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JPH09226935A - Component suction method, suction head, and component transfer device - Google Patents

Component suction method, suction head, and component transfer device

Info

Publication number
JPH09226935A
JPH09226935A JP3615496A JP3615496A JPH09226935A JP H09226935 A JPH09226935 A JP H09226935A JP 3615496 A JP3615496 A JP 3615496A JP 3615496 A JP3615496 A JP 3615496A JP H09226935 A JPH09226935 A JP H09226935A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
suction
nozzle
component
head
flow path
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP3615496A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Toru Sasaki
徹 佐々木
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sony Corp
Original Assignee
Sony Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sony Corp filed Critical Sony Corp
Priority to JP3615496A priority Critical patent/JPH09226935A/en
Publication of JPH09226935A publication Critical patent/JPH09226935A/en
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】 【課題】 本発明は、例えば、ダイオード等の部品を製
品検査するために、部品を吸着して検査装置の所定の位
置に搬送して載置等するための部品吸着方法に関し、複
数個の吸着ヘッドを装備して部品を吸着させた場合に、
部品の有無によって吸引作用の付与を切り替えることに
ある。 【解決手段】 吸着ヘッド1を介し吸引手段7aによっ
て部品4を吸着する方法であって、前記吸着ヘッド1に
部品吸引用の吸引流路3cを備えたノズル3を摺動自在
に装備し、前記吸引流路3cは、前記部品4が存在する
ことで該部品4の一部に当接して摺動するノズル3の移
動よって前記吸引手段7aと連通状態となり、前記ノズ
ル3に吸引作用が付与されて前記部品4を吸着するよう
にしたことである。
(57) Abstract: The present invention relates to a component suction method for sucking a component and transporting it to a predetermined position of an inspection device and placing it, for example, for product inspection of a component such as a diode. With regard to the above, when a plurality of suction heads are equipped to pick up parts,
The purpose is to switch the application of the suction action depending on the presence or absence of parts. A method of sucking a component 4 by a suction means 7a via a suction head 1, wherein the suction head 1 is slidably equipped with a nozzle 3 having a suction flow path 3c for sucking the component. The suction flow path 3c is in communication with the suction means 7a due to the movement of the nozzle 3 that abuts and slides on a part of the component 4 due to the presence of the component 4, and the suction action is given to the nozzle 3. That is, the component 4 is sucked.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば、ダイオー
ド等の部品を製品検査するために、部品を吸着して検査
装置の所定の位置に搬送して載置又は移載するための部
品吸着方法と、その方法に使用する吸着ヘッドおよび部
品移載装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a component adsorption method for adsorbing a component and transporting it to a predetermined position of an inspection device for placement or transfer in order to inspect a product such as a diode. And a suction head and a component transfer device used in the method.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、部品吸着方法は、部品供給位置
と、例えば、製品検査装置の部品検査位置との間を往復
するアームの先端部に吸着ヘッドが備えられ、該吸着ヘ
ッドに摺動自在に内包されたノズルを下降させて部品に
当接させ、該ノズルの先端に開口している吸引流路と該
吸引流路に連通している吸引手段によって前記部品をノ
ズルに吸着している。
2. Description of the Related Art Conventionally, in a component suction method, a suction head is provided at the tip of an arm that reciprocates between a component supply position and, for example, a component inspection position of a product inspection device, and the suction head is slidable. The nozzle contained in the nozzle is lowered to come into contact with the component, and the component is adsorbed to the nozzle by the suction flow passage opening at the tip of the nozzle and the suction means communicating with the suction flow passage.

【0003】そして、前記ノズルを上昇させて前記アー
ムを所要回転させ、部品検査位置に吸着ヘッドを位置さ
せて、前記ノズルを下降させ前記吸引手段による吸引作
用を解除し部品を所定の位置に載置して、再びノズルを
上昇させ前記アームを回転させて吸着ヘッドを部品供給
位置に戻すものである。
Then, the nozzle is raised to rotate the arm as required, the suction head is positioned at a component inspection position, the nozzle is lowered to release the suction action of the suction means, and the component is mounted at a predetermined position. After that, the nozzle is raised again and the arm is rotated to return the suction head to the component supply position.

【0004】また、部品を一度に複数個を吸着すること
で、部品移載作業の効率を向上させる方法として、前記
吸着ヘッドを細長い水平アームに複数個装備させ、その
複数の吸着ヘッドと吸引配管を介して、例えば、一つの
真空装置等の吸引手段とを接続させてなる部品移載装置
を使用して、複数個の部品を吸着する方法が知られてい
る。
Further, as a method for improving the efficiency of component transfer work by sucking a plurality of components at a time, a plurality of the suction heads are mounted on an elongated horizontal arm, and the plurality of suction heads and suction pipes are provided. There is known a method of sucking a plurality of components by using a component transfer device which is connected to a suction means such as one vacuum device via the above.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
吸引装置で複数個の吸着ヘッドを一度に吸引作用させた
時に、複数個の吸着ヘッドのうち、一つの吸着ヘッドに
おいて部品が存在しないと、その部品の無い箇所の吸着
ヘッドにも吸引配管を介して吸引作用するので、外気が
ノズルから侵入してリークしてしまうことになる。ま
た、吸引作用の切替を、部品の有無を検出するセンサー
と切替電磁弁とで構成すると製造コストが嵩み装置全体
が複雑になると言う問題がある。
However, when a plurality of suction heads are sucked by the suction device at a time, if one of the suction heads does not have a component, the Since the suction head also acts on the suction head where there are no parts through the suction pipe, the outside air enters from the nozzle and leaks. In addition, if the switching of the suction action is configured by a sensor that detects the presence or absence of a component and a switching solenoid valve, there is a problem that the manufacturing cost increases and the entire device becomes complicated.

【0006】このように、従来の部品吸着方法と吸着ヘ
ッド及び部品移載装置には、複数個の吸着ヘッドを装備
して部品を吸着させた場合に、部品の有無によってリー
クして吸引作用が減退することがあると言う課題を有し
ていた。
As described above, when the conventional component suction method, suction head, and component transfer device are equipped with a plurality of suction heads to suction the components, leakage occurs depending on the presence / absence of the components and the suction action may occur. There was a problem that it might decline.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】本発明に係る部品吸着方
法の上記課題を解決するための要旨は、吸着ヘッドを介
し吸引手段によって部品を吸着する方法であって、前記
吸着ヘッドに部品吸引用の吸引流路を備えたノズルを摺
動自在に装備し、前記吸引流路は、前記部品が存在する
ことで該部品の一部に当接して摺動するノズルの移動よ
って前記吸引手段と連通状態となり、前記ノズルに吸引
作用が付与されて前記部品を吸着することである。
SUMMARY OF THE INVENTION The gist of the present invention to solve the above-mentioned problems is a method of sucking a component by suction means via a suction head. Nozzle having a suction passage is slidably provided, and the suction passage communicates with the suction means by the movement of the nozzle that slides by abutting against a part of the component due to the presence of the component. This is a state in which the suction action is applied to the nozzle to suck the component.

【0008】また、本発明に係る吸着ヘッドの上記課題
を解決するための要旨は、筒状のヘッド本体と、該ヘッ
ド本体に摺動自在に内挿して保持されるノズルと、該ノ
ズルに吸引流路を介して吸引作用させる吸引手段と、か
らなり、前記ノズルの先端で部品を吸着する吸着ヘッド
であって、前記部品が存在することで該部品の一部に当
接して摺動するノズルの移動よって前記吸引手段とノズ
ルの吸引流路とが連通状態になるように設けられている
ことである。
Further, the gist of the suction head according to the present invention for solving the above-mentioned problems is to provide a cylindrical head body, a nozzle slidably inserted in the head body and held therein, and a suction nozzle. A suction head configured to suck a component at a tip of the nozzle, the suction head configured to suction through a flow path, and a nozzle that slides in contact with a part of the component when the component is present. Is provided so that the suction means and the suction flow path of the nozzle are brought into communication with each other by the movement of.

【0009】本発明に係る部品移載装置の要旨は、筒状
のヘッド本体と、該ヘッド本体に摺動自在に内挿して保
持されるノズルと、該ノズルに吸引流路を介して吸引作
用させる吸引手段とを有し、前記部品が存在することで
該部品の一部に当接して摺動するノズルの移動によって
前記吸引手段とノズルの吸引流路とが連通状態になり前
記ノズルの先端で部品を吸着する吸着ヘッドが、部品吸
着箇所と部品供給箇所との間を往復移動するアームに複
数個設けられ、各ノズルの吸引流路がまとめられて一つ
の吸引手段に接続されていることである。
The gist of the component transfer apparatus according to the present invention is that a cylindrical head body, a nozzle slidably inserted in the head body and held therein, and a suction action on the nozzle via a suction passage. And a suction means for allowing the suction part to come into contact with a part of the part and slide due to the presence of the part so that the suction part and the suction flow path of the nozzle are in communication with each other. A plurality of suction heads for sucking the components are provided on the arm that reciprocates between the component suction location and the component supply location, and the suction flow paths of each nozzle are collected and connected to one suction means. Is.

【0010】本発明に係る部品吸着方法によれば、吸着
対象の部品の有無によって吸着ヘッドにおけるノズルの
吸引流路は、部品が存在するとノズルの移動により吸引
手段と連通状態になり、部品が不存在であるとノズルの
移動が生ぜず吸引手段と不通状態となる。よって、吸着
ヘッドにおいて吸着対象の部品が無いときには、部品を
吸着しようとして部品供給位置で降下させても、当該吸
着ヘッドのノズルには吸引作用が付与されず、該ノズル
から外気を吸い込んで吸引力が低下すると言う不都合が
防止される。
According to the component suction method of the present invention, depending on the presence or absence of the component to be sucked, the suction flow path of the nozzle in the suction head is in communication with the suction means due to the movement of the nozzle when the component is present, and the component is not connected. If it is present, the nozzle does not move and the suction means is in a non-communication state. Therefore, when there is no component to be sucked in the suction head, even if the component is lowered at the component supply position in an attempt to suck the component, the suction action is not given to the nozzle of the suction head, and the outside air is sucked from the nozzle to suck the suction force. It is possible to prevent the inconvenience that the value decreases.

【0011】このように、部品の有無を簡易な構造で自
動的に吸着ヘッドの吸引作用を付与するか否かが切り替
えられて、吸引手段におけるエネルギーロスを防止する
ことが出来る。また、本発明に係る吸着ヘッドによれ
ば、部品の有無によってノズルが移動するか否かで、ノ
ズルに吸引作用を付与する・しないの切り替えるができ
る。更に、本発明に係る部品移載装置によれば、複数個
の吸着ヘッドのうち、部品の無い箇所の吸着ヘッドは、
部品吸着動作において吸引作用が付与されず、他の部品
の存在する箇所の吸着ヘッドは、吸引力が減退されるこ
となく吸引作用することになる。
As described above, it is possible to prevent the energy loss in the suction means by automatically switching the presence or absence of the component with a simple structure to automatically apply the suction action of the suction head. Further, according to the suction head of the present invention, it is possible to switch whether or not the suction action is applied to the nozzle depending on whether or not the nozzle moves depending on the presence or absence of the component. Further, according to the component transfer device of the present invention, the suction heads at the parts-free locations among the plurality of suction heads are
The suction action is not applied in the component suction operation, and the suction heads at the locations where other components are present perform the suction action without reducing the suction force.

【0012】[0012]

【発明の実施の形態】次に、本発明に係る実施形態につ
いて図面を参照して詳細に説明する。本発明に係る吸着
ヘッド1の概略構成は、図1に示すように、円筒状のヘ
ッド本体2と、該ヘッド本体2の内部空間に摺動自在に
装備されたノズル3と、ダイオード等の部品4をソケッ
ト5から取り出すため前記ノズル3の軸芯と直交する方
向に開閉自在な取出し爪6,6と、前記ノズル3に吸引
作用を付与するための吸引手段たる吸引装置7とからな
る。
Next, an embodiment according to the present invention will be described in detail with reference to the drawings. As shown in FIG. 1, the suction head 1 according to the present invention has a cylindrical head body 2, a nozzle 3 slidably mounted in an internal space of the head body 2, and parts such as a diode. In order to take out 4 from the socket 5, it comprises take-out pawls 6 and 6 which can be opened and closed in a direction orthogonal to the axis of the nozzle 3, and a suction device 7 as a suction means for giving a suction action to the nozzle 3.

【0013】前記ヘッド本体2は、例えば、水平な板状
のアーム8に垂設され、該アーム8の部品4に対する昇
降動作によって当該ヘッド本体2が所定量で昇降するも
のである。
The head main body 2 is, for example, vertically installed on a horizontal plate-shaped arm 8, and the head main body 2 is moved up and down by a predetermined amount by the vertical movement of the arm 8 with respect to the component 4.

【0014】また、前記ヘッド本体2とノズル3とにお
いては、ノズル3の後端側にヘッド本体2の内周壁面
と、ノズル後端面3aと、アーム8の内表面8aとで形
成される空間部9が設けられる。
In the head body 2 and the nozzle 3, a space formed by the inner peripheral wall surface of the head body 2, the nozzle rear end surface 3a, and the inner surface 8a of the arm 8 on the rear end side of the nozzle 3. A section 9 is provided.

【0015】前記空間部9は、ノズル3が、後述する、
部品4が存在することによるヘッド本体2に対する相対
的な移動と、同様に後述する、ノズル3が部品4を吸着
した後に前記取出し爪6から離隔するための移動とが可
能となるように、十分な移動空間を有している。
In the space portion 9, the nozzle 3 will be described later.
Sufficient to allow the relative movement with respect to the head main body 2 due to the presence of the component 4 and the movement for separating from the take-out pawl 6 after the nozzle 3 sucks the component 4 as described later. It has a wide movement space.

【0016】そして、前記空間部9に、ノズル3をヘッ
ド本体2から突出させるように常時付勢する付勢手段と
してのコイルスプリング10が内装され、更に、前記ア
ーム8の内表面8aにノズル3の移動を規制するストッ
パー11が突設され、該ストッパー11の先端面にゴ
ム,スポンジ等の弾性緩衝体12が貼着されている。
A coil spring 10 as a biasing means for constantly biasing the nozzle 3 so as to project from the head body 2 is installed in the space 9 and the nozzle 3 is provided on the inner surface 8a of the arm 8. A stopper 11 for restricting the movement of the stopper 11 is projected, and an elastic buffer 12 such as rubber or sponge is attached to the tip end surface of the stopper 11.

【0017】また、ヘッド本体2の内周壁面には、摺動
自在なノズル3が抜け出さないように、凸状リング13
が設けられ、該凸状リング13に係止するようにノズル
3の後端部にフランジ3bが設けられている。
A convex ring 13 is provided on the inner peripheral wall surface of the head body 2 so that the slidable nozzle 3 does not come out.
Is provided, and a flange 3b is provided at the rear end of the nozzle 3 so as to engage with the convex ring 13.

【0018】なお、ヘッド本体2の内周壁面とノズル3
の外周壁面とは、摺接自在であるとともに外気の侵入を
防止するため気密性が保持されている。
The inner peripheral wall surface of the head body 2 and the nozzle 3
The outer peripheral wall surface is slidable and has airtightness to prevent outside air from entering.

【0019】前記ヘッド本体2の側壁に、前記吸引装置
7の吸引配管7aに接続された吸引流路2aが内外に貫
通して設けられ、その内壁面側ではリング状の凹部にし
て形成されている。
A suction flow path 2a connected to a suction pipe 7a of the suction device 7 is provided on the side wall of the head body 2 so as to penetrate inward and outward, and is formed as a ring-shaped recess on the inner wall surface side. There is.

【0020】また、ノズル3に、その一端がノズル先端
に開口され、他端が、ノズル3のヘッド本体2との相対
的な移動によって、前記吸引装置7及びヘッド本体2の
吸引流路2aと連通する位置に開口されている吸引流路
3cが設けられている。
Further, one end of the nozzle 3 is opened at the tip of the nozzle, and the other end of the nozzle 3 is connected to the suction device 7 and the suction channel 2a of the head body 2 by the relative movement of the nozzle 3 with the head body 2. The suction flow path 3c is provided at the communicating position.

【0021】更に、前記ノズル3の吸引流路3cは、ノ
ズル後端側に延設されて空間部9に連通している。これ
により、空間部9内を真空にしてヘッド本体2に対して
ノズル3を移動させる(図1では上方)ことが可能とな
るものである。
Further, the suction passage 3c of the nozzle 3 is extended to the rear end side of the nozzle and communicates with the space 9. This makes it possible to move the nozzle 3 to the head body 2 (upward in FIG. 1) by making the space 9 vacuum.

【0022】なお、空間部9を真空にしてノズル3を移
動させた際に、ノズル後端部のフランジ3bとヘッド本
体2の凸状リング13との両当接面の間が真空空間とな
って余分な負荷が生じないように、前記凸状リング13
に外気導入孔13aが設けられている。
When the nozzle 9 is moved while the space 9 is evacuated, a vacuum space is formed between the abutting surfaces of the flange 3b at the rear end of the nozzle and the convex ring 13 of the head body 2. The convex ring 13 so that an excessive load is not generated.
The outside air introduction hole 13a is provided in the.

【0023】ノズル3の先端部には、吸着対象である部
品4の形状種類に応じて、適宜にアタッチメントとして
交換可能なチャック3dが装着されている。
The tip of the nozzle 3 is equipped with a chuck 3d which can be replaced as an attachment as appropriate according to the shape and type of the component 4 to be sucked.

【0024】次に、取出し爪6は、図2に示すように、
全体が細長い板状体であり、ノズル3の先端部に臨む位
置で、例えば、水平方向に対向配置に配設されている。
そして、アーム8の両端部で略90゜回転可能に支持さ
れ、エアー,真空引き,油圧等の駆動源を制御装置によ
る電磁弁制御等で作動させ、開閉自在に構成されてい
る。
Next, the take-out claw 6 is, as shown in FIG.
The whole is an elongated plate-like body, and is arranged at a position facing the tip of the nozzle 3, for example, in a horizontally opposed arrangement.
It is rotatably supported at both ends of the arm 8 by approximately 90 °, and is configured to be openable / closable by operating a drive source such as air, vacuum, hydraulic pressure, etc. by controlling a solenoid valve by a control device.

【0025】その使用の際には、部品4の下側に爪先端
部が入り込んで閉状態となり、ヘッド本体2の上昇とと
もに上昇してソケット5から部品4を取り出し、ノズル
3の先端部との間で該部品4を保持するものである。そ
の後、アーム8が回転移動され、例えば、所定の部品検
査位置等の移載位置に到達して、部品4を載置する態勢
になったら開状態となるものである。
In use thereof, the tip of the claw enters the lower side of the component 4 to be in a closed state, and as the head body 2 rises, the component 4 is taken out from the socket 5 and is separated from the tip of the nozzle 3. The component 4 is held between them. After that, the arm 8 is rotationally moved, and when it reaches a transfer position such as a predetermined component inspection position and is ready to mount the component 4, the arm 8 is opened.

【0026】以上のようにして形成される吸着ヘッド1
を、図2乃至図3に示すように、例えば、ホルダー8c
で水平方向と鉛直方向とに回転自在にされているアーム
8bの先端部に取り付けられた板状のアーム8に、例え
ば、10個の吸着ヘッド1を並べて固設する。
The suction head 1 formed as described above
As shown in FIGS. 2 to 3, for example, the holder 8c
In the plate-shaped arm 8 attached to the tip of the arm 8b that is rotatable in the horizontal direction and the vertical direction, for example, ten suction heads 1 are arranged and fixed.

【0027】そして、前記アーム8の長手方向の両端部
に、L型ブラケット14を介してチャッキング装置15
が設けられている。該チャッキング装置15には、細長
いバー状の取出し爪6,6が固設されている。
A chucking device 15 is provided at both ends of the arm 8 in the longitudinal direction via L-shaped brackets 14.
Is provided. The chucking device 15 has elongated bar-shaped take-out claws 6 and 6 fixed thereto.

【0028】また、前記アーム8に固設された10個の
吸着ヘッド1,1、…に吸引用配管7aが枝管として配
設され、それが一つにまとめられて吸引配管7bとな
り、該吸引配管7bが図示していない吸引装置7に接続
されている。
Further, the suction pipes 7a are provided as branch pipes on the ten suction heads 1, 1, ... Fixedly mounted on the arm 8, and are integrated into a suction pipe 7b. The suction pipe 7b is connected to a suction device 7 (not shown).

【0029】このようにして、複数の吸着ヘッド1をア
ーム8に装備した本発明に係る部品移載装置16が形成
されるものである。
In this way, the component transfer device 16 according to the present invention in which the plurality of suction heads 1 are mounted on the arm 8 is formed.

【0030】次に、前記部品移載装置16を使用して、
ソケットに複数載置された部品4を一度に吸着し、例え
ば、検査装置の検査位置に移載する、本発明に係る部品
吸着方法について説明する。
Next, using the parts transfer device 16,
A component suction method according to the present invention will be described in which a plurality of components 4 placed on a socket are sucked at one time, and for example, transferred to an inspection position of an inspection device.

【0031】まず、図1に示す状態が、部品移載装置1
6の初期状態であり、この状態からホルダー8cを回動
させてアーム8bを回転させ、アーム8を介して複数の
吸着ヘッド1を降下させる。このときは、ヘッド本体2
とともにノズル3も同時に降下する。
First, the state shown in FIG.
6, the holder 8c is rotated from this state to rotate the arm 8b, and the plurality of suction heads 1 are lowered via the arm 8. At this time, the head body 2
At the same time, the nozzle 3 also descends at the same time.

【0032】次に、ヘッド本体2の降下により所定位置
に達すると、ノズル3のチャック3dが部品4に一部、
例えば、部品4のフランジに当接する。ここで、ノズル
3の降下が停止するが、この降下した位置では取出し爪
6,6が部品4の下側にもぐり込めないので、更に、ア
ーム8を、図1に示す部品4のフランジ厚さに対応する
ストローク差s分だけ降下させる。よって、吸着ヘッド
1のヘッド本体2および取出し爪6,6が、空間部9の
コイルスプリング10の付勢力に抗して降下する。
Next, when the head main body 2 is lowered to reach a predetermined position, the chuck 3d of the nozzle 3 is partially attached to the component 4.
For example, it abuts the flange of the component 4. Here, the lowering of the nozzle 3 is stopped, but at this lowered position, the take-out pawls 6 and 6 cannot go into the lower side of the component 4, so that the arm 8 is further attached to the flange thickness of the component 4 shown in FIG. The stroke difference s corresponding to is lowered. Therefore, the head body 2 of the suction head 1 and the take-out pawls 6 and 6 descend against the biasing force of the coil spring 10 in the space 9.

【0033】そして、チャッキング装置15を作動させ
て前記取出し爪6,6を略90゜回転させて閉状態にす
る。この状態が図4に示す状態である。前記取出し爪6
の上面と部品4のフランジ下面との間には、わずかな隙
間があるだけである。
Then, the chucking device 15 is actuated to rotate the take-out pawls 6 and 6 by about 90 ° to close them. This state is the state shown in FIG. The take-out claw 6
There is only a small gap between the upper surface of the and the lower surface of the flange of the component 4.

【0034】また、前記ノズル3の降下が部品4に当接
して停止した後、ヘッド本体2が更に降下するのでヘッ
ド本体2の吸引流路2aの位置が下がって、初期状態で
は連通していなかった該吸引流路2aとノズル3の吸引
流路3cとが連通する。
Further, after the lowering of the nozzle 3 comes into contact with the component 4 and stops, the head main body 2 further lowers, so that the position of the suction passage 2a of the head main body 2 is lowered, and the head main body 2 is not communicating in the initial state. The suction flow passage 2a and the suction flow passage 3c of the nozzle 3 communicate with each other.

【0035】そして、図4に示す部品当接状態から、ア
ーム8を上昇させる。同時にヘッド本体2と取出し爪6
とが上昇し、摺動自在なノズル3はコイルスプリング1
0の付勢力によって部品4のフランジ下面が取出し爪6
の上面に当接するまで、若干ではあるが突出する。な
お、この状態でも、前記吸引流路2aと吸引流路3cの
連通状態は維持されている。
Then, the arm 8 is lifted from the component contact state shown in FIG. At the same time, the head body 2 and the take-out claw 6
Coil spring 1
The lower surface of the flange of the component 4 is removed by the urging force of 0.
It slightly protrudes until it comes into contact with the upper surface of. Even in this state, the communication state between the suction flow channel 2a and the suction flow channel 3c is maintained.

【0036】次に、吸引装置7を作動させて、吸引配管
7a,7bを介して、部品4をノズル3先端のチャック
3dに吸着せしめる。これと同時に、吸引流路3cの一
端が連通している空間部9も真空状態にされ、ノズル3
がストッパー11側に引き寄せられる。
Next, the suction device 7 is operated to suck the component 4 onto the chuck 3d at the tip of the nozzle 3 through the suction pipes 7a and 7b. At the same time, the space 9 communicating with one end of the suction channel 3c is also evacuated, and the nozzle 3
Are pulled toward the stopper 11.

【0037】前記ノズル3が引き寄せられて、ノズル後
端面3aがストッパー11の弾性緩衝体12に当接した
状態が、図5において示している状態である。なお、空
間部9が真空にされたことによるノズル3の相対的な移
動により、ノズル後端部のフランジ3bの下面とヘッド
本体2の凸状リング13の上面とにできる空間部16に
は、外気導入孔13aを介して外気が流入して、余分な
負荷がノズル3に生じないものである。
The state in which the nozzle 3 is drawn and the nozzle rear end surface 3a is in contact with the elastic cushioning body 12 of the stopper 11 is shown in FIG. The relative movement of the nozzle 3 caused by the vacuum of the space 9 causes the space 16 formed on the lower surface of the flange 3b at the rear end of the nozzle and the upper surface of the convex ring 13 of the head main body 2, The external air does not flow into the nozzle 3 through the external air introduction hole 13a and an extra load is not generated.

【0038】そして、前記ノズル3の移動により、図5
に示すように、ノズル3先端に吸着された部品4のフラ
ンジ下面と、取出し爪6,6の上面との間に、接触によ
る傷を防止するには十分な間隙が設けられる。
Then, by moving the nozzle 3, FIG.
As shown in FIG. 5, a sufficient gap is provided between the lower surface of the flange of the component 4 attracted to the tip of the nozzle 3 and the upper surfaces of the take-out claws 6 and 6 to prevent scratches due to contact.

【0039】一方、複数の吸着ヘッド1のうち、部品4
がソケットに載置されていない場合は、図6に示すよう
に、ヘッド本体2とノズル及び取出し爪6,6が所定量
で降下する。よって、ヘッド本体2とノズル3との間
で、部品4が存在することによる相対的な移動(図1に
おいてしめすストローク差sの分)がないので、ヘッド
本体2の吸引流路2aとノズル3の吸引流路3cとが、
部品移載装置16の初期状態における、吸引流路不通の
ままとなっている。
On the other hand, of the plurality of suction heads 1, the component 4
6 is not placed in the socket, the head main body 2, the nozzle, and the ejection claws 6 and 6 descend by a predetermined amount, as shown in FIG. Therefore, since there is no relative movement between the head body 2 and the nozzle 3 due to the presence of the component 4 (for the stroke difference s shown in FIG. 1), the suction passage 2a of the head body 2 and the nozzle 3 Suction channel 3c of
In the initial state of the component transfer device 16, the suction flow path remains unconnected.

【0040】よって、吸着ヘッド1が上昇し、その後に
吸引装置7が作動しても、前記ヘッド本体2の吸引流路
2a内が真空にされるだけで、ノズル3の吸引流路3c
を介して外気が侵入することもない。それにより、この
部品移載装置16におけるアーム8に固設された複数の
吸着ヘッド1のうち、部品4が存在してこれを吸着した
吸着ヘッドにおける吸引力を減少させることがない。
Therefore, even if the suction head 1 is lifted and the suction device 7 is subsequently operated, only the inside of the suction passage 2a of the head body 2 is evacuated, and the suction passage 3c of the nozzle 3 is evacuated.
The outside air does not enter through the. As a result, of the plurality of suction heads 1 fixed to the arm 8 of the component transfer device 16, the suction force of the suction head that has the component 4 and sucks it does not decrease.

【0041】こうして、複数の部品をこれに対応して配
設した複数の吸着ヘッドで一度に吸着して移載する場合
に、部品を載置するソケットにおいてその一部に部品が
存在しない時であってもリークが生ぜず、吸着対象の部
品が存在している吸着ヘッドには何等の影響を与えず所
定の吸引力を維持させることが出来る部品移載装置16
となるものである。
In this way, when a plurality of suction heads arranged corresponding to the plurality of components are sucked and transferred at one time, when there are no components in a part of the socket for mounting the components. Even if there is a leak, a component transfer device 16 that can maintain a predetermined suction force without causing any influence on the suction head in which the suction target component is present
It is what becomes.

【0042】その後、複数の吸着ヘッド1の各々に部品
4を吸着させたアーム8をアーム8bで所定量水平回転
させ、例えば、検査装置の検査位置にセットする。その
後、前記アーム8両端部のチャッキング装置15を作動
させて、取出し爪6,6を前述の吸着時とは逆に離隔す
るように90゜回転させて開状態にする。
After that, the arm 8 holding the component 4 on each of the plurality of suction heads 1 is horizontally rotated by a predetermined amount by the arm 8b and set at the inspection position of the inspection device, for example. After that, the chucking devices 15 at both ends of the arm 8 are operated to rotate the take-out pawls 6 and 6 by 90 ° so as to separate them from the above-mentioned adsorption state, and open the state.

【0043】そして、アーム8をアーム8bで鉛直方向
に回転させて複数の吸着ヘッド1を降下させ、所定位置
に前記吸着ヘッド1が達したら、吸引装置7の吸引作用
を停止させる。
Then, the arm 8 is rotated in the vertical direction by the arm 8b to lower the plurality of suction heads 1, and when the suction heads 1 reach a predetermined position, the suction action of the suction device 7 is stopped.

【0044】これにより、吸引力が消勢しコイルスプリ
ング10の付勢力でノズル3が突出され、その後、ノズ
ル3先端のチャック3dから部品4が落下して所定の検
査位置に載置されるものである。また、ノズル3が突出
して移動したことで、ヘッド本体2の吸引流路2aとノ
ズル3の吸引流路3cとの連通状態が遮断されて、不通
状態となる。
As a result, the suction force is deenergized and the nozzle 3 is projected by the urging force of the coil spring 10, and then the component 4 drops from the chuck 3d at the tip of the nozzle 3 and is placed at a predetermined inspection position. Is. Further, since the nozzle 3 protrudes and moves, the communication state between the suction flow passage 2a of the head body 2 and the suction flow passage 3c of the nozzle 3 is blocked, and the nozzle 3 is cut off.

【0045】その後、吸着ヘッド1を昇降させて、再び
アーム8を水平方向に回転させて、部品移載装置16の
初期状態に戻るものである。
After that, the suction head 1 is moved up and down, the arm 8 is again rotated in the horizontal direction, and the component transfer device 16 is returned to the initial state.

【0046】本発明に係る部品移載装置16の他の実施
例として、複数配設する吸着ヘッド1において、図1に
おいて示す、空間部9内のストッパー11と弾性緩衝材
12とを省いてコイルスプリング10によってノズル3
の移動規制させるように兼用させることもできる。ま
た、ヘッド本体2の吸引流路2aとノズル3の吸引流路
3cとを連通させる構造の他の例として、部品4が存在
することによるノズル3の移動で吸引流路2aに設けた
開閉蓋がレバー等で開くような機械的構造でも良い。こ
のようにして、複数の部品を吸着する部品移載装置にお
いて、部品が一部に存在しない時でも、安定した部品吸
着作業を遂行できるものである。
As another embodiment of the component transfer device 16 according to the present invention, in a plurality of suction heads 1, the stopper 11 and the elastic cushioning material 12 in the space 9 shown in FIG. Nozzle 3 by spring 10
It can also be used as a movement restriction. Further, as another example of the structure for connecting the suction flow passage 2a of the head main body 2 and the suction flow passage 3c of the nozzle 3 to each other, the opening / closing lid provided in the suction flow passage 2a by the movement of the nozzle 3 due to the presence of the component 4 It may be a mechanical structure in which the lever is opened with a lever or the like. In this way, in the component transfer device that suctions a plurality of components, even when there are no components in part, a stable component suction operation can be performed.

【0047】[0047]

【発明の効果】以上説明したように、本発明に係る部品
吸着方法は、吸着ヘッドを介し吸引手段によって部品を
吸着する方法であって、前記吸着ヘッドに部品吸引用の
吸引流路を備えたノズルを摺動自在に装備し、前記吸引
流路は、前記部品が存在することで該部品の一部に当接
して摺動するノズルの移動よって前記吸引手段と連通状
態となり、前記ノズルに吸引作用が付与されて前記部品
を吸着する方法なので、吸着しようとする部品が存在し
ないときには、吸引流路を連通させることがないのでノ
ズルを通じて外気が侵入せずに吸引力の減退を招くこと
が防止され、部品が存在するときにはノズルに吸引作用
が付与されるので、吸引作用が効率的に作用すると言う
優れた効果を奏する。
As described above, the component suction method according to the present invention is a method of sucking a component by suction means via a suction head, and the suction head is provided with a suction flow path for component suction. A nozzle is slidably mounted, and the suction flow path is in communication with the suction means by the movement of the nozzle that slides in contact with a part of the component due to the presence of the component, and the suction channel is suctioned to the nozzle. This is a method of adsorbing the parts by applying the action.Therefore, when there is no part to be adsorbed, the suction flow path is not communicated, so that the outside air does not enter through the nozzle and the suction force is prevented from decreasing. Since the suction action is given to the nozzle when there is a component, the excellent effect is obtained that the suction action works efficiently.

【0048】前記ノズルの後端側には、部品が存在する
ことで該部品の一部に当接して摺動する当該ノズルの吸
着ヘッドに対する相対的な移動を許容する空間部が設け
られているので、機械的な動作で吸引流路の連通状態の
切替えが可能となって製造コストの低減となると言う優
れた効果を奏する。
On the rear end side of the nozzle, there is provided a space for allowing relative movement of the nozzle, which is in contact with a part of the component and slides, with respect to the suction head, when the component is present. Therefore, there is an excellent effect that the communication state of the suction flow path can be switched by a mechanical operation and the manufacturing cost can be reduced.

【0049】前記吸引流路は、その一端がノズル先端に
開口され、他端が、ノズルの移動によって少なくとも吸
引手段と連通する位置に開口されているので、簡易な構
成で部品の有無による吸引流路の連通状態の切替えがで
きると言う優れた効果を奏する。
Since one end of the suction flow path is opened at the tip of the nozzle and the other end is opened at a position communicating with at least the suction means by the movement of the nozzle, the suction flow depending on the presence or absence of parts is simple. It has an excellent effect that the communication state of the road can be switched.

【0050】前記吸引手段は、ノズル先端と取出し爪と
の間で部品を保持した後に、作動されて吸引作用を行う
ので、部品の取り出しミスが無くなり、確実な吸着作業
となると言う優れた効果を奏する。
Since the suction means is operated to perform suction after holding the part between the tip of the nozzle and the pick-up claw, there is an excellent effect that the pick-up error of the part is eliminated and the suction work is surely performed. Play.

【0051】前記ノズルの後端側の空間部をノズルの吸
引流路に連通させ、吸引手段で部品を吸着した際に、前
記吸引手段の吸引作用を受け、前記ノズルが取出し爪か
ら離隔するように移動されるので、ノズルに吸着した部
品と開閉自在な取出し爪との接触による、部品の傷つき
が確実に防止されると言う優れた効果を奏する。
The space on the rear end side of the nozzle is communicated with the suction flow path of the nozzle so that when the suction means picks up a component, the suction means receives the suction action of the suction means to separate the nozzle from the take-out pawl. Therefore, there is an excellent effect that the damage of the component due to the contact between the component attracted to the nozzle and the openable / closable take-out claw is surely prevented.

【0052】前記ノズルと、ノズルを摺動自在に保持し
たヘッド本体とからなる吸着ヘッドが、部品吸着箇所と
部品供給箇所との間を往復移動するアームに複数個設け
られ、各ノズルの吸引流路がまとめられて一つの吸引手
段に接続されていることとすれば、複数の部品をこれに
対応する複数の吸着ヘッドで一度に吸着作業した場合
に、部品の存在する箇所の吸着ヘッドのみ吸引作用が付
与されるので、部品が存在しないことによる吸引作用の
リークが生ぜず、安価でかつ安定した吸引作用が得られ
ると言う優れた効果を奏する。
A plurality of suction heads each comprising the nozzle and a head main body holding the nozzle slidably are provided on an arm that reciprocates between a component suction point and a component supply point. Assuming that the paths are grouped and connected to one suction means, when a plurality of suction heads corresponding to this are suctioned at one time, only the suction heads where the components are present are suctioned. Since the action is imparted, the suction action does not leak due to the absence of parts, and an excellent effect is obtained that a stable suction action is obtained at a low cost.

【0053】本発明に係る吸着ヘッドは、筒状のヘッド
本体と、該ヘッド本体に摺動自在に内挿して保持される
ノズルと、該ノズルに吸引流路を介して吸引作用させる
吸引手段と、からなり、前記ノズルの先端で部品を吸着
する吸着ヘッドであって、吸着時にノズルが部品に当接
して摺動することによって、前記吸引手段とノズルの吸
引流路とが連通状態になるように設けられているので、
部品が存在するときのみ吸引作用するので、効率的な吸
引作用する吸着ヘッドとなると言う優れた効果を奏す
る。
The suction head according to the present invention comprises a cylindrical head body, a nozzle slidably inserted in the head body and held therein, and a suction means for causing a suction action on the nozzle via a suction flow path. And a suction head for sucking a component at the tip of the nozzle, wherein the nozzle is brought into contact with the component during suction so that the suction means and the suction flow path of the nozzle are in communication with each other. Because it is provided in
Since the suction action is performed only when there is a component, an excellent effect is obtained in that the suction head has an efficient suction action.

【0054】本発明に係る部品移載装置は、筒状のヘッ
ド本体と、該ヘッド本体に摺動自在に内挿して保持され
るノズルと、該ノズルに吸引流路を介して吸引作用させ
る吸引手段とを有し、前記部品が存在することで該部品
の一部に当接して摺動するノズルの移動によって前記吸
引手段とノズルの吸引流路とが連通状態になり前記ノズ
ルの先端で部品を吸着する吸着ヘッドが、部品吸着箇所
と部品供給箇所との間を往復移動するアームに複数個設
けられ、各ノズルの吸引流路がまとめられて一つの吸引
手段に接続されているので、複数の部品を一度に移載す
る際に、一部に部品が存在しなくとも、部品の存在して
いる箇所の吸着ヘッドのみに吸引作用が付与されるの
で、吸引手段のエネルギーロスがなく、吸引作用のリー
クも防止されて安定した吸引力が発揮され、確実な吸着
作業する部品移載装置となると言う優れた効果を奏す
る。
The component transfer device according to the present invention comprises a cylindrical head body, a nozzle slidably inserted in the head body and held therein, and a suction for causing a suction action on the nozzle via a suction flow path. And a suction flow path of the nozzle is brought into communication with each other by the movement of the nozzle that slides in contact with a part of the component due to the presence of the component. A plurality of suction heads for sucking the components are provided on the arm that reciprocates between the component suction location and the component supply location, and the suction flow paths of each nozzle are collected and connected to one suction means. When transferring all the parts at once, even if some parts do not exist, the suction action is applied only to the suction head where the parts exist, so there is no energy loss in the suction means and suction is performed. Stable by preventing leakage of action Suction force is exerted, an excellent effect say a component transfer apparatus for secure adsorption operations.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明に係る部品移載装置の一部における吸着
ヘッドの構成を示す断面図である。
FIG. 1 is a sectional view showing a configuration of a suction head in a part of a component transfer device according to the present invention.

【図2】同本発明に係る部品移載装置の平面図である。FIG. 2 is a plan view of the component transfer device according to the present invention.

【図3】同本発明に係る部品移載装置の正面図である。FIG. 3 is a front view of the component transfer device according to the present invention.

【図4】同本発明に係る部品移載装置の使用状態を示
し、部品に吸着ヘッドのノズルが当接した様子を示す断
面図である。
FIG. 4 is a cross-sectional view showing a use state of the component transfer device according to the present invention and showing a state where the nozzle of the suction head abuts on the component.

【図5】同本発明に係る部品移載装置の使用状態を示
し、部品をノズルで吸着して吸着ヘッドが昇降している
様子を示す断面図である。
FIG. 5 is a cross-sectional view showing a use state of the component transfer apparatus according to the present invention, showing a state in which a component is suctioned by a nozzle and a suction head is moving up and down.

【図6】同本発明に係る部品移載装置の使用状態を示
し、部品が存在していない状態の様子を示す断面図であ
る。
FIG. 6 is a cross-sectional view showing a usage state of the component transfer device according to the present invention and showing a state in which no component is present.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 吸着ヘッド、2 ヘッド本体、2a 吸引流路、3
ノズル、3b フランジ、3c 吸引流路、3d チ
ャック、4 部品、5 ソケット、6 取出し爪、7
吸引装置、7a,7b 吸引配管、8,8b アーム、
8a 内表面、8c ホルダー、9 空間部、10 コ
イルスプリング、11 ストッパー、12 弾性緩衝
材、13 凸状リング、15 チャッキング装置。
1 suction head, 2 head body, 2a suction flow path, 3
Nozzle, 3b flange, 3c suction channel, 3d chuck, 4 parts, 5 socket, 6 take-out claw, 7
Suction device, 7a, 7b suction pipe, 8, 8b arm,
8a inner surface, 8c holder, 9 space part, 10 coil spring, 11 stopper, 12 elastic cushioning material, 13 convex ring, 15 chucking device.

Claims (11)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 吸着ヘッドを介し吸引手段によって部品
を吸着する方法であって、 前記吸着ヘッドに部品吸引用の吸引流路を備えたノズル
を摺動自在に装備し、 前記吸引流路は、前記部品が存在することで該部品の一
部に当接して摺動するノズルの移動によって前記吸引手
段と連通状態となり、 前記ノズルに吸引作用が付与されて前記部品を吸着する
こと、 を特徴とする部品吸着方法。
1. A method of sucking a component by suction means via a suction head, wherein the suction head is slidably equipped with a nozzle having a suction flow passage for sucking the component, and the suction flow passage comprises: The presence of the component causes a movement of the nozzle that abuts and slides on a part of the component to establish a communication state with the suction means, and a suction action is given to the nozzle to attract the component. Part suction method.
【請求項2】 ノズルの後端側には、部品が存在するこ
とで該部品の一部に当接して摺動する当該ノズルの吸着
ヘッドに対する相対的な移動を許容する空間部が設けら
れていること、 を特徴とする請求項1に記載の部品吸着方法。
2. A rear end side of the nozzle is provided with a space for permitting relative movement of the nozzle, which is in contact with a part of the component and slides when the component is present, with respect to the suction head. The component suction method according to claim 1, wherein:
【請求項3】 吸引流路は、その一端がノズル先端に開
口され、 他端が、ノズルの移動によって少なくとも吸引手段と連
通する位置に開口されていること、 を特徴とする請求項1に記載の部品吸着方法。
3. The suction flow path according to claim 1, wherein one end of the suction flow path is opened at the tip of the nozzle, and the other end is opened at a position communicating with at least the suction means by the movement of the nozzle. Part adsorption method.
【請求項4】 吸着ヘッドには、該吸着ヘッドの昇降と
共に移動し、 かつ、ノズル先端との間で部品を保持すべく前記ノズル
の軸芯と直交する方向に開閉自在な取出し爪が備えられ
ていること、 を特徴とする請求項1に記載の部品吸着方法。
4. The suction head is provided with a take-out pawl that moves as the suction head moves up and down, and that is openable and closable in a direction orthogonal to the axis of the nozzle so as to hold a component between the suction head and the tip of the nozzle. The component suction method according to claim 1, wherein:
【請求項5】 吸引手段は、ノズル先端と取出し爪との
間で部品を保持した後に、作動されて吸引作用を行うこ
と、 を特徴とする請求項4に記載の部品吸着方法。
5. The component suction method according to claim 4, wherein the suction means is operated to perform a suction action after holding the component between the tip of the nozzle and the take-out claw.
【請求項6】 ノズルの後端側の空間部をノズルの吸引
流路に連通させ、 吸引手段で部品を吸着した際に、前記吸引手段の吸引作
用を受け、前記ノズルが取出し爪から離隔するように移
動されること、 を特徴とする請求項2に記載の部品吸着方法。
6. A nozzle is separated from a take-out pawl by causing the space on the rear end side of the nozzle to communicate with the suction flow path of the nozzle and receiving a suction action of the suction means when a component is sucked by the suction means. The component suction method according to claim 2, wherein the component suction method is performed as follows.
【請求項7】 ノズルの空間部に該ノズルを突出させる
方向に作用する付勢手段を設け、 ノズルの先端に部品を吸着した後に吸引手段の吸引作用
を解除した際に、 ノズルの先端から前記部品が離脱する前にノズルを突出
させること、 を特徴とする請求項6に記載の部品吸着方法。
7. A biasing means for acting in a direction of projecting the nozzle is provided in a space portion of the nozzle, and when the suction action of the suction means is released after a component is sucked at the tip of the nozzle, the nozzle is pushed from the tip of the nozzle. The component suction method according to claim 6, wherein the nozzle is projected before the component is detached.
【請求項8】 ノズルと、 ノズルを摺動自在に保持したヘッド本体とからなる吸着
ヘッドが、 部品吸着箇所と部品供給箇所との間を往復移動するアー
ムに複数個設けられ、 各ノズルの吸引流路がまとめられて一つの吸引手段に接
続されていること、 を特徴とする請求項1に記載の部品吸着方法。
8. A plurality of suction heads each comprising a nozzle and a head main body holding the nozzle slidably are provided on an arm that reciprocates between a component suction portion and a component supply portion, and suction heads for each nozzle are provided. The component suction method according to claim 1, wherein the flow paths are combined and connected to one suction means.
【請求項9】 筒状のヘッド本体と、該ヘッド本体に摺
動自在に内挿して保持されるノズルと、 該ノズルに吸引流路を介して吸引作用させる吸引手段
と、からなり、 前記ノズルの先端で部品を吸着する吸着ヘッドであっ
て、 前記部品が存在することで該部品の一部に当接して摺動
するノズルの移動よって前記吸引手段とノズルの吸引流
路とが連通状態になるように設けられていること、 を特徴とする吸着ヘッド。
9. A nozzle comprising: a cylindrical head main body; a nozzle slidably inserted in the head main body; and held by the head main body; and suction means for applying a suction action to the nozzle via a suction passage. Is a suction head that sucks a component at the tip of, and the suction means and the suction flow path of the nozzle are in communication with each other due to the movement of the nozzle that abuts and slides on a part of the component due to the presence of the component. The suction head is characterized in that it is provided as follows.
【請求項10】 ノズルの後端側には、部品が存在する
ことで該部品の一部に当接して摺動する当該ノズルの吸
着ヘッドに対する相対的な移動を許容する空間部が設け
られると共に、 該空間部がノズルの吸引流路に連通されていること、 を特徴とする請求項9に記載の吸着ヘッド。
10. A rear end side of the nozzle is provided with a space for allowing relative movement of the nozzle, which is in contact with a part of the component and slides, with respect to the suction head when the component is present. The suction head according to claim 9, wherein the space portion is communicated with the suction flow path of the nozzle.
【請求項11】 筒状のヘッド本体と、該ヘッド本体に
摺動自在に内挿して保持されるノズルと、 該ノズルに吸引流路を介して吸引作用させる吸引手段と
を有し、 前記部品が存在することで該部品の一部に当接して摺動
するノズルの移動によって前記吸引手段とノズルの吸引
流路とが連通状態になり前記ノズルの先端で部品を吸着
する吸着ヘッドが、 部品吸着箇所と部品供給箇所との間を往復移動するアー
ムに複数個設けられ、各ノズルの吸引流路がまとめられ
て一つの吸引手段に接続されていること、 を特徴とする部品移載装置。
11. A component having a cylindrical head body, a nozzle slidably inserted in the head body and held therein, and suction means for causing a suction action on the nozzle via a suction flow path, The suction head that is in contact with a part of the component due to the presence of the nozzle and the suction flow path of the nozzle is in communication with each other by the movement of the nozzle, A component transfer device, wherein a plurality of arms are provided on an arm that reciprocates between a suction location and a component supply location, and the suction flow paths of each nozzle are collected and connected to one suction means.
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104477643A (en) * 2014-11-26 2015-04-01 台州迈得医疗工业设备股份有限公司 Suction structure for catheter feeding
CN105947667A (en) * 2016-06-22 2016-09-21 大亚(江苏)地板有限公司 Contact type strip suction moving machine
CN109413988A (en) * 2018-12-20 2019-03-01 宁波润烨机械有限公司 The chip mounter of anti-deviation replaceable suction nozzle
CN117533784A (en) * 2023-11-24 2024-02-09 镭神技术(深圳)有限公司 transfer device

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104477643A (en) * 2014-11-26 2015-04-01 台州迈得医疗工业设备股份有限公司 Suction structure for catheter feeding
CN105947667A (en) * 2016-06-22 2016-09-21 大亚(江苏)地板有限公司 Contact type strip suction moving machine
CN109413988A (en) * 2018-12-20 2019-03-01 宁波润烨机械有限公司 The chip mounter of anti-deviation replaceable suction nozzle
CN117533784A (en) * 2023-11-24 2024-02-09 镭神技术(深圳)有限公司 transfer device

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