JPH02221818A - mass flow meter - Google Patents
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- JPH02221818A JPH02221818A JP4100489A JP4100489A JPH02221818A JP H02221818 A JPH02221818 A JP H02221818A JP 4100489 A JP4100489 A JP 4100489A JP 4100489 A JP4100489 A JP 4100489A JP H02221818 A JPH02221818 A JP H02221818A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。(57) [Summary] This bulletin contains application data before electronic filing, so abstract data is not recorded.
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は質吊流邑計に係り、コリオリの力を利用して流
体の質量流量を測定する質量流量計に関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION Field of the Invention The present invention relates to a suspended flow meter, and more particularly to a mass flow meter that measures the mass flow rate of a fluid using the Coriolis force.
従来の技術
従来より、特開昭54−525705’3に記載の如く
、振動するU字状のセンリヂ1−ブ内に流体を流し、流
体に働くコリオリの力によって発生するセンサチューブ
の捩れを検出し、流体の質量流量を計測する質量流量計
がある。Conventional technology As described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 54-525705'3, fluid is flowed through a vibrating U-shaped sensor tube and twisting of the sensor tube caused by the Coriolis force acting on the fluid is detected. However, there is a mass flow meter that measures the mass flow rate of fluid.
上記の質量流量計においては、一対のセン勺チュー1に
流体を流し、一対のセンサチューブを互いに近接、離間
する方向に振動さぜる。コリオリの力はセンサチューブ
の振動方向に働き、かつ入口側と出口側とで逆向きであ
るのでセンサチューブに捩れが生じ、この捩れ角は質量
流量に比例する。従って、一対のセンサチューブの入口
側及び出口側夫々の捩れる位置に振動を検出するセンサ
を設け、両センサの出力検出信号の時間差を計測して上
記センサチューブの捩れ、つまり質ω流量を測定してい
る。In the mass flowmeter described above, fluid is caused to flow through the pair of sensor tubes 1, and the pair of sensor tubes are vibrated in directions toward and away from each other. Since the Coriolis force acts in the direction of vibration of the sensor tube and is in opposite directions on the inlet and outlet sides, the sensor tube is twisted, and this twist angle is proportional to the mass flow rate. Therefore, a sensor for detecting vibration is provided at the twisting position on the inlet and outlet sides of a pair of sensor tubes, and the time difference between the output detection signals of both sensors is measured to measure the twist of the sensor tube, that is, the quality ω flow rate. are doing.
発明が解決しようとする課題
従来の上記質量流量計におけるセンサチューブの振動制
御方法では、加振器(マグネットと励振コイルよりなる
)の励振コイルの電磁力によりセンサチューブを強制的
に振動させ、振動方向で最も高い機械的なQ(ダンピン
グファクタの逆数)が得られる周波数でセンサチューブ
を共振状態で振動させている。この場合、センサナ1−
ブ内を流体が流れているときだけでなく、例えば4胴中
に流体の供給が停止されセンサチューブ内に流体が入っ
ていない状態となっても、上記の如くセンサチューブを
共振状態で振動させていた。Problems to be Solved by the Invention In the conventional vibration control method of the sensor tube in the mass flowmeter described above, the sensor tube is forcibly vibrated by the electromagnetic force of the excitation coil of the vibrator (consisting of a magnet and an excitation coil). The sensor tube is vibrated in a resonant state at a frequency that provides the highest mechanical Q (inverse of the damping factor) in the direction. In this case, sensor 1-
The sensor tube vibrates in a resonant state as described above, not only when fluid is flowing inside the cylinder, but also when the fluid supply to the cylinder is stopped and there is no fluid in the sensor tube. was.
このように、被測流体がセン9・チューブ内に入ってい
ない非計測時でもセンサチューブに加わる励振力は流体
がセンサチューブ内にある時と同様に付与されてしまう
のでエネルギの無駄が生じ、この状態が長時間連続する
とセンサチューブに疲労が蓄積されることになる。In this way, even during non-measurement when the measured fluid is not in the sensor tube, the excitation force applied to the sensor tube is applied in the same way as when the fluid is in the sensor tube, resulting in wasted energy. If this state continues for a long time, fatigue will accumulate in the sensor tube.
又、センサチューブの重量、形状によっては、流体が入
っていない状態で加振されるとセンサチューブの振動周
波数が流体が入っている状態に比べて1.5倍から2倍
程度まで高くなる。その場合、センサチューブの溶接部
等に無用な応力が作用しセンサデユープの寿命が短くな
るおそれがある。Furthermore, depending on the weight and shape of the sensor tube, when the sensor tube is vibrated without fluid in it, the vibration frequency of the sensor tube becomes about 1.5 to 2 times higher than in the state with fluid in it. In that case, unnecessary stress may be applied to the welded portion of the sensor tube, and the life of the sensor duplex may be shortened.
そこで、本発明は上記課題を解決した質量流量計を提供
することを目的とする。Therefore, an object of the present invention is to provide a mass flowmeter that solves the above problems.
課題を解決するための手段
本発明は上記質量流借4において、振動センサから出力
された検出信号を供給され管路の振動周波数を検出する
周波数検出手段と、周波数検出手段より出力された周波
数検出値が所定周波数を越えたか否かを判定し、所定周
波数を越えたとき、異常検出信号を出力する判定手段と
、判定手段からの異常検出信号を受けて加振器による振
動を停止させるか、又は警報を発する異常処理手段とを
具備してなる。Means for Solving the Problems The present invention provides, in the above-mentioned mass transfer 4, a frequency detection means for detecting the vibration frequency of the conduit by being supplied with a detection signal output from a vibration sensor, and a frequency detection means output from the frequency detection means. determining means for determining whether the value exceeds a predetermined frequency and outputting an abnormality detection signal when the value exceeds the predetermined frequency; or an abnormality processing means for issuing an alarm.
作用
振動する管路の振動周波数を検出し、周波数が所定以上
であるとき、管路に何らかの異常があるものとして管路
の振動を停止させるか又は警報を発する。The vibration frequency of the vibrating pipe is detected, and when the frequency is higher than a predetermined value, it is assumed that there is some abnormality in the pipe and the vibration of the pipe is stopped or an alarm is issued.
実施例
第1図乃至第3図は本発明の質量流量計の一実施例を示
す。Embodiment FIGS. 1 to 3 show an embodiment of the mass flowmeter of the present invention.
各図中、質量流量計の本体1は両端部に7ラン2部1a
、lbを有し、7ランジ部1aは上流側配管(図示せず
)に接続され、フランジ部1bは下流側配置!(図示せ
ず)に@続される。In each figure, the main body 1 of the mass flowmeter has 7 runs at both ends, 2 parts 1a.
, lb, the 7 flange portion 1a is connected to upstream piping (not shown), and the flange portion 1b is located downstream! (not shown).
本体1には流体が流入する流入口(第1図では隔れて見
えない)と、流体が流出する流出口2とが穿設されてお
り、本体1内は仕切板1c、idにより仕切られている
。U字状のセンケチ1−プ(管路)3.4は夫々の一端
が流入口に接続され、他端が流出口2に接続されている
。センサチュー13.4間のU字状湾曲部の中央位置に
は、センサチューブ3.4を矢印X方向に加振するため
のマグネット5及び励振コイル6が取付けられている。The main body 1 is provided with an inlet for fluid to flow in (not visible separately in Fig. 1) and an outlet 2 for fluid to flow out, and the interior of the main body 1 is partitioned by partition plates 1c and id. ing. One end of each U-shaped channel 1-3.4 is connected to the inlet, and the other end is connected to the outlet 2. A magnet 5 and an excitation coil 6 for exciting the sensor tube 3.4 in the direction of arrow X are attached to the center position of the U-shaped curved portion between the sensor tubes 13.4.
またセンサデユープ3.4間のU字状湾曲部の両端装置
には振動センナ7,8が夫々設けられている。Further, vibration sensors 7 and 8 are provided at both ends of the U-shaped curved portion between the sensor duplexes 3 and 4, respectively.
振動センサ7は、第2図に示す如く、センサチューブ3
に固定された保持部材9で保持されたコイル7aと、セ
ンサチューブ4に固定された保持部材10で保持された
マグネット7b、7cとより構成され、コイル7aはン
グネット7b、7c間の磁界内に配置されている。ここ
で、センサチューブ3.4が加振されて矢印X方向に相
対変位するとコイル7aに相対速度に応じた起電力が発
生し、この起電力が検出信号として取り出される。。The vibration sensor 7 is connected to the sensor tube 3 as shown in FIG.
It is composed of a coil 7a held by a holding member 9 fixed to the sensor tube 4, and magnets 7b and 7c held by a holding member 10 fixed to the sensor tube 4. It is located in Here, when the sensor tube 3.4 is vibrated and relatively displaced in the direction of the arrow X, an electromotive force is generated in the coil 7a according to the relative speed, and this electromotive force is taken out as a detection signal. .
振動センサ8もまったく同一の構造である。The vibration sensor 8 also has exactly the same structure.
ここで励振コイル6に流す電流をセンサナ1−プ3.4
夫々の固有振動数で変化させると、励振コイル6及びマ
グネット5の吸引・反発によってセンケチ1−プ3.4
は互いに矢印X方向に近接・離間して振動する。Here, the current flowing through the excitation coil 6 is set to sensor antenna 1-3.4.
When the vibrations are varied at their respective natural frequencies, the attraction and repulsion of the excitation coil 6 and magnet 5 cause
vibrate close to and apart from each other in the direction of arrow X.
振動するセンリヂ1−13,4内を流体が流れると、コ
リオリの力が発生する。コリ第1ノの力の方向は流体の
運動方向をセンサチューブ3.4の振動方向(角速度)
のベクトル積の方向であり、コリオリの力の大きさは、
流体の質量及び速度に。When fluid flows through the vibrating Senridges 1-13 and 4, a Coriolis force is generated. The direction of the first force is the direction of movement of the fluid and the vibration direction (angular velocity) of the sensor tube 3.4.
is the direction of the vector product of , and the magnitude of the Coriolis force is
to the mass and velocity of the fluid.
比例する。Proportional.
センサチューブ3.4はU字状湾曲部の中央位置にいく
ほど振幅が大であるので、流入側の振動センサ7の位置
では流体に正の加速度が与えられ、流出側の振動セン+
J8の位置では流体に負の加速度が与えられる。従って
、流入側では振動を減衰する向ぎにコリオリの力が働き
、流出側では振動を増大する向ぎにコリオリの力が働き
、センサチューブ3.4夫々に捩れが生じる。この捩れ
変形は流体の質ffi流岱に比例するから、振動センサ
7゜8夫々の検出信号の捩れ変形により生じる時間差τ
は流体の質II流量に比例する。Since the amplitude of the sensor tube 3.4 increases toward the center of the U-shaped curved portion, positive acceleration is applied to the fluid at the position of the vibration sensor 7 on the inflow side, and the vibration sensor +
At position J8, negative acceleration is applied to the fluid. Therefore, on the inflow side, Coriolis force acts to damp vibrations, and on the outflow side, Coriolis force acts to increase vibrations, causing twisting in each of the sensor tubes 3 and 4. Since this torsional deformation is proportional to the quality of the fluid ffi, the time difference τ caused by the torsional deformation of the detection signals of the vibration sensors 7 and 8 is
is proportional to the fluid quality II flow rate.
第1図中、励振コイル6及び振動センサ7.8は夫々流
出計測あり御装置11に接続されており、ia計測制御
装置11は大略第3図に示す構成となっている。即ち、
流量計測制御IIA置11は、センサチューブ3,4を
前述の如く振動させる励振コイル6に電流を供給する駆
動回路12と、センサチューブ3.4の変位を検出する
振動センサ7゜8からの検出信号a、bを入力され流量
に比例する雨検出信号a、bの時間差を検出する時間差
検出回路13とを有する。ざらに、流量計測制御袋H1
1には、振動センサ8からの検出信号すを入力されてセ
ンサチューブ3,4の振動周波数f1を検出する周波数
検出手段としての周波数検出回路14と、周波数検出回
路14で検出されたセンサチューブ3.4の周波数f1
が所定範囲内にあるか、あるいは所定範囲から外れてい
るかを判定する判定手段としての判定回路15とが設け
られている。In FIG. 1, the excitation coil 6 and the vibration sensor 7.8 are each connected to an outflow measurement control device 11, and the ia measurement control device 11 has a configuration roughly shown in FIG. 3. That is,
The flow rate measurement control IIA device 11 includes a drive circuit 12 that supplies current to the excitation coil 6 that vibrates the sensor tubes 3 and 4 as described above, and detection from the vibration sensor 7.8 that detects the displacement of the sensor tube 3.4. It has a time difference detection circuit 13 which receives the signals a and b and detects the time difference between the rain detection signals a and b which are proportional to the flow rate. Zarani, flow rate measurement control bag H1
1 includes a frequency detection circuit 14 as a frequency detection means that receives a detection signal from the vibration sensor 8 and detects the vibration frequency f1 of the sensor tubes 3 and 4, and a sensor tube 3 detected by the frequency detection circuit 14. .4 frequency f1
A determination circuit 15 is provided as a determination means for determining whether the value is within a predetermined range or outside the predetermined range.
又、駆動回路12は振動センサ8からの検出信号(速度
信号)bが入力され、励振コイル6に流す電流をセンサ
チューブ3.4の固有振動数で変化させる。周波数検出
回路14では、振動センサ8の検出信号すをパルス状矩
形波に波形整形した後、単位時間当りのパルス数をカウ
ントしてセンナチューブ3.4の周波数f1を検出する
。判定回路15では、センサチューブ3.4の固有振動
数を中心に流量計測時の許容しうる最大周波数f wa
x及び最小周波数f winが予め設定されている。Further, the drive circuit 12 receives a detection signal (velocity signal) b from the vibration sensor 8, and changes the current flowing through the excitation coil 6 at the natural frequency of the sensor tube 3.4. The frequency detection circuit 14 shapes the detection signal of the vibration sensor 8 into a pulsed rectangular wave, counts the number of pulses per unit time, and detects the frequency f1 of the senna tube 3.4. The determination circuit 15 determines the maximum allowable frequency f wa during flow rate measurement centered around the natural frequency of the sensor tube 3.4.
x and the minimum frequency f win are set in advance.
尚、判定回路15で設定される許容範囲(fmax〜f
5in)は、被側流体の密度範囲及び周囲の温度範囲
内で変化するセンサチューブ3.4の振動周波数の変動
を含んでおり、使用可能範囲外の周波数は除去されてい
る。又、この許容範囲設定は上限1’ IIaxだけで
も良い。It should be noted that the allowable range (fmax~f
5 in) includes variations in the vibration frequency of the sensor tube 3.4 that varies within the density range of the treated fluid and the ambient temperature range, with frequencies outside the usable range being filtered out. Further, this allowable range may be set by setting only the upper limit 1' IIax.
そして、判定回路15においては、周波数検出回路14
からの周波数f、と設定された基準周波数f■ax、f
ginとの比較を行なう。In the determination circuit 15, the frequency detection circuit 14
The frequency f from , and the set reference frequency f■ ax, f
Compare with gin.
判定回路15はタイマを内蔵しており、タイマにより設
定された所定時間連続してf、>f■aXあるいはf、
<rainであるとき、センサチューブ3,4に異常が
発生しているものとして異常処理手段としての駆動回路
12及び警報装置16に異常検出信号Cを出力する。The determination circuit 15 has a built-in timer, and continuously determines f, >f■aX or f, for a predetermined time set by the timer.
<rain, it is assumed that an abnormality has occurred in the sensor tubes 3 and 4, and an abnormality detection signal C is output to the drive circuit 12 and alarm device 16 as abnormality processing means.
尚、警報装置16は例えば流ffi Ill IIIシ
ステムを管理する管理室等に設けられ、判定回路15か
らの検出信号Cが入力されると、ランプを点滅させたり
あるいはブザーを鳴らすこと(より管埋者に異常があっ
たことを知らせる。The alarm device 16 is installed, for example, in a control room that manages the FFI Ill III system, and when the detection signal C from the judgment circuit 15 is input, it blinks a lamp or sounds a buzzer (or a warning device that is installed in a pipe). inform the person that something is wrong.
通常の流量計測時は、センサチューブ3.4は固有振動
数で振動しているので、周波数f1はflax >f’
、 >f’minの許容範囲内にあり、正常な流量計測
が行なわれている。During normal flow measurement, the sensor tube 3.4 vibrates at its natural frequency, so the frequency f1 is flax >f'
, >f'min, and normal flow rate measurement is being performed.
ところが、センサチューブ3.4の周波数が異常に高く
なることがある。この場合、周波数検出回路14で検出
された周波数f1が判定回路15で設定されたf wa
xを越えてしまうことになる。However, the frequency of the sensor tube 3.4 may become abnormally high. In this case, the frequency f1 detected by the frequency detection circuit 14 is equal to the frequency f wa set by the determination circuit 15.
It will exceed x.
このような現象が発生する原因としては、例えばセンサ
チューブ3.4内に流体が全く入っていない状態で起る
ものと考えられている。又、センサチューブ3.4の形
状によっては周波数f+が固有振動数の1.5〜2倍ま
で轟くなってしまうこともある。It is believed that such a phenomenon occurs when, for example, no fluid enters the sensor tube 3.4. Further, depending on the shape of the sensor tube 3.4, the frequency f+ may become as loud as 1.5 to 2 times the natural frequency.
この状態が所定時間連続したとき、判定回路15は検出
信号Cを駆動回路12及び警報装置16に出力する。そ
の結果、駆動回路12はコイル6への電流供給を止めて
センサチューブ3.4を停止させる。同時に、警報装置
16が警報を発する。When this state continues for a predetermined period of time, the determination circuit 15 outputs the detection signal C to the drive circuit 12 and the alarm device 16. As a result, the drive circuit 12 stops supplying current to the coil 6 and stops the sensor tube 3.4. At the same time, the alarm device 16 issues an alarm.
これにより、センサチューブ3.4に疲労が蓄積したり
、あるいはセンサチューブ3.4の接続部等に無用な応
力が作用し、破損してしまうことを防止できる。また、
流体が入っていない状態でセンサチューブ3.4を加振
するといった無駄を無くすこともできる。This can prevent fatigue from accumulating in the sensor tube 3.4, or unnecessary stress acting on the connecting portions of the sensor tube 3.4, thereby preventing damage. Also,
It is also possible to eliminate the waste of vibrating the sensor tube 3.4 without fluid in it.
又、センサチューブ3.4の周波数f1が判定回路15
で設定された「1nより低く、これが所定時間連続した
場合には、例えばセンサチューブ3.4内に計測限度以
上の質量の流体が流入していたり、あるいはセンサチュ
ーブ3.4に外的な負荷等が作用していることが考えら
れる。この場合も、判定回路15は駆動回路12及び警
報装置16に検出信号Cを出力する。よって、駆動回路
12はセンサチューブ3.4の加振を停止し、同時に警
報装置16は警報を発する。Also, the frequency f1 of the sensor tube 3.4 is determined by the determination circuit 15.
If the value is lower than 1n and continues for a predetermined period of time, for example, a fluid with a mass exceeding the measurement limit has flowed into the sensor tube 3.4, or an external load has been applied to the sensor tube 3.4. In this case as well, the determination circuit 15 outputs the detection signal C to the drive circuit 12 and the alarm device 16. Therefore, the drive circuit 12 stops excitation of the sensor tube 3.4. At the same time, the alarm device 16 issues an alarm.
尚、−時的ニfl>f’1llaXあるいはfI〈f
gainになることは流量計測時にありうるため、−時
的な周波数の異常があっても判定回路15は検出信号C
を出力しないようにしているが、上記のような一詩的な
現象が生じないような装置であれば、判定回路15内の
タインは無用としても良い。Furthermore, −temporal dfl>f'1llaX or fI<f
gain may occur when measuring the flow rate, so even if there is a temporal frequency abnormality, the determination circuit 15 determines that the detection signal C
However, the tines in the determination circuit 15 may be unnecessary if the device is such that the above-mentioned phenomenon does not occur.
尚、上記実施例では0字状に形成されたセンサチューブ
3.4を例に挙げて説明したが、センサチューブ3.4
の形状としてはこれに限らず、形状の異なるセンサブl
−ブにも適用できる。その場合、センサチューブの固有
振動数が異なるため、夫々の形状に応じた周波数の許容
範囲(fmax〜f Win)を判定回路15に設定し
ておけば良い。In the above embodiment, the sensor tube 3.4 formed in a 0-shape was explained as an example, but the sensor tube 3.4
The shape of the sensor is not limited to this, but it can also be a sensor with a different shape.
- Can also be applied to In that case, since the natural frequencies of the sensor tubes are different, it is sufficient to set a permissible frequency range (fmax to fWin) in the determination circuit 15 according to each shape.
又、上記周波数検出回路14においては、入力された検
出信号すを矩形状のパルス波に整形した後、パルス波の
立上りから次のパルス波が立上るまでの時間を求め、こ
れに基づいて周波数を篩用することもできる。In addition, in the frequency detection circuit 14, after shaping the input detection signal into a rectangular pulse wave, the time from the rise of the pulse wave to the rise of the next pulse wave is determined, and the frequency is determined based on this. can also be used for sieving.
発明の効果
上述の如く、本発明になる質量流量計は、流体が流れる
管路の振動周波数が所定の周波数を越えたことを判定し
て管路の振動を停止させることができるので、例えば管
路内に流体が入っていない状態で管路を振動させてしま
うといった無駄を無くすことができるとともに、管路の
接続部分等に無理な応力が作用することを防止でき、管
路の負担を軽減して管路の寿命を長くすることができる
。Effects of the Invention As described above, the mass flowmeter according to the present invention can stop the vibration of the pipe by determining that the vibration frequency of the pipe through which fluid has exceeded a predetermined frequency. This eliminates the waste of vibrating the pipe when no fluid is in the pipe, and it also prevents excessive stress from being applied to the connecting parts of the pipe, reducing the burden on the pipe. This can extend the life of the conduit.
また、管路の振動数が判定回路の設定値を越えると管路
が振動しないので異常発生をも検知することができる等
の特長を有する。Furthermore, since the pipe does not vibrate when the frequency of vibration of the pipe exceeds the set value of the determination circuit, it has the advantage that it is also possible to detect the occurrence of an abnormality.
第1図は本発明になる質量流量計の一実施例の斜視図、
第2図はセンリ゛デユープの変位を検出する振動センサ
の正面図、第3図は流量計測制御装置のブロック図であ
る。
1・・・本体、3.4・・・センサチューブ、6・・・
コイル、7,8・・・振動センサ、11・・・流量計測
制御装置、12・・・駆動回路、13・・・時間差検出
回路、14・・・周波数検出回路、15・・・判定回路
、16・・・警報装置。
特許出願人 ト キ コ 株式会社
第
璽
図
第
図FIG. 1 is a perspective view of an embodiment of a mass flowmeter according to the present invention;
FIG. 2 is a front view of a vibration sensor that detects displacement of the sensor duplex, and FIG. 3 is a block diagram of the flow rate measurement control device. 1...Main body, 3.4...Sensor tube, 6...
Coil, 7, 8... Vibration sensor, 11... Flow measurement control device, 12... Drive circuit, 13... Time difference detection circuit, 14... Frequency detection circuit, 15... Judgment circuit, 16...Alarm device. Patent applicant Tokiko Co., Ltd.
Claims (1)
路に流体を流すことにより発生するコリオリの力により
該管路を変形させ、該管路の流入側及び流出側夫々で振
動センサにより振動を検出して、その検出信号の時間差
より該流体の質量流量を測定する質量流量計において、 前記振動センサから出力された検出信号を供給され前記
管路の振動周波数を検出する周波数検出手段と、 前記周波数検出手段より出力された周波数検出値が所定
周波数を越えたか否かを判定し、所定周波数を越えたと
き、異常検出信号を出力する判定手段と、 該判定手段からの異常検出信号を受けて前記加振器によ
る振動を停止させるか、又は警報を発する異常処理手段
と、 を具備してなることを特徴とする質量流量計。[Claims] A conduit is vibrated in a resonant state by an exciter, and the conduit is deformed by the Coriolis force generated by flowing fluid through the vibrating conduit. In a mass flowmeter that detects vibration with a vibration sensor on each outflow side and measures the mass flow rate of the fluid from the time difference between the detection signals, the vibration frequency of the pipe is supplied with the detection signal output from the vibration sensor. a frequency detection means for detecting; a determination means for determining whether or not a frequency detection value outputted from the frequency detection means exceeds a predetermined frequency, and outputting an abnormality detection signal when the frequency detection value outputted from the frequency detection means exceeds the predetermined frequency; A mass flowmeter comprising: abnormality processing means for stopping vibration by the vibrator or issuing an alarm upon receiving an abnormality detection signal from the means.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4100489A JPH02221818A (en) | 1989-02-21 | 1989-02-21 | mass flow meter |
Applications Claiming Priority (1)
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| JP4100489A JPH02221818A (en) | 1989-02-21 | 1989-02-21 | mass flow meter |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02221818A true JPH02221818A (en) | 1990-09-04 |
Family
ID=12596256
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4100489A Pending JPH02221818A (en) | 1989-02-21 | 1989-02-21 | mass flow meter |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02221818A (en) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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- 1989-02-21 JP JP4100489A patent/JPH02221818A/en active Pending
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