JPH09239976A - インクジェットヘッドの接着剤塗布装置 - Google Patents
インクジェットヘッドの接着剤塗布装置Info
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- JPH09239976A JPH09239976A JP4702496A JP4702496A JPH09239976A JP H09239976 A JPH09239976 A JP H09239976A JP 4702496 A JP4702496 A JP 4702496A JP 4702496 A JP4702496 A JP 4702496A JP H09239976 A JPH09239976 A JP H09239976A
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- adhesive
- piezoelectric element
- conductive adhesive
- electrode
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 導電性接着剤の塗布品質を確保できない。
【解決手段】 ディスペンサーロボットが使用する導電
性接着剤を吐出するためのニードル66は、吐出孔66
aをテーパー形状に形成した。
性接着剤を吐出するためのニードル66は、吐出孔66
aをテーパー形状に形成した。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、インクジェットヘ
ッドの接着剤塗布装置に関し、特にアクチュエータと電
極とを導電性接着剤で接続するインクジェットヘッドの
接着剤塗布装置に関する。
ッドの接着剤塗布装置に関し、特にアクチュエータと電
極とを導電性接着剤で接続するインクジェットヘッドの
接着剤塗布装置に関する。
【0002】
【従来の技術】インクジェット記録方式は、ヘッドを記
録紙上に接触することなく記録することができると共
に、記録プロセスが非常に単純であることやカラー記録
にも適することなどから注目されている。従前、このイ
ンクジェット記録方式として種々の方式が提案されてい
るが、現在では、記録信号が入力されたときにのみイン
クを吐出する所謂ドロップオンデマンド(DOD)方式
が主流になっている。
録紙上に接触することなく記録することができると共
に、記録プロセスが非常に単純であることやカラー記録
にも適することなどから注目されている。従前、このイ
ンクジェット記録方式として種々の方式が提案されてい
るが、現在では、記録信号が入力されたときにのみイン
クを吐出する所謂ドロップオンデマンド(DOD)方式
が主流になっている。
【0003】そして、DOD方式の中には、所謂バブル
ジェット方式とピエゾアクチュエータ方式がある。前者
のバブルジェット方式は、ヒータ等の発熱手段による熱
エネルギーによってインク中に発生するバブルを利用し
て、インクに圧力を与えて液滴化してノズルから飛翔さ
せるものである。後者のピエゾアクチュエータ方式は、
加圧液室を構成する壁面を変形可能な構造として、この
変形可能な壁面の外側に圧電素子を設け、この圧電素子
を用いて加圧液室の壁面を変形させてその内容積を変化
させることで、インクに圧力を与えて液滴化してノズル
から飛翔させるものである。
ジェット方式とピエゾアクチュエータ方式がある。前者
のバブルジェット方式は、ヒータ等の発熱手段による熱
エネルギーによってインク中に発生するバブルを利用し
て、インクに圧力を与えて液滴化してノズルから飛翔さ
せるものである。後者のピエゾアクチュエータ方式は、
加圧液室を構成する壁面を変形可能な構造として、この
変形可能な壁面の外側に圧電素子を設け、この圧電素子
を用いて加圧液室の壁面を変形させてその内容積を変化
させることで、インクに圧力を与えて液滴化してノズル
から飛翔させるものである。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上述した従
来のインクジェットヘッドにあっては、高密度、高集積
化を図るに従ってアクチュエータとこのアクチュエータ
に駆動電圧を印加するための電極とを確実且つ正確に接
続することが必要になるが、例えば積層型圧電素子を用
いて、この積層型圧電素子のd33方向の変位を利用す
る(特開平3−73347号公報参照)ような場合に、
高集積化が進むに従って圧電素子のスリット幅及びピッ
チが小さくなって、各層の両面に設けられる内部電極を
外部の電極と電気的に接続することが困難になる。
来のインクジェットヘッドにあっては、高密度、高集積
化を図るに従ってアクチュエータとこのアクチュエータ
に駆動電圧を印加するための電極とを確実且つ正確に接
続することが必要になるが、例えば積層型圧電素子を用
いて、この積層型圧電素子のd33方向の変位を利用す
る(特開平3−73347号公報参照)ような場合に、
高集積化が進むに従って圧電素子のスリット幅及びピッ
チが小さくなって、各層の両面に設けられる内部電極を
外部の電極と電気的に接続することが困難になる。
【0005】このような問題を解決する方策の1つとし
て、例えばプレート状の圧電素子と電極パターンとを予
め導電性接着剤を介して接続した後、プレート状の圧電
素子及び電極パターンをスリット加工して多数のアクチ
ュエータ及び各アクチュエータに接続した電極を形成す
る工法が考えられるが、このような工法を用いる場合で
あっても、個々のアクチュエータと電極との接続品質な
いしは導電性接着剤の塗布品質を確保しなければならな
いという課題がある。
て、例えばプレート状の圧電素子と電極パターンとを予
め導電性接着剤を介して接続した後、プレート状の圧電
素子及び電極パターンをスリット加工して多数のアクチ
ュエータ及び各アクチュエータに接続した電極を形成す
る工法が考えられるが、このような工法を用いる場合で
あっても、個々のアクチュエータと電極との接続品質な
いしは導電性接着剤の塗布品質を確保しなければならな
いという課題がある。
【0006】
【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
め、請求項1のインクジェットヘッドの接着剤塗布装置
は、インクジェットヘッドのアクチュエータと電極との
間にディスペンサーロボットによって導電性接着剤を塗
布する接着剤塗布装置において、前記ディスペンサーロ
ボットが使用する吐出ニードルの吐出孔をテーパー形状
に形成した。
め、請求項1のインクジェットヘッドの接着剤塗布装置
は、インクジェットヘッドのアクチュエータと電極との
間にディスペンサーロボットによって導電性接着剤を塗
布する接着剤塗布装置において、前記ディスペンサーロ
ボットが使用する吐出ニードルの吐出孔をテーパー形状
に形成した。
【0007】請求項2のインクジェットヘッドの接着剤
塗布装置は、上記請求項1のインクジェットヘッドの接
着剤塗布装置において、前記吐出ニードルの吐出孔の開
口がφ0.1mm〜φ0.5mmの範囲内である構成と
した。
塗布装置は、上記請求項1のインクジェットヘッドの接
着剤塗布装置において、前記吐出ニードルの吐出孔の開
口がφ0.1mm〜φ0.5mmの範囲内である構成と
した。
【0008】請求項3のインクジェットヘッドの接着剤
塗布装置は、インクジェットヘッドのアクチュエータと
電極との間にディスペンサーロボットによって導電性接
着剤を塗布する接着剤塗布装置において、前記吐出ニー
ドルを装着するシリンジの取付け角度が10゜〜40゜
である構成とした。
塗布装置は、インクジェットヘッドのアクチュエータと
電極との間にディスペンサーロボットによって導電性接
着剤を塗布する接着剤塗布装置において、前記吐出ニー
ドルを装着するシリンジの取付け角度が10゜〜40゜
である構成とした。
【0009】請求項4のインクジェットヘッドの接着剤
塗布装置は、上記請求項1のインクジェットヘッドの接
着剤塗布装置において、前記吐出ニードルの吐出孔内壁
面に撥水性処理を施した。
塗布装置は、上記請求項1のインクジェットヘッドの接
着剤塗布装置において、前記吐出ニードルの吐出孔内壁
面に撥水性処理を施した。
【0010】請求項5のインクジェットヘッドの接着剤
塗布装置は、上記請求項4のインクジェットヘッドの接
着剤塗布装置において、前記撥水性処理がテフロンコー
ティングである構成とした。
塗布装置は、上記請求項4のインクジェットヘッドの接
着剤塗布装置において、前記撥水性処理がテフロンコー
ティングである構成とした。
【0011】請求項6のインクジェットヘッドの接着剤
塗布装置は、インクジェットヘッドのアクチュエータと
電極との間にディスペンサーロボットによって導電性接
着剤を塗布する接着剤塗布装置において、前記導電性接
着剤が無溶剤型である構成とした。
塗布装置は、インクジェットヘッドのアクチュエータと
電極との間にディスペンサーロボットによって導電性接
着剤を塗布する接着剤塗布装置において、前記導電性接
着剤が無溶剤型である構成とした。
【0012】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を添付
図面を参照して説明する。図1は本発明を適用した接着
剤塗布装置を使用して導電性接着剤を塗布したインクジ
ェットヘッドの一例を示す外観斜視図、図2は図1の分
解斜視図、図3は図1のA−A線に沿う断面図、図4は
図1のB−B線に沿う断面図である。
図面を参照して説明する。図1は本発明を適用した接着
剤塗布装置を使用して導電性接着剤を塗布したインクジ
ェットヘッドの一例を示す外観斜視図、図2は図1の分
解斜視図、図3は図1のA−A線に沿う断面図、図4は
図1のB−B線に沿う断面図である。
【0013】このインクジェットヘッドは、列状に設け
た複数の圧電素子等を有するアクチュエータユニット1
と、アクチュエータユニット1上に接合されて複数の圧
電素子で変形部を介して加圧される複数の加圧液室及び
この複数の加圧液室に連通する複数のノズル等を形成し
ている液室ユニット2とからなる。
た複数の圧電素子等を有するアクチュエータユニット1
と、アクチュエータユニット1上に接合されて複数の圧
電素子で変形部を介して加圧される複数の加圧液室及び
この複数の加圧液室に連通する複数のノズル等を形成し
ている液室ユニット2とからなる。
【0014】アクチュエータユニット1は、絶縁性の基
板3上に、複数の圧電素子を列状に設けた2列の圧電素
子列4,4と、これら2列の圧電素子列4,4の周囲を
取り囲む液室固定部材であるフレーム5を接着剤6によ
って接合している。圧電素子列4は、インクを液滴化し
て飛翔させるための駆動パルスが与えられる複数の圧電
素子(これを「駆動部圧電素子」という。)7,7…
と、駆動部圧電素子7,7間に位置し、駆動パルスが与
えられずに単に液室ユニット2を基板3に固定する液室
支柱部材となる複数の圧電素子(これを「固定部圧電素
子」という。)8,8…とを交互に配置している。
板3上に、複数の圧電素子を列状に設けた2列の圧電素
子列4,4と、これら2列の圧電素子列4,4の周囲を
取り囲む液室固定部材であるフレーム5を接着剤6によ
って接合している。圧電素子列4は、インクを液滴化し
て飛翔させるための駆動パルスが与えられる複数の圧電
素子(これを「駆動部圧電素子」という。)7,7…
と、駆動部圧電素子7,7間に位置し、駆動パルスが与
えられずに単に液室ユニット2を基板3に固定する液室
支柱部材となる複数の圧電素子(これを「固定部圧電素
子」という。)8,8…とを交互に配置している。
【0015】液室ユニット2は、ダイアフラム部11を
形成した振動板12上に、加圧液室流路を形成する感光
性樹脂フィルム(ドライフィルムレジスト)からなる液
室流路形成部材13を接着し、この液室流路形成部材1
3上に複数のノズル15を形成したノズルプレート16
を接着してなる。これら振動板12、液室流路形成部材
13及びノズルプレート16によって、圧電素子列4の
各駆動部圧電素子7,7…に対向する変形可能なダイヤ
フラム部11を有するそれぞれ略独立した複数の加圧液
室17,17…を形成している。そして、この液室ユニ
ット2は、その振動板12の所要の部分を接着剤18に
よって固定部圧電素子8,8…及びフレーム5上に接合
することで、全体としてアクチュエータユニット1上に
高い剛性で接合している。
形成した振動板12上に、加圧液室流路を形成する感光
性樹脂フィルム(ドライフィルムレジスト)からなる液
室流路形成部材13を接着し、この液室流路形成部材1
3上に複数のノズル15を形成したノズルプレート16
を接着してなる。これら振動板12、液室流路形成部材
13及びノズルプレート16によって、圧電素子列4の
各駆動部圧電素子7,7…に対向する変形可能なダイヤ
フラム部11を有するそれぞれ略独立した複数の加圧液
室17,17…を形成している。そして、この液室ユニ
ット2は、その振動板12の所要の部分を接着剤18に
よって固定部圧電素子8,8…及びフレーム5上に接合
することで、全体としてアクチュエータユニット1上に
高い剛性で接合している。
【0016】ここで、アクチュエータユニット1の基板
3は、厚さ0.5〜5mm程度で、しかも圧電素子に似た
材質のものからなり、圧電素子と共に例えばダイヤモン
ド砥石による切削が可能なものであることが好ましく、
この実施例ではセラミックス基板を用いている。この基
板3の端部にはインク供給孔3aを形成し、このインク
供給孔3aにはインク供給パイプ19を接続して、液室
ユニット2内の液室へインクを供給する。なお、インク
供給孔3aの形成位置は基板3の端部に限られない。
3は、厚さ0.5〜5mm程度で、しかも圧電素子に似た
材質のものからなり、圧電素子と共に例えばダイヤモン
ド砥石による切削が可能なものであることが好ましく、
この実施例ではセラミックス基板を用いている。この基
板3の端部にはインク供給孔3aを形成し、このインク
供給孔3aにはインク供給パイプ19を接続して、液室
ユニット2内の液室へインクを供給する。なお、インク
供給孔3aの形成位置は基板3の端部に限られない。
【0017】圧電素子列4を構成している駆動部圧電素
子7及び固定部圧電素子8としては、10層以上の積層
型圧電素子を用いている。この積層型圧電素子は、例え
ば図3及び図4に示すように、厚さ20〜50μm/1
層のPZT(=Pb(Zr・Ti)O3)20と、厚さ数μ
m/1層の銀・パラジューム(AgPd)からなる内部電
極21とを交互に積層したものである。圧電素子を、厚
さ20〜50μm/1層の積層型とすることによって駆
動電圧の低電圧化を図れ、例えば20〜50Vのパルス
電圧で圧電素子の電界強度1000V/mmを得ることが
できる。なお、圧電素子として用いる材料は上記に限ら
れるものでなく、一般に圧電素子材料として用いられる
BaTiO3、PbTiO3、(NaK)NbO3等の強誘電体
などを用いることもできる。
子7及び固定部圧電素子8としては、10層以上の積層
型圧電素子を用いている。この積層型圧電素子は、例え
ば図3及び図4に示すように、厚さ20〜50μm/1
層のPZT(=Pb(Zr・Ti)O3)20と、厚さ数μ
m/1層の銀・パラジューム(AgPd)からなる内部電
極21とを交互に積層したものである。圧電素子を、厚
さ20〜50μm/1層の積層型とすることによって駆
動電圧の低電圧化を図れ、例えば20〜50Vのパルス
電圧で圧電素子の電界強度1000V/mmを得ることが
できる。なお、圧電素子として用いる材料は上記に限ら
れるものでなく、一般に圧電素子材料として用いられる
BaTiO3、PbTiO3、(NaK)NbO3等の強誘電体
などを用いることもできる。
【0018】そして、各駆動部圧電素子7の内部電極2
1を1層おきにAgPdからなる左右の端面電極22,2
3(2つの圧電素子列4,4の各駆動部圧電素子7の対
向する面側を端面電極22とし、対向しない面側を端面
電極23とする。)に接続し、2つの圧電素子列4,4
の各駆動部圧電素子7の対向する端面電極22を導電性
接着剤24を介してNi・Au蒸着パターンからなる外部
電極である共通電極25に接続し、他方、2つの圧電素
子列4,4の各駆動部圧電素子7の対向しない端面電極
23を同じく導電性接着剤26を介してNi・Au蒸着パ
ターンからなる外部電極である各駆動用個別電極(選択
電極)27に接続して、これらの共通電極25及び各駆
動用個別電極27にFPCケーブル28を接続してい
る。FPCケーブル28を介して駆動部圧電素子7に駆
動電圧を与えることによって、積層方向に電界が発生し
て、駆動部圧電素子7には積層方向の伸びの変位が生起
される。
1を1層おきにAgPdからなる左右の端面電極22,2
3(2つの圧電素子列4,4の各駆動部圧電素子7の対
向する面側を端面電極22とし、対向しない面側を端面
電極23とする。)に接続し、2つの圧電素子列4,4
の各駆動部圧電素子7の対向する端面電極22を導電性
接着剤24を介してNi・Au蒸着パターンからなる外部
電極である共通電極25に接続し、他方、2つの圧電素
子列4,4の各駆動部圧電素子7の対向しない端面電極
23を同じく導電性接着剤26を介してNi・Au蒸着パ
ターンからなる外部電極である各駆動用個別電極(選択
電極)27に接続して、これらの共通電極25及び各駆
動用個別電極27にFPCケーブル28を接続してい
る。FPCケーブル28を介して駆動部圧電素子7に駆
動電圧を与えることによって、積層方向に電界が発生し
て、駆動部圧電素子7には積層方向の伸びの変位が生起
される。
【0019】ここで、アクチュエータである各駆動部圧
電素子7の端面電極22,23と共通電極25,個別電
極27とを接続する導電性接着剤24,26は、本発明
を適用した接着剤塗布装置によって塗布している。
電素子7の端面電極22,23と共通電極25,個別電
極27とを接続する導電性接着剤24,26は、本発明
を適用した接着剤塗布装置によって塗布している。
【0020】次に、液室ユニット2の振動板12は、エ
レクトロンフォーミング工法(電鋳)によって製造した
Ni(ニッケル)の金属プレートからなり、図3に示す
ように液室流路形成部材13側を平坦面とし、チャンネ
ル方向と直交する方向では圧電素子列4側にそれぞれ厚
みの異なるダイアフラム領域12a、接合領域12b及
び逃げ領域12cを形成して、圧電素子列4の駆動部圧
電素子7,7…に対応してダイアフラム部11、11…
を形成したものである。
レクトロンフォーミング工法(電鋳)によって製造した
Ni(ニッケル)の金属プレートからなり、図3に示す
ように液室流路形成部材13側を平坦面とし、チャンネ
ル方向と直交する方向では圧電素子列4側にそれぞれ厚
みの異なるダイアフラム領域12a、接合領域12b及
び逃げ領域12cを形成して、圧電素子列4の駆動部圧
電素子7,7…に対応してダイアフラム部11、11…
を形成したものである。
【0021】液室流路形成部材13は、上記のように振
動板12上面とノズルプレート16下面との間に位置し
て各駆動部圧電素子7に対応する各加圧液室17を形成
すると共に、図2乃至図4に示すように、各加圧液室1
7にインクを供給するために各加圧液室17の両側に位
置する共通液室44と、各加圧液室17の両側を共通液
室44に連通する流体抵抗部を兼ねた各インク供給路4
2,42とを形成するものであるが、その製造工程上、
振動板12上面にドライフィルムレジスト(感光性樹脂
フィルム)を用いて所要の液室パターンを形成した下側
液室流路形成層40と、ドライフィルムレジストを用い
て所要の液室パターンを形成した上側液室流路形成層4
1とを接合した2層構造としている。
動板12上面とノズルプレート16下面との間に位置し
て各駆動部圧電素子7に対応する各加圧液室17を形成
すると共に、図2乃至図4に示すように、各加圧液室1
7にインクを供給するために各加圧液室17の両側に位
置する共通液室44と、各加圧液室17の両側を共通液
室44に連通する流体抵抗部を兼ねた各インク供給路4
2,42とを形成するものであるが、その製造工程上、
振動板12上面にドライフィルムレジスト(感光性樹脂
フィルム)を用いて所要の液室パターンを形成した下側
液室流路形成層40と、ドライフィルムレジストを用い
て所要の液室パターンを形成した上側液室流路形成層4
1とを接合した2層構造としている。
【0022】ノズルプレート16にはインク滴を飛翔さ
せるための微細孔である多数のノズル15を形成してお
り、このノズル15の径はインク滴出口側の直径で35
μm以下に形成し、また、ノズル15は振動板12のダ
イアフラム部11に対向し、かつ加圧液室17の中心近
傍に対応する位置に設けている。このノズルプレート1
6も振動板12と同様にエレクトロンフォーミング工法
(電鋳)によって製造したNi(ニッケル)の金属プレ
ートを用いているが、Si、その他の金属材料を用いる
こともできる。なお、実際には、1列32〜64個のノ
ズル15を2列配列した64〜128個構成で1つのイ
ンクジェットヘッドを製作するが、この64〜128個
のノズル15を有するノズルプレート16の品質は、イ
ンクの滴形状、飛翔特性を決定し、画像品質に大きな影
響を与えるものである。
せるための微細孔である多数のノズル15を形成してお
り、このノズル15の径はインク滴出口側の直径で35
μm以下に形成し、また、ノズル15は振動板12のダ
イアフラム部11に対向し、かつ加圧液室17の中心近
傍に対応する位置に設けている。このノズルプレート1
6も振動板12と同様にエレクトロンフォーミング工法
(電鋳)によって製造したNi(ニッケル)の金属プレ
ートを用いているが、Si、その他の金属材料を用いる
こともできる。なお、実際には、1列32〜64個のノ
ズル15を2列配列した64〜128個構成で1つのイ
ンクジェットヘッドを製作するが、この64〜128個
のノズル15を有するノズルプレート16の品質は、イ
ンクの滴形状、飛翔特性を決定し、画像品質に大きな影
響を与えるものである。
【0023】次に、このインクジェットヘッドの製造工
程について説明する。このインクジェットヘッドは、予
めアクチュエータユニット1と液室ユニット2とを別々
に組付けた後、両ユニット1,2を接着接合して製造し
ている。このような製造工程を採用することによって、
両ユニット1,2の良品同士を選んで組み付けることが
できて歩留りが向上すると共に、加工組付け工程で塵埃
が発生しやすいアクチュエータユニット1と、塵埃の付
着を完全に避けたい液室ユニット2とを別々の工程で組
付けることができるので、完成したインクジェットヘッ
ドの品質自体が向上する。以下、具体的に説明する。
程について説明する。このインクジェットヘッドは、予
めアクチュエータユニット1と液室ユニット2とを別々
に組付けた後、両ユニット1,2を接着接合して製造し
ている。このような製造工程を採用することによって、
両ユニット1,2の良品同士を選んで組み付けることが
できて歩留りが向上すると共に、加工組付け工程で塵埃
が発生しやすいアクチュエータユニット1と、塵埃の付
着を完全に避けたい液室ユニット2とを別々の工程で組
付けることができるので、完成したインクジェットヘッ
ドの品質自体が向上する。以下、具体的に説明する。
【0024】先ず、アクチュエータユニット1の加工及
び組付け工程は、次のとおりである。すなわち、絶縁性
の基板3に予め外部電極となる個別電極用のNi・Au蒸
着電極パターン及び共通電極用のNi・Au蒸着電極パタ
ーンを大まかにパターニングした後、2列の圧電素子列
4,4を形成するプレート状の積層型圧電素子(以下、
「圧電素子プレート」という。)を位置決め治具を使用
して接着接合する。
び組付け工程は、次のとおりである。すなわち、絶縁性
の基板3に予め外部電極となる個別電極用のNi・Au蒸
着電極パターン及び共通電極用のNi・Au蒸着電極パタ
ーンを大まかにパターニングした後、2列の圧電素子列
4,4を形成するプレート状の積層型圧電素子(以下、
「圧電素子プレート」という。)を位置決め治具を使用
して接着接合する。
【0025】そして、各圧電素子プレートの両端面に形
成した端面電極22,23となる各端面電極と基板3の
個別電極用及び共通電極用の電極パターンとを導電性接
着剤24,26(図3参照)で電気的に接続する。
成した端面電極22,23となる各端面電極と基板3の
個別電極用及び共通電極用の電極パターンとを導電性接
着剤24,26(図3参照)で電気的に接続する。
【0026】その後、ダイヤモンド砥石をセットしたダ
イサーによって、例えば1ピッチ当たり100μm程度
の幅で圧電素子プレートをスリット加工して各駆動部圧
電素子7及び固定部圧電素子8となる個々の圧電素子に
分割する。このとき、基板3に至るまで切込み溝(スリ
ット溝)を入れて切断することによって、個々の圧電素
子を完全に独立させる。
イサーによって、例えば1ピッチ当たり100μm程度
の幅で圧電素子プレートをスリット加工して各駆動部圧
電素子7及び固定部圧電素子8となる個々の圧電素子に
分割する。このとき、基板3に至るまで切込み溝(スリ
ット溝)を入れて切断することによって、個々の圧電素
子を完全に独立させる。
【0027】また、基板3上の個別電極用及び共通電極
用の電極パターンも同時に切断されて個々の圧電素子毎
に分割され、圧電素子プレートの両端面の端面電極も分
割されて端面電極22,23となるが、基板3の溝3b
にまでスリット溝が達しないようにすることで、共通電
極用の電極パターンは導電性接着剤24を介して各圧電
素子の端面電極22と接続されたままである。
用の電極パターンも同時に切断されて個々の圧電素子毎
に分割され、圧電素子プレートの両端面の端面電極も分
割されて端面電極22,23となるが、基板3の溝3b
にまでスリット溝が達しないようにすることで、共通電
極用の電極パターンは導電性接着剤24を介して各圧電
素子の端面電極22と接続されたままである。
【0028】次に、圧電素子の加工が終了した基板3上
にフレーム5を接着接合する。その後、FPCケーブル
28を基板3の電極パターンに熱と加圧で接合する。こ
のFPCケーブル28は駆動部圧電素子7となる圧電素
子を選択的に駆動できるパターンを有し、その接合部に
は予め半田メッキを施している。最後に、各圧電素子の
容量を測定する。
にフレーム5を接着接合する。その後、FPCケーブル
28を基板3の電極パターンに熱と加圧で接合する。こ
のFPCケーブル28は駆動部圧電素子7となる圧電素
子を選択的に駆動できるパターンを有し、その接合部に
は予め半田メッキを施している。最後に、各圧電素子の
容量を測定する。
【0029】一方、液室ユニット2の加工・組付け工程
について説明すると、予めエレクトロンフォーミング工
法(電鋳)を用いてNi(ニッケル)の金属プレートか
らなるダイアフラム部11を有する振動板12及びノズ
ル15を有するノズルプレート16を製造する。そし
て、振動板12のフラットな面上に下側液室流路形成層
40を形成するための感光性樹脂である厚さ20〜50
μm程度のドライフィルムレジストを熱及び加圧によっ
てラミネートし、流路パターンに応じたマスクを用いて
紫外線露光をして、露光部分を硬化させる。そして、未
露光部分を除去できる溶剤を用いて、未露光部分を除去
して現像し、図2に示すように下側液室流路形成層40
の液室パターンを形成し、水洗い、乾燥の後、再度紫外
線露光と熱によって本硬化する。
について説明すると、予めエレクトロンフォーミング工
法(電鋳)を用いてNi(ニッケル)の金属プレートか
らなるダイアフラム部11を有する振動板12及びノズ
ル15を有するノズルプレート16を製造する。そし
て、振動板12のフラットな面上に下側液室流路形成層
40を形成するための感光性樹脂である厚さ20〜50
μm程度のドライフィルムレジストを熱及び加圧によっ
てラミネートし、流路パターンに応じたマスクを用いて
紫外線露光をして、露光部分を硬化させる。そして、未
露光部分を除去できる溶剤を用いて、未露光部分を除去
して現像し、図2に示すように下側液室流路形成層40
の液室パターンを形成し、水洗い、乾燥の後、再度紫外
線露光と熱によって本硬化する。
【0030】また、ノズルプレート16にも上側液室流
路形成層41を形成するための感光性樹脂である厚さ4
0〜100μm程度のドライフィルムレジストを熱及び
加圧によってラミネートし、流路パターンに応じたマス
クを用いて紫外線露光をして、露光部分を硬化させ、未
露光部分を現像して、上側液室流路形成層41の液室パ
ターンを形成し、水洗い、乾燥の後、再度紫外線露光と
熱によって本硬化する
路形成層41を形成するための感光性樹脂である厚さ4
0〜100μm程度のドライフィルムレジストを熱及び
加圧によってラミネートし、流路パターンに応じたマス
クを用いて紫外線露光をして、露光部分を硬化させ、未
露光部分を現像して、上側液室流路形成層41の液室パ
ターンを形成し、水洗い、乾燥の後、再度紫外線露光と
熱によって本硬化する
【0031】そして、このようにして振動板12とノズ
ルプレート16に形成されたドライフィルムレジストか
らなる下側液室流路形成層40と上側液室流路形成層4
1の対応する面同士を接合する。この接合は位置合わせ
治具を用いて行い、加圧及び前記本硬化のときより高い
温度での加熱を行う。なお、実際には、以上の工程は、
複数個分のヘッド面積のプレートにて組付けを行うよう
にしている。
ルプレート16に形成されたドライフィルムレジストか
らなる下側液室流路形成層40と上側液室流路形成層4
1の対応する面同士を接合する。この接合は位置合わせ
治具を用いて行い、加圧及び前記本硬化のときより高い
温度での加熱を行う。なお、実際には、以上の工程は、
複数個分のヘッド面積のプレートにて組付けを行うよう
にしている。
【0032】最後に、上述のようにして完成したアクチ
ュエータユニット1と液室ユニット2とを組み付ける。
これは、アクチュエータユニット1の圧電素子7,8及
びフレーム5の上面にスクリーン印刷機を用いてエポキ
シ接着剤を塗布した後、位置合せ可能な接合治具にアク
チュエータユニット1を固定し、液室ユニット2の振動
板15側(接合面)を下方にして位置合せしながら接合
する。このとき、数kgfの加圧状態にてエポキシ接着
剤が反応硬化する間放置する。その後、基板3の裏面に
インク供給パイプ19を挿入して接着剤を塗布硬化させ
る。
ュエータユニット1と液室ユニット2とを組み付ける。
これは、アクチュエータユニット1の圧電素子7,8及
びフレーム5の上面にスクリーン印刷機を用いてエポキ
シ接着剤を塗布した後、位置合せ可能な接合治具にアク
チュエータユニット1を固定し、液室ユニット2の振動
板15側(接合面)を下方にして位置合せしながら接合
する。このとき、数kgfの加圧状態にてエポキシ接着
剤が反応硬化する間放置する。その後、基板3の裏面に
インク供給パイプ19を挿入して接着剤を塗布硬化させ
る。
【0033】次に、導電性接着剤の塗布について図5以
降を参照して具体的に説明する。まず、図5及び図6に
示すように、基板3(ここでは、溝3bを有しないもの
で説明する。)には共通電極用及び個別電極用の各電極
パターン51,52が形成されると共に、各電極パター
ン51,52間にそれぞれ圧電素子プレート53が接合
される。そこで、圧電素子プレート53の両端面に形成
した端面電極54,55と各電極パターン51,52と
の電気的導通をとるために、図7及び図8に示すように
圧電素子プレート53の端面電極54,55全面と各電
極パターン51,52との間に導電性接着剤56を塗布
する。
降を参照して具体的に説明する。まず、図5及び図6に
示すように、基板3(ここでは、溝3bを有しないもの
で説明する。)には共通電極用及び個別電極用の各電極
パターン51,52が形成されると共に、各電極パター
ン51,52間にそれぞれ圧電素子プレート53が接合
される。そこで、圧電素子プレート53の両端面に形成
した端面電極54,55と各電極パターン51,52と
の電気的導通をとるために、図7及び図8に示すように
圧電素子プレート53の端面電極54,55全面と各電
極パターン51,52との間に導電性接着剤56を塗布
する。
【0034】このとき、導電性接着剤56の圧電素子プ
レート53の端面からのはみ出し量が多くなると、圧電
素子列4,4を囲むフレーム5を接合するときに、接合
不良を発生することになるので、はみ出し量には一定の
制約がある。この実施例におけるインクジェットヘッド
においては、図8に示すようにはみ出し量が0.4mm以
下であることが要求される。
レート53の端面からのはみ出し量が多くなると、圧電
素子列4,4を囲むフレーム5を接合するときに、接合
不良を発生することになるので、はみ出し量には一定の
制約がある。この実施例におけるインクジェットヘッド
においては、図8に示すようにはみ出し量が0.4mm以
下であることが要求される。
【0035】また、導電性接着剤56は圧電素子プレー
ト53の端面電極54,55の全面に塗布することが好
ましい。これは、前述したように圧電素子プレート53
にスリット溝を形成してスライス加工(スリット加工)
を行なうときに、加工時に導電性接着剤56が剥離を起
こして接続不良が発生する割合が高くなるので、剥離不
良を防ぐためにできる限り接着面積を大きくして接合強
度を上げる必要があるからである。
ト53の端面電極54,55の全面に塗布することが好
ましい。これは、前述したように圧電素子プレート53
にスリット溝を形成してスライス加工(スリット加工)
を行なうときに、加工時に導電性接着剤56が剥離を起
こして接続不良が発生する割合が高くなるので、剥離不
良を防ぐためにできる限り接着面積を大きくして接合強
度を上げる必要があるからである。
【0036】そこで、上述したようにはみ出し量0.4
mm以下で圧電素子プレート53の端面電極54,55に
導電性接着剤56を塗布しなければならないとの制約の
下で、ディスペンサーロボットを用いた接着剤塗布装置
で塗布する場合について説明する。
mm以下で圧電素子プレート53の端面電極54,55に
導電性接着剤56を塗布しなければならないとの制約の
下で、ディスペンサーロボットを用いた接着剤塗布装置
で塗布する場合について説明する。
【0037】まず、ディスペンサーロボットの概要につ
いて図9を参照して説明する。このロボット60は3軸
(X,Y,Z)直交ロボットであり、ベース61上にス
テージ62をY方向に移動可能に載置し、一方ベース6
1上に立設した支柱63,63間に横架した横バー64
にヘッド65をX方向に移動可能でZ方向に昇降可能に
取付け、このヘッド65に先端部に接着剤を吐出する吐
出ニードル(以下、単に「ニードル」という。)66を
装着したシリンジ67を取付けている。そして、シリン
ジ65にはエアーチューブ68を介して所要の吐出圧力
を与えるための圧力発生器を接続し、またロボット60
をコントロールするための図示しないコントローラを備
えている。
いて図9を参照して説明する。このロボット60は3軸
(X,Y,Z)直交ロボットであり、ベース61上にス
テージ62をY方向に移動可能に載置し、一方ベース6
1上に立設した支柱63,63間に横架した横バー64
にヘッド65をX方向に移動可能でZ方向に昇降可能に
取付け、このヘッド65に先端部に接着剤を吐出する吐
出ニードル(以下、単に「ニードル」という。)66を
装着したシリンジ67を取付けている。そして、シリン
ジ65にはエアーチューブ68を介して所要の吐出圧力
を与えるための圧力発生器を接続し、またロボット60
をコントロールするための図示しないコントローラを備
えている。
【0038】このようなロボット60においては、ステ
ージ61上に被着体をセットし、シリンジ67内に導電
性接着剤を充填して、コントローラでヘッド65をX,
Z方向に、ステージ61をY方向に移動制御しながら、
ニードル66から導電性接着剤を吐出して所要の場所に
塗布する。
ージ61上に被着体をセットし、シリンジ67内に導電
性接着剤を充填して、コントローラでヘッド65をX,
Z方向に、ステージ61をY方向に移動制御しながら、
ニードル66から導電性接着剤を吐出して所要の場所に
塗布する。
【0039】このようなディスペンサーロボットを用い
た接着剤塗布装置において、導電性接着剤を吐出するニ
ードル66は、図10に示すように吐出孔66aをテー
パー形状に形成している。また、このニードル66の吐
出孔66a内壁面には、撥水性処理を施している。
た接着剤塗布装置において、導電性接着剤を吐出するニ
ードル66は、図10に示すように吐出孔66aをテー
パー形状に形成している。また、このニードル66の吐
出孔66a内壁面には、撥水性処理を施している。
【0040】そこで、このようなディスペンサーロボッ
トを使用して、上述した圧電素子プレート53の端面電
極54,55全面と各電極パターン51,52との間に
導電性接着剤56をはみ出し量0.4mm以下で塗布する
ための条件出しの実験を行なった。この条件出しの塗布
条件項目、塗布条件を表1に示している。なお、変動パ
ラメータを図11に具体的に示している。
トを使用して、上述した圧電素子プレート53の端面電
極54,55全面と各電極パターン51,52との間に
導電性接着剤56をはみ出し量0.4mm以下で塗布する
ための条件出しの実験を行なった。この条件出しの塗布
条件項目、塗布条件を表1に示している。なお、変動パ
ラメータを図11に具体的に示している。
【0041】
【表1】
【0042】この表1に示す塗布条件下で導電性接着剤
の塗布を行うことによって十分な塗布品質が得られる
が、更に、最適な塗布条件について実験を行った結果、
最適な塗布条件として、表2に示す条件が得られた。
の塗布を行うことによって十分な塗布品質が得られる
が、更に、最適な塗布条件について実験を行った結果、
最適な塗布条件として、表2に示す条件が得られた。
【0043】
【表2】
【0044】ここで、塗布条件項目として重要なニード
ル66の形状について説明する。代表的なニードルとし
ては図12(a)に示すようなものがある。このニード
ル71はシリンジに装着するシリンジ装着部72を有
し、内部にストレート形状の吐出孔71aを形成したも
のである。このようなニードル71を用いて導電性接着
剤を塗布した場合、一定の条件下では所要の塗布品質を
得ることができるが、連続吐出を行ったときに吐出安定
性が低下する。
ル66の形状について説明する。代表的なニードルとし
ては図12(a)に示すようなものがある。このニード
ル71はシリンジに装着するシリンジ装着部72を有
し、内部にストレート形状の吐出孔71aを形成したも
のである。このようなニードル71を用いて導電性接着
剤を塗布した場合、一定の条件下では所要の塗布品質を
得ることができるが、連続吐出を行ったときに吐出安定
性が低下する。
【0045】すなわち、ニードルからの導電性接着剤の
吐出量を初期設定し、この設定した吐出量で10回程度
連続的に吐出すると、吐出量が減少して、最終的には吐
出不能状態になり、塗布品質から見ると、電極間の接続
不良が発生することなる。この原因について解析したと
ころ、同図(a)のE部の拡大断面図である同図(b)
に示すように、ストレート形状の吐出孔71a内壁面を
接着剤が通過することで接着剤自身のコレステロール7
4が発生して吐出孔71aの内壁面に付着し、このコレ
ステロール74が吐出回数を重ねる毎に蓄積されて、管
内抵抗を急激に増大させることによるものであることを
確認した。
吐出量を初期設定し、この設定した吐出量で10回程度
連続的に吐出すると、吐出量が減少して、最終的には吐
出不能状態になり、塗布品質から見ると、電極間の接続
不良が発生することなる。この原因について解析したと
ころ、同図(a)のE部の拡大断面図である同図(b)
に示すように、ストレート形状の吐出孔71a内壁面を
接着剤が通過することで接着剤自身のコレステロール7
4が発生して吐出孔71aの内壁面に付着し、このコレ
ステロール74が吐出回数を重ねる毎に蓄積されて、管
内抵抗を急激に増大させることによるものであることを
確認した。
【0046】これに対して、本実施例のようにニードル
66の吐出孔66aをテーパー形状に形成して連続吐出
行ったところ、ストレート部分がないためにコレステロ
ールによる管内抵抗の急激な増大が発生せず、400回
以上の長期にわたる連続吐出を行っても吐出可能であっ
た。
66の吐出孔66aをテーパー形状に形成して連続吐出
行ったところ、ストレート部分がないためにコレステロ
ールによる管内抵抗の急激な増大が発生せず、400回
以上の長期にわたる連続吐出を行っても吐出可能であっ
た。
【0047】このように、ディスペンサーロボットで導
電性接着剤を塗布する場合に、使用する吐出ニードルの
吐出孔をテーパー形状に形成することにより、長期間の
連続吐出が可能になって吐出安定性が向上し、その結
果、インクジェットヘッドへの導電性接着剤の塗布品質
が向上して、電極の接続不良が減少する。
電性接着剤を塗布する場合に、使用する吐出ニードルの
吐出孔をテーパー形状に形成することにより、長期間の
連続吐出が可能になって吐出安定性が向上し、その結
果、インクジェットヘッドへの導電性接着剤の塗布品質
が向上して、電極の接続不良が減少する。
【0048】次に、ニードル66の吐出孔66a内壁面
の撥水性処理について説明する。一般的な撥水性処理と
しては、転写、ディッピング、ロールコート、刷毛塗
り、スプレー、電着樹脂法、共析メッキ法などが知られ
ている。また、塗布する撥水材料としてはフッ素系樹
脂、例えばPTFE(ポリテトラフルオロエチレン)、
PFA(ポリパーフルオロアルコキシブタジエン)など
を使用することができる。本実施例では、共析メッキ法
によりテフロンコートを行った。
の撥水性処理について説明する。一般的な撥水性処理と
しては、転写、ディッピング、ロールコート、刷毛塗
り、スプレー、電着樹脂法、共析メッキ法などが知られ
ている。また、塗布する撥水材料としてはフッ素系樹
脂、例えばPTFE(ポリテトラフルオロエチレン)、
PFA(ポリパーフルオロアルコキシブタジエン)など
を使用することができる。本実施例では、共析メッキ法
によりテフロンコートを行った。
【0049】このようにニードルの吐出孔内壁面に撥水
性処理を施すことによって、吐出孔内壁面への接着剤コ
レステロールが付着することを抑えることができ、一層
長期的な吐出安定性を確保することができる。それと共
に、撥水性処理を行っていないニードルを洗浄する場
合、洗浄液に溶剤(トリクレン)を使用して超音波洗浄
を行うが、洗浄に非常に時間がかかり、作業性が悪く、
洗浄品質も十分でない。これに対して、撥水性処理を施
すことによって、洗浄性、洗浄品質が向上したことを確
認した。
性処理を施すことによって、吐出孔内壁面への接着剤コ
レステロールが付着することを抑えることができ、一層
長期的な吐出安定性を確保することができる。それと共
に、撥水性処理を行っていないニードルを洗浄する場
合、洗浄液に溶剤(トリクレン)を使用して超音波洗浄
を行うが、洗浄に非常に時間がかかり、作業性が悪く、
洗浄品質も十分でない。これに対して、撥水性処理を施
すことによって、洗浄性、洗浄品質が向上したことを確
認した。
【0050】次に、導電性接着剤について説明する。先
ず、使用する導電性接着剤の粘度は、塗布品質に非常に
影響を与えるが、上述した塗布条件の選定に当って、接
着剤粘度として0.5〜30*103cPを選定した。
また、一液性熱硬化型導電性接着剤の粘度調整を行う場
合、その接着剤の固有粘度(100*103cP)以下
に下げるには、例えばAg等の導電性フィラーの添加量
の調整、或いはキシレン等の有機溶剤によって接着剤を
希釈する。
ず、使用する導電性接着剤の粘度は、塗布品質に非常に
影響を与えるが、上述した塗布条件の選定に当って、接
着剤粘度として0.5〜30*103cPを選定した。
また、一液性熱硬化型導電性接着剤の粘度調整を行う場
合、その接着剤の固有粘度(100*103cP)以下
に下げるには、例えばAg等の導電性フィラーの添加量
の調整、或いはキシレン等の有機溶剤によって接着剤を
希釈する。
【0051】このとき、有機溶剤で希釈した導電性接着
剤は、取扱い時に大気に開放していると溶剤成分が気化
して結果的に接着剤粘度が変化し、この粘度変化によっ
てディスペンサーの吐出性能(吐出量)が不安定になっ
て、電極の接続不良が発生する。そこで、無溶剤型で低
粘度(0.5〜30*103cP)の一液性熱硬化型導
電性接着剤を使用して塗布作業を行ったところ、長時間
安定した粘度を維持することができ、安定した塗布品質
を確保することができた。このような導電性接着剤とし
て、(株)エイブルスティック製の975−1T(商品
名)を使用した。
剤は、取扱い時に大気に開放していると溶剤成分が気化
して結果的に接着剤粘度が変化し、この粘度変化によっ
てディスペンサーの吐出性能(吐出量)が不安定になっ
て、電極の接続不良が発生する。そこで、無溶剤型で低
粘度(0.5〜30*103cP)の一液性熱硬化型導
電性接着剤を使用して塗布作業を行ったところ、長時間
安定した粘度を維持することができ、安定した塗布品質
を確保することができた。このような導電性接着剤とし
て、(株)エイブルスティック製の975−1T(商品
名)を使用した。
【0052】
【発明の効果】以上説明したように、請求項1の接着剤
塗布装置によれば、インクジェットヘッドのアクチュエ
ータと電極との間にディスペンサーロボットによって導
電性接着剤を塗布する接着剤塗布装置において、使用す
る吐出ニードルの吐出孔をテーパー形状に形成したの
で、長期間の連続吐出安定性を確保することができて、
塗布品質が向上する。
塗布装置によれば、インクジェットヘッドのアクチュエ
ータと電極との間にディスペンサーロボットによって導
電性接着剤を塗布する接着剤塗布装置において、使用す
る吐出ニードルの吐出孔をテーパー形状に形成したの
で、長期間の連続吐出安定性を確保することができて、
塗布品質が向上する。
【0053】請求項2の接着剤塗布装置によれば、上記
請求項1の接着剤塗布装置において、吐出ニードルの吐
出孔の開口がφ0.1mm〜φ0.5mmの範囲内にし
たので、はみ出し量を所要範囲に抑えることができ、塗
布品質を確保することができる。
請求項1の接着剤塗布装置において、吐出ニードルの吐
出孔の開口がφ0.1mm〜φ0.5mmの範囲内にし
たので、はみ出し量を所要範囲に抑えることができ、塗
布品質を確保することができる。
【0054】請求項3の接着剤塗布装置によれば、イン
クジェットヘッドのアクチュエータと電極との間にディ
スペンサーロボットによって導電性接着剤を塗布すると
き接着剤塗布装置において、シリンジの取付け角度を1
0゜〜40゜の範囲内にしたので、はみ出し量を所要範
囲に抑えることができ、塗布品質を確保することができ
る。
クジェットヘッドのアクチュエータと電極との間にディ
スペンサーロボットによって導電性接着剤を塗布すると
き接着剤塗布装置において、シリンジの取付け角度を1
0゜〜40゜の範囲内にしたので、はみ出し量を所要範
囲に抑えることができ、塗布品質を確保することができ
る。
【0055】請求項4の接着剤塗布装置によれば、上記
請求項1の接着剤塗布装置において、吐出ニードルの吐
出孔内壁面に撥水性処理を施したので、長期間の連続吐
出安定性を確保することができて、塗布品質が向上する
と共に、洗浄性も向上する。
請求項1の接着剤塗布装置において、吐出ニードルの吐
出孔内壁面に撥水性処理を施したので、長期間の連続吐
出安定性を確保することができて、塗布品質が向上する
と共に、洗浄性も向上する。
【0056】請求項5の接着剤塗布装置によれば、上記
請求項4の接着剤塗布装置において、撥水性処理がテフ
ロンコーティングである構成としたので、塗布品質が向
上すると共に、洗浄性も向上する。
請求項4の接着剤塗布装置において、撥水性処理がテフ
ロンコーティングである構成としたので、塗布品質が向
上すると共に、洗浄性も向上する。
【0057】請求項6の接着剤塗布装置によれば、イン
クジェットヘッドのアクチュエータと電極との間にディ
スペンサーロボットによって導電性接着剤を塗布する接
着剤塗布装置において、導電性接着剤が無溶剤型である
ので、塗布品質安定性を向上することができる。
クジェットヘッドのアクチュエータと電極との間にディ
スペンサーロボットによって導電性接着剤を塗布する接
着剤塗布装置において、導電性接着剤が無溶剤型である
ので、塗布品質安定性を向上することができる。
【図1】本発明を適用した接着剤塗布装置で接着剤を塗
布するインクジェットヘッドの一例を示す外観斜視図
布するインクジェットヘッドの一例を示す外観斜視図
【図2】図1の分解斜視図
【図3】図1のA−A線に沿う断面図
【図4】図1のB−B線に沿う断面図
【図5】導電性接着剤の塗布対象の説明に供する平面説
明図
明図
【図6】図5のC−C線に沿う模式的断面説明図
【図7】導電性接着剤の塗布条件の説明に供する平面説
明図
明図
【図8】図7のD−D線に沿う模式的断面説明図
【図9】ディスペンサーロボットの概要説明に供する斜
視図
視図
【図10】図9のニードルに拡大図
【図11】塗布条件選択のためのパラメータの説明に供
する説明図
する説明図
【図12】(a)は一般的なニードルの説明に供する説
明図、(b)はその要部拡大図
明図、(b)はその要部拡大図
1…アクチュエータユニット、2…液室ユニット、3…
基板、4…圧電素子列、5…フレーム、6…接着剤、7
…駆動部圧電素子、8…固定部圧電素子、11…ダイア
フラム部、12…振動板、13…液室流路形成部材、1
5…ノズル、16…ノズルプレート、17…加圧液室、
22,23…端面電極、24,26…導電性接着剤、2
5…共通電極、27…個別電極、51…共通電極用電極
パターン、52…個別電極用電極パターン、53…圧電
素子プレート、54,55…端面電極、56…導電性接
着剤、66…ニードル、66a…吐出孔、67…シリン
ジ。
基板、4…圧電素子列、5…フレーム、6…接着剤、7
…駆動部圧電素子、8…固定部圧電素子、11…ダイア
フラム部、12…振動板、13…液室流路形成部材、1
5…ノズル、16…ノズルプレート、17…加圧液室、
22,23…端面電極、24,26…導電性接着剤、2
5…共通電極、27…個別電極、51…共通電極用電極
パターン、52…個別電極用電極パターン、53…圧電
素子プレート、54,55…端面電極、56…導電性接
着剤、66…ニードル、66a…吐出孔、67…シリン
ジ。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 岩瀬 政之 東京都大田区中馬込1丁目3番6号 株式 会社リコー内 (72)発明者 長場 誠治 東京都大田区中馬込1丁目3番6号 株式 会社リコー内 (72)発明者 中根 信保 東京都大田区中馬込1丁目3番6号 株式 会社リコー内 (72)発明者 牧田 秀行 東京都大田区中馬込1丁目3番6号 株式 会社リコー内
Claims (6)
- 【請求項1】 インクジェットヘッドのアクチュエータ
と電極との間にディスペンサーロボットによって導電性
接着剤を塗布する接着剤塗布装置において、前記ディス
ペンサーロボットが使用する吐出ニードルの吐出孔をテ
ーパー形状に形成したことを特徴とするインクジェット
ヘッドの接着剤塗布装置。 - 【請求項2】 請求項1に記載のインクジェットヘッド
の接着剤塗布装置において、前記吐出ニードルの吐出孔
の開口がφ0.1mm〜φ0.5mmの範囲内であるこ
とを特徴とするインクジェットヘッドの接着剤塗布装
置。 - 【請求項3】 インクジェットヘッドのアクチュエータ
と電極との間にディスペンサーロボットによって導電性
接着剤を塗布する接着剤塗布装置において、前記吐出ニ
ードルを装着するシリンジの取付け角度が10゜〜40
゜であることを特徴とするインクジェットヘッドの接着
剤塗布装置。 - 【請求項4】 請求項1に記載のインクジェットヘッド
の接着剤塗布装置において、前記吐出ニードルの吐出孔
内壁面に撥水性処理を施したことを特徴とするインクジ
ェットヘッドの接着剤塗布装置。 - 【請求項5】 請求項4に記載のインクジェットヘッド
の接着剤塗布装置において、前記撥水性処理がテフロン
コーティングであることを特徴とするインクジェットヘ
ッドの接着剤塗布装置。 - 【請求項6】 インクジェットヘッドのアクチュエータ
と電極との間にディスペンサーロボットによって導電性
接着剤を塗布する接着剤塗布装置において、前記導電性
接着剤が無溶剤型であることを特徴とするインクジェッ
トヘッドの接着剤塗布装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4702496A JPH09239976A (ja) | 1996-03-05 | 1996-03-05 | インクジェットヘッドの接着剤塗布装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4702496A JPH09239976A (ja) | 1996-03-05 | 1996-03-05 | インクジェットヘッドの接着剤塗布装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09239976A true JPH09239976A (ja) | 1997-09-16 |
Family
ID=12763618
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4702496A Pending JPH09239976A (ja) | 1996-03-05 | 1996-03-05 | インクジェットヘッドの接着剤塗布装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09239976A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003209138A (ja) * | 2002-01-11 | 2003-07-25 | Sony Chem Corp | 半導体装置の製造方法及びエアー圧送式ディスペンサー |
| JP2008175874A (ja) * | 2007-01-16 | 2008-07-31 | Shin Etsu Chem Co Ltd | ペリクルフレーム内面への粘着剤の塗布方法 |
| JP2022131422A (ja) * | 2021-02-26 | 2022-09-07 | キヤノン株式会社 | 液体吐出ヘッド |
-
1996
- 1996-03-05 JP JP4702496A patent/JPH09239976A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003209138A (ja) * | 2002-01-11 | 2003-07-25 | Sony Chem Corp | 半導体装置の製造方法及びエアー圧送式ディスペンサー |
| JP2008175874A (ja) * | 2007-01-16 | 2008-07-31 | Shin Etsu Chem Co Ltd | ペリクルフレーム内面への粘着剤の塗布方法 |
| KR101339746B1 (ko) * | 2007-01-16 | 2013-12-11 | 신에쓰 가가꾸 고교 가부시끼가이샤 | 페리클 프레임 내면으로의 점착제의 도포 방법 |
| JP2022131422A (ja) * | 2021-02-26 | 2022-09-07 | キヤノン株式会社 | 液体吐出ヘッド |
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