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JPH0985737A - ワイヤ式切断装置 - Google Patents

ワイヤ式切断装置

Info

Publication number
JPH0985737A
JPH0985737A JP7269505A JP26950595A JPH0985737A JP H0985737 A JPH0985737 A JP H0985737A JP 7269505 A JP7269505 A JP 7269505A JP 26950595 A JP26950595 A JP 26950595A JP H0985737 A JPH0985737 A JP H0985737A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
liquid
wire
cut
container
cutting
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP7269505A
Other languages
English (en)
Inventor
Kiyoto Okuno
清人 奥野
Sadahiko Ito
禎彦 伊藤
Hisashi Horii
久 堀井
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
M II M C KK
Toray Engineering Co Ltd
Original Assignee
M II M C KK
Toray Engineering Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by M II M C KK, Toray Engineering Co Ltd filed Critical M II M C KK
Priority to JP7269505A priority Critical patent/JPH0985737A/ja
Priority to US08/710,655 priority patent/US5827113A/en
Priority to DE19638991A priority patent/DE19638991A1/de
Publication of JPH0985737A publication Critical patent/JPH0985737A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
    • B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
    • B28D5/00—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
    • B28D5/0058—Accessories specially adapted for use with machines for fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material
    • B28D5/007—Use, recovery or regeneration of abrasive mediums
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
    • B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
    • B28D5/00—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
    • B28D5/0058—Accessories specially adapted for use with machines for fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material
    • B28D5/0076—Accessories specially adapted for use with machines for fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material for removing dust, e.g. by spraying liquids; for lubricating, cooling or cleaning tool or work
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P70/00—Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
    • Y02P70/10—Greenhouse gas [GHG] capture, material saving, heat recovery or other energy efficient measures, e.g. motor control, characterised by manufacturing processes, e.g. for rolling metal or metal working

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
  • Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 発明の課題は被切断加工物の取付け作業およ
び溝ローラに対するワイヤの張設作業が容易にできると
共に、加工液によって被切断加工物の切断が促進される
と共に切断部が直ちに且つ確実に冷却されてワイヤ速度
の高速化に対処できるワイヤ式切断装置を提供すること
である。 【解決手段】 被切断加工物５０を昇降機構７によって
下方に向って移動せしめてワイヤ６群に接触せしめるよ
うにすると共に、ワイヤ６群の下方に近接して容器８を
配設し、液体噴射用ノズル１８、１９と液体供給用ノズ
ル２０、２１を有する液体供給機構９によって加工液６
０を供給して満たし、被切断加工物５０がワイヤ６群に
接触すると該ワイヤ６群が容器８中の加工液６０に浸漬
させようにるすることによって切断が促進され、切断部
が直ちに冷却されるようにしている。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はセラミックス、ガラ
ス、シリコン等の被切断加工物を複数枚のウエハ状物に
切断するワイヤ式切断装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】一般に、セラミックス、ガラス、シリコ
ン等のブロックである被切断加工物を複数枚のウエハ状
物に切断するワイヤ式切断装置は、複数の案内溝を有
し、所定の間隔をもって平行な状態で可動枠体に回転自
在に装着された溝ローラと、該溝ローラの案内溝に張設
されて走行するワイヤ群と、被切断加工物を所定の位置
に固定する取付台と、前記可動枠体を垂直方向に移動さ
せてワイヤ群を被切断加工物に接触させる昇降機構とに
より構成されている。
【０００３】該ワイヤ式切断装置においてはワイヤ群が
被切断加工物に接触する前に切断部に研磨砥粒を有する
加工液を該ワイヤ群の上部から供給してワイヤの周面に
付着させ、該ワイヤ群に付着した加工液の一部が接触部
に到達して切断に関与するようになっている。
【０００４】この様な切断部の上部から加工液を供給す
る方法では、ワイヤと被切断加工物の接触部に均一にか
つ十分な加工液が供給されず、切断精度（表面粗さ、
疵）および切断効率の低下を招くという問題がある。
【０００５】そこで、上述の問題点を解決するために特
開平２−１５２７６４号公報に記載されているような加
工液中に被切断加工物を浸漬する被切断加工物押上げ台
付き加工液槽を設置すると共に該加工液槽の前後にワイ
ヤ洗浄液槽を設け、ワイヤ群を各槽の側壁を貫通させて
ワイヤ洗浄液中および加工液中を通過させるようにした
した切断加工装置が提案されている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】上述の装置においては
加工液を接触部に均一にかつ十分に供給することができ
ると共に、切断後のワイヤの洗浄を確実に行なうことが
できるが、加工液槽中に被切断加工物押上げ台が設置さ
れているため、被切断加工物の取付け作業が非常に困難
であるという問題がある。
【０００７】また、加工液槽とワイヤ洗浄液槽の側壁部
に多数のワイヤを通す極細のスリットを設けなければな
らず、スリット加工が困難であると共に液漏れを完全に
防ぐことができないという問題がある。
【０００８】本発明は被切断加工物の取付け作業および
溝ローラに対するワイヤの張設作業が容易にできると共
に、加工液によって被切断加工物の切断が促進され、か
つ切断部が直ちに且つ確実に冷却されてワイヤ速度の高
速化に対処できるワイヤ式切断装置を提供することを目
的とするものである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上述の課題を解決するた
めに本発明のワイヤ式切断装置は請求項１のようにワイ
ヤ群の下方に加工液を満たした容器を配設せしめた構成
にしてある。
【００１０】また、本発明のワイヤ式切断装置は請求項
２のように容器に、所定温度の加工液を供給しかつ攪拌
する液体供給機構を設けた構成、請求項３のように液体
供給機構に、ワイヤ群の上部から加工液を噴射する液体
噴射用ノズルまたは容器中に加工液を供給する液体供給
用ノズルの内の少なくとも１つのノズルを設けた構成に
することができる。
【００１１】
【発明の実施の形態】図１は本発明のワイヤ式切断装置
の構成の１実施例を示す概略断面図であって、ワイヤ式
切断装置は複数の案内溝を有し、機枠１に平行な状態で
回転自在に取付けられた３本の溝ローラ３、４、５と該
溝ローラ３、４、５に巻回された切断用のワイヤ６とか
らなる切断機構２と、セラミックス、ガラス、シリコン
等の被切断加工物５０を該ワイヤ６に接触させるため支
持し、機枠１に垂直方向に昇降自在に装着された昇降機
構７と、該溝ローラ３、４、５間に位置するよう機枠１
に取付けられた容器８と、該容器８に冷却液または冷却
液と研磨砥粒を混合した研削液等の加工液６０を供給す
る液体供給機構９とにより構成されている。
【００１２】上述の溝ローラ３、４、５は軸心位置が逆
三角形の状態になるように配置され、機枠１に一体的に
設けられた枠体１ａに両持ちの状態で回転自在に取付け
られている。
【００１３】上述のワイヤ６は切断手段２の両側に配設
された一対の回転ドラム（図示せず）の一方のドラムか
ら供給され他方のドラムに巻取られるようになってい
る。
【００１４】上述の昇降手段７は図２、図３に示すよう
に機枠１に形成されたガイド１ｂに移動自在に取付けら
れ、垂直方向に昇降する可動枠体１０と、端部に歯付プ
ーリ１２が一体的に取付けられ、機枠１に垂直な状態で
軸受（図示せず）によって回転自在に設置されたねじ杆
１１と、出力軸に歯付プーリ１４が一体的に取付けら
れ、機枠１に設置された電動機１３と、該歯付プーリ１
２、１４に張架された歯付ベルト１５とにより構成され
ている。
【００１５】該可動枠体１０には被切断加工物５０をボ
ルト等によって取付けるための螺子孔、アリ溝等を有す
る基台１０ａが一体的に形成されている。
【００１６】そして、上述のねじ杆１１に螺着されてお
り、電動機１３によってねじ杆１１が正回転または逆回
転すると可動枠体１０は該被切断加工物５０と共に垂直
方向に昇降する。
【００１７】上述の容器８は図５に示すようにワイヤ６
の走行方向の両端上部に傾斜部８ａ、８ｂを有するよう
に形成され、ワイヤが浸漬される長さが長くなるように
考慮されている。
【００１８】該容器８は図４、図６に示すように機枠１
に設けられた枠体１ａの支持部１a1、１a2に螺着された
調節ボルト１６によって鍔部８ｃ、８ｄが支持され、傾
斜部８ａ、８ｂの上端部が溝ローラ３、５と平行な状態
になるようにしてボルト１７によって該鍔部８ｃ、８ｄ
を下方に固定するようになっている。
【００１９】該容器８の傾斜部８ａ、８ｂの上部には液
体噴射用ノズル１８、１９が、容器８中の底部には液体
供給用ノズル２０、２１が設けられている。
【００２０】該液体噴射用ノズル１８、１９は図４、図
５に示すように二重管になっており、内管１８ａ、１９
ａの上部壁には長さ方向に所定の間隔をもって細孔１８
a1、１９a1が穿設され、外管１８ｂ、１９ｂの下部壁に
は長さ方向に所定の間隔をもって細孔１８b1、１９b1が
穿設されている。
【００２１】該液体供給用ノズル２０、２１は上部壁に
長さ方向に所定の間隔をもって細孔２０ａ、２１ａが穿
設されている。
【００２２】上述の液体供給機構９は、冷却液または冷
却液と研磨砥粒を混合した研削液等の加工液６０を貯留
しておく貯槽２２と、加工液６０を所定の温度に加熱、
冷却する熱交換器２３と、貯槽２２中の加工液６０を攪
拌する攪拌機２４と、電磁切替用弁を有し、液体噴射用
ノズル１８、１９の外管１８ｂ、１９ｂと液体供給用ノ
ズル２０、２１に連結された送液用管２５と、貯槽２２
中の加工液６０を該送液用管２５に供給する送液用のポ
ンプ２６とにより構成されている。
【００２３】上述の液体噴射用ノズル１８、１９の内管
１８ａ、１９ａには圧力調節弁、電磁切替弁等を有する
圧空供給用管２７が連結されており、外管１８ｂ、１９
ｂに供給された加工液６０を該圧空によって細孔１８b
1、１９b1からワイヤ６に向って噴射する。
【００２４】上述の熱交換器２３は冷却媒体または加熱
媒体を循環させて該熱交換器２３中を通過する加工液６
０を所定の温度に調節するようになっている。
【００２５】上述の容器８の下方に位置する枠体１ａの
連結部１a3は図２に示すように断面形状が逆台形になっ
ており、その上面および側面には容器８からオーバフロ
ーした加工液あるいはワイヤ６によって搬送されて溝ロ
ーラ３、４を伝って落下した加工液を溝ローラ５の下方
に設置された液体受け用トレー２８に案内するガイドカ
バ２９が取付けられている。
【００２６】該ガイドカバ２９の側面部には図４に示す
ような逆Ｖ字状の誘導板２９ａが設けられており、容器
８からオーバフローした加工液６０がガイドカバ２９の
該誘導板２９ａによって両側に集められて液体受け用ト
レー２８に落下するようになっている。
【００２７】該ガイドカバ２９を取付けず、枠体１ａの
連結部１a3に誘導板２９ａを直接設けた構成にすること
もできる。
【００２８】該攪拌機２４の代わりにポンプを有する循
環用送液管を貯槽２２にループ状に連結し、加工液６０
を強制的に循環させることによって貯槽２２中の加工液
６０を攪拌させるようにすることもできる。
【００２９】上述のワイヤ式切断装置における被切断加
工物の切断動作について説明する。
【００３０】先ず、被切断加工物５０を昇降機構７にお
ける可動枠体１０の基台１０ａに取付けると、切断機構
２の溝ローラ３、４、５を予め設定された速度で回転さ
せてワイヤ６を（イ）方向に走行させると共に、液体供
給機構９のポンプ２６を作動させて貯槽２２中の加工液
６０を熱交換器２３で所定の温度に冷却し、液体供給用
ノズル２０から容器８中に供給する。
【００３１】そして、加工液６０が容器８中に満される
と、該容器８中の加工液６０は液体供給用ノズル２０か
ら供給される新しい加工液６０によって循環流が形成さ
れ、余分な加工液６０は傾斜部８ａ、８ｂの先端部を乗
越えてオーバフローする。
【００３２】この時の加工液６０の液面は容器８の傾斜
部８ａ、８ｂの上面より１〜３mm程度盛上がった状態に
なっている。
【００３３】次いで、昇降機構７の電動機１３が作動し
てねじ杆１１が回転されて可動枠体１０と共に被切断加
工物５０が予め設定された速度で下降する。
【００３４】該被切断加工物５０がワイヤ６群に接触す
る前は図７に示すようにワイヤ６群は容器８中の加工液
６０に接触しない状態で走行している。
【００３５】そして、該被切断加工物５０がワイヤ６群
に接触して切断が開始されると、図８の実線で示すよう
にワイヤ６群が接触部に到達する前に加工液６０中に浸
漬され、該加工液６０がワイヤ６群の各周面に付着する
めと共に該加工液６０を随伴した状態で接触部に到達す
る。
【００３６】また、該ワイヤ６群と被切断加工物５０が
接触する切断部は図８の一点破線で示すように加工液６
０中に位置しており、ワイヤ６群によって切断された被
切断加工物５０の切断部の断面形状は櫛状になり、該切
断部が直ち冷却される。
【００３７】該被切断加工物５０の切断部は容器８中の
加工液６０がワイヤ６の走行方向と同一の方向に移動し
ながら循環流が形成しているため、液体供給用ノズル２
０から供給された新しい加工液６０によって低温度にな
った加工液６０が切断部に供給され、該切断部で昇温し
た加工液６０の一部が傾斜部８ｂからオーバフローして
容器８から排出され、他の加工液６０は液体供給用ノズ
ル２０部に戻る。
【００３８】オーバフローした加工液６０はガイドカバ
２９を伝って液体受け用トレー２８に集められて貯槽２
２に戻される。
【００３９】上述のワイヤ６の走行速度が１０００ｍ／
min 以下の場合は、加工液６０を液体供給用ノズル２０
から供給するだけで所定の切断速度を保持することがで
きると共に切断部を冷却することができる。
【００４０】ところが、ワイヤ６の走行速度が１０００
ｍ／min 以上になると、加工液６０がワイヤ６に引摺ら
れて移動するような状態になって該ワイヤ６の上面部に
付着しなくなって加工液６０が切断部に充分供給され
ず、切断速度が遅くなったり、充分な冷却を行なうこと
ができず切断部が変質する可能性があるため、加工液６
０を液体噴射用ノズル１８からワイヤ６上に供給する必
要がある。
【００４１】上述の加工液６０の供給量は被切断加工物
５０の冷却に必要な温度になるように制御する必要があ
る。
【００４２】上述のワイヤ６が（ロ）方向に走行する場
合には、容器８中には液体供給用ノズル２１から加工液
６０を供給し、ワイヤ６上には液体噴射用ノズル１９か
ら加工液６０を供給する必要がある。
【００４３】上述のワイヤ式切断装置においてワイヤ６
の走行速度が２０００ｍ／min の場合に液体噴射用ノズ
ル１８と液体供給用ノズル２０から加工液６０を夫々３
０ｌ／min 供給すると、被切断加工物５０を円滑に切断
することができ、しかも被切断加工物５０に歪み等の異
常が発生しないように冷却することができた。
【００４４】本発明のワイヤ式切断装置は既設の切断装
置における被切断加工物の支持機構を改良するだけで容
易に適用することができる。
【００４５】
【発明の効果】本発明のワイヤ式切断装置は請求項１の
ようにワイヤ群の下方に加工液を満たした容器を配設し
てあるため、被切断加工物がワイヤ群に接触していない
ときはワイヤ群が加工液に浸漬せず、被切断加工物がワ
イヤ群に接触したときにワイヤ群が加工液に浸漬される
ようにすることができ、被切断加工物の取付け作業、溝
ローラに対するワイヤの張設作業が容易にできる。また
加工液によって被切断加工物の切断を促進することがで
きると共に切断部を直ちに且つ確実に冷却することがで
き、ワイヤ速度の高速化に容易に対処することができ
る。
【００４６】また、本発明のワイヤ式切断装置は請求項
２のように容器に、所定温度の加工液を供給しかつ攪拌
する液体供給機構を設けた構成にすると、被切断加工物
の昇温による液体の温度上昇を抑制することができると
共に、切断部にたえず温度の低い加工液を供給すること
ができ、請求項３のように液体供給機構に、ワイヤ群の
上部から加工液を噴射する液体噴射用ノズルまたは容器
中に加工液を供給する液体供給用ノズルの内の少なくと
も１つのノズルを設けた構成にすると、液体噴射用ノズ
ルによって容器中に加工液を満たしておくことができる
と供にワイヤ周面に常時液体を付着させることができ
る。また液体供給用ノズルによって容器中に加工液を満
たしておくことができると共に容器中の加工液を攪拌す
ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のワイヤ式切断装置の全体構成の１実施
例を示す概略断面図である。
【図２】図１における切断機構の構成の１実施例を示す
概略拡大断面図である。
【図３】図２におけるＩ−Ｉ矢視図である。
【図４】図３における容器部の拡大断面図である。
【図５】図４におけるＩＩ−ＩＩ矢視図である。
【図６】図４におけるＩＩＩ−ＩＩＩ矢視図である。
【図７】被切断加工物がワイヤに接触する前の状態を示
す概略図である。
【図８】被切断加工物がワイヤに接触した状態を示す概
略図である。
【符号の説明】
１ 機枠 ２ 切断機構 ３、４、５ 溝ローラ ６ ワイヤ ７ 昇降機構 ８ 容器 ９ 液体供給機構 １０ 可動枠体 １１ ねじ杆 １２、１４ 歯付プーリ １３ 電動機 １５ 歯付ベルト １６ 調節ボルト １７ ボルト １８、１９ 液体噴射用ノズル ２０、２１ 液体供給用ノズル ２２ 貯槽 ２３ 熱交換器 ２４ 攪拌機 ２５ 送液用管 ２６ ポンプ ２７ 圧空供給用管 ２８ 液体受け用トレー ２９ ガイドカバ １ａ 枠体 ８ａ、８ｂ 傾斜部 ８ｃ、８ｄ 鍔部 １０ａ 基台 １８ａ、１９ａ 内管 １８ｂ、１９ｂ 外管 ２０ａ、２１ａ、１８a1、１９a1、１８b1、１９b1 細
孔 ２９ａ 誘導板 １a1、１a2 支持部 １a3 連結部
【手続補正書】
【提出日】平成８年７月３日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】図面の簡単な説明の欄
【補正方法】変更
【補正内容】
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のワイヤ式切断装置の全体構成の１実施
例を示す概略断面図である。
【図２】図１における切断機構の構成の１実施例を示す
概略拡大断面図である。
【図３】図２におけるＩ−Ｉ矢視図である。
【図４】図３における容器部の拡大断面図である。
【図５】図４におけるＩＩ−ＩＩ矢視図である。
【図６】図４におけるＩＩＩ−ＩＩＩ矢視図である。
【図７】被切断加工物がワイヤに接触する前の状態を示
す概略図である。
【符号の説明】 １ 機枠 ２ 切断機構 ３、４、５ 溝ローラ ６ ワイヤ ７ 昇降機構 ８ 容器 ９ 液体供給機構 １０ 可動枠体 １１ ねじ杆 １２、１４ 歯付プーリ １３ 電動機 １５ 歯付ベルト １６ 調節ボルト １７ ボルト １８、１９ 液体噴射用ノズル ２０、２１ 液体供給用ノズル ２２ 貯槽 ２３ 熱交換器 ２４ 攪拌機 ２５ 送液用管 ２６ ポンプ ２７ 圧空供給用管 ２８ 液体受け用トレー ２９ ガイドカバ １ａ 枠体 ８ａ、８ｂ 傾斜部 ８ｃ、８ｄ 鍔部 １０ａ 基台 １８ａ、１９ａ 内管 １８ｂ、１９ｂ 外管 ２０ａ、２１ａ、１８ａ１、１９ａ１、１８ｂ１、１９
ｂ１ 細孔 ２９ａ 誘導板 １ａ１ １ａ２ 支持部 １ａ３ 連結部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 堀井 久 滋賀県大津市園山一丁目１番１号東レエン ジニアリング株式会社内

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 被切断加工物を溝ローラの案内溝に張設
    されて走行するワイヤ群に接触せしめ、該被切断加工物
    を切断する装置において、前記ワイヤ群の下方に加工液
    を満たした容器を配設せしめたことを特徴とするワイヤ
    式切断装置。
  2. 【請求項２】 容器に、所定温度の加工液を供給しかつ
    攪拌する液体供給機構を設けたことを特徴とする請求項
    １に記載のワイヤ式切断装置。
  3. 【請求項３】 液体供給機構に、ワイヤ群の上部から加
    工液を噴射する液体噴射用ノズルまたは容器中に加工液
    を供給する液体供給用ノズルの内の少なくとも１つのノ
    ズルを設けたことを特徴とする請求項２に記載のワイヤ
    式切断装置。
JP7269505A 1995-09-22 1995-09-22 ワイヤ式切断装置 Pending JPH0985737A (ja)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP7269505A JPH0985737A (ja) 1995-09-22 1995-09-22 ワイヤ式切断装置
US08/710,655 US5827113A (en) 1995-09-22 1996-09-20 Cutting machine
DE19638991A DE19638991A1 (de) 1995-09-22 1996-09-23 Schneidemaschine

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP7269505A JPH0985737A (ja) 1995-09-22 1995-09-22 ワイヤ式切断装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH0985737A true JPH0985737A (ja) 1997-03-31

Family

ID=17473362

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP7269505A Pending JPH0985737A (ja) 1995-09-22 1995-09-22 ワイヤ式切断装置

Country Status (3)

Country Link
US (1) US5827113A (ja)
JP (1) JPH0985737A (ja)
DE (1) DE19638991A1 (ja)

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