JPH11168024A - Manufacturing method of multilayer ceramic electronic component - Google Patents
Manufacturing method of multilayer ceramic electronic componentInfo
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- JPH11168024A JPH11168024A JP9333868A JP33386897A JPH11168024A JP H11168024 A JPH11168024 A JP H11168024A JP 9333868 A JP9333868 A JP 9333868A JP 33386897 A JP33386897 A JP 33386897A JP H11168024 A JPH11168024 A JP H11168024A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 薄層、高積層化対応の積層セラミック電子部
品において、ショート不良及びデラミネーション不良の
発生を防止する積層セラミック電子部品の製造方法を提
供することを目的とする。
【解決手段】 セラミック粉末、バインダ、及び可塑剤
からなる緻密な第一のセラミックシート3と、同組成で
第一のセラミックシートより空隙率の多い第二のセラミ
ックシート2と内部電極4で構成する積層体において、
前記第一のセラミックシート3面に内部電極4を印刷
し、次に印刷された内部電極4面に第二のセラミックシ
ート2を積層する。このようにして第一のセラミックシ
ート3、内部電極4、第二のセラミックシート2と順次
繰返し複数層積層して作製したグリーン積層体を所定形
状に切断後、所定温度で焼成を行う。
(57) [Problem] To provide a method for manufacturing a multilayer ceramic electronic component which prevents occurrence of short-circuit failure and delamination failure in a multilayer ceramic electronic component compatible with thin layers and high lamination. SOLUTION: It comprises a dense first ceramic sheet 3 composed of a ceramic powder, a binder and a plasticizer, a second ceramic sheet 2 having the same composition and a higher porosity than the first ceramic sheet, and an internal electrode 4. In the laminate,
The internal electrodes 4 are printed on the first ceramic sheet 3 and the second ceramic sheet 2 is laminated on the printed internal electrodes 4. The green laminated body produced by repeatedly repeating the first ceramic sheet 3, the internal electrode 4, and the second ceramic sheet 2 in a plurality of layers in this manner is cut into a predetermined shape, and then fired at a predetermined temperature.
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は例えば積層セラミッ
クコンデンサ(以下、積層コンデンサと称する)のよう
に内部電極を有する積層セラミック電子部品の製造方法
に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for manufacturing a multilayer ceramic electronic component having internal electrodes, such as a multilayer ceramic capacitor (hereinafter referred to as a multilayer capacitor).
【0002】[0002]
【従来の技術】従来の技術を積層コンデンサを例に説明
する。2. Description of the Related Art The prior art will be described by taking a multilayer capacitor as an example.
【0003】図4は従来の積層コンデンサのグリーンチ
ップの一部断面図であり、図5は従来の積層コンデンサ
の断面図である。図4において、11はグリーンチッ
プ、12はセラミックシート、13は内部電極、14は
無効層であり、図5において、15は外部電極、16は
積層コンデンサである。FIG. 4 is a partial sectional view of a green chip of a conventional multilayer capacitor, and FIG. 5 is a sectional view of a conventional multilayer capacitor. 4, 11 is a green chip, 12 is a ceramic sheet, 13 is an internal electrode, 14 is an ineffective layer, and in FIG. 5, 15 is an external electrode and 16 is a multilayer capacitor.
【0004】従来の積層コンデンサ16は、セラミック
粉末、バインダ、及び可塑剤からなるセラミックシート
12上に内部電極13を印刷し、この内部電極13上に
更に前記セラミックシート12を積層し、次いで積層し
た前記セラミックシート12上に内部電極13を印刷す
るというように、セラミックシート12及び内部電極1
3を交互に複数層積層して作成したグリーンチップ11
を所定温度で焼成を行った後両端部に外部電極15を設
けて得ていた。In a conventional multilayer capacitor 16, an internal electrode 13 is printed on a ceramic sheet 12 made of a ceramic powder, a binder, and a plasticizer, and the ceramic sheet 12 is further laminated on the internal electrode 13, and then laminated. The internal electrode 13 is printed on the ceramic sheet 12 such that the internal electrode 13 is printed on the ceramic sheet 12.
Green chips 11 formed by alternately laminating a plurality of layers 3
Was fired at a predetermined temperature, and then external electrodes 15 were provided at both ends.
【0005】尚、内部電極13は、両端部の前記外部電
極15に交互に電気的に接続するように印刷していた。The internal electrodes 13 are printed so as to be electrically connected alternately to the external electrodes 15 at both ends.
【0006】[0006]
【発明が解決しようとする課題】前記のような従来の積
層コンデンサ16では、小型大容量化に伴うセラミック
シート12の薄層化対応に伴い、セラミックシート12
に内部電極13ペーストが滲み込み、内部電極13間で
短絡不良(ショート)が発生するという問題点があっ
た。また、この対策としてセラミックシート12を緻密
化し、内部電極13ペーストの滲み込みを防止したもの
を用いると、セラミックシート12の圧縮性が低下する
ため、高積層になるに従って内部電極13の厚みによる
段差を吸収することができず、積層したセラミックシー
ト12同士の接着性が低下し、内部構造欠陥(デラミネ
ーション)発生の原因の一つとなっていた。In the conventional multilayer capacitor 16 as described above, the ceramic sheet 12 needs to be made thinner as the size of the ceramic sheet 12 becomes smaller due to the increase in size and capacity.
In this case, there is a problem that the internal electrode 13 paste seeps and a short circuit occurs between the internal electrodes 13. As a countermeasure, if the ceramic sheet 12 is densified to prevent penetration of the internal electrode 13 paste, the compressibility of the ceramic sheet 12 is reduced. , The adhesiveness between the laminated ceramic sheets 12 was reduced, and this was one of the causes of the occurrence of internal structural defects (delamination).
【0007】本発明は前記問題点を解消し薄層、高積層
化対応においても内部電極13間のショートを防止し、
またデラミネーション不良の発生しない積層セラミック
電子部品の製造方法を提供することを目的とするもので
ある。The present invention solves the above-mentioned problems and prevents short-circuiting between the internal electrodes 13 even in thin layers and high lamination.
It is another object of the present invention to provide a method for manufacturing a multilayer ceramic electronic component free from delamination failure.
【0008】[0008]
【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
に本発明は、セラミック層と内部電極とを交互に積層し
た積層体であって、前記セラミック層は緻密な第一のセ
ラミックシートと、この第一のセラミックシートよりも
空隙率の多い第二のセラミックシートとからなり、前記
第一のセラミックシート、前記内部電極、前記第二のセ
ラミックシートを上述の順に繰返し複数層積層すること
により、内部電極間のショート不良を防止し、またデラ
ミネーションの発生しない積層セラミック電子部品を得
るものである。In order to solve the above-mentioned problems, the present invention provides a laminated body in which ceramic layers and internal electrodes are alternately laminated, wherein the ceramic layer comprises a dense first ceramic sheet; The first ceramic sheet is composed of a second ceramic sheet having a higher porosity than the first ceramic sheet, and the first ceramic sheet, the internal electrodes, and the second ceramic sheet are repeatedly laminated in the above-described order to form a plurality of layers. An object of the present invention is to provide a multilayer ceramic electronic component which prevents short circuit between internal electrodes and does not cause delamination.
【0009】[0009]
【発明の実施の形態】請求項1に記載の発明は、セラミ
ック層と内部電極とを交互に積層した積層体であって、
前記セラミック層は、緻密な第一のセラミックシート
と、この第一のセラミックシートより空隙率の多い第二
のセラミックシートとからなり、前記第一のセラミック
シート、前記内部電極、前記第二のセラミックシートを
上述の順に繰返し複数層積層し、さらに上下最外層に第
二のセラミックシートからなる無効層を設けることを特
徴とする積層セラミック電子部品の製造方法であって、
セラミック層を緻密な第一のセラミックシート、及びこ
の第一のセラミックシートよりも空隙率の多い第二のセ
ラミックシートより構成しているので、所定層数積層し
た際の内部電極の厚み段差を空隙率の大きい第二のセラ
ミックシートで吸収するとともに、内部電極ペーストの
滲み込みは緻密な第一のセラミックシートで防止するの
で、内部電極間のショート不良を防止し、またデラミネ
ーション不良の発生をも防止することができるものであ
る。The invention according to claim 1 is a laminate in which ceramic layers and internal electrodes are alternately laminated,
The ceramic layer is composed of a dense first ceramic sheet and a second ceramic sheet having a higher porosity than the first ceramic sheet, wherein the first ceramic sheet, the internal electrodes, and the second ceramic sheet. A method for producing a multilayer ceramic electronic component, comprising stacking a plurality of layers of sheets repeatedly in the order described above, and further providing an ineffective layer made of a second ceramic sheet on the upper and lower outermost layers,
Since the ceramic layer is composed of a dense first ceramic sheet and a second ceramic sheet having a higher porosity than the first ceramic sheet, the thickness steps of the internal electrodes when a predetermined number of layers are stacked are reduced by a gap. While absorbing with the second ceramic sheet having a large ratio, the penetration of the internal electrode paste is prevented by the dense first ceramic sheet, so that a short circuit between the internal electrodes is prevented, and the occurrence of delamination is also prevented. Can be prevented.
【0010】請求項2に記載の発明は、第一のセラミッ
クシートと第二のセラミックシートの密度差を少なくと
も0.4g/cm3以上設けたことを特徴とする請求項1
に記載の積層セラミック電子部品の製造方法であり、第
一のセラミックシートと第二のセラミックシートの密度
差を少なくとも0.4g/cm3以上設けることにより、
第一のセラミックシート上に印刷された内部電極の厚み
段差は、圧縮性の大きい第二のセラミックシートで吸収
され、デラミネーションの発生は防止される。また密度
差が0.4g/cm3以上あるので印刷された内部電極ペ
ーストは第二のセラミックシートに殆ど吸収される事な
く形成されるので、ショート不良は発生しないものであ
る。According to a second aspect of the present invention, the difference in density between the first ceramic sheet and the second ceramic sheet is at least 0.4 g / cm 3 or more.
Wherein the density difference between the first ceramic sheet and the second ceramic sheet is at least 0.4 g / cm 3 or more,
The thickness step of the internal electrode printed on the first ceramic sheet is absorbed by the second ceramic sheet having high compressibility, and the occurrence of delamination is prevented. In addition, since the density difference is 0.4 g / cm 3 or more, the printed internal electrode paste is formed without being absorbed by the second ceramic sheet, so that a short circuit does not occur.
【0011】請求項3に記載の発明は、セラミック粉
末、バインダ及び可塑剤からなる同一組成の第一のセラ
ミックシート及び第二のセラミックシートの密度は、前
記セラミック粉末に前記バインダ及び可塑剤を加えてボ
ールミルにより混合分散を行う際、この混合分散時間を
制御することにより調整することを特徴とする請求項1
あるいは2に記載の積層セラミック電子部品の製造方法
であり、混合分散時間を制御することで容易に所望の密
度を得られると共に、第一のセラミックシートと第二の
セラミックシートの組成を同じにしているので、セラミ
ックシート同士の密着性が良く、デラミネーションの発
生を防止することができる。According to a third aspect of the present invention, the density of the first ceramic sheet and the second ceramic sheet having the same composition comprising a ceramic powder, a binder and a plasticizer is determined by adding the binder and the plasticizer to the ceramic powder. 2. The method according to claim 1, wherein the mixing and dispersing time is adjusted by controlling the mixing and dispersing time when performing the mixing and dispersing with a ball mill.
Or a method of manufacturing a multilayer ceramic electronic component according to 2, wherein the desired density can be easily obtained by controlling the mixing and dispersing time, and the compositions of the first ceramic sheet and the second ceramic sheet are made the same. Therefore, the adhesion between the ceramic sheets is good, and the occurrence of delamination can be prevented.
【0012】以下、本発明の一実施の形態について図を
用いて説明する。 (実施の形態1)図1は本発明の積層コンデンサのグリ
ーンチップの一部断面図を示し、図2は製造工程におけ
る積層方法を示す断面図を示し、図3は本発明の積層コ
ンデンサの断面図を示している。図1において、1はグ
リーンチップ、2は空隙率の大きい第二のセラミックシ
ート、3は緻密な第一のセラミックシート、4は内部電
極、5は無効層である。図2において、6はPETフィ
ルム、7は固定フィルム、8は台板である。図3におい
て、9は外部電極、10は積層コンデンサである。An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. (Embodiment 1) FIG. 1 is a partial cross-sectional view of a green chip of a multilayer capacitor of the present invention, FIG. 2 is a cross-sectional view showing a laminating method in a manufacturing process, and FIG. FIG. In FIG. 1, 1 is a green chip, 2 is a second ceramic sheet having a large porosity, 3 is a dense first ceramic sheet, 4 is an internal electrode, and 5 is an ineffective layer. In FIG. 2, 6 is a PET film, 7 is a fixed film, and 8 is a base plate. In FIG. 3, 9 is an external electrode, and 10 is a multilayer capacitor.
【0013】先ず、チタン酸バリウムを主成分とするセ
ラミック粉末100重量部に対し、バインダとしてポリ
ビニルブチラール樹脂8重量部、可塑剤としてフタル酸
ジブチル3.6重量部、溶剤として酢酸ブチル53重量
部を加えた後、ボールミルで混合分散を行いスラリーを
作製する。このとき混合分散時間を24時間、60時
間、120時間と変えて三種類のスラリーを作製した。First, for 100 parts by weight of a ceramic powder containing barium titanate as a main component, 8 parts by weight of a polyvinyl butyral resin as a binder, 3.6 parts by weight of dibutyl phthalate as a plasticizer, and 53 parts by weight of butyl acetate as a solvent. After the addition, the mixture is mixed and dispersed by a ball mill to prepare a slurry. At this time, three kinds of slurries were prepared by changing the mixing and dispersing time to 24 hours, 60 hours, and 120 hours.
【0014】次に、前記三種類のスラリーそれぞれを、
20μmギャップのアプリケータを用い離型材処理の施
されたPETフィルム6上に塗付、乾燥して三種類のセ
ラミックシートを作製した。作製した夫々のセラミック
シート特性を(表1)に示す。Next, each of the three types of slurries is
Using a 20 μm gap applicator, the composition was applied onto a PET film 6 which had been subjected to a release material treatment, and dried to produce three types of ceramic sheets. Table 1 shows the characteristics of the produced ceramic sheets.
【0015】[0015]
【表1】 [Table 1]
【0016】(表1)に示すように、同一ギャップのア
プリケータを用いたにも拘らず、120時間混合分散を
行った場合は、セラミック粉末の分散が進みシート厚み
が薄く、密度が高く、空隙率が小さな緻密なものとな
る。これに対し24時間の混合分散を行った場合ではセ
ラミック粉末の分散は少なくシート厚みが厚く、密度が
低く、空隙率も大きい。また、60時間混合分散を行っ
た場合では24時間混合分散行った場合と120時間混
合分散行った場合の平均値に近いものとなることが分か
る。従ってスラリーの混合分散時間を変えることによっ
て所望の初期密度及び空隙率をもつセラミックシートの
作製が可能となるので、混合分散時間を制御することで
セラミックシートの密度をも調整することができるもの
である。As shown in Table 1, when mixing and dispersing for 120 hours despite the use of the applicator having the same gap, the dispersion of the ceramic powder progresses, and the sheet thickness becomes thin and the density becomes high. The porosity is small and dense. On the other hand, when the mixing and dispersion are performed for 24 hours, the dispersion of the ceramic powder is small, the sheet thickness is large, the density is low, and the porosity is large. In addition, it can be seen that the average value obtained when the mixed dispersion was performed for 60 hours was close to the average value obtained when the mixed dispersion was performed for 24 hours and the time when the mixed dispersion was performed for 120 hours. Therefore, by changing the mixing and dispersing time of the slurry, it is possible to produce a ceramic sheet having a desired initial density and porosity, so that the density of the ceramic sheet can be adjusted by controlling the mixing and dispersing time. is there.
【0017】尚、表中の空隙率はセラミック粉末の密度
を6.00g/cm3、バインダ及び、可塑剤の密度を
1.10g/cm3として算出した理論最密充填密度4.
10g/cm3より求めた。また加圧後の密度は乾燥後の
セラミックシートに110℃の温度で70kg/cm2の
圧力を加えた後に測定したものであり、圧縮率は前記条
件で加熱圧縮前後の厚さの収縮率を示すものである。The porosity in the table is calculated based on the theoretical closest packing density calculated assuming that the density of the ceramic powder is 6.00 g / cm 3 and the density of the binder and the plasticizer is 1.10 g / cm 3 .
It was determined from 10 g / cm 3 . The density after pressurization was measured after applying a pressure of 70 kg / cm 2 at a temperature of 110 ° C. to the dried ceramic sheet, and the compressibility was the shrinkage of the thickness before and after heating and compression under the above conditions. It is shown.
【0018】このようにして得られた三種類のセラミッ
クシートのうち、120時間混合分散したものを第一の
セラミックシート3、また24時間混合分散したものを
第二のセラミックシート2として用い、図2に示すよう
に金属製の台板8上に接着されたポリエステル製の固定
フィルム7上に、第二のセラミックシート2を24層積
層してなる無効層5を設けた後、第一のセラミックシー
ト3面上に内部電極4を印刷したものを加熱積層する。
次に第二のセラミックシート2を第一のセラミックシー
ト3上に加熱積層して密着させる。その後、順次内部電
極4を印刷した第一のセラミックシート3、第二のセラ
ミックシート2を繰返し内部電極4が120層となるよ
うに加熱積層した後、最後に第二のセラミックシート2
を24層積層した無効層5を加熱積層してグリーンチッ
プ1を作製し、所定温度で焼成した後、その両端部に外
部電極9を図3のごとく設けて、積層コンデンサ10を
得ている。このようにして得られたものについて、ショ
ート発生率及びデラミネーション発生率について調べた
結果を(表2)中、試料1としてあげている。Of the three types of ceramic sheets thus obtained, those mixed and dispersed for 120 hours were used as the first ceramic sheet 3 and those mixed and dispersed for 24 hours were used as the second ceramic sheet 2. As shown in FIG. 2, an ineffective layer 5 formed by laminating 24 second ceramic sheets 2 is provided on a polyester fixing film 7 adhered to a metal base plate 8, and then the first ceramic A sheet on which the internal electrodes 4 are printed on the surface of the sheet 3 is laminated by heating.
Next, the second ceramic sheet 2 is heated and laminated on the first ceramic sheet 3 so as to be adhered thereto. After that, the first ceramic sheet 3 and the second ceramic sheet 2 on which the internal electrodes 4 are sequentially printed are repeatedly heated and laminated so that the internal electrodes 4 have 120 layers.
Are laminated by heating the ineffective layer 5 to form a green chip 1, which is baked at a predetermined temperature, and external electrodes 9 are provided at both ends as shown in FIG. 3 to obtain a multilayer capacitor 10. The results obtained by examining the short-circuit occurrence rate and the delamination occurrence rate of the thus-obtained sample are shown as Sample 1 in (Table 2).
【0019】また、第一のセラミックシート3として1
20時間混合分散したものを用い、第二のセラミックシ
ート2として60時間混合分散したものを用いて試料1
と同様に作製した積層コンデンサ10を試料2としてい
る。Also, as the first ceramic sheet 3, 1
A sample 1 was prepared by mixing and dispersing for 20 hours and using a mixture that was mixed and dispersed for 60 hours as the second ceramic sheet 2.
The multilayer capacitor 10 manufactured in the same manner as that described above is used as a sample 2.
【0020】さらに、比較のための従来例として、図4
に示すように120時間混合分散したスラリーから作製
したセラミックシート12と内部電極13を繰返し加熱
積層して内部電極13が120層となるように積層して
得たグリーンチップ11を所定温度で焼成した後、図5
に示すごとく両端部に外部電極15を設けて作製した積
層コンデンサ16について(表2)中試料3としてあげ
ている。FIG. 4 shows a conventional example for comparison.
The green chip 11 obtained by repeatedly heating and laminating the ceramic sheet 12 prepared from the slurry mixed and dispersed for 120 hours and the internal electrode 13 to laminate the internal electrode 13 into 120 layers as shown in FIG. Later, FIG.
As shown in Table 2, a multilayer capacitor 16 manufactured by providing external electrodes 15 at both ends is shown as Sample 3 in Table 2.
【0021】さらに、60時間混合分散したスラリーか
ら作製したセラミックシート12を用いて試料3と同様
に作製した積層コンデンサ16については試料4とし
て、また24時間混合分散したスラリーから作製したセ
ラミックシート12を用いて試料3と同様に作製した積
層コンデンサ16については試料5として、(表2)に
記載している。Further, a multilayer capacitor 16 prepared in the same manner as Sample 3 using a ceramic sheet 12 prepared from a slurry mixed and dispersed for 60 hours was used as a sample 4 and a ceramic sheet 12 prepared from a slurry mixed and dispersed for 24 hours. The multilayer capacitor 16 manufactured in the same manner as the sample 3 is described as a sample 5 in (Table 2).
【0022】尚、上記のようにして作製した試料1〜試
料5は、グリーンチップ1あるいは11の形状を縦3.
7×横1.9×厚さ1.4mmとし、焼成は1300℃で
1時間とした。In the samples 1 to 5 produced as described above, the shape of the green chip 1 or 11 is set to 3.
The dimensions were 7 x 1.9 x 1.4 mm in thickness, and firing was performed at 1300 ° C for 1 hour.
【0023】[0023]
【表2】 [Table 2]
【0024】(表2)に示すように、120時間混合分
散したスラリーから作製した緻密な第一のセラミックシ
ート3と24時間混合分散したスラリーから作製した空
隙率の大きな第二のセラミックシート2とを組合せた試
料1の場合、ショート及びデラミネーション不良は一切
発生していない。これに対し、第一のセラミックシート
3は試料1と同じものを用い、第二のセラミックシート
2に60時間混合分散したスラリーから作製したものを
用いた試料2の場合、ショート不良は発生していないが
デラミネーション不良が発生してきている。これは24
時間混合分散した試料1のセラミックシート2に比べ、
60時間混合分散したスラリーから作製した試料2のセ
ラミックシート2は密度が高く、空隙率が小さい。この
ため加熱積層時の圧縮率が小さくなり内部電極4の厚み
段差を吸収することが難しくなってデラミネーションが
発生してきたものと思われる。従ってショート不良を抑
制し、しかも内部電極4の厚み段差を充分に吸収するた
めには緻密な第一のセラミックシート3と空隙率の大き
い第二のセラミックシート2との密度差を少なくとも
0.4g/cm3程度設けることが好ましいことが分か
る。As shown in Table 2, a dense first ceramic sheet 3 prepared from a slurry mixed and dispersed for 120 hours and a second ceramic sheet 2 having a large porosity prepared from a slurry mixed and dispersed for 24 hours were used. In the case of the sample 1 in which the combination of (1) and (2), short-circuit and delamination failure did not occur at all. On the other hand, in the case of Sample 2 in which the first ceramic sheet 3 was the same as Sample 1 and the second ceramic sheet 2 was prepared from a slurry mixed and dispersed for 60 hours, short-circuit failure occurred. No, but delamination failure has occurred. This is 24
As compared with the ceramic sheet 2 of the sample 1 mixed and dispersed for a time,
The ceramic sheet 2 of Sample 2 produced from the slurry mixed and dispersed for 60 hours has a high density and a low porosity. For this reason, it is considered that the compression ratio at the time of heating and laminating becomes small, and it becomes difficult to absorb the thickness step of the internal electrode 4, and delamination has occurred. Therefore, in order to suppress the short-circuit defect and sufficiently absorb the thickness step of the internal electrode 4, the density difference between the dense first ceramic sheet 3 and the second ceramic sheet 2 having a large porosity should be at least 0.4 g. / Cm 3 is preferably provided.
【0025】一方、比較例として作製した従来製造方法
による一種類のセラミックシート12のみを用いた試料
3は混合分散時間を120時間としたセラミックシート
12を用いているので密度が高く、空隙率及び圧縮率が
小さいため、内部電極13のショート不良は発生しない
が内部電極13の厚み段差を吸収することができずデラ
ミネーション不良が多発しており、好ましくない。また
試料4の場合、試料3に比べ用いたセラミックシート1
2の混合分散時間が60時間と短いため密度が小さく、
加熱積層時の圧縮率が大きくなった分だけデラミネーシ
ョン不良の発生は低下するが、空隙率が大きくなったた
めにショート不良が発生する。さらに、試料5の場合は
用いたセラミックシート12の混合分散時間が24時間
とさらに短いため、密度が小さく、加熱積層時の圧縮率
が大きくなった分だけデラミネーション不良の発生は防
止できるが、空隙率が大きくなった分だけショート不良
が多発するようになり適当でない。On the other hand, the sample 3 using only one type of ceramic sheet 12 according to the conventional manufacturing method manufactured as a comparative example has a high density, a high porosity, Since the compression ratio is low, short-circuit failure of the internal electrode 13 does not occur, but the thickness difference of the internal electrode 13 cannot be absorbed, and delamination failure frequently occurs, which is not preferable. In the case of Sample 4, the ceramic sheet 1 used in comparison with Sample 3 was used.
2, the mixing and dispersion time is as short as 60 hours, so the density is small,
Although the occurrence of the delamination failure is reduced by an amount corresponding to the increase in the compression ratio at the time of heating and laminating, the shortage failure occurs due to the increased porosity. Further, in the case of the sample 5, since the mixing and dispersing time of the used ceramic sheet 12 is even shorter as 24 hours, the density is small, and the occurrence of delamination failure can be prevented by an amount corresponding to the increase in the compression ratio during heating and lamination. Short circuit failures occur more frequently as the porosity increases, which is not appropriate.
【0026】以上の結果から、内部電極4間のセラミッ
ク層を緻密な第一のセラミックシート3と、第一のセラ
ミックシート3より空隙率が大きい第二のセラミックシ
ート2とを組合せた二層で構成することにより、内部電
極4ペーストの滲み込みを緻密な第一のセラミックシー
ト3で防いで、内部電極4のショート不良発生を防止す
るとともに、内部電極4の厚み段差を第一のセラミック
シート3よりも空隙率の大きな第二のセラミックシート
2で吸収できるので、デラミネーション不良をも防止す
ることのできる積層コンデンサ10を製造することがで
きる。From the above results, the ceramic layer between the internal electrodes 4 is composed of two layers in which the dense first ceramic sheet 3 and the second ceramic sheet 2 having a higher porosity than the first ceramic sheet 3 are combined. With the configuration, the penetration of the internal electrode 4 paste is prevented by the dense first ceramic sheet 3, the occurrence of short-circuit failure of the internal electrode 4 is prevented, and the thickness step of the internal electrode 4 is reduced by the first ceramic sheet 3. Since it can be absorbed by the second ceramic sheet 2 having a larger porosity than that of the second ceramic sheet 2, it is possible to manufacture the multilayer capacitor 10 that can prevent the delamination failure.
【0027】また、第一のセラミックシート3と第二の
セラミックシート2の密度差を0.4g/cm3以上とす
ることで、内部電極4の厚み段差の吸収が充分となり、
さらに好ましいものである。By setting the density difference between the first ceramic sheet 3 and the second ceramic sheet 2 to 0.4 g / cm 3 or more, the thickness difference of the internal electrodes 4 can be sufficiently absorbed.
More preferred.
【0028】[0028]
【発明の効果】以上のように本発明によれば、セラミッ
ク層と内部電極とを交互に積層した積層セラミック電子
部品において、セラミック層を緻密な第一のセラミック
シートと、第一のセラミックシートより空隙率の多い第
二のセラミックシートで構成しているので、第一のセラ
ミックシート、内部電極、第二のセラミックシートと順
次繰返し複数層積層した場合、内部電極ペーストの滲み
込みは、緻密な第一のセラミックシートが防止してショ
ート不良の発生を抑制するとともに、内部電極の厚み段
差は空隙率の大きい第二のセラミックシートが吸収する
のでデラミネーション不良の発生をも防止した積層セラ
ミック電子部品を提供することができる。As described above, according to the present invention, in a laminated ceramic electronic component in which ceramic layers and internal electrodes are alternately laminated, the ceramic layers are formed by a dense first ceramic sheet and a first ceramic sheet. Since it is composed of the second ceramic sheet having a large porosity, when the first ceramic sheet, the internal electrode, and the second ceramic sheet are sequentially and repeatedly laminated in a plurality of layers, the penetration of the internal electrode paste is dense A single ceramic sheet prevents the occurrence of short-circuit failure and suppresses the occurrence of short-circuit failure, and the thickness difference of the internal electrode is absorbed by the second ceramic sheet having a large porosity. Can be provided.
【図1】本発明の一実施形態の積層コンデンサのグリー
ンチップの一部断面図FIG. 1 is a partial cross-sectional view of a green chip of a multilayer capacitor according to an embodiment of the present invention.
【図2】同製造工程における積層方法を示す断面図FIG. 2 is a cross-sectional view showing a lamination method in the manufacturing process.
【図3】同積層コンデンサの断面図FIG. 3 is a sectional view of the multilayer capacitor.
【図4】従来例の積層コンデンサのグリーンチップの一
部断面図FIG. 4 is a partial cross-sectional view of a green chip of a conventional multilayer capacitor.
【図5】同積層コンデンサの断面図FIG. 5 is a sectional view of the multilayer capacitor.
1 グリーンチップ 2 第二のセラミックシート 3 第一のセラミックシート 4 内部電極 5 無効層 6 PETフィルム 7 固定フィルム 8 台板 9 外部電極 10 積層コンデンサ DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Green chip 2 Second ceramic sheet 3 First ceramic sheet 4 Internal electrode 5 Invalid layer 6 PET film 7 Fixed film 8 Base plate 9 External electrode 10 Multilayer capacitor
Claims (3)
した積層体であって、前記セラミック層は緻密な第一の
セラミックシートと、この第一のセラミックシートより
も空隙率の多い第二のセラミックシートとからなり、前
記第一のセラミックシート、前記内部電極、及び前記第
二のセラミックシートを上述の順に繰返し複数層積層
し、さらに上下最外層に前記第二のセラミックシートか
らなる無効層を設けることを特徴とする積層セラミック
電子部品の製造方法。1. A laminated body in which ceramic layers and internal electrodes are alternately laminated, wherein the ceramic layer is a dense first ceramic sheet and a second ceramic sheet having a higher porosity than the first ceramic sheet. A ceramic sheet, the first ceramic sheet, the internal electrode, and the second ceramic sheet are repeatedly laminated in a plurality of layers in the above order, and furthermore, an inactive layer formed of the second ceramic sheet is formed on the upper and lower outermost layers. A method for manufacturing a multilayer ceramic electronic component, comprising:
ックシートの密度差を少なくとも0.4g/cm3以上設
けたことを特徴とする請求項1に記載の積層セラミック
電子部品の製造方法。2. The method according to claim 1, wherein a density difference between the first ceramic sheet and the second ceramic sheet is at least 0.4 g / cm 3 or more.
らなる同一組成の第一のセラミックシート及び第二のセ
ラミックシートの密度は、前記セラミック粉末に前記バ
インダ及び可塑剤を加えてボールミルにより混合分散を
行う際、この混合分散時間を制御することにより調整す
ることを特徴とする請求項1あるいは2に記載の積層セ
ラミック電子部品の製造方法。3. The density of the first ceramic sheet and the second ceramic sheet having the same composition comprising a ceramic powder, a binder and a plasticizer is determined by adding the binder and the plasticizer to the ceramic powder and mixing and dispersing the mixture by a ball mill. 3. The method for manufacturing a multilayer ceramic electronic component according to claim 1, wherein the mixing and dispersing time is adjusted by controlling the mixing and dispersing time.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9333868A JPH11168024A (en) | 1997-12-04 | 1997-12-04 | Manufacturing method of multilayer ceramic electronic component |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9333868A JPH11168024A (en) | 1997-12-04 | 1997-12-04 | Manufacturing method of multilayer ceramic electronic component |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11168024A true JPH11168024A (en) | 1999-06-22 |
Family
ID=18270854
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9333868A Pending JPH11168024A (en) | 1997-12-04 | 1997-12-04 | Manufacturing method of multilayer ceramic electronic component |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11168024A (en) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002217038A (en) * | 2001-01-23 | 2002-08-02 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Ceramic electronic components |
| WO2005113208A1 (en) * | 2004-05-20 | 2005-12-01 | Tdk Corporation | Green sheet, method for producing green sheet, and method for manufacturing electronic parts |
| WO2025263093A1 (en) * | 2024-06-18 | 2025-12-26 | 株式会社村田製作所 | Ceramic electronic component and method for producing ceramic electronic component |
-
1997
- 1997-12-04 JP JP9333868A patent/JPH11168024A/en active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002217038A (en) * | 2001-01-23 | 2002-08-02 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Ceramic electronic components |
| WO2005113208A1 (en) * | 2004-05-20 | 2005-12-01 | Tdk Corporation | Green sheet, method for producing green sheet, and method for manufacturing electronic parts |
| JPWO2005113208A1 (en) * | 2004-05-20 | 2008-03-27 | Tdk株式会社 | Green sheet, green sheet manufacturing method, and electronic component manufacturing method |
| KR100819981B1 (en) * | 2004-05-20 | 2008-04-08 | 티디케이가부시기가이샤 | Green sheet, method for producing green sheet, and method for manufacturing electronic parts |
| JP4506755B2 (en) * | 2004-05-20 | 2010-07-21 | Tdk株式会社 | Green sheet, green sheet manufacturing method, and electronic component manufacturing method |
| WO2025263093A1 (en) * | 2024-06-18 | 2025-12-26 | 株式会社村田製作所 | Ceramic electronic component and method for producing ceramic electronic component |
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