JPH11273162A - Method and apparatus for manufacturing optical bonded disc - Google Patents
Method and apparatus for manufacturing optical bonded discInfo
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- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 片面2層や両面1層の光学式貼り合わせディ
スクでもチルトが良好で安定した光学式貼り合わせディ
スクを大量にしかも安定して製造することができる光学
式貼り合わせディスクの製造方法を提供する。
【解決手段】 1対の片面ディスク1A,1B間に紫外
線硬化型接着剤を介在させてディスク保持台11上に載
置し、紫外線を照射して貼り合わせる光学式貼り合わせ
ディスクの製造方法に関する。ディスク保持台11に接
している一方の片面ディスク1Aが他方の片面ディスク
1Bと等温になるようにディスク保持台11を温度調節
し、その後に紫外線を照射して1対の片面ディスク1
A,1B間の紫外線硬化型接着剤を硬化させる。
(57) Abstract: An optical bonding disc that can stably produce a large quantity of optically bonded discs with good tilt and stable even with a single-sided two-layer or double-sided one-layer optically bonded disc. A method for manufacturing a disk is provided. SOLUTION: The present invention relates to a method of manufacturing an optical bonded disk which is placed on a disk holding table 11 with an ultraviolet-curable adhesive interposed between a pair of single-sided disks 1A and 1B, and is irradiated with ultraviolet light for bonding. The temperature of the disk holder 11 is adjusted so that the one-sided disk 1A in contact with the disk holder 11 is equal in temperature to the other one-sided disk 1B, and then the pair of single-sided disks 1 is irradiated with ultraviolet rays.
The ultraviolet curable adhesive between A and 1B is cured.
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、オーディオ情報、
ビデオ情報、或いは通常データの記録又は再生を光学式
に行う貼り合わせディスクの製造方法及びその装置に関
し、特に接着剤として紫外線硬化型樹脂等のエネルギー
線硬化型樹脂を用い、エネルギー線を照射して貼り合わ
せる光学式貼り合わせディスクの製造方法及びその装置
に関する。[0001] The present invention relates to audio information,
Video information, or a method for manufacturing a bonded disc that optically records or reproduces normal data and a device therefor, in particular, using an energy ray-curable resin such as an ultraviolet-curable resin as an adhesive, and irradiating energy rays. The present invention relates to a method and an apparatus for manufacturing an optically bonded disk.
【0002】従来、DVDの片面1層ディスクや両面1
層ディスクなどの、貼り合わせたディスクの記録情報を
それぞれの面側から読み取る構成の光学式貼り合わせデ
ィスクが知られている。Conventionally, single-sided single-layer discs and double-sided
2. Description of the Related Art An optical bonded disc having a configuration in which recording information of a bonded disc such as a layer disc is read from each surface side is known.
【0003】このような2枚の片面ディスクを表裏に貼
り合わせる光学式貼り合わせディスクを製造するには、
一般的に、先ず射出成形によって情報ピットの形成され
たポリカーボネート等の透明ディスク基盤を作製する。[0003] In order to manufacture such an optically bonded disk in which two single-sided disks are bonded on the front and back,
In general, first, a transparent disk base such as polycarbonate having information pits formed by injection molding is prepared.
【0004】次に、成形したディスクのピットの表面に
アルミニウム等の反射膜をスパッタリング等によって成
膜して片側の面の単盤とし、特開平5−20714号の
ようにこの反射膜面上に紫外線硬化型樹脂をドーナツ状
に塗布する。その後、紫外線硬化型樹脂を塗布した片側
の面の単盤上に、貼り合わせるべくもう一方の単盤(片
面1層ディスクでは反射膜を成膜する必要がない、即
ち、透明基板のまま使用する)を重ね合わせ、これらを
回転させて樹脂(接着剤)をディスクの全面に延伸す
る。このいわゆるスピナー処理によって貼り合わせた状
態となり、この状態でディスクの一方或いは双方から紫
外線を照射して樹脂を硬化し、固定する。[0004] Next, a reflective film of aluminum or the like is formed on the surface of the pit of the formed disk by sputtering or the like to form a single-sided single plate. An ultraviolet curable resin is applied in a donut shape. Thereafter, the other veneer (a single-sided single-layer disk does not require a reflective film to be formed, ie, is used as a transparent substrate) to be bonded to the veneer on one side coated with the ultraviolet curable resin. ) Are overlapped, and they are rotated to stretch the resin (adhesive) over the entire surface of the disk. The so-called spinner process results in a bonded state. In this state, ultraviolet rays are irradiated from one or both of the disks to cure and fix the resin.
【0005】また、片面2層ディスクと称される貼り合
わせディスクは、透明ディスク基板に半透明膜を成膜し
たものとアルミのような反射膜を成膜したものとを貼り
合わせ、これらの記録情報を半透明膜の基板側から読み
取る構成のディスクであり、これも同様の方法で製作さ
れる。[0005] A bonded disk called a single-sided dual-layer disk is obtained by bonding a transparent disk substrate with a semi-transparent film formed thereon and a reflective film such as aluminum on a laminated substrate. This is a disk configured to read information from the substrate side of the translucent film, and is also manufactured by the same method.
【0006】紫外線硬化型樹脂等を用いたこの種の貼り
合わせ方法では、硬化前の樹脂が液状であるために硬化
の際にディスクの平面性(反りのない状態)を保つよう
な、例えば、平坦なガラス板の間に挟み込むような矯正
手段を講じなければ貼り合わせ、硬化後のディスクには
大きなチルトが発生してしまう。In this type of bonding method using an ultraviolet curable resin or the like, since the resin before curing is in a liquid state, the flatness (unwarped state) of the disk is maintained during curing. Unless corrective means such as being sandwiched between flat glass plates is taken, a large tilt will occur in the disc after bonding and curing.
【0007】この問題を解決すべく、本出願人は先に、
特願平8−137084号として、ガラスに挟み込まな
くとも、ディスクのスタックリングの内側と外側とをリ
ング状に真空吸着し、他の部分は同一レベルの平坦な面
で貼り合わせ、下側ディスクを保持し矯正する構造の保
持手段を設けることを提案した。これによれば、チルト
の低減に大きな効果を得ることが出来る。In order to solve this problem, the present applicant firstly
As disclosed in Japanese Patent Application No. 8-137084, the inner and outer sides of the stack ring of the disk are vacuum-adsorbed in a ring shape without being sandwiched by glass, and the other parts are stuck on a flat surface of the same level, and the lower disk is attached. It has been proposed to provide a holding means with a holding and correcting structure. According to this, a great effect can be obtained in reducing the tilt.
【0008】一方、樹脂(接着剤)の硬化について、片
面1層ディスクの場合には、反射膜等の形成されていな
い透明基板側から紫外線を照射するので、照射された紫
外線の80パーセント以上近くが接着剤に到達されるた
め瞬時に硬化する。この瞬時硬化によって、ディスク保
持手段の矯正通りに平坦なディスクを得ることが出来
る。On the other hand, with respect to the curing of the resin (adhesive), in the case of a single-sided single-layer disc, ultraviolet rays are irradiated from the transparent substrate side on which a reflective film or the like is not formed. Cures instantaneously as it reaches the adhesive. By this instant curing, a flat disk can be obtained as corrected by the disk holding means.
【0009】[0009]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、片面2
層(一方の片面ディスクに反射膜、他方の片面ディスク
に半透明膜が形成されている)の場合には、紫外線を照
射させる側のディスクに半透明膜が形成されており、半
透明膜を透過するので照射された紫外線の10〜30%
程度しか接着剤に到達できない。However, one side 2
In the case of a layer (a reflective film is formed on one single-sided disk and a translucent film is formed on the other single-sided disk), a translucent film is formed on the disk to be irradiated with ultraviolet light, and the translucent film is formed. 10-30% of the irradiated ultraviolet light because it is transmitted
Only a degree can reach the adhesive.
【0010】また、両面1層ディスク(一対の片面ディ
スクにそれぞれに反射膜が形成されている)の場合に
は、紫外線を照射させる側のディスクに反射膜が形成さ
れており、反射膜を透過するので僅か0.5〜3%程度
しか接着剤に到達できない。In the case of a double-sided single-layer disc (a pair of single-sided discs each having a reflective film formed thereon), a reflective film is formed on the disk to be irradiated with ultraviolet light, and the light is transmitted through the reflective film. Only about 0.5-3% can reach the adhesive.
【0011】このため、片面2層ディスクや両面1層デ
ィスクの場合には、片面1層ディスクの場合よりも多量
の紫外線を照射させなければならないが、照射器の出力
に限界があるため、一般に照射時間を増やすことにな
る。そのため、片面1層ディスクのような瞬時硬化とは
ならずに紫外線の光源に近い部分、即ち照射側から比較
的ゆっくりと硬化することになる。For this reason, in the case of a single-sided double-layer disc or a double-sided single-layer disc, a larger amount of ultraviolet rays must be irradiated than in the case of a single-sided single-layer disc. However, since the output of the irradiator is limited, it is generally used. The irradiation time will be increased. For this reason, the composition is not instantaneously cured as in a single-sided single-layer disk, but is cured relatively slowly from a portion near the ultraviolet light source, that is, from the irradiation side.
【0012】このような緩やかな硬化の際の貼り合わせ
では、紫外線照射器から紫外線とともに照射される赤外
線を照射側の基板が吸収し、基板が膨張した状態のまま
ディスク保持部で平坦に矯正された後に硬化接着するこ
とになる。従って、その保持部からディスクを取り出し
て膨張した基板側が冷えてもとの温度に戻るとその膨張
した基板が収縮するために、結果としてその方向に反り
を生じてしまう。つまり照射面側に凹状に反りを生じて
しまうことになり、その大きさは紫外線照射量の多い、
即ち紫外線照射時間が長い順に両面1層(反射膜を透
過)、片面2層(半透明膜を透過)、片面1層ディスク
(透明基板を透過するので殆ど影響されない程度)の順
となり、これら片面2層や両面1層ディスクのチルトの
良好で安定した貼り合わせディスクを得ることは極めて
困難であった。[0012] In the lamination at the time of such a gentle curing, the irradiation side substrate absorbs the infrared ray irradiated together with the ultraviolet ray from the ultraviolet ray irradiator, and the substrate is flattened by the disk holding portion while the substrate is expanded. Will be cured after bonding. Therefore, when the disk is taken out from the holding portion and the expanded substrate side cools and returns to the original temperature, the expanded substrate contracts, resulting in a warp in that direction. In other words, a concave warp will be generated on the irradiation surface side, and the size of the irradiation surface is large,
That is, in order of the ultraviolet irradiation time, the order is one layer on both sides (transmitting through the reflective film), two layers on one side (transmitting through the translucent film), and a single-sided single-layer disc (transmitting through the transparent substrate so that it is hardly affected). It was extremely difficult to obtain a stable and stable bonded disc of a two-layer or double-sided single-layer disc with good tilt.
【0013】そこで、本発明は、片面1層のみならず片
面2層や両面1層の光学式貼り合わせディスクでもチル
トが良好で安定した光学式貼り合わせディスクを大量に
しかも安定して製造することができる光学式貼り合わせ
ディスクの製造方法及びその装置を提供することをその
目的とする。Accordingly, the present invention is to provide a large-scale and stable production of a stable optically bonded disc having a good tilt not only with a single-sided single-layer but also a single-sided two-layer or double-sided single-layer optically bonded disc. It is an object of the present invention to provide a method and an apparatus for manufacturing an optical bonded disc which can be used.
【0014】[0014]
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に請求項1の光学式貼り合わせディスクの製造方法は、
1対の片面ディスク間にエネルギー線硬化型接着剤を介
在させてディスク保持台上に載置し、前記接着剤を硬化
するエネルギー線を照射して貼り合わせる光学式貼り合
わせディスクの製造方法において、前記ディスク保持台
に接している一方の片面ディスクが他方の片面ディスク
と等温になるように前記ディスク保持台を温度調節し、
その後にエネルギー線を照射して前記1対の片面ディス
ク間のエネルギー線硬化型接着剤を硬化させることを特
徴としている。この構成では、紫外線照射側の片面ディ
スクとディスク保持台上に保持される片面ディスクとの
温度差を小さくすることができるので、一対の片面ディ
スクが均等に膨張し、収縮量も均等になるので、貼り合
わせ後に反りが発生するのを防止することができる。In order to achieve the above object, a method for manufacturing an optical bonded disc according to the first aspect of the present invention comprises:
An optical bonding disk manufacturing method comprising: placing an energy ray-curable adhesive between a pair of single-sided disks, placing the adhesive on a disk holding table, and irradiating an energy ray for curing the adhesive to bond the adhesive. Adjusting the temperature of the disk holder so that one single-sided disk in contact with the disk holder is equal in temperature to the other single-sided disk,
Thereafter, an energy ray is irradiated to cure the energy ray-curable adhesive between the pair of single-sided disks. In this configuration, the temperature difference between the single-sided disk on the ultraviolet irradiation side and the single-sided disk held on the disk holding table can be reduced, so that the pair of single-sided disks expands evenly and the shrinkage amounts also equal. In addition, it is possible to prevent the occurrence of warpage after bonding.
【0015】また、請求項2の光学式貼り合わせディス
クの製造方法は、請求項1に記載の光学式貼り合わせデ
ィスクの製造方法において、前記エネルギー線の照射は
半透明膜を介して行うことを特徴としている。この構成
では、半透明膜によりエネルギー線のエネルギーが減衰
して照射時間が増加しても良好なチルトを得ることがで
きる。According to a second aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing an optically bonded disk according to the first aspect, wherein the irradiation of the energy beam is performed through a translucent film. Features. In this configuration, a favorable tilt can be obtained even when the energy of the energy ray is attenuated by the translucent film and the irradiation time increases.
【0016】また、請求項3の光学式貼り合わせディス
クの製造方法は、請求項1に記載の光学式貼り合わせデ
ィスクの製造方法において、前記エネルギー線の照射は
反射膜を介して行うことを特徴としている。この構成で
は、反射膜によりエネルギー線のエネルギーが減衰して
照射時間が増加しても良好なチルトを得ることができ
る。According to a third aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing an optically bonded disk according to the first aspect, wherein the irradiation of the energy beam is performed through a reflective film. And With this configuration, a good tilt can be obtained even if the energy of the energy rays is attenuated by the reflective film and the irradiation time increases.
【0017】また、請求項4の光学式貼り合わせディス
クの製造方法は、請求項1に記載の光学式貼り合わせデ
ィスクの製造方法において、前記エネルギー線の照射は
印刷層を介して行うことを特徴とする。この構成では、
印刷層によりエネルギー線のエネルギーが減衰して照射
時間が増加しても良好なチルトを得ることができる。According to a fourth aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing an optical bonded disc according to the first aspect, wherein the irradiation of the energy ray is performed through a printed layer. And In this configuration,
A good tilt can be obtained even if the irradiation time increases due to the energy of the energy ray being attenuated by the printing layer.
【0018】また、請求項5の光学式貼り合わせディス
クの製造方法は、請求項1に記載の光学式貼り合わせデ
ィスクの製造方法において、前記温度調節は、温度調節
用流体を前記ディスク保持台の内部に流通させることに
より行うことを特徴としている。この構成では、温度調
節用流体を前記ディスク保持台の内部に流通させない場
合と比べてディスク保持台の温度分布がより均一にな
る。According to a fifth aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing an optical bonded disc according to the first aspect, wherein the temperature adjustment is performed by supplying a temperature adjusting fluid to the disk holding table. It is characterized by being distributed inside. With this configuration, the temperature distribution of the disk holder becomes more uniform than when the temperature adjusting fluid is not circulated inside the disk holder.
【0019】また、請求項6の光学式貼り合わせディス
クの製造方法は、請求項1に記載の光学式貼り合わせデ
ィスクの製造方法において、前記温度調節は、温度調節
用流体を前記ディスク保持台の外周に隣接して流通させ
ることにより行うことを特徴としている。この構成で
は、ディスク保持台として従来のものを利用することが
できる。According to a sixth aspect of the present invention, in the method of manufacturing an optical bonded disc according to the first aspect of the present invention, the temperature adjustment is performed by supplying a temperature adjusting fluid to the disk holding table. It is characterized in that it is carried out by circulating adjacent to the outer circumference. In this configuration, a conventional disk holding table can be used.
【0020】また、請求項7の光学式貼り合わせディス
クの製造装置は、1対の片面ディスク間にエネルギー線
硬化型接着剤を介在させてディスク保持台上に載置し、
前記接着剤を硬化するエネルギー線を照射して貼り合わ
せる光学式貼り合わせディスクの製造装置において、前
記ディスク保持台に接している一方の片面ディスクが他
方の片面ディスクと等温になるように前記ディスク保持
台を温度調節用流体で温度調節する温度調節用流体の流
路を前記ディスク保持台に設けたことを特徴としてい
る。この構成では、紫外線照射側の片面ディスクとディ
スク保持台上に保持される片面ディスクとの温度差を小
さくすることができるので、一対の片面ディスクが均等
に膨張し、収縮量も均等になるので、貼り合わせ後に反
りが発生するのを防止することができる。Further, in the optical laminated disk manufacturing apparatus according to the present invention, an energy beam-curable adhesive is interposed between a pair of single-sided disks, and the disk is mounted on a disk holding table.
In an optically bonded disk manufacturing apparatus for bonding by irradiating the adhesive with an energy ray for curing the adhesive, the disk holding unit may be configured such that one single-sided disk that is in contact with the disk holding table is equal in temperature to the other single-sided disk. A flow path of a temperature adjusting fluid for adjusting the temperature of the table with the temperature adjusting fluid is provided in the disk holding table. In this configuration, the temperature difference between the single-sided disk on the ultraviolet irradiation side and the single-sided disk held on the disk holding table can be reduced, so that the pair of single-sided disks expands evenly and the shrinkage amounts also equal. In addition, it is possible to prevent the occurrence of warpage after bonding.
【0021】また、請求項8の光学式貼り合わせディス
クの製造装置は、請求項7に記載の光学式貼り合わせデ
ィスクの製造装置において、前記流路は、前記ディスク
保持台の内部に設けたことを特徴としている。この構成
では、温度調節用流体を前記ディスク保持台の内部に流
通させない場合と比べてディスク保持台の温度分布がよ
り均一になる。According to an eighth aspect of the present invention, in the apparatus for manufacturing an optical bonded disc according to the seventh aspect, the flow path is provided inside the disk holding table. It is characterized by. With this configuration, the temperature distribution of the disk holder becomes more uniform than when the temperature adjusting fluid is not circulated inside the disk holder.
【0022】また、請求項9の光学式貼り合わせディス
クの製造装置は、請求項7に記載の光学式貼り合わせデ
ィスクの製造装置において、前記流路は、前記ディスク
保持台の外周に設けたことを特徴としている。この構成
では、ディスク保持台として従来のものを利用すること
ができる。According to a ninth aspect of the present invention, in the apparatus for manufacturing an optically bonded disk according to the seventh aspect, the flow path is provided on an outer periphery of the disk holder. It is characterized by. In this configuration, a conventional disk holding table can be used.
【0023】[0023]
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
を参照して説明する。図1は、本発明に係わる光学式貼
り合わせディスクの製造装置に備えるディスク保持台の
断面図、図2は光学式貼り合わせディスクの製造装置全
体の概略平面図である。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a cross-sectional view of a disk holder provided in the optical bonded disk manufacturing apparatus according to the present invention, and FIG. 2 is a schematic plan view of the entire optical bonded disk manufacturing apparatus.
【0024】図1に示すように、ディスク保持台11
は、吸着する片面ディスク1Aの記録領域又は記録領域
と対応する領域の内周と集積用のリング状凸部であるス
タックリング21の外周との間の表面(貼り合わせ面と
対向する面)に当接する外側リング状部分11aと、ス
タックリング21の内周側の表面に当接する内側リング
状部分11bと、これらのリング状部分11a,11b
の間に設けたスタックリング21の逃げ溝11iと、真
空吸着用流路11cと、エネルギー線である紫外線を効
率的に照射するための反射ミラー部11kとを備えてい
る。As shown in FIG. 1, the disk holder 11
Is located on the surface (the surface facing the bonding surface) between the inner circumference of the recording area of the single-sided disk 1A to be attracted or the area corresponding to the recording area and the outer circumference of the stack ring 21 which is a ring-shaped convex for integration. An outer ring-shaped portion 11a that abuts, an inner ring-shaped portion 11b that abuts on the inner peripheral surface of the stack ring 21, and these ring-shaped portions 11a and 11b.
It has a relief groove 11i of the stack ring 21 provided therebetween, a vacuum suction channel 11c, and a reflection mirror portion 11k for efficiently irradiating ultraviolet rays as energy rays.
【0025】前記真空吸着用流路11cは、開口11d
を介して図示しない真空ポンプに接続されている。した
がって、真空ポンプを作動させることにより、外側及び
内側リング状部分11a,11bでディスク表面のスタ
ックリング21の外周側と内周側とを吸着することがで
き、これにより片面ディスク1Aを平坦に保持すること
ができる。なお、図中、22は片面ディスク1Aの中心
穴、11jはこの中心穴22に挿入されるスピンドルで
ある。The vacuum suction channel 11c has an opening 11d.
Is connected to a vacuum pump (not shown). Therefore, by operating the vacuum pump, the outer and inner ring-shaped portions 11a and 11b can adsorb the outer peripheral side and the inner peripheral side of the stack ring 21 on the disk surface, thereby holding the single-sided disk 1A flat. can do. In the drawing, reference numeral 22 denotes a center hole of the single-sided disk 1A, and reference numeral 11j denotes a spindle inserted into the center hole 22.
【0026】前記ディスク保持台11には、ディスク保
持台11を温度調節する温度調節用流体の流路11eが
設けられている。この流路11eは、ディスク保持台1
1の外周寄りに下面に開口11mして所定長さ上方に穿
設された入口側縦流路11fと、この縦流路11fに連
続してディスク保持台11の中心に向かって穿設された
横流路11gと、この横流路11gに連続してディスク
保持台11の下面の開口11nまで穿設された出口側縦
流路11hとからなる。前記流路11eには、温度調節
用流体、例えば、空気、ヘリウム等のガス、水、オイル
等の流体が流通される。The disk holder 11 is provided with a temperature control fluid flow path 11e for adjusting the temperature of the disk holder 11. The flow path 11e is provided in the disk holder 1
An inlet-side vertical flow path 11f formed at a lower portion of the lower surface of the disk holder 1 near the outer periphery of the disk holder 11 and having a predetermined length above the opening 11m, and is bored toward the center of the disk holder 11 continuously to the vertical flow path 11f. It comprises a horizontal flow path 11g, and an outlet-side vertical flow path 11h drilled to the opening 11n on the lower surface of the disk holding base 11 continuously to the horizontal flow path 11g. A temperature control fluid, for example, a gas such as air or helium, or a fluid such as water or oil flows through the channel 11e.
【0027】前記開口11mは、流量調整バルブ51を
介して温度調整用流体源52に接続されている。この温
度調整用流体源52は温度調整手段53により温度調整
される。この温度調整手段53は制御部54により後述
する制御信号が送出される。The opening 11m is connected to a temperature control fluid source 52 via a flow control valve 51. The temperature of the temperature adjusting fluid source 52 is adjusted by the temperature adjusting means 53. A control signal to be described later is transmitted from the control unit 54 to the temperature adjusting unit 53.
【0028】図2に示すように、光学式貼り合わせディ
スクの製造装置30は、ディスク供給ポジション31
と、ディスク供給アーム32と、スピナー部33と、吐
出ノズル部34と、貼り合わせディスク移載アーム35
と、図1のディスク保持台11を備えたUVランプ部移
載用アーム37と、UVランプ部38と、取り出しアー
ム40と、ディスク排出ポジション41とを備えてい
る。UVランプ部移載用アーム37にディスク保持台1
1を装着した様子を示す図が図3(a),(b)であ
る。As shown in FIG. 2, the optically bonded disk manufacturing apparatus 30 includes a disk supply position 31.
, A disk supply arm 32, a spinner 33, a discharge nozzle 34, and a bonded disk transfer arm 35.
1, a UV lamp unit transfer arm 37 provided with the disk holding table 11 of FIG. 1, a UV lamp unit 38, a take-out arm 40, and a disk discharge position 41. Disc holder 1 on UV lamp transfer arm 37
FIGS. 3 (a) and 3 (b) show a state in which No. 1 is mounted.
【0029】このような光学式貼り合わせディスクの製
造装置では、先ず、ディスク供給ポジション31にピッ
ト面を上向きとした片面ディスク1Aを供給する。次い
で、ディスク供給ポジション31からスピナー部33の
回転テーブル上へディスク供給アーム32によりピット
面を上向きとした下側片面ディスク1Aを移送する。In such an apparatus for manufacturing an optical laminated disk, first, the single-sided disk 1A with the pit surface facing upward is supplied to the disk supply position 31. Next, the lower single-sided disk 1A with the pit surface facing upward is transferred by the disk supply arm 32 from the disk supply position 31 onto the rotary table of the spinner 33.
【0030】次いで、スピナー部33のスピナーヘッド
12を下降させる。このスピナーヘッド12の下降で
は、下側片面ディスク1A上面から上側片面ディスク1
Bの厚さ及び余裕量の分上方位置まで移動する。Next, the spinner head 12 of the spinner section 33 is lowered. When the spinner head 12 is lowered, the upper single-sided disk 1A is moved from the upper side of the lower single-sided disk 1A.
It moves to the upper position by the thickness of B and the margin.
【0031】次いで、スピナー部33に移送された下側
片面ディスク1Aは、図示しないモータにより回転され
て吐出ノズルによりエネルギー線硬化型接着剤である紫
外線硬化型接着剤(レジン)が塗布される。このときの
ディスクの回転数は30〜100rpmの低回転である
ことが望ましい。Next, the lower single-sided disk 1A transferred to the spinner section 33 is rotated by a motor (not shown), and an ultraviolet ray curable adhesive (resin), which is an energy ray curable adhesive, is applied by a discharge nozzle. At this time, it is desirable that the rotation speed of the disk is as low as 30 to 100 rpm.
【0032】次いで、ディスク供給ポジション31にピ
ット面を下向きとした上側片面ディスク1Bを供給す
る。次いで、ディスク供給アーム32により上側片面デ
ィスク1Bが紫外線硬化型接着剤を塗布した下側片面デ
ィスク1A上に移動されて載置される。Next, the upper single-sided disk 1B with the pit face down is supplied to the disk supply position 31. Next, the upper single-sided disk 1B is moved and mounted by the disk supply arm 32 on the lower single-sided disk 1A coated with the ultraviolet curing adhesive.
【0033】次いで、回転テーブルを2000〜400
0rpmの高回転で回転させて片面ディスク1A,1B
間の接着剤を所定膜厚で展延させる。次いで、スピナー
部33のスピナーヘッド12を上昇させる。次いで、貼
り合わせディスク移載アーム35により、貼り合わせス
テーションに移送されてディスク保持台11上に載置さ
れる。Next, the rotary table is set at 2000 to 400
Single-sided discs 1A, 1B by rotating at a high rotation of 0 rpm
The adhesive between them is spread with a predetermined thickness. Next, the spinner head 12 of the spinner section 33 is raised. Next, the wafer is transferred to a bonding station by the bonding disk transfer arm 35 and mounted on the disk holding table 11.
【0034】次いで、このディスク保持台11上に載置
された貼り合わせ片面ディスク1A,1Bは、UVラン
プ部移載用アーム37で移送されながら紫外線ランプ3
8により紫外線が照射される。この紫外線の照射により
紫外線硬化型接着剤が硬化される。Next, the bonded single-sided disks 1A and 1B placed on the disk holding table 11 are transferred by the UV lamp transfer arm 37 while the ultraviolet lamp 3
8 irradiates ultraviolet rays. The irradiation of the ultraviolet rays cures the ultraviolet-curable adhesive.
【0035】この紫外線照射に際しては、ディスク保持
台11に温度調整用流体を紫外線照射量(照度と時間)
に応じて適宜温度及び/又は流量を調節して流し、この
ディスク保持台11に接する片側ディスク1Aの温度
を、紫外線の照射される側の片側ディスク1Bが照射に
より上昇する温度と一致するように調整する(このとき
双方のディスク1A,1Bは同程度膨張する)ことによ
り、硬化後に冷却され、収縮した際にバイメタルのよう
に片方に反ることを防止することができる。When irradiating the ultraviolet rays, the temperature adjusting fluid is applied to the disk holder 11 by the amount of the ultraviolet rays (illuminance and time).
The temperature and / or the flow rate are adjusted appropriately according to the flow rate, and the temperature of the one-sided disk 1A in contact with the disk holding table 11 is adjusted to match the temperature at which the one-sided disk 1B on the side irradiated with the ultraviolet rays rises by the irradiation. By adjusting (at this time, both disks 1A and 1B expand to the same extent), they can be cooled after hardening and can be prevented from warping to one side like bimetal when contracted.
【0036】また、他の方法として、図1に示すよう
に、この紫外線照射中は、第1温度センサ55aにより
紫外線照射側、即ち上側のディスク基板1Bの温度を監
視するとともに、第2温度センサ55bによりディスク
保持台11の温度を監視する。そして、制御部54は、
上側のディスク基板1Bの方がディスク保持台11より
高い温度の場合には、温度調整手段53に昇温用の信号
を送出し、上側のディスク基板1Bの方がディスク保持
台11より低い温度の場合には、温度調整手段53に降
温用の信号を送出する。昇温用の信号が入力された温度
調整手段53は温度調整用流体を昇温し、昇温した温度
調整用流体によりディスク保持台11を上側のディスク
基板1Bと等温になるように昇温する。また、降温用の
信号が入力された温度調整手段53は温度調整用流体を
降温し、降温した温度調整用流体によりディスク保持台
11を上側のディスク基板1Bと等温になるように降温
する。このようにして上側のディスク基板1Bとディス
ク保持台11の温度とをほぼ等温にし、これによりディ
スク保持台11の上面に載置されている下側のディスク
基板1Aの温度を上側のディスク基板1Bの温度とほぼ
等温にする。従って、上側のディスク基板1Bと下側の
ディスク基板1Aとは同一の透光性材料、例えば、ポリ
カーボネートなので同程度の膨張となり、冷却時に同程
度の収縮となるので硬化後に貼り合わせディスクが反る
ことがない。As another method, as shown in FIG. 1, during this ultraviolet irradiation, the temperature of the ultraviolet irradiation side, ie, the upper disk substrate 1B is monitored by the first temperature sensor 55a, and the second temperature sensor is used. The temperature of the disk holder 11 is monitored by 55b. Then, the control unit 54
When the temperature of the upper disk substrate 1B is higher than that of the disk holder 11, a signal for raising the temperature is sent to the temperature adjusting means 53, and the temperature of the upper disk substrate 1B is lower than that of the disk holder 11. In this case, a signal for lowering the temperature is sent to the temperature adjusting means 53. The temperature adjusting means 53 to which the signal for increasing the temperature is input raises the temperature of the temperature adjusting fluid, and raises the temperature of the disk holding base 11 by the raised temperature adjusting fluid so that the temperature becomes equal to that of the upper disk substrate 1B. . Further, the temperature adjusting means 53 to which the signal for temperature lowering is input lowers the temperature of the temperature adjusting fluid, and lowers the temperature of the disk holding base 11 by the lowered temperature adjusting fluid so that the temperature becomes equal to that of the upper disk substrate 1B. In this way, the temperature of the upper disk substrate 1B and the temperature of the disk holding table 11 are made substantially equal, whereby the temperature of the lower disk substrate 1A mounted on the upper surface of the disk holding table 11 is reduced. It is almost equal to the temperature of Therefore, since the upper disk substrate 1B and the lower disk substrate 1A are made of the same light-transmitting material, for example, polycarbonate, they expand by the same degree and contract by the same degree upon cooling, so that the bonded disks warp after curing. Nothing.
【0037】また、更に他の方法として、図1に示すよ
うに、この紫外線照射中は、第1温度センサ55aによ
り紫外線照射側、即ち上側のディスク基板1Bの温度を
監視するとともに、第2温度センサ55bによりディス
ク保持台11の温度を監視する。そして、制御部は、上
側のディスク基板の方がディスク保持台11より高い温
度の場合には、流量調整バルブ51に開信号を送出し、
上側のディスク基板1Bの方がディスク保持台11より
低い温度の場合には、温度調整手段53に閉信号を送出
する。開信号が入力された流量調整バルブ51は温度調
整用流体の流量を増加し、増量した温度調整用流体によ
りディスク保持台11を上側のディスク基板と等温にな
るように昇温する。また、閉信号が入力された流量調整
バルブ51は温度調整用流体の流量を減少し、減量した
温度調整用流体によりディスク保持台11を上側のディ
スク基板1Bと等温になるように降温する。このように
して上側のディスク基板1Bとディスク保持台11の温
度とをほぼ等温にし、これによりディスク保持台11の
上面に載置されている下側のディスク基板1Aの温度を
上側のディスク基板1Bの温度とほぼ等温にする。従っ
て、上側のディスク基板1Bと下側のディスク基板1A
とは同一の透光性材料、例えば、ポリカーボネートなの
で同程度の膨張となり、冷却時に道程の収縮となるので
硬化後に貼り合わせディスクが反ることがない。As another method, as shown in FIG. 1, during this ultraviolet irradiation, the temperature of the ultraviolet irradiation side, that is, the upper disk substrate 1B is monitored by the first temperature sensor 55a, and the second temperature is monitored. The temperature of the disk holder 11 is monitored by the sensor 55b. Then, when the temperature of the upper disk substrate is higher than that of the disk holding table 11, the control unit sends an open signal to the flow rate adjustment valve 51,
When the temperature of the upper disk substrate 1B is lower than that of the disk holding table 11, a close signal is sent to the temperature adjusting means 53. The flow control valve 51, to which the open signal is input, increases the flow rate of the temperature control fluid, and raises the temperature of the disk holding base 11 by the increased temperature control fluid so that the temperature becomes equal to that of the upper disk substrate. The flow control valve 51 to which the closing signal has been input decreases the flow rate of the temperature control fluid, and lowers the temperature of the disk holding base 11 with the reduced temperature control fluid so that the temperature becomes equal to that of the upper disk substrate 1B. In this way, the temperature of the upper disk substrate 1B and the temperature of the disk holding table 11 are made substantially equal, whereby the temperature of the lower disk substrate 1A mounted on the upper surface of the disk holding table 11 is reduced. It is almost equal to the temperature of Therefore, the upper disk substrate 1B and the lower disk substrate 1A
Is the same translucent material, for example, polycarbonate, so that it expands to the same extent and contracts during cooling, so that the bonded disc does not warp after curing.
【0038】なお、図1では、温度調整用流体源52の
温度を昇降する温度調整手段53と流量の増減により温
度調節する流量調整バルブ51とを共に図示したが、図
1の如く両方を組み合わせて温度調整しても良く、ま
た、上述したように、何れか一方で温度調整しても良
い。Although FIG. 1 shows both the temperature control means 53 for raising and lowering the temperature of the temperature control fluid source 52 and the flow control valve 51 for controlling the temperature by increasing or decreasing the flow rate, as shown in FIG. Alternatively, the temperature may be adjusted by either one of them, as described above.
【0039】次いで、この紫外線硬化型接着剤が硬化さ
れた貼り合わせ片面ディスク1A,1Bは、UVランプ
部移載用アーム37がポジションDに達した時、取り出
しアーム40によりディスク排出ポジション41へ移送
される。Next, when the UV lamp transfer arm 37 reaches the position D, the single-sided discs 1A and 1B having the UV-curable adhesive cured are transferred to the disc discharge position 41 by the take-out arm 40. Is done.
【0040】次いで、排出ポジションから貼り合わされ
た片面ディスク1A,1Bを取り出す。次いで、UVラ
ンプ部移載用アーム37をポジションCまで搬送する。
次いで、UVランプ部移載用アーム37に供給される次
のディスクを待機する。Next, the single-sided disks 1A and 1B bonded together are taken out from the ejection position. Next, the UV lamp transfer arm 37 is transported to the position C.
Next, the next disk supplied to the UV lamp unit transfer arm 37 is on standby.
【0041】上記実施形態では、曲がり代であるスタッ
クリング21の両側近傍を吸着しているので、片面ディ
スク1A,1Bの反りを効率的に矯正することができ
る。即ち、ディスク保持台11に載置した片面ディスク
1Aをフラットに保持できるので、その上に載置して貼
り合わせる片面ディスク1Bも紫外線硬化型接着剤の張
力によりフラットに矯正される。In the above embodiment, since the vicinity of both sides of the stack ring 21, which is a bending margin, is sucked, the warpage of the single-sided disks 1A and 1B can be efficiently corrected. That is, since the single-sided disk 1A placed on the disk holding base 11 can be held flat, the single-sided disk 1B placed on and bonded to the disk holding table 11 is also flattened by the tension of the ultraviolet curing adhesive.
【0042】以上のようにして、紫外線照射側の上側片
面ディスクとディスク保持台11側の下側片面ディスク
との温度差を小さくすることができるので、一方の片面
ディスクと他方の片面ディスクとの不均一な膨張および
収縮を防止することができ、貼り合わせ後に反りが発生
するのを防止することができる。なお、紫外線照射を双
方のディスク表面から同時に行う場合には、双方のディ
スクの温度上昇はほぼ等しくなるがディスクの矯正方法
の問題(特願平9−56319号のガラスで挟み込む方
法の問題点)や紫外線照射器が複数個必要となり装置が
大掛かりになる。これに比べ本発明の方法では紫外線照
射を片側から行えるためこのような問題を解消できる。As described above, it is possible to reduce the temperature difference between the upper single-sided disk on the ultraviolet irradiation side and the lower single-sided disk on the disk holder 11 side, so that the difference between the one single-sided disk and the other single-sided disk is reduced. Non-uniform expansion and contraction can be prevented, and the occurrence of warpage after bonding can be prevented. When the ultraviolet irradiation is performed simultaneously from the surfaces of both disks, the temperature rises of both disks become almost equal, but the problem of the method of correcting the disks (problem of the method of sandwiching between the glasses of Japanese Patent Application No. 9-56319). And a plurality of ultraviolet irradiators are required, and the apparatus becomes large-scale. In contrast, the method of the present invention can eliminate such a problem because the ultraviolet irradiation can be performed from one side.
【0043】以上の実施形態において、温度調節用流路
をディスク保持台11の内部に設けたが、これらの外周
に例えばパイプを接触させて引き回すことにより温度調
節用流路を構成してもよい。また、接着剤として紫外線
硬化型接着剤を用いた場合について説明したが、紫外線
以外のエネルギー線で硬化する接着剤を用いても良い。In the above embodiment, the temperature control flow path is provided inside the disk holding base 11, but the temperature control flow path may be formed by, for example, bringing a pipe into contact with these outer peripheries and drawing around. . Also, the case where an ultraviolet-curable adhesive is used as the adhesive has been described, but an adhesive that cures with energy rays other than ultraviolet light may be used.
【0044】DVDで以下の条件で実験したところ次の
ような結果が得られた。なお、以下において、積算光量
はディスク保持台11の表面で測定した値である。The following results were obtained when an experiment was performed on a DVD under the following conditions. In the following, the integrated light amount is a value measured on the surface of the disk holding table 11.
【0045】(第1実施例)この第1実施例は片面2層
ディスクの場合である。 ・紫外線照射器:ウシオ電機(株)社製、UVA−40
2/1MNSC9−WJ02;ランプUVL−4001
M3−N1 ・接着剤(レジン):長瀬チバ(株)社製、XNR55
20 ・接着剤塗布量:平均膜厚およそ50μm ・半透明膜:Si160オングストローム(365nm
波長の透過率約15パーセント)、紫外線照射はこの面
より実施。 ・紫外線照射量:上記ランプ出力120W/cmで1.
7秒(365nm波長の積算光量=620mJ/平方セ
ンチメートル)(First Embodiment) The first embodiment is for a single-sided, double-layer disc.・ Ultraviolet irradiator: UVA-40, manufactured by USHIO Inc.
2/1 MNSC9-WJ02; lamp UVL-4001
M3-N1 Adhesive (resin): XNR55, manufactured by Nagase Chiba Co., Ltd.
20 ・ Adhesive application amount: average film thickness of about 50 μm ・ Translucent film: Si160 Å (365 nm)
The wavelength transmittance is about 15%), and UV irradiation is performed from this surface. -Ultraviolet irradiation dose: 1. At the lamp output of 120 W / cm.
7 seconds (integrated light amount at 365 nm wavelength = 620 mJ / cm2)
【0046】[0046]
【表1】 [Table 1]
【0047】表1に示すように第1実施例によれば、最
大チルト角が従来方法の−0.6度から−0.2度と大
幅に小さくすることができた。As shown in Table 1, according to the first embodiment, the maximum tilt angle was significantly reduced from -0.6 degrees in the conventional method to -0.2 degrees.
【0048】(第2実施例)この第2実施例は両面1層
ディスクの場合である。 ・紫外線照射器:ウシオ電機(株)社製、UVA−40
2/1MNSC9−WJ02;ランプUVL−4001
M3−N1 ・接着剤(レジン):長瀬チバ(株)社製、XNR55
20 ・同塗布量:平均膜厚およそ50μm ・反射膜:Al 550オングストローム(365nm
波長の透過率平均約2.5パーセント)、紫外線照射は
この面より実施。 ・紫外線照射量:上記ランプ出力160W/cmで2.
5秒(365nm波長の積算光量=1220mJ/平方
センチメートル)(Second Embodiment) The second embodiment is for a double-sided single-layer disc.・ Ultraviolet irradiator: UVA-40, manufactured by USHIO Inc.
2/1 MNSC9-WJ02; lamp UVL-4001
M3-N1 Adhesive (resin): XNR55, manufactured by Nagase Chiba Co., Ltd.
20 ・ The same coating amount: average film thickness of about 50 μm ・ Reflective film: Al 550 Å (365 nm)
The average transmittance of the wavelength is about 2.5%), and the UV irradiation is performed from this surface. -UV irradiation amount: 1. At the lamp output of 160 W / cm.
5 seconds (integrated light quantity at 365 nm wavelength = 1220 mJ / square centimeter)
【0049】[0049]
【表2】 [Table 2]
【0050】表2に示すように第2実施例によれば、最
大チルト角が従来方法の−1.3度から−0.4度と大
幅に小さくすることができた。上記実施例では反射膜や
半透明膜を透過して紫外線を照射した場合について説明
したが、印刷層等の不透明体を介して紫外線を照射した
場合にも有効である。As shown in Table 2, according to the second embodiment, the maximum tilt angle was significantly reduced from -1.3 degrees in the conventional method to -0.4 degrees. In the above embodiment, the case where the ultraviolet ray is irradiated through the reflection film or the translucent film has been described. However, the case where the ultraviolet ray is irradiated through an opaque body such as a print layer is also effective.
【0051】なお、本発明は上記実施例に限定されるも
のではない。即ち、本発明の骨子を逸脱しない範囲で種
々変形して実施することができる。The present invention is not limited to the above embodiment. That is, various modifications can be made without departing from the gist of the present invention.
【0052】[0052]
【発明の効果】以上の説明から明らかな如く本発明の光
学式貼り合わせディスクの製造方法及びその装置によれ
ば、紫外線照射側の片面ディスクとディスク保持台上に
保持される片面ディスクとの温度差を小さくすることが
できるので、一対の片面ディスクが均等に膨張し、収縮
量も均等になるので、貼り合わせ後に反りが発生するの
を防止することができるという効果を有する。また、温
度調節用流体をディスク保持台の内部に流通させた場合
には、ディスク保持台の温度分布がより均一になる。ま
た、温度流通用流体をディスク保持台の外周に流通させ
た場合には、ディスク保持台として従来のものを利用す
ることができる。As is apparent from the above description, according to the method and the apparatus for manufacturing an optical bonded disk of the present invention, the temperature of the single-sided disk on the ultraviolet irradiation side and the single-sided disk held on the disk holding table are increased. Since the difference can be reduced, the pair of single-sided disks expand evenly and the shrinkage amounts are also equal, so that it is possible to prevent the occurrence of warpage after bonding. In addition, when the temperature adjusting fluid is circulated inside the disk holder, the temperature distribution of the disk holder becomes more uniform. When the temperature distribution fluid is circulated around the outer periphery of the disk holder, a conventional disk holder can be used.
【図1】本発明に係わる光学式貼り合わせディスク製造
装置の紫外線照射用のディスク保持台を示す図である。FIG. 1 is a view showing a disk holder for ultraviolet irradiation of an optical bonded disk manufacturing apparatus according to the present invention.
【図2】本発明に係わる光学式貼り合わせディスクの製
造装置を示す概略平面図である。FIG. 2 is a schematic plan view showing an apparatus for manufacturing an optical bonded disc according to the present invention.
【図3】同UVランプ部移載用アーム部のディスク保持
台の装着を示し、(a)は平面図、(b)はa−a線断
面図である。FIGS. 3A and 3B show the mounting of the disk holding table on the UV lamp transfer arm, wherein FIG. 3A is a plan view, and FIG. 3B is a sectional view taken along line aa.
1A 片面ディスク 1B 片面ディスク 11 ディスク保持台 11e 流路 1A Single-sided disk 1B Single-sided disk 11 Disk holder 11e Flow path
Claims (9)
化型接着剤を介在させてディスク保持台上に載置し、前
記接着剤を硬化するエネルギー線を照射して貼り合わせ
る光学式貼り合わせディスクの製造方法において、 前記ディスク保持台に接している一方の片面ディスクが
他方の片面ディスクと等温になるように前記ディスク保
持台を温度調節し、その後にエネルギー線を照射して前
記1対の片面ディスク間のエネルギー線硬化型接着剤を
硬化させることを特徴とする光学式貼り合わせディスク
の製造方法。1. An optical bonding disk which is placed on a disk holding table with an energy ray-curable adhesive interposed between a pair of single-sided disks and is irradiated with an energy ray for curing the adhesive and bonded. In the manufacturing method, the temperature of the disk holder is adjusted such that one single-sided disk that is in contact with the disk holder is equal in temperature to the other single-sided disk, and thereafter, the pair of single-sided disks is irradiated with energy rays. A method for manufacturing an optically bonded disk, comprising curing an energy-ray-curable adhesive between disks.
して行うことを特徴とする請求項1に記載の光学式貼り
合わせディスクの製造方法。2. The method according to claim 1, wherein the irradiation of the energy beam is performed through a translucent film.
て行うことを特徴とする請求項1に記載の光学式貼り合
わせディスクの製造方法。3. The method according to claim 1, wherein the irradiation of the energy beam is performed through a reflective film.
て行うことを特徴とする請求項1に記載の光学式貼り合
わせディスクの製造方法。4. The method according to claim 1, wherein the irradiation of the energy beam is performed through a printing layer.
ディスク保持台の内部に流通させることにより行うこと
を特徴とする請求項1に記載の光学式貼り合わせディス
クの製造方法。5. The method according to claim 1, wherein the temperature adjustment is performed by flowing a temperature adjusting fluid through the inside of the disk holder.
ディスク保持台の外周に隣接して流通させることにより
行うことを特徴とする請求項1に記載の光学式貼り合わ
せディスクの製造方法。6. The method according to claim 1, wherein the temperature is adjusted by flowing a temperature adjusting fluid adjacent to an outer periphery of the disk holder.
化型接着剤を介在させてディスク保持台上に載置し、前
記接着剤を硬化するエネルギー線を照射して貼り合わせ
る光学式貼り合わせディスクの製造装置において、 前記ディスク保持台に接している一方の片面ディスクが
他方の片面ディスクと等温になるように前記ディスク保
持台を温度調節用流体で温度調節する温度調節用流体の
流路を前記ディスク保持台に設けたことを特徴とする光
学式貼り合わせディスクの製造装置。7. An optical bonding disk which is placed on a disk holding table with an energy ray-curable adhesive interposed between a pair of single-sided disks, and is irradiated with an energy ray for curing the adhesive and bonded. In the manufacturing apparatus, the one-sided disk that is in contact with the disk holder is made to have the same temperature as the other single-sided disk. An optical bonded disc manufacturing apparatus provided on a disc holder.
に設けたことを特徴とする請求項7に記載の光学式貼り
合わせディスクの製造装置。8. The apparatus according to claim 7, wherein the flow path is provided inside the disk holding table.
に設けたことを特徴とする請求項7に記載の光学式貼り
合わせディスクの製造装置。9. The apparatus according to claim 7, wherein the flow path is provided on an outer periphery of the disk holding table.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6867998A JPH11273162A (en) | 1998-03-18 | 1998-03-18 | Method and apparatus for manufacturing optical bonded disc |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11273162A true JPH11273162A (en) | 1999-10-08 |
Family
ID=13380660
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6867998A Withdrawn JPH11273162A (en) | 1998-03-18 | 1998-03-18 | Method and apparatus for manufacturing optical bonded disc |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11273162A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005251377A (en) * | 2004-02-03 | 2005-09-15 | Ricoh Co Ltd | Bonding correction stage that can change inner and outer perimeter |
-
1998
- 1998-03-18 JP JP6867998A patent/JPH11273162A/en not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005251377A (en) * | 2004-02-03 | 2005-09-15 | Ricoh Co Ltd | Bonding correction stage that can change inner and outer perimeter |
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