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JPH09116257A - Solder bump forming method - Google Patents

Solder bump forming method

Info

Publication number
JPH09116257A
JPH09116257A JP7299271A JP29927195A JPH09116257A JP H09116257 A JPH09116257 A JP H09116257A JP 7299271 A JP7299271 A JP 7299271A JP 29927195 A JP29927195 A JP 29927195A JP H09116257 A JPH09116257 A JP H09116257A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
sheet
solder
solder paste
circuit board
bumps
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP7299271A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Yoshiaki Matsumura
吉章 松村
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sumitomo Metal Mining Co Ltd
Original Assignee
Sumitomo Metal Mining Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sumitomo Metal Mining Co Ltd filed Critical Sumitomo Metal Mining Co Ltd
Priority to JP7299271A priority Critical patent/JPH09116257A/en
Publication of JPH09116257A publication Critical patent/JPH09116257A/en
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/10Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern
    • H05K3/12Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern using thick film techniques, e.g. printing techniques to apply the conductive material or similar techniques for applying conductive paste or ink patterns
    • H05K3/1216Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern using thick film techniques, e.g. printing techniques to apply the conductive material or similar techniques for applying conductive paste or ink patterns by screen printing or stencil printing
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/30Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor
    • H05K3/32Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits
    • H05K3/34Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits by soldering
    • H05K3/3457Solder materials or compositions; Methods of application thereof
    • H05K3/3485Applying solder paste, slurry or powder

Landscapes

  • Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 例えば各種電子部品等の接続用のハンダバン
プを備えた回路基板等を製造する場合などに適用するハ
ンダバンプ形成方法に係り、通常のスクリーン印刷程度
の設備を利用して安価に且つ必要な箇所に複数個のハン
ダバンプを同時に容易に形成できるようにする。 【解決手段】 電子回路用の回路基板等の表面にハンダ
バンプを形成する方法において、少なくとも所定の位置
にハンダペースト充填用の開孔部1aを有するハンダペ
ースト成形用シート1を準備する工程と、該シート1の
上記開孔部1aにハンダペースト3を充填する工程と、
回路基板5等の電極6位置に上記シート1を位置合せし
て重ね合せる工程と、そのシート1の開孔部1aに充填
したハンダペースト3をリフローする工程と、上記シー
ト1を回路基板5等から取り除く工程とを有することを
特徴とする。
The present invention relates to a solder bump forming method which is applied when manufacturing a circuit board or the like having solder bumps for connecting various electronic parts and the like, and uses equipment for ordinary screen printing. (EN) A plurality of solder bumps can be easily formed at a low cost at a necessary place at the same time. In a method of forming solder bumps on a surface of a circuit board for an electronic circuit, a step of preparing a solder paste molding sheet 1 having an opening 1a for filling a solder paste at least at a predetermined position; A step of filling the above-mentioned opening portion 1a of the sheet 1 with the solder paste 3;
The step of aligning and superposing the sheet 1 on the electrode 6 position of the circuit board 5 and the like, the step of reflowing the solder paste 3 filled in the opening portion 1a of the sheet 1, and the sheet 1 the circuit board 5 and the like. And a step of removing the same.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明が属する技術分野】本発明は、例えば各種電子部
品等の接続用のハンダバンプを備えた回路基板等を製造
する場合などに適用するハンダバンプ形成方法に関す
る。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a solder bump forming method applied to, for example, manufacturing a circuit board having solder bumps for connecting various electronic components.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、例えばシリコンチップを回路基板
に実装する方法としては、シリコンチップの電極パッド
と回路基板上の電極パッドとを金属細線で導電接続する
ワイヤボンディング方式や、リードフレーム上にチップ
をパッケージングし、回路基板にハンダを用いて接続す
る方法等が採用されている。
2. Description of the Related Art Conventionally, as a method of mounting a silicon chip on a circuit board, for example, a wire bonding method in which an electrode pad of the silicon chip and an electrode pad on the circuit board are conductively connected with a thin metal wire, or a chip is mounted on a lead frame. The method of packaging and connecting to the circuit board by using solder is adopted.

【0003】しかし、近年の電気製品の小型化、高密度
化に伴い、フリップチップ方式が注目されている。この
フリップチップ方式とは、回路基板上の電極とシリコン
チップ上の電極を、シリコンチップの電極上に設けたハ
ンダ等のバンプにより接続するものである。
However, with the recent miniaturization and high density of electric products, the flip-chip method has attracted attention. In the flip chip method, electrodes on a circuit board and electrodes on a silicon chip are connected by bumps such as solder provided on the electrodes of the silicon chip.

【0004】さらに、BGA(ボールグリッドアレイ)
等を回路基板と接続する際にも、BGAの電極と回路基
板上の電極とをBGAの電極上に形成したハンダバンプ
(ハンダーボール)を用いている。
Furthermore, BGA (ball grid array)
Also when connecting these to the circuit board, solder bumps (solder balls) in which the electrodes of the BGA and the electrodes on the circuit board are formed on the electrodes of the BGA are used.

【0005】上記のようなハンダバンプ(又はハンダボ
ール)を形成する方法としては、従来たとえばハンダを
ボール状に加工し、それを電極上にフラックス等を接着
剤として塗布した上に載せてリフローする方法、また微
少なハンダバンプの場合には、ハンダワイヤをワイヤボ
ンダを利用して電極上にボンディングしていき、ボンデ
ィング時にできるボールを利用する方法、あるいは溶融
したハンダをノズルより噴射させて直接ハンダバンプを
形成する方法等が提案され実施されている。
As a method of forming the solder bumps (or solder balls) as described above, conventionally, for example, a solder is processed into a ball shape, and a flux or the like is applied onto an electrode as an adhesive and then reflowed. In the case of small solder bumps, a solder wire is bonded to the electrode using a wire bonder, and a ball that can be used for bonding is used, or a molten solder is sprayed from a nozzle to directly form a solder bump. Etc. have been proposed and implemented.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
方法はいずれも大がかりな機械設備を必要とし、その結
果、実装工程のコストアップを避けることはできなかっ
た。また上記のようにワイヤボンダや溶融ハンダを利用
する方法は、1点1点バンプを形成していくことにな
り、作業時間が長くなる等の不具合があり、またハンダ
ボールを用いる場合には、ボールサイズが小さくなると
取り扱いが困難になる等の問題があった。
However, each of the above methods requires large-scale mechanical equipment, and as a result, an increase in the cost of the mounting process cannot be avoided. Further, as described above, the method of using the wire bonder or the molten solder has a problem that the point-by-point bumps are formed, resulting in a long working time. When the size becomes small, there is a problem that handling becomes difficult.

【0007】本発明は上記の問題点に鑑みて提案された
もので、通常のスクリーン印刷程度の設備を利用して安
価に且つ必要な箇所に複数個のハンダバンプを同時に容
易に形成することのできるハンダバンプ形成方法を提供
することを目的とする。
The present invention has been proposed in view of the above problems, and it is possible to easily form a plurality of solder bumps simultaneously at low cost and at required locations by using a facility for ordinary screen printing. It is an object to provide a solder bump forming method.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、本発明によるハンダバンプ形成方法は、以下のよ
うにしたものである。
In order to achieve the above object, the solder bump forming method according to the present invention is as follows.

【0009】即ち、電子回路用の回路基板等の表面にハ
ンダバンプを形成する方法において、少なくとも所定の
位置にハンダペースト充填用の開孔部を有するハンダペ
ースト成形用シートを準備する工程と、該シートの上記
開孔部にハンダペーストを充填する工程と、回路基板等
の電極位置に上記シートを位置合せして重ね合せる工程
と、そのシートの開孔部に充填したパンダペーストをリ
フローする工程と、上記シートを回路基板等から取り除
く工程とを有することを特徴とする。
That is, in the method of forming solder bumps on the surface of a circuit board for electronic circuits, the step of preparing a solder paste molding sheet having openings for filling the solder paste at least at predetermined positions, and the sheet. A step of filling a solder paste in the opening portion, a step of aligning and superimposing the sheet at an electrode position of a circuit board or the like, and a step of reflowing the panda paste filled in the opening portion of the sheet, And a step of removing the sheet from the circuit board or the like.

【0010】[0010]

【作用】上記のようにハンダペースト成形用シートに形
成した開孔部内にハンダペーストを充填するに当たって
は、例えばスクリーン印刷機等を利用して容易に充填す
ることができる。又そのハンダペーストを充填したハン
ダペースト成形用シートを回路基板等に重ね合せてリフ
ローするだけで、回路基板等の電極上の所望の位置にハ
ンダバンプを簡単・確実に、しかも複数個のハンダバン
プを一括して同時に形成することが可能となる。
When the solder paste is filled in the openings formed in the solder paste molding sheet as described above, it can be easily filled by using, for example, a screen printer. In addition, by simply stacking the solder paste molding sheet filled with the solder paste on the circuit board, etc. and performing reflow, the solder bumps can be easily and surely placed at desired positions on the electrodes of the circuit board, etc. Then, it is possible to form them simultaneously.

【0011】[0011]

【発明の実施の形態】以下、回路基板等の電極上にハン
ダバンプを形成する場合を例にして、本発明によるハン
ダバンプの形成方法を、図に基づいて具体的に説明す
る。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION A method of forming a solder bump according to the present invention will be specifically described below with reference to the drawings, taking an example of forming a solder bump on an electrode of a circuit board or the like.

【0012】先ず、図1の(a)に示すようにハンダバ
ンプを形成すべき回路基板等の電極に対応した位置に予
めハンダペースト充填用の開孔部1aを形成したハンダ
ペースト成形用シート1を準備する。そのハンダペース
ト成形用シートとしては、好ましくはセラミックス粒子
を分散したグリーンシートを用いるとよい。ただし、例
えば軟質または硬質の耐熱性合成樹脂シートやメタルマ
スク等の金属製のものでもよい。
First, as shown in FIG. 1 (a), a solder paste molding sheet 1 in which openings 1a for filling solder paste are formed in advance at positions corresponding to electrodes of a circuit board or the like on which solder bumps are to be formed, is formed. prepare. As the solder paste molding sheet, a green sheet in which ceramic particles are dispersed is preferably used. However, for example, a soft or hard heat-resistant synthetic resin sheet or metal such as a metal mask may be used.

【0013】上記の開孔部1aは、ハンダバンプを形成
すべき回路基板等の電極位置に対応して形成すればよ
く、電極が複数個ある場合にはそれに合せて形成すれば
よい。又その開孔部1aの開孔面積およびシート1の厚
さは、回路基板等の電極上に形成すべきハンダバンプの
大きさ等を勘案して適宜設定すればよい。
The opening 1a may be formed corresponding to the electrode position of the circuit board or the like on which the solder bumps are to be formed, and when there are a plurality of electrodes, they may be formed correspondingly. The opening area of the opening 1a and the thickness of the sheet 1 may be appropriately set in consideration of the size of the solder bump to be formed on the electrode of the circuit board or the like.

【0014】次に、同図(b)に示すようにハンダペー
スト成形用シート1上に、必要に応じて該シート1の開
孔部1aと同一位置に開孔部2aを有するハンダペース
ト充填時のマスク用シート2を積層する。そして、その
マスク用シート2上にハンダペースト3を載置して上方
から加圧することによって、上記両シート1・2の開孔
部1a・2a内にハンダペーストを充填した後、同図
(c)に示すようにハンダペースト成形用シート1から
マスク用シート2を離間させる。図中、4はペーストを
加圧するためのマスクである。
Next, as shown in FIG. 1B, when the solder paste is filled with the solder paste molding sheet 1 having an opening 2a at the same position as the opening 1a of the sheet 1 as required. The mask sheets 2 are laminated. Then, the solder paste 3 is placed on the mask sheet 2 and pressed from above to fill the solder paste into the openings 1a and 2a of both sheets 1 and 2 described above, and then, as shown in FIG. ), The mask sheet 2 is separated from the solder paste forming sheet 1. In the figure, 4 is a mask for pressing the paste.

【0015】次いで、上記のようにして開孔部1a内に
ハンダペーストを充填したシート1を、同図(d)のよ
うに回路基板5等の電極6上に載置し、ハンダペースト
をリフローすることによって、同図(e)のように電極
6上にハンダバンプ7を形成した後、同図(e)のよう
にシート1を除去する。そのシート1を除去する際、該
シートの形状が保たれていれば単に剥離するだけで除去
できる。その後、必要に応じて電極6上にハンダバンプ
7を再度加熱して該ハンダバンプ7の形状を整えるとよ
い。
Then, the sheet 1 in which the opening 1a is filled with the solder paste as described above is placed on the electrode 6 of the circuit board 5 or the like as shown in FIG. 3D, and the solder paste is reflowed. By doing so, after the solder bumps 7 are formed on the electrodes 6 as shown in FIG. 6E, the sheet 1 is removed as shown in FIG. When the sheet 1 is removed, if the shape of the sheet is maintained, it can be removed simply by peeling. Thereafter, if necessary, the solder bumps 7 may be heated again on the electrodes 6 to adjust the shape of the solder bumps 7.

【0016】以上のようにして回路基板等の電極上にハ
ンダバンプを良好に、しかも多数のハンダバンプを同時
に容易に形成することができるもので、例えば回路基板
等にハンダペーストを直接印刷してバンプを形成する場
合には、ハンダ量の過不足やバンプの高さにバラツキが
生じる等の問題があるが、本発明では所定の大きさに形
成した開孔部にハンダペーストを充填することで、ハン
ダ量がほぼ一定に保たれ、過不足は殆ど起こらない。
As described above, the solder bumps can be satisfactorily formed on the electrodes of the circuit board or the like, and a large number of solder bumps can be easily formed at the same time. For example, the solder paste is directly printed on the circuit board or the like to form the bumps. When forming, there are problems such as excess and deficiency of the amount of solder and variations in the height of the bumps. However, in the present invention, the solder paste is filled in the openings formed to have a predetermined size, The amount is kept almost constant and there is almost no excess or deficiency.

【0017】またハンダペースト成形用シートにハンダ
ペーストを充填した時点で該シートの検査、例えばハン
ダペーストの充填量をハンダ充填部の凹凸などによって
確認してハンダ量の過不足を補正したり、あるいはハン
ダペースト成形用シートの厚さや開孔部の大きさ形状等
を変更すれば、シリコンチップや回路基板等にハンダバ
ンプを形成する際のハンダ量の過不足やバンプの欠損、
もしくはバンプの高さのバラツキ等の不良発生を未然に
防止することができ、製品収率の向上が可能となる。
When the solder paste forming sheet is filled with the solder paste, the sheet is inspected, for example, the filling amount of the solder paste is confirmed by the unevenness of the solder filling portion to correct the excess or deficiency of the solder amount, or By changing the thickness of the solder paste molding sheet and the size and shape of the openings, etc., when the solder bumps are formed on a silicon chip, circuit board, etc.
Alternatively, the occurrence of defects such as bump height variations can be prevented in advance, and the product yield can be improved.

【0018】なお上記の実施形態において、マスク用シ
ート2は繰り返し使用可能であり、またハンダペースト
成形用シート1も、グリーンシート以外の前記リフロー
する際に変形もしくは変質しない材質にあっては繰り返
し使用することができる。
In the above embodiment, the mask sheet 2 can be repeatedly used, and the solder paste molding sheet 1 can also be repeatedly used for materials other than the green sheet that are not deformed or deteriorated during the reflow. can do.

【0019】またグリーンシートを用いる場合において
は、そのグリーンシートをドクターブレード法等で成形
する際の下敷きとして開孔部2aを形成していないマス
ク用シート2を用い、そのマスク用シート2上にハンダ
ペースト成形用シート1を成形した後、その両シート1
・2に金型等で同時に開孔部1a・2aを形成し、それ
をそのまま上下反転してその上からハンダペーストを充
填することもできる。
When a green sheet is used, a mask sheet 2 having no openings 2a is used as an underlay when the green sheet is formed by the doctor blade method or the like, and the green sheet is placed on the mask sheet 2. After molding the solder paste molding sheet 1, both sheets 1
It is also possible to simultaneously form the openings 1a and 2a in 2 with a mold or the like, turn them upside down and fill the solder paste from there.

【0020】さらにハンダペースト成形用シート1とし
てグリーンシート以外のものを用いる場合には、マスク
用シート2を用いることなく、ハンダペースト成形用シ
ート1の上面にハンダペースト3を直接載置して開孔部
1a内にハンダペーストを充填し、そのシート1上に残
ったハンダペーストをスクレーパ等で掻き取るようにし
てもよい。
When a sheet other than the green sheet is used as the solder paste forming sheet 1, the solder paste 3 is placed directly on the upper surface of the solder paste forming sheet 1 without using the mask sheet 2 and opened. The hole 1a may be filled with solder paste, and the solder paste remaining on the sheet 1 may be scraped off with a scraper or the like.

【0021】[0021]

【実施例】本発明の実施例として、セラミック粒子を分
散したグリーンシートをハンダペースト成形用シートと
して用い、前記図1のプロセスに従って回路基板の電極
上にハンダバンプを形成した。
EXAMPLE As an example of the present invention, a green sheet in which ceramic particles were dispersed was used as a solder paste molding sheet, and solder bumps were formed on the electrodes of the circuit board according to the process of FIG.

【0022】まず、上記のセラミック粒子としてアルミ
ナ粉末を用い、そのアルミナ粉末100重量部に対して
ブチラール樹脂10重量部、可塑剤としてフタル酸ジブ
チル70重量部、溶剤としてイソプロピルアルコール5
0重量部及びメチルエチルケトン50重量部を加え、4
8時間ボールミル混合してスラリーを作製し、PETフ
ィルム上にドクターブレード法により厚さ250μmの
グリーンシートを作製した。
First, alumina powder was used as the ceramic particles, and 10 parts by weight of butyral resin, 70 parts by weight of dibutyl phthalate as a plasticizer, and 5 parts of isopropyl alcohol as a solvent were used with respect to 100 parts by weight of the alumina powder.
Add 0 parts by weight and 50 parts by weight of methyl ethyl ketone and add
A slurry was prepared by mixing with a ball mill for 8 hours, and a green sheet having a thickness of 250 μm was prepared on a PET film by a doctor blade method.

【0023】そのグリーンシートに、金型を用いて直径
200μmの円形のハンダペースト充填用の開孔部1a
を500μmピッチの間隔で多数形成して前記図1
(a)におけるハンダペースト成形用シート1とした。
そのシート1の開孔部1aと同一位置に開孔部2aを有
するPETフィルムをハンダペースト充填時のマスク用
シート2として準備した。
An opening portion 1a for filling a circular solder paste having a diameter of 200 μm is formed on the green sheet by using a mold.
1 are formed by forming a large number of them at intervals of 500 μm pitch.
The solder paste molding sheet 1 in (a) was used.
A PET film having an opening 2a at the same position as the opening 1a of the sheet 1 was prepared as a mask sheet 2 at the time of filling the solder paste.

【0024】上記のハンダペースト成形用シート1上
に、前記図1(b)のようにマスク用シート2を重ね合
せ、その上方にPb/Sn=60/40のハンダを用い
たハンダペースト3を載せて上部より加圧して開孔部1
a・2aにハンダペーストを充填した後、同図(c)の
ようにマスク用シート2を、その上に残留したハンダペ
ーストとともにハンダペースト成形用シート1から剥離
した。
As shown in FIG. 1 (b), the mask sheet 2 is superposed on the solder paste molding sheet 1 and the solder paste 3 using Pb / Sn = 60/40 solder is placed above the mask sheet 2. Place and press from above to open hole 1
After a and 2a were filled with the solder paste, the mask sheet 2 was peeled from the solder paste molding sheet 1 together with the solder paste remaining thereon as shown in FIG.

【0025】次に、アルミナ96%のセラミック基板5
上に、Ag/Pdペーストを用いて直径300μmの円
形の電極6を500μmピッチで多数形成した回路基板
を準備し、電極6上にフラックスを塗布した後、前記図
1(d)のようにハンダペースト成形用シート1を、そ
の開孔部1aに充填したハンダペースト3が電極6上に
位置するように位置合せして重ね合せた。
Next, the ceramic substrate 5 made of 96% alumina.
A circuit board on which a large number of circular electrodes 6 having a diameter of 300 μm were formed at a pitch of 500 μm using Ag / Pd paste was prepared. After applying flux onto the electrodes 6, solder was applied as shown in FIG. The paste forming sheet 1 was aligned and superposed so that the solder paste 3 filled in the openings 1a was located on the electrodes 6.

【0026】この状態で、220℃の温度で5秒間加熱
してリフローし、図1(e)のように電極6上にハンダ
バンプ7を形成した。次いで、同図(f)のようにハン
ダペースト成形用シート1を取り除いた後、再度220
℃の温度で5秒間加熱処理してハンダバンプ7の形状を
ボール状に整えた。
In this state, the solder bumps 7 were formed on the electrodes 6 by heating for 5 seconds at 220 ° C. and reflowing, as shown in FIG. 1 (e). Then, after removing the solder paste molding sheet 1 as shown in FIG.
The solder bumps 7 were ball-shaped by heat treatment at a temperature of ℃ for 5 seconds.

【0027】上記のようにして得られたハンダバンプ7
の高さを、200個のハンダバンプについて測定したと
ころ、その高さはいずれも110μm±15μmの範囲
内で充分な高さにバラツキなく、しかも上記200個中
でブリッジ等の不良が生じることなく良好にハンダバン
プを形成することができた。
Solder bump 7 obtained as described above
The height of each of the 200 solder bumps was measured and found to be 110 μm ± 15 μm without any variation in height, and no defects such as bridges occurred in the 200 solder bumps. It was possible to form solder bumps on.

【0028】比較例として上記と同じAg/Pd電極を
設けたアルミナ基板上に、メタルマスクを用いてハンダ
ペーストを印刷し、リフローしてハンダバンプを形成し
た。得られたバンプについて発明例と同様に高さを測定
したところ、60μm±30μmであった。
As a comparative example, a solder paste was printed using a metal mask on an alumina substrate provided with the same Ag / Pd electrode as described above and reflowed to form solder bumps. When the height of the obtained bump was measured in the same manner as in the invention example, it was 60 μm ± 30 μm.

【0029】[0029]

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、特
段の大がかりな設備等を使用することなく、簡単な操作
で安価に、しかも必要な箇所に複数個のハンダバンプを
一度に容易に形成することが可能となり、ハンダバンプ
形成作業の能率および精度向上に有効であり、近年の各
種電子機器等の小型化、高密度化にも充分に対応できる
等の効果がある。
As described above, according to the present invention, it is possible to easily form a plurality of solder bumps at a necessary position at a low cost by a simple operation without using a large-scale equipment. This is effective for improving the efficiency and accuracy of the solder bump forming work, and has an effect of being able to sufficiently cope with recent miniaturization and high density of various electronic devices and the like.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明によるハンダバンプ形成方法の工程の一
例を示すプロセス説明図。
FIG. 1 is a process explanatory view showing an example of steps of a solder bump forming method according to the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 ハンダペースト成形用シート 2 マスク用シート 1a、2a 開孔部 3 ハンダペースト 5 回路基板 6 電極 7 ハンダバンプ 1 Solder Paste Molding Sheet 2 Mask Sheet 1a, 2a Openings 3 Solder Paste 5 Circuit Board 6 Electrode 7 Solder Bump

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 電子回路用の回路基板等の表面にハンダ
バンプを形成する方法において、少なくとも所定の位置
にハンダペースト充填用の開孔部を有するハンダペース
ト成形用シートを準備する工程と、該シートの上記開孔
部にハンダペーストを充填する工程と、回路基板等の電
極位置に上記シートを位置合せして重ね合せる工程と、
そのシートの開口部に充填したハンダペーストをリフロ
ーする工程と、上記シートを回路基板等から取り除く工
程とを有することを特徴とするハンダバンプ形成方法。
1. A method of forming a solder bump on a surface of a circuit board for an electronic circuit, the step of preparing a solder paste molding sheet having an opening for filling a solder paste at least at a predetermined position, and the sheet. A step of filling a solder paste in the opening part, and a step of aligning and superimposing the sheet on an electrode position of a circuit board or the like,
A solder bump forming method, comprising: a step of reflowing a solder paste filled in an opening of the sheet; and a step of removing the sheet from a circuit board or the like.
【請求項2】 前記のハンダペースト成形用シートとし
て、セラミック粒子を分散したグリーンシートを用いる
ことを特徴とする請求項1記載のハンダバンプ形成方
法。
2. The solder bump forming method according to claim 1, wherein a green sheet in which ceramic particles are dispersed is used as the solder paste forming sheet.
JP7299271A 1995-10-23 1995-10-23 Solder bump forming method Withdrawn JPH09116257A (en)

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