JPH11188874A - インクジェット記録ヘッドおよびその製造方法 - Google Patents
インクジェット記録ヘッドおよびその製造方法Info
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- JPH11188874A JPH11188874A JP9358568A JP35856897A JPH11188874A JP H11188874 A JPH11188874 A JP H11188874A JP 9358568 A JP9358568 A JP 9358568A JP 35856897 A JP35856897 A JP 35856897A JP H11188874 A JPH11188874 A JP H11188874A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 複数の吐出口を持つ吐出口形成部材と、前記
吐出口に対応したインク流路と該インク流路に備えられ
インクを吐出するために利用されるエネルギーを発生す
るエネルギー発生体を備えたヘッド本体とを接着して、
インクジェット記録ヘッドを製造する方法において、レ
ーザー加工によるカーボンなどによる吐出口の詰まりや
ヒータ上への固着がなく、高密度の吐出口形成が行え、
ヘッド本体に吐出口形成部材を貼り合わせる時に、位置
決めした吐出口形成部材とヘッド本体との間をずらさず
に、接着層を形成する。 【解決手段】 吐出口形成部材の吐出口周辺に耐インク
性の高い主接着剤を付着させるとともに、該主接着剤の
周りに、該主接着剤硬化時に該主接着剤より硬化収縮率
の小さい補助接着剤を付着させることにより、前記吐出
口形成部材の吐出口と、前記天板のインク流路とを位置
ずれさせることなく接着可能とした。
吐出口に対応したインク流路と該インク流路に備えられ
インクを吐出するために利用されるエネルギーを発生す
るエネルギー発生体を備えたヘッド本体とを接着して、
インクジェット記録ヘッドを製造する方法において、レ
ーザー加工によるカーボンなどによる吐出口の詰まりや
ヒータ上への固着がなく、高密度の吐出口形成が行え、
ヘッド本体に吐出口形成部材を貼り合わせる時に、位置
決めした吐出口形成部材とヘッド本体との間をずらさず
に、接着層を形成する。 【解決手段】 吐出口形成部材の吐出口周辺に耐インク
性の高い主接着剤を付着させるとともに、該主接着剤の
周りに、該主接着剤硬化時に該主接着剤より硬化収縮率
の小さい補助接着剤を付着させることにより、前記吐出
口形成部材の吐出口と、前記天板のインク流路とを位置
ずれさせることなく接着可能とした。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、インクジェット記
録装置におけるインクジェット記録ヘッドおよびその製
造方法に関するもので、さらに詳しくは、改良された吐
出口を持つインクジェット記録ヘッドおよび該吐出口部
分の製造方法に関するものである。
録装置におけるインクジェット記録ヘッドおよびその製
造方法に関するもので、さらに詳しくは、改良された吐
出口を持つインクジェット記録ヘッドおよび該吐出口部
分の製造方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来より、インクジェット記録ヘッドの
吐出口から記録液(具体的には、インク)を吐出するこ
とにより記録を行うインクジェット記録装置が、低騒
音、高速記録などの点で優れた記録装置として知られて
いる。
吐出口から記録液(具体的には、インク)を吐出するこ
とにより記録を行うインクジェット記録装置が、低騒
音、高速記録などの点で優れた記録装置として知られて
いる。
【0003】このインクジェット記録法については、こ
れまでにもさまざまな方式が提案され改良が加えられて
商品化されたものもあれば、現在実用化への努力が続け
られているものもある。
れまでにもさまざまな方式が提案され改良が加えられて
商品化されたものもあれば、現在実用化への努力が続け
られているものもある。
【0004】この種のインクジェット記録ヘッドは、例
えば、図1および図2に示すように、インクを吐出する
ための吐出口41を有する吐出口形成部材40と、各吐
出口41に連通したインク流路401を形成するための
天板400と、インク流路401の一部を構成し、かつ
吐出のためのエネルギーを発生する電気熱変換体(以
下、ヒータと記す)101を有する基板100とから構
成されいる。このような要素からなる記録ヘッドは、天
板400と基板100とを一体化してインク流路401
を有するヘッド本体4を形成し、このヘッド本体4に前
記吐出口形成部材40を貼り付けることにより、形成さ
れる。なお、図中、符号404は、ヘッド内のインク共
通流路にインクを供給するためのインク供給口である。
えば、図1および図2に示すように、インクを吐出する
ための吐出口41を有する吐出口形成部材40と、各吐
出口41に連通したインク流路401を形成するための
天板400と、インク流路401の一部を構成し、かつ
吐出のためのエネルギーを発生する電気熱変換体(以
下、ヒータと記す)101を有する基板100とから構
成されいる。このような要素からなる記録ヘッドは、天
板400と基板100とを一体化してインク流路401
を有するヘッド本体4を形成し、このヘッド本体4に前
記吐出口形成部材40を貼り付けることにより、形成さ
れる。なお、図中、符号404は、ヘッド内のインク共
通流路にインクを供給するためのインク供給口である。
【0005】吐出口形成部材40はインクを吐出するた
めの微小な吐出口41を有し、この吐出口41がインク
ジェット記録ヘッドの吐出性能を左右する重要に要素と
なっている。すなわち、インクジェット記録ヘッドの吐
出口形成部材40は、微小な吐出口41を設けるため
に、加工性がよく、また、インクに直接接触するため耐
インク性がよい、などの性能が必要とされる。
めの微小な吐出口41を有し、この吐出口41がインク
ジェット記録ヘッドの吐出性能を左右する重要に要素と
なっている。すなわち、インクジェット記録ヘッドの吐
出口形成部材40は、微小な吐出口41を設けるため
に、加工性がよく、また、インクに直接接触するため耐
インク性がよい、などの性能が必要とされる。
【0006】従来、上記の性能を満たす材料として、S
US、Ni、Cr、Alなどの金属プレートや、材料の
入手が容易かつ安価であり、所望の厚みへの加工も容易
であるポリイミド、ポリサルフォン、ポリエーテルサル
フォン、ポリフェニレンオキサイド、ポリフェニレンサ
ルファイド、ポリプロピレンなどの樹脂フィルム材等が
用いられていた。
US、Ni、Cr、Alなどの金属プレートや、材料の
入手が容易かつ安価であり、所望の厚みへの加工も容易
であるポリイミド、ポリサルフォン、ポリエーテルサル
フォン、ポリフェニレンオキサイド、ポリフェニレンサ
ルファイド、ポリプロピレンなどの樹脂フィルム材等が
用いられていた。
【0007】一方、近年の記録技術の進歩に伴って、高
速、高精細な記録が要求されるようになりつつあり、こ
のため、吐出口はその大きさ(オリフィス径)が微小か
つ高密度に形成されるようになってきた。この結果、吐
出口の加工法も様々な工夫が成されており、樹脂フィル
ムを用いた場合、レーザー光は微細加工に適しているた
め、樹脂フィルムの吐出口加工にレーザー光を用いてい
る。また、金属プレートを用いる場合は、電鋳などの方
法により吐出口を形成している。
速、高精細な記録が要求されるようになりつつあり、こ
のため、吐出口はその大きさ(オリフィス径)が微小か
つ高密度に形成されるようになってきた。この結果、吐
出口の加工法も様々な工夫が成されており、樹脂フィル
ムを用いた場合、レーザー光は微細加工に適しているた
め、樹脂フィルムの吐出口加工にレーザー光を用いてい
る。また、金属プレートを用いる場合は、電鋳などの方
法により吐出口を形成している。
【0008】ところが、微小な吐出口41が開けられた
吐出口形成部材40と、それに対応したインク流路40
1を有するヘッド本体4とを接合することは極めて難し
い。
吐出口形成部材40と、それに対応したインク流路40
1を有するヘッド本体4とを接合することは極めて難し
い。
【0009】吐出口形成部材40と、インク流路401
が形成されたヘッド本体とを接着する接着剤の選択が、
非常に難しく、使用する接着剤の種類によっては、記録
ヘッドの耐久性が低下したり、作動特性が低下したりす
る問題が生じていた。例えば、接着剤が部分的にインク
に接触するため、シアノアクリレート系などの耐インク
性の低い接着剤を用いると、接着剤がインクに侵され
て、膨潤、溶出し、接着信頼性が悪くなる結果、吐出口
形成部材とヘッド本体4との間で剥離などが生じて、記
録ヘッドの耐久性が低くなる。
が形成されたヘッド本体とを接着する接着剤の選択が、
非常に難しく、使用する接着剤の種類によっては、記録
ヘッドの耐久性が低下したり、作動特性が低下したりす
る問題が生じていた。例えば、接着剤が部分的にインク
に接触するため、シアノアクリレート系などの耐インク
性の低い接着剤を用いると、接着剤がインクに侵され
て、膨潤、溶出し、接着信頼性が悪くなる結果、吐出口
形成部材とヘッド本体4との間で剥離などが生じて、記
録ヘッドの耐久性が低くなる。
【0010】また、耐インク性を有する接着剤を用いる
と、耐インク性を有する接着剤、特にシーリング材とし
て使われるタイプのものは、一般に硬化収縮率が大き
く、接着剤硬化時に、吐出口形成部材40と天板400
のインク流路401との間に位置ずれが生じ、記録ヘッ
ドの吐出特性が悪くなる。
と、耐インク性を有する接着剤、特にシーリング材とし
て使われるタイプのものは、一般に硬化収縮率が大き
く、接着剤硬化時に、吐出口形成部材40と天板400
のインク流路401との間に位置ずれが生じ、記録ヘッ
ドの吐出特性が悪くなる。
【0011】このため、特開平2−187342号など
に開示の技術のように、吐出口形成部材の材料としての
樹脂フィルムをヘッド本体4に接合した後に、レーザー
光によって吐出口形成加工をする方法が取られている。
また、特開平2−188257号公報や、特開平2−1
88258号公報に開示されているように、吐出口形成
部材に接着剤層を形成した後、プレス加工によって吐出
口形成部材に吐出口を形成し、ヘッド本体4に接合する
方法も取られている。
に開示の技術のように、吐出口形成部材の材料としての
樹脂フィルムをヘッド本体4に接合した後に、レーザー
光によって吐出口形成加工をする方法が取られている。
また、特開平2−188257号公報や、特開平2−1
88258号公報に開示されているように、吐出口形成
部材に接着剤層を形成した後、プレス加工によって吐出
口形成部材に吐出口を形成し、ヘッド本体4に接合する
方法も取られている。
【0012】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
方法では、以下に説明する種々の問題点があった。
方法では、以下に説明する種々の問題点があった。
【0013】すなわち、吐出口形成部材40をヘッド本
体4に貼りあわせた後にレーザー加工を施す場合では、
レーザー加工のアブレーションによって生じるカーボン
などのごみが吐出口41内に侵入し、吐出口41の詰ま
り、もしくはヒータ101上へのごみの固着が生じ、吐
出不良の原因になる。
体4に貼りあわせた後にレーザー加工を施す場合では、
レーザー加工のアブレーションによって生じるカーボン
などのごみが吐出口41内に侵入し、吐出口41の詰ま
り、もしくはヒータ101上へのごみの固着が生じ、吐
出不良の原因になる。
【0014】さらに、接着層を形成した後にプレス加工
を施す場合では、吐出口41のより高密度な形成が難し
く、求められている高精細印字への対応に限界がある。
を施す場合では、吐出口41のより高密度な形成が難し
く、求められている高精細印字への対応に限界がある。
【0015】インクジェット記録ヘッドの吐出口は、そ
の形状がインク流路401側から吐出口41の外側に向
かうほど径が小さくなる、いわゆるテーパ状が望まし
い。しかしながら、このような外側に向かって小さくな
るテーパ形状の吐出口を吐出口形成部材に形成した後
に、接着剤を転写法などで塗布し、貼り付けて硬化させ
ると、接着剤の硬化収縮に伴って、吐出口とインク流路
とがずれてしまい、吐出不良を起こしてしまう。
の形状がインク流路401側から吐出口41の外側に向
かうほど径が小さくなる、いわゆるテーパ状が望まし
い。しかしながら、このような外側に向かって小さくな
るテーパ形状の吐出口を吐出口形成部材に形成した後
に、接着剤を転写法などで塗布し、貼り付けて硬化させ
ると、接着剤の硬化収縮に伴って、吐出口とインク流路
とがずれてしまい、吐出不良を起こしてしまう。
【0016】本発明の課題は、レーザー加工によるカー
ボンなどによる吐出口の詰まりやヒータ上への固着がな
く、高密度の吐出口形成が行え、さらにインクジェット
記録ヘッドの吐出口形成部材を貼り合わせる場合におい
て、位置決めした吐出口形成部材とヘッド本体との間を
ずらさずに、接着層を形成する方法を提供することにあ
る。
ボンなどによる吐出口の詰まりやヒータ上への固着がな
く、高密度の吐出口形成が行え、さらにインクジェット
記録ヘッドの吐出口形成部材を貼り合わせる場合におい
て、位置決めした吐出口形成部材とヘッド本体との間を
ずらさずに、接着層を形成する方法を提供することにあ
る。
【0017】
【課題を解決するための手段】本発明は、前述の課題を
解決するためになされたものであり、複数の吐出口を持
つ吐出口形成部材と、前記吐出口に対応したインク流路
と該インク流路に備えられインクを吐出するために利用
されるエネルギーを発生するエネルギー発生体を備えた
ヘッド本体とを接着して、インクジェット記録ヘッドを
製造する方法において、前記吐出口形成部材の吐出口周
辺に耐インク性の高い主接着剤を付着させるとともに、
該主接着剤の周りに、該主接着剤硬化時に該主接着剤よ
り硬化収縮率の小さい補助接着剤を付着させることによ
り、前記吐出口形成部材の吐出口と、前記天板のインク
流路とを位置ずれさせることなく接着可能としたことを
特徴とする。
解決するためになされたものであり、複数の吐出口を持
つ吐出口形成部材と、前記吐出口に対応したインク流路
と該インク流路に備えられインクを吐出するために利用
されるエネルギーを発生するエネルギー発生体を備えた
ヘッド本体とを接着して、インクジェット記録ヘッドを
製造する方法において、前記吐出口形成部材の吐出口周
辺に耐インク性の高い主接着剤を付着させるとともに、
該主接着剤の周りに、該主接着剤硬化時に該主接着剤よ
り硬化収縮率の小さい補助接着剤を付着させることによ
り、前記吐出口形成部材の吐出口と、前記天板のインク
流路とを位置ずれさせることなく接着可能としたことを
特徴とする。
【0018】このような本発明の構成によれば、主接着
剤として硬化収縮率の大小にとらわれず、耐インク性を
有した接着剤を用いることができ、さらに補助接着剤と
して耐インク性を考慮する必要がないので、硬化収縮率
の小さい接着剤を用いることができる。
剤として硬化収縮率の大小にとらわれず、耐インク性を
有した接着剤を用いることができ、さらに補助接着剤と
して耐インク性を考慮する必要がないので、硬化収縮率
の小さい接着剤を用いることができる。
【0019】
【発明の実施の形態】前記構成の本発明においては、前
記耐インク性の接着剤と、その周囲に塗布する硬化収縮
率の小さな接着剤とを、同一の厚みに塗布することが、
好ましい。
記耐インク性の接着剤と、その周囲に塗布する硬化収縮
率の小さな接着剤とを、同一の厚みに塗布することが、
好ましい。
【0020】また、本発明においては、前記硬化収縮率
の小さい接着剤として粘着剤を用いてもよい。例えば、
前記耐インク性接着剤と前記粘着剤とを、同一成分の紫
外線硬化性接着剤から構成し、前記吐出口形成部材の接
着面に塗布した前記紫外線硬化性接着層の前記吐出口を
囲む部分以外の領域に紫外線を当てて、該領域の接着剤
層を粘着性を残したまま硬化収縮させて前記粘着剤とし
てもよい。
の小さい接着剤として粘着剤を用いてもよい。例えば、
前記耐インク性接着剤と前記粘着剤とを、同一成分の紫
外線硬化性接着剤から構成し、前記吐出口形成部材の接
着面に塗布した前記紫外線硬化性接着層の前記吐出口を
囲む部分以外の領域に紫外線を当てて、該領域の接着剤
層を粘着性を残したまま硬化収縮させて前記粘着剤とし
てもよい。
【0021】また、本発明においては、前記硬化収縮率
の小さい方の補助接着剤を先に硬化させ、その後で、前
記耐インク性の主接着剤を硬化させることが、好まし
い。
の小さい方の補助接着剤を先に硬化させ、その後で、前
記耐インク性の主接着剤を硬化させることが、好まし
い。
【0022】
【実施例】以下、本発明の実施例を説明するが、これら
実施例は、本発明を説明するに好適な例示に過ぎず、本
発明を限定するものではない。
実施例は、本発明を説明するに好適な例示に過ぎず、本
発明を限定するものではない。
【0023】まず、本発明が適用されるインクジェット
記録ヘッドの概略構成を、既出の図1および図2を用い
て、説明する。
記録ヘッドの概略構成を、既出の図1および図2を用い
て、説明する。
【0024】本発明のインクジェット記録ヘッドは、図
1、図2に示したように、インク流路401および共通
液室を構成するための凹部(以下、溝と記す)を一体に
形成した天板400と、吐出エネルギーを発生するため
のヒータ101およびこれに電気信号を供給するための
アルミニウム(Al)配線が成膜技術によってSi基板
上に形成された基板(以下、ヒータボードと記す)10
0とを接合することによって構成される記録ヘッド本体
4を具え、これらの接合によって形成されるインク流路
401の開口を配する開口配設面4aには、図に示され
るように、吐出口形成部材40が貼り付けられる。な
お、吐出口形成部材40としては、SUS、Niなどの
金属フィルム、または耐インク性の優れたプラスチック
フィルム、例えば、ポリイミド、ポリサルフォン、ポリ
エーテルサルフォン、ポリフェニレンオキサイド、ポリ
フェニレンサルファイド、ポリプロピレンなどの樹脂フ
ィルム材を用いることが望ましい。また、これらの材料
選択は、接着剤硬化時に吐出口形成部材40を加熱する
ため、その際の熱収縮率を最小に押さえることも目的と
している。
1、図2に示したように、インク流路401および共通
液室を構成するための凹部(以下、溝と記す)を一体に
形成した天板400と、吐出エネルギーを発生するため
のヒータ101およびこれに電気信号を供給するための
アルミニウム(Al)配線が成膜技術によってSi基板
上に形成された基板(以下、ヒータボードと記す)10
0とを接合することによって構成される記録ヘッド本体
4を具え、これらの接合によって形成されるインク流路
401の開口を配する開口配設面4aには、図に示され
るように、吐出口形成部材40が貼り付けられる。な
お、吐出口形成部材40としては、SUS、Niなどの
金属フィルム、または耐インク性の優れたプラスチック
フィルム、例えば、ポリイミド、ポリサルフォン、ポリ
エーテルサルフォン、ポリフェニレンオキサイド、ポリ
フェニレンサルファイド、ポリプロピレンなどの樹脂フ
ィルム材を用いることが望ましい。また、これらの材料
選択は、接着剤硬化時に吐出口形成部材40を加熱する
ため、その際の熱収縮率を最小に押さえることも目的と
している。
【0025】なお、本実施例では、吐出口形成部材40
として、吐出口41を電鋳製法により形成した、厚さが
10μmのNi製の金属フィルムを用いた。
として、吐出口41を電鋳製法により形成した、厚さが
10μmのNi製の金属フィルムを用いた。
【0026】(実施例1)吐出口形成部材40の接合面
の全面に耐インク性の主接着剤としてエポキシ系の接着
剤シート42を貼り付け、この接着剤シート42に接着
剤側からレーザー光を照射し、吐出口41部分の接着剤
を除去した。次に、インクジェット記録ヘッド本体4の
開口配設面4aに、前述の吐出口形成部材40を、記録
ヘッド本体4のインク流路401と吐出口形成部材40
の吐出口41とを位置決めして、貼り付け、吐出口41
の表面から吐出口形成部材40に荷重をかけて、固定し
た。
の全面に耐インク性の主接着剤としてエポキシ系の接着
剤シート42を貼り付け、この接着剤シート42に接着
剤側からレーザー光を照射し、吐出口41部分の接着剤
を除去した。次に、インクジェット記録ヘッド本体4の
開口配設面4aに、前述の吐出口形成部材40を、記録
ヘッド本体4のインク流路401と吐出口形成部材40
の吐出口41とを位置決めして、貼り付け、吐出口41
の表面から吐出口形成部材40に荷重をかけて、固定し
た。
【0027】そして、その状態を保持させたまま、吐出
口形成部材40の両側端に、図3に示すように、補助接
着剤としてUV硬化性接着剤43を適量塗布した。主接
着剤42の硬化時に、補助接着剤43の硬化時の収縮の
影響を受けないようにするために、あらかじめ補助接着
剤(UV硬化性接着剤)43のみをUV照射により硬化
させて、補助接着剤43の硬化を終わらせておいた。な
お、このとき用いる補助接着剤43は、主接着剤の硬化
条件では、主接着剤よりも硬化収縮率の小さいエポキシ
系あるいはアクリル系などの接着剤でもよく、シリコー
ン封止剤などのタイプであってもよい。また、補助接着
剤の塗布は、吐出口形成部材40をヘッド本体4に取り
付ける前に、予め、吐出口形成部材40の両側端に実施
しておいても構わない。
口形成部材40の両側端に、図3に示すように、補助接
着剤としてUV硬化性接着剤43を適量塗布した。主接
着剤42の硬化時に、補助接着剤43の硬化時の収縮の
影響を受けないようにするために、あらかじめ補助接着
剤(UV硬化性接着剤)43のみをUV照射により硬化
させて、補助接着剤43の硬化を終わらせておいた。な
お、このとき用いる補助接着剤43は、主接着剤の硬化
条件では、主接着剤よりも硬化収縮率の小さいエポキシ
系あるいはアクリル系などの接着剤でもよく、シリコー
ン封止剤などのタイプであってもよい。また、補助接着
剤の塗布は、吐出口形成部材40をヘッド本体4に取り
付ける前に、予め、吐出口形成部材40の両側端に実施
しておいても構わない。
【0028】その後、吐出口形成部材40のヘッド本体
4の開口配設面4aへの加熱圧着を行い、吐出口形成部
材40とヘッド本体4の接着を完了する。この条件で接
着剤が硬化完了したインクジェット記録ヘッドをヘッド
1とする。
4の開口配設面4aへの加熱圧着を行い、吐出口形成部
材40とヘッド本体4の接着を完了する。この条件で接
着剤が硬化完了したインクジェット記録ヘッドをヘッド
1とする。
【0029】このヘッド1に対する比較品として、UV
硬化性接着剤を使用しないヘッド2も用意した。
硬化性接着剤を使用しないヘッド2も用意した。
【0030】これらのサンプルについて、接着剤硬化前
後の吐出口形成部材40の吐出口41とヘッド本体4の
インク流路401との位置ずれ量の評価を行った。
後の吐出口形成部材40の吐出口41とヘッド本体4の
インク流路401との位置ずれ量の評価を行った。
【0031】UV硬化剤を使用しないヘッド2では、加
熱圧着を行った後、吐出口41とインク流路401にず
れが生じ、ヘッドを駆動してインクの吐出を行ったとこ
ろ、インク吐出方向にバラツキが見られた。さらには、
インク流路401が吐出口形成部材40でふさがれてい
る部分もあり、良好な印字が得られなかった。
熱圧着を行った後、吐出口41とインク流路401にず
れが生じ、ヘッドを駆動してインクの吐出を行ったとこ
ろ、インク吐出方向にバラツキが見られた。さらには、
インク流路401が吐出口形成部材40でふさがれてい
る部分もあり、良好な印字が得られなかった。
【0032】一方、ヘッド1に関しては、加熱圧着を行
った後でも、吐出口41とインク流路401との位置決
めにずれは生じていなかった。また、インク吐出方向の
バラツキもなく良好な印字物が得られた。
った後でも、吐出口41とインク流路401との位置決
めにずれは生じていなかった。また、インク吐出方向の
バラツキもなく良好な印字物が得られた。
【0033】なお、補助接着剤の塗布方法として、吐出
口形成部材40に補助接着剤塗布用の孔を形成してお
き、吐出口形成部材40をヘッド本体4に付着させた
後、形成した孔に補助接着剤を注入塗布する方法も可能
である。
口形成部材40に補助接着剤塗布用の孔を形成してお
き、吐出口形成部材40をヘッド本体4に付着させた
後、形成した孔に補助接着剤を注入塗布する方法も可能
である。
【0034】(実施例2)図4は、本発明の第2の実施
例を説明するためのもので、吐出口形成部材40の接着
面における接着剤塗布パターンの一例を示している。
例を説明するためのもので、吐出口形成部材40の接着
面における接着剤塗布パターンの一例を示している。
【0035】図4に示すように、吐出口形成部材40の
吐出口41近傍に主接着剤44としてエポキシ系の接着
シートを貼り付け、この接着シート44の両端部分に、
補助接着剤45として前記エポキシ系の接着シートより
も硬化収縮率の小さい粘着剤シートを貼り付けた。な
お、このとき用いる補助接着剤としては、硬化収縮率が
主接着剤よりも小さいエポキシ系あるいはアクリル系な
どの接着剤でもよく、シリコーン封止剤などのタイプで
あってもよい。また、吐出口形成部材40にUV透過性
の物質を使用して、補助接着剤にはUV硬化性の接着剤
を用いるようにしてもよい。
吐出口41近傍に主接着剤44としてエポキシ系の接着
シートを貼り付け、この接着シート44の両端部分に、
補助接着剤45として前記エポキシ系の接着シートより
も硬化収縮率の小さい粘着剤シートを貼り付けた。な
お、このとき用いる補助接着剤としては、硬化収縮率が
主接着剤よりも小さいエポキシ系あるいはアクリル系な
どの接着剤でもよく、シリコーン封止剤などのタイプで
あってもよい。また、吐出口形成部材40にUV透過性
の物質を使用して、補助接着剤にはUV硬化性の接着剤
を用いるようにしてもよい。
【0036】次に、前述の第1の実施例と同様に、吐出
口形成部材40の接着剤塗布面側からレーザー光を照射
して、吐出口41部分の接着剤を除去した。
口形成部材40の接着剤塗布面側からレーザー光を照射
して、吐出口41部分の接着剤を除去した。
【0037】そして、吐出口形成部材40の吐出口41
と、ヘッド本体4のインク流路401との位置決めをし
て、吐出口41の表面側から吐出口形成部材40に荷重
をかけて、吐出口形成部材40をヘッド本体4に固定す
る。
と、ヘッド本体4のインク流路401との位置決めをし
て、吐出口41の表面側から吐出口形成部材40に荷重
をかけて、吐出口形成部材40をヘッド本体4に固定す
る。
【0038】その後、吐出口形成部材40のヘッド本体
4の開口配設面4aへの加熱圧着を行い、吐出口形成部
材40とヘッド本体4との接着を完了する。この条件で
硬化完了したインクジェット記録ヘッドをヘッド3とす
る。
4の開口配設面4aへの加熱圧着を行い、吐出口形成部
材40とヘッド本体4との接着を完了する。この条件で
硬化完了したインクジェット記録ヘッドをヘッド3とす
る。
【0039】このヘッド3についても、第1の実施例と
同様な評価を行った。このヘッド3では、加熱圧着を行
った後でも、吐出口形成部材とインク流路との位置決め
はずれておらず、良好な印字物が得られた。
同様な評価を行った。このヘッド3では、加熱圧着を行
った後でも、吐出口形成部材とインク流路との位置決め
はずれておらず、良好な印字物が得られた。
【0040】また、補助接着剤層の厚さを主接着剤層の
厚さと同じにした場合、吐出口形成部材の吐出面の平坦
性も保つことができ、印字結果も良好であった。
厚さと同じにした場合、吐出口形成部材の吐出面の平坦
性も保つことができ、印字結果も良好であった。
【0041】また、主接着剤層と補助接着剤層の厚さが
同じした場合、位置決め位置と接着位置が同じとなるた
め、位置決めした場所からの接着完了位置へのずれがよ
り少なくなり、製造上も有利である。
同じした場合、位置決め位置と接着位置が同じとなるた
め、位置決めした場所からの接着完了位置へのずれがよ
り少なくなり、製造上も有利である。
【0042】(実施例3)図5(a)に示すように、吐
出口形成部材40の接着面全面に接着剤50を均一に塗
布した。この接着剤50は、UV照射により粘着性を保
持したまま硬化収縮し、この硬化収縮後も加熱圧着によ
り接着可能なエポキシ系の接着剤である。なお、この接
着剤50は前工程にUV照射を行わずに、加熱圧着のみ
でも、接着が可能である。その後、図に示すように、全
部の吐出口41を囲む部分をマスクで覆い、残りの周辺
部分のみにUV光を照射して硬化収縮させた。これによ
り、硬化収縮の完了していない主接着剤部分44aと、
硬化収縮は終了しているが、加熱圧着が可能な補助接着
剤部分45aとを形成した。
出口形成部材40の接着面全面に接着剤50を均一に塗
布した。この接着剤50は、UV照射により粘着性を保
持したまま硬化収縮し、この硬化収縮後も加熱圧着によ
り接着可能なエポキシ系の接着剤である。なお、この接
着剤50は前工程にUV照射を行わずに、加熱圧着のみ
でも、接着が可能である。その後、図に示すように、全
部の吐出口41を囲む部分をマスクで覆い、残りの周辺
部分のみにUV光を照射して硬化収縮させた。これによ
り、硬化収縮の完了していない主接着剤部分44aと、
硬化収縮は終了しているが、加熱圧着が可能な補助接着
剤部分45aとを形成した。
【0043】次に、このようにして主接着剤部分44a
と補助接着剤部分45aとがその接着面に形成された吐
出口形成部材40を、その吐出口41と、ヘッド本体4
のインク流路401との位置決めをして、吐出口表面側
から荷重をかけて、ヘッド本体4に固定した。
と補助接着剤部分45aとがその接着面に形成された吐
出口形成部材40を、その吐出口41と、ヘッド本体4
のインク流路401との位置決めをして、吐出口表面側
から荷重をかけて、ヘッド本体4に固定した。
【0044】続いて、吐出口形成部材40をヘッド本体
4に圧接したまま加熱して、吐出口形成部材40とヘッ
ド本体4との接着を完了する。
4に圧接したまま加熱して、吐出口形成部材40とヘッ
ド本体4との接着を完了する。
【0045】図5(b)は、本実施例3の変形例を示す
もので、主接着剤部分44aは、個々の吐出口41の周
辺にのみ形成したことが異なるだけで、その他は、前述
の図5(a)における手順とと同様である。
もので、主接着剤部分44aは、個々の吐出口41の周
辺にのみ形成したことが異なるだけで、その他は、前述
の図5(a)における手順とと同様である。
【0046】図5(c)も、本実施例3の変形例を示す
もので、接着剤50を吐出口形成部材40の接着面全面
に塗布するのではなく、主接着剤部分とする全部の吐出
口41を囲む部分44aと、補所接着剤部分とするその
周辺部分45aとの間に、接着剤50を全く塗布しない
間隙部分60を形成したことが、前述の図5(a)
(b)と異なる。それ以外は、図5(a)(b)での手
順と同様である。
もので、接着剤50を吐出口形成部材40の接着面全面
に塗布するのではなく、主接着剤部分とする全部の吐出
口41を囲む部分44aと、補所接着剤部分とするその
周辺部分45aとの間に、接着剤50を全く塗布しない
間隙部分60を形成したことが、前述の図5(a)
(b)と異なる。それ以外は、図5(a)(b)での手
順と同様である。
【0047】前述の条件で硬化完了したインクジェット
記録ヘッドをヘッド4とする。
記録ヘッドをヘッド4とする。
【0048】このヘッド4についても、第1の実施例と
同様な評価を行った。このヘッド4では、加熱圧着を行
った後でも、吐出口41とインク流路401との位置決
めにずれは生じておらず、良好な印字物が得られた。
同様な評価を行った。このヘッド4では、加熱圧着を行
った後でも、吐出口41とインク流路401との位置決
めにずれは生じておらず、良好な印字物が得られた。
【0049】(その他)なお、本発明は、特にインクジ
ェット記録方式の中でも、インク吐出を行わせるために
利用されるエネルギとして熱エネルギを発生する手段
(例えば電気熱変換体やレーザー光等)を備え、前記熱
エネルギによりインクの状態変化を生起させる方式の記
録ヘッド、記録装置において優れた効果をもたらすもの
である。かかる方式によれば記録の高密度化,高精細化
が達成できるからである。
ェット記録方式の中でも、インク吐出を行わせるために
利用されるエネルギとして熱エネルギを発生する手段
(例えば電気熱変換体やレーザー光等)を備え、前記熱
エネルギによりインクの状態変化を生起させる方式の記
録ヘッド、記録装置において優れた効果をもたらすもの
である。かかる方式によれば記録の高密度化,高精細化
が達成できるからである。
【0050】その代表的な構成や原理については、例え
ば、米国特許第4723129号明細書,同第4740
796号明細書に開示されている基本的な原理を用いて
行うものが好ましい。この方式は所謂オンデマンド型,
コンティニュアス型のいずれにも適用可能であるが、特
に、オンデマンド型の場合には、液体(インク)が保持
されているシートや液路に対応して配置されている電気
熱変換体に、記録情報に対応していて核沸騰を越える急
速な温度上昇を与える少なくとも1つの駆動信号を印加
することによって、電気熱変換体に熱エネルギを発生せ
しめ、記録ヘッドの熱作用面に膜沸騰を生じさせて、結
果的にこの駆動信号に一対一で対応した液体(インク)
内の気泡を形成できるので有効である。この気泡の成
長,収縮により吐出用開口を介して液体(インク)を吐
出させて、少なくとも1つの滴を形成する。この駆動信
号をパルス形状とすると、即時適切に気泡の成長収縮が
行われるので、特に応答性に優れた液体(インク)の吐
出が達成でき、より好ましい。このパルス形状の駆動信
号としては、米国特許第4463359号明細書,同第
4345262号明細書に記載されているようなものが
適している。なお、上記熱作用面の温度上昇率に関する
発明の米国特許第4313124号明細書に記載されて
いる条件を採用すると、さらに優れた記録を行うことが
できる。
ば、米国特許第4723129号明細書,同第4740
796号明細書に開示されている基本的な原理を用いて
行うものが好ましい。この方式は所謂オンデマンド型,
コンティニュアス型のいずれにも適用可能であるが、特
に、オンデマンド型の場合には、液体(インク)が保持
されているシートや液路に対応して配置されている電気
熱変換体に、記録情報に対応していて核沸騰を越える急
速な温度上昇を与える少なくとも1つの駆動信号を印加
することによって、電気熱変換体に熱エネルギを発生せ
しめ、記録ヘッドの熱作用面に膜沸騰を生じさせて、結
果的にこの駆動信号に一対一で対応した液体(インク)
内の気泡を形成できるので有効である。この気泡の成
長,収縮により吐出用開口を介して液体(インク)を吐
出させて、少なくとも1つの滴を形成する。この駆動信
号をパルス形状とすると、即時適切に気泡の成長収縮が
行われるので、特に応答性に優れた液体(インク)の吐
出が達成でき、より好ましい。このパルス形状の駆動信
号としては、米国特許第4463359号明細書,同第
4345262号明細書に記載されているようなものが
適している。なお、上記熱作用面の温度上昇率に関する
発明の米国特許第4313124号明細書に記載されて
いる条件を採用すると、さらに優れた記録を行うことが
できる。
【0051】記録ヘッドの構成としては、上述の各明細
書に開示されているような吐出口,液路,電気熱変換体
の組合せ構成(直線状液流路または直角液流路)の他に
熱作用部が屈曲する領域に配置されている構成を開示す
る米国特許第4558333号明細書,米国特許第44
59600号明細書を用いた構成も本発明に含まれるも
のである。加えて、複数の電気熱変換体に対して、共通
するスリットを電気熱変換体の吐出部とする構成を開示
する特開昭59−123670号公報や熱エネルギの圧
力波を吸収する開孔を吐出部に対応させる構成を開示す
る特開昭59−138461号公報に基いた構成として
も本発明の効果は有効である。すなわち、記録ヘッドの
形態がどのようなものであっても、本発明によれば記録
を確実に効率よく行うことができるようになるからであ
る。
書に開示されているような吐出口,液路,電気熱変換体
の組合せ構成(直線状液流路または直角液流路)の他に
熱作用部が屈曲する領域に配置されている構成を開示す
る米国特許第4558333号明細書,米国特許第44
59600号明細書を用いた構成も本発明に含まれるも
のである。加えて、複数の電気熱変換体に対して、共通
するスリットを電気熱変換体の吐出部とする構成を開示
する特開昭59−123670号公報や熱エネルギの圧
力波を吸収する開孔を吐出部に対応させる構成を開示す
る特開昭59−138461号公報に基いた構成として
も本発明の効果は有効である。すなわち、記録ヘッドの
形態がどのようなものであっても、本発明によれば記録
を確実に効率よく行うことができるようになるからであ
る。
【0052】さらに、記録装置が記録できる記録媒体の
最大幅に対応した長さを有するフルラインタイプの記録
ヘッドに対しても本発明は有効に適用できる。そのよう
な記録ヘッドとしては、複数記録ヘッドの組合せによっ
てその長さを満たす構成や、一体的に形成された1個の
記録ヘッドとしての構成のいずれでもよい。
最大幅に対応した長さを有するフルラインタイプの記録
ヘッドに対しても本発明は有効に適用できる。そのよう
な記録ヘッドとしては、複数記録ヘッドの組合せによっ
てその長さを満たす構成や、一体的に形成された1個の
記録ヘッドとしての構成のいずれでもよい。
【0053】加えて、上例のようなシリアルタイプのも
のでも、装置本体に固定された記録ヘッド、あるいは装
置本体に装着されることで装置本体との電気的な接続や
装置本体からのインクの供給が可能になる交換自在のチ
ップタイプの記録ヘッド、あるいは記録ヘッド自体に一
体的にインクタンクが設けられたカートリッジタイプの
記録ヘッドを用いた場合にも本発明は有効である。
のでも、装置本体に固定された記録ヘッド、あるいは装
置本体に装着されることで装置本体との電気的な接続や
装置本体からのインクの供給が可能になる交換自在のチ
ップタイプの記録ヘッド、あるいは記録ヘッド自体に一
体的にインクタンクが設けられたカートリッジタイプの
記録ヘッドを用いた場合にも本発明は有効である。
【0054】また、本発明の記録装置の構成として、記
録ヘッドの吐出回復手段、予備的な補助手段等を付加す
ることは本発明の効果を一層安定できるので、好ましい
ものである。これらを具体的に挙げれば、記録ヘッドに
対してのキャッピング手段、クリーニング手段、加圧或
は吸引手段、電気熱変換体或はこれとは別の加熱素子或
はこれらの組み合わせを用いて加熱を行う予備加熱手
段、記録とは別の吐出を行なう予備吐出手段を挙げるこ
とができる。
録ヘッドの吐出回復手段、予備的な補助手段等を付加す
ることは本発明の効果を一層安定できるので、好ましい
ものである。これらを具体的に挙げれば、記録ヘッドに
対してのキャッピング手段、クリーニング手段、加圧或
は吸引手段、電気熱変換体或はこれとは別の加熱素子或
はこれらの組み合わせを用いて加熱を行う予備加熱手
段、記録とは別の吐出を行なう予備吐出手段を挙げるこ
とができる。
【0055】また、搭載される記録ヘッドの種類ないし
個数についても、例えば単色のインクに対応して1個の
みが設けられたものの他、記録色や濃度を異にする複数
のインクに対応して複数個数設けられるものであっても
よい。すなわち、例えば記録装置の記録モードとしては
黒色等の主流色のみの記録モードだけではなく、記録ヘ
ッドを一体的に構成するか複数個の組み合わせによるか
いずれでもよいが、異なる色の複色カラー、または混色
によるフルカラーの各記録モードの少なくとも一つを備
えた装置にも本発明は極めて有効である。
個数についても、例えば単色のインクに対応して1個の
みが設けられたものの他、記録色や濃度を異にする複数
のインクに対応して複数個数設けられるものであっても
よい。すなわち、例えば記録装置の記録モードとしては
黒色等の主流色のみの記録モードだけではなく、記録ヘ
ッドを一体的に構成するか複数個の組み合わせによるか
いずれでもよいが、異なる色の複色カラー、または混色
によるフルカラーの各記録モードの少なくとも一つを備
えた装置にも本発明は極めて有効である。
【0056】さらに加えて、以上説明した本発明実施例
においては、インクを液体として説明しているが、室温
やそれ以下で固化するインクであって、室温で軟化もし
くは液化するものを用いてもよく、あるいはインクジェ
ット方式ではインク自体を30℃以上70℃以下の範囲
内で温度調整を行ってインクの粘性を安定吐出範囲にあ
るように温度制御するものが一般的であるから、使用記
録信号付与時にインクが液状をなすものを用いてもよ
い。加えて、熱エネルギによる昇温を、インクの固形状
態から液体状態への状態変化のエネルギとして使用せし
めることで積極的に防止するため、またはインクの蒸発
を防止するため、放置状態で固化し加熱によって液化す
るインクを用いてもよい。いずれにしても熱エネルギの
記録信号に応じた付与によってインクが液化し、液状イ
ンクが吐出されるものや、記録媒体に到達する時点では
すでに固化し始めるもの等のような、熱エネルギの付与
によって初めて液化する性質のインクを使用する場合も
本発明は適用可能である。このような場合のインクは、
特開昭54−56847号公報あるいは特開昭60−7
1260号公報に記載されるような、多孔質シート凹部
または貫通孔に液状又は固形物として保持された状態
で、電気熱変換体に対して対向するような形態としても
よい。本発明においては、上述した各インクに対して最
も有効なものは、上述した膜沸騰方式を実行するもので
ある。
においては、インクを液体として説明しているが、室温
やそれ以下で固化するインクであって、室温で軟化もし
くは液化するものを用いてもよく、あるいはインクジェ
ット方式ではインク自体を30℃以上70℃以下の範囲
内で温度調整を行ってインクの粘性を安定吐出範囲にあ
るように温度制御するものが一般的であるから、使用記
録信号付与時にインクが液状をなすものを用いてもよ
い。加えて、熱エネルギによる昇温を、インクの固形状
態から液体状態への状態変化のエネルギとして使用せし
めることで積極的に防止するため、またはインクの蒸発
を防止するため、放置状態で固化し加熱によって液化す
るインクを用いてもよい。いずれにしても熱エネルギの
記録信号に応じた付与によってインクが液化し、液状イ
ンクが吐出されるものや、記録媒体に到達する時点では
すでに固化し始めるもの等のような、熱エネルギの付与
によって初めて液化する性質のインクを使用する場合も
本発明は適用可能である。このような場合のインクは、
特開昭54−56847号公報あるいは特開昭60−7
1260号公報に記載されるような、多孔質シート凹部
または貫通孔に液状又は固形物として保持された状態
で、電気熱変換体に対して対向するような形態としても
よい。本発明においては、上述した各インクに対して最
も有効なものは、上述した膜沸騰方式を実行するもので
ある。
【0057】さらに加えて、本発明インクジェット記録
装置の形態としては、コンピュータ等の情報処理機器の
画像出力端末として用いられるものの他、リーダ等と組
合せた複写装置、さらには送受信機能を有するファクシ
ミリ装置の形態を採るもの等であってもよい。
装置の形態としては、コンピュータ等の情報処理機器の
画像出力端末として用いられるものの他、リーダ等と組
合せた複写装置、さらには送受信機能を有するファクシ
ミリ装置の形態を採るもの等であってもよい。
【0058】
【発明の効果】以上説明したように、本発明のインクジ
ェット記録ヘッドの製造方法は、インクジェット記録ヘ
ッドの吐出口形成部材と、インクジェット記録ヘッドと
を貼り合わせる場合において、位置決めした吐出口形成
部材と天板ヒータボード間をずらさずに、接着層を形成
することができる。
ェット記録ヘッドの製造方法は、インクジェット記録ヘ
ッドの吐出口形成部材と、インクジェット記録ヘッドと
を貼り合わせる場合において、位置決めした吐出口形成
部材と天板ヒータボード間をずらさずに、接着層を形成
することができる。
【0059】また、吐出口形成部材をヘッドに組む前に
レーザー加工を施すため、レーザー加工により、ヒータ
ボードやインク流路のカーボン汚染を防ぐことができ
る。
レーザー加工を施すため、レーザー加工により、ヒータ
ボードやインク流路のカーボン汚染を防ぐことができ
る。
【図1】従来および本発明の対象となるインクジェット
記録ヘッドの一例を示す分解斜視図である。
記録ヘッドの一例を示す分解斜視図である。
【図2】従来および本発明の対象となるインクジェット
記録ヘッドの一例を示す断面図である。
記録ヘッドの一例を示す断面図である。
【図3】本発明の第1の実施例を説明するためのもの
で、本発明に係るインクジェット記録ヘッドの斜視図で
ある。
で、本発明に係るインクジェット記録ヘッドの斜視図で
ある。
【図4】本発明の第2の実施例を説明するためのもの
で、第2の実施例における吐出口形成部材の接着面の接
着剤塗布パターンの一例を示す平面図である。
で、第2の実施例における吐出口形成部材の接着面の接
着剤塗布パターンの一例を示す平面図である。
【図5】本発明の第3の実施例を説明するためのもの
で、(a),(b),(c)はそれぞれ吐出口形成部材
の接着面の接着剤塗布パターン例を示す平面図である。
で、(a),(b),(c)はそれぞれ吐出口形成部材
の接着面の接着剤塗布パターン例を示す平面図である。
4 ヘッド本体 4a 開口配設面 40 吐出口形成部材 41 吐出口 42 接着剤シート(主接着剤) 43 UV硬化接着剤(補助接着剤) 44 主接着剤 44a 主接着剤部分 45 補助接着剤 45a 補助接着剤部分 50 接着剤 60 接着剤が塗布されていない間隙部分 100 基板(ヒータボード) 101 電気熱変換体(ヒータ) 400 天板 401 インク流路 404 インク供給口
Claims (11)
- 【請求項1】 複数の吐出口を持つ吐出口形成部材と、
前記吐出口に対応したインク流路と該インク流路に備え
られインクを吐出するために利用されるエネルギーを発
生するエネルギー発生体を備えたヘッド本体とを有して
なり、前記ヘッド本体と前記吐出口形成部材とが硬化収
縮率の異なる少なくとも2つの接着剤層により固定され
ていることを特徴とするインクジェット記録ヘッド。 - 【請求項2】 前記吐出口を囲む部分には前記硬化収縮
率の異なる接着剤層のうち耐インク性のある接着剤層が
形成され、この耐インク性の接着剤の周囲には該耐イン
ク性の接着剤より硬化収縮率の小さな接着剤が形成され
ていることを特徴とする請求項1に記載のインクジェッ
ト記録ヘッド。 - 【請求項3】 前記耐インク性の接着剤層と、その周囲
の硬化収縮率の小さな接着剤層とが、同一の厚みである
ことを特徴とする請求項1または2に記載のインクジェ
ット記録ヘッド。 - 【請求項4】 前記硬化収縮率の小さい接着剤が粘着剤
であることを特徴とする請求項1ないし3のいずれかに
記載のインクジェット記録ヘッド。 - 【請求項5】 前記耐インク性接着剤と前記粘着剤と
が、同一成分の紫外線硬化性接着剤からなり、前記粘着
剤が、前記紫外線硬化性接着剤に紫外線を当てて粘着性
を残したまま硬化収縮させたものであることを特徴とす
る請求項4に記載のインクジェット記録ヘッド。 - 【請求項6】 複数の吐出口を持つ吐出口形成部材と、
前記吐出口に対応したインク流路と該インク流路に備え
られインクを吐出するために利用されるエネルギーを発
生するエネルギー発生体を備えたヘッド本体とを接着し
て、インクジェット記録ヘッドを製造する方法におい
て、 前記ヘッド本体と前記吐出口形成部材とを硬化収縮率の
異なる少なくとも2つの接着剤により固定することを特
徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法。 - 【請求項7】 前記吐出口を囲む部分に前記硬化収縮率
の異なる接着剤のうち耐インク性のある接着剤を塗布
し、この耐インク性の接着剤の周囲に該耐インク性の接
着剤より硬化収縮率の小さな接着剤を塗布することを特
徴とする請求項6に記載のインクジェット記録ヘッドの
製造方法。 - 【請求項8】 前記耐インク性の接着剤と、その周囲に
塗布する硬化収縮率の小さな接着剤とを、同一の厚みに
塗布することを特徴とする請求項6または7に記載のイ
ンクジェット記録ヘッドの製造方法。 - 【請求項9】 前記硬化収縮率の小さい接着剤として粘
着剤を用いることを特徴とする請求項6ないし8のいず
れかに記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。 - 【請求項10】 前記耐インク性接着剤と前記粘着剤と
を、同一成分の紫外線硬化性接着剤から構成し、前記吐
出口形成部材の接着面に塗布した前記紫外線硬化性接着
層の前記吐出口を囲む部分以外の領域に紫外線を当て
て、該領域の接着剤層を粘着性を残したまま硬化収縮さ
せて前記粘着剤とすることを特徴とする請求項9に記載
のインクジェット記録ヘッドの製造方法。 - 【請求項11】 前記硬化収縮率の小さい方の接着剤を
先に硬化させ、その後で、前記耐インク性接着剤を硬化
させることを特徴とする請求項6ないし10のいずれか
に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9358568A JPH11188874A (ja) | 1997-12-25 | 1997-12-25 | インクジェット記録ヘッドおよびその製造方法 |
| US09/218,630 US6302512B1 (en) | 1997-12-25 | 1998-12-22 | Ink jet recording head and method producing the same |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9358568A JPH11188874A (ja) | 1997-12-25 | 1997-12-25 | インクジェット記録ヘッドおよびその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11188874A true JPH11188874A (ja) | 1999-07-13 |
Family
ID=18459987
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9358568A Pending JPH11188874A (ja) | 1997-12-25 | 1997-12-25 | インクジェット記録ヘッドおよびその製造方法 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
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| JP (1) | JPH11188874A (ja) |
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| Publication number | Publication date |
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