[go: up one dir, main page]

JPH09176864A - Electroless gold plating thickening method - Google Patents

Electroless gold plating thickening method

Info

Publication number
JPH09176864A
JPH09176864A JP26677596A JP26677596A JPH09176864A JP H09176864 A JPH09176864 A JP H09176864A JP 26677596 A JP26677596 A JP 26677596A JP 26677596 A JP26677596 A JP 26677596A JP H09176864 A JPH09176864 A JP H09176864A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
plating
electroless
gold
gold plating
nickel plating
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP26677596A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP3087163B2 (en
Inventor
Hiroki Uchida
廣記 内田
Takayuki Nakamura
孝之 中村
Tooru Kamitamari
徹 上玉利
Rumiko Usu
留美子 薄
Masayuki Kiso
雅之 木曽
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
C Uyemura and Co Ltd
Original Assignee
C Uyemura and Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by C Uyemura and Co Ltd filed Critical C Uyemura and Co Ltd
Priority to JP08266775A priority Critical patent/JP3087163B2/en
Publication of JPH09176864A publication Critical patent/JPH09176864A/en
Priority to US08/931,832 priority patent/US5910340A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP3087163B2 publication Critical patent/JP3087163B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Chemically Coating (AREA)
  • Other Surface Treatments For Metallic Materials (AREA)
  • Manufacturing Of Printed Wiring (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【解決手段】 S−S硫黄結合を有する化合物を添加し
た無電解ニッケルめっき液を用いてニッケルめっきを行
った後、このニッケルめっきにより形成されたニッケル
めっき皮膜を有する被めっき物を無電解金めっき浴に浸
漬して無電解金めっきすることを特徴とする無電解金め
っきの厚付け方法。 【効果】 本発明の無電解金めっきの厚付け方法によれ
ば、金めっき皮膜を短時間で十分に厚くすることができ
る。
(57) Abstract: After performing nickel plating using an electroless nickel plating solution to which a compound having an S-S sulfur bond is added, a plated object having a nickel plating film formed by this nickel plating A method for thickening electroless gold plating, which comprises immersing an object in an electroless gold plating bath to perform electroless gold plating. According to the thickening method of electroless gold plating of the present invention, the gold plating film can be made sufficiently thick in a short time.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、プリント配線基板
や電子工業部品等に金めっき皮膜を形成する場合に好適
に使用される無電解金めっきの厚付け方法に関するもの
であり、更に詳述すると、無電解ニッケルめっきした被
めっき物表面に無電解金めっき皮膜を短時間で十分に厚
付けすることができる工業的に有用な無電解金めっきの
厚付け方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an electroless gold plating thickening method which is preferably used when a gold plating film is formed on a printed wiring board, electronic industrial parts, etc. The present invention relates to an industrially useful electroless gold plating thickening method capable of sufficiently thickening an electroless gold plating film on a surface of an object to be plated plated with electroless nickel in a short time.

【0002】[0002]

【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】従来よ
り、無電解金めっきは、金の電気伝導性、熱圧着による
接続性等の物理的性質及び耐酸化性、耐薬品性等の点か
らプリント配線基板、セラミックICパッケージ、IT
O基板、ICカード等の電子工業部品の表面に適用され
ており、無電解金めっきを効率よく厚付けすることはプ
リント基板業界等においては重要な課題である。
2. Description of the Related Art Electroless gold plating has hitherto been used in view of physical properties such as electrical conductivity of gold, connectivity by thermocompression bonding, oxidation resistance and chemical resistance. Printed wiring board, ceramic IC package, IT
It is applied to the surface of electronic industrial parts such as O substrates and IC cards, and efficient thickening of electroless gold plating is an important issue in the printed circuit board industry and the like.

【0003】本発明は、上記事情に鑑みなされたもの
で、無電解金めっきを短時間で十分に厚付けすることが
できる工業的に有用な無電解金めっきの厚付け方法を提
供することを目的とする。
The present invention has been made in view of the above circumstances, and it is an object of the present invention to provide an industrially useful electroless gold plating thickening method capable of sufficiently thickening electroless gold plating in a short time. To aim.

【0004】[0004]

【課題を解決するための手段及び発明の実施の形態】本
発明者は、上記目的を達成するために鋭意検討を重ねた
結果、無電解金めっきを行う際の被めっき物について着
目し、該被めっき物をS−S硫黄結合を有する化合物を
添加した無電解ニッケルめっき液でニッケルめっき処理
を行い、このニッケルめっき皮膜を有する被めっき物に
無電解金めっきを施した場合、金めっき皮膜が、短時間
で十分に厚く形成されることを見い出した。
Means for Solving the Problems and Modes for Carrying Out the Invention As a result of intensive studies to achieve the above-mentioned object, the present inventor has focused on an object to be plated when performing electroless gold plating, When the object to be plated is nickel-plated with an electroless nickel plating solution to which a compound having an S--S sulfur bond is added, and the object to be plated having this nickel plating film is subjected to electroless gold plating, the gold plating film is , And found that it is formed sufficiently thick in a short time.

【0005】またこの場合、被めっき物にS−S硫黄結
合を有する化合物を含まない無電解ニッケルめっき液を
用いて無電解ニッケルめっきを行った後、この皮膜上に
S−S硫黄結合を有する化合物を含む無電解ニッケルめ
っき液を用いて無電解ニッケルめっきを行い、その上に
無電解金めっきを施すことにより、金めっき皮膜が短時
間で十分に厚く形成される上、経時的な変色のない良好
な外観を有する金めっき皮膜が得られることを見出し、
本発明をなすに至ったものである。
In this case, after electroless nickel plating is performed on the object to be plated using an electroless nickel plating solution that does not contain a compound having an S--S sulfur bond, the film has an S--S sulfur bond. Electroless nickel plating is performed using an electroless nickel plating solution containing a compound, and by applying electroless gold plating on it, a gold plating film is formed to be sufficiently thick in a short time and discoloration over time It was found that a gold-plated film having a good appearance without
The present invention has been accomplished.

【0006】従って、本発明は、S−S硫黄結合を有す
る化合物を添加した無電解ニッケルめっき液を用いてニ
ッケルめっきを行った後、このニッケルめっきにより形
成されたニッケルめっき皮膜を有する被めっき物を無電
解金めっき浴に浸漬して無電解金めっきすることを特徴
とする無電解金めっきの厚付け方法を提供する。また、
本発明は、被めっき物にS−S硫黄結合を有する化合物
無含有の無電解ニッケルめっき液を用いて無電解ニッケ
ルめっきを施した後、S−S硫黄結合を有する化合物を
含有した無電解ニッケルめっきを施し、その後無電解金
めっきを施すようにした無電解金めっきの厚付け方法を
提供する。
Therefore, according to the present invention, an object to be plated having a nickel plating film formed by this nickel plating after performing nickel plating using an electroless nickel plating solution to which a compound having an S--S sulfur bond is added The present invention provides a method for thickening electroless gold plating, which comprises immersing the above in an electroless gold plating bath to perform electroless gold plating. Also,
According to the present invention, electroless nickel plating is performed on an object to be plated using an electroless nickel plating solution containing no compound having an S-S sulfur bond, and then electroless nickel containing a compound having an S-S sulfur bond. Provided is a method of thickening electroless gold plating, which comprises performing plating and then performing electroless gold plating.

【0007】以下、本発明につき更に詳しく説明する
と、本発明の無電解金めっきの厚付け方法は、上述した
ように、S−S硫黄結合を有する化合物を添加した無電
解ニッケルめっき液を用いてニッケルめっきを行った
後、無電解金めっきを行うものである。
The present invention will be described in more detail below. The electroless gold plating thickening method of the present invention uses an electroless nickel plating solution to which a compound having an S--S sulfur bond is added, as described above. After performing nickel plating, electroless gold plating is performed.

【0008】本発明に用いられる無電解ニッケルめっき
液は、水溶性ニッケル塩、還元剤、錯化剤を含有するも
のである。
The electroless nickel plating solution used in the present invention contains a water-soluble nickel salt, a reducing agent and a complexing agent.

【0009】ここで、水溶性ニッケル塩としては、硫酸
ニッケル、塩化ニッケル等が用いられ、その使用量は
0.01〜1モル/L、特に0.05〜0.2モル/L
とすることが好ましい。
Here, as the water-soluble nickel salt, nickel sulfate, nickel chloride or the like is used, and the amount used is 0.01 to 1 mol / L, particularly 0.05 to 0.2 mol / L.
It is preferable that

【0010】また、還元剤としては、次亜リン酸、次亜
リン酸ナトリウム等の次亜リン酸塩、ジメチルアミンボ
ラン、トリメチルアミンボラン、ヒドラジン等が用いら
れる。その使用量は0.01〜1モル/L、特に0.0
5〜0.5モル/Lであることが好ましい。
As the reducing agent, hypophosphite, hypophosphite such as sodium hypophosphite, dimethylamine borane, trimethylamine borane, hydrazine and the like are used. The amount used is 0.01 to 1 mol / L, especially 0.0
It is preferably 5 to 0.5 mol / L.

【0011】錯化剤としては、りんご酸、こはく酸、乳
酸、クエン酸などやそのナトリウム塩などのカルボン酸
類、グリシン、アラニン、イミノジ酢酸、アルギニン、
グルタミン酸等のアミノ酸類等、公知の錯化剤が用いら
れる。その使用量は0.01〜2モル/L、特に0.0
5〜1モル/Lであることが好ましい。
Examples of complexing agents include carboxylic acids such as malic acid, succinic acid, lactic acid, citric acid and sodium salts thereof, glycine, alanine, iminodiacetic acid, arginine,
Known complexing agents such as amino acids such as glutamic acid are used. The amount used is 0.01 to 2 mol / L, especially 0.0
It is preferably 5 to 1 mol / L.

【0012】無電解ニッケルめっき液には、更に通常安
定剤として水溶性鉛塩の酢酸鉛、硫黄化合物のチオジグ
リコール酸などを添加することができる。その添加量は
0.1〜100mg/Lであることが好ましい。
To the electroless nickel plating solution, a water-soluble lead salt such as lead acetate and a sulfur compound such as thiodiglycolic acid can be added as stabilizers. The added amount is preferably 0.1 to 100 mg / L.

【0013】本発明においては、上記成分に加え、S−
S硫黄結合を有する化合物を添加するもので、これによ
りファインパターンにめっきを施した場合において、肩
薄の問題、ニッケルのはみ出しの問題が解消された無電
解ニッケルめっき皮膜を形成することができる。
In the present invention, in addition to the above components, S-
A compound having an S-sulfur bond is added, which makes it possible to form an electroless nickel plating film that solves the problems of shoulder thinning and nickel squeezing out when plating is applied to a fine pattern.

【0014】この場合、上記硫黄結合を有する化合物と
しては、有機硫黄化合物でもよいが、無機硫黄化合物、
特にチオ硫酸塩、二チオン酸塩、ポリチオン酸塩(例え
ばO3S−Sn−SO3においてn=1〜4)、亜二チオ
ン酸塩が好ましい。なお、塩としてはナトリウム塩等の
アルカリ金属の水溶性塩が用いられる。
In this case, the compound having a sulfur bond may be an organic sulfur compound, but an inorganic sulfur compound,
Particularly, thiosulfates, dithionates, polythionates (for example, n = 1 to 4 in O 3 S—Sn—SO 3 ) and dithionite are preferable. As the salt, a water-soluble salt of an alkali metal such as sodium salt is used.

【0015】上記硫黄結合を有する化合物の添加量は、
0.01〜100mg/L、特に0.05〜50mg/
Lであることが好ましい。0.01mg/Lより少ない
と上述した本発明の目的が十分達成されず、100mg
/Lより多いとめっきが全く付着しない現象が起こる。
The addition amount of the above-mentioned compound having a sulfur bond is
0.01-100 mg / L, especially 0.05-50 mg / L
It is preferably L. If it is less than 0.01 mg / L, the above-mentioned object of the present invention cannot be sufficiently achieved, and 100 mg
If it is more than / L, the phenomenon that plating does not adhere at all occurs.

【0016】本発明の無電解ニッケルめっき液のpHは
4〜7、特に4〜6であることが好ましい。
The pH of the electroless nickel plating solution of the present invention is preferably 4 to 7, and more preferably 4 to 6.

【0017】上記無電解ニッケルめっき液を用いてファ
インパターンなどに対する無電解ニッケルめっきを行う
方法は常法に従うことができ、該めっき液に被めっき物
を浸漬すればよい。被めっき液の材質としては、鉄、コ
バルト、ニッケル、パラジウムなどやこれらの合金とい
った無電解ニッケルめっき皮膜の還元析出に触媒性のあ
る金属を挙げることができる。また、触媒性のない金属
であれば、いわゆるガルバニックイニシエーションを行
う(被めっき物に対し還元析出が生じるまで電気を与え
る)か、又は上記触媒活性のある金属のめっき皮膜を形
成してからめっきを行えばよく、またガラス、セラミッ
クス、プラスチック等、或いは上記触媒活性のない金属
などに対しては常法に従ってパラジウム核などの金属触
媒核を付着させた後にめっきを行うことができる。この
場合、めっき温度は40〜95℃、特に60〜95℃と
することが好ましく、また必要によりめっきに際して撹
拌を行うことができる。
The method of performing electroless nickel plating on a fine pattern or the like using the above electroless nickel plating solution can be carried out by an ordinary method, and an object to be plated may be immersed in the plating solution. Examples of the material of the liquid to be plated include metals such as iron, cobalt, nickel, and palladium, and alloys thereof, which are catalytic in reducing and depositing the electroless nickel plating film. If the metal has no catalytic property, so-called galvanic initiation is performed (electricity is applied to the object to be plated until reduction precipitation occurs), or plating is performed after forming a plating film of the above-mentioned catalytically active metal. It suffices to carry out, and for glass, ceramics, plastics, or the like, or metals having no catalytic activity as described above, plating can be carried out after attaching metal catalyst nuclei such as palladium nuclei according to a conventional method. In this case, the plating temperature is preferably 40 to 95 ° C., particularly 60 to 95 ° C., and if necessary, stirring can be performed during plating.

【0018】本発明は、このような無電解ニッケルめっ
きを施した被めっき物に対して無電解金めっきを行うも
ので、上述したS−S硫黄結合を有する化合物が添加さ
れた無電解ニッケルめっき液を用いて形成された無電解
ニッケルめっき皮膜に対して無電解金めっきを施した場
合、かかるS−S硫黄結合を有する化合物を含まない無
電解ニッケルめっき液からの無電解ニッケルめっき皮膜
に無電解金めっきを施す場合に比較して、意外にも短時
間での厚付けが可能になったものである。
The present invention is to perform electroless gold plating on an object to be plated, which has been subjected to such electroless nickel plating. Electroless nickel plating to which the above-mentioned compound having an S--S sulfur bond is added. When electroless gold plating is applied to the electroless nickel plating film formed by using the solution, the electroless nickel plating film from the electroless nickel plating solution containing no compound having such S—S sulfur bond is not formed. Surprisingly, compared to the case where electrolytic gold plating is applied, it is possible to perform thickening in a short time.

【0019】この無電解金めっき浴は、金原料、錯化剤
等を含有するが、これらは通常の金めっき浴に使用され
る金原料でよく、例えば、シアン化金塩、亜硫酸金塩、
チオ硫酸金塩等を使用することができ、特にシアン化金
カリウムなどの水溶性シアン化金塩を好適に使用するこ
とができる。金原料の配合量は特に限定されるものでは
ないが、金濃度として0.5〜10g/L、特に1〜5
g/Lとすることが好ましい。この場合、金原料の配合
量、即ちめっき浴中の金イオン濃度にほぼ比例してめっ
き速度が増大するが、10g/Lを超えるとめっき速度
は増大するものの、めっき浴の安定性に劣る場合があ
る。一方、金濃度が0.5g/L未満であると、めっき
速度が非常に小さくなってしまう場合が生じる。
The electroless gold plating bath contains a gold raw material, a complexing agent and the like, and these may be the gold raw materials used in ordinary gold plating baths, for example, gold cyanide salt, gold sulfite salt,
Gold thiosulfate and the like can be used, and particularly water-soluble gold cyanide salt such as potassium gold cyanide can be preferably used. The amount of the gold raw material is not particularly limited, but the gold concentration is 0.5 to 10 g / L, particularly 1 to 5
g / L is preferable. In this case, the plating rate increases almost in proportion to the amount of the gold raw material mixed, that is, the concentration of gold ions in the plating bath. If the plating rate exceeds 10 g / L, the plating rate increases but the stability of the plating bath is poor. There is. On the other hand, if the gold concentration is less than 0.5 g / L, the plating rate may be extremely low.

【0020】次に、上記無電解金めっき浴に配合する錯
化剤も公知のものを使用することができる。具体的に
は、硫酸アンモニウム、アミノカルボン酸塩、カルボン
酸塩、ヒドロキシカルボン酸塩等を使用することがで
き、通常5〜300g/L、特に10〜200g/Lの
範囲で配合することが好ましく、5g/L未満では錯化
剤としても効果が不十分となり、液安定性に欠ける場合
があり、また300g/Lを超える量を添加しても効果
はあまり上がらず、不経済である。
Next, as the complexing agent to be blended with the electroless gold plating bath, known compounds can be used. Specifically, ammonium sulfate, aminocarboxylate, carboxylate, hydroxycarboxylate and the like can be used, and it is usually preferable to add 5 to 300 g / L, particularly 10 to 200 g / L, If it is less than 5 g / L, the effect as a complexing agent may be insufficient and the liquid stability may be insufficient, and if the amount exceeds 300 g / L, the effect may not be improved so much and it is uneconomical.

【0021】また、還元剤としてチオ硫酸塩、ヒドラジ
ン、アスコルビン酸塩などを配合することができる。こ
の場合、チオ硫酸塩としては、チオ硫酸アンモニウム、
チオ硫酸ナトリウム、チオ硫酸カリウム等が好適に用い
られる。上記還元剤は、その1種を単独で用いても2種
以上を併用してもよい。
As the reducing agent, thiosulfate, hydrazine, ascorbate and the like can be added. In this case, as the thiosulfate, ammonium thiosulfate,
Sodium thiosulfate, potassium thiosulfate and the like are preferably used. The reducing agents may be used alone or in combination of two or more.

【0022】還元剤の配合量は特に制限されるものでは
ないが、通常0〜10g/L、特に0〜5g/Lとする
ことが好ましい。この場合、還元剤の濃度にほぼ比例し
てめっき速度が増大するが、10g/Lを超える量を添
加してもめっき速度は余り大きくならず、むしろ液安定
性が劣化する場合がある。一方、還元剤の配合量がなく
とも下地のニッケルとの置換反応によって金が析出す
る。
The compounding amount of the reducing agent is not particularly limited, but it is usually 0 to 10 g / L, preferably 0 to 5 g / L. In this case, the plating rate increases almost in proportion to the concentration of the reducing agent, but even if the amount exceeds 10 g / L, the plating rate does not increase so much, and rather the liquid stability may deteriorate. On the other hand, even if the reducing agent is not blended, gold is deposited by the substitution reaction with the underlying nickel.

【0023】なお、上記の無電解金めっき浴は、更に必
要に応じて上記成分に加えてリン酸塩、亜リン酸塩、カ
ルボン酸塩等のpH調整剤、Tl,As,Pb等の結晶
調整剤、その他の各種添加剤を適宜混合して使用するこ
とができる。
In the electroless gold plating bath, if necessary, in addition to the above components, a pH adjusting agent such as a phosphate, a phosphite or a carboxylate, a crystal such as Tl, As, Pb or the like. A regulator and other various additives can be appropriately mixed and used.

【0024】上記のめっき浴は中性付近で使用すること
が好ましく、通常pH3.5〜9、より好ましくはpH
4〜9の範囲で使用することが推奨される。
The above-mentioned plating bath is preferably used in the vicinity of neutrality, usually pH 3.5 to 9, more preferably pH.
It is recommended to use in the range of 4-9.

【0025】ここで、上記無電解金めっき浴は厚付け用
として使用されるものであるが、本発明の無電解金めっ
き方法は、上記無電解金めっき浴を用いる以外は常法に
従って行うことができ、直接上記無電解ニッケルめっき
皮膜が形成された被めっき物に皮膜形成を行うこともで
きるが、特に厚付けめっきを行う際には、ストライク無
電解金めっきを行ってから厚付け無電解金めっきを行う
ことが好ましく、ストライク無電解金めっきを行うこと
によって、被めっき物に厚付け金めっきの下地調整を行
うことができ、厚付けする際に、被めっき物との密着、
膜厚分布を均一にすることができ、良好に皮膜形成する
ことができる。
Here, the electroless gold plating bath is used for thickening, but the electroless gold plating method of the present invention is carried out according to a conventional method except that the electroless gold plating bath is used. It is also possible to form a film directly on the object to be plated on which the above electroless nickel plating film is formed, but especially when performing thick plating, after performing strike electroless gold plating, thick electroless plating is performed. It is preferable to perform gold plating, and by performing strike electroless gold plating, it is possible to perform thickening gold plating undercoat adjustment on the object to be plated, and when thickening, adhere to the object to be plated,
The film thickness can be made uniform, and the film can be formed well.

【0026】この場合、このストライク無電解金めっき
浴の組成は、上記金原料を金濃度として0.5〜10g
/L、特に1〜5g/Lとし、EDTA及びそのアルカ
リ金属塩、その他上述した錯化剤を5〜300g/L、
特に10〜200g/L配合し、pHを3.5〜9とし
たものとすることができる。
In this case, the composition of this strike electroless gold plating bath is 0.5 to 10 g with the above-mentioned gold raw material as the gold concentration.
/ L, especially 1 to 5 g / L, and EDTA and its alkali metal salt and the above-mentioned complexing agent 5 to 300 g / L,
Particularly, 10 to 200 g / L may be blended to adjust the pH to 3.5 to 9.

【0027】上記無電解金めっき浴を用いて金めっきを
行う場合、めっき温度(液温)は、ストライク無電解金
めっき浴では、20〜95℃、特に30〜90℃で、通
常0.5〜30分、特に1〜15分とすることが好まし
く、次いで行う厚付け無電解金めっき浴では20〜95
℃、特に50〜90℃で、通常1〜60分、特に5〜4
0分とすることが好ましく、めっき液の温度が20℃未
満であるとめっき速度が遅く、厚付けの場合、生産性が
悪くなり不経済であり、95℃を超えるとめっき液が分
解するおそれがある。
When gold plating is performed using the above electroless gold plating bath, the plating temperature (solution temperature) is 20 to 95 ° C., especially 30 to 90 ° C. in the strike electroless gold plating bath, and usually 0.5. -30 minutes, especially 1-15 minutes is preferable, and 20-95 in the thick electroless gold plating bath to be performed next.
℃, especially 50-90 ℃, usually 1-60 minutes, especially 5-4
It is preferable to set it to 0 minutes, and if the temperature of the plating solution is less than 20 ° C, the plating rate is slow, and in the case of thick coating, productivity is poor and it is uneconomical. If it exceeds 95 ° C, the plating solution may decompose. There is.

【0028】また、被めっき物に直接厚付け無電解金め
っきを行う場合には、めっき浴の温度は50〜95℃、
特に70〜90℃とすることが好ましく、50℃未満で
はめっき速度が非常に小さくなる場合があり、95℃を
超えるとめっき速度は大きくなるが、金析出皮膜特性の
安定性が乏しくなる場合がある。
Further, in the case of directly carrying out thick electroless gold plating on the object to be plated, the temperature of the plating bath is 50 to 95 ° C.
In particular, the temperature is preferably 70 to 90 ° C., and if it is lower than 50 ° C., the plating rate may be extremely low, and if it exceeds 95 ° C., the plating rate may be high, but the stability of the gold deposition film characteristics may be poor. is there.

【0029】本発明は、以上のようにS−S硫黄結合を
有する化合物を含む無電解ニッケルめっき皮膜上に無電
解金めっきを行うことにより、金めっきの厚付けを可能
にしたものであるが、この場合、上記S−S硫黄結合を
有する化合物を含む無電解ニッケルめっきを施す前に、
被めっき物に上記S−S硫黄結合を含まない無電解ニッ
ケルめっきを施して第1層の無電解ニッケルめっき皮膜
を形成し、この上に上記S−S硫黄結合を含む無電解ニ
ッケルめっきを施して第2層の無電解ニッケルめっき皮
膜を形成した後、無電解金めっきを行うことが推奨され
る。
The present invention enables thickening of gold plating by performing electroless gold plating on the electroless nickel plating film containing the compound having an S--S sulfur bond as described above. In this case, before performing electroless nickel plating containing the compound having the S—S sulfur bond,
The electroless nickel plating not containing the S—S sulfur bond is applied to the object to be plated to form the electroless nickel plating film of the first layer, and the electroless nickel plating containing the S—S sulfur bond is applied thereon. It is recommended to perform electroless gold plating after forming the second layer of electroless nickel plating film.

【0030】即ち、上記無電解金めっきは、そのめっき
液中に還元剤が含まれていても、金原料がシアン化金塩
の場合には特に本質的にS−S硫黄結合を含む無電解ニ
ッケルめっき皮膜との置換反応、つまり無電解金めっき
液中で該ニッケルめっき皮膜が溶解すると共に、金イオ
ンAu+が還元するという機構で行われる。 Ni0→Ni2++2e 2Au++2e→2Au0
That is, in the above electroless gold plating, even if a reducing agent is contained in the plating solution, the electroless gold containing essentially S--S sulfur bond is essentially contained when the gold raw material is a gold cyanide salt. It is carried out by a substitution reaction with the nickel plating film, that is, a mechanism in which the nickel plating film is dissolved in the electroless gold plating solution and gold ions Au + are reduced. Ni 0 → Ni 2+ + 2e 2Au + + 2e → 2Au 0

【0031】この場合、上記S−S硫黄結合を有する化
合物を含む無電解ニッケルめっき液から得られためっき
皮膜が、図2に示すように、局部的に溶解し、被めっき
物の素地にまで達するピンホールが生じるおそれがあ
る。なお、図中1は被めっき物、2はS−S硫黄結合を
有する化合物を含む無電解ニッケルめっき液から得られ
たニッケルめっき皮膜、3は無電解金めっき皮膜、4は
ピンホールである。このようにピンホールが被めっき物
素地まで達した場合、特に被めっき物素地が銅などの腐
食し易い金属であると、この被めっき物素地の銅などの
腐食性金属が溶解し、上記ピンホールを通って無電解金
めっき液を汚染したり、無電解金めっき皮膜を汚染し、
これを変色させるおそれがある。
In this case, as shown in FIG. 2, the plating film obtained from the electroless nickel plating solution containing the compound having the S--S sulfur bond is locally dissolved to reach the substrate of the object to be plated. There is a risk of reaching pinholes. In the figure, 1 is an object to be plated, 2 is a nickel plating film obtained from an electroless nickel plating solution containing a compound having an S—S sulfur bond, 3 is an electroless gold plating film, and 4 is a pinhole. When the pinhole reaches the base material to be plated in this way, particularly when the base material to be plated is a metal such as copper that is easily corroded, corrosive metals such as copper in the base material to be plated are dissolved, Contaminate the electroless gold plating solution through the hole, or the electroless gold plating film,
This may cause discoloration.

【0032】これに対し、図3に示すように、被めっき
物1にS−S硫黄結合を有する化合物を含まない無電解
ニッケルめっき液を用いて第1層のニッケルめっき皮膜
5を形成し、この上にS−S硫黄結合を有する化合物を
含む無電解ニッケルめっき液を用いて第2層のニッケル
めっき皮膜2を形成した場合、無電解金めっき液中にお
ける無電解ニッケルめっき皮膜の溶出速度(金イオンの
金属金への置換速度)は図1に示すように、S−S硫黄
結合を有する化合物を含む無電解ニッケルめっき液から
のめっき皮膜2の方が、S−S硫黄結合を有する化合物
を含まない無電解ニッケルめっき液からのめっき皮膜5
に比べて格段に速く、S−S硫黄結合を有する化合物を
含まない無電解ニッケルめっき液からのめっき皮膜5は
溶出速度が著しく遅いので、上記S−S硫黄結合を有す
る化合物を含む無電解ニッケルめっき液からの第2層の
めっき皮膜2がたとえ局部的に溶解し、この皮膜2を貫
通するピンホール4が生じたとしても、このピンホール
4はS−S硫黄結合を有する無電解ニッケルめっき液か
らの第2層のめっき皮膜2で止まり、S−S硫黄結合を
有する化合物を含まない無電解ニッケルめっき液からの
第1層のめっき皮膜5にピンホールを形成することな
く、ピンホール4は、第2層のめっき皮膜2の別の場所
で新たに生じるか、あるいは当該場所においてピンホー
ル4が横に広がるように作用する。
On the other hand, as shown in FIG. 3, an electroless nickel plating solution containing no compound having an S--S sulfur bond is used for the object to be plated 1 to form a nickel plating film 5 of the first layer, When the second layer nickel plating film 2 is formed on this using an electroless nickel plating solution containing a compound having an S—S sulfur bond, the elution rate of the electroless nickel plating film in the electroless gold plating solution ( The rate of substitution of gold ions with metallic gold) is shown in FIG. 1, in which the plating film 2 from the electroless nickel plating solution containing a compound having an S—S sulfur bond has a compound having an S—S sulfur bond. Plating film 5 from electroless nickel plating solution containing no
Since the plating film 5 from the electroless nickel plating solution containing no compound having an S-S sulfur bond has a significantly slower elution rate than the above, the electroless nickel containing the compound having an S-S sulfur bond is significantly slower. Even if the second layer plating film 2 from the plating solution is locally dissolved to form a pinhole 4 penetrating the film 2, the pinhole 4 has electroless nickel plating having an S—S sulfur bond. The pinholes 4 do not form pinholes on the first-layer plating film 5 from the electroless nickel plating solution that stops at the second-layer plating film 2 from the solution and does not contain a compound having an S—S sulfur bond. Is newly generated at another location of the second layer plating film 2, or acts so that the pinhole 4 spreads laterally at the location.

【0033】従って、このようにS−S硫黄結合を有す
る化合物を含まない無電解ニッケルめっき液による第1
層のめっき皮膜5上にS−S硫黄結合を有する化合物を
含む無電解ニッケルめっき液による第2層のめっき皮膜
2を形成し、この状態で無電解金めっきを施せば、無電
解金めっき皮膜が短時間で厚く形成される上、被めっき
物素地からの溶出金属による無電解金めっき液の汚染、
無電解金めっき皮膜の変色が確実に防止される。従っ
て、この方法は被めっき物の素地金属が銅などの腐食性
金属の場合、例えば被めっき物がプリント配線板などの
場合に好適に採用し得る。
Therefore, the first electroless nickel plating solution containing no compound having an S--S sulfur bond is used.
If the second layer plating film 2 is formed on the layer plating film 5 with an electroless nickel plating solution containing a compound having an S—S sulfur bond, and electroless gold plating is performed in this state, the electroless gold plating film is obtained. Is formed thick in a short time, and the electroless gold plating solution is contaminated by the metal eluted from the substrate to be plated,
The discoloration of the electroless gold plating film is reliably prevented. Therefore, this method can be suitably used when the base metal of the object to be plated is a corrosive metal such as copper, for example, when the object to be plated is a printed wiring board or the like.

【0034】ここで、S−S硫黄結合を有する化合物を
含まない無電解ニッケルめっきに用いるめっき液、めっ
き条件としては、上述したS−S硫黄結合を有する化合
物を含む無電解ニッケルめっき液組成において、このS
−S硫黄結合を有する化合物を配合しない以外は同様の
めっき液組成とすることができ、また同様のめっき条件
でめっきすることができる。
The plating solution and the plating conditions used for the electroless nickel plating not containing the compound having the S--S sulfur bond are the electroless nickel plating solution composition containing the compound having the S--S sulfur bond as described above. , This S
The same plating solution composition can be used except that a compound having a -S sulfur bond is not added, and plating can be performed under the same plating conditions.

【0035】なお、S−S硫黄結合を有する化合物を含
まない無電解ニッケルめっき液からの第1層のめっき皮
膜の膜厚は0.5〜5μm、特に1〜3μmであること
が好ましく、この上に形成されるS−S硫黄結合を有す
る化合物を含む無電解ニッケルめっき液からの第2層の
めっき皮膜の膜厚は0.5〜5μm、特に1〜5μmと
することが好ましい。
The thickness of the plating film of the first layer from the electroless nickel plating solution containing no compound having an S--S sulfur bond is preferably 0.5 to 5 .mu.m, particularly 1 to 3 .mu.m. The thickness of the second layer of the plating film formed from the electroless nickel plating solution containing the compound having an S—S sulfur bond formed above is preferably 0.5 to 5 μm, and particularly preferably 1 to 5 μm.

【0036】また、被めっき物の素地が腐食性金属でな
い場合などにおいて、被めっき物に直接S−S硫黄結合
を有する化合物を含む無電解ニッケル液からめっき皮膜
を形成することができるが、この場合、このめっき皮膜
の膜厚は0.5〜10μm、特に1〜8μmとすること
ができる。このめっき皮膜が十分厚ければ、上述したピ
ンホールの貫通は防止され、あるいは少なくなる。
When the substrate of the object to be plated is not a corrosive metal, the plated film can be formed directly from the electroless nickel solution containing the compound having the S--S sulfur bond on the object to be plated. In this case, the thickness of this plating film can be 0.5 to 10 μm, and particularly 1 to 8 μm. If the plating film is sufficiently thick, the above-mentioned penetration of pinholes can be prevented or reduced.

【0037】無電解金めっき皮膜の厚さは適宜選定さ
れ、特に制限されないが、通常0.1〜2μm、特に
0.3〜0.8μmである。
The thickness of the electroless gold plating film is appropriately selected and is not particularly limited, but is usually 0.1 to 2 μm, and particularly 0.3 to 0.8 μm.

【0038】[0038]

【発明の効果】以上説明したように、本発明の無電解金
めっきの厚付け方法によれば、金めっき皮膜を短時間で
十分に厚くすることができる。
As described above, according to the thickening method for electroless gold plating of the present invention, the gold plating film can be made sufficiently thick in a short time.

【0039】[0039]

【実施例】以下、実施例と比較例を示し、本発明を具体
的に説明するが、本発明は下記の実施例に制限されるも
のではない。
EXAMPLES The present invention will be described below in detail with reference to examples and comparative examples, but the present invention is not limited to the following examples.

【0040】〔比較例〕 硫酸ニッケル 20g/L 次亜リン酸ナトリウム 20g/L りんご酸 10g/L こはく酸ナトリウム 20g/L 鉛イオン 1.0mg/L pH 4.6 温度 85℃Comparative Example Nickel Sulfate 20 g / L Sodium Hypophosphite 20 g / L Malic Acid 10 g / L Sodium Succinate 20 g / L Lead Ion 1.0 mg / L pH 4.6 Temperature 85 ° C.

【0041】〔実施例1〕 硫酸ニッケル 20g/L 次亜リン酸ナトリウム 20g/L りんご酸 10g/L こはく酸ナトリウム 20g/L 鉛イオン 1.0mg/L チオ硫酸ソーダ 1.0mg/L pH 4.6 温度 85℃Example 1 Nickel sulfate 20 g / L Sodium hypophosphite 20 g / L Malic acid 10 g / L Sodium succinate 20 g / L Lead ion 1.0 mg / L Sodium thiosulfate 1.0 mg / L pH 4. 6 Temperature 85 ℃

【0042】上記比較例、実施例の無電解めっき液を用
い、銅板上に5μmのめっき皮膜を形成した。次いで、
下記のストライク無電解金めっき浴を用い、下記条件で
ストライクめっきを行った後、下記の厚付け無電解めっ
き浴を用いて下記条件で厚付けめっきを行い、経時的に
金めっき皮膜の膜厚を測定した、結果を図1に示す。 ストライク無電解金めっき KAu(CN)2 1.5g/L (Au 1.0g/L) EDTA・2Na 5.0g/L クエン酸・2K 30.0g/L pH 7 温度 90℃ 時間 7分厚付け無電解金めっき KAu(CN)2 5.9g/L (Au 4.0g/L) 硫酸アンモニウム 200g/L チオ硫酸ナトリウム 0.5g/L リン酸アンモニウム 5.0g/L pH 6 温度 90℃
Use the electroless plating solutions of the above Comparative Examples and Examples.
A 5 μm plating film was formed on the copper plate. Then
Using the following strike electroless gold plating bath under the following conditions
After performing the strike plating, the following thick electroless plating
Thick plating under the following conditions using a bath
FIG. 1 shows the result of measuring the film thickness of the gold plating film. Strike electroless gold plating KAu (CN)Two 1.5 g / L (Au 1.0 g / L) EDTA ・ 2Na 5.0 g / L citric acid ・ 2K 30.0 g / L pH 7 Temperature 90 ° C. Time 7 minutesThick electroless gold plating KAu (CN)Two 5.9 g / L (Au 4.0 g / L) Ammonium sulfate 200 g / L Sodium thiosulfate 0.5 g / L Ammonium phosphate 5.0 g / L pH 6 Temperature 90 ° C.

【0043】図1より、実施例の無電解ニッケルめっき
皮膜に対し無電解金めっきを施した方が、比較例の無電
解ニッケルめっき皮膜に対し無電解金めっきを施した場
合よりも、単位時間あたりの金めっき皮膜が格段に厚く
得られることがわかり、短時間で0.5μm以上の膜厚
が容易に得られることがわかる。
From FIG. 1, it can be seen that the electroless gold plating applied to the electroless nickel plating film of the example is less than the electroless gold plating applied to the electroless nickel plating film of the comparative example in unit time. It can be seen that the gold plating film around this is significantly thick, and that a film thickness of 0.5 μm or more can be easily obtained in a short time.

【0044】〔実施例2〕銅板上に下記めっき液組成、
めっき条件で無電解ニッケルめっきを15分間行い、第
1層の無電解ニッケルめっき皮膜を2.5μm形成し
た。 第1層 硫酸ニッケル 20g/L 次亜リン酸ナトリウム 20g/L りんご酸 10g/L こはく酸ナトリウム 20g/L 鉛イオン 1.0mg/L pH 4.6 温度 85℃ 時間 15分
Example 2 The following plating solution composition was applied on a copper plate:
Electroless nickel plating was performed for 15 minutes under the plating conditions to form a first layer of electroless nickel plating film of 2.5 μm. First layer Nickel sulfate 20 g / L Sodium hypophosphite 20 g / L Malic acid 10 g / L Sodium succinate 20 g / L Lead ion 1.0 mg / L pH 4.6 Temperature 85 ° C. Time 15 minutes

【0045】次に、この第1層のニッケルめっき皮膜上
に下記めっき組成、めっき条件で無電解ニッケルめっき
を15分間行い、第2層の無電解ニッケルめっき皮膜を
3.0μm形成した。 第2層 硫酸ニッケル 20g/L 次亜リン酸ナトリウム 20g/L りんご酸 10g/L こはく酸ナトリウム 20g/L 鉛イオン 1.0mg/L チオ硫酸ナトリウム 1.0mg/L pH 4.6 温度 85℃ 時間 15分
Next, electroless nickel plating was performed on this first layer nickel plating film for 15 minutes under the following plating composition and plating conditions to form a second layer electroless nickel plating film of 3.0 μm. Second layer Nickel sulfate 20 g / L Sodium hypophosphite 20 g / L Malic acid 10 g / L Sodium succinate 20 g / L Lead ion 1.0 mg / L Sodium thiosulfate 1.0 mg / L pH 4.6 Temperature 85 ° C. hours 15 minutes

【0046】次いで、実施例1と同様のストライク無電
解金めっき液を用い、同様の条件でストライクめっきを
7分間行った後、実施例1と同様の厚付け金めっき液を
用い同様の条件で20分間金めっきを行い、0.5μm
の金めっき皮膜を得た。
Next, the same strike electroless gold plating solution as in Example 1 was used and strike plating was performed for 7 minutes under the same conditions, and then the same thick plating gold plating solution as in Example 1 was used under the same conditions. Gold plating for 20 minutes, 0.5μm
A gold plating film of

【0047】これを150℃で4時間空気中で熱処理し
た後、外観評価を行ったが、変色はなく、めっき直後と
同様の金色外観を維持していた。
After heat treatment in air at 150 ° C. for 4 hours, the appearance was evaluated. No discoloration was observed and the same golden appearance as immediately after plating was maintained.

【0048】なお、上記第1層のニッケルめっき皮膜を
形成していないものは、150℃、4時間の熱処理で実
用上は問題がないが、わずかな変色、特に配線パターン
の細かい所、又は大きなパッドのエッジ部に変色がみら
れた。
It should be noted that, in the case where the nickel plating film of the first layer is not formed, there is no problem in practical use by heat treatment at 150 ° C. for 4 hours, but a slight discoloration, especially a fine wiring pattern or a large wiring pattern. Discoloration was observed at the edge of the pad.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】無電解ニッケルめっき皮膜に無電解金めっきを
施した場合におけるめっき時間と金膜厚との関係を示し
たグラフである。
FIG. 1 is a graph showing the relationship between plating time and gold film thickness when electroless gold plating is applied to an electroless nickel plating film.

【図2】S−S硫黄結合を有する化合物を含む無電解ニ
ッケルめっき液よりニッケルめっき皮膜を1層形成した
場合におけるピンホール形成状態を示す模式図である。
FIG. 2 is a schematic view showing a pinhole formation state when one nickel plating film is formed from an electroless nickel plating solution containing a compound having an S—S sulfur bond.

【図3】S−S硫黄結合を有する化合物を含まない無電
解ニッケルめっき液からのめっき皮膜上にS−S硫黄結
合を有する化合物を含む無電解ニッケルめっき液からの
めっき皮膜を形成した場合におけるピンホール形成状態
を示す模式図である。
FIG. 3 shows a case where a plating film is formed from an electroless nickel plating solution containing a compound having an S—S sulfur bond on a plating film formed from an electroless nickel plating solution not containing a compound having an S—S sulfur bond. It is a schematic diagram which shows a pinhole formation state.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 被めっき物 2 S−S硫黄結合を有する化合物を含む無電解ニッケ
ルめっき液からのめっき皮膜 3 無電解金めっき皮膜 4 ピンホール 5 S−S硫黄結合を有する化合物を含まない無電解ニ
ッケルめっき液からのめっき皮膜
1 Plating object 2 Plating film from electroless nickel plating solution containing compound having S-S sulfur bond 3 Electroless gold plating film 4 Pinhole 5 Electroless nickel plating solution not containing compound having S-S sulfur bond Plating film from

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 C23C 28/02 C23C 28/02 H05K 3/24 7511−4E H05K 3/24 A (72)発明者 薄 留美子 大阪府枚方市出口1丁目5番1号 上村工 業株式会社中央研究所内 (72)発明者 木曽 雅之 大阪府枚方市出口1丁目5番1号 上村工 業株式会社中央研究所内─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (51) Int.Cl. 6 Identification number Internal reference number FI Technical display location C23C 28/02 C23C 28/02 H05K 3/24 7511-4E H05K 3/24 A (72) Inventor Rumiko Usu 1-5-1, Exit Hirakata, Osaka Prefecture Central Research Institute, Uemura Industrial Co., Ltd. (72) Masayuki Kiso 1-5-1, Exit Hirakata, Osaka Prefecture Central Research Institute, Uemura Industrial Co., Ltd.

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 S−S硫黄結合を有する化合物を添加し
た無電解ニッケルめっき液を用いてニッケルめっきを行
った後、このニッケルめっきにより形成されたニッケル
めっき皮膜を有する被めっき物を無電解金めっき浴に浸
漬して無電解金めっきすることを特徴とする無電解金め
っきの厚付け方法。
1. After electroplating nickel using an electroless nickel plating solution to which a compound having an S—S sulfur bond is added, an object to be plated having a nickel plating film formed by this nickel plating is applied to electroless gold. A method for thickening electroless gold plating, which comprises immersing in a plating bath to perform electroless gold plating.
【請求項2】 被めっき物にS−S硫黄結合を有する化
合物無含有の無電解ニッケルめっき液を用いて無電解ニ
ッケルめっきを施した後、S−S硫黄結合を有する化合
物を含有した無電解ニッケルめっきを施し、その後無電
解金めっきを施すようにした請求項1記載の無電解金め
っきの厚付け方法。
2. An electroless nickel plating solution is applied to an object to be plated using an electroless nickel plating solution containing no compound having an S—S sulfur bond, and then an electroless material containing a compound having an S—S sulfur bond. The electroless gold plating thickening method according to claim 1, wherein nickel plating is performed and then electroless gold plating is performed.
【請求項3】 上記無電解ニッケルめっき液に添加する
S−S硫黄結合を有する化合物が、チオ硫酸塩、二チオ
ン酸塩、ポリチオン酸塩又は亜二チオン酸塩である請求
項1又は2記載の無電解金めっきの厚付け方法。
3. The compound having an S—S sulfur bond added to the electroless nickel plating solution is thiosulfate, dithionate, polythionate or dithionite. Electroless gold plating thickening method.
【請求項4】 上記無電解金めっき浴が、金原料として
シアン化金塩を含有し、かつpHが4〜9である請求項
1,2又は3記載の無電解金めっきの厚付け方法。
4. The electroless gold plating thickening method according to claim 1, wherein the electroless gold plating bath contains a gold cyanide salt as a gold raw material and has a pH of 4 to 9.
JP08266775A 1995-10-23 1996-09-17 Thickening method of electroless gold plating Expired - Lifetime JP3087163B2 (en)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP08266775A JP3087163B2 (en) 1995-10-23 1996-09-17 Thickening method of electroless gold plating
US08/931,832 US5910340A (en) 1995-10-23 1997-09-17 Electroless nickel plating solution and method

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP29918695 1995-10-23
JP7-299186 1995-10-23
JP08266775A JP3087163B2 (en) 1995-10-23 1996-09-17 Thickening method of electroless gold plating

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH09176864A true JPH09176864A (en) 1997-07-08
JP3087163B2 JP3087163B2 (en) 2000-09-11

Family

ID=26547583

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP08266775A Expired - Lifetime JP3087163B2 (en) 1995-10-23 1996-09-17 Thickening method of electroless gold plating

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3087163B2 (en)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1999031293A1 (en) * 1997-12-18 1999-06-24 Japan Energy Corporation Pretreating fluid and method of pretreatment for electroless nickel plating
WO2001063007A1 (en) * 2000-02-24 2001-08-30 Ibiden Co., Ltd. Nickel-gold plating exhibiting high resistance to corrosion
KR100442519B1 (en) * 2002-04-09 2004-07-30 삼성전기주식회사 Alloy Plating Solution for Surface Treatment of Modular PCB
JPWO2007043333A1 (en) * 2005-10-07 2009-04-16 日鉱金属株式会社 Electroless nickel plating solution

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1999031293A1 (en) * 1997-12-18 1999-06-24 Japan Energy Corporation Pretreating fluid and method of pretreatment for electroless nickel plating
US6156218A (en) * 1997-12-18 2000-12-05 Japan Energy Corporation Method of pretreatment for electroless nickel plating
WO2001063007A1 (en) * 2000-02-24 2001-08-30 Ibiden Co., Ltd. Nickel-gold plating exhibiting high resistance to corrosion
US6872470B2 (en) 2000-02-24 2005-03-29 Ibiden Co., Ltd. Nickel-gold plating exhibiting high resistance to corrosion
KR100442519B1 (en) * 2002-04-09 2004-07-30 삼성전기주식회사 Alloy Plating Solution for Surface Treatment of Modular PCB
JPWO2007043333A1 (en) * 2005-10-07 2009-04-16 日鉱金属株式会社 Electroless nickel plating solution
JP4536781B2 (en) * 2005-10-07 2010-09-01 日鉱金属株式会社 Electroless nickel plating solution

Also Published As

Publication number Publication date
JP3087163B2 (en) 2000-09-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5910340A (en) Electroless nickel plating solution and method
US5882736A (en) palladium layers deposition process
JP3892730B2 (en) Electroless gold plating solution
US7632343B2 (en) Electroless palladium plating solution
CN101469420A (en) Electroless gold-plating method and electronic component
US6336962B1 (en) Method and solution for producing gold coating
TW201905236A (en) Electroless nickel strike plating bath and method for forming nickel plating film
US6383269B1 (en) Electroless gold plating solution and process
CN103726037B (en) Chemical palladium immersing solution
TW201114945A (en) Electroless gold plating bath
JP3482402B2 (en) Replacement gold plating solution
JP5371465B2 (en) Non-cyan electroless gold plating solution and conductor pattern plating method
KR100404369B1 (en) Electroless Nickel Plating Solution and Method
JP3087163B2 (en) Thickening method of electroless gold plating
JP3437980B2 (en) Electroless palladium-nickel plating bath, plating method using the same, and plated product obtained by this method
KR100933243B1 (en) Electroless Gold Plating Process and Gold Layer Forming Process
JP2023527982A (en) Gold plating bath and gold plating final finish
JP3677617B2 (en) Electroless gold plating solution
JP7149061B2 (en) Electroless palladium plating solution
JP3175527B2 (en) Electroless nickel plating solution and plating method
CN114000129B (en) Chemical palladium plating bath
JP3175562B2 (en) Electroless gold plating bath and electroless gold plating method
JP2007177268A (en) Noble metal surface activation liquid for electroless nickel plating
JP2004323963A (en) Gold plating liquid
JP2009149958A (en) Pattern plating and pattern plating forming method

Legal Events

Date Code Title Description
R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080714

Year of fee payment: 8

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090714

Year of fee payment: 9

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100714

Year of fee payment: 10

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100714

Year of fee payment: 10

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110714

Year of fee payment: 11

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120714

Year of fee payment: 12

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130714

Year of fee payment: 13

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

EXPY Cancellation because of completion of term