JPH02280027A - 差圧測定装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 本発明は、差圧測定装置に関するものである。

更に詳述すれば、差圧測定装置の入力回路に関するもの
である。

〈従来の技術〉 第５図は従来より一般に使用されているオリフィスによ
る流量測定システムの従来例の構成説明図である。

図において、Ａは測定流体の流れる管路である。

Ｂは管路Ａに設けられたオリフィスである。

ＣはオリフィスＢの上流、あるいは、下流の管路Ａに取
付けられた導管である。Ｃ１は導管を開閉する元弁であ
る。

Ｄは導管Ｃに接続された三方弁である。Ｄｌは三方弁り
に設けられたストップ弁、Ｄ２は均圧弁である。

Ｅは、三方弁りに接続された差圧測定装置である。

〈発明が解決しようとする課題〉 しかしながら、この様な装置においては、三方弁りと差
圧測定装置Ｅとは別体であり、相互の配管が必要となる
。また、装置が複雑となり、装置の小型軽量化、コスト
ダウンが図れない。

本発明は、この問題点を解決するものである。

本発明の目的は、小型軽量化、配管等の部品の不要化等
によりコストダウンが図れ、静圧スパン変動が少なく、
センサ部を非接地構造とすることにより電気回路を簡略
化出来る差圧測定装置を提供するにある。

〈課題を解決するための手段〉 この目的を達成するために、本発明は、ブロック状の本
体と該本体内部に設けられ対向する球面よりなる内部室
と該内部室を測定圧が導入される２個の測定室に分は移
動電極として機能する測定ダイアフラムと該測定ダイア
フラムに対向して前記内部室の壁面に絶縁体を介して設
けられた固定電極とブロック状のハウジングと該ハウジ
ングに設けられ前記本体を隙間を保って内蔵する内部空
所と前記本体とハウジングに設けられ前記測定室にそれ
ぞれ一端が接続され一方の途中が前記内部空所に連通さ
れ他端が該ハウジングの外部に開口する連通孔とを備え
る差圧センサ部と、前記連通孔の他端に一端がそれぞれ
絶縁体を介して接続され測定圧を導圧する導圧管と、該
導圧管の他端がそれぞれ固定される受圧ブロックと、該
受圧ブロックの外側面に設けられ該受圧ブロックと前記
導圧管と連通ずるシール室を構成するシールダイアフラ
ムと、前記受圧ブロックが取付けられ該シールダイアフ
ラムと受圧室を構成する凹部を有するベースブロックと
、該ベースブロックに設けられ前記受圧室に一端が連通
され１１！１＠が外部に受圧接続口として開口する２個
の接続孔と、該接続孔の途中にそれぞれ設けられ該接続
孔を開閉するストップ弁と、前記２個の接続孔の該スト
ップ弁と前記受圧室間の途中を相互に連通ずる均圧孔と
、該均圧孔の途中に設けられた均圧弁とを具備してなる
差圧測定装置を構成したも°のである。

く作用〉 以上の構成において、ストップ弁を開放し、均圧弁を閉
とすることにより、本体の左右から、測定圧力が加わり
、測定ダイアフラムは測定圧力の差圧によって変位する
。測定ダイアフラムの変位によって、固定電極と測定ダ
イアフラムとの静電容量が差動的に変化し、差圧に対応
した電気信号出力が得られる。

装置の両側定入力を均圧にし、装置のゼロ点を調整する
には、均圧弁を開にした後、高圧側のストップ弁を閉に
し、次に、低圧側のスト・ツブ弁を閉めてから装置のゼ
ロ点を調整する。

また、本体はハウジングの内部空所に配置され、一方の
測定圧が本体の外側から加わるようにされている。

また、センサ部分は、非接地形に構成されている。

以下、実施例に基づき詳細に説明する。

〈実施例〉 第１図は本発明の一実施例の要部構成説明図である。

図において、１は差圧センサ部である。

１１は第２図に示すごとく、ブロック状の本体である。

１１１はセラミックスよりなるボデーである。

１１２はボデー１１１の外周に設けられた金属のリング
である。

１２は本体１１に設けられ対向する球面よりなる内部室
である。

１３は内部室１２を二つの測定室１４．１５に分は移動
電極として機能する測定ダイアフラムである。

１３１．１３２は測定ダイアフラム１３に対向して内部
室１２の壁面に絶縁体であるボデー１１１を介して設け
られた固定電極である。

１６は第１図に示すごとく、ブロック状のハウジングで
ある。

１６１はハウジング１６に設けられ本体１１を隙間を保
って内蔵する内部空所である。

１７は本体１１とハウジング１６に設けられ測定室１４
．１５にそれぞれ一端が接続され一方の途中が内部空所
に連通され他端がハウジング１６の外部に開口する連通
孔である。

２は連通孔１７の他端に、一端がそれぞれ絶縁体を介し
て接続され、測定圧を導圧する導圧管である。この場合
は、ボデー１１１がセラミックスよりなる。

３は導圧管２の他端がそれぞれ固定される受圧ブロック
である。

３１は受圧ブロック３の外ｆｉ１面に設けられ受圧ブロ
ック３と導圧管２と連通するシール室３２を構成するシ
ールダイアフラムである。

４は受圧ブロック３が取付けられシールダイアフラム３
１と受圧室４１を構成する四部４２を有するベースブロ
ックである。

４３．４４はベースブロック４に設けられ受圧室４１に
一端が連通され他端が外部に受圧接続口として開口する
２個の接続孔である。

５は第３図に示すごとく、接続孔４３．４４の途中にそ
れぞれ設けられ、接続孔４３．４４を開閉するストップ
弁である。

４５は２個の受圧室４１を相互に連通ずる均圧孔である
。

６は第４図に示すごとく、均圧孔４５の途中に設けられ
た均圧弁である。

７は第１図に示すごとく、差圧センサ部工を覆って、ベ
ースブロック４に取付けれたカバーである。７１はカバ
ー７に取付けられ、電子部品の取付けられたプリント板
ユニツｌ−である。

１０１．１０２は、測定室１４．１５．導圧管２、シー
ル室３２とで構成される２個の室に封入される封入液で
ある。この場合はシリコンオイルが用いられている。

以上の構成において、ストップ弁５を開放し、均圧弁６
を閉とすることにより、本体１１の左右から、測定圧力
が加わり、測定ダイアフラム１３は測定圧力の差圧によ
って変位する。ａｌ定ダイアフラム１３の変位によって
、固定電極１３３，１３４と測定タイアフラム１３との
静電容量が差動的に変化し、差圧に対応した電気信号出
力が得られる。

装置の両側定入力を均圧にし、装置のゼロ点を調整する
には、均圧弁６を開にした後、高圧側のス１−ツブ弁５
を閉にし、次に、低圧側のストップ弁５を閉めてから装
置のゼロ点を調整するまた、本体１１はハウジング１６
の内部空所１６１に配置され、一方の測定圧が本体１１
の外１則から加わるようにされている。

また、センサ部分は、非接地形に構成されている。

この結果、 （１）差圧測定装置本体部分と三方弁を一体に構成でき
たので、ボルト、本体フランジ、取付はブラケット等が
不要となり、小型、軽量、コストダウンが図れる。

（２）差圧測定装置本体部分と三方弁間の配管か不要に
なる。

（３）差圧センサ部１は、導圧管２によりベースブロッ
ク４から離されて空気中に支持されているので、測定流
体が高温であっても、測定流体の温度の影響を受けにく
く測定可能温度範囲の広い装置が得られる。

（４〉本体１１はハウジング１６の内部空所１６１に配
置され、一方の測定圧が本体１１の外側から加わるよう
にされているので、静圧スパン変動の少ないものが得ら
れる。

（５）導圧管２はセンサ部に一端が絶縁体を介してそれ
ぞれ接続されているので、センサ部を非接地構造とする
ことができ、電気回路を簡略化出来る。

なお、前述の実施例においては、ストップ弁５と均圧弁
６とは、マニアル操作のものについて説明したが、電磁
弁等を使用したリモート式の弁でも良いことは勿論であ
る。

〈発明の効果〉 以上説明したように、本発明は、ブロック状の本体と該
本体内部に設けられ対向する球面よりなる内部室と該内
部室を測定圧が導入される２個の測定室に分は移動電極
として機能する測定ダイアフラムと該測定ダイアフラム
に対向して前記内部室の壁面に絶縁体を介して設けられ
た固定電極とブロック状のハウジングと該ハウジングに
設けられ前記本体を隙間を保って内蔵する内部空所と前
記本体とハウジングにに設けられ前記測定室にそれぞれ
一端が接続され一方の途中が前記内部空所に連通され他
端が該ハウジングの外部に開口する連通孔とを備える差
圧センサ部と、前記連通孔の他端に一端がそれぞれ絶縁
体を介して接続され測定圧を導圧する導圧管と、該導圧
管の他端がそれぞれ固定される受圧ブロックと、該受圧
ブロックの外側面に設けられ該受圧ブロックと前記導圧
管と連通ずるシール室を構成するシールダイアフラムと
、前記受圧ブロックが取付けられ該シールダイアフラム
と受圧室を構成する凹部を有するベスブロックと、該ベ
ースブロックに設けられ前記受圧室に一端が連通され他
端が外部に受圧接続１］として開［１する２個の接続孔
と、該接続孔の途中にそれぞれ設けられ該接続孔を開閉
するストップ弁と、前記２個の接続孔の該ストップ弁と
前記受圧室間の途中を相互に連通ずる均圧孔と、該均圧
孔の途中に設けられた均圧弁とを具備してなる差圧測定
装置を構成した。

この結果、 （１）差圧測定装置本体部分と三方弁を一体に構成でき
なので、ボルト、本体フランジ、取付はブラゲッ１−等
が不要となり、小型、軽量、コストダウンが図れる。

（２）差圧測定装置本体部分と三方弁間の配管か不要に
なる。

（３）差圧センサ部は、導圧管によりベースブロックか
ら離されて空気中に支持されているので、測定流木が高
温であっても、測定流体の温度の影響を受けにくく測定
可能温度範囲の広い装置が得られる。

（４）本体はハウジングの内部空所に配置され、一方の
測定圧が本体の外側から加わるようにされているので、
静圧スパン変動の少ないものが得られる。

（５）導圧管はセンサ部に一端が絶縁体を介してそれぞ
れ接続されているので、センサ部を非接地構造とするこ
とができ、電気回路を簡略化出来る。

従って、本発明によれば、小型軽量化、配管等の部品の
不要化等によりコストダウンが図れ、静圧スパン変動の
少なく、センサ部を非接地構造とすることにより、電気
回路を簡略化出来る差圧測定装置を実現することができ
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の要部構成説明図、第２図、
第３図、第４図は第１図の要部構成説明し１、第５図は
従来より一般に使用されて℃）る従来例の構成説明図で
ある。 １・・・差圧センサ部、１０１，１０２．・・・封入液
、１１・・・本体、１２・・・内部室、１３・・・測定
タイアフラム、１３１，１３２・・・固定電極、１４．
１５・・・測定室、１６・・・ハウジング、１６１・・
・内部空所、１７・・・連通孔、２・・・導圧管、３・
・・受圧ブロック、３１・・・シールダイアフラム、３
２・・・シール室、４・・・ベースブロック、４１・・
・受圧室、４２・・・凹部、４３．４４・・・接続孔、
４５・・・均圧孔、５・・・ストップ弁、６・・・均圧
弁、７・・・カバー、７１・・・プリンｌ−板ユニット
。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. ブロック状の本体と該本体内部に設けられ対向する球面
   よりなる内部室と該内部室を測定圧が導入される２個の
   測定室に分け移動電極として機能する測定ダイアフラム
   と該測定ダイアフラムに対向して前記内部室の壁面に絶
   縁体を介して設けられた固定電極とブロック状のハウジ
   ングと該ハウジングに設けられ前記本体を隙間を保って
   内蔵する内部空所と前記本体とハウジングに設けられ前
   記測定室にそれぞれ一端が接続され一方の途中が前記内
   部空所に連通され他端が該ハウジングの外部に開口する
   連通孔とを備える差圧センサ部と、前記連通孔の他端に
   一端がそれぞれ絶縁体を介して接続され測定圧を導圧す
   る導圧管と、該導圧管の他端がそれぞれ固定される受圧
   ブロックと、該受圧ブロックの外側面に設けられ該受圧
   ブロックと前記導圧管と連通するシール室を構成するシ
   ールダイアフラムと、前記受圧ブロックが取付けられ該
   シールダイアフラムと受圧室を構成する凹部を有するベ
   ースブロックと、該ベースブロックに設けられ前記受圧
   室に一端が連通され他端が外部に受圧接続口として開口
   する２個の接続孔と、該接続孔の途中にそれぞれ設けら
   れ該接続孔を開閉するストップ弁と、前記２個の接続孔
   の該ストップ弁と前記受圧室間の途中を相互に連通する
   均圧孔と、該均圧孔の途中に設けられた均圧弁とを具備
   してなる差圧測定装置。