JPH09246900A - Piezoelectric vibrator holding structure - Google Patents
Piezoelectric vibrator holding structureInfo
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- JPH09246900A JPH09246900A JP8049757A JP4975796A JPH09246900A JP H09246900 A JPH09246900 A JP H09246900A JP 8049757 A JP8049757 A JP 8049757A JP 4975796 A JP4975796 A JP 4975796A JP H09246900 A JPH09246900 A JP H09246900A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 圧電振動子の振動子特性への影響の少ない、
安定的な保持を実現するための、圧電振動子の保持構造
を提供する。
【解決手段】 圧電材料を用いた圧電振動子の保持構造
において、前記圧電振動子4を、表面に微細な凹凸を有
する焼結体6を介して保持具8により保持する。
(57) [Abstract] [Problem] There is little influence on the characteristics of the piezoelectric vibrator,
Provided is a piezoelectric vibrator holding structure for realizing stable holding. In a holding structure for a piezoelectric vibrator using a piezoelectric material, the piezoelectric vibrator 4 is held by a holder 8 via a sintered body 6 having fine irregularities on its surface.
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、圧電セラミック、
水晶、リチウム酸ニオブ等の圧電材料を用いた圧電振動
子の保持構造に関するものである。TECHNICAL FIELD The present invention relates to a piezoelectric ceramic,
The present invention relates to a piezoelectric vibrator holding structure using a piezoelectric material such as quartz or niobium lithium oxide.
【0002】[0002]
【従来の技術】以下に、圧電セラミック、水晶、リチウ
ム酸ニオブ等の圧電材料を用いた圧電振動子の保持構造
の従来技術について説明する。2. Description of the Related Art A conventional structure of a piezoelectric vibrator holding structure using a piezoelectric material such as piezoelectric ceramic, crystal, niobium lithium oxide, etc. will be described below.
【0003】メカニカルフィルタや発振子等に用いられ
る圧電振動子は、圧電セラミック、水晶、リチウム酸ニ
オブ等の材料で作られ、使用する周波数領域に応じて、
適切な振動モードが圧電効果により励振される。これら
の圧電振動子は、振動を抑制しないように振動振幅が0
(ゼロ)になる節の近傍で保持され、フィルタや発振子
等として構成される。振動振幅が0(ゼロ)になる節は
面積を持たない点または線であるので、理想的には圧電
振動子を面積0(ゼロ)の点または線で保持することが
望ましい。しかし、実際には、圧電振動子を面積0(ゼ
ロ)の点または線で保持することは難しいので、安定し
た圧電振動子の保持を実現するために、ある有限の面積
を持たせて点状または線状に保持している。Piezoelectric vibrators used for mechanical filters, oscillators, etc. are made of materials such as piezoelectric ceramics, crystal, and niobium lithium oxide. Depending on the frequency range used,
The appropriate vibration mode is excited by the piezoelectric effect. These piezoelectric vibrators have a vibration amplitude of 0 so as not to suppress vibration.
It is held in the vicinity of the node that becomes (zero), and is configured as a filter or oscillator. Since the node having the vibration amplitude of 0 (zero) is a point or line having no area, ideally it is desirable to hold the piezoelectric vibrator at a point or line of area 0 (zero). However, in practice, it is difficult to hold the piezoelectric vibrator with a point or line having an area of 0 (zero), so in order to realize stable holding of the piezoelectric vibrator, a certain finite area is given to form a dot shape. Or it is held in a line.
【0004】図6は、圧電セラミック等の圧電材料で作
られた従来の角板型圧電振動子1の斜視図であり、この
角板型圧電振動子1の対抗する主面のそれぞれには電極
2が備えられ、この電極間に電界を印加することによっ
て角板の拡がり振動が励振される。この振動モードの節
は角板型圧電振動子1の中心部の点であり、この従来技
術においては、図6に示すように角板型圧電振動子1の
中心部近傍(節部近傍)を、先端が円形の平坦部である
バネ性を有する保持具3で圧電振動子1の両側から保持
している。FIG. 6 is a perspective view of a conventional rectangular plate type piezoelectric vibrator 1 made of a piezoelectric material such as a piezoelectric ceramic. Electrodes are provided on the main surfaces of the rectangular plate type piezoelectric vibrator 1 which face each other. 2 is provided, and the spreading vibration of the rectangular plate is excited by applying an electric field between the electrodes. The node of this vibration mode is a point at the center of the rectangular plate type piezoelectric vibrator 1. In this conventional technique, as shown in FIG. The piezoelectric vibrator 1 is held from both sides by a holder 3 having a circular flat end and having a spring property.
【0005】図7は、圧電材料で作られた他の従来の長
方形板型の圧電振動子4の斜視図であり、長方形板の長
さ振動を励振している。長さ振動では振動の節は長方形
の中央部に線状にあり、この従来技術においては、図7
に示すように圧電振動子4の節部近傍をある幅で線状に
バネ性を持つ保持具5で保持している。FIG. 7 is a perspective view of another conventional rectangular plate type piezoelectric vibrator 4 made of a piezoelectric material, in which the length vibration of the rectangular plate is excited. In length vibration, the vibration node is linear in the center of the rectangle.
As shown in FIG. 5, the piezoelectric vibrator 4 is held in the vicinity of a node by a holder 5 having a certain width and having a linear spring property.
【0006】これらの従来の保持構造では、保持の面積
が小さい場合には保持が不安定になり、逆に保持の面積
が大きい場合には振動している部分を押さえることにな
るので振動が抑制され振動子の特性が低下する。In these conventional holding structures, holding becomes unstable when the holding area is small, and conversely, when the holding area is large, the vibrating portion is pressed down, so vibration is suppressed. As a result, the characteristics of the vibrator deteriorate.
【0007】[0007]
【発明が解決しようとする課題】従来の圧電振動子の保
持構造においては、圧電振動子をある程度の面積を持た
せて点状または線状に保持具で直接保持している。従っ
て、圧電振動子の特性を低下させないために保持の面積
を小さくすると、保持が不安定になり、落下等が起こる
と、その衝撃により振動子の姿勢が変化し、振動子特性
も変化してしまう。また、安定的な保持構造を得るため
に保持部の面積を大きくすると、振動している部分を押
さえることになり、振動子の振動が抑制されるために、
振動子特性が低下する。In the conventional piezoelectric vibrator holding structure, the piezoelectric vibrator is directly held by a holding tool in a dot shape or a linear shape having a certain area. Therefore, if the holding area is reduced to prevent deterioration of the characteristics of the piezoelectric vibrator, holding becomes unstable, and if a drop etc. occurs, the posture of the vibrator changes due to the impact and the characteristics of the vibrator also change. I will end up. In addition, if the area of the holding portion is increased to obtain a stable holding structure, the vibrating portion is suppressed, and the vibration of the vibrator is suppressed,
The oscillator characteristics deteriorate.
【0008】本発明はこのような課題を解決するために
なされたもので、圧電振動子の振動子特性への影響の少
ない、信頼性の高い、安定的な保持を実現するための圧
電振動子の保持構造を提供することを目的とする。The present invention has been made to solve the above problems, and is a piezoelectric vibrator for realizing stable and highly reliable holding with little influence on the vibrator characteristics of the piezoelectric vibrator. It is intended to provide a holding structure for the.
【0009】[0009]
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の本発明に係る圧電振動子の保持構造は、前記圧電振動
子が、表面に微細な凹凸を有する焼結体を介して保持具
により保持されていることを特徴とする。In order to achieve the above object, a holding structure for a piezoelectric vibrator according to the present invention is characterized in that the piezoelectric vibrator is held by a holder via a sintered body having fine irregularities on its surface. It is characterized by being held.
【0010】こうすることにより、焼結体と保持具とは
部分的に接触するので、保持の安定化を図るために圧電
振動子(実際は焼結体)と保持具との接触部分を大きく
しても実効的な接触面積を抑えることができる。従っ
て、圧電振動子の振動の抑制を小さくできると共に、保
持具を通じて漏れる振動を小さくできるので、保持によ
る圧電振動子の特性の低下を極めて小さくすることがで
きる。By doing so, the sintered body and the holder are partially in contact with each other. Therefore, in order to stabilize the holding, the contact portion between the piezoelectric vibrator (actually the sintered body) and the holder is enlarged. However, the effective contact area can be suppressed. Therefore, the suppression of the vibration of the piezoelectric vibrator can be reduced, and the vibration leaking through the holder can be reduced, so that the deterioration of the characteristics of the piezoelectric vibrator due to the holding can be extremely reduced.
【0011】また、前記焼結体が金属もしくはセラミッ
クにより形成されていることが好ましく、前記保持具が
バネ性を有することが好ましい。さらに、前記圧電振動
子の振動の節の近傍を保持することが好ましい。前記振
動の節の近傍を保持することにより、圧電振動子の振動
特性に対する影響を小さくすることができる。The sintered body is preferably made of metal or ceramic, and the holder preferably has a spring property. Further, it is preferable to hold the vicinity of the vibration node of the piezoelectric vibrator. By holding the vicinity of the vibration node, it is possible to reduce the influence on the vibration characteristics of the piezoelectric vibrator.
【0012】[0012]
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態を図面に
基づいて説明する。図1は、本発明の第一の実施形態で
ある圧電振動子の保持構造を示す斜視図である。図1に
おいて、圧電セラミック、水晶、リチウム酸ニオブ等の
圧電材料で作られた長方形板状の圧電振動子4には、そ
の対向する面に電極2が備えられている。そして、電極
2に交流電界を印加することにより、圧電振動子4の長
さ方向に主変位を持つ長さ振動モードが励振される。こ
の長さ振動の節は長方形板の中央部に線状にあり、この
節線近傍に、微細な凹凸を有するニッケル、クロム、ア
ルミニウム等の焼結体6を接着層7を介して接着する。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a perspective view showing a holding structure for a piezoelectric vibrator according to a first embodiment of the present invention. In FIG. 1, a rectangular plate-shaped piezoelectric vibrator 4 made of a piezoelectric material such as piezoelectric ceramics, crystal, or niobium lithium oxide is provided with electrodes 2 on its facing surface. Then, by applying an AC electric field to the electrode 2, a length vibration mode having a main displacement in the length direction of the piezoelectric vibrator 4 is excited. The node of this length vibration is linear in the central part of the rectangular plate, and a sintered body 6 of nickel, chromium, aluminum or the like having fine irregularities is bonded to the vicinity of this node line via an adhesive layer 7.
【0013】図2は、図1の圧電振動子4の保持構造で
ある。圧電振動子4は、この圧電振動子4に接着層7で
接着されている焼結体6を介して、バネ性を有する保持
具8により挟むようにして保持されている。FIG. 2 shows a holding structure for the piezoelectric vibrator 4 shown in FIG. The piezoelectric vibrator 4 is held so as to be sandwiched by a holder 8 having a spring property via a sintered body 6 bonded to the piezoelectric vibrator 4 with an adhesive layer 7.
【0014】図3は、本発明の第二の実施形態である圧
電振動子の保持構造を示す斜視図である。図3におい
て、円板状の圧電振動子9には、その対向する面に電極
10が備えられている。そして、電極10に交流電界を
印加することにより、振動子9の径方向に主変位を持つ
径方向拡がり振動モードを励振することができる。この
振動の節は円板の中央部の点であり、この節点近傍に、
微細な凹凸を有する円板状の焼結体11を接着層12を
介して接着する。FIG. 3 is a perspective view showing a piezoelectric vibrator holding structure according to a second embodiment of the present invention. In FIG. 3, a disk-shaped piezoelectric vibrator 9 is provided with electrodes 10 on its opposing surfaces. Then, by applying an AC electric field to the electrode 10, it is possible to excite the radial spreading vibration mode having the main displacement in the radial direction of the vibrator 9. The node of this vibration is a point at the center of the disk, and in the vicinity of this node,
A disc-shaped sintered body 11 having fine irregularities is bonded via an adhesive layer 12.
【0015】図4は、図3の圧電振動子9の保持構造で
ある。圧電振動子9は、この圧電振動子9に接着層12
で接着されている焼結体11を介して、バネ性を有する
保持具13により挟むようにして保持されている。FIG. 4 shows a holding structure for the piezoelectric vibrator 9 shown in FIG. The piezoelectric vibrator 9 has an adhesive layer 12 on the piezoelectric vibrator 9.
It is held so as to be sandwiched by a holder 13 having a spring property via the sintered body 11 adhered by.
【0016】図5は、以上に述べた各実施形態における
圧電振動子4,9の保持構造の保持部分を拡大したもの
である。圧電振動子4,9と焼結体6,11とは接着層
7,12により接着されており、圧電振動子4,9の保
持は、焼結体6,11を介してバネ性を有する保持具
8,13により挟むようにして行われる。焼結体6,1
1は、その表面に焼結体6,11に特有の微細な凹凸を
有するので、保持具8,13とは部分的に接触すること
となり、保持の安定化を図るために圧電振動子4,9
(実際は焼結体6,11)と保持具8,13との接触部
分を大きくしても実効的な接触面積を小さくすることが
できる。FIG. 5 is an enlarged view of the holding portion of the holding structure for the piezoelectric vibrators 4 and 9 in each of the embodiments described above. The piezoelectric vibrators 4 and 9 and the sintered bodies 6 and 11 are bonded to each other by the adhesive layers 7 and 12, and the piezoelectric vibrators 4 and 9 are held by the sintered bodies 6 and 11 having a spring property. It is performed so as to be sandwiched between the tools 8 and 13. Sintered body 6,1
Since 1 has minute irregularities peculiar to the sintered bodies 6 and 11 on its surface, it comes into partial contact with the holders 8 and 13, and the piezoelectric vibrators 4 and 4 are provided to stabilize the holding. 9
The effective contact area can be reduced by increasing the contact area between the (actually, the sintered body 6, 11) and the holder 8, 13.
【0017】従って、圧電振動子4,9の保持を焼結体
6,11を介して行うことにより、圧電振動子4,9の
振動の抑制を小さくすることができると共に、保持具
8,13を通じて漏れる振動を小さくすることができる
ので、保持による圧電振動子4,9の特性の低下を極め
て小さくすることができる。Therefore, by holding the piezoelectric vibrators 4 and 9 via the sintered bodies 6 and 11, it is possible to reduce the suppression of vibration of the piezoelectric vibrators 4 and 9 and to hold the holders 8 and 13. Since the vibration leaking through can be reduced, the deterioration of the characteristics of the piezoelectric vibrators 4 and 9 due to the holding can be extremely reduced.
【0018】以上の各実施形態においては、金属の焼結
体を用いた場合について説明したが、本発明はこれに限
定されるものではなく、セラミック等により形成した焼
結体を用いてもよい。In each of the above embodiments, the case where a metal sintered body is used has been described, but the present invention is not limited to this, and a sintered body formed of ceramic or the like may be used. .
【0019】また、各実施形態においては、圧電振動子
に焼結体を接着して保持部を形成する構造について説明
したが、本発明はこれに限定されるものではない。例え
ば、保持具に金属またはセラミック等により形成した焼
結体を接着し、この焼結体を介して圧電振動子の保持を
行う保持構造、さらには、圧電振動子および保持具の両
方に金属またはセラミック等の焼結体を接着して、この
焼結体を介して振動子の保持を行う保持構造であっても
よい。Further, in each of the embodiments, the structure in which the sintered body is adhered to the piezoelectric vibrator to form the holding portion has been described, but the present invention is not limited to this. For example, a holding structure in which a sintered body formed of metal or ceramic is adhered to the holder, and the piezoelectric vibrator is held through the sintered body, and further, both the piezoelectric vibrator and the holder are made of metal or A holding structure may be used in which a sintered body such as ceramic is adhered to hold the vibrator through the sintered body.
【0020】[0020]
【発明の効果】以上説明したように、本発明にかかる圧
電振動子の保持構造によれば、圧電振動子が、表面に微
細な凹凸のある焼結体を介して保持具により保持される
ので、保持部の面積を大きくすることによる安定的な保
持と、実効的な接触面積を小さくすることによる圧電振
動子特性の低下の少ない保持の両方を同時に実現するこ
とができる。As described above, according to the piezoelectric vibrator holding structure of the present invention, the piezoelectric vibrator is held by the holder via the sintered body having fine irregularities on the surface. It is possible to realize both stable holding by increasing the area of the holding portion and holding with less deterioration of the piezoelectric vibrator characteristics by reducing the effective contact area at the same time.
【0021】また、金属やセラミック等の弾性的に安定
な無機材料の焼結体を介して圧電振動子を保持するの
で、保持具により焼結体が塑性変形することがないた
め、焼結体を薄くすることができる。従って、焼結体の
圧電振動子への影響を極力小さくすることができ、さら
には、経時変化の小さい安定した保持を実現できる。Further, since the piezoelectric vibrator is held through the sintered body of an elastically stable inorganic material such as metal or ceramic, the sintered body is not plastically deformed by the holder, so that the sintered body is held. Can be thinned. Therefore, the influence of the sintered body on the piezoelectric vibrator can be minimized, and moreover, stable holding with little change over time can be realized.
【図1】本発明の第一の実施形態に係る保持構造に用い
る圧電振動子の斜視図FIG. 1 is a perspective view of a piezoelectric vibrator used in a holding structure according to a first embodiment of the present invention.
【図2】本発明の第一の実施形態に係る圧電振動子の保
持構造の概略図FIG. 2 is a schematic view of a piezoelectric vibrator holding structure according to the first embodiment of the present invention.
【図3】本発明の第二の実施形態に係る保持構造に用い
る圧電振動子の斜視図FIG. 3 is a perspective view of a piezoelectric vibrator used in a holding structure according to a second embodiment of the present invention.
【図4】本発明の第二の実施形態に係る圧電振動子の保
持構造の概略図FIG. 4 is a schematic view of a piezoelectric vibrator holding structure according to a second embodiment of the present invention.
【図5】本発明の各実施形態に係る圧電振動子の保持構
造における保持部分の拡大図FIG. 5 is an enlarged view of a holding portion in a holding structure for a piezoelectric vibrator according to each embodiment of the present invention.
【図6】角板型圧電振動子の従来の保持構造の斜視図FIG. 6 is a perspective view of a conventional holding structure for a rectangular plate type piezoelectric vibrator.
【図7】長方形板型圧電振動子の従来の保持構造の斜視
図。FIG. 7 is a perspective view of a conventional holding structure for a rectangular plate type piezoelectric vibrator.
4,9 圧電振動子 6,11 焼結体 8,13 保持具 4,9 Piezoelectric vibrator 6,11 Sintered body 8,13 Holder
Claims (4)
において、前記圧電振動子が、表面に微細な凹凸を有す
る焼結体を介して保持具により保持されていることを特
徴とする圧電振動子の保持構造。1. A piezoelectric vibrator holding structure using a piezoelectric material, wherein the piezoelectric vibrator is held by a holder via a sintered body having fine irregularities on its surface. Vibrator holding structure.
より形成されている請求項1記載の圧電振動子の保持構
造。2. The holding structure for a piezoelectric vibrator according to claim 1, wherein the sintered body is made of metal or ceramic.
たは2記載の圧電振動子の保持構造。3. The holding structure for a piezoelectric vibrator according to claim 1, wherein the holder has a spring property.
る請求項1,2または3記載の圧電振動子の保持構造。4. The holding structure for a piezoelectric vibrator according to claim 1, wherein the piezoelectric vibrator is held near a vibration node of the piezoelectric vibrator.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8049757A JPH09246900A (en) | 1996-03-07 | 1996-03-07 | Piezoelectric vibrator holding structure |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8049757A JPH09246900A (en) | 1996-03-07 | 1996-03-07 | Piezoelectric vibrator holding structure |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09246900A true JPH09246900A (en) | 1997-09-19 |
Family
ID=12840070
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8049757A Pending JPH09246900A (en) | 1996-03-07 | 1996-03-07 | Piezoelectric vibrator holding structure |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09246900A (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008124747A (en) * | 2006-11-10 | 2008-05-29 | Hitachi Ltd | Thin film piezoelectric vibrator, thin film piezoelectric bulk wave resonator and high frequency filter using the same |
| CN102158784A (en) * | 2011-05-31 | 2011-08-17 | 浙江师范大学 | Elastic supporting-type round piezoelectric vibrator bone conduction hearing device |
-
1996
- 1996-03-07 JP JP8049757A patent/JPH09246900A/en active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008124747A (en) * | 2006-11-10 | 2008-05-29 | Hitachi Ltd | Thin film piezoelectric vibrator, thin film piezoelectric bulk wave resonator and high frequency filter using the same |
| US8164399B2 (en) | 2006-11-10 | 2012-04-24 | Hitachi, Ltd. | Thin film piezoelectric vibrator, thin film piezoelectric bulk acoustic wave resonator, and radio-frequency filter using such resonator |
| CN102158784A (en) * | 2011-05-31 | 2011-08-17 | 浙江师范大学 | Elastic supporting-type round piezoelectric vibrator bone conduction hearing device |
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