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JPH11199238A - Glass particle deposition equipment - Google Patents

Glass particle deposition equipment

Info

Publication number
JPH11199238A
JPH11199238A JP9369529A JP36952997A JPH11199238A JP H11199238 A JPH11199238 A JP H11199238A JP 9369529 A JP9369529 A JP 9369529A JP 36952997 A JP36952997 A JP 36952997A JP H11199238 A JPH11199238 A JP H11199238A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
target rod
deposition
glass
glass fine
fine particle
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP9369529A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Norikazu Irie
範一 入江
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujikura Ltd
Original Assignee
Fujikura Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fujikura Ltd filed Critical Fujikura Ltd
Priority to JP9369529A priority Critical patent/JPH11199238A/en
Publication of JPH11199238A publication Critical patent/JPH11199238A/en
Pending legal-status Critical Current

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Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03BMANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B37/00Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
    • C03B37/01Manufacture of glass fibres or filaments
    • C03B37/012Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
    • C03B37/014Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
    • C03B37/0144Means for after-treatment or catching of worked reactant gases
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03BMANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B37/00Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
    • C03B37/01Manufacture of glass fibres or filaments
    • C03B37/012Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
    • C03B37/014Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
    • C03B37/01406Deposition reactors therefor
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02PCLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P40/00Technologies relating to the processing of minerals
    • Y02P40/50Glass production, e.g. reusing waste heat during processing or shaping
    • Y02P40/57Improving the yield, e-g- reduction of reject rates

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  • General Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
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  • Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ターゲット棒の周囲側面にガラス微粒子を速
い速度で効率よく堆積させる。 【解決手段】 ガラス微粒子生成用バーナ21からのガ
ラス微粒子流22をターゲット棒11の側面に吹き付け
てターゲット棒11の周囲にガラス微粒子堆積層12を
形成するとき、そのターゲット棒11の重量を重量測定
器41によって測定し、その測定値出力をコントローラ
42に送って堆積重量に応じてモータ43を回転させて
回転駆動機構39を介して回転軸37、38を互いに反
対方向に回転させ、ガラス微粒子堆積層12が点線で示
すように大きくなったときにそれに応じて上・下面カバ
ー31、32の前半部35、36を点線で示すように回
転させて広げる。
(57) [Summary] [PROBLEMS] To efficiently deposit glass particles on a peripheral side surface of a target rod at a high speed. SOLUTION: When a glass fine particle flow 22 from a glass fine particle generation burner 21 is sprayed on a side surface of a target rod 11 to form a glass fine particle deposition layer 12 around the target rod 11, the weight of the target rod 11 is measured by weight. The measured value output is sent to the controller 42, the motor 43 is rotated according to the deposition weight, and the rotating shafts 37, 38 are rotated in the opposite directions via the rotation driving mechanism 39, and the glass fine particle deposition is performed. When the layer 12 becomes larger as shown by the dotted line, the front halves 35 and 36 of the upper and lower covers 31 and 32 are rotated and spread as shown by the dotted line accordingly.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】この発明は、気相反応プロセ
スを利用してガラス微粒子を生成し、これを堆積させる
ガラス微粒子堆積装置に関し、とくに丸棒状のターゲッ
ト棒の周囲にガラス微粒子を堆積していく、いわゆる外
付け装置と呼ばれるガラス微粒子堆積装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a glass particle deposition apparatus for generating and depositing glass particles by utilizing a gas phase reaction process, and more particularly to depositing glass particles around a round target rod. The present invention relates to a so-called external device for depositing glass fine particles.

【0002】[0002]

【従来の技術】光ファイバ用ガラス母材のクラッド層の
厚さを大きくするため、中心部分のコアおよびクラッド
の一部をVAD法で作成し、透明ガラス化した後、外付
け装置によってその透明ガラス棒の周囲にクラッドとな
るガラス微粒子層を堆積させることが行われている。こ
の外付け装置における2次ガラス微粒子堆積プロセス
は、ガラス微粒子流を安定させるため、および塵埃等の
付着を防ぐため、等々の理由で、排ガス処理設備によっ
て排気されたチャンバ(デポジションチャンバと呼ぶ)
内で行われている。
2. Description of the Related Art In order to increase the thickness of a cladding layer of a glass base material for an optical fiber, a core at a central portion and a part of the cladding are formed by a VAD method and are made vitrified and then transparentized by an external device. 2. Description of the Related Art A glass fine particle layer serving as a clad is deposited around a glass rod. The secondary glass particle deposition process in this external device is a chamber evacuated by an exhaust gas treatment facility (referred to as a deposition chamber) for the purpose of stabilizing the flow of glass particles and preventing adhesion of dust and the like.
Is done within.

【0003】すなわち、図3に示すように、丸棒状の透
明ガラス棒をターゲット棒11として回転するように保
持し、このターゲット棒11の側面に向けてバーナ21
を配置する。このバーナ21には、水素ガスと酸素ガス
を含む燃料ガスが送り込まれており、酸水素火炎を生じ
ている。この火炎中に四塩化珪素などのガラス原料ガス
を導入して加水分解反応させることにより二酸化珪素の
微粒子(ガラス微粒子)を生成する。このガラス微粒子
流22がターゲット棒11の側面に吹き付けられること
により、その側面にガラス微粒子が堆積する。ターゲッ
ト棒11が回転しており、バーナ21が矢印に示すよう
にそのターゲット棒11の軸方向に往復移動することに
よって、ターゲット棒11の側面にガラス微粒子堆積層
12が円柱状に成長していくことになる。
[0003] That is, as shown in FIG. 3, a round bar-shaped transparent glass rod is held as a target rod 11 so as to rotate, and a burner 21 is directed toward the side of the target rod 11.
Place. Fuel gas containing hydrogen gas and oxygen gas is fed into the burner 21 to generate an oxyhydrogen flame. Fine particles of silicon dioxide (glass fine particles) are generated by introducing a glass material gas such as silicon tetrachloride into the flame and causing a hydrolysis reaction. The glass fine particle flow 22 is sprayed on the side surface of the target rod 11 to deposit glass fine particles on the side surface. The target rod 11 is rotating, and the burner 21 reciprocates in the axial direction of the target rod 11 as shown by an arrow, whereby the glass fine particle deposition layer 12 grows in a columnar shape on the side surface of the target rod 11. Will be.

【0004】デポジションチャンバ30は、ターゲット
棒11を側面から挟むような2つの側壁部(図では上下
の側壁部)を構成するカバー31、32を含む。なお、
ターゲット棒11の両端付近にも側壁部は設けられてい
るが、図では省略している。カバー31、32は、前面
側と背面側にそれぞれ開口33、34を有するようにタ
ーゲット棒11を覆っている。これらの開口33、34
は、ターゲット棒11を間に挟んで対向する位置に設け
られている。
[0004] The deposition chamber 30 includes covers 31 and 32 forming two side walls (upper and lower side walls in the figure) so as to sandwich the target rod 11 from the side. In addition,
Sidewalls are also provided near both ends of the target rod 11, but are omitted in the figure. The covers 31 and 32 cover the target rod 11 so as to have openings 33 and 34 on the front side and the back side, respectively. These openings 33, 34
Are provided at positions facing each other with the target rod 11 interposed therebetween.

【0005】前面の開口33は、ガラス微粒子流22の
チャンバ30内への導入用開口であり、往復移動するバ
ーナ21から噴出するガラス微粒子流22のチャンバ3
0の内部への流入(およびバーナ21の往復移動)を妨
げることがないように、ターゲット棒11の軸方向に長
いものとなっている。また、背面の開口34は排気用の
開口であって、排ガス処理設備に接続された吸引パイプ
(図示しない)に連結されている。
An opening 33 on the front side is an opening for introducing the glass fine particle flow 22 into the chamber 30, and the chamber 3 for the glass fine particle flow 22 ejected from the reciprocating burner 21.
The target rod 11 is long in the axial direction of the target rod 11 so as not to hinder the inflow of the target rod 11 into the inside (and the reciprocating movement of the burner 21). The opening 34 on the back is an exhaust opening, and is connected to a suction pipe (not shown) connected to an exhaust gas treatment facility.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
ガラス微粒子堆積装置(外付け装置)では、ガラス微粒
子の堆積速度や原料収率があまり良好でないという問題
がある。
However, the conventional apparatus for depositing fine glass particles (external device) has a problem that the deposition rate of glass fine particles and the yield of raw materials are not so good.

【0007】堆積開始時にはターゲット棒の周囲にはま
だ堆積層がない状態であるが、堆積終了時には所定の厚
さの堆積層が形成されることになる。このようにガラス
微粒子堆積層の外径は徐々に大きくなるため、ガラス微
粒子堆積層の周囲の気流の速度が堆積の初期と終期とで
は大きく変化する。ガラス微粒子の堆積速度および原料
収率は、デポジションチャンバの排気風量および堆積し
たガラス微粒子堆積層の周囲の気流によって影響を受け
るものであり、上記のように堆積の前後を通じてその気
流が安定しないということは、常に最適な気流であると
は言えないということを意味する。とくに、堆積開始初
期に堆積層の周囲の気流の速度が遅い場合には、ガラス
微粒子の流れとターゲット表面との接触面積が小さくな
り、堆積速度が小さいものとなる。この堆積速度は堆積
開始初期の堆積速度が律速段階であった。
At the start of deposition, there is no deposited layer around the target rod, but at the end of deposition, a deposited layer having a predetermined thickness is formed. As described above, since the outer diameter of the glass fine particle deposition layer gradually increases, the velocity of the airflow around the glass fine particle deposition layer greatly changes between the initial stage and the final stage of the deposition. The deposition rate and raw material yield of the glass particles are affected by the exhaust air volume of the deposition chamber and the airflow around the deposited glass particle deposition layer. This means that the airflow is not always optimal. In particular, when the speed of the airflow around the deposition layer is low at the beginning of the deposition, the contact area between the flow of the glass particles and the target surface becomes small, and the deposition rate becomes low. As for this deposition rate, the deposition rate at the beginning of the deposition was the rate-determining stage.

【0008】この発明は、上記に鑑み、ガラス微粒子の
堆積速度を向上させ、かつ原料収率を改善することがで
きる、ガラス微粒子堆積装置を提供することを目的とす
る。
[0008] In view of the above, it is an object of the present invention to provide a glass particle deposition apparatus capable of improving the deposition rate of glass particles and improving the yield of raw materials.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、回転する丸棒状のターゲット棒の側面にガラス微粒
子を吹き付けながら該ターゲット棒の軸方向に移動させ
られるガラス微粒子生成用バーナと、上記のターゲット
棒を覆うデポジションチャンバと、該デポジションチャ
ンバの、ターゲット棒を側面側から挟むようにしてその
両側面を覆う両側壁部を、ガラス微粒子堆積層の成長に
応じて、ターゲット棒から離れる方向に移動させる機構
とが備えられることが特徴となっている。
In order to achieve the above object, a burner for producing glass fine particles which is moved in the axial direction of the target rod while spraying the glass fine particles on the side surface of a rotating round rod-shaped target rod, The deposition chamber covering the target rod of the target chamber, and both side walls of the deposition chamber covering both sides of the target rod sandwiching the target rod from the side, in a direction away from the target rod according to the growth of the glass fine particle deposition layer. And a moving mechanism.

【0010】デポジションチャンバにおいて、ターゲッ
ト棒を側面側から挟むようにしてその両側面を覆う両側
壁部が、ターゲット棒の側面に堆積して成長してくるガ
ラス微粒子堆積層の成長に応じて、ターゲット棒から離
れる方向に移動させられる。そのため、ガラス微粒子堆
積層の外径が徐々に大きくなってくるとき、それに応じ
てターゲット棒と両側壁部との間の隙間が大きくなって
くるので、ガラス微粒子層の成長の前後を通じてガラス
微粒子堆積層の表面と両側壁部との間は所定の間隔を保
つようにすることができて、ガラス微粒子堆積層の周囲
の気流を安定化し、かつその気流の速度を速くすること
ができる。その結果、堆積開始初期に堆積層の周囲の気
流の速度が遅くて、堆積速度が小さいということがなく
なり、堆積工程の全体を通じて堆積速度を向上させ、か
つ原料収率を高めることができる。
[0010] In the deposition chamber, both side walls covering the both sides of the target rod so as to sandwich the target rod from the side, and the target rod is deposited on the side surface of the target rod according to the growth of the glass fine particle deposition layer. Moved away from Therefore, when the outer diameter of the glass fine particle deposition layer gradually increases, the gap between the target rod and both side walls increases accordingly. A predetermined distance can be maintained between the surface of the layer and both side walls, so that the airflow around the glass particle deposition layer can be stabilized and the speed of the airflow can be increased. As a result, the speed of the airflow around the deposition layer is low at the beginning of the deposition and the deposition rate is not low, so that the deposition rate can be improved throughout the deposition process and the material yield can be increased.

【0011】[0011]

【発明の実施の形態】つぎに、この発明の実施の形態に
ついて図面を参照しながら詳細に説明する。図1はこの
発明にかかるガラス微粒子堆積装置(外付け装置)を、
ターゲット棒の軸に直角な平面で断面して、ターゲット
棒の端部方向から見た模式的な断面図である。この図に
おいて、図3に対応する部分には対応する番号を付して
いる。丸棒状のターゲット棒11は紙面に垂直に保持さ
れ、回転させられる。このターゲット棒11の側面に向
けてガラス微粒子生成用バーナ21が配置され、このバ
ーナ21からのガラス微粒子流22がターゲット棒11
の側面に吹き付けられるようになっており、さらに吹き
付けながらターゲット棒11の軸方向(紙面に直角な方
向)に往復移動させられるようになっている。これによ
りターゲット棒11の側面にガラス微粒子堆積層12が
形成される。
Next, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. FIG. 1 shows an apparatus for depositing glass fine particles (an external device) according to the present invention.
FIG. 4 is a schematic cross-sectional view of a cross section taken along a plane perpendicular to the axis of the target rod and viewed from an end of the target rod. In this figure, the portions corresponding to FIG. 3 are denoted by the corresponding numbers. The round target bar 11 is held perpendicularly to the plane of the drawing and rotated. A burner 21 for generating glass fine particles is arranged toward a side surface of the target rod 11, and a glass fine particle flow 22 from the burner 21 is supplied to the target rod 11.
The target rod 11 can be reciprocated in the axial direction (a direction perpendicular to the paper surface) while being further sprayed. As a result, a glass fine particle deposition layer 12 is formed on the side surface of the target rod 11.

【0012】デポジションチャンバ30は、このターゲ
ット棒11およびガラス微粒子堆積層12を覆うもの
で、前面開口33と背面開口34とを有している。前面
開口33からバーナ21より噴出されるガラス微粒子流
22が導入され、背面開口34には図示しない排ガス処
理設備からの吸引パイプが連結され、排気されている。
これにより、バーナ21から噴出されるガラス微粒子流
22がターゲット棒11およびガラス微粒子堆積層12
に当たってさらに背面の開口34へ向かう空気の流れが
形成される。
The deposition chamber 30 covers the target rod 11 and the glass particle deposition layer 12, and has a front opening 33 and a back opening 34. The glass fine particle flow 22 ejected from the burner 21 is introduced from the front opening 33, and a suction pipe from an exhaust gas treatment facility (not shown) is connected to the rear opening 34 and exhausted.
As a result, the glass fine particle flow 22 ejected from the burner 21 changes the target rod 11 and the glass fine particle deposition layer 12.
, A flow of air toward the opening 34 on the back surface is further formed.

【0013】デポジションチャンバ30の上面カバー3
1の前半部35は回転軸37に取り付けられていて、こ
の軸37を中心に回転するようになっている。また下面
カバー32も同様にその前半部36が回転軸38に取り
付けられ、この軸38の周りに回転するようにされてい
る。これらの回転軸37、38は、モータ43の回転力
を伝える回転駆動機構39により互いに反対の方向に同
時回転するようにされている。この回転駆動機構39
は、ここではギア機構で構成されているものとして図示
しているが、ベルト・プーリ機構や、カム・リンク機構
等の適宜な機械的機構で構成することができる。
The upper cover 3 of the deposition chamber 30
The first half 35 is attached to a rotating shaft 37 so as to rotate about the shaft 37. Similarly, the front half 36 of the lower surface cover 32 is attached to a rotating shaft 38 so as to rotate around the rotating shaft 38. These rotating shafts 37 and 38 are simultaneously rotated in opposite directions by a rotation driving mechanism 39 that transmits the rotating force of the motor 43. This rotation drive mechanism 39
Although shown here as being constituted by a gear mechanism, it can be constituted by an appropriate mechanical mechanism such as a belt pulley mechanism or a cam link mechanism.

【0014】ガラス微粒子堆積層12が付着したターゲ
ット棒11の重量は重量測定器41によって測定され
る。これはたとえばターゲット棒11を両端で保持する
保持器(図示しない)にかかる重量を測定することで可
能である。こうして測定した測定重量値出力をコントロ
ーラ42に送って、その測定重量値に応じてモータ43
をコントロールする。
The weight of the target rod 11 to which the glass fine particle deposition layer 12 has adhered is measured by a weight measuring device 41. This can be done, for example, by measuring the weight of a holder (not shown) that holds the target rod 11 at both ends. The measured weight value output thus measured is sent to the controller 42, and the motor 43
Control.

【0015】ターゲット棒11の重量ををあらかじめ測
っておき、それを測定重量値から差し引けば、ガラス微
粒子の堆積重量が分かる。この堆積重量に応じて図2に
示すように開口幅を制御する。ここで開口幅というの
は、前面開口33の幅(上下の開口幅)である。この図
2の特性にしたがえば、デポジションの最初はこの開口
幅を100mmとし、堆積重量が1kgを超えたときか
ら開口幅を徐々に広げ、3kgとなったときに300m
mとなるようにする。なお、ここではターゲット棒11
の外径は15mm、堆積重量が6kgに達したときのガ
ラス微粒子堆積層12の外径が120mmになるものと
している。
By measuring the weight of the target rod 11 in advance and subtracting it from the measured weight, the deposited weight of the glass fine particles can be determined. The opening width is controlled according to the deposition weight as shown in FIG. Here, the opening width is the width of the front opening 33 (upper and lower opening widths). According to the characteristics shown in FIG. 2, the opening width is set to 100 mm at the beginning of the deposition, and the opening width is gradually widened when the deposition weight exceeds 1 kg and 300 m when the deposition weight becomes 3 kg.
m. Here, the target rod 11
Has an outer diameter of 15 mm, and the outer diameter of the glass particle deposition layer 12 when the deposition weight reaches 6 kg is 120 mm.

【0016】すなわち、デポジションの初期では、上・
下面カバー31、32の前半部35、36は図1の実線
で示すような位置とされる。堆積重量が1kgを超える
ようになると、コントローラ42がモータ43を回転さ
せて回転駆動機構39を介して回転軸37、38を回転
させ、前面開口33が開く方向に、点線で示すように上
・下面カバー31、32の前半部35、36を回転させ
る。
That is, at the beginning of the deposition,
The front halves 35, 36 of the lower covers 31, 32 are positioned as shown by solid lines in FIG. When the deposited weight exceeds 1 kg, the controller 42 rotates the motor 43 to rotate the rotating shafts 37 and 38 via the rotation driving mechanism 39, and the upper and lower portions are moved in the direction in which the front opening 33 is opened as indicated by the dotted line. The first half 35, 36 of the lower cover 31, 32 is rotated.

【0017】そのため、ターゲット棒11の側面に形成
されるガラス微粒子堆積層12の厚さが薄いときには、
前面開口33がより閉じた状態となっていて、ターゲッ
ト棒11から上・下面カバー31、32(35、36)
の内面までの距離が短いものとなっているが、堆積が進
んでガラス微粒子堆積層12が点線で示すように厚くな
ってきたときは、それに応じて前面開口33が開くよう
上・下面カバー31、32の前半部35、36が回転
し、ターゲット棒11から上・下面カバー31、32
(35、36)の内面までの距離が大きくなる。その結
果、ガラス微粒子堆積層12の表面と上・下面カバー3
1、32(35、36)の内面までの間の隙間は、堆積
初期から堆積終了までの間でのガラス微粒子堆積層12
の厚さの変化にかかわらず、ある程度一定のもの(たと
えば90mm程度)となり、ガラス微粒子堆積層12の
周囲における気流の状態を常に最適なものに近いものと
することができる。
Therefore, when the thickness of the glass fine particle deposition layer 12 formed on the side surface of the target rod 11 is small,
The front opening 33 is in a more closed state, and the upper and lower covers 31, 32 (35, 36) are separated from the target rod 11.
Although the distance to the inner surface is short, when the deposition proceeds and the glass fine particle deposition layer 12 becomes thicker as indicated by the dotted line, the upper / lower cover 31 opens the front opening 33 accordingly. , 32 rotate, and the upper and lower covers 31, 32 move from the target rod 11.
The distance to the inner surface of (35, 36) increases. As a result, the surface of the glass particle deposition layer 12 and the upper and lower cover 3
The gap between the inner surfaces of the first and second (35, 36) is the glass fine particle deposition layer 12 from the initial stage of the deposition to the end of the deposition.
Irrespective of the change in the thickness of the glass fine particles, the air flow becomes constant to a certain extent (for example, about 90 mm), and the state of the air flow around the glass fine particle deposition layer 12 can always be close to the optimum state.

【0018】このように、ガラス微粒子堆積層12の厚
さが変化する堆積時において、ガラス微粒子堆積層12
の周囲の気流の状態を改善することができるため、堆積
速度を向上させ、原料収率を高めることが可能となる。
たとえば実験例では堆積速度は従来では約10g/mi
nであったものが約12g/minに向上し、原料収率
は約30%高まった。さらに、堆積が進んでガラス微粒
子堆積層12が厚くなったときも、そのガラス微粒子堆
積層12の表面と上・下面カバー31、32(35、3
6)の内面までの間の隙間を一定の距離以上に保ことが
できるため、この付着した外側のガラス微粒子堆積層1
2を透明ガラス化してクラッド層としたときの、そのク
ラッド層に生じる気泡の数を少なくすることもできる。
As described above, during the deposition in which the thickness of the glass particle deposition layer 12 changes, the glass particle deposition layer 12
Can improve the state of the airflow around it, so that the deposition rate can be improved and the yield of the raw material can be increased.
For example, in the experimental example, the deposition rate is conventionally about 10 g / mi.
n was increased to about 12 g / min, and the raw material yield was increased by about 30%. Further, even when the deposition progresses and the glass fine particle deposition layer 12 becomes thicker, the surface of the glass fine particle deposition layer 12 and the upper / lower cover 31, 32 (35, 3
Since the gap between the inner surface and the inner surface of (6) can be maintained at a certain distance or more, the outermost glass particle deposition layer
When 2 is made into a transparent glass to form a clad layer, the number of bubbles generated in the clad layer can be reduced.

【0019】なお、上記はこの発明の一つの実施形態を
述べたものであり、この発明がこの記述に限定される趣
旨でないことはもちろんである。たとえば上・下面カバ
ー31、32の前半部35、36を回転させてターゲッ
ト11からの距離を変化させているが、デポジションチ
ャンバにおいて、ターゲット棒を側面側から挟むように
してその両側面を覆う両側壁部が、ターゲット棒の側面
に堆積して成長してくるガラス微粒子堆積層の成長に応
じて、ターゲット棒から離れる方向に移動させられる構
造であればよいので、上で述べた構造のカバー31、3
2を用いることに限定されない。
It should be noted that the above describes one embodiment of the present invention, and it goes without saying that the present invention is not intended to be limited to this description. For example, while the distance from the target 11 is changed by rotating the first half 35, 36 of the upper / lower cover 31, 32, in the deposition chamber, both side walls covering the both sides of the target rod so as to sandwich the target rod from the side. The portion may be any structure that can be moved in a direction away from the target rod in accordance with the growth of the glass fine particle deposition layer that grows by depositing on the side surface of the target rod. 3
It is not limited to using 2.

【0020】[0020]

【発明の効果】以上説明したように、この発明のガラス
微粒子堆積装置によれば、堆積の初期から終了までを通
じて全体として堆積速度を高め、原料収率を向上させる
ことができる。
As described above, according to the apparatus for depositing fine glass particles of the present invention, the deposition rate can be increased as a whole from the beginning to the end of the deposition, and the raw material yield can be improved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】この発明の実施の形態を示す模式的な断面図。FIG. 1 is a schematic sectional view showing an embodiment of the present invention.

【図2】上下カバーの開口幅の制御特性を示すグラフ。FIG. 2 is a graph showing control characteristics of an opening width of upper and lower covers.

【図3】従来のガラス微粒子堆積装置(外付け装置)を
示す模式的な斜視図。
FIG. 3 is a schematic perspective view showing a conventional glass particle deposition device (external device).

【符号の説明】[Explanation of symbols]

11 ターゲット棒 12 ガラス微粒子堆積層 21 ガラス微粒子生成用バー
ナ 22 ガラス微粒子流 30 デポジションチャンバ 31 上面カバー 32 下面カバー 33 前面開口 34 背面開口 35 上面カバーの前半部 36 下面カバーの前半部 37、38 回転軸 39 回転駆動機構 41 重量測定器 42 コントローラ 43 モータ
DESCRIPTION OF SYMBOLS 11 Target rod 12 Glass fine particle deposition layer 21 Glass fine particle generation burner 22 Glass fine particle flow 30 Deposition chamber 31 Top cover 32 Lower cover 33 Front opening 34 Back opening 35 First half of upper cover 36 First half of lower cover 37, 38 Rotation Shaft 39 Rotation drive mechanism 41 Weight measuring device 42 Controller 43 Motor

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 回転する丸棒状のターゲット棒の側面に
ガラス微粒子を吹き付けながら該ターゲット棒の軸方向
に移動させられるガラス微粒子生成用バーナと、上記の
ターゲット棒を覆うデポジションチャンバと、該デポジ
ションチャンバの、ターゲット棒を側面側から挟むよう
にしてその両側面を覆う両側壁部を、ガラス微粒子堆積
層の成長に応じて、ターゲット棒から離れる方向に移動
させる機構とを備えることを特徴とするガラス微粒子堆
積装置。
1. A burner for generating glass fine particles which is moved in the axial direction of a target rod while spraying glass fine particles on a side surface of a rotating round rod-shaped target rod; a deposition chamber for covering the target rod; A glass comprising: a mechanism for moving both side walls of the position chamber, which cover both side surfaces of the target rod so as to sandwich the target rod from the side, in a direction away from the target rod in accordance with the growth of the glass fine particle deposition layer. Particle deposition device.
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