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JPH09226111A - 記録方法および記録装置 - Google Patents

記録方法および記録装置

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Publication number
JPH09226111A
JPH09226111A JP3856296A JP3856296A JPH09226111A JP H09226111 A JPH09226111 A JP H09226111A JP 3856296 A JP3856296 A JP 3856296A JP 3856296 A JP3856296 A JP 3856296A JP H09226111 A JPH09226111 A JP H09226111A
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JP
Japan
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ink
liquid ink
nozzle
vibration generating
generating means
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Application number
JP3856296A
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English (en)
Other versions
JP3427608B2 (ja
Inventor
Koichi Haga
浩一 羽賀
Yoshiyuki Shiratsuki
好之 白附
Ichiro Asai
市郎 浅井
Keizo Abe
敬三 阿部
Yasushi Suwabe
恭史 諏訪部
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujifilm Business Innovation Corp
Original Assignee
Fuji Xerox Co Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Fuji Xerox Co Ltd filed Critical Fuji Xerox Co Ltd
Priority to JP3856296A priority Critical patent/JP3427608B2/ja
Priority to US08/803,859 priority patent/US5917521A/en
Publication of JPH09226111A publication Critical patent/JPH09226111A/ja
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Publication of JP3427608B2 publication Critical patent/JP3427608B2/ja
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  • Ink Jet (AREA)
  • Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 微小なノズルを必要とせず、効率よく小径の
インク滴を飛翔可能なインクジェット記録方法および記
録装置を提供する。 【解決手段】 円筒状のノズル1に圧電材料等の振動部
材2が設けられており、ノズル1の内部にはインク3が
供給されている。振動部材2にある周波数で電界を与
え、ノズル1の壁面と垂直方向に振動させると、インク
3の液面下では、円筒の中心に向かって縦波が発生す
る。あるいは、円筒状のノズル1の中心軸に並行は方向
に振動させると、インク3の表面に表面張力波が発生す
る。この縦波あるいは表面張力波はノズル1の壁面全体
から同心円状に中心に集中し、円筒状のノズル1の中心
近傍のインクの表面から液滴が吐出する。この液滴を被
記録媒体に付着させることによって記録を行なうことが
できる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、振動を利用してイ
ンクを飛翔させるインクジェット記録方法および記録装
置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来よりノズルからインク滴を必要に応
じて吐出させて印字を行なう、いわゆるオンデマンド型
のインクジェット式記録方式があり、代表的な方式とし
てピエゾ振動子型とサーマル型がある。ピエゾ振動子型
はインク室に付設された圧電素子にパルス電圧を印加
し、圧電素子を変形させることによりインク室内のイン
ク液圧を変化させ、ノズルからインク滴を吐出させて記
録用紙にドットを記録するものである。サーマル型は、
インク室内に設けた加熱手段によりインクを加熱し、こ
れにより発生したバブルによりノズルからインク滴を吐
出させて記録用紙にドットを記録するものである。
【0003】これらインクジェット技術においては、従
来、解像度が300dpi程度であったが、昨今その解
像度が600から720dpiと高解像度化されてき
た。それに伴い、高解像度化による効果を有効に発揮す
るためには解像度に応じて印字するドット径を小さくす
る必要がある。従来の方式においてドット径を小さくす
る方法として、ノズル径を小さくする方法がある。しか
しながらノズル径を小さくすると、ゴミやノズル内のイ
ンク表面の乾燥によるノズルの詰まりや、ノズル円周部
への残滓の付着によるインク吐出方向の変化が発生しや
すくなる。そのため、記録紙上の画質に欠陥が発生し、
本来の解像度に対応したドット径を印字するために必要
なノズル径を採用出来ないという問題があった。
【0004】これに対し、近年、表面弾性波を用いたイ
ンクジェット記録方式が提案されている。例えば、特開
昭54−10731号公報には、液室内に設けた交差指
電極により表面弾性波を形成し、その漏洩レイリー波に
よりインクを振動させ、スリットまたはノズルからイン
ク滴を吐出させる構成が記載されている。また、特開昭
62−66943号公報においては、液室底部に交差指
電極を同心円状に形成し、インク中に漏洩レーリー波を
コーン状に形成し、その焦点近傍にインク表面を設ける
ことにより、インク中を伝播した振動エネルギーをイン
ク表面に集中させ、インク滴を吐出させるものが提案さ
れている。
【0005】これら方式においては、形成されるインク
滴の大きさはノズル径に直接影響されることがないた
め、インクの吐出口を小さくする必要はなく、またスリ
ット形状でも本質的に問題はない。しかし、表面弾性波
を発生させる交差指電極がインク中に配置されているた
め、高周波振動により電極材料とインク中の成分が反応
して電極が溶出したり、インク成分の電極への付着等の
問題が発生する。また漏洩レーリー波がインク中を伝搬
する際に減衰し、エネルギー効率が低いといった問題が
ある。
【0006】これら問題に対し、表面弾性波を用いた新
しいインクジェット記録方式が提案されている。特開平
2−269058号公報に記載されている装置はその一
例である。図11は、従来の表面弾性波を用いたインク
ジェット記録方式の原理説明図である。図中、41は圧
電基板表面、42は交差指電極、43は圧電基板、44
はインク、45は液滴、46は高周波電源である。圧電
基板表面41には交差指電極42が形成されている。こ
の交差指電極42に高周波電源46から高周波電圧を印
加し、発生した表面弾性波の伝搬路上にインク44を置
く。すると、表面弾性波はインク44と接触することに
より振動エネルギーがインク44に漏洩し(漏洩レーリ
ー波の発生)、これによりインク44の一部が液滴45
となって飛翔する。この方式においては、交差指電極4
2は直接インク44と接することはなく、また小さなノ
ズルを形成する必要もないため、上述の方式のような信
頼性に関する問題が発生することがない。
【0007】しかしながらこの構成においては、電極と
して平行な交差指電極を用いているため、表面弾性波が
多方向に伝搬しやすく、エネルギー効率が悪くまたクロ
ストークの原因となっており、インクから飛翔する液滴
の方向やサイズは前述の従来例に比べて極めて不安定で
ある。表面弾性波の伝搬の指向性を高くするためには、
交差指電極の幅dを少なくとも波長λの10倍以上とす
る必要がある。また、液滴の径は交差指電極の幅dに依
存しているため、小径の液滴を形成するには波長λを短
くする必要がある。しかしながら波長λを短くすること
は発振周波数を高くすることになり、高価な電源を必要
とするため、むやみに発振周波数を高くすることができ
ないといった問題がある。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、上述した事
情に鑑みてなされたもので、微小なノズルを必要とせ
ず、効率よく小径のインク滴を飛翔可能なインクジェッ
ト記録方法および記録装置を提供することを目的とする
ものである。
【0009】
【課題を解決するための手段】請求項1に記載の発明
は、記録方法において、振動発生手段により液体インク
の表面および表面近傍に振動を加え、前記液体インクの
表面または表面近傍を伝播する振動を集中させて液滴を
飛翔させ、被記録媒体へ液滴を付着させることにより記
録を行なうことを特徴とするものである。
【0010】請求項2に記載の発明は、請求項1に記載
の記録方法において、前記振動発生手段は前記液体イン
クの表面近傍に縦波を発生させ、前記液体インクの表面
近傍を伝播する前記縦波を集中させて液滴を飛翔させる
ことを特徴とするものである。
【0011】請求項3に記載の発明は、請求項1に記載
の記録方法において、前記振動発生手段は前記液体イン
クに表面張力波を発生させ、前記表面張力波を集中させ
て液滴を飛翔させることを特徴とするものである。
【0012】請求項4に記載の発明は、記録装置におい
て、内側に液体インクを保持させた円筒形ノズルと、該
円筒形ノズルに形成された振動発生手段を有し、該振動
発生手段を前記液体インクの表面と略平行な平面方向に
振動させることにより前記液体インクに縦波を発生さ
せ、前記縦波を前記円筒形ノズルの中心軸方向に集中さ
せることで前記液体インクの表面から液滴を飛翔させる
ことを特徴とするものである。
【0013】請求項5に記載の発明は、記録装置におい
て、内側に液体インクを保持させた円筒形ノズルと、該
円筒形ノズルに形成された振動発生手段を有し、該振動
発生手段を前記液体インクの表面に対して垂直方向に振
動させることにより前記液体インクに表面張力波を発生
させ、前記表面張力波を液体インク表面中央で波高が最
も高くなるように干渉させ、前記液体インクの表面中央
部から液滴を飛翔させることを特徴とするものである。
【0014】請求項6に記載の発明は、請求項4または
5に記載の記録装置において、振動発生手段は、圧電性
円筒状部材または複数の圧電性部材によって構成されて
いることを特徴とするものである。
【0015】請求項7に記載の発明は、請求項4または
5または6に記載の記録装置において、前記振動発生手
段と前記ノズルの組をライン状に配置したことを特徴と
するものである。
【0016】請求項8に記載の発明は、請求項4または
5または6に記載の記録装置において、前記ノズルと前
記振動発生手段の組をマトリクス状に配置し、各行また
は列に並ぶ前記ノズルおよび前記振動発生手段の組を列
または行方向に異なった位置に配置したことを特徴とす
るものである。
【0017】
【発明の実施の形態】図1は、本発明の記録装置の第1
の実施の形態を示す断面図、図2は、同じく平面図であ
る。図中、1はノズル、2は振動部材、3はインクであ
る。図2は図1をA方向から見た図である。ノズル1は
円筒状をしており、その内部にはインク3が供給されて
いる。ノズル1に供給されたインク3の液面付近に振動
部材2が設けられている。
【0018】振動部材2は、電界により機械歪みを生じ
る材料で構成され、例えば、チタン酸バリウム、ニオブ
酸リチウム、チタン酸ジルコン酸鉛、酸化亜鉛などの圧
電材料が用いられる。振動部材2はノズル1の面に垂直
な方向に収縮または膨張するように変形する。ここで
は、振動部材2は一体の円筒状の圧電材料を用いてお
り、ノズル1の円周上に配置している。これに限らず、
いくつかの部材に分割して複数の円弧状の振動部材をノ
ズル1の全周に配置したり、ノズル1の円周上に間欠的
に配置することもできる。また、ノズル1の断面形状は
円に限らず、正n角形など、種々の形状とすることがで
き、振動部材によって発生した縦波が1点に集中するよ
うに、振動部材を配置すればよい。
【0019】なお、ここではノズル1の部分しか示して
いないが、ノズル1はインク3を供給する図示しないイ
ンク供給機構に直接接続されていたり、供給されたイン
クを一時的に貯蔵する図示しないインク室に接続される
構成とすることができる。また、ノズル1の長さは、ノ
ズル1にインク3の液面が位置制御可能な長さ以上であ
ればよい。
【0020】図3は、本発明の記録装置の第1の実施の
形態における動作原理を説明する平面図、図4は、同じ
く断面図である。振動部材2に電界を与え、図3に示す
ようにノズル1の壁面と垂直方向にある周波数で振動さ
せると、インク3の液面下では、円筒の中心に向かって
縦波が発生する。この縦波はノズル1の壁面全体から同
心円状に中心に集まってくるため、ノズル壁面から与え
られた振動エネルギーは円筒の中心に集中する。このた
め、ある周波数で十分な振動強度を与えると、図4に示
すように円筒状のノズル1の中心近傍のインクの表面か
ら液滴が吐出する。この液滴を被記録媒体に付着させる
ことによって記録を行なうことができる。
【0021】具体例としては、振動部材2に60MHz
の振動を与えることによって、直径約50μmの液滴が
生じた。また、振動部材2を分割して複数の円弧状振動
部材にした場合も、振動させる位相を合わせることによ
り、同様に円筒形のノズル1の中心部よりインク3の吐
出が可能であった。
【0022】次に、本発明の記録装置の第2の実施の形
態について説明する。この第2の実施の形態における構
成は、図1、図2に示す上述の第1の実施の形態とほぼ
同様である。この第2の実施の形態では、振動部材2は
ノズル1の軸方向に振動する。
【0023】図5、図6は、本発明の記録装置の第2の
実施の形態における原理を説明する断面図である。振動
部材2をノズル1の軸方向にある周波数で振動させる
と、図5(A)に示すように1波長分の定在波が生じ
る。振動部材2の周波数を上げていくと、ある周波数で
図5(B)に示すように2波長分の定在波が生じる。同
様にして振動部材2の周波数を上げていくと、ある周波
数で円筒状ノズル内にn波長(nは整数)の定在波が生
じる。一方、円筒状振動部材の振動強度(振幅)を増加
していくと、図6(A)〜(C)に示すように定在波の
振幅は増加していき、振動がある強度に達すると、図6
(D)に示すように最も振幅の大きな円筒の中心部の波
頭がちぎれて小さな液滴が飛翔する。この液滴を被記録
媒体に付着させることによって記録を行なうことができ
る。
【0024】具体例として、200μm径の円筒状のノ
ズル1の先端近傍に、一体の円筒状の振動部材2を取り
付け、その中に表面張力0.040N/m、密度105
0kg/m3 のインクを保持して実験を行なった。定在
波が現れる周波数は以下に示す原理で求められる。振動
はインク表面を伝わるものであり、200μmのノズル
内で生じるものであるから、扱う波の波長は200μm
以下のものである。
【0025】この波の進行を支配するのは表面張力であ
る。そこで、液体表面張力をσ(mN/m)、液体密度
をρ(g/cm3)、波長をλ(μm)とするとき、表
面張力波(横波)の進行速度vは v=(2πσ/ρλ)1/2 ・・・(1) と表わすことができる。一方、波の周波数fk は進行速
度、波長により次のように与えられる。 fk =v/λ・・・・(2) (1)式、(2)式より λ={2πσ/(ρfk 2)}1/3 ・・・(3) となる。また、発信周波数をfe(Hz)とするとき、 fk =fe /2・・・(4) であるから、(3)式と(4)式より λ={8πσ/(ρfe 2)}1/3 ・・・(5) となる。(5)式より、 fe =(8πσ/ρ)1/2 λ-3/2・・・(6) となる。
【0026】上述の具体例のように、σ=0.040N
/m、ρ=1050kg/m3 のインクを用いた場合、
これらの値を(6)式に代入して計算すると、 fe =0.031λ-3/2・・・(7) となる。一方、円筒中に生じる波の波長は、円筒の径を
Dとすると、 λ=D/n・・・(8) で与えられる。ただし、nは円筒中に生じる波の波数で
あり、整数である。(7)式、(8)式より、 fe =0.031(D/n)-3/2・・・(9) となる。具体例では、D=200μmのノズルを用いた
ので、 fe =10960n3/2 ・・・(10) と求められる。
【0027】図7は、本発明の記録装置の第2の実施の
形態における円筒状ノズル中に生ずる波頭数と与える周
波数の関係を説明するためのグラフである。上述のよう
に、200μm径のノズルにσ=0.040N/m、ρ
=1050kg/m3 のインクを満たして振動を与えた
場合、ノズル内に生じる波の波数と周波数の関係は、図
7に示すようになる。例えば、88kHzの振動を振動
部材2より与えることによって、図7から円筒中に生ず
る波の波頭数は4であると求められる。すなわち、88
kHzの振動を振動部材2より与えることによって、図
6に示すように1波長50μmの定在波を4波長分をノ
ズル1内のインクの表面に生じさせることができる。そ
して、振動部材2に印加する電圧がある値に達すると、
図6(D)に示すように、ノズル1の中心よりインク液
滴の飛翔が始まる。このとき、インク液滴の粒子径は約
20μmであった。
【0028】この第2の実施の形態においても、複数の
振動部材を用いて構成することができる。その場合に
は、複数の振動部材が振動する位相を合わせることによ
り、同様にノズル1の中心よりインク液滴の飛翔が可能
であった。
【0029】この第2の実施の形態では、上述のように
振動部材2によってインク3を振動させたが、これに限
らず、振動部材2によってノズル1を振動させ、その振
動によってインク3を振動させることも可能である。図
8は、本発明の記録装置の第2の実施の形態における変
形例の説明図である。図中、11,12は基板である。
この例では、特性の異なる2枚の基板11,12を接合
し、開口を設けてノズル1を形成している。基板12の
下面はインク室の一部を構成することができ、インクは
ノズル1まで満たされている。
【0030】この構成において、2枚の基板11,12
の一方をノズル1の周囲において収縮または伸張させる
ことによって2枚の基板11,12は湾曲し、端部であ
るノズル1の部分が上または下に移動することになる。
この原理は、熱膨張率の異なる2種の金属を接合したバ
イメタルに加温した際の動作原理と同様である。この動
作を繰り返し行なうことによって、インク3に振動を与
えることができる。振動部材2としては、基板11,1
2の物理的特性に応じた構成にすればよく、例えば、基
板11または12として圧電基板を用いた場合、その圧
電基板に電気信号を与える手段で構成することができ
る。また、例えば、基板11,12がバイメタルの構成
や形状記憶合金等の構成であり、高速な湾曲および復元
動作が可能であれば、振動部材2を加温手段などにより
構成すればよい。
【0031】図9は、複数のノズルを配置した構成例の
説明図である。図中、21は基板、22はインク室、2
3はインク供給管である。上述の各例は、一つのノズル
についてのみ示しているが、これらを複数配置すること
もできる。図9に示す例では、ノズル1をマトリックス
状に配置した例である。
【0032】基板21には、ノズル1となる開口をマト
リックス状に穿設してある。この開口の形成は、例えば
レーザーにより行なうことができる。このとき、コスト
を重視する場合にはスループットのよいCO2 レーザ
ー、熱のダメージやクラックの発生に配慮する場合には
エキシマレーザーによる加工がよい。さらにコストを低
減したい場合にはドリル加工やパンチングを用いること
も可能である。
【0033】ノズル1は、図9(A)に示した例では、
横方向に直線状に配列し、その配列方向と直交する方向
には他のノズルが配置されないように、他のノズルを少
しずつ横方向にずらして配置している。このような配置
の記録ヘッドと被記録媒体とを上下方向に相対的に移動
させながら記録を行なうことによって、ノズル1の横方
向の配列間隔よりも記録密度の高い記録を行なうことが
できる。
【0034】各ノズル1には、それぞれ振動部材2が設
けられている。この振動部材2に電気的エネルギーを供
給するため、図9(A)に示すように、縦方向のリード
A1〜A5と、横方向のリードB1〜B6が配設されて
いる。ここで一方のリードA1〜5のいずれかと、他方
のリードB1〜6のいずれかを選択して電気的エネルギ
ーを供給することにより、一つのノズル1に対応する振
動部材2が選択的に動作し、励振することが可能とな
る。この選択動作と動作タイミングおよび被記録媒体と
の相対的移動を画像データに応じて制御することによっ
て、被記録媒体への画像の記録を行なうことができる。
【0035】また、各ノズル1においては、インクを飛
翔させた後、飛翔させた分のインクを供給し、次のイン
クの飛翔に備える必要がある。そのため、この例では図
9(B)に示すように、基板21の下部にインク室22
を設け、インクを貯留しておくとともに、インク供給管
23を介して図示しないインクタンクから一定の圧力で
インク室22へインクを供給するように構成することが
できる。これにより、ノズル1におけるインク面の位置
を常に一定に保ち、被記録媒体との距離を一定に保って
記録されるドットをそろえることができるので、高品質
の記録を行なうことができる。
【0036】図10は、複数のノズルをスリットによっ
て構成した例を示す平面図である。図中、31はスリッ
トである。図9に示した例では、各ノズルを開口によっ
て形成したが、図10に示すように複数のノズルに共通
のスリット31として形成することもできる。図10に
示した例では、横方向にスリット31を設け、スリット
31上のノズルに対応する位置の両側に、円弧状の振動
部材を配置している。両側に配置した振動部材の円弧の
中心を同じ位置とすることにより、その円弧の中心部か
らインクの液滴が飛翔することになる。この円弧状の振
動部材は、片側のみでもよい。
【0037】図9、図10にはマトリクスの配置構成を
示したが、これに限らず、1ラインのみの構成も可能で
ある。
【0038】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
によれば、振動エネルギーを液体インクの表面近傍に加
え、振動エネルギーを伝播集中させる構成であるため、
エネルギー効率が高く、更には振動エネルギーを微小領
域に集中させることができるので、小さな液滴を液体イ
ンクの表面に垂直な方向に精度よく吐出させることがで
きるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の記録装置の第1の実施の形態を示す
断面図である。
【図2】 本発明の記録装置の第1の実施の形態を示す
平面図である。
【図3】 本発明の記録装置の第1の実施の形態におけ
る動作原理を説明する平面図である。
【図4】 本発明の記録装置の第1の実施の形態におけ
る動作原理を説明する断面図である。
【図5】 本発明の記録装置の第2の実施の形態におけ
る発生する波頭数を説明する断面図である。
【図6】 本発明の記録装置の第2の実施の形態におけ
る発生する波高を説明する断面図である。
【図7】 本発明の記録装置の第2の実施の形態におけ
る円筒状ノズル中に生ずる波頭数と与える周波数の関係
を説明するためのグラフである。
【図8】 本発明の記録装置の第2の実施の形態におけ
る変形例の説明図である。
【図9】 複数のノズルを配置した構成例の説明図であ
る。
【図10】 複数のノズルをスリットによって構成した
例を示す平面図である。
【図11】 従来の表面弾性波を用いたインクジェット
記録方式の原理説明図である。
【符号の説明】
1…ノズル、2…振動部材、3…インク、11,12,
21…基板、22…インク室、23…インク供給管、3
1…スリット。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 阿部 敬三 神奈川県足柄上郡中井町境430 グリーン テクなかい富士ゼロックス株式会社内 (72)発明者 諏訪部 恭史 神奈川県足柄上郡中井町境430 グリーン テクなかい富士ゼロックス株式会社内

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 振動発生手段により液体インクの表面お
    よび表面近傍に振動を加え、前記液体インクの表面また
    は表面近傍を伝播する振動を集中させて液滴を飛翔さ
    せ、被記録媒体へ液滴を付着させることにより記録を行
    なうことを特徴とする記録方法。
  2. 【請求項2】 前記振動発生手段は前記液体インクの表
    面近傍に縦波を発生させ、前記液体インクの表面近傍を
    伝播する前記縦波を集中させて液滴を飛翔させることを
    特徴とする請求項1に記載の記録方法。
  3. 【請求項3】 前記振動発生手段は前記液体インクに表
    面張力波を発生させ、前記表面張力波を集中させて液滴
    を飛翔させることを特徴とする請求項1に記載の記録方
    法。
  4. 【請求項4】 内側に液体インクを保持させた円筒形ノ
    ズルと、該円筒形ノズルに形成された振動発生手段を有
    し、該振動発生手段を前記液体インクの表面と略平行な
    平面方向に振動させることにより前記液体インクに縦波
    を発生させ、前記縦波を前記円筒形ノズルの中心軸方向
    に集中させることで前記液体インクの表面から液滴を飛
    翔させることを特徴とする記録装置。
  5. 【請求項5】 内側に液体インクを保持させた円筒形ノ
    ズルと、該円筒形ノズルに形成された振動発生手段を有
    し、該振動発生手段を前記液体インクの表面に対して垂
    直方向に振動させることにより前記液体インクに表面張
    力波を発生させ、前記表面張力波を液体インク表面中央
    で波高が最も高くなるように干渉させ、前記液体インク
    の表面中央部から液滴を飛翔させることを特徴とする記
    録装置。
  6. 【請求項6】 振動発生手段は、圧電性円筒状部材また
    は複数の圧電性部材によって構成されていることを特徴
    とする請求項4または5に記載の記録装置。
  7. 【請求項7】 前記振動発生手段と前記ノズルの組をラ
    イン状に配置したことを特徴とする請求項4または5ま
    たは6に記載の記録装置。
  8. 【請求項8】 前記ノズルと前記振動発生手段の組をマ
    トリクス状に配置し、各行または列に並ぶ前記ノズルお
    よび前記振動発生手段の組を列または行方向に異なった
    位置に配置したことを特徴とする請求項4または5また
    は6に記載の記録装置。
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EP3851284A1 (en) 2020-01-16 2021-07-21 Ricoh Company, Ltd. Method of manufacturing liquid discharge head and method of manufacturing liquid discharge apparatus
EP3858621A1 (en) 2020-01-28 2021-08-04 Ricoh Company, Ltd. Liquid discharge head, liquid discharge apparatus, and method for manufacturing liquid discharge head
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