JPH0992701A - データベースを用いたｌｓｉの故障解析支援装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 類似故障が発生したときに迅速に過去の解析
事例を参照することが可能な技術を提供すること。 【解決手段】 データを格納する外部記憶装置と情報処
理装置とを具備するデータベースを用いたＬＳＩの故障
解析支援装置において、前記外部記憶装置は故障解析の
作業手順、該作業手順の判断基準データおよび前記作業
手順に基づいて得られた解析結果データを有するデータ
ベースファイルを具備し、前記データベース制御部は、
ＬＳＩの故障解析の作業手順データと該作業手順の各段
階での判断基準データとの格納を管理する作業手順格納
管理手段と、前記作業手順にしたがい得られた観察結果
から作業者が判定した解析結果データの格納を管理する
解析結果格納管理手段と、前記解析結果データと該解析
結果データを得るために実行した全ての作業手順と関連
付けを管理する関連情報管理手段とを具備する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、データベースを用
いたＬＳＩの故障解析支援装置に関し、特に、故障した
ＬＳＩチップの故障個所を特定して、故障原因を究明す
る作業者を支援するためのデータベースに関するもので
ある。

【０００２】

【従来の技術】ＬＳＩ故障解析とは、初期テストでの動
作不良や使用中に故障したＬＳＩチップの故障個所を見
つけだし、故障原因の究明を行うことにより、再び同じ
故障が発生することがないようにするための是正処置を
検討する技術である。

【０００３】従来のＬＳＩ故障解析では、故障解析に要
する時間とその費用とがＬＳＩの製造プロセス技術の高
度化に伴って増大しているので、その対応策として故障
解析技術の向上が求められている。

【０００４】故障解析技術の向上策として、まず、故障
解析を行う作業者はネットワークで接続されるパソコン
に電子顕微鏡あるいはＥＢテスタ（Ｅｌｅｃｔｒｏｎ
Ｂｅａｍテスタ：電子ビームテスタ）等のＬＳＩ故障解
析装置が出力する故障個所の出力画像をビデオキャプチ
ャーボードを介して取り込み、さらに、前記取り込んだ
画像をパソコンに接続する着脱式ハードディスクあるい
は光ディスク等の外部記憶装置に記憶しておく。

【０００５】他の作業者は、前述する外部記憶装置に記
憶されている故障個所の出力画像を参考にする、すなわ
ち、他の作業者が行った故障解析の結果を全作業者が共
有することにより、作業者の故障解析技術を向上させ、
解析作業の効率を高める技術が、文献（１）の「Steve
Morris,Ed Black, "THE ADVENT OF THE PAPERLESS FAIL
URE ANALYSIS INFORMATION SYSTEM," ISTFA 1990 Inter
national Symposium for Testing and Failure Analysi
s pp.81-87.」に紹介されている。

【０００６】その他の技術は、文献（２）の「Laurel
M.Bellay,P.B.Ghate,Lawrence C.Wagner, "COMPUTERS I
N FAILURE ANALYSIS," ISTFA 1990 International Symp
osiumfor Testing and Failure Analysis pp.89-95.」
に紹介されている。

【０００７】この文献（２）の技術によれば、パソコン
から入力した故障解析データは、大型計算機上のリレー
ショナルデータベースに格納される。

【０００８】パレート分析機能とエキスパートシステム
による故障ガイド機能を持っており、故障解析データを
集めて大型計算機に蓄え、解析の支援に使う。前述する
機能を持たせたことにより、故障解析データをより利用
しやすくしたばかりでなく、エキスパートシステムを通
じて現在の故障解析を効率化することができる。

【０００９】また、他の技術として、ＣＭＯＳ集積回路
の故障解析支援を目的としたエキスパートシステムが、
文献（３）の「Christopher L.Henderson and Jerry M.
Soden, "ICFAX, An Integrated Circuit Failure Analy
sis Expert System," 1991 IEEE/IRPS pp.142-151.」に
紹介されている。

【００１０】前述するエキスパートシステムでは、故障
解析データをより解析しやすくしたばかりでなく、エキ
スパートシステムを通じて故障解析を効率化できる。

【００１１】また、他の技術として、メモリＬＳＩの故
障解析を自動的に行うエキスパートシステムが、文献
（４）の「T.Tsujide,et.al., "Automatic Memory fail
ure Analysis Using an Expert System in Conjunction
with a memory Tester/Analyzer," IEEE/IRPS 1993,P
P.184-189.」に紹介されている。

【００１２】このエキスパートシステムでは、メモリＬ
ＳＩの故障モードと機能動作試験との関係を示す対応表
を作成し、故障個所の推定をエキスパートシステムで行
っている。

【００１３】

【発明が解決しようとする課題】本発明者は、前記従来
技術を検討した結果、以下の問題点を見いだした。

【００１４】従来のＬＳＩの故障解析支援装置におい
て、（１）の文献に記載のデータベースを用いたＬＳＩ
の故障解析支援装置は、故障解析を行う作業者がそれぞ
れ個々に蓄積していた解析結果を作業者全員で共有する
ことに重点をおいていたために、結果に至った手順等に
ついては考慮されていなかった。

【００１５】このため、故障解析に使用した資料および
結果に至った手順等についての記載については情報量が
不十分なものが多く、類似故障を解析した他の作業者の
経験を十分に生かすことができないという問題があっ
た。

【００１６】また、（２），（３）の文献に記載される
エキスパートシステムを用いたＬＳＩの故障解析支援装
置では、論理ＬＳＩのように品種ごとに故障モードと解
析方法が異なり、全ての品種に対応する解析手順を一般
化およびルール化することができない、すなわち、ＬＳ
Ｉ故障解析を行うときの解析手順を知識として完全に確
立できないので、（３）の文献「ＩＣＦＡＸ」で示され
る例のように、ＬＳＩ故障の内でも非常に単純な故障に
しか適応できないという問題があった。

【００１７】さらには、これまでのＬＳＩの故障解析
は、作業者がそれぞれ独自の経験をもとに行っていたの
で、未熟練者への技能継承に時間がかかるという問題が
あった。

【００１８】本発明の目的は、類似故障が発生したとき
に迅速に過去の解析事例を参照することが可能な技術を
提供することにある。

【００１９】本発明の他の目的は、故障解析の専門家で
なくても解析を行えるように、解析手順の指示を行うこ
とが可能な技術を提供することにある。

【００２０】本発明の前記ならびにその他の目的と新規
な特徴は、本明細書の記述及び添付図面によって明らか
になるであろう。

【００２１】

【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、
下記のとおりである。

【００２２】（１）データを格納する外部記憶装置と、
該外部記憶装置に格納されるデータを管理するデータベ
ース管理部を有する第１の情報処理装置と、該第１の情
報処理装置と通信ネットワークで接続される少なくとも
１台の第２の情報処理装置とを具備するデータベースを
用いたＬＳＩの故障解析支援装置において、前記外部記
憶装置はＬＳＩの故障解析の作業手順データ、該作業手
順の各段階での故障の有無を判断する判断基準データお
よび前記作業手順に基づいて得られた観察結果から作業
者が判定した解析結果データを有するデータベースファ
イルを具備し、前記データベース制御部は、ＬＳＩの故
障解析の作業手順データと該作業手順の各段階での故障
の有無を判断する判断基準データの格納を管理する作業
手順格納管理手段と、前記作業手順に基づいて得られた
観察結果から作業者が判定した解析結果データの格納を
管理する解析結果格納管理手段と、前記解析結果データ
と該解析結果データを得るために実行した全ての作業手
順と関連付けを管理する関連情報管理手段とを具備す
る。

【００２３】（２）前記（１）の前記関連情報管理手段
は、前記ＬＳＩの故障解析の作業内容を表現したフロー
チャートのシンボルと、前記作業手順データとを１対１
に関連付けておき、前記シンボルを選択することにより
作業手順を検索する。

【００２４】前述する（１）の手段によれば、関連情報
管理手段が外部記憶装置に格納される過去に行ったＬＳ
Ｉの故障解析の解析結果データと、前記解析結果を得る
ために実行した一連の作業手順とを関連付けて管理して
いるので、たとえば、作業者がＬＳＩの故障解析を行う
場合、作業者は故障に伴う症状等を検索キーワードとし
て過去の解析結果を検索することにより、前述するＬＳ
Ｉの故障と類似した症状のＬＳＩの故障解析を行ったと
きの解析結果を得ることができると共に、前記解析結果
を得るため行った作業手順および判断基準とを参照でき
る。

【００２５】したがって、作業者は検索によって得られ
た過去の作業手順をもとに故障解析作業を行うことがで
きるので、無駄な作業を行うことなくＬＳＩの故障解析
を行うことができる。

【００２６】前述する（２）の手段によれば、ＬＳＩの
故障解析の標準的な作業手順をフローチャートのシンボ
ルにしておき、前記シンボルと手順格納手段に管理され
る作業手順データおよび各手順ごとの判断基準データと
を関連情報管理手段により関連付けさせておくことによ
り、作業者は前記フローチャートにシンボルとして表示
される作業および判断をフローチャートにしたがって進
めることにより、ＬＳＩの故障解析を行うことができる
ので、未熟練者でも容易にＬＳＩの故障解析を行うこと
ができる。

【００２７】

【発明の実施の形態】以下、本発明について、発明の実
施の形態（実施例）とともに図面を参照して詳細に説明
する。

【００２８】なお、発明の実施の形態を説明するための
全図において、同一機能を有するものは同一符号を付
け、その繰り返しの説明は省略する。

【００２９】図１は本発明の実施の形態であるデータベ
ースを用いたＬＳＩの故障解析支援装置の概略構成を示
すブロック図であり、１はデータ処理室、２は解析作業
室、３は通信ネットワーク、４はパーソナルコンピュー
タａ（パソコンａ第２の情報処理装置）、５はパーソナ
ルコンピュータｂ（パソコンｂ，第２の情報処理装
置）、６はイメージスキャナａ、７はプリンタ、８はワ
ークステーションａ（第１の情報処理装置）、９はワー
クステーションｂ（第２の情報処理装置）、１０は磁気
ディスク装置（外部記憶装置）、１１はイメージスキャ
ナｂを示す。

【００３０】図１において、データ処理室１はパソコン
ａ４、パソコンｂ５、イメージスキャナａ６およびプリ
ンタ７を備えており、パソコンａ４あるいはパソコンｂ
５により故障解析の結果の入力および途中経過の参照が
できる。

【００３１】解析作業室２は、ワークステーションａ
８、ワークステーションｂ９、磁気ディスク１０、イメ
ージスキャナｂ１１を備えており、図示しない発光／発
熱解析装置、ＯＢＩＣ（Ｏｐｔｉｃａｌ Ｂｅａｍ Ｉ
ｎｄｕｃｅｄ Ｃｕｒｒｅｎｔ）およびＥＢテスタ（Ｅ
ｌｅｃｔｒｏｎ Ｂｅａｍテスタ：電子ビームテスタ）
を用いて行ったＬＳＩの解析結果を入力および作業手順
等のデータの表示ができる。

【００３２】通信ネットワーク３はデータ処理室１およ
び解析作業室２に設置されるパソコンａ，ｂ（４，
５）、ワークステーションａ，ｂ（８，９）およびプリ
ンタ７を接続する。

【００３３】パソコンａ，ｂ（４，５）は、周知の情報
処理装置であり故障解析の結果および途中経過の確認が
行えると共に、特に、パソコンａ４は周知のイメージス
キャナ６と接続されており、このイメージスキャナ６を
用いて、本実施の形態のデータベースを用いたＬＳＩの
故障解析支援装置に図および写真等を画像データとして
入力できる。

【００３４】プリンタ７は周知のプリンタであり、通信
ネットワーク３に接続されるパソコンａ，ｂ（４，５）
およびワークステーションａ，ｂ（８，９）からデータ
の印刷、および、表示画面のハードコピーが取れる。

【００３５】ワークステーションａ，ｂ（８，９）は、
周知の情報処理装置であり、図示しない発光／発熱解析
装置、ＯＢＩＣおよびＥＢテスタを用いて行ったＬＳＩ
の解析結果の入力および作業手順等のデータの表示が行
えると共に、特に、ワークステーションｂ９はデータベ
ースサーバとしての機能を持つ。

【００３６】磁気ディスク装置１０はワークステーショ
ンｂ９に接続されており、故障解析の作業手順の作業デ
ータ、故障解析の結果のデータをデータベースファイル
として格納する。

【００３７】図２はワークステーションｂ９が有するデ
ータベース制御部の概略構成を示す機能ブロック図であ
り、２００はデータベース制御部、２０１は作業手順格
納管理手段、２０２は解析結果格納管理手段、２０３は
検索手段、２０４は表示／入力手段、２０５は関連情報
管理手段を示す。

【００３８】図２において、作業手順格納管理手段２０
１は後述するように階層的に作業手順を記述した作業手
順データを管理しており、その作業手順データとして
は、 （ａ）ＩＣの品種、ロット名およびウエハ番号等の故障
個所を表現するためのデータ項目 （ｂ）作業手順内容を表現するための、条件、結果、判
断基準等のデータ （ｃ）視覚的に作業内容を表現するための代表的写真お
よび図面 等である。

【００３９】また、これらの作業手順データは、磁気デ
ィスク装置１０にデータベースファイルとして格納され
る。

【００４０】解析結果格納管理手段２０２が管理するデ
ータは、故障解析の概要を示すデータであり、 （Ａ）ＩＣの品種、ロット名およびウエハ番号等の故障
個所を表現するためのデータ項目 （Ｂ）図示しない発光／発熱解析装置、ＯＢＩＣおよび
ＥＢテスタ等の故障解析装置による観察結果および観察
したときの条件 （Ｃ）解析結果から得られた故障メカニズム （Ｄ）前述する故障メカニズムを示す写真および図面 等の解析結果データを管理する。

【００４１】また、これらの解析結果データは磁気ディ
スク装置１０にデータベースファイルとして格納され
る。

【００４２】検索手段２０３は、パソコンａ，ｂ（４，
５）およびワークステーションａ，ｂ（８，９）に接続
される図示しない入力手段から入力されるデータ項目等
を検索条件として、解析結果格納管理手段２０２が管理
する解析結果の中から検索条件と一致する解析結果を検
索して表示／入力手段２０４に転送する。

【００４３】なお、検索結果の表示方法としては検索条
件と一致する解析結果を１件づつ表示する方法の他に、
前述する（Ｄ）に示す故障メカニズムを示す写真および
図を一覧表として表示することもできるので、作業者は
故障の傾向を画像により把握できる。

【００４４】表示／入力手段２４は、データベースへの
入出力を制御する部分であり、ワークステーションｂ９
の図示しない入力手段から入力されるデータベースに対
する指示を作業手順格納管理手段２０１、解析結果格納
管理手段２０２および検索手段２０３に入力すると共
に、作業手順格納管理手段２０１、解析結果格納管理手
段２０２および検索手段２０３の出力をワークステーシ
ョンｂ９に接続される出力手段に出力して、表示させ
る。

【００４５】関連情報管理手段２０５は、周知の技術を
用いており、磁気ディスク装置１０にデータベースファ
イルとして格納される複数件の作業手順データと、その
作業手順データが示す一連の作業手順により得られた１
件の解析結果とを関連付ける情報をリンクファイルを作
成して管理する。

【００４６】したがって、作業者は磁気ディスク装置１
０に格納される解析結果を参照しながら、その解析結果
に関連する作業手順を磁気ディスク装置１０から読み出
して参照できると共に、作業手順を参照しながら、この
作業手順に関連する解析結果を読み出して参照すること
もできる。

【００４７】また、作業手順格納管理手段２０１から解
析結果格納管理手段２０２へ解析条件あるいは解析結果
の管理を変更する場合、関連情報管理手段２０５が管理
する関連情報（リンクファイル）に基づき、該当する作
業手順データからこの作業手順データに対応する解析結
果データへ解析条件あるいは解析結果の管理を変更でき
る。

【００４８】図３は作業手順格納管理手段２０１が管理
するＬＳＩ故障解析の標準的な作業手順を示すフローチ
ャートの第１の階層を示すフローチャートであり、ステ
ップ３０１で故障の場所を特定し、次にステップ３０２
で故障個所の構造を特定し、ステップ３０３で故障の原
因を同定する。

【００４９】図４は図３に示すステップ３０１の場所を
特定するためのステップを展開したしたときの第２の階
層の作業手順を示すフローチャートであり、ステップ４
０１でＬＳＩのテスト（ＬＳＩの動作試験）を行うこと
を示しており、次にＬＳＩの故障内容に基づいて故障の
タイプを故障タイプＡ４０２〜故障タイプＣ４０４から
選ぶ。

【００５０】図５は図４に示すステップ４０４の故障タ
イプＣの作業手順を示すフローチャートであり、作業デ
ータとして、以下に示すものが格納される。

【００５１】まず、故障解析の対象となるＬＳＩがパッ
ケージングされているのか（ステップ５０１）、ウエハ
のままであるのか（ステップ５０２）を確認し、ステッ
プ５０３で発光解析を行う。

【００５２】次に、ステップ５０４で発熱解析を行い、
ステップ５０５で作業者はＬＳＩのレイアウト上での発
光・発熱個所の位置を特定して、その結果から故障原因
を推定する（ステップ５０６）。

【００５３】ステップ５０７では、作業者はステップ５
０６で推定した結果からＥＢテスタによる検査が必要か
を判断し、必要ならばステップ５０８でＥＢテスタの準
備をし、ＥＢテスタで故障個所を特定して（ステップ５
０９）、ステップ５１０で構造解析を行う。

【００５４】図６は作業手順データの画面表示の一例を
示す図であり、たとえば、ＬＳＩの品種、ウエハのロッ
ト番号、入力データ、条件、結果、出力データ、判断、
次の手順、登録者、登録日、解析項目、代表写真および
コメントおよび手順種別からなるデータ部分と、代表写
真・図表時、故障解析データの画面への切り換え、保
存、削除およびリンクの指示等のコマンド部から構成さ
れる。

【００５５】図７は解析結果データの画面表示の一例を
示す図であり、ＬＳＩの品種、ウエハのロット番号、個
所、光顕座標、設計座標、ブロック、セルライブラリ、
セル名、登録者、登録日、代表写真およびコメント、故
障メカニズムの原因、構造、備考、故障発生、テスタ、
発光の有無、発熱の有無、ＥＢテスタによる観察結果
（ＥＢ）、平面および断面からなるデータ部分と、検
索、手順入力の画面への切り換え、代表写真・図表示、
新データの登録、保存および削除等のコマンド部から構
成される。

【００５６】次に、図８に本実施の形態のデータベース
を用いたＬＳＩの故障解析支援装置の動作を説明するた
めのフローチャートを示し、以下、このフローチャート
に基づき本発明の実施の形態のデータベースを用いたＬ
ＳＩの故障解析支援装置の動作を説明する。

【００５７】データベースを用いたＬＳＩの故障解析支
援装置の起動が本フローチャートの開始となり、まず、
作業者は図６に示す作業手順データの画面を表示させ、
自分の氏名の入力を行い（ステップ８０１）、次に、解
析対象となるＬＳＩの品種名、ロット名、ウエハ番号お
よびチップ番号等の試料名を入力するために解析結果デ
ータ画面を表示させ、入力を行う（ステップ８０２）。

【００５８】次に、作業者が図３に示す第１階層の作業
フローチャートの表示用シンボルを検索しフローチャー
トを表示させ（ステップ８０３）、これから行いたい作
業を示すシンボルを選択すると（ステップ８０４）、作
業手順管理手段２０１は選択された作業を行うに際し事
前に用意すべき図面、データ（写真等を含む）、どの解
析装置をどのように使用すると必要なデータが得られる
か等の情報を磁気ディスク装置１０から読み出し、表示
させる（ステップ８０５）。

【００５９】作業者は表示された情報に基づき解析装置
を操作することにより、指示されたデータ（解析結果の
写真およびデータ等）を得られるので、本実施の形態の
データベースを用いたＬＳＩの故障解析支援装置のパソ
コンａ，ｂ（４，５）もしくはワークステーションａ，
ｂ（８，９）から作業者が得られたデータをワークステ
ーションｂ（９）のデータベースに入力して検索を行う
ことにより、検索手段２０３が条件に一致するデータを
磁気ディスク装置１０から読み出してくることにより、
ステップ８０５で示す作業に対応する解析結果のデータ
を表示させる（ステップ８０６）。

【００６０】次に、作業者は現在行っている作業に関連
する項目等をキーワードとして検索手段２０３に検索を
実行させることにより、検索手段２０３が関連情報管理
手段２０５が管理するリンクファイルに基づき、磁気デ
ィスク装置１０に格納される解析結果データの内で関連
する過去に解析した類似のデータ（写真および症状等）
を図７に示すように表示させ、作業者が解析装置から得
られた観察結果と検索により得られた過去の結果とを比
較することにより、現在の現象の原因を絞り込む（ステ
ップ８０７）。

【００６１】このとき、データベースを用いたＬＳＩの
故障解析支援装置に解析するＬＳＩのレイアウト図、断
面図および回路図等あらかじめ入力しておくことによ
り、前述する図面等を表示することも可能である。

【００６２】次に、作業者は推定した故障メカニズム、
推定結果に至った判断基準を入力して（ステップ８０
８）、次のステップ８０９でさらに解析を行うか、終了
するかを判断し、終了と判断した場合はここで解析作業
は終了となる。

【００６３】一方、他の作業を行うと判断した場合に
は、ステップ８０３に戻り他の解析試験を作業者が終了
と判断できるまで行う。

【００６４】以上説明したように、本実施の形態のデー
タベースを用いたＬＳＩの故障解析支援装置によると、
関連情報管理手段２０５が磁気ディスク装置１０に格納
される過去に行ったＬＳＩの故障解析の解析結果と、前
記解析結果を得るために実行した一連の作業手順とを関
連付けてリンクファイルで管理しているので、たとえ
ば、作業者がＬＳＩの故障解析を行う場合、作業者は故
障に伴う症状等を検索キーワードとして過去の解析結果
を検索することにより、前述するＬＳＩの故障と類似す
る解析結果を得ることができると共に、前記解析結果を
得るため行った作業手順および判断基準とを参照でき
る。

【００６５】したがって、作業者は検索によって得られ
た過去の作業手順をもとに故障解析作業を行うことがで
きるので、無駄な作業を行うことなくＬＳＩの故障解析
を行うことができる。

【００６６】また、ＬＳＩの故障解析の標準的な作業手
順をフローチャートのシンボルにしておき、前記シンボ
ルと磁気ディスク装置１０に格納される作業手順および
各手順ごとの判断基準とを関連情報管理手段２０５によ
り関連付けさせておくことにより、作業者は前記フロー
チャートにシンボルとして表示される作業および判断を
フローチャートにしたがって進めることにより、ＬＳＩ
の故障解析を行うことができるので、未熟練者でも容易
にＬＳＩの故障解析を行うことができる。

【００６７】また、過去の判断基準等を参照することが
できるので、未熟練者でも正確な判断をすることができ
る。

【００６８】また、データベースがあるワークステーシ
ョンｂ９と、パソコンａ，ｂ（４，５）およびワークス
テーションａ８が全て通信ネットワーク３で接続されて
いるので、解析作業の現場である解析作業室２から離れ
ていても、データベースがあるワークステーションｂ９
にアクセスすることにより、ＬＳＩの故障解析の進行状
況をリアルタイムに確認することができる。

【００６９】なお、本実施の形態においては、第１の情
報処理装置としてワークステーションｂ９、第２の情報
処理装置としてパソコンａ，ｂ（４，５）およびワーク
ステーションａ８を用いて説明したが、前述される情報
処理装置に限定されることはなく、他の情報処理装置を
用いてもよいことはいうまでもない。

【００７０】また、本実施の形態においては、外部記憶
装置として、磁気ディスク装置１０を用いて動作および
作用を説明したが、磁気ディスク装置１０に限定される
ことはなく、他の光磁気ディスク装置等のランダムアク
セスができ、記憶内容を任意に書き換え可能な記憶媒体
を用いた装置ならば使用できることはいうまでもない。

【００７１】以上、本発明者によってなされた発明を、
前記発明の実施の形態に基づき具体的に説明したが、本
発明は、前記発明の実施の形態に限定されるものではな
く、その要旨を逸脱しない範囲において種々変更可能で
あることは勿論である。

【００７２】

【発明の効果】本願において開示される発明のうち代表
的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、下
記の通りである。

【００７３】（１）類似故障が発生したときに迅速に過
去の解析事例を参照できる。

【００７４】（２）故障解析の専門家でもなくても解析
を行えるように、解析手順の指示を行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態であるデータベースを用い
たＬＳＩの故障解析支援装置の概略構成を示すブロック
図である。

【図２】ワークステーションｂが有するデータベース制
御部の概略構成を示す機能ブロック図である。

【図３】作業手順格納管理手段に格納されるＬＳＩ故障
解析の標準的な作業手順を示すフローチャートの第１の
階層を示すフローチャートである。

【図４】図３に示すステップ３０１の場所を特定するた
めのステップを展開したときの第２の階層の作業手順を
示すフローチャートである。

【図５】図４に示すステップ４０４の故障タイプＣの作
業手順を示すフローチャートである。

【図６】作業手順データの画面表示の一例を示す図であ
る。

【図７】解析結果データの画面表示の一例を示す図であ
る。

【図８】本実施の形態のデータベースを用いたＬＳＩの
故障解析支援装置の動作を説明するためのフローチャー
トである。

【符号の説明】

１…データ処理室、２…解析作業室、３…通信ネットワ
ーク、４…パーソナルコンピュータａ、５…パーソナル
コンピュータｂ、６…イメージスキャナａ、７…プリン
タ、８…ワークステーションａ、９…ワークステーショ
ンｂ、１０…磁気ディスク装置、１１…イメージスキャ
ナｂ、２００…データベース制御部、２０１…作業手順
格納管理手段、２０２…解析結果格納管理手段、２０３
…検索手段、２０４…表示／入力手段、２０５…関連情
報管理手段。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 データを格納する外部記憶装置と、該外
   部記憶装置に格納されるデータを管理するデータベース
   管理部を有する第１の情報処理装置と、該第１の情報処
   理装置と通信ネットワークで接続される少なくとも１台
   の第２の情報処理装置とを具備するデータベースを用い
   たＬＳＩの故障解析支援装置において、 前記外部記憶装置はＬＳＩの故障解析の作業手順デー
   タ、該作業手順の各段階での故障の有無を判断する判断
   基準データおよび前記作業手順に基づいて得られた観察
   結果から作業者が判定した解析結果データを有するデー
   タベースファイルを具備し、前記データベース制御部
   は、ＬＳＩの故障解析の作業手順データと該作業手順の
   各段階での故障の有無を判断する判断基準データの格納
   を管理する作業手順格納管理手段と、前記作業手順に基
   づいて得られた観察結果から作業者が判定した解析結果
   データの格納を管理する解析結果格納管理手段と、前記
   解析結果データと該解析結果データを得るために実行し
   た全ての作業手順と関連付けを管理する関連情報管理手
   段とを具備することを特徴とするデータベースを用いた
   ＬＳＩの故障解析支援装置。
2. 【請求項２】 前記関連情報管理手段は、前記ＬＳＩの
   故障解析の作業内容を表現したフローチャートのシンボ
   ルと、前記作業手順とを１対１に関連付けておき、前記
   シンボルを選択することにより作業手順を検索すること
   を特徴とする請求項１に記載のデータベースを用いたＬ
   ＳＩの故障解析支援装置。