JPH108158A - Treating device and treatment - Google Patents
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は処理装置および処理
方法に関する。特に本発明は水銀などの有害物質を含有
する物体から水銀を分離、回収する処理装置および処理
方法に関する。The present invention relates to a processing apparatus and a processing method. In particular, the present invention relates to a processing apparatus and a processing method for separating and recovering mercury from an object containing a harmful substance such as mercury.
【0002】また本発明は、水銀と水銀以外の金属とを
含有する物体から、水銀を分離、回収するとともに、水
銀以外の金属についても分離、回収する処理装置および
処理方法に関する。The present invention also relates to a processing apparatus and a processing method for separating and recovering mercury from an object containing mercury and a metal other than mercury, and separating and recovering a metal other than mercury.
【0003】また、本発明は乾電池の処理装置および処
理方法に関する。[0003] The present invention also relates to an apparatus and a method for processing a dry battery.
【0004】さらにまた本発明は水銀などの有害物質を
含有した乾電池の処理装置および処理方法に関する。Further, the present invention relates to an apparatus and a method for treating a dry battery containing a harmful substance such as mercury.
【0005】[0005]
【従来の技術】現代社会が抱える膨大な量の廃棄物は日
々増え続けており、その効果的な処理技術の確立が急務
である。2. Description of the Related Art The enormous amount of wastes in modern society is increasing daily, and it is urgently necessary to establish effective treatment techniques.
【0006】廃棄物中には様々な有用な物質も含まれて
いるが、分離の困難さなどから廃棄物から分離されず、
ほとんどの廃棄物はそのまま埋め立や焼却により処分さ
れている。廃棄物中の有用物質は、エネルギー問題や資
源枯渇問題もあり、できるかぎり分離・回収して再利用
することが求められている。Although various useful substances are contained in the waste, it is not separated from the waste due to difficulty in separation.
Most waste is disposed of by landfill or incineration. Useful substances in waste have energy problems and resource depletion problems, and it is required to separate and collect and reuse them as much as possible.
【0007】一方、廃棄物中には例えば水銀などの有害
な物質も含まれており、このような有害物質は環境破壊
の原因になるだけでなく、廃棄物の再利用を困難にして
いる大きな原因の一つである。したがって、廃棄物中の
有害物質を効果的に取り除くことができれば、廃棄物を
資源の宝庫として積極的に再利用することが可能になる
とともに、環境や生物への影響も最小限にとどめること
ができる。On the other hand, harmful substances such as mercury are contained in wastes, and such harmful substances not only cause environmental destruction but also make it difficult to recycle wastes. It is one of the causes. Therefore, if the harmful substances in the waste can be effectively removed, the waste can be actively reused as a treasure trove of resources, and the impact on the environment and living things can be minimized. it can.
【0008】このように、有害物質による環境汚染、資
源の枯渇、エネルギー源の不足といった現代社会を取り
巻く深刻な問題を解決するために、廃棄物や有害物質を
含有する有価物を効果的に処理する技術は是非とも確立
されなければならない。[0008] Thus, in order to solve the serious problems surrounding the modern society such as environmental pollution by harmful substances, depletion of resources, and shortage of energy sources, wastes and valuables containing harmful substances are effectively treated. Technology must be established by all means.
【0009】しかしながら、近年廃棄物の形態は複雑多
岐にわったっており、複数の異なった素材が一体化した
複合的な廃棄物も多く、さらに有害物質が含まれている
廃棄物もある。このような複合廃棄物を資源として再利
用するためには、複数の異なった素材が一体化した廃棄
物から、有用な物質、有害な物質を選択的に分離・回収
しなければならないが、このような処理技術は未だ確立
されていない。However, in recent years, the forms of waste have become complex and diverse, and there are many complex wastes in which a plurality of different materials are integrated, and there are also wastes containing harmful substances. In order to reuse such complex waste as a resource, it is necessary to selectively separate and recover useful and harmful substances from the waste in which multiple different materials are integrated. Such processing technology has not been established yet.
【0010】例えば、乾電池は鉄、亜鉛、マンガン、
銅、銀、水銀などの金属を構成材として有しているが、
これら複数の構成材が複合的に組み合わさっているため
にその処理を困難なものにしている。さらに、乾電池に
電解液が用いられていることも処理を困難なものにして
いる理由の一つである。For example, dry batteries are made of iron, zinc, manganese,
Although it has metals such as copper, silver, and mercury as components,
The complex combination of these components makes their processing difficult. Further, the use of an electrolytic solution in a dry battery is one of the reasons for making the treatment difficult.
【0011】最近の環境破壊に対する関心の高まりによ
って、水銀を用いた電子機器、計器類、電池、蛍光灯、
温度計などの廃棄物処理についても社会問題となってい
る。ほとんどの乾電池は現在無水銀化が図られている
が、当分の間は排出の続く水銀を含有する廃乾電池処理
を安全にしかも効率的に行う必要がある。[0011] Due to the recent growing interest in environmental destruction, electronic devices, instruments, batteries, fluorescent lamps,
Waste disposal such as thermometers is also a social issue. Most batteries are currently mercury-free, but for the time being, there is a need to safely and efficiently dispose of mercury-containing waste batteries that continue to be discharged.
【0012】水銀を含有する乾電池については、水銀の
毒性が高くまた揮発性も高いことからその処理は極めて
困難なものである。回収後保管されている乾電池、未だ
回収されていない乾電池を含めると膨大な量の乾電池を
処理する必要があり、このような廃棄物の安全で効果的
な処理技術の確立が望まれている。Dry batteries containing mercury are extremely difficult to treat because of their high toxicity and high volatility. It is necessary to treat an enormous amount of batteries, including batteries that have been stored after collection and batteries that have not yet been collected, and it is desired to establish a safe and effective treatment technique for such waste.
【0013】従来、乾電池の廃棄物は、埋め立てや焼却
により処理されていたが、水銀を含有する乾電池を焼却
処理した場合、水銀の大気排出をもたらすことが確認さ
れており、広範囲な環境汚染を引き起こすという問題が
ある。Conventionally, waste from dry batteries has been disposed of by landfilling or incineration. However, it has been confirmed that incineration of dry cells containing mercury causes mercury to be discharged into the atmosphere. There is a problem of causing.
【0014】燃焼などにより高温で揮散した水銀を含む
排ガスを処理し、湿式洗浄装置や集塵装置により液層や
固層に除去する方法も行われているが、高温での処理で
は乾電池の構成樹脂などから有害な有機物質が生成して
しまうという問題がある。特に乾電池の電解液、封止材
などの構成材にハロゲン化物が用いられている場合には
PCDDsやPCDFcなどのいわゆるダイオキシンが
発生するという問題がある。[0014] A method of treating exhaust gas containing mercury volatilized at a high temperature due to combustion or the like and removing it into a liquid layer or a solid layer by a wet cleaning device or a dust collecting device is also performed. There is a problem that harmful organic substances are generated from resins and the like. In particular, when a halide is used as a constituent material such as an electrolyte solution or a sealing material of a dry battery, there is a problem that so-called dioxins such as PCDDs and PCDFc are generated.
【0015】例えば塩化ビニール、難燃性プラスティッ
ク、防腐処理した木材を焼却処理すると、ハロゲンガス
が発生し、極めて強い毒性を有するPCDDs(ポリ塩
化ダイオキシン)やPCDFc(ポリ塩化ベンゾフラ
ン)が発生する。このようなダイオキシンは電気集塵機
内部でも生成することがわかっている。また、ダイオキ
シンは約200℃付近から生成しはじめ、300℃前後
で生成量が急増することが知られており、焼却処理はダ
イオキシンの発生を防止するという観点からも問題があ
る。For example, when vinyl chloride, flame-retardant plastic, or preservative-treated wood is incinerated, halogen gas is generated, and PCDDs (polychlorinated dioxin) and PCDFc (polychlorinated benzofuran) having extremely high toxicity are generated. It has been found that such dioxins are also generated inside the electric dust collector. Further, it is known that dioxin starts to be generated at about 200 ° C., and that the amount of generated dioxin rapidly increases at around 300 ° C., and incineration has a problem from the viewpoint of preventing generation of dioxin.
【0016】一方、埋め立て処理はかさばること、場所
の確保も困難であること等の問題がある。また、腐食な
どにより乾電池中の水銀などの有害物質が溶出し、水質
汚染や土壌汚染を引き起こすという問題がある。特に酸
性雨により乾電池の構成金属溶出量は急激に増大し、環
境や生物に対し深刻な影響を及ぼすことが懸念されてい
る。On the other hand, there are problems that the landfill process is bulky and that it is difficult to secure a place. Further, there is a problem that harmful substances such as mercury in the dry battery are eluted due to corrosion or the like, causing water pollution and soil pollution. Particularly, the amount of constituent metals eluted from the dry battery is rapidly increased due to the acid rain, and there is a concern that it has a serious effect on the environment and living things.
【0017】また、乾電池の無水銀化が図られたとして
も、乾電池は鉄、亜鉛、マンガン、銅、銀などの多くの
金属資源を含有しており、これら構成金属の精練には大
量のエネルギーが使われている。したがって、せっかく
精練した金属を埋め立てたり、焼却により酸化物化して
しまうのはエネルギーの浪費であり、金属状態のまま資
源として再利用する技術を確立することが望まれてい
る。Even if a dry battery is made to be mercury-free, the dry battery contains many metal resources such as iron, zinc, manganese, copper and silver. Is used. Therefore, it is a waste of energy to bury a scoured metal or oxidize it by incineration, and it is desired to establish a technique for reusing it as a resource in a metal state.
【0018】このようなことから、水銀などの有害物質
を含む廃棄物を処理する際に、水銀を分離・回収すると
ともに、その他の構成材も分離回収して再利用する技術
の確立が求められている。Accordingly, it is necessary to establish a technology for separating and recovering mercury and separating and recovering other constituent materials for the disposal of waste containing harmful substances such as mercury. ing.
【0019】[0019]
【発明が解決しようとする課題】本発明はこのような問
題を解決するためになされたものである。すなわち本発
明は水銀を含有する物体を効果的に処理できる処理装置
及び処理方法を提供することを目的とする。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve such a problem. That is, an object of the present invention is to provide a processing apparatus and a processing method capable of effectively processing an object containing mercury.
【0020】本発明は水銀を含む物体から水銀を分離・
回収することができる処理装置及び処理方法を提供する
ことを目的とする。The present invention separates mercury from objects containing mercury.
It is an object of the present invention to provide a processing apparatus and a processing method that can be collected.
【0021】また本発明は水銀と水銀以外の金属とを含
む物体から水銀を分離・回収するとともに処理対象物体
の水銀以外の構成金属も分離・回収することができる処
理装置及び処理方法を提供することを目的とする。Further, the present invention provides a processing apparatus and a processing method capable of separating and recovering mercury from an object containing mercury and a metal other than mercury and separating and recovering constituent metals other than mercury of an object to be processed. The purpose is to:
【0022】また、本発明は乾電池などの複数の構成金
属と水を含有する物体から、水分を除去し、構成金属を
効果的に分離、回収することができる処理装置及び処理
方法を提供することを目的とする。Another object of the present invention is to provide a processing apparatus and a processing method capable of removing water from an object containing water and a plurality of constituent metals, such as a dry battery, and effectively separating and recovering the constituent metals. With the goal.
【0023】また、本発明は乾電池の構成金属を効果的
に分離回収することができる処理装置及び処理方法を提
供することを目的とする。Another object of the present invention is to provide a processing apparatus and a processing method capable of effectively separating and recovering constituent metals of a dry battery.
【0024】また本発明は、水銀を含有する物体を効果
的に処理するとともに、ダイオキシンの発生を抑制する
ことができる処理装置及び処理方法を提供することを目
的とする。Another object of the present invention is to provide a processing apparatus and a processing method capable of effectively processing an object containing mercury and suppressing the generation of dioxin.
【0025】[0025]
【課題を解決するための手段】本発明の処理装置は、水
銀である第1の金属を含む物体を収容する気密容器と、
前記気密容器内の温度を調節する温度調節手段と、前記
気密容器に接続され、この気密容器内を排気する第1の
排気系を有する圧力調節手段と、減圧下で前記物体中の
第1の金属が気化するように前記温度調節手段と前記圧
力調節手段とを制御する第1の制御手段と、前記気密容
器と第1の排気系との間に配設され、前記物体から気化
した第1の金属を凝縮させて回収する第1の回収手段と
を具備したことを特徴とする。According to the present invention, there is provided a processing apparatus comprising: an airtight container for containing an object containing a first metal which is mercury;
Temperature adjusting means for adjusting the temperature in the airtight container; pressure adjusting means connected to the airtight container and having a first exhaust system for exhausting the airtight container; First control means for controlling the temperature control means and the pressure control means so that metal is vaporized, and a first control means disposed between the airtight container and a first exhaust system, the first vaporized from the object. And first collecting means for condensing and collecting the metal.
【0026】また本発明の処理装置は、水銀である第1
の金属を含む物体を収容する気密容器と、前記気密容器
内の温度を調節する温度調節手段と、前記気密容器に接
続され、この気密容器内を排気する封液循環系を有する
液封式真空ポンプを備えた第1の排気系を有する圧力調
節手段と、減圧下で前記物体中の第1の金属が気化する
ように前記温度調節手段と前記圧力調節手段とを制御す
る第1の制御手段と、前記封液循環系に配設され、前記
封液により捕捉された第1の金属を回収する第2の回収
手段とを具備したことを特徴とする。Further, the processing apparatus of the present invention is characterized in that the first
A liquid-tight vacuum having an air-tight container for storing an object containing metal, a temperature control means for adjusting the temperature in the air-tight container, and a liquid-circulating system connected to the air-tight container and evacuating the air-tight container. Pressure adjusting means having a first exhaust system provided with a pump, and first controlling means for controlling the temperature adjusting means and the pressure adjusting means such that a first metal in the object is vaporized under reduced pressure. And a second recovery means disposed in the liquid sealing circulation system and recovering the first metal captured by the liquid sealing.
【0027】また本発明の処理装置は、水銀である第1
の金属を含む物体を収容する気密容器と、前記気密容器
内の温度を調節する温度調節手段と、前記気密容器に接
続され、この気密容器内を排気する封液循環系を有する
液封式真空ポンプを備えた第1の排気系を有する圧力調
節手段と、減圧下で前記物体中の第1の金属が気化する
ように前記温度調節手段と前記圧力調節手段とを制御す
る第1の制御手段と、前記気密容器と第1の排気系との
間に配設され、前記物体から気化した第1の金属を凝縮
させて回収する第1の回収手段と、前記封液循環系に配
設され、前記封液に捕捉された第1の金属を回収する第
2の回収手段とを具備したことを特徴とする。Further, the processing apparatus of the present invention has a first
A liquid-tight vacuum having an air-tight container for storing an object containing metal, a temperature control means for adjusting the temperature in the air-tight container, and a liquid-circulating system connected to the air-tight container and evacuating the air-tight container. Pressure adjusting means having a first exhaust system provided with a pump, and first controlling means for controlling the temperature adjusting means and the pressure adjusting means such that a first metal in the object is vaporized under reduced pressure. A first recovery means disposed between the airtight container and the first exhaust system for condensing and recovering the first metal vaporized from the object; and a first recovery means disposed in the liquid sealing circulation system. And a second recovery means for recovering the first metal captured by the sealing liquid.
【0028】また本発明の処理装置は、水銀である第1
の金属と水銀以外の第2の金属を含有する処理対象物体
を収容する気密容器と、前記気密容器内の温度を調節す
る温度調節手段と、前記気密容器に接続され、この気密
容器内を減圧する封液循環系を有する液封式真空ポンプ
を備えた第1の排気系を有する第1の圧力調節手段と、
第1の圧力調節手段と切替可能に前記気密容器に接続さ
れ、この気密容器内を減圧する第2の排気系を有する第
2の圧力調節手段と、第1の排気系により減圧された前
記気密容器内で前記物体中の第1の金属が気化するよう
に、前記温度調節手段と第1の圧力調節手段とを制御す
る第1の制御手段と、第2の排気系により減圧された前
記気密容器内で前記物体中の第2の金属が気化するよう
に前記温度調節手段と第2の圧力調節手段とを制御する
第2の制御手段と、前記気密容器と第1の排気系との間
に配設された、前記物体から気化した第1の金属を凝縮
させて回収する第1の回収手段と、前記封液循環系に配
設された、前記封液に捕捉された第1の金属を回収する
第2の回収手段と、前記気密容器と第2の排気系との間
に配設された、前記物体から気化した第2の金属を凝縮
させて回収する第3の回収手段とを具備したことを特徴
とする。Further, the processing apparatus of the present invention has a first
An airtight container containing an object to be treated containing a second metal other than the metal and mercury, temperature control means for adjusting the temperature in the airtight container, and a decompression inside the airtight container which is connected to the airtight container. First pressure adjusting means having a first exhaust system provided with a liquid ring vacuum pump having a liquid sealing circulation system,
A second pressure adjusting means connected to the airtight container so as to be switchable with the first pressure adjusting means and having a second exhaust system for depressurizing the inside of the airtight container; and the airtightness reduced by the first exhaust system. First control means for controlling the temperature control means and the first pressure control means so that the first metal in the object is vaporized in the container, and the hermetic pressure reduced by a second exhaust system A second control unit for controlling the temperature adjustment unit and the second pressure adjustment unit such that a second metal in the object is vaporized in the container; A first collecting means disposed in the liquid condensing means for condensing and collecting the first metal vaporized from the object; and a first metal trapped in the sealing liquid, disposed in the liquid sealing circulation system. A second recovery means for recovering the air, and a second exhaust means disposed between the hermetic container and the second exhaust system. Characterized by comprising a third collecting means for collecting and condensing the second metal vaporized from the object.
【0029】また本発明の処理装置は、水銀である第1
の金属と水銀以外の第2の金属を含有する処理対象物体
を収容する気密容器と、前記気密容器内の温度を調節す
る温度調節手段と、前記気密容器に接続され、この気密
容器内を減圧する封液循環系を有する液封式真空ポンプ
を備えた第1の排気系を有する第1の圧力調節手段と、
第1の圧力調節手段と切替可能に前記気密容器に接続さ
れ、この気密容器内を減圧する第2の排気系を有する第
2の圧力調節手段と、第1の排気系により減圧された前
記気密容器内で前記物体中の第1の金属が気化するよう
に、前記温度調節手段と第1の圧力調節手段とを制御す
る第1の制御手段と、第2の排気系により減圧された前
記気密容器内で前記物体中の第2の金属が気化するよう
に前記温度調節手段と第2の圧力調節手段とを制御する
第2の制御手段と、前記封液循環系に配設された、前記
封液に捕捉された第1の金属を回収する第2の回収手段
と、前記気密容器と第2の排気系との間に配設された第
2の金属を回収する第3の回収手段とを具備したことを
特徴とする。Further, the processing apparatus of the present invention has a first
An airtight container containing an object to be treated containing a second metal other than the metal and mercury, temperature control means for adjusting the temperature in the airtight container, and a decompression inside the airtight container which is connected to the airtight container. First pressure adjusting means having a first exhaust system provided with a liquid ring vacuum pump having a liquid sealing circulation system,
A second pressure adjusting means connected to the airtight container so as to be switchable with the first pressure adjusting means and having a second exhaust system for depressurizing the inside of the airtight container; and the airtightness reduced by the first exhaust system. First control means for controlling the temperature control means and the first pressure control means so that the first metal in the object is vaporized in the container, and the hermetic pressure reduced by a second exhaust system A second control unit that controls the temperature adjustment unit and the second pressure adjustment unit so that a second metal in the object is vaporized in the container, and the second control unit is disposed in the liquid sealing circulation system. Second collection means for collecting the first metal captured in the sealing liquid, and third collection means for collecting the second metal disposed between the airtight container and a second exhaust system; It is characterized by having.
【0030】また本発明の処理装置は、第2の回収系と
第2の排気系との間に、前記物体から気化したガスを冷
却するガス冷却手段をさらに具備するようにしてもよ
い。7また本発明の処理装置の封液循環系は、前記封液
を冷却する封液冷却手段と、前記封液のpHを調節する
pH調節手段とをさらに具備するようにしてもよい。ま
た本発明の処理装置は、前記気密容器と第1の排気系と
の間に、前記物体から気化したガスを第1の金属の気化
状態を保持したまま中和するガス中和手段をさらに具備
するようにしてもよい。The processing apparatus of the present invention may further include a gas cooling means for cooling gas vaporized from the object between the second recovery system and the second exhaust system. 7. Further, the sealing liquid circulation system of the processing apparatus of the present invention may further include a sealing liquid cooling means for cooling the sealing liquid, and a pH adjusting means for adjusting the pH of the sealing liquid. Further, the processing apparatus of the present invention further includes gas neutralizing means for neutralizing the gas vaporized from the object while maintaining the vaporized state of the first metal between the hermetic container and the first exhaust system. You may make it.
【0031】また本発明の処理装置は、前記気密容器と
第1の排気系との間に、前記物体から気化したガスを冷
却するガス冷却手段をさらに具備するようにしてもよ
い。Further, the processing apparatus of the present invention may further include a gas cooling means for cooling gas vaporized from the object between the airtight container and the first exhaust system.
【0032】また本発明の処理装置は、前記気密容器内
の酸素濃度を調節する酸素濃度調節手段をさらに具備す
るようにしてもよい。Further, the processing apparatus of the present invention may further include an oxygen concentration adjusting means for adjusting the oxygen concentration in the airtight container.
【0033】本発明の処理方法は、接続された第1の排
気系により減圧された気密容器内で水銀である第1の金
属を含有する物体を加熱し第1の金属を含むガスを抽出
する第1の抽出工程と、前記気密容器と第1の排気系と
の間で前記ガスから第1の金属を凝縮させて回収する第
1の回収工程とを具備したことを特徴とする。According to the processing method of the present invention, an object containing a first metal, which is mercury, is heated in an airtight container depressurized by a connected first exhaust system to extract a gas containing the first metal. A first extraction step and a first recovery step of condensing and recovering a first metal from the gas between the hermetic container and a first exhaust system are provided.
【0034】また本発明の処理方法は、液封式真空ポン
プを備えた第1の排気系により減圧された気密容器内で
水銀である第1の金属を含有する物体を加熱し第1の金
属を含むガスを抽出する第1の抽出工程と、前記液封式
真空ポンプの封液により前記ガスから第1の金属を捕捉
して回収する第2の回収工程とを具備したことを特徴と
する。Further, in the processing method of the present invention, an object containing a first metal, which is mercury, is heated in an airtight container decompressed by a first exhaust system equipped with a liquid ring vacuum pump, and the first metal is heated. A first extraction step of extracting a gas containing, and a second recovery step of capturing and recovering a first metal from the gas with a liquid sealed by the liquid ring vacuum pump. .
【0035】また本発明の処理方法は、液封式真空ポン
プを備えた第1の排気系により減圧された気密容器内で
水銀である第1の金属を含有する物体を加熱し第1の金
属を含むガスを抽出する第1の抽出工程と、前記気密容
器と前記排気系との間で前記ガスから第1の金属を凝縮
させて回収する第1の回収工程と、前記液封式真空ポン
プの封液に前記ガスから第1の金属を捕捉して回収する
第2の回収工程とを具備したことを特徴とする。Further, in the treatment method of the present invention, an object containing a first metal, which is mercury, is heated in a hermetically sealed container which is depressurized by a first exhaust system equipped with a liquid ring vacuum pump. A first extraction step of extracting a gas containing, a first recovery step of condensing and recovering a first metal from the gas between the airtight container and the exhaust system, and the liquid-ring vacuum pump And a second collecting step of collecting and collecting the first metal from the gas in the sealing liquid.
【0036】また本発明の処理方法は、液封式真空ポン
プを備えた第1の排気系により減圧された気密容器内で
水と水銀と樹脂とを構成材として有する乾電池を加熱
し、前記樹脂を熱分解するとともに前記水と前記水銀と
を含むガスを抽出する第1の抽出工程と、前記液封式真
空ポンプの封液により前記ガス中の水と水銀とを捕捉し
て回収する回収工程とを具備したことを特徴とする。Further, in the treatment method of the present invention, a dry battery having water, mercury, and resin as constituents is heated in an airtight container decompressed by a first exhaust system equipped with a liquid ring vacuum pump, A first extraction step of thermally decomposing and extracting a gas containing the water and the mercury, and a recovery step of capturing and recovering water and mercury in the gas with a liquid sealed by the liquid ring vacuum pump. And characterized in that:
【0037】また本発明の処理方法は、温度調節手段
と、液封式真空ポンプを備えた第1の排気系と、第1の
排気系と切替可能な第2の排気系とを備えた気密容器内
に、水銀である第1の金属と水銀以外の第2の金属を含
有する物体を収容する工程と、第1の排気系により減圧
された前記気密容器内で第1の金属が気化するように前
記物体を加熱し、第1の金属を含むガスを抽出する第1
の抽出工程と、第2の排気系により減圧された前記気密
容器内で第2の金属が気化するように前記物体を加熱
し、第2の金属を含むガスを抽出する第2の抽出工程
と、前記気密容器と第1の排気系との間で第1の金属を
凝縮させて回収する第1の回収工程と、前記液封式真空
ポンプの封液により第1の金属を捕捉して回収する第2
の回収工程と、前記気密容器と第2の排気系との間で第
2の金属を凝縮させて回収する第3の回収工程とを具備
したことを特徴とする。Further, the processing method of the present invention provides a hermetic airtight system comprising a temperature adjusting means, a first exhaust system provided with a liquid ring vacuum pump, and a second exhaust system switchable with the first exhaust system. A step of housing an object containing a first metal that is mercury and a second metal other than mercury in a container, and vaporizing the first metal in the hermetic container that is depressurized by a first exhaust system Heating said object and extracting a gas comprising a first metal
And a second extraction step of heating the object so that the second metal is vaporized in the airtight container decompressed by the second exhaust system, and extracting a gas containing the second metal. A first recovery step of condensing and recovering the first metal between the hermetic container and the first exhaust system, and capturing and recovering the first metal by liquid sealing of the liquid ring vacuum pump. Second
And a third recovery step of condensing and recovering the second metal between the hermetic container and the second exhaust system.
【0038】また本発明の処理方法は、温度調節手段
と、液封式真空ポンプを備えた第1の排気系と、第1の
排気系と切替可能な第2の排気系とを備えた気密容器内
に、水銀である第1の金属と水銀以外の第2の金属を含
有する物体を収容する工程と、第1の排気系により減圧
された前記気密容器内で第1の金属が気化するように前
記物体を加熱し、第1の金属を含むガスを抽出する第1
の抽出工程と、第2の排気系により減圧された前記気密
容器内で第2の金属が気化するように前記物体を加熱
し、第2の金属を含むガスを抽出する第2の抽出工程
と、前記液封式真空ポンプの封液により第1の金属を捕
捉して回収する第2の回収工程と、前記気密容器と第2
の排気系との間で第2の金属を凝縮させて回収する第3
の回収工程とを具備したことを特徴とする。Further, the processing method of the present invention provides a hermetic air conditioner comprising a temperature adjusting means, a first exhaust system provided with a liquid ring vacuum pump, and a second exhaust system switchable with the first exhaust system. A step of housing an object containing a first metal that is mercury and a second metal other than mercury in a container, and vaporizing the first metal in the hermetic container that is depressurized by a first exhaust system Heating said object and extracting a gas comprising a first metal
And a second extraction step of heating the object so that the second metal is vaporized in the airtight container decompressed by the second exhaust system, and extracting a gas containing the second metal. A second recovery step of capturing and recovering the first metal with a liquid sealed by the liquid-ring vacuum pump;
And condensing and recovering the second metal with the exhaust system
And a collecting step.
【0039】また本発明の処理方法は、液封式真空ポン
プを備えた第1の排気系と、第1の排気系と切替可能に
接続された第2の排気系と、加熱手段とを備えた気密容
器内に、水と樹脂と水銀である第1の金属と水銀以外の
第2の金属を構成材として有する乾電池を収容する工程
と、第1の排気系により減圧された前記気密容器内で前
記乾電池を加熱し、前記樹脂を熱分解するとともに前記
水と第1の金属とを含むガスを抽出する第1の抽出工程
と、前記気密容器と第1の真空ポンプとの間で、第1の
金属を凝縮させて回収するる第1の回収工程と、前記液
封式真空ポンプの封液により前記水と第1の金属とを捕
捉して回収する第2の回収工程と、第2の排気系により
減圧された前記気密容器内で前記乾電池を加熱し、第2
の金属を気化させる第2の抽出工程と、前記気密容器と
第2の排気系との間で第2の金属を凝縮させて回収する
第3の回収工程とを具備したことを特徴とする。Further, the processing method of the present invention comprises a first exhaust system provided with a liquid ring vacuum pump, a second exhaust system switchably connected to the first exhaust system, and a heating means. Containing a dry battery having water, resin, mercury as a first metal and a second metal other than mercury as constituents in the hermetic container, and reducing the pressure in the hermetic container by a first exhaust system. Heating the dry battery, thermally decomposing the resin, and extracting a gas containing the water and the first metal; and a first extraction step between the hermetic container and the first vacuum pump. A first recovery step of condensing and recovering the first metal, a second recovery step of capturing and recovering the water and the first metal by liquid sealing of the liquid ring vacuum pump, Heating the dry battery in the hermetic container depressurized by the exhaust system of
A second extraction step of vaporizing the metal, and a third recovery step of condensing and recovering the second metal between the hermetic container and a second exhaust system.
【0040】また本発明の処理方法は、液封式真空ポン
プを備えた第1の排気系と、第1の排気系と切替可能に
接続された第2の排気系と、加熱手段とを備えた気密容
器内に、水と樹脂と水銀である第1の金属と水銀以外の
第2の金属を構成材として有する乾電池を収容する工程
と、第1の排気系により減圧された前記気密容器内で前
記乾電池を加熱し、前記樹脂を熱分解するとともに前記
水と第1の金属とを含むガスを抽出する第1の抽出工程
と、前記液封式真空ポンプの封液により前記水と第1の
金属とを捕捉して回収する第2の回収工程と、第2の排
気系により減圧された前記気密容器内で前記乾電池を加
熱し、第2の金属を気化させる第2の抽出工程と、前記
気密容器と第2の排気系との間で第2の金属を凝縮させ
て回収する第3の回収工程とを具備したことを特徴とす
る。Further, the processing method of the present invention includes a first exhaust system provided with a liquid ring vacuum pump, a second exhaust system switchably connected to the first exhaust system, and a heating means. Containing a dry battery having water, resin, mercury as a first metal and a second metal other than mercury as constituents in the hermetic container, and reducing the pressure in the hermetic container by a first exhaust system. A first extraction step of heating the dry battery to thermally decompose the resin and extracting a gas containing the water and the first metal; and sealing the water and the first by the liquid sealing of the liquid ring vacuum pump. A second recovery step of capturing and recovering the metal of the second type, and a second extraction step of heating the dry battery in the hermetic container depressurized by a second exhaust system to vaporize the second metal; A third metal for condensing and collecting the second metal between the hermetic container and the second exhaust system; Characterized by comprising a yield process.
【0041】また本発明の処理方法は、液封式真空ポン
プを備えた第1の排気系と、第1の排気系と切替可能に
接続された第2の排気系と、加熱手段とを備えた気密容
器内に、水と樹脂と第2の金属とを構成材として有する
乾電池を収容する工程と、第1の排気系により減圧され
た前記気密容器内で前記乾電池を加熱し、前記樹脂を熱
分解するとともに前記水を含むガスを抽出する第1の抽
出工程と、前記液封式真空ポンプの封液により前記水を
捕捉して回収する第2の回収工程と、第2の排気系によ
り減圧された前記気密容器内で前記乾電池を加熱し、第
2の金属を気化させる第2の抽出工程と、前記気密容器
と第2の排気系との間で第2の金属を凝縮させて回収す
る第3の回収工程とを具備したことを特徴とする。Further, the processing method of the present invention comprises a first exhaust system provided with a liquid ring vacuum pump, a second exhaust system switchably connected to the first exhaust system, and a heating means. Storing a dry battery having water, a resin, and a second metal as constituents in the hermetic container, and heating the dry battery in the hermetic container decompressed by a first exhaust system, thereby removing the resin. A first extraction step of thermally decomposing and extracting the water-containing gas, a second recovery step of capturing and recovering the water with a liquid sealed by the liquid ring vacuum pump, and a second exhaust system. Heating the dry battery in the depressurized airtight container to evaporate a second metal; and condensing and recovering the second metal between the airtight container and a second exhaust system. And a third recovery step.
【0042】また本発明の処理方法においては、第2の
抽出工程で気化したガスを、第3の回収工程の直後に冷
却する冷却工程をさらに具備するようにしてもよい。Further, the processing method of the present invention may further include a cooling step of cooling the gas vaporized in the second extraction step immediately after the third recovery step.
【0043】また本発明の処理方法においては、第1の
抽出工程により気化したガスを、前記気密容器と第1の
排気系との間で第1の金属の気化状態を保持したまま中
和する中和工程をさらに具備するようにしてもよい。In the treatment method of the present invention, the gas vaporized in the first extraction step is neutralized between the hermetic container and the first exhaust system while maintaining the vaporized state of the first metal. A neutralization step may be further provided.
【0044】また本発明の処理方法においては、第1の
抽出工程により気化したガスを、前記気密容器と第1の
排気系との間で冷却する冷却工程をさらに具備するよう
にしてもよい。Further, the processing method of the present invention may further include a cooling step of cooling the gas vaporized in the first extraction step between the hermetic container and the first exhaust system.
【0045】また本発明の処理方法においては、第1の
排気系または第2の排気系から排気する排気ガスを活性
炭で吸着処理してから排気する工程をさらに具備するよ
うにしてもよい。Further, the treatment method of the present invention may further include a step of exhausting the exhaust gas exhausted from the first exhaust system or the second exhaust system with activated carbon and then exhausting the exhaust gas.
【0046】また本発明の処理方法においては、第1の
抽出工程は酸素濃度を調節して行うようにしてもよい。In the treatment method of the present invention, the first extraction step may be performed by adjusting the oxygen concentration.
【0047】また本発明の処理方法においては、第1の
抽出工程は10Torr以下で行うようにしてもよい。In the processing method of the present invention, the first extraction step may be performed at 10 Torr or less.
【0048】また本発明の処理方法においては、第1の
抽出工程は150℃以下で行うようにしてもよい。In the treatment method of the present invention, the first extraction step may be performed at 150 ° C. or lower.
【0049】すなわち本発明の処理装置は、減圧された
気密容器内で水銀を含む物体をこの水銀が気化するよう
に加熱し、気化させた水銀を気密容器と排気系との間で
凝縮させ、または、液封式真空ポンプを備えた排気系の
封液により捕捉するものである。ここで捕捉とは、例え
ばミスト状の水銀など液化した水銀の封液への混入、気
体状態の水銀の封液への凝縮などを含め、処理対象物体
から気化した水銀が様々な態様で封液へ移動することを
いう。本発明においては、気密容器内を減圧して処理対
象物体から水銀含有ガスを気化させているため、焼却処
理、ばい焼、酸化条件での加熱と比較して、より低い温
度で水銀含有ガスが抽出される。また、気密容器内を減
圧することにより酸素濃度も低下し、気密容器内は非酸
化雰囲気になるから、気化した水銀の酸化が防止され
る。That is, the treatment apparatus of the present invention heats an object containing mercury in a depressurized airtight container so that the mercury is vaporized, and condenses the vaporized mercury between the airtight container and the exhaust system. Alternatively, the liquid is captured by a liquid sealed in an exhaust system provided with a liquid ring vacuum pump. Here, the capture means that the mercury vaporized from the object to be treated is sealed in various modes, including, for example, mixing of liquefied mercury such as mist-like mercury into the sealing liquid and condensation of gaseous mercury into the sealing liquid. To move to In the present invention, since the mercury-containing gas is vaporized from the object to be treated by depressurizing the inside of the hermetic container, the mercury-containing gas is produced at a lower temperature compared to incineration, roasting, and heating under oxidizing conditions. Is extracted. Further, by reducing the pressure in the hermetic container, the oxygen concentration also decreases, and the inside of the hermetic container becomes a non-oxidizing atmosphere, so that oxidation of vaporized mercury is prevented.
【0050】一方、減圧すると気密容器内の熱伝導率は
低下する。しかし、気密容器内が非酸化雰囲気であれ
ば、大気圧下または加圧下でも処理対象物体は酸化され
ない。したがって気密容器内を非酸化雰囲気、かつ大気
圧に近い圧力に調節し、このような熱伝導率のよい状態
で所定の温度まで加熱し、その後に気密容器内を減圧し
て第1の金属を気化させるようにしてもよい。On the other hand, when the pressure is reduced, the thermal conductivity in the airtight container decreases. However, if the inside of the airtight container is a non-oxidizing atmosphere, the object to be treated is not oxidized even under atmospheric pressure or under pressure. Therefore, the inside of the hermetic container is adjusted to a non-oxidizing atmosphere and a pressure close to the atmospheric pressure, heated to a predetermined temperature in such a state of good thermal conductivity, and then the inside of the hermetic container is depressurized to reduce the first metal You may make it evaporate.
【0051】本発明の処理装置が備える温度調節手段と
しては、加熱手段と温度測定手段を用いるようにすれば
よい。加熱手段としては、各種対流加熱、輻射加熱など
を必要に応じて選択し、又は組合わせて用いるようにす
ればよい。例えばシーズヒーターなどの抵抗加熱を用い
るようにしてもよいし、ガス、重油や軽油などを燃焼さ
せるようにしてもよい。さらに誘導加熱手段を用いるよ
うにしてもよい。温度測定手段としては各種温度センサ
を用いるようにすればよい。As the temperature adjusting means provided in the processing apparatus of the present invention, a heating means and a temperature measuring means may be used. As the heating means, various types of convection heating, radiant heating, and the like may be selected as necessary or used in combination. For example, resistance heating such as a sheathed heater may be used, or gas, heavy oil, light oil, or the like may be burned. Further, an induction heating means may be used. Various temperature sensors may be used as the temperature measuring means.
【0052】本発明の処理装置が備える圧力調節手段と
しては、排気手段または加圧手段と圧力測定手段を必要
に応じて組み合わせて用いるようにすればよい。排気手
段は例えばロータリーポンプ、油拡散ポンプ、ブースタ
ーポンプなど各種真空ポンプを用いるようにすればよ
い。本発明においては、水分や、水銀、樹脂の分解生成
物を含有するガスを排気する場合には、排気手段として
液封式真空ポンプを用いる。液封式真空ポンプを用いる
ことにより、水分や、水銀、樹脂の分解生成物などを含
有するガスまたはミストを効果的に扱うことができ、排
気する気体に含まれる水分や、水銀、樹脂の分解生成物
などが捕捉される。したがって、封液から、これらの物
質を回収することができ、また系外への有害な物質の散
逸が防止される。液封式真空ポンプの封液としては水だ
けではなく、例えばエチレングリコール、プロピレング
リコール、モノクロロベンゼン、ジクロロベンゼン、メ
タノール、エタノール、トルエン、キシレン、ケロシ
ン、アクリルニトリル、ヘキサン、エチルベンゼン、ス
チレンなどを用いるようにしてもよい。さらに、排気す
る気体が酸性気体である場合には、液封式真空ポンプの
封液にアルカリ性の溶液を用いるようにしてもよい。As the pressure adjusting means provided in the processing apparatus of the present invention, an exhaust means or a pressurizing means and a pressure measuring means may be used in combination as required. Various vacuum pumps such as a rotary pump, an oil diffusion pump, and a booster pump may be used as the exhaust means. In the present invention, when exhausting a gas containing water, mercury, or a decomposition product of a resin, a liquid ring vacuum pump is used as an exhaust means. By using a liquid ring vacuum pump, gas or mist containing moisture, mercury, decomposition products of resin, etc. can be effectively handled, and moisture, mercury, and resin contained in exhaust gas can be decomposed. Products and the like are captured. Therefore, these substances can be recovered from the sealing liquid, and the harmful substances can be prevented from escaping out of the system. As a liquid sealing liquid pump, not only water but also ethylene glycol, propylene glycol, monochlorobenzene, dichlorobenzene, methanol, ethanol, toluene, xylene, kerosene, acrylonitrile, hexane, ethylbenzene, styrene, etc. It may be. Furthermore, when the gas to be exhausted is an acidic gas, an alkaline solution may be used for sealing the liquid ring vacuum pump.
【0053】液封式真空ポンプには、必要に応じて大気
圧の空気を駆動流体とするガスエジェクタを1段または
多段に備えるようにしてもよい。このようなガスエジェ
クタを備えることにより、より高い真空度が得られ、ま
た液封式真空ポンプの駆動に要する動力が低減する。さ
らに、液封式真空ポンプの吸気側にメカニカルブースタ
ー(ルーツポンプ)を備えるようにしてもよい。液封式
真空ポンプの吸気側にメカニカルブースターを接続する
ことによりより大きな排気速度が得られ、さらに高い真
空度が得られる。The liquid ring vacuum pump may be provided with one or more gas ejectors using air at atmospheric pressure as a driving fluid, if necessary. By providing such a gas ejector, a higher degree of vacuum can be obtained, and the power required for driving the liquid ring vacuum pump is reduced. Further, a mechanical booster (Roots pump) may be provided on the suction side of the liquid ring vacuum pump. By connecting a mechanical booster to the suction side of the liquid ring vacuum pump, a larger pumping speed can be obtained, and a higher degree of vacuum can be obtained.
【0054】加圧手段としては例えばガスリザバーから
気体を系内に導入するようにしてもよい。このリザーブ
ガスとしてN2 またはArなどの希ガス等を用いて、気
密容器内の圧力を調節するとともに、気密容器内の酸素
濃度を調節するようにしてもよい。圧力測定手段はブル
ドン管やピラニーゲージなどを測定する真空度などに応
じて用いるようにすればよい。例えばリザーブガスとし
てN2 またはArなどの希ガス等を用いて、気密容器内
の酸素濃度を調節する場合、気密容器内には、例えばジ
ルコニアセンサなどの酸素濃度測定手段を備えるようす
ればよい。As the pressurizing means, for example, a gas may be introduced into the system from a gas reservoir. Using a rare gas such as N 2 or Ar as the reserve gas, the pressure in the hermetic container may be adjusted, and the oxygen concentration in the hermetic container may be adjusted. The pressure measuring means may be used in accordance with the degree of vacuum for measuring a Bourdon tube, a Pirani gauge, or the like. For example, when the oxygen concentration in the hermetic container is adjusted by using a rare gas such as N 2 or Ar as a reserve gas, an oxygen concentration measuring means such as a zirconia sensor may be provided in the hermetic container.
【0055】そして、気密容器内に水銀を含有する処理
対象物体を収容し、大気圧よりも低い圧力下で処理対象
物体中の水銀が気化するように、温度調節手段と圧力調
節手段、または温度調節手段と圧力調節手段と酸素濃度
調節手段とを制御する。水銀の760Torrにおける
沸点は356.58℃であるが、気密容器内の圧力を減
圧することにより、より低い温度で水銀を気化すること
ができる(図参照)。Then, the object to be treated containing mercury is accommodated in an airtight container, and the temperature adjusting means and the pressure adjusting means, or the temperature adjusting means or the temperature adjusting means are arranged such that the mercury in the object to be treated is vaporized under a pressure lower than the atmospheric pressure. The controlling means controls the controlling means, the pressure controlling means and the oxygen concentration controlling means. Although the boiling point of mercury at 760 Torr is 356.58 ° C., mercury can be vaporized at a lower temperature by reducing the pressure in the airtight container (see the figure).
【0056】例えば水銀は、760Torrでは357
℃で気化するが、102 Torrでは約262℃で、1
0Torrでは約184℃で、1Torrでは約127
℃で、10-1Torrでは約83℃で、10-2Torr
では約47℃で、10-3Torrでは約18℃で気化す
る。For example, mercury is 357 at 760 Torr.
At 262 ° C at 10 2 Torr.
At 0 Torr, it is about 184 ° C, and at 1 Torr, it is about 127
° C., the 10 -1 Torr at about 83 ° C., 10 -2 Torr
At about 47 ° C. and at about 18 ° C. at 10 −3 Torr.
【0057】このように減圧下で処理を行うことによ
り、水銀含有ガスは処理対象物体からより低い温度でを
抽出される。したがって、例えばダイオキシンなどの有
害物質の生成が抑制される。By performing the treatment under the reduced pressure, the mercury-containing gas is extracted at a lower temperature from the object to be treated. Therefore, generation of harmful substances such as dioxin is suppressed.
【0058】このような制御は、例えば気密容器内の圧
力と、この圧力に応じた水銀の沸点との関係により、気
密容器内の温度を検出する温度検出手段、気密容器内を
加熱する加熱手段、気密容器内の圧力を検出する圧力検
出手段、気密容器内を減圧する排気系をそれぞれ駆動す
るようにしてもよい。また、このような制御手段は電子
計算機のプログラムとして、電子計算機のメモリ手段
や、フロッピーディスクなどの記録媒体に格納するよう
にしてもよい。Such control includes, for example, a temperature detecting means for detecting the temperature in the airtight container and a heating means for heating the inside of the airtight container based on the relationship between the pressure in the airtight container and the boiling point of mercury corresponding to this pressure. Alternatively, a pressure detecting means for detecting the pressure in the airtight container and an exhaust system for reducing the pressure in the airtight container may be driven. Such a control means may be stored in a memory means of the computer or a recording medium such as a floppy disk as a program of the computer.
【0059】気密容器内で処理対象物体から気化した水
銀含有ガスは、気密容器に接続された排気系へ導入され
る。気密容器と排気系との間に処理対象物体から気化し
たガスの凝縮手段を備えることにより、ガスに含まれる
水銀は凝縮する。この水銀は、例えば凝縮手段を気密容
器及び排気系と遮断した上で、N2 またはArなどの希
ガス等を導入し大気圧にすることにより回収するように
してもよい。The mercury-containing gas vaporized from the object to be treated in the hermetic container is introduced into an exhaust system connected to the hermetic container. Mercury contained in the gas is condensed by providing a means for condensing gas vaporized from the object to be treated between the airtight container and the exhaust system. This mercury may be recovered, for example, by shutting off the condensing means from the airtight container and the exhaust system, then introducing a rare gas such as N 2 or Ar and bringing the pressure to atmospheric pressure.
【0060】また前述のように、排気手段として液封式
真空ポンプを用いることにより、封液に水銀を捕捉する
ようにしてもよい。封液に捕捉された水銀は、液封式真
空ポンプの封液循環系から回収するようにしてもよい。
例えば、封液循環系に水銀の沈降槽を設けるようにして
もよいし、液体サイクロンなどを用いるようにしてもよ
い。As described above, mercury may be captured in the sealed liquid by using a liquid ring vacuum pump as the exhaust means. Mercury trapped in the sealing liquid may be recovered from the sealing circuit of the liquid ring vacuum pump.
For example, a mercury settling tank may be provided in the sealing liquid circulation system, or a liquid cyclone or the like may be used.
【0061】封液循環系には、循環する封液を冷却する
封液冷却手段、循環する封液のpHを調節するpH調節
手段を備えるようにしてもよい。封液は、液封式真空ポ
ンプの排気速度を向上する観点からも、封液で水銀を捕
捉する観点からも、さらに封液に捕捉した水銀を封液中
に保持する観点からも、封液は冷却することが好まし
い。また、処理対象物体から気化させたガスにより封液
のpHが変化するときには、封液循環系に、封液のpH
を所定範囲に保つためのpH調節手段を設けるようにし
てもよい。The sealing liquid circulation system may be provided with a sealing liquid cooling means for cooling the circulating sealing liquid, and a pH adjusting means for adjusting the pH of the circulating sealing liquid. The sealing liquid is used for improving the pumping speed of the liquid ring vacuum pump, for capturing mercury with the sealing liquid, and for holding mercury captured in the sealing liquid in the sealing liquid. Is preferably cooled. Further, when the pH of the sealed liquid changes due to the gas vaporized from the object to be processed, the pH of the sealed liquid is supplied to the sealed liquid circulation system.
May be provided to maintain pH within a predetermined range.
【0062】封液循環系を循環する封液は一定の水銀濃
度を有することになるが、この封液は、クローズドシス
テムで用いるため特に処理する必要はない。この封液を
処理する必要がある場合には例えば、キレート剤で処理
するようにしてもよいし、フェライト法、還元気化法な
どを用いて処理するようにしてもよい。さらに低濃度の
水銀を過マンガン酸カリウムと硫酸の混合溶液を用いて
処理するようにしてもよい。The sealing liquid circulating in the sealing liquid circulation system has a certain mercury concentration, but this sealing liquid does not need to be particularly treated because it is used in a closed system. When the sealing liquid needs to be treated, for example, it may be treated with a chelating agent, or may be treated using a ferrite method, a reduction vaporization method, or the like. Further, low concentration mercury may be treated using a mixed solution of potassium permanganate and sulfuric acid.
【0063】本発明の処理装置においては、気密容器と
第1の排気系との間に、処理対象物体から気化したガス
を中和するガス中和手段を設けるようにしてもよい。ガ
ス中和手段としては、例えば気密容器と第1の排気系と
の間に例えば粒状の水酸化カルシウムなどを充填したガ
ス中和ユニットを配設するようにしてもよい。また、こ
のユニット内に塩化カルシウムなどを充填し、ガス中の
水分含有量を低下させるようにしてもよい。In the processing apparatus of the present invention, a gas neutralizing means may be provided between the hermetic container and the first exhaust system for neutralizing gas vaporized from the object to be processed. As the gas neutralizing means, for example, a gas neutralizing unit filled with, for example, granular calcium hydroxide or the like may be provided between the airtight container and the first exhaust system. Further, the unit may be filled with calcium chloride or the like to reduce the water content in the gas.
【0064】また、このガス中和手段はガスに含まれる
水銀が、その気化状態を保つような温度で行うようにし
てもよい。水銀の気化状態を保ちながらガスの中和等を
行うことにより、ガス中和ユニットに水銀が凝縮するこ
とはないから、ユニットの交換が容易になる。このよう
な温度調節は必要に応じて行うようにすればよいが、例
えばガス中和手段内の温度と圧力とを検出して、その温
度が該圧力における水銀の沸点よりも高くなるようにガ
ス中和手段を加熱するようにしてもよい。The gas neutralizing means may be operated at a temperature at which mercury contained in the gas keeps its vaporized state. By performing gas neutralization or the like while maintaining the vaporized state of mercury, mercury does not condense in the gas neutralization unit, so that replacement of the unit is facilitated. Such temperature adjustment may be performed as needed.For example, the temperature and pressure in the gas neutralizing means are detected, and the gas is adjusted so that the temperature becomes higher than the boiling point of mercury at the pressure. The neutralizing means may be heated.
【0065】このようなガス中和手段を備えることによ
り、例えば処理対象物体から気化したガスにNOx 、S
Ox あるいはハロゲンなどが含まれている場合であって
も、その濃度は低下することになる。このような成分を
除去することにより、排気手段である真空ポンプが保護
される。また、封液循環系のpHの変動が抑制されると
ともに、塩類の生成量も抑制される。特にハロゲン濃度
を低下することにより、例えばPCDDs、PCDFs
などのダイオキシンの生成が抑制される。このガス中和
手段はガスからNOx 、SOx あるいはハロゲンなどの
成分を完全に除去する必要はない。ガス中和手段を通過
したNOx 、SOx あるいはハロゲン化物などの成分
は、第1の排気系に液封式真空ポンプの封液により捕捉
される。さらに、液封式真空ポンプの排気口の後段に例
えば活性炭吸着塔やマルチ排ガスチャンバなどを備え、
排気ガスのさらなる浄化を図るようにしてもよい。By providing such a gas neutralizing means, for example, NOx, S
Even when Ox or halogen is contained, the concentration is reduced. By removing such components, the vacuum pump serving as the exhaust means is protected. In addition, the fluctuation of the pH of the sealed liquid circulation system is suppressed, and the amount of generated salts is also suppressed. In particular, by lowering the halogen concentration, for example, PCDDs, PCDFs
And the production of dioxins is suppressed. The gas neutralizing means does not need to completely remove components such as NOx, SOx and halogen from the gas. Components such as NOx, SOx and halides that have passed through the gas neutralizing means are trapped in the first exhaust system by the sealing of a liquid ring vacuum pump. Furthermore, for example, an activated carbon adsorption tower or a multi-exhaust gas chamber is provided after the exhaust port of the liquid ring vacuum pump,
The exhaust gas may be further purified.
【0066】また本発明の処理装置においては、気密容
器と第1の排気系との間に、処理対象物体から気化させ
たガスを冷却するガス冷却手段を設けるようにしてもよ
い。このガス冷却手段は、処理対象物体から気化したガ
スを冷却して水銀を凝縮させる凝縮手段として用いても
よいし、ガスに含まれる水銀の気化状態を保ちながら冷
却するようにしてもよい。Further, in the processing apparatus of the present invention, a gas cooling means for cooling gas vaporized from the object to be processed may be provided between the airtight container and the first exhaust system. This gas cooling means may be used as a condensing means for cooling the gas vaporized from the object to be treated and condensing the mercury, or may be cooled while maintaining the vaporized state of the mercury contained in the gas.
【0067】ガス冷却手段としては、例えば冷媒(気体
を含む)を流通させたラジエターを系内に配設しるよう
にしてもよい。ガス冷却手段で水銀を凝縮させたくない
場合には、前述のように冷媒の温度を適宜調節するよう
にすればよい。As the gas cooling means, for example, a radiator through which a refrigerant (including a gas) flows may be provided in the system. If mercury is not desired to be condensed by the gas cooling means, the temperature of the refrigerant may be appropriately adjusted as described above.
【0068】このようなガス冷却手段を備えることによ
り、水銀含有ガスの抽出温度が高い場合でも、約200
℃付近から生成し始め、約300℃前後で急増するダイ
オキシンの生成を抑制することができる。処理対象物体
から水銀含有ガスを抽出する際には、例えば102 To
rrでは約250℃以上に、10Torrでは約180
℃以上に加熱する必要があるが、このような場合におい
ても、ダイオキシンの生成が抑制される。By providing such a gas cooling means, even when the extraction temperature of the mercury-containing gas is high, even if the
The generation of dioxin which starts to be generated at around 300 ° C. and rapidly increases at around 300 ° C. can be suppressed. When extracting a mercury-containing gas from an object to be treated, for example, 10 2 To
about 250 ° C. or more at rr, about 180 at 10 Torr
Although it is necessary to heat the mixture to a temperature of not less than ℃, even in such a case, the production of dioxin is suppressed.
【0069】また、このガス冷却手段を水銀含有ガスか
らの水銀凝縮手段として用いるようにしてもよい。この
冷却工程で凝縮させた水銀は、前述のように例えば凝縮
部を気密容器及び排気系と遮断して回収するようにして
もよい。凝縮せずに通過した水銀は後段の液封式真空ポ
ンプで回収される。Further, the gas cooling means may be used as a means for condensing mercury from a mercury-containing gas. The mercury condensed in the cooling step may be recovered by shutting off the condensing part from the airtight container and the exhaust system as described above. Mercury that has passed without being condensed is recovered by a liquid-ring vacuum pump at the subsequent stage.
【0070】このように本発明によれば、水銀を含有す
る処理対象物体を気密容器内に導入して減圧下で加熱
し、抽出した水銀含有ガスを冷却することにより、水銀
を凝縮して回収することができる。また、抽出した水銀
含有ガスを液封式真空ポンプで排気することにより、水
銀を液封式真空ポンプの封液で捕捉して回収することが
できる。As described above, according to the present invention, the mercury-containing object to be treated is introduced into the airtight container, heated under reduced pressure, and the extracted mercury-containing gas is cooled to condense and recover mercury. can do. Further, by extracting the extracted mercury-containing gas with a liquid ring vacuum pump, mercury can be captured and collected by the liquid sealing of the liquid ring vacuum pump.
【0071】本発明は、処理対象物体から水銀を分離回
収するだけでなく、処理対象物体の水銀以外の構成金属
(第2の金属)も処理対象物体から回収することができ
るものである。According to the present invention, not only mercury is separated and recovered from the object to be treated, but also constituent metals (second metal) other than mercury of the object to be treated can be recovered from the object to be treated.
【0072】水銀を処理するとともに、水銀以外の金属
を処理する本発明の処理装置においては、液封式真空ポ
ンプを備えた第1の排気系と切替え可能、あるいは並列
に気密容器に接続された第2の排気系と、気密容器と第
2の排気系との間に配設された第3の回収手段を備えて
いる。また、気密容器内の温度、圧力を減圧下で第2の
金属が気化するように制御する第2の制御手段を備えて
いる。In the processing apparatus of the present invention for processing mercury and metals other than mercury, the processing apparatus can be switched to a first exhaust system equipped with a liquid ring vacuum pump, or connected to an airtight container in parallel. There is provided a second exhaust system, and third recovery means disposed between the airtight container and the second exhaust system. Further, a second control means is provided for controlling the temperature and pressure in the airtight container so that the second metal is vaporized under reduced pressure.
【0073】すなわち、処理対象物体から水銀を気化さ
せた後、気密容器内の温度、圧力を減圧下で第2の金属
が気化するように調節して、処理対象物体から第2の金
属を気化させる。気密容器内の温度、圧力条件を調節す
ることにより、処理対象物体から第2の金属を選択的に
気化させることもできる。ここで、第2の金属は1つの
元素に限ることはなく、複数であってもよい。複数元素
の第2の金属を処理する場合、第2の排気系は複数系統
備えるようにしてもよい。第3の回収手段についても同
様である。この場合、第2の制御手段についても複数の
第2の金属を処理できるように、例えば複数段階の制御
を行うようにすればよい。That is, after mercury is vaporized from the object to be treated, the temperature and pressure in the hermetic container are adjusted so that the second metal is vaporized under reduced pressure, and the second metal is vaporized from the object to be treated. Let it. By adjusting the temperature and pressure conditions in the hermetic container, the second metal can be selectively vaporized from the object to be treated. Here, the second metal is not limited to one element, and may be plural. When treating the second metal of a plurality of elements, the second exhaust system may be provided with a plurality of systems. The same applies to the third collecting means. In this case, for example, a plurality of levels of control may be performed so that the second control means can process a plurality of second metals.
【0074】例えば、Znの760Torrにおける沸
点は約907℃であるが、100Torrでは約736
℃、10Torrでは約593℃、1Torrでは約4
70℃、10-4Torrでは約260℃で気化する。ま
た、例えばPbの760Torrにおける沸点は約17
44℃であるが、100Torrでは約1421℃、1
0Torrでは約1162℃、10-1Torrでは約8
27℃、10-3Torrでは約627℃で気化する。さ
らに例えば、Liの760Torrにおける沸点は約1
372℃であるが、100Torrでは約1097℃、
10Torrでは約881℃、1Torrでは約720
℃、10-3Torrでは約450℃で気化する。このよ
うな蒸気圧と温度との関係は、例えばAntoineの
式やHarlacher−Braunの式などを用いて
算出するようにしてもよい。また、各種のデータソース
などから得るようにしてもよい。For example, the boiling point of Zn at 760 Torr is about 907 ° C., but at 100 Torr, it is about 736 ° C.
About 593 ° C at 10 Torr and about 4 at 1 Torr
At 70 ° C. and 10 −4 Torr, it evaporates at about 260 ° C. For example, the boiling point of Pb at 760 Torr is about 17
It is 44 ° C, but at 100 Torr, it is about 1421 ° C, 1
At 0 Torr, about 1162 ° C., and at 10 −1 Torr, about 8
At 27 ° C. and 10 −3 Torr, it evaporates at about 627 ° C. Further, for example, the boiling point of Li at 760 Torr is about 1
372 ° C, but at 100 Torr, about 1097 ° C,
Approximately 881 ° C. at 10 Torr and approximately 720 at 1 Torr
It vaporizes at about 450 ° C. at 10 ° C. at 10 -3 Torr. Such a relationship between the vapor pressure and the temperature may be calculated using, for example, the Antoine equation or the Harlacher-Braun equation. Further, it may be obtained from various data sources.
【0075】このように処理対象物体の構成金属に応じ
て気密容器内の温度圧力条件を制御することにより、第
2の金属は制御された温度圧力条件にしたがって気化す
る。気密容器内は減圧されているので、第2の金属は第
1の金属と同様に常圧下よりも低い温度で蒸発する。ま
た、気密容器内を減圧することにより酸素濃度も低下
し、気密容器内は非酸化雰囲気になるから、気化した第
2の金属の酸化を防止し、金属状態で回収することがで
きる。By controlling the temperature and pressure conditions in the hermetic container according to the constituent metals of the object to be treated, the second metal is vaporized according to the controlled temperature and pressure conditions. Since the pressure in the airtight container is reduced, the second metal evaporates at a temperature lower than that under normal pressure, like the first metal. Further, by reducing the pressure in the hermetic container, the oxygen concentration also decreases, and the inside of the hermetic container becomes a non-oxidizing atmosphere. Therefore, oxidation of the vaporized second metal can be prevented and the second metal can be recovered in a metal state.
【0076】第2の排気系が備える排気手段としては、
例えばロータリーポンプ、油拡散ポンプ、ブースターポ
ンプなど各種真空ポンプを用いるようにすればよい。本
発明においては、あらかじめ第1の排気系により、水分
や、水銀、樹脂の分解生成物を含有するガスを排気して
いるから、第2の排気系では第1の排気系よりも排気能
力の高い排気手段を用いることができ、より高い真空度
に到達できる。したがって、より沸点の高い金属を処理
対象物体から気化させることができる。 このように減
圧された気密容器内で処理対象物体から気化させた第2
の金属は、気密容器と第2の排気系との間に配設した第
3の回収手段により回収するようにすればよい。第3の
回収手段としては、例えば気密容器に排気系を有する回
収チャンバを接続し、このチャンバ内で気化した金属を
融点以下に冷却して凝縮させ回収するようにしてもよ
い。回収チャンバ内を例えば向流構造や螺旋構造にする
ようにしてもよい。あるいは回収チャンバと気密容器と
の間、回収チャンバと排気系との間にバルブや開閉可能
な隔壁を設けるようにしてもよい。すなわち処理対象物
体から気化した金属が回収チャンバ内に導入されたら、
回収チャンバを閉鎖して冷却し、金属を凝縮させて回収
するようにしてもよい。As the exhaust means provided in the second exhaust system,
For example, various vacuum pumps such as a rotary pump, an oil diffusion pump, and a booster pump may be used. In the present invention, since the gas containing moisture, mercury, and a decomposition product of a resin is exhausted in advance by the first exhaust system, the second exhaust system has a higher exhaust capacity than the first exhaust system. High evacuation means can be used and higher degrees of vacuum can be reached. Therefore, a metal having a higher boiling point can be vaporized from the object to be treated. The second gaseous vaporized from the object to be treated in the airtight container decompressed in this way.
The metal may be recovered by third recovery means disposed between the airtight container and the second exhaust system. As the third recovery means, for example, a recovery chamber having an exhaust system may be connected to an airtight container, and the vaporized metal may be cooled to a melting point or lower and condensed and recovered in the chamber. The inside of the recovery chamber may have, for example, a countercurrent structure or a spiral structure. Alternatively, a valve or an openable / closable partition may be provided between the collection chamber and the airtight container, and between the collection chamber and the exhaust system. That is, when metal vaporized from the object to be treated is introduced into the collection chamber,
The collection chamber may be closed and cooled to condense and collect the metal.
【0077】気化した金属を連続的に凝縮、回収する場
合でも、バッチ処理で凝縮、回収する場合でも、回収チ
ャンバ内の気化した金属の滞留時間が長くなれば回収効
率は高まる。Regardless of whether the vaporized metal is continuously condensed and recovered, or whether the vaporized metal is condensed and recovered in a batch process, the recovery efficiency increases as the residence time of the vaporized metal in the recovery chamber increases.
【0078】また、気密容器内にN2 や希ガスをキャリ
アガスとして導入するようにしてもよい。気化した金属
はキャリアガスにより回収チャンバに効率的に導入され
る。前述のように、第3の回収手段は複数系統備えるよ
うにしてもよい。複数の第3の回収手段で同じ金属を回
収するようにしてもよいし、気密容器内の温度と圧力を
段階的に調節して複数の金属をそれぞれ選択的に気化さ
せ、複数系統の第3の回収手段を切り換えて回収するよ
うにしてもよい。また第3の回収手段は多段に接続する
ようにしてもよい。Further, N 2 or a rare gas may be introduced into the hermetic container as a carrier gas. The vaporized metal is efficiently introduced into the collection chamber by the carrier gas. As described above, the third collection means may include a plurality of systems. The same metal may be recovered by a plurality of third recovery means, or the temperature and pressure in the hermetic container are adjusted stepwise to selectively vaporize the plurality of metals, respectively. The collection means may be switched to another collection means. The third collecting means may be connected in multiple stages.
【0079】このような構成により、本発明の処理装置
は水銀である第1の金属と、水銀以外の第2の金属とを
有する物体を処理することができる。本発明の処理装置
は、処理対象物体から発生する、水、水銀、樹脂の分解
生成ガスは、気密容器に接続した第1の回収手段または
第2の回収手段により回収される。したがって、気密容
器で、第2の金属が気化するような十分な減圧と加熱と
を行うことができる。 また、気密容器内では、処理対
象物体の金属が酸化したり気化しないような条件で樹脂
を分解するから、金属は金属状態で処理対象物体から分
離回収される。 本発明の処理装置においては、気密容
器内の条件を段階的に調節して第1の金属と第2の金属
とを処理対象物体から分離・回収するようにしてもよい
し、第1の金属を処理する第1の気密領域と第2の金属
を処理する第2の気密領域とを開閉可能な隔壁によって
隔てて連続的に処理するようにしてもよい。With such a configuration, the processing apparatus of the present invention can process an object having a first metal which is mercury and a second metal other than mercury. In the treatment apparatus of the present invention, water, mercury, and a decomposition product gas of the resin generated from the object to be treated are collected by the first collection unit or the second collection unit connected to the airtight container. Therefore, sufficient pressure reduction and heating can be performed in the airtight container so that the second metal is vaporized. Further, in the airtight container, the resin is decomposed under the condition that the metal of the object to be treated is not oxidized or vaporized, so that the metal is separated and recovered from the object to be treated in a metal state. In the processing apparatus of the present invention, the first metal and the second metal may be separated and recovered from the object to be processed by gradually adjusting the conditions in the airtight container, or the first metal may be used. And a second hermetic region for treating the second metal may be continuously treated by being separated by an openable / closable partition.
【0080】第1の金属の処理と第2の金属の処理と隔
壁で隔てられた第1の気密領域と第2の気密領域とで連
続的に行う本発明の処理装置は、水銀である第1の金属
と第2の金属とを構成材として有する処理対象物体を処
理する処理装置であって、水銀である第1の金属を気化
する温度調節手段と圧力調節手段とを備えた第1の気密
領域と、第1の気密領域と開閉可能な隔壁によって隔て
られた処理対象物体中の第2の金属を気化する温度調節
手段と圧力調節手段とを備えた第2の気密領域と、第1
の気密容器に接続された水銀が気化したガスを回収する
第1のまたは第2の回収手段と、第2の気密容器に接続
された処理対象物体から気化した第2の金属を回収する
第3の回収手段とを具備したものである。The processing apparatus of the present invention which performs the treatment of the first metal, the treatment of the second metal, and the first hermetic region and the second hermetic region separated by a partition in a continuous manner is a mercury-containing material. A processing apparatus for processing an object to be processed having a first metal and a second metal as constituents, the first processing apparatus including a temperature control unit and a pressure control unit for vaporizing a first metal which is mercury. A first hermetic region, a second hermetic region including a temperature adjusting device and a pressure adjusting device for evaporating a second metal in the object to be processed, which is separated from the first hermetic region by a partition that can be opened and closed;
First or second recovery means for recovering gaseous mercury vapor connected to the first hermetic container, and third recovery means for recovering vaporized second metal from the processing object connected to the second hermetic container. And a collecting means.
【0081】温度調節手段としては、加熱手段と温度測
定手段を用いるようにすればよい。加熱手段としては、
各種対流加熱、輻射加熱などを必要に応じて選択し、又
は組合わせて用いるようにすればよい。例えばシーズヒ
ーターなどの抵抗加熱を用いるようにしてもよいし、ガ
ス、重油や軽油などを燃焼させるようにしてもよい。さ
らに誘導加熱手段を用いるようにしてもよい。温度測定
手段としては各種温度センサを用いるようにすればよ
い。As the temperature adjusting means, a heating means and a temperature measuring means may be used. As the heating means,
Various types of convection heating, radiation heating, and the like may be selected as needed, or may be used in combination. For example, resistance heating such as a sheathed heater may be used, or gas, heavy oil, light oil, or the like may be burned. Further, an induction heating means may be used. Various temperature sensors may be used as the temperature measuring means.
【0082】第1の気密領域では、大気圧下よりも低い
温度で第1の金属が気化するように減圧されるととも
に、第2の金属が気化しないような温度圧力条件で水銀
である第1の金属を気化させる。そして気化した水銀で
ある第1の金属の気化したガスは第1の回収手段、また
は第2の回収手段で回収される。In the first hermetic zone, the pressure is reduced so that the first metal is vaporized at a temperature lower than the atmospheric pressure, and the first metal, which is mercury at a temperature and pressure such that the second metal does not vaporize, is used. Vaporizes metal. The vaporized gas of the first metal, which is vaporized mercury, is recovered by the first recovery means or the second recovery means.
【0083】圧力調節手段としては、排気手段または加
圧手段と圧力測定手段を用いるようにすればよい。排気
手段は例えばロータリーポンプ、油拡散ポンプ、ブース
ターポンプなど各種真空ポンプを用いるようにすればよ
い。加圧手段としては例えばガスリザバーから気体を系
内に導入するようにしてもよい。圧力測定手段はブルド
ン管やピラニーゲージなどを測定する真空度などに応じ
て用いるようにすればよい。As the pressure adjusting means, an exhaust means or a pressurizing means and a pressure measuring means may be used. Various vacuum pumps such as a rotary pump, an oil diffusion pump, and a booster pump may be used as the exhaust means. As the pressurizing means, for example, a gas may be introduced into the system from a gas reservoir. The pressure measuring means may be used in accordance with the degree of vacuum for measuring a Bourdon tube, a Pirani gauge, or the like.
【0084】また、必要に応じて第1の気密領域に隣接
してパージ領域を設けるようにしてもよい。パージ領域
には排気系または加圧系などの圧力調節手段、処理対象
処理対象物体の予熱または冷却のための温度調節手段を
設けるようにしてもよい。さらに、系内のガス置換のた
めのキャリアガス導入系を設けるようにしてもよく、こ
のキャリアガス導入系は加圧系と兼ねるようにしてもよ
い。Further, a purge area may be provided adjacent to the first hermetic area as required. The purge area may be provided with a pressure adjusting means such as an exhaust system or a pressurizing system, and a temperature adjusting means for preheating or cooling the object to be processed. Further, a carrier gas introduction system for gas replacement in the system may be provided, and the carrier gas introduction system may also serve as a pressurization system.
【0085】処理対象処理対象物体は装置外部からパー
ジ領域を経て第1の気密領域に導入される。Object to be Processed The object to be processed is introduced into the first hermetic zone from outside the apparatus via the purge zone.
【0086】パージ領域を設けることにより、第1の気
密領域への処理対象物体の導入の際に、第1の気密領域
は装置外部から隔離される。また、第1の気密領域内を
常に排気し減圧状態を保てるため真空ポンプの負担が軽
減される。By providing the purge region, the first hermetic region is isolated from the outside of the apparatus when the object to be treated is introduced into the first hermetic region. Further, since the inside of the first hermetic zone is constantly evacuated to maintain the reduced pressure, the load on the vacuum pump is reduced.
【0087】同じように第2の気密領域に隣接してパー
ジ領域を設けるようにしてもよい。処理対象物体は第2
の気密領域からパージ領域を経て装置外部へ取り出され
る。第2の気密領域の後段にパージ領域を設けることに
より、処理対象物体を第2の気密領域から取り出す際
に、第2の気密領域は装置外部から隔離される。したが
って、第2の気密領域内を常に排気し減圧状態を保てる
ため真空ポンプの負担が軽減される。また、加熱した処
理対象物体の温度が、大気圧下でも酸化されない温度に
冷却されるまで、処理対象物体を外気から遮断して保持
することもできる。Similarly, a purge region may be provided adjacent to the second hermetic region. The object to be processed is the second
From the airtight region through the purge region. By providing the purge region after the second hermetic region, the second hermetic region is isolated from the outside when the object to be processed is taken out of the second hermetic region. Therefore, the load on the vacuum pump is reduced because the inside of the second hermetic region is constantly evacuated to maintain the reduced pressure state. Further, the object to be treated can be kept shut from the outside air until the temperature of the heated object to be treated is cooled to a temperature that is not oxidized even under atmospheric pressure.
【0088】すなわちパージ領域は装置保全の観点から
も処理対象物保全の観点からも、装置外部と第1および
第2の気密領域とのバッファ領域として機能する。That is, the purge area functions as a buffer area between the outside of the apparatus and the first and second hermetic areas from the viewpoint of the maintenance of the apparatus and the maintenance of the object to be processed.
【0089】この処理装置の第1の気密領域と第2の気
密領域とは開閉可能な隔壁によって隔てられている。こ
の隔壁はそれぞれの領域の気密性を保つとともに、それ
ぞれの領域の断熱性を保つものである。例えば気密性を
保つ真空扉と、断熱性を保つ断熱扉を組合わせて用いる
ようにしてもよい。第1のおよび第2の気密領域を、断
熱扉−真空扉−断熱扉といった隔壁で隔てるようにすれ
ば、それぞれの領域の気密性と断熱性とが保たれる。こ
のように真空扉と、この真空扉が隔てる領域との間に断
熱扉を配設することにより、真空扉に大きな熱的負荷が
かかる場合であっても真空扉を熱的負荷から保護するこ
とができる。この場合には第1および第2の気密領域の
熱から真空扉が保護される。The first hermetic zone and the second hermetic zone of this processing apparatus are separated by a partition which can be opened and closed. This partition keeps the airtightness of each region and the heat insulation of each region. For example, a vacuum door for maintaining airtightness and a heat insulating door for maintaining heat insulation may be used in combination. If the first and second hermetic regions are separated by a partition wall such as a heat insulating door-a vacuum door-a heat insulating door, the airtightness and the heat insulating property of each region are maintained. By arranging the heat insulating door between the vacuum door and the area separated by the vacuum door, the vacuum door can be protected from a thermal load even when a large thermal load is applied to the vacuum door. Can be. In this case, the vacuum door is protected from the heat of the first and second hermetic zones.
【0090】このような隔壁は当然ながら装置外部とパ
ージ領域との間、パージ領域と第1の気密領域との間、
第2の気密領域とパージ領域との間にも配設されが、そ
れぞれどのような隔壁を配設するかは必要に応じて設計
するようにすればよい。例えばパージ室の熱的負荷が小
さい場合には真空扉を配設するようにすればよい。Such a partition is naturally formed between the outside of the apparatus and the purge region, between the purge region and the first hermetic region,
The partition is also provided between the second hermetic region and the purge region, but what kind of partition is provided may be designed as needed. For example, when the thermal load of the purge chamber is small, a vacuum door may be provided.
【0091】処理対象物体が導入された第1の気密領域
内は、処理対象物体中の第2の金属の状態は保持され、
水銀である第1の金属は減圧下で気化するように温度圧
力条件が調節される。この温度圧力条件はあらかじめ設
定しておくようにしてもよいし、温度や圧力の測定値を
加熱手段、圧力調節手段などにフィードバックして制御
するようにしてもよい。第2の気密領域についても同様
である。In the first airtight region into which the object to be processed is introduced, the state of the second metal in the object to be processed is maintained,
The temperature and pressure conditions are adjusted so that the first metal, which is mercury, is vaporized under reduced pressure. The temperature and pressure conditions may be set in advance, or the measured values of the temperature and the pressure may be fed back to the heating unit, the pressure adjusting unit, and the like for control. The same applies to the second hermetic zone.
【0092】また第1の気密領域内を減圧すると、酸素
濃度も低下し加熱により処理対象物体が急激に酸化され
ることはない。When the pressure in the first hermetic zone is reduced, the oxygen concentration also decreases, and the object to be processed is not rapidly oxidized by heating.
【0093】一方、減圧すると気密領域内の熱伝導率は
低下する。しかし、第1の気密領域内が非酸化雰囲気で
あれば、大気圧下または加圧下でも処理対象物体は酸化
されない。したがって第1の気密領域内が非酸化雰囲気
であれば、常圧での加熱も可能であり系内の熱伝導率が
向上するこのような熱伝導率のよい状態で所定の温度ま
で加熱し、その後に気密領域内を減圧して第1の金属を
気化させるようにしてもよい。On the other hand, when the pressure is reduced, the thermal conductivity in the hermetic zone decreases. However, if the inside of the first hermetic region is a non-oxidizing atmosphere, the object to be treated is not oxidized even under the atmospheric pressure or under the pressure. Therefore, if the inside of the first hermetic region is a non-oxidizing atmosphere, heating at normal pressure is also possible and the thermal conductivity in the system is improved. Thereafter, the first metal may be vaporized by reducing the pressure in the hermetic region.
【0094】気化した水銀含有ガスは前述のように第1
の回収手段または第2の回収手段により回収すればよ
い。また、これら第1、第2の回収手段は複数系統備え
るようにしてもよい。The vaporized mercury-containing gas is the first gas as described above.
Or the second collecting means. The first and second collecting means may be provided in a plurality of systems.
【0095】第1の気密領域で処理対象物体の第1の金
属はほぼ完全に気化し、気化した第1の金属は回収され
る。したがって、処理対象物体中の第2の金属は酸化さ
れずに、また気化せずに処理対象物体中に存在してい
る。そしてこの状態で処理対象物体を第1の気密領域か
ら第2の気密領域へ移送する。In the first hermetic zone, the first metal of the object to be processed is vaporized almost completely, and the vaporized first metal is recovered. Therefore, the second metal in the processing object is not oxidized and exists in the processing object without being vaporized. Then, in this state, the object to be processed is transferred from the first hermetic zone to the second hermetic zone.
【0096】本発明の処理装置では、第1の気密容器内
で加熱された処理対象物体は、冷却されることなく第2
の気密領域に導入される。したがって、第2の気密領域
での投入エネルギーは大幅に節約され、加熱時間も短縮
される。In the processing apparatus of the present invention, the object to be processed heated in the first hermetic container is cooled by the second object without being cooled.
Is introduced into the hermetic zone. Therefore, the input energy in the second hermetic zone is largely saved, and the heating time is also reduced.
【0097】処理対象物体が導入された第2の気密領域
内は、処理対象物体中の第2の金属が気化するように温
度圧力条件が調節される。第2の気密領域内を減圧する
ことにより処理対象物体中の第2の金属は常圧下よりも
低い温度で蒸発する。また、酸素濃度も低下し第2の気
密領域内は非酸化雰囲気になるから、気化した第2の金
属の第2の金属状態は保たれる。In the second hermetic region into which the object to be processed is introduced, the temperature and pressure conditions are adjusted so that the second metal in the object to be processed is vaporized. By reducing the pressure in the second hermetic zone, the second metal in the object to be treated evaporates at a lower temperature than under normal pressure. Further, since the oxygen concentration also decreases and the inside of the second hermetic region becomes a non-oxidizing atmosphere, the second metal state of the vaporized second metal is maintained.
【0098】例えば、Znの760Torrにおける沸
点は1203Kであるが、1Torrでの沸点は743
K、10-4Torrでの沸点は533Kである。For example, the boiling point of Zn at 760 Torr is 1203 K, while the boiling point at 1 Torr is 743 K.
K, the boiling point at 10 -4 Torr is 533K.
【0099】また、例えばPbの760Torr(1a
tm)における沸点は2017Kであるが、10-1To
rrでの沸点は1100K、10-3Torrでの沸点は
900Kである。For example, 760 Torr (1a) of Pb
tm) is 2017K, but 10 -1 To
The boiling point at rr is 1100K, and the boiling point at 10 -3 Torr is 900K.
【0100】このように第2の気密領域内で第2の金属
は温度圧力条件にしたがって気化する。気密容器内の温
度圧力条件を処理する第2の金属に応じて段階的に調節
して第2の金属を選択的に気化するようにしてもよい。As described above, the second metal is vaporized in the second hermetic zone according to the temperature and pressure conditions. The temperature and pressure conditions in the hermetic container may be adjusted stepwise according to the second metal to be processed, so that the second metal is selectively vaporized.
【0101】また、第2の気密領域に導入されたとき、
処理対象物体の第1の金属は除去されているから、第2
の金属状態のまま高い純度で回収され、また真空ポンプ
の負荷も軽減される。Further, when introduced into the second hermetic zone,
Since the first metal of the object to be processed has been removed, the second metal
The metal is recovered in high purity as it is, and the load on the vacuum pump is reduced.
【0102】第3の回収手段は、このように第2の気密
領域で気化した第2の金属を回収するものである。[0102] The third recovery means recovers the second metal vaporized in the second hermetic zone.
【0103】例えば第2の気密領域に排気系を有する回
収チャンバを接続し、このチャンバ内で気化した第2の
金属を融点以下に冷却して凝縮させ回収するようにして
もよい。回収チャンバ内を例えば向流構造や螺旋構造に
するようにしてもよい。あるいは回収チャンバと第2の
気密領域との間、回収チャンバと排気系との間にバルブ
や開閉可能な隔壁を設けるようにしてもよい。すなわち
処理対象物体から気化した第2の金属が回収チャンバ内
に導入されたら、回収チャンバを閉鎖して冷却し、第2
の金属を凝縮させて回収するようにしてもよい。For example, a recovery chamber having an exhaust system may be connected to the second hermetic zone, and the second metal vaporized in this chamber may be cooled to a melting point or lower to condense and recover. The inside of the recovery chamber may have, for example, a countercurrent structure or a spiral structure. Alternatively, a valve or an openable / closable partition may be provided between the collection chamber and the second hermetic region and between the collection chamber and the exhaust system. That is, when the second metal vaporized from the object to be processed is introduced into the collection chamber, the collection chamber is closed and cooled, and the second metal is cooled.
May be condensed and recovered.
【0104】気化した第2の金属を連続的に凝縮、回収
する場合でも、バッチ処理で凝縮、回収する場合でも、
回収チャンバ内の気化した第2の金属の滞留時間が長く
なれば回収効率は高まる。Regardless of whether the vaporized second metal is continuously condensed and recovered, or whether it is condensed and recovered in a batch process,
The longer the residence time of the vaporized second metal in the recovery chamber, the higher the recovery efficiency.
【0105】また、第2の気密領域内にN2 や希ガスを
キャリアガスとして導入するようにしてもよい。気化し
た第2の金属はキャリアガスにより回収チャンバに効率
的に導入される。Further, N 2 or a rare gas may be introduced into the second hermetic region as a carrier gas. The vaporized second metal is efficiently introduced into the collection chamber by the carrier gas.
【0106】第3の回収手段は複数系統備えるようにし
てもよい。複数の第3の回収手段で同じ第2の金属を回
収するようにしてもよいし、第2の気密領域内の温度と
圧力を段階的に調節して複数の第2の金属をそれぞれ選
択的に気化させ、複数系統の第3の回収手段を切り換え
て回収するようにしてもよい。The third collecting means may be provided with a plurality of systems. The same second metal may be recovered by a plurality of third recovery means, or the temperature and pressure in the second hermetic zone may be adjusted stepwise to selectively recover the plurality of second metals. And the third collection means of a plurality of systems may be switched and collected.
【0107】また第3の回収手段は多段に接続するよう
にしてもよい。Further, the third collecting means may be connected in multiple stages.
【0108】このような構成により本発明の処理装置に
おいては、水銀である第1の金属と第2の金属とを構成
材として有する処理対象物体をも処理することができ
る。本発明の処理装置は、処理対象物体の構成金属であ
る第1の金属を気化する第1の気密領域を、処理対象物
体の構成第2の金属を気化する第2の気密領域の前段に
備えることにより、水銀である第1の金属と第2の金属
とを構成材として有する処理対象物体の処理を可能にし
たものである。気密領域内で大量に発生する処理対象物
体の水銀である第1の金属の気化したガスは、第1の気
密領域に接続した第1の回収手段または第2の回収手段
で回収される。したがって、第2の気密領域で、第2の
金属が気化するような十分な加熱と減圧を行うことがで
きる。With such a configuration, the processing apparatus of the present invention can also process an object to be processed having a first metal and a second metal as mercury as constituent materials. The processing apparatus of the present invention includes a first hermetic region for vaporizing a first metal that is a constituent metal of a processing target object in front of a second hermetic region for vaporizing a second metal that forms a processing target object. This makes it possible to process an object to be processed having the first metal and the second metal, which are mercury, as constituent materials. The vaporized gas of the first metal, which is mercury of the object to be treated, which is generated in a large amount in the hermetic zone, is collected by the first collecting section or the second collecting section connected to the first hermetic zone. Therefore, sufficient heating and decompression can be performed in the second hermetic region so that the second metal is vaporized.
【0109】また、第1の気密領域内では、処理対象物
体の第2の金属が気化しない条件で水銀である第1の金
属を気化するから、第2の金属は効率よく処理対象物体
から分離回収される。Further, in the first hermetic zone, the first metal, which is mercury, is vaporized under the condition that the second metal of the object to be treated does not vaporize, so that the second metal is efficiently separated from the object to be treated. Collected.
【0110】また本発明の処理装置のは、第1の気密領
域に酸素濃度調節手段を備えるようにしてもよい。この
酸素濃度調節手段により、第1の気密領域内の酸素濃度
は第1の気密領域内の全圧とは独立に調節される。The processing apparatus of the present invention may be provided with an oxygen concentration adjusting means in the first hermetic zone. By this oxygen concentration adjusting means, the oxygen concentration in the first hermetic zone is adjusted independently of the total pressure in the first hermetic zone.
【0111】第1の気密領域内の酸素濃度を調節するこ
とにより、第1の気密領域内での処理の自由度が大きく
なる。例えば第1の気密領域内の熱伝導率を低下させず
に、処理対象物体の酸化を防止することができる。By adjusting the oxygen concentration in the first hermetic zone, the degree of freedom of the processing in the first hermetic zone increases. For example, oxidation of the object to be processed can be prevented without lowering the thermal conductivity in the first hermetic region.
【0112】酸素濃度調節手段は例えば酸素濃度測定手
段である酸素濃度センサとキャリアガス導入系とを用い
るようにしてもよい。As the oxygen concentration adjusting means, for example, an oxygen concentration sensor as an oxygen concentration measuring means and a carrier gas introduction system may be used.
【0113】酸素濃度センサは例えばジルコニア(酸化
ジルコニウム)を採用したいわゆるジルコニアセンサを
用いるようにしてもよいし、赤外分光法で例えばCOと
CO2 の吸収を測定するようにしてもよい。さらに、G
C−MSを用いるようにしてもよく、必要に応じて選択
し、あるいは組合わせて用いるようにすればよい。As the oxygen concentration sensor, for example, a so-called zirconia sensor employing zirconia (zirconium oxide) may be used, or the absorption of, for example, CO and CO 2 may be measured by infrared spectroscopy. Furthermore, G
C-MS may be used, and may be selected as needed or used in combination.
【0114】キャリアガスガスとしては例えばN2 や、
Arなどの希ガスを用いるようにしてもよい。また、こ
のキャリアガスにより、第1の気密領域内の酸素濃度が
調節されるだけでなく、水銀である第1の金属の気化し
たガスは効率的に第1の回収手段、第2の回収手段へ導
かれる。また、圧力調節手段と兼ねるようにしてもよ
い。Examples of the carrier gas include N 2 ,
A rare gas such as Ar may be used. The carrier gas not only regulates the oxygen concentration in the first hermetic zone, but also efficiently vaporizes the first metal, which is mercury, into the first recovery means and the second recovery means. Led to. Further, the pressure adjusting means may also be used.
【0115】また本発明の処理装置においては、第2の
気密領域を複数備えるようにしてもよい。第2の気密領
域を複数備えることにより、処理対象物体中に含まれる
複数の第2の金属をそれぞれ選択的に気化され、回収す
ることができる。Further, in the processing apparatus of the present invention, a plurality of second hermetic regions may be provided. By providing a plurality of second hermetic regions, a plurality of second metals contained in the object to be processed can be selectively vaporized and collected.
【0116】本発明においては、第1の金属を気化する
工程と、第2の金属を気化する工程を連続的に行うこと
により、後の工程の投入エネルギーを大きく抑制するこ
とができる。In the present invention, by continuously performing the step of vaporizing the first metal and the step of vaporizing the second metal, it is possible to greatly suppress the energy input in the subsequent steps.
【0117】すなわち、気体の熱伝導率は圧力低下にし
たがって減少するから、第2の金属を気化する工程で気
密容器内を減圧するほど大きなエネルギーを投入する必
要がある。しかし本発明の処理システム、処理方法で
は、第1の金属の気化工程が第2の金属を気化させる工
程の予備加熱段階ともなっており、第2の金属を気化す
る工程で投入するエネルギーを大きく節約することがで
きる。That is, since the thermal conductivity of the gas decreases as the pressure decreases, it is necessary to input more energy as the pressure in the airtight container is reduced in the step of vaporizing the second metal. However, in the processing system and the processing method of the present invention, the first metal vaporization step is also a preheating step of the second metal vaporization step, so that the energy input in the second metal vaporization step is largely saved. can do.
【0118】さらに、物体中の水分などは第1の金属を
気化する工程で物体から除去されるため、第2の金属を
気化させる工程に悪影響を及ぼすことはない。Further, since the water and the like in the object are removed from the object in the step of vaporizing the first metal, there is no adverse effect on the step of vaporizing the second metal.
【0119】本発明においては、例えば乾電池のように
金属と水、水溶液、ゲルなどが一体化した処理対象物体
も処理することができる。処理対象物体が金属として水
銀を含む場合には、前述のように水銀とともに、或いは
水銀を気化するより前に、液封式真空ポンプの封液によ
り水分が回収される。処理対象物体が水銀を含有しない
場合にも全く同様に処理することができる。すなわち、
本発明は減圧した気密容器または気密領域で気化させた
水分は、液封式真空ポンプの封液により捕捉される。In the present invention, an object to be treated in which a metal and water, an aqueous solution, a gel and the like are integrated, such as a dry battery, can be treated. In the case where the object to be treated contains mercury as a metal, moisture is collected by sealing the liquid with a liquid ring vacuum pump together with or before vaporizing mercury as described above. When the object to be treated does not contain mercury, the same treatment can be performed. That is,
In the present invention, water vaporized in the depressurized airtight container or airtight region is captured by the liquid sealing of the liquid ring vacuum pump.
【0120】また、例えば樹脂(紙を含む)からなるガ
スケット、セパレータなどの封止部材を有する乾電池を
処理する場合には、まずこれら封止部材を熱分解してか
ら処理するようにしてもよい。減圧下または非酸化雰囲
気でこれら封止部材を熱分解することにより封止部材に
よる接合が解除され、乾電池の構成要素、例えば正極活
物質、負極活物質、電解液などの成分を容易に抽出する
ことができる。樹脂の熱分解時には、必要に応じて気密
容器内を加圧するようにしてもよい。When processing a dry battery having a sealing member such as a gasket or a separator made of a resin (including paper), for example, these sealing members may be first thermally decomposed and then processed. . By thermally decomposing these sealing members under reduced pressure or in a non-oxidizing atmosphere, the joining by the sealing members is released, and components of the dry battery, for example, components such as a positive electrode active material, a negative electrode active material, and an electrolyte are easily extracted. be able to. During thermal decomposition of the resin, the inside of the airtight container may be pressurized as necessary.
【0121】また、例えば乾電池などの処理対象物体が
加熱、減圧により破裂し、装置を傷つける恐れがある場
合には、必要に応じて、例えば内部と外部とが連通した
スチール製の容器に処理対象物体を収納し、この容器ご
と処理装置に導入するようにしてもよい。外部と内部の
通気性を確保した容器を用いることにより、処理対象物
体の構成成分を抽出できると同時に、処理対象物体が破
裂などから装置を保護することができる。If the object to be treated such as a dry battery is ruptured due to heating or decompression, and there is a risk of damaging the apparatus, the object to be treated may be placed, for example, in a steel container having an internal and external communication. The object may be stored and the container may be introduced into the processing apparatus. By using the container having the air permeability between the outside and the inside, the constituents of the object to be treated can be extracted, and at the same time, the apparatus can be protected from the rupture of the object to be treated.
【0122】本発明においては、現在では無水銀化が図
られている乾電池についても、過去に水銀を使用してき
た実績のある乾電池についてもその処理対象に含む。In the present invention, the present invention covers both dry batteries that are now mercury-free and dry batteries that have been used mercury in the past.
【0123】乾電池にはマンガン乾電池、乾電池として
は、マンガン乾電池、アルカリマンガン電池、水銀電
池、酸化銀電池、空気電池などが知られている。A manganese dry battery is known as a dry battery, and a manganese dry battery, an alkaline manganese battery, a mercury battery, a silver oxide battery, an air battery and the like are known as dry batteries.
【0124】マンガン乾電池の種類としては、JISで
は通称単1、単2、単3、単4、単5及び積層9Vの6
種類が定められている。負極に亜鉛、正極に二酸化マン
ガンを用い、電解液に塩化アンモニウム・塩化亜鉛系水
溶液を用いて、ポータブル構造にした電池を総称してマ
ンガン乾電池という。亜鉛反応面をアマルガム化させる
目的のほか、正極合剤中の電解液にも塩化第二水銀を溶
解させていた。また、亜鉛の機械的・化学的性質を向上
させるため、鋳鉄加工時に鉛を0.1〜0.2%、カド
ミウムを0.03〜0.1%程度加えた合金が用いられ
ているものもある。 なお、現在日本においては水銀を
使用せずに製造する技術が確立されているものの、未回
収分、既回収分を含め、適切に処理しなければならない
水銀含有マンガン乾電池は大量に存在する。According to the JIS, the types of manganese dry batteries are commonly known as “single”, “single”, “single”, “single”, “single” and “stacked” 9V.
The type is determined. Batteries with a portable structure using zinc for the negative electrode, manganese dioxide for the positive electrode, and an aqueous solution of ammonium chloride and zinc chloride as the electrolyte are collectively called manganese dry batteries. In addition to the purpose of amalgamating the zinc reaction surface, mercuric chloride was also dissolved in the electrolyte in the positive electrode mixture. Further, in order to improve the mechanical and chemical properties of zinc, an alloy containing about 0.1 to 0.2% of lead and about 0.03 to 0.1% of cadmium is used in processing cast iron. is there. Although the technology for manufacturing without using mercury is established in Japan at present, there are a large number of mercury-containing manganese dry batteries that must be properly treated, including uncollected and already recovered parts.
【0125】アルカリマンガン電池の種類としては、J
ISではマンガン乾電池の単1、単2、単3、単4、単
5形と同形のアルカリ乾電池と、5種類のアルカリボタ
ン電池の計10種類が定められている。正極に電解二酸
化マンガン、負極に亜鉛粉末またはゲル化亜鉛、電解液
に酸化亜鉛を飽和させた8〜11Μの苛性カリを用いた
電池をアルカリマンガン電池という。アルカリマンガン
電池はマンガン乾電池の電解液をKOH水溶液に変えた
だけの電池構成であるが、実際には電解液変更による亜
鉛の不動態化等のため、粉末亜鉛粒子の適用等、多くの
改良がなされている。しかし、粉末亜鉛は反応表面積を
大きくして大電流放電に適している反面、多量の水銀を
用いてアマルガム化し、耐食性を維持してきた。アルカ
リマンガン電池において水銀を使用してきた効果は、亜
鉛の水素過電圧を高め、亜鉛の耐食性向上に有効である
こと、放電時の不動態化(水酸化亜鉛皮膜による)の防
止と、これによる亜鉛の均一なアノード溶解の促進、亜
鉛粒子間の電気的接触の向上、である。アルカリ電池中
の亜鉛に対する水銀含有率は従来7〜9%であったが、
業界による水銀低減化の結果、1986年より3%、1
987年より1.5%となり、最近になって無水銀化さ
れた。しかし未回収分、既回収分を含め、適切に処理し
なければならない水銀含有アルカリマンガン乾電池は大
量に存在する。As the type of alkaline manganese battery, J
The IS defines 10 types of alkaline dry batteries of the same type as the manganese dry batteries, such as A1, AA, AA, AA, and AAA, and five types of alkaline button batteries. A battery using electrolytic manganese dioxide for the positive electrode, zinc powder or gelled zinc for the negative electrode, and 8 to 11% caustic potash saturated with zinc oxide for the electrolytic solution is called an alkaline manganese battery. Alkaline manganese batteries have a battery configuration in which the electrolyte of a manganese dry battery is simply changed to a KOH aqueous solution. However, in practice, many improvements have been made, such as the use of powdered zinc particles, because of the passivation of zinc by changing the electrolyte. It has been done. However, while powdered zinc has a large reaction surface area and is suitable for large-current discharge, it has amalgamated with a large amount of mercury and has maintained corrosion resistance. The effects of using mercury in alkaline manganese batteries include increasing the hydrogen overvoltage of zinc, which is effective in improving the corrosion resistance of zinc, preventing passivation (due to zinc hydroxide film) during discharge, and Promoting uniform anodic dissolution and improving electrical contact between zinc particles. Conventionally, the mercury content of zinc in an alkaline battery was 7 to 9%.
As a result of the industry's reduction of mercury, 3% since 1986,
It became 1.5% from 987 and has recently been mercury-free. However, there are a large number of mercury-containing alkaline manganese dry batteries that must be properly treated, including unrecovered and already recovered parts.
【0126】水銀電池の構造は、酸化第二水銀と微粉黒
鉛を混合して成形した正極と亜鉛負極からなり、電解液
は亜鉛酸を飽和させた水酸化カリウム水溶液にカルボキ
シメチルセルロース(CMC)を加えゲル状にしたもの
である。亜鉛は粉末(粒度100〜300μm)を水銀
でアマルガム化(水銀濃度6%程度)して用いている。
水銀電池は放電電圧の平坦性が優れているため、測定器
の基準電源、カメラの露出用電源等の他、とくに補聴器
に多く用いられてきた。電極(正極)本体に水銀を使用
しているため、亜鉛負極のアマルガム化のみに使用して
いるマンガン電池やアルカリマンガン電池のような無水
銀化は不可能なものである。The structure of the mercury battery is composed of a positive electrode formed by mixing mercuric oxide and fine graphite and a zinc negative electrode. The electrolytic solution is prepared by adding carboxymethyl cellulose (CMC) to a potassium hydroxide aqueous solution saturated with zinc acid. It is a gel. Zinc is used by amalgamating a powder (particle size: 100 to 300 μm) with mercury (mercury concentration: about 6%).
Since the mercury battery has excellent flatness of the discharge voltage, it has been widely used as a reference power supply for a measuring instrument, a power supply for exposure of a camera, etc., and especially for a hearing aid. Since mercury is used for the electrode (positive electrode) main body, mercury-free mercury cannot be obtained as in a manganese battery or an alkaline manganese battery used only for amalgamation of a zinc negative electrode.
【0127】酸化銀電池は、酸化銀(Ag2 OまたはA
gΟ)を正極、亜鉛を負極とし、アルカリ金属水酸化物
(NaΟΗまたはΚΟΗ)を電解液とする電池である。
正極の種類によって酸化銀(Ag2 O)を用いるものと
過酸化銀(AgΟ)を用いるものに分かれるが、大部分
は酸化銀(Ag2 O)を正極とするボタン型一次電池で
ある。負極にはアルカリマンガン電池や水銀電池と同
様、粉末亜鉛が用いられ、水銀を加えてアマルガム化し
ている。一般に水銀は亜鉛に対して10%近い含有率で
ある。The silver oxide battery is made of silver oxide (Ag 2 O or A
gΟ) as a positive electrode, zinc as a negative electrode, and an alkali metal hydroxide (NaΟΗ or ΚΟΗ) as an electrolyte.
Depending on the type of the positive electrode, it is classified into a type using silver oxide (Ag 2 O) and a type using silver peroxide (AgΟ). Most of the button type primary batteries have silver oxide (Ag 2 O) as a positive electrode. Like the alkaline manganese battery and the mercury battery, powdered zinc is used for the negative electrode, and amalgamation is performed by adding mercury. Generally, the content of mercury is close to 10% with respect to zinc.
【0128】空気中の酸素を正極、金属を負極に用いる
電池系を総称して空気電池と呼ぶ。負極には亜鉛、アル
ミニウムなどが用いられるが、一次電池としては亜鉛を
用いる空気亜鉛電池が古くから研究開発され、1977
年よりボタン形の空気電池が市場に登場している。空気
電池は放電電圧が約1.3Vで水銀電池と互換性があ
り、電圧の平坦性もある。そのため、主に補聴器分野で
環境保全という見地から、水銀ボタン電池の代替電池と
して注目されている。ただし、酸素を取り入れる空気孔
を通じて大気中の水蒸気や炭酸ガスが出入りしたり、電
解液の水が蒸発する等により、特性の劣化が生じる。と
くに小型電池では、空気孔を開孔した状態での貯蔵性、
長期使用、耐漏液性に課題を残している。A battery system using oxygen in air as a positive electrode and a metal as a negative electrode is generally called an air battery. Zinc, aluminum and the like are used for the negative electrode. An air zinc battery using zinc has been researched and developed since ancient times as a primary battery.
Button-type air batteries have appeared on the market since the year. The air battery has a discharge voltage of about 1.3 V, is compatible with a mercury battery, and has a flat voltage. Therefore, attention has been focused on alternative batteries to mercury button batteries from the viewpoint of environmental protection mainly in the field of hearing aids. However, the characteristics of the battery deteriorate due to the entry and exit of water vapor and carbon dioxide in the atmosphere through the air holes for taking in oxygen, and the evaporation of the water of the electrolytic solution. In particular, for small batteries, the storability when the air holes are opened,
Problems remain for long-term use and leakage resistance.
【0129】本発明の処理装置、処理方法によれば、こ
れらの乾電池を減圧下で加熱して水銀、水分などを気化
させ、例えば液封式真空ポンプの封液により補足し、封
液循環系から回収する。ついで、この乾電池をさらに減
圧下で加熱し、乾電池を構成する水銀以外の第2の金
属、例えばLi、Cd、Pb、Znなどを気化させ、回
収チャンバで凝縮させて回収する。According to the processing apparatus and the processing method of the present invention, these dry batteries are heated under reduced pressure to vaporize mercury, moisture, etc., and are captured by, for example, a liquid-sealing vacuum pump, and the liquid is sealed. Collect from Next, the dry battery is further heated under reduced pressure to vaporize a second metal other than mercury, such as Li, Cd, Pb, Zn, etc., which constitutes the dry battery, and condenses and collects it in a collection chamber.
【0130】[0130]
(実施例1)図1は本発明の処理装置の構成の1例を模
式的に示す図である。(Embodiment 1) FIG. 1 is a diagram schematically showing an example of the configuration of a processing apparatus according to the present invention.
【0131】この処理装置1100は、水銀を含む処理
対象物体を収容する気密容器1101と、この容器内を
排気する排気手段1102と、気密容器1101と排気
手段1102との間に配設された、処理対象物体から抽
出した水銀含有ガスから水銀を凝縮させて回収する回収
手段1103とを備えている。The processing apparatus 1100 is provided with an airtight container 1101 for storing an object to be processed containing mercury, an exhaust unit 1102 for exhausting the inside of the container, and a gas container 1101 provided between the airtight container 1101 and the exhaust unit 1102. And a recovery unit 1103 for condensing and recovering mercury from the mercury-containing gas extracted from the object to be processed.
【0132】気密容器1101は、この容器内の温度を
調節する図示しない温度調節手段1104と、容器内の
圧力を調節する圧力調節手段1105とを備えている。
上述のように排気手段1102も圧力調節手段の一部で
ある。温度調節手段1104は気密容器1101内の温
度を検出する図示しない温度センサ1106と、気密容
器内を加熱するための加熱手段である図示しないヒータ
ー1107とを備えている。また、圧力調節手段110
5は、気密容器1101内の圧力を検出する図示しない
圧力センサ1108と、上述の排気手段1102とを備
えている。この処理装置1100の排気手段1102
は、ロータリーポンプの前段にブースターポンプを接続
した構成を採用した。排気手段の構成は、必要な真空
度、装置の大きさなどに応じて適宜選択して用いるよう
にすればよく、液封式真空ポンプを用いるようにしても
よい。処理装置1100では気密容器1101内を約1
0-3Torrまで減圧することができる。The airtight container 1101 is provided with a temperature adjusting means 1104 (not shown) for adjusting the temperature inside the container and a pressure adjusting means 1105 for adjusting the pressure inside the container.
As described above, the exhaust unit 1102 is also a part of the pressure adjusting unit. The temperature adjusting unit 1104 includes a temperature sensor 1106 (not shown) for detecting the temperature inside the airtight container 1101 and a heater 1107 (not shown) that is a heating unit for heating the inside of the airtight container. Further, the pressure adjusting means 110
Reference numeral 5 includes a pressure sensor 1108 (not shown) for detecting the pressure in the airtight container 1101, and the above-described exhaust means 1102. Exhaust means 1102 of this processing apparatus 1100
Adopted a configuration in which a booster pump was connected in front of the rotary pump. The structure of the evacuation means may be appropriately selected and used depending on the required degree of vacuum, the size of the apparatus, and the like, and a liquid ring vacuum pump may be used. In the processing apparatus 1100, the airtight container 1101
The pressure can be reduced to 0 -3 Torr.
【0133】図2は図1に例示した処理装置1100が
備える温度調節手段1104、圧力調節手段1105お
よびこれらを制御する制御手段1110の構成の1例を
模式的に示す図である。この制御手段1110は、気密
容器1101内に導入した処理対象物体から減圧下で水
銀を気化させるように、温度調節手段1104と圧力調
節手段1105とを制御するものである。図3は水銀の
蒸気圧と圧力との関係を示す図である。水銀は、例えば
760Torrでは357℃(沸点)で気化するが、1
02 Torrでは約262℃で、10Torrでは約1
84℃で、1Torrでは約127℃で、10-1Tor
rでは約83℃で、10-2Torrでは約47℃で、1
0-3Torrでは約18℃で気化する。FIG. 2 is a diagram schematically showing an example of the structure of the temperature adjusting means 1104, the pressure adjusting means 1105, and the control means 1110 for controlling the temperature adjusting means 1104 and the pressure adjusting means 1105 included in the processing apparatus 1100 shown in FIG. The control unit 1110 controls the temperature adjustment unit 1104 and the pressure adjustment unit 1105 so that mercury is vaporized under reduced pressure from the object to be treated introduced into the airtight container 1101. FIG. 3 is a diagram showing the relationship between the vapor pressure of mercury and the pressure. Mercury vaporizes at 357 ° C. (boiling point) at 760 Torr, for example.
0 2 Torr at about 262 ° C., about 1 in 10Torr
At 84 ° C., about 127 ° C. at 1 Torr, and 10 −1 Torr
r at about 83 ° C., at 10 −2 Torr at about 47 ° C.
At 0 -3 Torr, it evaporates at about 18 ° C.
【0134】したがって、例えば、減圧された気密容器
1101内の圧力に応じて、その圧力における水銀の気
化する温度よりも高い温度、例えばその圧力における水
銀の気化する温度よりも数十度高い温度になるように温
度調節手段1104を制御するようにすればよい。ま
た、あらかじめ処理に要する温度、圧力条件のプロファ
イルを設定しておき、このプロファイルによって温度調
節手段1104、圧力調節手段1105を制御するよう
にしてもよい。例えば、気密容器1101内の圧力をほ
ぼ760Torrに保ったまま80〜90℃程度まで加
熱し、ついで気密容器1101内を所定の圧力まで減圧
するとともに処理対象物体を加熱して水銀を気化させる
ようにしてもよい。減圧により気密容器1101内の熱
伝導率は低下するが、このように処理対象物体を余熱し
た上で気密容器1101内を減圧することにより加熱効
率を向上することができる。また、このような制御手段
は電子計算機のプログラムとして、電子計算機のメモリ
手段や、フロッピーディスクなどの記録媒体に格納する
ようにしてもよい。このように、温度調節手段1104
と圧力調節手段1105とを制御して気密容器1101
内に導入した処理対象物体を減圧下で加熱し、処理対象
物体から水銀含有ガスを抽出する。Accordingly, for example, according to the pressure in the hermetically sealed container 1101, the temperature is raised to a temperature higher than the temperature at which mercury vaporizes at that pressure, for example, a temperature several tens of degrees higher than the temperature at which mercury vaporizes at that pressure. What is necessary is just to control the temperature control means 1104 so that it may become. Alternatively, a profile of the temperature and pressure conditions required for the processing may be set in advance, and the temperature adjustment unit 1104 and the pressure adjustment unit 1105 may be controlled based on the profile. For example, the inside of the hermetic container 1101 is heated to about 80 to 90 ° C. while keeping the pressure at about 760 Torr, and then the inside of the hermetic container 1101 is reduced to a predetermined pressure and the object to be treated is heated to vaporize mercury. You may. Although the heat conductivity in the hermetic container 1101 decreases due to the decompression, the heating efficiency can be improved by reducing the pressure in the hermetic container 1101 after preheating the object to be treated in this way. Such a control means may be stored in a memory means of the computer or a recording medium such as a floppy disk as a program of the computer. Thus, the temperature control means 1104
And the pressure adjusting means 1105 to control the airtight container 1101
The object to be treated introduced into the inside is heated under reduced pressure to extract a mercury-containing gas from the object to be treated.
【0135】処理対象物体から気化した水銀含有ガスは
回収手段1103により凝縮させて回収する。すなわち
処理装置1100の回収手段1103は、処理対象物体
から気化させた水銀含有ガスを冷却して、水銀を凝縮さ
せて回収するものであり、第1のコンデンサー1111
と第2のコンデンサー1112および凝縮した水銀をた
めておく水銀溜め1113を有している。第1のコンデ
ンサー1111および第2のコンデンサー1112で
は、水銀含有ガスを冷媒を流通させたラジエターにより
間接的に冷却する。この処理装置1100においては第
1のコンデンサー1111よりも第2のコンデンサー1
112のほうがより低い温度で水銀含有ガスを冷却する
ように構成されている。コンデンサーは必要に応じてさ
らに多段に備えるようにしてもよい。また、間接冷却で
はなく直接冷却するようにしてもよく、間接冷却と直接
冷却を組み合わせるようにしてもよい。直接冷却の場
合、例えば冷却水と水銀含有ガスとを向流的に接触させ
るようにしてもよい。例えば、この処理装置1100で
は、気密容器1101内の圧力を10-1Torr程度に
減圧し、120〜140℃程度に加熱して水銀を気化さ
せた場合には、第1のコンデンサーは35℃の冷媒を用
いて、また第2のコンデンサーでは5℃の冷媒を用いて
冷却している。コンデンサーにおける水銀含有ガスの冷
却温度は、系内の圧力などに応じて調節するようにして
もよい。また前述のようにコンデンサーをさらに多段に
備えるようにしてもよい。The mercury-containing gas vaporized from the object to be treated is condensed and collected by the collecting means 1103. That is, the recovery unit 1103 of the processing apparatus 1100 cools the mercury-containing gas vaporized from the object to be processed and condenses and recovers the mercury.
And a second condenser 1112 and a mercury reservoir 1113 for storing condensed mercury. In the first condenser 1111 and the second condenser 1112, the mercury-containing gas is indirectly cooled by a radiator through which a refrigerant flows. In this processing apparatus 1100, the second condenser 1
112 is configured to cool the mercury-containing gas at a lower temperature. Condensers may be provided in more stages as needed. Further, direct cooling may be performed instead of indirect cooling, or indirect cooling and direct cooling may be combined. In the case of direct cooling, for example, the cooling water and the mercury-containing gas may be brought into countercurrent contact. For example, in this processing apparatus 1100, when the pressure in the airtight container 1101 is reduced to about 10 -1 Torr and heated to about 120 to 140 ° C. to vaporize mercury, the first condenser has a temperature of 35 ° C. Cooling is performed using a refrigerant, and the second condenser is cooled using a 5 ° C. refrigerant. The cooling temperature of the mercury-containing gas in the condenser may be adjusted according to the pressure in the system. As described above, the condensers may be further provided in multiple stages.
【0136】凝縮した水銀は水銀溜め1113にたまる
ようになっている。回収された水銀は、例えば水銀溜め
1113と、気密容器1101および排気系1102と
のバルブを閉じ、リークバルブなどにより水銀溜め11
13の内部を大気圧に戻せば取り出すことができる。The condensed mercury accumulates in the mercury reservoir 1113. The collected mercury is closed by, for example, closing the valves of the mercury reservoir 1113, the airtight container 1101 and the exhaust system 1102, and using a leak valve or the like.
If the inside of 13 is returned to atmospheric pressure, it can be taken out.
【0137】第1のコンデンサー1111および第2の
コンデンサー1112は、水銀を凝縮させるだけでな
く、処理対象物体から気化したガスを冷却することによ
りダイオキシンの発生を抑制することができる。気密容
器内を約200℃以上に加熱して処理対象物体から水銀
を気化させるような場合には、ダイオキシンの生成を抑
制するためにも、ガス冷却手段を備えることが好まし
い。The first condenser 1111 and the second condenser 1112 not only condense mercury but also suppress generation of dioxin by cooling gas evaporated from the object to be treated. When the inside of the airtight container is heated to about 200 ° C. or more to vaporize mercury from the object to be treated, it is preferable to provide a gas cooling means also in order to suppress the generation of dioxin.
【0138】また、図1に例示した処理装置1100は
排気手段1102からの排ガスを処理するための排ガス
処理手段1114を備えている。この排ガス処理手段は
必要に応じて備えるようにすればよい。処理装置110
0においては、排ガス処理手段1114は、活性炭充填
塔とマルチ排ガスチャンバとからなっており、排ガスは
無害化、無煙化、無臭化された上で系外へ放出される。Further, the processing apparatus 1100 illustrated in FIG. 1 is provided with an exhaust gas processing means 1114 for processing the exhaust gas from the exhaust means 1102. This exhaust gas treatment means may be provided as needed. Processing device 110
In the case of 0, the exhaust gas treatment means 1114 is composed of an activated carbon packed tower and a multi-exhaust gas chamber, and the exhaust gas is made harmless, smokeless, and odorless before being discharged out of the system.
【0139】このように本発明の処理装置によれば、焼
却、ばい焼などの処理に比べて、より低い温度で処理対
象物体から水銀を気化させることができる。As described above, according to the processing apparatus of the present invention, mercury can be vaporized from an object to be processed at a lower temperature as compared with processing such as incineration and roasting.
【0140】また、気密容器1101と排気手段110
2との間に、処理対象物体から気化したガスを中和する
ガス中和手段1115を備えるようにしてもよい。ガス
中和手段1115としては、例えば気密容器1101と
排気手段1102との間に例えば粒状の水酸化カルシウ
ムなどを充填するようにしてもよい。さらに、このガス
中和手段に塩化カルシウムなどを充填した部分を設け、
ガス中の水分含有量を低下させるようにしてもよい。The airtight container 1101 and the exhaust means 110
A gas neutralizing means 1115 for neutralizing gas vaporized from the object to be processed may be provided between them. As the gas neutralizing unit 1115, for example, a space between the airtight container 1101 and the exhaust unit 1102 may be filled with, for example, granular calcium hydroxide. Furthermore, this gas neutralizing means is provided with a portion filled with calcium chloride or the like,
The water content in the gas may be reduced.
【0141】図4は、図1に例示した処理装置1100
にガス中和手段を備えた構成を模式的に示す図である。
気密容器1101と第1のコンデンサー1111との間
に、塩化カルシウムを充填したガス中和ユニット111
5bを配設している。ガス中和手段は複数箇所に配設す
るようにしてもよいし、複数段に配設するようにしても
よい。FIG. 4 shows a processing apparatus 1100 illustrated in FIG.
FIG. 3 is a view schematically showing a configuration provided with a gas neutralizing means.
A gas neutralization unit 111 filled with calcium chloride between an airtight container 1101 and a first condenser 1111;
5b is provided. The gas neutralizing means may be provided at a plurality of locations, or may be provided at a plurality of stages.
【0142】また、このガス中和ユニット1115bの
温度を調節して、ガスに含まれる水銀の気化状態を保ち
ながら処理するようにしてもよい。水銀の気化状態を保
ちながらガスの中和等を行うことにより、ガス中和ユニ
ット1115bに水銀が凝縮することはないから、ガス
中和ユニット1115bの交換が容易になる。このよう
な温度調節は必要に応じて行うようにすればよいが、例
えば気密容器1101またはガス中和ユニット1115
b内の温度と圧力とを検出して、その温度が該圧力にお
ける水銀の沸点よりも高くなるようにガス中和手段の温
度を調節するようにしてもよい。Further, the temperature of the gas neutralizing unit 1115b may be adjusted to perform the treatment while keeping the mercury contained in the gas in a vaporized state. By performing gas neutralization or the like while maintaining the vaporized state of mercury, mercury does not condense in the gas neutralization unit 1115b, so that replacement of the gas neutralization unit 1115b becomes easy. Such a temperature adjustment may be performed as needed. For example, the airtight container 1101 or the gas neutralization unit 1115 may be used.
The temperature and pressure in b may be detected, and the temperature of the gas neutralizing means may be adjusted so that the temperature becomes higher than the boiling point of mercury at the pressure.
【0143】このようなガス中和手段1115を備える
ことにより、例えば処理対象物体から気化したガスにN
Ox 、SOx あるいはハロゲンなどが含まれている場合
であっても、その濃度を低減することができる。このよ
うな成分を除去することにより、凝縮させた水銀の後処
理が容易になるとともに、排ガスの処理が容易になる。
特にハロゲン濃度を低下することにより、例えばPCD
Ds、PCDFsなどのダイオキシンの生成が抑制され
る。さらに、排気手段である真空ポンプを保護すること
ができる。このガス中和手段1115はガスからNOx
、SOx あるいはハロゲンなどの成分を必ずしも完全
に除去する必要はない。排気手段1102から排気され
る排ガスは、前述のように排気手段1102の後段に例
えば活性炭吸着塔やマルチ排ガスチャンバなどを備え、
環境基準を満たすように処理した上で排気される。By providing such a gas neutralizing means 1115, for example, N
Even when Ox, SOx or halogen is contained, the concentration can be reduced. Removal of such components facilitates post-treatment of condensed mercury and facilitates treatment of exhaust gas.
In particular, by reducing the halogen concentration, for example, PCD
The generation of dioxins such as Ds and PCDFs is suppressed. Further, it is possible to protect the vacuum pump serving as the exhaust means. This gas neutralizing means 1115 converts NOx from the gas.
It is not always necessary to completely remove components such as SOx, SOx and halogen. Exhaust gas exhausted from the exhaust means 1102 is provided with, for example, an activated carbon adsorption tower or a multi-exhaust gas chamber at the subsequent stage of the exhaust means 1102 as described above,
Exhaust after processing to meet environmental standards.
【0144】(実施例2)図5は本発明の処理装置の構
成の別の1例を模式的に示す図である。(Embodiment 2) FIG. 5 is a diagram schematically showing another example of the configuration of the processing apparatus of the present invention.
【0145】この処理装置1200は、水銀を含む処理
対象物体を収容する気密容器1201と、この容器内を
排気する排気手段1202とを備えている。そしてこの
排気手段1202は、液封式真空ポンプ1203と、こ
の液封式真空ポンプ1203の封液1203bを循環さ
せる封液循環系1204を備えている。The processing apparatus 1200 includes an airtight container 1201 for storing an object to be processed containing mercury, and an exhaust unit 1202 for exhausting the inside of the container. The evacuation means 1202 includes a liquid-ring vacuum pump 1203 and a liquid-circulating system 1204 for circulating the sealing liquid 1203b of the liquid-ring vacuum pump 1203.
【0146】気密容器1201は、図1に例示した処理
装置1100同様に、この容器内の温度を調節する図示
しない温度調節手段1205と、容器内の圧力を調節す
る圧力調節手段1206とを備えている。上述のように
排気手段1202も圧力調節手段の一部である。温度調
節手段1205は気密容器1201内の温度を検出する
図示しない温度センサ1207と、気密容器内を加熱す
るための加熱手段である図示しないヒーター1208と
を備えている。また、圧力調節手段1206は、気密容
器1201内の圧力を検出する図示しない圧力センサ1
209と、上述の排気手段1202とを備えている。ま
たこの処理装置においては、気密容器内を加圧、または
減圧下から大気圧へ戻すための加圧系である1210を
備えている。この加圧系1210は気密容器内にN2 、
Arなどの貴ガスをキャリアガス、パージガスとして導
入するキャリアガス導入系1210bとしても機能す
る。1210cはキャリアガスリザバーである。このキ
ャリアガス導入系(加圧系)1210bは気密容器内の
酸素濃度を検出する酸素濃度センサ1211とにより、
気密容器内の酸素濃度を調節する酸素濃度調節手段12
12を構成する。図1に例示した処理装置においてもこ
のような酸素濃度調節手段を備えるようにしてもよい。As in the processing apparatus 1100 illustrated in FIG. 1, the airtight container 1201 includes temperature control means 1205 (not shown) for controlling the temperature in the container, and pressure control means 1206 for controlling the pressure in the container. I have. As described above, the exhaust unit 1202 is also a part of the pressure adjusting unit. The temperature adjusting means 1205 includes a temperature sensor 1207 (not shown) for detecting the temperature inside the airtight container 1201 and a heater 1208 (not shown) as a heating means for heating the inside of the airtight container. The pressure adjusting means 1206 is provided with a pressure sensor 1 (not shown) for detecting the pressure in the airtight container 1201.
209 and the exhaust means 1202 described above. Further, this processing apparatus is provided with a pressurizing system 1210 for pressurizing the inside of the airtight container or returning the pressure from reduced pressure to atmospheric pressure. This pressurizing system 1210 contains N2,
It also functions as a carrier gas introduction system 1210b for introducing a noble gas such as Ar as a carrier gas and a purge gas. 1210c is a carrier gas reservoir. This carrier gas introduction system (pressurizing system) 1210b is connected to an oxygen concentration sensor 1211 for detecting the oxygen concentration in the hermetic container.
Oxygen concentration adjusting means 12 for adjusting the oxygen concentration in the airtight container
12. The processing apparatus illustrated in FIG. 1 may be provided with such an oxygen concentration adjusting means.
【0147】図6は処理装置1200の備える制御手段
1213の構成を模式的に示す図である。制御手段12
13により、温度調節手段1205と圧力調節手段12
06と酸素濃度調節手段1212とを制御して気密容器
1201内に導入した処理対象物体を減圧下で加熱し、
処理対象物体から水銀含有ガスを抽出する。FIG. 6 is a diagram schematically showing the configuration of the control means 1213 provided in the processing apparatus 1200. Control means 12
13, the temperature adjusting means 1205 and the pressure adjusting means 12
06 and the oxygen concentration control means 1212 are controlled to heat the object to be treated introduced into the airtight container 1201 under reduced pressure,
Extract mercury-containing gas from the object to be treated.
【0148】例えば、前述のように、減圧された気密容
器1201内の圧力に応じて、その圧力における水銀の
気化する温度よりも高い温度、例えばその圧力における
水銀の気化する温度よりも数十度高い温度になるように
温度調節手段1205を制御するようにすればよい。ま
た、あらかじめ処理に要する温度、圧力条件のプロファ
イルを設定しておき、このプロファイルによって温度調
節手段1205、圧力調節手段1206、または酸素濃
度調節手段1212を制御するようにしてもよい。例え
ば、気密容器1201内を窒素ガスでパージしたうえ、
気密容器1201内の圧力をほぼ760Torrに保っ
たまま80〜90℃程度まで加熱し、ついで気密容器1
201内を所定の圧力まで減圧するとともに処理対象物
体を加熱して水銀を気化させるようにしてもよい。減圧
により気密容器1201内の熱伝導率は低下するが、こ
のように処理対象物体を余熱した上で気密容器1201
内を減圧することにより加熱効率を向上することができ
る。また、酸素濃度を調節しているため、加熱による処
理対象物体の酸化が抑制される。また、このような制御
手段は電子計算機のプログラムとして、電子計算機のメ
モリ手段や、フロッピーディスクなどの記録媒体に格納
するようにしてもよい。このように、温度調節手段12
05、圧力調節手段1206、酸素濃度調節手段121
2を制御して気密容器1201内に導入した処理対象物
体を減圧下で加熱し、処理対象物体から水銀含有ガスを
抽出する。For example, as described above, depending on the reduced pressure in the airtight container 1201, the temperature is higher than the temperature at which mercury vaporizes at that pressure, for example, several tens of degrees higher than the temperature at which mercury vaporizes at that pressure. What is necessary is just to control the temperature adjustment means 1205 so that it may become high temperature. Alternatively, a profile of the temperature and pressure conditions required for the processing may be set in advance, and the temperature control unit 1205, the pressure control unit 1206, or the oxygen concentration control unit 1212 may be controlled based on the profile. For example, after purging the airtight container 1201 with nitrogen gas,
While maintaining the pressure in the airtight container 1201 at approximately 760 Torr, the container is heated to about 80 to 90 ° C.
The inside of 201 may be reduced to a predetermined pressure and the object to be processed may be heated to vaporize mercury. Although the heat conductivity in the hermetic container 1201 decreases due to the decompression, the object to be treated is preheated as described above, and then the hermetic container 1201 is heated.
By reducing the pressure inside, the heating efficiency can be improved. In addition, since the oxygen concentration is adjusted, oxidation of the object to be processed due to heating is suppressed. Such a control means may be stored in a memory means of the computer or a recording medium such as a floppy disk as a program of the computer. Thus, the temperature control means 12
05, pressure adjusting means 1206, oxygen concentration adjusting means 121
2, the object to be treated introduced into the hermetic container 1201 is heated under reduced pressure, and a mercury-containing gas is extracted from the object to be treated.
【0149】この処理装置1200の排気手段1202
は、前述のように液封式真空ポンプ1203を用いてお
り、封液1203bには水を用いている。排気手段の構
成は、必要な真空度、装置の大きさなどに応じて適宜選
択して用いるようにすればよく、液封式真空ポンプにガ
スエジェクタを取り付けたり、液封式真空ポンプ120
3の吸気側にメカニカルブースターを備えるようにして
もよい。処理装置1200ではガスエジェクタを取り付
けた液封式真空ポンプ1203により気密容器1201
内を約1Torrまで減圧することができる。The exhaust means 1202 of the processing apparatus 1200
Uses the liquid ring vacuum pump 1203 as described above, and uses water for the sealing liquid 1203b. The configuration of the exhaust means may be appropriately selected and used depending on the required degree of vacuum, the size of the apparatus, and the like. A gas ejector may be attached to the liquid ring vacuum pump, or the liquid ring vacuum pump 120 may be used.
A mechanical booster may be provided on the intake side of No. 3. In the processing apparatus 1200, a liquid-tight vacuum pump 1203 equipped with a gas ejector 1203
The pressure can be reduced to about 1 Torr.
【0150】図7は液封式真空ポンプ1203の構造の
1例を概略的に示す断面図であり、図8はこの真空ポン
プの構造の1例を別の方向から概略的に示す断面図であ
る。断面が円形のケーシング(胴輪)1251内に封液
1203bを保持しており、ケーシング1251の中心
から偏心して配設された(偏心形)駆動軸1253に羽
根車1254が取り付けられている。封液1203bは
ケーシング1251の内部と外部とを循環させることが
できる。駆動軸1253の軸封1253bはグランド方
式でもメカニカル方式でもよいが、水銀含有ガスを処理
する場合には、メカニカル方式にを採用することが好ま
しい。ケーシング1251の断面形状は円形に限らず楕
円形でもよい。この場合には駆動軸1253をケーシン
グ1251の中心に配設すればよい(対称型)。FIG. 7 is a sectional view schematically showing an example of the structure of a liquid ring vacuum pump 1203, and FIG. 8 is a sectional view schematically showing an example of the structure of the vacuum pump from another direction. is there. A sealed liquid 1203b is held in a casing (hull) 1251 having a circular cross section, and an impeller 1254 is attached to a drive shaft 1253 (eccentric type) arranged eccentrically from the center of the casing 1251. The sealing liquid 1203b can circulate between the inside and the outside of the casing 1251. The shaft seal 1253b of the drive shaft 1253 may be a ground system or a mechanical system, but when a mercury-containing gas is processed, the mechanical system is preferably adopted. The cross-sectional shape of the casing 1251 is not limited to a circle but may be an ellipse. In this case, the drive shaft 1253 may be disposed at the center of the casing 1251 (symmetric type).
【0151】羽根車を回転させると、ケーシング125
1内の封液は遠心力によりケーシング1251内壁にそ
ってほぼ一様の厚さのリング状の封液層を形成する。図
6では封液1203bが羽根車1254の回転によりリ
ング状の封液層を形成している様子を示している。この
ときリング状の封液層の内側(駆動軸側)表面と羽根車
1254の羽根によって囲まれる空洞部分の容積は、羽
根車1254の回転による位置変化に応じて増減するこ
とになる。すなわち、ケーシングに押しつけられたリン
グ状の封液層がピストンの役割を果たして、羽根車の羽
根と羽根との間を往復することになる。液封式真空ポン
プはこの空洞部分の容積が回転により増減することを利
用して、例えば側壁(駆動軸と垂直なケーシング125
1の面)に設けられた吸気口1255、排気口1256
を通じて連続的な排気作用を得るものである。吸気口1
255、排気口1256は羽根車の内側に配設するよう
にしてもよい。When the impeller is rotated, the casing 125
The sealing liquid in 1 forms a ring-shaped sealing layer having a substantially uniform thickness along the inner wall of the casing 1251 by centrifugal force. FIG. 6 shows a state in which the sealing liquid 1203b forms a ring-shaped sealing layer by the rotation of the impeller 1254. At this time, the volume of the hollow portion surrounded by the inner (drive shaft side) surface of the ring-shaped liquid sealing layer and the blades of the impeller 1254 increases or decreases according to a change in position due to the rotation of the impeller 1254. That is, the ring-shaped liquid sealing layer pressed against the casing plays the role of a piston, and reciprocates between the blades of the impeller. The liquid ring vacuum pump uses the fact that the volume of the hollow portion increases or decreases due to the rotation, for example, the side wall (a casing 125 perpendicular to the drive shaft).
1) and an exhaust port 1256
Through which a continuous exhaust action is obtained. Inlet 1
The exhaust port 255 and the exhaust port 1256 may be arranged inside the impeller.
【0152】図8に示すようにこの液封式真空ポンプ1
203はケーシング1251が中間カバー1257によ
り低圧側ケーシング1251aと高圧側ケーシング12
51bとに分割された2段構成となっている。すなわ
ち、低圧側ケーシング1251aと高圧側ケーシング1
251bにそれぞれ羽根車1254を備えており、吸入
気体はまず低圧側ケーシング1251aに導入され、低
圧側の羽根車1254aによって圧縮される。圧縮され
た吸入気体は中間カバー1257を通じて高圧側ケーシ
ング1251bに導入され、高圧側の羽根車1254b
によってさらに圧縮されてから、封液1203bととも
に大気圧下に封液循環系1204に排出される。この封
液循環系1204では封液1203bと吸入気体は分離
され、封液1203bは例えば捕捉物質の分離、温度調
節、pH調節などの処理を経た後、再び液封式真空ポン
プ1203内部に導入される。封液1203bは、ケー
シング1251内部と大気圧との圧力差により液封式真
空ポンプ1203内部に吸い込まれるが、封液1203
bを循環させるための循環ポンプなどを別に備えるよう
にしてもよい。1258は封液導入口であり、1259
は封液排出口である。As shown in FIG. 8, this liquid ring vacuum pump 1
Reference numeral 203 denotes a casing 1251 in which the intermediate cover 1257 forms a low pressure side casing 1251a and a high pressure side casing 121.
51b. That is, the low-pressure casing 1251a and the high-pressure casing 1
251b are each provided with an impeller 1254, and the suction gas is first introduced into the low-pressure side casing 1251a, and is compressed by the low-pressure side impeller 1254a. The compressed intake gas is introduced into the high-pressure side casing 1251b through the intermediate cover 1257, and the high-pressure side impeller 1254b
And further discharged to the sealing liquid circulation system 1204 together with the sealing liquid 1203b under atmospheric pressure. In the sealing liquid circulation system 1204, the sealing liquid 1203b and the suction gas are separated, and the sealing liquid 1203b is introduced into the liquid ring vacuum pump 1203 again after processing such as separation of a trapping substance, temperature control, and pH control. You. The sealing liquid 1203b is sucked into the liquid ring vacuum pump 1203 by the pressure difference between the inside of the casing 1251 and the atmospheric pressure.
A circulation pump for circulating b may be separately provided. Reference numeral 1258 denotes a sealing liquid inlet;
Is a sealing liquid outlet.
【0153】図8に例示した液封式真空ポンプ1203
においてはケーシングを分割して2段式の構成をとって
いるが、液封式真空ポンプを多段に接続するようにして
もよい。このようなケーシングを多段に分割し、液封式
真空ポンプを多段に接続することにより、より高い真空
度を得ることができる。The liquid ring vacuum pump 1203 illustrated in FIG.
In, the casing is divided into two stages, but a liquid ring vacuum pump may be connected in multiple stages. By dividing such a casing into multiple stages and connecting a liquid-ring vacuum pump in multiple stages, a higher degree of vacuum can be obtained.
【0154】封液1203bとしては水だけではなく、
例えばエチレングリコール、プロピレングリコール、モ
ノクロロベンゼン、ジクロロベンゼン、メタノール、エ
タノール、トルエン、キシレン、ケロシン、アクリルニ
トリル、ヘキサン、エチルベンゼン、スチレンなどを用
いるようにしてもよい。さらに、排気する気体が酸性気
体である場合には、液封式真空ポンプの封液にアルカリ
性の溶液を用いるようにしてもよい。As the sealing liquid 1203b, not only water but also
For example, ethylene glycol, propylene glycol, monochlorobenzene, dichlorobenzene, methanol, ethanol, toluene, xylene, kerosene, acrylonitrile, hexane, ethylbenzene, styrene and the like may be used. Furthermore, when the gas to be exhausted is an acidic gas, an alkaline solution may be used for sealing the liquid ring vacuum pump.
【0155】液封式真空ポンプ1203には、必要に応
じて大気圧の空気を駆動流体とするガスエジェクタを1
段または多段に備えるようにしてもよい。このようなガ
スエジェクタを備えることにより、より高い真空度が得
られ、また液封式真空ポンプの駆動に要する動力が低減
することができる。さらに、液封式真空ポンプの吸気側
にメカニカルブースター(ルーツポンプ)を備えるよう
にしてもよい。液封式真空ポンプの吸気側にメカニカル
ブースターを接続することによりより大きな排気速度が
得ることができ、さらに高い真空度が得られる。The liquid ring vacuum pump 1203 is provided with a gas ejector using air at atmospheric pressure as a driving fluid, if necessary.
It may be provided in stages or in multiple stages. By providing such a gas ejector, a higher degree of vacuum can be obtained, and the power required for driving the liquid ring vacuum pump can be reduced. Further, a mechanical booster (Roots pump) may be provided on the suction side of the liquid ring vacuum pump. By connecting a mechanical booster to the suction side of the liquid ring vacuum pump, a higher pumping speed can be obtained, and a higher degree of vacuum can be obtained.
【0156】本発明の処理装置においては、上述のよう
な液封式真空ポンプを備えることにより、水分や、水
銀、樹脂の分解生成物を含有するガスを効果的に減圧下
で気化させることができる。液封式真空ポンプを用いる
ことにより、水分や、水銀、樹脂の分解生成物などを含
有するガスまたはミストを効果的に扱うことができ、排
気する気体に含まれる水分や、水銀、樹脂の分解生成物
などを捕捉することができる。したがって、封液から、
これらの物質を回収することができ、また系外への有害
な物質の散逸が防止することができる。封液循環系12
04は液封式真空ポンプ1203の封液1203bを液
封式真空ポンプ1203のケーシングの内外に循環させ
るものである。The treatment apparatus of the present invention is provided with the above-mentioned liquid ring vacuum pump, so that gas containing water, mercury, and decomposition products of resin can be effectively vaporized under reduced pressure. it can. By using a liquid ring vacuum pump, gas or mist containing moisture, mercury, decomposition products of resin, etc. can be effectively handled, and moisture, mercury, and resin contained in exhaust gas can be decomposed. Products and the like can be captured. Therefore, from the sealing liquid,
These substances can be recovered, and the escape of harmful substances to the outside of the system can be prevented. Seal liquid circulation system 12
Numeral 04 denotes a liquid for circulating the sealing liquid 1203b of the liquid ring vacuum pump 1203 inside and outside the casing of the liquid ring vacuum pump 1203.
【0157】図5に例示した処理装置においては、封液
循環系1204は、封液を冷却する封液冷却手段121
5と、封液とともに液封式真空ポンプから排出した排気
ガスを封液から分離する気液分離手段1216と、封液
から水銀を分離して回収する水銀回収手段1217とを
備えている。水銀回収手段1217として、ここでは液
体サイクロンを用いているが、封液循環系に水銀の沈降
槽を設けるようにしてもよい。In the processing apparatus illustrated in FIG. 5, the sealing liquid circulation system 1204 includes a sealing liquid cooling unit 121 for cooling the sealing liquid.
5, a gas-liquid separator 1216 for separating the exhaust gas discharged from the liquid ring vacuum pump together with the sealing liquid from the sealing liquid, and a mercury collecting means 1217 for separating and collecting mercury from the sealing liquid. Although a liquid cyclone is used here as the mercury recovery means 1217, a mercury sedimentation tank may be provided in the sealing liquid circulation system.
【0158】封液冷却手段1215では液封式真空ポン
プ1203から排出された封液1203bを、この封液
循環系1204では封液1203bである水を2℃に冷
却している。封液1203bは、液封式真空ポンプ12
03の排気速度を向上する観点からも、封液1203b
で水銀を捕捉する観点からも、さらに封液1203bに
捕捉した水銀を封液中に保持する観点からも、封液は冷
却することが好適である。封液1203bが凍らない範
囲であれば、さらに低温に冷却するようにしてもよい。
封液1203bを冷却することにより、水銀やその他の
成分の捕捉効率が向上する。また、封液の蒸気圧を低く
保つことによりより高い真空度を得ることができる。The sealing liquid cooling means 1215 cools the sealing liquid 1203b discharged from the liquid ring vacuum pump 1203, and the sealing liquid circulating system 1204 cools the water as the sealing liquid 1203b to 2 ° C. The sealing liquid 1203b is a liquid sealing vacuum pump 12
03 from the viewpoint of improving the pumping speed of the sealing liquid 1203b.
It is preferable to cool the sealing liquid from the viewpoint of capturing the mercury in the sealing liquid and also from the viewpoint of holding the mercury captured in the sealing liquid 1203b in the sealing liquid. If the sealing liquid 1203b does not freeze, it may be cooled to a lower temperature.
By cooling the sealing liquid 1203b, trapping efficiency of mercury and other components is improved. Further, a higher degree of vacuum can be obtained by keeping the vapor pressure of the sealing liquid low.
【0159】気液分離手段1216で封液から分離され
た排ガスは、排ガス処理手段1218により処理してか
ら系外へ放出される。この排ガス処理手段1218は必
要に応じて備えるようにすればよいが、例えば活性炭充
填塔、マルチ排ガスチャンバなどにより排ガスを無害
化、無煙化、無臭化して系外へ放出するようにすればよ
い。The exhaust gas separated from the sealed liquid by the gas-liquid separation means 1216 is treated by the exhaust gas treatment means 1218 and then discharged out of the system. The exhaust gas treatment means 1218 may be provided as needed, but may be made harmless, smokeless, and odorless by, for example, an activated carbon packed tower, a multi-exhaust gas chamber, or the like, and discharged out of the system.
【0160】封液循環系1204の構成は必要に応じて
変えるようにすればよい。例えば封液のpHを調節する
pH調節手段、封液の流量を調節する流量調節手段、封
液を循環させるための循環ポンプなどを備えるようにし
てもよい。また、これらは複数箇所に配設するようにし
てもよいし、複数段備えるようにしてもよい。また配置
の順序についても必要に応じて変えるようにすればよ
い。The configuration of the liquid sealing circulation system 1204 may be changed as needed. For example, a pH adjusting means for adjusting the pH of the sealing liquid, a flow rate adjusting means for adjusting the flow rate of the sealing liquid, a circulation pump for circulating the sealing liquid, and the like may be provided. Further, these may be provided at a plurality of locations or may be provided at a plurality of stages. The arrangement order may be changed as necessary.
【0161】図9は図5に例示した封液循環系1204
に加えて、封液のpHを調節するpH調節手段121
9、封液の流量を調節する封液リザバー1220をさら
に備えた封液循環系1204bを備えた処理装置120
0bの構成を模式的に示す図である。FIG. 9 is a liquid circulation system 1204 exemplified in FIG.
PH adjusting means 121 for adjusting the pH of the sealing solution
9. A processing apparatus 120 including a sealing liquid circulation system 1204b further including a sealing liquid reservoir 1220 for adjusting the flow rate of the sealing liquid.
It is a figure which shows the structure of 0b typically.
【0162】pH調節手段1219は、pHメータなど
のpH検出手段により封液のpHを検出し、例えば封液
が酸性の場合には封液のアルカリを添加して封液のpH
を所定の範囲に保つものである。このpH調節手段12
19では封液のpHをほぼ5〜8程度に保っている。封
液のはこのようなpH調節手段1219を備えることに
より、例えば処理対象物体から気化したガスにNOx 、
SOx あるいはハロゲンなどが含まれている場合であっ
ても、その封液のpHを所定範囲に保つことができる。
このような成分を除去することにより、凝縮させた水銀
の後処理が容易になるとともに、排ガスの処理が容易に
なる。The pH adjusting means 1219 detects the pH of the sealing liquid by a pH detecting means such as a pH meter. For example, when the sealing liquid is acidic, an alkali of the sealing liquid is added to adjust the pH of the sealing liquid.
Is kept within a predetermined range. This pH adjusting means 12
In No. 19, the pH of the sealing liquid is maintained at about 5 to 8 or so. By providing such a pH adjusting means 1219 for the sealed liquid, for example, NOx,
Even when SOx or halogen is contained, the pH of the sealing liquid can be kept within a predetermined range.
Removal of such components facilitates post-treatment of condensed mercury and facilitates treatment of exhaust gas.
【0163】封液循環系1204を循環する封液120
3bは一定の水銀濃度を有することになるが、この封液
1203bは、クローズドシステムで用いる場合には特
に処理する必要はない。この封液を処理する必要がある
場合には例えば、キレート剤で処理するようにしてもよ
いし、フェライト法、還元気化法などを用いて処理する
ようにしてもよい。さらに低濃度の水銀を過マンガン酸
カリウムと硫酸の混合溶液を用いて処理するようにして
もよい。The sealing liquid 120 circulating through the sealing liquid circulation system 1204
Although 3b has a certain mercury concentration, this sealing liquid 1203b does not need to be particularly treated when used in a closed system. When the sealing liquid needs to be treated, for example, it may be treated with a chelating agent, or may be treated using a ferrite method, a reduction vaporization method, or the like. Further, low concentration mercury may be treated using a mixed solution of potassium permanganate and sulfuric acid.
【0164】また、封液循環系にフェライト法、還元気
化法などを組み合わせるようにしてもよい。図10は図
5、図9に例示した発明の処理装置の封液循環系の構成
の別の1例を模式的に示す図である。この封液循環系は
図9に例示した封液循環系1204bの構成に加えて、
さらにフェライト処理槽、還元気化槽、コンデンサー、
水洗冷却塔、水銀吸収塔などを有した構成となってい
る。Further, a ferrite method, a reduction vaporization method, or the like may be combined with the sealing liquid circulation system. FIG. 10 is a view schematically showing another example of the configuration of the liquid sealing circulation system of the processing apparatus of the invention illustrated in FIGS. 5 and 9. This sealing liquid circulation system has the structure of the sealing liquid circulation system 1204b illustrated in FIG.
Furthermore, ferrite treatment tank, reduction vaporization tank, condenser,
It has a configuration including a washing cooling tower and a mercury absorption tower.
【0165】封液循環系1204bの封液リザバー12
20の水銀を含有する封液1203bは、まずフェライ
ト処理槽1231へ導入し、フェライト処理して粗水銀
を回収する。フェライト処理を施した処理液は還元気化
槽1232へ導入する。還元気化槽1232では処理液
に還元剤を作用させ、空気または窒素ガスを通気するこ
とによって水銀およびその化合物を気化させる。このと
き気化したガスは50〜60℃程度である。また、上述
の処理液のpHはアルカリ側になっている。還元気化槽
1232で気化させた水銀含有ガスはコンデンサー12
33へ導入する。このとき、図9に例示した封液循環系
1204の気液分離手段1216で封液から分離したガ
スも合わせてコンデンサー1233へ導入している。こ
のガス、すなわち還元気化槽1232で気化させたガス
および気液分離手段1216で封液から分離したガス
は、コンデンサー1233で約25℃の冷却水により間
接冷却する。このコンデンサー1233にはベンチュリ
ースクラバーを備えるようにしてもよい。冷却により凝
縮した水銀および水は第1の水銀沈降槽1234に導入
する。約2〜5℃に保たれた第1の水銀沈降槽で、水銀
は灰黒色の微細な粒子として沈降するが、この粒子は徐
々に直径約1〜3mmの水銀粒子に成長する。沈降させ
た水銀はさらに液体サイクロンを備えた第1の分離槽1
235で水銀と分離される。第1の分離槽1235で水
銀と分離された水および第1の水銀沈降槽1234のオ
ーバーフロー水(水銀濃度約50〜100ppb)は、
封液循環系1204bの封液リザバー1220へ戻され
る。The liquid sealing reservoir 12 of the liquid sealing circulation system 1204b
First, the sealing liquid 1203b containing 20 mercury is introduced into a ferrite treatment tank 1231, and is subjected to ferrite treatment to collect crude mercury. The treatment liquid subjected to the ferrite treatment is introduced into the reduction vaporization tank 1232. In the reduction vaporization tank 1232, a reducing agent is caused to act on the treatment liquid, and mercury and its compounds are vaporized by passing air or nitrogen gas. At this time, the vaporized gas is about 50 to 60 ° C. Further, the pH of the above-mentioned processing solution is on the alkaline side. The mercury-containing gas vaporized in the reduction vaporization tank 1232 is supplied to the condenser 12
33. At this time, the gas separated from the sealing liquid by the gas-liquid separation means 1216 of the sealing liquid circulation system 1204 illustrated in FIG. 9 is also introduced into the condenser 1233. This gas, that is, the gas vaporized in the reduction vaporization tank 1232 and the gas separated from the sealed liquid by the gas-liquid separation means 1216 are indirectly cooled by a condenser 1233 with cooling water at about 25 ° C. The condenser 1233 may include a venturi scrubber. Mercury and water condensed by cooling are introduced into a first mercury settling tank 1234. In the first mercury settling tank maintained at about 2 to 5 ° C., the mercury settles as fine gray-black particles, which gradually grow into mercury particles having a diameter of about 1 to 3 mm. The sedimented mercury is further separated into a first separation tank 1 equipped with a hydrocyclone.
At 235, it is separated from mercury. The water separated from mercury in the first separation tank 1235 and the overflow water (mercury concentration of about 50 to 100 ppb) in the first mercury precipitation tank 1234 are:
The liquid is returned to the liquid sealing reservoir 1220 of the liquid sealing circulation system 1204b.
【0166】一方、コンデンサー1233を通過したガ
スは水洗冷却塔1236へ導入される。このこの水洗冷
却塔1236は、直径約300mmであり、1インチラ
シヒリング1m充填したものである。そして約2℃に冷
却した冷却水を塔頂から供給し、コンデンサー1233
から出たガスと向流的に接触させて、ガス温度を約5℃
程度に直接冷却する。この水洗冷却塔1236にもベン
チュリースクラバーを備えるようにしてもよい。On the other hand, the gas that has passed through the condenser 1233 is introduced into the washing cooling tower 1236. The washing cooling tower 1236 has a diameter of about 300 mm and is filled with 1-inch Raschig rings 1 m. Cooling water cooled to about 2 ° C. is supplied from the top of the tower, and the condenser 1233
Gas in a countercurrent direction with the gas discharged from
Cool directly to a degree. The washing cooling tower 1236 may also be provided with a venturi scrubber.
【0167】冷却により凝縮した水銀および水は第2の
水銀沈降槽1237に導入する。この水洗冷却塔123
6は、ガスを冷却するだけではなく、コンデンサー12
33で回収されなかった水銀微粒子も補集することがで
きる。Mercury and water condensed by cooling are introduced into a second mercury settling tank 1237. This washing cooling tower 123
6 not only cools the gas, but also
Mercury fine particles not collected in 33 can also be collected.
【0168】約0〜2℃に保たれた第2の水銀沈降槽1
237で、水銀は灰黒色の微細な粒子として沈降する。
沈降させた水銀はさらに液体サイクロンを備えた第2の
分離槽1238で水銀と分離される。第2の分離槽12
38で水銀と分離された水および第2の水銀沈降槽12
37のオーバーフロー水(水銀濃度約50〜100pp
b)は、水洗冷却塔1236の供給水として使用され
る。この水は封液循環系1204bの封液リザバー12
20、フェライト処理槽1231へ戻すようにしてもよ
い。Second mercury sedimentation tank 1 maintained at about 0 to 2 ° C.
At 237, the mercury settles as fine gray black particles.
The sedimented mercury is further separated from the mercury in a second separation tank 1238 provided with a hydrocyclone. Second separation tank 12
Water separated from mercury at 38 and second mercury settling tank 12
37 overflow water (mercury concentration about 50-100pp)
b) is used as feed water for the washing cooling tower 1236. This water is supplied to the sealing reservoir 12 of the sealing circulation system 1204b.
20, you may make it return to the ferrite processing tank 1231.
【0169】水洗冷却塔1236、第2の水銀沈降槽1
237、第2の分離槽1238までの処理により、封液
リザバー1220から導入した封液中の水銀をほぼ完全
(98〜99%)に回収することができる。Washing cooling tower 1236, second mercury settling tank 1
By the treatment up to 237 and the second separation tank 1238, mercury in the sealing liquid introduced from the sealing liquid reservoir 1220 can be almost completely recovered (98 to 99%).
【0170】水洗冷却塔1236を通過した低濃度の水
銀含有ガスは、種々の方法で処理することができる。図
10に示した例では、水洗冷却塔1236を通過した低
濃度の水銀含有ガスを水銀吸収塔1239に導入してい
る。この水銀吸収塔1239では、過マンガン酸カリウ
ムと硫酸の混合溶液を吸収液として塔頂から導入して、
水洗冷却塔1236から出たガスと向流的に接触させ
て、水銀を吸収させる。1240は吸収液リザバーであ
る。この吸収液が水銀吸収能を失ったならば、少量ずつ
フェライト処理槽1231へ導入するようにしてもよ
い。The low-concentration mercury-containing gas that has passed through the washing cooling tower 1236 can be treated by various methods. In the example shown in FIG. 10, the low-concentration mercury-containing gas that has passed through the washing cooling tower 1236 is introduced into the mercury absorption tower 1239. In this mercury absorption tower 1239, a mixed solution of potassium permanganate and sulfuric acid is introduced from the top as an absorption liquid,
Mercury is absorbed by bringing the gas discharged from the washing cooling tower 1236 into countercurrent contact. 1240 is an absorption liquid reservoir. If this absorbing liquid has lost the mercury absorbing ability, it may be introduced into the ferrite treatment tank 1231 little by little.
【0171】水銀吸収塔1239を出たガスの水銀濃度
は約0.02〜0.03%であり大気中への排出が可能
である。図10に例示した例では、水銀吸収塔1239
を出たガスをさらに、活性炭吸着塔1241で処理た上
で大気中に放出している。The gas exiting the mercury absorption tower 1239 has a mercury concentration of about 0.02 to 0.03% and can be discharged into the atmosphere. In the example illustrated in FIG. 10, the mercury absorption tower 1239
The gas that has exited is further treated in an activated carbon adsorption tower 1241 and then released into the atmosphere.
【0172】図10に例示した封液循環系と同様の処理
を、例えば図1に例示した本発明の処理装置1100に
組み合わせるようにしてもよい。例えば処理装置110
0排気手段1102の排気ガスを、コンデンサー123
3に導入するようにしてもよい。The same processing as the liquid sealing circulation system illustrated in FIG. 10 may be combined with, for example, the processing apparatus 1100 of the present invention illustrated in FIG. For example, the processing device 110
0 The exhaust gas from the exhaust means 1102 is supplied to the condenser 123
3 may be introduced.
【0173】また、図5、図9に例示したような、液封
式真空ポンプを有する本発明の処理装置1200におい
ても、気密容器1201と液封式真空ポンプ1203を
備えた排気手段との間に、処理対象物体から気化したガ
スを中和するガス中和手段を設けるようにしてもよい。
ガス中和手段としては、前述のように、例えば気密容器
1201と排気手段1203との間に例えば粒状の水酸
化カルシウムなどを充填するようにしてもよい。さら
に、このガス中和手段に塩化カルシウムなどを充填した
部分を設け、ガス中の水分含有量を低下させるようにし
てもよい。Further, in the processing apparatus 1200 of the present invention having a liquid-ring vacuum pump as exemplified in FIGS. 5 and 9, the airtight container 1201 and the exhaust means provided with the liquid-ring vacuum pump 1203 are also connected. Further, a gas neutralizing means for neutralizing the gas vaporized from the object to be processed may be provided.
As described above, as the gas neutralizing means, for example, a space between the airtight container 1201 and the exhaust means 1203 may be filled with, for example, granular calcium hydroxide. Furthermore, a portion filled with calcium chloride or the like may be provided in the gas neutralizing means to reduce the water content in the gas.
【0174】図11は、図9に例示した処理装置120
0bにガス中和手段を備えた構成を模式的に示す図であ
る。気密容器1201と液封式真空ポンプを備えた排気
手段1203との間に、塩化カルシウムを充填したガス
中和ユニット1251を並列に配設している。ガス中和
手段は複数箇所に配設するようにしてもよいし、複数段
に配設するようにしてもよい。図11の例では、ガス中
和ユニット1251を並列に配設しているため、処理中
に切り換えて用いることができるし、処理中の交換も可
能である。FIG. 11 shows the processing unit 120 illustrated in FIG.
It is a figure which shows typically the structure provided with the gas neutralization means in 0b. A gas neutralization unit 1251 filled with calcium chloride is arranged in parallel between an airtight container 1201 and an evacuation unit 1203 equipped with a liquid ring vacuum pump. The gas neutralizing means may be provided at a plurality of locations, or may be provided at a plurality of stages. In the example of FIG. 11, since the gas neutralization units 1251 are arranged in parallel, they can be used by switching during processing, and can be replaced during processing.
【0175】また、このガス中和ユニット1251の温
度を調節して、ガスに含まれる水銀の気化状態を保ちな
がら処理するようにしてもよい。水銀の気化状態を保ち
ながらガスの中和等を行うことにより、ガス中和ユニッ
ト1251に水銀が凝縮することはないから、ガス中和
ユニット1251の交換が容易になる。Further, the temperature of the gas neutralizing unit 1251 may be adjusted to perform the treatment while keeping the mercury contained in the gas in a vaporized state. By performing gas neutralization or the like while maintaining the vaporized state of mercury, mercury does not condense in the gas neutralization unit 1251, so that replacement of the gas neutralization unit 1251 becomes easy.
【0176】このような温度調節は必要に応じて行うよ
うにすればよいが、例えば気密容器1201またはガス
中和ユニット1251内の温度と圧力とを検出して、そ
の温度が該圧力における水銀の沸点よりも高くなるよう
にガス中和手段の温度を調節するようにしてもよい。Such temperature adjustment may be performed as needed. For example, the temperature and pressure in the hermetic container 1201 or the gas neutralization unit 1251 are detected, and the temperature is adjusted to the level of mercury at the pressure. The temperature of the gas neutralizing means may be adjusted so as to be higher than the boiling point.
【0177】このようなガス中和手段1251を備える
ことにより、例えば処理対象物体から気化したガスにN
Ox 、SOx あるいはハロゲンなどが含まれている場合
であっても、その濃度を低減することができる。このよ
うな成分を除去することにより、凝縮させた水銀の後処
理が容易になるとともに、排ガスの処理が容易になる。
特にハロゲン濃度を低下することにより、例えばPCD
Ds、PCDFsなどのダイオキシンの生成が抑制され
る。さらに、排気手段である真空ポンプを保護すること
ができ、封液循環系1204での封液1203bの処理
も容易になる。By providing such a gas neutralizing means 1251, for example, N
Even when Ox, SOx or halogen is contained, the concentration can be reduced. Removal of such components facilitates post-treatment of condensed mercury and facilitates treatment of exhaust gas.
In particular, by reducing the halogen concentration, for example, PCD
The generation of dioxins such as Ds and PCDFs is suppressed. Further, the vacuum pump serving as the exhaust means can be protected, and the treatment of the sealing liquid 1203b in the sealing liquid circulation system 1204 becomes easy.
【0178】このガス中和手段1251はガスからNO
x 、SOx あるいはハロゲンなどの成分を必ずしも完全
に除去する必要はない。排気手段1203から封液とと
もに排気される排ガスは、例えば図10に例示したよう
に、コンデンサー1233、水洗冷却塔1236、水銀
吸収塔1239、さらに活性炭吸着塔1241やマルチ
排ガスチャンバなどで環境基準を満たすように処理した
上で排気される。The gas neutralizing means 1251 converts NO into NO.
It is not necessary to completely remove components such as x, SOx and halogen. Exhaust gas exhausted together with the sealing liquid from the exhaust means 1203 satisfies environmental standards in, for example, a condenser 1233, a washing cooling tower 1236, a mercury absorption tower 1239, an activated carbon adsorption tower 1241 and a multi-exhaust gas chamber as illustrated in FIG. And then exhausted.
【0179】また、図5、図9に例示したような液封式
真空ポンプを有する本発明の処理装置1200において
も、図1に例示した処理装置1100と同様に気密容器
1201と液封式真空ポンプを備えた排気手段1203
との間に、処理対象物体から気化したガスを冷却する冷
却手段または処理対象物体から気化したガスを冷却し、
冷却により凝縮した水銀を回収する回収手段を配設する
ようにしてもよい。Also, in the processing apparatus 1200 of the present invention having a liquid ring type vacuum pump as illustrated in FIGS. 5 and 9, similarly to the processing apparatus 1100 illustrated in FIG. Evacuation means 1203 equipped with a pump
In between, cooling means for cooling the gas vaporized from the processing object or cooling the gas vaporized from the processing object,
A collecting means for collecting mercury condensed by cooling may be provided.
【0180】図12は、気密容器1201と液封式真空
ポンプを備えた排気手段1203との間に、処理対象物
体から気化したガスを冷却するガス冷却手段1261を
備えた本発明の処理装置の構成の1例を模式的に示す図
である。また、このガス冷却手段1261は冷却により
凝縮した水銀を回収する回収手段である水銀溜め126
2を備えている。また、例えば図4に例示した回収手段
1103、すなわち第1のコンデンサー1111、第2
のコンデンサー1112をガス冷却手段として備えるよ
うにしてもよい。FIG. 12 shows a processing apparatus of the present invention having a gas cooling means 1261 for cooling a gas vaporized from an object to be processed between an airtight container 1201 and an exhaust means 1203 provided with a liquid ring vacuum pump. It is a figure which shows an example of a structure typically. The gas cooling means 1261 is a mercury reservoir 126 which is a collecting means for collecting mercury condensed by cooling.
2 is provided. Further, for example, the collection unit 1103 illustrated in FIG. 4, that is, the first condenser 1111 and the second condenser 1111
May be provided as a gas cooling means.
【0181】ガス冷却手段1261は、例えば処理対象
物体から気化させた水銀含有ガスを冷媒を流通させたラ
ジエターにより間接的に冷却するようにしてもよい。冷
却手段1261は必要に応じてさらに多段に備えるよう
にしてもよい。また、間接冷却ではなく直接冷却するよ
うにしてもよく、間接冷却と直接冷却を組み合わせるよ
うにしてもよい。直接冷却の場合、例えば冷却水と水銀
含有ガスとを向流的に接触させるようにしてもよい。凝
縮した水銀および水は図10に例示したような方法で処
理するようにしてもよい。The gas cooling means 1261 may be configured to indirectly cool, for example, a mercury-containing gas vaporized from an object to be treated by a radiator through which a refrigerant flows. The cooling means 1261 may be provided in more stages as needed. Further, direct cooling may be performed instead of indirect cooling, or indirect cooling and direct cooling may be combined. In the case of direct cooling, for example, the cooling water and the mercury-containing gas may be brought into countercurrent contact. The condensed mercury and water may be treated by a method as illustrated in FIG.
【0182】この冷却手段1261における水銀含有ガ
スの冷却温度は、系内の圧力などに応じて調節するよう
にすればよい。また前述のようにコンデンサーをさらに
多段に備えるようにすれば、より低い温度まで冷却する
ことができる。The cooling temperature of the mercury-containing gas in the cooling means 1261 may be adjusted according to the pressure in the system. As described above, if the condenser is further provided in multiple stages, the condenser can be cooled to a lower temperature.
【0183】凝縮した水銀は水銀溜め1262にたまる
ようになっている。回収された水銀は、例えば水銀溜め
1262と、気密容器1201および排気系1203と
のバルブを閉じ、リークバルブなどにより水銀溜め12
62の内部を大気圧に戻せば取り出すことができる。The condensed mercury accumulates in the mercury reservoir 1262. The collected mercury is closed by, for example, closing the valves of the mercury reservoir 1262, the airtight container 1201 and the exhaust system 1203, and using a leak valve or the like.
If the inside of 62 is returned to atmospheric pressure, it can be taken out.
【0184】ガス冷却手段1261は、水銀を凝縮させ
るだけでなく、処理対象物体から気化したガスを冷却す
ることによりダイオキシンの発生を抑制するものであ
る。気密容器内を約200℃以上に加熱して処理対象物
体から水銀を気化させるような場合には、ダイオキシン
の生成を抑制するためにも、ガス冷却手段を備えること
が好ましい。図12に例示したガス冷却手段では、気密
容器1201から排出された例えば250℃のガスを、
数秒間の間に100℃程度まで冷却するように設計され
ている。また、ガス冷却手段をさらに多段に接続して例
えば25〜35℃程度にまで急冷するようにしてもよ
い。The gas cooling means 1261 not only condenses mercury but also suppresses the generation of dioxin by cooling the gas vaporized from the object to be treated. When the inside of the airtight container is heated to about 200 ° C. or more to vaporize mercury from the object to be treated, it is preferable to provide a gas cooling means also in order to suppress the generation of dioxin. In the gas cooling unit illustrated in FIG. 12, for example, the gas of 250 ° C. discharged from the airtight container 1201 is
It is designed to cool down to around 100 ° C. within a few seconds. Further, the gas cooling means may be further connected in multiple stages to rapidly cool to, for example, about 25 to 35 ° C.
【0185】このように本発明によれば、水銀を含有す
る処理対象物体を気密容器内に導入して減圧下で加熱し
抽出した水銀含有ガスを、封液循環系を有する液封式真
空ポンプを備えた排気系に導入することにより、液封式
真空ポンプの封液により水銀を捕捉して回収することが
できる。また、水銀を含有する処理対象物体を気密容器
内に導入して減圧下で加熱し、抽出した水銀含有ガスを
冷却することにより、水銀を凝縮して回収することがで
きる。As described above, according to the present invention, an object to be treated containing mercury is introduced into an airtight container, and the mercury-containing gas extracted by heating under reduced pressure is extracted by a liquid ring vacuum pump having a liquid sealing circulation system. , Mercury can be captured and collected by the sealing liquid of a liquid ring vacuum pump. In addition, mercury-containing objects to be treated are introduced into an airtight container, heated under reduced pressure, and the extracted mercury-containing gas is cooled, so that mercury can be condensed and recovered.
【0186】また本発明の処理装置によれば、水銀を含
有する物体を比較的低温で効果的に処理して水銀を分離
・回収することができる。Further, according to the treatment apparatus of the present invention, mercury-containing objects can be effectively treated at a relatively low temperature to separate and collect mercury.
【0187】また本発明は、水銀を含有する物体を効果
的に処理するとともに、ダイオキシンなど有害物質の生
成を抑制して有害物質の環境中への排出を最小限度にと
どめながら、水銀の再利用をすることができる。The present invention is also intended to effectively treat an object containing mercury and to suppress the generation of harmful substances such as dioxin to minimize the discharge of harmful substances into the environment while reusing mercury. Can be.
【0188】(実施例3)本発明は、処理対象物体から
水銀を分離回収するだけでなく、処理対象物体の水銀以
外の構成金属(第2の金属)も処理対象物体から回収す
ることができるものである。(Embodiment 3) In the present invention, not only mercury is separated and recovered from the object to be treated, but also constituent metals other than mercury (second metal) of the object to be treated can be recovered from the object to be treated. Things.
【0189】水銀を処理するとともに、水銀以外の金属
を処理する本発明の処理装置においては、液封式真空ポ
ンプを備えた第1の排気系と切替え可能、あるいは並列
に気密容器に接続された第2の排気系と、気密容器と第
2の排気系との間に配設された第3の回収手段を備えて
いる。また、気密容器内の温度、圧力を減圧下で第2の
金属が気化するように制御する第2の制御手段を備えて
いる。In the processing apparatus of the present invention for processing mercury and metals other than mercury, the processing apparatus can be switched to a first exhaust system equipped with a liquid ring vacuum pump, or connected to an airtight container in parallel. There is provided a second exhaust system, and third recovery means disposed between the airtight container and the second exhaust system. Further, a second control means is provided for controlling the temperature and pressure in the airtight container so that the second metal is vaporized under reduced pressure.
【0190】すなわち、すでに説明したような方法によ
り処理対象物体から水銀を気化させた後、気密容器内の
温度、圧力を減圧下で第2の金属が気化するように調節
して処理対象物体から第2の金属を気化させる。気密容
器内の温度、圧力条件を調節することにより、処理対象
物体から第2の金属を選択的に気化させることもでき
る。ここで、第2の金属は1つの元素に限ることはな
く、複数であってもよい。複数元素の第2の金属を処理
する場合、第2の排気系は複数系統備えるようにしても
よい。第3の回収手段についても同様である。この場
合、第2の制御手段についても複数の第2の金属を処理
できるように、例えば複数段階の制御を行うようにすれ
ばよい。That is, after mercury is vaporized from the object to be treated by the method described above, the temperature and pressure in the hermetic container are adjusted so that the second metal is vaporized under reduced pressure, and the mercury is removed from the object to be treated. The second metal is vaporized. By adjusting the temperature and pressure conditions in the hermetic container, the second metal can be selectively vaporized from the object to be treated. Here, the second metal is not limited to one element, and may be plural. When treating the second metal of a plurality of elements, the second exhaust system may be provided with a plurality of systems. The same applies to the third collecting means. In this case, for example, a plurality of levels of control may be performed so that the second control means can process a plurality of second metals.
【0191】例えば、Znの760Torrにおける沸
点は約907℃であるが、100Torrでは約736
℃、10Torrでは約593℃、1Torrでは約4
70℃、10-4Torrでは約260℃で気化する。ま
た、例えばPbの760Torrにおける沸点は約17
44℃であるが、100Torrでは約1421℃、1
0Torrでは約1162℃、10-1Torrでは約8
27℃、10-3Torrでは約627℃で気化する。さ
らに例えば、Liの760Torrにおける沸点は約1
372℃であるが、100Torrでは約1097℃、
10Torrでは約881℃、1Torrでは約720
℃、10-3Torrでは約450℃で気化する。このよ
うな蒸気圧と温度との関係は、例えばAntoineの
式やHarlacher−Braunの式などを用いて
算出するようにしてもよい。また、各種のデータソース
などから得るようにしてもよい。For example, the boiling point of Zn at 760 Torr is about 907 ° C., but at 100 Torr, it is about 736 ° C.
About 593 ° C at 10 Torr and about 4 at 1 Torr
At 70 ° C. and 10 −4 Torr, it evaporates at about 260 ° C. For example, the boiling point of Pb at 760 Torr is about 17
It is 44 ° C, but at 100 Torr, it is about 1421 ° C, 1
At 0 Torr, about 1162 ° C., and at 10 −1 Torr, about 8
At 27 ° C. and 10 −3 Torr, it evaporates at about 627 ° C. Further, for example, the boiling point of Li at 760 Torr is about 1
372 ° C, but at 100 Torr, about 1097 ° C,
Approximately 881 ° C. at 10 Torr and approximately 720 at 1 Torr
It vaporizes at about 450 ° C. at 10 ° C. at 10 -3 Torr. Such a relationship between the vapor pressure and the temperature may be calculated using, for example, the Antoine equation or the Harlacher-Braun equation. Further, it may be obtained from various data sources.
【0192】このように処理対象物体の構成金属に応じ
て気密容器内の温度圧力条件を制御することにより、第
2の金属は制御された温度圧力条件にしたがって気化す
る。気密容器内は減圧されているので、第2の金属は第
1の金属と同様に常圧下よりも低い温度で蒸発する。ま
た、気密容器内を減圧することにより酸素濃度も低下
し、気密容器内は非酸化雰囲気になるから、気化した第
2の金属の酸化を防止し、金属状態で回収することがで
きる。By controlling the temperature and pressure conditions in the hermetic container according to the constituent metals of the object to be processed, the second metal is vaporized according to the controlled temperature and pressure conditions. Since the pressure in the airtight container is reduced, the second metal evaporates at a temperature lower than that under normal pressure, like the first metal. Further, by reducing the pressure in the hermetic container, the oxygen concentration also decreases, and the inside of the hermetic container becomes a non-oxidizing atmosphere. Therefore, oxidation of the vaporized second metal can be prevented and the second metal can be recovered in a metal state.
【0193】第2の排気系が備える排気手段としては、
例えばロータリーポンプ、油拡散ポンプ、ブースターポ
ンプなど各種真空ポンプを用いるようにすればよい。本
発明においては、あらかじめ第1の排気系により、水分
や、水銀、樹脂の分解生成物を含有するガスを排気して
いるから、第2の排気系では第1の排気系よりも排気能
力の高い排気手段を用いることができ、より高い真空度
に到達できる。したがって、より沸点の高い金属を処理
対象物体から気化させることができる。 このように減
圧された気密容器内で処理対象物体から気化させた第2
の金属は、気密容器と第2の排気系との間に配設した第
3の回収手段により回収するようにすればよい。第3の
回収手段としては、例えば気密容器に排気系を有する回
収チャンバを接続し、このチャンバ内で気化した金属を
融点以下に冷却して凝縮させ回収するようにしてもよ
い。回収チャンバ内を例えば向流構造や螺旋構造にする
ようにしてもよい。あるいは回収チャンバと気密容器と
の間、回収チャンバと排気系との間にバルブや開閉可能
な隔壁を設けるようにしてもよい。すなわち処理対象物
体から気化した金属が回収チャンバ内に導入されたら、
回収チャンバを閉鎖して冷却し、金属を凝縮させて回収
するようにしてもよい。The exhaust means provided in the second exhaust system includes:
For example, various vacuum pumps such as a rotary pump, an oil diffusion pump, and a booster pump may be used. In the present invention, since the gas containing moisture, mercury, and a decomposition product of a resin is exhausted in advance by the first exhaust system, the second exhaust system has a higher exhaust capacity than the first exhaust system. High evacuation means can be used and higher degrees of vacuum can be reached. Therefore, a metal having a higher boiling point can be vaporized from the object to be treated. The second gaseous vaporized from the object to be treated in the airtight container decompressed in this way.
The metal may be recovered by third recovery means disposed between the airtight container and the second exhaust system. As the third recovery means, for example, a recovery chamber having an exhaust system may be connected to an airtight container, and the vaporized metal may be cooled to a melting point or lower and condensed and recovered in the chamber. The inside of the recovery chamber may have, for example, a countercurrent structure or a spiral structure. Alternatively, a valve or an openable / closable partition may be provided between the collection chamber and the airtight container, and between the collection chamber and the exhaust system. That is, when metal vaporized from the object to be treated is introduced into the collection chamber,
The collection chamber may be closed and cooled to condense and collect the metal.
【0194】気化した金属を連続的に凝縮、回収する場
合でも、バッチ処理で凝縮、回収する場合でも、回収チ
ャンバ内の気化した金属の滞留時間が長くなれば回収効
率は高まる。Regardless of whether the vaporized metal is continuously condensed and recovered, or the case where the vaporized metal is condensed and recovered in a batch process, the collection efficiency is increased if the residence time of the vaporized metal in the recovery chamber is long.
【0195】また、気密容器内にN2 や希ガスをキャリ
アガスとして導入するようにしてもよい。気化した金属
はキャリアガスにより回収チャンバに効率的に導入され
る。前述のように、第3の回収手段は複数系統備えるよ
うにしてもよい。複数の第3の回収手段で同じ金属を回
収するようにしてもよいし、気密容器内の温度と圧力を
段階的に調節して複数の金属をそれぞれ選択的に気化さ
せ、複数系統の第3の回収手段を切り換えて回収するよ
うにしてもよい。また第3の回収手段は多段に接続する
ようにしてもよい。Further, N 2 or a rare gas may be introduced into the hermetic container as a carrier gas. The vaporized metal is efficiently introduced into the collection chamber by the carrier gas. As described above, the third collection means may include a plurality of systems. The same metal may be recovered by a plurality of third recovery means, or the temperature and pressure in the hermetic container are adjusted stepwise to selectively vaporize the plurality of metals, respectively. The collection means may be switched to another collection means. The third collecting means may be connected in multiple stages.
【0196】このような構成により、本発明の処理装置
は水銀である第1の金属と、水銀以外の第2の金属とを
有する物体を処理することができる。本発明の処理装置
は、処理対象物体から発生する、水、水銀、樹脂の分解
生成ガスは、気密容器に接続した第1の回収手段または
第2の回収手段により回収することができる。したがっ
て、気密容器で、第2の金属が気化するような十分な減
圧と加熱とを行うことができ、第2の金属を第3の回収
手段で回収することができる。また、気密容器内では、
処理対象物体の金属が酸化したり気化しないような条件
で樹脂を分解するから、金属は金属状態で処理対象物体
から分離回収される。 (実施例4)図13は、本発明の処理装置の構成の1例
を模式的に示す図であり。処理対象物体から水銀を分離
回収するだけでなく、処理対象物体の水銀以外の構成金
属(第2の金属)も処理対象物体から回収することがで
きるものである。With such a configuration, the processing apparatus of the present invention can process an object having the first metal which is mercury and the second metal other than mercury. In the processing apparatus of the present invention, water, mercury, and a decomposition product gas of the resin generated from the object to be processed can be recovered by the first recovery means or the second recovery means connected to the airtight container. Therefore, sufficient pressure reduction and heating can be performed in the airtight container so that the second metal is vaporized, and the second metal can be recovered by the third recovery means. In the airtight container,
Since the resin is decomposed under the condition that the metal of the object to be treated is not oxidized or vaporized, the metal is separated and recovered from the object to be treated in a metal state. (Embodiment 4) FIG. 13 is a diagram schematically showing an example of the configuration of the processing apparatus of the present invention. In addition to separating and collecting mercury from the object to be treated, constituent metals (second metal) other than mercury of the object to be treated can also be collected from the object to be treated.
【0197】この処理装置1300は、水銀である第1
の金属と水銀以外の第2の金属を含有する処理対象物体
を収容する気密容器1301に、この容器内を排気する
第1の排気系1302である封液循環系1303を有す
る液封式真空ポンプ1302aが接続されている。気密
容器1301と液封式真空ポンプ1302との間には、
処理対象物体から気化したガスの冷却手段でありまた水
銀の第1の回収手段でもあるコンデンサー1304を備
えている。封液循環系は図10に例示した封液循環系1
204b同様の構成となっており、封液から水銀を回収
する複数の第2の回収手段を備えている。さらに、気密
容器1301と液封式真空ポンプ1302との間には、
処理対象物体から気化したガスの中和手段であるガス中
和ユニット1305が配設されている。The processing apparatus 1300 has the first mercury
Liquid-sealed vacuum pump having a liquid-tight circulating system 1303 as a first exhaust system 1302 for evacuating the inside of a hermetically sealed container 1301 containing an object to be processed containing the second metal other than the mercury and the second metal 1302a is connected. Between the airtight container 1301 and the liquid ring vacuum pump 1302,
A condenser 1304 is provided as a means for cooling gas vaporized from the object to be treated and a first means for recovering mercury. The sealing liquid circulation system is the sealing liquid circulation system 1 illustrated in FIG.
It has the same configuration as 204b, and includes a plurality of second recovery means for recovering mercury from the sealing liquid. Further, between the airtight container 1301 and the liquid ring vacuum pump 1302,
A gas neutralizing unit 1305 is provided, which is a means for neutralizing gas vaporized from an object to be processed.
【0198】また、気密容器1301には、第2の排気
手段1311aを有する第2の排気系1311が第1の
排気系と切り換え可能に接続されており、気密容器13
01と第2の排気手段1311との間には、第2の金属
を凝縮させて回収する第3の回収手段である回収チャン
バ1312が配設されている。回収チャンバ1312と
第2の排気手段1311との間にも、処理対象物体から
気化したガスを冷却する冷却手段であるガス冷却塔13
13が配設されている。Further, a second exhaust system 1311 having a second exhaust means 1311a is connected to the airtight container 1301 so as to be switchable with the first exhaust system.
A recovery chamber 1312, which is a third recovery means for condensing and recovering the second metal, is provided between the first exhaust means 13 and the second exhaust means 1311. Between the recovery chamber 1312 and the second exhaust means 1311, there is also provided a gas cooling tower 13 which is a cooling means for cooling gas evaporated from the object to be treated.
13 are provided.
【0199】また、気密容器1301には、気密容器内
の加圧系と酸素濃度調節手段とを兼ねるキャリアガス導
入系1308が接続されている。Further, to the airtight container 1301, a carrier gas introduction system 1308 which is also used as a pressurizing system in the airtight container and oxygen concentration adjusting means is connected.
【0200】気密容器1301は、前述した本発明の処
理装置同様に、気密容器1301内の温度を調節する図
示しない温度調節手段1314と、容器内の圧力を調節
する圧力調節手段1315とを備えている。第1の排気
系1302、第2の排気系1311およびキャリアガス
導入系1306も圧力調節手段の一部である。温度調節
手段1314は気密容器1301内の温度を検出する図
示しない温度センサ1316と、気密容器内を加熱する
ための加熱手段である図示しないヒーター1317とを
備えている。また、圧力調節手段1315は、気密容器
1301内の圧力を検出する図示しない圧力センサ13
18と、上述の第1の排気手段1302aを有する第1
の排気系1302、第2の排気手段1311aを有する
第2の排気系1311とを備えている。またこの処理装
置1300においては、気密容器1301内を加圧、ま
たは減圧下から大気圧へ戻すための加圧系である130
6bを備えている。この加圧系1306bは気密容器内
にN2 、Arなどの貴ガスをキャリアガス、パージガス
として導入するキャリアガス導入系1306と兼用して
いる。このキャリアガス導入系(加圧系)1306は気
密容器内の酸素濃度を検出する酸素濃度センサ1319
とにより、気密容器内の酸素濃度を調節する酸素濃度調
節手段1320を構成する。酸素濃度調節手段は必要に
応じて備えるようにすればよい。気密容器1310内の
酸素濃度を調節することによって、処理の自由度を大き
くすることができる。例えば、処理対象物体に樹脂など
の有機物成分が比較的多く含まれているような場合、気
密容器1301内の酸素濃度を制御したうえで有機物成
分を熱分解するようにしてもよい。処理対象物体から熱
分解により気化したガスは、気密容器1301にさらに
別の排気系を接続し、この排気系との間に油化装置を配
設して樹脂の熱分解ガスを回収するようにすればよい。The airtight container 1301 is provided with a temperature adjusting means 1314 (not shown) for adjusting the temperature in the airtight container 1301 and a pressure adjusting means 1315 for adjusting the pressure in the container, similarly to the processing apparatus of the present invention described above. I have. The first exhaust system 1302, the second exhaust system 1311 and the carrier gas introduction system 1306 are also a part of the pressure adjusting means. The temperature adjusting means 1314 includes a temperature sensor 1316 (not shown) for detecting the temperature inside the airtight container 1301 and a heater 1317 (not shown) which is a heating means for heating the inside of the airtight container. The pressure adjusting means 1315 is provided with a pressure sensor 13 (not shown) for detecting the pressure in the airtight container 1301.
18 having the first exhaust means 1302a described above.
, And a second exhaust system 1311 having a second exhaust unit 1311a. Further, in the processing apparatus 1300, a pressurizing system for pressurizing the inside of the airtight container 1301 or returning the pressure from the reduced pressure to the atmospheric pressure is used.
6b. The pressurizing system 1306b is also used as a carrier gas introducing system 1306 for introducing a noble gas such as N2 or Ar into the hermetic container as a carrier gas and a purge gas. This carrier gas introduction system (pressurization system) 1306 is an oxygen concentration sensor 1319 for detecting the oxygen concentration in the hermetic container.
Thus, oxygen concentration adjusting means 1320 for adjusting the oxygen concentration in the airtight container is constituted. The oxygen concentration adjusting means may be provided as needed. By adjusting the oxygen concentration in the airtight container 1310, the degree of freedom of processing can be increased. For example, when the object to be treated contains a relatively large amount of an organic component such as a resin, the organic component may be thermally decomposed after controlling the oxygen concentration in the hermetic container 1301. The gas vaporized by the thermal decomposition from the object to be treated is connected to a further exhaust system to the hermetic container 1301 and an oiling device is disposed between the exhaust system and the exhaust system to collect the thermally decomposed gas of the resin. do it.
【0201】図14は処理装置1300の備える制御手
段1330の構成を模式的に示す図である。制御手段1
330により、温度調節手段1314と圧力調節手段1
315と酸素濃度調節手段1320とを制御して気密容
器1301内に導入した処理対象物体を減圧下で加熱
し、処理対象物体から水銀含有ガスを抽出する。FIG. 14 is a diagram schematically showing the configuration of the control means 1330 provided in the processing apparatus 1300. Control means 1
330, the temperature adjusting means 1314 and the pressure adjusting means 1
The object to be treated introduced into the hermetic container 1301 is heated under reduced pressure by controlling 315 and the oxygen concentration adjusting means 1320 to extract a mercury-containing gas from the object to be treated.
【0202】例えば、前述のように、減圧された気密容
器1301内の圧力に応じて、その圧力における水銀の
気化する温度よりも高い温度、例えばその圧力における
水銀の気化する温度よりも数十度高い温度になるように
温度調節手段1314を制御するようにすればよい。ま
た、あらかじめ処理に要する温度、圧力条件のプロファ
イルを設定しておき、このプロファイルによって温度調
節手段1314、圧力調節手段1315、または酸素濃
度調節手段1320を制御するようにしてもよい。例え
ば、気密容器1301内を窒素ガスでパージしたうえ、
気密容器1301内の圧力をほぼ760Torrに保っ
たまま80〜90℃程度まで加熱し、ついで気密容器1
301内を所定の圧力まで減圧するとともに処理対象物
体を加熱して水銀を気化させるようにしてもよい。減圧
により気密容器1301内の熱伝導率は低下するが、こ
のように処理対象物体を余熱した上で気密容器1301
内を減圧することにより加熱効率を向上することができ
る。また、酸素濃度を調節しているため、加熱による処
理対象物体の酸化が抑制される。また、このような制御
手段は電子計算機のプログラムとして、電子計算機のメ
モリ手段や、フロッピーディスクなどの記録媒体に格納
するようにしてもよい。このように、温度調節手段13
14、圧力調節手段1315、酸素濃度調節手段132
0を制御して気密容器1301内に導入した処理対象物
体を減圧下で加熱し、処理対象物体から水銀含有ガスを
抽出する。For example, as described above, according to the reduced pressure in the airtight container 1301, the temperature is higher than the temperature at which mercury vaporizes at that pressure, for example, several tens of degrees higher than the temperature at which mercury vaporizes at that pressure. What is necessary is just to control the temperature adjustment means 1314 so that it may become high temperature. Alternatively, a profile of temperature and pressure conditions required for the processing may be set in advance, and the temperature control unit 1314, the pressure control unit 1315, or the oxygen concentration control unit 1320 may be controlled based on the profile. For example, after purging the airtight container 1301 with nitrogen gas,
While maintaining the pressure in the hermetic container 1301 at approximately 760 Torr, it is heated to about 80 to 90 ° C.
The inside of 301 may be reduced to a predetermined pressure and the object to be processed may be heated to vaporize mercury. Although the heat conductivity in the hermetic container 1301 decreases due to the reduced pressure, the object to be treated is preheated in this manner, and
By reducing the pressure inside, the heating efficiency can be improved. In addition, since the oxygen concentration is adjusted, oxidation of the object to be processed due to heating is suppressed. Such a control means may be stored in a memory means of the computer or a recording medium such as a floppy disk as a program of the computer. Thus, the temperature adjusting means 13
14, pressure adjusting means 1315, oxygen concentration adjusting means 132
At 0, the object to be treated introduced into the hermetic container 1301 is heated under reduced pressure to extract a mercury-containing gas from the object to be treated.
【0203】この処理装置1300の第1の排気系13
02は、前述のように液封式真空ポンプ1302aを用
いており、封液には水を用いている。処理対象物体に有
機物成分が含まれている場合には、封液循環系で水と油
を分離するようにしてもよいし、有機系の封液を用いる
ようにしてもよい。また、前述のように気密容器130
1に油化装置を接続するようにしてもよい。First exhaust system 13 of processing apparatus 1300
02 uses the liquid ring vacuum pump 1302a as described above, and uses water for the sealing liquid. When the object to be treated contains an organic component, water and oil may be separated by a liquid sealing circulation system, or an organic sealing liquid may be used. Also, as described above, the airtight container 130
An oiling device may be connected to 1.
【0204】排気手段の構成は、必要な真空度、装置の
大きさなどに応じて適宜選択して用いるようにすればよ
く、液封式真空ポンプにガスエジェクタを取り付けた
り、液封式真空ポンプ1302aの吸気側にメカニカル
ブースターを備えるようにしてもよい。処理装置130
0ではガスエジェクタを取り付けた液封式真空ポンプ1
302aにより気密容器1301内を約1Torrまで
減圧することができる。処理装置1300の第2の排気
系1311は排気手段1311aとしてブースターポン
プとロータリーポンプを用いており、5×10-4Tor
r程度まで気密容器内を減圧することができる。The structure of the exhaust means may be appropriately selected and used in accordance with the required degree of vacuum, the size of the apparatus, etc., and a gas ejector may be attached to the liquid ring vacuum pump, or the liquid ring vacuum pump may be used. A mechanical booster may be provided on the intake side of 1302a. Processing device 130
0: Liquid ring vacuum pump 1 with gas ejector
The pressure inside the airtight container 1301 can be reduced to about 1 Torr by the 302a. The second evacuation system 1311 of the processing apparatus 1300 uses a booster pump and a rotary pump as the evacuation means 1311a, and is 5 × 10 −4 Torr.
The pressure inside the airtight container can be reduced to about r.
【0205】このような本発明の処理装置1300内
に、水銀である第1の金属と、水銀以外の第2の金属と
を構成材としてゆうする処理対象物体を導入したなら、
気密容器内を減圧するとともに処理対象物体を加熱して
水銀含有ガスを抽出する。処理対象物体から抽出したガ
スは、例えば実施例1または実施例2で述べたように、
第1の排気系1302に導入され、第1の回収手段、第
2の回収手段により回収される。If the object to be treated containing the first metal as mercury and the second metal other than mercury as components is introduced into the processing apparatus 1300 of the present invention,
The pressure inside the airtight container is reduced and the object to be treated is heated to extract the mercury-containing gas. The gas extracted from the object to be processed is, for example, as described in the first or second embodiment,
It is introduced into the first exhaust system 1302 and is collected by the first collecting means and the second collecting means.
【0206】処理対象物体から水銀が除去されたなら、
制御手段1330により第1の排気系1302から第2
の排気系1311に切り換えて気密容器1301内をさ
らに排気する。さらに制御手段により気密容器1301
内の圧力に応じた第2の金属の気化温度以上に気密容器
内1301の温度を調節して、処理対象物体から第2の
金属を気化させる。If mercury has been removed from the object to be treated,
The control unit 1330 controls the second exhaust system 1302 to
And the interior of the airtight container 1301 is further evacuated. Further, the airtight container 1301 is controlled by the control means.
The temperature of the inside of the airtight container 1301 is adjusted to be equal to or higher than the vaporization temperature of the second metal according to the internal pressure to vaporize the second metal from the object to be processed.
【0207】処理対象物体から気化させた第2の金属は
第2の排気系1311に導入され、回収チャンバ131
2内で凝縮して回収する。処理装置1300においては
サイクロン型の回収チャンバ1312を用いている。回
収チャンバ1312は向流構造にするようにしてもよ
い。The second metal vaporized from the object to be processed is introduced into the second exhaust system 1311 and is collected by the recovery chamber 131.
Condensed and recovered in 2. In the processing apparatus 1300, a cyclone type recovery chamber 1312 is used. The recovery chamber 1312 may have a countercurrent structure.
【0208】第2の金属を凝縮させた後回収チャンバ1
312から排出されるガスは、ガス冷却塔1313に導
入され、複数段の間接冷却により約35℃まで急冷され
る。このように排気ガスを冷却することにより、例えば
PCDDs、PCDFsなどのダイオキシンの生成を大
きく抑制することができる。さらにガスを冷却すること
により、回収チャンバ1312を通過した第2の金属や
その他の成分を捕集することができる。Recovery chamber 1 after condensing the second metal
The gas discharged from 312 is introduced into a gas cooling tower 1313 and rapidly cooled to about 35 ° C. by multiple stages of indirect cooling. By cooling the exhaust gas in this way, the generation of dioxins such as PCDDs and PCDFs can be greatly suppressed. By further cooling the gas, the second metal and other components that have passed through the collection chamber 1312 can be collected.
【0209】ガス冷却塔から排出されるガスは、第2の
排気手段1311で排気される。この排気ガスも前述の
ように活性炭吸着塔、マルチ排ガスチャンバなどで処理
した上で大気中に放出するようにしてもよい。The gas exhausted from the gas cooling tower is exhausted by the second exhaust means 1311. This exhaust gas may be treated in an activated carbon adsorption tower, a multi-exhaust gas chamber or the like as described above, and then released into the atmosphere.
【0210】(実施例5)図15は本発明の処理装置の
構造の1例を概略的に示す上面図である。(Embodiment 5) FIG. 15 is a top view schematically showing an example of the structure of the processing apparatus of the present invention.
【0211】この処理装置1500は、第1の金属であ
る水銀と、水銀以外の第2の金属の金属を構成材として
有する処理対象物体を処理するものである。この処理装
置1500では複数の第2の金属をそれぞれ選択的に気
化させて回収することができる。This processing apparatus 1500 is for processing an object to be processed having mercury as a first metal and a second metal other than mercury as a constituent material. In this processing apparatus 1500, the plurality of second metals can be selectively vaporized and recovered.
【0212】開閉可能な気密蓋1501aを備えた気密
容器1501には第1の排気系1502と、複数の第2
の排気系1503a、1503b、1503cが切替え
可能に接続されている。気密容器1501と第1の排気
系1502との間に配設された、処理対象物体から気化
した水銀含有ガスを中和するための水酸化カルシウムが
充填されたガス中和ユニット1504である。この後段
に、図示しないコンデンサー、液封式真空ポンプ、封液
循環系が、図13に例示した構成と同様に配設されてい
る。An airtight container 1501 having an airtight lid 1501a which can be opened and closed has a first exhaust system 1502 and a plurality of second airtight systems.
Exhaust systems 1503a, 1503b and 1503c are switchably connected. The gas neutralization unit 1504 is provided between the airtight container 1501 and the first exhaust system 1502 and is filled with calcium hydroxide for neutralizing mercury-containing gas vaporized from the object to be treated. Subsequent to this, a condenser (not shown), a liquid-ring vacuum pump, and a liquid-circulation system are provided in the same manner as the configuration illustrated in FIG.
【0213】一方、第2の排気系1503aは排気手段
として油拡散ポンプ1505と、メカニカルブースター
1506と、ロータリーポンプ1507およびホールデ
ィングポンプ1508とを備えている。そして、気密容
器1501と油拡散ポンプ1505との間に処理対象物
体から気化させた第2の金属を凝縮させて回収する回収
チャンバ1509aが配設されている。第2の排気系1
503b、1503cについても同様の構成となってい
る。On the other hand, the second exhaust system 1503a includes an oil diffusion pump 1505, a mechanical booster 1506, a rotary pump 1507, and a holding pump 1508 as exhaust means. A collection chamber 1509a is provided between the airtight container 1501 and the oil diffusion pump 1505 to condense and collect the second metal vaporized from the object to be treated. Second exhaust system 1
503b and 1503c have the same configuration.
【0214】また、気密容器1501には、気密容器内
の加圧系と酸素濃度調節手段とを兼ねるキャリアガス導
入系1510が接続されている。キャリアガスリザバー
1511に保持されているN2 、Ar等のキャリアガス
は、図示しない制御手段からの制御によりキャリアガス
導入弁1512を通じて気密容器1301内に導入され
る。気密容器1501は、前述した本発明の処理装置同
様に、気密容器1501内の温度を調節する図示しない
温度調節手段1513と、容器内の圧力を調節する圧力
調節手段1514とを備えている。第1の排気系150
2、第2の排気系1503およびキャリアガス導入系1
510も圧力調節手段の一部である。温度調節手段15
13は気密容器1501内の温度を検出する図示しない
温度センサ1515と、気密容器内を加熱するための加
熱手段である図示しないヒーター1516とを備えてい
る。また、圧力調節手段1514は、気密容器1501
内の圧力を検出する図示しない圧力センサ1517と、
第1の排気系1502、第2の排気系1503a、15
03b、1503cと、気密容器1501内を加圧、ま
たは減圧下から大気圧へ戻すための加圧系でもあるキャ
リアガス導入系1510とから構成されている。このキ
ャリアガス導入系(加圧系)1510は気密容器150
1内の酸素濃度を検出する酸素濃度センサ1518とに
より、気密容器1501内の酸素濃度を調節する酸素濃
度調節手段1519を構成している。酸素濃度調節手段
1519は必要に応じて備えるようにすればよい。気密
容器1510内の酸素濃度を調節することによって、処
理の自由度を大きくすることができる。例えば、処理対
象物体に樹脂などの有機物成分が比較的多く含まれてい
るような場合、気密容器1501内の酸素濃度を制御し
たうえで有機物成分を熱分解するようにしてもよい。処
理対象物体から熱分解により気化したガスは、気密容器
1501にさらに別の排気系を接続し、この排気系との
間に油化装置を配設して樹脂の熱分解ガスを回収するよ
うにすればよい。[0214] Further, to the airtight container 1501, a carrier gas introduction system 1510 which is also used as a pressurizing system and an oxygen concentration adjusting means in the airtight container is connected. The carrier gas such as N 2 and Ar held in the carrier gas reservoir 1511 is introduced into the hermetic container 1301 through the carrier gas introduction valve 1512 under the control of a control unit (not shown). The airtight container 1501 is provided with a temperature adjusting means 1513 (not shown) for adjusting the temperature in the airtight container 1501 and a pressure adjusting means 1514 for adjusting the pressure in the container, similarly to the processing apparatus of the present invention described above. First exhaust system 150
2, second exhaust system 1503 and carrier gas introduction system 1
510 is also a part of the pressure adjusting means. Temperature control means 15
Reference numeral 13 includes a temperature sensor 1515 (not shown) for detecting the temperature inside the airtight container 1501 and a heater 1516 (not shown) as a heating means for heating the inside of the airtight container. Further, the pressure adjusting means 1514 is provided in the airtight container 1501.
A pressure sensor 1517 (not shown) for detecting the internal pressure;
First exhaust system 1502, second exhaust system 1503a, 15
03b and 1503c, and a carrier gas introduction system 1510 which is also a pressurization system for pressurizing the inside of the airtight container 1501 or returning the pressure from reduced pressure to atmospheric pressure. This carrier gas introduction system (pressurizing system) 1510 is
An oxygen concentration sensor 1518 for detecting the oxygen concentration in the container 1 constitutes an oxygen concentration adjusting means 1519 for adjusting the oxygen concentration in the airtight container 1501. The oxygen concentration adjusting means 1519 may be provided as needed. By adjusting the oxygen concentration in the airtight container 1510, the degree of freedom of processing can be increased. For example, when the object to be treated contains a relatively large amount of an organic component such as a resin, the organic component may be thermally decomposed after controlling the oxygen concentration in the hermetic container 1501. The gas vaporized by thermal decomposition from the object to be processed is connected to another exhaust system to the hermetic container 1501 and an oiling device is disposed between the exhaust system and the exhaust system to collect the thermally decomposed gas of the resin. do it.
【0215】図16は処理装置1500が備える制御手
段1520の構成を模式的に示す図である。FIG. 16 is a diagram schematically showing the configuration of the control means 1520 provided in the processing device 1500.
【0216】制御手段1520により、温度調節手段1
513と圧力調節手段1514と酸素濃度調節手段15
19とを制御して気密容器1501内に導入した処理対
象物体を減圧下で加熱し、処理対象物体から水銀含有ガ
スを抽出する。The temperature control means 1 is controlled by the control means 1520.
513, pressure adjusting means 1514, oxygen concentration adjusting means 15
19, the object to be treated introduced into the hermetic container 1501 is heated under reduced pressure to extract a mercury-containing gas from the object to be treated.
【0217】例えば、水銀含有ガスを抽出するために
は、前述にように減圧された気密容器1501内の圧力
に応じて、その圧力における水銀の気化する温度よりも
高い温度、例えばその圧力における水銀の気化する温度
よりも数十度高い温度になるように温度調節手段151
3を制御するようにすればよい。また、あらかじめ処理
に要する温度、圧力条件のプロファイルを設定してお
き、このプロファイルによって温度調節手段1513、
圧力調節手段1514、または酸素濃度調節手段151
9を制御するようにしてもよい。第2の金属を気化させ
るためには、制御手段1520により第1の排気系15
02から第2の排気系1503に切り換えて気密容器1
501内をさらに排気する。さらに制御手段1520に
より気密容器1501内の圧力に応じた第2の金属の気
化温度以上に気密容器内1501の温度を調節して、処
理対象物体から第2の金属を気化させる。For example, in order to extract a mercury-containing gas, according to the pressure in the hermetic container 1501 reduced as described above, a temperature higher than the temperature at which mercury vaporizes at that pressure, for example, mercury at that pressure Temperature adjusting means 151 so that the temperature becomes several tens degrees higher than the temperature at which
3 may be controlled. In addition, a profile of the temperature and pressure conditions required for the processing is set in advance, and the temperature adjusting means 1513,
Pressure adjusting means 1514 or oxygen concentration adjusting means 151
9 may be controlled. In order to vaporize the second metal, the first exhaust system 15
02 to the second exhaust system 1503 to switch the airtight container 1
The inside of 501 is further evacuated. Further, the temperature of the inside of the airtight container 1501 is adjusted to be equal to or higher than the vaporization temperature of the second metal according to the pressure in the airtight container 1501 by the control means 1520, and the second metal is vaporized from the object to be processed.
【0218】すなわち、処理対象物体から水銀を気化さ
せた後、気密容器1501内の温度、圧力を減圧下で第
2の金属が気化するように調節して、処理対象物体から
第2の金属を気化させる。気密容器1501内の温度、
圧力条件を調節することにより、処理対象物体から第2
の金属を選択的に気化させることもできる。ここで、第
2の金属は1つの元素に限ることはなく、複数であって
もよい。本発明の処理装置1500は複数元素の第2の
金属を処理するために、複数系統の第2の排気系150
3を備えている。第3の回収手段である回収チャンバ1
509についても同様である。That is, after mercury is vaporized from the object to be treated, the temperature and pressure in the hermetic container 1501 are adjusted so that the second metal is vaporized under reduced pressure, and the second metal is evaporated from the object to be treated. Vaporize. The temperature in the airtight container 1501,
By adjusting the pressure condition, the second
Can be selectively vaporized. Here, the second metal is not limited to one element, and may be plural. The processing apparatus 1500 of the present invention includes a plurality of second exhaust systems 150 for processing a plurality of second elements.
3 is provided. Collection chamber 1 as third collection means
The same applies to 509.
【0219】処理対象物体から気化させた第2の金属は
第2の排気系1503aに導入され、回収チャンバ15
09a内で凝縮して回収する。処理装置1500におい
ては回収チャンバ1509はサイクロン型を用いてい
る。回収チャンバ1509は向流構造にするようにして
もよい。[0219] The second metal vaporized from the object to be treated is introduced into the second exhaust system 1503a.
Condensed and recovered in 09a. In the processing apparatus 1500, the recovery chamber 1509 uses a cyclone type. The recovery chamber 1509 may have a countercurrent structure.
【0220】図17、図18は種々の金属の蒸気圧の圧
力との関係を示す図である。FIGS. 17 and 18 show the relationship between the vapor pressure of various metals and the pressure.
【0221】例えば、Znの760Torrにおける沸
点は約907℃であるが、100Torrでは約736
℃、10Torrでは約593℃、1Torrでは約4
70℃、10-4Torrでは約260℃で気化する。ま
た、例えばPbの760Torrにおける沸点は約17
44℃であるが、100Torrでは約1421℃、1
0Torrでは約1162℃、10-1Torrでは約8
27℃、10-3Torrでは約627℃で気化する。さ
らに例えば、Liの760Torrにおける沸点は約1
372℃であるが、100Torrでは約1097℃、
10Torrでは約881℃、1Torrでは約720
℃、10-3Torrでは約450℃で気化する。したが
って、例えば乾電池を処理対象物体とした場合、Hg、
Cd、Zn、Liなどを処理対象物体から分離回収する
ことができる。For example, the boiling point of Zn at 760 Torr is about 907 ° C., but at 100 Torr, the boiling point is about 736 ° C.
About 593 ° C at 10 Torr and about 4 at 1 Torr
At 70 ° C. and 10 −4 Torr, it evaporates at about 260 ° C. For example, the boiling point of Pb at 760 Torr is about 17
It is 44 ° C, but at 100 Torr, it is about 1421 ° C, 1
At 0 Torr, about 1162 ° C., and at 10 −1 Torr, about 8
At 27 ° C. and 10 −3 Torr, it evaporates at about 627 ° C. Further, for example, the boiling point of Li at 760 Torr is about 1
372 ° C, but at 100 Torr, about 1097 ° C,
Approximately 881 ° C. at 10 Torr and approximately 720 at 1 Torr
It vaporizes at about 450 ° C. at 10 ° C. at 10 -3 Torr. Therefore, for example, when a dry battery is used as the object to be treated, Hg,
Cd, Zn, Li and the like can be separated and recovered from the object to be treated.
【0222】このような蒸気圧と温度との関係は、例え
ばAntoineの式やHarlacher−Brau
nの式などを用いて算出するようにしてもよい。また、
各種のデータソースなどから得るようにしてもよい。The relationship between the vapor pressure and the temperature can be determined, for example, by using the formula of Antoine or Harlacher-Blau.
You may make it calculate using the formula of n, etc. Also,
It may be obtained from various data sources.
【0223】このように処理対象物体の構成金属に応じ
て気密容器1501内の温度圧力条件を制御手段により
調節することにより、第2の金属は制御された温度圧力
条件にしたがって気化する。As described above, by adjusting the temperature and pressure conditions in the hermetic container 1501 according to the constituent metal of the object to be processed by the control means, the second metal is vaporized according to the controlled temperature and pressure conditions.
【0224】気密容器1501内は減圧されているの
で、第2の金属は第1の金属と同様に常圧下よりも低い
温度で蒸発する。また、気密容器1501内を減圧する
ことにより酸素濃度も低下し、気密容器1501内は非
酸化雰囲気になるから、気化した第2の金属の酸化を防
止し、金属状態で回収することができる。Since the pressure in the airtight container 1501 is reduced, the second metal evaporates at a lower temperature than normal pressure, like the first metal. Further, by reducing the pressure in the hermetic container 1501, the oxygen concentration also decreases, and the inside of the hermetic container 1501 becomes a non-oxidizing atmosphere. Therefore, oxidation of the vaporized second metal can be prevented and the second metal can be recovered in a metal state.
【0225】本発明の処理装置1500においては、あ
らかじめ第1の排気系1502により、水分や、水銀、
樹脂の分解生成物を含有するガスを排気しているから、
第2の排気系1503では第1の排気系1502よりも
排気能力の高い排気手段を用いることができ、より高い
真空度に到達できる。したがって、より沸点の高い金属
を処理対象物体から気化させることができる。In the processing apparatus 1500 of the present invention, water, mercury,
Because the gas containing the decomposition products of the resin is exhausted,
In the second exhaust system 1503, an exhaust unit having a higher exhaust capability than the first exhaust system 1502 can be used, and a higher degree of vacuum can be achieved. Therefore, a metal having a higher boiling point can be vaporized from the object to be treated.
【0226】このように減圧された気密容器1501内
で処理対象物体から気化させた第2の金属は、気密容器
1501と第2の排気系1503との間に配設した第3
の回収手段である回収チャンバ1509により回収する
ようにすればよい。回収チャンバ1509では、処理対
象物体から気化させた第2の金属を融点以下に冷却して
凝縮させ回収する。回収チャンバ1509内を向流構造
や螺旋構造にするようにしてもよい。あるいは回収チャ
ンバ1509と気密容器1501との間、回収チャンバ
1509と油拡散ポンプ1505との間にバルブや開閉
可能な隔壁を設けるようにしてもよい。すなわち処理対
象物体から気化した金属が回収チャンバ1509内に導
入されたら、回収チャンバ1509を閉鎖して冷却し、
金属を凝縮させて回収するようにしてもよい。回収チャ
ンバ1509は多段に配設するようにしてもよい。気化
した金属を連続的に凝縮、回収する場合でも、バッチ処
理で凝縮、回収する場合でも、回収チャンバ1509内
の気化した金属の滞留時間が長くなれば回収効率は高ま
る。[0226] The second metal vaporized from the object to be treated in the hermetically sealed container 1501 thus depressurized is the third metal disposed between the hermetic container 1501 and the second exhaust system 1503.
The collection may be performed by the collection chamber 1509, which is a collection unit. In the recovery chamber 1509, the second metal vaporized from the object to be processed is cooled to a temperature lower than its melting point, condensed and recovered. The inside of the recovery chamber 1509 may have a countercurrent structure or a spiral structure. Alternatively, a valve or an openable / closable partition may be provided between the collection chamber 1509 and the airtight container 1501, and between the collection chamber 1509 and the oil diffusion pump 1505. That is, when metal vaporized from the object to be processed is introduced into the collection chamber 1509, the collection chamber 1509 is closed and cooled,
The metal may be condensed and collected. The collection chambers 1509 may be provided in multiple stages. Regardless of whether the vaporized metal is continuously condensed and collected, or whether the vaporized metal is condensed and collected in a batch process, if the residence time of the vaporized metal in the collection chamber 1509 increases, the collection efficiency increases.
【0227】また、本発明の処理装置1500では、気
密容器1501内にN2 や希ガスをキャリアガスとして
導入するキャリアガス導入系1510を備えている。気
化した金属は導入弁1512から導入されるキャリアガ
スにより回収チャンバ1509に効率的に導かれる。こ
のような構成により、本発明の処理装置は水銀である第
1の金属と、水銀以外の第2の金属とを有する物体を処
理することができる。本発明の処理装置では、処理対象
物体から発生する水、水銀である第1の金属、樹脂の分
解生成ガス等は、気密容器に接続した第1の回収手段ま
たは第2の回収手段により回収することができる。ま
た、減圧下で気化させているので、水銀は金属状態で回
収することができる。さらに、第2の金属を気化させる
より前に、処理対象物体から発生する水、水銀、樹脂等
を処理しているため、第2の金属が気化するような十分
な減圧と加熱とを行うことができる。Further, the processing apparatus 1500 of the present invention is provided with a carrier gas introduction system 1510 for introducing N 2 or a rare gas as a carrier gas into an airtight container 1501. The vaporized metal is efficiently guided to the recovery chamber 1509 by the carrier gas introduced from the introduction valve 1512. With such a configuration, the processing apparatus of the present invention can process an object having the first metal that is mercury and the second metal other than mercury. In the processing apparatus of the present invention, water, mercury first metal, resin decomposition product gas, and the like generated from the processing object are recovered by the first recovery means or the second recovery means connected to the airtight container. be able to. In addition, mercury can be recovered in a metal state because it is vaporized under reduced pressure. Further, since water, mercury, resin, and the like generated from the object to be treated are treated before vaporizing the second metal, sufficient decompression and heating to vaporize the second metal must be performed. Can be.
【0228】また、気密容器内では、処理対象物体の金
属が酸化したり気化しないような条件で樹脂を分解する
から、第2の金属も金属状態で処理対象物体から分離回
収することができる。In the hermetically sealed container, the resin is decomposed under the condition that the metal of the object to be treated is not oxidized or vaporized, so that the second metal can be separated and recovered from the object to be treated in a metal state.
【0229】図19は図15に例示した処理装置150
0の排気系および封液循環系の構成の1例を模式的に示
す図である。FIG. 19 shows the processing apparatus 150 shown in FIG.
FIG. 2 is a diagram schematically illustrating an example of a configuration of an exhaust system and a liquid sealing circulation system of No. 0;
【0230】図20は図16に例示した制御手段による
温度制御の1例を概略的に示すである。このフローチャ
ートは、気密容器1501内の圧力が一定範囲内にある
ときの気密容器1501内の温度制御を示している。FIG. 20 schematically shows an example of temperature control by the control means shown in FIG. This flowchart shows the temperature control inside the hermetic container 1501 when the pressure inside the hermetic container 1501 is within a certain range.
【0231】(実施例6)図21は本発明の処理装置の
1例を概略的に示す斜視図である。一部を切り欠いて内
部の様子を示した。(Embodiment 6) FIG. 21 is a perspective view schematically showing an example of the processing apparatus of the present invention. The inside is shown with a part cut away.
【0232】この処理装置100は第1の金属と第2の
金属とを構成材として有する処理対象物体150を処理
するものであり、パージ室101、第1の気密室10
2、第2の気密室103、冷却室104から構成されて
いる。This processing apparatus 100 is for processing an object to be processed 150 having a first metal and a second metal as constituents, and includes a purge chamber 101 and a first hermetic chamber 10.
2, a second hermetic chamber 103 and a cooling chamber 104.
【0233】これら各室は開閉可能な隔壁である扉10
5によって隔てられている。すなわち、装置外部とパー
ジ室101とは扉105aにより、パージ室101と第
1の気密室102とは扉105bにより、第1の気密室
102と第2の気密室103とは扉105cにより、第
2の気密室103と冷却室104とは扉105dによ
り、そして冷却室104と装置外部とは扉105eによ
りそれぞれ隔てられている。Each of these chambers is a door 10 which is a partition which can be opened and closed.
Separated by five. That is, the outside of the apparatus and the purge chamber 101 are separated by the door 105a, the purge chamber 101 and the first hermetic chamber 102 are separated by the door 105b, and the first hermetic chamber 102 and the second hermetic chamber 103 are separated by the door 105c. The second hermetic chamber 103 and the cooling chamber 104 are separated from each other by a door 105d, and the cooling chamber 104 and the outside of the apparatus are separated from each other by a door 105e.
【0234】これら各室を隔てる扉105は気密保持性
と断熱性とを備えており、各室を熱的、圧力的に隔てて
いる。扉105a、105bにかかる熱的負荷は小さい
ので気密性が保持できればよい。The door 105 separating these chambers has airtightness and heat insulation, and separates the chambers thermally and pressure. Since the thermal load applied to the doors 105a and 105b is small, it is sufficient that airtightness can be maintained.
【0235】パージ室101には排気系106が接続さ
れている。この排気系106は液封式真空ポンプを備え
ている。パージ室101と排気系106との間、それぞ
れの真空ポンプ間には図示しないバルブが配設されてい
る、このことは以下特に述べない場合も同様である。An exhaust system 106 is connected to the purge chamber 101. The exhaust system 106 includes a liquid ring vacuum pump. Valves (not shown) are provided between the purge chamber 101 and the exhaust system 106 and between the respective vacuum pumps. The same applies to a case not particularly described below.
【0236】パージ室101と排気系106との間に
は、パージ室101内の減圧などにより処理対象物体1
50から排出される水分や水素ガスなどを除去するトラ
ップ107が配設されている。したがって、パージ室内
で処理対象物体150から水分や水素ガスなどが排出さ
れたとしても、トラップ107および液封式真空ポンプ
の封液により回収される。このトラップ107は必要に
応じて備えるようにすればよい。The object 1 to be treated is placed between the purge chamber 101 and the exhaust system 106 due to the reduced pressure in the purge chamber 101 or the like.
A trap 107 for removing moisture, hydrogen gas, and the like discharged from 50 is provided. Therefore, even if moisture, hydrogen gas, or the like is discharged from the processing target object 150 in the purge chamber, it is recovered by the trap 107 and the liquid sealing vacuum pump. The trap 107 may be provided as needed.
【0237】パージ室101内の圧力はこの排気系10
6と、図示しない圧力センサである真空計により調節し
ている。真空計としてはブルドン管、ピラニーゲージな
どを必要に応じて用いるようにすればよい。The pressure in the purge chamber 101 is controlled by the exhaust system 10.
6 and a vacuum gauge as a pressure sensor (not shown). As a vacuum gauge, a Bourdon tube, a Pirani gauge and the like may be used as necessary.
【0238】また、パージ室101にはパージ室101
内をガス置換するためのキャリアガス導入系が接続され
ており、108はキャリアガス導入弁である。キャリア
ガス導入系は図示しないキャリアガスリザバーに接続さ
れている。ここではキャリアガスとしてN2 を用いてい
るが、例えばArなどの希ガスを用いるようにしてもよ
い。The purging chamber 101 has a purging chamber 101.
A carrier gas introduction system for gas replacement inside is connected, and 108 is a carrier gas introduction valve. The carrier gas introduction system is connected to a carrier gas reservoir (not shown). Here, N 2 is used as a carrier gas, but a rare gas such as Ar may be used.
【0239】また、パージ室101に加熱手段を備え
て、処理対象物体150を予熱するようにしてもよい。[0239] Further, a heating means may be provided in the purge chamber 101 to preheat the object 150 to be processed.
【0240】パージ室101と第1の気密室102の圧
力をほぼ等しくし、扉105bを開きプッシャー130
で処理対象物体150を第1の気密室102へ移動させ
る。以後特に述べない場合にも、扉105は両側の圧力
をバランスさせて開閉するようにすればよい。The pressure in the purge chamber 101 and the pressure in the first hermetic chamber 102 are made substantially equal, and the door 105b is opened to open the pusher 130.
Moves the processing target object 150 to the first hermetic chamber 102. Hereinafter, even if not particularly described, the door 105 may be opened and closed by balancing the pressure on both sides.
【0241】第1の気密室102は、処理対象物体15
0の第2の金属を気化させないように保持しながら水銀
である第1の金属を気化させるための処理室である。[0241] The first hermetic chamber 102 is
This is a processing chamber for evaporating the first metal, which is mercury, while holding the second metal of 0 so as not to evaporate.
【0242】この第1の気密室102は加熱手段である
電熱ヒーター109を備えている。加熱手段は電熱ヒー
ター109に限らず、必要に応じて選択または組合わせ
て備えるようにすればよい。例えばガス、油等を燃焼さ
せてもよいし、誘電加熱を行うようにしてもよい。The first hermetic chamber 102 is provided with an electric heater 109 as a heating means. The heating means is not limited to the electric heater 109, and may be selected or combined as needed. For example, gas, oil, or the like may be burned, or dielectric heating may be performed.
【0243】第1の気密室102内の温度は、この電熱
ヒーター109と図示しない温度センサおよび温度セン
サから測定値により電熱ヒータを制御する図示しない制
御手段により調節している。制御手段は、例えば、温度
センサからの測定値または測定電圧を入力とし、電熱ヒ
ーターへの投入電力を変化させるような信号または電圧
を出力とするプログラムを電子計算機に搭載して用いる
ようにしてもよい。The temperature in the first hermetic chamber 102 is adjusted by the electric heater 109, a temperature sensor (not shown), and a control means (not shown) for controlling the electric heater based on measured values from the temperature sensor. The control means may be, for example, a computer in which a program for inputting a measured value or a measured voltage from a temperature sensor and for outputting a signal or voltage for changing the power supplied to the electric heater is used. Good.
【0244】このような制御はアナログ回路によっても
よいし、測定温度に応じて作業員が加熱手段を操作する
ようにしてもよい。[0244] Such control may be performed by an analog circuit, or an operator may operate the heating means according to the measured temperature.
【0245】図21に例示した処理装置においては、第
1の気密室102内の温度は、後述する第1の気密室1
02内の圧力、酸素濃度とともに、また、パージ室10
1、第2の気密室103、冷却室104内の諸条件およ
び隔壁105の開閉、処理対象物体150の移送ととも
に、統合的に図示しない制御手段により制御している。
この制御手段は、例えば制御プログラムを電子計算機に
搭載して行うようにしてもよい。In the processing apparatus illustrated in FIG. 21, the temperature in the first hermetic chamber 102 is controlled by the first hermetic chamber 1 described later.
02 together with the pressure and oxygen concentration in the purge chamber 10
The conditions in the first and second hermetic chambers 103 and the cooling chamber 104, the opening and closing of the partition 105, and the transfer of the processing object 150 are integrally controlled by control means (not shown).
This control means may be implemented by mounting a control program in an electronic computer, for example.
【0246】第1の気密室102にも排気系110が接
続されている。この排気系の構成はパージ室101の排
気系110と同様に液封式真空ポンプを備えた構成とな
っている。そして処理対象物体から気化気化した水銀は
液封式真空ポンプの封液循環系から回収される。封液循
環系は例えば図9、図10に例示した構成を取るように
すればよい。The exhaust system 110 is also connected to the first hermetic chamber 102. This exhaust system has a liquid ring vacuum pump, similarly to the exhaust system 110 of the purge chamber 101. Then, the mercury vaporized and vaporized from the object to be treated is recovered from a liquid sealing circulation system of a liquid ring vacuum pump. The sealing liquid circulation system may have the configuration illustrated in FIGS. 9 and 10, for example.
【0247】第1の気密室102内の圧力はこの排気系
110と、図示しない圧力センサである真空計により調
節している。真空計としては前述同様ブルドン管、ピラ
ニーゲージなどを必要に応じて用いるようにすればよ
い。The pressure in the first hermetic chamber 102 is adjusted by the exhaust system 110 and a vacuum gauge as a pressure sensor (not shown). As the vacuum gauge, a Bourdon tube, a Pirani gauge, or the like may be used as necessary, as described above.
【0248】第1の気密室102には、この室内の酸素
濃度を調節するためのキャリアガス導入系が接続されて
おり、112はキャリアガス導入弁である。キャリアガ
ス導入系は図示しないキャリアガスリザバーに接続され
ている。The first hermetic chamber 102 is connected to a carrier gas introduction system for adjusting the oxygen concentration in this chamber. Reference numeral 112 denotes a carrier gas introduction valve. The carrier gas introduction system is connected to a carrier gas reservoir (not shown).
【0249】ここではキャリアガスとしてN2 を用いて
いるが、例えばArなどの希ガスを用いるようにしても
よい。Here, N 2 is used as the carrier gas, but a rare gas such as Ar may be used.
【0250】排気系110とキャリアガス導入弁112
を適当に操作することにより、第1の気密室内を減圧、
または加圧することができる。この装置の圧力調整手段
は、10-3Torrから4×103 Torr程度まで系
内の圧力を調節できるようになっている。排気系の能
力、容量を変えることにより、さらに減圧するようにし
てもよい。またキャリアガスを予圧することによりさら
に加圧するようにしてもよい。Exhaust system 110 and carrier gas introduction valve 112
By appropriately operating the first airtight chamber,
Or it can be pressurized. The pressure adjusting means of this device can adjust the pressure in the system from 10 -3 Torr to about 4 × 10 3 Torr. The pressure may be further reduced by changing the capacity and capacity of the exhaust system. Further, the pressure may be further increased by pre-pressurizing the carrier gas.
【0251】第1の気密室102内の酸素濃度は、キャ
リアガス導入弁112と、図示しない酸素濃度センサに
より調節される。酸素濃度センサとしては、例えばジル
コニアセンサを用いるようにしてもよい。第1の気密室
102内の温度がジルコニアセンサには低い場合には、
例えば第1の気密室102内から抽出したガスを773
K程度に調節して測定するようにしてもよい。The oxygen concentration in the first hermetic chamber 102 is adjusted by a carrier gas introduction valve 112 and an oxygen concentration sensor (not shown). For example, a zirconia sensor may be used as the oxygen concentration sensor. When the temperature in the first hermetic chamber 102 is low for the zirconia sensor,
For example, the gas extracted from the inside of the first hermetic chamber 102 is 773
You may make it measure by adjusting to about K.
【0252】ジルコニアセンサ以外にも例えば系内のガ
スを赤外分光して酸素濃度を測定するようにしてもよ
い。In addition to the zirconia sensor, for example, the oxygen concentration may be measured by infrared spectroscopy of the gas in the system.
【0253】第1の気密室102内の酸素濃度は例えば
N2 のようなキャリアガスの導入ではなく、系内の全圧
により調節するようにしてもよい。The oxygen concentration in the first hermetic chamber 102 may be adjusted not by introducing a carrier gas such as N 2 but by the total pressure in the system.
【0254】処理対象物体150から水銀の気化が始ま
ると、第1の気密室102内は水銀含有ガス雰囲気が卓
越する。したがって、水銀の気化開始前に第1の気密室
102内を減圧して酸素濃度を十分に低下させておけ
ば、処理対象物体150の燃焼や、処理対象物体150
の構成金属の酸化を防ぐことができる。When the vaporization of mercury from the object to be processed 150 starts, the atmosphere of mercury-containing gas prevails in the first hermetic chamber 102. Therefore, if the oxygen concentration is sufficiently reduced by reducing the pressure in the first hermetic chamber 102 before the start of the vaporization of mercury, the burning of the processing object 150 and the processing object 150
Can be prevented from oxidizing the constituent metals.
【0255】前述のように、第1の気密室102内の圧
力、酸素濃度についても温度と同じように制御するよう
にすればよい。例えば、圧力センサ、酸素濃度センサか
らの測定値または測定電圧を入力とし、排気系110の
バルブ、キャリアガス導入弁112を制御する信号また
は電圧を出力とするプログラムを電子計算機に搭載し制
御手段として用いるようにしてもよい。As described above, the pressure and the oxygen concentration in the first hermetic chamber 102 may be controlled in the same manner as the temperature. For example, a computer is provided with a program that receives a measured value or a measured voltage from a pressure sensor or an oxygen concentration sensor as an input, and outputs a signal or voltage for controlling a valve of the exhaust system 110 and a carrier gas introduction valve 112 as an electronic computer. It may be used.
【0256】第1の気密室102と排気系110との間
に、処理対象物体150から気化させた水銀含有ガスを
中和、冷却するための中和冷却ユニット111が配設さ
れている。この中和冷却ユニット111は処理対象物体
150から気化させた水銀含有ガスを前述のように中和
し、冷却するものである。また、処理対象物体150か
ら気化させたガス中にハロゲン、ハロゲン化炭化水素な
どのガスが含まれる場合には、例えば触媒などを用いて
分解してから中和するようにしてもよい。A neutralization cooling unit 111 for neutralizing and cooling the mercury-containing gas vaporized from the object 150 is disposed between the first hermetic chamber 102 and the exhaust system 110. The neutralization cooling unit 111 neutralizes and cools the mercury-containing gas vaporized from the processing object 150 as described above. When a gas such as a halogen or a halogenated hydrocarbon is contained in a gas vaporized from the processing target object 150, the gas may be decomposed using a catalyst or the like, and then neutralized.
【0257】処理対象物体150から排出される有害な
ガスを装置外に漏らさないために、各室に接続した排気
系106、110、114、115の後段に図示しない
マルチ排ガスチャンバを備えるようにしてもよい。In order to prevent the harmful gas discharged from the object 150 to be processed from leaking out of the apparatus, a multi-exhaust gas chamber (not shown) is provided after the exhaust system 106, 110, 114, 115 connected to each chamber. Is also good.
【0258】第1の気密室102内の温度、圧力、酸素
濃度は上述のように制御される。したがって、処理対象
物体150の第2の金属気化することなく、第1の金属
を気化することができる。そして第1の金属の気化した
ガスは前述のように液封式真空ポンプの封液循環系また
はコンデンサーにより回収される。The temperature, pressure and oxygen concentration in the first hermetic chamber 102 are controlled as described above. Therefore, the first metal can be vaporized without vaporizing the second metal of the processing target object 150. Then, the vaporized gas of the first metal is recovered by the liquid-circulating system or the condenser of the liquid-ring vacuum pump as described above.
【0259】本発明の処理装置100では、第1の気密
室102で加熱した処理対象物体150を冷却すること
なく第2の気密室103に移送するので、熱効率が非常
に高い。In the processing apparatus 100 of the present invention, the object to be processed 150 heated in the first hermetic chamber 102 is transferred to the second hermetic chamber 103 without cooling, so that the thermal efficiency is very high.
【0260】第2の気密室103は、処理対象物体15
0の第2の金属を処理対象物体150から選択的に気化
させ回収するための処理室である。The second hermetic chamber 103 contains the object 15 to be processed.
This is a processing chamber for selectively vaporizing and collecting the second metal 0 from the processing target object 150.
【0261】この第2の気密室103は加熱手段として
第1の気密室と同様の電熱ヒーター109を備えてい
る。加熱手段は電熱ヒーター109に限らず、必要に応
じて選択または組合わせて備えるようにすればよい。The second hermetic chamber 103 is provided with the same electric heater 109 as the first hermetic chamber as a heating means. The heating means is not limited to the electric heater 109, and may be selected or combined as needed.
【0262】前述のように、第2の気密室103内の温
度は、この電熱ヒーター113と図示しない温度センサ
により第1の気密室102内と同様に制御している。す
なわち、第2の気密室103内の温度は、第2の気密室
103内の圧力、酸素濃度などとともに、また、パージ
室101、第1の気密室102、冷却室104の諸条件
および隔壁105の開閉とともに、統合的に図示しない
制御手段により制御している。As described above, the temperature in the second hermetic chamber 103 is controlled by the electric heater 113 and a temperature sensor (not shown) in the same manner as in the first hermetic chamber 102. That is, the temperature in the second hermetic chamber 103 is determined by the pressure, the oxygen concentration, and the like in the second hermetic chamber 103, and the various conditions of the purge chamber 101, the first hermetic chamber 102, the cooling chamber 104, and the partition 105 Is controlled by a control means (not shown) in an integrated manner.
【0263】第2の気密室103にも排気系114が接
続されている。この排気系の構成はパージ室101の排
気系114と同様の構成となっている。The exhaust system 114 is also connected to the second hermetic chamber 103. The configuration of the exhaust system is similar to that of the exhaust system 114 of the purge chamber 101.
【0264】第2の気密室103内の圧力はこの排気系
114と、図示しない、圧力センサである真空計により
調節している。真空計としては前述同様ブルドン管、ピ
ラニーゲージなどを必要に応じて用いるようにすればよ
い。The pressure in the second hermetic chamber 103 is adjusted by the exhaust system 114 and a vacuum gauge (not shown) which is a pressure sensor. As the vacuum gauge, a Bourdon tube, a Pirani gauge, or the like may be used as necessary, as described above.
【0265】第2の気密室103には、この室内の酸素
濃度を調節するためのキャリアガス導入系が接続されて
おり、112はキャリアガス導入弁である。キャリアガ
ス導入系は図示しないキャリアガスリザバーに接続され
ている。ここではキャリアガスとしてN2 を用いている
が、例えばArなどの希ガスを用いるようにしてもよ
い。The second hermetic chamber 103 is connected to a carrier gas introduction system for adjusting the oxygen concentration in this chamber. Reference numeral 112 denotes a carrier gas introduction valve. The carrier gas introduction system is connected to a carrier gas reservoir (not shown). Here, N 2 is used as a carrier gas, but a rare gas such as Ar may be used.
【0266】排気系114とキャリアガス導入弁112
を適当に操作することにより、第1の気密室内を減圧、
または加圧することができる。この装置では、10-3T
orrから4×103 Torr程度まで系内の圧力を調
節できるようになっている。排気系の能力、容量を変え
ることにより、さらに減圧するようにしてもよい。また
キャリアガスを予圧することによりさらに加圧するよう
にしてもよい。Exhaust system 114 and carrier gas introduction valve 112
By appropriately operating the first airtight chamber,
Or it can be pressurized. In this device, 10 -3 T
The pressure in the system can be adjusted from orr to about 4 × 10 3 Torr. The pressure may be further reduced by changing the capacity and capacity of the exhaust system. Further, the pressure may be further increased by pre-pressurizing the carrier gas.
【0267】第2の気密室内103内の減圧にともなっ
て処理対象物体150の第1の金属の蒸気圧(沸点)は
下がるから、より低い温度で金属を気化させることがで
きる。 したがって、第2の気密室103が備える加熱
手段、排気手段の能力は処理対象物体150から分離、
回収する金属の種類に応じて変えるようにすればよい。
例えば、第2の気密室内103内をより高温に加熱す
るのに、誘電加熱手段を備えるようにしてもよい。また
例えば第2の気密室内103内をより高真空に減圧する
のに、より能力が高く排気量の大きい真空ポンプを備え
るようにしてもよい。第2の気密室内103内の容量に
よっては、イオンゲッターポンプ、ターボ分子ポンプな
どを用いて、さらに高真空を得るようにしてもよい。[0267] Since the vapor pressure (boiling point) of the first metal of the object to be treated 150 decreases with the decompression in the second hermetic chamber 103, the metal can be vaporized at a lower temperature. Therefore, the capability of the heating means and the exhaust means provided in the second hermetic chamber 103 is separated from the processing target object 150,
What is necessary is just to change according to the kind of metal to collect | recover.
For example, a dielectric heating means may be provided to heat the inside of the second hermetic chamber 103 to a higher temperature. Further, for example, a vacuum pump having a higher capacity and a larger displacement may be provided to reduce the pressure in the second hermetic chamber 103 to a higher vacuum. Depending on the capacity in the second hermetic chamber 103, a higher vacuum may be obtained by using an ion getter pump, a turbo molecular pump, or the like.
【0268】第2の気密室103内の酸素濃度は、系内
が十分に減圧されているために特に調節しなくても十分
に低い。したがって、積極的に調節する必要はないが、
酸素濃度調節手段を備える場合には、第1の気密室10
2と同様にすればよい。The oxygen concentration in the second hermetic chamber 103 is sufficiently low without any special adjustment because the pressure in the system is sufficiently reduced. Therefore, there is no need to actively adjust,
When an oxygen concentration adjusting means is provided, the first airtight chamber 10
What is necessary is just to carry out similarly to 2.
【0269】また図21に示した処理装置100は、第
2の気密室103を1室備えた構成を例示したが、第2
の気密室103を複数備えるようにしてもよい。内部の
温度、圧力条件の異なる複数の第2の気密室103を備
えることにより、蒸気圧の異なる複数の金属を処理対象
物体150から気化させ回収することができる。Although the processing apparatus 100 shown in FIG. 21 has a configuration in which one second airtight chamber 103 is provided, the processing apparatus 100 shown in FIG.
May be provided in plurality. By providing the plurality of second hermetic chambers 103 having different internal temperature and pressure conditions, a plurality of metals having different vapor pressures can be vaporized and collected from the processing target object 150.
【0270】また、処理対象物体150から金属を元素
ごと分離して回収する必要がない場合には、処理対象物
体150から複数金属を気化させ、回収するようにして
もよい。例えば、Zn合金を処理対象物体から除去する
時は、第2の気密室103内の圧力でZnが気化するよ
うな温度に加熱し、気化させたZnを回収チャンバで凝
縮させて回収するようにすれば。また例えば、Pb−S
n合金を処理対象物体から除去する時は、第2の気密室
103内の圧力で、PbおよびSnが気化するような温
度に加熱し、PbおよびSnを回収するようにしてもよ
い。もちろん、PbとSnとを選択的に気化して、それ
ぞれ回収するようにしてもよい。When it is not necessary to separate and collect metals from the object 150 to be processed, the metals may be vaporized and recovered from the object 150. For example, when the Zn alloy is removed from the object to be processed, the Zn alloy is heated to a temperature at which Zn is vaporized by the pressure in the second hermetic chamber 103, and the vaporized Zn is condensed and collected in the recovery chamber. if. Further, for example, Pb-S
When removing the n-alloy from the object to be treated, the pressure in the second hermetic chamber 103 may be used to recover Pb and Sn by heating to a temperature at which Pb and Sn are vaporized. Of course, Pb and Sn may be selectively vaporized and recovered.
【0271】第2の気密室103と排気系114との間
には、処理対象物体150から気化した気体状態の第2
の金属を回収するための回収チャンバ115が配設され
ている。この回収チャンバは、このチャンバ内で気化し
た金属を融点以下に冷却して凝縮させ回収するものであ
る。回収チャンバ115内を例えば向流構造や螺旋構造
にするようにしてもよい。あるいは回収チャンバ115
と第2の気密室103との間、回収チャンバ115と排
気系114との間にバルブや開閉可能な隔壁を設けるよ
うにしてもよい。すなわち処理対象物体150から気化
した金属が回収チャンバ115内に導入されたら、回収
チャンバ115を閉鎖して冷却し、金属を凝縮させて回
収するようにしてもよい。[0271] Between the second hermetic chamber 103 and the exhaust system 114, the second gaseous state vaporized from the object 150 is processed.
A recovery chamber 115 for recovering the metal is provided. The recovery chamber cools and condenses the metal vaporized in the chamber to a temperature lower than the melting point and recovers the metal. The inside of the recovery chamber 115 may have, for example, a countercurrent structure or a spiral structure. Alternatively, the recovery chamber 115
A valve or an openable / closable partition may be provided between the airtight chamber 103 and the second hermetic chamber 103 and between the collection chamber 115 and the exhaust system 114. That is, when the vaporized metal is introduced from the processing target object 150 into the recovery chamber 115, the recovery chamber 115 may be closed and cooled, and the metal may be condensed and recovered.
【0272】気化した金属を連続的に凝縮、回収する場
合でも、バッチ処理で凝縮、回収する場合でも、回収チ
ャンバ115内の気化した金属の滞留時間が長くなれば
回収効率は高まる。Regardless of whether the vaporized metal is continuously condensed and recovered, or whether the vaporized metal is condensed and recovered in a batch process, the longer the residence time of the vaporized metal in the recovery chamber 115, the higher the recovery efficiency.
【0273】また、第2の気密室103内にN2 や希ガ
スをキャリアガスとして導入するようにしてもよい。気
化した金属はキャリアガスにより回収チャンバに効率的
に導入される。Also, N 2 or a rare gas may be introduced into the second hermetic chamber 103 as a carrier gas. The vaporized metal is efficiently introduced into the collection chamber by the carrier gas.
【0274】回収チャンバ115は、第2の気密室10
3に複数系統備えるようにしてもよい。複数の回収チャ
ンバ115で同じ金属を回収するようにしてもよいし、
第2の気密室103内の温度と圧力を段階的に調節して
複数の金属をそれぞれ選択的に気化させ、複数系統の回
収チャンバ115を切り換えて回収するようにしてもよ
い。The recovery chamber 115 is provided in the second hermetic chamber 10.
3 may be provided with a plurality of systems. The same metal may be collected in a plurality of collection chambers 115,
A plurality of metals may be selectively vaporized by adjusting the temperature and pressure in the second hermetic chamber 103 in a stepwise manner, and the plurality of collection chambers 115 may be switched to be collected.
【0275】第2の気密室103内の温度、圧力、酸素
濃度は上述のように制御される。したがって、処理対象
物体150の構成金属をその蒸気圧に応じて気化させ、
回収チャンバ115で金属状態のまま回収することがで
きる。The temperature, pressure and oxygen concentration in the second hermetic chamber 103 are controlled as described above. Therefore, the constituent metals of the processing target object 150 are vaporized according to the vapor pressure thereof,
In the recovery chamber 115, it can be recovered in a metal state.
【0276】なお、第1の気密室での処理対象物体15
0の第1の金属の気化の程度によっては、第1の金属が
気化したガス等を排出することがある。このような第2
の気密室で気化した第1の金属は、回収チャンバ115
の後段に液封式真空ポンプを備えた排気系を接続するこ
とにより、液封式真空ポンプの封液で捕捉して回収する
ようにしてもよい。排気系として、液封式真空ポンプの
前段にメカニカルブースターを配設するようにしてもよ
い。The object 15 to be processed in the first hermetic chamber
Depending on the degree of vaporization of the first metal, the first gas may be discharged. Such a second
The first metal vaporized in the airtight chamber of
By connecting an exhaust system equipped with a liquid-ring vacuum pump at the subsequent stage, the liquid may be captured and collected by the sealing liquid of the liquid-ring vacuum pump. As an exhaust system, a mechanical booster may be provided in front of the liquid ring vacuum pump.
【0277】このように第2の気密室103では処理対
象物体から所定の金属を気化させ回収することができ
る。As described above, in the second hermetic chamber 103, a predetermined metal can be vaporized and recovered from the object to be processed.
【0278】第2の気密室103から処理対象物体15
0を直接装置100の外部へ取り出すと、処理対象物体
150が急速に酸化する恐れがある。また、第2の気密
室103内を大気圧に戻さねばならず、第2の気密室1
03内の気密性を保持するという観点からも不便であ
る。このために図21に例示した処理装置100では、
第2の気密室103の後段に冷却室104を備えてい
る。From the second hermetic chamber 103 to the processing object 15
If 0 is directly taken out of the apparatus 100, the object 150 to be processed may be rapidly oxidized. Further, the inside of the second hermetic chamber 103 must be returned to the atmospheric pressure.
It is also inconvenient from the viewpoint of maintaining the airtightness in the area 03. For this reason, in the processing apparatus 100 illustrated in FIG.
A cooling chamber 104 is provided downstream of the second hermetic chamber 103.
【0279】この冷却室はパージ室101、第1の気密
室102、第2の気密室103と同様の圧力調節手段
と、酸素濃度調節手段とを備えている。すなわち、前述
同様の排気系116と、キャリアガス導入弁117とを
備えている。This cooling chamber is provided with the same pressure adjusting means and oxygen concentration adjusting means as those of the purge chamber 101, the first hermetic chamber 102, and the second hermetic chamber 103. That is, an exhaust system 116 similar to that described above and a carrier gas introduction valve 117 are provided.
【0280】第2の気密室103内で所定の金属を分離
された処理対象物体150は、冷却室104へ移送され
圧力と酸素濃度が調節された状態で冷却される。キャリ
アガスは酸素濃度の調節だけではなく処理対象物体15
0の冷却ガスとしても機能する。The object to be treated 150 from which a predetermined metal has been separated in the second hermetic chamber 103 is transferred to the cooling chamber 104 and cooled in a state where the pressure and the oxygen concentration are adjusted. The carrier gas is used not only for adjusting the oxygen concentration but also for the object 15 to be treated.
It also functions as 0 cooling gas.
【0281】冷却室104と排気系116との間に、予
熱により処理対象物体から排出されるガスなどを除去す
るためのトラップ118を配設するようにしてもよい。A trap 118 may be provided between the cooling chamber 104 and the exhaust system 116 for removing gas and the like discharged from the object to be processed by preheating.
【0282】冷却室内104内で処理対象物体150を
十分冷ましたなら、装置外部へ取り出す。When the object 150 to be treated is sufficiently cooled in the cooling chamber 104, it is taken out of the apparatus.
【0283】なお、処理装置100への処理対象物体1
50の導入と、取出し、また各室間の処理対象物体15
0の移送は、プッシャー130、ドローワー131によ
り行うようにすればよい。The object 1 to be processed to the processing apparatus 100
Introduction and removal of the object 50 and the object 15 to be treated between the rooms
The transfer of 0 may be performed by the pusher 130 and the drawer 131.
【0284】プッシャー130およびドローワー131
の操作は、隔壁105の開閉とともに、前述した図示し
ない制御手段により行うようにしてもよい。The pusher 130 and the drawer 131
This operation may be performed by the above-described control unit (not shown) together with the opening and closing of the partition wall 105.
【0285】図22は図21に例示した本発明の処理装
置を模式的に示す図である。FIG. 22 is a diagram schematically showing the processing apparatus of the present invention exemplified in FIG.
【0286】図21には図示していない、パージ室10
1内の圧力センサ202a、第1の気密室102内の温
度センサ201a、圧力センサ202b、酸素濃度セン
サ203、第2の気密室103内の温度センサ201
c、圧力センサ202c、冷却室104内の圧力センサ
202dからの信号は制御手段を構成する制御盤200
に伝達される。制御手段は電子計算機にプログラムを搭
載して構成するようにしてもよい。The purge chamber 10 not shown in FIG.
1, the temperature sensor 201a in the first hermetic chamber 102, the pressure sensor 202b, the oxygen concentration sensor 203, and the temperature sensor 201 in the second hermetic chamber 103.
c, a signal from the pressure sensor 202c, and a signal from the pressure sensor 202d in the cooling chamber 104 are transmitted to a control panel 200 constituting control means.
Is transmitted to The control means may be configured by mounting a program on an electronic computer.
【0287】そして制御手段は装置内の各室内の状態に
応じて、加熱手段、圧力調節手段、酸素濃度調節手段を
制御するようにすればよい。また、隔壁105の開閉、
プッシャー130、ドローワー131による処理対象物
体150の移送もこの制御手段により行うようにしても
よい。210は各室内の温度、圧力、酸素濃度などの状
態、隔壁105の開閉状態などを操作員に示すモニタで
ある。また211はマルチ排ガス処理装置である。The control means may control the heating means, the pressure adjusting means, and the oxygen concentration adjusting means according to the state of each room in the apparatus. Opening and closing of the partition 105;
The transfer of the processing target object 150 by the pusher 130 and the drawer 131 may be performed by this control means. Reference numeral 210 denotes a monitor that indicates to the operator the state of each room such as temperature, pressure, oxygen concentration, and the open / closed state of the partition 105. Reference numeral 211 denotes a multiple exhaust gas treatment device.
【0288】(実施例7)図23は、本発明の処理装置
の別の1例を概略的に示す図である。一部を切り欠いて
内部の様子を示した。この処理装置300も第1の金属
と第2の金属とを構成材として有する処理対象物体35
0を処理するものである。(Embodiment 7) FIG. 23 is a diagram schematically showing another example of the processing apparatus of the present invention. The inside is shown with a part cut away. This processing apparatus 300 also has a processing target object 35 having a first metal and a second metal as constituent materials.
0 is processed.
【0289】この処理装置300はパージ室301、気
密室302、冷却室303から構成されている。この気
密室300は、図21に例示した処理装置100の第1
の気密室102と、第2の気密室103の機能を兼ね備
えている。すなわち、気密室302内でまず処理対象物
体350の第1の金属を気化させ、ついで同じ気密室内
302で第2の金属を分離回収する。特に第2の金属の
気化によりただちに第2の金属が単離される状態になる
場合には、処理対象物体350の構成金属を気化させる
必要はない。The processing apparatus 300 includes a purge chamber 301, an airtight chamber 302, and a cooling chamber 303. This airtight chamber 300 is the first chamber of the processing apparatus 100 illustrated in FIG.
And the function of the second hermetic chamber 103 is also provided. That is, first, the first metal of the processing target object 350 is vaporized in the hermetic chamber 302, and then the second metal is separated and recovered in the same hermetic chamber 302. In particular, when the second metal is immediately vaporized to be isolated, the constituent metal of the processing object 350 need not be vaporized.
【0290】気密室302は温度調節手段と、圧力調節
手段と、酸素濃度調節手段とを備えているが、酸素濃度
は前述のように気密室302内の全圧により調節するよ
うにしてもよい。Although the hermetic chamber 302 is provided with a temperature adjusting means, a pressure adjusting means and an oxygen concentration adjusting means, the oxygen concentration may be adjusted by the total pressure in the hermetic chamber 302 as described above. .
【0291】気密室302内の温度調節は、電熱ヒータ
309と図示しない温度センサにより行うようにすれば
よい。The temperature in the hermetic chamber 302 may be adjusted by the electric heater 309 and a temperature sensor (not shown).
【0292】気密室302内の圧力調節は、排気系31
0、314と、キャリアガス導入系と、図示しない圧力
センサにより行うようにすればよい。312はキャリア
ガス導入弁である。The pressure in the airtight chamber 302 is adjusted by the exhaust system 31.
0, 314, a carrier gas introduction system, and a pressure sensor (not shown). 312 is a carrier gas introduction valve.
【0293】気密室302と排気系310との間には、
処理対象物体350の第1の金属の気化したガスを回収
するための凝縮回収手段である油化装置311が配設さ
れている。Between the airtight chamber 302 and the exhaust system 310,
An oiling device 311 as condensation and recovery means for recovering the vaporized gas of the first metal of the processing object 350 is provided.
【0294】また、気密室302と排気系314との間
には、処理対象物体350のから気化した構成金属のガ
スを回収するための凝縮回収手段である回収チャンバ3
15が配設されている。処理対象物体の構成金属を気化
させる必要がない場合には、複数の油化装置311を配
設するようにしてもよい。[0294] Between the airtight chamber 302 and the exhaust system 314, there is provided a collection chamber 3 serving as a condensation and recovery means for recovering vaporized constituent metal gas from the processing object 350.
15 are provided. If it is not necessary to vaporize the constituent metal of the object to be treated, a plurality of oiling devices 311 may be provided.
【0295】パージ室301、冷却室303、隔壁30
5、キャリアガス導入系、プッシャー330、ドローワ
ー331については図21に例示した処理装置100と
同様である。また、制御手段についても同様に備えるよ
うにすればよい。[0295] Purge chamber 301, cooling chamber 303, partition 30
5, the carrier gas introduction system, the pusher 330, and the drawer 331 are the same as those of the processing apparatus 100 illustrated in FIG. The control means may be provided in the same manner.
【0296】(実施例8)図24は本発明の処理装置の
別の1例を模式的に示す図である。(Embodiment 8) FIG. 24 is a diagram schematically showing another example of the processing apparatus of the present invention.
【0297】この処理装置400は第1の気密室401
と第2の気密室402とを備えている。第1の気密室4
01は図示しない温度調節手段を備えており、封液循環
系103を備えた液封式真空ポンプ404に接続されて
いる。第2の気密室は図示しない温度調節手段を備えて
おり、排気系405と回収チャンバ406に接続されて
いる。また、第1の気密室401、第2の気密室402
にはキャリアガス導入系407が接続されており、気密
室内の酸素濃度の調節、加圧を行うことができる。40
8はキャリアガスリザバーである。[0297] The processing apparatus 400 includes a first hermetic chamber 401.
And a second hermetic chamber 402. First airtight room 4
Reference numeral 01 denotes a temperature control means (not shown), which is connected to a liquid ring vacuum pump 404 having a liquid sealing circulation system 103. The second hermetic chamber includes a temperature control unit (not shown), and is connected to the exhaust system 405 and the collection chamber 406. Further, a first hermetic chamber 401 and a second hermetic chamber 402
Is connected to a carrier gas introduction system 407, which can adjust and pressurize the oxygen concentration in the airtight chamber. 40
8 is a carrier gas reservoir.
【0298】すなわち第1の金属と第2の金属とを有す
る処理対象物体の第1の金属を第1の気密室401内で
気化させ、気化したガスを液封式真空ポンプ404の封
液により捕捉して回収する。このとき、前述した制御手
段などにより、第1の気密室401内の温度、圧力、酸
素濃度を調節して処理対象物体の第2の金属を気化させ
ないように保持しながら第1の金属を気化するようにす
ればよい。That is, the first metal of the object to be treated having the first metal and the second metal is vaporized in the first hermetic chamber 401, and the vaporized gas is sealed by the liquid ring vacuum pump 404. Capture and collect. At this time, the first metal is vaporized while controlling the temperature, pressure, and oxygen concentration in the first hermetic chamber 401 by the above-described control means so that the second metal of the object to be processed is not vaporized. What should I do?
【0299】液封式真空ポンプ404の封液により捕捉
した第1の金属を含む処理対象物体から気化した成分
は、液封式真空ポンプ404の封液循環系403から前
述のように回収するようにすればよい。封液循環系40
3は例えば図9、図10に例示したような構成をとるよ
うにすればよい。The components vaporized from the object to be treated containing the first metal captured by the liquid sealing of the liquid ring vacuum pump 404 are recovered from the liquid sealing circulation system 403 of the liquid ring vacuum pump 404 as described above. What should I do? Sealing liquid circulation system 40
3 may be configured as shown in FIGS. 9 and 10, for example.
【0300】第2の気密室402では、気密室内部の温
度、圧力を調節して第2の金属を気化させ、回収チャン
バ406で回収する。第2の気密室402内の温度、圧
力についても第1の気密室401同様の制御手段で調節
するようにすればよい。[0300] In the second hermetic chamber 402, the temperature and pressure inside the hermetic chamber are adjusted to vaporize the second metal, and the second metal is recovered in the recovery chamber 406. The temperature and the pressure in the second hermetic chamber 402 may be adjusted by the same control means as in the first hermetic chamber 401.
【0301】第1の気密室401の前段または第2の気
密室402の後段にパージ室を配設するようにしてもよ
い。A purge chamber may be provided upstream of the first hermetic chamber 401 or downstream of the second hermetic chamber 402.
【0302】(実施例9)図25は本発明の処理装置の
別の1例を模式的に示す図である。(Embodiment 9) FIG. 25 is a diagram schematically showing another example of the processing apparatus of the present invention.
【0303】この処理装置500は水銀である第1の金
属と第2の金属とを構成材として有する処理対象物体を
処理する装置であり、パージ室501、第1の気密室5
02、第2の気密室503、第3の気密室504、冷却
室505を備えている。This processing apparatus 500 is an apparatus for processing an object to be processed having a first metal and a second metal, which are mercury, as constituents, and includes a purge chamber 501, a first airtight chamber 5
02, a second hermetic chamber 503, a third hermetic chamber 504, and a cooling chamber 505.
【0304】パージ室501はトラップ506と排気系
507に接続されている。第1の気密室502は液封式
真空ポンプ508と封液循環系509に接続されてい
る。第2の気密室503は回収チャンバ510と排気系
511に接続されている。第3の気密室504は回収チ
ャンバ512と排気系513に接続されている。冷却室
505はトラップ514と排気系515に接続されてい
る。第1の気密室502、第2の気密室503、第3の
気密室504は図示しない温度調節手段を備えている。
516はキャリアガス導入系であり、517はキャリア
ガスリザバーである。The purge chamber 501 is connected to a trap 506 and an exhaust system 507. The first hermetic chamber 502 is connected to a liquid ring vacuum pump 508 and a liquid sealing circulation system 509. The second hermetic chamber 503 is connected to the collection chamber 510 and the exhaust system 511. The third hermetic chamber 504 is connected to the collection chamber 512 and the exhaust system 513. The cooling chamber 505 is connected to the trap 514 and the exhaust system 515. The first hermetic chamber 502, the second hermetic chamber 503, and the third hermetic chamber 504 are provided with a temperature control means (not shown).
516 is a carrier gas introduction system, and 517 is a carrier gas reservoir.
【0305】また、第1の気密室502は図示しない酸
素濃度センサを備えており、全圧とは独立に系内の酸素
濃度を調節できるようになっている。Further, the first hermetic chamber 502 is provided with an oxygen concentration sensor (not shown) so that the oxygen concentration in the system can be adjusted independently of the total pressure.
【0306】すなわち、処理装置500は処理対象物体
を構成する複数の第2の金属を気化させるための処理室
を複数備えたものである。処理対象物体が複数の構成金
属を有する場合にも、第2の気密室503と第3の気密
室504でそれぞれ選択的に気化させ、回収することが
できる。That is, the processing apparatus 500 is provided with a plurality of processing chambers for vaporizing a plurality of second metals constituting an object to be processed. Even when the object to be processed has a plurality of constituent metals, the object can be selectively vaporized and collected in the second hermetic chamber 503 and the third hermetic chamber 504, respectively.
【0307】(実施例10)図26は本発明の処理装置
の別の1例を模式的に示す図である。(Embodiment 10) FIG. 26 is a diagram schematically showing another example of the processing apparatus of the present invention.
【0308】この処理装置600は、水銀である第1の
金属と第2の金属とを構成材として有する処理対象物体
を処理する装置である。この処理装置600は1つの気
密容器601に複数の回収系を接続したものであり、気
密容器601内部の温度、圧力、酸素濃度に応じて回収
系を切り換えて処理する。The processing apparatus 600 is an apparatus for processing an object to be processed having a first metal and a second metal as mercury as constituent materials. The processing apparatus 600 has a plurality of recovery systems connected to one airtight container 601 and performs processing by switching the recovery systems according to the temperature, pressure, and oxygen concentration inside the airtight container 601.
【0309】図27は気密容器601内の温度、圧力、
酸素濃度を調節する制御系610の構成を模式的に示す
図である。前述のように制御手段611の全部または一
部を、例えば制御プログラムとして電子計算機に搭載し
て装置の制御を行うようにしてもよい。FIG. 27 shows the temperature, pressure,
FIG. 3 is a diagram schematically showing a configuration of a control system 610 for adjusting an oxygen concentration. As described above, all or a part of the control means 611 may be mounted on an electronic computer as a control program, for example, to control the apparatus.
【0310】気密容器601には、処理対象物体の樹脂
成分の分解生成ガスを回収するため油化装置602aが
接続され、この油化装置602aは排気系603aに接
続されている。[0310] An oiling device 602a is connected to the airtight container 601 for recovering a gas produced by decomposition of the resin component of the object to be treated, and the oiling device 602a is connected to an exhaust system 603a.
【0311】また気密容器601には、処理対象物体の
第1の金属の気化した水銀含有ガスを回収するための液
封式真空ポンプ602bが接続され、この液封式真空ポ
ンプ602は封液循環系603に接続されている。封液
循環系としては、例えば図9、図10に例示した構成を
とるようにしてもよい。[0311] A liquid-sealed vacuum pump 602b for recovering the vaporized mercury-containing gas of the first metal of the object to be treated is connected to the airtight container 601. It is connected to the system 603. As the liquid sealing circulation system, for example, the configuration illustrated in FIGS. 9 and 10 may be adopted.
【0312】排気系603aの後段には、排ガスを無害
化、無臭化、無煙化する排ガス処理装置604を備えて
いる。An exhaust gas treatment device 604 for making exhaust gas harmless, odorless, and smokeless is provided downstream of the exhaust system 603a.
【0313】気密容器601には、気密容器601内で
気化させた処理対象物体の第2の金属を回収する複数系
統の回収チャンバ605が接続され、それぞれの回収チ
ャンバは排気系606に接続されている。A plurality of collection chambers 605 for collecting the second metal of the object to be processed vaporized in the airtight container 601 are connected to the airtight container 601, and each of the recovery chambers is connected to an exhaust system 606. I have.
【0314】気密容器601に接続された複数系統の回
収チャンバ605は同じ金属を回収するようにしてもよ
い。また、気密容器601内の温度、圧力条件に応じて
切換えることにより、蒸気圧(沸点)の異なる複数の金
属をそれぞれ回収するようにしてもよい。A plurality of collection chambers 605 connected to the airtight container 601 may collect the same metal. Alternatively, a plurality of metals having different vapor pressures (boiling points) may be recovered by switching according to the temperature and pressure conditions in the airtight container 601.
【0315】また、気密容器601にはキャリアガス導
入系が接続されている。607はキャリアガスリザバー
である。N2 、Arなどのキャリアガスの導入により気
密容器601内の酸素濃度を全圧とは独立に調節するこ
とができる。また、予圧したキャリアガスを導入するこ
とにより気密容器601内を加圧するようにしてもよ
い。非酸化雰囲気中で処理対象物体を加圧することによ
り、第1の金属の分解効率が向上する。The airtight container 601 is connected with a carrier gas introduction system. 607 is a carrier gas reservoir. By introducing a carrier gas such as N 2 or Ar, the oxygen concentration in the hermetic container 601 can be adjusted independently of the total pressure. Further, the inside of the airtight container 601 may be pressurized by introducing a prepressurized carrier gas. By pressing the object to be treated in a non-oxidizing atmosphere, the decomposition efficiency of the first metal is improved.
【0316】また、気密容器601内の酸素濃度は全圧
により調節するようにしてもよい。図28は本発明の処
理装置の回収系の別の1例を模式的に示す図である。[0316] The oxygen concentration in the airtight container 601 may be adjusted by the total pressure. FIG. 28 is a diagram schematically showing another example of the recovery system of the processing apparatus of the present invention.
【0317】この処理装置は図26に例示した処理装置
と同様の構成であるが、回収系以外の部分の図示は省略
している。This processing apparatus has the same configuration as the processing apparatus illustrated in FIG. 26, but illustration of parts other than the recovery system is omitted.
【0318】気密容器601と開閉可能な隔壁610に
より隔てられた回収室611が配設されている。この回
収室611は図示しない温度調節手段を備えている。回
収室611にはキャリアガス導入系を接続するようにし
てもよい。There is provided a collection chamber 611 separated from the airtight container 601 by a partition 610 that can be opened and closed. The collection chamber 611 has a temperature control unit (not shown). The recovery chamber 611 may be connected to a carrier gas introduction system.
【0319】そして、この回収室611には、回収チャ
ンバ605と、排気系606が接続されている。[0319] The collection chamber 611 is connected to a collection chamber 605 and an exhaust system 606.
【0320】気密容器601内が第1または第2の金属
が気化する温度、圧力条件になったら、隔壁610を開
いて処理対象物体612を回収室611へ導入し隔壁6
10を閉じる。When the temperature and pressure conditions in the airtight container 601 allow the first or second metal to evaporate, the partition 610 is opened and the object to be treated 612 is introduced into the collection chamber 611 and the partition
Close 10.
【0321】そして温度圧力条件を保って、回収チャン
バ605により気化した金属を凝縮させて回収するよう
にすればよい。Then, while maintaining the temperature and pressure conditions, the vaporized metal may be condensed and recovered by the recovery chamber 605.
【0322】このような回収室611を備えれば、回収
室611で処理対象物体から金属を回収している間も、
気密容器601内の温度、圧力、酸素濃度などの諸条件
を回収室611と独立に制御できる。したがって、装置
の運用効率が向上する。With such a recovery chamber 611, while collecting metal from the object to be treated in the recovery chamber 611,
Various conditions such as temperature, pressure, and oxygen concentration in the airtight container 601 can be controlled independently of the collection chamber 611. Therefore, the operation efficiency of the device is improved.
【0323】このような回収室は例えば図21、図2
3、図24、図25に例示したような処理装置に配設す
るようにしてもよい。Such a recovery chamber is, for example, shown in FIGS.
3, it may be arranged in a processing apparatus as exemplified in FIGS. 24 and 25.
【0324】図29は例えば図21に例示した処理装置
100に接続した回収室901を含む回収系を模式的に
示す図である。FIG. 29 is a diagram schematically showing a recovery system including a recovery chamber 901 connected to the processing apparatus 100 illustrated in FIG. 21, for example.
【0325】処理装置100の第2の気密室103に回
収室901が接続されており、第2の気密室103と回
収室901との間は開閉可能な隔壁902により隔てら
れている。回収室901は図示しない温度調節手段を備
えている。またキャリアガス導入系を接続するようにし
てもよい。回収室901には回収チャンバ115、排気
系114が接続されている。また、回収室901とは並
列に回収チャンバ115、排気系114を接続するよう
にしてもよい。The collection chamber 901 is connected to the second hermetic chamber 103 of the processing apparatus 100, and the second hermetic chamber 103 and the collection chamber 901 are separated from each other by a partition 902 that can be opened and closed. The collection chamber 901 includes a temperature control unit (not shown). Further, a carrier gas introduction system may be connected. A collection chamber 115 and an exhaust system 114 are connected to the collection chamber 901. Further, the collection chamber 115 and the exhaust system 114 may be connected in parallel with the collection chamber 901.
【0326】(実施例11)図30および図31は回収
チャンバの構造の1例を概略的に示す図である。(Embodiment 11) FIGS. 30 and 31 schematically show an example of the structure of the recovery chamber.
【0327】図30は向流構造の回収チャンバを模式的
に示す図である。図31(a)はサイクロン型の回収チ
ャンバの構造を概略的に示す上面図であり、図31
(b)はサイクロン型の回収チャンバの構造を概略的に
示す側面図である。回収チャンバは処理対象物体から気
化させた金属を凝縮できればよい。また、これらの回収
チャンバを多段に接続するようにしてもよい。FIG. 30 is a diagram schematically showing a recovery chamber having a countercurrent structure. FIG. 31A is a top view schematically showing the structure of a cyclone type recovery chamber.
(B) is a side view schematically showing the structure of a cyclone type recovery chamber. The recovery chamber only needs to be able to condense the metal vaporized from the object to be processed. Further, these recovery chambers may be connected in multiple stages.
【0328】(実施例12)図32は、処理対象物体か
ら排出され、液封式真空ポンプ、油化装置や回収チャン
バなどにより回収されない排ガスを処理する排ガス処理
装置の構成の1例を概略的に示す図である。油化装置ま
たは回収チャンバなどの回収系の後段に、マルチ排ガス
処理フィルタ1201、無煙化フィルタ1202、無臭
化フィルタ1203が接続されている。これ以外にも例
えばハロゲンガスなどを回収するアルカリトラップや、
触媒などを用いたハロゲン化炭化水素分解装置などを備
えるようにしてもよい。(Embodiment 12) FIG. 32 schematically shows an example of the configuration of an exhaust gas treatment apparatus for treating exhaust gas discharged from an object to be treated and not collected by a liquid-ring vacuum pump, an oiling device, a collection chamber, or the like. FIG. A multi-exhaust gas treatment filter 1201, a smokeless filter 1202, and an odorless filter 1203 are connected downstream of a recovery system such as an oiling device or a recovery chamber. Other than this, for example, an alkali trap for collecting a halogen gas or the like,
A halogenated hydrocarbon decomposer using a catalyst or the like may be provided.
【0329】このように本発明の処理装置は第1の金属
と第2の金属とを構成材として有する処理対象物体を、
第1の金属、第2の金属を段階的に気化させて処理対象
物体から分離回収することができる。As described above, the processing apparatus of the present invention converts an object to be processed having a first metal and a second metal as constituents,
The first metal and the second metal can be vaporized stepwise and separated and recovered from the object to be treated.
【0330】[0330]
【発明の効果】以上説明したように、本発明の処理装置
および処理方法によれば、水銀を含有する物体を効果的
に処理することができる。また本発明の処理装置および
処理方法によれば、水銀を含む物体から水銀を分離・回
収することができる。As described above, according to the processing apparatus and the processing method of the present invention, an object containing mercury can be effectively processed. Further, according to the processing apparatus and the processing method of the present invention, mercury can be separated and recovered from an object containing mercury.
【0331】また本発明の処理装置および処理方法によ
れば、水銀と水銀以外の金属とを含む物体から水銀を分
離・回収するとともに処理対象物体の水銀以外の構成金
属も分離・回収することができる。Further, according to the processing apparatus and the processing method of the present invention, it is possible to separate and recover mercury from an object containing mercury and a metal other than mercury, and also separate and recover constituent metals other than mercury of the object to be processed. it can.
【0332】また本発明の処理装置および処理方法によ
れば、乾電池などの複数の構成金属と水を含有する物体
から、水分を除去し、構成金属を効果的に分離、回収す
ることができ。According to the processing apparatus and the processing method of the present invention, water can be removed from an object containing water and a plurality of constituent metals, such as a dry battery, and the constituent metals can be effectively separated and recovered.
【0333】本発明の処理装置および処理方法によれ
ば、汚染された排煙、飛灰、焼却残渣などを発生するこ
となく、水銀を含有する物体から、水銀を分離回収する
ことができる。According to the processing apparatus and the processing method of the present invention, mercury can be separated and recovered from an object containing mercury without generating polluted smoke, fly ash, incineration residues, and the like.
【0334】本発明の処理装置および処理方法によれ
ば、汚染された排煙、飛灰、焼却残渣などを発生するこ
となく、水銀を含有する乾電池から、水銀を分離回収す
ることができる。According to the processing apparatus and the processing method of the present invention, mercury can be separated and recovered from a dry battery containing mercury without generating polluted smoke, fly ash, incineration residues, and the like.
【0335】本発明の処理装置および処理方法によれ
ば、汚染された排煙、飛灰、焼却残渣などを発生するこ
となく乾電池から、乾電池の構成金属を分離回収するこ
とができる。According to the processing apparatus and the processing method of the present invention, the constituent metals of the dry battery can be separated and recovered from the dry battery without generating polluted smoke, fly ash, incineration residue and the like.
【0336】また、本発明の処理装置および処理方法に
よれば、水銀である第1の金属と第2の金属とを分離す
ることができ、管理型処分場などを必要とせず、金属を
効率的に再利用することができる。According to the processing apparatus and the processing method of the present invention, the first metal and the second metal, which are mercury, can be separated from each other. It can be reused in many ways.
【0337】また、第1の金属と第2の金属の気化を連
続して行うことにより加熱効率が高く投入エネルギーを
節約することができる。Further, by continuously vaporizing the first metal and the second metal, the heating efficiency is high and the input energy can be saved.
【0338】また、本発明の処理装置および処理方法に
よれば処理に際するダイオキシンの発生を大きく抑制し
ながら、第1の金属、第2の金属を分離回収することが
でき、環境保全に資すると同時に資源保全に資するもの
である。According to the processing apparatus and the processing method of the present invention, the first metal and the second metal can be separated and recovered while greatly suppressing the generation of dioxin during the processing, which contributes to environmental conservation. At the same time, it contributes to resource conservation.
【図1】本発明の処理装置の構成の1例を模式的に示す
図。FIG. 1 is a diagram schematically illustrating an example of a configuration of a processing apparatus according to the present invention.
【図2】本発明の処理装置が備える制御手段の構成の1
例を模式的に示す図。FIG. 2 shows a configuration of a control unit provided in the processing apparatus of the present invention.
The figure which shows an example typically.
【図3】水銀の蒸気圧と圧力との関係を示す図。FIG. 3 is a graph showing the relationship between the vapor pressure of mercury and the pressure.
【図4】本発明の処理装置の構成の1例を模式的に示す
図。FIG. 4 is a diagram schematically illustrating an example of a configuration of a processing apparatus according to the present invention.
【図5】本発明の処理装置の構成の1例を模式的に示す
図。FIG. 5 is a diagram schematically showing one example of a configuration of a processing apparatus of the present invention.
【図6】本発明の処理装置が備える制御手段の構成の1
例を模式的に示す図。FIG. 6 shows a configuration of a control unit provided in the processing apparatus of the present invention.
The figure which shows an example typically.
【図7】液封式真空ポンプの構造の1例を概略的に示す
断面図。FIG. 7 is a sectional view schematically showing an example of the structure of a liquid ring vacuum pump.
【図8】液封式真空真空ポンプの構造の1例を別の方向
から概略的に示す断面図。FIG. 8 is a sectional view schematically showing an example of the structure of a liquid ring vacuum pump from another direction.
【図9】本発明の処理装置の構成の1例を模式的に示す
図。FIG. 9 is a diagram schematically illustrating an example of a configuration of a processing apparatus according to the present invention.
【図10】封液循環系の構成の1例を模式的に示す図。FIG. 10 is a diagram schematically illustrating an example of a configuration of a liquid sealing circulation system.
【図11】本発明の処理装置の構成の1例を模式的に示
す図。FIG. 11 is a diagram schematically showing an example of the configuration of a processing apparatus according to the present invention.
【図12】本発明の処理装置の構成の1例を模式的に示
す図。FIG. 12 is a diagram schematically showing one example of a configuration of a processing apparatus of the present invention.
【図13】本発明の処理装置の構成の1例を模式的に示
す図。FIG. 13 is a view schematically showing one example of a configuration of a processing apparatus of the present invention.
【図14】本発明の処理装置が備える制御手段の構成の
1例を模式的に示す図。FIG. 14 is a diagram schematically illustrating an example of a configuration of a control unit included in the processing apparatus of the present invention.
【図15】本発明の処理装置の構成の概略的に示す上面
図。FIG. 15 is a top view schematically showing the configuration of the processing apparatus of the present invention.
【図16】本発明の処理装置が備える制御手段の構成の
1例を模式的に示す図。。FIG. 16 is a diagram schematically illustrating an example of a configuration of a control unit included in the processing apparatus of the present invention. .
【図17】各種金属の蒸気圧と圧力との関係を示す図。FIG. 17 is a diagram showing a relationship between vapor pressures and pressures of various metals.
【図18】各種金属の蒸気圧と圧力との関係を示す図。FIG. 18 is a diagram showing a relationship between vapor pressures and pressures of various metals.
【図19】図15に例示した処理装置の排気系と封液循
環系の構成の1例を模式的に示す図。FIG. 19 is a diagram schematically illustrating an example of a configuration of an exhaust system and a liquid sealing circulation system of the processing apparatus illustrated in FIG.
【図20】制御手段による温度制御の1例を概略的に示
す図(圧力一定時)。FIG. 20 is a diagram schematically showing an example of temperature control by a control unit (when the pressure is constant).
【図21】本発明の処理装置の1例を概略的に示す斜視
図。FIG. 21 is a perspective view schematically showing one example of a processing apparatus of the present invention.
【図22】図1に例示した本発明の処理装置を模式的に
示す図。FIG. 22 is a diagram schematically showing the processing apparatus of the present invention exemplified in FIG. 1;
【図23】本発明の処理装置の別の1例を概略的に示す
図。FIG. 23 is a view schematically showing another example of the processing apparatus of the present invention.
【図24】本発明の処理装置の別の1例を模式的に示す
図。FIG. 24 is a view schematically showing another example of the processing apparatus of the present invention.
【図25】本発明の処理装置の別の1例を模式的に示す
図。FIG. 25 is a view schematically showing another example of the processing apparatus of the present invention.
【図26】本発明の処理装置の別の1例を模式的に示す
図。FIG. 26 is a view schematically showing another example of the processing apparatus of the present invention.
【図27】本発明の処理装置の温度、圧力、酸素濃度を
調節する制御系の構成を模式的に示す図。FIG. 27 is a diagram schematically showing a configuration of a control system for adjusting the temperature, pressure, and oxygen concentration of the processing apparatus of the present invention.
【図28】本発明の処理装置の別の1例を模式的に示す
図。FIG. 28 is a view schematically showing another example of the processing apparatus of the present invention.
【図29】本発明の処理装置に接続した、回収室を含む
回収系を模式的に示す図。FIG. 29 is a diagram schematically showing a recovery system including a recovery chamber connected to the processing apparatus of the present invention.
【図30】回収チャンバの構造の1例を概略的に示す
図。FIG. 30 is a view schematically showing an example of the structure of a collection chamber.
【図31】回収チャンバの構造の1例を概略的に示す
図。FIG. 31 is a view schematically showing an example of the structure of a collection chamber.
【図32】排ガス処理装置の構成の1例を概略的に示す
図。FIG. 32 is a diagram schematically showing an example of the configuration of an exhaust gas treatment device.
100……処理装置、101……パージ室、102……
第1の気密室 103……第2の気密室、104……冷却室、105…
…扉、106……排気系 107……トラップ、108……キャリアガス導入弁、
109……電熱ヒータ 110……排気系、111……中和冷却ユニット 112……キャリアガス導入弁、113……電熱ヒー
タ、114……排気系 115……回収チャンバ、116……排気系、117…
…キャリアガス導入弁 118……トラップ、130……プッシャー、131…
…ドローワー 150……処理対象物体 200……制御盤、201……温度センサ、202……
圧力センサ 203……酸素濃度センサ、204……キャリアガスリ
ザバ 403……封液循環系、404……液封式真空ポンプ 508……液封式真空ポンプ、509……封液循環系 602a……油化装置、602b……液封式真空ポン
プ、603a……排気系 603b……封液循環系 1100……処理装置、1101……気密容器、110
2……排気手段 1103……回収手段、1104……温度調節手段、1
105……圧力調節手段 1106……温度センサ、1107……ヒーター、11
08……圧力センサ 1110……制御手段 1111……第1のコンデンサー、1112……第2の
コンデンサー 1113……水銀溜め、1114……排ガス処理塔 1200……処理装置、1201……気密容器、120
2……排気手段 1203……液封式真空ポンプ、1203b……封液、
1204……封液循環系 1205……温度調節手段、1206……圧力調節手段 1207……温度センサ、1208……ヒーター、12
09……圧力センサ 1210……加圧系、1210b……キャリアガス導入
系 1211……酸素濃度センサ、1212……酸素濃度調
節手段 1213……制御手段 1215……封液冷却手段、1216……気液分離手段 1217……水銀回収手段、1218……排ガス処理手
段 1219……pH調節手段、1220……封液リザバー 1231……フェライト処理槽、1232……還元気化
槽 1233……コンデンサー、1234……第1の水銀沈
降槽 1235……第1の水銀分離槽、1236……水洗冷却
塔 1237……第2の水銀沈降槽、1238……第2の水
銀分離槽 1239……水銀吸着塔、1240……水銀吸収液リザ
バー 1241……活性炭吸着塔、 1251……ケーシング(胴輪)、1251a……低圧
側ケーシング 1251b……高圧側ケーシング、1253……駆動
軸、1253b……軸封 1254……羽根車、1254a……低圧側羽根車 1254b……高圧側羽根車、1255……吸入口、1
256……排気口 1257……中間カバー、1258……封液導入口、1
259……封液排出口 1260……ガス吸着ユニット、1261……ガス冷却
手段 1262……水銀溜め 1300……処理装置、1301……気密容器、130
2……第1の排気系 1302a……液封式真空ポンプ、1303……封液循
環系 1304……コンデンサー、1305……ガス中和手段 1306……キャリアガス導入系、1306b……加圧
系 1311……第2の排気系、1311b……排気手段 1312……回収チャンバ、1313……ガス冷却塔 1314……温度調節手段、1315……圧力調節手段 1316……温度センサ、1317……ヒーター、13
18……圧力センサ 1319……酸素濃度センサ、1320……酸素濃度調
節手段 1330……制御手段 1500……処理装置、1501……気密容器、150
1a……気密蓋 1502……第1の排気系 1503a、1503b、1503c……第2の排気系 1504……ガス中和ユニット、1505……油拡散ポ
ンプ 1506……油拡散ポンプ、1507……ロータリーポ
ンプ 1508……ホールディングポンプ 1509a、1509b、1509c……回収チャンバ 1510……キャリアガス導入系、1511……キャリ
アガスリザバー 1512……キャリアガス導入弁、1513……温度調
節手段 1514……圧力調節手段、1515……温度センサ、
1516……ヒーター 1517……圧力センサ、1518……酸素濃度センサ 1519……酸素濃度調節手段、1520……制御手段100 processing apparatus 101 purge chamber 102
1st airtight room 103 ... 2nd airtight room, 104 ... cooling room, 105 ...
… Door, 106 exhaust system 107… trap, 108… carrier gas introduction valve,
109: electric heater 110: exhaust system, 111: neutralizing cooling unit 112: carrier gas introduction valve, 113: electric heater, 114: exhaust system 115: collection chamber, 116: exhaust system, 117 …
... Carrier gas introduction valve 118 ... Trap, 130 ... Pusher, 131 ...
... Drawer 150 ... Object to be processed 200 ... Control panel 201 ... Temperature sensor 202 ...
Pressure sensor 203: oxygen concentration sensor, 204: carrier gas reservoir 403: liquid-circulating system, 404: liquid-ring vacuum pump 508: liquid-ring vacuum pump, 509: liquid-circulating system 602a ... oiling device, 602b ... liquid-sealed vacuum pump, 603a ... exhaust system 603b ... sealing liquid circulation system 1100 ... processing device, 1101 ... hermetic container, 110
2 ... exhaust means 1103 ... collection means, 1104 ... temperature control means, 1
105 pressure adjusting means 1106 temperature sensor 1107 heater 11
08 Pressure sensor 1110 Control means 1111 First condenser 1112 Second condenser 1113 Mercury reservoir 1114 Exhaust gas treatment tower 1200 Processing apparatus 1201 Airtight container 120
2. Exhaust means 1203 Liquid-sealed vacuum pump 1203b Sealed liquid
1204: Sealing liquid circulation system 1205: Temperature adjusting means 1206: Pressure adjusting means 1207: Temperature sensor, 1208: Heater, 12
09 ... Pressure sensor 1210 ... Pressure system, 1210b ... Carrier gas introduction system 1211 ... Oxygen concentration sensor, 1212 ... Oxygen concentration adjusting means 1213 ... Control means 1215 ... Sealing liquid cooling means, 1216 ... Gas Liquid separation unit 1217 Mercury recovery unit 1218 Exhaust gas treatment unit 1219 pH adjustment unit 1220 Sealed liquid reservoir 1231 Ferrite treatment tank 1232 Reduction vaporization tank 1233 Condenser 1234 First mercury settling tank 1235 First mercury separation tank 1236 Washing cooling tower 1237 Second mercury settling tank 1238 Second mercury separation tank 1239 Mercury adsorption tower 1240 ... Mercury absorbing liquid reservoir 1241 ... activated carbon adsorption tower, 1251 ... casing (body ring), 1251a ... ... low-pressure side casing 251b ...... pressure casing, 1253 ...... drive shaft, 1253B ...... shaft seal 1254 ...... impeller, 1254a ...... low pressure side impeller 1254b ...... high side impeller, 1255 ...... inlet, 1
256 exhaust outlet 1257 intermediate cover 1258 sealed liquid inlet 1
259: Sealed liquid discharge port 1260: Gas adsorption unit, 1261: Gas cooling means 1262: Mercury reservoir 1300: Processing device, 1301: Airtight container, 130
2 First exhaust system 1302a Liquid-sealed vacuum pump 1303 Liquid-circulating system 1304 Condenser 1305 Gas neutralizing means 1306 Carrier gas introduction system 1306b Pressurizing system 1311 second exhaust system 1311b exhaust means 1312 recovery chamber 1313 gas cooling tower 1314 temperature adjusting means 1315 pressure adjusting means 1316 temperature sensor 1317 heater 13
18 Pressure sensor 1319 Oxygen concentration sensor 1320 Oxygen concentration adjusting means 1330 Control means 1500 Processing device 1501 Airtight container 150
1a Airtight lid 1502 First exhaust system 1503a, 1503b, 1503c Second exhaust system 1504 Gas neutralization unit 1505 Oil diffusion pump 1506 Oil diffusion pump 1507 Rotary Pump 1508 Holding pump 1509a, 1509b, 1509c Recovery chamber 1510 Carrier gas introduction system, 1511 Carrier gas reservoir 1512 Carrier gas introduction valve, 1513 Temperature control means 1514 Pressure control means 1515 ... temperature sensor,
1516 heater 1517 pressure sensor 1518 oxygen concentration sensor 1519 oxygen concentration adjusting means 1520 control means
Claims (28)
する気密容器と、 前記気密容器内の温度を調節する温度調節手段と、 前記気密容器に接続され、この気密容器内を排気する第
1の排気系を有する圧力調節手段と、 減圧下で前記物体中の第1の金属が気化するように前記
温度調節手段と前記圧力調節手段とを制御する第1の制
御手段と、 前記気密容器と第1の排気系との間に配設され、前記物
体から気化した第1の金属を凝縮させて回収する第1の
回収手段とを具備したことを特徴とする処理装置。1. An airtight container for housing an object containing a first metal that is mercury; a temperature adjusting means for adjusting the temperature in the airtight container; and an airtight container connected to the airtight container and evacuating the airtight container. Pressure adjusting means having a first exhaust system; first controlling means for controlling the temperature adjusting means and the pressure adjusting means such that the first metal in the object is vaporized under reduced pressure; A processing apparatus, comprising: a first recovery unit disposed between a container and a first exhaust system, for condensing and recovering a first metal vaporized from the object.
する気密容器と、 前記気密容器内の温度を調節する温度調節手段と、 前記気密容器に接続され、この気密容器内を排気する封
液循環系を有する液封式真空ポンプを備えた第1の排気
系を有する圧力調節手段と、 減圧下で前記物体中の第1の金属が気化するように前記
温度調節手段と前記圧力調節手段とを制御する第1の制
御手段と、 前記封液循環系に配設され、前記封液により捕捉された
第1の金属を回収する第2の回収手段とを具備したこと
を特徴とする処理装置。2. An airtight container for containing an object containing a first metal that is mercury; temperature adjusting means for adjusting the temperature in the airtight container; and an airtight container connected to the airtight container and evacuating the airtight container. A pressure adjusting means having a first exhaust system provided with a liquid ring vacuum pump having a liquid sealing circulation system; a temperature adjusting means and a pressure adjusting means for evaporating a first metal in the object under reduced pressure; A first control means for controlling the means, and a second recovery means disposed in the sealing liquid circulation system for recovering the first metal captured by the sealing liquid. Processing equipment.
する気密容器と、 前記気密容器内の温度を調節する温度調節手段と、 前記気密容器に接続され、この気密容器内を排気する封
液循環系を有する液封式真空ポンプを備えた第1の排気
系を有する圧力調節手段と、 減圧下で前記物体中の第1の金属が気化するように前記
温度調節手段と前記圧力調節手段とを制御する第1の制
御手段と、 前記気密容器と第1の排気系との間に配設され、前記物
体から気化した第1の金属を凝縮させて回収する第1の
回収手段と、 前記封液循環系に配設され、前記封液に捕捉された第1
の金属を回収する第2の回収手段とを具備したことを特
徴とする処理装置。3. An airtight container for containing an object containing a first metal that is mercury; temperature adjusting means for adjusting the temperature in the airtight container; and connected to the airtight container to exhaust the airtight container. A pressure adjusting means having a first exhaust system provided with a liquid ring vacuum pump having a liquid sealing circulation system; a temperature adjusting means and a pressure adjusting means for evaporating a first metal in the object under reduced pressure; First control means for controlling the means, and first collection means disposed between the hermetic container and the first exhaust system for condensing and collecting the first metal vaporized from the object. A first liquid trapping device disposed in the liquid sealing circulation system and captured by the liquid sealing liquid;
A second recovery means for recovering the metal.
の金属を含有する処理対象物体を収容する気密容器と、 前記気密容器内の温度を調節する温度調節手段と、 前記気密容器に接続され、この気密容器内を減圧する封
液循環系を有する液封式真空ポンプを備えた第1の排気
系を有する第1の圧力調節手段と、 第1の圧力調節手段と切替可能に前記気密容器に接続さ
れ、この気密容器内を減圧する第2の排気系を有する第
2の圧力調節手段と、 第1の排気系により減圧された前記気密容器内で前記物
体中の第1の金属が気化するように、前記温度調節手段
と第1の圧力調節手段とを制御する第1の制御手段と、 第2の排気系により減圧された前記気密容器内で前記物
体中の第2の金属が気化するように前記温度調節手段と
第2の圧力調節手段とを制御する第2の制御手段と、 前記気密容器と第1の排気系との間に配設された、前記
物体から気化した第1の金属を凝縮させて回収する第1
の回収手段と、 前記封液循環系に配設された、前記封液に捕捉された第
1の金属を回収する第2の回収手段と、 前記気密容器と第2の排気系との間に配設された、前記
物体から気化した第2の金属を凝縮させて回収する第3
の回収手段とを具備したことを特徴とする処理装置。4. A first metal which is mercury and a second metal other than mercury.
An airtight container for storing the object to be treated containing the metal of the present invention; a temperature adjusting means for adjusting the temperature in the airtight container; and a liquid connected to the airtight container and having a liquid sealing circulation system for reducing the pressure in the airtight container. A first pressure adjusting means having a first exhaust system provided with a sealed vacuum pump; and a second exhaust connected to the airtight container so as to be switchable with the first pressure adjusting means and reducing the pressure in the airtight container. Pressure adjusting means having a system, and the temperature adjusting means and the first pressure adjusting means such that the first metal in the object is vaporized in the hermetic container depressurized by the first exhaust system. A temperature control unit and a second pressure adjustment unit such that a second metal in the object is vaporized in the hermetic container decompressed by a second exhaust system. Control means for controlling the airtight container, It disposed between the exhaust system of the first to recover by condensing the first metal vaporized from the object
And a second collecting means disposed in the sealing liquid circulation system for collecting the first metal trapped in the sealing liquid, and between the airtight container and the second exhaust system. A third disposed to collect and recover the second metal vaporized from the object;
And a collecting means.
の金属を含有する処理対象物体を収容する気密容器と、 前記気密容器内の温度を調節する温度調節手段と、 前記気密容器に接続され、この気密容器内を減圧する封
液循環系を有する液封式真空ポンプを備えた第1の排気
系を有する第1の圧力調節手段と、 第1の圧力調節手段と切替可能に前記気密容器に接続さ
れ、この気密容器内を減圧する第2の排気系を有する第
2の圧力調節手段と、 第1の排気系により減圧された前記気密容器内で前記物
体中の第1の金属が気化するように、前記温度調節手段
と第1の圧力調節手段とを制御する第1の制御手段と、 第2の排気系により減圧された前記気密容器内で前記物
体中の第2の金属が気化するように前記温度調節手段と
第2の圧力調節手段とを制御する第2の制御手段と、 前記封液循環系に配設された、前記封液に捕捉された第
1の金属を回収する第2の回収手段と、 前記気密容器と第2の排気系との間に配設された第2の
金属を回収する第3の回収手段とを具備したことを特徴
とする処理装置。5. A first metal which is mercury and a second metal other than mercury.
An airtight container for storing the object to be treated containing the metal of the present invention; a temperature adjusting means for adjusting the temperature in the airtight container; and a liquid connected to the airtight container and having a liquid sealing circulation system for reducing the pressure in the airtight container. A first pressure adjusting means having a first exhaust system provided with a sealed vacuum pump; and a second exhaust connected to the airtight container so as to be switchable with the first pressure adjusting means and reducing the pressure in the airtight container. Pressure adjusting means having a system, and the temperature adjusting means and the first pressure adjusting means such that the first metal in the object is vaporized in the hermetic container depressurized by the first exhaust system. A temperature control unit and a second pressure adjustment unit such that a second metal in the object is vaporized in the hermetic container decompressed by a second exhaust system. Second control means for controlling the liquid sealing system A second recovery means for recovering the first metal captured by the sealing liquid; and a second recovery means for recovering the second metal disposed between the airtight container and a second exhaust system. 3. A processing apparatus comprising: (3) a collection unit.
の金属を含有する物体を処理する処理装置であって、 温度調節手段と、封液循環系を有する液封式真空ポンプ
を備えた第1の排気系を有する第1の圧力調節手段とを
備えた第1の気密領域と、 第1の気密領域と開閉可能な隔壁によって隔てられた、
温度調節手段と、第2の排気系を有する第2の圧力調節
手段とを備えた第2の気密領域と、 第1の排気系により減圧された第1の気密領域内で前記
物体中の第1の金属が気化するように、前記温度調節手
段と第1の圧力調節手段とを制御する第1の制御手段
と、 第2の排気系により減圧された第2の気密領域内で前記
物体中の第2の金属が気化するように前記温度調節手段
と第2の圧力調節手段とを制御する第2の制御手段と、 第1の気密領域と第1の排気系との間に配設された、前
記物体から気化した第1の金属を凝縮させて回収する第
1の回収手段と、 前記封液循環系に配設された、前記封液に捕捉された第
1の金属を回収する第2の回収手段と、 第2の気密領域と第2の排気系との間に配設された、前
記物体から気化した第2の金属を凝縮させて回収する第
3の回収手段とを具備したことを特徴とする処理装置。6. A first metal which is mercury and a second metal other than mercury.
A processing apparatus for processing an object containing a metal, comprising: a temperature adjusting means; and a first pressure adjusting means having a first exhaust system provided with a liquid ring vacuum pump having a liquid sealing circulation system. A first hermetic zone, separated from the first hermetic zone by an openable / closable partition,
A second hermetic region including a temperature adjusting device and a second pressure adjusting device having a second exhaust system; and a second airtight region in the object in the first airtight region depressurized by the first exhaust system. First control means for controlling the temperature control means and the first pressure control means so that the first metal is vaporized; and A second control means for controlling the temperature adjustment means and the second pressure adjustment means so that the second metal is vaporized; and a second control means disposed between the first airtight region and the first exhaust system. A first recovery unit that condenses and recovers the first metal vaporized from the object; and a second recovery unit that is disposed in the sealing liquid circulation system and recovers the first metal captured by the sealing liquid. And a second gold vaporized from the object, disposed between the second hermetic zone and the second exhaust system. Processing apparatus characterized by comprising a third collecting means for collecting and condensing the.
の金属を含有する物体を処理する処理装置であって、 温度調節手段と、封液循環系を有する液封式真空ポンプ
を備えた第1の排気系を有する第1の圧力調節手段とを
備えた第1の気密領域と、 第1の気密領域と開閉可能な隔壁によって隔てられた、
温度調節手段と、第2の排気系を有する第2の圧力調節
手段とを備えた第2の気密領域と、 第1の排気系により減圧された第1の気密領域内で前記
物体中の第1の金属が気化するように、前記温度調節手
段と第1の圧力調節手段とを制御する第1の制御手段
と、 第2の排気系により減圧された第2の気密領域内で前記
物体中の第2の金属が気化するように前記温度調節手段
と第2の圧力調節手段とを制御する第2の制御手段と、 前記封液循環系に配設された、前記封液に捕捉された第
1の金属を回収する第2の回収手段と、 第2の気密領域と記気密容器と第2の排気系との間に配
設された、前記物体から気化した第2の金属を凝縮させ
て回収する第3の回収手段とを具備したことを特徴とす
る処理装置。7. A first metal which is mercury and a second metal other than mercury.
A processing apparatus for processing an object containing a metal, comprising: a temperature adjusting means; and a first pressure adjusting means having a first exhaust system provided with a liquid ring vacuum pump having a liquid sealing circulation system. A first hermetic zone, separated from the first hermetic zone by an openable / closable partition,
A second hermetic region including a temperature adjusting device and a second pressure adjusting device having a second exhaust system; and a second airtight region in the object in the first airtight region depressurized by the first exhaust system. First control means for controlling the temperature control means and the first pressure control means so that the first metal is vaporized; and A second control means for controlling the temperature adjusting means and the second pressure adjusting means so that the second metal is vaporized, and the second metal is caught by the sealing liquid provided in the sealing liquid circulation system. Second recovery means for recovering the first metal; and condensing the second metal vaporized from the object, which is disposed between the second hermetic zone, the airtight container, and the second exhaust system. And a third collecting means for collecting the waste water.
設され、前記物体から気化したガスを冷却するガス冷却
手段をさらに具備したことを特徴とする4乃至7のいず
れかに記載の処理装置。8. The apparatus according to claim 4, further comprising a gas cooling means disposed between the second recovery system and the second exhaust system, for cooling gas vaporized from the object. A processing device according to any one of the above.
封液冷却手段と、前記封液のpHを調節するpH調節手
段とをさらに具備したことを特徴とする請求項2乃至8
のいずれかに記載の処理装置。9. The sealing liquid circulation system further includes a sealing liquid cooling unit for cooling the sealing liquid, and a pH adjusting unit for adjusting the pH of the sealing liquid.
A processing device according to any one of the above.
配設され、前記物体から気化したガスを中和するガス中
和手段をさらに具備したことを特徴とする請求項1乃至
9のいずれかに記載の処理装置。10. The apparatus according to claim 1, further comprising gas neutralizing means disposed between said hermetic container and said first exhaust system for neutralizing gas vaporized from said object. A processing device according to any one of the above.
配設され、前記物体から気化したガスを冷却するガス冷
却手段をさらに具備したことを特徴とする請求項1乃至
10のいずれかに記載の処理装置。11. The apparatus according to claim 1, further comprising a gas cooling unit disposed between the airtight container and the first exhaust system, for cooling gas evaporated from the object. A processing device according to any one of the above.
酸素濃度調節手段をさらに具備したことを特徴とする請
求項1乃至11の処理装置。12. The processing apparatus according to claim 1, further comprising an oxygen concentration adjusting means for adjusting an oxygen concentration in said airtight container.
れた気密容器内で水銀である第1の金属を含有する物体
を加熱し第1の金属を含むガスを抽出する第1の抽出工
程と、 前記気密容器と第1の排気系との間で前記ガスから第1
の金属を凝縮させて回収する第1の回収工程とを具備し
たことを特徴とする処理方法。13. A first extraction step of heating an object containing a first metal, which is mercury, and extracting a gas containing the first metal in an airtight container decompressed by a first exhaust system connected thereto. A first gas from the gas between the hermetic container and a first exhaust system;
A first recovery step of condensing and recovering the metal.
系により減圧された気密容器内で水銀である第1の金属
を含有する物体を加熱し第1の金属を含むガスを抽出す
る第1の抽出工程と、 前記液封式真空ポンプの封液により前記ガスから第1の
金属を捕捉して回収する第2の回収工程とを具備したこ
とを特徴とする処理方法。14. An object containing a first metal, which is mercury, is heated in an airtight container decompressed by a first exhaust system equipped with a liquid ring vacuum pump to extract a gas containing the first metal. A processing method comprising: a first extraction step; and a second recovery step of capturing and recovering a first metal from the gas with a liquid sealed by the liquid ring vacuum pump.
系により減圧された気密容器内で水銀である第1の金属
を含有する物体を加熱し第1の金属を含むガスを抽出す
る第1の抽出工程と、 前記気密容器と前記排気系との間で前記ガスから第1の
金属を凝縮させて回収する第1の回収工程と、 前記液封式真空ポンプの封液に前記ガスから第1の金属
を捕捉して回収する第2の回収工程とを具備したことを
特徴とする処理方法。15. An object containing a first metal, which is mercury, is heated in an airtight container decompressed by a first exhaust system equipped with a liquid ring vacuum pump to extract a gas containing the first metal. A first extraction step; a first recovery step of condensing and recovering a first metal from the gas between the hermetic container and the exhaust system; and And a second recovery step of capturing and recovering the first metal from the first method.
系により減圧された気密容器内で水と水銀と樹脂とを構
成材として有する乾電池を加熱し、前記樹脂を熱分解す
るとともに前記水と前記水銀とを含むガスを抽出する第
1の抽出工程と、 前記液封式真空ポンプの封液により前記ガス中の水と水
銀とを捕捉して回収する回収工程とを具備したことを特
徴とする処理方法。16. A dry battery having water, mercury and resin as constituents is heated in a hermetically sealed container decompressed by a first exhaust system equipped with a liquid ring vacuum pump to thermally decompose the resin and heat the dry battery. A first extraction step of extracting a gas containing water and the mercury; and a recovery step of capturing and recovering water and mercury in the gas by sealing the liquid-sealed vacuum pump. Characteristic processing method.
備えた第1の排気系と、第1の排気系と切替可能な第2
の排気系とを備えた気密容器内に、水銀である第1の金
属と水銀以外の第2の金属を含有する物体を収容する工
程と、 第1の排気系により減圧された前記気密容器内で第1の
金属が気化するように前記物体を加熱し、第1の金属を
含むガスを抽出する第1の抽出工程と、 第2の排気系により減圧された前記気密容器内で第2の
金属が気化するように前記物体を加熱し、第2の金属を
含むガスを抽出する第2の抽出工程と、 前記気密容器と第1の排気系との間で第1の金属を凝縮
させて回収する第1の回収工程と、 前記液封式真空ポンプの封液により第1の金属を捕捉し
て回収する第2の回収工程と、 前記気密容器と第2の排気系との間で第2の金属を凝縮
させて回収する第3の回収工程とを具備したことを特徴
とする処理方法。17. A first exhaust system provided with a temperature control means, a liquid ring vacuum pump, and a second exhaust system switchable to the first exhaust system.
Accommodating an object containing a first metal that is mercury and a second metal other than mercury in an airtight container having an exhaust system of A first extraction step of heating the object so that the first metal is vaporized and extracting a gas containing the first metal, and a second extraction step in the hermetic container depressurized by a second exhaust system. A second extraction step of heating the object so that the metal is vaporized and extracting a gas containing a second metal; and condensing the first metal between the hermetic container and the first exhaust system. A first recovery step of recovering, a second recovery step of capturing and recovering the first metal by sealing the liquid with the liquid ring vacuum pump, and a second recovery step between the airtight container and the second exhaust system. A third recovery step of condensing and recovering the second metal.
備えた第1の排気系と、第1の排気系と切替可能な第2
の排気系とを備えた気密容器内に、水銀である第1の金
属と水銀以外の第2の金属を含有する物体を収容する工
程と、 第1の排気系により減圧された前記気密容器内で第1の
金属が気化するように前記物体を加熱し、第1の金属を
含むガスを抽出する第1の抽出工程と、 第2の排気系により減圧された前記気密容器内で第2の
金属が気化するように前記物体を加熱し、第2の金属を
含むガスを抽出する第2の抽出工程と、 前記液封式真空ポンプの封液により第1の金属を捕捉し
て回収する第2の回収工程と、 前記気密容器と第2の排気系との間で第2の金属を凝縮
させて回収する第3の回収工程とを具備したことを特徴
とする処理方法。18. A first exhaust system provided with a temperature control means, a liquid ring vacuum pump, and a second exhaust system switchable with the first exhaust system.
Accommodating an object containing a first metal that is mercury and a second metal other than mercury in an airtight container having an exhaust system of A first extraction step of heating the object so that the first metal is vaporized and extracting a gas containing the first metal, and a second extraction step in the hermetic container depressurized by a second exhaust system. A second extraction step of heating the object so that the metal is vaporized and extracting a gas containing the second metal; and a second step of capturing and recovering the first metal by sealing the liquid with the liquid ring vacuum pump. 2. A processing method comprising: a collecting step of No. 2; and a third collecting step of condensing and collecting a second metal between the hermetic container and a second exhaust system.
系と、第1の排気系と切替可能に接続された第2の排気
系と、加熱手段とを備えた気密容器内に、水と樹脂と水
銀である第1の金属と水銀以外の第2の金属を構成材と
して有する乾電池を収容する工程と、 第1の排気系により減圧された前記気密容器内で前記乾
電池を加熱し、前記樹脂を熱分解するとともに前記水と
第1の金属とを含むガスを抽出する第1の抽出工程と、 前記気密容器と第1の真空ポンプとの間で、第1の金属
を凝縮させて回収するる第1の回収工程と、 前記液封式真空ポンプの封液により前記水と第1の金属
とを捕捉して回収する第2の回収工程と、 第2の排気系により減圧された前記気密容器内で前記乾
電池を加熱し、第2の金属を気化させる第2の抽出工程
と、 前記気密容器と第2の排気系との間で第2の金属を凝縮
させて回収する第3の回収工程とを具備したことを特徴
とする処理方法。19. An airtight container comprising a first exhaust system provided with a liquid ring vacuum pump, a second exhaust system switchably connected to the first exhaust system, and heating means, A step of housing a dry battery having a first metal, which is water, resin, and mercury, and a second metal other than mercury as constituents, and heating the dry battery in the hermetic container which is depressurized by a first exhaust system A first extraction step of thermally decomposing the resin and extracting a gas containing the water and the first metal; and condensing the first metal between the hermetic container and a first vacuum pump. A first collecting step of collecting and collecting the water and the first metal by sealing the liquid with the liquid ring vacuum pump; and a second evacuation system. A second extraction step of heating the dry battery in the hermetic container and vaporizing a second metal. Processing method being characterized in that comprising a third recovery step of recovering by condensing the second metal between the airtight container and the second exhaust system.
系と、第1の排気系と切替可能に接続された第2の排気
系と、加熱手段とを備えた気密容器内に、水と樹脂と水
銀である第1の金属と水銀以外の第2の金属を構成材と
して有する乾電池を収容する工程と、 第1の排気系により減圧された前記気密容器内で前記乾
電池を加熱し、前記樹脂を熱分解するとともに前記水と
第1の金属とを含むガスを抽出する第1の抽出工程と、 前記液封式真空ポンプの封液により前記水と第1の金属
とを捕捉して回収する第2の回収工程と、 第2の排気系により減圧された前記気密容器内で前記乾
電池を加熱し、第2の金属を気化させる第2の抽出工程
と、 前記気密容器と第2の排気系との間で第2の金属を凝縮
させて回収する第3の回収工程とを具備したことを特徴
とする処理方法。20. An airtight container comprising a first exhaust system provided with a liquid ring vacuum pump, a second exhaust system switchably connected to the first exhaust system, and heating means, A step of housing a dry battery having a first metal, which is water, a resin and mercury, and a second metal other than mercury as constituents, A first extraction step of thermally decomposing the resin and extracting a gas containing the water and the first metal; and capturing the water and the first metal with a liquid sealed by the liquid ring vacuum pump. A second collecting step of heating the dry battery in the hermetic container decompressed by a second exhaust system to vaporize a second metal; and a second extracting step of evaporating a second metal. A third recovery step of condensing and recovering the second metal with the exhaust system. Process wherein the.
系と、第1の排気系と切替可能に接続された第2の排気
系と、加熱手段とを備えた気密容器内に、水と樹脂と第
2の金属とを構成材として有する乾電池を収容する工程
と、 第1の排気系により減圧された前記気密容器内で前記乾
電池を加熱し、前記樹脂を熱分解するとともに前記水を
含むガスを抽出する第1の抽出工程と、 前記液封式真空ポンプの封液により前記水を捕捉して回
収する第2の回収工程と、 第2の排気系により減圧された前記気密容器内で前記乾
電池を加熱し、第2の金属を気化させる第2の抽出工程
と、 前記気密容器と第2の排気系との間で第2の金属を凝縮
させて回収する第3の回収工程とを具備したことを特徴
とする処理方法。21. An airtight container comprising a first exhaust system provided with a liquid ring vacuum pump, a second exhaust system switchably connected to the first exhaust system, and a heating means, A step of accommodating a dry battery having water, a resin, and a second metal as constituents; heating the dry battery in the hermetic container depressurized by a first exhaust system to thermally decompose the resin and to form the water; A first extraction step of extracting a gas containing: a second collection step of capturing and collecting the water with a liquid sealed by the liquid ring vacuum pump; and a hermetic container depressurized by a second exhaust system. A second extraction step of heating the dry battery inside to evaporate a second metal, and a third recovery step of condensing and recovering the second metal between the hermetic container and a second exhaust system. A processing method characterized by comprising:
3の回収工程の直後に冷却する冷却工程をさらに具備し
たことを特徴とする請求項17乃至21のいずれかに記
載の処理方法。22. The processing method according to claim 17, further comprising a cooling step of cooling the gas vaporized in the second extraction step immediately after the third recovery step. .
を、前記気密容器と第1の排気系との間で第1の金属の
気化状態を保持したまま中和する中和工程をさらに具備
したことを特徴とする請求項13乃至22のいずれかに
記載の処理方法。23. The method further comprises a neutralization step of neutralizing the gas vaporized in the first extraction step between the airtight container and the first exhaust system while maintaining a vaporized state of the first metal. The processing method according to any one of claims 13 to 22, wherein:
を、前記気密容器と第1の排気系との間で冷却する冷却
工程をさらに具備したことを特徴とする請求項13乃至
23のいずれかに記載の処理方法。24. The method according to claim 13, further comprising a cooling step of cooling the gas vaporized in the first extraction step between the airtight container and the first exhaust system. The processing method described in 1.
排気する排気ガスを活性炭で吸着処理してから排気する
工程をさらに具備したことを特徴とする請求項13乃至
24のいずれかに記載の処理方法。25. The method according to claim 13, further comprising a step of exhausting the exhaust gas exhausted from the first exhaust system or the second exhaust system after performing an adsorption treatment with activated carbon. The processing method described.
行うことを特徴とする請求項13乃至25のいずれかに
記載の処理方法。26. The processing method according to claim 13, wherein the first extraction step is performed by adjusting the oxygen concentration.
行うことを特徴とする請求項13乃至26のいずれかに
記載の処理方法。27. The processing method according to claim 13, wherein the first extraction step is performed at 10 Torr or less.
ことを特徴とする請求項13乃至27のいずれかに記載
の処理方法。28. The processing method according to claim 13, wherein the first extraction step is performed at 150 ° C. or lower.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16161696A JPH108158A (en) | 1996-06-21 | 1996-06-21 | Treating device and treatment |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16161696A JPH108158A (en) | 1996-06-21 | 1996-06-21 | Treating device and treatment |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH108158A true JPH108158A (en) | 1998-01-13 |
Family
ID=15738565
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16161696A Pending JPH108158A (en) | 1996-06-21 | 1996-06-21 | Treating device and treatment |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH108158A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100427598B1 (en) * | 2001-10-23 | 2004-04-28 | 이헌주 | A method and an apparatus for extracting mercury from the wasted mercury cell |
-
1996
- 1996-06-21 JP JP16161696A patent/JPH108158A/en active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100427598B1 (en) * | 2001-10-23 | 2004-04-28 | 이헌주 | A method and an apparatus for extracting mercury from the wasted mercury cell |
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