メチルイソブチルケ
トンなどのケトン類;セロソルブ、ブチルセロソルブア
セテート、セロソルブアセテートなどのグリコール誘導
体;シクロヘキサノン、シクロヘキサノールなどの脂環
式炭化水素及び石油エーテル、石油ナフサなどの石油系
溶剤などを挙げることができる。
【0034】〔工程(1)〕工程(1)では、上記回路
パターンが形成された基板と、本発明の支持体(フィル
ム)の1面上に形成されたネガ型ソルダーレジスト層
(ドライフイルム型ソルダーレジストのレジスト層)を
重ね、加熱ロールを用いたフイルムラミネーターを用
い、熱圧着により貼合わせる。熱圧着の条件としては、
好ましくは50〜110℃、より好ましくは70〜90
℃の温度である。また圧力としては、好ましくは1〜6
kg/cm2 、より好ましくは2〜4kg/cm2 の圧
力である。また、フィルム送り速度としては、好ましく
は0.5〜3m/分、より好ましくは1〜1.5m/分
である。
パターンが形成された基板と、本発明の支持体(フィル
ム)の1面上に形成されたネガ型ソルダーレジスト層
(ドライフイルム型ソルダーレジストのレジスト層)を
重ね、加熱ロールを用いたフイルムラミネーターを用
い、熱圧着により貼合わせる。熱圧着の条件としては、
好ましくは50〜110℃、より好ましくは70〜90
℃の温度である。また圧力としては、好ましくは1〜6
kg/cm2 、より好ましくは2〜4kg/cm2 の圧
力である。また、フィルム送り速度としては、好ましく
は0.5〜3m/分、より好ましくは1〜1.5m/分
である。
【0035】図4は熱圧着により、基板1の回路パター
ン(銅回路2)上に貼合わせられたネガ型レジスト層5
および支持体6を示す概略断面図であり、ネガ型レジス
ト層5は、基材1の表面のみならず、銅回路2の表面を
も均等かつ平坦に覆っている。
ン(銅回路2)上に貼合わせられたネガ型レジスト層5
および支持体6を示す概略断面図であり、ネガ型レジス
ト層5は、基材1の表面のみならず、銅回路2の表面を
も均等かつ平坦に覆っている。
【0036】〔工程(2)及び(3)〕工程(2)で
は、工程(1)で基板の回路パターン(銅回路2)上に
設けられたネガ型レジスト層に支持体(フィルム)を通
して、ハンダの位置をマスクして活性放射線で露光す
る。工程(3)では、前記ネガ型レジスト層上の支持体
(フィルム)を剥離・除去する。その結果、ネガ型レジ
スト層の平坦な表面が露出し、レジスト層で覆われてい
る基板が得られる。図5の(a)には、マスク7により
銅回路2の上のネガ型レジスト層5が露光されないよう
にして紫外線(UV)を照射している工程(2)の様子
が概略的に示されている。
は、工程(1)で基板の回路パターン(銅回路2)上に
設けられたネガ型レジスト層に支持体(フィルム)を通
して、ハンダの位置をマスクして活性放射線で露光す
る。工程(3)では、前記ネガ型レジスト層上の支持体
(フィルム)を剥離・除去する。その結果、ネガ型レジ
スト層の平坦な表面が露出し、レジスト層で覆われてい
る基板が得られる。図5の(a)には、マスク7により
銅回路2の上のネガ型レジスト層5が露光されないよう
にして紫外線(UV)を照射している工程(2)の様子
が概略的に示されている。
【0037】〔工程(4)〕工程(4)では、露光後、
現像液で未露光の銅回路上のネガ型レジスト層を除去す
る。その結果、銅回路の上部が露出し、必要により銅回
路以外の領域が露光により光重合したレジスト層で覆わ
れている基板が得られる。図5の(b)には、工程
(4)で得られる、銅回路2の上部が露出し、銅回路2
以外の領域が露光により光重合したレジスト層5bで平
坦に覆われている基板1の概略断面が示されている。
現像液で未露光の銅回路上のネガ型レジスト層を除去す
る。その結果、銅回路の上部が露出し、必要により銅回
路以外の領域が露光により光重合したレジスト層で覆わ
れている基板が得られる。図5の(b)には、工程
(4)で得られる、銅回路2の上部が露出し、銅回路2
以外の領域が露光により光重合したレジスト層5bで平
坦に覆われている基板1の概略断面が示されている。
【0038】工程(2)の露光に用いられる活性放射線
としては、特に制限はないが、例えば紫外線等を挙げる
ことができる。露光条件は、ネガ型レジスト層の組成、
厚み等により適宜選択されるが、通常100〜1000
mj/cm2 の範囲から選択される。
としては、特に制限はないが、例えば紫外線等を挙げる
ことができる。露光条件は、ネガ型レジスト層の組成、
厚み等により適宜選択されるが、通常100〜1000
mj/cm2 の範囲から選択される。
【0039】工程(4)の現像に用いられる現像液は、
上記ネガ型レジストにはアルカリ性現像液が用いられ、
例えば炭酸ソーダ等の無機アルカリ水溶液、あるいはテ
トラメチルアンモニウムハイドロオキサイド等の有機ア
ルカリ水溶液による現像が一般的である。次に150
℃、30min.ポストキュアを行う。
上記ネガ型レジストにはアルカリ性現像液が用いられ、
例えば炭酸ソーダ等の無機アルカリ水溶液、あるいはテ
トラメチルアンモニウムハイドロオキサイド等の有機ア
ルカリ水溶液による現像が一般的である。次に150
℃、30min.ポストキュアを行う。
【0040】〔工程(5)〕工程(5)では、上記工程
(4)で得られた銅回路の上部が露出した部分にハンダ
を施し、銅回路の上部のみにハンダメッキを形成する。
図5の(c)には、工程(5)で得られる、銅回路2の
上部の露出部のみにハンダ8が付着している基板の概略
断面が示されている。また、ハンダ8は、基板の銅回路
2と溶融接合している。基板面は、エポキシ樹脂が硬化
したレジスト層5cと強固に接着している。
(4)で得られた銅回路の上部が露出した部分にハンダ
を施し、銅回路の上部のみにハンダメッキを形成する。
図5の(c)には、工程(5)で得られる、銅回路2の
上部の露出部のみにハンダ8が付着している基板の概略
断面が示されている。また、ハンダ8は、基板の銅回路
2と溶融接合している。基板面は、エポキシ樹脂が硬化
したレジスト層5cと強固に接着している。
【0041】基板は、その表層にハンダと同じ位置に電
気回路が形成されて金属パターンとなっており、他の部
分は絶縁されている。本発明に使用される回路パターン
が形成された基板は、前記のように、ガラス布−エポキ
シ樹脂を基材とした多層板をコア材として、この多層板
の両面に銅箔を形成した基板表面が全て銅で覆われてい
る銅張積層板に、回路形成用ドライフイルムレジストを
貼付け、パターンマスク上から露光・現像してレジスト
の回路パターンを形成し、レジスト膜のない銅箔部分を
エッチング除去後、更に、レジスト膜をアルカリで除去
し、回路形成されたものである。
気回路が形成されて金属パターンとなっており、他の部
分は絶縁されている。本発明に使用される回路パターン
が形成された基板は、前記のように、ガラス布−エポキ
シ樹脂を基材とした多層板をコア材として、この多層板
の両面に銅箔を形成した基板表面が全て銅で覆われてい
る銅張積層板に、回路形成用ドライフイルムレジストを
貼付け、パターンマスク上から露光・現像してレジスト
の回路パターンを形成し、レジスト膜のない銅箔部分を
エッチング除去後、更に、レジスト膜をアルカリで除去
し、回路形成されたものである。
【0042】
【実施例】以下、実施例により本発明を具体的に説明す
るが、本発明の範囲は実施例に制限されるものではな
い。 (実施例1)酸ペンダント型臭素化エポキシアクリレー
トであるネオポール8318(商品名、日本ユピカ
(株)製:固形分75%)75重量部、3官能エポキシ
樹脂であるトリグリシジルイソシアヌレート(商品名:T
EPIC−S日産化学(株)製)41.25重量部、ア
クリルモノマーであるジペンタエリスリトールヘキサア
クリレート(商品名:アロニックス M−402 東亜
合成(株)製)20重量部、光重合開始剤であるIR−
907(商品名、チバスペシャリティーケミカルズ社
製)0.8重量部、及びDETX−S(商品名、日本化
薬社製)0.8重量部、希釈溶剤としてのメチルエチル
ケトン23重量部からなるネガ型レジスト液を調製し
た。
るが、本発明の範囲は実施例に制限されるものではな
い。 (実施例1)酸ペンダント型臭素化エポキシアクリレー
トであるネオポール8318(商品名、日本ユピカ
(株)製:固形分75%)75重量部、3官能エポキシ
樹脂であるトリグリシジルイソシアヌレート(商品名:T
EPIC−S日産化学(株)製)41.25重量部、ア
クリルモノマーであるジペンタエリスリトールヘキサア
クリレート(商品名:アロニックス M−402 東亜
合成(株)製)20重量部、光重合開始剤であるIR−
907(商品名、チバスペシャリティーケミカルズ社
製)0.8重量部、及びDETX−S(商品名、日本化
薬社製)0.8重量部、希釈溶剤としてのメチルエチル
ケトン23重量部からなるネガ型レジスト液を調製し
た。
【0043】次に、この主剤と硬化剤を混合した後、フ
ィルム形成装置コンマドクターでギャップ72μmに調
整し、支持体としてポリエチレンテレフタレートフィル
ム(膜厚20μm)上に塗布し、乾燥条件を100℃×
2minで硬化後の厚み40μmの当該樹脂組成物層を有
するドライフィルムを得た。また、銅回路高さ35μ
m、銅回路幅300μmの回路基板を用意し、上記ソル
ダーレジストドライフィルムを積層板上に熱ロールを用
いて、圧力2Kg、温度85℃、送り速度1m/mi
n.の条件で熱圧着し、基板に貼合わせた。次いで富士
写真フイルム(株)製のポジ型ステップガイドのパター
ンフィルムを密着させ、300mj/cm2の紫外線を照射
し、次に支持体のポリエチレンテレフタレートフィルム
を剥離し、液温30℃の1%炭酸ナトリウム水溶液を用
いて40秒で現像し、更に熱風循環式乾燥機にて150
℃で30分熱硬化した。これらの結果、オリンパス光学
(株)製、光学顕微鏡(倍率:200倍)で、得られた
プリント回路基板の断面を観察したところ、全くボイド
の発生は見られなかった。ここでボイドとは、ソルダー
レジスト剤が隙間に完全に充填されていないと気泡とし
て隙間に空気が残ることをいう。また、解像度40μm
の良好なパターンが得られた。
ィルム形成装置コンマドクターでギャップ72μmに調
整し、支持体としてポリエチレンテレフタレートフィル
ム(膜厚20μm)上に塗布し、乾燥条件を100℃×
2minで硬化後の厚み40μmの当該樹脂組成物層を有
するドライフィルムを得た。また、銅回路高さ35μ
m、銅回路幅300μmの回路基板を用意し、上記ソル
ダーレジストドライフィルムを積層板上に熱ロールを用
いて、圧力2Kg、温度85℃、送り速度1m/mi
n.の条件で熱圧着し、基板に貼合わせた。次いで富士
写真フイルム(株)製のポジ型ステップガイドのパター
ンフィルムを密着させ、300mj/cm2の紫外線を照射
し、次に支持体のポリエチレンテレフタレートフィルム
を剥離し、液温30℃の1%炭酸ナトリウム水溶液を用
いて40秒で現像し、更に熱風循環式乾燥機にて150
℃で30分熱硬化した。これらの結果、オリンパス光学
(株)製、光学顕微鏡(倍率:200倍)で、得られた
プリント回路基板の断面を観察したところ、全くボイド
の発生は見られなかった。ここでボイドとは、ソルダー
レジスト剤が隙間に完全に充填されていないと気泡とし
て隙間に空気が残ることをいう。また、解像度40μm
の良好なパターンが得られた。
【0044】(比較例1)太陽インキ(株)製、液状ソ
ルダーレジスト(商品名:PSR−4000Z26)の
主剤と硬化剤を混合した後、スクリーン印刷で、実施例
1で用いた銅回路高さ35μm、銅回路幅300μmの
回路基板に塗布し、乾燥し、銅箔厚み13μmの塗膜を
得た。実施例1と同様に光学顕微鏡で見たところ、全く
ボイドの発生は見られなかった。次いで実施例1と同様
に、パターンフィルムを密着させ、350mj/cm2の紫外
線を照射し、液温30℃の1%炭酸ナトリウム水溶液を
用いて40秒で現像し、更に熱風循環式乾燥機にて15
0℃で60分熱硬化した結果、解像度40μmの良好な
パターンが得られた。
ルダーレジスト(商品名:PSR−4000Z26)の
主剤と硬化剤を混合した後、スクリーン印刷で、実施例
1で用いた銅回路高さ35μm、銅回路幅300μmの
回路基板に塗布し、乾燥し、銅箔厚み13μmの塗膜を
得た。実施例1と同様に光学顕微鏡で見たところ、全く
ボイドの発生は見られなかった。次いで実施例1と同様
に、パターンフィルムを密着させ、350mj/cm2の紫外
線を照射し、液温30℃の1%炭酸ナトリウム水溶液を
用いて40秒で現像し、更に熱風循環式乾燥機にて15
0℃で60分熱硬化した結果、解像度40μmの良好な
パターンが得られた。
【0045】上記実施例1のドライフイルム型ソルダー
レジストを転写後の供試体と、上記比較例1の液状ソル
ダーレジストを塗布して得られた供試体について、形成
されたソルダーレジスト層の平坦性を試験するため、図
2(a)に示す、銅回路中央部のレジスト厚み、銅回路
肩部のレジスト厚み、及び表面の粗さ(凹凸の最大値と
最小値の差)を(株)日立製作所製、電子顕微鏡、S−
4500にて測定した。また、下記の機材を用いて、各
々の基板に印刷し、1枚目とフィルムの方眼紙の4隅の
位置を測長機にて、位置精度を測定した。 スクリーン印刷機:東海精機(株)製、半自動印刷機SSA−PC605A スクリーン版 :(株)ムラカミ製 版枠サイズ:950×950mm 印刷サイズ:500×500mm メッシュ :テトロン150メッシュ、バイアス 乳剤厚み :10ミクロン パターン :方眼紙 測長機 :大日本スクリーン(株)製、DSP−600 インキ :太陽インキ(株)製、シンボルインキS−100W。 また、同様に上記の機材を利用して、スクリーン版のラ
インの幅と印刷基板のラインの幅を測定し、印刷方向の
ニジミを測定した。更に、ハンダ付けについてその良否
を試験した。得られたレジスト層の平坦性試験および印
刷試験の結果を表1に示す。
レジストを転写後の供試体と、上記比較例1の液状ソル
ダーレジストを塗布して得られた供試体について、形成
されたソルダーレジスト層の平坦性を試験するため、図
2(a)に示す、銅回路中央部のレジスト厚み、銅回路
肩部のレジスト厚み、及び表面の粗さ(凹凸の最大値と
最小値の差)を(株)日立製作所製、電子顕微鏡、S−
4500にて測定した。また、下記の機材を用いて、各
々の基板に印刷し、1枚目とフィルムの方眼紙の4隅の
位置を測長機にて、位置精度を測定した。 スクリーン印刷機:東海精機(株)製、半自動印刷機SSA−PC605A スクリーン版 :(株)ムラカミ製 版枠サイズ:950×950mm 印刷サイズ:500×500mm メッシュ :テトロン150メッシュ、バイアス 乳剤厚み :10ミクロン パターン :方眼紙 測長機 :大日本スクリーン(株)製、DSP−600 インキ :太陽インキ(株)製、シンボルインキS−100W。 また、同様に上記の機材を利用して、スクリーン版のラ
インの幅と印刷基板のラインの幅を測定し、印刷方向の
ニジミを測定した。更に、ハンダ付けについてその良否
を試験した。得られたレジスト層の平坦性試験および印
刷試験の結果を表1に示す。
【0046】
【表1】
【0047】ハンダ付けについてその良否を試験した結
果、実施例1の供試体はハンダが銅回路の上部にしか付
かなく良好〔図5(c)〕であったが、液状ソルダーレ
ジストで得られた供試体については、銅回路の肩部のレ
ジスト厚みが薄くなるため、ハンダ付けでレジストが剥
がれる場合があった。また、ハンダ付け以外のメッキ、
前処理等でレジストが剥がれる場合もあった。このた
め、実際には、液状ソルダーレジストが銅回路に掛から
ないように回路設計し、このため図6(a)および
(b)に示すようなハンダ付け不良が発生しやすかっ
た。
果、実施例1の供試体はハンダが銅回路の上部にしか付
かなく良好〔図5(c)〕であったが、液状ソルダーレ
ジストで得られた供試体については、銅回路の肩部のレ
ジスト厚みが薄くなるため、ハンダ付けでレジストが剥
がれる場合があった。また、ハンダ付け以外のメッキ、
前処理等でレジストが剥がれる場合もあった。このた
め、実際には、液状ソルダーレジストが銅回路に掛から
ないように回路設計し、このため図6(a)および
(b)に示すようなハンダ付け不良が発生しやすかっ
た。
【0048】表1の結果から明らかなように、液状ソル
ダーレジストで得られた供試体は、表面の凹凸差、印刷
の位置精度、ニジミ及びハンダ付けにおいて問題を含
む。一方、本発明の製造方法によるプリント回路基板は
ドライフィルム型ソルダーレジストで平坦化することに
より、銅回路の肩部分の塗膜が均一になり、表面の凹凸
差が極めて小さく、印刷面がフラットになり、シンボル
インキの印刷の位置精度、ニジミも改良された。また、
基板がフラットになり、ハンダが銅回路の上部にしか付
かなくなり、ハンダ付け不良が改良された。
ダーレジストで得られた供試体は、表面の凹凸差、印刷
の位置精度、ニジミ及びハンダ付けにおいて問題を含
む。一方、本発明の製造方法によるプリント回路基板は
ドライフィルム型ソルダーレジストで平坦化することに
より、銅回路の肩部分の塗膜が均一になり、表面の凹凸
差が極めて小さく、印刷面がフラットになり、シンボル
インキの印刷の位置精度、ニジミも改良された。また、
基板がフラットになり、ハンダが銅回路の上部にしか付
かなくなり、ハンダ付け不良が改良された。
【0049】
【発明の効果】本発明のプリント回路基板の製造方法は
ドライフィルム型ソルダーネガ型レジストを導入するこ
とにより、ソルダーレジストの表面を平坦化でき、その
後の工程で、膜厚の精度が良く、解像性低下がなく、シ
ンボルインキのスクリーン印刷のニジミもなく、ハンダ
付け不良が改良され、接続不良を少なく出来る画期的な
プリント基板を提供することでき、扱いが容易で、且つ
低コストで行うことができ、環境問題がなく、携帯用電
子機器の実装基板に最適であるプリント回路基板の製造
方法であり、極めて高い実用性を有するものである。
ドライフィルム型ソルダーネガ型レジストを導入するこ
とにより、ソルダーレジストの表面を平坦化でき、その
後の工程で、膜厚の精度が良く、解像性低下がなく、シ
ンボルインキのスクリーン印刷のニジミもなく、ハンダ
付け不良が改良され、接続不良を少なく出来る画期的な
プリント基板を提供することでき、扱いが容易で、且つ
低コストで行うことができ、環境問題がなく、携帯用電
子機器の実装基板に最適であるプリント回路基板の製造
方法であり、極めて高い実用性を有するものである。
【図1】(a)は基板の両面に銅回路を形成後のサブト
ラクティブ法プリント基板の状態を示す概略断面図であ
り、(b)は基板の両面に銅回路を形成後のアディティ
ブ法プリント基板を示す概略断面図である。
ラクティブ法プリント基板の状態を示す概略断面図であ
り、(b)は基板の両面に銅回路を形成後のアディティ
ブ法プリント基板を示す概略断面図である。
【図2】(a)は基板に銅回路を形成後のサブトラクテ
ィブ法プリント基板上に液状の熱硬化型ソルダーネガ型
レジストを形成した様子を示す概略断面図であり、
(b)は同じく塗布・熱硬化後に銅回路上の不要なソル
ダーレジストを研磨して、取り除き平坦化したものを示
す概略断面図である。
ィブ法プリント基板上に液状の熱硬化型ソルダーネガ型
レジストを形成した様子を示す概略断面図であり、
(b)は同じく塗布・熱硬化後に銅回路上の不要なソル
ダーレジストを研磨して、取り除き平坦化したものを示
す概略断面図である。
【図3】支持体(フィルム)の1面上にネガ型ソルダー
レジスト層が形成された、ドライフイルム型ソルダーレ
ジストを示す概略断面図である。
レジスト層が形成された、ドライフイルム型ソルダーレ
ジストを示す概略断面図である。
【図4】熱圧着により、基板の回路パターン(銅回路)
上に貼合わせられたネガ型レジスト層および支持体を示
す概略断面図である。
上に貼合わせられたネガ型レジスト層および支持体を示
す概略断面図である。
【図5】(a)は、マスクにより銅回路の上のネガ型レ
ジスト層が露光されないようにして紫外線(UV)を照
射している工程(2)の様子を示す概略図である。
(b)は、工程(4)で得られる、銅回路の上部が露出
し、銅回路以外の領域が露光により光重合したレジスト
層で平坦に覆われている基板の概略断面である。(c)
は、工程(5)で得られる銅回路の上部の露出部のみに
ハンダが付着している基板の概略断面であり、また、ハ
ンダは基板の銅回路と溶融接合し、基板面の絶縁層は、
エポキシ樹脂が硬化したレジスト層と強固に実装されて
いる様子を示す概略断面である。
ジスト層が露光されないようにして紫外線(UV)を照
射している工程(2)の様子を示す概略図である。
(b)は、工程(4)で得られる、銅回路の上部が露出
し、銅回路以外の領域が露光により光重合したレジスト
層で平坦に覆われている基板の概略断面である。(c)
は、工程(5)で得られる銅回路の上部の露出部のみに
ハンダが付着している基板の概略断面であり、また、ハ
ンダは基板の銅回路と溶融接合し、基板面の絶縁層は、
エポキシ樹脂が硬化したレジスト層と強固に実装されて
いる様子を示す概略断面である。
【図6】(a)および(b)は液状フォトソルダーレジ
ストを用いた場合に発生するハンダ付け不良を示す概略
断面である。
ストを用いた場合に発生するハンダ付け不良を示す概略
断面である。
1 プリント回路基板の基材 2 銅回路 3 メッキレジスト 4 レジスト層(液状フォトソルダーレジスト塗
布) 5 レジスト層(ドライフイルム型ソルダーレジ
スト層) 5a レジスト層(同上、露光後) 5b レジスト層(同上、現像後) 5c レジスト層(同上、エポキシ樹脂硬化後) 6 ドライフイルム型ソルダーレジストの支持体 7 マスク 8 ハンダ 9 肩部のレジスト厚み 10 中央部のレジスト厚み 11 表面の凹凸差
布) 5 レジスト層(ドライフイルム型ソルダーレジ
スト層) 5a レジスト層(同上、露光後) 5b レジスト層(同上、現像後) 5c レジスト層(同上、エポキシ樹脂硬化後) 6 ドライフイルム型ソルダーレジストの支持体 7 マスク 8 ハンダ 9 肩部のレジスト厚み 10 中央部のレジスト厚み 11 表面の凹凸差
Claims (2)
- 【請求項1】 プリント回路基板の製造方法において、
回路パターンが形成された基板と、支持体(フィルム)
の1面上に形成されたネガ型ソルダーレジスト層を熱圧
着により貼合わせ、ハンダの位置をマスクして露光・硬
化を行った後、前記支持体を剥離することにより、回路
パターン上に形成されたネガ型ソルダーレジスト層の表
面を平坦にして形成することを特徴とするプリント回路
基板の製造方法。 - 【請求項2】 前記ネガ型ソルダーレジスト層が、50
℃〜110℃の温度で溶融する層であることを特徴とす
る請求項1記載のプリント回路基板の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11364598A JPH11307916A (ja) | 1998-04-23 | 1998-04-23 | プリント回路基板の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11364598A JPH11307916A (ja) | 1998-04-23 | 1998-04-23 | プリント回路基板の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11307916A true JPH11307916A (ja) | 1999-11-05 |
Family
ID=14617508
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11364598A Withdrawn JPH11307916A (ja) | 1998-04-23 | 1998-04-23 | プリント回路基板の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11307916A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003026765A (ja) * | 2001-07-19 | 2003-01-29 | Sanei Kagaku Kk | 熱硬化性樹脂組成物、並びに平滑板の製造方法及びその平滑板 |
| WO2006126621A1 (ja) | 2005-05-23 | 2006-11-30 | Ibiden Co., Ltd. | プリント配線板 |
| JP2007207969A (ja) * | 2006-02-01 | 2007-08-16 | Asti Corp | パターン形成方法 |
| JP2008141216A (ja) * | 2007-12-28 | 2008-06-19 | Mitsui Mining & Smelting Co Ltd | フィルムキャリアの製造方法 |
| CN110831345A (zh) * | 2019-11-22 | 2020-02-21 | 东莞市鸿运电子有限公司 | 一种厚铜板的印刷方法 |
-
1998
- 1998-04-23 JP JP11364598A patent/JPH11307916A/ja not_active Withdrawn
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003026765A (ja) * | 2001-07-19 | 2003-01-29 | Sanei Kagaku Kk | 熱硬化性樹脂組成物、並びに平滑板の製造方法及びその平滑板 |
| WO2006126621A1 (ja) | 2005-05-23 | 2006-11-30 | Ibiden Co., Ltd. | プリント配線板 |
| EP1884992A4 (en) * | 2005-05-23 | 2009-10-28 | Ibiden Co Ltd | CIRCUIT BOARD |
| US8198546B2 (en) | 2005-05-23 | 2012-06-12 | Ibiden Co., Ltd. | Printed wiring board |
| JP2007207969A (ja) * | 2006-02-01 | 2007-08-16 | Asti Corp | パターン形成方法 |
| JP2008141216A (ja) * | 2007-12-28 | 2008-06-19 | Mitsui Mining & Smelting Co Ltd | フィルムキャリアの製造方法 |
| CN110831345A (zh) * | 2019-11-22 | 2020-02-21 | 东莞市鸿运电子有限公司 | 一种厚铜板的印刷方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20050705 |