JPH0282201A - 合成樹脂製光学部品の多層膜裏面反射鏡 - Google Patents
合成樹脂製光学部品の多層膜裏面反射鏡Info
- Publication number
- JPH0282201A JPH0282201A JP63235556A JP23555688A JPH0282201A JP H0282201 A JPH0282201 A JP H0282201A JP 63235556 A JP63235556 A JP 63235556A JP 23555688 A JP23555688 A JP 23555688A JP H0282201 A JPH0282201 A JP H0282201A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- sio
- synthetic resin
- optical
- thickness
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/08—Mirrors
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/08—Mirrors
- G02B5/0816—Multilayer mirrors, i.e. having two or more reflecting layers
- G02B5/085—Multilayer mirrors, i.e. having two or more reflecting layers at least one of the reflecting layers comprising metal
- G02B5/0858—Multilayer mirrors, i.e. having two or more reflecting layers at least one of the reflecting layers comprising metal the reflecting layers comprising a single metallic layer with one or more dielectric layers
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/08—Mirrors
- G02B5/0816—Multilayer mirrors, i.e. having two or more reflecting layers
- G02B5/085—Multilayer mirrors, i.e. having two or more reflecting layers at least one of the reflecting layers comprising metal
- G02B5/0875—Multilayer mirrors, i.e. having two or more reflecting layers at least one of the reflecting layers comprising metal the reflecting layers comprising two or more metallic layers
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
- Y10T428/26—Web or sheet containing structurally defined element or component, the element or component having a specified physical dimension
- Y10T428/261—In terms of molecular thickness or light wave length
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Optical Elements Other Than Lenses (AREA)
- Surface Treatment Of Optical Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、合成樹脂製光学部品の多層膜裏面反射鏡に関
する。
する。
近年、レンズ等の合成樹脂製光学部品を用いる頻度が高
くなっており、特にカメラ用、ＡＶ用として今後さらに
要求が高くなると思われる合成樹脂製光学部品の一つに
プリズムがある。合成樹脂製光学部品は、ガラス製光学
部品に比して複雑形状化、低コスト化、軽量化を図るこ
とができ、特に異形状プリズム形成等ではガラス製のも
のより加工し易いという利点も有している。
くなっており、特にカメラ用、ＡＶ用として今後さらに
要求が高くなると思われる合成樹脂製光学部品の一つに
プリズムがある。合成樹脂製光学部品は、ガラス製光学
部品に比して複雑形状化、低コスト化、軽量化を図るこ
とができ、特に異形状プリズム形成等ではガラス製のも
のより加工し易いという利点も有している。
ところで、プリズム形成に際しては、射出成形、切削等
で合成樹脂をプリズム形状に加工後、任意の傾斜面に裏
面鏡としてのコーティングが要求される。従来、このコ
ーティングは、ガラスに用いるものと同様の蒸着材料、
成膜構成で行っていた。
で合成樹脂をプリズム形状に加工後、任意の傾斜面に裏
面鏡としてのコーティングが要求される。従来、このコ
ーティングは、ガラスに用いるものと同様の蒸着材料、
成膜構成で行っていた。
（発明が解決しようとする課題）
しかし、合成樹脂製光学部品の場合、ガラスに用いるも
のと同様の蒸着材料、成膜構成でコーティングを行うと
、成膜後にマイクロクランクが発生したり、基板に対す
る膜の密着性が不十分であったり、あるいは蒸着後に異
常はな（でも耐環境試験後にマイクロクランクを発生し
てしまった。
のと同様の蒸着材料、成膜構成でコーティングを行うと
、成膜後にマイクロクランクが発生したり、基板に対す
る膜の密着性が不十分であったり、あるいは蒸着後に異
常はな（でも耐環境試験後にマイクロクランクを発生し
てしまった。
また、カメラ用ペンタプリズム等にあるように、ガラス
製のものでは、一般に裏面鏡としてＡｇをガラス基板に
直接蒸着し、その上に保護膜としてＣｕを薄着する。し
かし、このような成膜構成の膜を合成樹脂、例えばアク
リル樹脂に施した場合、光学性能は満足できても耐久性
能を満足することはできなかった。すなわち、密着性試
験として、膜の表面にセロハンテープを接着させた後、
そのテープをすばやく取り除くセロハンテープ剥離試験
を行うと、膜が基板から簡単に剥離してしまった。さら
に、耐環境試験として、（−２０°Ｃ（ハ）常温（２０
〜２５°（）＋＋６０°Ｃの繰り返しく５回））の熱衝
撃試験を行ったところ、マイクロクランク発生の不具合
が見られた。一方、Ａｇの代わりにＡｆを用い、ＳｉＯ
を保護膜として用いても、上記と同様の現象を生じ、耐
久性を十分に満足することは不可能であった。
製のものでは、一般に裏面鏡としてＡｇをガラス基板に
直接蒸着し、その上に保護膜としてＣｕを薄着する。し
かし、このような成膜構成の膜を合成樹脂、例えばアク
リル樹脂に施した場合、光学性能は満足できても耐久性
能を満足することはできなかった。すなわち、密着性試
験として、膜の表面にセロハンテープを接着させた後、
そのテープをすばやく取り除くセロハンテープ剥離試験
を行うと、膜が基板から簡単に剥離してしまった。さら
に、耐環境試験として、（−２０°Ｃ（ハ）常温（２０
〜２５°（）＋＋６０°Ｃの繰り返しく５回））の熱衝
撃試験を行ったところ、マイクロクランク発生の不具合
が見られた。一方、Ａｇの代わりにＡｆを用い、ＳｉＯ
を保護膜として用いても、上記と同様の現象を生じ、耐
久性を十分に満足することは不可能であった。
本発明は、かかる従来の問題点に迄みてなされたもので
あって、初期性能としての基本的な光学特性（分光反射
率）は再現性を含めて十分に満足でき、また熱衝撃試験
、密着性試験等による耐久性にも優れた合成樹脂製光学
部品の多層Ｍ裏面反射鏡を提供することを目的とする。
あって、初期性能としての基本的な光学特性（分光反射
率）は再現性を含めて十分に満足でき、また熱衝撃試験
、密着性試験等による耐久性にも優れた合成樹脂製光学
部品の多層Ｍ裏面反射鏡を提供することを目的とする。
〔課題を解決するための手段］
上記目的を達成するために、本発明は、第一の手段とし
て、合成樹脂表面上に、該表面側から順に第１層として
光学的Ｍ厚ｎ＋ｄｌがＱ ＜ ｎ ＋ ｄ ＋≦０．１
λ。
て、合成樹脂表面上に、該表面側から順に第１層として
光学的Ｍ厚ｎ＋ｄｌがＱ ＜ ｎ ＋ ｄ ＋≦０．１
λ。
のＳｉＯ層を、第２層として光学的膜厚ｎ１ｄｚが０．
１９λ０≦ｎｚｄｚ≦０．２５λ。のＣｅＯ，層を、第
３層として光学的膜厚ｎ３ｄ３が０．２５λ０≦ｎ３ｄ
３≦０．３λ。のＳｉＯｇ層を、第４層として機械的膜
Ｗ−ｄ４が【００〜２０Ｏｎ個のＡ１層を、第５層とし
て光学的膜厚ｎ５ｄ５が０．１８λ０≦ｎｇｄＢ≦０．
２５λ０のＳｉＯ層を形成して合成樹脂製光学部品の多
層膜裏面反射鏡を構成した。
１９λ０≦ｎｚｄｚ≦０．２５λ。のＣｅＯ，層を、第
３層として光学的膜厚ｎ３ｄ３が０．２５λ０≦ｎ３ｄ
３≦０．３λ。のＳｉＯｇ層を、第４層として機械的膜
Ｗ−ｄ４が【００〜２０Ｏｎ個のＡ１層を、第５層とし
て光学的膜厚ｎ５ｄ５が０．１８λ０≦ｎｇｄＢ≦０．
２５λ０のＳｉＯ層を形成して合成樹脂製光学部品の多
層膜裏面反射鏡を構成した。
第二の手段として、合成樹脂表面上に、該表面側から順
に第１層として光学的膜厚ｎ＋ｄ＋が０＜ｎ、ｄ≦０．
１λ。のＳｉＯ層を、第２層として光学的膜厚ｎ１ｄｚ
が０，１９λ０≦ｎｇｄ、≦０．２５λ。のＣｅｏｚ層
を、第３層として光学的膜厚ｎ３ｄ２が０．２５λ０≦
ｎｏｄ、≦０．３λ。のＳｉＯ２層を、第４層として機
械的膜厚ｄ、が１００〜２００ｒ＋＋ｓのＡｇ層を、第
５層として機械的膜厚ｄ。
に第１層として光学的膜厚ｎ＋ｄ＋が０＜ｎ、ｄ≦０．
１λ。のＳｉＯ層を、第２層として光学的膜厚ｎ１ｄｚ
が０，１９λ０≦ｎｇｄ、≦０．２５λ。のＣｅｏｚ層
を、第３層として光学的膜厚ｎ３ｄ２が０．２５λ０≦
ｎｏｄ、≦０．３λ。のＳｉＯ２層を、第４層として機
械的膜厚ｄ、が１００〜２００ｒ＋＋ｓのＡｇ層を、第
５層として機械的膜厚ｄ。
が１００〜２０Ｏｎ＋ｎのＣｕ層を形成して合成樹脂製
光学部品の多層ＩＩＩ裏面反射鏡を構成した。
光学部品の多層ＩＩＩ裏面反射鏡を構成した。
第三の手段として、合成樹脂表面上に、該表面側から順
に第１層として光学的膜厚ｎ２ｄ２が０＜ｎ２ｄ２≦０
．１λ。のＳｉＯ層を、第２層として光学的膜厚ｎ２ｄ
２がＱ＜ｎ４ｄ４≦０．１λ。のＳ ｉ ０２層を、第
３層として光学的膜厚ｎｘｄｚが０．１９λ０≦ｎ３ｄ
３≦０．２５λ。のＣｅＯ□層を、第４層として光学的
膜厚ｎ、ｄ４が０．２５λ０≦ｎａｄａ≦０．３λ。の
Ｓｉｏ２層を、第５層とじて機械的膜厚ｄ、が１００〜
２００ｎｍのＡ１層を、第６層として光学的膜厚ｎ６ｄ
６が０．１８λ０≦ｎ、ｄ、≦０．２５λ０のＳｉＯ層
を形成して合成樹脂製光学部品の多層膜裏面反射鏡を構
成した。
に第１層として光学的膜厚ｎ２ｄ２が０＜ｎ２ｄ２≦０
．１λ。のＳｉＯ層を、第２層として光学的膜厚ｎ２ｄ
２がＱ＜ｎ４ｄ４≦０．１λ。のＳ ｉ ０２層を、第
３層として光学的膜厚ｎｘｄｚが０．１９λ０≦ｎ３ｄ
３≦０．２５λ。のＣｅＯ□層を、第４層として光学的
膜厚ｎ、ｄ４が０．２５λ０≦ｎａｄａ≦０．３λ。の
Ｓｉｏ２層を、第５層とじて機械的膜厚ｄ、が１００〜
２００ｎｍのＡ１層を、第６層として光学的膜厚ｎ６ｄ
６が０．１８λ０≦ｎ、ｄ、≦０．２５λ０のＳｉＯ層
を形成して合成樹脂製光学部品の多層膜裏面反射鏡を構
成した。
第四の手段として、合成樹脂表面上に、該表面側から順
に第１層として光学的膜厚ｎ１ｄｌがＯ＜ｎ、ｄ≦０．
１λ。の３４０層を、第２層として光学的膜厚ｎ２ｄｚ
がＱ ＜ｎ１ｄｌ≦０．１λ。のＳ ｉ Ｏを層を、第
３層として光学的膜厚ｎ３ｄ３が０．１９λ０≦ｎ３ｄ
３≦０．２５λ。のＣｅＯ，層を、第４層として光学的
膜厚ｎｎｄ４が０．２５λ０≦ｎ４ｄ４≦０．３λ。の
ＳｉＯ□層を、第５層として機械的膜厚ｄ、が１００〜
２００ｎｍのＡｇ［を、第６層として機械的膜厚ｄ、が
１０θ〜２００ｎａのＣｕ１Ｊを形成して合成樹脂製光
学部品の多層膜裏面反射鏡を構成した。
に第１層として光学的膜厚ｎ１ｄｌがＯ＜ｎ、ｄ≦０．
１λ。の３４０層を、第２層として光学的膜厚ｎ２ｄｚ
がＱ ＜ｎ１ｄｌ≦０．１λ。のＳ ｉ Ｏを層を、第
３層として光学的膜厚ｎ３ｄ３が０．１９λ０≦ｎ３ｄ
３≦０．２５λ。のＣｅＯ，層を、第４層として光学的
膜厚ｎｎｄ４が０．２５λ０≦ｎ４ｄ４≦０．３λ。の
ＳｉＯ□層を、第５層として機械的膜厚ｄ、が１００〜
２００ｎｍのＡｇ［を、第６層として機械的膜厚ｄ、が
１０θ〜２００ｎａのＣｕ１Ｊを形成して合成樹脂製光
学部品の多層膜裏面反射鏡を構成した。
なお、本発明において、特に金属薄膜を１００〜２００
ｎｍとしたのは、金属薄膜がｔｏｏｎｍより薄いと光が
透過して好ましくなく、２００ｎａ＋より厚いと基板が
合成樹脂からなる関係上、膜割れや膜剥離を生じてしま
うからである。
ｎｍとしたのは、金属薄膜がｔｏｏｎｍより薄いと光が
透過して好ましくなく、２００ｎａ＋より厚いと基板が
合成樹脂からなる関係上、膜割れや膜剥離を生じてしま
うからである。
以上のように、本発明は、ＳｉＯ，ＳｉＯ，、Ｃｅ０ｚ
の透明誘電体薄膜と金属薄膜の多層膜で構成されており
、各膜は真空蒸着により形成される。そして、この真空
蒸着は、常温（２０℃〜２５℃）雰囲気中で行われる。
の透明誘電体薄膜と金属薄膜の多層膜で構成されており
、各膜は真空蒸着により形成される。そして、この真空
蒸着は、常温（２０℃〜２５℃）雰囲気中で行われる。
上記構成の合成樹脂製光学部品の多層膜裏面反射鏡にお
いて、５層構成の場合には第１層の３４０層が、６層構
成の場合には第１層の３４０層と第２層のＳｉＯｇ層と
が、それぞれ合成樹脂基板との密着性と耐クラツク性と
に寄与している。また、５珊構成の場合には第２層のＣ
ｅＯ，層から第４層のＡ１層またはＡｇＪｉまで、６層
構成の場合には第３層のＣｅ０１層から第５層のＡｌ層
またはＡｇ層までの膜構成部分が、それぞれ分光反射率
の光学特性に効果を奏する部分である。すなわち、９０
％以上の反射率効果は、Ｃｅ０１層から３層で構成され
ている多層膜部分の屈折率とｉ厚とで決定される。さら
に、ｊｌ終層（３４０層またはＣｕ層）は、酸化を防止
するための保護膜である。
いて、５層構成の場合には第１層の３４０層が、６層構
成の場合には第１層の３４０層と第２層のＳｉＯｇ層と
が、それぞれ合成樹脂基板との密着性と耐クラツク性と
に寄与している。また、５珊構成の場合には第２層のＣ
ｅＯ，層から第４層のＡ１層またはＡｇＪｉまで、６層
構成の場合には第３層のＣｅ０１層から第５層のＡｌ層
またはＡｇ層までの膜構成部分が、それぞれ分光反射率
の光学特性に効果を奏する部分である。すなわち、９０
％以上の反射率効果は、Ｃｅ０１層から３層で構成され
ている多層膜部分の屈折率とｉ厚とで決定される。さら
に、ｊｌ終層（３４０層またはＣｕ層）は、酸化を防止
するための保護膜である。
本発明の合成樹脂製光学部品の多層膜裏面反射鏡は、大
きく分けて、 ■ 密着性、耐クラツク性に寄与する層■ 光学特性（
反射率）に寄与する層 ■ 酸化防止のための保護膜層 で構成されている。
きく分けて、 ■ 密着性、耐クラツク性に寄与する層■ 光学特性（
反射率）に寄与する層 ■ 酸化防止のための保護膜層 で構成されている。
〔実施例］
（第１実施例）
本実施例では、入射角４５°の光に対する裏面鏡を５層
構成で形成しており、膜構成を表１および第１図に示す
。表１中、λ。は設計波長を示している。本実施例では
、λ。＝ ５０Ｏｎ−である。
構成で形成しており、膜構成を表１および第１図に示す
。表１中、λ。は設計波長を示している。本実施例では
、λ。＝ ５０Ｏｎ−である。
（以下余白）
表 １
※Ａｊ！：ｇｇ械的膜厚（ｄ） ： １１００ｎ屈折率
ｎ＝１．４９のアクリル樹脂（Ｐ？１ＭＡ）からなる合
成樹脂基板Ｓの表面に、第１層として、ＳｉＯを抵抗加
熱法を用いて１〜２ Ｘ １０−５Ｔｏｒｒ以上の高真
空中で真空蒸着して５ｉＯ１ｉ１を形成した。次に、そ
のＳｉＯ層１の上に、第２層として、ＣｅＯ□を電子銃
法によって真空蒸着してＣｅ Ｏｚ層２を形成した。ま
た、このＣｅＯｇＪｉ２の上に、第３層として、ＳｉＯ
□を電子銃法によって真空蒸着してＳｉＯ□層３を形成
した。さらに、このＳｉｎ、Ｊｉ３の上に、第４層とし
て、Ａｌを抵抗加熱法または電子銃法によって真空蒸着
し、Ａ１層４を形成した。最後に、このＡ１層４の上に
、第５層として、第１Ｎと同様にしてＳｉＯを抵抗加熱
法で真空蒸着して保護膜であるＳｉＯ層５を形成した。
ｎ＝１．４９のアクリル樹脂（Ｐ？１ＭＡ）からなる合
成樹脂基板Ｓの表面に、第１層として、ＳｉＯを抵抗加
熱法を用いて１〜２ Ｘ １０−５Ｔｏｒｒ以上の高真
空中で真空蒸着して５ｉＯ１ｉ１を形成した。次に、そ
のＳｉＯ層１の上に、第２層として、ＣｅＯ□を電子銃
法によって真空蒸着してＣｅ Ｏｚ層２を形成した。ま
た、このＣｅＯｇＪｉ２の上に、第３層として、ＳｉＯ
□を電子銃法によって真空蒸着してＳｉＯ□層３を形成
した。さらに、このＳｉｎ、Ｊｉ３の上に、第４層とし
て、Ａｌを抵抗加熱法または電子銃法によって真空蒸着
し、Ａ１層４を形成した。最後に、このＡ１層４の上に
、第５層として、第１Ｎと同様にしてＳｉＯを抵抗加熱
法で真空蒸着して保護膜であるＳｉＯ層５を形成した。
以上のようにして得られた本実施例の多層膜裏面反射鏡
について、入射角４５°に対する分光反射率を測定した
ところ、第２図に示すようになった。第２図から判るよ
うに、本実施例の多層膜裏面反射鏡は、初期性能として
の基本的な光学特性（分光反射率）を有していた。
について、入射角４５°に対する分光反射率を測定した
ところ、第２図に示すようになった。第２図から判るよ
うに、本実施例の多層膜裏面反射鏡は、初期性能として
の基本的な光学特性（分光反射率）を有していた。
また、本実施例の多層膜裏面反射鏡の膜表面にセロハン
テープ（中１８Ｍ）を接着させた後、接着面と約４５″
の角度でテープを取り除く密着性試験を行ったところ、
膜剥離を生ずることがなかった。
テープ（中１８Ｍ）を接着させた後、接着面と約４５″
の角度でテープを取り除く密着性試験を行ったところ、
膜剥離を生ずることがなかった。
さらに、本実施例の多層膜裏面反射鏡について、耐環境
試験として、（−２０’Ｃ（へ）常温（２０〜２５°Ｃ
）θ＋６０ ’Ｃｌを５回繰り返す熱衝撃試験を行った
ところ、異常は認められなかった。
試験として、（−２０’Ｃ（へ）常温（２０〜２５°Ｃ
）θ＋６０ ’Ｃｌを５回繰り返す熱衝撃試験を行った
ところ、異常は認められなかった。
（第２実施例）
本実施例では、第１実施例と同様に入射角４５゜の光に
対する裏面鏡を５層構成で形成しており、膜構成を表２
および第３図に示す。表２中、λ。は設計波長を示して
いる０本実施例では、λ。＝５００ｎｍである。
対する裏面鏡を５層構成で形成しており、膜構成を表２
および第３図に示す。表２中、λ。は設計波長を示して
いる０本実施例では、λ。＝５００ｎｍである。
表 ２
※Ａｇ ：Ｎ械的膜厚（ｄ） ： １００ｎａａ※Ｃｕ
：機械的膜厚（ｄ） ： １１００ｎ屈折率ｎ＝１．４
９のアクリル樹脂（ＰＭＭＡ）からなる合成樹脂基板Ｓ
の表面に、第１層として、ＳｉＯを抵抗加熱法を用いて
１〜２ Ｘｌ０−’Ｔｏｒｒ以上の高真空中で真空蒸着
してＳｉＯ層１を形成した。次に、そのＳｉＯ層１の上
に、第２層として、ＣｅＯ，を電子銃法によって真空蒸
着してＣｅＯ，層２を形成した。また、このＣｅＯ□層
２の上に、第３層として、５ｉＯｚを電子銃法によって
真空蒸着してＳｉｏ、層３を形成した。さらに、このＳ
ｉＯ２層３の上に、第４層として、Ａｇを抵抗加熱法ま
たは電子銃法によって真空蒸着し、ＡｇＮ６を形成した
。最後に、このＡｇ層６の上に、第５層として、第１層
と同様にしてＣｕを抵抗加熱法で真空蒸着して保護膜で
あるＣｕ層７を形成した。
：機械的膜厚（ｄ） ： １１００ｎ屈折率ｎ＝１．４
９のアクリル樹脂（ＰＭＭＡ）からなる合成樹脂基板Ｓ
の表面に、第１層として、ＳｉＯを抵抗加熱法を用いて
１〜２ Ｘｌ０−’Ｔｏｒｒ以上の高真空中で真空蒸着
してＳｉＯ層１を形成した。次に、そのＳｉＯ層１の上
に、第２層として、ＣｅＯ，を電子銃法によって真空蒸
着してＣｅＯ，層２を形成した。また、このＣｅＯ□層
２の上に、第３層として、５ｉＯｚを電子銃法によって
真空蒸着してＳｉｏ、層３を形成した。さらに、このＳ
ｉＯ２層３の上に、第４層として、Ａｇを抵抗加熱法ま
たは電子銃法によって真空蒸着し、ＡｇＮ６を形成した
。最後に、このＡｇ層６の上に、第５層として、第１層
と同様にしてＣｕを抵抗加熱法で真空蒸着して保護膜で
あるＣｕ層７を形成した。
以上のようにして得られた本実施例の多層膜裏面反射鏡
について、入射角４５°に対する分光反射率を測定した
ところ、第４図に示すようになった。第４図から判るよ
うに、本実施例の多層膜裏面反射鏡は、初期性能として
の基本的な光学特性（分光反射率）を存していた。
について、入射角４５°に対する分光反射率を測定した
ところ、第４図に示すようになった。第４図から判るよ
うに、本実施例の多層膜裏面反射鏡は、初期性能として
の基本的な光学特性（分光反射率）を存していた。
また、本実施例の多層膜裏面反射鏡について、第１実施
例の場合と同様に、密着性試験および耐環境試験を行っ
たところ、膜剥離を生ずることがなく、また何ら異常は
認められなかった。
例の場合と同様に、密着性試験および耐環境試験を行っ
たところ、膜剥離を生ずることがなく、また何ら異常は
認められなかった。
（第３実施例）
本実施例では、入射角４５°の光に対する裏面鏡を６Ｎ
Ｊ構成で形成しており、膜構成を表３および第５図に示
す。表３中、λ。は設計波長を示している。本実施例で
は、λ。＝ ５００ｎｍである。
Ｊ構成で形成しており、膜構成を表３および第５図に示
す。表３中、λ。は設計波長を示している。本実施例で
は、λ。＝ ５００ｎｍである。
表 ３
屈折率ｎ＝１．４９のアクリル樹脂（ＰＭＭＡ）からな
る合成樹脂基板Ｓの表面に、第１層として、ＳｉＯを抵
抗加熱法を用いて１〜２ Ｘｌ０−５Ｔｏｒｒ以上の高
真空中で真空蒸着してＳｉＯ層ｌを形成した。次に、そ
のＳｉＯ層１の上に、第２層として、５ｉＯｚを電子銃
法によって真空蒸着してＳ ｉ Ｏｚ層８を形成した。
る合成樹脂基板Ｓの表面に、第１層として、ＳｉＯを抵
抗加熱法を用いて１〜２ Ｘｌ０−５Ｔｏｒｒ以上の高
真空中で真空蒸着してＳｉＯ層ｌを形成した。次に、そ
のＳｉＯ層１の上に、第２層として、５ｉＯｚを電子銃
法によって真空蒸着してＳ ｉ Ｏｚ層８を形成した。
また、このＳｉＯ□層８の上に、第３層として、Ｃｅ０
ｚを電子銃法によって真空蒸着してＣｅＯ□層２を形成
した。さらに、このＣｅｏｚ層２の上に、第４層として
、ＳｉＯ□を電子銃法によって真空蒸着してＳｉＯ□層
３を形成した。また、このＳ ｉ Ｏｚ層３の上に、第
５層として、ＡＮを抵抗加熱法または電子銃法によって
真空蒸着し、Ａ１層４を形成した。最後に、このＡＩ！
、層４の上に、第６層として、第１層と同様にしてＳｉ
Ｏを抵抗加熱法で真空蒸着して保護膜であるＳｉＯ層５
を形成した。
ｚを電子銃法によって真空蒸着してＣｅＯ□層２を形成
した。さらに、このＣｅｏｚ層２の上に、第４層として
、ＳｉＯ□を電子銃法によって真空蒸着してＳｉＯ□層
３を形成した。また、このＳ ｉ Ｏｚ層３の上に、第
５層として、ＡＮを抵抗加熱法または電子銃法によって
真空蒸着し、Ａ１層４を形成した。最後に、このＡＩ！
、層４の上に、第６層として、第１層と同様にしてＳｉ
Ｏを抵抗加熱法で真空蒸着して保護膜であるＳｉＯ層５
を形成した。
以上のようにして得られた本実施例の多層膜裏面反射鏡
について、入射角４５°に対する分光反射率を測定した
ところ、第６図に示すようになった。第６図から判るよ
うに、本実施例の多層膜裏面反射鏡は、初期性能として
の基本的な光学特性（分光反射率）を有していた。
について、入射角４５°に対する分光反射率を測定した
ところ、第６図に示すようになった。第６図から判るよ
うに、本実施例の多層膜裏面反射鏡は、初期性能として
の基本的な光学特性（分光反射率）を有していた。
また、本実施例の多層膜裏面反射鏡について、第１実施
例の場合と同様に、密着性試験および耐環境試験を行っ
たところ、膜剥離を生ずることがなく、また何ら異常は
認められなかった。
例の場合と同様に、密着性試験および耐環境試験を行っ
たところ、膜剥離を生ずることがなく、また何ら異常は
認められなかった。
なお、第３実施例において、第５層をＡｇ層とし、第６
層をＣｕ層とした場合も、同様の効果を得ることができ
た。
層をＣｕ層とした場合も、同様の効果を得ることができ
た。
以上のように、本発明の合成樹脂製光学部品の多層膜裏
面反射鏡によれば、合成樹脂表面上に、Ｓｉｎ、（Ｓｉ
ｎｇ）、Ｃｅ０ｚ ５ｉＯｚ Ａ１（ＡＮり５ｉｎ
（Ｃｕ）からなる所定厚さの膜を形成しているので、初
期性能としての基本的な光学特性（分光反射率９０％以
上：入射角４５°、λ。＝ ５００ｎ頂）を満足できる
とともに、ミラー膜にマイクロクラックの発生がなく、
また合成樹脂基板の変形、劣化がなく、外観特性が良好
であり、さらに耐久性能試験後であっても、膜剥離やマ
イクロクラックの発生がなく、合成樹脂基板の変形、劣
化もない。
面反射鏡によれば、合成樹脂表面上に、Ｓｉｎ、（Ｓｉ
ｎｇ）、Ｃｅ０ｚ ５ｉＯｚ Ａ１（ＡＮり５ｉｎ
（Ｃｕ）からなる所定厚さの膜を形成しているので、初
期性能としての基本的な光学特性（分光反射率９０％以
上：入射角４５°、λ。＝ ５００ｎ頂）を満足できる
とともに、ミラー膜にマイクロクラックの発生がなく、
また合成樹脂基板の変形、劣化がなく、外観特性が良好
であり、さらに耐久性能試験後であっても、膜剥離やマ
イクロクラックの発生がなく、合成樹脂基板の変形、劣
化もない。
第１図は本発明の第１実施例の多層膜裏面反射鏡を示す
正面図、第２図は第１実施例の多層膜裏面反射鏡の分光
反射率を示す特性図、第３図は本発明の第２実施例の多
層膜裏面反射鏡を示す正面図、第４図は第２実施例の多
層膜裏面反射鏡の分光反射率を示す特性図、第５図は本
発明の第３実施例の多層膜裏面反射鏡を示す正面図、第
６図は第３実施例の多層膜裏面反射鏡の分光反射率を示
す特性図である。 Ｓ・・・合成樹脂基板 ２・・・Ｃｅ Ｏを層 ４・・・Ａ２層 ７・・・Ｃｕ１Ｊ ｌ ５・・・３４０層 ３８・・・Ｓ ｉ Ｏｚ層 ６・・・Ａｇ層 第１図 第２図 特許出願人 オリンパス光学工業株式会社波 長
正面図、第２図は第１実施例の多層膜裏面反射鏡の分光
反射率を示す特性図、第３図は本発明の第２実施例の多
層膜裏面反射鏡を示す正面図、第４図は第２実施例の多
層膜裏面反射鏡の分光反射率を示す特性図、第５図は本
発明の第３実施例の多層膜裏面反射鏡を示す正面図、第
６図は第３実施例の多層膜裏面反射鏡の分光反射率を示
す特性図である。 Ｓ・・・合成樹脂基板 ２・・・Ｃｅ Ｏを層 ４・・・Ａ２層 ７・・・Ｃｕ１Ｊ ｌ ５・・・３４０層 ３８・・・Ｓ ｉ Ｏｚ層 ６・・・Ａｇ層 第１図 第２図 特許出願人 オリンパス光学工業株式会社波 長
Claims (4)
- （１）合成樹脂表面上に、該表面側から順に第１層とし
て光学的膜厚ｎ＿１ｄ＿１が０＜ｎ＿１ｄ＿１≦０．１
λ＿０のＳｉＯ層を、第２層として光学的膜厚ｎ＿２ｄ
＿２が０．１９λ＿０≦ｎ＿２ｄ＿２≦０．２５λ＿０
のＣｅＯ＿２層を、第３層として光学的膜厚ｎ＿３ｄ＿
３が０．２５λ＿０≦ｎ＿３ｄ＿３≦０．３λ＿０のＳ
ｉＯ＿２層を、第４層として機械的膜厚ｄ＿４が１００
〜２００ｎｍのＡｌ層を、第５層として光学的膜厚ｎ＿
５ｄ＿５が０．１８λ＿０≦ｎ＿５ｄ＿５≦０．２５λ
＿０のＳｉＯ層を形成したことを特徴とする合成樹脂製
光学部品の多層膜裏面反射鏡。 - （２）合成樹脂表面上に、該表面側から順に第１層とし
て光学的膜厚ｎ＿１ｄ＿１が０＜ｎ＿１ｄ＿１≦０．１
λ＿０のＳｉＯ層を、第２層として光学的膜厚ｎ＿２ｄ
＿２が０．１９λ＿０≦ｎ＿２ｄ＿２≦０．２５λ＿０
のＣｅＯ＿２層を、第３層として光学的膜厚ｎ＿３ｄ＿
３が０．２５λ＿０≦ｎ＿３ｄ＿３≦０．３λ＿０のＳ
ｉＯ＿２層を、第４層として機械的膜厚ｄ＿４が１００
〜２００ｎｍのＡｇ層を、第５層として機械的膜厚ｄ＿
５が１００〜２００ｎｍのＣｕ層を形成したことを特徴
とする合成樹脂製光学部品の多層膜裏面反射鏡。 - （３）合成樹脂表面上に、該表面側から順に第１層とし
て光学的膜厚ｎ＿１ｄ＿１が０＜ｎ＿１ｄ＿１≦０．１
λ＿０のＳｉＯ層を、第２層として光学的膜厚ｎ＿２ｄ
＿２が０＜ｎ＿２ｄ＿２≦０．１λ＿０のＳｉＯ＿２層
を、第３層として光学的膜厚ｎ＿３ｄ＿３が０．１９λ
＿０≦ｎ＿３ｄ＿３≦０．２５λ＿０のＣｅＯ＿２層を
、第４層として光学的膜厚ｎ＿４ｄ＿４が０．２５λ＿
０≦ｎ＿４ｄ＿４≦０．３λ＿０のＳｉＯ＿２層を、第
５層として機械的膜厚ｄ＿５が１００〜２００ｎｍのＡ
ｌ層を、第６層として光学的膜厚ｎ＿６ｄ＿６が０．１
８λ＿０≦ｎ＿６をｄ＿６≦０．２５λ＿０のＳｉＯ層
を形成したことを特徴とする合成樹脂製光学部品の多層
膜裏面反射鏡。 - （４）合成樹脂表面上に、該表面側から順に第１層とし
て光学的膜厚ｎ＿１ｄ＿１が０＜ｎ＿１ｄ＿１≦０．１
λ＿０のＳｉＯ層を、第２層として光学的膜厚ｎ＿２ｄ
＿２が０＜ｎ＿１ｄ＿１≦０．１λ＿０のＳｉＯ＿２層
を、第３層として光学的膜厚ｎ＿３ｄ＿３が０．１９λ
＿０≦ｎ＿３ｄ＿３≦０．２５λ＿０のＣｅＯ＿２を層
を、第４層として光学的膜厚ｎ＿４ｄ＿４が０．２５λ
＿０≦ｎ＿４ｄ＿４≦０．３λ＿０のＳｉＯ＿２層を、
第５層として機械的膜厚ｄ＿５が１００〜２００ｎｍの
Ａｇ層を、第６層として機械的膜厚ｄ＿６が１００〜２
００ｎｍのＣｕ層を形成したことを特徴とする合成樹脂
製光学部品の多層膜裏面反射鏡。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63235556A JPH0282201A (ja) | 1988-09-20 | 1988-09-20 | 合成樹脂製光学部品の多層膜裏面反射鏡 |
| DE3927087A DE3927087A1 (de) | 1988-09-20 | 1989-08-17 | Mehrschichten-film fuer optische kunststoffteile |
| US07/396,640 US4944581A (en) | 1988-09-20 | 1989-08-18 | Rear face reflection mirror of multilayer film for synthetic resin optical parts |
| KR8913591A KR920002658B1 (en) | 1988-09-20 | 1989-09-20 | Rear face reflection mirror of multilayer film for synthetic resin optical parts |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63235556A JPH0282201A (ja) | 1988-09-20 | 1988-09-20 | 合成樹脂製光学部品の多層膜裏面反射鏡 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0282201A true JPH0282201A (ja) | 1990-03-22 |
Family
ID=16987733
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63235556A Pending JPH0282201A (ja) | 1988-09-20 | 1988-09-20 | 合成樹脂製光学部品の多層膜裏面反射鏡 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4944581A (ja) |
| JP (1) | JPH0282201A (ja) |
| KR (1) | KR920002658B1 (ja) |
| DE (1) | DE3927087A1 (ja) |
Families Citing this family (20)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5282084A (en) * | 1989-05-19 | 1994-01-25 | Minolta Camera Kabushiki Kaisha | Multi-layered coating for optical part comprising YF3 layer |
| DE3941859C1 (ja) * | 1989-12-19 | 1991-01-24 | Deutsche Spezialglas Ag, 3223 Gruenenplan, De | |
| DE4122555A1 (de) * | 1991-07-08 | 1993-01-14 | Bayerische Motoren Werke Ag | Rueckblickspiegel fuer kraftfahrzeuge |
| DE4128547A1 (de) * | 1991-08-28 | 1993-03-04 | Leybold Ag | Verfahren und vorrichtung fuer die herstellung einer entspiegelungsschicht auf linsen |
| GB2261079B (en) * | 1991-10-31 | 1995-06-14 | Asahi Optical Co Ltd | Surface reflecting mirror |
| US5828493A (en) * | 1992-07-24 | 1998-10-27 | Dielectric Coating Industries | Reflectors |
| US5361172A (en) * | 1993-01-21 | 1994-11-01 | Midwest Research Institute | Durable metallized polymer mirror |
| GB9400320D0 (en) * | 1994-01-10 | 1994-03-09 | Pilkington Glass Ltd | Coating on glass |
| GB9400323D0 (en) * | 1994-01-10 | 1994-03-09 | Pilkington Glass Ltd | Coatings on glass |
| US6407862B2 (en) * | 1999-05-14 | 2002-06-18 | 3M Innovative Properties Company | Electronic projection system with polymeric film optical components |
| US6480250B1 (en) * | 1999-06-02 | 2002-11-12 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Low-reflection transparent conductive multi layer film having at least one transparent protective layer having anti-smudge properties |
| US6467688B1 (en) * | 2000-05-17 | 2002-10-22 | Symbol Technologies, Inc. | Sheet fed printer for a hand held terminal |
| US7018057B2 (en) | 2000-08-23 | 2006-03-28 | Vtec Technologies, Llc | Transparent plastic optical components and abrasion resistant polymer substrates and methods for making the same |
| US6409354B1 (en) * | 2000-08-23 | 2002-06-25 | Vtec Technologies, Inc. | Transparent plastic or polymer based mirror apparatus and method for making the same |
| US6601960B2 (en) | 2000-08-23 | 2003-08-05 | Vtec Technologies, Inc. | Transparent plastic or polymer based mirror and method for making the same |
| US6709119B2 (en) * | 2001-04-27 | 2004-03-23 | Alusuisse Technology & Management Ltd. | Resistant surface reflector |
| US7106516B2 (en) | 2002-02-04 | 2006-09-12 | Applied Films Gmbh & Co. Kg | Material with spectrally selective reflection |
| US7420756B2 (en) | 2003-05-20 | 2008-09-02 | Donnelly Corporation | Mirror reflective element |
| GB0722906D0 (en) * | 2007-11-22 | 2008-01-02 | Pilkington Group Ltd | Mirror |
| DE102019219177A1 (de) * | 2019-12-09 | 2021-06-10 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Optisches Element mit einer Schutzbeschichtung, Verfahren zu dessen Herstellung und optische Anordnung |
Family Cites Families (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4179181A (en) * | 1978-04-03 | 1979-12-18 | American Optical Corporation | Infrared reflecting articles |
| DE3005621A1 (de) * | 1980-02-15 | 1981-08-20 | Agfa Gevaert Ag | Rueckflaechenspiegel |
| JPS56162702A (en) * | 1980-05-19 | 1981-12-14 | Ricoh Co Ltd | Manufacture of reflecting mirror |
| JPS6015604A (ja) * | 1983-07-07 | 1985-01-26 | Nippon Soken Inc | 自動車用反射鏡 |
| JPS60131501A (ja) * | 1983-12-21 | 1985-07-13 | Canon Inc | 合成樹脂基板の反射鏡 |
| JPS60212705A (ja) * | 1984-04-06 | 1985-10-25 | Murakami Kaimeidou:Kk | 反射鏡 |
| JPS6374005A (ja) * | 1986-09-18 | 1988-04-04 | Hoya Corp | 多層膜裏面反射鏡 |
| DE3818341C2 (de) * | 1987-06-04 | 1993-10-28 | Olympus Optical Co | Teildurchlässiger Spiegel aus Kunststoff |
| JPH01273001A (ja) * | 1988-04-25 | 1989-10-31 | Olympus Optical Co Ltd | 合成樹脂製光学部品の反射防止膜 |
| JP2561946B2 (ja) * | 1988-08-31 | 1996-12-11 | ホーヤ株式会社 | 多層膜裏面反射鏡 |
-
1988
- 1988-09-20 JP JP63235556A patent/JPH0282201A/ja active Pending
-
1989
- 1989-08-17 DE DE3927087A patent/DE3927087A1/de active Granted
- 1989-08-18 US US07/396,640 patent/US4944581A/en not_active Expired - Fee Related
- 1989-09-20 KR KR8913591A patent/KR920002658B1/ko not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US4944581A (en) | 1990-07-31 |
| KR920002658B1 (en) | 1992-03-31 |
| KR900005192A (ko) | 1990-04-13 |
| DE3927087A1 (de) | 1990-03-22 |
| DE3927087C2 (ja) | 1992-03-05 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH0282201A (ja) | 合成樹脂製光学部品の多層膜裏面反射鏡 | |
| US4979802A (en) | Synthetic resin half-mirror | |
| JPH0685002B2 (ja) | プラスチツク光学部品の反射防止膜 | |
| JPH05503372A (ja) | Ｄ．ｃ．反応性スパッタリングされた反射防止被覆 | |
| JPH05246737A (ja) | 車両特に自動車用バックミラー | |
| JP2002055213A (ja) | 高反射ミラー | |
| JP3221764B2 (ja) | 合成樹脂製光学部品の反射防止膜 | |
| US6150039A (en) | Protective and/or reflectivity enhancement of noble metal | |
| JPH01273001A (ja) | 合成樹脂製光学部品の反射防止膜 | |
| JP2691651B2 (ja) | 反射鏡 | |
| JP2004334012A (ja) | 反射防止膜及び光学フィルター | |
| JPS60212705A (ja) | 反射鏡 | |
| JP2566634B2 (ja) | 多層反射防止膜 | |
| WO1997008357A1 (en) | Anti-reflective coating | |
| JP2006072031A (ja) | 赤外域用反射防止膜およびこれを用いた赤外線レンズ | |
| JPH0461324B2 (ja) | ||
| JP2001074903A (ja) | 反射防止膜及び光学素子 | |
| JPH03191301A (ja) | 反射鏡 | |
| JPH10123303A (ja) | 反射防止光学部品 | |
| CN109581549B (zh) | 一种反射防止膜及包含该反射防止膜的光学部件 | |
| JP2002372602A (ja) | 反射防止膜、およびそれを用いた光学素子 | |
| JP2979327B2 (ja) | 低融点基体上蒸着反射防止膜 | |
| JP2928784B2 (ja) | 多層膜反射鏡 | |
| JPH04240802A (ja) | 合成樹脂製光学部品の裏面反射鏡およびその製造方法 | |
| JPH06250001A (ja) | 多層反射防止膜およびそれが施された光学系 |