[go: up one dir, main page]

JPH091374A - レーザ加工機における溶接用加工ヘッド - Google Patents

レーザ加工機における溶接用加工ヘッド

Info

Publication number
JPH091374A
JPH091374A JP7147592A JP14759295A JPH091374A JP H091374 A JPH091374 A JP H091374A JP 7147592 A JP7147592 A JP 7147592A JP 14759295 A JP14759295 A JP 14759295A JP H091374 A JPH091374 A JP H091374A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
shield gas
welding
processing head
hole
nozzle
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP7147592A
Other languages
English (en)
Inventor
Masanori Moribe
正典 森部
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Kobe Steel Ltd
Original Assignee
Kobe Steel Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Kobe Steel Ltd filed Critical Kobe Steel Ltd
Priority to JP7147592A priority Critical patent/JPH091374A/ja
Publication of JPH091374A publication Critical patent/JPH091374A/ja
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Laser Beam Processing (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 スパッタやブローホールを生じ易いアルミ合
金を、集光レンズの汚染を抑制しながら、外観が優れ、
かつ内部欠陥のない溶接ビードで接合する。 【構成】 溶接用加工ヘッド1の集光レンズ2よりもレ
ーザ光3の集光側に、筒状部材5の内側全域をエアカー
テン状に横断するシールドガスを吹込むシールドガス吹
込孔8を設けると共に、シールドガス吹込孔8に相対す
る側にシールドガスを排出するシールドガス排出孔10
を設ければ、シールドガス吹込孔8から多量のシールド
ガスを吹込んでスパッタの飛来による集光レンズ2の汚
染を防止することができ、しかもシールドガス排出孔1
0からシールドガスを排出することにより、加工ヘッド
ノズル6から噴射するシールドガスの噴射速度を適性に
調整することができるので、アルミ合金でも外観が優れ
ると共に内部欠陥のない溶接ビードで接合することがで
きる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、レーザ加工機における
溶接用加工ヘッドの改善に係り、特に集光光学系に対す
る優れた汚染防止機能を備えているにもかかわらず、ス
パッタやブローホールを生じ易いアルミ合金でも、欠陥
の少ない溶接部位を得ることを可能ならしめるレーザ加
工機における溶接用加工ヘッドに関する。
【0002】
【従来の技術】従来の典型的なレーザ加工機における溶
接用加工ヘッドは、その縦断面図の図4に示すように構
成されている。即ち、この溶接用加工ヘッド1の筒状部
材5の内側にレンズホルダー4が設けられており、これ
によってレーザ光3を集光する集光光学系である集光レ
ンズ2が支えられている。また、筒状部材5の先端部に
は加工ヘッドノズル6が設けられており、レーザ光3
は、加工ヘッドノズル6の直下に集光点7を結ぶように
集光レンズ2で集光されるように構成されている。さら
に、加工ヘッドノズル6から噴射させるアルゴンやヘリ
ウム等のシールドガスを筒状部材5の集光レンズ2と加
工ヘッドノズル6との間に供給するシールドガス吹込孔
8が設けられている。加工ヘッドノズル6から噴射する
シールドガスは、溶接部を外気と遮断して、溶接部の酸
化や欠陥の発生を防止すると共に、溶接部直上に形成さ
れるプラズマの状態を制御し、さらに溶接ヒューム等の
溶接用加工ヘッド1内への進入を遮る働きをするもので
ある。
【0003】しかしながら、近年、益々多様されるよう
になってきている大出力レーザ溶接やレーザ光によるア
ルミ合金等の溶接では、溶接部におけるスパッタやヒュ
ームの発生が激しく、集光レンズ等の集光光学系の汚染
による出力低下に起因する溶接結果の不安定性や光学部
品の寿命の低下が問題となっている。このようなスパッ
タ等による集光光学系の汚染防止を可能ならしめるよう
にしたレーザ加工機の溶接用加工ヘッドは、例えば特開
昭59−223191号公報、特開平1−107994
号公報、特開平6−122089号公報等に開示されて
いる。
【0004】先ず、特開昭59−223191号公報に
開示されてなるレーザ加工機の溶接用加工ヘッドは、そ
の断面図の図5(a)と、図5(a)のB−B線断面図
の図5(b)とに示すように、溶接用加工ヘッドである
加工本体1の先端部に、空気や窒素等のレンズ保護用ガ
スを内面に設けられたノズル孔21aから集光レンズ5
の光軸を横切り膜状にかつ高流速で流出して溶接時のス
パッタから集光レンズ5を保護するレンズ保護用ノズル
21が取付けられている。このレンズ保護用ノズル21
のノズル孔21aは、例えば図5(b)に示すように、
その平面形状がほぼ扇形をしており、レンズ保護用ガス
が集光レンズ5のレンズ面全面を覆うようになってい
る。また、レーザ光4の集束点4a近傍にはアルゴンガ
ス等のシールドガスを比較的緩やかな流速で被溶接材の
溶接個所に供給するシールドガス供給ノズル22が設け
られており、シールドガス供給ノズル22は、結合部材
23によって加工ヘッド本体1と結合し固定されてい
る。従って、レンズ保護用ノズル21のノズル孔21a
から流出するレンズ保護用ガスによって、集光レンズ5
に向かって飛来するスパッタが阻止されので、集光レン
ズ5の汚染が防止され、またシールドガス供給ノズル2
2から流出するシールドガスで被溶接材の溶接個所が覆
われるので、支障なく溶接が行われる。
【0005】特開平1−107994号公報に開示され
てなるレーザ加工機の溶接用加工ヘッドを、その断面図
の図6(a)と、図6(a)のC−C線断面図の図6
(b)とを参照しながら説明すると、符号1は溶接用加
工ヘッドである溶接ヘッドで、この溶接ヘッド1の上部
に配設された集光レンズ2はレーザ光5を溶接部材3,
3の突合わせ面上の焦点に集め、移動する溶接部材の突
合わせ部を溶かして溶接が行われる。溶接ヘッド1の左
側の側壁に設けられたガス吐出管6を通る空気はガス吐
出ノズル8を介して溶接ヘッド1内に吹込まれ、この空
気はガス吸出孔9をとおり溶接ヘッド1の右側の側壁に
設けられたガス吸出管7から吸出される。ガス吐出ノズ
ルは横方向に1列に多数設けられており、ガス吸出孔9
は横方向に延びた偏平状になっているので、ガス吐出ノ
ズル8からガス吸出孔9に流れる気流は膜状になり、こ
の膜状の気流によって溶接に際して発生するスパッタの
溶接ヘッド1内への進入が阻止される。なお、開口をレ
ーザ光5の焦点4に向けてなる左側の管は溶接個所にシ
ールドガスを吹付ける雰囲気ガス吐出ノズル10であ
り、また右側の管は排気管11である。
【0006】特開平6−122089号公報に開示され
てなるレーザ加工機の溶接用加工ヘッドを、その要部拡
大縦断面図の図7を参照しながら説明すると、照射用ノ
ズルチップ4の前方に離間して、レーザ光Lが通過する
開口部12を有するスパッタガード11を配設すると共
に、レーザ光Lに対して略直交し、かつ開口部12の上
方を覆うエアカーテンを形成するスパッタ進入防止用ガ
スの偏平ノズルが形成されている。さらに、スパッタガ
ード11の上面にスパッタ進入防止用ガスの誘導溝13
が形成されている。従って、溶接部2からのスパッタ等
は、スパッタガード11によって溶接用加工ヘッド1方
向への飛散分の大部分が遮られると共に、レーザ光通過
用の開口部12を介して飛散する部分もエアカーテンに
よって遮られる。なお、スパッタガード11の下部に傾
斜配設されてなるものは、溶接部2にシールドガスを噴
射するシールドガスノズル9である。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】上記のようなスパッタ
遮蔽手段の採用により、集光レンズ等の集光光学系の汚
染防止の問題はかなり改善される。しかしながら、スパ
ッタによる集光光学系の汚染防止と平行して、被溶接材
の溶接部の良好な品質を確保するのは非常に困難であ
る。例えば、アルミ合金では一般的な鉄鋼材料に比較し
て溶湯が軽量で、流動性が良く、かつ酸化し易いという
特性を有しているので、レーザ溶接に際してはスパッタ
が発生し易く、またブローホールも発生し易い。
【0008】そのため、溶接部の近傍に別途に設けたシ
ールドガスを吹出すシールドガス用ノズルの形状や、ガ
スの流量を種々検討しても、溶接ビードの外観や溶接ビ
ードの内部欠陥に関しては、図4に基づいて説明した典
型的な溶接用加工ヘッドによる溶接で得られるような品
質の溶接部を得ることが困難であった。つまり、加工ヘ
ッドノズルからシールドガスを噴射する典型的な溶接用
加工ヘッドに、集光光学系の汚染を確実に防止し得る機
能を付加することが、外観が優れかつ内部欠陥のない高
品質の溶接ビードを得る上において好ましい。
【0009】従って、本発明の目的とするところは、集
光光学系に対する優れた汚染防止機能を備えているにも
かかわらず、スパッタやブローホールを生じ易いアルミ
合金でも、欠陥の少ない溶接部位を得ることを可能なら
しめるレーザ加工機における溶接用加工ヘッドを提供す
るにある。
【0010】
【課題を解決するための手段】従って、上記課題を解決
するために、本発明の請求項1に係るレーザ加工機にお
ける溶接用加工ヘッドが採用した手段の特徴とするとこ
ろは、筒状部材の内側にレーザ光を集光する集光光学系
を備えると共に、前記筒状部材の先端部側に加工ヘッド
ノズルを備えてなるレーザ加工機における溶接用加工ヘ
ッドにおいて、前記筒状部材の前記集光光学系とレーザ
光の集光点との間に、該筒状部材の内側全域を横断する
向きにエアカーテン状に溶接用シールドガスを噴射する
シールドガス吹込孔を設けたところにある。
【0011】また、本発明の請求項2に係るレーザ加工
機における溶接用加工ヘッドが採用した手段の特徴とす
るところは、請求項1に記載のレーザ加工機における溶
接用加工ヘッドにおいて、前記筒状部材の前記シールド
ガス吹込孔の相対する側に、シールドガス吹込孔から吹
込れるガスを排出するシールドガス排出孔を設けたとこ
ろにある。
【0012】また、本発明の請求項3に係るレーザ加工
機における溶接用加工ヘッドが採用した手段の特徴とす
るところは、請求項2に記載のレーザ加工機における溶
接用加工ヘッドにおいて、前記シールドガス排出孔に連
通するシールドガス排出管にガス流量調整弁を介装した
ところにある。
【0013】
【作用】本発明の請求項1に係るレーザ加工機における
溶接用加工ヘッドによれば、シールドガス吹込孔からよ
り大量のシールドガスを筒状部材に吹込むことにより、
加工ヘッドノズルから被溶接材の溶接部にシールドガス
を噴射することができると共に、集光光学系に向かって
飛散するスパッタ等を遮ることができる。
【0014】本発明の請求項2に係るレーザ加工機にお
ける溶接用加工ヘッドによれば、シールドガス吹込孔か
らより大量のシールドガスを筒状部材に吹込むことによ
り加工ヘッドノズルから被溶接材の溶接部にシールドガ
スを噴射することができると共に、集光光学系に向かっ
て飛散するスパッタ等を遮ることができ、筒状部材に吹
込まれたシールドガスをシールドガス排出孔から排出す
ることにより、加工ヘッドノズルから溶接部に噴射され
るシールドガスの量を典型的な従来例に係る加工ヘッド
ノズルから噴射されるシールドガスの量と同等にするこ
とができる。
【0015】本発明の請求項3に係るレーザ加工機にお
ける溶接用加工ヘッドによれば、シールドガス吹込孔か
らより大量のシールドガスを筒状部材に吹込むことによ
り加工ヘッドノズルから被溶接材の溶接部にシールドガ
スを噴射することができると共に、集光光学系に向かっ
て飛散するスパッタ等を遮ることができ、またシールド
ガス排出孔に連通するシールドガス排出管に介装したガ
ス流量調整弁の開度を調整してシールドガス排出孔から
排出されるシールドガスの量を調整することにより、加
工ヘッドノズルから溶接部に噴射されるシールドガスの
量を簡単に調整することができる。
【0016】
【実施例】以下、本発明の実施例に係るレーザ加工機に
おける溶接用加工ヘッドを、その要部を示す縦断面図の
図1と、図1のA−A線断面図の図2とを参照しながら
説明する。
【0017】図1に示す符号1は溶接用加工ヘッドで、
この溶接用加工ヘッド1は、後述する構成になるシール
ドガス吹込孔と、シールドガス排出孔とを有する筒状部
材5と、この筒状部材5の内壁に設けられるリング状の
レンズホルダー4と、このレンズホルダー4の内周に設
けられた溝に嵌着され、レーザ光3を集光する集光光学
系である集光レンズ2と、この筒状部材5の下側の先端
に設けられる加工ヘッドノズル6とから構成されてい
る。ところで、この実施例では、集光光学系として集光
レンズ2を用いているが、集光光学系として放物面鏡等
を有するものであっても良い。なお、符号7は集光レン
ズ2の焦点に集光したレーザ光3の集光点で、ここで被
溶接材Wの溶接が行われる。
【0018】前記シールドガス吹込孔8は、図2に示す
ように、筒状部材5の周方向に複数(この例では6個)
配列され、これらシールドガス吹込孔8には、筒状部材
5の周方向に偏平であって、A−A断面における形状が
扇形をしたシールドガス供給ノズル9が接続されてい
る。また、シールドガス排出孔10は1個で、これには
ガス流量調整弁12が介装されてなるシールドガス排出
管11が連通している。なお、この例では、複数のシー
ルドガス吹込孔8を設けているが、例えば、溶接用加工
ヘッド横断面図の図3に示すように、筒状部材5の周方
向に長い偏平な1個のシールドガス吹込孔8にしても良
い。
【0019】以下、上記構成になるレーザ加工機におけ
る溶接用加工ヘッドの作用態様を説明すると、被溶接材
Wを溶接するに際して、シールドガス供給ノズル9から
シールドガスがシールドガス吹込孔8を介して筒状部材
5に吹込まれる。吹込まれたシールドガスの内の一部は
シールドガス排出孔10を介してシールドガス排出管1
1から排出されると共に、他のシールドガスは加工ヘッ
ドノズル6から被溶接材Wの溶接部に吹付けられる。
【0020】そして、被溶接材Wのレーザ溶接により溶
接部からスパッタが飛散し、その一部は加工ヘッドノズ
ル6の開口部から進入して集光レンズ2まで飛来しよう
とするが、シールドガス供給ノズル9から筒状部材5内
により多量のシールドガスを吹込むことによりスパッタ
が効果的に遮られる。このように、シールドガス吹込孔
8から筒状部材5内により多量のシールドガスを吹込ん
でも、ガス流量調整弁12の開度を調整してシールドガ
ス排出管11からのシールドガスの排出量を調整するこ
とにより、加工ヘッドノズル6から被溶接材Wの溶接部
に噴射されるシールドガス量を、外観が優れると共に内
部欠陥のない溶接ビードの形成に適した被溶接材Wの材
質に対応する量に調整することができる。
【0021】因みに、シールドガス吹込孔8から筒状部
材5内にシールドガスであるアルゴンガス(60リット
ル/min)を吹込み、ガス流量調整弁12の開度調整
により加工ヘッドノズル6からのアルゴンガスの噴射速
度を10m/sに調整し、アルミ合金(A5052)の
板を2m/minの速度で移動させて、3.5kWのレ
ーザ光3にて溶接したところ、集光レンズ2の汚染は、
典型的な従来例に係る溶接用加工ヘッドの場合の10%
以下に抑えられ、さらに溶接ビードの外観や内部欠陥も
同等であり、スパッタ遮蔽手段を備えた従来例に係る溶
接用加工ヘッドによる場合よりも優れていた。なお、こ
の実施例では、上記のとおり、アルゴンガスの吹込み方
向はレーザ光3の光軸に対して直角であるが、若干下向
きにアルゴンガスを吹込むと、集光レンズ2に付着する
スパッタの量が少なくなる傾向が認められた。
【0022】従って、被溶接材が、例えスパッタや内部
欠陥が生じ易いアルミ合金であっても、従来のように、
集光レンズの汚染による出力低下に起因する溶接結果の
不安定性や光学部品の寿命低下の恐れも少なく、また溶
接ビードの外観不良や内部欠陥も少なくなる。そのた
め、長期にわたり外観が優れ、しかも内部欠陥の少ない
溶接ビードを持つ溶接製品が得られ、溶接製品の信頼性
の向上に大いに寄与することができる。
【0023】なお、以上では、ガス流量調整弁12の開
度調整により、加工ヘッドノズル6からのアルゴンガス
の噴射速度を調整する例を説明したが、シールドガス排
出管11から排出するアルゴンガスの量を一定にして
も、シールドガス供給ノズル9からのアルゴンガスの供
給量を調整することにより加工ヘッドノズル6からのア
ルゴンガスの噴射速度を調整することもできる。
【0024】また、シールドガス排出管11から排出さ
れるシールドガスを回収して、図示しないシールドガス
供給源からシールドガス供給ノズル9に連通する管路に
混入させるというように、再使用することも可能であ
る。さらに、スパッタ遮蔽手段を備えた従来例に係る溶
接用加工ヘッドのように、被溶接材の溶接部にシールド
ガスを噴射するシールドガスノズルを別途設けることも
できる。
【0025】
【発明の効果】以上述べたように、本発明の請求項1に
係るレーザ加工機における溶接用加工ヘッドによれば、
シールドガス吹込孔からより大量のシールドガスを筒状
部材に吹込むことにより集光光学系に向かって飛散する
スパッタ等を遮ることができ、また本発明の請求項2ま
たは3に係るレーザ加工機における溶接用加工ヘッドに
よれば、筒状部材に吹込まれたシールドガスをシールド
ガス排出孔から排出することにより、加工ヘッドノズル
から被溶接材の溶接部に噴射されるシールドガスの量を
典型的な従来例に係る加工ヘッドノズルから噴射される
シールドガスの量と同等にすることができるので、被溶
接材がスパッタや内部欠陥が生じ易いアルミ合金であっ
ても、従来のように、集光レンズの汚染による出力低下
に起因する溶接結果の不安定性や光学部品の寿命低下の
恐れも少なく、また溶接ビードの外観不良や内部欠陥も
少なくなる。そのため、長期にわたり外観が優れ、しか
も内部欠陥の少ない溶接ビードを持つ溶接製品が得ら
れ、溶接製品の信頼性の向上に大いに寄与し得るという
多大な効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施例に係るレーザ加工機における溶
接用加工ヘッドの要部を示す縦断面図である。
【図2】図1のA−A線断面図である。
【図3】本発明の他の実施例に係る溶接用加工ヘッド横
断面図である。
【図4】従来例に係る典型的なレーザ加工機における溶
接用加工ヘッドの縦断面図である。
【図5】特開昭59−223191号公報に開示されて
なる従来例に係り、図5(a)はレーザ加工機の溶接用
加工ヘッドの断面図、図5(b)は図5(a)のB−B
線断面図である。
【図6】特開平1−107994号公報に開示されてな
る従来例に係り、図6(a)はレーザ加工機の溶接用加
工ヘッドの断面図、図6(b)は図6(a)のC−C線
断面図である。
【図7】特開平6−122089号公報に開示されてな
る従来例に係り、レーザ加工機の溶接用加工ヘッドの要
部拡大縦断面図である。
【符号の説明】
1…溶接用加工ヘッド 2…集光レンズ 3…レーザ光 4…レンズホルダー 5…筒状部材 6…加工ヘッドノズル 7…集光点 8…シールドガス吹込孔 9…シールドガス供給ノズル 10…シールドガス排出孔 11…シールドガス排出管 12…ガス流量調整弁 W…被溶接材

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 筒状部材の内側にレーザ光を集光する集
    光光学系を備えると共に、前記筒状部材の先端部側に加
    工ヘッドノズルを備えてなるレーザ加工機における溶接
    用加工ヘッドにおいて、前記筒状部材の前記集光光学系
    とレーザ光の集光点との間に、該筒状部材の内側全域を
    横断する向きにエアカーテン状に溶接用シールドガスを
    噴射するシールドガス吹込孔を設けたことを特徴とする
    レーザ加工機における溶接用加工ヘッド。
  2. 【請求項2】 前記筒状部材の前記シールドガス吹込孔
    の相対する側に、シールドガス吹込孔から吹込まれるガ
    スを排出するシールドガス排出孔を設けたことを特徴と
    する請求項1に記載のレーザ加工機における溶接用加工
    ヘッド。
  3. 【請求項3】 前記シールドガス排出孔に連通するシー
    ルドガス排出管にガス流量調整弁を介装したことを特徴
    とする請求項2に記載のレーザ加工機における溶接用加
    工ヘッド。
JP7147592A 1995-06-14 1995-06-14 レーザ加工機における溶接用加工ヘッド Withdrawn JPH091374A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP7147592A JPH091374A (ja) 1995-06-14 1995-06-14 レーザ加工機における溶接用加工ヘッド

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP7147592A JPH091374A (ja) 1995-06-14 1995-06-14 レーザ加工機における溶接用加工ヘッド

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH091374A true JPH091374A (ja) 1997-01-07

Family

ID=15433844

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP7147592A Withdrawn JPH091374A (ja) 1995-06-14 1995-06-14 レーザ加工機における溶接用加工ヘッド

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH091374A (ja)

Cited By (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6762555B1 (en) 1998-06-01 2004-07-13 Hamamatsu Photonics K.K. Photomultiplier tube and radiation detector
US7319204B2 (en) * 2004-11-17 2008-01-15 Trumpf Laser Gmbh + Co. Kg Laser welding device and method
WO2008052518A1 (de) * 2006-11-03 2008-05-08 Lpkf Laser & Electronics Ag Vorrichtung und verfahren zur bearbeitung eines werkstücks mittels eines laserstrahls mit einer absaugung und einer seitlichen luftzuführung
JP2008302385A (ja) * 2007-06-07 2008-12-18 Amada Co Ltd レーザ加工ヘッド及び同レーザ加工ヘッドに使用するレンズユニットとアシストガスノズルの製作方法
JP2012228698A (ja) * 2011-04-25 2012-11-22 Honda Motor Co Ltd レーザ加工ノズル
JP2015062934A (ja) * 2013-09-26 2015-04-09 小池酸素工業株式会社 レーザ加工ヘッド
KR20170118445A (ko) * 2016-04-15 2017-10-25 주식회사 엘지화학 레이저 용접장치
CN109112290A (zh) * 2018-11-02 2019-01-01 西安天瑞达光电技术股份有限公司 应用于激光冲击强化的防污染装置
US11298772B2 (en) 2018-09-26 2022-04-12 Kabushiki Kaisha Toshiba Welding apparatus and nozzle device
CN118455775A (zh) * 2024-07-09 2024-08-09 迈为技术(珠海)有限公司 用于晶圆切割设备的物镜除尘冷却装置及晶圆切割设备
CN119910486A (zh) * 2025-03-31 2025-05-02 宝鸡子扬双金属材料有限公司 一种钛合金深度加工用清理装置

Cited By (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6762555B1 (en) 1998-06-01 2004-07-13 Hamamatsu Photonics K.K. Photomultiplier tube and radiation detector
CN100446169C (zh) * 1998-06-01 2008-12-24 滨松光子学株式会社 光电倍增管
US7319204B2 (en) * 2004-11-17 2008-01-15 Trumpf Laser Gmbh + Co. Kg Laser welding device and method
WO2008052518A1 (de) * 2006-11-03 2008-05-08 Lpkf Laser & Electronics Ag Vorrichtung und verfahren zur bearbeitung eines werkstücks mittels eines laserstrahls mit einer absaugung und einer seitlichen luftzuführung
JP2008302385A (ja) * 2007-06-07 2008-12-18 Amada Co Ltd レーザ加工ヘッド及び同レーザ加工ヘッドに使用するレンズユニットとアシストガスノズルの製作方法
JP2012228698A (ja) * 2011-04-25 2012-11-22 Honda Motor Co Ltd レーザ加工ノズル
JP2015062934A (ja) * 2013-09-26 2015-04-09 小池酸素工業株式会社 レーザ加工ヘッド
KR20170118445A (ko) * 2016-04-15 2017-10-25 주식회사 엘지화학 레이저 용접장치
US11298772B2 (en) 2018-09-26 2022-04-12 Kabushiki Kaisha Toshiba Welding apparatus and nozzle device
CN109112290A (zh) * 2018-11-02 2019-01-01 西安天瑞达光电技术股份有限公司 应用于激光冲击强化的防污染装置
CN118455775A (zh) * 2024-07-09 2024-08-09 迈为技术(珠海)有限公司 用于晶圆切割设备的物镜除尘冷却装置及晶圆切割设备
CN118455775B (zh) * 2024-07-09 2024-09-24 迈为技术(珠海)有限公司 用于晶圆切割设备的物镜除尘冷却装置及晶圆切割设备
CN119910486A (zh) * 2025-03-31 2025-05-02 宝鸡子扬双金属材料有限公司 一种钛合金深度加工用清理装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3385361B2 (ja) レーザ溶接方法及びレーザ溶接装置
US4128753A (en) Laser beam welding
US20050011868A1 (en) Hybrid laser-arc welding method with gas flow rate adjustment
JP3183568B2 (ja) レーザ加工用トーチ
CN110153554B (zh) 激光加工头
KR20090040251A (ko) 용접기구 및 용접방법
JPH091374A (ja) レーザ加工機における溶接用加工ヘッド
JP2000263276A (ja) レーザー加工ヘッド
JP4555743B2 (ja) レーザ加工ヘッド
JPH11216589A (ja) レーザ加工機における光学系部材の汚損防止方法及びその装置
WO2019221181A1 (ja) ハイブリッド溶接装置
US20040262269A1 (en) Hybrid laser-arc welding method with gas flow rate adjustment
JPH11123578A (ja) レーザ加工ヘッド
JP2811664B2 (ja) 防錆鋼板のレーザ溶接方法
JP2865543B2 (ja) レーザ加工ヘッド
JP2003311456A (ja) レーザ照射アーク溶接ヘッド
JPH042353B2 (ja)
JP2623993B2 (ja) レーザ加工ヘッド
JP2667769B2 (ja) レーザ加工装置
JPS58212888A (ja) レ−ザ溶接方法
JP3183631B2 (ja) レーザ加工方法およびその装置
JPH09164495A (ja) レーザ加工ヘッド
JPH06182570A (ja) レーザ溶接方法
JP2804853B2 (ja) レーザ出射ユニット
JPH0530871Y2 (ja)

Legal Events

Date Code Title Description
A300 Withdrawal of application because of no request for examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300

Effective date: 20020903