JPH11183814A - Multi-beam scanner - Google Patents
Multi-beam scannerInfo
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- JPH11183814A JPH11183814A JP35739497A JP35739497A JPH11183814A JP H11183814 A JPH11183814 A JP H11183814A JP 35739497 A JP35739497 A JP 35739497A JP 35739497 A JP35739497 A JP 35739497A JP H11183814 A JPH11183814 A JP H11183814A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】走査結像レンズにおける共役化機能と等速化機
能を良好に保ちつつ、主・副走査方向の像面湾曲を良好
に補正し、良好なマルチビーム走査を実現する。
【解決手段】複数の発光部からの複数ビームをそれぞ
れ、主走査対応方向に長い線像に結像させ、各線像の結
像位置近傍に偏向反射面5Aを持つ光偏向器5により等
角速度的に偏向させ、各偏向ビームを同一の走査結像レ
ンズにより被走査面8上に副走査方向に分離した光スポ
ットとして集光せしめて被走査面8の複数走査線の等速
的な光走査を行なうマルチビーム走査装置であって、走
査結像レンズが2枚のレンズ6,7により構成され、レ
ンズ6は光偏向器側に凹面を向けた正メニスカスレンズ
で両面が共軸非球面形状であり、レンズ7は、少なくと
も1面が、主走査断面内において非円弧形状を有し、且
つ、該レンズ面における副走査断面内の曲率中心を主走
査対応方向に連ねた曲率中心線が、主走査断面内におい
て上記非円弧形状とは異なる曲線となるように、上記副
走査断面内における曲率半径が主走査対応方向に変化し
ているものである。
(57) [Summary] [PROBLEMS] To achieve good multi-beam scanning by favorably correcting curvature of field in the main and sub-scanning directions while maintaining good conjugate functions and uniform velocity functions in a scanning imaging lens. I do. A plurality of beams from a plurality of light emitting units are respectively formed into long line images in a main scanning corresponding direction, and a constant angular velocity is obtained by an optical deflector having a deflecting reflection surface in the vicinity of an image forming position of each line image. And converge each deflected beam on the surface 8 to be scanned by the same scanning image forming lens as a light spot separated in the sub-scanning direction, thereby performing uniform scanning of a plurality of scanning lines on the surface 8 to be scanned. The scanning imaging lens is composed of two lenses 6 and 7, and the lens 6 is a positive meniscus lens having a concave surface facing the optical deflector and both surfaces have a coaxial aspherical shape. The lens 7 has at least one surface having a non-arcuate shape in the main scanning section, and a curvature center line connecting the centers of curvature in the sub-scanning section in the main scanning direction in the main scanning direction has a main scanning direction. In the cross section, As the different curves, in which the radius of curvature in the sub-scan section is changed corresponding to the main scanning direction.
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】この発明はマルチビーム走査
装置に関する。The present invention relates to a multi-beam scanning device.
【0002】[0002]
【従来の技術】複数の光源から放射される複数のビーム
のそれぞれを主走査対応方向に長い線像として、副走査
対応方向に互いに分離して結像させ、上記各線像の結像
位置近傍に偏向反射面を持つ光偏向器により等角速度的
に偏向させ、各偏向ビームを同一の走査結像レンズによ
り被走査面上に、副走査方向に分離した光スポットとし
て集光せしめて被走査面の複数走査線の等速的な光走査
を行なうマルチビーム走査装置が、光プリンタやデジタ
ル複写機等の「画像形成装置」に関連して実現を意図さ
れている。上記「主走査対応方向」は、光源から被走査
面に到る光路上で主走査方向に対応する方向を言い、上
記光路上において、副走査方向と対応する方向を「副走
査対応方向」と言う。上記走査結像レンズは、上記各線
像の結像位置と被走査面とを副走査対応方向に関して
「幾何光学的に共役な関係」とする「共役化機能」と、
光走査を等速化する「等速化機能」とを有する。上記共
役化機能は光偏向器における偏向反射面の「面倒れ」を
補正するための機能である。2. Description of the Related Art Each of a plurality of beams emitted from a plurality of light sources is formed as a long line image in the main scanning direction, separated from each other in the sub-scanning direction, and formed near the image forming position of each line image. The light is deflected at an equal angular velocity by an optical deflector having a deflecting reflection surface, and each deflected beam is condensed on the surface to be scanned by the same scanning imaging lens as a light spot separated in the sub-scanning direction. A multi-beam scanning device that performs constant-speed optical scanning of a plurality of scanning lines is intended to be realized in connection with an "image forming apparatus" such as an optical printer or a digital copying machine. The “main scanning corresponding direction” refers to a direction corresponding to the main scanning direction on the optical path from the light source to the surface to be scanned, and the direction corresponding to the sub scanning direction on the optical path is referred to as a “sub scanning corresponding direction”. To tell. The scanning imaging lens has a conjugate function that sets the imaging position of each line image and the surface to be scanned to a “geometrically conjugate relationship” with respect to the sub-scanning corresponding direction,
It has a “constant speed function” for equalizing the optical scanning speed. The conjugation function is a function for correcting "surface tilt" of the deflecting reflection surface in the optical deflector.
【0003】良好なマルチビーム走査を実現するには、
走査結像レンズの上記共役化機能や等速化機能が良好で
あることに加え、主・副走査方向における像面湾曲を良
好に補正されていることが必要である。主・副走査方向
の像面湾曲の補正が十分でないと、光スポット径が光ス
ポットの像高と共に変動し、書き込まれる画像の解像度
を著しく低下させ、像質の低下を招くからである。ま
た、マルチビーム走査では、副走査方向の像面湾曲は、
被走査面上に集光される複数の光スポットの個々に付い
て良好に補正されていることが必要である。そうでない
と、複数の光スポットの副走査方向の光スポット径が不
揃いとなり、書き込まれる画像の解像度が光スポットご
とに「まちまち」となるからである。副走査方向の像面
湾曲を良好に補正するために、走査結像レンズにおける
1以上のレンズ面において、副走査断面(該レンズ面近
傍において主走査対応方向に直交する平断面)内におけ
る曲率半径を、主走査対応方向における位置に応じて変
化させた走査結像レンズが知られている(例えば、特開
平6−230308号公報)が、副走査断面内における
曲率半径が「主走査対応方向において光軸を離れるに従
い単調に増加している」ため、偏向角:0と最大偏向角
(有効主走査領域の端部に対応する)とで上記曲率半径
が大きく異なるため、偏心やシフト等の「組付け誤差」
があると、副走査方向の像面湾曲が著しく劣化するの
で、組付けの公差が厳しく、光学系の組立ての作業性が
悪いという問題がある。In order to achieve good multi-beam scanning,
In addition to the good conjugate function and uniform velocity function of the scanning imaging lens, it is necessary that the curvature of field in the main and sub-scanning directions is well corrected. If the curvature of field in the main and sub-scanning directions is not sufficiently corrected, the light spot diameter fluctuates with the image height of the light spot, so that the resolution of an image to be written is remarkably reduced, and the image quality is degraded. In multi-beam scanning, the field curvature in the sub-scanning direction is
It is necessary that each of the plurality of light spots condensed on the surface to be scanned be properly corrected. Otherwise, the diameters of the light spots in the sub-scanning direction of the plurality of light spots are not uniform, and the resolution of an image to be written is "variable" for each light spot. In order to satisfactorily correct the curvature of field in the sub-scanning direction, the radius of curvature in one or more lens surfaces of the scanning imaging lens in a sub-scanning cross section (a flat cross section near the lens surface and orthogonal to the main scanning direction). Is known according to the position in the main scanning corresponding direction (for example, JP-A-6-230308), but the radius of curvature in the sub-scanning section is “in the main scanning corresponding direction”. The radius of curvature greatly differs between the deflection angle of 0 and the maximum deflection angle (corresponding to the end of the effective main scanning area) since the curvature angle monotonically increases as the distance from the optical axis increases. Assembly error "
In this case, the curvature of field in the sub-scanning direction is significantly deteriorated, so that there is a problem that the tolerance of assembly is strict and the workability of assembling the optical system is poor.
【0004】また、走査結像レンズは「プラスチック成
形」で作製できるが、プラスチック成形の際、「ヒケ」
や「ウネリ」が発生して、所望形状のレンズを得ること
が困難な場合もある。また、プラスチックで形成された
レンズは温・湿度の変化の影響を受けて光学性能が変化
し易い。さらに、光偏向器として一般的な「回転多面
鏡」は、偏向反射面の回転軸が偏向反射面内に無いの
で、偏向反射面近傍に結像した各線像と偏向反射面との
位置関係が、回転多面鏡の回転とともに変動する所謂
「サグ」の問題がある。Further, the scanning image forming lens can be manufactured by "plastic molding".
In some cases, undulation occurs and it is difficult to obtain a lens having a desired shape. Further, the optical performance of a lens made of plastic is liable to change under the influence of changes in temperature and humidity. In addition, since a rotating polygonal mirror generally used as an optical deflector does not have a rotating axis of the deflecting / reflecting surface within the deflecting / reflecting surface, the positional relationship between each line image formed near the deflecting / reflecting surface and the deflecting / reflective surface is not sufficient. However, there is a problem of so-called "sag" which fluctuates with the rotation of the rotating polygon mirror.
【0005】[0005]
【発明が解決しようとする課題】この発明は、マルチビ
ーム走査装置において、各光ビームによる良好な光走査
を実現することを課題とする。また、マルチビーム走査
装置における光学系の組立てを容易にし、走査結像レン
ズをプラスチックで形成する場合に、所望のレンズを容
易に歩留まり良く得ることにより走査装置の低コスト化
を可能にし、マルチビーム走査が温・湿度等の影響を受
けにくくし、サグの影響を有効に除去すること等を他の
課題とする。SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to realize good optical scanning by each light beam in a multi-beam scanning device. Further, it facilitates the assembly of the optical system in the multi-beam scanning device, and when the scanning imaging lens is formed of plastic, the desired lens can be easily obtained with high yield, thereby enabling the cost reduction of the scanning device. Another object is to make scanning less susceptible to temperature, humidity, and the like, and to effectively remove the effect of sag.
【0006】[0006]
【課題を解決するための手段】この発明のマルチビーム
走査装置は「複数の発光源から放射される複数のビーム
のそれぞれを主走査対応方向に長い線像として、副走査
対応方向に互いに分離して結像させ、各線像の結像位置
近傍に偏向反射面を持つ光偏向器により等角速度的に偏
向させ、各偏向ビームを同一の走査結像レンズにより被
走査面上に副走査方向に分離した光スポットとして集光
せしめて被走査面の複数走査線の等速的な光走査を行な
うマルチビーム走査装置」であって、以下の点を特徴と
する。即ち、各偏向ビームを被走査面上に光スポットと
して集光させる走査結像レンズが、2枚のレンズにより
構成される。走査結像レンズを構成する2枚のレンズの
うち、光偏向器側のレンズは「光偏向器側に凹面を向け
た正メニスカスレンズで、両面が共軸非球面形状」であ
り、被走査面側のレンズは「少なくとも1面が、主走査
断面内において非円弧形状を有し、且つ、該レンズ面に
おける副走査断面内の曲率中心を主走査対応方向に連ね
た曲率中心線が、主走査断面内において上記非円弧形状
とは異なる曲線となるように、副走査断面内における曲
率半径を主走査対応方向に変化させたもの」である。
「主走査断面」は、走査結像レンズを構成する各レンズ
のレンズ面近傍において、レンズ光軸と主走査対応方向
とを含む平断面を言う。「副走査断面」は、上記レンズ
面近傍において、主走査対応方向に直交する平断面を言
う。走査結像レンズを構成する2枚のレンズには、後述
のように、サグの影響を軽減させるため、主走査断面内
においてティルト角を与えることができるが、このよう
な場合、上記主・副走査断面は、各レンズにおいてティ
ルト角を0とした場合、即ち「ティルト角を与えられる
以前の状態」において定義される。「非円弧形状」は、
レンズ光軸方向に座標:Xをとり、光軸直交方向に座
標:Yをとるとき、近軸曲率半径をR、円錐定数をK、
高次の係数をA,B,C,D,...として、周知の、 X=(Y2/R)/[1+√{1−(1+K)(Y/R)2}] +A・Y4+B・Y6+C・Y8+D・Y10...(1) なる式におけるR,K,A,B,C,D,..を与えて
特定される曲線形状である。According to a multi-beam scanning apparatus of the present invention, "each of a plurality of beams emitted from a plurality of light-emitting sources is separated from each other in a sub-scanning corresponding direction as a long line image in a main scanning corresponding direction. And deflected at an equal angular velocity by an optical deflector having a deflecting / reflecting surface in the vicinity of the image forming position of each line image, and separates each deflected beam on the surface to be scanned in the sub-scanning direction by the same scanning image forming lens. A multi-beam scanning apparatus that performs light scanning at a constant speed on a plurality of scanning lines on a surface to be scanned by condensing the light spots as a light spot, and is characterized by the following points. That is, a scanning imaging lens for condensing each deflection beam as a light spot on the surface to be scanned is constituted by two lenses. Of the two lenses constituting the scanning imaging lens, the lens on the optical deflector side is a “positive meniscus lens having a concave surface facing the optical deflector side, and both surfaces have a coaxial aspherical shape.” The lens on the side "has at least one surface having a non-arc shape in the main scanning section, and a curvature center line connecting the centers of curvature in the sub-scanning section on the lens surface in the main scanning corresponding direction is the main scanning direction. The radius of curvature in the sub-scanning cross section is changed in the main scanning corresponding direction so that a curve different from the non-circular shape is obtained in the cross section. "
“Main scanning section” refers to a plane section including the lens optical axis and the direction corresponding to main scanning in the vicinity of the lens surface of each lens constituting the scanning image forming lens. The “sub-scan section” refers to a plane section near the lens surface and orthogonal to the main scanning direction. As will be described later, a tilt angle can be given to the two lenses constituting the scanning image forming lens in the main scanning section in order to reduce the influence of sag. The scanning cross section is defined when the tilt angle is set to 0 in each lens, that is, “in a state before the tilt angle is given”. "Non-arc shape"
When coordinates: X are taken in the lens optical axis direction and coordinates: Y are taken in the optical axis orthogonal direction, the paraxial radius of curvature is R, the conic constant is K,
A, B, C, D,. . . As well known, X = (Y 2 / R ) / [1 + √ {1- (1 + K) (Y / R) 2}] + A · Y 4 + B · Y 6 + C · Y 8 + D · Y 10. . . (1) R, K, A, B, C, D,. . And the curve shape specified by
【0007】上記光偏向器側のレンズは「メニスカスレ
ンズ」であるので、中央と周辺部、特に、主走査対応方
向における中央部と周辺部との肉厚差を有効に軽減する
「均肉化」が可能であり、これをプラスチック等の樹脂
で成形加工により作製する際の「ヒケやウネリ」といっ
た変形を有効に防止できる。また、光偏向器側のレンズ
は、凹面を光偏向器側に向けて配備されるので、主走査
対応方向の中央部と周辺部で「入射側レンズ面への、偏
向の起点からの距離」の変化が小さく、従って上記中央
部と周辺部との「副走査対応方向の横倍率の差」を少な
くできる。Since the lens on the side of the optical deflector is a "meniscus lens", the thickness difference between the center and the periphery, particularly, the thickness difference between the center and the periphery in the main scanning direction is effectively reduced. Can be effectively prevented from being deformed such as "sinking or undulation" when it is formed by molding with a resin such as plastic. In addition, since the lens on the optical deflector side is provided with the concave surface facing the optical deflector side, the distance from the center of deflection in the main scanning direction and the peripheral portion to the incident side lens surface from the starting point of deflection. Is small, so that the "difference in the lateral magnification in the sub-scanning corresponding direction" between the central portion and the peripheral portion can be reduced.
【0008】上記のように、請求項1記載の走査結像レ
ンズは、主走査断面内での形状は、少なくとも3面が
「非円弧形状」であるから、これらの非円弧形状を最適
化することにより、主走査方向の像面湾曲や等速化特性
を、各ビームに対し良好に補正することが可能となる。
また、光軸に平行で主走査断面に直交する面内での形状
(前記ティルト角を与える場合には、ティルト角を0と
した状態における形状)において、2面(光偏向器側の
レンズの両面)が非円弧形状であり、被走査面側のレン
ズの少なくとも1面において、副走査断面内の曲率半径
を主走査対応方向に変化させるので、主走査方向の像面
湾曲や等速化特性用に最適化された上記非円弧形状に応
じて、上記曲率半径の変化を最適化することにより、副
走査方向の像面湾曲を有効に補正することができる。As described above, in the scanning image forming lens according to the first aspect, since at least three surfaces in the main scanning section are "non-circular", these non-circular shapes are optimized. This makes it possible to satisfactorily correct the curvature of field and the uniform velocity characteristic in the main scanning direction for each beam.
Further, in a shape in a plane parallel to the optical axis and orthogonal to the main scanning section (in the case where the tilt angle is given, a shape in a state where the tilt angle is set to 0), two surfaces (the lens of the optical deflector side) Both surfaces have a non-arc shape, and at least one surface of the lens on the scanning surface side changes the radius of curvature in the sub-scanning cross section in the main scanning corresponding direction. By optimizing the change in the radius of curvature in accordance with the non-arc shape optimized for use, the curvature of field in the sub-scanning direction can be effectively corrected.
【0009】走査結像レンズにおける上記被走査面側の
レンズの「主走査断面内において非円弧形状を有し、且
つ、該レンズ面における副走査断面内の曲率中心を主走
査対応方向に連ねた曲率中心線が、主走査断面内におい
て上記非円弧形状とは異なる曲線となるように、副走査
断面内における曲率半径を主走査対応方向に変化させた
レンズ面」は、これを「光偏向器側のレンズ面」とする
ことができる(請求項2)。この場合、被走査面側のレ
ンズの、被走査面側のレンズ面は「主走査断面内におい
て円弧形状」を有することができる(請求項3)。In the scanning image forming lens, the lens on the surface to be scanned has a non-circular shape in the main scanning section, and the center of curvature in the sub-scanning section on the lens surface is connected to the main scanning corresponding direction. The lens surface whose curvature radius is changed in the main scanning direction in the sub-scanning section so that the center line of curvature becomes a curve different from the non-circular shape in the main scanning section is referred to as an optical deflector. Side lens surface "(claim 2). In this case, the lens surface on the scanned surface side of the lens on the scanned surface side can have “an arc shape in the main scanning section”.
【0010】また、走査結像レンズにおける被走査面側
のレンズは、主走査断面内における屈折力を負とするこ
とができる(請求項4)。前述の如く、走査結像レンズ
における光偏向器側のレンズは「正メニスカスレンズ」
であるので、被走査面側のレンズの「主走査断面内にお
ける屈折力」を負とすると、主走査断面内における走査
結像レンズの屈折力の組合せが「正・負」の組合せとな
るので、走査結像レンズを構成する2枚のレンズを「共
にプラスチックレンズ」として構成した場合、温・湿度
変化の影響は、各レンズで互いに打ち消すように作用す
るので、走査結像レンズとしては温・湿度変化の影響を
受けにくくなる。The lens on the surface to be scanned in the scanning imaging lens can have a negative refractive power in the main scanning section. As described above, the lens on the optical deflector side in the scanning imaging lens is a “positive meniscus lens”.
Therefore, if the “refractive power in the main scanning section” of the lens on the scanning surface side is negative, the combination of the refractive power of the scanning imaging lens in the main scanning section is a combination of “positive / negative”. When the two lenses constituting the scanning imaging lens are configured as “both plastic lenses”, the influence of the temperature and humidity changes acts so that each lens cancels out each other. It is less susceptible to humidity changes.
【0011】また、被走査面側のレンズの「主走査断面
内において非円弧形状を有し、且つ、該レンズ面におけ
る副走査断面内の曲率中心を主走査対応方向に連ねた曲
率中心線が、主走査断面内において上記非円弧形状とは
異なる曲線となるように、副走査断面内における曲率半
径を主走査対応方向に変化させたレンズ面」の、上記曲
率半径の絶対値が「主走査対応方向において光軸を離れ
るに従い極大値に向かって滑らか且つ単調に増加し、極
大位置を超えたのち、光軸を離れるに従い滑らか且つ単
調に減少する」ように定めることができる(請求項
5)。主走査対応方向の座標をηとし、上記曲率半径を
r(η)とするとき、r(η)において主走査方向の位置誤
差:Δηがあると、位置:ηにおける曲率半径の誤差は
{dr(η)/dη}Δηであり、r(η)が「ηの増加に伴
い単調増加する場合」だと{dr(η)/dη}が常に一定
の符号になるので、{dr(η)/dη}Δηが著しく大き
くなる可能性があるが、この発明におけるように、r
(η)が極大を持てば、{dr(η)/dη}の符号が、極大
の前後で変化するので{dr(η)/dη}Δηは有効に小
さくなる。従って、被走査面側のレンズのマルチビーム
走査装置の光学系への「組付けの公差に対する許容度」
が有効に緩和される。The lens on the surface to be scanned has a non-arcuate shape in the main scanning section, and a center line of curvature of the lens surface in the sub-scanning section in the main scanning corresponding direction. The absolute value of the radius of curvature of the “lens surface whose radius of curvature in the sub-scanning cross section is changed in the main scanning corresponding direction so as to be a curve different from the non-arc shape in the main scanning cross section” is “main scanning”. In the corresponding direction, it increases smoothly and monotonically toward the local maximum value as it leaves the optical axis, and after it exceeds the maximum position, it decreases smoothly and monotonically as it leaves the optical axis. " . When the coordinates in the main scanning corresponding direction are η and the radius of curvature is r (η), if there is a position error in the main scanning direction: Δη at r (η), the error of the radius of curvature at the position: η is
{dr (η) / dη} Δη, and if r (η) is “monotonically increasing as η increases”, {dr (η) / dη} will always have a constant sign, so {dr (η) η) / dη} Δη can be significantly large, but as in the present invention, r
If (η) has a local maximum, the sign of {dr (η) / dη} changes before and after the local maximum, so that {dr (η) / dη} Δη is effectively reduced. Therefore, the "tolerance to the assembly tolerance" of the lens on the scanning surface side to the optical system of the multi-beam scanning device.
Is effectively alleviated.
【0012】上記請求項1〜5の任意の1に記載のマル
チビーム走査装置において、複数の発光源を持つ光源と
しては、複数のレーザ発光部をモノリシックにアレイ配
列した半導体レーザアレイを好適に用いうるほか、独立
した半導体レーザからのビームをビーム合成手段で合成
するようにした光源も用いることができる。In the multi-beam scanning apparatus according to any one of the first to fifth aspects, a semiconductor laser array in which a plurality of laser light emitting units are monolithically arranged is preferably used as a light source having a plurality of light emitting sources. Alternatively, a light source in which beams from independent semiconductor lasers are combined by beam combining means can be used.
【0013】各光源からのビームは「別個の、または共
通のカップリングレンズ」により以後の光学系にカップ
リングされる。カップリングレンズによりカップリング
された各ビームは「弱い集束性もしくは弱い発散性のビ
ーム」となるようにしてもよいが、カップリングレンズ
によりそれぞれ「平行ビーム」とし、各平行ビームを別
個のまたは共通の線像結像光学系により偏向反射面近傍
に、主走査対応方向に長い線像として結像させるように
できる(請求項6)。このようにすると、カップリング
レンズと線像結像光学系の間でビームが平行ビームとな
るので、この部分で光学系配置の自由度が大きい。ま
た、請求項1〜6の任意の1に記載のマルチビーム走査
装置において、光偏向器として回転多面鏡を用い、サグ
の影響を軽減させるために、走査結像レンズの各レンズ
に、主走査断面内でティルト角を与えることができる
(請求項7)。なお、回転多面鏡として、同一形状の複
数の回転多面鏡を共通の軸に設け、複数のビームの偏向
を回転多面鏡ごとに振り分けるようにしてもよい。The beams from each light source are coupled to subsequent optics by "separate or common coupling lenses". Each beam coupled by the coupling lens may be a “weakly converging or diverging beam”, but each is a “parallel beam” by the coupling lens, and each parallel beam is separated or shared. The linear image forming optical system can form a linear image in the vicinity of the deflecting reflective surface in the main scanning corresponding direction (claim 6). In this case, since the beam becomes a parallel beam between the coupling lens and the line image forming optical system, the degree of freedom in arranging the optical system in this portion is large. Further, in the multi-beam scanning apparatus according to any one of claims 1 to 6, a rotary polygon mirror is used as an optical deflector, and a main scanning is performed on each lens of the scanning imaging lens in order to reduce the influence of sag. A tilt angle can be given in the cross section (claim 7). Note that a plurality of rotating polygon mirrors having the same shape may be provided on a common axis as the rotating polygon mirror, and the deflection of a plurality of beams may be distributed to each rotating polygon mirror.
【0014】[0014]
【発明の実施の形態】図1は、マルチビーム走査装置の
実施の1形態を略示している。図1(a)に示すよう
に、光源1から放射された複数ビーム(図の繁雑を避け
るため1ビームのみを示している)は、カップリングレ
ンズ2によりカップリングされ、シリンダレンズ3を透
過し、ミラー4により反射され、光偏向器5により偏向
され、走査結像レンズを構成するレンズ6,7により被
走査面8上に光スポットとして集光し、被走査面8(実
体的には通常は「光導電性の感光体」である)の複数走
査線を走査する。この実施の形態において、光源1は、
図1(b)に示すように「2つのレーザ発光部をモノリ
シックにアレイ配列した半導体レーザアレイ」であり、
近接した2つのレーザ発光部からそれぞれレーザビーム
が独立に放射されるようになっている。放射された各ビ
ームは、共通のカップリングレンズ2により夫れ夫れ
「平行ビーム」とされ、アパーチュアAPにより「ビー
ム整形」されたのち、線像結像光学系であるシリンダレ
ンズ3により副走査対応方向に集束され、ミラー4で反
射されて光偏向器5である回転多面鏡の偏向反射面5A
近傍の位置に「主走査対応方向に長い線像」として結像
する。光源1における2つの発光部は、副走査対応方向
に配列しているので、上記2つの線像は、互いに副走査
対応方向へ分離している。ミラー4は、半導体レーザ1
から偏向反射面5に到る光学系のレイアウト次第で省略
してもよく、シリンダレンズ3は「凹シリンダミラー」
で代替してもよい。光偏向器5は「回転多面鏡」であ
り、その回転軸5Bは偏向反射面5Aと離れているか
ら、この形態においては偏向反射面5Aの回転に伴う偏
向反射面5Aと線像の結像位置のずれ、所謂「サグ」が
発生する。走査結像レンズを透過した2本の偏向ビーム
は被走査面8に向かって集光し、被走査面8上に副走査
方向に分離して形成される光スポットにより、被走査面
8の2本の走査線が等速的に走査される。走査結像レン
ズを構成する2枚のレンズ6,7のうち、光偏向器5側
のレンズ6は「光偏向器の側に凹面を向けた正メニスカ
スレンズ」で両面が共軸非球面である。FIG. 1 schematically shows an embodiment of a multi-beam scanning apparatus. As shown in FIG. 1A, a plurality of beams (only one beam is shown for simplicity of the drawing) emitted from a light source 1 are coupled by a coupling lens 2 and transmitted through a cylinder lens 3. The light is reflected by the mirror 4, deflected by the optical deflector 5, and condensed as a light spot on the surface 8 to be scanned by the lenses 6 and 7 constituting the scanning image forming lens. Is a "photoconductive photoreceptor"). In this embodiment, the light source 1
As shown in FIG. 1B, it is a “semiconductor laser array in which two laser emitting units are monolithically arranged”.
Laser beams are independently emitted from two adjacent laser emission units. Each of the emitted beams is converted into a “parallel beam” by a common coupling lens 2, “beam-shaped” by an aperture AP, and then sub-scanned by a cylinder lens 3 which is a line image forming optical system. The light is converged in the corresponding direction, is reflected by the mirror 4, and is deflected by the deflecting and reflecting surface 5A of the rotary polygon mirror which is the optical deflector 5.
An image is formed at a nearby position as a “long line image in the main scanning corresponding direction”. Since the two light emitting units in the light source 1 are arranged in the sub-scanning corresponding direction, the two line images are separated from each other in the sub-scanning corresponding direction. The mirror 4 is a semiconductor laser 1
May be omitted depending on the layout of the optical system from the lens to the deflecting / reflecting surface 5. The cylinder lens 3 is a "concave cylinder mirror".
May be substituted. The light deflector 5 is a "rotating polygon mirror" and its rotation axis 5B is separated from the deflecting / reflecting surface 5A. Displacement, so-called "sag" occurs. The two deflecting beams transmitted through the scanning imaging lens are converged toward the surface 8 to be scanned, and are formed on the surface 8 to be scanned by a light spot formed separately in the sub-scanning direction. The scanning lines are scanned at a constant speed. Of the two lenses 6 and 7 constituting the scanning imaging lens, the lens 6 on the optical deflector 5 side is a “positive meniscus lens having a concave surface facing the optical deflector” and both surfaces are coaxial aspherical surfaces. .
【0015】被走査面8側に配備されるレンズ7は、光
偏向器5側のレンズ面が、主走査断面内において非円弧
形状を有し、且つ、該レンズ面における副走査断面内の
曲率中心を主走査対応方向に連ねた曲率中心線が、主走
査断面内において上記非円弧形状とは異なる曲線となる
ように、上記副走査断面内における曲率半径が主走査対
応方向に変化している。また、レンズ7の主走査断面内
の屈折力は負である。The lens 7 provided on the surface 8 to be scanned has a lens surface on the side of the optical deflector 5 which has a non-arc shape in the main scanning section, and has a curvature in the sub scanning section on the lens surface. The radius of curvature in the sub-scanning cross section changes in the main scanning corresponding direction such that the center line of curvature connected to the center in the main scanning corresponding direction is a curve different from the non-circular shape in the main scanning cross section. . The refractive power in the main scanning section of the lens 7 is negative.
【0016】レンズ7の光偏向器側の面の形状を図2を
参照して説明する。後述するように、レンズ6,7には
主走査断面内におけるティルト角が与えられるが、図2
に即しての説明においては、ティルト角を0とした状態
を想定して説明する。このとき、主走査対応方向および
副走査対応方向は何れもレンズ7の光軸に直交する。図
2において、Y軸を主走査対応方向に取る。X軸はレン
ズ7の光軸方向であり、X軸の正の方向(図で右の方
向)は被走査面側である。XY面が「主走査断面」であ
る。また「副走査断面」は、XY面に直交し、且つ、X
軸に平行な平断面である。図2(a)で、X(Y)は、主
走査断面内におけるレンズ7の当該レンズ面の形状であ
り「非円弧形状」である。また、r(η)は、主走査対応
方向(Y方向)における位置座標:ηにおける「副走査
断面内の曲率半径」を表している。曲率半径:r(η)は
位置座標:ηに応じて変化し、位置:ηにおける「副走
査断面内の曲率中心」を主走査対応方向へ連ねた曲率中
心線Lは「主走査断面内において非円弧形状:X(Y)と
は異なる曲線」である。図2(b)は、位置:η=0
と、任意の位置:ηとにおける副走査断面内における曲
率半径の差の絶対値:|r(η)|−|r(0)|が主走査
対応方向にどのように変化するかを示している。レンズ
7の、被走査面8側の面は主走査断面内において円弧形
状であり、レンズ7は「主走査断面内における屈折力が
負」である。図1に戻ると、レンズ6,7には、サグの
影響を有効に軽減するために、主走査断面内においてテ
ィルト角:α6,α7がそれぞれ与えられている。The shape of the surface of the lens 7 on the optical deflector side will be described with reference to FIG. As will be described later, the lenses 6 and 7 are given a tilt angle in the main scanning section.
In the following description, it is assumed that the tilt angle is 0. At this time, both the main scanning corresponding direction and the sub scanning corresponding direction are orthogonal to the optical axis of the lens 7. In FIG. 2, the Y axis is taken in the main scanning corresponding direction. The X axis is the direction of the optical axis of the lens 7, and the positive direction (the right direction in the figure) of the X axis is the surface to be scanned. The XY plane is the “main scanning section”. The “sub-scan section” is orthogonal to the XY plane, and
It is a plane section parallel to the axis. In FIG. 2A, X (Y) is the shape of the lens surface of the lens 7 in the main scanning cross section, which is “non-arc shape”. Further, r (η) represents “the radius of curvature in the sub-scan section” at the position coordinate: η in the main scanning corresponding direction (Y direction). The radius of curvature: r (η) changes according to the position coordinates: η, and the curvature center line L connecting the “curvature center in the sub-scanning section” at the position: η in the main scanning corresponding direction is “in the main scanning section. Non-arc shape: Curve different from X (Y) ". FIG. 2B shows the position: η = 0.
Shows how the absolute value of the difference between the radii of curvature in the sub-scan section at the position and any position: η: | r (η) | − | r (0) | I have. The surface of the lens 7 on the side of the surface 8 to be scanned has an arc shape in the main scanning section, and the lens 7 has “negative refractive power in the main scanning section”. Returning to FIG. 1, tilt angles α 6 and α 7 are given to the lenses 6 and 7 in the main scanning section in order to effectively reduce the influence of sag.
【0017】従って、図1に示す実施の形態は、複数の
発光源から放射される複数のビームのそれぞれを主走査
対応方向に長い線像として、副走査対応方向に互いに分
離して結像させ、各線像の結像位置近傍に偏向反射面5
Aを持つ光偏向器5により等角速度的に偏向させ、各偏
向ビームを同一の走査結像レンズ6,7により被走査面
8上に副走査方向に分離した光スポットとして集光せし
めて被走査面8の複数走査線の等速的な光走査を行なう
マルチビーム光走査装置において、走査結像レンズが2
枚のレンズ6,7により構成され、光偏向器5側のレン
ズ6は、光偏向器側に凹面を向けた正メニスカスレンズ
で、両面が共軸非球面形状であり、被走査面側のレンズ
7は、少なくとも1面が主走査断面内において非円弧形
状(図2(a)のX(Y))を有し、且つ、該レンズ面に
おける副走査断面内の曲率中心を主走査対応方向に連ね
た曲率中心線(図2(a)のL)が、主走査断面内にお
いて非円弧形状:X(Y)とは異なる曲線となるように、
副走査断面内における曲率半径を主走査対応方向に変化
させたものである(請求項1)。Therefore, in the embodiment shown in FIG. 1, each of a plurality of beams emitted from a plurality of light-emitting sources is formed as a line image long in the main scanning direction and separated from each other in the sub-scanning direction. A deflecting / reflecting surface 5 near the imaging position of each line image.
A light is deflected at an equal angular velocity by an optical deflector 5 having an A, and each of the deflected beams is condensed on the surface 8 to be scanned as a light spot separated in the sub-scanning direction by the same scanning image forming lenses 6 and 7 to be scanned. In a multi-beam optical scanning device that performs constant-speed optical scanning of a plurality of scanning lines on the surface 8, the scanning image forming lens is
The lens 6 on the optical deflector 5 side is a positive meniscus lens having a concave surface facing the optical deflector 5 side, has a coaxial aspheric surface on both sides, and has a lens on the scanning surface side. Numeral 7 indicates that at least one surface has a non-arc shape (X (Y) in FIG. 2A) in the main scanning section, and the center of curvature of the lens surface in the sub scanning section is in the main scanning direction. The continuous curvature center line (L in FIG. 2A) becomes a curve different from the non-arc shape: X (Y) in the main scanning section.
The radius of curvature in the sub-scan section is changed in the main scanning direction (claim 1).
【0018】また、レンズ7の「主走査断面内において
非円弧形状を有し、且つ、該レンズ面における副走査断
面内の曲率中心を主走査対応方向に連ねた曲率中心線
が、主走査断面内において上記非円弧形状とは異なる曲
線となるように、副走査断面内における曲率半径を主走
査対応方向に変化させたレンズ面」は、光偏向器5側の
レンズ面であり(請求項2)、被走査面8側のレンズ面
は「主走査断面内において円弧形状」であり(請求項
3)、且つ、レンズ7は「主走査断面内における屈折力
が負」である(請求項4)。さらに、レンズ7における
光偏向器5側の面における、副走査断面内における曲率
半径の上記曲率半径の絶対値:|r(η)|は、図2
(b)に示すように、主走査対応方向(Y方向)におい
て光軸(X軸)を離れるに従い、|r(0)|から、極大
値に向かって滑らか且つ単調に増加し、極大位置を超え
たのち、光軸を離れるに従い滑らか且つ単調に減少する
ように定められている(請求項5)。The lens 7 has a non-arcuate shape in the main scanning section, and a center line of curvature of the lens surface in the sub-scanning section in the main scanning direction corresponds to the main scanning section. The lens surface in which the radius of curvature in the sub-scanning section is changed in the direction corresponding to the main scanning so as to have a curve different from the non-circular shape in FIG. 2 is the lens surface on the optical deflector 5 side. ), The lens surface on the scanned surface 8 side is “arc-shaped in the main scanning section” (claim 3), and the lens 7 is “negative in refractive power in the main scanning section” (claim 4). ). Further, the absolute value of the radius of curvature: | r (η) | of the radius of curvature in the sub-scan section on the surface of the lens 7 on the side of the optical deflector 5 is shown in FIG.
As shown in (b), as the optical axis (X-axis) moves away from the optical axis (X-axis) in the main scanning corresponding direction (Y-direction), it increases smoothly and monotonically from | r (0) | After exceeding, it is determined to decrease smoothly and monotonously as it leaves the optical axis (claim 5).
【0019】また、光源1からの各ビームは、カップリ
ングレンズ2により平行ビームとされ、各平行ビームは
線像結像光学系3により偏向反射面5A近傍に、主走査
対応方向に長い線像として結像される(請求項6)。そ
して、光偏向器5は「回転多面鏡」であり、サグの影響
を軽減させるために、走査結像レンズの各レンズ6,7
が、主走査断面内でティルト角:α6,α7を与えられて
いる(請求項7)。Each beam from the light source 1 is converted into a parallel beam by a coupling lens 2, and each parallel beam is converted by a line image forming optical system 3 into a vicinity of a deflecting reflection surface 5 A and a line image long in a main scanning corresponding direction. (Claim 6). The light deflector 5 is a “rotating polygon mirror”, and each of the lenses 6 and 7 of the scanning image forming lens is used to reduce the effect of sag.
Are provided with tilt angles: α 6 and α 7 in the main scanning section (claim 7).
【0020】[0020]
【実施例】図1に示した実施の形態の実施例を示す。光
源1である半導体レーザアレイは発光波長:670nm
で発光する2つのレーザ発光部を有し、光偏向器5は偏
向反射面数:6、偏向反射面の内接円半径:25mmの
回転多面鏡である。光路折り曲げ用のミラー4の側から
光偏向器5に入射する光束の入射方向と(ティルト角:
α6=α7≡0としたときの)走査結像光学系のレンズ
6,7の光軸とが成す角は60度である。FIG. 1 shows an embodiment of the embodiment shown in FIG. The semiconductor laser array as the light source 1 has an emission wavelength of 670 nm.
The optical deflector 5 is a rotating polygon mirror having 6 deflecting and reflecting surfaces and an inscribed circle radius of the deflecting and reflecting surface of 25 mm. The incident direction of the light beam incident on the optical deflector 5 from the side of the optical path bending mirror 4 (tilt angle:
The angle formed by the optical axes of the lenses 6 and 7 of the scanning image forming optical system (when α 6 = α 7 ≡0) is 60 degrees.
【0021】光源1から光偏向器5に至る光路上の光学
系を「第1群」、光偏向器5から被走査面8に至る光路
上の光学系を「第2群」とする。光源1である半導体レ
ーザアレイのカバーガラス、偏向反射面、各レンズのレ
ンズ面の曲率半径(円弧形状でないものについては近軸
曲率半径)を主走査対応方向に関してRm、副走査対応法
方向に関してRsとし、光軸上の間隔をD、材質の屈折
率をNとする。「長さの次元」を有する量は「mm」単
位とする。The optical system on the optical path from the light source 1 to the optical deflector 5 is referred to as a “first group”, and the optical system on the optical path from the optical deflector 5 to the surface 8 to be scanned is referred to as a “second group”. The radius of curvature of the cover glass of the semiconductor laser array as the light source 1, the deflecting / reflecting surface, and the lens surface of each lens (the paraxial radius of curvature for those not having an arc shape) is Rm for the main scanning corresponding direction, and Rs for the sub-scanning corresponding direction. Where D is the distance on the optical axis and N is the refractive index of the material. An amount having a "length dimension" is in "mm" units.
【0022】 第1群データ: 面番号 Rm Rs D N 0 0.50 レーザ発光部 1 ∞ ∞ 0.30 1.514 カバーガラス 2 ∞ ∞ 10.00 3 ∞ ∞ 2.80 1.681 カップリングレンズ 4 -8.414 -8.414 20.00 5 ∞ 48.00 3.00 1.514 シリンドリカルレンズ 6 ∞ ∞ 91.42 。First group data: Surface number Rm Rs DN 0 0.50 Laser emitting unit 1 ∞ ∞ 0.30 1.514 Cover glass 2 ∞ ∞ 10.00 3 ∞ ∞ 2.80 1.681 Coupling lens 4 -8.414 -8.414 20.00 5 ∞ 48.00 3.00 1.514 Cylindrical Lens 6∞ ∞ 91.42.
【0023】図1(c)に示す如く、光源1における2
つのレーザ発光部11,12は「副走査対応方向に10
μm離れ」ており、これら2つのレーザ発光部は共に、
カップリングレンズ2の光軸の「副走査対応方向におけ
る片側」に位置し、一方のレーザ発光部(第1発光部1
1)は上記光軸から5μmの距離に位置し、他方のレー
ザ発光部(第2発光部12)は上記光軸から15μmの
距離に位置する。D=91.42は、シリンドリカルレ
ンズ3の射出側面から光偏向器の偏向反射面(線像の結
像位置)に至る距離である。カップリングレンズ2の射
出側面(上記面番号:4)は「共軸非球面」であり、カ
ップリングされた光束は「実質的な平行光束」となる。
該共軸非球面は、前記(1)式において、近軸曲率半
径:R(=Rm=Rs)、円錐定数:K、Yに関する4
次、6次、8次、10次の非球面係数:A,B,C,D
が以下の値を持つ。 R=−8.414,K=−0.021,A= 1.23
E−4,B= 1.36E−6,C= 1.24E−
8,D= 1.54E−10 なお「E−4」等は「べき乗」を示す。例えば上記「E
−4」は「10~4」を意味し、この値がその直前の数値
に掛かる。As shown in FIG.
The two laser emitting units 11 and 12 are “10 in the sub-scanning corresponding direction”.
μm apart ”, and these two laser emitters are
One of the laser light emitting units (the first light emitting unit 1) is located “one side in the sub-scanning corresponding direction” of the optical axis of the coupling lens 2.
1) is located at a distance of 5 μm from the optical axis, and the other laser emitting unit (second emitting unit 12) is located at a distance of 15 μm from the optical axis. D = 91.42 is the distance from the exit side surface of the cylindrical lens 3 to the deflecting / reflecting surface of the optical deflector (the line image forming position). The exit side surface (the surface number: 4) of the coupling lens 2 is a “coaxial aspherical surface”, and the coupled light beam is a “substantial parallel light beam”.
In the formula (1), the coaxial aspheric surface has a paraxial radius of curvature: R (= Rm = Rs) and a conic constant: K, Y = 4.
Next, sixth, eighth, and tenth order aspherical coefficients: A, B, C, D
Has the following values: R = −8.414, K = −0.021, A = 1.23
E-4, B = 1.36E-6, C = 1.24E-
8, D = 1.54E-10 Note that "E-4" and the like indicate "power". For example, "E
-4 "means" 10-4 ", this value is applied to the immediately preceding value.
【0024】第2群において、「α」は前述の「ティル
ト角(時計回りを「正」とし、単位は「度」とする)」
を表す。In the second lens group, “α” is the aforementioned “tilt angle (clockwise is“ positive ”and the unit is“ degree ”)”
Represents
【0025】 第2群データ: 面番号 Rm Rs D N α 0 ∞ ∞ 52.71 偏向反射面 1 -312.6 -312.6 31.40 1.527 -0.04 レンズ6 2 -82.95 -82.95 78.00 3 -500.00 -47.85 3.50 1.527 +0.26 レンズ7 4 -1000.00 -23.38 D=52.71は、偏向反射面からレンズ6の入射側面
までの距離である。Second group data: Surface number Rm Rs DN α 0 ∞ ∞ 52.71 Deflection reflection surface 1 -312.6 -312.6 31.40 1.527 -0.04 Lens 6 2 -82.95 -82.95 78.00 3 -500.00 -47.85 3.50 1.527 +0.26 Lens 7 4 -1000.00 -23.38 D = 52.71 is the distance from the deflecting reflecting surface to the incident side surface of the lens 6.
【0026】レンズ6の両面(上記面番号1,2)は
「共軸非球面」、レンズ7の射出側面(上記面番号:
4)は「ノーマルトロイダル面」である。 レンズ6の入射側面:前記(1)式において、近軸曲率
半径:R(=Rm=Rs)、円錐定数:K、Yに関する4
次、6次、8次、10次の非球面係数:A,B,C,D
は、以下の値を持つ。 R=−312.6,K= 2.667,A= 1.79
E−7,B=−1.08E−12,C=−3.18E−
14,D= 3.74E−18 レンズ6の射出側面:前記(1)式において、近軸曲率
半径:R(=Rm=Rs)、円錐定数:K、Yに関する4
次、6次、8次、10次の非球面係数:A,B,C,D
は、以下の値を持つ。 R=−82.95,K= 0.02,A= 2.50E
−7,B=9.61E−12,C=4.54E−15,
D=−3.03E−18 。Both surfaces (surface numbers 1 and 2) of the lens 6 are “coaxial aspherical surfaces”, and the exit side surface of the lens 7 (surface number:
4) is a "normal toroidal surface". Incident side surface of lens 6: In the above equation (1), paraxial radius of curvature: R (= Rm = Rs), conical constant: K, Y, 4
Next, sixth, eighth, and tenth order aspherical coefficients: A, B, C, D
Has the following values: R = -312.6, K = 2.667, A = 1.79
E-7, B = -1.08E-12, C = -3.18E-
14, D = 3.74E-18 The exit side surface of the lens 6: In the above equation (1), the paraxial radius of curvature: R (= Rm = Rs), and the conic constants: K, Y = 4
Next, sixth, eighth, and tenth order aspherical coefficients: A, B, C, D
Has the following values: R = -82.95, K = 0.02, A = 2.50E
-7, B = 9.61E-12, C = 4.54E-15,
D = -3.03E-18.
【0027】レンズ7の入射側面(上記面番号3)は、主
走査断面内において「非円弧形状」であり、上記ティル
ト角:α7=0の状態で、副走査断面内の曲率:Cs(Y)
は、Cs(Y)={1/Rs(0)}+Σbj・Y**j(j
=1,2,3,..)(2)におけるRs(0),bjを与
えて特定される。主走査対応方向の位置:Yにおける副
走査断面内の曲率半径は「1/Cs(Y)」である。「Y
**j」はYのj乗を表している。The incident side surface (surface number 3) of the lens 7 has a "non-arc shape" in the main scanning section, and in the state where the tilt angle is α 7 = 0, the curvature in the sub scanning section is Cs ( Y)
Is, Cs (Y) = {1 / Rs (0)} + Σb j · Y ** j (j
= 1, 2, 3,. . ) (Rs in 2) (0) is specified by giving the b j. The radius of curvature in the sub-scan section at the position in the main scanning corresponding direction: Y is “1 / Cs (Y)”. "Y
** j "represents the j-th power of Y.
【0028】上記非円弧形状は前記(1)式で表現さ
れ、近軸曲率半径:R(=Rm)、円錐定数:K、Yに
関する4次、6次、8次、10次の非球面係数:A,
B,C,Dは、以下の値を持つ。 R=−500.00,K=−71.73,A= 4.3
3E−8,B=−5.97E−13,C=−1.28E
−16,D=5.73E−21 また、上記(2)式における、Rs(0),bjは以下の値
を持つ。 Rs(0)(=R)=−47.85,b2= 1.59E−
3,b4=−2.32E−7,b6= 1.60E−1
1,b8=−5.61E−16,b10= 2.18E−
20,b12=−1.25E−24 Yの奇数次に関する係数は全て0であり、従って、レン
ズ7の入射側面に関する(2)式はY方向に関して光軸
対称である。The non-circular arc shape is expressed by the above equation (1), and paraxial radius of curvature: R (= Rm), conical constant: K, Y, fourth-order, sixth-order, eighth-order, and tenth-order aspherical coefficients : A,
B, C, and D have the following values. R = -500.00, K = -71.73, A = 4.3
3E-8, B = -5.97E-13, C = -1.28E
-16, D = 5.73E-21 Further, in the above (2), Rs (0), b j has the following values. Rs (0) (= R) = − 47.85, b 2 = 1.59E−
3, b 4 = -2.32E-7 , b 6 = 1.60E-1
1, b 8 = -5.61E-16 , b 10 = 2.18E-
20, b 12 = −1.25E−24 The coefficients related to the odd order of Y are all 0, and therefore, equation (2) relating to the incident side surface of the lens 7 is optical axis symmetric with respect to the Y direction.
【0029】上記の如く決定された「Cs(Y)」に基づ
き、曲率半径の絶対値を求めて見ると、絶対値は、図2
(b)に示したように「主走査対応方向において光軸を
離れるに従い、極大値に向かって滑らか且つ単調に増加
し、極大位置を超えたのち、光軸を離れるに従い滑らか
且つ単調に減少する」ように変化する。レンズ7の射出
側面は上述したように「ノーマルトロイダル面」である
から、以上により、走査結像レンズを含め光学系の配置
が全て決定されたことになる。When the absolute value of the radius of curvature is obtained based on “Cs (Y)” determined as described above, the absolute value is as shown in FIG.
As shown in (b), "the distance increases gradually and monotonically toward the maximum value as the optical axis is separated in the main scanning corresponding direction, and then decreases smoothly and monotonously as the distance from the optical axis increases after exceeding the maximum position. " Since the exit side surface of the lens 7 is the “normal toroidal surface” as described above, the arrangement of the optical system including the scanning image forming lens is determined as described above.
【0030】実施例に関する像面湾曲の図と等速化特性
を図3および図4に示す。これら図3,図4に示す像面
湾曲の図において、破線は「主走査対応方向の像面湾
曲」、実線は「副走査方向の像面湾曲」を示し、等速化
特性としてのfθ特性を破線で、リニアリティを実線で
示す。図3は、カップリングレンズ2の光軸から、副走
査対応方向に5μm離れた位置に位置する第1発光部1
1から放射されたビームに関する図であり、図4は、カ
ップリングレンズ2の光軸から、第1発光部側へ15μ
m離れた位置に位置する第2発光部12から放射された
ビームに関する図である。先ず、fθ特性とリニアリテ
ィにより示される等速化特性は各発光部からのビームに
対して極めて良好に補正されており、従って、各ビーム
による2つの(副走査方向に分離した)光スポット共、
極めて良好な等速走査が実現される。また、主・副走査
方向の像面湾曲は、各発光部からのビームに対して、何
れも絶対値で1mm以下であり極めて良好である。のみ
ならず、主・副走査方向の像面湾曲は、各発光部からの
ビームに対して「実質的に同一」であるので、2つの走
査線を同時に走査する光スポットのスポット径は互いに
実質的に同一である。なお、図3,図4において、縦座
標における「Y」は主走査対応方向の座標ではなく「光
スポットの像高」を表している。像面湾曲や等速化特性
は、光スポットの像高のプラス側とマイナス側とで非対
称的であるが、これは前述の「サグ」の影響によるもの
である。前記ティルト角:α6,α7を共に0とすると、
像面湾曲や等速化特性の非対称性がもっと顕著に現われ
て、光スポットの像高のプラス側あるいはマイナス側で
像面湾曲や等速化特性が劣化するが、上記のようにティ
ルト角を与えたことにより、像面湾曲・等速化特性と
も、光スポットの像高のプラス側およびマイナス側で良
好に補正されているのである。なお、上記サグの影響を
除去するのに、上記ティルトに代えて、あるいはティル
トとともに、レンズ6および/またはレンズ7の光軸を
主走査対応方向へ平行移動によりずらす「シフト」を与
えてもよい。FIGS. 3 and 4 show a diagram of the field curvature and an equalizing characteristic according to the embodiment. In these figures of the field curvature shown in FIGS. 3 and 4, the broken line indicates “field curvature in the main scanning direction”, and the solid line indicates “field curvature in the sub-scanning direction”. Is indicated by a broken line, and the linearity is indicated by a solid line. FIG. 3 shows the first light emitting unit 1 located at a position 5 μm away from the optical axis of the coupling lens 2 in the sub-scanning corresponding direction.
FIG. 4 is a diagram related to a beam emitted from the first light emitting unit 1 and 15 μm from the optical axis of the coupling lens 2 to the first light emitting unit side.
FIG. 9 is a diagram relating to a beam emitted from a second light emitting unit 12 located at a distance of m. First, the velocity uniformity characteristic indicated by the fθ characteristic and the linearity is corrected very well with respect to the beam from each light emitting unit. Therefore, two light spots (separated in the sub-scanning direction) by each beam are
Very good constant speed scanning is realized. Further, the curvature of field in the main and sub-scanning directions is 1 mm or less in absolute value with respect to the beam from each light emitting unit, which is extremely good. In addition, since the curvature of field in the main and sub scanning directions is “substantially the same” with respect to the beam from each light emitting unit, the spot diameters of the light spots that scan two scanning lines at the same time are substantially the same. Are identical. In FIGS. 3 and 4, “Y” in the ordinate indicates “image height of light spot” instead of coordinates in the main scanning corresponding direction. The curvature of field and the uniformity characteristic are asymmetric on the plus side and the minus side of the image height of the light spot, but this is due to the above-mentioned "sag". When the tilt angle: α 6 and α 7 are both 0,
Asymmetry of the curvature of field and the equalization characteristics appear more remarkably, and the curvature of field and the equalization characteristics deteriorate on the plus side or the minus side of the image height of the light spot. As a result, both the curvature of field and the constant speed characteristics are favorably corrected on the plus side and the minus side of the image height of the light spot. In order to remove the influence of the sag, instead of or together with the tilt, a "shift" for shifting the optical axis of the lens 6 and / or the lens 7 by translation in the main scanning corresponding direction may be given. .
【0031】また、上には発光部の数が2である場合の
実施例を挙げたが、発光部の数を3以上とすることがで
きることは言うまでもない。Although the embodiment in which the number of light emitting units is two has been described above, it is needless to say that the number of light emitting units can be three or more.
【0032】[0032]
【発明の効果】以上に説明したように、この発明によれ
ば、新規なマルチビーム走査装置を実現できる。この発
明のマルチビーム走査装置は、走査結像レンズを構成す
る2枚のレンズのうち、光偏向器側のレンズはメニスカ
スレンズであるので、中央と周辺部、特に主走査対応方
向における中央部と周辺部との肉厚差を有効に軽減する
「均肉化」が可能であり、これをプラスチック等の樹脂
で成形加工により作製する際の「ヒケやウネリ」といっ
た変形を有効に防止できるので、製造が容易で歩留まり
が良く、マルチビーム走査装置の低コスト化に資すると
ころが大きい。また、上記光偏向器側のレンズは、凹面
を光偏向器側に向けて配備されるので、主走査対応方向
の中央部と周辺部で入射側レンズ面への偏向の起点から
の距離の変化が小さく、従って「副走査対応方向の横倍
率の差」を少なくでき、光学系への組付け誤差の許容度
が大きく、光学系の組立てを容易にできる。As described above, according to the present invention, a novel multi-beam scanning device can be realized. In the multi-beam scanning device according to the present invention, since the lens on the optical deflector side is a meniscus lens among the two lenses constituting the scanning imaging lens, the center and the peripheral portion, particularly the central portion in the main scanning corresponding direction, It is possible to effectively reduce the difference in wall thickness with the peripheral part, and it is possible to effectively prevent deformation such as sink marks and undulations when manufacturing this by molding with a resin such as plastic. It is easy to manufacture, has good yield, and greatly contributes to cost reduction of the multi-beam scanning device. Further, since the lens on the optical deflector side is provided with the concave surface facing the optical deflector side, a change in the distance from the starting point of deflection to the incident side lens surface in the central portion and the peripheral portion in the main scanning corresponding direction. Therefore, the "difference in the lateral magnification in the sub-scanning corresponding direction" can be reduced, the tolerance of the assembly error to the optical system is large, and the assembly of the optical system can be facilitated.
【0033】また、走査結像レンズは、主走査断面内
で、少なくとも3面が「非円弧形状」であるから、この
非円弧形状を最適化することにより、複数発光部からの
各ビームに対する、主走査方向の像面湾曲や等速化特性
を良好に補正することが可能となり、副走査断面内での
形状において2面が非円弧形状であり、被走査面側のレ
ンズの少なくとも1面において副走査断面内の曲率半径
を主走査対応方向に変化させるので、主走査方向の像面
湾曲や等速化特性用に最適化された上記非円弧形状に応
じて、上記曲率半径の変化を最適化することにより、各
ビームに対して副走査方向の像面湾曲を有効に補正する
ことができる。Also, since at least three surfaces of the scanning image forming lens have a "non-arc shape" in the main scanning section, optimization of the non-arc shape allows the beam for each beam from the plurality of light-emitting portions to be adjusted. It is possible to satisfactorily correct the field curvature in the main scanning direction and the velocity uniformity characteristic. In the shape in the sub-scanning cross section, two surfaces are non-circular, and at least one surface of the lens on the side to be scanned has Since the radius of curvature in the sub-scanning section is changed in the direction corresponding to the main scanning, the change in the radius of curvature is optimized in accordance with the non-circular shape optimized for the field curvature in the main scanning direction and the uniform velocity characteristics. Thus, the curvature of field in the sub-scanning direction can be effectively corrected for each beam.
【0034】請求項4記載の発明では、被走査面側のレ
ンズは主走査断面内における屈折力が負で、光偏向器側
のレンズは正メニスカスレンズであるので、主走査断面
内における走査結像レンズの屈折力の組合せが「正・
負」の組合せとなり、走査結像レンズを構成する2枚の
レンズを共にプラスチックレンズとして構成した場合、
温・湿度変化の影響が各レンズで互いに打ち消すように
作用し、走査結像レンズとしては温・湿度変化の影響を
受けにくく、マルチビーム走査が環境変化に影響されに
くいマルチビーム走査装置を実現できる。According to the fourth aspect of the present invention, the lens on the scanning surface has a negative refractive power in the main scanning section and the lens on the optical deflector is a positive meniscus lens. The combination of the refractive power of the image lens is
When the two lenses constituting the scanning image forming lens are both plastic lenses,
The effects of temperature and humidity changes act to cancel each other out with each lens. As a scanning imaging lens, a multi-beam scanning device that is hardly affected by temperature and humidity changes and multi-beam scanning is hardly affected by environmental changes can be realized. .
【0035】請求項5記載のマルチビーム走査装置で
は、被走査面側のレンズの「主走査断面内において非円
弧形状を有し、且つ、該レンズ面における副走査断面内
の曲率中心を主走査対応方向に連ねた曲率中心線が主走
査断面内において上記非円弧形状と異なる曲線となるよ
うに、副走査断面内における曲率半径を主走査対応方向
に変化させたレンズ面」の上記曲率半径の絶対値が「主
走査対応方向において光軸を離れるに従い極大値に向か
って滑らか且つ単調に増加し、極大位置を超えたのち、
光軸を離れるに従い滑らか且つ単調に減少する」ように
定められるので、被走査面側のレンズのマルチビーム走
査装置への「組付けの公差に対する許容度」が有効に緩
和され、マルチビーム走査装置の光学系への組込が容易
である。In the multi-beam scanning device according to the fifth aspect, the lens on the surface to be scanned has a non-arcuate shape in the main scanning section and a center of curvature in the sub-scanning section on the lens surface in the main scanning direction. The curvature radius of the lens surface whose curvature radius in the sub-scanning cross section is changed in the main scanning corresponding direction so that the curvature center line connected in the corresponding direction becomes a curve different from the non-circular shape in the main scanning cross section. Absolute value "smoothly and monotonically increases toward the local maximum as the optical axis is separated in the main scanning direction, and exceeds the local maximum,
As the distance from the optical axis increases, the value decreases smoothly and monotonously. Therefore, the "tolerance of assembly tolerance" of the lens on the scanning surface side to the multi-beam scanning device is effectively relaxed, and the multi-beam scanning device is reduced. Is easy to incorporate into an optical system.
【0036】また、請求項7記載のマルチビーム走査装
置は、光偏向器として回転多面鏡を用いる場合のサグの
影響を有効に軽減させることができる。In the multi-beam scanning device according to the present invention, the effect of sag when a rotary polygon mirror is used as an optical deflector can be effectively reduced.
【図1】この発明のマルチビーム走査装置の実施の1形
態を説明するための図である。FIG. 1 is a diagram for explaining an embodiment of a multi-beam scanning device according to the present invention.
【図2】マルチビーム走査装置に用いる走査結像レンズ
の、被走査面側レンズのレンズ面形状を説明するための
図である。FIG. 2 is a diagram for explaining a lens surface shape of a scanning surface side lens of a scanning image forming lens used in a multi-beam scanning device.
【図3】実施例における第1発光部からのビームに関す
る像面湾曲および等速化特性の図である。FIG. 3 is a diagram illustrating a field curvature and a constant velocity characteristic of a beam from a first light emitting unit in the example.
【図4】実施例における第2発光部からのビームに関す
る像面湾曲および等速化特性の図である。FIG. 4 is a diagram illustrating a field curvature and a uniform velocity characteristic of a beam from a second light emitting unit in the example.
1 光源(半導体レーザアレイ) 2 カップリングレンズ 3 シリンドリカルレンズ 5 光偏向器 6,7 走査結像レンズ 8被走査面 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Light source (semiconductor laser array) 2 Coupling lens 3 Cylindrical lens 5 Optical deflector 6, 7 Scanning imaging lens 8 Scanning surface
Claims (7)
のそれぞれを主走査対応方向に長い線像として、副走査
対応方向に互いに分離して結像させ、上記各線像の結像
位置近傍に偏向反射面を持つ光偏向器により等角速度的
に偏向させ、各偏向ビームを同一の走査結像レンズによ
り被走査面上に副走査方向に分離した光スポットとして
集光せしめて上記被走査面の複数走査線の等速的な光走
査を行なうマルチビーム光走査装置において、 上記走査結像レンズが、 2枚のレンズにより構成され、 光偏向器側のレンズは、光偏向器側に凹面を向けた正メ
ニスカスレンズで、両面が共軸非球面形状であり、 被走査面側のレンズは、少なくとも1面が、主走査断面
内において非円弧形状を有し、且つ、該レンズ面におけ
る副走査断面内の曲率中心を主走査対応方向に連ねた曲
率中心線が、主走査断面内において上記非円弧形状とは
異なる曲線となるように、上記副走査断面内における曲
率半径を主走査対応方向に変化させたものであることを
特徴とするマルチビーム走査装置。1. A plurality of beams emitted from a plurality of light-emitting sources are separately formed in a direction corresponding to a sub-scanning direction as a long line image in a direction corresponding to a main scanning, and are formed in the vicinity of an image forming position of each line image. The light is deflected at an equal angular velocity by an optical deflector having a deflecting and reflecting surface, and each deflected beam is condensed as a light spot separated in the sub-scanning direction on the surface to be scanned by the same scanning image forming lens. In the multi-beam optical scanning device for performing constant-speed optical scanning of a plurality of scanning lines, the scanning imaging lens is constituted by two lenses, and the lens on the optical deflector side has a concave surface on the optical deflector side. A positive meniscus lens, the both surfaces of which are coaxially aspheric, and at least one surface of the lens on the surface to be scanned has a non-circular shape in the main scanning section, and the sub-scanning on the lens surface The center of curvature in the cross section The radius of curvature in the sub-scanning cross section is changed in the main scanning corresponding direction so that the center line of curvature connected to the main scanning corresponding direction becomes a curve different from the non-arc shape in the main scanning cross section. A multi-beam scanning device characterized by the above-mentioned.
いて、 走査結像レンズにおける、被走査面側のレンズの、主走
査断面内において非円弧形状を有し、且つ、該レンズ面
における副走査断面内の曲率中心を主走査対応方向に連
ねた曲率中心線が、主走査断面内において上記非円弧形
状とは異なる曲線となるように、上記副走査断面内にお
ける曲率半径を主走査対応方向に変化させたレンズ面
が、光偏向器側のレンズ面であることを特徴とする、マ
ルチビーム走査装置。2. A multi-beam scanning apparatus according to claim 1, wherein the scanning image forming lens has a non-circular shape in a main scanning section of a lens on a surface to be scanned and a sub-scanning on the lens surface. The radius of curvature in the sub-scanning cross section is changed in the main scanning corresponding direction so that the center of curvature connecting the centers of curvature in the cross section in the main scanning corresponding direction is a curve different from the non-circular shape in the main scanning cross section. A multi-beam scanning device, wherein the changed lens surface is a lens surface on the optical deflector side.
いて、 走査結像レンズにおける、被走査面側のレンズの、被走
査面側のレンズ面は、主走査断面内において円弧形状を
有することを特徴とする走査結像レンズ。3. The multi-beam scanning apparatus according to claim 2, wherein the lens on the scanning surface side of the scanning image forming lens has a circular arc shape in the main scanning section. A scanning imaging lens that is a feature.
ーム走査装置において、 走査結像レンズにおける、被走査面側のレンズは、主走
査断面内における屈折力が負であることを特徴とする走
査結像レンズ。4. A multi-beam scanning apparatus according to claim 1, wherein the lens on the scanning surface side of the scanning image forming lens has a negative refractive power in the main scanning section. Scanning imaging lens.
マルチビーム走査装置において、 走査結像レンズにおける、被走査面側のレンズの、主走
査断面内において非円弧形状を有し、且つ、該レンズ面
における副走査断面内の曲率中心を主走査対応方向に連
ねた曲率中心線が、主走査断面内において上記非円弧形
状とは異なる曲線となるように、上記副走査断面内にお
ける曲率半径を主走査対応方向に変化させたレンズ面の
上記曲率半径の絶対値が、主走査対応方向において光軸
を離れるに従い、極大値に向かって滑らか且つ単調に増
加し、極大位置を超えたのち、光軸を離れるに従い滑ら
か且つ単調に減少するように定められていることを特徴
とするマルチビーム走査装置。5. The multi-beam scanning apparatus according to claim 1, wherein the scanning image forming lens has a non-circular shape in a main scanning section of a lens on a surface to be scanned, and The radius of curvature in the sub-scanning section is such that the center line of curvature of the lens surface in the sub-scanning section in the sub-scanning section in the main scanning direction is a curve different from the non-arc shape in the main scanning section. The absolute value of the radius of curvature of the lens surface, which is changed in the main scanning corresponding direction, smoothly and monotonically increases toward the maximum value as the optical axis is separated in the main scanning corresponding direction, and after exceeding the maximum position, A multi-beam scanning apparatus characterized in that it is determined so as to decrease smoothly and monotonously as the distance from the optical axis increases.
ーム走査装置において、 複数の発光源からの複数のビームをカップリングレンズ
により夫れ夫れ平行ビームとし、各平行ビームを線像結
像光学系により偏向反射面近傍に、主走査対応方向に長
い線像として結像させることを特徴とするマルチビーム
走査装置。6. A multi-beam scanning apparatus according to claim 1, wherein a plurality of beams from a plurality of light-emitting sources are respectively converted into parallel beams by a coupling lens, and each parallel beam is converted into a line. A multi-beam scanning apparatus, wherein an image is formed as a long line image in a main scanning corresponding direction near a deflection reflecting surface by an image forming optical system.
ーム走査装置において、 光偏向器が回転多面鏡であり、サグの影響を軽減させる
ために、走査結像レンズの各レンズが、主走査断面内で
ティルト角を与えられていることを特徴とするマルチビ
ーム走査装置。7. A multi-beam scanning apparatus according to claim 1, wherein the optical deflector is a rotary polygon mirror, and each of the scanning image forming lenses is provided to reduce the influence of sag. A multi-beam scanning device, wherein a tilt angle is given in a main scanning section.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35739497A JP3558847B2 (en) | 1997-12-25 | 1997-12-25 | Multi-beam scanner |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35739497A JP3558847B2 (en) | 1997-12-25 | 1997-12-25 | Multi-beam scanner |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11183814A true JPH11183814A (en) | 1999-07-09 |
| JP3558847B2 JP3558847B2 (en) | 2004-08-25 |
Family
ID=18453907
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP35739497A Expired - Lifetime JP3558847B2 (en) | 1997-12-25 | 1997-12-25 | Multi-beam scanner |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3558847B2 (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110454612A (en) * | 2019-08-27 | 2019-11-15 | 佛山职业技术学院 | A kind of bacterium scanning tap |
-
1997
- 1997-12-25 JP JP35739497A patent/JP3558847B2/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110454612A (en) * | 2019-08-27 | 2019-11-15 | 佛山职业技术学院 | A kind of bacterium scanning tap |
| CN110454612B (en) * | 2019-08-27 | 2024-03-12 | 佛山职业技术学院 | Bacteria scanning tap |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3558847B2 (en) | 2004-08-25 |
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