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JPH11211766A - Automatic calibration device - Google Patents

Automatic calibration device

Info

Publication number
JPH11211766A
JPH11211766A JP1290698A JP1290698A JPH11211766A JP H11211766 A JPH11211766 A JP H11211766A JP 1290698 A JP1290698 A JP 1290698A JP 1290698 A JP1290698 A JP 1290698A JP H11211766 A JPH11211766 A JP H11211766A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
circuit
automatic calibration
verification
calibration device
measurement system
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP1290698A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Kiwa Nakayama
喜和 中山
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Advantest Corp
Original Assignee
Advantest Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Advantest Corp filed Critical Advantest Corp
Priority to JP1290698A priority Critical patent/JPH11211766A/en
Publication of JPH11211766A publication Critical patent/JPH11211766A/en
Pending legal-status Critical Current

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  • Measurement Of Resistance Or Impedance (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To verify an automatic calibration device and a measurement system at the time when a calibration is executed by providing a plurality of standards whose value is given in advance and a verification circuit whose value is given in advance. SOLUTION: First, four types of standards, an open circuit 31, a short- circuiting circuit 32, a load circuit 33, and a through circuit 34 whose value is given in advance are successively switched by switches SW2 and SW3, thus measuring each S parameter. A verification circuit 41 is a circuit for verifying the malfunction of an automatic calibration device itself and a measurement system. An automatic calibration device 40 is connected to a network analyzer 10 by cables 12 and 13 for automatically performing calibration and verification, thus verifying and calibrating the automatic calibration device itself and the measurement system and hence positively ensuring the measurement result of a device to be measured.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、ネットワークアナ
ライザに使用する自動キャリブレーション装置に関す
る。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an automatic calibration device used for a network analyzer.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来技術の例について、図3〜図5を参
照して説明する。最初に、ネットワークアナライザによ
るSパラメータ測定について概要を説明する。図5に示
すように、ネットワークアナライザ10は、測定部11
と、方向性結合器D1、D2、D3と、スイッチSW1
とで構成している。そして、測定ケーブル12、13で
被測定デバイスを接続して測定している。
2. Description of the Related Art An example of the prior art will be described with reference to FIGS. First, the outline of the S parameter measurement by the network analyzer will be described. As shown in FIG. 5, the network analyzer 10 includes a measuring unit 11
, Directional couplers D1, D2, D3, and switch SW1
It consists of: Then, the measurement is performed by connecting the device to be measured with the measurement cables 12 and 13.

【0003】測定部11は、信号出力Pと、基準信号入
力チャンネルRと、2つの入力チャンネルAとBとがあ
る。
The measuring section 11 has a signal output P, a reference signal input channel R, and two input channels A and B.

【0004】方向性結合器D1は、信号出力pを分配し
て基準信号入力をチャンネルRへ与えている。また、方
向性結合器D2は、ポートP1に接続された被測定デバ
イスからの反射信号・伝送信号をチャンネルAに与えて
いる。そして、方向性結合器D3は、ポートP2に接続
された被測定デバイスからの反射信号・伝送信号をチャ
ンネルBに与えている。そして、例えば2ポートデバイ
ス20のSパラメータを測定している。
A directional coupler D 1 distributes a signal output p and provides a reference signal input to a channel R. Further, the directional coupler D2 gives a reflection signal and a transmission signal from the device under test connected to the port P1 to the channel A. Then, the directional coupler D3 gives a reflection signal / transmission signal from the device under test connected to the port P2 to the channel B. Then, for example, the S parameters of the two-port device 20 are measured.

【0005】ここで、ポートP1側にケーブル接続され
た被測定デバイスのポートを1とし、ポートP2側にケ
ーブル接続された被測定デバイスのポートを2とする。
また、SパラメータのSijは、被測定デバイスのポート
jからポートiへの伝達特性である。
Here, the port of the device under test connected to the port P1 is set to 1 and the port of the device to be connected connected to the port P2 is set to 2.
Sij of the S parameter is a transfer characteristic from the port j to the port i of the device under test.

【0006】例えば、スイッチSW1をa側にしたと
き、2ポートデバイス20のSパラメータ測定は概ね下
記のようになる。 S11=チャンネルAへの信号/チャンネルRへの信号 S21=チャンネルBへの信号/チャンネルRへの信号
For example, when the switch SW1 is set to the a side, the S-parameter measurement of the two-port device 20 is generally as follows. S11 = signal to channel A / signal to channel R S21 = signal to channel B / signal to channel R

【0007】また、スイッチSW1をb側にしたとき、
2ポートデバイス20のSパラメータ測定は下記のよう
になる。 S12=チャンネルAへの信号/チャンネルRへの信号 S22=チャンネルBへの信号/チャンネルRへの信号
When the switch SW1 is set to the b side,
The S-parameter measurement of the two-port device 20 is as follows. S12 = signal to channel A / signal to channel R S22 = signal to channel B / signal to channel R

【0008】ここで、概ねと述べたのは、測定システム
内での信号の多重反射・伝達特性・漏洩特性などが、誤
差として真のSパラメータに合算されて測定されてしま
うからである。ネットワークアナライザでは、これらの
誤差のことを誤差要因といい、被測定デバイスを測定す
る前にあらかじめ誤差要因を取得しておくことをキャリ
ブレーションという。そして、被測定デバイス測定時に
は、これらの誤差要因を演算で除去することによって、
真のSパラメータとなる。
[0008] The reason for this is roughly described here is that the multiple reflection, transfer characteristics, leakage characteristics, etc. of the signal in the measurement system are added to the true S parameter as an error and measured. In the network analyzer, these errors are called error factors, and acquiring the error factors before measuring the device under test is called calibration. Then, when measuring the device under test, by removing these error factors by calculation,
This is the true S parameter.

【0009】次に、ネットワークアナライザ10におけ
るキャリブレーションについて説明する。最も一般的
な、2ポートデバイス測定用のネットワークアナライザ
のキャリブレーションは12個の誤差要因を取得するこ
とである。それは、あらかじめ値付けされた、いくつか
の異なるSパラメータの状態を接続し、そのときの測定
値を知ることによりキャリブレーションができる。その
ため、2ポートデバイスの測定をおこなう場合のキャリ
ブレーションは、例えば4種類の標準器のSパラメータ
の測定値を求めておこなっている。
Next, calibration in the network analyzer 10 will be described. The most common calibration of a network analyzer for measuring two-port devices is to acquire twelve error factors. It can calibrate by connecting several different S-parameter states, which are pre-valued, and knowing the measured values at that time. For this reason, calibration in the case of performing measurement of a two-port device is performed, for example, by obtaining measured values of S-parameters of four types of standard devices.

【0010】図4に示すように、具体的なネットワーク
アナライザ10の測定系の自動キャリブレーションは、
被測定デバイスの替わりに自動キャリブレーション装置
30を接続しておこなっている。
As shown in FIG. 4, a specific automatic calibration of the measurement system of the network analyzer 10 is as follows.
The automatic calibration device 30 is connected instead of the device under test.

【0011】従来の自動キャリブレーション装置30
は、例えばオープン回路31と、ショート回路32と、
ロード回路33と、スルー回路34と、スイッチSW
2、SW3と、スイッチ制御部35とで構成することが
できる。
Conventional automatic calibration device 30
Are, for example, an open circuit 31, a short circuit 32,
Load circuit 33, through circuit 34, switch SW
2, SW3 and the switch control unit 35.

【0012】図3の(a)〜(d)に、オープン回路3
1と、ショート回路32と、ロード回路33と、スルー
回路34との4種類の具体的な標準器の例をしめす。図
3の(c)のR3とR4とは、測定系の特性インピーダ
ンスが50Ωのときは50Ωである。
FIGS. 3A to 3D show an open circuit 3
1, four short circuit 32, load circuit 33, and through circuit 34 are shown. R3 and R4 in FIG. 3C are 50Ω when the characteristic impedance of the measurement system is 50Ω.

【0013】図4にしめすスイッチSW2、SW3は、
上記4種類の標準器の4回路を切り換えるスイッチで、
例えば半導体スイッチを使用する。また、スイッチSW
2、SW3の切り換えを制御するスイッチ制御部35
は、ネットワークアナライザ10からの制御信号、また
は測定システムを構成するコンピュータにより自動でお
こなえる。
The switches SW2 and SW3 shown in FIG.
A switch that switches between the four circuits of the above four types of standard devices.
For example, a semiconductor switch is used. Also, switch SW
2. Switch control unit 35 for controlling switching of SW3
Can be automatically performed by a control signal from the network analyzer 10 or a computer constituting the measurement system.

【0014】そして、上記4種類のあらかじめ値付けさ
れた標準器の各Sパラメータを、スイッチSW2とSW
3とを順次切り換えてデバイス測定条件で測定して、キ
ャリブレーションをおこなう。
Then, the respective S parameters of the above-mentioned four kinds of standardized standard devices are changed over by the switches SW2 and SW.
3 is sequentially switched, and measurement is performed under device measurement conditions, and calibration is performed.

【0015】よって、測定系のキャリブレーションを実
行したあと、被測定デバイスを測定することにより測定
系の誤差を除去した正確な測定データが得られる。
Therefore, after the calibration of the measurement system is performed, the device under test is measured, whereby accurate measurement data from which errors in the measurement system have been removed can be obtained.

【0016】しかし、自動キャリブレーション装置の4
種類の標準器の値付けの経時変化や、測定系の不具合が
あった場合、被測定デバイスの測定データはそれらに起
因する誤差を含むことになる。
However, the automatic calibration device 4
If there is a temporal change in the price of the standard device or a failure in the measurement system, the measurement data of the device to be measured will include an error caused by the change.

【0017】また、被測定デバイスの測定データから、
自動キャリブレーション装置や測定系の不具合を認識す
ることは一般に不可能である。
Further, from the measurement data of the device to be measured,
It is generally not possible to recognize faults in automatic calibration devices and measurement systems.

【0018】[0018]

【発明が解決しようとする課題】上記説明のように、自
動キャリブレーション装置によりキャリブレーションを
実行した後、被測定デバイスを測定したにもかかわら
ず、測定系や自動キャリブレーション装置の不具合によ
る誤差を含んだ測定結果となる場合があり実用上の不便
があった。そこで、本発明は、こうした問題に鑑みなさ
れたもので、その目的は、自動キャリブレーション装置
と測定系の検証もキャリブレーション実行時におこなえ
る自動キャリブレーション装置を提供することにある。
As described above, after the calibration is performed by the automatic calibration device, the error due to the failure of the measurement system or the automatic calibration device is measured despite the measurement of the device under test. In some cases, the measurement results may include the measurement results, which is inconvenient for practical use. The present invention has been made in view of such a problem, and an object of the present invention is to provide an automatic calibration apparatus and an automatic calibration apparatus that can also perform verification of a measurement system at the time of performing calibration.

【0019】[0019]

【課題を解決するための手段】即ち、上記目的を達成す
るためになされた本発明の第1は、あらかじめ値付けさ
れた複数の標準器と、あらかじめ値付けされたベリフィ
ケーション回路とを具備していることを特徴とした自動
キャリブレーション装置を要旨としている。
That is, a first aspect of the present invention, which has been made to achieve the above object, comprises a plurality of standardized standards and a pre-verified verification circuit. The gist of the present invention is an automatic calibration device characterized in that the calibration is performed.

【0020】また、上記目的を達成するためになされた
本発明の第2は、あらかじめ値付けされた複数の標準器
と、あらかじめ値付けされたベリフィケーション回路
と、該ベリフィケーション回路と前記複数の標準器とを
切り換えるスイッチと、該スイッチを制御信号により切
り換えるスイッチ制御部と、を具備していることを特徴
とした自動キャリブレーション装置を要旨としている。
In order to achieve the above object, a second aspect of the present invention is to provide a plurality of standardized standards, a pre-verified verification circuit, the verification circuit, The gist of the present invention is an automatic calibration apparatus including a switch for switching between a plurality of standard devices and a switch control unit for switching the switch by a control signal.

【0021】[0021]

【発明の実施の形態】本発明の実施の形態は、下記の実
施例において説明する。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Embodiments of the present invention will be described in the following examples.

【0022】[0022]

【実施例】本発明の実施例について、図1〜図3を参照
して説明する。図1に示すように、本発明の自動キャリ
ブレーション装置40は、オープン回路31と、ショー
ト回路32と、ロード回路33と、スルー回路34と、
スイッチSW2、SW3と、スイッチ制御部35との従
来構成にベリフィケーション回路41を追加して構成し
ている。そして、ネットワークアナライザ10に自動キ
ャリブレーション装置40を測定ケーブル12、13と
で接続してキャリブレーションと検証とを自動でおこな
っている。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. As shown in FIG. 1, the automatic calibration device 40 of the present invention includes an open circuit 31, a short circuit 32, a load circuit 33, a through circuit 34,
A verification circuit 41 is added to the conventional configuration of the switches SW2 and SW3 and the switch control unit 35. Then, an automatic calibration device 40 is connected to the network analyzer 10 with the measurement cables 12 and 13, and calibration and verification are automatically performed.

【0023】従来と同じ構成のオープン回路31と、シ
ョート回路32と、ロード回路33と、スルー回路34
と、スイッチSW2、SW3と、スイッチ制御部35と
は従来の技術と同様なので説明を省略する。但し、スイ
ッチSW2、SW3は、それぞれ切り換える回路が1回
路分増えて5回路分となっている。
An open circuit 31, a short circuit 32, a load circuit 33, and a through circuit
, The switches SW2 and SW3, and the switch control unit 35 are the same as those in the related art, and a description thereof will be omitted. However, the switches SW2 and SW3 each have one additional circuit to be switched, which is equivalent to five circuits.

【0024】本発明において追加したベリフィケーショ
ン回路41は、自動キャリブレーション装置自体と測定
系の不具合とを検証するための回路である。例えば、ベ
リフィケーション回路41の具体例は、図2の(a)、
(b)に示すように上記4種の標準器とは全く異なる回
路を使用する。例えば、ベリフィケーション回路41の
抵抗R1や抵抗R2は、50Ωの抵抗を使用する。
The verification circuit 41 added in the present invention is a circuit for verifying the automatic calibration device itself and the trouble of the measurement system. For example, a specific example of the verification circuit 41 is shown in FIG.
As shown in (b), a circuit completely different from the above four types of standard devices is used. For example, the resistance R1 and the resistance R2 of the verification circuit 41 use a resistance of 50Ω.

【0025】次に、本自動キャリブレーション装置40
の動作について説明する。最初に、あらかじめ値付けさ
れた4種類の標準器であるオープン回路31と、ショー
ト回路32と、ロード回路33と、スルー回路34と
を、スイッチSW2とSW3とを順次切り換えて、各S
パラメータの測定をおこなう。
Next, the automatic calibration device 40
Will be described. First, the open circuit 31, the short circuit 32, the load circuit 33, and the through circuit 34, which are four types of standard devices which are pre-valued, are sequentially switched by the switches SW2 and SW3, and
Perform parameter measurement.

【0026】そして、得られた各Sパラメータによるキ
ャリブレーションと、演算による誤差要因の除去をおこ
なう。その後、スイッチSW2とSW3とをあらかじめ
値付けされたベリフィケーション回路41に切り換え
て、値付けされたSパラメータと測定したSパラメータ
とのデータとを比較して検証をおこなう。
Then, calibration using the obtained S-parameters and removal of error factors by calculation are performed. Thereafter, the switches SW2 and SW3 are switched to the pre-valued verification circuit 41, and the verification is performed by comparing the data of the valued S parameter with the measured S parameter.

【0027】その検証の比較結果が許容範囲内であれ
ば、自動キャリブレーション装置と測定系は不具合がな
いことになる。反対に、検証の比較結果が許容範囲外で
あれば、自動キャリブレーション装置または測定系は不
具合があることになる。
If the comparison result of the verification is within the allowable range, the automatic calibration apparatus and the measurement system have no problem. Conversely, if the comparison result of the verification is out of the allowable range, the automatic calibration device or the measurement system is defective.

【0028】以上の動作は、例えばネットワークアナラ
イザ10からの制御信号により、スイッチ制御部35を
制御することにより自動で実行できる。従って、本発明
の自動キャリブレーション装置でキャリブレーションを
実行することにより、自動キャリブレーション装置自体
と測定系の検証も自動でおこなえる。
The above operation can be automatically executed by controlling the switch control unit 35 with a control signal from the network analyzer 10, for example. Therefore, by performing the calibration with the automatic calibration device of the present invention, the verification of the automatic calibration device itself and the measurement system can be automatically performed.

【0029】ところで、本実施例では2ポートのデバイ
スを測定することを前提に説明したが、被測定デバイス
は1ポートまたは3ポート以上のデバイスであっても同
様に実施できる。また、4種類の標準器はキャリブレー
ション可能であれば何種類でもよく、ベリフィケーショ
ン回路も2種類以上使用してさらに検証性を向上させる
ことも同様にして実施できる。
Although the present embodiment has been described on the premise that a two-port device is measured, the present invention can be similarly carried out even if the device to be measured is a device having one or three or more ports. The four types of standard devices may be of any type as long as they can be calibrated, and the verification can be further improved by using two or more types of verification circuits.

【0030】[0030]

【発明の効果】本発明は、以上説明したような形態で実
施され、以下に記載されるような効果を奏する。即ち、
自動キャリブレーション装置自体と測定系の検証もキャ
リブレーション実行時におこなえるので、被測定デバイ
スの測定結果の保証が確実におこなえる効果がある。
The present invention is embodied in the form described above and has the following effects. That is,
Since the automatic calibration apparatus itself and the verification of the measurement system can also be performed at the time of executing the calibration, there is an effect that the measurement results of the device to be measured can be surely guaranteed.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の自動キャリブレーション装置をネット
ワークアナライザに接続したブロック図である。
FIG. 1 is a block diagram in which the automatic calibration device of the present invention is connected to a network analyzer.

【図2】本発明の自動キャリブレーション装置のベリフ
ィケーション回路例である。
FIG. 2 is an example of a verification circuit of the automatic calibration device of the present invention.

【図3】自動キャリブレーション装置の4種類の標準器
の回路例である。
FIG. 3 is a circuit example of four types of standard devices of the automatic calibration device.

【図4】従来の自動キャリブレーション装置をネットワ
ークアナライザに接続したブロック図である。
FIG. 4 is a block diagram in which a conventional automatic calibration device is connected to a network analyzer.

【図5】ネットワークアナライザのデバイス測定図であ
る。
FIG. 5 is a device measurement diagram of a network analyzer.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10 ネットワークアナライザ 11 測定部 20 2ポートデバイス 30 自動キャリブレーション装置 31 オープン回路 32 ショート回路 33 ロード回路 34 スルー回路 35 スイッチ制御部 40 自動キャリブレーション装置 41 ベリフィケーション回路 Reference Signs List 10 network analyzer 11 measuring unit 20 2-port device 30 automatic calibration device 31 open circuit 32 short circuit 33 load circuit 34 through circuit 35 switch control unit 40 automatic calibration device 41 verification circuit

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 あらかじめ値付けされた複数の標準器
と、あらかじめ値付けされたベリフィケーション回路と
を具備していることを特徴とした自動キャリブレーショ
ン装置。
1. An automatic calibration apparatus, comprising: a plurality of pre-valued standard devices; and a pre-valued verification circuit.
【請求項2】 あらかじめ値付けされた複数の標準器
と、 あらかじめ値付けされたベリフィケーション回路と、 該ベリフィケーション回路と前記複数の標準器とを切り
換えるスイッチと、 該スイッチを制御信号により制御するスイッチ制御部
と、 を具備していることを特徴とした自動キャリブレーショ
ン装置。
2. A plurality of standardized devices which are pre-valued; a verification circuit which is pre-valued; a switch for switching between the verification circuit and the plurality of standard devices; An automatic calibration device, comprising: a switch control unit for controlling.
JP1290698A 1998-01-26 1998-01-26 Automatic calibration device Pending JPH11211766A (en)

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JP1290698A JPH11211766A (en) 1998-01-26 1998-01-26 Automatic calibration device

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JP1290698A JPH11211766A (en) 1998-01-26 1998-01-26 Automatic calibration device

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JP1290698A Pending JPH11211766A (en) 1998-01-26 1998-01-26 Automatic calibration device

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