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JPH03274407A - 成形品の表面状態検査装置 - Google Patents

成形品の表面状態検査装置

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Publication number
JPH03274407A
JPH03274407A JP7351490A JP7351490A JPH03274407A JP H03274407 A JPH03274407 A JP H03274407A JP 7351490 A JP7351490 A JP 7351490A JP 7351490 A JP7351490 A JP 7351490A JP H03274407 A JPH03274407 A JP H03274407A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
molded product
light
light intensity
pattern
value width
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP7351490A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2873601B2 (ja
Inventor
Naoaki Tanizaki
谷崎 直昭
Tetsuya Okamura
哲也 岡村
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sumitomo Heavy Industries Ltd
Original Assignee
Sumitomo Heavy Industries Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sumitomo Heavy Industries Ltd filed Critical Sumitomo Heavy Industries Ltd
Priority to JP7351490A priority Critical patent/JP2873601B2/ja
Publication of JPH03274407A publication Critical patent/JPH03274407A/ja
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Publication of JP2873601B2 publication Critical patent/JP2873601B2/ja
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は成形品、特に射出成形品の表面状態。
例えば表面の粗さの程度、ひげの有無等を検査する装置
に関する。
(従来の技術) 射出成形品の外観品質、すなわち表面状態を低下させる
不良要因として1転写不良、ひけ、そり等がある。従来
、これらの不良要因の台無の検査は 目視で行われてい
るのか普通であり、検査結果に個人差を生ずることは避
けられない。
(発明が解決しようとする課8) ところで この種の表面状態の検査は、単に不良品を発
見して除外するためたけてなく、射出成形機の成形条件
を最適にするための一助にすることが望ましい。特に、
精密成形の場合9表面状態の検査結果を成形条件にフィ
ードバックすることか品質向上の点から重要になると思
われる。しかしなから 検査結果をフィ・−ドパツクす
るためには、検査結果を定量化することか必要となる。
本発明の課題は、成形品表面の粗さ、ひけ等の表面状態
を自動検査する装置を提供することにある。
本発明はまた。成形品の表面状態の検査結果を定量化し
て出力できるようにして成形機の成形条件をフィードバ
ック制御するのに適した表面状態検査装置を提供しよう
とするものである。
(課題を解決するための手段) 本発明による表面状態検査装置は、成形品表面にレーザ
スポット光を照射する手段と、前記レーザスポット光の
反射光を受光して光強度のパターンを検出する光強度パ
ターン検出手段と2該光強度パターン検出手段で検出さ
れたパターンからあらかじめ定められた特徴量を抽出し
該特徴量から前記成形品表面の粗さ2ひけ等の表面状態
を判定する手段とを有する。
前記特徴量としては、光強度の半値幅、1/3値幅、2
/3値幅等を抽出するのか望ましい。
(作用) 本発明による表面状態検査装置は、レーザスポット光を
成形品表面に照射して得られる正反射方向の光強度パタ
ーンから半値幅あるいは1/3値幅及び2/3値幅等の
特徴量を抽出し、その特徴量からしきい値処理あるいは
ファジィ推論を行うことにより表面の粗さの程度、ひげ
の有無を定量的に判定する。
(実施例) 以下1本発明の好ましい実施例について説明する。
第1図において1本発明による表面状態検査装置は射出
成形品11にレーザスポット光を照射するためのレーザ
光源12.射出成形品11からの正反射光を受光して光
強度のパターンを検出するパターン検出センサ13.こ
のパターン検出センサ13で検出されたパターンから特
徴量を抽出して成形品の表面状態の定量的判定を行う判
定装置14、及びこの判定装置14からの光強度パター
ンや判定結果を表示するため表示装置15を含む。
パターン検出センサ13は、CCDアレイやその他の受
光素子アレイで構成され、成形品表面の粗さや傾きの程
度により反射光の光強度パターンか変化するので、成形
品全体の画像から空間周波数の成分を抽出して表面状態
を検査する場合に比べて判定のための処理を高速にでき
る。
第2図には、射出成形品11の表面にレーザスポット光
を射出した時の反射光の強度の分布状態を示す。
第3図は、第2図に示された状態での入射光反射光の光
強度パターンの一例を示す。入射光は。
スポット光であるので第3図(a)のように光軸位置に
鋭いピークを持つが、入射光か射出成形品の粗い表面で
散乱されると第3図(b)のようになだらかな正規分布
となり1表面粗さが改善されるにつれて第3図(a)の
分布状態に近づく。
このような観点から、第4図に示すように、光強度の最
大値pにもとづいて光強度p / 2の半値幅rを定義
することにより、射出成形品表面の粗さを定量化するこ
とかできる。半値幅rか小さいほど鏡面に近くなり、粗
さか増加するにつれて半値幅rも増加する。したがって
、半値幅rをある区間で区切ることにより、成形品表面
の転写不良状態、すなわち粗さを創]定することができ
る。
次に、射出成形品の表面には厚肉、薄肉部の境界でひげ
を生ずることか多いが、ひげかある場合の反射光の光強
度パターンは第5図(b)のようになる。ところか、第
5図(b)のようなパターンは、半値幅「たけては第5
図(a)のようなひげの無いパターンと区別できない。
そこで、第6図に示したように、光強度p/3で規定さ
れる1/3値幅「1 (w幅)、光強度2p/3て規定
される2/3値幅r2  (n幅)を新たに定義する。
成形品表面にひけか無く粗さかある場合にはr、>r2
となるか、ひけを生じている場合には「1とr2とはほ
とんど差か無くなる。
このような観点から1判定装置14においてパターン検
出センサ13からの光強度パターンに対して半値幅r、
1/3値幅rユ、2/3値幅r2の3つの値を特徴量と
して抽出し、これらの容置にヰj出成形品に応してあら
かじめ設定されたしきい値と比較することにより、半値
幅rにより表面状態の粗さを判定し、]/3値幅r、、
2/3値幅r2によりひけの有無1程度を判定すること
かできる。
以上のようなしきい値にもとづく判定装置14の判定ア
ルゴリズムの具体例を以下に説明する。
なお1粗さしきい値−a、ひけしきい値−すとして説明
する。
■粗さ判定 a)0≦r≦aなら 粗さ小 b)r>aなら   粗さ大 なお粗さ度g、(、>0)は g、−(r−a)/aで表わされる。
■ひけ判定 a)r2/r+≦bなら ひけ無し b)1≧r2/rl>bなら ひけ有りなお、ひけ度g
hは、1≧gh >Qという条件のもとてgh ”’ 
(r2/r+−b)/ (1−b)で表わされ、1に近
づくほどひげの度合か高くなる。
■総合判定 a)0≦r≦aかツr 2 / r r ≦bの時 良
品b)a)以外の時 不良品(粗さgel ひけ度gh) 以上の説明は、半値幅r、1/3値幅r、   2/3
値幅r2とこれらに対応するしきい値とから判定を決定
論的に行う場合であるが、ファジィ推論を利用して判定
を行なっても良い。すなわち射出成形品の総合的な検査
には、検査者の感覚的な判断が含まれていると考えられ
るか、ファジィ推論の手法を利用することにより検査者
の感覚に近い判定か可能となる。この場合、射出成形品
の種別に応じてメンパーンツブ関数か設定される。
以下にこの判定のアルゴリズムについて説明する。
但し、粗さr T −r / 4 aとする。ここでr
z4aの時はr−4aとすると 0≦「、≦1となる。
また ひけr7は rh=1 3 (1rz / r+ ) /4 (1b
)とする。但し、0≦rh ≦1である。
■良否判定則は次の通りである。
以下余白 ■粗さrl、ひけrhのメンバーシップ関数は第7図の
ようになる。
■出力メンバーシップ関数は第8図のようになる。
■総合判定 ■1■、■のような判定則及びメンバーシップ関数にも
とづいてファジィ推論を行うことにより0〜1に規格化
された評価値gを得ることができる。その結果。
0≦g≦0.25良品 g>0.25不良品とする。
判定装置14は以上のような判定則にもとづいて射出成
形品の表面状態の良否判定を行うとともに、粗さ度g1
.ひけ度g b等の定量化データを表示装置15に出力
して表示させたり、他の機器。
例えば射出成形機の成形条件設定器にフィードバックし
てフィードバック制御を行わしめるようにする。
なお 本発明の実施例を2種類の判定則にもとづいて説
明してきたが1本発明はこれらの判定則に制限されるも
のではない。
(発明の効果) 本発明によれば射出成形品の表面状態の検査を自動化で
きるようにしたことにより大幅な省力化を実現でき、定
量化された検査結果データか得られるのて 本装置メー
カとユーザとの間で共通の基準を設定することができる
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の一実施例の概略構成を説明するだめの
ブロック図 第2図は射出成形品の表面こレーザスポッ
ト光を射出1−た時の反射光の強度分布状態を示した図
、第3図は第2図の状態での入射光1反射光の光強度パ
ターンの例を示した図第4図は射出成形品の表面粗さの
判定動作を説明するために光強度パターンの一例を示し
た図、第5図、第6図は射出成形品のひげの判定動作を
説明するために光強度パターンの例を示した図、第7図
、第8図は射出成形品の表面状態の判定をファジィ推論
により行う場合のメンバーシップ関数の例を示した図。 図中、ニド・・射出成形品、12・・・レーザ光源。 13・・・パターン検出センサ、14・・・判定装置、
15・・・表示装置。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1)成形品表面にレーザスポット光を照射する手段と、
    前記レーザスポット光の反射光を受光して光強度のパタ
    ーンを検出する光強度パターン検出手段と、該光強度パ
    ターン検出手段で検出されたパターンからあらかじめ定
    められた特徴量を抽出し該特徴量から前記成形品表面の
    粗さ、ひけ等の表面状態を判定する手段とを有する成形
    品の表面状態検査装置。 2)前記特徴量として、光強度の半値幅、1/3値幅、
    2/3値幅等を抽出することを特徴とする請求項1記載
    の表面状態検査装置。
JP7351490A 1990-03-26 1990-03-26 成形品の表面状態検査装置 Expired - Fee Related JP2873601B2 (ja)

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2018168451A1 (ja) * 2017-03-14 2018-09-20 株式会社サイオクス 半導体構造体の製造方法、検査方法および半導体構造体

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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WO2018168451A1 (ja) * 2017-03-14 2018-09-20 株式会社サイオクス 半導体構造体の製造方法、検査方法および半導体構造体
JP2018151321A (ja) * 2017-03-14 2018-09-27 株式会社サイオクス 半導体構造体の製造方法、検査方法および半導体構造体
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