JPH03167868A - Integrated circuit device provided with shielding function; apparatus and method for its manufacture - Google Patents
Integrated circuit device provided with shielding function; apparatus and method for its manufactureInfo
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
本発明は内部回路を周辺磁気から保護するシールド機能
を有する集積回路装置、その製造装置及び製造方法に関
する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Industrial Application] The present invention relates to an integrated circuit device having a shielding function for protecting internal circuits from surrounding magnetism, an apparatus for manufacturing the same, and a method for manufacturing the same.
[従来の技術] 第4図は従来の集積回路装置を示す断面図である。[Conventional technology] FIG. 4 is a sectional view showing a conventional integrated circuit device.
リードフレームl上には接着剤2を介して回路基板3が
固着されている。また、リードフレームlにおける周辺
部には所定のアウターリード(図示せず)が形成されて
いる。回路基板3の上面には配線4がパターン形成され
ている。そして、能動素子5は、回路基板3の略中央部
分の配線4上に搭載されており、金属細線6によって配
線4と電気的に接続されている。受動素子7は、回路基
板3上の配線4のパターン間に跨がって搭載されており
、各接点にて配線4と電気的に接続されている。また、
配線4とリードフレームlのアウターリードとが金属細
線8により接続されている。A circuit board 3 is fixed onto the lead frame l with an adhesive 2 interposed therebetween. Further, predetermined outer leads (not shown) are formed in the peripheral portion of the lead frame l. A pattern of wiring 4 is formed on the upper surface of the circuit board 3. The active element 5 is mounted on the wiring 4 approximately in the center of the circuit board 3 and is electrically connected to the wiring 4 by a thin metal wire 6. The passive element 7 is mounted across the patterns of the wiring 4 on the circuit board 3, and is electrically connected to the wiring 4 at each contact point. Also,
The wiring 4 and the outer lead of the lead frame l are connected by a thin metal wire 8.
これらの回路基板3、能動素子5、受動素子7及び金属
細線6,8はエポキシ樹脂等からなる外装樹脂部10に
より封止されている。These circuit board 3, active element 5, passive element 7, and thin metal wires 6, 8 are sealed with an exterior resin part 10 made of epoxy resin or the like.
このように構成された従来の集積回路装置は、内部回路
を磁気から保護するためのシールドが形成されていない
ので、集積回路装置を使用機器に実装した後、この実装
された状態でプリント基板又はプリント基板の一部をシ
ールド単位として、シールド用金属箔,金属板又は金属
メッシュ等によりシールドして使用に供される。Conventional integrated circuit devices configured in this way do not have a shield to protect the internal circuits from magnetism, so after the integrated circuit device is mounted on the equipment used, it cannot be mounted on a printed circuit board or A part of the printed circuit board is used as a shield unit, and is shielded with a shielding metal foil, metal plate, metal mesh, etc.
第5図は従来の集積回路装置の製造装置及び製造方法を
示す断面図である。FIG. 5 is a sectional view showing a conventional integrated circuit device manufacturing apparatus and manufacturing method.
この製造装置は、下面に凹部を有するモールド成形型(
上型)12bと、上面に凹部を有するモールド成形型1
4b(下型)とを有し、このモールド成形型12b,1
4bの凹部同士を整合させたときに形成される樹脂形成
用キャビティ内に樹脂を注入できるように構成されてい
る。This manufacturing equipment consists of a mold forming die (
upper mold) 12b and a mold forming die 1 having a concave portion on the upper surface
4b (lower mold), and this mold forming die 12b, 1
It is configured such that resin can be injected into the resin forming cavity that is formed when the concave portions 4b are aligned.
従って、この製造装置を使用して集積回路装置を製造す
る場合には、先ず、キャビティの中央に回路基板3が配
置されるようにモールド成形型12b,14bを重ねて
型を組み立て、成形型12b,14b間にリードフレー
ム1の縁部を挟んで固定する。次に、この型12b,1
4bの凹部により形成されるキャビティ内に樹脂を注入
して充填する。これにより、樹脂が固化すると、回路基
板3の周囲に外装樹脂部10(第4図参照)が形成され
、モールド成形型12b,14bを相互に離隔させて取
り外せば、外装樹脂部10により封止された集積回路装
置を製造することができる。Therefore, when manufacturing an integrated circuit device using this manufacturing apparatus, first, the molds 12b and 14b are assembled by stacking the molds 12b and 14b so that the circuit board 3 is placed in the center of the cavity, and then the molds 12b and 14b are assembled. , 14b, and fix the edge of the lead frame 1 between them. Next, this mold 12b, 1
Resin is injected and filled into the cavity formed by the recessed portion 4b. As a result, when the resin solidifies, an exterior resin part 10 (see FIG. 4) is formed around the circuit board 3, and when the molds 12b and 14b are separated from each other and removed, the exterior resin part 10 seals the circuit board. integrated circuit devices can be manufactured.
[発明が解決しようとする課題コ
しかしながら、上述した従来の集積回路装置は、使用機
器に実装する場合にプリント基板又はその一部を単位と
してシールドを設ける必要がある。[Problems to be Solved by the Invention] However, when the above-described conventional integrated circuit device is mounted on a device in use, it is necessary to provide a shield for each printed circuit board or a portion thereof.
このため、シールド用金属箔、金属板及び金属メッシュ
等の構造設計が複雑であり、実装工数及び材料費用等が
増加すると共に、使用機器が大型化してしまうという問
題点がある。For this reason, the structural design of the shielding metal foil, metal plate, metal mesh, etc. is complicated, which increases the number of mounting steps and material costs, and also increases the size of the equipment used.
また、従来の集積回路装置の製造装置では、外装樹脂部
10を形成すると同時にその周囲にシールド層を設ける
ということができないため、各集積回路装置を単位とし
てシールドを設けることができないという問題点がある
。Furthermore, in conventional integrated circuit device manufacturing equipment, it is not possible to simultaneously form the exterior resin portion 10 and provide a shield layer around it, so there is a problem that a shield cannot be provided for each integrated circuit device. be.
本発明はかかる問題点に鑑みてなされたものであって、
回路基板の周囲にシールド層が形成され、集積回路装置
を単位としてシールドを設けることができるシールド機
能を有する集積回路装置並びに樹脂封止工程においてシ
ールド層を同時に且つ容易に形成することができるシー
ルド機能を有する集積回路装置の製造装置及び製造方法
を提供することを目的とする。The present invention has been made in view of such problems, and includes:
An integrated circuit device having a shielding function in which a shield layer is formed around the circuit board and a shield can be provided for each integrated circuit device, and a shielding function that allows a shield layer to be simultaneously and easily formed in a resin sealing process. An object of the present invention is to provide a manufacturing apparatus and a manufacturing method for an integrated circuit device having the following features.
[課題を解決するための手段コ
本発明に係るシールド機能を有する集積回路装置は、リ
ードフレーム上に設置された回路基板と、この回路基板
上に搭載されると共に前記リードフレームに接続された
半導体素子と、この半導体素子を含む前記回路基板を封
止する樹脂部と、この樹脂部の内部又は表面に前記回路
基板及び半導体素子を取り囲んで設けられたシールド層
とを有することを特徴とする。[Means for Solving the Problems] An integrated circuit device having a shielding function according to the present invention includes a circuit board installed on a lead frame, and a semiconductor mounted on the circuit board and connected to the lead frame. The semiconductor device is characterized by having a resin part for sealing an element, the circuit board including the semiconductor element, and a shield layer provided inside or on the resin part to surround the circuit board and the semiconductor element.
また、本発明に係るシールド機能を有する集積回路装置
の製造装置は、組み合わされて内部に樹脂成形用キャビ
ティを形成する1対のモールド成形型と、この各モール
ド成形型内に設置された磁石部材とを有することを特徴
とする。Further, the manufacturing apparatus for an integrated circuit device having a shielding function according to the present invention includes a pair of molds that are combined to form a resin molding cavity therein, and a magnet member installed in each of the molds. It is characterized by having the following.
更に、本発明に係るシールド機能を有する集積回路装置
の製造方法は、磁石部材を設けた第1及び第2の成形型
内にシールド材を前記磁石部材の磁力により固定して配
置する工程と、半導体素子が搭載された回路基板を前記
第1及び第2の成形型のキャビティに装入して前記各成
形型を組み立てる工程と、前記成形型のキャビティ内に
樹脂を注入して固化させる工程とを有することを特徴と
する。Furthermore, the method for manufacturing an integrated circuit device having a shielding function according to the present invention includes a step of arranging a shielding material fixed by the magnetic force of the magnet member in first and second molds provided with a magnet member; a step of assembling each of the molds by inserting a circuit board on which a semiconductor element is mounted into the cavities of the first and second molds; and a step of injecting resin into the cavity of the mold and solidifying it. It is characterized by having the following.
[作用]
本発明においては、半導体素子を含む回路基板を封止す
る樹脂部の内部又は表面にシールド層が形成され゛てい
る。このため、このシールド層により集積回路装置の内
部回路を周辺磁気から保護することができるので、各集
積回路装置を単位としてシールドを設けることができる
。従って、このシールド機能を有する集積回路装置を使
用機器に実装すれば、実装後にプリント基板の全体又は
一部を単位としてシールドを形成する必要がなくなる。[Function] In the present invention, a shield layer is formed inside or on the surface of a resin part that seals a circuit board containing a semiconductor element. Therefore, this shield layer can protect the internal circuits of the integrated circuit device from the surrounding magnetism, so that a shield can be provided for each integrated circuit device. Therefore, if an integrated circuit device having this shielding function is mounted on a device to be used, there is no need to form a shield for the whole or part of the printed circuit board after mounting.
従って、実装後のシールド構造の設計工数及び実装工数
を削減できると共に、使用機器の小型化を図ることがで
きる。Therefore, the man-hours for designing and mounting the shield structure after mounting can be reduced, and the equipment used can be downsized.
また、個々の集積回路装置毎に必要最小限のシールド層
を形成することができるので、シールド層の材料費用を
低減できると共に、周辺磁気から集積回路装置を確実に
保護することができる。Furthermore, since the minimum necessary shield layer can be formed for each integrated circuit device, the cost of materials for the shield layer can be reduced, and the integrated circuit device can be reliably protected from surrounding magnetism.
一方、本発明に係るシールド機能を有する集積回路装置
の製造装置においては、各モールド成形型内に設置され
た磁石部材の磁力によってキャビティ内の所定位置にシ
ールド材を配置固定できる。On the other hand, in the manufacturing apparatus for an integrated circuit device having a shielding function according to the present invention, the shielding material can be arranged and fixed at a predetermined position in the cavity by the magnetic force of the magnet member installed in each mold.
このため、この装置を使用する本発明方法においては、
先ず、シールド材を上述の如くキャビテイ内に固定して
配置する。次に、半導体素子を含む回路基板を前記シー
ルド材に囲まれた位置のキャビティ内に装入して前記各
成形型を組み立てた後に、このキャビティ内にモールド
樹脂を注入し、固化させる。そうすると、前記シールド
材は前記磁石部材により固定されているので、注入樹脂
流により移動してしまうことはなく、半導体素子を含む
回路基板の周囲に封止樹脂部が形成されると共に、この
回路基板を取り囲むようにシールド材が樹脂部の表面又
は内部に配置される。Therefore, in the method of the present invention using this device,
First, the shield material is fixed and placed inside the cavity as described above. Next, after a circuit board including a semiconductor element is inserted into a cavity surrounded by the shielding material and each of the molds is assembled, a molding resin is injected into the cavity and solidified. Then, since the shield material is fixed by the magnet member, it will not move due to the injection resin flow, and a sealing resin portion is formed around the circuit board including the semiconductor element, and this circuit board A shield material is placed on or inside the resin part so as to surround it.
こめよりにして、シールド機能を有する集積回路装置を
容易に製造することができる。As a result, an integrated circuit device having a shielding function can be easily manufactured.
[実施例]
次に、本発明の実施例について添付の図面を参照して説
明する。[Example] Next, an example of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.
第1図は本発明の実施例に係るシールド機能を有する集
積回路装置を示す断面図である。第4図及び第5図と同
一物には同一符号を付してその部分の詳細な説明は省略
する。FIG. 1 is a sectional view showing an integrated circuit device having a shielding function according to an embodiment of the present invention. Components that are the same as those in FIGS. 4 and 5 are given the same reference numerals, and detailed explanations of those portions will be omitted.
第1図に示すように、能動素子5及び受動素子7が搭載
された回路基板3の周囲は、例えばエポキシ樹脂を固化
させて形成した外装樹脂部10により封止されており、
この外装樹脂部10の表面にはシールド層8が形成され
ている。このシールド層9は、例えば42合金(42重
量%N it残部Fe)板、ニッケルメッキ処理が施さ
れた銅箔、銅板、アルミニウム箔又はアルミニウム板等
の磁場を遮蔽する機能を有する材料で成形されている。As shown in FIG. 1, the periphery of the circuit board 3 on which the active element 5 and the passive element 7 are mounted is sealed with an exterior resin part 10 formed by solidifying epoxy resin, for example.
A shield layer 8 is formed on the surface of this exterior resin part 10. This shield layer 9 is formed of a material that has a function of shielding a magnetic field, such as a 42 alloy (42% by weight Nit, balance Fe) plate, nickel-plated copper foil, copper plate, aluminum foil, or aluminum plate. ing.
また、シールド層8は、一般的にリードフレーム1のア
ウターリードの接地ピンに溶接、圧接又は半田付け等の
方法によって接続されている。Further, the shield layer 8 is generally connected to the ground pin of the outer lead of the lead frame 1 by welding, pressure welding, soldering, or the like.
本実施例によれば、回路基板3を封止する外装樹脂部1
0の表面を被覆するようにシールド層9が形成されてい
る。このため、このシールド層9によって周辺磁気から
能動素子5及び受動素子7を保護することができるので
、各集積回路装置を単位としてシールドを設けることが
できる。従って、この集積回路装置をプリント基板上に
実装した後に、プリント基板又はその一部を単位として
シールドを設ける必要がなくなり、シールド構造の設計
が不要になると共に、実装工数の低減及びシールド材料
の節減が可能になる。また、使用機器を小型化すること
ができる。According to this embodiment, the exterior resin part 1 sealing the circuit board 3
A shield layer 9 is formed to cover the surface of 0. Therefore, the active element 5 and the passive element 7 can be protected from the surrounding magnetism by the shield layer 9, so that a shield can be provided for each integrated circuit device. Therefore, after this integrated circuit device is mounted on a printed circuit board, it is no longer necessary to provide a shield for each printed circuit board or a part thereof, eliminating the need to design a shield structure, reducing mounting man-hours, and saving shielding materials. becomes possible. Moreover, the equipment used can be downsized.
第2図は本発明のシールド機能を有する集積回路装置の
製造装置及び製造方法の第1の実施例を示す断面図であ
る。FIG. 2 is a sectional view showing a first embodiment of the manufacturing apparatus and method for manufacturing an integrated circuit device having a shielding function according to the present invention.
第2図に示すように、モールド成形型(下型)14は上
面に凹部が形成されている。このモールド成形型14の
凹部には、マグネット13がモールド成形型14を下面
から挿通して配置されている。一方、モールド成形型(
上型)12は下面に凹部が形成されており、このモール
ド成形型l2の凹部には、マグネット11がモールド成
形型12を上面から挿通して配置されている。そして、
この1対のモールド成形型12.14の凹部を整合させ
て両者を重ね合わせることにより樹脂形成用キャビティ
が形成される。モールド成形型12,14は、これを組
み立てた後、そのキャビティ内に樹脂を注入できるよう
に構成されている。As shown in FIG. 2, the molding die (lower die) 14 has a concave portion formed on its upper surface. The magnet 13 is placed in the recess of the mold 14 so as to be inserted through the mold 14 from below. On the other hand, the mold forming die (
The upper mold 12 has a recess formed in its lower surface, and the magnet 11 is inserted into the recess of the mold 12 from above and placed therein. and,
A resin forming cavity is formed by aligning the concave portions of the pair of molds 12 and 14 and overlapping them. The molds 12 and 14 are configured so that resin can be injected into their cavities after they are assembled.
このように構成された装置を使用して本実施例方法を実
施する場合には、先ず、モールド成形型12及び14の
内面に夫々マグネット1l及び13の磁力によってシー
ルド材(シールド層9)を固定する。次に、モールド成
形型14の上面凹部の中央部に回路基板3が配置される
ように、リードフレームlをモールド成形型14の重ね
合わせ面上に載置する。When carrying out the method of this embodiment using the apparatus configured as described above, first, the shield material (shield layer 9) is fixed to the inner surfaces of the molds 12 and 14 by the magnetic force of the magnets 1l and 13, respectively. do. Next, the lead frame 1 is placed on the overlapping surface of the mold 14 so that the circuit board 3 is placed in the center of the recess on the upper surface of the mold 14.
次に、モールド成形型12の下面凹部をモールド成形型
14の上面凹部に整合させて型12及び型14を重ね合
わせ、両者間でリードフレーム1を挟み込む。次いで、
キャビティ内に樹脂を充填させ、固化させることにより
、外装樹脂部10(第1図参照)を形成する。Next, the lower surface recess of the mold 12 is aligned with the upper surface recess of the mold 14, the molds 12 and 14 are overlapped, and the lead frame 1 is sandwiched between them. Then,
The exterior resin part 10 (see FIG. 1) is formed by filling the cavity with resin and solidifying it.
本実施例によれば、例えば、約30乃至150秒のモー
ルド成形工程期間(キュアタイム)中、注入樹脂の流動
に抗してキャビティ内にシールド材を固定することがで
きるので、シールド機能を有する集積回路装置を容易に
製造するZとができる。According to this embodiment, for example, during the molding process period (cure time) of about 30 to 150 seconds, the shielding material can be fixed in the cavity against the flow of the injected resin, so it has a shielding function. It is possible to easily manufacture integrated circuit devices.
第3図は本発明のシールド機能を有する集積回路装置の
製造装置及び製造方法の第2の実施例を示す断面図であ
る。FIG. 3 is a sectional view showing a second embodiment of the manufacturing apparatus and method for manufacturing an integrated circuit device having a shielding function according to the present invention.
第3図に示すように、モールド成形型14aはその上面
にキャビティ形成用の凹部が形成されている。そして、
マグネット13aがモールド成形型14aを下面から垂
直に挿通し、一部がモールド成形型14aの前記凹部内
に突出して配置されている。一方、モールド成形型12
aはその下面にキャビティ形成用の凹部が形成されてい
る。このモールド成形型12aの凹部には、モールド成
形型12aを上面から垂直に挿通するマグネット11a
がその一部を突出させて配設されている。As shown in FIG. 3, the mold 14a has a recessed portion for forming a cavity formed on its upper surface. and,
The magnet 13a is vertically inserted into the mold 14a from the lower surface thereof, and a portion thereof is disposed so as to protrude into the recessed portion of the mold 14a. On the other hand, the mold forming die 12
A is formed with a recess for forming a cavity on its lower surface. A magnet 11a is inserted into the recess of the mold 12a vertically from the top surface of the mold 12a.
is arranged with a part of it protruding.
そして、この1対のモールド成形型12a,14aの凹
部同士を整合させて両型12a,14aを重ね合わせる
ことにより樹脂形成用キャビティが形成される。Then, by aligning the concave portions of the pair of molding dies 12a, 14a and overlapping both dies 12a, 14a, a resin forming cavity is formed.
このように構成された装置を使用する本実施例方法にお
いては、先ず、マグネットlla及び13aの先端にシ
ールド材(シールド層9a)を磁力により固定し、モー
ルド成形型12a及び14aの凹部の底面とシールド材
との間に所定の隙間をあけてモールド成形型12a及び
14aの内面近傍にシールド材を配置する。次に、モー
ルド成形型14a上の凹部上に回路基板3を配置し、モ
ールド成形型12aの凹部をモールド成形型14aの凹
部に整合させて型1 2 at 1 4 aを重ね合
わせ、両者間にリードフレーム1の縁部を挟み込む。次
いで、キャビティ内に樹脂を充填させ、固化させること
により、シールド層9aを埋め込むようにして外装樹脂
部を形成する。これにより、樹脂部内にシールド層が配
置された集積回路装置が製造される。In the method of this embodiment using the apparatus configured as described above, first, a shielding material (shielding layer 9a) is magnetically fixed to the tips of magnets lla and 13a, and the shielding material (shielding layer 9a) is fixed to the bottom surfaces of the recesses of molds 12a and 14a. The shield material is placed near the inner surfaces of the molds 12a and 14a with a predetermined gap between the shield material and the shield material. Next, the circuit board 3 is placed on the recess on the mold 14a, the recess of the mold 12a is aligned with the recess of the mold 14a, the molds 1 2 at 1 4 a are overlapped, and there is a gap between them. Pinch the edges of lead frame 1. Next, by filling the cavity with resin and solidifying it, an exterior resin part is formed so as to embed the shield layer 9a. As a result, an integrated circuit device in which the shield layer is disposed within the resin portion is manufactured.
本実施例においても、第1の実施例と同様の効果を有す
る。また、本実施例においては、マグネッ}lla及び
13aのキャビティ内突出長を変えることができるので
、片側モールド樹脂厚(リードフレーム又は素子表面と
、樹脂部表面との間)までの任意の位置にシールド層9
aを形成することができる。例えば、樹脂厚が4mmの
場合は、リードフレーム1の上下方向に約2冒■以内で
離隔した任意の位置にシールド層9aを配置することが
できる。This embodiment also has the same effects as the first embodiment. In addition, in this embodiment, since the protruding length of the magnets }lla and 13a into the cavity can be changed, it can be placed at any position up to the thickness of the molded resin on one side (between the lead frame or element surface and the resin part surface). Shield layer 9
A can be formed. For example, when the resin thickness is 4 mm, the shield layer 9a can be placed at any position spaced apart within about 2 mm in the vertical direction of the lead frame 1.
[発明の効果]
以上説明したように本発明によれば、半導体素子を含む
回路基板の周囲にシールド層を形成することにより、各
集積回路装置を単位としてシールド機能を付与すること
ができる。従って、このシールド機能を有する集積回路
装置を各種機器に実装すれば、実装後にシールドを形成
する必要がないので、実装後のシールド構造の設計が不
要により、実装工程を短縮することができると共に、実
装された機器の小型軽量化を図ることができる。[Effects of the Invention] As described above, according to the present invention, by forming a shield layer around a circuit board including a semiconductor element, a shielding function can be provided to each integrated circuit device. Therefore, if an integrated circuit device having this shielding function is mounted on various devices, there is no need to form a shield after mounting, so there is no need to design a shield structure after mounting, and the mounting process can be shortened. It is possible to reduce the size and weight of the mounted equipment.
また、個々の集積回路装置に必要最小限のシールド層を
形成することができるので、シールド用材料を節減でき
ると共に、従来のシールド方法に比して各集積回路装置
についてのシールド効果をより一層向上させることがで
きる。In addition, since it is possible to form the minimum required shield layer on each integrated circuit device, it is possible to save shielding materials and further improve the shielding effect for each integrated circuit device compared to conventional shielding methods. can be done.
更に、本発明に係るシールド機能を有する集積回路装置
の製造方法及び製造方法によれば、磁石部材により樹脂
形成用キャビティ内にシールド材を固定できるので、樹
脂を注入してもシールド材が移動してしまうことはなく
、樹脂部を固化させることにより回路基板の周囲にシー
ルド層を容易に配置することができる。Furthermore, according to the manufacturing method and manufacturing method of an integrated circuit device having a shielding function according to the present invention, since the shielding material can be fixed in the resin forming cavity by the magnetic member, the shielding material does not move even when the resin is injected. By solidifying the resin portion, the shield layer can be easily placed around the circuit board.
第1図は本発明の実施例に係るシールド機能を有する集
積回路装置を示す断面図、第2図は本発明のシールド機
能を有する集積回路装置の製造装置及び製造方法の第1
の実施例を示す断面図、第3図は本発明のシールド機能
を有する集積回路装置の製造装置及び製造方法の第2の
実施例を示す断面図、第4図は従来の集積回路装置を′
示す断面図、第5図は、従来の集積回路装置の製造装置
及び製造方法を示す断面図である。
1;リードフレーム、2;接着剤、3;回路基板、4;
配線、5;能動素子、8.8;金属細線、7;受動素子
、L9a;シールド層、10;外装樹脂部、IL f
lat 13+ 13a;マグネット、12,
12a+ 12b+ 14+ 14a+ 14
b;モールド成形型FIG. 1 is a sectional view showing an integrated circuit device having a shield function according to an embodiment of the present invention, and FIG.
3 is a sectional view showing a second embodiment of the manufacturing apparatus and method for manufacturing an integrated circuit device having a shielding function according to the present invention, and FIG. 4 is a sectional view showing a conventional integrated circuit device.
The sectional view shown in FIG. 5 is a sectional view showing a conventional integrated circuit device manufacturing apparatus and manufacturing method. 1; Lead frame, 2; Adhesive, 3; Circuit board, 4;
Wiring, 5; Active element, 8.8; Metal thin wire, 7; Passive element, L9a; Shield layer, 10; Exterior resin part, IL f
lat 13+ 13a; magnet, 12,
12a+ 12b+ 14+ 14a+ 14
b; Mold molding die
Claims (3)
回路基板上に搭載されると共に前記リードフレームに接
続された半導体素子と、この半導体素子を含む前記回路
基板を封止する樹脂部と、この樹脂部の内部又は表面に
前記回路基板及び半導体素子を取り囲んで設けられたシ
ールド層とを有することを特徴とするシールド機能を有
する集積回路装置。(1) a circuit board installed on a lead frame, a semiconductor element mounted on the circuit board and connected to the lead frame, and a resin part that seals the circuit board including the semiconductor element; An integrated circuit device having a shield function, comprising a shield layer provided inside or on the surface of the resin portion to surround the circuit board and the semiconductor element.
成する1対のモールド成形型と、この各モールド成形型
内に設置された磁石部材とを有することを特徴とするシ
ールド機能を有する集積回路装置の製造装置。(2) An integrated circuit device having a shielding function, comprising a pair of molds that are combined to form a resin molding cavity therein, and a magnet member installed in each of the molds. manufacturing equipment.
ルド材を前記磁石部材の磁力により固定して配置する工
程と、半導体素子が搭載された回路基板を前記第1及び
第2の成形型のキャビティに装入して前記各成形型を組
み立てる工程と、前記成形型のキャビティ内に樹脂を注
入して固化させる工程とを有することを特徴とするシー
ルド機能を有する集積回路装置の製造方法。(3) A step of fixing and arranging the shield material in the first and second molds provided with the magnet member by the magnetic force of the magnet member, and placing the circuit board on which the semiconductor element is mounted in the first and second molds. An integrated circuit device having a shielding function, characterized in that the integrated circuit device has the steps of: inserting the resin into the cavities of the molds and assembling the respective molds; and injecting resin into the cavities of the molds and solidifying the resin. Production method.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1308058A JP2797557B2 (en) | 1989-11-28 | 1989-11-28 | Integrated circuit device having shield function and manufacturing method |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1308058A JP2797557B2 (en) | 1989-11-28 | 1989-11-28 | Integrated circuit device having shield function and manufacturing method |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03167868A true JPH03167868A (en) | 1991-07-19 |
| JP2797557B2 JP2797557B2 (en) | 1998-09-17 |
Family
ID=17976379
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1308058A Expired - Fee Related JP2797557B2 (en) | 1989-11-28 | 1989-11-28 | Integrated circuit device having shield function and manufacturing method |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2797557B2 (en) |
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| US10923444B1 (en) | 2017-05-26 | 2021-02-16 | Mitsubishi Electric Corporation | Semiconductor device |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2797557B2 (en) | 1998-09-17 |
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