JPH0996907A

JPH0996907A - 感光性フィルム

Info

Publication number: JPH0996907A
Application number: JP25508595A
Authority: JP
Inventors: Yoshinori Kanamaki; 義則金巻; Masae Takahashi; 誠恵高橋
Original assignee: Tamapoly Co Ltd
Current assignee: Tamapoly Co Ltd
Priority date: 1995-10-02
Filing date: 1995-10-02
Publication date: 1997-04-08

Abstract

(57)【要約】【課題】積層された感光性組成物層の部分的厚みむら
や欠陥部の発生を解消できる感光性フィルムを提供す
る。【解決手段】本発明に係る感光性フィルムは、二軸延
伸ポリエステルフィルム１２にポリエチレンフィルム１
４を積層した積層フィルム１５のポリエステルフィルム
１２に感光性組成物層１６を塗布し、乾燥後そのまま巻
取って形成されてなることを特徴としている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、プリント配線板に
回路を形成するための感光性フィルムに関するものであ
り、特に、ドライフィルムレジストと呼ばれる感光性フ
ィルムに関する。

【０００２】

【従来の技術】感光性レジスト材料によるプリント配線
板等への回路形成の方法として、近年、ドライフィルム
レジストと呼ばれる感光性フィルムを用いる方法が採用
されている。

【０００３】このドライフィルムレジスト（感光性フィ
ルム）は、例えば、図６に示すように３層構成からな
り、ベースフィルムであるポリエステルフィルム（通常
０．０２５ｍｍ）５２の上にフォトレジスト（ＰＲ）層
（通常０．０２ないし０．０５ｍｍ）５４が塗布され、
この感光性組成物層としてのフォトレジスト５４に保護
フィルムであるポリエチレンフィルム（通常０．０２５
ないし０．０４ｍｍ）５６がラミネートされている。

【０００４】この感光性フィルムによるレジスト像形成
工程は、まず、層間接着力がＰＲ／ＰＥ（ポリエチレン
フィルム上にフォトレジスト層が形成されているもの）
よりＰＲ／ＰＥＴ（ポリエステルフィルム上にフォトレ
ジスト層が形成されているもの）の方が大きいため、図
７（Ａ）に示す如く、ポリエチレンフィルム５６を剥離
して配線基盤５８にラミネートされる。次いで、図７
（Ｂ）に示す如く、マスク６０をセットした状態で露光
する。その後、図７（Ｃ）に示す如く、ポリエステルフ
ィルム５２を剥離した後、現像し（図７（Ｄ）参照）、
さらにエッチング処理が施される。

【０００５】そして、エッチング終了後にフォトレジス
ト層５４が基盤５８上から剥離され、基盤５８上に微細
回路が形成される。

【０００６】この感光性フィルムの製造は、ポリエステ
ルフィルム５２に感光性組成溶液を塗工し、乾燥後、ポ
リエチレンフィルム５６を貼り合わせ巻取りし、所定幅
にスリットすることによりなされる。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】この種の感光性フィル
ムは、保護フィルムとのラミネート張力、巻張力などに
よるラミネート後の巻歪みのため、フォトレジスト層５
４の厚みむらや、フォトレジスト層５４の破壊が起こ
る。このため、この問題点を解消するために、各種の技
術改良が実施されている。

【０００８】しかしながら、従来の技術改良では、以下
のような問題がある。従来、例えば、保護フィルムとし
て、ポリプロピレンフィルムが用いられているが、これ
によれば、保護フィルムとしてのラミネート時の張力制
御は容易であり、しかも、ラミネート後の巻張力の変化
は少なく好ましいものの、ポリプロピレンフィルムが本
来有する硬さのため、剥離時にフォトレジスト層５４を
破壊するという問題がある。

【０００９】また、感光性フィルムのフォトレジスト層
の厚みは、上記の如く、０．０２ないし０．０５ｍｍで
あり、このようのレベルの厚さ故に、フォトレジスト層
の製品コストにしめる比率が大きくなっている。このた
め、フォトレジスト層の厚さを薄くしたいという要請が
ある。しかしながら、フォトレジスト層５４の厚さが薄
くなればなるほど、上記問題点である、フォトレジスト
層５４の厚みむらや、フォトレジスト層の破壊、さらに
は、保護フィルムを剥離する際の保護フィルムによるフ
ォトレジスト層５４の破壊等の問題点が顕著に発現す
る。このため、フォトレジスト層の厚みを０．０２ｍｍ
以下まで薄くすることは困難であった。

【００１０】

【発明の目的】そこで、本発明の目的は、フォトレジス
ト層の肉厚を薄くするという条件下で、ラミネート後の
巻歪みに起因する感光性組成物層の厚みむら及び感光性
組成物層の破壊、さらには、保護フィルムの剥離時にお
ける保護フィルムによる感光性組成物層の破壊が発生す
ることのない感光性フィルムを提供することにある。

【００１１】

【課題を達成するための手段】本発明は、前記目的を達
成するために提案されたものであり、下記の構成からな
ることを特徴とするものである。すなわち、本発明によ
れば、感光性組成物層を含み前記感光性組成物層に積層
されたフィルムと前記感光性組成物層とが剥離可能で可
撓性を有する感光性フィルムにおいて、二軸延伸ポリエ
ステルフィルムとポリエチレンフィルムからなる積層フ
ィルムの何れかの面に前記感光性組成物層が塗布され、
この感光性組成物層が形成された積層フィルムを巻取っ
て形成されてなることを特徴とする感光性フィルムが提
供される。

【００１２】また、本発明によれば、請求項１記載の感
光性フィルムであって、積層フィルムの前記二軸延伸ポ
リエステルフィルムの表面に前記感光性組成物層が塗布
され、かつ、前記二軸延伸ポリエステルフィルムと感光
性組成物層との接着力が、前記ポリエチレンフィルムと
二軸延伸ポリエステルフィルムとの接着力よりも大きく
されている感光性フィルムが提供される。

【００１３】また、本発明によれば、請求項１記載の感
光性フィルムであって、積層フィルムの前記ポリエチレ
ンフィルムの表面に前記感光性組成物層が塗布され、か
つ、二軸延伸ポリエステルフィルムとポリエチレンフィ
ルムとの接着力が、前記ポリエチレンフィルムと感光性
組成物層との接着力よりも大である感光性フィルムが提
供される。

【００１４】また、本発明によれば、感光性組成物層を
含み前記感光性組成物層に積層されたフィルムと前記感
光性組成物層とが剥離可能で可撓性を有する感光性フィ
ルムにおいて、片面に剥離材が塗布された二軸延伸ポリ
エステルフィルムの何れかの面に、前記感光性組成物層
が塗布され、前記感光性組成物層が塗布された前記二軸
延伸ポリエステルフィルムを巻取って形成されることを
特徴とする感光性フィルムが提供される。

【００１５】また、本発明によれば、感光性組成物層を
含み前記感光性組成物層に積層されたフィルムと前記感
光性組成物層とが剥離可能で可撓性を有する感光性フィ
ルムにおいて、第１層が二軸延伸ポリエステルフィル
ム、第２層が感光性組成物層、第３層が保護フィルムか
らなる積層シートであり、前記保護フィルムが、ヤング
率が１０，０００Ｋｇ／ｃｍ² 以上、厚みが０．００５
ｍｍから０．２ｍｍのプラスチックフィルムにポリエチ
レンフィルムが積層されてなり、前記ポリエチレンフィ
ルムが前記感光性組成物層と接することを特徴とする感
光性フィルムが提供される。

【００１６】また、本発明によれば、感光性組成物層を
含み前記感光性組成物層に積層されたフィルムと前記感
光性組成物層とが剥離可能な感光性フィルムにおいて、
二軸延伸ポリエステルフィルムに感光性組成物層が塗工
され、前記二軸延伸ポリエスエルフィルムの感光性組成
物層塗布面と、溶融押出ポリエチレンをＴダイより押し
出した膜とがインラインで積層されてなることを特徴と
する感光性フィルムが提供される。

【００１７】

【発明の実施の形態】感光性組成物層を含む剥離性可と
うシートである感光性フィルム（ドライフィルムレジス
ト）の現在までに開示されている技術では、我々が求め
る感光性組成物層の薄膜化、積層時の感光性組成物層の
部分的欠陥の排除、剥離時の感光性組成物層の欠陥の発
生の排除はなかなか困難である。

【００１８】我々は、感光性組成物層を含む剥離性可と
うシートである感光性フィルムの全体の構成物の厚みを
低減し、機能を維持し安価に供給する方法を検討した結
果、本発明を完成するに至った。

【００１９】すなわち、請求項１の発明では、公知であ
るところの二軸延伸ポリエステルフィルムに感光性組成
物層を塗工後、ポリエチレン保護フィルムを積層する方
法に反し、あらかじめ図１に示す二軸延伸ポリエステル
フィルム１２にポリエチレンフィルム１４を積層した積
層フィルム１５のポリエステルフィルム１２面あるいは
ポリエチレンフィルム１２面に感光性組成物層１６を塗
布し、乾燥後そのまま巻取る方法を提供するというもの
である（図１では、二軸延伸ポリエステルフィルム１２
に感光性組成物層１６が積層された場合が示されてい
る。）。

【００２０】すなわち、この方法によれば、感光性組成
物層１６の塗工時の巻取張力は、可撓性を有するポリエ
ステル／ポリエチレンの積層体の張力制御のみで加工す
ることが出来、従来とは異なり、ポリエチレン保護フィ
ルム積層時の様な張力の影響がない。図２（Ａ）に示さ
れる如く、感光性フィルムを基盤１５にラミネートする
場合には、ポリエチレンフィルム１４が、二軸延伸ポリ
エステルフィルム１２から剥離される。次いで、図１
（Ｂ）に示す如く、マスク１１がセットされた状態で露
光し、図１（Ｃ）に示す如く、ポリエステルフィルム１
２を剥離した後、現像し（図１（Ｄ）参照）、さらにエ
ッチング処理が施される。

【００２１】そして、エッチング終了後に感光性組成物
層１６が基盤１５上から剥離され、基盤１５上に微細回
路が形成される。

【００２２】二軸延伸ポリエステルフィルム１２は感光
性組成物層１６から容易に剥離し（感光性組成物層１６
が、ポリエチレンフィルム１４に積層されている場合に
は、ポリエチレンフィルム１４が感光性組成物層１６か
ら容易に剥離し、）感光性組成物層の肉厚が薄い場合で
あっても欠陥部の発生の低減が得られる。

【００２３】なお、上記具体例では、感光性フィルムを
プリント基板上にラミネートする時点で、ポリエステル
フィルム１２からポリエチレンフィルム１４を剥離除去
しているが、積層のままであってもよく、後の露光技術
により何れを採用するか使い分けるのが好ましい。

【００２４】なお、二軸延伸ポリエステルフィルム１２
とポリエチレンフィルム１４との積層フィルムとして
は、両者を溶融押出しラミネート法にて積層したフィル
ム、ポリエステル樹脂とポリエチレン樹脂を共押出して
得られるフィルム、及び共押出後に二軸延伸したフィル
ムを使用できる。

【００２５】ポリエステルフィルムにポリエチレンフィ
ルムを溶融押出ラミネートする場合、ポリエステル樹脂
とポリエチレン樹脂を共押出する場合のいずれも、特に
その層間については意図的な接着剤や接着樹脂の使用は
不要である。この感光性フィルムの製造は、積層フィル
ム１５を図３に示す巻出し部１７にセットし、積層フィ
ルム１５を、塗工機１８に送り出す。塗工機１８では、
感光性組成物層を形成する材料の溶液が、積層フィルム
１５の二軸延伸ポリエステル１２表面又は、ポリエチレ
ンフィルム１４表面に塗布される。溶液塗布後のフィル
ムは、乾燥機１９へ搬送され、乾燥機１９で乾燥された
部位がさらに巻取機２０へと搬送され、この巻取機２０
において層状に巻き取られる。このようにして、ロール
状の感光性フィルムが得られる。

【００２６】請求項２の発明では、請求項１記載の発明
において、積層フィルムの二軸延伸ポリエステルフィル
ムの表面に前記感光性組成物層が塗布され、かつ、二軸
延伸ポリエステルフィルムと感光性組成物層との接着力
が、前記ポリエチレンフィルムと二軸延伸ポリエステル
フィルムとの接着力よりも大きくされている。このた
め、基板の金属膜に感光性組成物層を、ラミネートし、
表面のポリエチレンフィルムを剥離して露光させる場合
に、ポリエチレンフィルムのみを円滑に剥離できる。

【００２７】また、請求項３の発明では、請求項１記載
の感光性フィルムにおいて、積層フィルムにおけるポリ
エチレンフィルムの表面に感光性組成物層が塗布され、
かつ、二軸延伸ポリエステルフィルムとポリエチレンフ
ィルムとの接着力が、前記ポリエチレンフィルムと感光
性組成物層との接着力よりも大きくされている。このた
め、フィルムを感光性組成物層側から基板の金属膜にラ
ミネートする場合に、感光性組成物層と、ポリエチレン
フィルムとを容易に剥離できる。

【００２８】また、請求項４の発明に係る感光性フィル
ムの第１の態様は、二軸延伸ポリエステルフィルムの片
面にポリオルガノシロキサンのような離型剤を塗布し乾
燥後非離型処理面に感光性組成物を塗工し、そのまま巻
き取る事により、感光性フィルムを提供するものであ
る。この感光性フィルムは、単一フィルムに塗工するだ
けの工程のため、塗工巻き取り後の巻き歪みによる感光
性組成物層の厚みむらや欠陥部位の発現が起こりにくい
特徴があり、感光性組成物層の薄膜化が可能である。ま
た、積層体ロールからのロール剥離性もよく、基板に容
易に積層できる。

【００２９】また、本発明の第２の態様では、剥離処理
面に、感光性組成物層が塗工され巻き取られる。この場
合、感光性組成物層と非離型処理面間の接着力は、剥離
処理面と感光性組成物層との間の接着力よりも大きく設
定される。

【００３０】請求項５の発明では、感光性組成物層を含
み剥離性を有する可とう性シートにおいて、二軸延伸ポ
リエステルと感光性組成物層と保護フィルムの三層構成
の保護フィルムが、特定の物性を有することを特徴とし
ている。すなわち、本発明では、保護フィルムを構成す
るプラスチックフィルムのヤング率が１０，０００Ｋｇ
／ｃｍ² 以上であり、特に２０，０００Ｋｇ／ｃｍ² 以
上とするのが貼り合せ張力をより微妙に制御できる点で
好ましい。

【００３１】また、本発明では、保護フィルムの厚み
が、０．００５ｍｍないし０．２ｍｍのプラスチックフ
ィルムにポリエチレンフィルム（厚みが例えば、０．０
０５ｍｍないし０．０３ｍｍ）を積層した複合フィルム
が使用される。保護フィルムのプラスチックの厚みが上
記範囲を外れ、０．００５ｍｍよりも小さいと感光性組
成物層と貼り合せる張力制御が困難となる傾向にあり、
０．２ｍｍを超えると、積層基板に感光性組成物層を積
層する工程で、保護フィルムを剥離させる時に肝心の感
光性組成物層を破壊し、ピンホールを発生させる傾向に
ある。一方、ポリエチレンフィルムの厚みは、安定した
フィルムが得れれる範囲が０．００５ｍｍないし０．０
３ｍｍであり、０．０３ｍｍ以上は厚みの均一性が得ら
れにくく好ましくない。

【００３２】この保護フィルムは、片面にポリエチレン
フィルムを有することが特徴であり、このフィルムの積
層は、二軸延伸フィルムに接着剤を用いての溶融押出ラ
ミネートでもドライラミネートでもよく、さらには、共
押出法によるものでもよい。

【００３３】二軸延伸ポリエステルフィルムに感光性組
成物層を塗工し上記保護フィルムを積層する場合、積層
時の張力制御が容易で、感光性組成物の厚み変動が少な
く、剥離時の感光性組成物の破壊も少ない。

【００３４】この保護フィルムに用いるプラスチックフ
ィルムは、二軸延伸ポリエステルフィルム、二軸ポリプ
ロピレンフィルム、未延伸ポリプロピレンフィルム等が
上記厚みの範囲で使用でき、特に二軸延伸ポリエステル
フィルムがフィルムの表面平滑性が優れる点で好まし
い。また、感光性組成物層と接する層に位置したポリエ
チレンフィルムは、特に限定されるものではないが、好
ましくは、低密度ポリエチレンで、かつ、熱安定剤以外
の添加剤を含まないものがより好ましく選定される。

【００３５】この保護フィルムにおいて、感光性組成物
層と接するポリエチレンフィルムは、平滑性と柔軟性に
富み、かつ剥離性がよい。

【００３６】また、請求項６の発明では、感光性組成物
層を含み剥離性を有する可とう性シートにおいて、二軸
延伸プラスチックフィルムと感光性組成物と保護フィル
ムの三層構成の構築にあたり、二軸延伸ポリエステルフ
ィルムに感光性組成物を塗工しつつ、その上にインライ
ンにてポリエチレンをＴダイより溶融押出した膜を連続
して積層する。

【００３７】この場合、感光性組成物の熱破壊を防止す
るために、押出溶融膜が感光性組成物と接する温度は６
０℃以下が望ましい。

【００３８】上記の感光性組成物層を含み剥離性を有す
る可とう性シートは、本発明の目的を満たすものであ
る。感光性組成物については、ビスジアゾニウム塩、ニ
トロ芳香族組成物等を使用できる。

【００３９】

【実施例】以下、本発明を実施例に基づき詳細に説明す
るが、本発明の技術思想を超えない限り、これに限定さ
れるものではない。

【００４０】実施例１厚み０．０２５ｍｍの二軸延伸ポリエステルフィルム
に、密度０．９２０ｇ／ｃｍ³ の低密度ポリエチレンを
溶融押出法により０．０２ｍｍ厚みにてＴダイ押出しコ
ーティングを施し、二層フィルムを得た。この二層フィ
ルムの両面を超音波クリーナーで洗浄後、ポリエステル
面に、ポリメチルメタアクリレートをバインダーとし、
架橋剤としてトリメチロールプロパントリアクリレー
ト、光重合開始剤としてアントラキセノン、安定剤とし
てハイドロキノン、着色剤としてメチルバイオレットか
らなる感光性組成物を暗室にて０．０２ｍｍ、０．０１
ｍｍの二種の厚みにてロールコーティングし巻取りロー
ルを得た。４８時間後、暗室にて幅４００ｍｍにスリッ
トし、巻外よりＰＥ／ＰＥＴ／感光性組成物の小幅ロー
ルを得、遮光包装し評価に供した。

【００４１】実施例２厚み０．０２５ｍｍの二軸延伸ポリエステルフィルム
に、光重合触媒を添加したジメチルポリシロキサンをオ
フセットロールコーターで０．００１ないし０．００２
ｍｍ厚みにコーティングした後、ＵＶ照射し片面剥離型
ポリエステルフィルムを得た。この非コート面に、実施
例１と同様にして感光性組成物層をコートした巻取りロ
ールを得た。この巻取りロールとして、感光性組成物層
の厚みが０．０１ｍｍのものと、０．０２ｍｍのものを
得た。

【００４２】実施例３図４に示す如く、厚み０．０２５ｍｍの二軸延伸ポリエ
ステルフィルム２２に、実施例１と同様に感光性組成物
層２４をコーティングし、コート面の保護層として、厚
み０．０２ｍｍの延伸ポリプロピレンフィルム２６に接
着剤を塗布し、その上に密度０．９２０ｇ／ｃｍ³ の低
密度ポリエチレン２８を溶融押出法により、０．０２ｍ
ｍのＴダイ押出コーティングを行った二層フィルムのポ
リエチレンが感光性組成物層２４と接するよう積層し、
図４に示すポリエステルフィルム／感光性組成物層／ポ
リエチレン／ポリプロピレンフィルムの構造の巻取ロー
ルを得た。この巻取りロールとして、感光性組成物層の
厚みが０．０１ｍｍのものと、０．０２ｍｍのものを得
た。

【００４３】なお、本実施例に係る感光性組成物を用い
て基盤３０に回路パターンを形成する場合には、図５
（Ａ）に示す如く、延伸ポリプロピレンフィルム２６と
低密度ポリエチレンフィルム２８との積層フィルムを剥
離した状態で感光性フィルムを基盤３０にラミネートす
る。次いで、図５（Ｂ）に示す如く、マスク３２をセッ
トした状態で露光し、露光後に図５（Ｃ）に示す如く、
二軸延伸ポリエステルフィルム２２を剥離した後、現像
し（図５（Ｄ）参照）、さらにエッチング処理を施す。

【００４４】そして、エッチング終了後に感光性組成物
層２４が基盤３０上から剥離し、基盤３０上に微細回路
が形成される。

【００４５】実施例４厚み０．０２５ｍｍの二軸延伸ポリエステルフィルム
に、実施例１と同様に感光性組成物層をコーティング
し、コート面の保護層として、厚み０．０２ｍｍ、密度
０．９２０ｇ／ｃｍ³ の低密度ポリエチレンを溶融押出
法により冷却ロール上にＴダイ押出しフィルムを成型
し、冷却ロールの円周上で連続して感光性組成物層と積
層し、巻取ロールを得た。この時のポリエチレンの溶融
温度はＴダイ出口で２４０℃、冷却ロール上の積層時の
ポリエチレン膜の温度は６０℃であった。なお、巻取り
ロールとして、感光性組成物層の厚みが０．０１ｍｍの
ものと、０．０２ｍｍのものを得た。

【００４６】比較例１厚み０．０２５ｍｍの二軸延伸ポリエステルフィルム
に、実施例１と同様に感光性組成物をコーティングし、
コート面の保護層として、厚み０．０２５ｍｍ、密度
０．９２０ｇ／ｃｍ³ の低密度ポリエチレンをインフレ
ーション成型したフィルムを用い積層した巻取ロールを
得た。なお、巻取りロールとして、感光性組成物層の厚
みが０．０１ｍｍのものと、０．０２ｍｍのものを得
た。

【００４７】比較例２コートの保護層として、厚み０．０２５ｍｍの二軸延伸
ポリエステルフィルムを用い、比較例１と同様にして積
層し、巻取ロールを得た。なお、巻取りロールとして、
感光性組成物層の厚みが０．０２ｍｍのものを得た。

【００４８】比較例３コート面の保護層として、厚み０．０２ｍｍの二軸延伸
ポリプロピレンフィルムを用い、比較例１と同様にして
積層し、巻取ロールを得た。なお、巻取りロールとし
て、感光性組成物層の厚みが０．０１ｍｍのものと、
０．０２ｍｍのものを得た。

【００４９】これらの実施例、比較例について、ガラス
エポキシ積層銅箔の銅箔面に、感光性組成物層が接する
ように小幅巻取ロールを剥離しつつ積層し、パターン露
光により、その評価を行った結果を表１に示す。

【００５０】なお、評価方法は次のように実施した。＊剥離性：銅箔へ積層する工程での感光性組成物と保護
体との剥離状況を比較例１を○として、これより劣る場
合を×とした。＊ピンホール発生：感光性組成物を含む巻取りロールか
ら、幅４００ｍｍ、長さ１０００ｍｍの積層フィルムを
採取し、強制露光させ、感光性組成膜のピンホール欠陥
部をカウントした。＊厚みむら：感光性組成物を含む巻取りロールから、幅
４００ｍｍ、長さ１０００ｍｍの積層フィルムを採取
し、強制露光させ、感光性組成膜の光硬化に拠る着色濃
度むらにより膜の厚みむらを○、×、△にて判定した。
ただし、○は露光による着色むらがみられないことを示
しており、×は露光による着色むらがはっきりみられる
ことを、△は露光による着色むらが少しみられることを
示している。＊回路形成性：回路形成性の欄において、○は回路露
光、エッチング後の、回路線の切断、線間距離の不均一
がみられないことを示しており、×は回路露光、エッチ
ング後の、回路の切断、線間距離の不均一がはっきりみ
られることを、△は回路露光、エッチング後の、回路の
切断、線間距離の不均一が少しみられることを示してい
る。

【００５１】

【表１】

【００５２】上記表１より、感光性組成物の厚みを０．
０２まで、薄くしても、実施例１ないし４のいずれの実
施例においても、剥離性、厚みむら等において、良好で
あり、総合評価で○レベル、すなわち高水準であること
が明らかとなった。これに対して、すべての比較例、す
なわち、比較例１ないし３において、総合評価の点で○
レベルのものはなく、中水準（△）、低水準（×）のも
のしかなかった。また、実施例１ないし４において、感
光性組成物の厚みをさらに、半分の肉厚まで薄くしても
（０．０１ｍｍ）、実施例１ないし３において、総合評
価において○レベルであった。また、実施例４において
も総合評価において、△のレベルが維持された。

【００５３】

【発明の効果】本発明によれば、感光性組成物層の肉厚
を薄くするという条件下で、ラミネート後の巻歪みに起
因する感光性組成物層の厚みむら及び感光性組成物層の
破壊、さらには、保護フィルムの剥離時における保護フ
ィルムによる感光性組成物層の破壊が発生することのな
い感光性フィルムを提供できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例に係る感光性フィルムの斜視
図である。

【図２】（Ａ）ないし（Ｄ）は、図１の感光性フィルム
を用いて、基盤に回路パターンを形成する場合の工程図
である。

【図３】感光性フィルムの製造装置の概略図である。

【図４】本発明の他の実施例に係る感光性フィルムの斜
視図である。

【図５】（Ａ）ないし（Ｄ）は、図４の感光性フィルム
を用いて、基盤に回路パターンを形成する場合の工程図
である。

【図６】従来の感光性フィルムの斜視図である。

【図７】（Ａ）ないし（Ｄ）は、図６の感光性フィルム
を用いて、基盤に回路パターンを形成する場合の工程図
である。

【符号の説明】

１２二軸延伸ポリエステルフィルム１４ポリエチレンフィルム１６感光性組成物層

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【手続補正書】

【提出日】平成７年１０月４日

【手続補正１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】０００９

【補正方法】変更

【補正内容】

【０００９】また、感光性フィルムのフォトレジスト層
の厚みは、上記の如く、０．０２ないし０．０５ｍｍで
あり、このようなレベルの厚さ故に、フォトレジスト層
の製品コストにしめる比率が大きくなっている。このた
め、フォトレジスト層の厚さを薄くしたいという要請が
ある。しかしながら、フォトレジスト層５４の厚さが薄
くなればなるほど、上記問題点である、フォトレジスト
層５４の厚みむらや、フォトレジスト層の破壊、さらに
は、保護フィルムを剥離する際の保護フィルムによるフ
ォトレジスト層５４の破壊等の問題点が顕著に発現す
る。このため、フォトレジスト層の厚みを０．０２ｍｍ
以下まで薄くすることは困難であった。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】感光性組成物層を含み前記感光性組成物
層に積層されたフィルムと前記感光性組成物層とが剥離
可能で可撓性を有する感光性フィルムにおいて、二軸延
伸ポリエステルフィルムとポリエチレンフィルムからな
る積層フィルムの何れかの面に前記感光性組成物層が塗
布され、この感光性組成物層が形成された積層フィルム
を巻取って形成されてなることを特徴とする感光性フィ
ルム。
【請求項２】前記積層フィルムの前記二軸延伸ポリエ
ステルフィルムの表面に前記感光性組成物層が塗布さ
れ、かつ、前記二軸延伸ポリエステルフィルムと感光性
組成物層との接着力が、前記ポリエチレンフィルムと二
軸延伸ポリエステルフィルムとの接着力よりも大である
請求項１記載の感光性フィルム。
【請求項３】前記積層フィルムの前記ポリエチレンフ
ィルムの表面に前記感光性組成物層が塗布され、かつ、
二軸延伸ポリエステルフィルムとポリエチレンフィルム
との接着力が、前記ポリエチレンフィルムと感光性組成
物層との接着力よりも大きくされている請求項１記載の
感光性フィルム。
【請求項４】感光性組成物層を含み前記感光性組成物
層に積層されたフィルムと前記感光性組成物層とが剥離
可能で可撓性を有する感光性フィルムにおいて、片面に
剥離材が塗布された二軸延伸ポリエステルフィルムの何
れかの面に、前記感光性組成物層が塗布され、前記感光
性組成物層が塗布された前記二軸延伸ポリエステルフィ
ルムを巻取って形成されることを特徴とする感光性フィ
ルム。
【請求項５】感光性組成物層を含み前記感光性組成物
層に積層されたフィルムと前記感光性組成物層とが剥離
可能で可撓性を有する感光性フィルムにおいて、第１層
が二軸延伸ポリエステルフィルム、第２層が感光性組成
物層、第３層が保護フィルムからなる積層シートであ
り、前記保護フィルムが、ヤング率が１０，０００Ｋｇ
／ｃｍ² 以上、厚みが０．００５ｍｍないし０．２ｍｍ
のプラスチックフィルムにポリエチレンフィルムが積層
されてなり、前記ポリエチレンフィルムが前記感光性組
成物層と接することを特徴とする感光性フィルム。
【請求項６】感光性組成物層を含み前記感光性組成物
層に積層されたフィルムと前記感光性組成物層とが剥離
可能で可撓性を有する感光性フィルムにおいて、二軸延
伸ポリエステルフィルムに感光性組成物層が塗工され、
前記二軸延伸ポリエステルフィルムの感光性組成物層塗
布面と、溶融押出ポリエチレンをＴダイより押し出した
膜とがインラインで積層されてなることを特徴とする感
光性フィルム。