JPH1114956A

JPH1114956A - 液晶パネル用検査ステージ

Info

Publication number: JPH1114956A
Application number: JP9180275A
Authority: JP
Inventors: Yoshiyuki Ando; 由行安東; Shinji Fujiwara; 慎治藤原
Original assignee: Micronics Japan Co Ltd
Current assignee: Micronics Japan Co Ltd
Priority date: 1997-06-23
Filing date: 1997-06-23
Publication date: 1999-01-22
Also published as: KR100278130B1; KR19990006388A

Abstract

(57)【要約】【課題】液晶パネルが搬送手段に対し多少変位し
ても、検査位置における精密アライメントを可能にする
ことにある。【解決手段】液晶パネルの検査ステージは、多角形の
液晶パネルの隣り合う２つの端縁を受けるべくワークテ
ーブルのパネル受け面から突出する第１および第２のス
トッパ手段と、液晶パネルの隣り合う２つの端縁を両ス
トッパ手段に当接させるべく液晶パネルを押圧する押圧
手段とを備え、パネル受け面上において液晶パネルの隣
り合う２つの端縁を押圧手段により両ストッパ手段に押
圧する。これにより、パネル受け面に配置された液晶パ
ネルの位置を精密アライメントにおいて許される許容値
以内に修正することができ、また大きな液晶パネルを安
定した状態で正確に検査することができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、液晶パネルを駆動
させて、その良否を検査する装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】液晶表示パネルすなわち液晶パネルを人
手により検査する装置は、一般に、検査用プローブの破
損を防止する目的から、検査装置に対する液晶パネルの
受け渡しをする受け渡し位置と、測定ステージすなわち
検査ステージを用いて液晶パネルの点灯試験をする検査
位置とを別々に設け、液晶パネルを受け渡し位置から検
査位置におよびその逆に搬送している。

【０００３】この種の検査装置として、液晶パネルを搬
送機構により受け渡し位置と検査位置とに搬送するもの
（特開平５−３３４２２７号公報）と、点灯試験時に液
晶パネルを受ける検査ステージ自体に搬送手段の機能を
付加し、検査ステージ自体を受け渡し位置と検査位置と
に移動させるもの特開平９−１３８２５６号公報）とが
ある。

【０００４】いずれの装置においても、液晶パネルは、
受け渡し位置に置いて粗アライメントをされ、検査位置
において精密アライメントをされる。精密アライメント
は、一般に、液晶パネルに設けられた複数の位置合わせ
マーク部のそれぞれをテレビカメラで撮影し、撮影した
マーク位置が所定の座標値となるようにワークテーブル
を変位させることにより、実行される。

【０００５】しかし、従来の検査装置では、搬送時にお
ける滑りおよび振動等に起因して、液晶パネルが検査位
置において搬送手段に対し精密アライメントにおける許
容誤差以上に変位していると、検査ステージにおける精
密アライメントをすることができず、したがって検査不
能になる。

【０００６】

【解決しようとする課題】本発明の目的は、液晶パネル
が搬送手段に対し多少変位しても、検査位置における精
密アライメントを可能にすることにある。

【０００７】

【解決手段、作用および効果】本発明の検査ステージ
は、多角形の液晶パネルを受ける受け面を備えるワーク
テーブルと、液晶パネルの隣り合う２つの端縁を受ける
べく受け面から突出する第１および第２のストッパ手段
と、液晶パネルの隣り合う２つの端縁を両ストッパ手段
に当接させるべく液晶パネルを押圧する押圧手段とを含
む。

【０００８】ワークテーブル上の液晶パネルは、少なく
とも検査位置において、隣り合う２つの端縁を押圧手段
により両ストッパ手段に押圧される。このため、本発明
によれば、液晶パネルが検査ステージに配置されたとき
に多少の位置ずれを生じていても、その液晶パネルは精
密アライメントにおいて許される許容値以内に修正され
る。

【０００９】押圧手段は、検査の間、液晶パネルをスト
ッパ手段に押圧する。これにより、液晶パネルを真空吸
着する検査ステージの場合、液晶パネルの大きさに対す
る真空吸着溝による吸着面の面積の割合が小さくても、
液晶パネルが安定に維持され、大きな液晶パネルをあっ
ても、その液晶パネルを安定した状態で正確に検査する
ことができる。

【００１０】本発明によれば、液晶パネルを押圧手段に
よりストッパ手段に押圧するようにしたから、液晶パネ
ルが検査ステージに配置されたときに多少の位置ずれを
生じていても、その液晶パネルは精密アライメントにお
いて許される許容値以内に修正され、また大きな液晶パ
ネルを安定した状態で正確に検査することができる。

【００１１】押圧手段は、液晶パネルを第１のストッパ
手段に押圧する少なくとも１つの第１のプッシャー機構
と、液晶パネルを第２のストッパに押圧する少なくとも
１つの第２のプッシャーとを備えることができる。この
ようにすれば、液晶表示パネルをこれと平行の面内で交
差する２方向に確実に変位させることができる。

【００１２】第１のプッシャー機構は第１のストッパ手
段から第１の方向へ間隔をおき、第２のプッシャー機構
は第２のストッパ手段から第１の方向と交差する第２の
方向へ間隔をおくことができる。

【００１３】各プッシャー機構は、逆転可能の回転機構
と、該回転機構により液晶パネルにほぼ垂直のＺ軸線の
周りに回転される揺動体であって一方向へ回転されたと
きに液晶パネルを押す揺動体とを有することができる。

【００１４】さらに、液晶パネルの端縁を受けるべく第
１のプッシャー機構の側にあって受け面から突出する複
数の端縁受けを含み、受け面を、第１のプッシャー機構
の側が下方となりかつ第１のストッパの側が上方となる
ように、傾斜させることができる。このようにすれば、
受け面上の液晶パネルがプッシャー機構から開放されて
いても、液晶パネルが受け面から滑落することを防止す
ることができる。

【００１５】好ましい実施例においては、各ストッパ手
段は、一方向に間隔をおいた複数のストッパを備える。

【００１６】

【発明の実施の形態】図１〜図６を参照するに、検査装
置１０は、長方形の液晶表示体すなわち液晶パネル１２
の人手による点灯検査に用いられる。液晶パネル１２
は、図示の例では、長方形の辺のうち、３つの辺に対応
する端縁部のそれぞれに、複数の電極部からなる電極群
を有する。

【００１７】以下、理解を容易にするために、検査装置
１０および液晶パネル１２のいずれにおいても、液晶表
示パネルすなわち液晶パネル１２の長い端縁の方向（左
右方向）をＸ方向といい、液晶パネル１２の短い端縁の
方向をＹ方向（前後方向）といい、液晶パネル１２に垂
直の方向をＺ方向という。また、Ｘ，ＹおよびＺ方向へ
伸びる軸線を、それぞれ、Ｘ，ＹおよびＺ軸線という。

【００１８】検査装置１０は、フレームすなわち筐体２
０を含む。筐体２０の前面上部は、傾斜面部２２とされ
ている。傾斜面部２２は、液晶パネル１２の受渡しに用
いる開口２４と、液晶パネル１２の検査に用いる開口２
６とを有する。開口２４，２６は、液晶パネル１２より
大きくかつ隅角部を丸くされた矩形の形を有しており、
またＸ方向に間隔をおいている。

【００１９】筐体２０内のうち、開口２４に対応する部
位は検査装置１０に対する液晶パネル１２の受け渡しを
する受け渡し位置とされており、開口２６に対応する部
位は液晶パネル１２の点灯検査をする検査位置とされて
いる。傾斜面部２２には、スイッチパネル２８が設けら
れている。スイッチパネル２８は、当該検査装置１０の
各機器のオン／オフをするための複数のスイッチを有す
る。

【００２０】筐体２０には、各種の機器を支持する支持
台３０が配置されている。支持台３０は、ベースプレー
ト３２と、長方形の基台３４と、両者を連結する複数の
支柱３６とにより形成されている。基台３４は、ベース
プレート３２よりやや短い長さ寸法および幅寸法を有す
る板材により形成されており、またベースプレート３２
と平行に筐体２０内をＸ方向へ伸びている。

【００２１】図示の例では、ベースプレート３２は筐体
２０の傾斜面部２２を形成する部材であり、したがって
開口２４，２６はベースプレート３２に形成されてい
る。しかし、ベースプレート３２を傾斜面部２２を形成
する部材と別の部材で形成し、ベースプレート３２を傾
斜面部２２を形成する部材に組み付けてもよい。

【００２２】ベースプレート３２には、プローブユニッ
ト４０が配置されている。プローブユニット４０は、長
方形の板の形をしたプローブベース４２と、１以上のね
じ部材によりプローブベース４２に組み付けられたＬ字
型の複数のプローブブロック４４とを備える。

【００２３】プローブベース４２は、開口２６と相似の
開口４６を有しており、また複数のねじ部材によりベー
スプレート３２の外側に同軸的に取り付けられている。
プローブブロック４４は、それぞれが複数のプローブブ
ロック４４を含む３つのブロック群に分けられており、
また液晶パネル１２の電極群が形成された端縁部に対応
する辺部に配置されている。

【００２４】各プローブブロック４４は、一端部が開口
４６を介して開口４６内に達するように、他端部におい
てプローブベース４２の外側に取り付けられている。各
プローブブロック４４は、その一端部に複数のプローブ
４８を支持している。各プローブ４８は、液晶パネル１
２に対し角度を有する状態に伸びている。

【００２５】プローブベース４２には、また、位置合わ
せ用の一対のテレビカメラ５０が組み付けられている。
テレビカメラ５０は、液晶パネル１２に形成されている
位置合わせマークを撮影するように、プローブベース４
２に配置されている。テレビカメラ５０の出力信号は、
プローブユニット４０に対する液晶パネル１２の精密ア
ライメントのために用いられる。

【００２６】基台３４は、液晶パネル１２の受け渡しの
ための受け渡しステージ５２と、点灯検査のための検査
ステージ５４と、液晶パネル１２を傾斜した状態で搬送
する第１および第２の搬送装置５６とを支持する。受け
渡しステージ５２は開口２４に対応する受け渡し位置に
配置されており、検査ステージ５４は開口２６に対応す
る検査位置に配置されている。

【００２７】受け渡しステージ５２は、液晶パネルを傾
斜した状態に受ける平板状のパネル受け５８と、パネル
受け５８をＺ方向へ変位させる２つのシリンダ機構６
０，６２と、液晶パネル１２をパネル受け５８に対して
位置決める複数の位置決め部６４とを備える。

【００２８】パネル受け５８は、斜め上向きの面がパネ
ルを載置するパネル受け面とされており、１以上の切欠
部６６をＹ方向の各端縁の側に有する。図示の例では、
Ｙ方向の一端縁の側にはこの端縁に沿って伸びる１つの
細長い切欠部６６が形成されており、Ｙ方向の他端縁の
側には２つの切欠部６６が四角形の隅角部を切除するこ
とにより形成されている。パネル受け５８は、そのパネ
ル受け面が傾斜した状態に、シリンダ機構６２のロッド
部に取り付けられている。

【００２９】シリンダ機構６０，６２は、エアーシリン
ダのような流体圧シリンダ機構であり、また伸縮方向が
同じになるように直列に連結されている。一方のシリン
ダ機構６０は、その伸縮方向がＺ方向となるようにシリ
ンダ部において組付具６８により基台３４に取り付けら
れている。他方のシリンダ機構６２は、その伸縮方向が
Ｚ方向となるようにシリンダ部において組付具７０によ
りシリンダ機構６０のロッド部に連結されている。

【００３０】位置決め部６４は、パネル受け５８の受け
面に形成されている。図示の例では、Ｙ方向の一端縁部
に２つの位置決め部６４が形成されているとともに、Ｙ
方向の他端縁部に１つの位置決め部６４が形成されてい
る。各位置決め部６４は、その内側をクランク状に形成
されており、したがって液晶パネル１２を受ける段部を
内側に有する。

【００３１】Ｙ方向の一端縁部の２つの位置決め部６４
は、対応する一端縁部の切欠部６６を間にしてＸ方向
に間隔をおいており、また液晶パネル１２の隣り合う２
つの端縁部が当接するようにＬ字状に曲げられている。
Ｙ方向の他端縁部の位置決め部６４は、他端縁部の切欠
部６６の間にあって他端縁部の中央に形成されている。

【００３２】検査ステージ５４は、液晶パネル１２を左
右方向（Ｘ方向）に移動させるＸステージと、液晶パネ
ル１２を斜め上下方向（Ｙ方向）へ移動させるＹステー
ジと、液晶パネル１２を該パネルに直角の方向（Ｚ方
向）へ移動させるＺステージと、液晶パネル１２を該パ
ネルに直角のＺ軸線の周りに角度的に回転させるθステ
ージと、液晶パネル１２を受けるワークテーブル７２と
を備える。

【００３３】Ｙステージ、Ｚステージ、θステージおよ
びワークテーブル７２は、それぞれ、Ｘステージ、Ｙス
テージ、Ｚステージおよびθステージに移動可能に支持
されており、また対応するステージの移動にともなって
同じように移動される。

【００３４】検査ステージ５４は、基台３４に、ワーク
テーブル７２が開口２４の側となりかつＸステージが基
台３４側となるように、および、液晶パネル１２をワー
クテーブル７２に傾斜した状態に受けるように、Ｘステ
ージ３０において基台３４に移動可能に組み付けられて
いる。

【００３５】ワークテーブル７２は、液晶パネル１２を
受けかつ支持するように、ベースプレート３２の側に開
口する直方体状の浅い箱の形をしている。ワークテーブ
ル７２の内部空間を形成する４つの端縁部の斜め上向き
の面は、液晶パネル１２を傾斜した状態に受ける長方形
の傾斜したパネル受け面とされている。

【００３６】ワークテーブル７２は、パネル受け面に開
放する溝７４を３つの端縁部に有するとともに、一対の
切欠部７６をＹ方向の各端縁部に有しており、さらに液
晶パネル１２がワークテーブル７２から滑落することを
防止する一対の端縁受け７８をＹ方向の一方の端縁部に
有する。ワークテーブル７２内には、バックライトユニ
ット８０が液晶パネル１２を背面から照明するように収
容されている（図４および図６並びに図１４〜図１７参
照）。

【００３７】溝７４は、液晶パネル１２の電極群が形成
された端縁部に対応する部位に形成されており、またワ
ークテーブル７２が液晶パネル１２の裏面を真空吸着す
る真空チャックとして作用するように図示しない真空源
に連通されている。対をなす両切欠部７６は、Ｙ方向に
間隔をおいており、またワークテーブル７２の表裏の側
におよび側方に開放している。ワークテーブル７２の切
欠部７６は、パネル受け５８の切欠部６６に対応する位
置に形成されている。

【００３８】端縁受け７８は、パネル受け面の下方側の
端縁部に複数のねじ部材により取り付けられており、ま
たＸ方向へ間隔をおいている。このため、ワークテーブ
ル７２に載置された液晶パネル１２は、ワークテーブル
７２のパネル受け面が傾斜していても、下端縁が端縁受
け７８に当接し、それによりワークテーブル７２から落
下することを防止される。

【００３９】ワークテーブル７２は、また、液晶パネル
１２をワークテーブル７２に対して位置決める一対のス
トッパ８２をＸ方向の一方の端縁部と上側の端縁部との
それぞれに有する。対をなすストッパ８２は、パネル受
け面の対応する端縁部にねじ部材により取り付けられて
おり、また対応する端縁部の方向に間隔をおいている。

【００４０】ワークテーブル７２は、さらに、液晶パネ
ル１２をストッパ８２に押圧するプッシャー機構８４を
Ｘ方向の他方の端縁部とＹ方向の下側の端縁部とのそれ
ぞれに有する。図示の例では、２つのプッシャー機構８
４が下側の端縁部の中央にＸ方向に間隔をおいて配置さ
れており、また１つのプッシャー機構８４がＸ方向の他
端縁部の中央に配置されている。

【００４１】各プッシャー機構８４は、検査ステージ５
４に支持。された逆転可能の回転機構８６と、該回転機
構により液晶パネル１２に垂直の方向（Ｚ方向）へ伸び
る軸線の周りに角度的に回転されて液晶パネル１２を押
す揺動体８８とを備える。

【００４２】各回転機構８６は、その出力回転軸がＺ方
向へ伸びるように、ワークテーブル７２に支持されてい
る。各回転機構８６として、回転式のシリンダ機構、回
転式のソレノイド機構、電動機等を用いることができ
る。

【００４３】各揺動体８８は、一端部において回転機構
８６の出力回転軸に取り付けられたアーム８８ａと、該
アームの他端部にワークテーブル７２のパネル受け面か
らＺ方向へわずかに突出する状態に取り付けられたピン
８８ｂとで構成することができる。

【００４４】各プッシャー機構８４は、回転機構８６が
一方向へ所定の角度回転することにより、揺動体８８が
一方向に所定角度回転されて、液晶パネル１２を対応す
るストッパ８２に押し、回転機構８６が所定の角度逆転
することにより、揺動体８８が所定角度逆回転されて、
対応するストッパ８２への液晶パネル１２の押圧を解除
する。

【００４５】基台３４は、両搬送装置５６のための細長
い一対の支持板９０を支持している。両支持板９０は、
両ステージ５２，５４を間にしてＹ方向へ間隔をおいて
おり、また幅方向がＺ方向となりかつ受け渡し位置から
検査位置にＸ方向へ平行に伸びるように基台３４に組み
付けられている。

【００４６】各支持板９０の上部には、細長い一対のレ
ールベース９２がＺ方向へ間隔をおいて取り付けられて
いる。全てのレールベース９２は、Ｘ方向へ平行に伸び
ている。各レールベース９２には、Ｘ方向へ伸びるレー
ル９４が取り付けられている。基台３４から遠い一対の
レール９４は基台３４から遠い第１の搬送装置５６を受
けるために用いられ、基台３４に近い一対のレール９４
は基台３４に近い第２の搬送装置５６を受けるために用
いられる。

【００４７】各搬送装置５６は、図８〜図１６に示すよ
うに、パネル受け５８およびワークテーブル７２を受け
入れることができる開口を有するコ字状の第１のスライ
ダ９６と、第１のスライダ９６にＹ方向へ間隔をおいて
支持された細長い一対の第２のスライダ９８と、第１の
スライダ９６を往復移動させる第１の駆動機構１００
と、各第２のスライダ９８にＸ方向へ間隔をおいて配置
された複数のホルダ１０２と、ホルダ１０２を液晶パネ
ル１２と平行の面内でＹ方向へ変位させる複数の第２の
駆動機構１０４とを備える。

【００４８】第１のスライダ９６は、複数のガイド１０
６によりレール９４にＸ方向へ移動可能に支持されてお
り、また第１の駆動機構１００により両ステージ５２，
５４間を往復移動される。第２のスライダ９８は、受け
渡しステージ５２および検査ステージ５４を間にしてＸ
方向へ平行に伸びている。両スライダ９６，９８は、ガ
イド１０６とともに、移動台として作用する。しかし、
第２のスライダ９８を省略して、ホルダ１０２を第１の
スライダ９６に配置してもよい。

【００４９】各第１の駆動機構１００は、一方のレール
ベース９２の両端部にＺ軸線の周りに回転可能に配置さ
れた一対のプーリ１１０と、両プーリ１１０に巻き掛け
られた無端ベルト１１２と、一方のプーリ１１０を回転
させる駆動原１１４とを備え、無端ベルト１１２を第１
のスライダ９６に連結している。

【００５０】各駆動機構１００は、駆動源１１４が正転
されることにより、第１のスライダ９６を受け渡し位置
から検査位置へ移動させ、駆動源１１４が逆転されるこ
とにより、第１のスライダ９６を検査位置から受け渡し
位置へ移動させる。タイミングベルトを無端ベルト１１
２として用いることができ、この場合プーリ１１０とし
てタイミングプーリが用いられる。

【００５１】各ホルダ１０２は、図６に示すように、液
晶パネルの端縁を受け入れる凹所を有しており、また対
応する第２の駆動機構１０４により凹所を内側の向けた
状態に第２のスライダ９８に支持されている。各ホルダ
１０２は、パネル受け５８およびワークテーブル７２の
切欠部６６および７６に対応する位置に維持されてい
る。一方の第２のスライダ９８に配置されたホルダ１０
２と他方の第２のスライダ９８に配置されたホルダ１０
２とは、凹所を対向させている。

【００５２】各第２の駆動機構１０４は、図示の例で
は、エアーシリンダのような流体圧シリンダ機構を駆動
源として備えており、またシリンダ部において第２のス
ライダ９８に取り付けられており、さらにホルダ１０２
を組付具によりロッド部１０４ｂに取り付けている。

【００５３】組付具は、図６に示すように、第２の駆動
機構１０４のロッド部１０４ｂに取り付けられた組付ブ
ロック１１６と、ブロック１１６からＺ方向へ伸びてホ
ルダ１０２をＺ方向へ変位可能に受ける軸１１８と、ブ
ロック１１６とホルダ１０２との間に配置されてホルダ
１０２をロッド部１０４ｂから離れる方向へ付勢する弾
性体１２０とを備える。

【００５４】軸１１８は、ホルダ１０２の脱落を防止す
るフランジ部をブロック１１６と反対の側の端部に有す
る。弾性体１２０は、図示の例では、軸１１８に配置さ
れた圧縮コイルばねであるが、ゴムのような他の弾性体
であってもよい。各ホルダ１０２は、液晶パネル１２を
損傷することを防止するための緩衝材１２２をコ字状の
内側面に設けている。

【００５５】次に、図８〜図１５参照して、受け渡しス
テージ５２および搬送装置５６の動作を説明する。

【００５６】待機時、たとえば図８に示すように、各搬
送装置５６は、受け渡し位置に移動されており、またホ
ルダ１０２をパネル受け５８に対する液晶パネル１２の
受け渡しを妨げない位置に後退させている。受け渡しス
テージ５２は、両シリンダ機構６０を伸長させてパネル
受け５８を基台３４から遠い（高い側の）第１の搬送装
置５６のホルダ１０２のＺ方向における位置（高さ位
置）と一致する位置に変位させている。

【００５７】検査すべき液晶パネル１２は、受け渡しス
テージ５２および搬送装置５６が上記の状態において、
人手により受け渡しステージ５２のパネル受け５８に配
置される。このとき、液晶パネル１２は、位置決め部６
４により形成される空間に嵌合されることにより、パネ
ル受け５８に対して位置決められる。

【００５８】次いで、第１の搬送装置５６が作動してホ
ルダ１０２が第２の駆動機構１０４により内側に向けて
（相寄る方向へ）移動される。これにより、液晶パネル
１２は、図９に示すように、Ｙ方向の端縁部を第１の搬
送装置５６のホルダ１０２の凹所に受け入れられる。こ
のとき、各ホルダ１０２は、その一部をパネル受け５８
の切欠部６６に受け入れられるから、液晶パネル１２の
端縁部を安全かつ確実に受け入れる。

【００５９】次いで、図１０に示すように、シリンダ機
構６２が収縮されて、パネル受け５８が基台３４に近い
（低い側の）第２の搬送装置５６のホルダ１０２の位置
へＺ軸線に沿って下降される。これにより、液晶パネル
１２は、第１の搬送装置５６に渡され、搬送装置５６に
傾斜した状態に維持される。

【００６０】次いで、第１の搬送装置５６が対応する駆
動機構１００により検査位置に向けて移動される。これ
により、図１１に示すように、第２の搬送装置５６が受
け渡し位置に残る。また、液晶パネル１２は、その下側
の端縁を下側のホルダ１０２の凹所の奥面に当接させた
状態で搬送される。これにより、液晶パネル１２は、粗
アライメントをされた状態に維持される。

【００６１】第１の搬送装置５６により検査位置に搬送
された未検査の液晶パネルは、後に説明するように、検
査ステージ５４のワークテーブル７２がＺ軸線に沿って
上昇され、次いで第１の搬送装置５６のホルダ１０２が
液晶パネルの点灯検査を妨げない位置に後退されること
により、第１の搬送装置５６から検査ステージ５４に渡
されて、点灯検査をされる。検査の終了した液晶パネル
は、第１の搬送装置５６のホルダ１２に受けられる。

【００６２】未検査の液晶パネルが第１の搬送装置５６
により検査位置に搬送され、その液晶パネルが点灯検査
を受けている間、未検査の新たな液晶パネル１２が図１
１に示すように受け渡しステージ５２のパネル受け５８
に配置され、第２の搬送装置５６のホルダ１０２が図１
２に示すように前進され、その後シリンダ機構６０が図
１３に示すように収縮される。これにより、新たな液晶
パネル１２が図１３に示すように第２の搬送装置５６に
受けられる。

【００６３】次いで、検査済みの液晶パネルが第１の搬
送装置５６により受け渡し位置に戻されるとともに、新
たな液晶パネルが第２の搬送装置５６により検査位置に
搬送される。

【００６４】検査済みの液晶パネルが受け渡し位置に搬
送されると、先ずパネル受け５８が両シリンダ機構６
０，６２により第１の搬送装置５６のホルダ１０２の高
さ位置にＺ軸線に沿って上昇され、次いで第１の搬送装
置５６のホルダ１０２がパネル受け５８に対する液晶パ
ネルの受け渡しを妨げない位置に後退される。これによ
り、検査済みの液晶パネルがパネル受け５８に渡され
る。

【００６５】次いで、パネル受け５８上の検査済みの液
晶パネルがパネル受け５８から取り除かれ、未検査の新
たな液晶パネルがパネル受け５８に配置される。このと
きの液晶パネルの受け渡しも、人手により行われる。

【００６６】第２の搬送装置５６により検査位置に搬送
された液晶パネルは、上記と同様にして検査ステージ５
４に渡され、点灯検査を受け、その後第２の搬送装置５
６に戻される。

【００６７】その後は、一方の搬送装置による検査済み
の液晶パネルの搬送と、他方の搬送装置による未検査の
液晶パネルの搬送とが同期して繰り返され、その間に液
晶パネルの点灯検査が行われる。

【００６８】上記のように、一方の搬送装置による受け
渡しステージへの液晶パネルの搬送と、他方の搬送装置
による検査ステージへの未検査液晶パネルの搬送とを並
行して行うことにより、搬送装置の移動による時間的な
無駄が著しく少なくなる。なお、パネル受け５８への未
検査の液晶パネルの配置、および、パネル受け５８から
の検査済みの液晶パネルの除去は、機械的に行ってもよ
い。

【００６９】次に、図１４〜図１７を参照して、検査ス
テージ５４と搬送装置５６との間の液晶パネルの受け渡
しを説明する。

【００７０】搬送装置５６が検査位置に移動された状態
において、未検査の液晶パネル１２は、図１４に示すよ
うに、搬送装置５６によりＺ方向におけるワークテーブ
ル７２の高さ位置より上方に維持されている。

【００７１】上記状態において、先ず、図１５に示すよ
うに、ワークテーブル７２のパネル受け面がＺ方向にお
けるホルダ１０２の高さ位置になるまで、ワークテーブ
ル７２が検査ステージ５４のＺステージによりＺ軸線に
沿って上昇され、液晶パネル１２を真空吸着する。

【００７２】次いで、搬送装置５６のホルダ１０２が、
図１６に示すように、点灯検査を妨げない位置に後退さ
れる。これにより、液晶パネル１２は、ワークテーブル
７２に完全に渡される。

【００７３】次いで、液晶パネル１２に形成された位置
合わせマークが位置合わせ用テレビカメラ５０により撮
影され、その出力信号を基に位置合わせマークが所定の
座標位置となるようにワークテーブル７２が検査ステー
ジ５４の各ステージにより変位される。これにより、プ
ローブユニット４０に対する液晶パネル１２の精密アラ
イメントが行われる。

【００７４】次いで、図１７に示すように、ワークテー
ブル７２が検査ステージ５４のＺステージによりさらに
Ｚ軸に沿って上昇され、それにより液晶パネル１２の電
極部がプローブユニット４０のプローブ４８に押圧され
る。

【００７５】次いで、バックライトユニット８０が点灯
された状態で、液晶パネルに通電される。これにより、
液晶パネル１２が所定のパターンに点灯されるから、液
晶パネル１２の良否が点灯状態の正否を確認することに
より判定される。点灯状態の正否は、作業者の目視によ
り確認される。

【００７６】点灯検査が終了すると、ワークテーブル７
２のパネル受け面がＺ方向におけるホルダ１０２の高さ
位置になるまでワークテーブル７２がＺ軸線に沿って下
げられ、ホルダ１０２が前進され、液晶パネルがワーク
テーブルの真空吸着から開放され、その後ワークテーブ
ルがさらにＺ軸線に沿って下降される。これにより、液
晶パネル１２は、ホルダ１０２に受けられる。

【００７７】上記のように、ワークテーブル７２とホル
ダ１０２とが相対的に移動されるとき、各ホルダ１０２
の一部がワークテーブル７２に形成された切欠部７６に
受け入れられるから、ワークテーブル７２とホルダ１０
２との相対的移動が妨げられず、両者の間の液晶パネル
の受け渡しが確実に行われる。

【００７８】次に、図７および図１８を参照して、プッ
シャー機構８４によるワークテーブル７２上における液
晶パネル１２のアライメントと、ホルダ１０２からワー
クテーブル７２への液晶パネル１２の受け渡しの詳細に
ついて説明する。

【００７９】先ず、図１８（Ａ）に示すように、液晶パ
ネル１２がホルダ１０２によりＺ方向におけるワークテ
ーブル７２の高さ位置より上方に維持されている状態
で、ワークテーブル７２が液晶パネル１２と接触するま
で上昇される。

【００８０】次いで、図１８（Ａ）に示すように、各プ
ッシャー機構８４が動作して液晶パネル１２をストッパ
８２に向けて変位させる。すなわち、液晶パネル１２が
図７に実線で示す位置から同図に２点鎖線で示す位置へ
移動され、その液晶パネル１２の隣り合う２つの端縁が
ストッパ８２に当接される。

【００８１】上記の結果、受け渡しステージ５４のパネ
ル受け５８からホルダ１０２への液晶パネルの受け渡し
時、搬送装置５６による液晶パネルの搬送時、および、
ホルダ１０２からワークテーブル７２への液晶パネルの
受け渡し時に、液晶パネルの位置が多少変位しても、液
晶パネル１２は、その位置合わせマークが位置合わせ用
テレビカメラ５０の視野内に入るようにアライメントを
される。

【００８２】次いで、ワークテーブル７２が図１８
（Ｃ）に示すようにさらにＺ軸線に沿って上昇される。
これにより、液晶パネル１２は、ワークテーブル７２に
受けられる。

【００８３】次いで、ワークテーブル７２が、図１８
（Ｄ）に示すよう、ホルダ１０２を弾性体１２０の力に
抗して上昇させる位置に上昇され、その状態で液晶パネ
ル１２がワークテーブル７２に真空吸着される。これに
より、液晶パネル１２は、ワークテーブル７２に押圧さ
れた状態で、ワークテーブル７２に真空吸着されるか
ら、ワークテーブル７２に確実に保持される。

【００８４】次いで、図１８（Ｅ）に示すようにワーク
テーブル７２がＺ軸線に沿ってわずかに下げられ、次い
で図１８（Ｆ）に示すようにホルダ１０２が点灯検査の
妨げにならない位置へ後退される。

【００８５】検査済みの液晶パネルをワークテーブル７
２からホルダ１０２に渡すときは、上記と逆の動作が図
１８（Ｆ），（Ｃ），（Ｂ）および（Ａ）の順に行われ
る。この場合、プッシャー機構８４が元の状態に戻ると
き、ワークテーブル７２の上面が傾斜していることに起
因して、液晶パネルがワークテーブル７２およびホルダ
１０２に対し変位し、液晶パネルはその下側の端縁を下
側のホルダ１０２の凹所の奥面に当接する。

【００８６】ホルダ１０２は、液晶パネル１２と接触し
た状態で前進または後退される。しかし、このとき、各
ホルダ１０２の凹所に配置された緩衝材１２２は、擦り
傷が液晶パネル１２に形成されることを防止する。

【００８７】なお、両第２のスライダ９８を相寄り相離
れる方向（Ｙ方向）へ移動可能に第１のスライダ９６に
支持させ、ホルダ１０２を第２のスライダ９８に取り付
け、両第２のスライダ９８を駆動機構により相寄り相離
れる方向へ同期して移動させることにより、ホルダによ
る液晶パネルの把持およびその解除をするようにしても
よく、また両第２のホルダ９８の最大間隔を検査すべき
液晶パネルの大きさに応じて調整するようにしてもよ
い。

【００８８】プッシャー機構８４は早くとも液晶パネル
の点灯検査が終了するまでは動作を継続しており、した
がって液晶パネル１２はストッパ８２に押圧されてい
る。このため、液晶パネルの大きさに対する溝７４によ
る吸着面の面積の割合が小さくても、液晶パネルが安定
に維持され、大きな液晶パネルであっても、正確に検査
することができる。また、液晶パネルをプローブユニッ
トに押圧したときに、液晶パネルに作用する押圧力、不
平衡力等に起因する液晶パネルの変位が防止される。

【００８９】図１９〜図２１に示す搬送装置１３０にお
いては、第２のスライダ９８が第１のスライダ９６に相
寄り相離れる方向へ移動可能に配置されている。第１の
スライダ９６の上面にはＹ方向へ伸びるレール１３２が
設けられており、第２のスライダ９８にはレール１３２
にその長手方向へ滑動可能に受けられた複数のガイド１
３４が設けられている。

【００９０】第２のスライダ９８は、レール１３２とガ
イド１３４とにより第１のスライダ９６に片持ち梁状に
支持されている。このため、各第２のスライダ９８は、
Ｘ方向に間隔をおいた２箇所のそれぞれにおいてリンク
１３６により第１のスライダ９６にさらに連結されてい
る。

【００９１】各リンク１３６は、当該リンクの長手方向
へ伸びる長穴１３８を有する。各リンク１３６は、第１
の軸１４０により第２のスライダ９８に結合されている
とともに、長穴１３８にその長手方向へ移動可能に受け
入れられた第２の軸１４２により第１のスライダ９６に
結合されている。

【００９２】両第２のスライダ９８が最も離されている
とき、図１９に示すように、各リンク１３６はＸ方向へ
伸びており、また第２の軸１４２は第１の軸１４０に最
も接近している。

【００９３】しかし、第２のスライダ９８を漸次接近さ
せると、リンク１３６は、第２の軸１４２が第１の軸１
４０から漸次離れるように長穴１３８に対する位置を漸
次変化させることにより、図２１に示すようにＸ方向に
対して角度を有するようになる。

【００９４】このため、搬送装置１３０は、検査すべき
液晶パネル１２の大きさに応じて、第２のスライダ９８
の間隔を調整することができる。第１のスライダ９６に
対する第２のスライダ９８の位置は、複数のねじ部材１
４４により解除可能に維持することができる。各ねじ部
材１４４は、第２のスライダ９８と螺合しており、また
先端をレール１３２に当接させている。

【００９５】各リンク１３６を、第１の軸１４０により
第２のスライダ９８に結合させかつ第２の軸１４２によ
り第１のスライダ９６に結合させる代わりに、第１の軸
１４０により第１のスライダ９６に結合させかつ第２の
軸１４２により第２のスライダ９８に結合さてもよい。

【００９６】本発明は、上記実施例に限定されない。た
とえば、本発明は、液晶パネルを作業者の目視により検
査する目視検査装置用の検査ステージのみならず、テレ
ビカメラのような適宜な撮像手段を用いてその出力信号
を基にコンピュータにより検査する自動検査装置用の検
査ステージにも適用することができる。また駆動機構と
してのシリンダ機構の代わりに、ソレノイドを用いたプ
ランジャー機構を用いてもよい。

【００９７】本発明は、また、液晶パネルを傾斜した状
態に支持する検査ステージのみならず、液晶パネルを水
平または垂直の状態に支持する用の検査ステージにも適
用することができるし、四角形の液晶パネルのみなら
ず、六角形、八角形等の他の多角形の液晶パネルのため
の検査ステージにも適用することができ、さらには、多
角形の１つの辺に設けられた電極を利用して液晶パネル
を検査するための検査ステージにも適用することができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る検査ステージを備えた検査装置の
一実施例を示す正面図である。

【図２】図１の検査装置における搬送機構の部分の一実
施例を示す右側面図であってプローブユニットの部分を
断面で示す図である。

【図３】図１の検査装置における搬送装置を図２におけ
る３−３線の方向から見た視図である。

【図４】ワークテーブルの一実施例を示す平面図であ
る。

【図５】図４に示すワークテーブルの正面図である。

【図６】ホルダの近傍の一実施例を示す図である。

【図７】ワークテーブル上における液晶パネルのアライ
メントを説明するための図である。

【図８】搬送装置の最初のステップを示す搬送装置の側
面図である。

【図９】搬送装置の図８に続くステップを示す側面図で
ある。

【図１０】搬送装置の図９に続くステップを示す図であ
る。

【図１１】搬送装置の図１０に続くステップを示す図で
ある。

【図１２】搬送装置の図１１に続くステップを示す図で
ある。

【図１３】搬送装置の図１２に続くステップを示す図で
ある。

【図１４】搬送装置と検査ステージとの間における液晶
パネルの受け渡しを説明するための図であって最初の受
け渡しステップを示す図である。

【図１５】図１４に続く受け渡しステップを示す図であ
る。

【図１６】図１５に続く受け渡しステップを示す図であ
る。

【図１７】図１６に続く受け渡しステップを示す図であ
る。

【図１８】液晶パネルを搬送装置から検査ステージに渡
すときの搬送装置と検査ステージとの関係を説明するた
めの図である。

【図１９】搬送装置の他の実施例を示す図である。

【図２０】図１９に示す搬送装置に右側面図である。

【図２１】図９に示す搬送装置における第２のスライダ
を接近させた状態を示す平面図である。

【符号の説明】

１０検査装置１２液晶パネル。３０支持台４０プローブユニット５２受け渡しステージ５４検査ステージ５６搬送装置７８端縁受け８０バックライトユニット８２ストッパ８４プッシャー機構８６回転機構８８揺動体

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】多角形の液晶パネルを受ける受け面を備
えるワークテーブルと、液晶パネルの隣り合う２つの端
縁を受けるべく前記受け面から突出する第１および第２
のストッパ手段と、液晶パネルの隣り合う２つの端縁を
両ストッパ手段に当接させるべく液晶パネルを押圧する
押圧手段とを含む、液晶パネル用検査ステージ。
【請求項２】前記押圧手段は、液晶パネルを前記第１
のストッパ手段に押圧する少なくとも１つの第１のプッ
シャー機構と、液晶パネルを前記第２のストッパに押圧
する少なくとも１つの第２のプッシャーとを備える、請
求項１に記載の検査ステージ。
【請求項３】前記第１のプッシャー機構は前記第１の
ストッパ手段から第１の方向へ間隔をおいており、前記
第２のプッシャー機構は前記第２のストッパ手段から前
記第１の方向と交差する第２の方向へ間隔をおいてい
る、請求項３に記載の検査ステージ。
【請求項４】各プッシャー機構は、逆転可能の回転機
構と、該回転機構により液晶パネルにほぼ垂直の軸線の
周りに回転される揺動体であって正転されたときに液晶
パネルを押す揺動体とを有する、請求項２または３に記
載の検査ステージ。
【請求項５】さらに、前記液晶パネルの端縁を受ける
べく前記第１のプッシャー機構の側にあって前記受け面
から突出する複数の端縁受けを含み、前記受け面は、前
記第１のプッシャー機構の側が下方となりかつ前記第１
のストッパの側が上方となるように、傾斜されている、
請求項２〜４のいずれか１項に記載の検査ステージ。
【請求項６】各ストッパ手段は、一方向に間隔をおい
た複数のストッパを備える、請求項１〜５のいずれか１
項に記載の検査ステージ。