JPH1052768A - 超音波振動接合用共振器 - Google Patents
超音波振動接合用共振器Info
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- Mechanical Engineering (AREA)
- Apparatuses For Generation Of Mechanical Vibrations (AREA)
- Pressure Welding/Diffusion-Bonding (AREA)
- Wire Bonding (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 経済的で品質信頼性を向上する。
【解決手段】 超音波ホーン１にこれと別体に形成され
た接合作用部２を振動方向Ｘと垂直に進退可能なねじ手
段１ｃ，３ａにより固定的に取り付けたことにより、接
合作用部２が超音波ホーン１の振動と同じように振動し
て、超音波振動による接合を適切に行う。又、接合作用
部２の表面研磨による補修が繰り返されて、接合作用部
２が使用不可能となった場合、超音波ホーン１を装置に
付けたまま、古い接合作用部２を新しい接合作用部２に
交換するだけで、共振状態のチューニングが適切に取ら
れている超音波ホーン１を再使用可能とする。
た接合作用部２を振動方向Ｘと垂直に進退可能なねじ手
段１ｃ，３ａにより固定的に取り付けたことにより、接
合作用部２が超音波ホーン１の振動と同じように振動し
て、超音波振動による接合を適切に行う。又、接合作用
部２の表面研磨による補修が繰り返されて、接合作用部
２が使用不可能となった場合、超音波ホーン１を装置に
付けたまま、古い接合作用部２を新しい接合作用部２に
交換するだけで、共振状態のチューニングが適切に取ら
れている超音波ホーン１を再使用可能とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、重ね合わせた被
接合部材を超音波振動で接合する装置に用いられる共振
器に関する。
接合部材を超音波振動で接合する装置に用いられる共振
器に関する。
【０００２】
【従来の技術】特公昭５４−１３３４９号公報に開示さ
れたように、超音波振動を発生する振動子に結合した共
振器と搭載台とでそれらの間に重ね合わせた被接合部材
を加圧保持し、振動子から共振器に超音波振動を伝達す
ることにより、被接合部材の重ね合わせ面間を接合する
ようにした超音波振動接合装置が知られている。
れたように、超音波振動を発生する振動子に結合した共
振器と搭載台とでそれらの間に重ね合わせた被接合部材
を加圧保持し、振動子から共振器に超音波振動を伝達す
ることにより、被接合部材の重ね合わせ面間を接合する
ようにした超音波振動接合装置が知られている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】このような超音波振動
接合装置に用いられる共振器は、アルミニウム、鉄、チ
タン等のいずれか１つの材料で、被接合部材の材質・厚
さ・形状、振動子の発振出力等から設定される形状や大
きさに切削加工して１次加工品を作り、この１次加工品
を振動子に結合して実際に振動させて、その共振状態が
所望の状態となるように、長さや太さを調整するような
２次加工を１次加工品に施して、共振状態のチューニン
グを行うことで、使用に供されるが、接合時の温度で共
振器の接合作用部が拡散を起こして摩耗する。このよう
な摩耗が繰り返されて、共振器の接合作用部の表面性状
が荒れると、被接合部材の接合不良を発生したり、被接
合部材の表面に接合痕が付いて、品質感及び信頼性に欠
けることから、共振器の接合作用部の表面を研磨して補
修する。しかし、補修には共振器を装置より取り外さな
ければならず、その再組立、調整に多大な労力と時間と
を要する。しかも、接合作用部の研磨しろは、適切な共
振状態を作る関係から、余り多く設定することができ
ず、数回程度の補修で使用不可能となり、不経済であ
る。
接合装置に用いられる共振器は、アルミニウム、鉄、チ
タン等のいずれか１つの材料で、被接合部材の材質・厚
さ・形状、振動子の発振出力等から設定される形状や大
きさに切削加工して１次加工品を作り、この１次加工品
を振動子に結合して実際に振動させて、その共振状態が
所望の状態となるように、長さや太さを調整するような
２次加工を１次加工品に施して、共振状態のチューニン
グを行うことで、使用に供されるが、接合時の温度で共
振器の接合作用部が拡散を起こして摩耗する。このよう
な摩耗が繰り返されて、共振器の接合作用部の表面性状
が荒れると、被接合部材の接合不良を発生したり、被接
合部材の表面に接合痕が付いて、品質感及び信頼性に欠
けることから、共振器の接合作用部の表面を研磨して補
修する。しかし、補修には共振器を装置より取り外さな
ければならず、その再組立、調整に多大な労力と時間と
を要する。しかも、接合作用部の研磨しろは、適切な共
振状態を作る関係から、余り多く設定することができ
ず、数回程度の補修で使用不可能となり、不経済であ
る。
【０００４】そこで、この発明は、接合作用部を共振器
本体を構成する超音波ホーンと別体のチップに形成し、
このチップを超音波ホーンにその振動方向と交差する方
向よりねじ手段で固定して、経済的で品質信頼性を向上
することができる超音波振動接合装置用共振器を提供し
ようとするものである。
本体を構成する超音波ホーンと別体のチップに形成し、
このチップを超音波ホーンにその振動方向と交差する方
向よりねじ手段で固定して、経済的で品質信頼性を向上
することができる超音波振動接合装置用共振器を提供し
ようとするものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】請求項１の重ね合わせた
被接合部材を超音波振動で接合する装置に用いられる共
振器は、超音波振動を発生する振動子に連結される超音
波ホーンと、これに結合される接合作用部とに分割し、
接合作用部を超音波ホーンに振動方向と垂直に進退可能
なねじ手段により固定的に取り付けたことを特徴として
いる。この請求項１の構成によれば、接合作用部を超音
波ホーンに振動方向と垂直に進退可能なねじ手段により
固定的に取り付けることにより、接合作用部が超音波ホ
ーンの振動と同じように振動して、超音波振動による接
合を適切に行うことができる。又、接合作用部の表面研
磨による補修とが繰り返されて、接合作用部が使用不可
能となった場合、超音波ホーンを装置に付けたまま、古
い接合作用部を新しい接合作用部に交換するだけで、共
振状態のチューニングが適切に取られている超音波ホー
ンを再使用することができて、経済的であるうえ、品質
信頼性を向上することができる。
被接合部材を超音波振動で接合する装置に用いられる共
振器は、超音波振動を発生する振動子に連結される超音
波ホーンと、これに結合される接合作用部とに分割し、
接合作用部を超音波ホーンに振動方向と垂直に進退可能
なねじ手段により固定的に取り付けたことを特徴として
いる。この請求項１の構成によれば、接合作用部を超音
波ホーンに振動方向と垂直に進退可能なねじ手段により
固定的に取り付けることにより、接合作用部が超音波ホ
ーンの振動と同じように振動して、超音波振動による接
合を適切に行うことができる。又、接合作用部の表面研
磨による補修とが繰り返されて、接合作用部が使用不可
能となった場合、超音波ホーンを装置に付けたまま、古
い接合作用部を新しい接合作用部に交換するだけで、共
振状態のチューニングが適切に取られている超音波ホー
ンを再使用することができて、経済的であるうえ、品質
信頼性を向上することができる。
【０００６】
【発明の実施の形態】図１は第１実施形態を示し、共振
器本体を構成する超音波ホーン１は、アルミニウム、
鉄、チタン等のいずれか１つの材料で棒状に形成された
一端に、図外のブースタを介在させるか、又は直接、図
外の超音波発生器から供給された電力により所定周波数
の縦波の超音波振動を発生して出力する電気エネルギー
を機械エネルギーに変換する圧電素子又は磁歪素子等か
らなる電気音響変換器又は電気振動変換器である振動子
を同軸に結合し、振動子からブースタを介して伝達され
た超音波振動に共振するか、又は振動子から直接伝達さ
れた超音波振動に共振する、共振周波数の１／２波長の
整数倍の長さを有している。この超音波ホーン１は、そ
の長さが例えば１／２波長の場合は振動子とは反対側の
端部の最大振動振幅点の位置に、１波長の場合は中央の
最大振動振幅点の位置に、超音波ホーン１と別体のアル
ミニウム、鉄、チタン等の中の１つの材料にてチップに
形成された接合作用部２を、超音波ホーン１の振動方向
Ｘと垂直に進退可能なねじ手段としてのねじ部材３で固
定的に取り付けてある。接合作用部２の材料は超音波ホ
ーン１と同一材料でも異種材料でもよいが、被接合部材
であるワークの材質とのつりあいより決められるのが好
ましい。
器本体を構成する超音波ホーン１は、アルミニウム、
鉄、チタン等のいずれか１つの材料で棒状に形成された
一端に、図外のブースタを介在させるか、又は直接、図
外の超音波発生器から供給された電力により所定周波数
の縦波の超音波振動を発生して出力する電気エネルギー
を機械エネルギーに変換する圧電素子又は磁歪素子等か
らなる電気音響変換器又は電気振動変換器である振動子
を同軸に結合し、振動子からブースタを介して伝達され
た超音波振動に共振するか、又は振動子から直接伝達さ
れた超音波振動に共振する、共振周波数の１／２波長の
整数倍の長さを有している。この超音波ホーン１は、そ
の長さが例えば１／２波長の場合は振動子とは反対側の
端部の最大振動振幅点の位置に、１波長の場合は中央の
最大振動振幅点の位置に、超音波ホーン１と別体のアル
ミニウム、鉄、チタン等の中の１つの材料にてチップに
形成された接合作用部２を、超音波ホーン１の振動方向
Ｘと垂直に進退可能なねじ手段としてのねじ部材３で固
定的に取り付けてある。接合作用部２の材料は超音波ホ
ーン１と同一材料でも異種材料でもよいが、被接合部材
であるワークの材質とのつりあいより決められるのが好
ましい。
【０００７】この実施形態の場合、超音波ホーン１はそ
の外側面１ａに円形の凹部１ｂを形成し、凹部１ｂの外
側面１ａ寄りの内周面に雌ねじを形成したねじ孔１ｃを
連接している。接合作用部２は、ねじ孔１ｃより凹部１
ｂに内接嵌合する円板形のチップベース２ａの上面に、
四角柱のような角柱形のチップ本体２ｂを同軸に突設し
ている。チップベース２ａは凹部１ｂの雌ねじが形成さ
れていない部分の深さ以上の厚さを有する。チップ本体
２ｂはねじ部材３の厚さ以上の高さを有する。ねじ部材
３はその外周面にねじ孔１ｃの雌ねじに嵌合する雄ねじ
が形成されたねじ部３ａを有し、その上面にそれよりも
小形な工具掛部３ｂを突設し、その中心に貫通孔３ｃを
形成してある。貫通孔３ｃは、チップベース２ａを凹部
１ｂに収容し、ねじ部材３をねじ孔１ｃに締結する際、
チップ本体２ｂと干渉しない大きさの孔径を有してい
る。
の外側面１ａに円形の凹部１ｂを形成し、凹部１ｂの外
側面１ａ寄りの内周面に雌ねじを形成したねじ孔１ｃを
連接している。接合作用部２は、ねじ孔１ｃより凹部１
ｂに内接嵌合する円板形のチップベース２ａの上面に、
四角柱のような角柱形のチップ本体２ｂを同軸に突設し
ている。チップベース２ａは凹部１ｂの雌ねじが形成さ
れていない部分の深さ以上の厚さを有する。チップ本体
２ｂはねじ部材３の厚さ以上の高さを有する。ねじ部材
３はその外周面にねじ孔１ｃの雌ねじに嵌合する雄ねじ
が形成されたねじ部３ａを有し、その上面にそれよりも
小形な工具掛部３ｂを突設し、その中心に貫通孔３ｃを
形成してある。貫通孔３ｃは、チップベース２ａを凹部
１ｂに収容し、ねじ部材３をねじ孔１ｃに締結する際、
チップ本体２ｂと干渉しない大きさの孔径を有してい
る。
【０００８】この実施形態によれば、接合作用部２のチ
ップベース２ａを超音波ホーン１のねじ孔１ｃより凹部
１ｂに収容し、その接合作用部２のチップ本体２ｂをね
じ部材３の貫通孔３ｃの内部に取り込むようにして、ね
じ部材３のねじ部３ａを超音波ホーン１のねじ孔１ｃに
嵌合し、ねじ部材３の工具掛部３ｂにスパナのような締
結工具を嵌めて、当該締結工具でねじ部材３を超音波ホ
ーン１に締結することで、チップ本体２ｂがねじ部材３
の貫通孔３ｃ及び超音波ホーン１の外周面１ａより突出
すると共に、チップベース２ａがねじ部材３の下面と凹
部１ｂの底面とで挟まれる形態で、接合作用部２が超音
波ホーン１に振動方向Ｘと垂直に進退可能なねじ部材３
のねじ部３ａと超音波ホーン１のねじ孔１ｃとからなる
ねじ手段により、固定的に取り付けられる。この状態に
おいて、チップベース２ａの外周面が凹部１ｂの内周面
に接触し、チップベース２ａの底面が凹部１ｂの底面に
接触しているので、超音波ホーン１をそれに結合した図
外の振動子からの超音波振動に共振した場合、接合作用
部２が凹部１ｂの内部で踊ることなく超音波ホーン１の
振動と同じように振動して、超音波振動による接合を適
切に行うことができる。
ップベース２ａを超音波ホーン１のねじ孔１ｃより凹部
１ｂに収容し、その接合作用部２のチップ本体２ｂをね
じ部材３の貫通孔３ｃの内部に取り込むようにして、ね
じ部材３のねじ部３ａを超音波ホーン１のねじ孔１ｃに
嵌合し、ねじ部材３の工具掛部３ｂにスパナのような締
結工具を嵌めて、当該締結工具でねじ部材３を超音波ホ
ーン１に締結することで、チップ本体２ｂがねじ部材３
の貫通孔３ｃ及び超音波ホーン１の外周面１ａより突出
すると共に、チップベース２ａがねじ部材３の下面と凹
部１ｂの底面とで挟まれる形態で、接合作用部２が超音
波ホーン１に振動方向Ｘと垂直に進退可能なねじ部材３
のねじ部３ａと超音波ホーン１のねじ孔１ｃとからなる
ねじ手段により、固定的に取り付けられる。この状態に
おいて、チップベース２ａの外周面が凹部１ｂの内周面
に接触し、チップベース２ａの底面が凹部１ｂの底面に
接触しているので、超音波ホーン１をそれに結合した図
外の振動子からの超音波振動に共振した場合、接合作用
部２が凹部１ｂの内部で踊ることなく超音波ホーン１の
振動と同じように振動して、超音波振動による接合を適
切に行うことができる。
【０００９】そして、超音波振動による接合作業とチッ
プ本体２ａの表面研磨による補修とが繰り返されて、接
合作用部２が使用不可能となった場合、ねじ部材３の工
具掛部３ｂに前述のような締結工具を嵌めて、ねじ部材
３を緩めて超音波ホーン１より取り外して、当該使用不
能となった古い接合作用部２を超音波ホーン１の凹部１
ｂより取り外す。その後、上記と同じ手順により、新し
い接合作用部２を超音波ホーン１にねじ部材３で固定的
に取り付ければ、超音波ホーン１を繰り返して使用する
ことができる。つまり、超音波ホーン１を装置に付けた
まま、古い接合作用部２を新しい接合作用部２に交換す
るだけで、共振状態のチューニングが適切に取られてい
る超音波ホーン１を再使用することができて、経済的で
あるうえ、品質信頼性を向上することができる。
プ本体２ａの表面研磨による補修とが繰り返されて、接
合作用部２が使用不可能となった場合、ねじ部材３の工
具掛部３ｂに前述のような締結工具を嵌めて、ねじ部材
３を緩めて超音波ホーン１より取り外して、当該使用不
能となった古い接合作用部２を超音波ホーン１の凹部１
ｂより取り外す。その後、上記と同じ手順により、新し
い接合作用部２を超音波ホーン１にねじ部材３で固定的
に取り付ければ、超音波ホーン１を繰り返して使用する
ことができる。つまり、超音波ホーン１を装置に付けた
まま、古い接合作用部２を新しい接合作用部２に交換す
るだけで、共振状態のチューニングが適切に取られてい
る超音波ホーン１を再使用することができて、経済的で
あるうえ、品質信頼性を向上することができる。
【００１０】図２は第２実施形態を示し、接合作用部２
のチップベース２ａの上面と外周面との連接角部に截頭
円錐形の傾斜面部２ｃを形成する一方、ねじ部材３の底
面と貫通孔３ｃとの連接角部に傾斜面部２ｃの傾斜面と
整合する傾斜角度を有する截頭円錐形の傾斜孔３ｄ（図
２のｃ図参照）を形成し、接合作用部２を超音波ホーン
１の凹部１ｂにその振動方向Ｘと垂直に進退可能なねじ
孔１ｃとねじ部３ａとからなるねじ手段により固定的に
取り付ける際に、傾斜面部２ｃと傾斜孔３ｄとによる楔
を利かせてある。
のチップベース２ａの上面と外周面との連接角部に截頭
円錐形の傾斜面部２ｃを形成する一方、ねじ部材３の底
面と貫通孔３ｃとの連接角部に傾斜面部２ｃの傾斜面と
整合する傾斜角度を有する截頭円錐形の傾斜孔３ｄ（図
２のｃ図参照）を形成し、接合作用部２を超音波ホーン
１の凹部１ｂにその振動方向Ｘと垂直に進退可能なねじ
孔１ｃとねじ部３ａとからなるねじ手段により固定的に
取り付ける際に、傾斜面部２ｃと傾斜孔３ｄとによる楔
を利かせてある。
【００１１】この実施形態によれば、超音波ホーン１を
振動子からの超音波振動に共振した場合、その振動に対
し、傾斜面部２ｃと傾斜孔３ｄとによる楔が相互に土手
のように働くので、ねじ部材３による締結を強固にしな
くても、接合作用部２が凹部１ｂの内部で踊ることなく
超音波ホーン１の振動と同じように振動して、超音波振
動による接合を適切に行うことができる。
振動子からの超音波振動に共振した場合、その振動に対
し、傾斜面部２ｃと傾斜孔３ｄとによる楔が相互に土手
のように働くので、ねじ部材３による締結を強固にしな
くても、接合作用部２が凹部１ｂの内部で踊ることなく
超音波ホーン１の振動と同じように振動して、超音波振
動による接合を適切に行うことができる。
【００１２】図３は第３実施形態を示し、超音波ホーン
１が外側面１ａに角形としての四角形に形成された凹部
１ｄを有し、凹部１ｄの外側面１ａ寄りにそれよりも大
径のねじ孔１ｅを凹部１ｄと同軸に有している。接合作
用部２は、凹部１ｄに内接嵌合する四角板形のチップベ
ース２ｄの上面に、角柱形のチップ本体２ｂを同軸に突
設している。チップベース２ｄは凹部１ｄの深さ以上の
厚さを有する。ねじ部材３は接合作用部２のチップベー
ス２ｄを覆う大径なねじ部３ｅの上面に工具掛部３ｂを
同軸に突設し、その中心に貫通孔３ｃを形成している。
１が外側面１ａに角形としての四角形に形成された凹部
１ｄを有し、凹部１ｄの外側面１ａ寄りにそれよりも大
径のねじ孔１ｅを凹部１ｄと同軸に有している。接合作
用部２は、凹部１ｄに内接嵌合する四角板形のチップベ
ース２ｄの上面に、角柱形のチップ本体２ｂを同軸に突
設している。チップベース２ｄは凹部１ｄの深さ以上の
厚さを有する。ねじ部材３は接合作用部２のチップベー
ス２ｄを覆う大径なねじ部３ｅの上面に工具掛部３ｂを
同軸に突設し、その中心に貫通孔３ｃを形成している。
【００１３】この実施形態によれば、チップベース２ｄ
をねじ孔１ｅより凹部１ｄに嵌合し、チップ本体２ｂを
ねじ部材３の貫通孔３ｃの内部に取り込むようにして、
ねじ部材３のねじ部３ｅを超音波ホーン１のねじ孔１ｅ
に嵌合し、ねじ部材３を超音波ホーン１に締結すること
で、振動方向Ｘと垂直に進退可能なねじ孔１ｅとねじ部
３ｅとからなるねじ手段により、接合作用部２が超音波
ホーン１に固定的に取り付けられて凹部１ｄの内部で踊
ることなく超音波ホーン１の振動と同じように振動し
て、超音波振動による接合を適切に行うことができる。
をねじ孔１ｅより凹部１ｄに嵌合し、チップ本体２ｂを
ねじ部材３の貫通孔３ｃの内部に取り込むようにして、
ねじ部材３のねじ部３ｅを超音波ホーン１のねじ孔１ｅ
に嵌合し、ねじ部材３を超音波ホーン１に締結すること
で、振動方向Ｘと垂直に進退可能なねじ孔１ｅとねじ部
３ｅとからなるねじ手段により、接合作用部２が超音波
ホーン１に固定的に取り付けられて凹部１ｄの内部で踊
ることなく超音波ホーン１の振動と同じように振動し
て、超音波振動による接合を適切に行うことができる。
【００１４】又、接合作用部２のチップベース２ｄと超
音波ホーン１の凹部１ｄとを互いに整合する四角形に形
成してあり、チップベース２ｄを凹部１ｄに入れること
で、接合作用部２が超音波ホーン１に正確に位置決めさ
れるので、例えば、図外のワークである被接合部材によ
って、接合作用部２のチップ本体２ｂの接合作用面とし
ての上面をメッシュ（正確に配置された多数の凹凸、一
方向に整列された連続する山と谷のような凹凸）、ブラ
スト（任意に配置された多数の凹凸）等と呼ばれる表面
性状に形成した場合、それらの凹凸を超音波ホーン１の
振動方向Ｘに対し予め設定された角度で正確に配置し
て、被接合部材の接合強度を適切に維持することができ
る。
音波ホーン１の凹部１ｄとを互いに整合する四角形に形
成してあり、チップベース２ｄを凹部１ｄに入れること
で、接合作用部２が超音波ホーン１に正確に位置決めさ
れるので、例えば、図外のワークである被接合部材によ
って、接合作用部２のチップ本体２ｂの接合作用面とし
ての上面をメッシュ（正確に配置された多数の凹凸、一
方向に整列された連続する山と谷のような凹凸）、ブラ
スト（任意に配置された多数の凹凸）等と呼ばれる表面
性状に形成した場合、それらの凹凸を超音波ホーン１の
振動方向Ｘに対し予め設定された角度で正確に配置し
て、被接合部材の接合強度を適切に維持することができ
る。
【００１５】図４は第４実施形態を示し、超音波ホーン
１が凹部１ｂの底面に角形孔としての方形孔１ｆを凹部
１ｂと同軸に有する一方、この方形孔１ｆに内接嵌合す
る凸部２ｄ’（図４のｃ図参照）をチップベース２ａの
底面に同軸に形成し、この凸部２ｄ’を方形孔１ｆに取
り込み、ねじ部材３を超音波ホーン１に締結すること
で、振動方向Ｘと垂直に進退可能なねじ孔１ｃとねじ部
３ａとからなるねじ手段により固定的に取り付ける際
に、接合作用部２の位置決めを行う。
１が凹部１ｂの底面に角形孔としての方形孔１ｆを凹部
１ｂと同軸に有する一方、この方形孔１ｆに内接嵌合す
る凸部２ｄ’（図４のｃ図参照）をチップベース２ａの
底面に同軸に形成し、この凸部２ｄ’を方形孔１ｆに取
り込み、ねじ部材３を超音波ホーン１に締結すること
で、振動方向Ｘと垂直に進退可能なねじ孔１ｃとねじ部
３ａとからなるねじ手段により固定的に取り付ける際
に、接合作用部２の位置決めを行う。
【００１６】この実施形態によれば、凸部２ｄ’を方形
孔１ｆに入れることで、接合作用部２が超音波ホーン１
に正確に位置決めされるので、上記実施形態３と同様に
チップ本体２ｂの接合作用面がメッシュやブラスト等の
表面性状を有する場合、それらの凹凸を超音波ホーン１
の振動方向Ｘに対し予め設定された角度で正確に配置し
て、被接合部材の接合強度を適切に維持することができ
る。
孔１ｆに入れることで、接合作用部２が超音波ホーン１
に正確に位置決めされるので、上記実施形態３と同様に
チップ本体２ｂの接合作用面がメッシュやブラスト等の
表面性状を有する場合、それらの凹凸を超音波ホーン１
の振動方向Ｘに対し予め設定された角度で正確に配置し
て、被接合部材の接合強度を適切に維持することができ
る。
【００１７】図５は第５実施形態を示し、超音波ホーン
１が外側面１ａに平坦面部１ｇを振動方向Ｘと平行に有
し、この平坦面部１ｇに複数のねじ孔１ｈを振動方向Ｘ
と直交する方向に所定間隔を以て形成している。接合作
用部２は外周面に雄ねじが形成されたねじ部２ｅにそれ
よりも大径な円板状のチップ本体２ｆを同軸に連接した
頭付きねじのような形状を有している。チップ本体２ｆ
はその外周面に平行に相対峙する一対の平坦面よりなる
工具掛部２ｇを備えている。
１が外側面１ａに平坦面部１ｇを振動方向Ｘと平行に有
し、この平坦面部１ｇに複数のねじ孔１ｈを振動方向Ｘ
と直交する方向に所定間隔を以て形成している。接合作
用部２は外周面に雄ねじが形成されたねじ部２ｅにそれ
よりも大径な円板状のチップ本体２ｆを同軸に連接した
頭付きねじのような形状を有している。チップ本体２ｆ
はその外周面に平行に相対峙する一対の平坦面よりなる
工具掛部２ｇを備えている。
【００１８】この実施形態によれば、接合作用部２のね
じ部２ｅを超音波ホーン１のねじ孔１ｈに装着して、工
具掛部２ｇに嵌めたスパナのような工具でねじ部２ｅを
ねじ孔１ｈに締結し、チップ本体２ｆのねじ部２ｅより
外側に突出する底面を超音波ホーン１の平坦面部１ｇに
当接することで、振動方向Ｘと垂直に締結可能なねじ部
２ｅとねじ孔１ｈとからなるねじ手段により、接合作用
部２が超音波ホーン１に固定的に取り付けられて超音波
ホーン１の振動と同じように振動して、超音波振動によ
る接合を適切に行うことができる。
じ部２ｅを超音波ホーン１のねじ孔１ｈに装着して、工
具掛部２ｇに嵌めたスパナのような工具でねじ部２ｅを
ねじ孔１ｈに締結し、チップ本体２ｆのねじ部２ｅより
外側に突出する底面を超音波ホーン１の平坦面部１ｇに
当接することで、振動方向Ｘと垂直に締結可能なねじ部
２ｅとねじ孔１ｈとからなるねじ手段により、接合作用
部２が超音波ホーン１に固定的に取り付けられて超音波
ホーン１の振動と同じように振動して、超音波振動によ
る接合を適切に行うことができる。
【００１９】又、複数の接合作用部２を複数のねじ孔１
ｈのそれぞれに締結することで、超音波ホーン１に複数
の接合作用部２を振動方向Ｘと直交する方向に所定間隔
で整列配置することができる。
ｈのそれぞれに締結することで、超音波ホーン１に複数
の接合作用部２を振動方向Ｘと直交する方向に所定間隔
で整列配置することができる。
【００２０】図６は第６実施形態を示し、超音波ホーン
１が平坦面部１ｇに溝１ｉを振動方向Ｘと直交する方向
に延設し、この溝１ｉの底面に複数の貫通孔１ｊを振動
方向Ｘと直交する方向に所定間隔で配置形成し、貫通孔
１ｊの両端の開口縁に傾斜面部１ｋ，１ｍを形成してい
る。接合作用部２は貫通孔１ｊよりも長さが長いねじ部
２ｈ、截頭円錐形の傾斜面部２ｉ、チップ本体２ｆを同
軸に下から上に順に連接した頭付きねじのような形状を
有している。チップ本体２ｆの外周面には溝１ｉの幅と
略同一寸法で平行に相対峙する一対の平坦面により形成
された回止部２ｊを備えている。この接合作用部２のね
じ部２ｈの先端外周面に形成された雄ねじに締結するナ
ット４はそのねじ孔４ａまわりの一端部に傾斜面部１ｋ
に整合する截頭円錐形の傾斜面部４ｂを有する。
１が平坦面部１ｇに溝１ｉを振動方向Ｘと直交する方向
に延設し、この溝１ｉの底面に複数の貫通孔１ｊを振動
方向Ｘと直交する方向に所定間隔で配置形成し、貫通孔
１ｊの両端の開口縁に傾斜面部１ｋ，１ｍを形成してい
る。接合作用部２は貫通孔１ｊよりも長さが長いねじ部
２ｈ、截頭円錐形の傾斜面部２ｉ、チップ本体２ｆを同
軸に下から上に順に連接した頭付きねじのような形状を
有している。チップ本体２ｆの外周面には溝１ｉの幅と
略同一寸法で平行に相対峙する一対の平坦面により形成
された回止部２ｊを備えている。この接合作用部２のね
じ部２ｈの先端外周面に形成された雄ねじに締結するナ
ット４はそのねじ孔４ａまわりの一端部に傾斜面部１ｋ
に整合する截頭円錐形の傾斜面部４ｂを有する。
【００２１】この実施形態によれば、接合作用部２のね
じ部２ｈを超音波ホーン１の溝１ｉより貫通孔１ｊに挿
入し、チップ本体２ｆの回止部２ｊを溝１ｉに内接嵌合
するように挿入配置し、溝１ｉの反対側で貫通孔１ｊよ
り突出するねじ部２ｈにナット４の傾斜面部４ｂ側より
ねじ孔４ａを装着して、ナット４をスパナのような締結
工具で締結すると、接合作用部２の傾斜面部２ｉが超音
波ホーン１の傾斜面部１ｋに当接し、傾斜面部２ｉより
外側に突出するチップ本体２ｆの底面が溝１ｉの底面に
当接し、ナット４の傾斜面部４ｂが超音波ホーン１の傾
斜面部１ｍに当接することで、振動方向Ｘと垂直に締結
可能なねじ部２ｈとねじ孔４ａとからなるねじ手段によ
り、接合作用部２が超音波ホーン１に固定的に取り付け
られる。
じ部２ｈを超音波ホーン１の溝１ｉより貫通孔１ｊに挿
入し、チップ本体２ｆの回止部２ｊを溝１ｉに内接嵌合
するように挿入配置し、溝１ｉの反対側で貫通孔１ｊよ
り突出するねじ部２ｈにナット４の傾斜面部４ｂ側より
ねじ孔４ａを装着して、ナット４をスパナのような締結
工具で締結すると、接合作用部２の傾斜面部２ｉが超音
波ホーン１の傾斜面部１ｋに当接し、傾斜面部２ｉより
外側に突出するチップ本体２ｆの底面が溝１ｉの底面に
当接し、ナット４の傾斜面部４ｂが超音波ホーン１の傾
斜面部１ｍに当接することで、振動方向Ｘと垂直に締結
可能なねじ部２ｈとねじ孔４ａとからなるねじ手段によ
り、接合作用部２が超音波ホーン１に固定的に取り付け
られる。
【００２２】上記ナット４を締結する際、チップ本体２
ｆの回止部２ｊが溝１ｉに取り込まれているので、接合
作用部２を超音波ホーン１に対して確実に回り止めして
的確に固定することができる。
ｆの回止部２ｊが溝１ｉに取り込まれているので、接合
作用部２を超音波ホーン１に対して確実に回り止めして
的確に固定することができる。
【００２３】そして、超音波ホーン１を図外の振動子か
らの超音波振動に共振した場合、その振動に対し、傾斜
面部１ｋ，２ｉ，１ｍ，４ｂ間での楔が相互に土手のよ
うに働いて、ナット４による締結を強固にしなくても、
接合作用部２が踊ることなく超音波ホーン１の振動と同
じように振動して、超音波振動による接合を適切に行う
ことができる。
らの超音波振動に共振した場合、その振動に対し、傾斜
面部１ｋ，２ｉ，１ｍ，４ｂ間での楔が相互に土手のよ
うに働いて、ナット４による締結を強固にしなくても、
接合作用部２が踊ることなく超音波ホーン１の振動と同
じように振動して、超音波振動による接合を適切に行う
ことができる。
【００２４】図７は第７実施形態を示し、頭付きねじの
ような接合作用部２のねじ部２ｈを超音波ホーン１の溝
１ｉより貫通孔１ｊに挿入し、チップ本体２ｆの回止部
２ｊを溝１ｉに内接嵌合するように挿入配置して回り止
めした状態で、溝１ｉの反対側で貫通孔１ｊより突出す
るねじ部２ｈにナット４をスパナのような締結工具で締
結して、接合作用部２を超音波ホーン１に固定的に取り
付けている。
ような接合作用部２のねじ部２ｈを超音波ホーン１の溝
１ｉより貫通孔１ｊに挿入し、チップ本体２ｆの回止部
２ｊを溝１ｉに内接嵌合するように挿入配置して回り止
めした状態で、溝１ｉの反対側で貫通孔１ｊより突出す
るねじ部２ｈにナット４をスパナのような締結工具で締
結して、接合作用部２を超音波ホーン１に固定的に取り
付けている。
【００２５】この実施形態によれば、振動方向Ｘと垂直
に締結可能なねじ部２ｈとねじ孔４ａとからなるねじ手
段により、接合作用部２が超音波ホーン１に固定的に取
り付けられ、超音波ホーン１の振動と同じように振動し
て、超音波振動による接合を適切に行うことができる。
に締結可能なねじ部２ｈとねじ孔４ａとからなるねじ手
段により、接合作用部２が超音波ホーン１に固定的に取
り付けられ、超音波ホーン１の振動と同じように振動し
て、超音波振動による接合を適切に行うことができる。
【００２６】図８は第８実施形態を示し、超音波ホーン
１は平坦面部１ｇに嵌合溝１ｎを振動方向Ｘと直交する
方向に延設し、この嵌合溝１ｎの振動方向Ｘに相対峙す
る面を平坦面部１ｇ側から嵌合溝１ｎの底面側に行くに
従って徐々に間隔が狭くなるような傾斜面部１ｐ，１ｑ
に形成し、この嵌合溝１ｎの底面に複数の貫通孔１ｊを
形成している。接合作用部２は、嵌合溝１ｎに嵌め込ま
れる帯状のチップベース２ｋの上面に、複数のチップ本
体２ｍを振動方向Ｘと直交する方向に所定間隔を以て突
設している。チップベース２ｋの振動方向Ｘに相対峙す
る面は嵌合溝１ｎの傾斜面部１ｐ，１ｑに整合する傾斜
面部２ｎ，２ｐに形成されている。チップベース２ｋの
底面には複数のねじ孔２ｑを貫通孔１ｊと対応する位置
に形成してある。各ねじ孔２ｑには嵌合溝１ｎの反対側
より貫通孔１ｊに挿入された頭付きねじ部材５の先端に
形成されたねじ部５ａが嵌合する。
１は平坦面部１ｇに嵌合溝１ｎを振動方向Ｘと直交する
方向に延設し、この嵌合溝１ｎの振動方向Ｘに相対峙す
る面を平坦面部１ｇ側から嵌合溝１ｎの底面側に行くに
従って徐々に間隔が狭くなるような傾斜面部１ｐ，１ｑ
に形成し、この嵌合溝１ｎの底面に複数の貫通孔１ｊを
形成している。接合作用部２は、嵌合溝１ｎに嵌め込ま
れる帯状のチップベース２ｋの上面に、複数のチップ本
体２ｍを振動方向Ｘと直交する方向に所定間隔を以て突
設している。チップベース２ｋの振動方向Ｘに相対峙す
る面は嵌合溝１ｎの傾斜面部１ｐ，１ｑに整合する傾斜
面部２ｎ，２ｐに形成されている。チップベース２ｋの
底面には複数のねじ孔２ｑを貫通孔１ｊと対応する位置
に形成してある。各ねじ孔２ｑには嵌合溝１ｎの反対側
より貫通孔１ｊに挿入された頭付きねじ部材５の先端に
形成されたねじ部５ａが嵌合する。
【００２７】この実施形態によれば、接合作用部２のチ
ップベース２ｋを超音波ホーン１の嵌合溝１ｎに挿入
し、嵌合溝１ｎの反対側より貫通孔１ｊにねじ部材５を
挿入して、その頭部に形成された図外の工具用孔に挿入
した６角レンチのような工具で、先端のねじ部５ａをね
じ孔２ｑに締結すると、ねじ部材５で接合作用部２のチ
ップベース２ｋが嵌合溝１ｎの底面側に引き込まれ、チ
ップベース２ｋの傾斜面部２ｎ，２ｐと嵌合溝１ｎの傾
斜面部１ｐ，１ｑとが互いに接触して、振動方向Ｘと垂
直に締結可能なねじ部５ａとねじ孔２ｑとからなるねじ
手段により、接合作用部２が超音波ホーン１に固定的に
取り付けられ、超音波ホーン１の振動と同じように振動
して、超音波振動による接合を適切に行うことができ
る。
ップベース２ｋを超音波ホーン１の嵌合溝１ｎに挿入
し、嵌合溝１ｎの反対側より貫通孔１ｊにねじ部材５を
挿入して、その頭部に形成された図外の工具用孔に挿入
した６角レンチのような工具で、先端のねじ部５ａをね
じ孔２ｑに締結すると、ねじ部材５で接合作用部２のチ
ップベース２ｋが嵌合溝１ｎの底面側に引き込まれ、チ
ップベース２ｋの傾斜面部２ｎ，２ｐと嵌合溝１ｎの傾
斜面部１ｐ，１ｑとが互いに接触して、振動方向Ｘと垂
直に締結可能なねじ部５ａとねじ孔２ｑとからなるねじ
手段により、接合作用部２が超音波ホーン１に固定的に
取り付けられ、超音波ホーン１の振動と同じように振動
して、超音波振動による接合を適切に行うことができ
る。
【００２８】この実施形態ではチップ本体２ｍをチップ
ベース２ｋに点在配置した形態を図示して説明したが、
各チップ本体２ｍをチップベース２ｋの延設方向に一連
に連結した帯状に形成しても同様の効果がある。
ベース２ｋに点在配置した形態を図示して説明したが、
各チップ本体２ｍをチップベース２ｋの延設方向に一連
に連結した帯状に形成しても同様の効果がある。
【００２９】図９〜１６は第１〜８実施形態の中のいず
れかを用いた超音波ホーン１の第９〜１６実施形態を示
している。
れかを用いた超音波ホーン１の第９〜１６実施形態を示
している。
【００３０】図９に示す第９実施形態の超音波ホーン１
は、両支持の形態で、共振周波数の１波長の長さを有
し、その長さ方向中央の最大振動振幅点ｆ３に上下で平
行する一対の平坦面部１ｇを有し、一方の平坦面部１ｇ
に複数の接合作用部２を振動方向Ｘと直交方向に所定間
隔で列状に配置するように、図５に示すねじ孔１ｈとね
じ部２ｅとからなるねじ手段により、固定的に取り付け
てある。
は、両支持の形態で、共振周波数の１波長の長さを有
し、その長さ方向中央の最大振動振幅点ｆ３に上下で平
行する一対の平坦面部１ｇを有し、一方の平坦面部１ｇ
に複数の接合作用部２を振動方向Ｘと直交方向に所定間
隔で列状に配置するように、図５に示すねじ孔１ｈとね
じ部２ｅとからなるねじ手段により、固定的に取り付け
てある。
【００３１】図１０に示す第１０実施形態の超音波ホー
ン１は、両支持の形態で、共振周波数の１波長の長さを
有し、その長さ方向中央の最大振動振幅点ｆ３において
上下で平行する一対の平坦面部１ｇのそれぞれに振動方
向Ｘと直交方向に延設された溝１ｉを有し、上側の溝１
ｉに複数の接合作用部２を当該溝１ｉの延設方向に所定
間隔で列状に配置するように、図６に示すねじ部２ｈと
ねじ孔４ａとからなるねじ手段により、固定的に取り付
けてある。下側の溝１ｉの底面には図示は省略したが、
ナット４の図６に示す傾斜面部４ｂが整合する傾斜面部
１ｍを形成してある。
ン１は、両支持の形態で、共振周波数の１波長の長さを
有し、その長さ方向中央の最大振動振幅点ｆ３において
上下で平行する一対の平坦面部１ｇのそれぞれに振動方
向Ｘと直交方向に延設された溝１ｉを有し、上側の溝１
ｉに複数の接合作用部２を当該溝１ｉの延設方向に所定
間隔で列状に配置するように、図６に示すねじ部２ｈと
ねじ孔４ａとからなるねじ手段により、固定的に取り付
けてある。下側の溝１ｉの底面には図示は省略したが、
ナット４の図６に示す傾斜面部４ｂが整合する傾斜面部
１ｍを形成してある。
【００３２】図１１に示す第１１実施形態の超音波ホー
ン１は、両支持の形態で、共振周波数の１波長の長さを
有し、その長さ方向中央の最大振動振幅点ｆ３において
上下で平行する一対の平坦面部１ｇの一方に振動方向Ｘ
と直交方向に延設された嵌合溝１ｎを有し、その嵌合溝
１ｎに図８に示す接合作用部２のチップベース２ｋを挿
入してねじ部材５で締結して、図８に示すねじ部５ａと
ねじ孔２ｑとからなるねじ手段により、固定的に取り付
けてある。
ン１は、両支持の形態で、共振周波数の１波長の長さを
有し、その長さ方向中央の最大振動振幅点ｆ３において
上下で平行する一対の平坦面部１ｇの一方に振動方向Ｘ
と直交方向に延設された嵌合溝１ｎを有し、その嵌合溝
１ｎに図８に示す接合作用部２のチップベース２ｋを挿
入してねじ部材５で締結して、図８に示すねじ部５ａと
ねじ孔２ｑとからなるねじ手段により、固定的に取り付
けてある。
【００３３】図１２に示す第１２実施形態の超音波ホー
ン１は、片支持の形態で、共振周波数の１／２波長の長
さを有し、最小振動振幅点ｆ７より徐々に絞り込まれた
矩形体の最大振動振幅点ｆ８において、上下で平行する
一対の平坦面部１ｇに、複数の接合作用部２を、振動方
向Ｘと直交方向に所定間隔で列状に配置するように、図
５に示すねじ孔１ｈとねじ部２ｅとからなるねじ手段に
より、固定的に取り付けてある。
ン１は、片支持の形態で、共振周波数の１／２波長の長
さを有し、最小振動振幅点ｆ７より徐々に絞り込まれた
矩形体の最大振動振幅点ｆ８において、上下で平行する
一対の平坦面部１ｇに、複数の接合作用部２を、振動方
向Ｘと直交方向に所定間隔で列状に配置するように、図
５に示すねじ孔１ｈとねじ部２ｅとからなるねじ手段に
より、固定的に取り付けてある。
【００３４】図１３に示す第１３実施形態の超音波ホー
ン１は、片支持の形態で、共振周波数の１／２波長の長
さを有し、最小振動振幅点ｆ７より徐々に絞り込まれた
矩形体の最大振動振幅点ｆ８において、上下で平行する
一対の平坦面部１ｇの一方に、振動方向Ｘと直交方向に
延設された嵌合溝１ｎを有し、その嵌合溝１ｎに図８に
示す接合作用部２のチップベース２ｋを挿入してねじ部
材５で締結して、図８に示すねじ部５ａとねじ孔２ｑと
からなるねじ手段により、固定的に取り付けてあるが、
この接合作用部２は図８に示すチップ本体２ｍに代え
て、チップベース２ｋの延設方向に一連に連結した帯状
に形成した形態のチップ本体２ｍ’を備えている。
ン１は、片支持の形態で、共振周波数の１／２波長の長
さを有し、最小振動振幅点ｆ７より徐々に絞り込まれた
矩形体の最大振動振幅点ｆ８において、上下で平行する
一対の平坦面部１ｇの一方に、振動方向Ｘと直交方向に
延設された嵌合溝１ｎを有し、その嵌合溝１ｎに図８に
示す接合作用部２のチップベース２ｋを挿入してねじ部
材５で締結して、図８に示すねじ部５ａとねじ孔２ｑと
からなるねじ手段により、固定的に取り付けてあるが、
この接合作用部２は図８に示すチップ本体２ｍに代え
て、チップベース２ｋの延設方向に一連に連結した帯状
に形成した形態のチップ本体２ｍ’を備えている。
【００３５】図１４に示す第１４実施形態の超音波ホー
ン１は、片支持の形態で、共振周波数の１／２波長の長
さを有し、最小振動振幅点ｆ７より徐々に絞り込まれた
四角柱の最大振動振幅点ｆ８において、前後に相対峙す
る一対の平坦面部１ｇに、尖端を有する丸棒状の接合作
用部２を、図５に示すねじ部２ｅとねじ孔１ｈとからな
るねじ手段により、固定的に取り付けている。
ン１は、片支持の形態で、共振周波数の１／２波長の長
さを有し、最小振動振幅点ｆ７より徐々に絞り込まれた
四角柱の最大振動振幅点ｆ８において、前後に相対峙す
る一対の平坦面部１ｇに、尖端を有する丸棒状の接合作
用部２を、図５に示すねじ部２ｅとねじ孔１ｈとからな
るねじ手段により、固定的に取り付けている。
【００３６】図１５に示す第１５実施形態の超音波ホー
ン１は、片支持の形態で、共振周波数の１／２波長の長
さを有し、最小振動振幅点ｆ７より徐々に絞り込まれた
四角柱の最大振動振幅点ｆ８において、前後に相対峙す
る一対の平坦面部１ｇに、図７に示す接合作用部２を、
ねじ部２ｈとねじ孔４ａとからなるねじ手段により、超
音波ホーン１に固定的に取り付けている。
ン１は、片支持の形態で、共振周波数の１／２波長の長
さを有し、最小振動振幅点ｆ７より徐々に絞り込まれた
四角柱の最大振動振幅点ｆ８において、前後に相対峙す
る一対の平坦面部１ｇに、図７に示す接合作用部２を、
ねじ部２ｈとねじ孔４ａとからなるねじ手段により、超
音波ホーン１に固定的に取り付けている。
【００３７】図１６に示す第１６実施形態の超音波ホー
ン１は、片支持の形態で、共振周波数の１／２波長の長
さを有し、最小振動振幅点ｆ７より徐々に絞り込まれた
四角柱の最大振動振幅点ｆ８において、前後左右の平坦
面部１ｇに、図５に示す接合作用部２を、ねじ部２ｅと
ねじ孔１ｈとからなるねじ手段により、超音波ホーン１
に固定的に取り付けている。
ン１は、片支持の形態で、共振周波数の１／２波長の長
さを有し、最小振動振幅点ｆ７より徐々に絞り込まれた
四角柱の最大振動振幅点ｆ８において、前後左右の平坦
面部１ｇに、図５に示す接合作用部２を、ねじ部２ｅと
ねじ孔１ｈとからなるねじ手段により、超音波ホーン１
に固定的に取り付けている。
【００３８】尚、第９〜１１実施形態では、超音波ホー
ン１の両端の中心には図外のブースタ又は図外の振動子
を結合する際に使用するねじ孔を有しているが、その一
方のねじ孔に符号１ｒを付して図示してある。
ン１の両端の中心には図外のブースタ又は図外の振動子
を結合する際に使用するねじ孔を有しているが、その一
方のねじ孔に符号１ｒを付して図示してある。
【００３９】又、第９〜１１実施形態では、超音波ホー
ン１を図外のブースタ又は図外の振動子に締結する際、
最大振動振幅点ｆ１から最小振動振幅点ｆ２までの部
分、最小振動振幅点ｆ４から最大振動振幅点ｆ５までの
部分のそれぞれに上下で平行に形成された平坦面部１ｓ
に、図外の締結工具を掛けるようになっている。
ン１を図外のブースタ又は図外の振動子に締結する際、
最大振動振幅点ｆ１から最小振動振幅点ｆ２までの部
分、最小振動振幅点ｆ４から最大振動振幅点ｆ５までの
部分のそれぞれに上下で平行に形成された平坦面部１ｓ
に、図外の締結工具を掛けるようになっている。
【００４０】又、第１２〜１３実施形態では、超音波ホ
ーン１を図外のブースタ又は図外の振動子に締結する
際、最大振動振幅点ｆ６から最小振動振幅点ｆ７までの
部分に上下で平行に形成された平坦面部１ｓに、図外の
締結工具を掛けるようになっている。
ーン１を図外のブースタ又は図外の振動子に締結する
際、最大振動振幅点ｆ６から最小振動振幅点ｆ７までの
部分に上下で平行に形成された平坦面部１ｓに、図外の
締結工具を掛けるようになっている。
【００４１】又、第１２〜１６実施形態では、超音波ホ
ーン１の最大振動振幅点ｆ６における端面の中心に、図
外のブースタ又は図外の振動子を結合する際に使用する
図外のねじ孔を有している。
ーン１の最大振動振幅点ｆ６における端面の中心に、図
外のブースタ又は図外の振動子を結合する際に使用する
図外のねじ孔を有している。
【００４２】更に、第１４〜１６実施形態では、超音波
ホーン１を図外のブースタ又は図外の振動子に締結する
際、最大振動振幅点ｆ６から最小振動振幅点ｆ７までの
円柱部の外周面に形成された図外の工具用孔に図外の締
結工具を掛けるようになっている。
ホーン１を図外のブースタ又は図外の振動子に締結する
際、最大振動振幅点ｆ６から最小振動振幅点ｆ７までの
円柱部の外周面に形成された図外の工具用孔に図外の締
結工具を掛けるようになっている。
【図１】 第１実施形態を示し、ａ図は分解斜視図、ｂ
図は組立平面図、ｃ図はｂ図のＡ−Ａ線断面図。
図は組立平面図、ｃ図はｂ図のＡ−Ａ線断面図。
【図２】 第２実施形態を示し、ａ図は分解斜視図、ｂ
図は組立平面図、ｃ図はｂ図のＢ−Ｂ線断面図。
図は組立平面図、ｃ図はｂ図のＢ−Ｂ線断面図。
【図３】 第３実施形態を示し、ａ図は分解斜視図、ｂ
図は組立平面図、ｃ図はｂ図のＣ−Ｃ線断面図。
図は組立平面図、ｃ図はｂ図のＣ−Ｃ線断面図。
【図４】 第４実施形態を示し、ａ図は分解斜視図、ｂ
図は組立平面図、ｃ図はｂ図のＤ−Ｄ線断面図。
図は組立平面図、ｃ図はｂ図のＤ−Ｄ線断面図。
【図５】 第５実施形態を示し、ａ図は分解斜視図、ｂ
図はｃ図のＥ−Ｅ線断面図、ｃ図は組立平面図。
図はｃ図のＥ−Ｅ線断面図、ｃ図は組立平面図。
【図６】 第６実施形態を示し、ａ図は分解斜視図、ｂ
図はｃ図のＦ−Ｆ線断面図、ｃ図は組立平面図。
図はｃ図のＦ−Ｆ線断面図、ｃ図は組立平面図。
【図７】 第７実施形態を示し、ａ図は分解斜視図、ｂ
図はｃ図のＧ−Ｇ線断面図、ｃ図は組立平面図。
図はｃ図のＧ−Ｇ線断面図、ｃ図は組立平面図。
【図８】 第８実施形態を示し、ａ図は分解斜視図、ｂ
図はｃ図のＨ−Ｈ線断面図、ｃ図は組立平面図。
図はｃ図のＨ−Ｈ線断面図、ｃ図は組立平面図。
【図９】 第９実施形態を示す斜視図。
【図１０】 第１０実施形態を示す斜視図。
【図１１】 第１１実施形態を示す斜視図。
【図１２】 第１２実施形態を示す斜視図。
【図１３】 第１３実施形態を示す斜視図。
【図１４】 第１４実施形態を示す斜視図。
【図１５】 第１５実施形態を示す斜視図。
【図１６】 第１６実施形態を示す斜視図。
１ 超音波ホーン １ａ 外側面 １ｂ，１ｄ 凹部 １ｃ，１ｅ，１ｈ，２ｑ，４ａ ねじ孔 １ｋ，１ｍ，１ｐ，１ｑ，２ｃ，２ｎ，２ｐ，３ｄ，４
ｂ 傾斜面部 ２ 接合作用部 ２ａ，２ｄ，２ｋ チップベース ２ｂ，２ｆ，２ｍ，２ｍ’ チップ本体 ２ｅ，２ｈ，３ａ，３ｅ，５ａ ねじ部 ３，５ ねじ部材 ４ ナット
ｂ 傾斜面部 ２ 接合作用部 ２ａ，２ｄ，２ｋ チップベース ２ｂ，２ｆ，２ｍ，２ｍ’ チップ本体 ２ｅ，２ｈ，３ａ，３ｅ，５ａ ねじ部 ３，５ ねじ部材 ４ ナット
Claims (1)
- 【請求項１】 重ね合わせた被接合部材を超音波振動で
接合する装置に用いられる共振器において、超音波振動
を発生する振動子に連結される超音波ホーンと、これに
結合される接合作用部とに分割し、接合作用部を超音波
ホーンに振動方向と垂直に進退可能なねじ手段により固
定的に取り付けたことを特徴とする超音波振動接合用共
振器。
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|---|---|
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