JPH0943844A - 着色感光性組成物およびカラーフィルタ - Google Patents
着色感光性組成物およびカラーフィルタInfo
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- JPH0943844A JPH0943844A JP19185295A JP19185295A JPH0943844A JP H0943844 A JPH0943844 A JP H0943844A JP 19185295 A JP19185295 A JP 19185295A JP 19185295 A JP19185295 A JP 19185295A JP H0943844 A JPH0943844 A JP H0943844A
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- Optical Filters (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 弱アルカリ性のエッチング液によっても効率
よくエッチングが行え、また透明基板上への密着性の良
好なフィルタ膜が得られる着色感光性組成物を提供す
る。 【解決手段】 多官能アクリレートモノマーと、不飽和
有機酸化合物、不飽和有機酸エステル化合物および不飽
和有機酸ヒドロキシエステル化合物の共重合体からなる
バインダーと、光重合開始剤と、顔料とを含有すること
を特徴としている。
よくエッチングが行え、また透明基板上への密着性の良
好なフィルタ膜が得られる着色感光性組成物を提供す
る。 【解決手段】 多官能アクリレートモノマーと、不飽和
有機酸化合物、不飽和有機酸エステル化合物および不飽
和有機酸ヒドロキシエステル化合物の共重合体からなる
バインダーと、光重合開始剤と、顔料とを含有すること
を特徴としている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は液晶カラーパネル等
のカラーフィルタに用いて好適な着色感光性組成物およ
びカラーフィルタに関する。
のカラーフィルタに用いて好適な着色感光性組成物およ
びカラーフィルタに関する。
【０００２】
【従来の技術】液晶カラーパネル等に用いられるカラー
フィルタは、ガラス等の透明基板上に、赤、緑および青
のドット状の画素をそれぞれマトリックス状に配置し、
それぞれの境界をブラックマトリックスで区分した構造
になっている。透明基板上への画素の形成方法には、染
色法、顔料分散法、印刷法等がある。このうち高精細度
のドットパターンを得る上で顔料分散法が有利である。
顔料分散法では、所定の顔料を配合した着色感光性組成
物を透明基板上に塗布し、公知のフォトリソグラフィを
利用してパターンニングするものである。着色感光性組
成物としては、多官能アクリレートモノマーと、アクリ
ル酸等の不飽和有機酸化合物とメチルアクリレート等の
不飽和有機酸エステル化合物をモノマーとした共重合物
からなるバインダーと、光重合開始剤と、所定の顔料と
を配合したものが知られている（特開平１−１５２４４
９号公報）。
フィルタは、ガラス等の透明基板上に、赤、緑および青
のドット状の画素をそれぞれマトリックス状に配置し、
それぞれの境界をブラックマトリックスで区分した構造
になっている。透明基板上への画素の形成方法には、染
色法、顔料分散法、印刷法等がある。このうち高精細度
のドットパターンを得る上で顔料分散法が有利である。
顔料分散法では、所定の顔料を配合した着色感光性組成
物を透明基板上に塗布し、公知のフォトリソグラフィを
利用してパターンニングするものである。着色感光性組
成物としては、多官能アクリレートモノマーと、アクリ
ル酸等の不飽和有機酸化合物とメチルアクリレート等の
不飽和有機酸エステル化合物をモノマーとした共重合物
からなるバインダーと、光重合開始剤と、所定の顔料と
を配合したものが知られている（特開平１−１５２４４
９号公報）。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記従来
の着色感光性組成物は、フォトリソグラフィ工程のエッ
チング工程で、エッチング液として、テトラメチルアン
モニウムハイドロオキサイド（TMAH）や炭酸ナトリウム
等のpH１２〜１３のアルカリ性の強い水溶液を使用する
必要があり、エッチング設備として耐腐食性のある設備
が必要となるばかりか、労働安全上の配慮も必要となる
課題がある。したがってpH１０〜１２程度のエッチング
液でエッチングが可能であり、またガラス等の透明基板
上への密着性の良好なフィルタ膜を得られる着色感光性
組成物が求められている。
の着色感光性組成物は、フォトリソグラフィ工程のエッ
チング工程で、エッチング液として、テトラメチルアン
モニウムハイドロオキサイド（TMAH）や炭酸ナトリウム
等のpH１２〜１３のアルカリ性の強い水溶液を使用する
必要があり、エッチング設備として耐腐食性のある設備
が必要となるばかりか、労働安全上の配慮も必要となる
課題がある。したがってpH１０〜１２程度のエッチング
液でエッチングが可能であり、またガラス等の透明基板
上への密着性の良好なフィルタ膜を得られる着色感光性
組成物が求められている。
【０００４】発明者は上記課題を解決すべく鋭意研究を
重ねた結果、バインダーの組成を変えることにより、pH
が１０〜１１程度のエッチング液によっても効率よくエ
ッチングが行え、また透明基板上への密着性の良好なフ
ィルタ膜が得られる着色感光性組成物を見いだした。
重ねた結果、バインダーの組成を変えることにより、pH
が１０〜１１程度のエッチング液によっても効率よくエ
ッチングが行え、また透明基板上への密着性の良好なフ
ィルタ膜が得られる着色感光性組成物を見いだした。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は上記目的を達成
するため次の構成を備える。すなわち、本発明に係る着
色感光性組成物は、多官能アクリレートモノマーと、不
飽和有機酸化合物、不飽和有機酸エステル化合物および
不飽和有機酸ヒドロキシエステル化合物の共重合体から
なるバインダーと、光重合開始剤と、顔料とを含有する
ことを特徴としている。前記バインダー中の不飽和有機
酸化合物、不飽和有機酸エステル化合物および不飽和有
機酸ヒドロキシエステル化合物の割合はほぼ１：７：２
が好ましい。
するため次の構成を備える。すなわち、本発明に係る着
色感光性組成物は、多官能アクリレートモノマーと、不
飽和有機酸化合物、不飽和有機酸エステル化合物および
不飽和有機酸ヒドロキシエステル化合物の共重合体から
なるバインダーと、光重合開始剤と、顔料とを含有する
ことを特徴としている。前記バインダー中の不飽和有機
酸化合物、不飽和有機酸エステル化合物および不飽和有
機酸ヒドロキシエステル化合物の割合はほぼ１：７：２
が好ましい。
【０００６】上記不飽和有機酸化合物には、アクリル酸
もしくはメタクリル酸を用いるのが好ましく、不飽和有
機酸エステル化合物には、アクリル酸メチル、メタクリ
ル酸メチル、アクリル酸エチル、メタクリル酸エチル、
アクリル酸プロピル、メタクリル酸プロピル、アクリル
酸ブチル、メタクリル酸ブチル、メタクリル酸イソブチ
ルまたはメタクリル酸ベンジルを用いるのが好ましく、
不飽和有機酸ヒドロキシエステル化合物には、アクリル
酸２−ヒドロキシエチル、メタクリル酸２−ヒドロキシ
エチル、アクリル酸２−ヒドロキシプロピルまたはメタ
クリル酸２−ヒドロキシプロピルを用いると好適であ
る。
もしくはメタクリル酸を用いるのが好ましく、不飽和有
機酸エステル化合物には、アクリル酸メチル、メタクリ
ル酸メチル、アクリル酸エチル、メタクリル酸エチル、
アクリル酸プロピル、メタクリル酸プロピル、アクリル
酸ブチル、メタクリル酸ブチル、メタクリル酸イソブチ
ルまたはメタクリル酸ベンジルを用いるのが好ましく、
不飽和有機酸ヒドロキシエステル化合物には、アクリル
酸２−ヒドロキシエチル、メタクリル酸２−ヒドロキシ
エチル、アクリル酸２−ヒドロキシプロピルまたはメタ
クリル酸２−ヒドロキシプロピルを用いると好適であ
る。
【０００７】上記着色感光性組成物には、シランカップ
リング剤を含有させると透明基板への密着性の良好なフ
ィルター膜が形成できる。上記シランカップリング剤の
含有率を０．５〜３重量％にすると好適である。また、
シランカップリング剤が、一般式、Ｙ−Ｓｉ（ＣＨ2 ）
ｎＸ3 （Ｙはアクリロイル基、Ｘはアルコキシ基）で表
されるシランカップリング剤を用いると、光反応性を有
するので着色感光性組成物に混入してフォトリソグラフ
ィ工程中で同時に反応させることができ、また透明基板
への密着力により優れるフィルター膜の形成が可能とな
る。
リング剤を含有させると透明基板への密着性の良好なフ
ィルター膜が形成できる。上記シランカップリング剤の
含有率を０．５〜３重量％にすると好適である。また、
シランカップリング剤が、一般式、Ｙ−Ｓｉ（ＣＨ2 ）
ｎＸ3 （Ｙはアクリロイル基、Ｘはアルコキシ基）で表
されるシランカップリング剤を用いると、光反応性を有
するので着色感光性組成物に混入してフォトリソグラフ
ィ工程中で同時に反応させることができ、また透明基板
への密着力により優れるフィルター膜の形成が可能とな
る。
【０００８】また本発明に係るカラーフィルタでは、透
明基板上に、上記の着色感光性組成物からなる赤、緑、
青の画素が形成され、さらに表面に透明電極層が形成さ
れていることを特徴としている。
明基板上に、上記の着色感光性組成物からなる赤、緑、
青の画素が形成され、さらに表面に透明電極層が形成さ
れていることを特徴としている。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を詳細
に説明する。図１にカラーフィルタを用いた液晶パネル
の一例を示す。１０、１０はガラスまたはアクリル樹脂
等の樹脂からなる透明基板である。１２はカラーフィル
タであり、透明基板１０上に本発明に係る着色感光組成
物を用いて公知のフォトリソグラフィにより形成した
赤、緑、青の画素１２ａ、カーボンブラックあるいは酸
化クロムで形成したブラックマトリックス１２ｂ、およ
びITO 等からなる透明電極層１２ｃからなる。１６は公
知のTFT 駆動部、１８は液晶である。透明基板１０、１
０の外側面には偏光フィルタ２０が形成されている。な
お、ブラックマトリックスは絶縁性の黒色樹脂によりTF
T 駆動部側に設けるようにしてもよい（図示せず）。
に説明する。図１にカラーフィルタを用いた液晶パネル
の一例を示す。１０、１０はガラスまたはアクリル樹脂
等の樹脂からなる透明基板である。１２はカラーフィル
タであり、透明基板１０上に本発明に係る着色感光組成
物を用いて公知のフォトリソグラフィにより形成した
赤、緑、青の画素１２ａ、カーボンブラックあるいは酸
化クロムで形成したブラックマトリックス１２ｂ、およ
びITO 等からなる透明電極層１２ｃからなる。１６は公
知のTFT 駆動部、１８は液晶である。透明基板１０、１
０の外側面には偏光フィルタ２０が形成されている。な
お、ブラックマトリックスは絶縁性の黒色樹脂によりTF
T 駆動部側に設けるようにしてもよい（図示せず）。
【００１０】前記のように、着色感光性組成物は、多官
能アクリレートモノマーと、不飽和有機酸化合物、不飽
和有機酸エステル化合物および不飽和有機酸ヒドロキシ
エステル化合物の共重合体からなるバインダーと、光重
合開始剤と、顔料とを含有する。多官能アクリレート、
メタクリレートモノマーは、エチレングリコールジアク
リレート、ジペンタエリスルトールヘキサアクリレー
ト、ペンタエリスリトールジメタクリレート等の、特開
平１−１５２４４９号公報に示されるものを用いること
ができる。モノマーの他にプレポリマー、すなわち２量
体、３量体も用いることができる。
能アクリレートモノマーと、不飽和有機酸化合物、不飽
和有機酸エステル化合物および不飽和有機酸ヒドロキシ
エステル化合物の共重合体からなるバインダーと、光重
合開始剤と、顔料とを含有する。多官能アクリレート、
メタクリレートモノマーは、エチレングリコールジアク
リレート、ジペンタエリスルトールヘキサアクリレー
ト、ペンタエリスリトールジメタクリレート等の、特開
平１−１５２４４９号公報に示されるものを用いること
ができる。モノマーの他にプレポリマー、すなわち２量
体、３量体も用いることができる。
【００１１】前記バインダー中の不飽和有機酸化合物、
不飽和有機酸エステル化合物および不飽和有機酸ヒドロ
キシエステル化合物の割合は特に限定されるものではな
いが、ほぼ１：７：２が好ましい。上記不飽和有機酸化
合物には、アクリレートモノマーと相溶性のあるアクリ
ル酸もしくはメタクリル酸等を用いることができる。ま
た、不飽和有機酸エステル化合物には、アクリル酸メチ
ル、メタクリル酸メチル、アクリル酸エチル、メタクリ
ル酸エチル、アクリル酸プロピル、メタクリル酸プロピ
ル、アクリル酸ブチル、メタクリル酸ブチル、メタクリ
ル酸イソブチルまたはメタクリル酸ベンジル等を用いる
ことができる。不飽和有機酸ヒドロキシエステル化合物
には、アクリル酸２−ヒドロキシエチル、メタクリル酸
２−ヒドロキシエチル、アクリル酸２−ヒドロキシプロ
ピルまたはメタクリル酸２−ヒドロキシプロピル等を用
いることができる。本発明では上記３成分からなるバイ
ンダーを用いることによって、pHが１０〜１１程度の比
較的弱いアルカリ性のエッチング液によっても、顔料分
散法のフォトリソグラフィ工程において効率よくエッチ
ングが可能となった。
不飽和有機酸エステル化合物および不飽和有機酸ヒドロ
キシエステル化合物の割合は特に限定されるものではな
いが、ほぼ１：７：２が好ましい。上記不飽和有機酸化
合物には、アクリレートモノマーと相溶性のあるアクリ
ル酸もしくはメタクリル酸等を用いることができる。ま
た、不飽和有機酸エステル化合物には、アクリル酸メチ
ル、メタクリル酸メチル、アクリル酸エチル、メタクリ
ル酸エチル、アクリル酸プロピル、メタクリル酸プロピ
ル、アクリル酸ブチル、メタクリル酸ブチル、メタクリ
ル酸イソブチルまたはメタクリル酸ベンジル等を用いる
ことができる。不飽和有機酸ヒドロキシエステル化合物
には、アクリル酸２−ヒドロキシエチル、メタクリル酸
２−ヒドロキシエチル、アクリル酸２−ヒドロキシプロ
ピルまたはメタクリル酸２−ヒドロキシプロピル等を用
いることができる。本発明では上記３成分からなるバイ
ンダーを用いることによって、pHが１０〜１１程度の比
較的弱いアルカリ性のエッチング液によっても、顔料分
散法のフォトリソグラフィ工程において効率よくエッチ
ングが可能となった。
【００１２】光重合開始剤としては、ハロメチルオキサ
ジアゾール系化合物や、ハロメチル−ｓ−トリアジン系
化合物を単独もしくは併用して用いることができる。こ
れらハロメチルオキサジアゾール系化合物や、ハロメチ
ル−ｓ−トリアジン系化合物も特開平１−１５２４４９
号公報に挙げられている化合物を好適に用いることがで
きる。さらに光重合開始剤は上記に加えてエチルミヒラ
ースケトンを用いることができる。また顔料も特開平１
−１５２４４９号公報に挙げられるものを用いることが
できる。
ジアゾール系化合物や、ハロメチル−ｓ−トリアジン系
化合物を単独もしくは併用して用いることができる。こ
れらハロメチルオキサジアゾール系化合物や、ハロメチ
ル−ｓ−トリアジン系化合物も特開平１−１５２４４９
号公報に挙げられている化合物を好適に用いることがで
きる。さらに光重合開始剤は上記に加えてエチルミヒラ
ースケトンを用いることができる。また顔料も特開平１
−１５２４４９号公報に挙げられるものを用いることが
できる。
【００１３】上記着色感光組成物により形成するフィル
ター膜と透明基板との密着性を向上させるために着色感
光組成物にシランカップリング剤を添加すると好適であ
る。シランカップリング剤の一般的な構造は、Ｙ−Ｓｉ
（ＣＨ2 ）ｎＸ3 で表される。Ｙは有機材料と化学結合
する反応基であり、アクリロイル基が好適であり、Ｘは
無機質の透明基板と化学結合するようなメトキシ基、エ
トキシ基等のアルコキシ基が好ましい。アクリロイル基
を導入することにより光反応性が得られる。したがっ
て、上記着色感光組成物にそのまま添加することによ
り、着色感光組成物を透明基板上に塗布してフォトリソ
グラフィを行う際の露光によって同時に反応し、フィル
タ膜と透明基板との間の界面にも存在して両者を強固に
結合する接着剤的役割をし、フィルタ膜の密着性を向上
できる。このシランカップリング剤の配合量は、着色感
光組成物全体に対して０．５〜３重量％程度が好まし
い。
ター膜と透明基板との密着性を向上させるために着色感
光組成物にシランカップリング剤を添加すると好適であ
る。シランカップリング剤の一般的な構造は、Ｙ−Ｓｉ
（ＣＨ2 ）ｎＸ3 で表される。Ｙは有機材料と化学結合
する反応基であり、アクリロイル基が好適であり、Ｘは
無機質の透明基板と化学結合するようなメトキシ基、エ
トキシ基等のアルコキシ基が好ましい。アクリロイル基
を導入することにより光反応性が得られる。したがっ
て、上記着色感光組成物にそのまま添加することによ
り、着色感光組成物を透明基板上に塗布してフォトリソ
グラフィを行う際の露光によって同時に反応し、フィル
タ膜と透明基板との間の界面にも存在して両者を強固に
結合する接着剤的役割をし、フィルタ膜の密着性を向上
できる。このシランカップリング剤の配合量は、着色感
光組成物全体に対して０．５〜３重量％程度が好まし
い。
【００１４】なお、あらかじめ透明基板上にシランカッ
プリング剤による皮膜を形成するようにしてもよい。例
えば、シランカップリング剤を添加した洗浄液（0.1 〜
２重量％）により、透明基板を洗浄・乾燥処理して基板
上に皮膜を形成させる。あるいは、0.1 〜２重量％溶液
（適当な有機溶剤を用いる）を調整して、透明基板を浸
漬したり、透明基板上にスプレー等により塗布して、乾
燥して皮膜を形成するようにする。その後着色感光組成
物をスピンコートして塗布し、フォトリソグラフィを行
えばよい。
プリング剤による皮膜を形成するようにしてもよい。例
えば、シランカップリング剤を添加した洗浄液（0.1 〜
２重量％）により、透明基板を洗浄・乾燥処理して基板
上に皮膜を形成させる。あるいは、0.1 〜２重量％溶液
（適当な有機溶剤を用いる）を調整して、透明基板を浸
漬したり、透明基板上にスプレー等により塗布して、乾
燥して皮膜を形成するようにする。その後着色感光組成
物をスピンコートして塗布し、フォトリソグラフィを行
えばよい。
【００１５】上記着色感光組成物を適当な溶剤に溶か
し、ペースト状にして用いることができる。カラーフィ
ルタの製造法は従来公知のフォトリソグラフィを利用し
て行えるので説明を省略する。なお、配合比は特に限定
されるものではないが、概ね以下の配合比（重量比）が
好適である。 バインダー ６〜８ 多官能アクリレートモノマー ４〜６ 光重合開始剤 ０．４〜１．２ （シランカップリング剤） （０．１〜０．４） （禁止剤 メトキシフェノール等） （０．０１〜０．０５） 顔料 ４〜７ 溶剤 残 ─────────── 計１００
し、ペースト状にして用いることができる。カラーフィ
ルタの製造法は従来公知のフォトリソグラフィを利用し
て行えるので説明を省略する。なお、配合比は特に限定
されるものではないが、概ね以下の配合比（重量比）が
好適である。 バインダー ６〜８ 多官能アクリレートモノマー ４〜６ 光重合開始剤 ０．４〜１．２ （シランカップリング剤） （０．１〜０．４） （禁止剤 メトキシフェノール等） （０．０１〜０．０５） 顔料 ４〜７ 溶剤 残 ─────────── 計１００
【００１６】
【実施例】以下具体的な実施例を示す。 実施例１ １．不飽和有機酸化合物 メタクリル酸等のメタクリレート系モノマーを１０部 ２．不飽和有機酸エステル化合物 メタクリル酸メチル等のメタクリレート系モノマーを７
０部 ３．不飽和有機酸ヒドロキシエステル化合物 メタクリル酸２−ヒドロキシエチル等のメタクリレート
系モノマー２０部 上記１、２、３の組成からなるバインダーと、比較例と
して上記１、２の組成の従来のバインダーを用いて下記
組成の着色感光性組成物を調整し、この組成物をガラス
基板上に塗布すると共に乾燥（プリベーク）し、次いで
マスクを用いて通常のカラーフィルタを作成するのと同
様の工程で露光して試験用資料片を作成し、アルカリ溶
解性を比較した。アルカリ溶解性（エッチングレート）
は、一定時間現像して未露光部の残存膜厚を測定した。 バインダー ８ｇ アクリレートモノマー ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート ４ｇ 光重合開始剤 ハロメチル−ｓ−トリアジン ０．３ｇ ミヒラースケトン ０．２ｇ イミダゾール二量体 ０．２ｇ 溶剤 シクロヘキサノン １６ｇ エチルエトキシプロピオネート ２０ｇ メトキシプロピルアセテート ４７ｇ 顔料 C.Ｉ. Red 177 ４．３ｇ
０部 ３．不飽和有機酸ヒドロキシエステル化合物 メタクリル酸２−ヒドロキシエチル等のメタクリレート
系モノマー２０部 上記１、２、３の組成からなるバインダーと、比較例と
して上記１、２の組成の従来のバインダーを用いて下記
組成の着色感光性組成物を調整し、この組成物をガラス
基板上に塗布すると共に乾燥（プリベーク）し、次いで
マスクを用いて通常のカラーフィルタを作成するのと同
様の工程で露光して試験用資料片を作成し、アルカリ溶
解性を比較した。アルカリ溶解性（エッチングレート）
は、一定時間現像して未露光部の残存膜厚を測定した。 バインダー ８ｇ アクリレートモノマー ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート ４ｇ 光重合開始剤 ハロメチル−ｓ−トリアジン ０．３ｇ ミヒラースケトン ０．２ｇ イミダゾール二量体 ０．２ｇ 溶剤 シクロヘキサノン １６ｇ エチルエトキシプロピオネート ２０ｇ メトキシプロピルアセテート ４７ｇ 顔料 C.Ｉ. Red 177 ４．３ｇ
【００１７】なお、資料片の作成の具体的データは次の
とおり ガラス基板 ：FUSION ＃7059を中性洗剤、純水で洗浄 塗布 ：スピンコート 膜厚約１．１μｍ プリベーク ：１２０℃ 露光 ：超高圧水銀灯 空気雰囲気中 現像 ：TMAH（テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド） 水溶液（ｐＨ １０．６） ポストベイク：２３０℃ アルカリ溶解性（エッチングレート；オングストローム／秒） 実施例１ ４００Å／秒 比較例 ５Å／秒 （なお、バインダーの酸価は、実施例、比較例共、３０〜３５mgKOH/g) 以上のように、pH１０〜１１程度のエッチング液でのエ
ッチングレートは実施例の方が比較例に比して格段に大
きく、エッチング効率を高めることができた。またpH１
０〜１１程度のエッチング液を用いることができるの
で、エッチング設備も簡易にでき、また取扱いも容易に
なった。
とおり ガラス基板 ：FUSION ＃7059を中性洗剤、純水で洗浄 塗布 ：スピンコート 膜厚約１．１μｍ プリベーク ：１２０℃ 露光 ：超高圧水銀灯 空気雰囲気中 現像 ：TMAH（テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド） 水溶液（ｐＨ １０．６） ポストベイク：２３０℃ アルカリ溶解性（エッチングレート；オングストローム／秒） 実施例１ ４００Å／秒 比較例 ５Å／秒 （なお、バインダーの酸価は、実施例、比較例共、３０〜３５mgKOH/g) 以上のように、pH１０〜１１程度のエッチング液でのエ
ッチングレートは実施例の方が比較例に比して格段に大
きく、エッチング効率を高めることができた。またpH１
０〜１１程度のエッチング液を用いることができるの
で、エッチング設備も簡易にでき、また取扱いも容易に
なった。
【００１８】実施例２、３ 実施例１の組成の着色感光性組成物に、光反応性のシラ
ンカップリング剤としてアクリロキシプロピルトリメト
キシシランを１％添加したもの（実施例２）と、メタク
リロキシプロピルトリメトキシシランを１％添加したも
の（実施例３）、およびシランカップリング剤を添加し
ないもの（比較例２）を調整し、実施例１と同じく試験
用資料片を作成し、下記の方法でガラス基板と塗膜画素
との密着性を評価した。 １．塗膜画素に、角度が３０度で交差し、長さが400 ｍ
ｍで、深さがガラス基板に達する切り傷を付ける。 ２．プレッシャークッカーで、１２１℃、２気圧で２時
間処理する。 ３．さらに純水中で２時間煮沸する。 ４．JIS K 5400-1990 8.5.3 の付着性試験に準じる方法
で付着性試験を行う。 以上のように、アクリロイル基を導入したシランカップ
リング剤を用いることで、塗膜画素の密着性を格段に向
上できた。
ンカップリング剤としてアクリロキシプロピルトリメト
キシシランを１％添加したもの（実施例２）と、メタク
リロキシプロピルトリメトキシシランを１％添加したも
の（実施例３）、およびシランカップリング剤を添加し
ないもの（比較例２）を調整し、実施例１と同じく試験
用資料片を作成し、下記の方法でガラス基板と塗膜画素
との密着性を評価した。 １．塗膜画素に、角度が３０度で交差し、長さが400 ｍ
ｍで、深さがガラス基板に達する切り傷を付ける。 ２．プレッシャークッカーで、１２１℃、２気圧で２時
間処理する。 ３．さらに純水中で２時間煮沸する。 ４．JIS K 5400-1990 8.5.3 の付着性試験に準じる方法
で付着性試験を行う。 以上のように、アクリロイル基を導入したシランカップ
リング剤を用いることで、塗膜画素の密着性を格段に向
上できた。
【００１９】
【発明の効果】本発明に係る着色感光性組成物によれ
ば、上記のようにバインダーの組成を変えることによ
り、pH１０〜１１程度のエッチング液によっても効率よ
くエッチングが行え、またシランカップリング剤を添加
することにより透明基板上への密着性の良好なフィルタ
膜が得られる着色感光性組成物を提供できる。また本発
明に係るカラーフィルタによれば、上記のようにエッチ
ング工程を容易に行えるようになるので製造が容易にな
ると共に、透明基板との密着性に優れるという効果を奏
する。
ば、上記のようにバインダーの組成を変えることによ
り、pH１０〜１１程度のエッチング液によっても効率よ
くエッチングが行え、またシランカップリング剤を添加
することにより透明基板上への密着性の良好なフィルタ
膜が得られる着色感光性組成物を提供できる。また本発
明に係るカラーフィルタによれば、上記のようにエッチ
ング工程を容易に行えるようになるので製造が容易にな
ると共に、透明基板との密着性に優れるという効果を奏
する。
【図１】液晶パネルの断面図を示す。
１０ 透明基板 １２ カラーフィルタ １６ TFT 駆動部 １８ 液晶 ２０ 偏光フィルタ
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成７年８月１８日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正内容】
【発明の名称】 着色感光性組成物およびカラーフィ
ルタ
ルタ
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正内容】
【特許請求の範囲】
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｇ０３Ｆ 7/029 Ｇ０３Ｆ 7/029 7/075 ５０１ 7/075 ５０１ (72)発明者 末平 哲朗 滋賀県野洲郡野洲町大字市三宅800番地 株式会社アイテス内 (72)発明者 高野 和美 滋賀県野洲郡野洲町大字市三宅800番地 株式会社アイテス内 (72)発明者 武田 叡彦 滋賀県野洲郡野洲町大字市三宅800番地 株式会社アイテス内
Claims (8)
- 【請求項１】 多官能アクリレートモノマーと、不飽和
有機酸化合物、不飽和有機酸エステル化合物および不飽
和有機酸ヒドロキシエステル化合物の共重合体からなる
バインダーと、光重合開始剤と、顔料とを含有すること
を特徴とする着色感光性組成物。 - 【請求項２】 前記バインダー中の不飽和有機酸化合
物、不飽和有機酸エステル化合物および不飽和有機酸ヒ
ドロキシエステル化合物の割合がほぼ１：７：２である
ことを特徴とする請求項１記載の着色感光性組成物。 - 【請求項３】 不飽和有機酸化合物が、アクリル酸また
はメタクリル酸であり、不飽和有機酸エステル化合物
が、アクリル酸メチル、メタクリル酸メチル、アクリル
酸エチル、メタクリル酸エチル、アクリル酸プロピル、
メタクリル酸プロピル、アクリル酸ブチル、メタクリル
酸ブチル、メタクリル酸イソブチルまたはメタクリル酸
ベンジルであり、不飽和有機酸ヒドロキシエステル化合
物が、アクリル酸２−ヒドロキシエチル、メタクリル酸
２−ヒドロキシエチル、アクリル酸２−ヒドロキシプロ
ピルまたはメタクリル酸２−ヒドロキシプロピルである
ことを特徴とする請求項１または２記載の着色感光性組
成物。 - 【請求項４】 シランカップリング剤を含有することを
特徴とする請求項１、２または３記載の着色感光性組成
物。 - 【請求項５】 シランカップリング剤の含有率が０．５
〜３重量％であることを特徴とする請求項４記載の着色
感光性組成物。 - 【請求項６】 シランカップリング剤が、一般式、Ｙ−
Ｓｉ（ＣＨ2 ）ｎＸ 3 （Ｙはアクリロイル基、Ｘはアル
コキシ基）で表されるシランカップリング剤であること
を特徴とする請求項４または５記載の着色感光性組成
物。 - 【請求項７】 透明基板上に、請求項１、２、３、４、
５または６記載の着色感光性組成物からなる赤、緑、青
の画素が形成され、さらに表面に透明電極層が形成され
ていることを特徴とするカラーフィルタ。 - 【請求項８】 透明基板上に、多官能アクリレートモノ
マーと、不飽和有機酸化合物、不飽和有機酸エステル化
合物および不飽和有機酸ヒドロキシエステル化合物の共
重合体からなるバインダーと、光重合開始剤と、顔料と
を含有する着色感光性組成物を塗布し、フォトリソグラ
フィを行って赤、緑、青の画素を形成することを特徴と
するカラーフィルタの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19185295A JP2874091B2 (ja) | 1995-07-27 | 1995-07-27 | 着色感光性組成物およびカラーフィルタ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19185295A JP2874091B2 (ja) | 1995-07-27 | 1995-07-27 | 着色感光性組成物およびカラーフィルタ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0943844A true JPH0943844A (ja) | 1997-02-14 |
| JP2874091B2 JP2874091B2 (ja) | 1999-03-24 |
Family
ID=16281585
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19185295A Expired - Fee Related JP2874091B2 (ja) | 1995-07-27 | 1995-07-27 | 着色感光性組成物およびカラーフィルタ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2874091B2 (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002038081A (ja) * | 2000-07-24 | 2002-02-06 | Jsr Corp | 膜形成用組成物および絶縁膜形成用材料 |
| JP2002040673A (ja) * | 2000-07-24 | 2002-02-06 | Jsr Corp | 塗膜形成方法およびそれを用いた絶縁膜 |
| JP2002520679A (ja) * | 1998-07-14 | 2002-07-09 | ブリューワー サイエンス インコーポレイテッド | 感光性ブラックマトリクス組成物およびその製造方法 |
| JP2007316445A (ja) * | 2006-05-26 | 2007-12-06 | Fujifilm Corp | 硬化性組成物、カラーフィルタ、及びその製造方法 |
| JP2007323059A (ja) * | 2006-04-25 | 2007-12-13 | Lg Philips Lcd Co Ltd | レジスト組成物、これを利用したレジストパターン形成方法、これを利用したアレイ基板の製造方法、及び、これを利用して製造されたアレイ基板 |
| JP2012505926A (ja) * | 2008-10-20 | 2012-03-08 | ビーエーエスエフ ソシエタス・ヨーロピア | スルホニウム誘導体および潜在酸としてのその使用 |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| TWI428691B (zh) | 2006-09-25 | 2014-03-01 | Fujifilm Corp | 硬化組成物、彩色濾光片及其製法 |
| JP5030638B2 (ja) | 2007-03-29 | 2012-09-19 | 富士フイルム株式会社 | カラーフィルタ及びその製造方法 |
| JP5137662B2 (ja) | 2008-03-31 | 2013-02-06 | 富士フイルム株式会社 | 硬化性組成物、カラーフィルタ及びその製造方法、並びに固体撮像素子 |
Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05343631A (ja) * | 1992-06-11 | 1993-12-24 | Japan Synthetic Rubber Co Ltd | カラーフィルター用感放射線性組成物 |
| JPH063571A (ja) * | 1992-06-17 | 1994-01-14 | Konica Corp | ズームレンズ鏡胴 |
| JPH0675372A (ja) * | 1992-08-28 | 1994-03-18 | Toppan Printing Co Ltd | 感光性着色組成物およびカラーフィルターの製造方法およびカラーフィルター |
| JPH06201913A (ja) * | 1992-09-29 | 1994-07-22 | Toppan Printing Co Ltd | 感光性着色組成物、カラーフィルタ及びカラーフィルタの製造方法 |
| JPH06289601A (ja) * | 1993-03-31 | 1994-10-18 | Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd | カラーフィルタ用感光性樹脂組成物 |
| JPH06324484A (ja) * | 1993-05-12 | 1994-11-25 | Toppan Printing Co Ltd | アクリル感光性着色組成物 |
| JPH07120920A (ja) * | 1993-10-25 | 1995-05-12 | Toppan Printing Co Ltd | 感光性着色組成物およびカラーフィルターとその製造方法 |
-
1995
- 1995-07-27 JP JP19185295A patent/JP2874091B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05343631A (ja) * | 1992-06-11 | 1993-12-24 | Japan Synthetic Rubber Co Ltd | カラーフィルター用感放射線性組成物 |
| JPH063571A (ja) * | 1992-06-17 | 1994-01-14 | Konica Corp | ズームレンズ鏡胴 |
| JPH0675372A (ja) * | 1992-08-28 | 1994-03-18 | Toppan Printing Co Ltd | 感光性着色組成物およびカラーフィルターの製造方法およびカラーフィルター |
| JPH06201913A (ja) * | 1992-09-29 | 1994-07-22 | Toppan Printing Co Ltd | 感光性着色組成物、カラーフィルタ及びカラーフィルタの製造方法 |
| JPH06289601A (ja) * | 1993-03-31 | 1994-10-18 | Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd | カラーフィルタ用感光性樹脂組成物 |
| JPH06324484A (ja) * | 1993-05-12 | 1994-11-25 | Toppan Printing Co Ltd | アクリル感光性着色組成物 |
| JPH07120920A (ja) * | 1993-10-25 | 1995-05-12 | Toppan Printing Co Ltd | 感光性着色組成物およびカラーフィルターとその製造方法 |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002520679A (ja) * | 1998-07-14 | 2002-07-09 | ブリューワー サイエンス インコーポレイテッド | 感光性ブラックマトリクス組成物およびその製造方法 |
| JP2002038081A (ja) * | 2000-07-24 | 2002-02-06 | Jsr Corp | 膜形成用組成物および絶縁膜形成用材料 |
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| JP2007323059A (ja) * | 2006-04-25 | 2007-12-13 | Lg Philips Lcd Co Ltd | レジスト組成物、これを利用したレジストパターン形成方法、これを利用したアレイ基板の製造方法、及び、これを利用して製造されたアレイ基板 |
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