JPH02303078A - 圧電性磁器組成物 - Google Patents
圧電性磁器組成物Info
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- JPH02303078A JPH02303078A JP1124052A JP12405289A JPH02303078A JP H02303078 A JPH02303078 A JP H02303078A JP 1124052 A JP1124052 A JP 1124052A JP 12405289 A JP12405289 A JP 12405289A JP H02303078 A JPH02303078 A JP H02303078A
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- 229910052573 porcelain Inorganic materials 0.000 title description 11
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 6
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- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 4
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- HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N lead zirconate titanate Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ti+4].[Zr+4].[Pb+2] HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
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Landscapes
- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明は圧電性磁器組成物、具体的には、電子回路に於
けるフィルタや発振子などの材料として有用な圧電性磁
器組成物に関する。
けるフィルタや発振子などの材料として有用な圧電性磁
器組成物に関する。
(従来の技術)
一般に、この種の圧電材料としては、チタン酸ジルコン
酸鉛磁器が知られているが、最近では用途に応じた電気
的特性を得るため、チタン酸ジルコン酸鉛に組成式:
Pb(Co+zs′「att、)Os又はPb(Co+
z3Sbtz*)Osで表わされるm含酸化物を固溶さ
せた3成分系磁器組成物が提案されている。
酸鉛磁器が知られているが、最近では用途に応じた電気
的特性を得るため、チタン酸ジルコン酸鉛に組成式:
Pb(Co+zs′「att、)Os又はPb(Co+
z3Sbtz*)Osで表わされるm含酸化物を固溶さ
せた3成分系磁器組成物が提案されている。
(発明が解決しようとする課題)
この種の圧電性磁器組成物は、その圧電特性の良否を示
す電気機械結合係数(Kp)が大きいという特徴がある
が、共振および反共振周波数の温度特性が悪いためフィ
ルタや発振子として利用することが困難であった。しか
も、焼成時に素子か変形したり、斑点を生じたりするた
め、電気的特性のバラツキか大きく、工業的な利用価値
に乏しいという問題もあった。
す電気機械結合係数(Kp)が大きいという特徴がある
が、共振および反共振周波数の温度特性が悪いためフィ
ルタや発振子として利用することが困難であった。しか
も、焼成時に素子か変形したり、斑点を生じたりするた
め、電気的特性のバラツキか大きく、工業的な利用価値
に乏しいという問題もあった。
従って、本発明は電気機械結合係数が大きく、共振およ
び反共振周波数の温度特性に優れ、焼成時の変形の小さ
な圧電性磁器組成物を得ることを主目的とする。
び反共振周波数の温度特性に優れ、焼成時の変形の小さ
な圧電性磁器組成物を得ることを主目的とする。
(課題を解決するための手段)
本発明は、前記課題を解決するための手段として、P
bz ro a P b”r 103を基本成分とし
、これに一般式: P b(MetzsMe’ yz
s)03(但し、MeはSn、Zn、Fe、Mg、Mn
、Ni、CuおよびCrからなる群から選ばれた少なく
とも一種、Me’はS b、 T aのうち少なくとも
一種を表す。)で表される複合酸化物を、一般式:
Pb(CO+、tMe’ tz3)Os (但し、
Me’はS b、 1’ aのうち少なくとも一種を表
す。)で表わされる複合酸化物と共に、他の成分と相関
関係を持たせて所定量固溶させるようにしたものである
。
bz ro a P b”r 103を基本成分とし
、これに一般式: P b(MetzsMe’ yz
s)03(但し、MeはSn、Zn、Fe、Mg、Mn
、Ni、CuおよびCrからなる群から選ばれた少なく
とも一種、Me’はS b、 T aのうち少なくとも
一種を表す。)で表される複合酸化物を、一般式:
Pb(CO+、tMe’ tz3)Os (但し、
Me’はS b、 1’ aのうち少なくとも一種を表
す。)で表わされる複合酸化物と共に、他の成分と相関
関係を持たせて所定量固溶させるようにしたものである
。
即ち、本発明の要旨は、一般式:
%式%
びCrからなる群から選ばれた少なくとも一種、Me’
はSb、Taのうち少な(とも一種を表し、X。
はSb、Taのうち少な(とも一種を表し、X。
yおよび2は各成分のモル分率で、z+y+’z= 1
.00を満足し、第1図において下記組成を有する点Δ
、B、C,IJ、E、Fを頂点とする多角形ABCDE
Fで囲まれた範囲内のモル比を有し、0くαくlである
。)で表される組成を有する圧電性磁器組成物を提供す
るものである。
.00を満足し、第1図において下記組成を有する点Δ
、B、C,IJ、E、Fを頂点とする多角形ABCDE
Fで囲まれた範囲内のモル比を有し、0くαくlである
。)で表される組成を有する圧電性磁器組成物を提供す
るものである。
X F ZA
O,010,800,19 B O,200,800 CO,300,700 D O,3000,70 E O,1000,90 F O,010,090,90 (作用) PbZrOs PbTiO3を基本組成とし、これに
一般式: Pb(Me、Co+−*)tzsMe’t
zs)Os(但し、MeはSn、Zn、Fe、Mg、M
n、Ni、CuおよびCrからなる群から選ばれた少な
(とも一種、Me’はS b、 T rのうち少なくと
も一種を表す。)で表される複合酸化物を、他の成分と
相関関係を持たせて所定量固溶させると、それらの相乗
作用によって圧電特性を向上させると共に、焼成時の変
形を抑制する。
O,010,800,19 B O,200,800 CO,300,700 D O,3000,70 E O,1000,90 F O,010,090,90 (作用) PbZrOs PbTiO3を基本組成とし、これに
一般式: Pb(Me、Co+−*)tzsMe’t
zs)Os(但し、MeはSn、Zn、Fe、Mg、M
n、Ni、CuおよびCrからなる群から選ばれた少な
(とも一種、Me’はS b、 T rのうち少なくと
も一種を表す。)で表される複合酸化物を、他の成分と
相関関係を持たせて所定量固溶させると、それらの相乗
作用によって圧電特性を向上させると共に、焼成時の変
形を抑制する。
本発明に係る圧電性磁器組成物の組成範囲を前記範囲に
限定した理由は次の通りである。
限定した理由は次の通りである。
即ち、P bl(Me、Co+−α)1zaMe’ *
zsl O3のモル分率Xが0.01未満では圧電性を
改善する効果が十分に得られず、0.30を越えると絶
縁抵抗が低下し、分極が困難となって圧電性が得にく(
なる。また、α−0では、焼成時に変形すると共に、共
振周波数の温度特性が悪く、また、α−1では耐熱性が
極めて悪くなり、例えば、ハンダ付は等による加熱によ
って圧電性が大きく劣化してしまい、工業的な利用価値
が無くなるので0〈α〈lとした。
zsl O3のモル分率Xが0.01未満では圧電性を
改善する効果が十分に得られず、0.30を越えると絶
縁抵抗が低下し、分極が困難となって圧電性が得にく(
なる。また、α−0では、焼成時に変形すると共に、共
振周波数の温度特性が悪く、また、α−1では耐熱性が
極めて悪くなり、例えば、ハンダ付は等による加熱によ
って圧電性が大きく劣化してしまい、工業的な利用価値
が無くなるので0〈α〈lとした。
さらに、PbTiOsのモル分率yが第1図の多角形A
B CD E 1”の辺AB上の組成よりも多くなっ
たり、PbZrO3のモル分率2が第1図の多角形AB
CD E 1?の辺EF上の組成よりも多くなると、
焼結性が極めて悪(、圧電磁器として利用できないので
、第1図の多角形ABCDEFで囲まれた領域とした。
B CD E 1”の辺AB上の組成よりも多くなっ
たり、PbZrO3のモル分率2が第1図の多角形AB
CD E 1?の辺EF上の組成よりも多くなると、
焼結性が極めて悪(、圧電磁器として利用できないので
、第1図の多角形ABCDEFで囲まれた領域とした。
但し、多角形ABCDEFの辺BC。
DEの線上p組成を除く。
(実施例)
素原料としてPbQ(またはpbso4)、S no
x、ZnO,Fe、03、M g U 、 M n C
Os、Nip、CuO1Cr t 0−1S b、O,
、Ta、o 6、C0C03(またはCO304)、T
ie、およびz「0.を用い、これらを第1表に示す各
試料の組成になるように秤量し、各配合物を約20時問
屋式混合する。この混合原料を乾燥し、約750〜85
0℃で2時間仮焼した。次いで、仮焼物を適量の有機バ
インダーと共に10〜20時間湿式粉砕し、乾燥した後
、60メツシユのふるいを通して整粒し、その整粒粉を
750〜l 000 kit/ cm”の圧力で直径1
2mm。
x、ZnO,Fe、03、M g U 、 M n C
Os、Nip、CuO1Cr t 0−1S b、O,
、Ta、o 6、C0C03(またはCO304)、T
ie、およびz「0.を用い、これらを第1表に示す各
試料の組成になるように秤量し、各配合物を約20時問
屋式混合する。この混合原料を乾燥し、約750〜85
0℃で2時間仮焼した。次いで、仮焼物を適量の有機バ
インダーと共に10〜20時間湿式粉砕し、乾燥した後
、60メツシユのふるいを通して整粒し、その整粒粉を
750〜l 000 kit/ cm”の圧力で直径1
2mm。
厚さ1.2m−の円板に成型し、1150〜1250°
CのmWで2時間焼成して円板状磁器を得た。
CのmWで2時間焼成して円板状磁器を得た。
各磁器の両面に銀電極を焼付け、20〜150°Cの温
度の絶縁油中に浸漬し、3.0〜4.OKV/snの直
流電圧を印加して分極処理して試料を得た。
度の絶縁油中に浸漬し、3.0〜4.OKV/snの直
流電圧を印加して分極処理して試料を得た。
名試料について、比誘電率(εr)、電気機械結合係数
(Kp)、機械的品質係数(Q曽)、共振周波数の温度
係数(TC)を求めた。それらの結果を第1表に示す。
(Kp)、機械的品質係数(Q曽)、共振周波数の温度
係数(TC)を求めた。それらの結果を第1表に示す。
表中の※印は本発明の範囲外の組成を示す。なお、比誘
電率はキャパシタンスブリッジを用いて測定し、K、お
よびQteはインピーダンスの周波数特性から導出し、
TCは次式により求めた。
電率はキャパシタンスブリッジを用いて測定し、K、お
よびQteはインピーダンスの周波数特性から導出し、
TCは次式により求めた。
’rc−(rrmax−4rs+in)/(frtoX
loo) (ppm/’C)(但し、rrsaxは一
20〜80℃の間の共振周波数の最大値、rrminは
一20〜80℃の間の共振周波数の最小値、fr、。は
+20℃での共振周波数の値である。
loo) (ppm/’C)(但し、rrsaxは一
20〜80℃の間の共振周波数の最大値、rrminは
一20〜80℃の間の共振周波数の最小値、fr、。は
+20℃での共振周波数の値である。
また、試料番号15,26.27の各試料の耐熱性を調
べるため、加熱温度に対するKp値の変化を求めた。そ
の結果を第2図に示す。なお、このテストは、試料を1
60°Cに加熱したホットプレート上に載せて3分間加
熱し、自然雰囲気中1時間放置した後、Kp値を測定し
、次いで、200℃で同様に加熱放置後、測定し、さら
に240°C1260℃、280°C1300°C,3
20°C1330°C1340°Cと順次、温度を高め
つつ試料を加熱、測定するという方法で行った。
べるため、加熱温度に対するKp値の変化を求めた。そ
の結果を第2図に示す。なお、このテストは、試料を1
60°Cに加熱したホットプレート上に載せて3分間加
熱し、自然雰囲気中1時間放置した後、Kp値を測定し
、次いで、200℃で同様に加熱放置後、測定し、さら
に240°C1260℃、280°C1300°C,3
20°C1330°C1340°Cと順次、温度を高め
つつ試料を加熱、測定するという方法で行った。
さらに、αの値と焼成による磁器の変形度を調べるため
、焼成後の試料の直径の最大値(a)と最小値(b)を
測定した。その結果を第3図に示す。
、焼成後の試料の直径の最大値(a)と最小値(b)を
測定した。その結果を第3図に示す。
また、αの値の圧電特性に及ぼす影響を具体的に示すた
め、X=0.06、y=0.44、z=0.50、Me
=ZnSMe’=’raの試料について、αの変化によ
るKp、比誘電率、QtaおよびTCの変化をそれぞれ
第4図、第5図、第6図および第7図に示す。
め、X=0.06、y=0.44、z=0.50、Me
=ZnSMe’=’raの試料について、αの変化によ
るKp、比誘電率、QtaおよびTCの変化をそれぞれ
第4図、第5図、第6図および第7図に示す。
さらに、x= 0.06、y=0.44、z=0.50
、Me=M+s、Me’ −Taとした試料について、
αの変化によるQsの変化を第8図に示す。
、Me=M+s、Me’ −Taとした試料について、
αの変化によるQsの変化を第8図に示す。
(以 下 余 白)
第1表並びに第4図および第5図に示す結果から、0〈
αくlとするにより、即ち、PbZr0sPb′riO
sに一般式: Pb(Cot/1Me’tz、)Oz
(但し、Me’はS b、 ’r’ rのうち少なくと
も一種を表す。)で表わされる複合酸化物だけでなく、
一般式%式% びCrからなる群から選ばれた少なくとも一種、Me’
はS b、 ’「rのうち少なくとも一種を表す。)で
表される複合酸化物を固溶させることにより、α−〇の
組成のものく試料番号27,51,52.55)や、α
−1の組成のもの(試料番号26,43,46.59.
63)に比べて、より優れたに、および比誘電率を有す
る圧電性磁器が得られることが判る。
αくlとするにより、即ち、PbZr0sPb′riO
sに一般式: Pb(Cot/1Me’tz、)Oz
(但し、Me’はS b、 ’r’ rのうち少なくと
も一種を表す。)で表わされる複合酸化物だけでなく、
一般式%式% びCrからなる群から選ばれた少なくとも一種、Me’
はS b、 ’「rのうち少なくとも一種を表す。)で
表される複合酸化物を固溶させることにより、α−〇の
組成のものく試料番号27,51,52.55)や、α
−1の組成のもの(試料番号26,43,46.59.
63)に比べて、より優れたに、および比誘電率を有す
る圧電性磁器が得られることが判る。
また、第3図および第7図の結果から、0くαく1の範
囲で焼成時に変形せず、温度特性に浸れた圧電性磁器が
得られることか判る。
囲で焼成時に変形せず、温度特性に浸れた圧電性磁器が
得られることか判る。
さらに、第6図および第8図の結果から、MeがZnで
ある場合でも、αを変えることによりある程度任意の値
のQmを得ることができるが、MeをMnとした場合の
方が、より任意のQmの値を選ぶことができることが判
る。このことは、電気機械結合係数および比誘電率が大
きく、任意の0m値を持つフィルタや発振子を設計する
場合に、′l゛Cの良い材料を容易に得ることができる
ことを意味する。
ある場合でも、αを変えることによりある程度任意の値
のQmを得ることができるが、MeをMnとした場合の
方が、より任意のQmの値を選ぶことができることが判
る。このことは、電気機械結合係数および比誘電率が大
きく、任意の0m値を持つフィルタや発振子を設計する
場合に、′l゛Cの良い材料を容易に得ることができる
ことを意味する。
(発明の効果)
以上の説明から明らかなように、本発明によれば、電気
機械結合係数が大きく、共振、反共振周波数の温度特性
および耐熱性に優れ、しかも、電気的特性の安定した圧
電性磁器が得られる。従って、任意のQsを有する温度
特性に優れたフィルタや発振子を製造することができる
など、優れた効果が得られる。
機械結合係数が大きく、共振、反共振周波数の温度特性
および耐熱性に優れ、しかも、電気的特性の安定した圧
電性磁器が得られる。従って、任意のQsを有する温度
特性に優れたフィルタや発振子を製造することができる
など、優れた効果が得られる。
第1図は本発明に係る圧電性磁器組成物の組成範囲を示
す図、第2図は本発明に係る圧電性磁器と参考例のもの
の耐熱性を示すグラフ、第3図は0、06 P b(Z
n*cO1−J+z3Tatza)0、−0.44P
bTiOs−0,50PbZrO,の圧電性磁器につい
てのαと磁器の変形度の関係を示す図、第4図はその電
気機械結合係数とαとの関係を示す図、第5図はその比
誘電率とαとの関係を示す図、第6図はその機械的品質
係数とαとの関係を示す図、第7図はその共振周波数の
温度係数とαとの関係を示す図、第8図は0.06 P
b(Mn。 Co1−)1zsT’a*/a)Os 0.44Pb
TiO80゜5 L) P b Z r Osの圧電性
磁器について機械的品質係数とαの関係を示す図である
。 特 許 出 願 人 株式会社村田製作所代 理 人
弁理士 青白 葆 はか1名Pb((MecACo、−
g)173Me’273103寓2面 Qmp 羨 εr ’
?14mp
す図、第2図は本発明に係る圧電性磁器と参考例のもの
の耐熱性を示すグラフ、第3図は0、06 P b(Z
n*cO1−J+z3Tatza)0、−0.44P
bTiOs−0,50PbZrO,の圧電性磁器につい
てのαと磁器の変形度の関係を示す図、第4図はその電
気機械結合係数とαとの関係を示す図、第5図はその比
誘電率とαとの関係を示す図、第6図はその機械的品質
係数とαとの関係を示す図、第7図はその共振周波数の
温度係数とαとの関係を示す図、第8図は0.06 P
b(Mn。 Co1−)1zsT’a*/a)Os 0.44Pb
TiO80゜5 L) P b Z r Osの圧電性
磁器について機械的品質係数とαの関係を示す図である
。 特 許 出 願 人 株式会社村田製作所代 理 人
弁理士 青白 葆 はか1名Pb((MecACo、−
g)173Me’273103寓2面 Qmp 羨 εr ’
?14mp
Claims (1)
- (1)一般式:xPb{(Me_αCo_1_−_α)
_1_/_3Me’_2_/_3)O_3−yPbTi
O_3−zPbZrO_3(但し、MeはSn,Zn,
Fe,Mg,Mn,Ni,CuおよびCrからなる群か
ら選ばれた少なくとも一種、Me’はSb,Taのうち
少なくとも一種を表し、x、yおよびzは各成分のモル
分率で、x+y+z=1.00を満足し、第1図におい
て下記組成を有する点A,B,C,D,E,Fを頂点と
する多角形ABCDEFで囲まれた範囲内のモル比を有
し、0<α<1である。)で表される組成を有する圧電
性磁器組成物。 ▲数式、化学式、表等があります▼
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1124052A JPH02303078A (ja) | 1989-05-17 | 1989-05-17 | 圧電性磁器組成物 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1124052A JPH02303078A (ja) | 1989-05-17 | 1989-05-17 | 圧電性磁器組成物 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02303078A true JPH02303078A (ja) | 1990-12-17 |
Family
ID=14875785
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1124052A Pending JPH02303078A (ja) | 1989-05-17 | 1989-05-17 | 圧電性磁器組成物 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02303078A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5645753A (en) * | 1994-05-19 | 1997-07-08 | Kyocera Corporation | Piezo-electric ceramic composition |
| JP2003529917A (ja) * | 1999-12-16 | 2003-10-07 | エプコス アクチエンゲゼルシャフト | 圧電構造素子 |
-
1989
- 1989-05-17 JP JP1124052A patent/JPH02303078A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5645753A (en) * | 1994-05-19 | 1997-07-08 | Kyocera Corporation | Piezo-electric ceramic composition |
| JP2003529917A (ja) * | 1999-12-16 | 2003-10-07 | エプコス アクチエンゲゼルシャフト | 圧電構造素子 |
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