JPH11221567A - Ion water generator - Google Patents
Ion water generatorInfo
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- JPH11221567A JPH11221567A JP2745898A JP2745898A JPH11221567A JP H11221567 A JPH11221567 A JP H11221567A JP 2745898 A JP2745898 A JP 2745898A JP 2745898 A JP2745898 A JP 2745898A JP H11221567 A JPH11221567 A JP H11221567A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 装置を大型化することなく、カーボン電極の
欠落やイオン水中のカーボンパーティクルの量を抑え
て、装置の保守を容易に行うこと。
【解決手段】 アノード槽１Ａに多数の球状カーボン６
を充填して、アノード電極３と球状カーボン６により陽
極を構成して、陽極の表面積を大きくすることにより、
陽極側の電流密度を低減している。これにより、カーボ
ンの酸化作用が抑制されて、カーボンで構成されたアノ
ード電極３と球状カーボン６はほとんど欠落しなくな
り、電極の寿命を向上させることができ、アノード電極
３の交換保守が少なくなる。又、球状カーボン６は元々
あったアノード槽１Ａとアノード電極３に充填したた
め、装置を大きくする必要はない。
(57) [PROBLEMS] To easily maintain a device without increasing the size of the device and suppressing the lack of carbon electrodes and the amount of carbon particles in ionized water. SOLUTION: A large number of spherical carbons 6 are provided in an anode tank 1A.
To form an anode with the anode electrode 3 and the spherical carbon 6 to increase the surface area of the anode,
The current density on the anode side is reduced. Thereby, the oxidizing action of carbon is suppressed, and the anode electrode 3 and the spherical carbon 6 made of carbon hardly fall off, the life of the electrode can be improved, and replacement maintenance of the anode electrode 3 is reduced. Further, since the spherical carbon 6 is filled in the anode vessel 1A and the anode electrode 3 which were originally present, there is no need to make the apparatus larger.
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体製造工程の
各工程の処理前後のウェハ洗浄処理に使用されるイオン
水を生成するイオン水生成装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an ion water generating apparatus for generating ion water used for a wafer cleaning process before and after each process of a semiconductor manufacturing process.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来からこの種のイオン水は図４に示す
ようなイオン水生成装置により生成されている。イオン
水生成装置は、電解槽１をイオン交換膜２により２分割
し、アノード槽１Ａとカソード槽１Ｋに分割した構造を
有し、各層にカーボン製のアノ一ド電極３とカソード電
極４が配設され、これら電極３、４に電源装置５から直
流電力を供給する構成を有している。又、電解槽１の側
壁には電解質を含む純水が流入する流入口１１と、生成
されたイオン水が流出する流出口１２が設けられてい
る。2. Description of the Related Art Conventionally, this type of ionic water has been generated by an ionic water generator as shown in FIG. The ion water generating apparatus has a structure in which an electrolytic cell 1 is divided into two by an ion exchange membrane 2 and is divided into an anode cell 1A and a cathode cell 1K, and an anode electrode 3 and a cathode electrode 4 made of carbon are arranged in each layer. The power supply 5 supplies DC power to the electrodes 3 and 4. The side wall of the electrolytic cell 1 is provided with an inlet 11 through which pure water containing an electrolyte flows in and an outlet 12 through which generated ionic water flows out.
【０００３】ポンプ等で電解質を含む純水を流入口１１
から電解槽１の内部に供給し、電源装置５から十（プラ
ス）電圧をアノ一ド電極３に、一（マイナス）電圧をカ
ソード電極４に印加する。これにより、電解層１の内部
の水が電気分解され、アノ一ド槽１Ａに酸化還元電位
（ＯＲＰ）の高い、主に金属除去用の洗浄水が生成さ
れ、カソード槽１Ｋには酸化還元電位が低い、浮遊物の
再付着防止用の洗浄水が生成される。生成された水は電
解槽流出口１２より排出され、ウェハの洗浄液として使
用される。[0003] Pure water containing an electrolyte is supplied to an inlet 11 by a pump or the like.
To the inside of the electrolytic cell 1, and a power supply device 5 applies a ten (plus) voltage to the anode electrode 3 and a one (minus) voltage to the cathode electrode 4. As a result, the water inside the electrolytic layer 1 is electrolyzed, and cleaning water having a high oxidation-reduction potential (ORP), mainly for metal removal, is generated in the anode tank 1A, and the oxidation-reduction potential is generated in the cathode tank 1K. Low, wash water is generated to prevent reattachment of suspended matter. The generated water is discharged from the electrolytic cell outlet 12, and is used as a wafer cleaning liquid.
【０００４】ここで、アノ一ド槽２Ａでは、次式で示す
ような陽極反応である水の電気分解が起こる。Here, in the anode tank 2A, electrolysis of water, which is an anodic reaction, occurs as shown in the following equation.
【０００５】２Ｈ2 −４ｅ- →４Ｈ+ ＋Ｏ2 …（１） この反応では、電流濃度（単位リットル当たりにかかる
電流量）が大きいほど生成量が多くなる。2H 2 -4e − → 4H + + O 2 (1) In this reaction, the larger the current concentration (the amount of current per unit liter), the larger the amount of production.
【０００６】又、この時、生成された酸素によりアノ一
ド電極３を構成するカーボンが次式で示すような反応に
より酸化される。At this time, the carbon constituting the anode electrode 3 is oxidized by the reaction represented by the following formula by the generated oxygen.
【０００７】Ｃ＋Ｏ2 →ＣＯ2 …（２） この反応は、電流密度（電流値を電極面積で割った値）
が大きいほど、反応が促進される。C + O 2 → CO 2 (2) This reaction is caused by current density (current value divided by electrode area)
The greater the value, the faster the reaction.
【０００８】[0008]
【発明が解決しようとする課題】上記のような従来のイ
オン水生成装置では、半導体における洗浄液には金属イ
オンが含まれない水が要求されており、現在では洗浄用
の電解イオン水の生成にはカーボン製のカソード、アノ
ード電極３、４が用いられてきている。しかし、電解に
より生成された酸素イオン（０2 -）とアノード電極３の
カーボンが反応してカーボンが酸化（欠落）されて、カ
ーボンが欠落し、アノード電極３が早期に劣化するとい
う問題がある。In the conventional ion water generating apparatus as described above, the cleaning liquid in the semiconductor requires water containing no metal ions, and at present, it is necessary to generate electrolytic ion water for cleaning. Has used carbon cathodes and anode electrodes 3 and 4. However, there is a problem that the oxygen ions (O 2 − ) generated by the electrolysis react with the carbon of the anode electrode 3 to oxidize (delete) the carbon, the carbon is lost, and the anode electrode 3 is deteriorated early. .
【０００９】電解における生成物は電流濃度（単位リッ
トル当たりにかかる電流量）が高いほど多くなるが、電
流量を大きくするほど、電流密度（電流量を電極面積で
割ったもの）が大きくなり、酸素イオン（０2 -）の生成
量も多くなる。これにより、アノ一ド電極３では上記し
た（２）式で示した酸化反応が促進され、カーボンが欠
落してアノ一ド電極３が急速に劣化し、アノ一ド電極３
の交換が頻繁になって保守が大変になるという問題があ
ると共に、カーボンパーティクルの発生で、液中のパー
テイクルの含有量が多くなり、これを濾過するフィルタ
ーがすぐに使用できなくなり、このフィルターの交換保
守が大変になるという問題があった。The products in the electrolysis increase as the current concentration (current amount per unit liter) increases, but as the current amount increases, the current density (current amount divided by the electrode area) increases. The amount of generated oxygen ions (O 2 − ) also increases. As a result, the oxidation reaction represented by the above equation (2) is promoted in the anode electrode 3, carbon is lost, and the anode electrode 3 is rapidly deteriorated.
Replacement of the filter becomes frequent and maintenance becomes difficult.In addition, the generation of carbon particles increases the content of particles in the liquid, making it impossible to use a filter for filtering this immediately. There was a problem that replacement maintenance became difficult.
【００１０】又、上記したイオン水生成装置では、生成
する電解水量により必要な電流量が決まるため、生成量
が多くなるほど電流密度は高くなり、特にカソード水を
生成するにはアノ一ド水を生成するより多くの電流が必
要であるため、カソード水の生成量が多いと、アノ一ド
電極３では上記した酸化反応が促進され、アノ一ド電極
３の劣化が促進されてしまう。これを回避するには、電
流密度を下げれば良いが、これには電極面積を大きくし
たり、或いは電極数を増加させれば良いが、これでは装
置が大型化してしまうという問題があった。In the above-described ionized water generator, the required amount of electric current is determined by the amount of electrolyzed water to be generated. Therefore, as the amount of generated water increases, the current density increases. In particular, anode water is used to generate cathode water. Since more current is required to be generated, if the amount of generated cathode water is large, the above-described oxidation reaction is promoted in the anode electrode 3, and the deterioration of the anode electrode 3 is promoted. To avoid this, the current density may be reduced, but this may be done by increasing the electrode area or increasing the number of electrodes. However, this has a problem that the device becomes large.
【００１１】本発明は、上述の如き従来の問題点を解決
するためになされたもので、その目的は、装置を大型化
することなく、カーボン電極の欠落やイオン水中のカー
ボンパーティクルの含有量を抑えて、装置の保守を容易
に行うことができるイオン水生成装置を提供することで
ある。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-mentioned conventional problems, and an object of the present invention is to reduce the carbon electrode content and the content of carbon particles in ionic water without increasing the size of the apparatus. An object of the present invention is to provide an ion water generating apparatus capable of easily performing maintenance of the apparatus while suppressing the water.
【００１２】[0012]
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、第１の発明の特徴は、カーボン製のアノード電極と
カソード電極を有し、これら電極間に正、負の直流電圧
を印加して水の電気分解を行うことにより、イオン水を
生成するイオン水生成装置において、酸素を発生する側
の前記アノード電極の周囲に複数の球状又は多角形状の
カーボン塊を前記アノード電極と電気的に接続されるよ
うに充填したことにある。Means for Solving the Problems To achieve the above object, a first aspect of the present invention has an anode electrode and a cathode electrode made of carbon, and applies a positive or negative DC voltage between these electrodes. In the ionic water generating apparatus that generates ionic water by performing water electrolysis, a plurality of spherical or polygonal carbon blocks are electrically connected to the anode electrode around the anode electrode on the side that generates oxygen. That is, it is filled to be connected.
【００１３】この第１の発明によれば、アノード電極側
では、陽極反応が生じて酸素が生成され、この酸素によ
り、電極部材であるカーボンが酸化されるが、このカー
ボンの酸化作用は電流密度に依存する。ここで、アノー
ド電極の周囲に充填された球状又は多角形状のカーボン
塊はアノード電極と共に陽極を形成し、その結果、陽極
の表面積が増大し、陽極側の電流密度が低下するため、
アノード電極及び球状又は多角形状のカーボン塊の酸化
反応は著しく抑制される。According to the first aspect of the invention, on the anode electrode side, an anodic reaction occurs to generate oxygen, and this oxygen oxidizes carbon as an electrode member. Depends on. Here, the spherical or polygonal carbon mass filled around the anode electrode forms an anode together with the anode electrode.As a result, the surface area of the anode increases, and the current density on the anode side decreases.
The oxidation reaction of the anode electrode and the spherical or polygonal carbon mass is significantly suppressed.
【００１４】第２の発明の特徴は、前記アノード電極の
軸の周囲に撹拌部を形成すると共に、前記軸を回転可能
に支持し、前記軸を別途設けられた駆動機構により回転
させることによって、前記球状又は多角形状のカーボン
塊を撹拌することにある。According to a second aspect of the present invention, a stirrer is formed around a shaft of the anode electrode, the shaft is rotatably supported, and the shaft is rotated by a separately provided drive mechanism. The object is to stir the spherical or polygonal carbon mass.
【００１５】この第２の発明によれば、アノード電極と
カソード電極間に電圧を印加している期間、駆動機構に
より前記アノード電極の軸を回転させると、軸と共に撹
拌部も回転し、前記球状又は多角形状のカーボン塊が撹
拌されて移動する。これにより、カソード電極と対向し
て陽極反応に寄与するカーボン塊が順次入れ替わり、充
填されている全てのカーボン塊が一様に陽極反応するこ
とになる。According to the second aspect, when the shaft of the anode electrode is rotated by the driving mechanism while the voltage is applied between the anode electrode and the cathode electrode, the stirring section rotates together with the shaft, and Alternatively, the polygonal carbon lump moves while being stirred. As a result, the carbon lumps contributing to the anodic reaction facing the cathode electrode are sequentially exchanged, and all the filled carbon lumps undergo the anodic reaction uniformly.
【００１６】第３の発明の特徴は、アノード電極とカソ
ード電極を有し、これら電極間に直流電圧を印加して水
の電気分解を行うことにより、イオン水を生成するイオ
ン水生成装置において、アノード電極の周囲に繊維状の
カーボンを前記アノード電極と電気的に接続されるよう
に充填したことにある。According to a third aspect of the present invention, there is provided an ionic water generating apparatus which has an anode electrode and a cathode electrode, and applies a DC voltage between the electrodes to perform electrolysis of water, thereby generating ionic water. In other words, fibrous carbon is filled around the anode electrode so as to be electrically connected to the anode electrode.
【００１７】この第３の発明によれば、アノード電極の
周囲に充填された繊維状カーボンはアノード電極と共に
陽極を形成し、その結果、陽極の表面積が増大し、陽極
側の電流密度が低下するので、アノード電極及び繊維状
カーボンの酸化反応は著しく抑制される。According to the third aspect, the fibrous carbon filled around the anode electrode forms an anode together with the anode electrode. As a result, the surface area of the anode increases, and the current density on the anode side decreases. Therefore, the oxidation reaction of the anode electrode and the fibrous carbon is significantly suppressed.
【００１８】[0018]
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づいて説明する。図１は、本発明のイオン水生成装
置の第１の実施の形態を示した概略図である。但し、第
１の実施の形態に対応する部分は同一符号を用い、適宜
その説明は省略する。電界層１の内部はイオン交換膜２
で仕切られ、アノード槽１Ａとカソード槽１Ｋに分割さ
れている。アノード槽１Ａにはアノード電極３が設置さ
れ、カソード槽１Ｂにはカソード電極４が設置されてい
る。アノード槽１Ａにはアノード電極３の周囲を取り囲
むように多数の球状カーボン６が充填されている。電源
５はアノード電極３とカソード電極４に直流電流を供給
する。この際、球状カーボン６はその一部がアノード電
極１と接触しているため、全部又はほとんどの球状カー
ボン６の電位はアノード電極３の電位と同一になって、
陽極として作用する。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a schematic diagram showing a first embodiment of the ionized water generator of the present invention. However, portions corresponding to the first embodiment are denoted by the same reference numerals, and description thereof will be omitted as appropriate. Inside the electric field layer 1 is an ion exchange membrane 2
And divided into an anode cell 1A and a cathode cell 1K. An anode electrode 3 is provided in the anode cell 1A, and a cathode electrode 4 is provided in the cathode cell 1B. The anode tank 1A is filled with a large number of spherical carbons 6 so as to surround the anode electrode 3. The power supply 5 supplies a direct current to the anode electrode 3 and the cathode electrode 4. At this time, since a part of the spherical carbon 6 is in contact with the anode electrode 1, the potential of all or most of the spherical carbon 6 becomes the same as the potential of the anode electrode 3,
Acts as an anode.
【００１９】又、電解槽１の側壁には電解質を含む純水
が流入する流入口１１と、生成されたイオン水が流出す
る流出口１２が設けられている。The side wall of the electrolytic cell 1 is provided with an inlet 11 through which pure water containing an electrolyte flows, and an outlet 12 through which generated ionic water flows out.
【００２０】次に本実施の形態の動作について説明す
る。ポンプ等で電解質を含む純水を流入口１１から電解
槽１の内部に供給し、電源装置５から十の電圧をアノ一
ド電極３に一の電圧をカソード電極４に印加する。これ
により、電解層１の内部の水が電気分解され、アノ一ド
槽１Ａには酸化還元電位（ＯＲＰ）の高い水が生成さ
れ、カソード槽１Ｋには酸化還元電位が低い水が生成さ
れる。生成された水は電解槽１の流出口１２より排出さ
れ、酸化還元電位（ＯＲＰ）の高い水がウェハの金属除
去用洗浄液として使用され、酸化還元電位が低い水がウ
ェハの浮遊物再付着防止用洗浄液として使用される。Next, the operation of this embodiment will be described. Pure water containing an electrolyte is supplied to the inside of the electrolytic cell 1 from the inlet 11 by a pump or the like, and ten voltages are applied from the power supply device 5 to the anode electrode 3 and one voltage is applied to the cathode electrode 4. Thereby, the water inside the electrolytic layer 1 is electrolyzed, and water having a high oxidation-reduction potential (ORP) is generated in the anode tank 1A, and water having a low oxidation-reduction potential is generated in the cathode tank 1K. . The generated water is discharged from the outlet 12 of the electrolytic cell 1, and water having a high oxidation-reduction potential (ORP) is used as a cleaning liquid for removing the metal from the wafer, and water having a low oxidation-reduction potential prevents the re-adhesion of suspended matter on the wafer. Used as a cleaning solution.
【００２１】本例は、アノ一ド槽１Ａのアノード電極３
の周囲に多数の球状電極６が充填されているため、アノ
ード電極３と共にこれら球状電極６も陽極になって、従
来例のところで説明した（１）式で示されるような陽極
反応が起きて、酸素が生成される。従って、この酸素に
よりカーボン製のアノード電極３や球状カーボン６が前
述の（２）式で示した反応により酸化される。In this embodiment, the anode electrode 3 of the anode tank 1A is used.
Is filled with a large number of spherical electrodes 6, these spherical electrodes 6 together with the anode electrode 3 also serve as anodes, and an anodic reaction as shown in the equation (1) described in the conventional example occurs, Oxygen is produced. Therefore, the oxygen oxidizes the carbon-made anode electrode 3 and the spherical carbon 6 by the reaction represented by the above formula (2).
【００２２】本実施の形態によれば、アノード電極３側
では、カーボン製のアノード電極３や球状カーボン６が
酸化される反応は電流密度が大きいほど大きいが、陽極
がアノード電極３と球状電極６により形成されているた
め、陽極の表面積が大きくなって陽極側を流れる電流の
電流密度を非常に小さく、或いはほとんど無くすことが
できる。このため、カーボン製のアノード電極３や球状
カーボン６の酸化反応を非常に小さく、或いはほとんど
無くすことができるだけでなく、上記した酸化がアノ一
ド電極３と球状電極６の全体に分散して起きるため、従
来の数倍の電流を流してもアノ一ド電極３からのカーボ
ンの欠落は生ぜず、アノ一ド電極３の寿命を著しく長く
することができる。これにより、アノ一ド電極３の交換
を少なくして、装置の保守を容易に行うことができる。According to the present embodiment, on the anode electrode 3 side, the reaction of oxidizing the carbon anode electrode 3 and the spherical carbon 6 increases as the current density increases, but the anode is connected to the anode electrode 3 and the spherical electrode 6. Therefore, the surface area of the anode is increased, and the current density of the current flowing on the anode side can be extremely small or almost eliminated. Therefore, the oxidation reaction of the carbon-made anode electrode 3 and the spherical carbon 6 can be extremely small or almost eliminated, and the above-described oxidation occurs in a state of being dispersed throughout the anode electrode 3 and the spherical electrode 6. Therefore, even if a current several times larger than that of the conventional case is passed, carbon is not lost from the anode electrode 3, and the life of the anode electrode 3 can be significantly extended. Thereby, the maintenance of the apparatus can be easily performed with less replacement of the anode electrode 3.
【００２３】又、カーボンの欠落ないため、パーティク
ルの発生もほとんどなく、液中のパーテイクルの含有量
を非常に少なくすることができ、これを濾過するフィル
ターの交換を少なくして、装置の保守を容易に行うこと
ができる。Further, since carbon is not lost, particles are hardly generated and the content of particles in the liquid can be extremely reduced. It can be done easily.
【００２４】更に、従来は電極を複数枚並べることによ
り、陽極の表面積を大きくしていたが、本例はアノード
槽１Ａとアノード電極３との間、即ち、元々あった空間
に球状カーボン６を充填することによって、陽極の表面
積を大きくしているため、装置を大型化することなく、
上記効果を得ることができる。Further, conventionally, the surface area of the anode was increased by arranging a plurality of electrodes. However, in the present embodiment, the spherical carbon 6 is placed between the anode cell 1A and the anode electrode 3, that is, in the space originally provided. By filling, the surface area of the anode is increased, without increasing the size of the device,
The above effects can be obtained.
【００２５】尚、アノード槽１Ａに充填するカーボン塊
は多角形状をしていても、同様の効果がある。The same effect can be obtained even if the carbon lump to be filled in the anode tank 1A has a polygonal shape.
【００２６】図２は、本発明のイオン水生成装置の第２
の実施の形態を示した概略図である。本例は、アノード
槽１Ａのカーボン製のアノード電極３の周囲に繊維状の
カーボン７が充填されている。このため、第１の実施の
形態と同様に、アノード電極１Ａと共にこれら繊維状の
カーボン７も陽極になって陽極反応が生じるため、図１
に示した第１の実施の形態と同様の効果がある。FIG. 2 shows a second example of the ionized water generator of the present invention.
It is the schematic which showed embodiment of 1st. In the present embodiment, the periphery of the carbon anode electrode 3 of the anode tank 1A is filled with fibrous carbon 7. For this reason, similarly to the first embodiment, these fibrous carbons 7 become anodes together with the anode electrode 1A, and an anodic reaction occurs.
Has the same effect as the first embodiment shown in FIG.
【００２７】図３は本発明のイオン水生成装置の第３の
実施の形態を示した概略図である。但し、第１の実施の
形態に対応する部分は同一符号を用い、適宜その説明は
省略する。本例のアノード槽１Ａには、棒状の軸８１の
周囲に螺旋状の撹拌部８２が形成されたカーボン製のア
ノード電極８が設置されている。FIG. 3 is a schematic diagram showing a third embodiment of the ionized water generator of the present invention. However, portions corresponding to the first embodiment are denoted by the same reference numerals, and description thereof will be omitted as appropriate. In the anode vessel 1A of this example, a carbon anode electrode 8 in which a spiral stirring portion 82 is formed around a rod-shaped shaft 81 is installed.
【００２８】アノード電極８とカソード電極４間に直流
電圧を掛けて洗浄水を生成している期間、このアノード
電極８の軸８１は図示されない駆動装置により、図中、
矢印方向に回転され、撹拌部８２により球状カーボン６
がアノード槽１Ａ内で撹拌される。これにより、球状カ
ーボン６はカソード電極４に対向する面内で移動し、多
数の球状カーボン６が一律に陽極反応し、一部の球状カ
ーボン６のみが劣化しないように陽極側の反応部分を一
様化することができる。他の効果は図１に示した第１の
実施の形態と同様である。During a period in which a DC voltage is applied between the anode electrode 8 and the cathode electrode 4 to generate washing water, a shaft 81 of the anode electrode 8 is driven by a driving device (not shown) as shown in FIG.
Rotated in the direction of the arrow, the spherical carbon 6
Is stirred in the anode tank 1A. As a result, the spherical carbon 6 moves in a plane facing the cathode electrode 4 and a large number of the spherical carbons 6 uniformly undergo an anodic reaction, and a reaction portion on the anode side is removed so that only some of the spherical carbons 6 do not deteriorate. Can be adapted. Other effects are the same as those of the first embodiment shown in FIG.
【００２９】[0029]
【発明の効果】以上詳細に説明したように、本発明のイ
オン水生成装置によれば、装置を大型化することなく、
カーボン電極の欠落やイオン水中のカーボンパーティク
ルの量を抑えて、装置の保守を容易に行うことができ
る。As described above in detail, according to the ionic water generating apparatus of the present invention, the apparatus can be manufactured without increasing the size of the apparatus.
The maintenance of the apparatus can be easily performed by suppressing the missing carbon electrode and the amount of carbon particles in the ionic water.
【図１】本発明のイオン水生成装置の第１の実施の形態
を示した概略図である。FIG. 1 is a schematic diagram showing a first embodiment of an ionized water generator of the present invention.
【図２】本発明のイオン水生成装置の第２の実施の形態
を示した概略図である。FIG. 2 is a schematic view showing a second embodiment of the ionized water generator of the present invention.
【図３】本発明のイオン水生成装置の第３の実施の形態
を示した概略図である。FIG. 3 is a schematic view showing a third embodiment of the ionized water generator of the present invention.
【図４】従来のイオン水生成装置の構成例を示した概略
図である。FIG. 4 is a schematic diagram showing a configuration example of a conventional ionized water generator.
１ 電解槽 １Ａ アノード槽 １Ｋ カソード槽 ２ イオン交換膜 ３、８ アノード電極 ４ カソード電極 ５ 電源装置 ６ 球状のカーボン ７ 繊維状のカーボン １１ 流入口 １２ 流出口 ８１ 軸 ８２ 撹拌部 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Electrolysis tank 1A Anode tank 1K Cathode tank 2 Ion exchange membrane 3, 8 Anode electrode 4 Cathode electrode 5 Power supply 6 Spherical carbon 7 Fibrous carbon 11 Inlet 12 Outlet 81 Shaft 82 Stirrer
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 布谷 伸仁 神奈川県川崎市幸区小向東芝町１ 株式会 社東芝多摩川工場内 (72)発明者 片伯部 一郎 神奈川県川崎市幸区小向東芝町１ 株式会 社東芝多摩川工場内 (72)発明者 川本 浩 神奈川県川崎市幸区小向東芝町１ 株式会 社東芝多摩川工場内 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuing on the front page (72) Inventor Nobuhito Nuya 1 Komukai Toshiba-cho, Saiwai-ku, Kawasaki-shi, Kanagawa Prefecture Inside the Toshiba Tamagawa Plant Co., Ltd. Town 1 Toshiba Tamagawa Plant (72) Inventor Hiroshi Kawamoto 1 Toshiba Tamagawa Plant, Komukai Toshiba Town, Saiwai-ku, Kawasaki City, Kanagawa Prefecture
Claims (3)
極を有し、これら電極間に正、負の直流電圧を印加して
電解質を含んだ水の電気分解を行うことにより、イオン
水を生成するイオン水生成装置において、 酸素を発生する側の前記アノード電極の周囲に複数の球
状又は多角形状のカーボン塊を前記アノード電極と電気
的に接続されるように充填したことを特徴とするイオン
水生成装置。1. An ion having an anode electrode and a cathode electrode made of carbon, and applying a positive or negative DC voltage between these electrodes to perform electrolysis of water containing an electrolyte, thereby producing ionic water. In the water generator, a plurality of spherical or polygonal carbon lumps are filled around the anode electrode on the oxygen generating side so as to be electrically connected to the anode electrode. .
製の撹拌部を形成すると共に、前記軸を回転可能に支持
し、前記軸を別途設けられた駆動機構により回転させる
ことによって、前記球状のカーボン塊を撹拌することを
特徴とする請求項１記載のイオン水生成装置。2. A spherical stirring section made of carbon is formed around a shaft of the anode electrode, the shaft is rotatably supported, and the shaft is rotated by a drive mechanism provided separately, thereby forming the spherical shape. The ionized water generator according to claim 1, wherein the carbon mass is agitated.
れら電極間に正、負の直流電圧を印加して電解質を含ん
だ水の電気分解を行うことにより、イオン水を生成する
イオン水生成装置において、 アノード電極の周囲に繊維状のカーボンを前記アノード
電極と電気的に接続されるように充填したことを特徴と
するイオン水生成装置。3. An ionic water generating apparatus having an anode electrode and a cathode electrode, wherein positive and negative DC voltages are applied between these electrodes to perform electrolysis of water containing an electrolyte, thereby generating ionic water. The ion water generating apparatus according to claim 1, wherein fibrous carbon is filled around the anode electrode so as to be electrically connected to the anode electrode.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2745898A JPH11221567A (en) | 1998-02-09 | 1998-02-09 | Ion water generator |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2745898A JPH11221567A (en) | 1998-02-09 | 1998-02-09 | Ion water generator |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11221567A true JPH11221567A (en) | 1999-08-17 |
Family
ID=12221685
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2745898A Withdrawn JPH11221567A (en) | 1998-02-09 | 1998-02-09 | Ion water generator |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11221567A (en) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003145155A (en) * | 2001-11-06 | 2003-05-20 | Sanden Corp | Mineral water former |
| JP2005270779A (en) * | 2004-03-24 | 2005-10-06 | Jfe Engineering Kk | Method and apparatus for separating heavy metal |
| CN108946879A (en) * | 2018-09-25 | 2018-12-07 | 浙江得亿制氧科技有限公司 | A kind of field Quick purifying device |
| CN109592750A (en) * | 2018-12-17 | 2019-04-09 | 张众益 | A kind of self-generated voltage particle microelectrode and preparation method for sewage treatment |
-
1998
- 1998-02-09 JP JP2745898A patent/JPH11221567A/en not_active Withdrawn
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003145155A (en) * | 2001-11-06 | 2003-05-20 | Sanden Corp | Mineral water former |
| JP2005270779A (en) * | 2004-03-24 | 2005-10-06 | Jfe Engineering Kk | Method and apparatus for separating heavy metal |
| CN108946879A (en) * | 2018-09-25 | 2018-12-07 | 浙江得亿制氧科技有限公司 | A kind of field Quick purifying device |
| CN109592750A (en) * | 2018-12-17 | 2019-04-09 | 张众益 | A kind of self-generated voltage particle microelectrode and preparation method for sewage treatment |
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