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JPH02303377A - ultrasonic motor - Google Patents

ultrasonic motor

Info

Publication number
JPH02303377A
JPH02303377A JP1126052A JP12605289A JPH02303377A JP H02303377 A JPH02303377 A JP H02303377A JP 1126052 A JP1126052 A JP 1126052A JP 12605289 A JP12605289 A JP 12605289A JP H02303377 A JPH02303377 A JP H02303377A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
movable element
stator
ultrasonic motor
spring
elastic
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP1126052A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2810109B2 (en
Inventor
Takao Saeki
佐伯 孝夫
Yasuo Kuwabara
保雄 桑原
Mutsuo Aoyama
睦朗 青山
Shinji Sagara
信治 相良
Tadayoshi Murakami
忠良 村上
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fukoku Co Ltd
Aisin Corp
Original Assignee
Aisin Seiki Co Ltd
Fukoku Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Aisin Seiki Co Ltd, Fukoku Co Ltd filed Critical Aisin Seiki Co Ltd
Priority to JP1126052A priority Critical patent/JP2810109B2/en
Publication of JPH02303377A publication Critical patent/JPH02303377A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP2810109B2 publication Critical patent/JP2810109B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
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  • General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)

Abstract

PURPOSE:To suppress fluctuation of rotation and torque by providing a projection for receiving pressurizing force on a mover. CONSTITUTION:An ultrasonic motor comprises a housing 1, a stator 6 having a piezoelectric element, a rotary shaft 20, a mover 24 secured thereto, a belleville spring 30, and the like. An annular projection 25 for receiving the pressure functioning section 30a of the belleville spring 30 is formed integrally on the upper face of the mover 24, and the pressurizing force of the belleville spring 30 is distributed uniformly in the circumferential direction through a spring receiving section 25a notched in the annular projection 25. By such arrangement, noise can be suppressed and high output can be produced.

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は可動子をばね手段によって固定子に加圧し、そ
の固定子に発生した弾性進行波により可動子を駆動する
ように構成した超音波モータに係り、詳しくは、ばね手
段と可動子との接合部の構造に関するものである。
[Detailed Description of the Invention] [Industrial Application Field] The present invention provides an ultrasonic wave generator configured to press a movable element against a stator by a spring means and drive the movable element by an elastic traveling wave generated in the stator. The present invention relates to a motor, and specifically relates to the structure of a joint between a spring means and a movable element.

[従来の技術] 従来のこの種の超音波モータとして、特開昭63−73
887号公報に掲載された技術が挙げられる。
[Prior art] As a conventional ultrasonic motor of this type, there is a
One example is the technology published in Publication No. 887.

第3図は従来の超音波モータを示す縦断面図、第4図は
第3図の超音波モータにおいて固定子と可動子との接触
部分を拡大して示す部分断面図、第5図は第4図の超音
波モータで使用されている皿ばねの加圧力の分布状態を
示す説明図である。
FIG. 3 is a vertical sectional view showing a conventional ultrasonic motor, FIG. 4 is a partial sectional view showing an enlarged contact area between the stator and the movable element in the ultrasonic motor shown in FIG. 3, and FIG. FIG. 4 is an explanatory diagram showing the distribution state of the pressing force of the disc spring used in the ultrasonic motor of FIG. 4;

第3図において、41は超音波モータの外郭となるケー
ス、42はケース41を閉じるカバー、43は固定子、
44は前記固定子43に配設された圧電素子、45はラ
イナー46を介して固定子43に接合すべく配置された
可動子、47は前記可動子45と一体に回転する回転軸
である。前記回転軸47の大径鍔部48の下側には、可
動子45の薄肉部49を押圧する皿ばね50が配設され
ている。また、回転軸47の下部にはスナップリング5
1によってシム52が保持されていて、このシム52の
厚みを選択することにより、皿ばね50の押圧力を適宜
に調整できるように構成されている。
In FIG. 3, 41 is a case that forms the outer shell of the ultrasonic motor, 42 is a cover that closes the case 41, 43 is a stator,
44 is a piezoelectric element disposed on the stator 43, 45 is a movable element arranged to be joined to the stator 43 via a liner 46, and 47 is a rotating shaft that rotates together with the movable element 45. A disc spring 50 that presses against the thin wall portion 49 of the movable element 45 is disposed below the large-diameter flange portion 48 of the rotating shaft 47 . Also, a snap ring 5 is provided at the bottom of the rotating shaft 47.
1 holds a shim 52, and by selecting the thickness of this shim 52, the pressing force of the disc spring 50 can be adjusted as appropriate.

上記のように構成された従来の超音波モータにおいて、
圧電素子44に高周波電圧が印加されると、圧電素子4
4の変形に伴って固定子43に弾性進行波が発生し、こ
の弾性進行波によって固定子43の表面上の質点に楕円
運動が生起する。そして、この楕円運動に伴い固定子4
3と可動子45に固定されたライナー46との接触面に
摩擦力が発生し、その摩擦力で可動子45に回転モーメ
ントが作用して、可動子45と一体に回転軸47が回転
される。
In the conventional ultrasonic motor configured as above,
When a high frequency voltage is applied to the piezoelectric element 44, the piezoelectric element 4
Along with the deformation of the stator 4, an elastic traveling wave is generated in the stator 43, and this elastic traveling wave causes an elliptic motion in the mass point on the surface of the stator 43. Along with this elliptical movement, the stator 4
3 and the liner 46 fixed to the movable element 45, a frictional force is generated on the contact surface between the liner 46 fixed to the movable element 45, a rotational moment acts on the movable element 45 by the frictional force, and the rotary shaft 47 is rotated together with the movable element 45. .

[発明が解決しようとする課題] ところで、この種の超音波モータの出力は、−鰻に、固
定子43とライナー46との摩擦係数及び皿ばね50の
加圧力に依存する。しかしながら、従来の超音波モータ
において皿ばね50の加圧力を大きく設定した場合、第
4図に拡大して示すように、その加圧力で可動子45の
薄肉部49及び固定子43の薄肉部54がそれぞれ彎曲
されて、固定子43と可動子45に固着されたライナー
46とが片当りの状態で圧接される。また、皿ばね50
はそれ自身のばね特性からして、第5図に矢印で示すよ
うに、周方向の加圧力が不均一となっているので、固定
子43に対し可動子45を各部均一な力で加圧すること
が困難である。
[Problems to be Solved by the Invention] By the way, the output of this type of ultrasonic motor depends on the friction coefficient between the stator 43 and the liner 46 and the pressing force of the disc spring 50. However, when the pressing force of the disc spring 50 is set to be large in the conventional ultrasonic motor, as shown in an enlarged view in FIG. are respectively bent, and the stator 43 and the liner 46 fixed to the movable element 45 are pressed against each other in a one-sided state. Also, disc spring 50
Due to its own spring characteristics, the pressing force in the circumferential direction is uneven as shown by the arrows in Fig. 5, so the movable element 45 is pressed against the stator 43 with uniform force at each part. It is difficult to do so.

したがって、固定子43と可動子45に固着されたライ
ナー46との摩擦係数及び圧接力の変動幅が大きくなり
、回転むらまたはトルクむらが生じて、モータ出力が不
安定になることが予想される。しかも、摩擦係数及び圧
接力が不安定な状態では、可動子45に固定子43とは
異なる周波数の固有振動が生じ、異音が発生するという
不都合も想定される。そして、これらの理由によって、
従来は超音波モータの高出力化が妨げられていた。
Therefore, it is expected that the fluctuation range of the friction coefficient and pressure contact force between the stator 43 and the liner 46 fixed to the movable element 45 will increase, causing uneven rotation or torque, resulting in unstable motor output. . Moreover, in a state where the friction coefficient and the pressure contact force are unstable, a natural vibration of a frequency different from that of the stator 43 is generated in the movable element 45, which may cause an inconvenience that abnormal noise is generated. And for these reasons,
Up until now, it has been difficult to increase the output of ultrasonic motors.

そこで、本発明の課題は、簡単な構造によってばね手段
の加圧力を可動子の周方向龜一様に分布させ、回転むら
及びトルクむら、並びに、異音の発生を抑制でき、もっ
て、高出力を得ることができる超音波モータを提供する
ことにある。
Therefore, an object of the present invention is to uniformly distribute the pressing force of the spring means in the circumferential direction of the movable element with a simple structure, to suppress rotational unevenness, torque unevenness, and generation of abnormal noise, thereby achieving high output. Our goal is to provide an ultrasonic motor that can achieve

[課題を解決するための手段] 本発明にかかる超音波モータは、圧電素子の変形により
弾性進行波を発生する固定子に弾接するように配置され
て弾性進行波によって駆動される可動子と、その可動子
を固定子の方向に向けて加圧するばね手段と、そのばね
手段の加圧力を受けるように可動子に配設された突起と
から構成されている。
[Means for Solving the Problems] An ultrasonic motor according to the present invention includes a movable element that is arranged to come into elastic contact with a stator that generates an elastic traveling wave by deformation of a piezoelectric element and is driven by the elastic traveling wave; It is comprised of a spring means for pressurizing the movable element toward the stator, and a protrusion disposed on the movable element so as to receive the pressing force of the spring means.

[作用] 本発明の超音波モータにおいては、可動子にばね手段の
加圧力を受ける突起が配設されているため、ばね手段の
加圧力が突起に沿って可動子に一様に分布される。また
、可動子はばね手段の加圧力に係合する部分において突
起により補強されるから、ばね手段の加圧力で可動子に
彎曲が生じるおそれがなくなり、固定子と可動子とが常
に安定した接触面を介して圧接される。したがって、固
定子及び可動子に固定されたライナーの摩擦係数及び圧
接力が安定化し、回転むら及びトルクむらが抑制される
とともに、可動子の固有振動が抑制されて、異音の発生
が防止される。その結果、圧電素子に高電力を供給して
、高いモータ出力を支障なく得ることができる。
[Operation] In the ultrasonic motor of the present invention, since the movable element is provided with a protrusion that receives the pressing force of the spring means, the pressing force of the spring means is uniformly distributed on the movable element along the protrusion. . In addition, since the movable element is reinforced by projections at the portion that engages with the pressing force of the spring means, there is no risk of the movable element being bent by the pressing force of the spring means, and the stator and the movable element are always in stable contact. Pressure is applied through the surface. Therefore, the friction coefficient and pressure contact force of the liner fixed to the stator and mover are stabilized, rotational unevenness and torque unevenness are suppressed, and the natural vibration of the mover is suppressed, thereby preventing the occurrence of abnormal noise. Ru. As a result, high power can be supplied to the piezoelectric element and high motor output can be obtained without any problem.

[実施例コ 以下、本発明を具体化した実施例を図面に基づいて説明
する。
[Embodiments] Hereinafter, embodiments embodying the present invention will be described based on the drawings.

第1図は本発明の一実施例による超音波モータの縦断面
図、第2図は第1図の超音波モータに装備された可動子
を示す斜視図である。
FIG. 1 is a longitudinal sectional view of an ultrasonic motor according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a perspective view showing a movable element installed in the ultrasonic motor of FIG.

この実施例の超音波モータのハウジング1はベース2と
、前記ベース2の上方を覆うカバー3とから構成されて
いる。ベース2の中央部には支持筒4が内方に突出した
状態で形成されている。前記支持筒4にはベアリング1
7が圧入され、支持筒4の張出部5によって内方への移
動が規制されている。前記ベアリング17の内輪17a
に回転軸20が下方から挿着されている。前記回転輪2
0はハウジング1の下方へ突出する出力部21と、ベア
リング17の下面に当接する鍔部22と、上端の連結部
23とを備えていて、前記鍔部22によってハウジング
1の内方への移動を規制している。
The housing 1 of the ultrasonic motor of this embodiment is composed of a base 2 and a cover 3 that covers the top of the base 2. A support cylinder 4 is formed in the center of the base 2 and projects inward. A bearing 1 is installed in the support tube 4.
7 is press-fitted, and movement inward is restricted by the overhanging portion 5 of the support tube 4. Inner ring 17a of the bearing 17
A rotating shaft 20 is inserted from below. Said rotating wheel 2
0 includes an output portion 21 that projects downward from the housing 1, a collar portion 22 that contacts the lower surface of the bearing 17, and a connecting portion 23 at the upper end, and the housing 1 is moved inward by the collar portion 22. is regulated.

前記回転軸20の連結部23には、ホルダ18が面接合
またはスプライン結合等の回り止め手段を介して相対回
動不能に挿入されている。前記ホルダ18とベアリング
17との間にはシム34が介装されている。そして、ホ
ルダ18の上部凹所18aに座金15を収容して、螺子
19を回転軸20の上端に締付けることにより、前記座
金15でホルダ18が抜は止めされるとともに、シム3
4が挾持され、その状態で、回転軸20、ベアリング1
7の内輪17a1ホルダ18、及びシム34がそれぞれ
一体回転可能に連結される。
The holder 18 is inserted into the connecting portion 23 of the rotating shaft 20 so as to be relatively unrotatable via a rotation preventing means such as a surface joint or a spline joint. A shim 34 is interposed between the holder 18 and the bearing 17. Then, by housing the washer 15 in the upper recess 18a of the holder 18 and tightening the screw 19 to the upper end of the rotating shaft 20, the holder 18 is prevented from being removed by the washer 15, and the shim 3
4 is clamped, and in that state, the rotating shaft 20 and the bearing 1
The inner ring 17a1 holder 18 of No. 7 and the shim 34 are each connected to be rotatable together.

ベース2の支持筒4の外周は固定子6の内孔7を挿着し
ている。固定子6は小径リング部8、大径リング部9及
び薄肉部10から、りん青銅等の金属弾性材料で一体的
に構成されている。前記小径リング部8はベース2の支
持筒11に接合した状態で螺子12によって固定されて
いる。前記大径リング部9の上面には全周にわたって多
数のくし歯13が一定ピッチで突設されている。
The inner hole 7 of the stator 6 is inserted into the outer periphery of the support cylinder 4 of the base 2 . The stator 6 is integrally constructed of a small-diameter ring portion 8, a large-diameter ring portion 9, and a thin-walled portion 10 of an elastic metal material such as phosphor bronze. The small-diameter ring portion 8 is fixed to the support tube 11 of the base 2 by screws 12 while being joined to the support tube 11 . A large number of comb teeth 13 are protruded from the upper surface of the large diameter ring portion 9 at a constant pitch over the entire circumference.

前記固定子6の大径リング部9の下面には、セラミック
ス材料等でリング状に成形された圧電素子14が図示し
ない導電性の接着材を介して固着されている。前記圧電
素子14はフレキシブルプリント基板31及びその端部
に配設されたプリント基板32を介してコネクタ33に
接続されている。そして、前記圧電素子14に高周波電
力が印加されると、圧電素子14の伸縮変形に伴い固定
子6の大径リング部9に弾性進行波、すなわち、超音波
振動が発生する。
A piezoelectric element 14 formed into a ring shape from a ceramic material or the like is fixed to the lower surface of the large-diameter ring portion 9 of the stator 6 via a conductive adhesive (not shown). The piezoelectric element 14 is connected to a connector 33 via a flexible printed circuit board 31 and a printed circuit board 32 disposed at an end thereof. When high-frequency power is applied to the piezoelectric element 14, an elastic traveling wave, that is, an ultrasonic vibration, is generated in the large diameter ring portion 9 of the stator 6 as the piezoelectric element 14 expands and contracts.

前記固定子6に対し上方から接合するように、ホルダ1
8には可動子24が面接合またはスプライン結合等の回
り止め手段を介して相対回動不能に挿着されている。前
記可動子24はアルミニウム等の金属材料で円板状に形
成されていて、その外周にはリング状凸部26が下向に
突設されている。そして、前記リング状凸部26の下面
はライナー28を介して固定子6の<[13に対接して
いる。
The holder 1 is connected to the stator 6 from above.
A movable member 24 is inserted into the movable member 8 through a rotation preventing means such as a surface joint or a spline joint so as to be relatively unrotatable. The movable element 24 is formed into a disk shape from a metal material such as aluminum, and has a ring-shaped protrusion 26 projecting downward from its outer periphery. The lower surface of the ring-shaped convex portion 26 is in contact with <[13] of the stator 6 via the liner 28.

前記可動子24の上方においてホルダ18には、可動子
24を固定子6に向けて加圧するばね手段としての皿ば
ね30が挿入され、ホルダ18の」1端鍔部18bによ
って上方から抑圧保持されている。
A disc spring 30 serving as a spring means for pressurizing the movable element 24 toward the stator 6 is inserted into the holder 18 above the movable element 24, and is pressed and held from above by the flange 18b of the holder 18 at one end. ing.

また、前記皿ばね30の外周縁と対応する位置において
、可動子24の上部には環状突起25が一体形成されて
いる。前記環状突起25の内周には、皿ばね30の外周
縁、すなわち、加圧作用部30aを受けるばね受は部2
5aが切欠形成されている。ばね受は部25aと加圧作
用部30aとの間には、弾性部材としてのゴムリング2
7が介装されている。なお、皿ばね30の加圧力は前記
シム34の厚みを変更することによって適宜に調整され
ている。
Further, an annular projection 25 is integrally formed on the upper part of the movable element 24 at a position corresponding to the outer peripheral edge of the disc spring 30. On the inner periphery of the annular projection 25, there is a spring bearing portion 2 that receives the outer periphery of the disc spring 30, that is, the pressure acting portion 30a.
5a is cut out. A rubber ring 2 as an elastic member is provided between the spring bearing portion 25a and the pressure acting portion 30a.
7 is interposed. Note that the pressing force of the disc spring 30 is adjusted as appropriate by changing the thickness of the shim 34.

次に、上記のように構成された本実施例の超音波モータ
の動作を説明する。
Next, the operation of the ultrasonic motor of this embodiment configured as described above will be explained.

固定子6に固着された圧電素子14に高周波電力が印加
されると、その圧電素子14が歪み、固定子6に弾性進
行波が発生する。この弾性進行波は固定子6の大径リン
グ部9に沿って周回し、その過程で、弾性進行波の振幅
が大径リング部°9のくし歯13によって拡大される。
When high frequency power is applied to the piezoelectric element 14 fixed to the stator 6, the piezoelectric element 14 is distorted and an elastic traveling wave is generated in the stator 6. This elastic traveling wave circulates along the large-diameter ring portion 9 of the stator 6, and in the process, the amplitude of the elastic traveling wave is expanded by the comb teeth 13 of the large-diameter ring portion 9.

すると、くし歯13の表面上の質点には楕円運動が生起
され、この楕円運動に伴い、固定子6と可動子24に固
定されたライナー28との接触面に摩擦力が発生する。
Then, an elliptical motion is generated in the mass points on the surface of the comb teeth 13, and along with this elliptical motion, a frictional force is generated on the contact surface between the stator 6 and the liner 28 fixed to the movable element 24.

そして、この摩擦力で可動子24に回転モ−メントが作
用し、これによって、可動子24、ホルダ18及び回転
軸20が一体に回転される。
This frictional force causes a rotational moment to act on the movable element 24, thereby causing the movable element 24, the holder 18, and the rotating shaft 20 to rotate together.

このように、本実施例の超音波モータにおいて−は、可
動子24の上面に皿ばね30の加圧作用部30aを受け
る環状突起25が一体形成されているため、1111ば
ね30の加圧力がその環状突起25に沿って可動子24
の周方向に一様に分布される。
As described above, in the ultrasonic motor of this embodiment, the annular protrusion 25 that receives the pressurizing portion 30a of the disc spring 30 is integrally formed on the upper surface of the movable element 24, so that the pressurizing force of the 1111 spring 30 is reduced. The movable element 24 along the annular protrusion 25
uniformly distributed in the circumferential direction.

また、皿ばね30の加圧作用部30aに係合する部分で
可動子24が環状突起25により補強されるため、皿ば
ね30の加圧力で可動子24に彎曲が生じるおそれがな
くなり、固定子6と可動子24とが常に安定した接触面
を介して圧接される。
Furthermore, since the movable element 24 is reinforced by the annular protrusion 25 at the portion that engages with the pressurizing portion 30a of the disc spring 30, there is no possibility that the movable element 24 will curve due to the pressing force of the disc spring 30, and the stator 6 and the movable element 24 are always pressed together through a stable contact surface.

したがって、可動子24に固定されたライナー28及び
固定子6間の摩擦係数及び圧接力が安定化し、回転むら
及びトルクむらが抑制される。また、可動子24に固定
されたライナー28及び固定子6が安定して圧接する状
態では、可動子24に固定子6とは異なる周波数の固有
振動が発生しにくくなり、可動子24及び皿ばね30等
における異音の発生が防止される。その結果、圧電素子
14に高電力を供給して、高いモータ出力を支障なく得
ることができる。
Therefore, the friction coefficient and pressure contact force between the liner 28 fixed to the movable element 24 and the stator 6 are stabilized, and uneven rotation and torque are suppressed. In addition, when the liner 28 fixed to the movable element 24 and the stator 6 are in stable pressure contact, the natural vibration of the frequency different from that of the stator 6 is less likely to occur in the movable element 24, and the movable element 24 and the disc spring 30 etc., the generation of abnormal noise is prevented. As a result, high power can be supplied to the piezoelectric element 14 and high motor output can be obtained without any problem.

しかも、環状突起25が可動子24に一体状に固定され
ているため、可動子24と皿ばね30とめ間に別部品を
介装する場合と比較して部品点数が少なくなり、軽量で
かつ組付は容易な構造により、皿ばね30の加圧力を安
定化させることができる。更に、本実施例においては、
環状突起25と皿ばね30との間に弾性部材としてのゴ
ムリング27が介在しているので、可動子24の振動が
1111ばね30側に伝わりにくくなり、振動エネルギ
ーの減衰を抑制することができる。
Moreover, since the annular protrusion 25 is integrally fixed to the movable element 24, the number of parts is reduced compared to the case where separate parts are interposed between the movable element 24 and the disc spring 30, making it lightweight and easy to assemble. With a structure that is easy to attach, the pressing force of the disc spring 30 can be stabilized. Furthermore, in this example,
Since the rubber ring 27 as an elastic member is interposed between the annular protrusion 25 and the disc spring 30, the vibration of the movable element 24 is less likely to be transmitted to the 1111 spring 30 side, and damping of vibration energy can be suppressed. .

なお、上記実施例では環状突起25が可動子24に一体
形成されているが、本発明を実施する場合にはこれに限
定されるものではなく、環状突起25と可動子24とを
分割して形成し、それらを接着剤または溶接等の固着手
段で予め一体に固定したのちに組付けることもできる。
In the above embodiment, the annular protrusion 25 is integrally formed with the movable member 24, but the present invention is not limited to this, and the annular protrusion 25 and the movable member 24 may be separated. They can also be assembled after being formed and fixed together in advance with a fixing means such as adhesive or welding.

或いは、環状突起25は所定のピッチに配設した突起と
して使用することもできる。しかしながら、前記環状突
起25を可動子24に一体形成した本実施例によれば、
環状突起25の精度が向上し、その分、皿ばね30の加
圧力を可動子24の周方向に均一に分布できるという特
有の効果が得られる。
Alternatively, the annular projections 25 can also be used as projections arranged at a predetermined pitch. However, according to this embodiment in which the annular protrusion 25 is integrally formed with the movable element 24,
The precision of the annular protrusion 25 is improved, and the unique effect that the pressing force of the disc spring 30 can be uniformly distributed in the circumferential direction of the movable element 24 can be obtained.

また、本実施例の超音波モータは可動子24が回転運動
を行なうように構成されているが、可動子が直線運動す
るように構成したリニア形の超音波モータに本発明を応
用して具体化することも可能である。勿論、この場合に
は、上記実施例の環状突起25は直線状の突起または所
定のピッチに配設した突起とすることができる。
Furthermore, although the ultrasonic motor of this embodiment is configured so that the movable element 24 performs rotational motion, the present invention can be applied to a linear type ultrasonic motor in which the movable element is configured to perform linear motion. It is also possible to convert Of course, in this case, the annular projections 25 of the above embodiment may be linear projections or projections arranged at a predetermined pitch.

[発明の効果コ 以上、詳述したように、本発明の超音波モータは、圧電
素子によって弾性進行波を発生する固定子と、その固定
子に弾接するように配置された弾性進行波により駆動さ
れる可動子と、その可動子を固定子に向けて加圧するば
ね手段と、そのばね手段の加圧力を受けるように可動子
に配設された突起とから構成したものであるから、至っ
て簡単な構造により、ばね手段の加圧力を可動子の周方
向に一様に分布させ、回転むら及びトルクむら、並びに
、異音の発生を抑制でき、もって、高出力を得ることが
できる。
[Effects of the Invention] As described in detail above, the ultrasonic motor of the present invention is driven by a stator that generates elastic traveling waves using piezoelectric elements, and an elastic traveling wave that is arranged so as to be in elastic contact with the stator. It is extremely simple because it consists of a movable element that is moved toward the stator, a spring means that presses the movable element toward the stator, and a protrusion that is arranged on the movable element so as to receive the pressing force of the spring means. With this structure, the pressing force of the spring means can be uniformly distributed in the circumferential direction of the movable element, and rotational unevenness, torque unevenness, and generation of abnormal noise can be suppressed, thereby making it possible to obtain high output.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は本発明の一実施例による超音波モータの縦断面
図、第2図は第1図の超音波モータに装備された可動子
を示す斜視図、第3図は従来の超音波モータを示す縦断
面図、第4図は第3図の超音波モータにおいて固定子と
可動子との接触部分を拡大して示す部分断面図、第5図
は第3図の超音波モータで使用されている皿ばねの加圧
力の分布状態を示す説明図である。 図において、 6:固定子、     14:圧電素子、24:可動子
、     25:環状突起、30:皿ばね である。 なお、図中、同−符号及び同一記号は同一または相当部
分を示すものである。 特許出願人 アイシン精機株式会社 外1名
FIG. 1 is a longitudinal cross-sectional view of an ultrasonic motor according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a perspective view showing a movable element installed in the ultrasonic motor of FIG. 1, and FIG. 3 is a conventional ultrasonic motor. FIG. 4 is a partial sectional view showing an enlarged view of the contact area between the stator and the movable element in the ultrasonic motor shown in FIG. 3, and FIG. FIG. 3 is an explanatory diagram showing the distribution state of the pressing force of the disc spring. In the figure, 6: stator, 14: piezoelectric element, 24: mover, 25: annular projection, 30: disc spring. In the drawings, the same reference numerals and the same symbols indicate the same or equivalent parts. Patent applicant: 1 person other than Aisin Seiki Co., Ltd.

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)圧電素子によって弾性進行波を発生する固定子と
、 前記固定子に弾接するように配置されて、前記弾性進行
波によって駆動される可動子と、 前記可動子を前記固定子に向けて加圧するばね手段と、 前記ばね手段の加圧力を受けるように前記可動子に配設
された突起と を具備することを特徴とする超音波モータ。
(1) A stator that generates an elastic traveling wave using a piezoelectric element, a movable element that is arranged to come into elastic contact with the stator and is driven by the elastic traveling wave, and a movable element that is directed toward the stator. An ultrasonic motor comprising: a pressurizing spring means; and a projection disposed on the movable member so as to receive the pressurizing force of the spring means.
(2)前記突起は、可動子と一体的に形成された環状突
起としたことを特徴とする請求項1に記載の超音波モー
タ。
(2) The ultrasonic motor according to claim 1, wherein the projection is an annular projection formed integrally with the movable element.
(3)前記環状突起とばね手段との間に弾性部材が介在
していることを特徴とする請求項1または請求項2に記
載の超音波モータ。
(3) The ultrasonic motor according to claim 1 or 2, wherein an elastic member is interposed between the annular projection and the spring means.
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0529295U (en) * 1991-09-27 1993-04-16 株式会社フコク Ultrasonic motor
US5313132A (en) * 1991-05-20 1994-05-17 Canon Kabushiki Kaisha Elastic supporting member for a vibration driven motor
CN104506075A (en) * 2014-10-16 2015-04-08 南京航空航天大学 Constant precompression ultrasonic motor capable of bearing axial force

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