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JPH0980315A - ニポウディスク型光スキャナ装置 - Google Patents

ニポウディスク型光スキャナ装置

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Publication number
JPH0980315A
JPH0980315A JP23236295A JP23236295A JPH0980315A JP H0980315 A JPH0980315 A JP H0980315A JP 23236295 A JP23236295 A JP 23236295A JP 23236295 A JP23236295 A JP 23236295A JP H0980315 A JPH0980315 A JP H0980315A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
nipkow disk
optical scanner
pinhole
start point
type optical
Prior art date
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Granted
Application number
JP23236295A
Other languages
English (en)
Other versions
JP3019754B2 (ja
Inventor
Yasuhito Kosugi
泰仁 小杉
Katsumi Isozaki
克己 磯崎
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Yokogawa Electric Corp
Original Assignee
Yokogawa Electric Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
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Publication date
Application filed by Yokogawa Electric Corp filed Critical Yokogawa Electric Corp
Priority to JP7232362A priority Critical patent/JP3019754B2/ja
Publication of JPH0980315A publication Critical patent/JPH0980315A/ja
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Publication of JP3019754B2 publication Critical patent/JP3019754B2/ja
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Abstract

(57)【要約】 【課題】スキャン周期と撮像装置の撮像周期との同期を
とることにより、スキャンむらを解消し、明暗の縞のな
い撮像画面を得る。 【解決手段】試料の像が撮像装置により観測可能に構成
された共焦点顕微鏡に用いられ、ニポウディスクを備え
た光スキャナ部分を含むニポウディスク型光スキャナ装
置であって、ニポウディスク上にスキャントラックの始
点に対応したスキャン始点検出用ピンホールを配設する
と共に、スキャン始点検出用ピンホールの透過光を光電
変換し前記撮像装置用のトリガ信号を生成する手段を備
える。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は共焦点顕微鏡で用いられ
るニポウディスク型光スキャナ装置に関し、特に光スキ
ャナ装置のスキャン周期と撮像装置の撮像周期との同期
がとれるようにするための改良に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来よりニポウディスク型光スキャナ装
置を用いた共焦点顕微鏡はよく知られている。この種の
共焦点顕微鏡において撮像装置を備えたものとして、例
えば特願昭63−503229号「走査式共焦点光学顕
微鏡」に記載の顕微鏡がある。図5にその要部構成を示
す。図において、光源(図示せず)からの入射光1が偏
光子2によって偏光され、その偏光された光はビームス
プリッタ3を通過してニポウディスク4に入射する。
【0003】ニポウディスク4には多数のピンホールが
設けられていて、モータ5によって回転するようになっ
ている。なお、ここではニポウディスク4とモータ5か
ら成る部分がニポウディスク型光スキャナ装置に相当す
る。入射光は前記ピンホールによって回折され、回折光
は1/4波長板6を通過して円偏光となって対物レンズ
7上に集束し、試料8に照射される。試料8で反射した
光は再び対物レンズ7により集束され、1/4波長板6
を通過(ここで円偏光から直線偏光に変わる)した後同
一のピンホール上に結像する。
【0004】ピンホールを通過した光はビームスプリッ
タ3で直角方向に偏向され検光子9に入射される。この
入射光をピンホール上に合焦させたリレーレンズ10を
介して撮像装置(例えばテレビカメラ)11で見ること
により試料面の像を観測することができる。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】ところで、このような
共焦点顕微鏡に用いられている従来のニポウディスク型
光スキャナ装置には撮像装置との同期をとる機構が備え
られていない。したがって、CCD(Charge Coupled D
evice )カメラのように一定周期で撮像を繰り返す撮像
装置で撮像を行う場合、光スキャナ装置のスキャン周期
と撮像装置との撮像周期との間に差があるとこの差によ
りスキャンむらが生じ、そのため撮像画面に明暗の縞が
現れるという欠点があった。
【0006】本発明の目的は、このような点に鑑み、共
焦点顕微鏡に用いられるニポウディスク型光スキャナ装
置のスキャン周期と撮像装置の撮像周期との同期をとる
ことにより、スキャンむらを解消し、明暗の縞のない撮
像画面を得ることのできるニポウディスク型光スキャン
装置を提供することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】このような目的を達成す
るために本発明では、試料の像が撮像装置により観測可
能に構成された共焦点顕微鏡に用いられ、ニポウディス
クを備えた光スキャナ部分を含むニポウディスク型光ス
キャナ装置であって、ニポウディスク上にスキャントラ
ックの始点に対応したスキャン始点検出用ピンホールを
配設すると共に、スキャン始点検出用ピンホールの透過
光を光電変換し前記撮像装置用のトリガ信号を生成する
手段を具備し、スキャン周期と撮像装置の撮像周期の同
期がとれるようにしたことを特徴とする。
【0008】
【作用】ニポウディスク上にスキャントラックの始点に
対応したスキャン始点検出用ピンホールを設ける。この
スキャン始点検出用ピンホールを通過した光を検出し撮
像装置のトリガ信号として用いる。これによりスキャン
周期と撮像装置の撮像周期の同期をとることができる。
【0009】
【発明の実施の形態】以下図面を用いて本発明を詳しく
説明する。図1は本発明に係るニポウディスク型光スキ
ャン装置の一実施例を示す構成図、図2はニポウディス
クの上面図である。図において、20はニポウディスク
であり、図2に示すように、従来のニポウディスクと同
様に試料のスキャンを目的とする多数のピンホールから
成るスキャントラック201 (斜線部)と、その外側の
任意の円周上にスキャンの始点に対応して配置されたス
キャン始点検出用ピンホール202 (スキャン始点が4
箇所ある場合を例にとってある)を有する。
【0010】21は光検出器としてのフォトダイオード
であり、スキャン始点検出用ピンホール202 の透過光
を受光できる位置に配置されている。22は電流電圧変
換回路であり、フォトダイオード21で発生した電流を
電圧に変換する。23は電圧比較回路であり、電流電圧
変換回路22からの信号を基準電圧24と比較し、信号
電圧の大小を2値化して出力する。25は外部接続の撮
像装置であり、電圧比較回路23の出力を撮影同期信号
(トリガ信号)として受け取る。なお、図1では試料へ
の光照射、試料からの反射光の経路などについては説明
を簡潔にするため省略してある。
【0011】このような構成における動作を次に説明す
る。ニポウディスク20の表面に入射光1を照射する。
入射光1のビーム断面の直径は、スキャントラック20
1 およびスキャン始点検出用ピンホール202 を両方照
射できるように設定されている。ニポウディスク20を
回転させることにより、スキャントラック201 を透過
した入射光は試料(図示せず)を多点スキャンする。他
方、スキャン始点検出用ピンホール202 を透過した入
射光は、スキャン始点検出用ピンホール202 がフォト
ダイオード21の上を通過するごとにフォトダイオード
21で受光される。
【0012】このとき、フォトダイオード21からの出
力電流はパルス状に変化するので、この電流変化を電流
電圧変換回路22で電圧に変換した後、所定の基準電圧
をしきい値とする電圧比較回路23に入力することによ
り、出力としてスキャン周期と同一の周期をもつ電圧パ
ルス列を取り出すことができる。このパルス列をトリガ
信号として外部の撮像装置25に与え、光スキャナ装置
と撮像装置25との同期をとることができる。
【0013】図3は本発明の他の実施例を示す構成図で
ある。図1との違いは、光スキャナ部分(ニポウディス
ク20の部分)にマイクロレンズアレイディスク30と
偏向ビームスプリッタ40を付加した点である。マイク
ロレンズアレイディスク30は、ニポウディスク20の
ピンホールパターンと同一パターンのマイクロレンズア
レイ(スキャントラック301 およびスキャン始点検出
用マイクロレンズ302 )を持ち、ニポウディスク20
に対して所定の間隔をもって平行に取付けられている。
図2はディスクの上面図であり、同図(a)はマイクロ
レンズアレイディスク、同図(b)はニポウディスクの
上面図である。
【0014】マイクロレンズアレイディスク30はニポ
ウディスク20の光源側に配置されており、ディスク同
士の相対位置は各マイクロレンズの集光光が対応するピ
ンホールに入射するように厳密に調整されている。マイ
クロレンズアレイディスク30をこのように付加するこ
とによりニポウディスク20のピンホールへの入射光の
結合効率が向上する。偏向ビームスプリッタ40は、入
射光1を透過し、試料(図示せず)からの戻り光(信号
光ともいう)を反射するものである。この場合偏向ビー
ムスプリッタに代えてダイクロイックミラーを用いるこ
ともできる。偏光ビームスプリッタ40で反射した光は
撮像装置に導かれるが、ここでは説明を簡潔にするため
に図示を省略してある。
【0015】図3に示す装置の動作を次に説明する。マ
イクロレンズアレイディスク30の表面に入射光1を照
射する。入射光1のビームの断面の直径は、スキャント
ラック301 およびスキャン始点検出用マイクロレンズ
302 を両方照射できるように設定されている。各マイ
クロレンズに入射した光はニポウディスク20上の対応
するピンホールに集光される。したがって、マイクロレ
ンズアレイディスク30とニポウディスク20を同期し
て回転させることにより、ニポウディスク20のスキャ
ントラック201 を透過した光で試料(図示せず)を多
点スキャンすることができる。
【0016】他方、スキャン始点検出用ピンホール20
2 を透過した入射光は、スキャン始点検出用ピンホール
202 がフォトダイオード21の上を通過するごとにフ
ォトダイオード21で受光される。その後の信号の処理
は図1と同様であり、ここではその説明を避けるが、図
1の場合と同様に光スキャナ装置と外部の撮像装置25
との同期をとることができる。
【0017】なお、本発明の以上の説明は、説明および
例示を目的として特定の好適な実施例を示したに過ぎな
い。したがって本発明はその本質から逸脱せずに多くの
変更、変形をなし得ることは当業者に明らかである。
【0018】例えば、図3の構成におけるニポウディス
ク20のスキャン始点検出用ピンホール202 の形状は
円形に限らず、クロスマーカー状にすることもできる。
このような形状にすることにより、マイクロレンズアレ
イディスク30とニポウディスク20の位置調整作業が
容易になる。また、スキャン始点検出用ピンホール(お
よびスキャン始点検出用マイクロレンズ)の位置はディ
スクの外周側に限るものではなく、ディスクの内周側に
あってもよい。
【0019】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、ニ
ポウディスク上にスキャンの始点に対応したピンホール
を配置し、このピンホールからの透過光を用いて光スキ
ャナ回転時にスキャントラックの始点位置を検出できる
ようにしたため、容易に光スキャナ装置と外部の撮像装
置との同期をとることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係るニポウディスク型光スキャン装置
の一実施例を示す構成図
【図2】ニポウディスクの上面図
【図3】本発明の他の実施例を示す構成図
【図4】各ディスクの上面図
【図5】従来の共焦点顕微鏡の一例を示す構成図であ
る。
【符号の説明】
1 入射光 20 ニポウディスク 201 ,301 スキャントラック 202 スキャン始点検出用ピンホール 21 フォトダイオード 22 電流電圧変換回路 23 電圧比較回路 24 基準電圧 25 撮像装置 30 マイクロレンズアレイディスク 302 スキャン始点検出用マイクロレンズ 40 偏光ビームスプリッタ

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】試料の像が撮像装置により観測可能に構成
    された共焦点顕微鏡に用いられ、ニポウディスクを備え
    た光スキャナ部分を含むニポウディスク型光スキャナ装
    置であって、 前記ニポウディスク上にスキャントラックの始点に対応
    したスキャン始点検出用ピンホールを配設すると共に、
    前記スキャン始点検出用ピンホールの透過光を光電変換
    し前記撮像装置用のトリガ信号を生成する手段を具備
    し、スキャン周期と撮像装置の撮像周期の同期がとれる
    ようにしたことを特徴とするニポウディスク型光スキャ
    ナ装置。
  2. 【請求項2】前記ニポウディスクの入射光側に配置さ
    れ、ニポウディスクのピンホールパターンと同一パター
    ンのマイクロレンズアレイを有し、マイクロレンズアレ
    イの各マイクロレンズの集光光がニポウディスクの対応
    するピンホールに入射するように構成されたマイクロレ
    ンズアレイディスクを前記光スキャナ部分に設けたこと
    を特徴とする請求項1記載のニポウディスク型光スキャ
    ナ装置。
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