JPH09196929A - Surface observing apparatus and surface observing method, recording apparatus and recording method, and reproducing apparatus and reproducing method - Google Patents
Surface observing apparatus and surface observing method, recording apparatus and recording method, and reproducing apparatus and reproducing methodInfo
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Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【課題】観察時に生じる不必要な電界、静電力の発生を
抑制し、より正確な表面観察装置および表面観察方法を
提供する。
【解決手段】試料ホルダに支持された試料の試料表面ま
たは導電性基板と該導電性基板上に形成され非導電性部
分を含む記録層に対向して配置され、かつ弾性体に支持
されたプローブ（ＰＶ）を用い、ＰＶと試料表面または
記録層表面との位置を移動させ、前記試料表面または記
録媒体とＰＶとの間に発生する相互作用を検出すること
により試料表面を観察する表面観察装置と方法または前
記記録媒体と前記プローブとの間に物理作用を加えるこ
とにより記録を行う記録装置と方法、或は記録媒体とＰ
Ｖとの間に発生する物理作用を検出して再生を行う再生
装置と方法において、前記弾性体の表面が導電性を有
し、前記試料ホルダの一部分又は前記試料の一部分もし
くはその両者と前記弾性体の導電性部分とを同電位に保
ちながら観察を行い、または、ＰＶと前記導電性基板と
を常に同電位に保ちながら記録、再生を行う。
(57) [Abstract] (Correction) [PROBLEMS] To provide a more accurate surface observation apparatus and surface observation method that suppresses generation of unnecessary electric field and electrostatic force generated during observation. A probe supported by a sample holder supported on a sample surface or a conductive substrate and a recording layer formed on the conductive substrate and including a non-conductive portion, and supported by an elastic body. A surface observation device for observing the sample surface by using (PV) and moving the position of the PV surface to the sample surface or the recording layer surface and detecting the interaction generated between the sample surface or the recording medium and the PV. And method, or a recording apparatus and method for recording by applying a physical action between the recording medium and the probe, or a recording medium and P
In a reproducing apparatus and method for detecting a physical action generated between the elastic member and V, the surface of the elastic body is electrically conductive, and a part of the sample holder or a part of the sample or both of them and the elastic member are used. Observation is performed while maintaining the same potential as the conductive portion of the body, or recording and reproduction are performed while always maintaining the same potential between PV and the conductive substrate.
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は走査型プローブ顕微
鏡の原理を応用した情報処理装置に係り、特に、このよ
うな走査型プローブ顕微鏡の原理を応用した表面観察装
置と表面観察方法、記録装置と記録方法、及び再生装置
と再生方法に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an information processing apparatus applying the principle of a scanning probe microscope, and more particularly to a surface observing apparatus, a surface observing method and a recording apparatus applying the principle of such a scanning probe microscope. The present invention relates to a recording method, a reproducing device and a reproducing method.
【０００２】[0002]
【従来の技術】近年、物質の表面を原子オーダーの分解
能で観察できる走査型トンネル顕微鏡（以下ＳＴＭとい
う）［Ｇ．Ｂｉｎｎｉｇ ｅｔ ａｌ．，Ｐｈｙｓｉｃ
ａｌＲｅｖｉｅｗ Ｌｅｔｔｅｒｓ 第４９巻５７頁
（１９８２）］が開発され、原子、分子レベルの実空間
観察が可能になってきた。走査型トンネル顕微鏡は、ト
ンネル電流を一定に保つようにプローブ電極、導電性試
料の距離を制御しながら走査し、その時の制御信号から
試料表面の電子雲の情報、試料の形状をサブナノメート
ルのオーダーで観測することができる。また、物質の表
面をやはり高分解能で観察できる手段として原子間力顕
微鏡（以下ＡＦＭという）が開発されている。ＳＴＭあ
るいはＡＦＭ等、試料表面をプローブを用いて２次元走
査を行い、そのプローブと試料表面の相互作用から試料
表面の物理情報を観測する手段は一般に走査型プローブ
顕微鏡（ＳＰＭ）といわれ、高分解能の表面観察手段と
して注目されている。2. Description of the Related Art In recent years, a scanning tunneling microscope (hereinafter referred to as STM) [G. Binnig et al. , Physic
alReview Letters, Vol. 49, p. 57 (1982)] has been developed to enable real-space observation at the atomic and molecular level. The scanning tunneling microscope scans while controlling the distance between the probe electrode and the conductive sample so as to keep the tunnel current constant, and the information of the electron cloud on the sample surface from the control signal at that time and the sample shape on the order of sub-nanometers. It can be observed at. An atomic force microscope (hereinafter referred to as AFM) has been developed as a means for observing the surface of a substance with high resolution. A means such as STM or AFM that two-dimensionally scans the sample surface with a probe and observes physical information on the sample surface from the interaction between the probe and the sample surface is generally called a scanning probe microscope (SPM) and has a high resolution. Has been attracting attention as a surface observation means.
【０００３】また、情報の大型化にともなって、大容量
化への要求が非常に強くなってきている。そこでこれら
ＳＰＭの原理を応用すれば、十分に原子オーダー（サブ
ナノメートルオーダー）での高密度再生を行うことが可
能である。このような記録再生方法として、例えば原子
間力顕微鏡を用いて記録媒体に力を加えて記録媒体に穴
状の構造を形成させることにより記録を行い、記録され
たビットを原子間力顕微鏡の原理を用いてよみだすとい
う方法がＡｐｐｌｉｅｄ Ｐｈｙｓｉｃｓ Ｌｅｔｔｅ
ｒｓ 第６１巻１００３頁（１９９２年）に開示されて
いる。この方法によれば、大容量の記録が単純な機構で
可能となる。Further, with the increase in size of information, the demand for large capacity has become very strong. Therefore, by applying these SPM principles, it is possible to sufficiently perform high-density reproduction on the atomic order (sub-nanometer order). As such a recording / reproducing method, for example, an atomic force microscope is used to apply a force to a recording medium to form a hole-like structure in the recording medium for recording, and the recorded bit is recorded on the basis of the principle of the atomic force microscope. The method of reading out by using Applied Physics Letter
rs 61: 1003 (1992). According to this method, large-capacity recording is possible with a simple mechanism.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来に
おいては、この様なＳＰＭ技術により試料表面を観察す
る際、実際には予期せぬ電界が存在することがあり、プ
ローブが不必要な力を受けて正確な測定ができなくなる
という問題があった。また、観察中に試料を帯電させて
しまう場合があり、この場合もプローブに不必要な力を
受けて正確な測定ができなくなったり、試料の状態を変
化させてしまったりする恐れがある。またＳＰＭ技術を
応用して情報を記録したり再生するときに、不必要な電
界が発生したりプローブの走査にともない記録媒体が電
荷を帯びてしまい、情報を記録しようとしたときにエラ
ーを生じたり、また読みだすときに情報を間違って読み
だしてしまう可能性があった。例えば、従来の技術で述
べたＡＦＭを用いて記録媒体に力を加えて記録媒体に穴
を開けて記録を行う方法（Ａｐｐｌｉｅｄ Ｐｈｙｓｉ
ｃｓ Ｌｅｔｔｅｒｓ第６１巻１００３頁，１９９２
年）の場合、プローブ材料としてＳｉ3Ｎ4、記録媒体と
してはポリメチルメタクリレート（ＰＭＭＡ）を用いて
いる。この場合、プローブと記録媒体を接触させたり、
プローブを記録媒体上で走査することにより記録媒体に
静電荷が誘起されることがある。また、プローブにも同
様に静電荷が誘起される場合がある。記録媒体やプロー
ブに静電荷が生じると、記録時や再生時にプローブと記
録媒体との間に予期せぬ力が働き、記録時のエラーや再
生時のエラーを生じさせる原因となる場合がある。ま
た、プローブ周辺に不必要な電界が生じるとプローブが
異常な動きを示したりする等の問題点が発生する場合が
ある。However, in the prior art, when observing the sample surface by such an SPM technique, an unexpected electric field may actually exist, and the probe receives an unnecessary force. There was a problem that accurate measurement could not be performed. In addition, the sample may be charged during the observation, and in this case, too, the probe may receive an unnecessary force, making it impossible to perform accurate measurement or changing the state of the sample. Further, when information is recorded or reproduced by applying the SPM technology, an unnecessary electric field is generated or the recording medium is charged with scanning of the probe, and an error occurs when the information is recorded. Or, there is a possibility that the information may be wrongly read when reading again. For example, a method of applying a force to the recording medium by using the AFM described in the related art to make a hole in the recording medium to perform recording (Applied Physi).
cs Letters Vol. 61, p. 1003, 1992.
1), Si3N4 is used as the probe material and polymethylmethacrylate (PMMA) is used as the recording medium. In this case, contact the probe with the recording medium,
Electrostatic charges may be induced in the recording medium by scanning the probe on the recording medium. Further, electrostatic charges may be similarly induced in the probe. When electrostatic charge is generated in the recording medium or the probe, an unexpected force may be applied between the probe and the recording medium during recording or reproduction, which may cause an error during recording or an error during reproduction. In addition, when an unnecessary electric field is generated around the probe, problems such as abnormal movement of the probe may occur.
【０００５】そこで、本発明は上記従来のものにおける
課題を解決するため、観察時に生じる不必要な電界、静
電力の発生を抑制し、より正確な表面観察装置および表
面観察方法を提供することを目的とするものである。ま
た本発明は、記録時、再生時に生じる不必要な電界、静
電力の発生を抑制し、エラーの可能性の少ない記録装置
と記録方法、及び再生装置と再生方法を提供することを
目的とするものである。Therefore, in order to solve the above-mentioned problems in the prior art, the present invention suppresses the generation of unnecessary electric field and electrostatic force generated during observation, and provides a more accurate surface observation apparatus and surface observation method. It is intended. It is another object of the present invention to provide a recording apparatus and a recording method, and a reproducing apparatus and a reproducing method that suppress the generation of unnecessary electric field and electrostatic force that occur during recording and reproduction and that have less possibility of error. It is a thing.
【０００６】[0006]
【課題を解決するための手段】本発明は、上記課題を解
決するため、表面観察装置と表面観察方法、記録装置と
記録方法、及び再生装置と再生方法について、つぎのよ
うに構成したことを特徴とするものである。In order to solve the above-mentioned problems, the present invention is configured as follows for a surface observing device and a surface observing method, a recording device and a recording method, and a reproducing device and a reproducing method. It is a feature.
【０００７】まず、本発明の表面観察装置は、試料ホル
ダに固定した試料の試料表面に対向して配置され、表面
の少なくとも一部分が導電性であるプローブと、前記プ
ローブと記録層表面との位置を移動させる移動手段と、
前記試料表面と前記プローブとの間に発生する相互作用
を検出する相互作用検出手段と、前記試料ホルダの一部
又は前記試料の一部のいずれかもしくはその両者が導電
性を有し、かつ該導電性部分と前記プローブの導電性部
分とを常に同電位に保つ同電位保持手段と、を具備した
ことを特徴とする。そして、この表面観察装置において
は、前記プローブの導電性部分をプローブの試料と接す
る部分により構成することができ、また、前記プローブ
を弾性体で支持するようにしてもよい。また、本発明の
別の表面観察装置は、試料ホルダに固定した試料の試料
表面に対向して配置され、弾性体に支持されたプローブ
と、前記プローブと記録層表面との位置を移動させる移
動手段と、前記試料表面と前記プローブとの間に発生す
る相互作用を検出する相互作用検出手段とを具備し、前
記弾性体表面の少なくとも一部が導電性を有すると共
に、前記試料ホルダの一部又は前記試料の一部のいずれ
かもしくは両者が導電性を有し、かつ該導電性部分と前
記弾性体の導電性部分とを常に同電位に保つ同電位保持
手段を備えたことを特徴とする。この場合、前記プロー
ブの表面の少なくとも一部が導電性を有し、前記同電位
保持手段が、前記プローブの表面の導電性部分をもあわ
せて同電位に保つ構成を採ることができる。そして、本
発明においては、前記同電位保持手段は、導電性部材を
用いて直接接続する構成を採るものでもよく、また、き
ょう体に接地するものであってもよい。First, the surface observation apparatus of the present invention is arranged so as to face a sample surface of a sample fixed to a sample holder, and at least a part of the surface is a probe, and the position of the probe and the surface of the recording layer. Means for moving the
An interaction detecting means for detecting an interaction generated between the sample surface and the probe, and either one of the sample holder or the sample or both have conductivity, and It is characterized by further comprising an equal potential holding means for keeping the conductive portion and the conductive portion of the probe at the same potential all the time. Further, in this surface observation apparatus, the conductive portion of the probe can be constituted by a portion of the probe that contacts the sample, and the probe may be supported by an elastic body. Further, another surface observation device of the present invention is arranged so as to face the sample surface of the sample fixed to the sample holder, and the probe supported by the elastic body and the movement for moving the positions of the probe and the recording layer surface. Means and interaction detecting means for detecting an interaction occurring between the sample surface and the probe, at least a part of the elastic body surface having conductivity, and a part of the sample holder Alternatively, one or both of a part of the sample has conductivity, and an equipotential holding means for keeping the electroconductive portion and the electroconductive portion of the elastic body at the same electric potential is provided. . In this case, at least a part of the surface of the probe has conductivity, and the same potential holding means can also hold the conductive part of the surface of the probe at the same potential. Further, in the present invention, the same potential holding means may be configured to be directly connected by using a conductive member, or may be grounded to the casing.
【０００８】つぎに、本発明の表面観察方法は、試料ホ
ルダに固定した試料の試料表面に対向して配置されたプ
ローブを用い、前記プローブと前記試料表面との位置を
移動させ、前記試料表面と前記プローブとの間に発生す
る相互作用を検出することにより試料表面を観察する表
面観察方法において、前記プローブの表面の少なくとも
一部が導電性を有すると共に、前記試料ホルダの一部又
は前記試料の一部のいずれかもしくはその両者が導電性
を有し、かつ該導電性部分と前記プローブの導電性部分
を同電位に保ちながら観察することを特徴とする。そし
て、この表面観察方法においては、前記プローブの導電
性部分が、プローブの試料と接する部分により構成する
ことができ、また、前記プローブを弾性体で支持するよ
うにしてもよい。また、本発明の別の表面観察方法は、
試料ホルダに支持された試料の試料表面に対向して配置
され、かつ弾性体に支持されたプローブを用い、前記プ
ローブと前記試料表面との位置を移動させ、前記試料表
面と前記プローブとの間に発生する相互作用を検出する
ことにより試料表面を観察する表面観察方法において、
前記弾性体の表面の少なくとも一部が導電性を有し、前
記試料ホルダの一部分又は前記試料の一部分もしくはそ
の両者と前記弾性体の導電性部分とを同電位に保ちなが
ら観察することを特徴とする。この場合、前記プローブ
の表面の少なくとも一部が導電性を有し、前記プローブ
の表面の導電性部分をもあわせて同電位に保つ構成を採
ることができる。そして、本発明においては、前記同電
位に保つ方法は、導電性部材を用いて直接接続する構成
を採るものでもよく、また、きょう体に接地するもので
あってもよい。Next, the surface observing method of the present invention uses a probe arranged facing the sample surface of the sample fixed to the sample holder, and moves the positions of the probe and the sample surface to move the sample surface. In the surface observation method for observing the sample surface by detecting the interaction that occurs between the probe and the probe, at least a part of the surface of the probe has conductivity, and a part of the sample holder or the sample Either one or both of them has conductivity, and the observation is performed while keeping the conductive portion and the conductive portion of the probe at the same potential. Further, in this surface observation method, the conductive portion of the probe can be configured by a portion of the probe that comes into contact with the sample, and the probe may be supported by an elastic body. Further, another surface observation method of the present invention,
Between the sample surface and the probe, the position of the probe and the sample surface is moved by using a probe that is arranged to face the sample surface of the sample supported by the sample holder and is supported by an elastic body. In the surface observation method of observing the sample surface by detecting the interaction that occurs in
At least a part of the surface of the elastic body has conductivity, and a part of the sample holder or a part of the sample or both and the conductive part of the elastic body are observed while being kept at the same potential. To do. In this case, at least a part of the surface of the probe may be conductive, and the conductive part of the surface of the probe may be kept at the same potential. Further, in the present invention, the method of maintaining the same potential may adopt a configuration in which a conductive member is used for direct connection, or may be a method of grounding to the casing.
【０００９】つぎに、本発明の記録装置は、導電性基板
と該導電性基板上に形成され非導電性部分を含む記録層
と、前記記録層表面に対向して配置される少なくとも表
面の一部が導電性のプローブと、前記プローブと記録層
表面との位置を移動させる移動手段と、前記記録層表面
と前記プローブとの間に物理作用を加える物理作用印加
手段と、前記プローブと前記導電性基板とを常に同電位
に保つ同電位保持手段とを具備することを特徴とする。
そして、この記録装置においては、前記プローブの導電
性部分をプローブの記録層表面と接する部分により構成
することができ、また、前記プローブを弾性体で支持す
るようにしてもよい。また、本発明の別の記録装置は、
導電性基板と該導電性基板上に形成され非導電性部分を
含む記録層と、前記記録層表面に対向して配置され弾性
体に支持されたプローブと、前記プローブと記録層表面
との位置を移動させる移動手段と、前記記録層表面と前
記プローブとの間に物理作用を加える物理作用印加手段
とを具備し、前記弾性体表面の少なくとも一部が導電性
を有し、前記導電性基板と前記弾性体の導電性部分を常
に同電位に保つ同電位保持手段を備えたことを特徴とす
る。この場合、前記プローブの表面の少なくとも一部が
導電性を有し、前記同電位保持手段が、前記プローブの
表面の導電性部分をもあわせて同電位に保つ構成を採る
ことができる。そして、本発明においては、前記同電位
保持手段は、導電性部材を用いて直接接続する構成を採
るものでもよく、また、きょう体に接地するものであっ
てもよい。Next, the recording apparatus of the present invention comprises a conductive substrate, a recording layer formed on the conductive substrate and containing a non-conductive portion, and at least one surface of the recording layer facing the surface of the recording layer. The part is a conductive probe, moving means for moving the position of the probe and the recording layer surface, physical action applying means for applying a physical action between the recording layer surface and the probe, the probe and the conductive And the same potential holding means for always keeping the same potential.
Further, in this recording apparatus, the conductive portion of the probe can be configured by a portion in contact with the surface of the recording layer of the probe, and the probe may be supported by an elastic body. Another recording device of the present invention is
A conductive substrate, a recording layer formed on the conductive substrate and including a non-conductive portion, a probe disposed facing the recording layer surface and supported by an elastic body, and positions of the probe and the recording layer surface. And a physical action applying unit that applies a physical action between the recording layer surface and the probe, wherein at least a part of the elastic body surface has conductivity, and the conductive substrate And an electric potential holding means for always keeping the conductive portion of the elastic body at the same electric potential. In this case, at least a part of the surface of the probe has conductivity, and the same potential holding means can also hold the conductive part of the surface of the probe at the same potential. Further, in the present invention, the same potential holding means may be configured to be directly connected by using a conductive member, or may be grounded to the casing.
【００１０】つぎに、本発明の記録方法は、導電性基板
に形成され、非導電性部分を含む記録層と、前記記録層
表面に対向して配置され、前記記録層表面との位置が移
動できる機構とを有し、かつその少なくともその表面の
一部分が導電性であるプローブを用い、前記記録層表面
と前記プローブとの間に物理作用を加えることにより記
録を行う記録方法において、前記プローブと前記導電性
基板とを常に同電位に保ちながら記録を行うことを特徴
とする。そして、この記録方法においては、前記プロー
ブの導電性部分をプローブの記録層表面と接する部分に
より構成することができ、また、前記プローブを弾性体
で支持するようにしてもよい。また、本発明の別の記録
方法は、導電性基板に形成され、非導電性部分を含む記
録層と、前記記録層表面に対向して配置され、前記記録
層表面との位置が移動できる機構とを有し、かつ少なく
ともその表面の一部分が導電性である弾性体により支持
されたプローブを用い、前記記録層表面と前記プローブ
との間に物理作用を加えることにより記録を行う記録方
法において、前記弾性体の導電性部分と前記導電性基板
とを常に同電位に保ちながら記録を行うことを特徴とす
る。この場合、前記プローブの表面の少なくとも一部が
導電性を有し、前記プローブの表面の導電性部分をもあ
わせて同電位に保つ構成を採ることができる。そして、
本発明においては、前記同電位に保つ方法は、導電性部
材を用いて直接接続する構成を採るものでもよく、ま
た、きょう体に接地するものであってもよい。Next, according to the recording method of the present invention, a recording layer formed on a conductive substrate and including a non-conductive portion is disposed so as to face the recording layer surface, and the position of the recording layer surface is moved. And a recording method for recording by using a probe having at least a part of its surface that is electrically conductive, and applying a physical action between the recording layer surface and the probe, It is characterized in that recording is performed while always keeping the same potential as the conductive substrate. Further, in this recording method, the conductive portion of the probe can be constituted by a portion in contact with the surface of the recording layer of the probe, and the probe may be supported by an elastic body. Further, another recording method of the present invention is a mechanism, which is formed on a conductive substrate and includes a non-conductive portion, is arranged so as to face the recording layer surface, and the position of the recording layer surface can be moved. And a recording method for recording by using a probe supported by an elastic body at least a part of the surface of which is electrically conductive, by applying a physical action between the recording layer surface and the probe, Recording is performed while the conductive portion of the elastic body and the conductive substrate are always kept at the same potential. In this case, at least a part of the surface of the probe may be conductive, and the conductive part of the surface of the probe may be kept at the same potential. And
In the present invention, the method of maintaining the same potential may employ a configuration in which a conductive member is used for direct connection, or may be grounding to the casing.
【００１１】つぎに、本発明の再生装置は、導電性基板
と該導電性基板上に形成され非導電性部分を含む記録層
と、前記記録層表面に対向して配置される少なくとも表
面の一部が導電性のプローブと、前記プローブと記録層
表面との位置を移動させる移動手段と、前記記録層表面
と前記プローブとの間に発生する物理作用を検出する物
理作用検出手段と、前記プローブと前記導電性基板とを
常に同電位に保つ同電位保持手段とを具備することを特
徴とする。そして、この再生装置においては、前記プロ
ーブの導電性部分をプローブの記録層表面と接する部分
により構成することができ、また、前記プローブを弾性
体で支持するようにしてもよい。また、本発明の別の再
生装置は、導電性基板と該導電性基板上に形成され非導
電性部分を含む記録層と、前記記録層表面に対向して配
置され弾性体に支持されたプローブと、前記プローブと
記録層表面との位置を移動させる移動手段と、前記記録
層表面と前記プローブとの間に発生する物理作用を検出
する物理作用検出手段とを具備し、前記弾性体表面の少
なくとも一部が導電性を有し、前記導電性基板と前記弾
性体の導電性部分を常に同電位に保つ同電位保持手段を
備えたことを特徴とする。この場合、前記プローブの表
面の少なくとも一部が導電性を有し、前記同電位保持手
段が、前記プローブの表面の導電性部分をもあわせて同
電位に保つ構成を採ることができる。そして、本発明に
おいては、前記同電位保持手段は、導電性部材を用いて
直接接続する構成を採るものでもよく、また、きょう体
に接地するものであってもよい。Next, the reproducing apparatus of the present invention comprises a conductive substrate, a recording layer formed on the conductive substrate and including a non-conductive portion, and at least one surface of the recording layer facing the recording layer surface. A conductive probe, a moving means for moving the position of the probe and the surface of the recording layer, a physical action detecting means for detecting a physical action occurring between the surface of the recording layer and the probe, and the probe And an electric potential holding means for keeping the conductive substrate at the same electric potential at all times. Further, in this reproducing apparatus, the conductive portion of the probe can be constituted by a portion in contact with the surface of the recording layer of the probe, and the probe may be supported by an elastic body. Another reproducing apparatus of the present invention includes a conductive substrate, a recording layer formed on the conductive substrate and including a non-conductive portion, and a probe disposed facing the surface of the recording layer and supported by an elastic body. A moving means for moving the positions of the probe and the recording layer surface, and a physical action detecting means for detecting a physical action occurring between the recording layer surface and the probe, At least a part thereof has conductivity, and an equipotential holding unit for keeping the electroconductive substrate and the electroconductive portion of the elastic body at the same electric potential is provided. In this case, at least a part of the surface of the probe has conductivity, and the same potential holding means can also hold the conductive part of the surface of the probe at the same potential. Further, in the present invention, the same potential holding means may be configured to be directly connected by using a conductive member, or may be grounded to the casing.
【００１２】さらに、本発明の再生方法は、導電性基板
に形成され、非導電性部分を含む記録層と、前記記録層
表面に対向して配置され、前記記録層表面との位置が移
動できる機構とを有し、かつその少なくともその表面の
一部分が導電性であるプローブを用い、前記記録層表面
と前記プローブとの間に発生する物理作用を検出するこ
とにより再生を行う再生方法において、前記プローブと
前記導電性基板とを常に同電位に保ちながら再生を行う
ことを特徴とする。そして、この再生方法においては、
前記プローブの導電性部分をプローブの記録層表面と接
する部分により構成することができ、また、前記プロー
ブを弾性体で支持するようにしてもよい。また、本発明
の別の再生方法は、導電性基板に形成され、非導電性部
分を含む記録層と、前記記録層表面に対向して配置さ
れ、前記記録層表面との位置が移動できる機構とを有
し、かつ少なくともその表面の一部分が導電性である弾
性体により支持されたプローブを用い、前記記録層表面
と前記プローブとの間に発生する物理作用を検出するこ
とにより再生を行う再生方法において、前記弾性体の導
電性部分と前記導電性基板とを常に同電位に保ちながら
再生を行うことを特徴とする。この場合、前記プローブ
の表面の少なくとも一部が導電性を有し、前記プローブ
の表面の導電性部分をもあわせて同電位に保つ構成を採
ることができる。そして、本発明においては、前記同電
位に保つ方法は、導電性部材を用いて直接接続する構成
を採るものでもよく、また、きょう体に接地するもので
あってもよい。Further, in the reproducing method of the present invention, the position of the recording layer formed on the conductive substrate and including the non-conductive portion and the recording layer surface facing the recording layer surface can be moved. In a reproducing method for reproducing by using a probe having a mechanism and at least a part of its surface being conductive, and detecting a physical action occurring between the recording layer surface and the probe, It is characterized in that the probe and the conductive substrate are always kept at the same potential to perform the reproduction. And in this playback method,
The conductive portion of the probe can be constituted by a portion in contact with the surface of the recording layer of the probe, and the probe may be supported by an elastic body. Another reproducing method of the present invention is a mechanism, which is formed on a conductive substrate and includes a non-conductive portion, and is arranged so as to face the surface of the recording layer, and the position of the surface of the recording layer can be moved. And reproducing by detecting a physical action occurring between the surface of the recording layer and the probe, using a probe supported by an elastic body having at least a part of its surface conductive. In the method, the reproduction is performed while the conductive portion of the elastic body and the conductive substrate are always kept at the same potential. In this case, at least a part of the surface of the probe may be conductive, and the conductive part of the surface of the probe may be kept at the same potential. Further, in the present invention, the method of maintaining the same potential may adopt a configuration in which a conductive member is used for direct connection, or may be a method of grounding to the casing.
【００１３】[0013]
【発明の実施の形態】本発明は、上記した構成を備えて
おり、これにより上記目的を達成するものであるが、つ
ぎに、さらにその内容を具体的に説明する。本発明の表
面観察装置は、上記したとおり試料を固定する試料ホル
ダと試料表面に対向して配置され、表面の少なくとも一
部分が導電性であるプローブと、前記プローブと記録層
表面との位置を移動させる移動手段と前記試料表面と前
記プローブとの間に発生する相互作用を検出する相互作
用検出手段と前記試料ホルダの一部又は前記試料の一部
のいずれかもしくは両者が導電性を有しかつ該導電性部
分と前記プローブの導電性部分とを常に同電位に保つ同
電位保持手段とを具備している。ここで、試料ホルダは
観察しようとする試料を固定するものである。プローブ
は試料表面と接して、または試料表面に接近して、試料
表面と平行（以下ＸＹ方向という）に２次元的に走査す
るものであり、この走査をおこなうのが移動手段であ
る。また、移動手段はプローブと試料の相対的な位置を
ＸＹ方向に移動するのみならず、試料表面と垂直な方向
（以下Ｚ方向という）の位置も移動させる。プローブと
試料との間に発生する相互作用は相互作用検出手段によ
り検出される。相互作用としては力、電流、電圧、磁
気、光等が挙げられる。プローブを試料と平行にＸＹ方
向に走査を行うと、この相互作用の大きさが変化する
が、この相互作用の大きさをマッピングしてもよいが、
一般的には相互作用の大きさが一定になるようにプロー
ブのＺ方向の位置に対してフィードバック制御を行い、
その信号から試料の情報を得る。本発明による観察装置
ではプローブの表面の少なくとも一部は導電性材料で形
成されている。また、本発明においては試料又は試料ホ
ルダの一部分が導電性を有している。試料の一部が導電
性を有しているとは、例えば試料の構成が導電性材料の
上に薄膜が堆積している場合が挙げられる。試料の一部
を導電性とする場合は試料表面とこの導電性部分が近い
方がより効果が大きい。また、試料ホルダの一部が導電
性を有しているとは例えは試料ホルダが金属でできてい
たり、表面の試料側が金属でコートされている場合等が
ある。同電位保持手段は、このプローブの導電性部分が
試料ホルダの導電性部分又は試料の導電性部分もしくは
その両者が同じ電位になるように動作する。これによ
り、プローブ、試料の周辺に不必要な電界の発生が抑制
され、また、試料とプローブの電位差により不必要な電
荷が発生することが抑制できる。このプローブ表面の導
電性部分が大きいほどその効果は大きい。また、プロー
ブが試料と接する場合、プローブの導電性部分に試料が
接する部分が含まれているとその効果は一段と大きくな
る。また、プローブが弾性体に支持されている場合プロ
ーブ先端に働く電気力はプローブの動きに大きな影響を
与えるのでその本発明による効果がより著しく発揮され
る。また、同電位保持手段は例えば電気回路をとおして
常に同じ電位に保つものでもよいが、単に両者を導体で
接続すると、急激な変動にも追従でき、また機構も簡単
である。また、きょう体に接続することにより、装置内
の電位の分布を少なくすることができより大きな効果を
あげることができる。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION The present invention has the above-mentioned constitution, and thereby achieves the above-mentioned object. Next, the content thereof will be explained more concretely. The surface observation apparatus of the present invention is arranged such that the sample holder for fixing the sample and the sample surface are opposed to each other as described above, and at least a part of the surface is conductive, and the positions of the probe and the recording layer surface are moved. The moving means, the interaction detecting means for detecting an interaction that occurs between the sample surface and the probe, and either one or both of the sample holder and the sample holder, or both have conductivity. The electroconductive part and the electroconductive part of the probe are provided with the same potential holding means for always keeping the same potential. Here, the sample holder is for fixing the sample to be observed. The probe is for two-dimensionally scanning in parallel to the sample surface (hereinafter referred to as XY direction) in contact with or close to the sample surface, and the moving means performs this scanning. Further, the moving means not only moves the relative position of the probe and the sample in the XY directions, but also moves the position in the direction perpendicular to the sample surface (hereinafter referred to as the Z direction). The interaction generated between the probe and the sample is detected by the interaction detection means. The interaction includes force, current, voltage, magnetism, light and the like. When the probe is scanned parallel to the sample in the XY directions, the magnitude of this interaction changes, but the magnitude of this interaction may be mapped.
Generally, feedback control is performed on the position of the probe in the Z direction so that the magnitude of the interaction becomes constant,
The sample information is obtained from the signal. In the observation device according to the present invention, at least a part of the surface of the probe is made of a conductive material. Further, in the present invention, a part of the sample or the sample holder has conductivity. The fact that a part of the sample has conductivity means, for example, that the sample has a structure in which a thin film is deposited on a conductive material. When a part of the sample is made to be conductive, it is more effective if the sample surface is closer to the conductive part. Further, a part of the sample holder having conductivity may be, for example, a case where the sample holder is made of metal, or the surface of the sample holder is coated with metal. The same potential holding means operates so that the conductive portion of the probe has the same potential as the conductive portion of the sample holder, the conductive portion of the sample, or both. As a result, generation of unnecessary electric field around the probe and the sample can be suppressed, and generation of unnecessary electric charge due to the potential difference between the sample and the probe can be suppressed. The larger the conductive portion of the probe surface, the greater the effect. Further, when the probe is in contact with the sample, if the conductive part of the probe includes the part in contact with the sample, the effect is further enhanced. Further, when the probe is supported by the elastic body, the electric force acting on the tip of the probe has a great influence on the movement of the probe, so that the effect of the present invention is more remarkably exhibited. Further, the same potential holding means may be, for example, one that always keeps the same potential through an electric circuit, but if both are simply connected by a conductor, it is possible to follow a sudden change and the mechanism is simple. Also, by connecting to the casing, the distribution of the electric potential in the device can be reduced and a greater effect can be achieved.
【００１４】また、本発明においては、上記した表面観
察装置とは別の形態として、プローブを支持する弾性体
に導電体を含む構成を採る表面観察装置を構成すること
ができる。この形態の発明は、試料を固定する試料ホル
ダと試料表面に対向して配置され弾性体に支持されたプ
ローブと、前記プローブと記録層表面との位置を移動さ
せる移動手段と前記記録媒体と前記プローブとの間に発
生する相互作用を検出する相互作用検出手段とを具備し
前記弾性体表面の少なくとも一部が導電性を有し、前記
試料ホルダの一部又は前記試料の一部のいずれかもしく
は両者が導電性を有しかつ該導電性部分と前記弾性体の
導電性部分とを常に同電位に保つ同電位保持手段とを具
備している。この形態の発明における、試料、試料ホル
ダ、移動手段、相互作用検出手段は、先に述べた表面観
察装置と同様であるが、この形態の表面観察装置はプロ
ーブが弾性体に支持されている場合であり、その弾性体
自身も静電気力の影響を受ける。したがって、この弾性
体自身を試料と同電位にすることが望ましい。このため
弾性体表面を導電性材料にして、試料となるべく同電位
にするために、この導電性材料の部分を試料と試料ホル
ダの導電性部分のいずれかまたは両方と同電位にする。
この場合、プローブもあわせて同電位にすることにより
効果が増大する。また、同電位保持手段は例えば電気回
路をとおして常に同じ電位に保つものでもよいが、単に
両者を導体で接続すると、急激な変動にも追従でき、ま
た機構も簡単である。また、きょう体に接続することに
より、装置内の電位の分布を少なくすることができより
大きな効果をあげることができる。Further, in the present invention, as a form different from the above-mentioned surface observation device, a surface observation device having a structure in which an elastic body supporting the probe includes a conductor is constituted. In the invention of this aspect, a sample holder for fixing a sample, a probe which is arranged facing the sample surface and supported by an elastic body, a moving means for moving the positions of the probe and the recording layer surface, the recording medium, and the recording medium are provided. Interaction detecting means for detecting an interaction occurring with a probe, at least a part of the elastic body surface is conductive, and either a part of the sample holder or a part of the sample Alternatively, both of them have conductivity, and the same potential holding means for keeping the conductive portion and the conductive portion of the elastic body always at the same potential is provided. The sample, the sample holder, the moving means, and the interaction detecting means in the invention of this form are the same as those of the surface observation device described above, but in the surface observation device of this form, when the probe is supported by the elastic body. The elastic body itself is also affected by the electrostatic force. Therefore, it is desirable that the elastic body itself has the same potential as the sample. Therefore, in order to make the surface of the elastic body a conductive material so that the sample has the same potential as possible, this conductive material portion is set to the same potential as either or both of the sample and the conductive portion of the sample holder.
In this case, the effect is increased by bringing the probes together to the same potential. Further, the same potential holding means may be, for example, one that always keeps the same potential through an electric circuit, but if both are simply connected by a conductor, it is possible to follow a sudden change and the mechanism is simple. Also, by connecting to the casing, the distribution of the electric potential in the device can be reduced and a greater effect can be achieved.
【００１５】また、本発明の表面観察方法は、試料表面
に対向して配置され、かつ弾性体に支持されたプローブ
を用い、前記プローブと前記試料表面との位置を移動さ
せ、前記試料表面と前記プローブとの間に発生する相互
作用を検出することにより試料表面を観察する表面観察
方法において、前記弾性体の表面の少なくとも一部が導
電性を有し、前記試料ホルダの一部又は前記試料の一部
もしくはその両者が導電性を有しかつ該導電性部分と前
記弾性体の導電性部分とを等電位に保ちながら観察する
ことによって実現されるものであるが、その実行につい
ては上記した本発明の観察装置を用いることに限られる
ものではない。また、本発明の表面観察方法の他のもの
は、導電性基板に形成され、非導電性部分を含む記録層
と、前記記録層表面に対向して配置され、前記記録層表
面との位置が移動できる機構とを有し、かつ少なくとも
その表面の一部分が導電性である弾性体により支持され
たプローブを用い、前記記録層表面と前記プローブとの
間に物理作用を加えることにより記録を行うことにより
達成されるが、この表面観察方法の実行については本発
明の表面観察装置を用いることに限られるものではな
い。また、この場合、プローブもあわせて同電位にする
ことにより効果が増大する。Further, the surface observation method of the present invention uses a probe which is arranged so as to face the sample surface and is supported by an elastic body, and the positions of the probe and the sample surface are moved to move the sample surface to the sample surface. In a surface observation method for observing a sample surface by detecting an interaction that occurs with the probe, at least a part of the surface of the elastic body has conductivity, and a part of the sample holder or the sample Part of or both of them have conductivity, and are realized by observing the conductive part and the conductive part of the elastic body while keeping the same potential, but the execution is described above. It is not limited to using the observation device of the present invention. Further, another method of observing the surface of the present invention is that a recording layer formed on a conductive substrate and including a non-conductive portion is arranged so as to face the recording layer surface, and the position of the recording layer surface is Recording is performed by applying a physical action between the recording layer surface and the probe, using a probe having a movable mechanism and at least a part of its surface supported by an elastic body. However, execution of this surface observation method is not limited to using the surface observation apparatus of the present invention. Further, in this case, the effect is increased by bringing the probes together to the same potential.
【００１６】また、本発明の記録装置は、導電性基板
と、前記導電性基板上に形成され、非導電性部分を含む
記録層と、前記記録層表面に対向して配置される少なく
とも表面の一部が導電性のプローブと、前記プローブと
記録層表面との位置を移動させる移動手段と前記記録層
表面と前記プローブとの間に物理作用を加える物理作用
印加手段と、前記プローブと前記導電性基板とを常に同
電位に保つ同電位保持手段とを具備する。ここで、導電
性基板とは、記録層の下部にあり記録層を支えるもので
あり、なるべく平坦であるものが望ましい。基板上には
記録が実行される記録層が配置されている。プローブに
よる記録は例えばこの記録層にプローブにより力を加え
て穴を開けることにより行う方法などがある。導電性基
板は、膜基板全体が導電性である必要はなく、記録層と
接する部分、あるいはその近傍に導電性部分が形成され
ていればよく、記録層への電荷の蓄積を防止する。プロ
ーブと記録層表面との位置を移動させる移動手段はプロ
ーブと記録層表面の相対的な位置を、記録層表面に平行
な方向（以下ＸＹ方向という）、記録層表面に垂直な方
向（以下Ｚ方向という）の３次元方向に制御するもので
記録を実行する位置にプローブ先端を移動する。前記記
録媒体と前記プローブとの間に物理作用を加える物理作
用印加手段は例えば光を発生させる手段、磁場を発生す
る手段などがある。プローブと導電性基板とを常に同電
位に保つ同電位保持手段とは、プローブ先端の導電性部
分と導電性の基板の電位差を０にする装置で、電気回路
を用いて両者を等しくなるように制御してもよいが両者
を導体で直接接続するのが簡便であり、かつ応答時間に
遅れがない。また両者をきょう体に接地すると、装置内
の電界分布がより少なくなり、効果が大きくなる。また
前記プローブが弾性体に支持されている場合、静電気力
によりプローブに働く力によりプローブが不必要に変動
するなど影響がでるため、記録に与える影響がより強く
なるため、本発明による効果がより大きくなる。本発明
による記録の実行は以下の手順で行われる。まず、ＸＹ
方向及びＺ方向にプローブを移動し、記録層表面の記録
をおこなおうとする位置にプローブを接触または接近さ
せる。次に物理作用印加手段により物理作用を加えるこ
とにより、記録ｂｉｔを形成する。この物理作用とは
力、光、磁気等が挙げられる。本発明においてはプロー
ブは導電性物質で形成されており、また、導電性基板と
同じ電位に保たれている。そのため、記録のためにプロ
ーブの位置を移動させている間や、記録の実行中におい
ても、記録層に電荷が注入されることがない。従って、
記録を安定に行うことができるようになる。また、この
ような記録を行った場合、記録層には電荷がないので、
記録ｂｉｔに不必要な電界が加わることもなく、また再
生時に記録層から不必要な電界が生じないので再生が安
定に行うことができる。Further, the recording apparatus of the present invention comprises a conductive substrate, a recording layer formed on the conductive substrate and including a non-conductive portion, and at least a surface of the recording layer facing the surface of the recording layer. A partly conductive probe, a moving means for moving the positions of the probe and the recording layer surface, a physical action applying means for applying a physical action between the recording layer surface and the probe, the probe and the conductive layer. And the same potential holding means for keeping the same potential at all times. Here, the conductive substrate is below the recording layer and supports the recording layer, and is preferably as flat as possible. A recording layer on which recording is performed is arranged on the substrate. Recording with a probe may be performed, for example, by making a hole in the recording layer by applying a force to the recording layer. The conductive substrate does not need to be conductive as a whole as long as it has a conductive portion formed at or near a portion in contact with the recording layer, and prevents accumulation of charges in the recording layer. The moving means for moving the position of the probe and the surface of the recording layer determines the relative position of the probe and the surface of the recording layer in a direction parallel to the surface of the recording layer (hereinafter referred to as XY direction) and a direction perpendicular to the surface of the recording layer (hereinafter referred to as Z). The probe tip is moved to a position where recording is performed by controlling in a three-dimensional direction (referred to as "direction"). The physical action applying means for applying a physical action between the recording medium and the probe includes, for example, a means for generating light and a means for generating a magnetic field. The same potential holding means for keeping the probe and the conductive substrate at the same potential at all times is a device for reducing the potential difference between the conductive portion at the tip of the probe and the conductive substrate so that they are equalized by using an electric circuit. It may be controlled, but it is convenient to connect both directly with a conductor, and there is no delay in response time. Further, if both are grounded to the casing, the electric field distribution in the device becomes smaller and the effect becomes larger. Further, when the probe is supported by an elastic body, the force exerted on the probe by electrostatic force may unnecessarily cause the probe to fluctuate, so that the influence on recording becomes stronger, and thus the effect of the present invention is further enhanced. growing. The recording according to the present invention is performed in the following procedure. First, XY
The probe is moved in the Z direction and the Z direction, and the probe is brought into contact with or brought close to the position on the surface of the recording layer where recording is to be performed. Next, a physical action is applied by the physical action applying means to form a recording bit. The physical action includes force, light, magnetism and the like. In the present invention, the probe is made of a conductive material and is kept at the same potential as the conductive substrate. Therefore, charges are not injected into the recording layer even while the position of the probe is moved for recording or during recording. Therefore,
It becomes possible to record stably. Further, when such recording is performed, since the recording layer has no electric charge,
No unnecessary electric field is applied to the recording bit, and no unnecessary electric field is generated from the recording layer during reproduction, so that reproduction can be stably performed.
【００１７】また、本発明においては、上記した記録装
置とは別の形態として、プローブを支持する弾性体に導
電体を含むようにして記録装置を構成することができ
る。この形態の発明は、導電性基板と、前記導電性基板
上に形成され、非導電性部分を含む記録層と、前記記録
層表面に対向して配置され弾性体に支持されたプローブ
と、前記プローブと記録層表面との位置を移動させる移
動手段と、前記記録層表面と前記プローブとの間に物理
作用を加える物理作用印加手段とを具備し、前記弾性体
表面の少なくも一部が導電性を有し、前記導電性基板と
前記弾性体の導電性部分を常に同電位に保つ同電位保持
手段とを具備する。この形態の発明における基板、記録
層、物理作用印加手段は上記した記録装置のものと同様
であるが、プローブは必ずしも一部が導電性を有してい
なければならないことはない。この形態の記録装置はプ
ローブが弾性体に支持されている場合であり、その弾性
体自身も静電気力の影響を受ける。したがって、この弾
性体自身を試料と同電位にすることが望ましい。このた
め弾性体表面を導電性材料にして、記録層となるべく同
電位にするためにこの導電性材料の部分を基板と同電位
にする。これにより、不必要な電界や電荷が発生するこ
とが抑制される。なお、本記録装置の動作は上記した記
録装置と同様である。なお、本記録装置の場合、プロー
ブもあわせて同電位にすることにより効果が増大する。Further, in the present invention, as a form different from the above-described recording device, the recording device can be configured such that the elastic body supporting the probe contains a conductor. In the invention of this aspect, a conductive substrate, a recording layer formed on the conductive substrate and including a non-conductive portion, a probe disposed facing the recording layer surface and supported by an elastic body, A moving means for moving the position of the probe and the surface of the recording layer and a physical action applying means for applying a physical action between the recording layer surface and the probe are provided, and at least a part of the elastic body surface is conductive. And has the same potential holding means for always keeping the conductive portion of the elastic body and the conductive portion of the elastic body at the same potential. The substrate, the recording layer, and the physical action applying means in the invention of this aspect are the same as those of the above-described recording device, but the probe does not necessarily have to be partially conductive. In the recording apparatus of this form, the probe is supported by an elastic body, and the elastic body itself is also affected by electrostatic force. Therefore, it is desirable that the elastic body itself has the same potential as the sample. Therefore, the surface of the elastic body is made of a conductive material, and the portion of the conductive material is made to have the same potential as that of the substrate so as to have the same potential as the recording layer. This suppresses generation of unnecessary electric field and electric charge. The operation of this recording apparatus is similar to that of the above-described recording apparatus. In the case of the present recording apparatus, the effect is increased by bringing the probes into the same potential.
【００１８】また、本発明の記録方法の一つのものは、
導電性基板に形成され、非導電性部分を含む記録層と、
前記記録層表面に対向して配置され、前記記録層表面と
の位置が移動できる機構を有し、かつその少なくともそ
の表面の一部分が導電性であるプローブを用い、前記記
録層表面と前記プローブとの間に物理作用を加えること
により記録を行う記録方法において、前記プローブと前
記導電性基板とを常に同電位に保ちながら記録を行うこ
とにより実現されるものであるが、その記録方法の実行
については本発明の観察装置を用いることに限られるも
のではない。本記録方法においてもプローブと導電性基
板との電位が同じになり、不必要な電界が発生したり、
電荷が発生したりすることが抑制される。Further, one of the recording methods of the present invention is
A recording layer formed on a conductive substrate and including a non-conductive portion;
The recording layer surface and the probe are arranged so as to face the recording layer surface, have a mechanism capable of moving the position of the recording layer surface, and at least a part of the surface is conductive. In a recording method for recording by applying a physical action between the two, it is realized by recording while always keeping the probe and the conductive substrate at the same potential. Is not limited to using the observation device of the present invention. Even in this recording method, the electric potential of the probe and the conductive substrate are the same, an unnecessary electric field is generated,
Generation of electric charges is suppressed.
【００１９】また、本発明の記録方法の他のものは、導
電性基板に形成され、非導電性部分を含む記録層と、前
記記録層表面に対向して配置され、前記記録層表面との
位置が移動できる機構を有し、かつ少なくともその表面
の一部分が導電性である弾性体により支持されたプロー
ブを用い、前記記録層表面と前記プローブとの間に物理
作用を加えることにより記録を行う記録方法において、
前記弾性体の導電性部分と前記導電性基板とを常に同電
位に保ちながら記録を行うことより実現されるものであ
るが、その記録方法の実行については本発明の記録装置
を用いることに限られるものではない。また、この場
合、プローブもあわせて同電位にすることにより効果が
増大する。また、本発明の再生装置は、導電性基板と、
前記導電性基板上に形成され、非導電性部分を含む記録
層と、前記記録層表面に対向して配置される少なくとも
表面の一部が導電性のプローブと、前記プローブと記録
層表面との位置を移動させる移動手段と、前記記録層表
面と前記プローブとの間に発生する物理作用を検出する
物理作用検出手段と前記プローブと前記導電性基板とを
常に同電位に保つ同電位保持手段とを具備する。この再
生装置は、上記した記録装置と以下の点で異なる。本再
生装置においては物理作用印加手段が必要ではない。ま
た本再生装置には物理作用検出手段を有している。ま
た、プローブは物理作用を記録層に施す必要はないが、
プローブと記録層の間に発生する物理相互作用を検出す
るものである。その相互作用としては接触による力、磁
気力、静電力、光等が挙げられる。本発明においても上
記した記録装置と同様にプローブの導電性部分と導電性
基板とが同電位であるため、不必要な電界や電荷が抑制
される。したがって安定に再生を行うことが可能であ
る。Further, another recording method of the present invention comprises a recording layer formed on a conductive substrate and including a non-conductive portion, and a recording layer surface which is arranged so as to face the recording layer surface. Recording is performed by using a probe having a mechanism capable of moving a position and at least a part of the surface of which is supported by an elastic body, and applying a physical action between the recording layer surface and the probe. In the recording method,
This is realized by performing recording while always maintaining the conductive portion of the elastic body and the conductive substrate at the same potential, but the recording method is limited to using the recording apparatus of the present invention. It is not something that can be done. Further, in this case, the effect is increased by bringing the probes together to the same potential. Further, the reproducing apparatus of the present invention, a conductive substrate,
A recording layer formed on the conductive substrate and including a non-conductive portion, a probe at least a part of the surface of which is arranged to face the recording layer surface is conductive, and the probe and the recording layer surface. Moving means for moving the position, physical action detecting means for detecting a physical action occurring between the recording layer surface and the probe, and equipotential holding means for always keeping the probe and the conductive substrate at the same potential. It is equipped with. This reproducing apparatus differs from the above recording apparatus in the following points. No physical action applying means is required in this reproducing apparatus. Further, this reproducing apparatus has a physical action detecting means. Also, the probe does not require physical action on the recording layer,
It detects the physical interaction that occurs between the probe and the recording layer. The interaction includes a force by contact, a magnetic force, an electrostatic force, light and the like. Also in the present invention, since the conductive portion of the probe and the conductive substrate have the same potential as in the recording apparatus described above, unnecessary electric fields and charges are suppressed. Therefore, stable reproduction can be performed.
【００２０】本発明による再生の実行は以下の手順で行
われる。まず、ＸＹ方向及びＺ方向にプローブを移動
し、記録層表面の再生をおこなおうとする位置にプロー
ブを接触または接近させる。次に相互作用検出手段によ
り検出されたプローブと記録媒体間での相互作用により
記録ｂｉｔを検出する。この物理作用とは力、光、磁気
等が挙げられる。本発明においてはプローブの先端付近
は導電性物質で形成されており、また、導電性基板と同
じ電位に保たれている。そのため、再生のためにプロー
ブの位置を移動させている間や、再生の実行中において
も、記録層に電荷が注入されることがない。従って、再
生を安定に行うことができるようになる。The reproduction according to the present invention is performed in the following procedure. First, the probe is moved in the XY direction and the Z direction, and the probe is brought into contact with or brought close to the position on the recording layer surface where reproduction is to be performed. Next, the recording bit is detected by the interaction between the probe and the recording medium detected by the interaction detecting means. The physical action includes force, light, magnetism and the like. In the present invention, the vicinity of the tip of the probe is made of a conductive substance and is kept at the same potential as the conductive substrate. Therefore, charges are not injected into the recording layer while the position of the probe is moved for reproduction or during reproduction. Therefore, the reproduction can be stably performed.
【００２１】また、本発明においては、上記した再生装
置とは別の形態の再生装置として、プローブを支持する
弾性体に導電体を含む構成を採る再生装置を構成するこ
とができる。この形態の発明は、導電性基板と、前記導
電性基板上に形成され、非導電性部分を含む記録層と、
前記記録層表面に対向して配置され弾性体に支持された
プローブと、前記プローブと記録層表面との位置を移動
させる移動手段と、前記記録層表面と前記プローブとの
間に発生する物理作用を検出する物理作用検出手段とを
具備し、前記弾性体表面の少なくとも一部が導電性を有
し、前記導電性基板と前記弾性体の導電性部分を常に同
電位に保つ同電位保持手段とを具備する。この形態の発
明においては、基板、記録層、物理作用印加手段は上記
した再生装置のものと同様であるが、プローブは必ずし
も一部が導電性を有していなければならないことはな
い。この形態の再生装置はプローブが弾性体に支持され
ている場合であり、その弾性体自身も静電気力の影響を
受ける。したがって、この弾性体自身を試料と同電位に
することが望ましい。このため弾性体表面を導電性材料
にして、記録層となるべく同電位にするために、この導
電性材料の部分を基板と同電位にする。これにより、不
必要な電界や電荷が発生することが抑制される。なお、
この形態の再生装置の動作は上記した再生装置と同様で
ある。なお、本記録装置の場合、プローブもあわせて同
電位にすることにより効果が増大する。Further, in the present invention, as a reproducing device of a form different from the above-mentioned reproducing device, a reproducing device having a structure in which an elastic body for supporting the probe includes a conductor can be constituted. The invention of this form is a conductive substrate, and a recording layer formed on the conductive substrate and including a non-conductive portion,
A probe that is arranged facing the recording layer surface and is supported by an elastic body, a moving unit that moves the position of the probe and the recording layer surface, and a physical action that occurs between the recording layer surface and the probe. A physical action detecting means for detecting, and at least a part of the surface of the elastic body has conductivity, and an equipotential holding means for always keeping the conductive substrate and the conductive portion of the elastic body at the same potential. It is equipped with. In the invention of this aspect, the substrate, the recording layer, and the physical action applying means are the same as those of the reproducing apparatus described above, but the probe does not necessarily have to be partially conductive. In the reproducing apparatus of this form, the probe is supported by the elastic body, and the elastic body itself is also affected by the electrostatic force. Therefore, it is desirable that the elastic body itself has the same potential as the sample. Therefore, in order to make the surface of the elastic body a conductive material so that the potential of the recording layer is the same, the portion of the conductive material is set to the same potential as the substrate. This suppresses generation of unnecessary electric field and electric charge. In addition,
The operation of the reproducing apparatus of this form is the same as that of the reproducing apparatus described above. In the case of the present recording apparatus, the effect is increased by bringing the probes into the same potential.
【００２２】また、本発明の再生方法の一つのものは、
導電性基板に形成され、非導電性部分を含む記録層と、
前記記録層表面に対向して配置され、前記記録層表面と
の位置が移動できる機構を有し、かつその少なくともそ
の表面の一部分が導電性であるプローブを用い、前記記
録層表面と前記プローブとの間に発生する物理作用を検
出することにより再生を行う再生方法において、前記プ
ローブと前記導電性基板とを常に同電位に保ちながら再
生を行うことにより達成されるが、その再生方法の実行
については本発明の再生装置を用いることに限られるも
のではない。本再生方法においてもプローブと導電性基
板との電位が同じになり、不必要な電界が発生したり、
電荷が発生したりすることが抑制され、安定した再生が
実行できる。また、本発明の再生方法の他のものは、導
電性基板に形成され、非導電性部分を含む記録層と、前
記記録層表面に対向して配置され、前記記録層表面との
位置が移動できる機構を有し、かつその少なくともその
表面の一部分が導電性である弾性体により支持されたプ
ローブを用い、前記記録層表面と前記プローブとの間に
発生する物理作用を検出することにより再生を行う再生
方法において、前記弾性体の導電性部分と前記導電性基
板とを常に同電位に保ちながら再生を行うことにより達
成されるが、この再生方法の実行については本発明の再
生装置を用いることに限られるものではない。また、こ
の場合、プローブもあわせて同電位にすることにより効
果が増大する。Further, one of the reproducing methods of the present invention is
A recording layer formed on a conductive substrate and including a non-conductive portion;
The recording layer surface and the probe are arranged so as to face the recording layer surface, have a mechanism capable of moving the position of the recording layer surface, and at least a part of the surface is conductive. In a regenerating method in which regeneration is performed by detecting a physical action that occurs during the regenerating, it is achieved by performing regenerating while always keeping the probe and the conductive substrate at the same potential. Is not limited to using the reproducing apparatus of the present invention. Even in this reproducing method, the potential of the probe and the conductive substrate are the same, and an unnecessary electric field is generated,
Generation of electric charges is suppressed, and stable reproduction can be performed. In another reproducing method of the present invention, a recording layer formed on a conductive substrate and including a non-conductive portion is arranged so as to face the recording layer surface, and the position of the recording layer surface moves. Using a probe having a mechanism capable of supporting at least a part of its surface supported by an elastic body, reproduction is performed by detecting a physical action occurring between the recording layer surface and the probe. In the regenerating method to be carried out, it is achieved by regenerating while keeping the conductive portion of the elastic body and the conductive substrate at the same potential at all times. To perform this regenerating method, the regenerating apparatus of the present invention is used. It is not limited to. Further, in this case, the effect is increased by bringing the probes together to the same potential.
【００２３】[0023]
【実施例】以下に、本発明の実施例について説明する。 ［実施例１］本発明の実施例１を図１に示す構成図を用
いて説明する。本実施例に示す表面観察装置はＡＦＭに
基づく装置で、試料表面の形状を観察する装置である。
観察試料１０２は本実施例に示す表面観察装置により観
察する試料である。本実施例においてカンチレバー１０
３は通常のＡＦＭで用いるカンチレバーでありその先端
にはプローブ１０４が固定されている。プローブ１０４
は窒化シリコン製で表面にＰｔ薄膜１１４が形成されて
おり、このＰｔ薄膜１１４からはカンチレバー１０３の
内部に配したＡｌの配線によりきょう体に接続されてい
る。先端は観察試料１０２に接触する。試料ホルダ１０
１は観察試料１０２を保持する機構であり真鍮で形成さ
れている。また試料１０２と試料ホルダ１０１とは導電
性の接着剤で固定されている。この試料ホルダは電気的
にきょう体と接続されている。Embodiments of the present invention will be described below. [Embodiment 1] Embodiment 1 of the present invention will be described with reference to the configuration diagram shown in FIG. The surface observation apparatus shown in the present embodiment is an apparatus based on AFM and is an apparatus for observing the shape of the sample surface.
The observation sample 102 is a sample observed by the surface observation device described in this embodiment. In this embodiment, the cantilever 10
Reference numeral 3 is a cantilever used in a normal AFM, and a probe 104 is fixed to the tip thereof. Probe 104
Is made of silicon nitride and has a Pt thin film 114 formed on its surface. The Pt thin film 114 is connected to the casing by an Al wiring arranged inside the cantilever 103. The tip contacts the observation sample 102. Sample holder 10
Reference numeral 1 denotes a mechanism for holding the observation sample 102, which is made of brass. Further, the sample 102 and the sample holder 101 are fixed with a conductive adhesive. This sample holder is electrically connected to the casing.
【００２４】記録駆動機構１０５は試料ホルダ１０１を
図示Ｘ−Ｙ及びＺ方向に移動することにより、プローブ
１０４と観察試料１０２の位置を移動する。Ｚ方向位置
制御回路１０６は試料駆動機構１０５のＺ方向の動きを
制御し、Ｘ−Ｙ方向位置制御回路１０７は試料駆動機構
１０５のＸ−Ｙ方向の動きを制御する。レーザ１０８は
レーザ光をカンチレバー１０３の観察試料１０２と反対
側の面を照射しており、ここで反射された光は２分割セ
ンサ１１０に入射しこの２分割センサ１１０の出力によ
りたわみ量検出装置１１１がカンチレバー１０３のたわ
みを検出する。この検出方法は通常光てこ方式と呼ばれ
ている方法である。このたわみ量はプローブ１０４の先
端についているＰｔ薄膜１１４が観察試料１０２から受
ける力をあらわしている。たわみ量検出装置１１１は検
出されたたわみ量をマイクロコンピュータ１１３、及び
サーボ回路１１２に送る。マイクロコンピュータ１１３
はサーボ回路１１２にプローブ１０４のＺ方向の位置に
関する制御信号をカンチレバーのたわみ量として、また
Ｘ−Ｙ方向位置制御回路１０７にＸ−Ｙ方向の位置の制
御信号を送る。サーボ回路１１２はマイクロコンピュー
タ１１３から指示されたたわみ量とたわみ量検出装置１
１１から送られてくるたわみ量とが同じになるようにＺ
方向位置制御回路に制御信号を送る。この制御信号の情
報はマイクロコンピュータ１１３にも送られる。本実施
例に示す観察装置を用いて観察を行おうとする時は以下
のとおりに行う。まず、マイクロコンピュータ１１３の
指示によりＸ−Ｙ方向位置制御回路１０７が信号を出
し、プローブ１０４の先端が観察試料１０２の観察した
い位置に来るように試料駆動機構１０５をＸ−Ｙ方向に
移動させる。The recording drive mechanism 105 moves the positions of the probe 104 and the observation sample 102 by moving the sample holder 101 in the X, Y and Z directions in the figure. The Z direction position control circuit 106 controls the movement of the sample drive mechanism 105 in the Z direction, and the XY direction position control circuit 107 controls the movement of the sample drive mechanism 105 in the XY direction. The laser 108 irradiates the surface of the cantilever 103 opposite to the observation sample 102 with laser light, and the light reflected here is incident on the two-division sensor 110 and the deflection amount detection device 111 is output by the two-division sensor 110. Detects the deflection of the cantilever 103. This detection method is a method usually called an optical lever method. The amount of this deflection represents the force that the Pt thin film 114 attached to the tip of the probe 104 receives from the observation sample 102. The deflection amount detection device 111 sends the detected deflection amount to the microcomputer 113 and the servo circuit 112. Microcomputer 113
Sends a control signal concerning the position of the probe 104 in the Z direction to the servo circuit 112 as the amount of deflection of the cantilever, and sends a control signal of the position in the XY direction to the XY direction position control circuit 107. The servo circuit 112 is a deflection amount and deflection amount detecting device 1 instructed by the microcomputer 113.
Z so that the amount of deflection sent from 11 is the same
Send a control signal to the directional position control circuit. The information of this control signal is also sent to the microcomputer 113. When the observation apparatus shown in this example is used for observation, the observation is performed as follows. First, the XY direction position control circuit 107 outputs a signal according to an instruction from the microcomputer 113, and the sample driving mechanism 105 is moved in the XY direction so that the tip of the probe 104 is located at a position to be observed on the observation sample 102.
【００２５】つぎにマイクロコンピュータ１１３の指示
によりＺ方向位置制御回路１０６が信号を出し、プロー
ブ１０４の先端が観察試料１０２に接触するように試料
駆動機構１０５をＺ方向に移動させる。つぎにマイクロ
コンピュータ１１３はプローブ１０４と観察試料１０２
に働く力を決め、その値をサーボ回路１１２に送る。こ
のサーボ回路１１２が動作するもとでマイクロコンピュ
ータ１１３の指令によりＸ−Ｙ方向位置制御回路が動作
し、試料駆動機構１０５がＸ−Ｙ方向に試料ホルダ１０
１を走査させることにより、プローブ１０４の先端が観
察試料１０２表面上をＸ−Ｙ方向に走査する。この時プ
ローブ１０４と観察試料１０２との間に働く力はサーボ
回路１１２の動作のために一定になっている。サーボ回
路１１２がＺ方向位置制御回路１０６に送った制御信号
に関する情報は、マイクロコンピュータ１１３に送られ
ており、観察試料表面１０２の形状はこの信号から得る
ことができる。これは従来のＡＦＭの動作と同様なもの
である。Next, the Z direction position control circuit 106 outputs a signal in accordance with an instruction from the microcomputer 113, and the sample driving mechanism 105 is moved in the Z direction so that the tip of the probe 104 contacts the observation sample 102. Next, the microcomputer 113 uses the probe 104 and the observation sample 102.
The force acting on the servo circuit 112 is determined and the value is sent to the servo circuit 112. While the servo circuit 112 operates, the XY direction position control circuit operates according to a command from the microcomputer 113, and the sample driving mechanism 105 moves the sample holder 10 in the XY direction.
By scanning 1, the tip of the probe 104 scans the surface of the observation sample 102 in the XY directions. At this time, the force acting between the probe 104 and the observation sample 102 is constant due to the operation of the servo circuit 112. Information regarding the control signal sent from the servo circuit 112 to the Z direction position control circuit 106 is sent to the microcomputer 113, and the shape of the observation sample surface 102 can be obtained from this signal. This is similar to the operation of the conventional AFM.
【００２６】本表面観察装置においてはプローブ１０４
がＰｔでコートされており、この電位が試料ホルダ１０
１と同じことから、観察試料１０２とＰｔ薄膜１１４の
電位がほぼ等しくなっている。従って、不必要な電界が
観察点付近で発生せず、より正確な測定が行える。ま
た、本実施例ではプローブと観察試料の接触点も同じ電
位であるので、より効果が大きい。従来の観察装置で
は、測定毎に像が異なったりしたが、本観察装置によ
り、測定毎のばら付きが減少し、従来より安定した測定
が可能になった。In this surface observation apparatus, the probe 104
Is coated with Pt, and this potential is applied to the sample holder 10.
Since it is the same as 1, the potentials of the observation sample 102 and the Pt thin film 114 are almost equal. Therefore, an unnecessary electric field does not occur near the observation point, and more accurate measurement can be performed. Further, in the present embodiment, the contact point between the probe and the observation sample has the same potential, so that the effect is greater. In the conventional observation device, the image was different for each measurement, but this observation device reduced variations in each measurement, and made stable measurement possible than in the past.
【００２７】［実施例２］つぎに図２に基づいて本発明
の実施例２について説明する。実施例２において、カン
チレバー２０１は内部の配線は特に設けておらず、プロ
ーブ１０４先端のＰｔコートがカンチレバー２０１表面
まで被われており、これがきょう体に接地されている
（図示Ｐｔ薄膜２０１）という点が実施例１と異なる。
本実施例による表面観察方法は実施例１と同様である。
本実施例においては弾性体であるカンチレバーと観察試
料との電位がほぼ等しくなり、不必要な電界が抑制され
ており、プローブの動きが安定になり、従来より正確な
測定が可能となった。しかも本実施例においてはプロー
ブ先端も同じ電位になっておりより効果が顕著であっ
た。[Embodiment 2] Next, Embodiment 2 of the present invention will be described with reference to FIG. In the second embodiment, the internal wiring of the cantilever 201 is not particularly provided, the Pt coat at the tip of the probe 104 is covered up to the surface of the cantilever 201, and this is grounded to the casing (Pt thin film 201 shown in the figure). Is different from the first embodiment.
The surface observation method according to this embodiment is the same as that of the first embodiment.
In the present embodiment, the potential of the elastic cantilever and the observation sample were almost equal, the unnecessary electric field was suppressed, the movement of the probe was stable, and more accurate measurement than before was possible. Moreover, in this example, the probe tip had the same potential, and the effect was more remarkable.
【００２８】［実施例３］つぎに図３に基づいて本発明
の実施例３について説明する。図３は記録媒体に穴を開
けることにより記録を実行する記録装置である。本装置
の構成は実施例１に示す表面観察装置と同様であるが、
以下（１）および（２）の点で異なる。 （１）記録媒体３０１を備えている。 記録媒体３０１は、シリコン基板３０２上にＡｕ薄膜３
０３が形成されており、その上部に約１ｎｍのＰＭＭＡ
薄膜３０４が形成されている。Ａｕ薄膜３０３はきょう
体に接地されている。 （２）試料ホルダ１０１がなく、かわりに記録媒体ステ
ージ３０５をかね備えている。 記録媒体ステージ３０５は記録媒体３０１を支持するも
のである。また、記録媒体駆動機構３０６は記録媒体ス
テージ３０５をＸ−Ｙ方向、Ｚ方向に移動するものであ
るが、試料駆動機構１０５と同様のものである。本実施
例においても実施例１と同様にプローブ１０４は窒化シ
リコン製で表面にＰｔ薄膜１１４が形成されており、こ
のＰｔ薄膜１１４からはカンチレバー１０３の内部に配
したＡｌの配線によりきょう体に接続されている。また
本実施例で用いたプローブによる本実施例のＰＭＭＡ薄
膜１０１の破壊荷重はおよそ５×１０-8Ｎであった。[Third Embodiment] Next, a third embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 3 shows a recording apparatus that performs recording by making a hole in the recording medium. The configuration of this apparatus is the same as that of the surface observation apparatus shown in Example 1,
The following points (1) and (2) are different. (1) The recording medium 301 is provided. The recording medium 301 is composed of the Au thin film 3 on the silicon substrate 302.
03 is formed, and PMMA of about 1 nm is formed on top of it.
A thin film 304 is formed. The Au thin film 303 is grounded to the case. (2) The sample holder 101 is not provided, and the recording medium stage 305 is provided instead. The recording medium stage 305 supports the recording medium 301. The recording medium driving mechanism 306 moves the recording medium stage 305 in the XY direction and the Z direction, but is the same as the sample driving mechanism 105. Also in the present embodiment, the probe 104 is made of silicon nitride and the Pt thin film 114 is formed on the surface similarly to the first embodiment, and the Pt thin film 114 is connected to the casing by the wiring of Al arranged inside the cantilever 103. Has been done. The breaking load of the PMMA thin film 101 of this example by the probe used in this example was about 5 × 10 −8 N.
【００２９】記録を行おうとするときは、まずマイクロ
コンピュータ１１３がＸ−Ｙ方向位置制御回路１０７に
Ｘ−Ｙ方向の位置に関する信号を送り、Ｘ−Ｙ方向位置
制御回路１０７からの制御信号により記録媒体駆動機構
１０５がＸ−Ｙ方向に移動し、プローブ１０５先端を記
録媒体３０１表面の記録を行いたいＸ−Ｙ方向の位置へ
移動する。また、マイクロコンピュータ１１３はプロー
ブ先端のＺ方向の位置を決め、それに対応するカンチレ
バー１０３のたわみを算出する。この設定たわみ値をサ
ーボ回路１１２に送り、サーボ回路１１２はこの設定値
とたわみ量検出装置１１１からの出力値が同じになるよ
うに制御を行う信号をＺ方向位置制御回路１０６に信号
を送る。Ｚ方向位置制御回路１０６はサーボ回路１１２
からの信号に従い記録媒体駆動機構３０６を制御し、記
録媒体駆動機構３０６はその信号にしたがってプローブ
１０４と記録媒体３０１とのＺ方向の位置を調節する。
一般的には、記録を行うときプローブ１０４の先端と記
録媒体３０１の表面がちょうど接触する程度の位置にな
るようにする。その後、マイクロコンピュータ１１３が
記録すべき情報により、記録ｂｉｔを形成する場合、サ
ーボ回路１１２に記録媒体１００に対してプローブ１０
５が、その破壊荷重である５×１０-8Ｎより大きい１×
１０-7Ｎの力が加わるように、設定値を送る。サーボ回
路はその力の設定値になるように制御信号をＺ方向位置
制御回路１０６に送り、Ｚ方向位置制御回路１０６がそ
の信号に基づき記録媒体駆動機構３０６を駆動し、プロ
ーブ１０４と記録媒体３０１を近づける方向に移動す
る。この動作によりカンチレバー１０３がたわみ、その
力によってプローブが記録媒体３０１を押しつけ、プロ
ーブ１０４が記録媒体３０１表面に機械的に穴を形成す
る。本情報処理装置においては、”０”の情報に相当す
るｂｉｔは力を加えずに穴を開けない状態とする。”
１”の情報に相当するｂｉｔはＰＭＭＡ薄膜３０４に穴
が形成された状態とする。When recording is to be performed, the microcomputer 113 first sends a signal regarding the position in the XY direction to the XY direction position control circuit 107, and the recording is performed by the control signal from the XY direction position control circuit 107. The medium driving mechanism 105 moves in the X-Y directions, and the tip of the probe 105 moves to the position in the X-Y directions on the surface of the recording medium 301 where recording is desired. Further, the microcomputer 113 determines the position of the probe tip in the Z direction and calculates the deflection of the cantilever 103 corresponding thereto. The set deflection value is sent to the servo circuit 112, and the servo circuit 112 sends a signal to the Z-direction position control circuit 106 to control so that the set value and the output value from the deflection amount detection device 111 become the same. The Z direction position control circuit 106 includes a servo circuit 112.
The recording medium driving mechanism 306 is controlled according to the signal from the recording medium driving mechanism 306, and the recording medium driving mechanism 306 adjusts the positions of the probe 104 and the recording medium 301 in the Z direction according to the signal.
Generally, the position of the tip of the probe 104 and the surface of the recording medium 301 are just in contact with each other when recording is performed. After that, when the recording bit is formed by the information to be recorded by the microcomputer 113, the servo circuit 112 causes the probe 10 to the recording medium 100.
5 is 1 × larger than the breaking load of 5 × 10 -8 N
Send the set value so that a force of 10 -7 N is applied. The servo circuit sends a control signal to the Z direction position control circuit 106 so that the set value of the force is obtained, and the Z direction position control circuit 106 drives the recording medium drive mechanism 306 based on the signal, and the probe 104 and the recording medium 301. Move toward. This operation causes the cantilever 103 to bend, and the force presses the recording medium 301 by the probe, and the probe 104 mechanically forms a hole on the surface of the recording medium 301. In this information processing device, the bit corresponding to the information of "0" is in a state in which no hole is formed without applying force. "
The bit corresponding to the information of 1 ″ is in a state where holes are formed in the PMMA thin film 304.
【００３０】本実施例に示した記録装置ではＰＭＭＡ薄
膜３０４薄膜の下部にはＡｕ薄膜３０３がある。一方、
プローブ１０４の表面にはＰｔ薄膜１１４があり、ＰＭ
ＭＡ薄膜３０４にはこのＰｔ薄膜１１４が接触している
ことになる。Ｐｔ薄膜１１４とＡｕ薄膜３０３とが外部
で共に接地されて同電位になっており、またＰＭＭＡ薄
膜３０４の膜厚が１ｎｍと十分に薄いことから、ＰＭＭ
Ａ薄膜３０４が帯電することがない。すなわち、記録媒
体中に電荷が存在することが抑制されるために、プロー
ブ１０５が変則的な運動をすることがなく、記録が安定
に実行される。また、不必要な電界が形成されることが
なく、従来より安定に記録が実行される。本実施例で
は、従来の記録装置に比較して、ｂｉｔ抜けが少ない記
録を行うことができるようになった。また、プローブの
動きが安定したために、ｂｉｔの形成される位置のずれ
が発生することが従来の記録装置より少なかった。In the recording apparatus shown in this embodiment, there is an Au thin film 303 below the PMMA thin film 304 thin film. on the other hand,
There is a Pt thin film 114 on the surface of the probe 104.
This Pt thin film 114 is in contact with the MA thin film 304. Since the Pt thin film 114 and the Au thin film 303 are both grounded to the same potential outside, and the PMMA thin film 304 has a sufficiently thin film thickness of 1 nm, the PMM
The A thin film 304 is not charged. That is, since the presence of electric charges in the recording medium is suppressed, the probe 105 does not make an irregular movement, and recording is performed stably. In addition, an unnecessary electric field is not formed, and recording is performed more stably than before. In the present embodiment, it is possible to perform recording with less missing bits than the conventional recording device. Further, since the movement of the probe is stable, the position where the bit is formed is less likely to be displaced than in the conventional recording apparatus.
【００３１】また、本実施例に示した記録装置を用い
て、記録した情報の再生も可能である。そのためにはマ
イクロコンピュータ１１３がプローブ１０５と記録媒体
１００が接触するようにサーボ回路１１２に設定値を送
り、サーボ回路１１２はたわみ量検出装置の出力がその
設定値になるようにＺ方向位置制御回路１０６に信号を
送り、Ｚ方向位置制御回路はその信号に基づき、記録媒
体駆動機構３０６を駆動する。サーボ回路１１２はその
制御信号を同時にマイクロコンピュータ１１３に送る。
この一連のフィードバックが実施された状態でマイクロ
コンピュータ１１３の指示によりＸ−Ｙ方向位置制御回
路１０７が動作して記録媒体駆動機構３０６が動き、プ
ローブ１０４の先端が記録媒体３０１上に接した状態で
走査される。このときのマイクロコンピュータ１１３は
Ｘ−Ｙ方向の位置と、サーボ回路１１２の出力から記録
媒体３０１の表面形状を得ることができ、穴が形成され
ているかすなわち、記録情報の書き込みが行われている
か、の情報を得ることにより、記録された情報を得るこ
とができる。本実施例に示す再生装置においても、ＰＭ
ＭＡ薄膜１０３が帯電することがない。すなわち、記録
媒体中に電荷が存在することが抑制され、また不必要な
電界の形成が抑制されるため、プローブ１０５が変則的
な運動をすることがなく、ｂｉｔ読み出しの抜けの発生
が抑制され、再生が安定に実行された。Further, the recorded information can be reproduced by using the recording apparatus shown in this embodiment. For that purpose, the microcomputer 113 sends a set value to the servo circuit 112 so that the probe 105 and the recording medium 100 come into contact with each other, and the servo circuit 112 makes the Z direction position control circuit so that the output of the deflection amount detection device becomes the set value. A signal is sent to 106, and the Z direction position control circuit drives the recording medium drive mechanism 306 based on the signal. The servo circuit 112 sends the control signal to the microcomputer 113 at the same time.
In the state where the series of feedbacks are performed, the XY direction position control circuit 107 operates according to an instruction from the microcomputer 113, the recording medium drive mechanism 306 moves, and the tip of the probe 104 contacts the recording medium 301. To be scanned. At this time, the microcomputer 113 can obtain the surface shape of the recording medium 301 from the position in the XY direction and the output of the servo circuit 112, and whether a hole is formed, that is, whether or not recording information is written. The recorded information can be obtained by obtaining the information of. Also in the reproducing apparatus shown in this embodiment, PM
The MA thin film 103 is not charged. That is, the presence of electric charges in the recording medium is suppressed, and the formation of an unnecessary electric field is suppressed. Therefore, the probe 105 does not perform an irregular movement, and the occurrence of omission of bit reading is suppressed. , Playback was performed stably.
【００３２】［実施例４］つぎに図４に基づいて本発明
の実施例４について説明する。実施例４は、カンチレバ
ー２０１は内部の配線は特に設けておらず、プローブ１
０４先端のＰｔコートがカンチレバー２０１表面まで被
われており、これがきょう体に接地されている（図示Ｐ
ｔ薄膜２０１）という点が実施例３と異なる。本実施例
による記録方法は実施例１と同様である。本実施例にお
いては弾性体であるカンチレバーと観察試料との電位が
ほぼ等しくなり、不必要な電界が抑制されており、プロ
ーブの動きが安定になり、従来よりｂｉｔの抜けが少な
く、また記録の行なわれる位置の本来の位置からのずれ
も抑制され、より安定な記録が可能となった。しかも本
実施例においてはプローブ先端も同じ電位になっており
より効果が顕著であった。本装置においても再生を実行
することが可能で、その方法は実施例３で示した方法と
同様である。この場合も不必要な電界の形成が抑制さ
れ、安定に再生が実行できた。さらにプローブ先端も同
じ電位になっており、より安定に記録が実行され、効果
が顕著であった。[Fourth Embodiment] Next, a fourth embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. In Example 4, the internal wiring of the cantilever 201 is not particularly provided, and the probe 1
A Pt coat at the tip of 04 covers the surface of the cantilever 201, and this is grounded to the casing (see P in the figure).
The thin film 201) is different from the third embodiment. The recording method according to this embodiment is similar to that of the first embodiment. In this embodiment, the potential of the cantilever, which is an elastic body, is almost equal to that of the observation sample, the unnecessary electric field is suppressed, the movement of the probe becomes stable, and the loss of bits is smaller than in the conventional case, and the recording is performed. The deviation of the position where it is performed from the original position is also suppressed, and more stable recording is possible. Moreover, in this example, the probe tip had the same potential, and the effect was more remarkable. Reproduction can also be executed in this apparatus, and the method is the same as the method shown in the third embodiment. Also in this case, formation of unnecessary electric field was suppressed, and stable reproduction could be performed. Furthermore, the probe tip had the same potential, and recording was performed more stably, and the effect was remarkable.
【００３３】[0033]
【発明の効果】本発明は、以上の構成により、試料の観
察点付近の不必要な電界の発生、電荷の発生を抑制する
ことが可能となり、より正確な観察装置、観察方法を提
供することができ、また、記録媒体付近の不必要な電界
の発生、電荷の発生を抑制することが可能となり、より
エラーの少ない記録装置、再生装置、記録方法、再生方
法を実現することができる。EFFECTS OF THE INVENTION The present invention can suppress the generation of unnecessary electric field and the generation of electric charges in the vicinity of the observation point of a sample by the above constitution, and provide a more accurate observation apparatus and observation method. In addition, it is possible to suppress the generation of unnecessary electric field and the generation of electric charges in the vicinity of the recording medium, and it is possible to realize a recording device, a reproducing device, a recording method, and a reproducing method with less errors.
【図１】本発明の実施例１における観察装置を示す図で
ある。FIG. 1 is a diagram showing an observation apparatus in Example 1 of the present invention.
【図２】本発明の実施例２における観察装置を示す図で
ある。FIG. 2 is a diagram showing an observation device according to a second embodiment of the present invention.
【図３】本発明の実施例３における記録、再生装置を示
す図である。FIG. 3 is a diagram showing a recording / reproducing apparatus according to a third embodiment of the present invention.
【図４】本発明の実施例４における記録、再生装置を示
す図である。FIG. 4 is a diagram showing a recording / reproducing apparatus according to a fourth embodiment of the present invention.
１０１：試料ホルダ １０２：観察試料 １０３：カンチレバー １０４：プローブ １０５：試料駆動機構 １０６：Ｚ方向位置制御回路 １０７：Ｘ−Ｙ方向位置制御回路 １０８：レーザ １０９：レーザ光用電源 １１０：２分割センサ １１１：たわみ量検出装置 １１２：サーボ回路 １１３：マイクロコンピュータ １１４：Ｐｔ薄膜 ２０１：カンチレバー ２０２：Ｐｔ薄膜 ３０１：記録媒体 ３０２：シリコン基板 ３０３：Ａｕ薄膜 ３０４：ＰＭＭＡ薄膜 ３０５：記録媒体ステージ ３０６：記録媒体駆動機構 101: sample holder 102: observation sample 103: cantilever 104: probe 105: sample drive mechanism 106: Z direction position control circuit 107: XY direction position control circuit 108: laser 109: laser light power supply 110: two-division sensor 111 : Deflection amount detection device 112: Servo circuit 113: Microcomputer 114: Pt thin film 201: Cantilever 202: Pt thin film 301: Recording medium 302: Silicon substrate 303: Au thin film 304: PMMA thin film 305: Recording medium stage 306: Recording medium drive mechanism
Claims (42)
向して配置され、表面の少なくとも一部分が導電性であ
るプローブと、 前記プローブと前記試料表面との位置を移動させる移動
手段と、 前記試料表面と前記プローブとの間に発生する相互作用
を検出する相互作用検出手段と、前記試料ホルダの一部
又は前記試料の一部のいずれかもしくはその両者が導電
性を有し、かつ該導電性部分と前記プローブの導電性部
分とを常に同電位に保つ同電位保持手段と、 を具備することを特徴とする表面観察装置。1. A probe, which is arranged so as to face a sample surface of a sample fixed to a sample holder, at least a part of the surface of which is conductive, and a moving unit which moves the positions of the probe and the sample surface, An interaction detecting means for detecting an interaction occurring between a sample surface and the probe, and either or both of a part of the sample holder and a part of the sample have conductivity, and the conductivity And a conductive portion of the probe for keeping the same potential at all times.
試料と接する部分であることを特徴とする請求項１に記
載の表面観察装置。2. The surface observation apparatus according to claim 1, wherein the conductive portion of the probe is a portion of the probe that contacts the sample.
ことを特徴とする請求項１または請求項２に記載の表面
観察装置。3. The surface observation apparatus according to claim 1, wherein the probe is supported by an elastic body.
向して配置され、弾性体に支持されたプローブと、 前記プローブと前記試料表面との位置を移動させる移動
手段と、 前記記録媒体と前記プローブとの間に発生する相互作用
を検出する相互作用検出手段とを具備し、 前記弾性体表面の少なくとも一部が導電性を有すると共
に、前記試料ホルダの一部又は前記試料の一部のいずれ
かもしくは両者が導電性を有し、かつ該導電性部分と前
記弾性体の導電性部分とを常に同電位に保つ同電位保持
手段を備えたことを特徴とする表面観察装置。4. A probe, which is arranged so as to face the sample surface of a sample fixed to a sample holder and is supported by an elastic body, moving means for moving the positions of the probe and the sample surface, and the recording medium. An interaction detection means for detecting an interaction generated between the probe and at least a part of the elastic body surface having conductivity, and a part of the sample holder or a part of the sample. A surface observing device, characterized in that either or both of them have conductivity, and equipotential holding means for always keeping the electroconductive portion and the electroconductive portion of the elastic body at the same electric potential.
電性を有し、前記同電位保持手段が、前記プローブの表
面の導電性部分をもあわせて同電位に保つことを特徴と
した請求項４に記載の表面観察装置。5. The probe according to claim 5, wherein at least a part of the surface of the probe has conductivity, and the same potential holding means holds the conductive part of the surface of the probe at the same potential. 4. The surface observation device according to item 4.
て直接接続するものであることを特徴とする請求項１〜
請求項５のいずれか１項に記載の表面観察装置。6. The same potential holding means is directly connected by using a conductive member.
The surface observation device according to claim 5.
るものであることを特徴とする請求項１〜請求項５のい
ずれか１項に記載の表面観察装置。7. The surface observation apparatus according to claim 1, wherein the same potential holding means is grounded to the casing.
向して配置されたプローブを用い、前記プローブと前記
試料表面との位置を移動させ、前記試料表面と前記プロ
ーブとの間に発生する相互作用を検出することにより試
料表面を観察する表面観察方法において、 前記プローブの表面の少なくとも一部が導電性を有する
と共に、前記試料ホルダの一部又は前記試料の一部のい
ずれかもしくはその両者が導電性を有し、かつ該導電性
部分と前記プローブの導電性部分を同電位に保ちながら
観察することを特徴とする表面観察方法。8. A probe fixed to a sample holder is used so as to face the sample surface, and the positions of the probe and the sample surface are moved to generate between the sample surface and the probe. In a surface observing method for observing a sample surface by detecting an interaction, at least a part of the surface of the probe has conductivity, and a part of the sample holder or a part of the sample or both of them. Is conductive, and the surface is observed while the conductive portion and the conductive portion of the probe are kept at the same potential.
試料と接する部分であることを特徴とする請求項８に記
載の表面観察方法。9. The surface observation method according to claim 8, wherein the conductive portion of the probe is a portion in contact with the sample of the probe.
ることを特徴とする請求項８または請求項９に記載の表
面観察方法。10. The surface observation method according to claim 8, wherein the probe is supported by an elastic body.
に対向して配置され、かつ弾性体に支持されたプローブ
を用い、前記プローブと前記試料表面との位置を移動さ
せ、前記試料表面と前記プローブとの間に発生する相互
作用を検出することにより試料表面を観察する表面観察
方法において、 前記弾性体の表面の少なくとも一部が導電性を有し、前
記試料ホルダの一部分又は前記試料の一部分もしくはそ
の両者と前記弾性体の導電性部分とを同電位に保ちなが
ら観察することを特徴とする表面観察方法。11. A probe supported by a sample holder, which is arranged so as to face the sample surface of the sample and is supported by an elastic body, is used to move the positions of the probe and the sample surface, In a surface observation method for observing a sample surface by detecting an interaction occurring with the probe, at least a part of the surface of the elastic body has conductivity, and a part of the sample holder or the sample A method for observing a surface, which comprises observing a part or both of them and the conductive part of the elastic body while maintaining the same potential.
導電性を有し、前記プローブの表面の導電性部分をもあ
わせて同電位に保つことを特徴とした請求項１１に記載
の表面観察方法。12. The surface observation method according to claim 11, wherein at least a part of the surface of the probe has conductivity, and the conductive part of the surface of the probe is also kept at the same potential. .
用いて直接接続するものであることを特徴とする請求項
８〜請求項１２のいずれか１項に記載の表面観察方法。13. The surface observation method according to any one of claims 8 to 12, wherein the method of maintaining the same potential is a direct connection using a conductive member.
地するものであることを特徴とする請求項８〜請求項１
２のいずれか１項に記載の表面観察方法。14. The method according to claim 8, wherein the method of maintaining the same potential is grounding to a casing.
2. The surface observation method according to any one of 2.
非導電性部分を含む記録層と、 前記記録層表面に対向して配置される少なくとも表面の
一部が導電性のプローブと、 前記プローブと記録層表面との位置を移動させる移動手
段と、 前記記録層表面と前記プローブとの間に物理作用を加え
る物理作用印加手段と、前記プローブと前記導電性基板
とを常に同電位に保つ同電位保持手段と、 を具備することを特徴とする記録装置。15. A conductive substrate, a recording layer formed on the conductive substrate and including a non-conductive portion, and a probe which is arranged facing the surface of the recording layer and at least a part of the surface of which is conductive. Moving means for moving the positions of the probe and the recording layer surface, physical action applying means for applying a physical action between the recording layer surface and the probe, and the probe and the conductive substrate are always at the same potential. A recording apparatus comprising: a same-potential holding unit for holding.
の記録層表面と接する部分であることを特徴とする請求
項１５に記載の記録装置。16. The recording apparatus according to claim 15, wherein the conductive portion of the probe is a portion in contact with the surface of the recording layer of the probe.
ることを特徴とする請求項１５または請求項１６に記載
の記録装置。17. The recording apparatus according to claim 15, wherein the probe is supported by an elastic body.
非導電性部分を含む記録層と、 前記記録層表面に対向して配置され弾性体に支持された
プローブと、 前記プローブと記録層表面との位置を移動させる移動手
段と、 前記記録層表面と前記プローブとの間に物理作用を加え
る物理作用印加手段とを具備し、 前記弾性体表面の少なくとも一部が導電性を有し、前記
導電性基板と前記弾性体の導電性部分を常に同電位に保
つ同電位保持手段を備えたことを特徴とする記録装置。18. A conductive substrate, a recording layer which is formed on the conductive substrate and includes a non-conductive portion, a probe which is arranged facing the surface of the recording layer and is supported by an elastic body, the probe and the recording. A moving means for moving the position of the layer surface and a physical action applying means for applying a physical action between the recording layer surface and the probe, and at least a part of the elastic body surface has conductivity. A recording device comprising the same potential holding means for keeping the conductive substrate and the conductive portion of the elastic body always at the same potential.
導電性を有し、前記同電位保持手段が、前記プローブの
表面の導電性部分をもあわせて同電位に保つことを特徴
とした請求項１８に記載の記録装置。19. The probe has a surface at least a part of which is electrically conductive, and the equipotential holding means holds the electroconductive part of the surface of the probe together at the same potential. The recording device according to item 18.
いて直接接続するものであることを特徴とする請求項１
５〜請求項１９のいずれか１項に記載の記録装置。20. The same potential holding means is directly connected by using a conductive member.
The recording device according to any one of claims 5 to 19.
するものであることを特徴とする請求項１５〜請求項１
９のいずれか１項に記載の記録装置。21. The method according to claim 15, wherein the same potential holding means is grounded to the casing.
9. The recording device according to any one of 9.
含む記録層と、前記記録層表面に対向して配置され、前
記記録層表面との位置が移動できる機構とを有し、かつ
その少なくともその表面の一部分が導電性であるプロー
ブを用い、前記記録層表面と前記プローブとの間に物理
作用を加えることにより記録を行う記録方法において、 前記プローブと前記導電性基板とを常に同電位に保ちな
がら記録を行うことを特徴とする記録方法。22. A recording layer, which is formed on a conductive substrate and includes a non-conductive portion, and a mechanism which is arranged so as to face the surface of the recording layer and is movable in position with respect to the surface of the recording layer. In a recording method in which recording is performed by applying a physical action between the recording layer surface and the probe, at least a part of the surface of which is conductive is used, and the probe and the conductive substrate are always the same. A recording method characterized by performing recording while maintaining a potential.
の記録層表面と接する部分であることを特徴とする請求
項２２に記載の記録方法。23. The recording method according to claim 22, wherein the conductive portion of the probe is a portion in contact with the surface of the recording layer of the probe.
ることを特徴とする請求項２２または請求項２３に記載
の記録方法。24. The recording method according to claim 22, wherein the probe is supported by an elastic body.
含む記録層と、前記記録層表面に対向して配置され、前
記記録層表面との位置が移動できる機構とを有し、かつ
少なくともその表面の一部分が導電性である弾性体によ
り支持されたプローブを用い、前記記録層表面と前記プ
ローブとの間に物理作用を加えることにより記録を行う
記録方法において、 前記弾性体の導電性部分と前記導電性基板とを常に同電
位に保ちながら記録を行うことを特徴とする記録方法。25. A recording layer, which is formed on a conductive substrate and includes a non-conductive portion, and a mechanism which is arranged so as to face the surface of the recording layer and is movable in position with respect to the surface of the recording layer. In a recording method of performing recording by using a probe supported by an elastic body, at least a part of the surface of which is conductive, in which recording is performed by applying a physical action between the recording layer surface and the probe, the conductivity of the elastic body A recording method, wherein recording is performed while keeping a portion and the conductive substrate always at the same potential.
導電性を有し、前記プローブの表面の導電性部分をもあ
わせて同電位に保つことを特徴とした請求項２５に記載
の記録方法。26. The recording method according to claim 25, wherein at least a part of the surface of the probe has conductivity, and the conductive part of the surface of the probe is also kept at the same potential.
用いて直接接続するものであることを特徴とする請求項
２２〜請求項２６のいずれか１項に記載の記録方法。27. The recording method according to any one of claims 22 to 26, wherein the method of maintaining the same potential is a direct connection using a conductive member.
地するものであることを特徴とする請求項２２〜請求項
２６のいずれか１項に記載の記録方法。28. The recording method according to any one of claims 22 to 26, wherein the method of maintaining the same potential is grounding to a casing.
非導電性部分を含む記録層と、 前記記録層表面に対向して配置される少なくとも表面の
一部が導電性のプローブと、 前記プローブと記録層表面との位置を移動させる移動手
段と、 前記記録層表面と前記プローブとの間に発生する物理作
用を検出する物理作用検出手段と、 前記プローブと前記導電性基板とを常に同電位に保つ同
電位保持手段と、を具備することを特徴とする再生装
置。29. A conductive substrate, a recording layer formed on the conductive substrate and including a non-conductive portion, and a probe which is arranged facing the surface of the recording layer and at least a part of the surface of which is conductive. Moving means for moving the position of the probe and the recording layer surface, a physical action detecting means for detecting a physical action occurring between the recording layer surface and the probe, the probe and the conductive substrate always An equal potential holding means for keeping the same potential, and a reproducing apparatus.
の記録層表面と接する部分であることを特徴とする請求
項２９に記載の再生装置。30. The reproducing apparatus according to claim 29, wherein the conductive portion of the probe is a portion in contact with the surface of the recording layer of the probe.
ることを特徴とする請求項２９または請求項３０に記載
の再生装置。31. The reproducing apparatus according to claim 29, wherein the probe is supported by an elastic body.
非導電性部分を含む記録層と、 前記記録層表面に対向して配置され弾性体に支持された
プローブと、 前記プローブと記録層表面との位置を移動させる移動手
段と、 前記記録層表面と前記プローブとの間に発生する物理作
用を検出する物理作用検出手段とを具備し、 前記弾性体表面の少なくとも一部が導電性を有し、前記
導電性基板と前記弾性体の導電性部分を常に同電位に保
つ同電位保持手段を備えたことを特徴とする再生装置。32. A conductive substrate, a recording layer formed on the conductive substrate and including a non-conductive portion, a probe arranged facing the surface of the recording layer and supported by an elastic body, the probe and the recording. A moving means for moving the position of the layer surface, and a physical action detecting means for detecting a physical action occurring between the recording layer surface and the probe, and at least a part of the elastic body surface is conductive. And a same potential holding means for keeping the conductive substrate and the conductive portion of the elastic body at the same potential at all times.
導電性を有し、前記同電位保持手段が、前記プローブの
表面の導電性部分をもあわせて同電位に保つことを特徴
とした請求項３２に記載の再生装置。33. At least a part of the surface of the probe is conductive, and the same potential holding means holds the conductive part of the surface of the probe also at the same potential. 32. A reproducing apparatus according to item 32.
いて直接接続するものであることを特徴とする請求項２
９〜請求項３３のいずれか１項に記載の再生装置。34. The same potential holding means is directly connected by using a conductive member.
The reproducing device according to any one of claims 9 to 33.
するものであることを特徴とする請求項２９〜請求項３
３のいずれか１項に記載の再生装置。35. The method according to claim 29, wherein the same potential holding means is grounded to the casing.
The reproducing apparatus according to any one of 3 above.
含む記録層と、前記記録層表面に対向して配置され、前
記記録層表面との位置が移動できる機構とを有し、かつ
少なくともその表面の一部分が導電性であるプローブを
用い、前記記録層表面と前記プローブとの間に発生する
物理作用を検出することにより再生を行う再生方法にお
いて、 前記プローブと前記導電性基板とを常に同電位に保ちな
がら再生を行うことを特徴とする再生方法。36. A recording layer, which is formed on a conductive substrate and includes a non-conductive portion, and a mechanism which is arranged so as to face the surface of the recording layer and is movable in position with respect to the surface of the recording layer. At least a part of the surface of the probe using a conductive, in a reproducing method for reproducing by detecting a physical action that occurs between the recording layer surface and the probe, the probe and the conductive substrate A reproduction method characterized by performing reproduction while always maintaining the same potential.
の記録層表面と接する部分であることを特徴とする請求
項３６に記載の再生方法。37. The reproducing method according to claim 36, wherein the conductive portion of the probe is a portion in contact with the surface of the recording layer of the probe.
ることを特徴とする請求項３６または請求項３７に記載
の再生方法。38. The reproducing method according to claim 36 or 37, wherein the probe is supported by an elastic body.
含む記録層と、前記記録層表面に対向して配置され、前
記記録層表面との位置が移動できる機構とを有し、かつ
少なくともその表面の一部分が導電性である弾性体によ
り支持されたプローブを用い、前記記録層表面と前記プ
ローブとの間に発生する物理作用を検出することにより
再生を行う再生方法において、 前記弾性体の導電性部分と前記導電性基板とを常に同電
位に保ちながら再生を行うことを特徴とする再生方法。39. A recording layer which is formed on a conductive substrate and includes a non-conductive portion, and a mechanism which is arranged so as to face the recording layer surface and is movable in position with respect to the recording layer surface, In a reproducing method for reproducing by using a probe supported by an elastic body, at least a part of the surface of which is electrically conductive, by detecting a physical action occurring between the recording layer surface and the probe, the elastic body The reproducing method is characterized in that the conductive portion and the conductive substrate are always kept at the same potential to perform the reproducing.
導電性を有し、前記プローブの表面の導電性部分をもあ
わせて同電位に保つことを特徴とした請求項３８に記載
の再生方法。40. The reproducing method according to claim 38, wherein at least a part of the surface of the probe is conductive, and the conductive part of the surface of the probe is also kept at the same potential.
用いて直接接続するものであることを特徴とする請求項
３６〜請求項３７のいずれか１項に記載の再生方法。41. The reproducing method according to any one of claims 36 to 37, wherein the method of maintaining the same potential is a direct connection using a conductive member.
地するものであることを特徴とする請求項３６〜請求項
３７のいずれか１項に記載の再生方法。42. The reproducing method according to any one of claims 36 to 37, wherein the method of maintaining the same potential is grounding to a casing.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2473696A JPH09196929A (en) | 1996-01-18 | 1996-01-18 | Surface observing apparatus and surface observing method, recording apparatus and recording method, and reproducing apparatus and reproducing method |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2473696A JPH09196929A (en) | 1996-01-18 | 1996-01-18 | Surface observing apparatus and surface observing method, recording apparatus and recording method, and reproducing apparatus and reproducing method |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09196929A true JPH09196929A (en) | 1997-07-31 |
Family
ID=12146444
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2473696A Pending JPH09196929A (en) | 1996-01-18 | 1996-01-18 | Surface observing apparatus and surface observing method, recording apparatus and recording method, and reproducing apparatus and reproducing method |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09196929A (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008111735A (en) * | 2006-10-31 | 2008-05-15 | Sii Nanotechnology Inc | Sample handling device |
| JP2017075935A (en) * | 2015-09-01 | 2017-04-20 | カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー | Method and device for inspecting charged sample surface |
-
1996
- 1996-01-18 JP JP2473696A patent/JPH09196929A/en active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008111735A (en) * | 2006-10-31 | 2008-05-15 | Sii Nanotechnology Inc | Sample handling device |
| JP2017075935A (en) * | 2015-09-01 | 2017-04-20 | カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー | Method and device for inspecting charged sample surface |
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