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JPH11177233A - Circuit board bonding equipment using anisotropic conductive film - Google Patents

Circuit board bonding equipment using anisotropic conductive film

Info

Publication number
JPH11177233A
JPH11177233A JP36342397A JP36342397A JPH11177233A JP H11177233 A JPH11177233 A JP H11177233A JP 36342397 A JP36342397 A JP 36342397A JP 36342397 A JP36342397 A JP 36342397A JP H11177233 A JPH11177233 A JP H11177233A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
circuit board
circuit
conductive film
anisotropic conductive
jig
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP36342397A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Yoshio Nikaido
宣雄 二階堂
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Canon Inc
Original Assignee
Canon Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Canon Inc filed Critical Canon Inc
Priority to JP36342397A priority Critical patent/JPH11177233A/en
Publication of JPH11177233A publication Critical patent/JPH11177233A/en
Pending legal-status Critical Current

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Landscapes

  • Manufacturing Of Electrical Connectors (AREA)
  • Combinations Of Printed Boards (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 相対向する回路基板の回路電極を異方導電フ
ィルムを介して接合する装置において、装置コストを低
く抑えて生産性を大きく向上させることができる回路基
板接合装置を提供する。 【解決手段】 割り出し可能な回転型のワークテーブル
2上に2枚の回路基板200、100を相対向するよう
にそれぞれ保持する1組の治具10、20を複数組配列
するとともにワークテーブル2の外周に沿って回路位置
合わせステーション40と熱圧着ステーション50等を
順次配設し、治具10にx方向に移動可能な支持テーブ
ル12とそのロック機構16を設け、回路位置合わせス
テーション40には、回路基板の回路電極を観察する観
察光学系45と治具10の支持テーブル12を外部から
移動させる外部駆動装置41と治具ロック開閉装置42
とを設置し、熱圧着ステーション50に加熱加圧ヘッド
51を設置する。
(57) Abstract: In an apparatus for joining circuit electrodes of circuit boards opposed to each other via an anisotropic conductive film, a circuit board joining apparatus capable of suppressing the apparatus cost and greatly improving productivity. provide. SOLUTION: A plurality of sets of jigs 10 and 20 for holding two circuit boards 200 and 100 so as to face each other are arranged on a rotatable work table 2 which can be indexed. A circuit positioning station 40, a thermocompression bonding station 50, and the like are sequentially arranged along the outer circumference, a support table 12 movable in the x direction and a lock mechanism 16 thereof are provided on the jig 10, and the circuit positioning station 40 includes: An observation optical system 45 for observing the circuit electrodes of the circuit board, an external driving device 41 for moving the support table 12 of the jig 10 from the outside, and a jig lock opening / closing device 42
And the heating / pressing head 51 is set in the thermocompression bonding station 50.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、異方導電フィルム
を用いて回路を接続する回路基板接合装置に関し、特
に、液体噴射記録ヘッド等の製造において、発熱素子基
板に接合されたフレキシブル回路基板と樹脂基板の回路
同士を異方導電フィルムを介して熱圧着して接合する回
路基板接合装置に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a circuit board bonding apparatus for connecting circuits using an anisotropic conductive film, and more particularly, to a flexible circuit board bonded to a heating element substrate in manufacturing a liquid jet recording head or the like. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a circuit board joining apparatus for joining circuits of resin substrates by thermocompression bonding via anisotropic conductive films.

【0002】[0002]

【従来の技術】液体噴射記録装置等に用いられる液体噴
射記録ヘッドは、インク等の記録液を吐出する複数の微
細な吐出口、吐出口に連通する複数の液流路、および各
液流路に配設された複数の吐出エネルギー発生素子(例
えば、発熱素子)を備え、吐出エネルギー発生素子に外
部から入力される画像信号に対応した駆動信号を印加し
て、液流路内の記録液に膜沸騰現象を生じさせるような
急激な温度上昇を与える熱エネルギーを発生させ、記録
液内に気泡を形成させて、この気泡の成長および収縮に
より記録液の液滴を吐出口から吐出させて印字記録を行
なうように構成されている。
2. Description of the Related Art A liquid jet recording head used in a liquid jet recording apparatus or the like has a plurality of fine discharge ports for discharging a recording liquid such as ink, a plurality of liquid flow paths communicating with the discharge ports, and each liquid flow path. A plurality of ejection energy generating elements (e.g., heating elements) disposed on the recording medium, and applying a drive signal corresponding to an image signal input from the outside to the ejection energy generating element to apply a driving signal to the recording liquid in the liquid flow path. Generates thermal energy that gives a sharp rise in temperature that causes a film boiling phenomenon, forms bubbles in the recording liquid, and prints by discharging droplets of the recording liquid from the discharge port by the growth and contraction of these bubbles. It is configured to record.

【0003】ところで、この種の液体噴射記録ヘッドの
構造や製造方法に関しては従来から種々の型式や方式が
知られており、高品位、高密度でかつ高速での印字記録
の要請に対応した一形態として、複数の吐出口、液流路
および吐出エネルギー発生素子としての発熱素子等をシ
リコンウエハ等の基板に形成して、発熱素子の電気接続
部にフレキシブル回路基板(TAB)のリードを接合
し、この液体噴射記録ヘッド用のTAB付きウエハチッ
プを記録液供給用のチップタンクに接合して液体噴射記
録ヘッドユニットを作製している。そして、複数の発熱
素子を個別に駆動制御する素子を形成した駆動素子基板
を液体噴射記録ヘッドユニットのTAB付きウエハチッ
プと電気的に接続することによって一体化している。
[0003] By the way, various types and methods have been known for the structure and manufacturing method of this type of liquid jet recording head, and one type corresponding to the demand for high-quality, high-density and high-speed print recording has been known. As a form, a plurality of discharge ports, a liquid flow path, a heating element as a discharge energy generating element, and the like are formed on a substrate such as a silicon wafer, and a lead of a flexible circuit board (TAB) is joined to an electrical connection portion of the heating element. The liquid ejection recording head unit is manufactured by joining the wafer chip with TAB for the liquid ejection recording head to the chip tank for supplying the recording liquid. Then, a drive element substrate on which elements for individually driving and controlling the plurality of heating elements are formed is electrically connected to a wafer chip with a TAB of the liquid jet recording head unit to be integrated.

【0004】これらの発熱素子が形成されたTAB付き
ウエハチップおよび発熱素子を個別に駆動制御する駆動
素子が形成された駆動素子基板等のような2枚の回路基
板を電気的に接続するための装置としては、異方導電フ
ィルム(ACF)を用いて熱圧着によって回路同士を接
続する装置等が知られており、この種の回路基板接合装
置としては、実開昭61−70390号公報に記載され
ているように、回路位置合わせを行なった後に、一つの
加熱加圧ヘッドを用いて相対向する回路を異方導電フィ
ルムを介して熱圧着することにより回路基板を接続する
装置が知られている。
For electrically connecting two circuit boards such as a wafer chip with TAB on which these heating elements are formed and a driving element board on which driving elements for individually controlling the heating elements are formed. As an apparatus, an apparatus for connecting circuits by thermocompression bonding using an anisotropic conductive film (ACF) is known. Such a circuit board bonding apparatus is described in Japanese Utility Model Application Laid-Open No. 61-70390. As described above, there is known an apparatus for connecting circuit boards by thermocompression-bonding opposing circuits using an anisotropic conductive film using one heating / pressing head after performing circuit alignment. I have.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
従来技術のような一つの加熱加圧ヘッドを用いて異方導
電フィルムを介して熱圧着することにより回路同士を接
続する装置によって、液体噴射記録ヘッドにおける回路
基板の回路接続を行なう際に、各記録ヘッドの回路基板
を熱圧着終了後に次の記録ヘッドを同様にセットするこ
とが必要となり、生産性が悪く、しかも記録ヘッドの回
路接続を連続的に行なうことができない。このような従
来技術により生産性を上げるためには、複数の装置が必
要となり、また、相対向する回路基板の相対水平移動手
段を自動化する必要があり、装置コストが大きく上昇す
ることを避けることができない。
However, liquid jet recording is performed by an apparatus for connecting circuits by thermocompression bonding via an anisotropic conductive film using one heating / pressing head as in the above-mentioned prior art. When performing circuit connection of the circuit board in the head, it is necessary to set the next print head in the same manner after completion of thermocompression bonding of the circuit board of each print head, which is inferior in productivity, and furthermore, the circuit connection of the print head is continuous. Can not be done. In order to increase productivity by such a conventional technique, a plurality of devices are required, and it is necessary to automate relative horizontal moving means of circuit boards opposed to each other, thereby avoiding a significant increase in device cost. Can not.

【0006】そこで、本発明は、上記の従来技術の有す
る未解決の課題に鑑みてなされたものであって、相対向
する回路基板の回路を異方導電フィルムを介して接合す
る装置において、さらには、液体噴射記録ヘッドの発熱
素子を有するウエハチップに接合したフレキシブル回路
基板(TAB)と駆動回路素子を有する樹脂基板の回路
同士を異方導電フィルムを介して接合する装置におい
て、装置コストを低く抑えて生産性を大きく向上させる
ことができる回路基板接合装置を提供することを目的と
するものである。
In view of the above, the present invention has been made in view of the above-mentioned unresolved problems of the prior art, and further provides an apparatus for joining circuits of opposing circuit boards via an anisotropic conductive film. Is an apparatus for joining circuits of a flexible circuit board (TAB) joined to a wafer chip having a heating element of a liquid jet recording head and a resin board having a drive circuit element through an anisotropic conductive film, thereby reducing the apparatus cost. It is an object of the present invention to provide a circuit board bonding apparatus capable of suppressing the increase in productivity.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の異方導電フィルムを用いた回路基板接合装
置は、異方導電フィルムを介して相対向する回路基板の
複数の電極部を熱圧着により接続する回路基板接合装置
において、電極部を有する回路基板を相対向するように
それぞれ保持する第1および第2の一組の保持手段を移
動可能なワークテーブル上に等間隔に複数組配置すると
ともに、前記ワークテーブルの移動にともなって移動す
る前記保持手段の移動経路に沿って回路基板の電極部の
位置合わせを行なう電極位置合わせ手段と相対向する電
極部を熱圧着して接続する加熱加圧手段を配設し、前記
一組の保持手段の第1の保持手段は、接続する電極の配
列方向に移動可能な移動機構と、該移動機構の移動を拘
束しロックするロック機構とを有し、前記電極位置合わ
せ手段は、前記第1および第2の一組の保持手段にそれ
ぞれ保持される回路基板の各電極部の重なり具合を検出
する検出手段と、前記第1の保持手段のロック機構を開
閉するロック開閉手段と、前記移動機構を外部から移動
させる外部駆動手段と、該外部駆動手段の作動を前記検
出手段からの検出情報に基づいて制御する制御手段とを
有していることを特徴とする。
In order to achieve the above object, a circuit board bonding apparatus using an anisotropic conductive film according to the present invention comprises a plurality of electrode portions of a circuit board opposed to each other via an anisotropic conductive film. In a circuit board joining apparatus to be connected by thermocompression bonding, a plurality of sets of first and second sets of holding means for holding circuit boards having electrode portions facing each other are arranged on a movable worktable at equal intervals. The electrode positioning means for positioning the electrode part of the circuit board along the movement path of the holding means which is arranged and moved along with the movement of the work table is connected by thermocompression bonding to the electrode part opposed to the electrode positioning means. Heating and pressurizing means is provided, a first holding means of the set of holding means has a moving mechanism movable in an arrangement direction of electrodes to be connected, and a locking mechanism for restraining and locking movement of the moving mechanism. And a detecting means for detecting the degree of overlap of the electrode portions of the circuit board held by the first and second sets of holding means, respectively, Lock opening / closing means for opening and closing the lock mechanism of the holding means, external driving means for moving the moving mechanism from outside, and control means for controlling the operation of the external driving means based on detection information from the detecting means. It is characterized by doing.

【0008】また、本発明の異方導電フィルムを用いた
回路基板接合装置においては、ワークテーブルは均等割
り出し可能な回転テーブルであり、第1および第2の保
持手段を前記回転テーブル上にそれぞれ同一円心上に等
間隔に複数配置することが好ましい。
In the circuit board bonding apparatus using an anisotropic conductive film according to the present invention, the work table is a rotary table capable of uniform indexing, and the first and second holding means are provided on the rotary table respectively. It is preferable to arrange a plurality of them at equal intervals on the center of the circle.

【0009】そして、本発明の異方導電フィルムを用い
た回路基板接合装置においては、電極部を有する回路基
板を第1および第2の一組の保持手段へそれぞれ供給す
るための供給手段と、電極部が接合された回路基板を第
1および第2の一組の保持手段から排出するための排出
手段をさらにワークテーブルの移動にともなって移動す
る前記保持手段の移動経路に沿って配設することが好ま
しい。
Further, in the circuit board bonding apparatus using the anisotropic conductive film of the present invention, supply means for supplying the circuit board having the electrode portion to the first and second sets of holding means, respectively; Discharging means for discharging the circuit board to which the electrode portion is bonded from the first and second set of holding means is further provided along the movement path of the holding means which moves along with the movement of the work table. Is preferred.

【0010】さらに、本発明の異方導電フィルムを用い
た回路基板接合装置は、液体噴射記録ヘッドを構成する
記録ヘッド本体に実装された発熱素子を形成したウエハ
チップに接合されたフレキシブル回路基板と回路パター
ンを有する樹脂基板との回路接合に好適である。
Further, a circuit board bonding apparatus using an anisotropic conductive film according to the present invention includes a flexible circuit board bonded to a wafer chip having a heating element mounted on a recording head body constituting a liquid jet recording head. It is suitable for circuit bonding with a resin substrate having a circuit pattern.

【0011】[0011]

【作用】本発明の回路基板接合装置によれば、回路電極
部を異方導電フィルムを介して接合する2枚の回路基板
をそれぞれセットする治具を複数組割り出し可能な回転
型のワークテーブルに配置するとともに、一方の治具に
回路電極部の配列方向に移動可能な1軸移動機構とその
ロック機構を設け、そして、ワークテーブルのまわりに
沿って回路電極位置合わせステーションと熱圧着ステー
ションを配設し、回路電極位置合わせステーションには
1つの観察光学系と1つの外部駆動装置と1つの治具ロ
ック開閉装置を設置し、熱圧着ステーションには1つの
加熱加圧ヘッドを設置することにより、回路基板の位置
合わせと熱圧着およびその他の工程をワークテーブルの
割り出し回転に応じて順次行なうことができ、しかも、
従来のように高額な駆動付きの1軸テーブルを付設した
回路基板用の治具をワークテーブル上に複数設置する必
要がなく、装置コストを低く抑えて生産性を大きく向上
させることができる。また、各ステーションの作動動作
は、複数組の治具をワークテーブルに設置したことによ
り、それぞれのステーションにおいて並行して行うこと
ができる。
According to the circuit board joining apparatus of the present invention, a plurality of sets of jigs each for setting two circuit boards for joining circuit electrode portions via an anisotropic conductive film are provided on a rotary type work table. One of the jigs is provided with a one-axis moving mechanism and a locking mechanism capable of moving in the arrangement direction of the circuit electrode portion, and a circuit electrode positioning station and a thermocompression bonding station are arranged along the work table. By installing one observation optical system, one external drive device and one jig lock opening / closing device in the circuit electrode positioning station, and one heating / pressing head in the thermocompression bonding station, Circuit board positioning and thermocompression bonding and other processes can be performed sequentially according to the indexing rotation of the worktable.
It is not necessary to install a plurality of jigs for a circuit board provided with an expensive one-axis table with a drive on a work table as in the related art, so that the apparatus cost can be reduced and productivity can be greatly improved. The operation of each station can be performed in parallel at each station by installing a plurality of sets of jigs on the work table.

【0012】そして、液体噴射記録ヘッドの発熱素子を
有するウエハチップに接合したフレキシブル回路基板の
回路電極と駆動回路素子を有する樹脂基板の回路電極と
の異方導電フィルムを介する接合に、本発明の回路基板
接合装置を採用することによって、装置コストを低く抑
え、液体噴射記録ヘッドの製造に関する生産性を大きく
向上させることができる。
The present invention also relates to a method for joining a circuit electrode of a flexible circuit board joined to a wafer chip having a heating element of a liquid jet recording head and a circuit electrode of a resin board having a drive circuit element via an anisotropic conductive film. By employing the circuit board bonding apparatus, it is possible to keep the apparatus cost low and to greatly improve the productivity of manufacturing the liquid jet recording head.

【0013】[0013]

【発明の実施の形態】本発明の実施の形態を図面に基づ
いて説明する。
Embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

【0014】図1は本発明の回路基板接合装置の構成を
示す概略的な平面図であり、図2は同じく本発明の回路
基板接合装置の構成を一部を省略して示す概略的な側面
図である。
FIG. 1 is a schematic plan view showing the structure of the circuit board bonding apparatus of the present invention, and FIG. 2 is a schematic side view showing the structure of the circuit board bonding apparatus of the present invention with a part thereof being omitted. FIG.

【0015】図1および図2おいて、ダイレクトドライ
ブモーター3により回転駆動される割り出し可能な回転
型のワークテーブル2が架台1上に取り付けられ、この
ワークテーブル2には、電極部を有する2枚の回路基板
をそれぞれ相対向するように着脱自在に保持する治具1
0および20を一組として、同一円心上に等間隔に複数
組(図1においては4組)配列されている。そして、ワ
ークテーブル2の外周に沿って、供給ステーション3
0、回路パターン位置合わせステーション40、熱圧着
ステーション50および完成品排出ステーション60が
架台1上に順次配列されている。
In FIG. 1 and FIG. 2, an indexable rotary worktable 2 which is driven to rotate by a direct drive motor 3 is mounted on a gantry 1. The worktable 2 has two electrodes having electrodes. Jig 1 for detachably holding the circuit boards of the above so as to face each other
A plurality of sets (four sets in FIG. 1) are arranged at equal intervals on the same circle center as one set of 0 and 20. Then, along the outer periphery of the work table 2, the supply station 3
0, a circuit pattern alignment station 40, a thermocompression bonding station 50, and a finished product discharging station 60 are sequentially arranged on the gantry 1.

【0016】本実施例においては、電極部を接続する2
枚の回路基板として、図3に図示するような液体噴射記
録ヘッドを構成する記録ヘッドユニット100と異方導
電フィルムを付着させた樹脂基板200を例にとって説
明する。すなわち、記録ヘッドユニット100のフレキ
シブル回路基板(TAB)103の回路パターン部10
4と樹脂基板201の回路パターン部202を異方導電
フィルム210を介して電気的に接続する場合について
説明する。
In this embodiment, 2 for connecting the electrode portions is used.
As an example of a circuit board, a recording head unit 100 constituting a liquid jet recording head as shown in FIG. 3 and a resin substrate 200 to which an anisotropic conductive film is adhered will be described. That is, the circuit pattern portion 10 of the flexible circuit board (TAB) 103 of the recording head unit 100
A case in which the circuit board 4 and the circuit pattern portion 202 of the resin substrate 201 are electrically connected via the anisotropic conductive film 210 will be described.

【0017】図3において、液体噴射記録ヘッドを構成
する記録ヘッドユニット100は、記録液を吐出する複
数の吐出口、液流路および吐出エネルギー発生素子とし
ての発熱素子をシリコンウエハ等の基板に作製してウエ
ハチップ(発熱素子を備えた素子基板)102を形成
し、このウエハチップ102にフレキシブル回路基板
(TAB)103を接合して、これを記録ヘッド本体1
01に実装したものであり、フレキシブル回路基板(T
AB)103にはTAB回路パターン部104が形成さ
れ、また、記録ヘッド本体101の両側部には位置決め
用の凸部101a、101b(なお、凸部101bは不
図示)が設けられている。そして、フレキシブル回路基
板(TAB)103のTAB回路パターン部104に接
合する回路パターン部202を有する樹脂基板201
は、発熱素子等を駆動制御する素子が形成されており、
樹脂基板201の所定の位置に位置決め用の貫通穴20
4a、204bが設けられている。そして、樹脂基板2
01の回路パターン部202には、TAB回路パターン
部104との接合に先だって、異方導電フィルム(AC
F)210が付着される。この異方導電フィルム(AC
F)210が付着された樹脂基板201をACF付き樹
脂基板200とする。
In FIG. 3, a recording head unit 100 constituting a liquid jet recording head forms a plurality of discharge ports for discharging a recording liquid, a liquid flow path, and a heating element as a discharge energy generating element on a substrate such as a silicon wafer. To form a wafer chip (element substrate provided with a heating element) 102, a flexible circuit board (TAB) 103 is bonded to the wafer chip 102, and this is connected to the recording head body 1.
01 and a flexible circuit board (T
AB) 103 is provided with a TAB circuit pattern portion 104, and positioning projections 101a and 101b (the projection 101b is not shown) are provided on both sides of the recording head main body 101. Then, a resin substrate 201 having a circuit pattern portion 202 joined to the TAB circuit pattern portion 104 of the flexible circuit board (TAB) 103
Has an element for driving and controlling a heating element and the like,
A positioning through hole 20 is provided at a predetermined position of the resin substrate 201.
4a and 204b are provided. And the resin substrate 2
01, the circuit pattern part 202 is connected to the anisotropic conductive film (AC) prior to joining with the TAB circuit pattern part 104.
F) 210 is deposited. This anisotropic conductive film (AC
F) The resin substrate 201 to which the 210 is attached is referred to as a resin substrate 200 with an ACF.

【0018】次に、本発明の回路基板接合装置における
回路基板の取り付け用の治具および各ステーションの詳
細を順次説明する。
Next, the details of the jig for mounting the circuit board and the stations in the circuit board bonding apparatus of the present invention will be sequentially described.

【0019】一組の治具10および20は、図1および
図4に図示するように、ワークテーブル2上で半径方向
に互いに相対向するように配置され、それぞれ同一円心
上に等間隔に複数組(図においては4組)配設されてい
る。一組の治具10および20において、ワークテーブ
ル2の半径方向外方に配置された治具10は異方導電フ
ィルム210が付着されたACF付き樹脂基板200を
取り付けるための治具であり、治具10に対向してワー
クテーブル2の半径方向内方に配設された治具20はフ
レキシブル回路基板(TAB)103を接合したウエハ
チップ102を記録ヘッド本体101に実装した記録ヘ
ッドユニット100を取り付けるための治具である。
As shown in FIGS. 1 and 4, a pair of jigs 10 and 20 are arranged on the work table 2 so as to face each other in the radial direction, and are equally spaced on the same circle. A plurality of sets (four in the figure) are provided. In one set of jigs 10 and 20, the jig 10 arranged radially outward of the work table 2 is a jig for attaching the resin substrate 200 with the ACF to which the anisotropic conductive film 210 is attached. A jig 20 disposed radially inward of the work table 2 so as to face the jig 10 attaches a recording head unit 100 in which a wafer chip 102 to which a flexible circuit board (TAB) 103 is bonded is mounted on a recording head main body 101. Jig for

【0020】治具10は、図4および図5に図示するよ
うに、一部がワークテーブル2の外周縁部から外方へ突
出するように、ワークテーブル2に固定された治具ベー
ス11を有し、この治具ベース11は、ACF付き樹脂
基板200を支持する支持テーブル12を回路パターン
の配列方向(すなわち、x方向)に移動しうるようにガ
イドし保持する直線ガイド13と、支持テーブル12の
x方向の移動範囲を規制すべく両側部に配置されたスト
ッパー14a、14bと、支持テーブル12を適宜の位
置に固定し支持テーブルの移動を拘束するためのロック
機構16を上下方向(z方向)に移動し得るように保持
するロック機構ガイド部15を備えている。ACF付き
樹脂基板200を支持する支持テーブル12は、直線ガ
イド13に沿ってx方向に移動可能に支持されており、
樹脂基板201の位置決め用の貫通穴204a、204
bに対応する位置に設けられた位置決めピン12a、1
2bを有し、そして、後端側にはACF付き樹脂基板2
00を支持する表面よりも下方に低く段差をもって形成
された段差面18が設けられ、この段差面18の後端縁
には、後述する治具外部駆動装置41(図7参照)の位
置決めロッド43と係合するV字状の窪み19が設けら
れている。また、側面視コ字状に形成されたロック機構
16は、アリとアリ溝関係等の凹凸係合関係によってロ
ック機構ガイド部15に上下方向(z方向)に移動可能
に保持され、治具ベース11の下面に装着されたばね1
7により下方に付勢されており、ロック機構16の上部
に固定されたロックパッド16aが支持テーブル12の
段差面18を押圧し、支持テーブル12のx方向の移動
をロックし支持テーブルの移動を拘束している。そし
て、後述する樹脂基板用の治具ロック開閉装置42(図
7参照)の作動によりロック機構16が下方からz方向
上方に突き上げられるとき、ロック機構16のロックパ
ッド16aが支持テーブル12の段差面18から上方へ
離れることにより支持テーブル12のロックを解除し
て、支持テーブル12を移動可能とするように構成され
ている。
As shown in FIGS. 4 and 5, the jig 10 has a jig base 11 fixed to the work table 2 so that a part thereof projects outward from the outer peripheral edge of the work table 2. The jig base 11 has a linear guide 13 that guides and holds the support table 12 that supports the resin substrate 200 with the ACF so as to be movable in the arrangement direction of the circuit patterns (that is, the x direction). The stoppers 14a and 14b arranged on both sides to restrict the moving range of the support table 12 in the x direction, and the lock mechanism 16 for fixing the support table 12 at an appropriate position and restraining the movement of the support table are moved vertically (z (Direction). The support table 12 supporting the resin substrate 200 with the ACF is supported movably in the x direction along the linear guide 13,
Through holes 204a, 204 for positioning of resin substrate 201
b, positioning pins 12a, 1
2b, and a resin substrate 2 with an ACF on the rear end side.
A stepped surface 18 is formed below the surface supporting the second step 00 and is formed with a step. A positioning rod 43 of a jig external drive device 41 (see FIG. 7) described later is provided on a rear end edge of the stepped surface 18. A V-shaped depression 19 is provided which engages with the recess. Further, the lock mechanism 16 formed in a U-shape in a side view is held by the lock mechanism guide portion 15 so as to be movable in the vertical direction (z direction) by an uneven engagement relationship such as a dovetail groove relationship, and a jig base. Spring 1 mounted on the lower surface of 11
7, the lock pad 16a fixed to the upper portion of the lock mechanism 16 presses the step surface 18 of the support table 12, locks the movement of the support table 12 in the x direction, and moves the support table. Restrained. When the lock mechanism 16 is pushed upward from the lower side in the z direction by the operation of a jig lock opening / closing device 42 (see FIG. 7) for a resin substrate, which will be described later, the lock pad 16a of the lock mechanism 16 becomes a step surface of the support table 12. The lock of the support table 12 is released by moving upward away from the support table 18 so that the support table 12 can be moved.

【0021】治具10に対向してワークテーブル2の半
径方向内方に配設された他方の治具20は、図4および
図6に図示するように、記録ヘッドユニット100を取
り付けるための治具であって、記録ヘッドユニット10
0の下面を受けて支持する支持面22と記録ヘッドユニ
ット100のy方向の位置決めの基準となるy基準面2
3を有する治具ベース21と、この治具ベース21に固
定されたシリンダー24のピストンロッド24aに連結
されてシリンダー24の作動によりy方向に移動し得る
ように構成された作動爪体25とを備え、作動爪体25
は平面視コ字状に形成され、その両先端部には係合爪2
5a、25b(なお、係合爪25bは不図示)を有して
いる。供給ステーション30において、記録ヘッドユニ
ット100が治具20の治具ベース21の支持面22に
載置されるとき、シリンダー24の作動により作動爪体
25がy方向に移動され、その両先端部の両係合爪25
a、25bは記録ヘッドユニット100の両側面の位置
決め用の凸部101a、101bにそれぞれ係合して、
記録ヘッドユニット100をy方向に移動させて、その
背面を治具ベース21のy基準面23に押し当てて位置
決めする。このとき、記録ヘッドユニット100のx方
向の位置は、作動爪体25の両係合爪25a、25bの
間隔幅と記録ヘッドヘッドユニット100のx方向の外
形がわずかな隙間にて嵌合するように両係合爪25a、
25bの間隔幅を設定しておくことにより、記録ヘッド
ユニット100のx方向の位置はがたつきのない状態で
位置決めされる。
The other jig 20 disposed radially inward of the work table 2 opposite to the jig 10 has a jig for mounting the recording head unit 100 as shown in FIGS. A recording head unit 10
0 and a y reference surface 2 serving as a reference for positioning the print head unit 100 in the y direction.
3 and an operating claw body 25 connected to a piston rod 24a of a cylinder 24 fixed to the jig base 21 and configured to be movable in the y-direction by the operation of the cylinder 24. Equipped, operating claw body 25
Are formed in a U-shape in plan view, and engaging tips 2
5a and 25b (the engaging claws 25b are not shown). When the recording head unit 100 is placed on the support surface 22 of the jig base 21 of the jig 20 at the supply station 30, the operation claw 25 is moved in the y direction by the operation of the cylinder 24, and the both ends of the claw 25 are moved. Double engaging claw 25
a and 25b engage with the positioning projections 101a and 101b on both sides of the recording head unit 100, respectively.
The recording head unit 100 is moved in the y direction, and the back surface thereof is pressed against the y reference surface 23 of the jig base 21 for positioning. At this time, the position of the recording head unit 100 in the x direction is set so that the gap between the two engaging claws 25a and 25b of the operating claw body 25 and the outer shape of the recording head head unit 100 in the x direction are fitted with a small gap. To both engagement claws 25a,
By setting the interval width of 25b, the position of the recording head unit 100 in the x direction is determined without rattling.

【0022】供給ステーション30は、図1に図示する
ように、記録ヘッドユニット100およびACF付き樹
脂基板200をそれぞれ収納するマガジン33、34お
よびハンド手段32を有する搬送用ロボット31が配設
されており、搬送用ロボット31は、そのハンド手段3
2によりマガジン33、34に収納されている記録ヘッ
ドユニット100およびACF付き樹脂基板200をそ
れぞれ把持して、ワークテーブル2上の治具20、10
へ供給する。
As shown in FIG. 1, the supply station 30 is provided with magazines 33 and 34 for accommodating the recording head unit 100 and the resin substrate 200 with the ACF, respectively, and a transfer robot 31 having hand means 32. , The transfer robot 31 has its hand means 3
2, the recording head unit 100 and the resin substrate 200 with the ACF accommodated in the magazines 33 and 34 are gripped, and the jigs 20 and 10 on the work table 2 are held.
Supply to

【0023】回路パターン位置合わせステーション40
は、図1、図2および図7に図示するように、治具外部
駆動装置41、治具ロック開閉装置42、および画像処
理装置46に接続されたカメラ等の観察光学系45が配
設されており、治具外部駆動装置41は、x方向に移動
可能な1軸ステージ47と、1軸ステージ47を駆動す
るステッピングモーター47aと、1軸ステージ47に
固定されたシリンダー44と、シリンダー44の作動に
より伸縮動する位置決めロッド43とから構成され、架
台1に固定された1軸ステージ駆動用のステッピングモ
ーター47aは、コントローラ48に接続され、コント
ローラ48からの指令に応じて1軸ステージ47をx方
向に移動させるように構成されており、シリンダー44
は、位置決めロッド43が治具10の支持テーブル12
のV字状の窪み19に係合しうるように、1軸ステージ
47上に位置付けられて配設されている。また、治具ロ
ック開閉装置42は、治具10のロック機構16に対応
する部位の下方に設けられ、突き上げロッド42aとこ
の突き上げロッド42aを駆動するシリンダー42bと
から構成されており、回路パターンの位置合わせ時に、
シリンダー42bの作動により突き上げロッド42aが
z方向へ上昇されることにより、治具10のロック機構
16を、下方から突き上げばね17の付勢力に抗して上
方へ移動させ、ロックパッド16aを支持テーブル12
の段差面18から離間させて、支持テーブル12のロッ
クを解除し、支持テーブル12のx方向の移動を可能と
する。すなわち、回路パターンの位置合わせを可能にす
るものである。そして、カメラ等の観察光学系45は、
架台1に立設された支柱1aに固定され、両回路基板の
回路パターン部を観察しうるようにワークテーブル2の
上方に配設されており、移送されてくる記録ヘッドユニ
ット100のTAB回路パターン部104とACF付き
樹脂基板200の回路パターン部202を観察し、その
画像情報を画像処理装置46に送信するように構成され
ている。画像処理装置46は、観察光学系45により観
察された画像情報から両者の回路パターン部104、2
02の重なり幅を算出し、コントローラ48において、
その算出値と予め設定されている回路パターンの重なり
幅とを比較し、その比較結果に基づいて、1軸ステージ
駆動用のステッピングモーター47aを適宜作動させ
て、1軸ステージ47とともに治具10の支持テーブル
12を位置決めロッド43を介して移動させて、画像情
報から算出される値が予め設定された重なり幅に一致さ
せあるいはそれよりも小さくなるように制御するように
構成されている。
Circuit pattern positioning station 40
As shown in FIGS. 1, 2, and 7, a jig external drive device 41, a jig lock opening / closing device 42, and an observation optical system 45 such as a camera connected to an image processing device 46 are provided. The jig external drive device 41 includes a single-axis stage 47 movable in the x direction, a stepping motor 47 a for driving the single-axis stage 47, a cylinder 44 fixed to the single-axis stage 47, and a cylinder 44. A stepping motor 47a for driving a one-axis stage, which is composed of a positioning rod 43 which expands and contracts by operation and is fixed to the gantry 1, is connected to a controller 48, and drives the one-axis stage 47 in response to a command from the controller 48. The cylinder 44
The positioning rod 43 is mounted on the support table 12 of the jig 10.
Are arranged on the one-axis stage 47 so as to be able to engage with the V-shaped recess 19. The jig lock opening / closing device 42 is provided below a portion of the jig 10 corresponding to the lock mechanism 16 and includes a push-up rod 42a and a cylinder 42b that drives the push-up rod 42a. When aligning,
When the push-up rod 42a is raised in the z direction by the operation of the cylinder 42b, the lock mechanism 16 of the jig 10 is moved upward from below against the urging force of the push-up spring 17, and the lock pad 16a is supported. 12
The lock of the support table 12 is released by moving the support table 12 away from the stepped surface 18 of the above, and the support table 12 can be moved in the x direction. That is, it enables the alignment of the circuit pattern. The observation optical system 45 such as a camera
The TAB circuit pattern of the recording head unit 100 which is fixed to the support 1a erected on the gantry 1 and is disposed above the work table 2 so that the circuit pattern portions of both circuit boards can be observed. The configuration is such that the portion 104 and the circuit pattern portion 202 of the resin substrate 200 with ACF are observed, and the image information thereof is transmitted to the image processing device 46. The image processing device 46 extracts the circuit pattern portions 104, 2 of the two from the image information observed by the observation optical system 45.
02 is calculated, and the controller 48 calculates
The calculated value is compared with a preset overlap width of the circuit pattern, and based on the comparison result, the stepping motor 47a for driving the one-axis stage is appropriately operated, and the jig 10 is moved together with the one-axis stage 47. The support table 12 is moved via the positioning rod 43 so that the value calculated from the image information is controlled to be equal to or smaller than a preset overlap width.

【0024】熱圧着ステーション50は、図1、図2お
よび図8に図示するように、架台1に立設された支柱1
bに取り付けられたシリンダー54により上下動可能に
支持された加熱加圧ヘッド51およびコントローラ48
により制御されるヒーターコントローラ53によって予
め設定された温度に加熱されるヒーター52を備え、ヒ
ーター52により加熱される加熱加圧ヘッド51は、シ
リンダー54の作動により下降して、回路パターン位置
合わせステーション40で位置合わせされた治具10お
よび20上のTAB回路パターン部104とACF付き
樹脂基板200の回路パターン部202を異方導電フィ
ルム(ACF)210を介して熱圧着するように構成さ
れている。
As shown in FIGS. 1, 2 and 8, the thermocompression bonding station 50 includes a support 1 erected on the gantry 1.
b, a heating and pressing head 51 and a controller 48 movably supported by a cylinder 54 attached to the
The heater 52 is heated to a temperature set in advance by a heater controller 53 controlled by the heater 52. The heating / pressing head 51 heated by the heater 52 is lowered by the operation of the cylinder 54, and the circuit pattern alignment station 40 The TAB circuit pattern portion 104 on the jigs 10 and 20 and the circuit pattern portion 202 of the resin substrate 200 with ACF are thermocompressed via an anisotropic conductive film (ACF) 210.

【0025】そして、完成品排出ステーション60は、
図1および図2に図示するように、回路パターン部が熱
圧着され一体化されたACF付き樹脂基板200と記録
ヘッドユニット100をワークテーブル2上のそれぞれ
の治具10、20から取り出すためのハンド手段62を
備えた搬送用ロボット61および一体化された記録ヘッ
ドユニット100と樹脂基板200を収納するマガジン
63が配設されている。
Then, the finished product discharging station 60
As shown in FIGS. 1 and 2, a hand for removing the resin substrate 200 with the ACF and the integrated recording head unit 100 from the respective jigs 10 and 20 on the work table 2 by thermocompression bonding of the circuit pattern portion. A transport robot 61 having means 62 and a magazine 63 for accommodating the integrated recording head unit 100 and the resin substrate 200 are provided.

【0026】次に、上記のように構成された本発明の回
路基板接合装置により相対向する回路基板の回路パター
ンを接合する態様を説明する。
Next, an embodiment in which the circuit patterns of the circuit boards facing each other are joined by the circuit board joining apparatus of the present invention configured as described above will be described.

【0027】先ず、供給ステーション30において、マ
ガジン34、33にそれぞれ収納されているACF付き
樹脂基板200、記録ヘッドユニット100を、搬送用
ロボット31のハンド手段32により把持して、ワーク
テーブル2上の治具10、20に順次供給する。ACF
付き樹脂基板200は、図5に図示するように、その位
置決め穴204a、204bが治具10の支持テーブル
12上に設けられている位置決めピン12a、12bに
それぞれ嵌合するように治具20にセットされる。な
お、治具10の支持テーブル12はロック機構16によ
りロックされた状態にある。そして、記録ヘッドユニッ
ト100は、図6に図示するように、治具20の治具ベ
ース21の支持面22に載置され、その後、シリンダー
24の作動により、作動爪体25がy方向に移動され、
その先端の両係合爪25a、25bは記録ヘッドユニッ
ト100の両側面に設けられている位置決め用の凸部1
01a、101bに係合して、記録ヘッドユニット10
0をy方向に移動させ、その背面を治具ベース21のy
基準面23に押し当てて位置決めする。このとき、記録
ヘッドユニット100のx方向の位置は、作動爪体15
の両係合爪25a、25bの間隔幅が記録ヘッドヘッド
ユニット100のx方向の外形にわずかな隙間にて嵌合
するように両係合爪25a、25bの間隔幅が設定され
ていることにより、記録ヘッドユニット100のx方向
の位置はがたつきのない状態で位置決めされる。
First, at the supply station 30, the resin substrate 200 with ACF and the recording head unit 100 stored in the magazines 34 and 33 are gripped by the hand means 32 of the transfer robot 31 and The jigs 10 and 20 are sequentially supplied. ACF
As shown in FIG. 5, the resin substrate 200 is attached to the jig 20 such that the positioning holes 204 a and 204 b are fitted to the positioning pins 12 a and 12 b provided on the support table 12 of the jig 10. Set. Note that the support table 12 of the jig 10 is locked by the lock mechanism 16. Then, the recording head unit 100 is mounted on the support surface 22 of the jig base 21 of the jig 20 as shown in FIG. And
The two engaging claws 25a and 25b at the ends thereof are positioning protrusions 1 provided on both side surfaces of the recording head unit 100.
01a, 101b and the recording head unit 10
0 in the y direction, and the back surface of the jig base 21
It is positioned by pressing against the reference surface 23. At this time, the position of the recording head unit 100 in the x direction is
The width of the gap between the two engaging claws 25a and 25b is set so that the gap between the two engaging claws 25a and 25b fits into the outer shape of the recording head head unit 100 in the x direction with a small gap. The position of the recording head unit 100 in the x direction is determined without rattling.

【0028】かくして、ACF付き樹脂基板200と記
録ヘッドユニット100は、図4に破線で図示するよう
に、それぞれの治具10、20にセットされ、TAB回
路パターン部104と樹脂基板回路パターン部202が
異方導電フィルム210を挟んで上下に重なる位置関係
に配置される。
Thus, the resin substrate 200 with ACF and the recording head unit 100 are set on the respective jigs 10 and 20 as shown by broken lines in FIG. 4, and the TAB circuit pattern portion 104 and the resin substrate circuit pattern portion 202 are set. Are arranged in a positional relationship of vertically overlapping each other with the anisotropic conductive film 210 interposed therebetween.

【0029】その後、ワークテーブル2は、ダイレクト
ドライブモーター3の駆動によるテーブル割り出しによ
って回転され、治具10、20にそれぞれセットされた
樹脂基板200と記録ヘッドユニット100は回路パタ
ーン位置合わせステーション40へ移送され、その所定
の作業位置に位置決めされる。なお、このとき、供給ス
テーション30には新たな一組の治具10、20がもた
らされて位置決めされ、その一組の治具10、20へ前
述したと同様に新たな樹脂基板200と記録ヘッドユニ
ット100が供給され、セットされる。
Thereafter, the work table 2 is rotated by indexing the table by driving the direct drive motor 3, and the resin substrate 200 and the recording head unit 100 set on the jigs 10 and 20 are transferred to the circuit pattern positioning station 40. And is positioned at the predetermined working position. At this time, a new set of jigs 10 and 20 are brought to the supply station 30 and positioned, and the new set of jigs 10 and 20 are recorded on the new set of jigs 10 and 20 in the same manner as described above. The head unit 100 is supplied and set.

【0030】回路パターン位置合わせステーション40
において、ACF付き樹脂基板200を保持する治具1
0のロック機構16は、架台1上に固定されている治具
ロック開閉装置42のシリンダー42bの作動により突
き上げロッド42aが上昇することによって、ばね17
の付勢力に抗して上昇されて、ロック機構16のロック
パッド16aが支持テーブル12の段差面18から離れ
ることにより支持テーブル12のロックが解除される。
そして、治具外部駆動装置41における1軸ステージ4
7に固定されたシリンダー44の作動により位置決めロ
ッド43が伸長され、治具10の支持テーブル12のV
字状の窪み19に嵌合する。これにより、治具10の支
持テーブル12の位置は、1軸ステージ47の位置に合
わせられる。その後に、カメラ等の観察光学系45によ
り、記録ヘッドユニット100のTAB回路パターン部
104とACF付き樹脂基板200の回路パターン部2
02を観察し、その画像情報を画像処理装置46に送信
する。画像処理装置46は観察光学系45により観察さ
れた画像情報から両者の回路パターン部の重なり幅を算
出し、コントローラ48において、画像処理され算出さ
れた重なり幅を予め設定されている回路パターンの重な
り幅と比較し、その比較結果に基づいて、1軸ステージ
駆動用のステッピングモーター47aを動作させて、1
軸ステージ47をx方向に移動させ、同時に位置決めロ
ッド43を介して支持テーブル12を一体的にx方向へ
移動させる。このようにして、ACF付き樹脂基板20
0の回路パターン部202がTAB回路パターン部10
4に対して適宜x方向に移動されて、TAB回路パター
ン部104と回路パターン部202との位置合わせが精
度良く行なわれる。そして、位置合わせが終了した後
に、治具ロック開閉装置42の突き上げロッド42aを
下降させることにより、ロック機構16はばね17の付
勢力により下降して、ロックパッド16aが支持テーブ
ル12の段差面18を押圧して支持テーブル12を再度
ロックする。次いで、治具外部駆動装置41の位置決め
ロッド43をシリンダー41により後退させる。こうし
て、ACF付き樹脂基板200は、その回路パターン部
202が記録ヘッドユニット100のTAB回路パター
ン部104に精度良く位置合わせがなされた状態で固定
される。
Circuit pattern alignment station 40
Jig 1 for holding resin substrate 200 with ACF
The lock mechanism 16 of the jig 0 is moved up by the push-up rod 42 a by the operation of the cylinder 42 b of the jig lock opening / closing device 42 fixed on the gantry 1.
And the lock pad 16a of the lock mechanism 16 is separated from the step surface 18 of the support table 12, whereby the lock of the support table 12 is released.
Then, the one-axis stage 4 in the jig external drive device 41
The positioning rod 43 is extended by the operation of the cylinder 44 fixed to 7, and the V of the support table 12 of the jig 10 is adjusted.
It fits into the letter-shaped depression 19. Thus, the position of the support table 12 of the jig 10 is adjusted to the position of the one-axis stage 47. Thereafter, the TAB circuit pattern portion 104 of the recording head unit 100 and the circuit pattern portion 2 of the resin substrate 200 with the ACF are operated by the observation optical system 45 such as a camera.
02 is observed, and the image information is transmitted to the image processing device 46. The image processing device 46 calculates the overlap width of the two circuit pattern portions from the image information observed by the observation optical system 45, and the controller 48 sets the overlap width calculated by the image processing to the overlap of the preset circuit pattern. The stepping motor 47a for driving the one-axis stage is operated based on the comparison result,
The axis stage 47 is moved in the x direction, and at the same time, the support table 12 is integrally moved in the x direction via the positioning rod 43. Thus, the resin substrate 20 with the ACF
0 circuit pattern section 202 is the TAB circuit pattern section 10
4 is appropriately moved in the x direction, and the TAB circuit pattern portion 104 and the circuit pattern portion 202 are accurately aligned. Then, after the positioning is completed, by lowering the push-up rod 42a of the jig lock opening / closing device 42, the lock mechanism 16 is lowered by the urging force of the spring 17, and the lock pad 16a is moved to the step surface 18 of the support table 12. To lock the support table 12 again. Next, the positioning rod 43 of the jig external drive device 41 is moved backward by the cylinder 41. Thus, the resin substrate 200 with the ACF is fixed in a state where the circuit pattern portion 202 is accurately aligned with the TAB circuit pattern portion 104 of the recording head unit 100.

【0031】回路パターン位置合わせステーション40
で位置合わせされた治具10、20上の樹脂基板200
と記録ヘッドユニット100は、ダイレクトドライブモ
ーター3の駆動によるテーブル割り出しによって、治具
10、20とともに回転され、熱圧着ステーション50
へ移送され、位置決めされる。
Circuit pattern alignment station 40
Resin substrate 200 on jigs 10 and 20 aligned with each other
The recording head unit 100 is rotated together with the jigs 10 and 20 by indexing the table by driving the direct drive motor 3, and
Transferred to and positioned.

【0032】熱圧着ステーション50において、ヒータ
ーコントローラ53によって予め設定された温度に加熱
されているヒーター52により加熱される加熱加圧ヘッ
ド51が、シリンダー54の作動により下降し、回路パ
ターン位置合わせステーション40で位置合わせされた
TAB回路パターン部104とACF付き樹脂基板20
0の回路パターン部202を異方導電フィルム210を
介して熱圧着する。これによって、TAB回路パターン
とACF付き樹脂基板の回路パターンは異方導電フィル
ムを介して電気的導通が可能となる。そして、加熱加圧
ヘッド51をシリンダー54の作動により上昇させて、
熱圧着ステーションの作業は終了する。
At the thermocompression bonding station 50, the heating / pressing head 51 heated by the heater 52 heated to a temperature preset by the heater controller 53 is lowered by the operation of the cylinder 54, and the circuit pattern alignment station 40 TAB circuit pattern portion 104 and resin substrate 20 with ACF aligned in step
The 0 circuit pattern portion 202 is thermocompression-bonded via the anisotropic conductive film 210. Thereby, the TAB circuit pattern and the circuit pattern of the resin substrate with ACF can be electrically connected via the anisotropic conductive film. Then, the heating / pressing head 51 is raised by the operation of the cylinder 54,
The operation of the thermocompression station ends.

【0033】その後、熱圧着ステーション50にて熱圧
着されて一体化された記録ヘッドユニット100と樹脂
基板200は、ダイレクトドライブモーター3の駆動に
よって、完成品排出ステーション60へ移送され、そこ
で、図1および図2に図示するように、搬送用ロボット
61のハンド手段62によって、治具10、20から取
り出され、完成品としてマガジン63に収納される。
Thereafter, the recording head unit 100 and the resin substrate 200 which have been integrated by thermocompression bonding at the thermocompression bonding station 50 are transferred to the finished product discharge station 60 by the drive of the direct drive motor 3, where the FIG. 2, as shown in FIG. 2, the jigs 10 and 20 are taken out of the jigs 10 and 20 by the hand means 62 of the transfer robot 61 and stored in the magazine 63 as a finished product.

【0034】以上のように、本発明の回路基板接合装置
によれば、回路電極部を異方導電フィルムを介して接合
する2枚の回路基板をそれぞれセットする治具を複数組
割り出し可能な回転型のワークテーブルに配置するとと
もに、一方の治具に回路電極部の配列方向に移動可能な
1軸移動機構とそのロック機構を設け、そして、ワーク
テーブルのまわりに沿って回路基板供給ステーション、
回路電極位置合わせステーション、熱圧着ステーション
等を配設し、回路電極位置合わせステーションには1つ
の観察光学系と1つの外部駆動装置と1つの治具ロック
開閉装置を設置し、熱圧着ステーションには1つの加熱
加圧ヘッドを設置することにより、回路基板の位置合わ
せと熱圧着およびその他の工程をワークテーブルの割り
出し回転に応じて順次行なうことができ、しかも、従来
のように高額な駆動付きの1軸テーブルを付設した回路
基板用の治具をワークテーブル上に複数設置する必要が
なく、装置コストを低く抑えて生産性を大きく向上させ
ることができる。また、各ステーションの作動動作は、
複数組の回路基板保持用の治具をワークテーブルに設置
したことにより、それぞれのステーションにおいて並行
して行うことができる。
As described above, according to the circuit board joining apparatus of the present invention, a plurality of sets of jigs for setting two circuit boards for joining the circuit electrode portions via the anisotropic conductive film can be divided. One jig is provided with a one-axis moving mechanism and a locking mechanism capable of moving in the arrangement direction of the circuit electrode portion, and a circuit board supply station is provided along the periphery of the work table.
A circuit electrode positioning station, thermocompression station, etc. are provided. One observation optical system, one external drive device and one jig lock opening / closing device are installed at the circuit electrode positioning station, and the thermocompression station is installed at the thermocompression station. By installing one heating / pressing head, positioning of the circuit board, thermocompression bonding, and other processes can be performed sequentially according to the indexing rotation of the work table. There is no need to install a plurality of jigs for a circuit board provided with a single-axis table on a work table, so that the apparatus cost can be reduced and productivity can be greatly improved. The operation of each station is
By installing a plurality of sets of jigs for holding a circuit board on the work table, the jigs can be performed in each station in parallel.

【0035】[0035]

【発明の効果】以上説明したように、本発明の回路基板
接合装置によれば、回路基板の位置合わせと熱圧着およ
びその他の工程を並行して順次行なうことができ、小さ
な装置コストの上昇にて大幅な生産性の向上を図ること
ができる。
As described above, according to the circuit board bonding apparatus of the present invention, the positioning of the circuit board and the thermocompression bonding and other steps can be sequentially performed in parallel, thereby reducing the cost of the apparatus. Thus, the productivity can be greatly improved.

【0036】また、樹脂基板用の治具に1軸移動機構と
そのロック機構を設け、観察光学系を設置した部位に外
部駆動装置とロック開閉装置を配置して、回路パターン
の位置合わせを行なうようにしたことにより、従来のよ
うに高額な駆動付きの1軸テーブルを付設した回路基板
用の治具をワークテーブル上に複数設置する必要がな
く、低コストの装置が実現できる。
Further, a jig for the resin substrate is provided with a one-axis moving mechanism and a lock mechanism for the same, and an external driving device and a lock opening / closing device are arranged at a portion where the observation optical system is installed, thereby performing circuit pattern alignment. By doing so, it is not necessary to dispose a plurality of jigs for a circuit board provided with a single-axis table with an expensive drive on a work table as in the related art, and a low-cost apparatus can be realized.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の回路基板接合装置の構成を示す概略的
な平面図である。
FIG. 1 is a schematic plan view showing a configuration of a circuit board bonding apparatus of the present invention.

【図2】本発明の回路基板接合装置の構成を一部を省略
して示す概略的な側面図である。
FIG. 2 is a schematic side view showing a configuration of a circuit board bonding apparatus of the present invention, with a part thereof being omitted;

【図3】本発明の回路基板接合装置により回路電極が接
合される液体噴射記録ヘッドの記録ヘッドユニットおよ
び樹脂基板の概略的な斜視図である。
FIG. 3 is a schematic perspective view of a recording head unit and a resin substrate of a liquid jet recording head to which circuit electrodes are joined by the circuit board joining apparatus of the present invention.

【図4】記録ヘッドユニット取り付け用の治具と樹脂基
板取り付け用の治具の配置関係を示す模式的な側面図で
ある。
FIG. 4 is a schematic side view showing a positional relationship between a jig for attaching a recording head unit and a jig for attaching a resin substrate.

【図5】樹脂基板取り付け用の治具に樹脂基板をセット
した状態を図示する斜視図である。
FIG. 5 is a perspective view illustrating a state where the resin substrate is set on a jig for mounting the resin substrate.

【図6】記録ヘッドユニット取り付け用の治具に記録ヘ
ッドユニットをセットした状態を図示する斜視図であ
る。
FIG. 6 is a perspective view illustrating a state where the recording head unit is set on a jig for attaching the recording head unit.

【図7】本発明の回路基板接合装置における回路パター
ン位置合わせステーションの構成を図示する概略的な側
面図である。
FIG. 7 is a schematic side view illustrating a configuration of a circuit pattern alignment station in the circuit board bonding apparatus of the present invention.

【図8】本発明の回路基板接合装置における熱圧着ステ
ーションの構成を図示する概略的な側面図である。
FIG. 8 is a schematic side view illustrating a configuration of a thermocompression bonding station in the circuit board bonding apparatus of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 架台 2 ワークテーブル 3 ダイレクトドライブモーター 10 (ACF付き樹脂基板用)治具 11 治具ベース 12 支持テーブル 13 直線ガイド 16 ロック機構 19 V字状の窪み 20 (記録ヘッドユニット用)治具 21 治具ベース 23 y基準面 25 作動爪体 30 供給ステーション 40 回路パターン位置合わせステーション 41 治具外部駆動装置 42 治具ロック開閉装置 43 位置決めロッド 45 観察光学系(カメラ) 46 画像処理装置 47 1軸ステージ 47a ステッピングモーター 48 コントローラ 50 熱圧着ステーション 51 加熱加圧ヘッド 52 ヒーター 53 ヒーターコントローラ 60 完成品排出ステーション 100 記録ヘッドユニット 101 記録ヘッド本体 102 ウエハチップ 103 フレキシブル回路基板 104 TAB回路パターン部 200 異方導電フィルム(ACF)付き樹脂基板 201 樹脂基板 202 回路パターン部 210 異方導電フィルム Reference Signs List 1 base 2 work table 3 direct drive motor 10 jig (for resin substrate with ACF) 11 jig base 12 support table 13 linear guide 16 lock mechanism 19 V-shaped recess 20 (for recording head unit) jig 21 jig Base 23 y Reference surface 25 Working claw body 30 Supply station 40 Circuit pattern positioning station 41 Jig external drive device 42 Jig lock opening / closing device 43 Positioning rod 45 Observation optical system (camera) 46 Image processing device 47 1-axis stage 47a Stepping Motor 48 Controller 50 Thermocompression bonding station 51 Heating / pressing head 52 Heater 53 Heater controller 60 Finished product discharge station 100 Recording head unit 101 Recording head body 102 Wafer chip 103 Flexible Road substrate 104 TAB circuit pattern portion 200 anisotropic conductive film (ACF) with the resin substrate 201 resin substrate 202 circuit pattern portion 210 anisotropically conductive film

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 異方導電フィルムを介して相対向する回
路基板の複数の電極部を熱圧着により接続する回路基板
接合装置において、 電極部を有する回路基板を相対向するようにそれぞれ保
持する第1および第2の一組の保持手段を移動可能なワ
ークテーブル上に等間隔に複数組配置するとともに、前
記ワークテーブルの移動にともなって移動する前記保持
手段の移動経路に沿って回路基板の電極部の位置合わせ
を行なう電極位置合わせ手段と相対向する電極部を熱圧
着して接続する加熱加圧手段を配設し、 前記一組の保持手段の第1の保持手段は、接続する電極
の配列方向に移動可能な移動機構と、該移動機構の移動
を拘束しロックするロック機構とを有し、 前記電極位置合わせ手段は、前記第1および第2の一組
の保持手段にそれぞれ保持される回路基板の各電極部の
重なり具合を検出する検出手段と、前記第1の保持手段
のロック機構を開閉するロック開閉手段と、前記移動機
構を外部から移動させる外部駆動手段と、該外部駆動手
段の作動を前記検出手段からの検出情報に基づいて制御
する制御手段とを有していることを特徴とする異方導電
フィルムを用いた回路基板接合装置。
1. A circuit board joining apparatus for connecting a plurality of electrode portions of a circuit board facing each other via an anisotropic conductive film by thermocompression bonding, wherein a circuit board having an electrode section is held so as to face each other. A plurality of first and second sets of holding means are arranged at equal intervals on a movable worktable, and the electrodes of the circuit board are moved along the movement path of the holding means moving with the movement of the worktable. An electrode positioning means for positioning the electrodes and a heating and pressurizing means for connecting the opposing electrode parts by thermocompression bonding, wherein the first holding means of the set of holding means comprises A moving mechanism movable in the arrangement direction, and a lock mechanism for restraining and locking movement of the moving mechanism, wherein the electrode positioning means is held by the first and second sets of holding means, respectively. Detecting means for detecting the degree of overlap of the respective electrode portions of the circuit board to be operated, lock opening / closing means for opening / closing a lock mechanism of the first holding means, external driving means for moving the moving mechanism from outside, Control means for controlling the operation of the driving means based on the detection information from the detection means. A circuit board bonding apparatus using an anisotropic conductive film.
【請求項2】 ワークテーブルは均等割り出し可能な回
転テーブルであり、第1および第2の保持手段を前記回
転テーブル上にそれぞれ同一円心上に等間隔に複数配置
したことを特徴とする請求項1記載の異方導電フィルム
を用いた回路基板接合装置。
2. The worktable is a rotary table that can be uniformly indexed, and a plurality of first and second holding means are arranged on the rotary table at equal intervals on the same circle. A circuit board bonding apparatus using the anisotropic conductive film according to 1.
【請求項3】 電極部を有する回路基板を第1および第
2の一組の保持手段へそれぞれ供給するための供給手段
と、電極部が接合された回路基板を第1および第2の一
組の保持手段から排出するための排出手段をさらにワー
クテーブルの移動にともなって移動する前記保持手段の
移動経路に沿って配設したことを特徴とする請求項1ま
たは2記載の異方導電フィルムを用いた回路基板接合装
置。
3. A supply means for supplying a circuit board having an electrode portion to a first and a second set of holding means, respectively, and a circuit board to which the electrode section is joined is provided by a first and a second set. 3. An anisotropic conductive film according to claim 1, wherein a discharge means for discharging from the holding means is further arranged along a movement path of the holding means which moves along with movement of the work table. Circuit board bonding equipment used.
【請求項4】 接合される回路基板の一方が記録ヘッド
本体に実装された発熱素子を形成したウエハチップに接
合されたフレキシブル回路基板であり、他方の回路基板
は回路パターンを有する樹脂基板であることを特徴とす
る請求項1ないし3のいずれか1項記載の異方導電フィ
ルムを用いた回路基板接合装置。
4. One of the circuit boards to be joined is a flexible circuit board joined to a wafer chip formed with a heating element mounted on a print head main body, and the other circuit board is a resin board having a circuit pattern. A circuit board joining apparatus using the anisotropic conductive film according to claim 1.
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