JPH02116703A - ガラス基板上の回路パターンの検査装置 - Google Patents
ガラス基板上の回路パターンの検査装置Info
- Publication number
- JPH02116703A JPH02116703A JP63271157A JP27115788A JPH02116703A JP H02116703 A JPH02116703 A JP H02116703A JP 63271157 A JP63271157 A JP 63271157A JP 27115788 A JP27115788 A JP 27115788A JP H02116703 A JPH02116703 A JP H02116703A
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- JP
- Japan
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- camera
- light
- light source
- glass substrate
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- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明はガラス基板上の回路パターンの検査装置に関す
る。
る。
（従来の技術）
液晶表示体などのガラス基板に形成された透明なＩＴＯ
電極のような回路パターンの検査装置として、ガラス基
板とＩＴＯ電極の赤外光の透過率の差異を利用したもの
が知られている（特開昭６１−１８８８９６号公報）。
電極のような回路パターンの検査装置として、ガラス基
板とＩＴＯ電極の赤外光の透過率の差異を利用したもの
が知られている（特開昭６１−１８８８９６号公報）。
このものは、複数のストライプ状のＩＴＯ電極が形成さ
れた基板の上方に赤外光源を設けるとともに、基板の下
方にＩＴＯ電極を透過した赤外光を検出する赤外光ライ
ンセンサを配設し、このラインセンサの出力値から、Ｉ
ＴＯ電極のパターンを検査するものである。
れた基板の上方に赤外光源を設けるとともに、基板の下
方にＩＴＯ電極を透過した赤外光を検出する赤外光ライ
ンセンサを配設し、このラインセンサの出力値から、Ｉ
ＴＯ電極のパターンを検査するものである。
（発明が解決しようとする課題）
上記従来装置は、ガラス基板とＩＴＯ電極を透過する赤
外光の透過率の差異を利用して、ＩＴｏ電極を検出する
ものであるが、しかしながら、ＩＴＯ電極の方がガラス
基板よりも若干透過率が高い程度であって、両者には大
きな５ｉｆｔ率の差異はないため、ＩＴＯ電極のパター
ン位置、形状などを明瞭に検知しにくい問題があった。
外光の透過率の差異を利用して、ＩＴｏ電極を検出する
ものであるが、しかしながら、ＩＴＯ電極の方がガラス
基板よりも若干透過率が高い程度であって、両者には大
きな５ｉｆｔ率の差異はないため、ＩＴＯ電極のパター
ン位置、形状などを明瞭に検知しにくい問題があった。
ところで、ＳｉＯ□から成るガラスと、ＩＴ０（ＩｎＴ
ｉｎ○２）、金、銅、アルミニウムのような金属物質は
、入射面に対して平行方向に振動する偏光に関して、顕
著な反射率特性の差異を有している。すなわち一般に、
上記のような偏光に関するブリュースター角は、金属物
質よりもガラスの方が小さく、しかもブリュースター角
におけるガラスの反射率は、金属物質のそれよりもはる
かに小さい。
ｉｎ○２）、金、銅、アルミニウムのような金属物質は
、入射面に対して平行方向に振動する偏光に関して、顕
著な反射率特性の差異を有している。すなわち一般に、
上記のような偏光に関するブリュースター角は、金属物
質よりもガラスの方が小さく、しかもブリュースター角
におけるガラスの反射率は、金属物質のそれよりもはる
かに小さい。
したがって、ガラスと金属物質のかかる偏光に対する反
射率特性の差異を利用すれば、ガラス基板に形成された
ＩＴＯ電極のような金属物質から成る回路パターンを精
度よく検査できることとなる。
射率特性の差異を利用すれば、ガラス基板に形成された
ＩＴＯ電極のような金属物質から成る回路パターンを精
度よく検査できることとなる。
したがって本発明は、上記のような光学特性を利用して
、ガラス基板に形成された回路パターンを精度よく検査
することができる装置を提供することを目的とする。
、ガラス基板に形成された回路パターンを精度よく検査
することができる装置を提供することを目的とする。
（課題を解決するための手段）
このために本発明は、ガラス基板に金属物質から成る回
路パターンを形成して成る被検査物を位置決めする位置
決め部と、この被検査物に光を照射する光源と、その反
射光を観察するカメラと、光の光路に配設された偏光体
と、上記光源とカメラを、上記被検査物の観察面に対し
てブリュースター角を保持させて、ＸＹ力方向相対的に
移動させる移動装置とから、ガラス基板に形成された回
路パターンの検査装置を構成したものである。
路パターンを形成して成る被検査物を位置決めする位置
決め部と、この被検査物に光を照射する光源と、その反
射光を観察するカメラと、光の光路に配設された偏光体
と、上記光源とカメラを、上記被検査物の観察面に対し
てブリュースター角を保持させて、ＸＹ力方向相対的に
移動させる移動装置とから、ガラス基板に形成された回
路パターンの検査装置を構成したものである。
（作用）
上記構成において、位置決め部に位置決めされた被検査
物に対し、ブリュースター角にて光を照射してカメラに
より観察することにより、偏光体を通して観察されるガ
ラス基板と回路パターンの偏光に対する反射率特性が異
なることから、回路パターンの位置、形状などを精度よ
く検査することができる。
物に対し、ブリュースター角にて光を照射してカメラに
より観察することにより、偏光体を通して観察されるガ
ラス基板と回路パターンの偏光に対する反射率特性が異
なることから、回路パターンの位置、形状などを精度よ
く検査することができる。
（実施例）
以下、被検査物として、ガラス基板にＩＴＯ電極を形成
して成る液晶表示体を例にとり、図面を参照しながら本
発明の詳細な説明する。
して成る液晶表示体を例にとり、図面を参照しながら本
発明の詳細な説明する。
第１図はＩＴＯ電極の検査装置の全体側面図であって、
１はＹ方向移動装置であり、Ｙテーブル２とその上に立
設された支持部３から成っており、支持部３はモータ等
の駆動手段により、Ｙ方向に移動する。支持部３の上部
には側方に延出するアーム部４が設けられており、アー
ム部４の下部に、カメラ５と光源６が装備されている。
１はＹ方向移動装置であり、Ｙテーブル２とその上に立
設された支持部３から成っており、支持部３はモータ等
の駆動手段により、Ｙ方向に移動する。支持部３の上部
には側方に延出するアーム部４が設けられており、アー
ム部４の下部に、カメラ５と光源６が装備されている。
７，８はカメラ５と光源６を取り付けるフレームであり
、カメラ５と光源６の前方には、偏光体９，１０が立設
されている。図示するように、カメラ５と光源６は前傾
して配設されており（第２図も併せて参照）、光源６か
ら発した光は、被検査物としての液晶表示体２０の観察
面に対し、ブリュースター角θｌで入射し、またこれに
反射されて同角θＲにてカメラ５に入射する。
、カメラ５と光源６の前方には、偏光体９，１０が立設
されている。図示するように、カメラ５と光源６は前傾
して配設されており（第２図も併せて参照）、光源６か
ら発した光は、被検査物としての液晶表示体２０の観察
面に対し、ブリュースター角θｌで入射し、またこれに
反射されて同角θＲにてカメラ５に入射する。
１５は上記カメラと光源６の下方に配設されたＸ方向移
動装置であって、基台１６上に液晶表示体２０を載置す
るＸテーブル１７を配設して構成されており、Ｙ方向移
動装置１とＸ方向移動装置１５を駆動することにより、
上記カメラ５と光源６は、液晶表示体２０の上面すなわ
ち観察面に対して、ブリュースター角θＩ、θＲを保持
しながら、この観察面に対してＸＹ力方向相対的に移動
する。
動装置であって、基台１６上に液晶表示体２０を載置す
るＸテーブル１７を配設して構成されており、Ｙ方向移
動装置１とＸ方向移動装置１５を駆動することにより、
上記カメラ５と光源６は、液晶表示体２０の上面すなわ
ち観察面に対して、ブリュースター角θＩ、θＲを保持
しながら、この観察面に対してＸＹ力方向相対的に移動
する。
第４図は液晶表示体２０を示すものであって上下２枚の
ガラス基板２１．２２の内部に液晶を封入して形成され
ており、ガラス基板２１の内面には、回路パターンとし
て、透明なＩＴＯ電極２３が形成されている。
ガラス基板２１．２２の内部に液晶を封入して形成され
ており、ガラス基板２１の内面には、回路パターンとし
て、透明なＩＴＯ電極２３が形成されている。
第３図はガラス基板（ＳｉＯ□）とＩＴＯ電極（ＩｎＴ
ｉｎＯｔ）の光学特性を示すものであって、横軸は入射
角θ、縦軸は反射率ＲＰである。反射率ＲＰとは、液晶
表示体２０に入射する光のうち、入射面に対して平行方
向に振動する光の振幅と、これに反射された同方向に振
動する光の振幅の比であり、カメラ５と光源６の前方に
、偏光体吐 １０を設置したことにより、同方向の光だ
けを液晶表示体２０に入射させ、またこれをカメラ５に
より観察することができる。
ｉｎＯｔ）の光学特性を示すものであって、横軸は入射
角θ、縦軸は反射率ＲＰである。反射率ＲＰとは、液晶
表示体２０に入射する光のうち、入射面に対して平行方
向に振動する光の振幅と、これに反射された同方向に振
動する光の振幅の比であり、カメラ５と光源６の前方に
、偏光体吐 １０を設置したことにより、同方向の光だ
けを液晶表示体２０に入射させ、またこれをカメラ５に
より観察することができる。
図示するように、入射角θが次第に太き（なるにつれて
、ガラス基板２１とＩＴＯ電極２３の反射率ＲＰに差が
生じはじめ、入射角θが５６’（ブリュースター角θＩ
）においてガラス基板２１の反射率ＲＰはほぼ零となり
、その時におけるＩＴＯ電極２３の反射率ＲＰとに格段
の差が生じるので、その反射率の差を利用することによ
り、ＩＴＯ電極２３の位置や形状を明瞭に観察すること
かできる。なお図から明らかなように、厳密なブリュー
スター角においてだけでなく、その近傍においても、ガ
ラス基板と＋ＴＯ電極は大きな反射率ＲＰの差異を有す
るので、ブリュースター角近傍においても、ＩＴＯ電極
を明瞭に観察できるものであり、したがって本発明でブ
リュースター角とは、厳密なブリュースター角（上述の
ように本実施例では５６°）だけでなく、略ブリュース
ター角も含むものである。
、ガラス基板２１とＩＴＯ電極２３の反射率ＲＰに差が
生じはじめ、入射角θが５６’（ブリュースター角θＩ
）においてガラス基板２１の反射率ＲＰはほぼ零となり
、その時におけるＩＴＯ電極２３の反射率ＲＰとに格段
の差が生じるので、その反射率の差を利用することによ
り、ＩＴＯ電極２３の位置や形状を明瞭に観察すること
かできる。なお図から明らかなように、厳密なブリュー
スター角においてだけでなく、その近傍においても、ガ
ラス基板と＋ＴＯ電極は大きな反射率ＲＰの差異を有す
るので、ブリュースター角近傍においても、ＩＴＯ電極
を明瞭に観察できるものであり、したがって本発明でブ
リュースター角とは、厳密なブリュースター角（上述の
ように本実施例では５６°）だけでなく、略ブリュース
ター角も含むものである。
本装置は上記のような構成より成り、次に検査作業の説
明を行う。
明を行う。
液晶表示体２０をＸテーブル１７上に載置し、光源６を
点灯すると、光源６から発した光は液晶表示体２０の上
面に反射され、反射光はカメラ５に入射する。光源６と
カメラ５は、液晶表示体２０の観察面すなわち上面に対
し、ブリュースター角θ■、θＲの角度で配設され、か
つそれぞれの前部には、入射面と直交方向に振動する光
だけを通す偏光体９．１０が配設されているので、第３
図を参照しながら説明したように、ガラス基板２１とＩ
ＴＯ電極２３のブリュースター角における反射率ＲＰが
異ることから、ＩＴＯ電極２３のパターンを明瞭に観察
し、その形状や位置などの良否を判断することができる
。
点灯すると、光源６から発した光は液晶表示体２０の上
面に反射され、反射光はカメラ５に入射する。光源６と
カメラ５は、液晶表示体２０の観察面すなわち上面に対
し、ブリュースター角θ■、θＲの角度で配設され、か
つそれぞれの前部には、入射面と直交方向に振動する光
だけを通す偏光体９．１０が配設されているので、第３
図を参照しながら説明したように、ガラス基板２１とＩ
ＴＯ電極２３のブリュースター角における反射率ＲＰが
異ることから、ＩＴＯ電極２３のパターンを明瞭に観察
し、その形状や位置などの良否を判断することができる
。
ところで、液晶表示体のような被検査物は、一般にかな
りの大きさを有しており、したがってその検査を行うと
きは、複数のブロックに分割して検査する。第５図はそ
の様子を示すものであって、液晶表示体２０の観察面は
複数のブロックａ ％ ｄに分割されており、Ｘ方向移
動装置１５とＹ方向移動装置１を駆動し、カメラ５と光
源６をブリュースター角を保持させたまま、観察面に対
して相対的にＸＹ力方向移動させ、各ブロック毎の検査
を行う。なお本実施例においては、液晶表示体２０をＸ
方向に移動させ、カメラ５と光［６をＹ方向に移動させ
るようにしているが、要は両者を相対的にＸＹ力方向移
動させればよく、したがって例えばカメラ５と光源６を
固定し、液晶表示体２０をＸＹ子テーブル！！置して、
ＸＹ力方向移動させるようにしてもよい。またガラス基
板上に形成される回路パターンとしては、ＩＴＯ電極に
限らず、金。
りの大きさを有しており、したがってその検査を行うと
きは、複数のブロックに分割して検査する。第５図はそ
の様子を示すものであって、液晶表示体２０の観察面は
複数のブロックａ ％ ｄに分割されており、Ｘ方向移
動装置１５とＹ方向移動装置１を駆動し、カメラ５と光
源６をブリュースター角を保持させたまま、観察面に対
して相対的にＸＹ力方向移動させ、各ブロック毎の検査
を行う。なお本実施例においては、液晶表示体２０をＸ
方向に移動させ、カメラ５と光［６をＹ方向に移動させ
るようにしているが、要は両者を相対的にＸＹ力方向移
動させればよく、したがって例えばカメラ５と光源６を
固定し、液晶表示体２０をＸＹ子テーブル！！置して、
ＸＹ力方向移動させるようにしてもよい。またガラス基
板上に形成される回路パターンとしては、ＩＴＯ電極に
限らず、金。
銅などの金属物質から成る回路パターンであってもよい
ものである。
ものである。
（発明の効果）
以上説明したように本発明に係るガラス基板上の回路パ
ターンの検査装置は、ガラス基板に金属物質から成る回
路パターンを形成して成る被検査物を位置決めする位置
決め部と、この被検査物に光を照射する光源と、その反
射光を観察するカメラと、光の光路に配設された偏光体
と、上記光源とカメラを、上記被検査物の観察面に対し
てブリュースター角を保持させて、ＸＹ力方向相対的に
移動させる移動装置とから構成されているので、ガラス
基板に形成されたＩＴＯ電極などの回路パターンを節単
にかつ精度よく検査することができる。
ターンの検査装置は、ガラス基板に金属物質から成る回
路パターンを形成して成る被検査物を位置決めする位置
決め部と、この被検査物に光を照射する光源と、その反
射光を観察するカメラと、光の光路に配設された偏光体
と、上記光源とカメラを、上記被検査物の観察面に対し
てブリュースター角を保持させて、ＸＹ力方向相対的に
移動させる移動装置とから構成されているので、ガラス
基板に形成されたＩＴＯ電極などの回路パターンを節単
にかつ精度よく検査することができる。
図は本発明の実施例を示すものであって、第１図は回路
パターンの検査装置の側面図、第２図は部分側面図、第
３図は光学特性図、第４図は液晶表示体の斜視図、第５
図は検査中の平面図である。 １．１５・・・移動装置 ５・・・カメラ ６・・・光源 ９．１０・・・偏光体 ２０・・・被検査物としての液晶表示体２１．２２・・
・ガラス基板 ・回路パターンとしてのＩＴＯ電極
パターンの検査装置の側面図、第２図は部分側面図、第
３図は光学特性図、第４図は液晶表示体の斜視図、第５
図は検査中の平面図である。 １．１５・・・移動装置 ５・・・カメラ ６・・・光源 ９．１０・・・偏光体 ２０・・・被検査物としての液晶表示体２１．２２・・
・ガラス基板 ・回路パターンとしてのＩＴＯ電極
Claims (1)
- ガラス基板に金属物質から成る回路パターンを形成して
成る被検査物を位置決めする位置決め部と、この被検査
物に光を照射する光源と、その反射光を観察するカメラ
と、光の光路に配設された偏光体と、上記光源とカメラ
を、上記被検査物の観察面に対してブリュースター角を
保持させて、ＸＹ方向に相対的に移動させる移動装置と
から成ることを特徴とするガラス基板上の回路パターン
の検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63271157A JPH02116703A (ja) | 1988-10-27 | 1988-10-27 | ガラス基板上の回路パターンの検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63271157A JPH02116703A (ja) | 1988-10-27 | 1988-10-27 | ガラス基板上の回路パターンの検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02116703A true JPH02116703A (ja) | 1990-05-01 |
Family
ID=17496131
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63271157A Pending JPH02116703A (ja) | 1988-10-27 | 1988-10-27 | ガラス基板上の回路パターンの検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02116703A (ja) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0511049A (ja) * | 1991-07-04 | 1993-01-19 | Sunx Ltd | 光センサ |
| FR2718522A1 (fr) * | 1994-04-12 | 1995-10-13 | Centre Tech Ind Papier | Dispositif pour effectuer la mesure d'un profil sur une surface plane. |
| KR20020040582A (ko) * | 2000-11-22 | 2002-05-30 | 구사마 사부로 | 액정 패널의 평가 방법 및 평가 장치 |
| KR100829892B1 (ko) * | 2004-12-17 | 2008-05-16 | 가부시키가이샤 니혼 마이크로닉스 | 표시용 패널의 검사장치 |
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| JP2012150521A (ja) * | 2012-05-15 | 2012-08-09 | Nanao Corp | 画面光演算装置またはその方法 |
| US8648794B2 (en) | 2010-10-06 | 2014-02-11 | Elzo Nanao Corporation | Screen light computation device or method |
| KR101446061B1 (ko) * | 2013-10-15 | 2014-10-01 | 기가비스주식회사 | 투명 기판의 표면 패턴 불량 측정 장치 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59134840A (ja) * | 1982-12-02 | 1984-08-02 | Stanley Electric Co Ltd | オ−ミツク接続された金属電極の像および位置を照明により検知する方法およびシステム |
| JPS61188896A (ja) * | 1985-02-15 | 1986-08-22 | 松下電器産業株式会社 | 透明電極の検査装置 |
-
1988
- 1988-10-27 JP JP63271157A patent/JPH02116703A/ja active Pending
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| CN104568984A (zh) * | 2013-10-15 | 2015-04-29 | 技佳唯斯股份有限公司 | 透明基板的表面图案不良测定装置 |
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| KR102043660B1 (ko) * | 2019-01-15 | 2019-11-12 | 주식회사 에이치비테크놀러지 | 투명층 검사 광학계 및 그를 포함하는 투명층 검사 장치 |
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