JPH0911471A

JPH0911471A - 液体吐出方法、液体吐出ヘッド、ヘッドカートリッジ、液体吐出装置、及び液体吐出ヘッドキット

Info

Publication number: JPH0911471A
Application number: JP8107431A
Authority: JP
Inventors: Toshio Kashino; 俊雄樫野; Yoshie Nakada; 佳恵中田; Takeshi Okazaki; 猛史岡崎; Fumi Takaide; 文高出; Kiyomitsu Kudo; 清光工藤; Makiko Kimura; 牧子木村
Original assignee: Canon Inc
Current assignee: Canon Inc
Priority date: 1995-04-26
Filing date: 1996-04-26
Publication date: 1997-01-14

Abstract

(57)【要約】【課題】液体の吐出効率、吐出力、吐出速度、更には
被記録媒体への着弾精度の向上を図った液体吐出方法、
液体吐出ヘッド等を提供する。【解決手段】液体に気泡を生じさせるための熱を発生
する発熱面を有する基板と対面して、自由端を有する可
動部材を介して配された液体の吐出口、から前記気泡に
基づいて液体を吐出する液体吐出方法であって、前記吐
出口への液体の供給方向に関して下流側に前記可動部材
の前記自由端が配され、前記気泡が、前記可動部材の前
記自由端を変位させ、該変位に応じて前記吐出口の方へ
成長することにより、液体を吐出する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、熱エネルギーを液
体に作用させることで発生する気泡を利用して液体を吐
出する液体吐出方法、液体吐出ヘッド、液体吐出ヘッド
を備えたヘッドカートリッジ、及び液体吐出ヘッドを用
いる液体吐出装置、更には液体吐出ヘッドを有する液体
吐出ヘッドキットに関する。

【０００２】特に、本発明は、膜沸騰に基づく気泡を利
用して可動部材を変位させて液体を吐出する液体吐出方
法に関する。もしくは、気泡を利用して変位する可動部
材を有する液体吐出ヘッド、液体吐出ヘッドを備えたヘ
ッドカートリッジ、液体吐出ヘッドを用いた液体吐出装
置に関する。

【０００３】また、本発明は、紙、糸、繊維、布帛、皮
革、金属、プラスチック、ガラス、木材、セラミックス
等の被記録媒体に対して記録を行うプリンター、複写
機、通信システムを有するファクシミリ、プリンタ部を
有するワードプロセッサ等の装置、さらには各種処理装
置と複合的に組み合わせた産業用記録装置に適用できる
ものである。

【０００４】なお、本発明において言う「記録」とは、
文字や図形等の意味をもつ画像を被記録媒体に対して付
与することだけでなく、意味をもたないパターン等の画
像を被記録媒体に対して付与することをも含むものであ
る。

【０００５】

【従来の技術】熱等のエネルギーをインクに与えること
で、インクに急峻な体積変化（気泡の発生）を伴う状態
変化を生じさせ、この状態変化に基づく作用力によって
吐出口からインクを吐出し、これを被記録媒体上に付着
させて画像形成を行なうインクジェット記録方法、いわ
ゆるバブルジェット記録方法が従来知られている。この
バブルジェット記録方法を用いる記録装置には、ＵＳＰ
４，７２３，１２９等の公報に開示されているように、
インクを吐出するための吐出口と、この吐出口に連通す
るインク流路と、インク流路内に配されたインクを吐出
するためのエネルギー発生手段としての電気熱変換体が
一般的に配されている。

【０００６】この様な記録方法によれば、品位の高い画
像を高速、低騒音で記録することができると共に、この
記録方法を行うヘッドではインクを吐出するための吐出
口を高密度に配置することができるため、小型の装置で
高解像度の記録画像、さらにカラー画像をも容易に得る
ことができるという多くの優れた点を有している。この
ため、このバブルジェット記録方法は近年、プリンタ
ー、複写機、ファクシミリ等の多くのオフィス機器に利
用されており、さらに、捺染装置等の産業用システムに
まで利用されるようになってきている。

【０００７】このようにバブルジェット技術が多方面の
製品に利用されるに従って、次のような様々な要求が近
年さらにたかまっている。

【０００８】例えば、エネルギー効率の向上の要求に対
する検討としては、保護膜の厚さを調整するといった発
熱体の最適化が挙げられている。この手法は、発生した
熱の液体への伝搬効率を向上させる点で効果がある。

【０００９】また、高画質な画像を得るために、インク
の吐出スピードが速く、安定した気泡発生に基づく良好
なインク吐出を行える液体吐出方法等を与えるための駆
動条件が提案されたり、また、高速記録の観点から、吐
出された液体の液流路内への充填（リフィル）速度の速
い液体吐出ヘッドを得るために流路形状を改良したもの
も提案されている。

【００１０】特開昭６３−１９９９７２号公報には、流
路構造が提案されている。

【００１１】この製造方法による流路構造は、液室へ向
かうバック波の観点から提案されたものである。このバ
ック波は、吐出方向へ向かうエネルギーでないため損失
エネルギーとして知られている。ここでは、発熱素子が
形成する気泡の発生領域よりも離れ且つ、発熱素子に関
して吐出口とは反対側に位置する弁が開示されている。
この弁は、板材等を利用する製造方法によって、流路の
天井に貼り付いたように初期位置を持つ。気泡の発生に
伴って、流路内へ垂れ下がる。この様に、バック波の一
部を弁によって抑える。このバック波は、液体吐出に直
接寄与しない。バック波が流路内に発生した時点で、気
泡のうち吐出に直接関係する圧力はすでに流路から液体
を吐出可能状態にしている。

【００１２】他方、バブルジェット記録方法において
は、発熱体がインクに接した状態で加熱を繰り返すた
め、発熱体の表面にインクの焦げによる堆積物が発生す
る。しかし、インクの種類によってはこの堆積物が多く
発生する。これが発生すると、インクの吐出が不安定と
なる。加えて、吐出すべき液体が熱によって劣化しやす
い液体の場合や十分に発泡が得られにくい液体の場合に
おいても、変質せず、良好に吐出される液体が望まれて
いた。

【００１３】熱により気泡を発生させる液体（発泡液）
と吐出する液体（吐出液）とを別液体とし、発泡による
圧力を吐出液に伝達することで吐出液を吐出する方法
が、特開昭６１−６９４６７号公報、特開昭５５−８１
１７２号公報、ＵＳＰ４，４８０，２５９号等の公報に
開示されている。これらの公報では、吐出液であるイン
クと発泡液とをシリコンゴムなどの可撓性膜で完全分離
し、発熱体に吐出液が直接接しないようにすると共に、
発泡液の発泡による圧力を可撓性膜の変形によって吐出
液に伝える構成をとっている。このような構成によっ
て、発熱体表面の堆積物の防止や、吐出液体の選択自由
度の向上等を達成している。

【００１４】しかしながら、前述のように吐出液と発泡
液とを完全分離する構成のヘッドにおいては、発泡時の
圧力を可撓性膜の伸縮変形によって吐出液に伝える構成
であるため、発泡による圧力を可撓性膜がかなり吸収し
てしまう。また、可撓性膜の変形量もあまり大きくない
ため、吐出液と発泡液とを分離することによる効果を得
ることはできるものの、エネルギー効率や吐出力が低下
してしまう。

【００１５】

【発明が解決しようとする課題】本発明は、液流路に気
泡（特に膜沸騰に伴う気泡）を形成して液体を吐出する
方式における液体の吐出特性を、従来では考えられなか
った観点から、従来では予想できない水準に高めること
を主たる課題とする。発明者達は、液滴吐出の原理に立
ち返り、従来では得られなかった、気泡を利用した新規
な液滴吐出方法及びそれを用いる液体吐出ヘッド等を提
供すべく鋭意研究を行った。この結果、自由端を有する
可動部材を発熱体の発熱面と吐出口との間に介在させる
ことにより、気泡を有効に制御する全く新規な技術を確
立し、本発明をなすに至った。

【００１６】本発明の目的の一つは、気泡を有効に制御
する新規な液体吐出原理を提供することにある。

【００１７】本発明の他の目的は、液体の吐出効率、吐
出力、吐出速度、更には被記録媒体への着弾精度の向上
を図った液体吐出方法、液体吐出ヘッド等を提供するこ
とにある。

【００１８】本発明の更に他の目的は、バック波による
液体供給方向とは逆方向への慣性力が働くのを抑え、可
動部材の弁機能によってメニスカスの後退量を低減させ
ることにより、リフィル周波数を高め、印字速度を向上
させることのできる液体吐出方法、液体吐出ヘッド等を
提供することにある。

【００１９】本発明の更に他の目的は、発熱体上の液体
への蓄熱を軽減し、発熱体上に残留する気泡を低減する
ことにより、良好な液体の吐出を安定して行い得る液体
吐出方法、液体吐出ヘッド等を提供することにある。

【００２０】本発明の更に他の目的は、発熱体上への堆
積物を低減すると共に、吐出液の用途範囲、選択自由度
を広げることができ、しかも吐出効率や吐出力が十分に
高い液体吐出方法、液体吐出ヘッド等を提供することに
ある。

【００２１】本発明の更に他の目的は、前述のような液
体吐出ヘッドを備えたヘッドカートリッジ及び液体吐出
装置を提供することである。

【００２２】本発明の更に他の目的は、本発明の液体吐
出ヘッドの再利用を容易にするための液体吐出ヘッドキ
ットを提供することにある。

【００２３】

【課題を解決するための手段】本発明の更に他の目的
は、液体に気泡を生じさせるための熱を発生する発熱面
を有する基板と対面して、自由端を有する可動部材を介
して配された液体の吐出口、から前記気泡に基づいて液
体を吐出する液体吐出方法であって、前記吐出口への液
体の供給方向に関して下流側に前記可動部材の前記自由
端が配され、前記気泡が、前記可動部材の前記自由端を
変位させ、該変位に応じて前記吐出口の方へ成長するこ
とにより、液体を吐出することを特徴とする液体吐出方
法を提供することである。

【００２４】本発明の更に他の目的は、液体に気泡を生
じさせるための熱を発生する発熱面と対面して、自由端
を有する可動部材を介して液体の吐出口が設けられた吐
出口部材が配され、前記吐出口から前記気泡に基づいて
液体を吐出する液体吐出方法であって、前記吐出口への
液体の供給方向に関して下流側に前記可動部材の前記自
由端が配され、前記気泡が、前記可動部材の前記自由端
を変位させ、該変位に応じて前記吐出口の方へ成長する
ことにより、液体を吐出することを特徴とする液体吐出
方法を提供することである。

【００２５】本発明の更に他の目的は、液体の吐出口と
対面して配された、液体に気泡を生じさせるための熱を
発生する発熱面を有する基板と、前記発熱面と前記吐出
口部材との間に介在する様に設けられた、前記気泡によ
って変位する自由端を有する可動部材と、該可動部材の
前記自由端が前記気泡によって変位した変位時に前記可
動部材の前記発熱面側の面と対向する対向部材であっ
て、前記変位時に前記可動部材と協働して前記気泡を前
記吐出口の方へ導くための当該対向部材と、を有するこ
とを特徴とする液体吐出ヘッドを提供することである。

【００２６】本発明の更に他の目的は、液体の吐出口が
設けられた吐出口部材と対面して配された、液体に気泡
を生じさせるための熱を発生する発熱面と、該発熱面と
前記吐出口部材との間に介在する様に設けられた、前記
気泡によって変位する自由端を有する可動部材と、該可
動部材の前記自由端が前記気泡によって変位した変位時
に前記可動部材の前記発熱面側の面と対向する対向部材
であって、前記変位時に前記可動部材と協働して前記気
泡を前記吐出口の方へ導くための当該対向部材と、を有
することを特徴とする液体吐出ヘッドを提供することで
ある。

【００２７】本発明の更に他の目的は、液体の吐出口と
対面して配された、液体に気泡を生じさせるための熱を
発生する発熱面を有する基板と、前記発熱面と前記吐出
口部材との間に介在する様に設けられた、前記気泡によ
って変位する自由端を有する可動部材と、該可動部材の
前記自由端が前記気泡によって変位した変位時に前記可
動部材の前記発熱面側の面と対向する対向部材であっ
て、前記変位時に前記可動部材と協働して前記気泡を前
記吐出口の方へ導くための当該対向部材と、を有する液
体吐出ヘッドと、該液体吐出ヘッドに供給される液体を
貯溜するための液体貯留部と、を具備することを特徴と
するヘッドカートリッジを提供することである。

【００２８】本発明の更に他の目的は、液体の吐出口が
設けられた吐出口部材と対面して配された、液体に気泡
を生じさせるための熱を発生する発熱面と、該発熱面と
前記吐出口部材との間に介在する様に設けられた、前記
気泡によって変位する自由端を有する可動部材と、該可
動部材の前記自由端が前記気泡によって変位した変位時
に前記可動部材の前記発熱面側の面と対向する対向部材
であって、前記変位時に前記可動部材と協働して前記気
泡を前記吐出口の方へ導くための当該対向部材と、を有
する液体吐出ヘッドと、該液体吐出ヘッドに供給される
液体を貯溜するための液体貯留部と、を具備することを
特徴とするヘッドカートリッジを提供することである。

【００２９】本発明の更に他の目的は、液体の吐出口と
対面して配された、液体に気泡を生じさせるための熱を
発生する発熱面を有する基板と、前記発熱面と前記吐出
口部材との間に介在する様に設けられた、前記気泡によ
って変位する自由端を有する可動部材と、該可動部材の
前記自由端が前記気泡によって変位した変位時に前記可
動部材の前記発熱面側の面と対向する対向部材であっ
て、前記変位時に前記可動部材と協働して前記気泡を前
記吐出口の方へ導くための当該対向部材と、を有する液
体吐出ヘッドと、該液体吐出ヘッドから液体を吐出させ
るための駆動信号を供給するための駆動信号供給手段
と、を具備することを特徴とする液体吐出装置を提供す
ることである。

【００３０】本発明の更に他の目的は、液体の吐出口と
対面して配された、液体に気泡を生じさせるための熱を
発生する発熱面を有する基板と、前記発熱面と前記吐出
口部材との間に介在する様に設けられた、前記気泡によ
って変位する自由端を有する可動部材と、該可動部材の
前記自由端が前記気泡によって変位した変位時に前記可
動部材の前記発熱面側の面と対向する対向部材であっ
て、前記変位時に前記可動部材と協働して前記気泡を前
記吐出口の方へ導くための当該対向部材と、を有する液
体吐出ヘッドと、該液体吐出ヘッドから吐出された液体
を受ける被記録媒体を搬送するための搬送手段と、を具
備することを特徴とする液体吐出装置を提供することで
ある。

【００３１】本発明の更に他の目的は、液体の吐出口が
設けられた吐出口部材と対面して配された、液体に気泡
を生じさせるための熱を発生する発熱面と、該発熱面と
前記吐出口部材との間に介在する様に設けられた、前記
気泡によって変位する自由端を有する可動部材と、該可
動部材の前記自由端が前記気泡によって変位した変位時
に前記可動部材の前記発熱面側の面と対向する対向部材
であって、前記変位時に前記可動部材と協働して前記気
泡を前記吐出口の方へ導くための当該対向部材と、を有
する液体吐出ヘッドと、該液体吐出ヘッドから液体を吐
出させるための駆動信号を供給するための駆動信号供給
手段と、を具備することを特徴とする液体吐出装置を提
供することである。

【００３２】本発明の更に他の目的は、液体の吐出口が
設けられた吐出口部材と対面して配された、液体に気泡
を生じさせるための熱を発生する発熱面と、該発熱面と
前記吐出口部材との間に介在する様に設けられた、前記
気泡によって変位する自由端を有する可動部材と、該可
動部材の前記自由端が前記気泡によって変位した変位時
に前記可動部材の前記発熱面側の面と対向する対向部材
であって、前記変位時に前記可動部材と協働して前記気
泡を前記吐出口の方へ導くための当該対向部材と、を有
する液体吐出ヘッドと、該液体吐出ヘッドから吐出され
た液体を受ける被記録媒体を搬送するための搬送手段
と、を具備することを特徴とする液体吐出装置を提供す
ることである。

【００３３】本発明の更に他の目的は、上述した液体吐
出装置と、記録後の被記録媒体に対して液体の定着を促
すための後処理装置と、を有することを特徴とする記録
システムを提供することである。

【００３４】本発明の更に他の目的は、上述した液体吐
出装置と、記録前の被記録媒体に対して液体の定着を増
すための前処理装置と、を有することを特徴とする記録
システムを提供することである。

【００３５】本発明の更に他の目的は、液体の吐出口と
対面して配された、液体に気泡を生じさせるための熱を
発生する発熱面を有する基板と、前記発熱面と前記吐出
口部材との間に介在する様に設けられた、前記気泡によ
って変位する自由端を有する可動部材と、該可動部材の
前記自由端が前記気泡によって変位した変位時に前記可
動部材の前記発熱面側の面と対向する対向部材であっ
て、前記変位時に前記可動部材と協働して前記気泡を前
記吐出口の方へ導くための当該対向部材と、を有する液
体吐出ヘッドと、該液体吐出ヘッドに供給される液体を
貯溜した液体容器と、を内包したことを特徴とする液体
吐出ヘッドキットを提供することである。

【００３６】本発明の更に他の目的は、液体の吐出口が
設けられた吐出口部材と対面して配された、液体に気泡
を生じさせるための熱を発生する発熱面と、該発熱面と
前記吐出口部材との間に介在する様に設けられた、前記
気泡によって変位する自由端を有する可動部材と、該可
動部材の前記自由端が前記気泡によって変位した変位時
に前記可動部材の前記発熱面側の面と対向する対向部材
であって、前記変位時に前記可動部材と協働して前記気
泡を前記吐出口の方へ導くための当該対向部材と、を有
する液体吐出ヘッドと、該液体吐出ヘッドに供給される
液体を貯溜した液体容器と、を内包したことを特徴とす
る液体吐出ヘッドキットを提供することである。

【００３７】本発明の更に他の目的は、液体に気泡を生
じさせるための熱を発生する発熱面を有する基板と、液
体の吐出口が設けられた吐出口部材と、が自由端を有す
る可動部材を介して対面することにより、前記基板と前
記吐出口部材との間に液流路が形成されており、前記基
板の前記液流路側の面と前記吐出口部材の前記液流路側
の面とが前記液流路内において交差せず、前記吐出口か
ら前記気泡に基づいて液体を吐出する液体吐出方法であ
って、前記液流路における前記吐出口への液体の供給方
向に関して下流側に前記可動部材の前記自由端が配さ
れ、前記気泡が、前記可動部材の前記自由端を変位さ
せ、該変位に応じて前記吐出口の方へ成長することによ
り、液体を吐出することを特徴とする液体吐出方法を提
供することである。

【００３８】本発明の更に他の目的は、液体に気泡を生
じさせるための熱を発生する発熱面を有する基板と、該
基板と対面して配されることにより前記基板との間に液
流路を形成し、該液流路内において前記基板の前記液流
路側の面と交差しないところの、液体の吐出口が設けら
れた吐出口部材と、前記基板と前記吐出口部材との間に
介在する様に設けられた、前記気泡によって変位する自
由端を有する可動部材と、該可動部材の前記自由端が前
記気泡によって変位した変位時に前記可動部材の前記発
熱面側の面と対向する対向部材であって、前記変位時に
前記可動部材と協働して前記気泡を前記吐出口の方へ導
くための当該対向部材と、を有することを特徴とする液
体吐出ヘッドを提供することである。

【００３９】（作用）本発明では、発熱体の発熱面と吐
出口との間に介在する、自由端を有する可動部材が、発
熱面において発生した気泡による圧力によって吐出口の
側に変位する。この結果、可動部材は、可動部材と対向
する対向部材と協働し、あたかも発熱面と吐出口との連
通路を絞る様にして、気泡による圧力を吐出口の方へ集
中させる。このため、高吐出効率、高吐出力、更には被
記録媒体への高着弾精度でもって液体を吐出することが
できる。また、可動部材によってバック波の影響をも低
減することができるので、吐出する液体のリフィル特性
を向上させることができる。従って、連続的な液体吐出
時の高応答性、気泡の安定的な成長性、液滴の安定的な
吐出特性を得ることができ、高速液体吐出による高速記
録及び高画質記録を達成することができる。

【００４０】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施例を説明する。

【００４１】〔実施例１〕図１は、本発明の液体吐出ヘ
ッドの一実施例を示す模式的側断面図である。図２は、
図１に示された液体吐出ヘッドを示す模式的部分破断斜
視図である。

【００４２】本実施例の液体吐出ヘッドは、発熱体２の
発熱面に実質的に平行に対面する様に吐出口１１が配さ
れた、いわゆるサイドシュータタイプのヘッドである。
発熱体２（本実施例では４８μｍ×４６μｍの発熱抵抗
体）は、基板１上に設けられており、液体にＵＳＰ４，
７２３，１２９に記載されている様な膜沸騰を生じさせ
て気泡を発生させるために利用される熱エネルギーを発
生する。吐出口１１は、吐出口部材であるオリフィスプ
レート１４に設けられている。このオリフィスプレート
１４は、ニッケルの電鋳で形成されている。

【００４３】吐出口１１に直接連通する様に、液体を流
すための液流路３ｂがオリフィスプレート１４と基板１
との間に設けられている。本実施例では、吐出する液体
として水系インク（エタノールと水の混合液）を用い
た。

【００４４】液流路３ｂには、発熱体２に対向して発熱
体２を覆う様に、平板片持梁形状の可動部６が設けられ
ている。本発明では、この可動部を「可動部材」と称す
る。可動部６は、発熱体２の発熱面に垂直な方向におけ
る発熱面の上方への投影空間辺りに位置する。可動部６
は、金属等の弾性を有する材料からなる。本実施例で
は、厚さ５μｍのニッケルで形成されている。可動部６
の一端５ａは、支持部材５ｂに固定されて支持されてい
る。支持部材５ｂは、基板１上に感光性樹脂をパターニ
ングして形成されている。可動部６と発熱面とは、１５
μｍ程度の間隔をもって配されている。

【００４５】符号１５ａは、可動部６の開放時に可動部
６の発熱面側の面に対向する対向部材としての壁部材で
ある。壁部材１５ａと可動部６の自由端６ａとは、２μ
ｍの間隔のスリット８をもって離間して互いに対向して
いる。可動部６は、共通液室から供給路４ｂを介し可動
部６を経て吐出口１１へ至る液体の流れの上流側に固定
端（支点）６ｂと、下流側に自由端６ａと、を有する。
固定端６ｂは、可動部６の開放時に支点となる基部とし
て働く。

【００４６】本実施例においてスリット８は、気泡が成
長するときに、可動部６が変位する前に可動部６の周囲
の隙間から気泡がすり抜けない程度の「実質的に密閉」
した状態を形成している。可動部６の少なくとも自由端
６ａは、気泡による圧力が及ぶ領域内に配されている。
図１において、定常状態での可動部６の上側（吐出口
側）の領域を”Ａ”、下側（発熱体側）の領域を”Ｂ”
と示してある。

【００４７】発熱体２の発熱面から熱が発生して領域Ｂ
で気泡が発生すると、気泡の発生と成長に伴う圧力或い
は成長する気泡自体により、可動部６の自由端６ａは基
部６ｂを支点として領域Ａ側へ図１中の矢印方向に瞬時
に移動し、液体が吐出口１１から吐出される。

【００４８】尚、図２において符号１８は、基板１に配
され、電気熱変換体である発熱体２に電気信号を印加す
るための配線電極である。

【００４９】次に、本実施例に係る液体吐出ヘッドの吐
出動作について説明する。図３（ａ）〜（ｄ）は、本実
施例に係る液体吐出ヘッドの吐出動作を説明するための
模式的断面図である。図３においては、説明をわかりや
すいものとするために、支持部材５ｂが省略されてい
る。

【００５０】図３（ａ）は、発熱体２に電気エネルギー
等のエネルギーが印加される前の状態であり、発熱体が
熱を発生する前の初期状態を示している。図３（ａ）に
示すように、発熱体２上の自由端６ａは、所定間隔のス
リット８をもって対向している。

【００５１】図３（ｂ）は、発熱体２に電気エネルギー
等が印加されて発熱体２が発熱し、発生した熱によって
膜沸騰に伴う気泡７が発生し成長している状態を示して
いる。この気泡の発生と成長に伴う圧力は、主として可
動部６に伝搬する。この可動部６の機械的変位は、吐出
口からの吐出液の吐出に寄与する。

【００５２】図３（ｃ）は、気泡７が更に成長した状態
を示している。気泡７の成長に伴い、可動部６がその基
部６ｂを支点として吐出口の方へ一層変位している。こ
の可動部６の変位により、吐出口側領域Ａと発熱体側領
域Ｂとが初期状態に較べて大きく連通する。この状態
は、あたかも発熱面と吐出口との連通路が可動部６によ
って適度に細く絞られて、気泡の力を吐出口の方へ集中
させるかの様である。この様にして、気泡の成長に基づ
く圧力波は、吐出口１１に向けて直上方向に集中的に伝
わる。この様な圧力波の直接的な伝搬と可動部６の機械
的変位とにより、吐出液が滴１１ａ（図３（ｄ））とし
て吐出口１１から高速、高吐出力、高吐出効率でもって
吐出される。

【００５３】図３（ｃ）においては、吐出口の方への可
動部６の変位に伴い、発熱体側領域Ｂで発生した気泡の
一部が吐出口側領域Ａに延在している。このように、発
熱体２の発熱面または基板１の表面から、可動部６まで
の間隔を気泡が吐出口側領域Ａに延在するような高さと
することにより、吐出力を一層向上させることができ
る。気泡が可動部６の初期位置を越えて吐出口の方へ延
在するようにするためには、発熱体側領域Ｂの高さを最
大気泡の高さより低くすることが望ましく、数μｍ〜３
０μｍとすることが望ましい。

【００５４】図３（ｄ）は、気泡７がその内部圧力の減
少によって収縮し、消滅していく状態を示している。気
泡の収縮による負圧と可動部自身のばね性による復元力
により、可動部６が初期位置に復帰する。これに伴い、
液流路３ｂでは、吐出された液量に相当する量の液体が
速やかに供給される。液流路３ｂでは、気泡によるバッ
ク波の影響を受けることがほとんどなく、可動部６が閉
じることと並行してなされるので可動部によって妨げら
れることも少ないためである。

【００５５】次に、本実施例に係る液体吐出ヘッドにお
ける液体のリフィルについて更に説明する。

【００５６】気泡７が最大体積の状態を経て消泡過程に
入ったときには、消泡した体積を補う体積の液体が領域
に、吐出口１１側と液流路３ｂとから流れ込む。気泡の
体積Ｗを可動部６の初期位置を境に上側（吐出口側）を
Ｗ１、下側（発熱体側）をＷ２とした場合、消泡時に可
動部が初期位置に戻った時点でＷ１の一部を補償するた
めの吐出口におけるメニスカスの後退は止まり、その後
残ったＷ２の体積分の補償は主に可動部６と発熱面との
間における液供給によってなされる。これにより、吐出
口におけるメニスカスの後退量を少なく抑えることが可
能となる。

【００５７】また、本実施例においては、Ｗ２の体積分
の補償は、消泡時の圧力変化を利用して発熱体の発熱面
に沿って主に液流路３ｂから強制的に行うことができる
ため、より速いリフィルを実現できる。更に、従来のヘ
ッドで消泡時の圧力を用いたリフィルを行った場合、メ
ニスカスの振動が大きくなってしまい画像品位の劣化に
つながっていたが、本実施例においては、可動部６によ
って吐出口側領域Ａと発熱体側領域Ｂとの液体の流通が
抑制されるため、メニスカスの振動を極めて少なくする
ことができる。これにより、画質の向上や高速記録を実
現することができる。

【００５８】本実施例の基板１の表面は、発熱体２の発
熱面と実質的に平坦につながる（発熱体表面が大きく落
ち込んでいない）。このような場合、領域Ｂへの液体の
供給は、基板１の表面に沿ってなされる。このため、発
熱体２の発熱面上に液体が淀むことが抑制され、液体中
に溶存していて析出した析出気泡や消泡できずに残った
いわゆる残留気泡が除去され易く、また液体への蓄熱が
高くなり過ぎることもない。従って、より安定した気泡
の発生を高速に繰り返し行うことができる。なお、本実
施例では、基板１の表面が実質的に平坦な内壁をもつ例
を説明したが、これに限らず、発熱体表面となだらかに
つながり、なだらかな内壁を有する液流路であればよ
く、発熱体上に液体の淀みを生じたり液体中に大きな乱
流を生じたりしない形状であればよい。

【００５９】〔実施例２〕図４は、本発明の液体吐出ヘ
ッドの他の実施例の要部を示す模式的断面図である。図
４においては、説明をわかりやすいものとするために、
支持部材５ｂが省略されている。

【００６０】本実施例が実施例１と異なる点は、実施例
１と較べて可動部６を薄くしてたわみやすくしたことで
ある。これにより、図４において点線で示されている様
に、気泡によって変位した可動部６は吐出口１１の方へ
わずかにたわんでいる。可動部がたわみやすいと、比較
的低い発泡圧でも可動部を大きく変位させることができ
るので、発泡圧を一層効率良く吐出口の方へ向けること
ができる。本実施例においても、高吐出力で高吐出効率
の液体吐出ヘッドを得ることができた。

【００６１】〔実施例３〕図５は、本発明の液体吐出ヘ
ッドの他の実施例の要部を示す模式的断面図である。図
６は、図５に示された液体吐出ヘッドを示す模式的部分
破断斜視図である。本実施例におけるヘッドの可動部６
は、単独ではなく一対のものである。一対の可動部６の
変位に伴い気泡による圧力が可動部６の上方に配された
吐出口１１の方へ伝わるように、一対の可動部６の一方
が可動部材として、他方が対向部材として作用し、発泡
圧が効率良く吐出口の方へ向けられる。本実施例におい
ても、高吐出力で高吐出効率の液体吐出ヘッドを得るこ
とができた。

【００６２】〔実施例４〕図７は、本発明の液体吐出ヘ
ッドの一実施例を示す模式的側断面図である。図８は、
図７に示された液体吐出ヘッドを示す模式的部分破断斜
視図である。

【００６３】本実施例の液体吐出ヘッドは、発熱体２の
発熱面に実質的に平行に対面する様に吐出口１１が配さ
れた、いわゆるサイドシュータタイプのヘッドである。
発熱体２（本実施例では４８μｍ×４６μｍの発熱抵抗
体）は、基板１上に設けられており、液体にＵＳＰ４，
７２３，１２９に記載されている様な膜沸騰を生じさせ
て気泡を発生させるために利用される熱エネルギーを発
生する。吐出口１１は、吐出口部材であるオリフィスプ
レート１４に設けられている。このオリフィスプレート
１４は、ニッケルの電鋳で形成されている。

【００６４】吐出口１１に直接連通する様に、吐出液を
流すための第１の液流路３がオリフィスプレート１４の
下に設けられている。一方、基板１上には、発泡液を流
すための第２の液流路４が設けられている。第１の液流
路３と第２の液流路４との間には、両液流路を分離する
ための分離壁５が配されている。分離壁５は、金属等の
弾性を有する材料からなる。本実施例では、分離壁５は
厚さ５μｍのニッケルで形成されている。この分離壁５
は、第１の液流路３内の吐出液と第２の液流路４内の発
泡液とを区分している。

【００６５】吐出液は、吐出液を貯留する第１の共通液
室１２から第１の供給路１２ａを介して第１の液流路３
へ供給される。発泡液は、発泡液を貯留する第２の共通
液室１３から第２の供給路１３ａを介して第２の液流路
４へ供給される。第１の共通液室１２と第２の共通液室
１３とは、隔壁１ａによって仕切られている。本実施例
においては、第１の液流路３に供給される吐出液と第２
の液流路４に供給される発泡液とに、同じ水系インク
（エタノールと水の混合液）を用いた。

【００６６】発熱体２の発熱面に垂直な方向における発
熱面の上方への投影空間辺りに位置する部分の分離壁５
は、一対の平板片持梁形状の可動部６（以下、一方の可
動部を「可動部材」と、他方の可動部を可動部材に対向
する「対向部材」とも称する）を有する。可動部６と発
熱面とは、１５μｍ程度の間隔をもって配されている。
両可動部６の自由端６ａ同士は、２μｍの間隔のスリッ
ト８をもって離間して互いに対向している。６ｂは可動
部６の開放時に支点となる基部である。スリット８は、
発熱体２の中心部と吐出口１１の中心部とを結ぶ線を含
む面内に形成されている。本実施例においてこのスリッ
ト８は、気泡が成長するときに、可動部６が変位する前
に可動部６の周囲の隙間から気泡がすり抜けない程度の
「実質的に密閉」した状態を形成している。可動部６の
少なくとも自由端６ａは、気泡による圧力が及ぶ領域内
に配されている。図７において、定常状態での可動部６
の上側（吐出口側）の領域を”Ａ”、下側（発熱体側）
の領域を”Ｂ”と示してある。

【００６７】発熱体２の発熱面から熱が発生して領域Ｂ
で気泡が発生すると、気泡の発生と成長に伴う圧力或い
は成長する気泡自体により、可動部６の自由端６ａは基
部６ｂを支点として領域Ａ側へ図７中の矢印方向に瞬時
に移動し、吐出液が吐出口１１から吐出される。

【００６８】尚、図８において符号１８は、基板１に配
され、電気熱変換体である発熱体２に電気信号を印加す
るための配線電極である。

【００６９】次に、本実施例における可動部６と第２の
液流路４との配置関係を説明する。図９（ａ）は、可動
部６をオリフィスプレート１４側から視た模式的平面図
である。図９（ｂ）は、第２の液流路４の底部を分離壁
５側から視た模式的平面図である。図９（ｃ）は、第２
の液流路４を透視しつつ可動部６をオリフィスプレート
１４側から視た模式的平面図である。いずれの図でも、
紙面に向かって手前が吐出口１１側である。

【００７０】本実施例においては、第２の液流路４の発
熱体２の両側にそれぞれ狭窄部９が形成されている。両
狭窄部９により、第２の液流路４の発熱体２の近傍領域
は、発泡時の圧力が第２の液流路４を伝って逃げること
を抑制するような室（発泡室）構造となっている。

【００７１】ところで、従来のヘッドにおいて、発泡時
の圧力が逃げないように液流路に狭窄部を設ける場合に
は、吐出する液体のリフィル特性を考慮して、狭窄部に
おける流路断面積があまり小さくなり過ぎない様に注意
する必要があった。しかし、本実施例の場合、吐出され
る液体のほとんどは第１の液流路内の吐出液であり、発
熱体が設けられた第２の液流路内の発泡液はあまり消費
されないため、第２の液流路の領域Ｂへの発泡液の充填
量は比較的少なくてよい。従って、上述の狭窄部９にお
ける流路壁の間隔を数μｍ〜十数μｍと非常に狭くする
ことができる。これにより、第２の液流路４で発生した
発泡時の圧力を周囲にあまり逃がすことがなく、可動部
６に集中的に向けることができる。この圧力を可動部６
を介して吐出力として利用することができるため、より
高い吐出効率と吐出力を達成することができる。

【００７２】次に、本実施例に係る液体吐出ヘッドの吐
出動作について説明する。図１０（ａ）〜（ｄ）は、本
実施例に係る液体吐出ヘッドの吐出動作を説明するため
の模式的断面図である。本実施例においては、第１の液
流路３に供給される吐出液と第２の液流路４に供給され
る発泡液とに、同じ水系のインクを用いて動作させてい
る。

【００７３】図１０（ａ）は、発熱体２に電気エネルギ
ー等のエネルギーが印加される前の状態であり、発熱体
が熱を発生する前の初期状態を示している。図１０
（ａ）に示すように、発熱体２上の分離壁５の一対の自
由端６ａ同士は、所定間隔のスリット８をもって対向し
ており、第１の液流路３内の吐出液と第２の液流路４内
の発泡液とを区分している。

【００７４】図１０（ｂ）は、発熱体２に電気エネルギ
ー等が印加されて発熱体２が発熱し、発生した熱によっ
て膜沸騰に伴う気泡７が発生し成長している状態を示し
ている。この気泡の発生と成長に伴う圧力は、主として
可動部６に伝搬する。この可動部６の機械的変位は、吐
出口からの吐出液の吐出に寄与する。

【００７５】図１０（ｃ）は、気泡７が更に成長した状
態を示している。気泡７の成長に伴い、可動部６がその
基部６ｂを支点として第１の液流路３側に一層変位して
いる。この可動部６の変位により、第１の液流路３と第
２の液流路４とが初期状態に較べて大きく連通する。こ
の状態は、あたかも発熱面と吐出口との連通路が可動部
６によって適度に細く絞られて、気泡の力を吐出口の方
へ集中させるかの様である。この様にして、気泡の成長
に基づく圧力波は、第１の液流路３に連通する吐出口１
１に向けて直上方向に集中的に伝わる。この様な圧力波
の直接的な伝搬と図１０（ｂ）で説明した可動部６の機
械的変位とにより、吐出液が滴１１ａ（図１０（ｄ））
として吐出口１１から高速、高吐出力、高吐出効率でも
って吐出される。

【００７６】図１０（ｃ）においては、第１の液流路３
側への可動部６の変位に伴い、第２の液流路４の領域Ｂ
で発生した気泡の一部が第１の液流路３側に延在してい
る。このように、第２の液流路４の高さ（発熱体２の発
熱面または基板１の表面から、可動部６までの間隔）を
気泡が第１の液流路３側に延在するような高さとするこ
とにより、吐出力を一層向上させることができる。気泡
が第１の液流路３に延在するようにするためには、第２
の液流路４の高さを最大気泡の高さより低くすることが
望ましく、数μｍ〜３０μｍとすることが望ましい。

【００７７】図１０（ｄ）は、気泡７がその内部圧力の
減少によって収縮し、消滅していく状態を示している。
気泡の収縮による負圧と可動部自身のばね性による復元
力により、可動部６が初期位置に復帰する。これに伴
い、第１の液流路３では、吐出された液量に相当する量
の吐出液が速やかに供給される。第１の液流路３では、
気泡によるバック波の影響を受けることがほとんどな
く、可動部６が閉じることと並行してなされるので可動
部によって妨げられることも少ないためである。第２の
液流路４内の発泡液は、あまり消費されないため、リフ
ィルもわずかの量で済む。

【００７８】次に、本実施例に係る液体吐出ヘッドにお
ける液体のリフィルについて更に説明する。

【００７９】気泡７が最大体積の状態を経て消泡過程に
入ったときには、消泡した体積を補う体積の液体が領域
に、吐出口１１側と第１の液流路３と第２の液流路４と
から流れ込む。気泡の体積Ｗを可動部６の初期位置を境
に上側（吐出口側）をＷ１、下側（発熱体側）をＷ２と
した場合、消泡時に可動部が初期位置に戻った時点でＷ
１の一部を補償するための吐出口におけるメニスカスの
後退は止まり、その後残ったＷ２の体積分の補償は主に
第２の液流路４における液供給によってなされる。これ
により、吐出口におけるメニスカスの後退量を少なく抑
えることが可能となる。

【００８０】また、本実施例においては、Ｗ２の体積分
の補償は、消泡時の圧力変化を利用して発熱体の発熱面
に沿って主に第２の液流路から強制的に行うことができ
るため、より速いリフィルを実現できる。更に、従来の
ヘッドで消泡時の圧力を用いたリフィルを行った場合、
メニスカスの振動が大きくなってしまい画像品位の劣化
につながっていたが、本実施例においては、可動部によ
って吐出口側の第１の液流路３の領域と第２の液流路４
との液体の流通が抑制されるため、メニスカスの振動を
極めて少なくすることができる。これにより、画質の向
上や高速記録を実現することができる。

【００８１】本実施例の第２の液流路４は、発熱体２の
発熱面と実質的に平坦につながる（発熱体表面が大きく
落ち込んでいない）内壁を有している。このような場
合、領域Ｂへの液体の供給は、第２の液流路４の内壁に
沿ってなされる。このため、発熱体２の発熱面上に液体
が淀むことが抑制され、液体中に溶存していて析出した
析出気泡や消泡できずに残ったいわゆる残留気泡が除去
され易く、また液体への蓄熱が高くなり過ぎることもな
い。従って、より安定した気泡の発生を高速に繰り返し
行うことができる。なお、本実施例では、第２の液流路
４が実質的に平坦な内壁をもつ例を説明したが、これに
限らず、発熱体表面となだらかにつながり、なだらかな
内壁を有する液流路であればよく、発熱体上に液体の淀
みを生じたり液体中に大きな乱流を生じたりしない形状
であればよい。

【００８２】次に、本実施例の液体吐出ヘッドにおける
気泡からの圧力伝搬について、従来の例と比較しながら
説明する。図１１（ａ）は、本実施例の液体吐出ヘッド
における気泡からの圧力伝搬の様子を示す模式的断面図
である。図１１（ｂ）は、従来の液体吐出ヘッドにおけ
る気泡からの圧力伝搬の様子を示す模式的断面図であ
る。

【００８３】図１１（ｂ）に示されるような従来の代表
的なヘッドにおいては、発生した気泡７による圧力の伝
搬方向を規制する障害物はない。このため、気泡の圧力
伝搬方向は、Ｖ１〜Ｖ８のように気泡表面のほぼ垂線方
向に沿った様々な方向を向いている。このうち、液吐出
に最も影響を及ぼす吐出口へ向かう圧力成分は、Ｖ３〜
Ｖ６、すなわち気泡の吐出口に近い側の圧力伝搬成分で
ある。特に、Ｖ４及びＶ５は吐出口に最も近いため液吐
出に効率よく働き、逆にＶ３及びＶ６の吐出口へ向かう
成分は比較的小さい。尚、ＶＡ，ＶＢは液流路に沿った
互いに反対方向への圧力伝搬成分である。

【００８４】これに対し、図１１（ａ）に示される本実
施例の場合には、可動部材６が気泡の圧力伝搬成分Ｖ３
〜Ｖ６を吐出口の方へ導くので、気泡７の圧力が直接的
に効率よく液吐出に寄与する。そして、気泡自体も吐出
口方向へ成長する。このように、可動部によって気泡の
圧力伝搬方向のみならず気泡自体の成長を制御すること
により、吐出効率、吐出力及び吐出速度等の飛躍的な向
上を達成することができる。

【００８５】ここで、ＶＡ１，ＶＢ１は第１の液流路に
沿った互いに反対方向への圧力成分であり、ＶＡ，ＶＢ
は第２の液流路に沿った互いに反対方向への圧力成分で
ある。本実施例では、可動部６がバック波を小さく抑え
るので、ＶＡ１，ＶＢ１は従来に較べて低減される。ま
た、気泡は吐出口の方へ導かれるので、ＶＡ，ＶＢも従
来に較べて低減される。結果として、ＶＡ１＋ＶＡ，Ｖ
Ｂ１＋ＶＢは、それぞれ従来のＶＡ，ＶＢに較べて低減
されることになる。

【００８６】〔実施例５〕図１２は、本発明の液体吐出
ヘッドの他の実施例の要部を示す模式的断面図である。
本実施例が実施例４と異なる点は、実施例４と較べて可
動部６を薄くしてたわみやすくしたことである。これに
より、図１２において点線で示されている様に、気泡に
よって変位した可動部６は吐出口１１の方へわずかにた
わんでいる。可動部がたわみやすいと、比較的低い発泡
圧でも可動部を大きく変位させることができるので、発
泡圧を一層効率良く吐出口の方へ向けることができる。
本実施例においても、高吐出力で高吐出効率の液体吐出
ヘッドを得ることができた。

【００８７】〔実施例６〕図１３（ａ）は、本発明の液
体吐出ヘッドの他の実施例の要部を示す模式的断面図で
ある。図１３（ｂ）は、本実施例の可動部を吐出口側か
ら視た模式的上面図である。本実施例が実施例４と異な
る点は、第２の液流路４の代わりに四方が壁で囲まれた
つぼ型液路４ａを設けたことである。本実施例では、液
体吐出後、つぼ型液路４ａへの液体の供給は、主として
可動部６に設けられた開口６ｃを通って第１の液流路３
からなされる。この開口６ｃは、気泡を逃がすことなく
インクを流すことが可能な大きさであればよい。

【００８８】本実施例では、発泡圧が可動部６の下側を
伝って上流方向へ逃げることを防止できるため、発泡圧
を吐出口方向へ効率的に導くことが可能となる。更に、
消泡時にはつぼ型液路の容積に見合った量のインクが供
給されるだけでよいことから、インクのリフィル量が少
なくて済むので、高速応答性に優れる。本実施例におい
ても、高吐出力で高吐出効率の液体吐出ヘッドを得るこ
とができた。

【００８９】〔実施例７〕図１４（ａ）は、本発明の液
体吐出ヘッドの他の実施例の要部を示す模式的断面図で
ある。本図に示されるヘッドの可動部６（以下、「可動
部材」とも称する）は、対ではなく単独のものである。
可動部６の変位に伴い、気泡による圧力が可動部６の上
方に配された吐出口１１の方へ伝わるように、可動部６
の自由端６ａ側の第１の液流路３が壁１５ａ（以下、可
動部材に対向する「対向部材」とも称する）で閉じられ
ている。本実施例に係る可動部６は、単独のものである
ので作製が容易であり、設計の自由度が大きいという利
点がある。

【００９０】図１４（ｂ）は、本実施例に係る液体吐出
ヘッドにおける気泡７の生成等を説明するための模式的
断面図である。本図に示される様に、第１の液流路３側
への可動部６の変位に伴い、第２の液流路４の領域Ｂで
発生した気泡の一部が第１の液流路３側に延在してい
る。このように、第２の液流路４の高さ（発熱体２の発
熱面または基板１の表面から、可動部６までの間隔）を
気泡が第１の液流路３側に延在するような高さとするこ
とにより、吐出力を一層向上させることができる。気泡
が第１の液流路３に延在するようにするためには、第２
の液流路４の高さを最大気泡の高さより低くすることが
望ましく、数μｍ〜３０μｍとすることが望ましい。本
実施例においても、高吐出力で高吐出効率の液体吐出ヘ
ッドを得ることができた。

【００９１】〔実施例８〕図１５（ａ）は、本発明の液
体吐出ヘッドの他の実施例の要部を示す模式的断面図で
ある。図１５（ｂ）は、本実施例の可動部を吐出口側か
ら視た模式的上面図である。本実施例が実施例７と異な
る点は、第１の液流路３の代わりに四方が壁で囲まれた
つぼ型液路３ａを設けたことである。本実施例では、液
体吐出後、つぼ型液路３ａへの液体の供給は、主として
開口６ｃを通って第２の液流路４よりなされる。この開
口６ｃは、気泡を逃がすことなくインクを流すことが可
能な大きさであればよい。

【００９２】本実施例では、気泡が弁を押し上げる圧力
と気泡そのものによる圧力との双方が、ほとんどすべて
吐出口の方へ向けられる。また、消泡とほぼ同時に可動
部６が初期位置に戻るため、インクメニスカスの後退量
が最小限に抑えられ、消泡による強制的なインクのリフ
ィル作用によって上流から発熱面上へインクがスムーズ
に供給される。これにより、高吐出力で高吐出効率の液
体吐出ヘッドを得ることができる。

【００９３】〔実施例９〕図１６（ａ）は、本発明の液
体吐出ヘッドの他の実施例の要部を示す模式的断面図で
ある。図１６（ｂ）は、本実施例の可動部を吐出口側か
ら視た模式的上面図である。本実施例が実施例７と異な
る点は、第２の液流路４の代わりに四方が壁で囲まれた
つぼ型液路４ａを設けたことである。本実施例では、液
体吐出後、つぼ型液路４ａへの液体の供給は、主として
可動部６に設けられた開口６ｃを通って第１の液流路３
からなされる。この開口６ｃは、気泡を逃がすことなく
インクを流すことが可能な大きさであればよい。

【００９４】本実施例では、発泡圧が可動部６の下側を
伝って上流方向へ逃げることを防止できるため、発泡圧
を吐出口方向へ効率的に導くことが可能となる。更に、
消泡時にはつぼ型液路の容積に見合った量のインクが供
給されるだけでよいことから、インクのリフィル量が少
なくて済むので、高速応答性に優れる。本実施例におい
ても、高吐出力で高吐出効率の液体吐出ヘッドを得るこ
とができた。

【００９５】〔ヘッド例１〕図１７は、複数の吐出口と
吐出口にそれぞれ連通する複数の液流路とが設けられた
本発明の液体吐出ヘッドの一例を示す模式的斜視図であ
る。この液体吐出ヘッドは、基板１と分離壁５とオリフ
ィスプレート１４とが、間隙を介して積層されて形成さ
れている。基板１は、アルミニウム等の金属からなる支
持体上に発熱体２が複数設けられたものである。発熱体
２は、第２の液流路４に供給される発泡液に対して膜沸
騰による気泡を発生させるための熱を発生する電気熱変
換素子である。基板１には、発熱体２に電気信号を供給
するための配線電極の他に、発熱体２を選択的に駆動す
るためのトランジスタ、ダイオード、ラッチ、シフトレ
ジスタ等の機能素子が一体的に作り込まれている。ま
た、発熱体２上には、発熱体２を保護するための保護層
（図示略）が設けられている。

【００９６】分離壁５には、一対の可動部６が各発熱体
２に対向する様に設けられている。この分離壁５上に
は、第１の液流路３を構成するための流路壁１５を介し
て吐出口１１が設けられたオリフィスプレート１４が設
けられている。

【００９７】図１７において、１２は第１の液流路３に
第１の供給路１２ａを介して吐出液を供給するための第
１の共通液室である。１３は第２の液流路４に第２の供
給路１３ａを介して発泡液を供給するための第２の共通
液室である。すなわち、第１の共通液室１２は、分離壁
５上に複数の流路壁１５によって仕切られた複数の第１
の液流路３に連通している。第２の共通液室１３は、基
板１上に複数の流路壁（図示略）によって仕切られた複
数の第２の液流路４に連通している。

【００９８】図１７に示された液体吐出ヘッドを製造す
るには、まず、厚さ１５μｍのドライフィルム（固体感
光性樹脂）を基板１上に設け、これをパターニングする
ことで第２の液流路４を構成するための流路壁を形成す
る。この流路壁の材質としては、発泡液に対しての耐溶
剤性があり流路壁を形成できるものであればよい。その
ような材質としては、上述のドライフィルムのほか、液
体感光性樹脂を用いてもよい。そのほか、ポリサルフォ
ン，ポリエチレン等の樹脂、金，シリコン，ニッケル等
の金属、ガラスなどが挙げられる。しかる後、発熱体２
と可動部６とを位置決めした状態で、基板１と分離壁５
とを接合して基板−分離壁結合体を形成する。

【００９９】ニッケルの電鋳により、吐出口１１が設け
られたオリフィスプレート１４を形成する。オリフィス
プレート１４は、、第１の液流路３を一体的に作り込ん
だ樹脂の成形体に対してエキシマレーザを照射すること
により、吐出口１１を穿孔加工した溝付き部材であって
もよい。第１の液流路３は、オリフィスプレート１４の
裏面に厚さ２５μｍのドライフィルムを配し、これをパ
ターニングすることで形成する。この後、吐出口１１と
可動部６とを位置決めした状態で、オリフィスプレート
１４と基板−分離壁結合体とを接合する。

【０１００】〔ヘッド例２〕図１８は、本発明の液体吐
出ヘッドの他の実施例を示す模式的斜視図である。本例
がヘッド例１と異なる点は、可動部６を一対のものから
単独のものとしたことである。これに応じて、流路壁１
５に設けられた障壁１５ｄは、本発明に係る対向部材と
して作用することになる。本実施例においても、高吐出
力で高吐出効率の液体吐出ヘッドを得ることができた。

【０１０１】〔可動部と分離壁〕図１９（ａ）〜（ｃ）
は、本発明の液体吐出ヘッドにおける可動部の他の例を
示す模式的平面図である。図１９（ａ）は、分離壁５の
可動部６が長方形状である場合を示す。図１９（ｂ）
は、可動部６の変位の支点である基部６ｂ側が細くなっ
ている長方形状の可動部材を示す。図１９（ｃ）は、可
動部６の変位の支点である基部６ｂ側が自由端６ａ側よ
りも広くなっている長方形状の可動部材を示す。

【０１０２】図１９（ｂ）に示すような可動部６では、
特にその変位の動作が容易となる効果を奏する。また、
図１９（ｃ）に示すような可動部６では、特に可動部の
耐久性が向上する効果を奏する。可動部の動作の容易性
と可動部の耐久性との双方が良好な形状としては、図９
（ａ）で示したような支点である基部６ｂ側の幅が円弧
状に狭くなっている形態が望ましい。

【０１０３】図２０は、図１９（ａ）に示された長方形
状の可動部６と発熱体２との配置関係を吐出口側から視
た模式的上面図である。発泡圧を有効利用するために発
熱体２の発泡有効領域の直上が可動部で覆われるよう
に、２つの可動部６を異方向に、すなわちそれらの可動
先端が対面するように配置した。本例においては、同じ
形態の可動部６を２つ用いて対称に配置したが、これに
限定されるものではなく、互いに形態の異なる複数の可
動部材を用いても構わない。また、可動部の耐久性が良
好で吐出効率を向上させるものであれば、可動部を対称
に配置しなくてもよい。可動部の総面積を発熱体の発熱
面の総面積よりも大きくし、かつ可動部の支点を発熱体
の発泡有効領域直上外に位置させることにより、吐出効
率および耐久性に優れた液体吐出ヘッドが得られる。

【０１０４】図７等に示される様な互いに対向する両側
可動部を有するヘッドにおいては、吐出効率向上の観点
から、スリットの間隔を比較的狭いものとするのが好ま
しい。また、発熱体の発熱面の中心を通って発熱面に垂
直な垂線と両側可動部の自由端の間の間隙領域の中心を
通って該間隙領域に垂直な垂線とが近接するのが好まし
く、両垂線が実質的に重なるのが最適である。更に、発
熱体の発熱面の中心を通って発熱面に垂直な垂線が吐出
口を貫くのが好ましく、該垂線と吐出口の中心を通って
吐出口に垂直な垂線とが実質的に重なるのが最適であ
る。

【０１０５】図１４（ａ）及び（ｂ）等に示される様な
片側可動部とこれに対向する対向障壁とを有するヘッド
においては、吐出効率向上の観点から、発熱体の発熱面
の中心を通って発熱面に垂直な垂線が、片側可動部を貫
くのが好ましい。また、発熱体の発熱面の中心を通って
発熱面に垂直な垂線が吐出口を貫くのが好ましく、該垂
線と吐出口の中心を通って吐出口に垂直な垂線とが実質
的に重なるのが最適である。

【０１０６】図２１（ａ）〜（ｃ）は、１つの気泡発生
領域に対して可動部６を３ケ所以上配置した形状を示す
模式的平面図であり、図２１（ａ）は３ケ所、図２１
（ｂ）は４ケ所、図２１（ｃ）は６ケ所の例を示すもの
である。製法上の制約、機能上の制約がなければ、可動
部６の枚数はこれらに限ったものではない。いずれの場
合も、気泡によって１つ１つの可動部６に対して均等に
圧力が加わるよう放射状とし、動作の容易性と耐久性と
が良好となる様に支点側の形状を円弧状とした。このよ
うに、複数の弁状の可動部６を放射状に隣接配置する構
成とすることにより、大きなドットを効率よく吐出させ
ることが可能である。また、複数の可動部６は、吐出す
べきドットの径に応じて適宜選定して作成することがで
きる。

【０１０７】可動部を含む分離壁を構成する材料として
は、発泡液と吐出液に対して耐溶剤性があり、可動部と
して良好に動作するための弾性を有し、微細なスリット
が形成できるものであればよい。

【０１０８】可動部の材料としては、耐久性の高い、
銀、ニッケル、金、鉄、チタン、アルミニュウム、白
金、タンタル、ステンレス、りん青銅等の金属、および
その合金、または、アクリロニトリル、ブタジエン、ス
チレン等のニトリル基を有する樹脂、ポリアミド等のア
ミド基を有する樹脂、ポリカーボネイト等のカルボキシ
ル基を有する樹脂、ポリアセタール等のアルデヒド基を
持つ樹脂、ポリサルフォン等のスルホン基を持つ樹脂、
そのほか液晶ポリマー等の樹脂およびその化合物、耐イ
ンク性の高い、金、タングステン、タンタル、ニッケ
ル、ステンレス、チタン等の金属、これらの合金および
耐インク性に関してはこれらを表面にコーティングした
もの若しくは、ポリアミド等のアミド基を有する樹脂、
ポリアセタール等のアルデヒド基を持つ樹脂、ポリエー
テルエーテルケトン等のケトン基を有する樹脂、ポリイ
ミド等のイミド基を有する樹脂、フェノール樹脂等の水
酸基を有する樹脂、ポリエチレン等のエチル基を有する
樹脂、ポリプロピレン等のアルキル基を持つ樹脂、エポ
キシ樹脂等のエポキシ基を持つ樹脂、メラミン樹脂等の
アミノ基を持つ樹脂、キシレン樹脂等のメチロール基を
持つ樹脂およびその化合物、さらに二酸化珪素等のセラ
ミックおよびその化合物が望ましい。

【０１０９】分離壁の材料としては、ポリエチレン、ポ
リプロピレン、ポリアミド、ポリエチレンテレフタレー
ト、メラミン樹脂、フェノール樹脂、エポキシ樹脂、ポ
リブタジエン、ポリウレタン、ポリエーテルエーテルケ
トン、ポリエーテルサルフォン、ポリアリレート、ポリ
イミド、ポリサルフォン、液晶ポリマー（ＬＣＰ）等の
近年のエンジニアリングプラスチックに代表される耐熱
性、耐溶剤性、成型性の良好な樹脂、およびその化合
物、もしくは、二酸化珪素、チッ化珪素、ニッケル、
金、ステンレス等の金属、合金およびその化合物、もし
くは表面にチタンや金をコーティングしたものが望まし
い。

【０１１０】また、分離壁の厚さは、分離壁としての強
度を達成でき、可動部として良好に動作するという観点
からその材質と形状等を考慮して決定すればよいが、
０．５μｍ〜１０μｍ程度が望ましい。

【０１１１】可動部のスリットの間隔は、発泡液と吐出
液とが異なる液体であり、両液体の混液を防止したい場
合には、両者の液体間でメニスカスを形成する程度と
し、夫々の液体同士の流通を抑制すればよい。例えば、
発泡液として２ｃｐｓ（センチポアズ）程度の液体を用
い、吐出液として１００ｃｐｓ以上の液体を用いる場合
には、５μｍ程度のスリットでも混液を防止することが
できるが、３μｍ以下にすることが望ましい。

【０１１２】本発明における可動部としては、主にμｍ
オーダーの厚さ（ｔμｍ）を対象としている。μｍオー
ダーの厚さの可動部にとって、μｍオーダーのスリット
幅（Ｗμｍ）を対象とする場合、製造のバラツキをある
程度考慮することが望ましい。スリットを形成する可動
部の自由端あるいは／且つ側端に対向する部材の厚みが
可動部材の厚みと同等の場合、製造のバラツキを考慮し
てスリット幅と厚みの関係を以下のような範囲にするこ
とで発泡液と吐出液の混液を安定的に抑制することがで
きる。このことは限られた条件ではあるが、設計上の観
点として、３ｃｐｓ以下の粘度の発泡液に対して高粘度
インク（５ｃｐｓ、１０ｃｐｓ等）を用いる場合、Ｗ／
ｔ≦１を満足するようにすることで、２液の混合を長期
にわたって抑制することが可能である。本発明において
実質的な密閉状態を与えるスリットとしては、このよう
な数μｍオーダであればより確実である。

【０１１３】上述のように、発泡液と吐出液とに機能分
離させた場合、可動部がこれらの実質的な仕切部材とな
る。この可動部が気泡の生成に伴って移動する際に吐出
液に対して発泡液がわずかに混入することが見られる。
画像を形成する吐出液は、インクジェット記録の場合、
色材濃度を３％乃至５％程度有するものが一般的である
ことを考慮すると、この発泡液が吐出液滴に対して２０
％以下の範囲で含まれても大きな濃度変化をもたらさな
い。従って、このような混液としては、吐出液滴に対し
て２０％以下となるような発泡液と吐出液との混合を本
発明に含むものとする。

【０１１４】尚、上記の実施例では、粘性を変化させて
も上限で１５％の発泡液の混合であり、５ｃｐｓ以下の
発泡液では、この混合比率は、駆動周波数にもよるが、
１０％程度を上限とするものであった。特に、吐出液の
粘度を２０ｃｐｓ以下にすればする程、この混液は低減
（例えば５％以下）できる。

【０１１５】〔吐出液と発泡液〕吐出液と発泡液とに同
じ液体を用いる場合、発熱体から加えられる熱によって
劣化せずに、また加熱によって発熱体上に堆積物を生じ
にくく、熱によって気化、凝縮の可逆的状態変化を行う
ことが可能であり、さらに液流路や可動部材や分離壁等
を劣化させない液体であれば種々の液体を用いることが
できる。このような液体の内、記録を行うために用いる
液体（記録液体）としては、従来のバブルジェット装置
で用いられていたインクを用いることができる。

【０１１６】一方、吐出液と発泡液とに別の液体を用い
ても、発泡液の発泡で生じた圧力によって可動部を変位
させて吐出液を吐出することができる。このため従来、
熱を加えても発泡が十分に行われにくく吐出力が不十分
であったポリエチレングリコール等の高粘度の液体であ
っても、この液体を第１の液流路に供給し、発泡が良好
に行われる液体（エタノール：水＝４：６の混合液であ
って１〜２ｃｐｓ程度等）を発泡液として第２の液流路
に供給することで、高吐出効率、高吐出圧で良好に吐出
させることができる。

【０１１７】また、加熱に弱い液体を第１の液流路に吐
出液として供給し、第２の液流路で熱的に変質しにくく
良好に発泡を生じる液体を供給すれば、加熱に弱い液体
に熱的な害を与えることなく、しかも上述のように高吐
出効率、高吐出圧で吐出することができる。

【０１１８】この様な発泡液としては、熱によって変質
せず、加熱によって発熱体上に堆積物を生じにくく、熱
によって気化、凝縮の可逆的状態変化を行うことが可能
な液体であれば、種々の液体を用いることができる。具
体的には、メタノール、エタノール、ｎ−プロパノー
ル、イソプロパノール、ｎ−ヘキサン、ｎ−ヘプタン、
ｎ−オクタン、トルエン、キシレン、二塩化メチレン、
トリクレン、フレオンＴＦ、フレオンＢＦ、エチルエー
テル、ジオキサン、シクロヘキサン、酢酸メチル、酢酸
エチル、アセトン、メチルエチルケトン、水等およびこ
れらの混合物が挙げられる。

【０１１９】また、吐出液としては、発泡性の有無、熱
的性質に関係なく様々な液体を用いることができる。ま
た、従来吐出が困難であった発泡性が低い液体、熱によ
って変質、劣化しやすい液体や高粘度液体等であっても
利用できる。ただし、吐出液自身、又は発泡液との反応
によって、吐出や発泡または可動部の動作等を妨げるよ
うな液体でないことが望まれる。記録用の吐出液体とし
ては、高粘度インク等をも利用することができる。その
他の吐出液としては、熱に弱い医薬品や香水等の液体を
利用することもできる。

【０１２０】発泡液として上述のエタノールと水の混合
液を用い、吐出液として染料インク（２ｃｐｓ）、顔料
インク（１５ｃｐｓ）、ポリエチレングリコール２００
（５５ｃｐｓ）、ポリエチレングリコール６００（１５
０ｃｐｓ）を用い、図１に示した形態のヘッドを電圧２
５Ｖ、２．５ｋＨｚで駆動したところ、良好な吐出がな
された。これにより、良好な画質の記録物を得ることが
できた。

【０１２１】また、発泡液と吐出液に以下で示すような
組成の液体を組み合わせて吐出させて記録を行った。そ
の結果、従来のヘッドでは吐出が困難であった十数ｃｐ
ｓ粘度の液体はもちろん、１５０ｃｐｓという非常に高
い粘度の液体でさえも良好に吐出でき、高画質な記録物
を得ることができた。

【０１２２】発泡液１：エタノール４０ｗｔ％水６０ｗｔ％発泡液２：水１００ｗｔ％発泡液３：イソプロピルアルコール１０ｗｔ％水９０ｗｔ％

【０１２３】吐出液１：顔料インク（粘度約１５ｃｐｓ）カーボンブラック５５ｗｔ％スチレン−アクリル酸−アクリル酸エチル共重合体１ｗｔ％（酸化１４０，重量平均分子量８０００）モノエタノールアミン０．２５ｗｔ％グリセリン６９ｗｔ％チオジグリコール５ｗｔ％エタノール３ｗｔ％水１６．７５ｗｔ％吐出液２：（粘度５５ｃｐｓ）ポリエチレングリコール２００１００ｗｔ％吐出液３：（粘度１５０ｃｐｓ）１００ｗｔ％ポリエチレングリコール６００

【０１２４】更に、吐出液と発泡液の両方に用いること
ができる記録液体として以下のような組成のインクを用
いて記録を行ったが、吐出力の向上によってインクの吐
出速度が高くなったため、液滴の着弾精度が向上し非常
に良好な記録画像を得ることができた。

【０１２５】染料インク（粘度２ｃｐｓ）（Ｃ．Ｉ．フードブラック２）染料３ｗｔ％ジエチレングリコール１０ｗｔ％チオジグリコール５ｗｔ％エタノール３ｗｔ％水７７ｗｔ％

【０１２６】ところで、前述したような従来吐出されに
くいとされていた液体の場合には、吐出速度が低いため
に、吐出方向性のバラツキが助長され記録紙上のドット
の着弾精度が悪く、また吐出不安定による吐出量のバラ
ツキが生じ、高品位画像が得にくかった。しかし、上述
の例においては、気泡の発生を発泡液を用いることで充
分に、しかも安定して行うことができる。このことで、
液滴の着弾精度向上とインク吐出量の安定化を図ること
ができ、記録画像品位を著しく向上させることができ
た。

【０１２７】〔素子基板〕以下、液体に熱を与えるため
の発熱体が設けられた素子基板の構成について説明す
る。

【０１２８】図２２（ａ）及び（ｂ）は、それぞれ本発
明の液体吐出ヘッドの素子基板の例を示す側断面図であ
る。図２２（ａ）は、発熱体を含む電気熱変換体の上に
保護膜が設けられたヘッドの素子基板１を示す。図２２
（ｂ）は、保護膜が設けられていないヘッドの素子基板
１を示す。

【０１２９】シリコン等からなる基体６７上に、絶縁お
よび蓄熱を目的として酸化シリコンまたは窒化シリコン
からなる下部層６６を成膜する。その上に、発熱体２を
構成するハフニウムボライド（ＨｆＢ２）、窒化タンタ
ル（ＴａＮ）、タンタルアルミニウム（ＴａＡｌ）等か
らなる０．０１〜０．２μｍ厚の発熱抵抗層６５と、パ
ターニングされたアルミニウム等からなる０．２〜１．
０μｍ厚の配線電極６４と、が配されている。この２つ
の配線電極６４から発熱抵抗層６５に電圧を印加し、配
線電極６４の間に位置する発熱抵抗層に電流を流して発
熱させる。

【０１３０】図２２Ａの例においては、少なくとも配線
電極６４の間の発熱抵抗層上に酸化シリコンやチッ化シ
リコン等からなる保護層６３が０．１〜２．０μｍ厚で
形成されている。さらにその上には、タンタル等からな
る０．１〜０．６μｍ厚の耐キャビテーション層が成膜
されており、インク等の各種の液体から少なくとも発熱
抵抗層６５を保護している。特に、気泡の発生、消泡の
際に発生する圧力波や衝撃波は非常に強く、堅くてもろ
い酸化膜の耐久性を著しく低下させることがあるため、
金属材料であるタンタル（Ｔａ）等が耐キャビテーショ
ン層６２として用いられる。

【０１３１】尚、前述の保護層等は必ずしも必須ではな
く、その例を図２２Ｂに示す。このような保護層を必要
としない発熱抵抗層の材料としては、例えばイリジウム
−タンタル−アルミ合金等が挙げられる。このように、
前述の各実施例における発熱体の構成としては、前述の
電極間の発熱抵抗層の発熱部の上に保護層が設けられて
いないものでもよく、また発熱抵抗層を保護するための
保護層を含むものであってもよい。

【０１３２】本例においては、発熱体として電気信号に
応じて発熱する発熱抵抗層で構成された発熱部を有する
ものを用いたが、これに限られることなく、吐出液を吐
出させるのに十分な気泡を発泡液に生じさせることので
きるものであればよい。例えば、発熱部としてレーザ等
の光を受けることで発熱するような光熱変換体や高周波
を受けることで発熱するような発熱部を有する発熱体で
あってもよい。

【０１３３】尚、前述の素子基板１には、前述の発熱部
を構成する発熱抵抗層６５とこの発熱抵抗層に電気信号
を供給するための配線電極６４とを含む電気熱変換体の
他に、この電気熱変換素子を選択的に駆動するためのト
ランジスタ、ダイオード、ラッチ、シフトレジスタ等の
機能素子が一体的に半導体製造工程によって作り込まれ
ていてもよい。

【０１３４】図２３は、発熱体に付与される駆動信号の
一例を示すグラフである。横軸は発熱部に付与する駆動
信号の時間、縦軸はその電圧値を示す。前述したような
素子基板１に設けられている電気熱変換体の発熱部を駆
動し、液体を吐出するためには、前述の発熱抵抗層６５
に配線電極６４を介して図２３に示されるような矩形パ
ルスを印加し、配線電極間の発熱抵抗層６５を急峻に発
熱させる。前述の各実施例のヘッドにおいては、それぞ
れ電圧２４Ｖ、パルス幅７μｓｅｃ、電流１５０ｍＡ、
駆動信号を６ｋＨｚの周期で加えることで発熱体を駆動
させ、前述のような動作によって吐出口から液体である
インクを吐出させた。駆動信号の条件はこれに限られる
ことなく、発泡液を適正に発泡させることができる駆動
信号であればよい。

【０１３５】〔ヘッドの製造方法〕次に、本発明の液体
吐出ヘッドの製造方法について説明する。

【０１３６】２流路構成の液体吐出ヘッドの製造工程
は、概略次の通りである。素子基板１上に第２の液流路
４の壁を形成し、その上に分離壁５を配設し、さらにそ
の上に第１の液流路３を構成するための溝等が設けられ
た溝付き部材を配設する。もしくは、第２の液流路４の
壁を形成した後、この壁の上に分離壁５を配設した溝付
き部材を接合することにより、液体吐出ヘッドを製造す
る。

【０１３７】第２の液流路の製造方法について、更に説
明する。

【０１３８】図２４（ａ）〜（ｅ）は、本発明の液体吐
出ヘッドの製造方法の第１の例を説明するための模式的
断面工程図である。

【０１３９】図２４（ａ）に示すように、シリコンウエ
ハからなる素子基板１上に、半導体製造工程で用いるの
と同様の製造装置を用いてハフニウムボライドや窒化タ
ンタル等からなる発熱体２を有する電気熱変換素子を形
成した。その後、次工程における感光性樹脂との密着性
の向上を目的として、素子基板１の表面に洗浄を施し
た。密着性を更に向上させるには、素子基板表面に紫外
線−オゾン等による表面改質を行った後、例えばシラン
カップリング剤（日本ユニカ製：Ａ１８９）をエチルア
ルコールで１重量％に希釈した液を上記改質表面上にス
ピンコートすることで達成される。

【０１４０】次に、表面洗浄を行うことで密着性を向上
させた基板１上に、図２４（ｂ）に示すように、紫外線
感光性樹脂フィルム（東京応化製：ドライフィルムオ
ーディルＳＹ−３１８）ＤＦをラミネートした。

【０１４１】次に、図２４（ｃ）に示すように、ドライ
フィルムＤＦ上にフォトマスクＰＭを配し、このフォト
マスクＰＭを介してドライフィルムＤＦのうち、第２の
流路壁として残す部分に紫外線を照射した。この露光工
程は、キヤノン（株）製：ＭＰＡ−６００を用いて、約
６００ｍＪ／ｃｍ２の露光量で行った。

【０１４２】次に、図２４（ｄ）に示すように、ドライ
フィルムＤＦを、キシレンとブチルセルソルブアセテー
トとの混合液からなる現像液（東京応化製：ＢＭＲＣ−
３）で現像した。未露光部分を溶解し、露光して硬化し
た部分を第２の液流路４の壁部分として形成した。さら
に、素子基板１の表面に残った残渣を酸素プラズマアッ
シング装置（アルカンテック社製：ＭＡＳ−８００）で
約９０秒間処理して取り除いた。引き続いて、１５０℃
で２時間、さらに紫外線照射１００ｍＪ／ｃｍ２を行
い、露光部分を完全に硬化させた。

【０１４３】以上の方法により、上記シリコン基板から
分割、作製される複数のヒータボード（素子基板）に対
し、一様に第２の液流路を精度よく形成することができ
る。その後、バンプボンダー（九州松下製）を用いて、
ヒーターボードの電気接続部に金のスタッドバンプを形
成した。シリコン基板を、厚さ０．０５ｍｍのダイヤモ
ンドブレードを取り付けたダイシングマシン（東京精密
製：ＡＷＤ−４０００）で各々のヒータボード１に切
断、分離した。次いで、ＴＡＢテープとヒータボード１
とを接続した。次に、このようにして得られたヒータボ
ード１に、図２４（ｅ）に示すように、溝付き部材１４
ａと分離壁５との接合体を位置決め接合した。

【０１４４】以上の製造方法で第２の液流路を形成する
ことにより、各ヒータボードのヒータに対して位置ズレ
のない精度の良い流路を得ることができる。特に、溝付
き部材１４ａと分離壁５とをあらかじめ先の工程で接合
しておくことで、第１の液流路３と可動部材６との位置
精度を高めることができる。そして、これらの高精度製
造技術により、吐出安定化が図られ印字品位が向上した
液体吐出ヘッドを得ることができる。また、ウエハ上に
一括形成することが可能なため、ヘッドを多量に低コス
トで製造することが可能である。

【０１４５】なお、本例では、第２の液流路を形成する
ために紫外線硬化型のドライフィルムを用いたが、紫外
域、特に２４８ｎｍ付近に吸収帯域をもつ樹脂を用い、
ラミネート後、硬化させ、エキシマレーザで第２の液流
路となる部分の樹脂を直接除去することによっても形成
することが可能である。

【０１４６】図２５（ａ）〜（ｅ）は、本発明の液体吐
出ヘッドに用いられる溝付部材の製造方法の一例を説明
するための模式的断面工程図である。

【０１４７】本例においては、図２５（ａ）に示すよう
に、ステンレス（ＳＵＳ）基板２１上に、厚さ０．５μ
ｍのレジスト２２を吐出口にあったピッチでパターニン
グする。本例では、径φ３０μｍの吐出口を形成するた
めに、径φ７９μｍのレジストパターンを形成した。

【０１４８】次に、図２５（ｂ）に示すように、ＳＵＳ
基板２１に対して電気メッキを行ってＳＵＳ基板２１上
にニッケル層２３を２５μｍ厚に成長させた。メッキ液
としては、スルフォミン酸ニッケルに応力減少剤（ワー
ルドメタル社製：ゼロオール）とほう酸、ピット防止剤
（ワールドメタル社製：ＮＰ−ＡＰＳ）、塩化ニッケル
を使用した。電着時の電界のかけ方としては、アノード
側に電極を付け、カソード側に既にパターニングしたＳ
ＵＳ基板２１を取り付け、メッキ液の温度を５０℃と
し、電流密度を５Ａ／ｃｍ２とした。この様にして、レ
ジストパターンの径の方向に関してもその厚さの方向と
同様の成長速度でＮｉを成長させることができ、所望の
吐出口の径を得ることができた。

【０１４９】次に、図２５（ｃ）に示すように、Ｎｉメ
ッキを施した基板２１上に、紫外線感光性樹脂フィルム
（東京応化製：ドライフィルムオーディルＳＹ−３１
８）２４をラミネートした。

【０１５０】次に、図２５（ｄ）に示すように、ドライ
フィルム２４上にフォトマスク２５を配し、このフォト
マスク２５を介してドライフィルム２４のうち、流路壁
として残す部分に紫外線を照射した。この露光工程は、
キヤノン（株）製：ＭＰＡ−６００を用いて、約６００
ｍＪ／ｃｍ２の露光量で行った。

【０１５１】次に、図２５（ｅ）に示すように、ドライ
フィルム２４を、キシレンとブチルセルソルブアセテー
トとの混合液からなる現像液（東京応化製：ＢＭＲＣ−
３）で現像した。未露光部分を溶解し、露光して硬化し
た部分を液流路の壁部分として形成した。さらに、基板
の表面に残った残渣を酸素プラズマアッシング装置（ア
ルカンテック社製：ＭＡＳ−８００）で約９０秒間処理
して取り除いた。引き続いて、１５０℃で２時間、さら
に紫外線照射１００ｍＪ／ｃｍ２を行い、露光部分を完
全に硬化させ、高さ１５μｍの壁を形成した。その後、
ＳＵＳ基板２１に超音波振動を与え、ニッケル層２４の
部分をＳＵＳ基板２１から剥離し、所望形状の溝付部材
を得た。

【０１５２】本例では流路壁を樹脂で形成したが、溝付
部材をすべてニッケルで形成することもできる。この場
合、図２５（ｄ）の工程において流路壁となる部分を除
去し、除去した面にニッケルをメッキで積層し、次いで
レジストを除去すればよい。ニッケル層の部分をＳＵＳ
基板から剥離した後、表面に金をメッキすれば、更に高
い耐溶剤性を得ることができる。

【０１５３】図２６（ａ）〜（ｄ）は、本発明の液体吐
出ヘッドの製造方法の第２の例を説明するための模式的
断面工程図である。

【０１５４】本例においては、図２６（ａ）に示すよう
に、ステンレス（ＳＵＳ）基板１００上に、厚さ１５μ
ｍのレジスト１０１を第２の液流路の形状でパターニン
グした。

【０１５５】次に、図２６（ｂ）に示すように、ＳＵＳ
基板１００に対して電気メッキを行ってＳＵＳ基板１０
０上にニッケル層１０２を同じく１５μｍ厚に成長させ
た。メッキ液としては、スルフォミン酸ニッケルに応力
減少剤（ワールドメタル社製：ゼロオール）とほう酸、
ピット防止剤（ワールドメタル社製：ＮＰ−ＡＰＳ）、
塩化ニッケルを使用した。電着時の電界のかけ方として
は、アノード側に電極を付け、カソード側に既にパター
ニングしたＳＵＳ基板１００を取り付け、メッキ液の温
度を５０℃とし、電流密度を５Ａ／ｃｍ２とした。

【０１５６】次に、図２６（ｃ）に示すように、上記の
ようなメッキを終了したＳＵＳ基板１００に超音波振動
を与え、ニッケル層１０２の部分をＳＵＳ基板１００か
ら剥離し、所望の第２の液流路を得た。ニッケル層１０
２の部分をＳＵＳ基板１００から剥離した後、表面に金
をメッキすれば、更に高い耐溶剤性を得ることができ
る。

【０１５７】一方、電気熱変換素子を配設したヒータボ
ードを、半導体と同様の製造装置を用いてシリコンウエ
ハに形成した。このウエハを、先の実施例と同様に、ダ
イシングマシンで各々のヒータボードに分離した。この
ヒータボード１をＴＡＢテープに接合して電気的配線を
形成した。このような状態のヒータボード１上に、図２
６（ｄ）に示すように、先に説明した第２の液流路を有
する部材を位置決め固定した。この固定に際しては、後
工程で第１の例と同様に分離壁を固定した天板と押さえ
バネによって係合・密着されるため、天板接合時に位置
ズレが発生しない程度に固定されていれば十分である。

【０１５８】本実施例では、上記位置決め固定に紫外線
硬化型接着剤（グレースジャパン製：アミコンＵＶ−３
００）を塗布し、紫外線照射装置を用い、露光量を１０
０ｍＪ／ｃｍ２として約３秒間で固定を完了した。

【０１５９】本例の製造方法によれば、発熱体に対して
位置ズレのない精度の高い第２の液流路を得ることがで
きることに加え、ニッケルで流路壁を形成しているた
め、アルカリ性の液体に強く、信頼性の高いヘッドを提
供することが可能となる。

【０１６０】図２７（ａ）〜（ｄ）は、本発明の液体吐
出ヘッドの製造方法の第３の例を説明するための模式的
断面工程図である。

【０１６１】図２７（ａ）に示すように、アライメント
穴あるいはマーク１０４を有する厚さ１５μｍのステン
レス（ＳＵＳ）基板１００の両面にレジスト１０３を塗
布した。ここで、レジストとしては、東京応化製のＰＭ
ＥＲＰ−ＡＲ９００を使用した。

【０１６２】この後、図２７（ｂ）に示すように、素子
基板１００のアライメント穴１０４に合わせて、露光装
置（キヤノン（株）製：ＭＰＡ−６００）を用いて露光
し、第２の液流路を形成すべき部分のレジスト１０３を
除去した。露光は８００ｍＪ／ｃｍ２の露光量で行っ
た。

【０１６３】次に、図２７（ｃ）に示すように、両面の
レジスト１０３がパターニングされたＳＵＳ基板１００
を、エッチング液（塩化第２鉄または塩化第２銅の水溶
液）に浸漬し、レジスト１０３から露出している部分を
エッチングした後、レジストを剥離した。

【０１６４】次に、図２７（ｄ）に示すように、先の製
造方法に係る例と同様に、ヒータボード１上に、エッチ
ングされたＳＵＳ基板１００を位置決め固定して第２の
液流路４を有する液体吐出ヘッドを組み立てた。

【０１６５】本例の製造方法によれば、ヒータに対し位
置ズレのない精度の高い第２の液流路４を得ることがで
きることに加え、ステンレスで流路を形成しているた
め、酸やアルカリ性の液体に強く信頼性の高い液体吐出
ヘッドを提供することができる。

【０１６６】以上説明したヘッドの製造方法によれば、
素子基板上に予め第２の液流路の壁を配設することによ
って、電気熱変換体と第２液流路とが高精度に位置決め
することが可能となる。また、切断、分離前の基板上の
多数の素子基板に対して第２の液流路を同時に形成する
ことができるので、多量にかつ低コストの液体吐出ヘッ
ドを提供することができる。

【０１６７】また、本例の製造方法によって製造された
液体吐出ヘッドは、発熱体と第２の液流路とが高精度に
位置決めされているので、電気熱変換体の発熱による発
泡の圧力を効率よく受けることができ、吐出効率におい
て優れたものとなる。

【０１６８】〔液体吐出ヘッドカートリッジ〕次に、上
記実施形態例に係る液体吐出ヘッドを搭載した液体吐出
ヘッドカートリッジを概略説明する。

【０１６９】図２８は、前述した液体吐出ヘッドを含む
液体吐出ヘッドカートリッジの模式的分解斜視図であ
り、液体吐出ヘッドカートリッジは、主に液体吐出ヘッ
ド部２００と液体容器８０とから概略構成されている。

【０１７０】液体吐出ヘッド部２００は、素子基板１、
分離壁３０、溝付部材５０、液体容器９０、電気信号を
供給するための回路基板（ＴＡＢテープ）７０等から成
っている。素子基板１には、前述のように発泡液に熱を
与えるための発熱抵抗体が、複数個、列状に設けられて
おり、また、この発熱抵抗体を選択的に駆動するための
機能素子が複数設けられている。この素子基板１と可動
壁を持つ前述の分離壁３０との間に発泡液路が形成され
発泡液が流通する。この分離壁３０と溝付部材５０と液
体供給部材８０との接合によって、吐出される吐出液体
が流通する吐出液流路（不図示）が形成される。いずれ
の液体も、液体供給部材８０から基板１の背面を通って
供給される。

【０１７１】液体容器９０は、液体吐出ヘッドに供給さ
れる、インク等の吐出液体と気泡を発生させるための発
泡液とを内部に区分収容している。液体容器９０の外側
には、液体吐出ヘッドと液体容器との接続を行う接続部
材を配置するための位置決め部９４が設けられている。
ＴＡＢテープ７０は、液体容器９０に対してヘッド部を
位置決めして組み込むが、液体容器９０の表面に両面テ
ープで固定される。吐出液体の供給は、液体容器の吐出
液体供給路９２から接続部材の供給路８４を介して液体
供給部材８０の吐出液体供給路８１に供給され、第１の
共通液室に供給される。発泡液も同様に、液体容器の供
給路９３から接続部材の供給路を介して液体供給部材８
０の発泡液供給路８２に供給され、第２液室に供給され
る。

【０１７２】以上の液体吐出ヘッドカートリッジにおい
ては、発泡液と吐出液とが互いに異なる液体である場合
に別々に供給を行い得る供給形態および液体容器で説明
したが、吐出液体と発泡液体とが同じである場合には、
発泡液と吐出液の供給経路および容器を分けなくてもよ
い。

【０１７３】なお、この液体容器には、各液体の消費後
に液体を再充填して使用してもよい。このためには液体
容器に液体注入口を設けておくことが望ましい。又、液
体吐出ヘッドと液体容器とは一体であってもよく、分離
可能としてもよい。

【０１７４】〔液体吐出装置〕図２９は、前述の液体噴
射ヘッドを搭載した液体吐出装置の概略構成を示してい
る。本実施例では特に吐出液体としてインクを用いたイ
ンク吐出記録装置を用いて説明する液体吐出装置のキャ
リッジＨＣは、インクを収容する液体タンク部９０と液
体吐出ヘッド部２００とが着脱可能なヘッドカートリッ
ジを搭載しており、被記録媒体搬送手段で搬送される記
録紙等の被記録媒体１５０の幅方向に往復移動する。

【０１７５】不図示の駆動信号供給手段からキャリッジ
上の液体吐出手段に駆動信号が供給されると、この信号
に応じて液体吐出ヘッドから被記録媒体に対して記録液
体が吐出される。

【０１７６】また、本実施例の液体吐出装置において
は、被記録媒体搬送手段とキャリッジを駆動するための
駆動源としてのモータ１１１、駆動源からの動力をキャ
リッジに伝えるためのギア１１２、１１３キャリッジ軸
１１５等を有している。この記録装置及びこの記録装置
で行う液体吐出方法によって、各種の被記録媒体に対し
て液体を吐出することで良好な画像の記録物を得ること
ができた。

【０１７７】図３０は、本発明の液体吐出方法および液
体吐出ヘッドを適用したインク吐出記録を動作させるた
めの装置全体のブロック図である。

【０１７８】記録装置は、ホストコンピュータ３００よ
り印字情報を制御信号として受ける。印字情報は印字装
置内部の入力インタフェイス３０１に一時保存されると
同時に、記録装置内で処理可能なデータに変換され、ヘ
ッド駆動信号供給手段を兼ねるＣＰＵ３０２に入力され
る。ＣＰＵ３０２はＲＯＭ３０３に保存されている制御
プログラムに基づき、前記ＣＰＵ３０２に入力されたデ
ータをＲＡＭ３０４等の周辺ユニットを用いて処理し、
印字するデータ（画像データ）に変換する。

【０１７９】またＣＰＵ３０２は前記画像データを記録
用紙上の適当な位置に記録するために、画像データに同
期して記録用紙および記録ヘッドを移動する駆動用モー
タを駆動するための駆動データを作る。画像データおよ
びモータ駆動データは、各々ヘッドドライバ３０７と、
モータドライバ３０５を介し、ヘッド２００および駆動
モータ３０６に伝達され、それぞれ制御されたタイミン
グで駆動され画像を形成する。

【０１８０】上述のような記録装置に適用でき、インク
等の液体の付与が行われる被記録媒体としては、各種の
紙やＯＨＰシート、コンパクトディスクや装飾板等に用
いられるプラスチック材、布帛、アルミニュウムや銅等
の金属材、牛皮、豚皮、人工皮革等の皮革材、木、合板
等の木材、竹材、タイル等のセラミックス材、スポンジ
等の三次元構造体等を対象とすることができる。

【０１８１】また上述の記録装置として、各種の紙やＯ
ＨＰシート等に対して記録を行うプリンタ装置、コンパ
クトディスク等のプラスチック材に記録を行うプラスチ
ック用記録装置、金属板に記録を行う金属用記録装置、
皮革に記録を行う皮革用記録装置、木材に記録を行う木
材用記録装置、セラミックス材に記録を行うセラミック
ス用記録装置、スポンジ等の三次元網状構造体に対して
記録を行う記録装置、又布帛に記録を行う捺染装置等を
も含むものである。

【０１８２】またこれらの液体吐出装置に用いる吐出液
としては、夫々の被記録媒体や記録条件に合わせた液体
を用いればよい。

【０１８３】〔記録システム〕次に、本発明の液体吐出
ヘッドを記録ヘッドとして用い被記録媒体に対して記録
を行う、インクジェット記録システムの一例を説明す
る。

【０１８４】図３１は、前述した本発明の液体吐出ヘッ
ド２０１を用いたインクジェット記録システムの構成を
説明するための模式図である。本実施例における液体吐
出ヘッドは、被記録媒体１５０の記録可能幅に対応した
長さに３６０ｄｐｉの間隔で吐出口を複数配したフルラ
イン型のヘッドであり、イエロー（Ｙ），マゼンタ
（Ｍ），シアン（Ｃ），ブラック（Ｂｋ）の４色に対応
した４つのヘッドをホルダ２０２によりＸ方向に所定の
間隔を持って互いに平行に固定支持されている。

【０１８５】これらのヘッドに対してそれぞれ駆動信号
供給手段を構成するヘッドドライバ３０７から信号が供
給され、この信号に基づいて各ヘッドの駆動が成され
る。

【０１８６】各ヘッドには、吐出液としてＹ，Ｍ，Ｃ，
Ｂｋの４色のインクがそれぞれ２０４ａ〜２０４ｄのイ
ンク容器から供給されている。なお、符号２０４ｅは発
泡液が蓄えられた発泡液容器であり、この容器から各ヘ
ッドに発泡液が供給される構成になっている。

【０１８７】また、各ヘッドの下方には、内部にスポン
ジ等のインク吸収部材が配されたヘッドキャップ２０３
ａ〜２０３ｄが設けられており、非記録時に各ヘッドの
吐出口を覆うことでヘッドの保守を成すことができる。

【０１８８】符号２０６は、先の各実施例で説明したよ
うな各種、非記録媒体を搬送するための搬送手段を構成
する搬送ベルトである。搬送ベルト２０６は、各種ロー
ラにより所定の経路に引き回されており、モータドライ
バ３０５に接続された駆動用ローラにより駆動される。

【０１８９】本実施例のインクジェット記録システムに
おいては、記録を行う前後に被記録媒体に対して各種の
処理を行う前処理装置２５１および後処理装置２５２を
それぞれ被記録媒体搬送経路の上流と下流に設けてい
る。

【０１９０】前処理と後処理は、記録を行う被記録媒体
の種類やインクの種類に応じて、その処理内容が異なる
が、例えば、金属、プラスチック、セラミックス等の被
記録媒体に対しては、前処理として、紫外線とオゾンの
照射を行い、その表面を活性化することでインクの付着
性の向上を図ることができる。また、プラスチック等の
静電気を生じやすい被記録媒体においては、静電気によ
ってその表面にゴミが付着しやすく、このゴミによって
良好な記録が妨げられる場合がある。このため、前処理
としてイオナイザ装置を用い被記録媒体の静電気を除去
することで、被記録媒体からごみの除去を行うとよい。
また、被記録媒体として布帛を用いる場合には、滲み防
止、先着率の向上等の観点から布帛にアルカリ性物質、
水溶性物質、合成高分子、水溶性金属塩、尿素およびチ
オ尿素から選択される物質を付与する処理を前処理とし
て行えばよい。前処理としては、これらに限らず、被記
録媒体の温度を記録に適切な温度にする処理等であって
もよい。

【０１９１】一方、後処理は、インクが付与された被記
録媒体に対して熱処理、紫外線照射等によるインクの定
着を促進する定着処理や、前処理で付与し未反応で残っ
た処理剤を洗浄する処理等を行うものである。

【０１９２】なお、本実施例では、ヘッドとしてフルラ
インヘッドを用いて説明したが、これに限らず、前述し
たような小型のヘッドを被記録媒体の幅方向に搬送して
記録を行う形態のものであってもよい。

【０１９３】〔ヘッドキット〕以下に、本発明の液体吐
出ヘッドを有するヘッドキットを説明する。図３２は、
このようなヘッドキットを示した模式図である。このヘ
ッドキットは、インクを吐出するインク吐出部５１１を
有する本発明のヘッド５１０と、このヘッドと不可分も
しくは分離可能な液体容器であるインク容器５２０と、
このインク容器にインクを充填するためのインクを保持
したインク充填手段とを、キット容器５０１内に納めた
ものである。

【０１９４】インクを消費し終わった場合には、インク
容器の大気連通口５２１やヘッドとの接続部や、もしく
はインク容器の壁に開けた穴などに、インク充填手段の
挿入部（注射針等）５３１の一部を挿入し、この挿入部
を介してインク充填手段内のインクをインク容器内に充
填すればよい。

【０１９５】このように、本発明の液体吐出ヘッドと、
インク容器やインク充填手段等を一つのキット容器内に
納めてキットにすることで、インクが消費されてしまっ
ても前述のようにすぐに、また容易にインクをインク容
器内に充填することができ、記録の開始を迅速に行うこ
とができる。

【０１９６】なお、本実施例のヘッドキットでは、イン
ク充填手段が含まれるもので説明を行ったが、ヘッドキ
ットとしては、インク充填手段を持たず、インクが充填
された分離可能タイプのインク容器とヘッドとがキット
容器５１０内に納められている形態のものであってもよ
い。

【０１９７】また、この図３２では、インク容器に対し
てインクを充填するインク充填手段のみを示している
が、インク容器の他に発泡液を発泡液容器に充填するた
めの発泡液充填手段をキット容器内に納めた形態のもの
であってもよい。

【０１９８】

【発明の効果】本発明では、発熱体の発熱面と吐出口と
の間に介在する、自由端を有する可動部材が、発熱面に
おいて発生した気泡による圧力によって吐出口の側に変
位する。この結果、可動部材は、可動部材と対向する対
向部材と協働し、あたかも発熱面と吐出口との連通路を
絞る様にして、気泡による圧力を吐出口の方へ集中させ
る。このため、高吐出効率、高吐出力、更には被記録媒
体への高着弾精度でもって液体を吐出することができ
る。また、可動部材によってバック波の影響をも低減す
ることができるので、吐出する液体のリフィル特性を向
上させることができる。従って、連続的な液体吐出時の
高応答性、気泡の安定的な成長性、液滴の安定的な吐出
特性を得ることができ、高速液体吐出による高速記録及
び高画質記録を達成することができる。

【０１９９】また、２液流路構成の液体吐出ヘッドにお
いて、発泡液として発泡しやすい液体や発熱体上への堆
積物（こげ等）が生じにくい液体を用いることにより、
吐出液の選択の自由度が高くなり、発泡が生じにくい高
粘性液体、発熱体上に堆積物を生じやすい液体等、従来
のバブルジェット吐出方法で吐出することが困難であっ
た液体をも良好に吐出することができる。更に、熱に弱
い液体等についても、この液体に熱による悪影響を与え
ずに吐出することができる。

【０２００】また、本発明に係る液体吐出ヘッドの製造
方法によると、上述のような液体吐出ヘッドを精度良く
製造でき、また部品点数を少なく、安価に、しかも容易
に製造することができる。

【０２０１】また、本発明の液体吐出ヘッドを用いるこ
とにより、液体の吐出効率等がさらに向上した液体吐出
装置や記録システム等を提供することができる。

【０２０２】また、本発明のヘッドカートリッジやヘッ
ドキットを用いることにより、ヘッドの利用、再利用を
容易になすことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の液体吐出ヘッドの一実施例の要部を示
す模式的断面図である。

【図２】本発明の液体吐出ヘッドの一実施例の要部を示
す模式的部分破断斜視図である。

【図３】本発明の液体吐出ヘッドの一実施例に係る液体
吐出の状態を説明するための模式的断面図である。

【図４】本発明の液体吐出ヘッドの一実施例の要部を示
す模式的断面図である。

【図５】本発明の液体吐出ヘッドの一実施例の要部を示
す模式的断面図である。

【図６】本発明の液体吐出ヘッドの一実施例の要部を示
す模式的部分破断斜視図である。

【図７】本発明の液体吐出ヘッドの一実施例の要部を示
す模式的断面図である。

【図８】本発明の液体吐出ヘッドの一実施例の要部を示
す模式的部分破断斜視図である。

【図９】本発明の液体吐出ヘッドの一実施例に係る発熱
体及び可動部等を示す模式的平面図である。

【図１０】本発明の液体吐出ヘッドの一実施例に係る液
体吐出の状態を説明するための模式的断面図である。

【図１１】（ａ）は、本発明の液体吐出ヘッドの一実施
例における気泡からの圧力伝搬の様子を示す模式的断面
図である。（ｂ）は、従来の液体吐出ヘッドにおける気
泡からの圧力伝搬の様子を示す模式的断面図である。

【図１２】本発明の液体吐出ヘッドの一実施例の要部を
示す模式的断面図である。

【図１３】本発明の液体吐出ヘッドの一実施例の要部を
それぞれ示す模式的断面図及び部分的模式的上面図であ
る。

【図１４】本発明の液体吐出ヘッドの一実施例に係る液
体吐出の状態を説明するための模式的断面図である。

【図１５】本発明の液体吐出ヘッドの一実施例の要部を
それぞれ示す模式的断面図及び部分的模式的上面図であ
る。

【図１６】本発明の液体吐出ヘッドの一実施例の要部を
それぞれ示す模式的断面図及び部分的模式的上面図であ
る。

【図１７】本発明の液体吐出ヘッドの一例を示す模式的
部分破断斜視図である。

【図１８】本発明の液体吐出ヘッドの他の例を示す模式
的部分破断斜視図である。

【図１９】本発明の液体吐出ヘッドに係る可動部の形状
例を示す模式的平面図である。

【図２０】本発明の液体吐出ヘッドに係る可動部の一例
の配置を示す模式的平面図である。

【図２１】本発明の液体吐出ヘッドに係る可動部の形状
例を示す模式的平面図である。

【図２２】本発明の液体吐出ヘッドに係る基板の例を示
す模式的断面図である。

【図２３】本発明の液体吐出ヘッドに付与される駆動パ
ルスの例を示す模式図である。

【図２４】本発明の液体吐出ヘッドの製造方法の一例を
説明するための工程図である。

【図２５】本発明の液体吐出ヘッドに用いられる溝付部
材の製造方法の一例を説明するための模式的断面工程図
である。

【図２６】本発明の液体吐出ヘッドの製造方法の他の例
を説明するための工程図である。

【図２７】本発明の液体吐出ヘッドの製造方法の更に他
の例を説明するための工程図である。

【図２８】液体吐出ヘッドカートリッジの一例を示す分
解斜視図である。

【図２９】液体吐出装置の一例を示す模式的斜視図であ
る。

【図３０】液体吐出装置の一例を示すブロック図であ
る。

【図３１】液体吐出記録システムの一例を示す斜視図で
ある。

【図３２】液体吐出ヘッドキットの一例を示す模式図で
ある。

【符号の説明】

１基板２発熱体３第１の液流路（吐出液流路）４第２の液流路（発泡液流路）５分離壁６可動部６ａ自由端６ｂ基部７気泡８スリット１１吐出口１２第１の共通液室１２ａ第１の供給路１３第２の共通液室１３ａ第２の供給路１４オリフィスプレート１５流路壁

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者高出文東京都大田区下丸子３丁目30番２号キヤノン株式会社内 (72)発明者工藤清光東京都大田区下丸子３丁目30番２号キヤノン株式会社内 (72)発明者木村牧子東京都大田区下丸子３丁目30番２号キヤノン株式会社内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】液体に気泡を生じさせるための熱を発生
する発熱面を有する基板と対面して、自由端を有する可
動部材を介して配された液体の吐出口、から前記気泡に
基づいて液体を吐出する液体吐出方法であって、前記吐出口への液体の供給方向に関して下流側に前記可
動部材の前記自由端が配され、前記気泡が、前記可動部材の前記自由端を変位させ、該
変位に応じて前記吐出口の方へ成長することにより、液
体を吐出することを特徴とする液体吐出方法。
【請求項２】前記発熱面を有する基板と前記吐出口と
が実質的に平行に対面していることを特徴とする請求項
１に記載の液体吐出方法。
【請求項３】前記発熱面が発生する熱によって液体に
膜沸騰が生じ、該膜沸騰によって前記気泡が生じること
を特徴とする請求項１に記載の液体吐出方法。
【請求項４】前記気泡は前記可動部材の初期位置を越
えて前記吐出口の方へ成長することを特徴とする請求項
１に記載の液体吐出方法。
【請求項５】前記可動部材が変位しているときに、前
記気泡は前記可動部材に接触することを特徴とする請求
項１に記載の液体吐出方法。
【請求項６】前記可動部材を境として前記発熱面側と
前記吐出口側とで互いに異なる液体が供給されることを
特徴とする請求項１に記載の液体吐出方法。
【請求項７】前記可動部材を境として前記発熱面側と
前記吐出口側とで同じ液体が供給されることを特徴とす
る請求項１に記載の液体吐出方法。
【請求項８】液体に気泡を生じさせるための熱を発生
する発熱面と対面して、自由端を有する可動部材を介し
て液体の吐出口が設けられた吐出口部材が配され、前記
吐出口から前記気泡に基づいて液体を吐出する液体吐出
方法であって、前記吐出口への液体の供給方向に関して下流側に前記可
動部材の前記自由端が配され、前記気泡が、前記可動部材の前記自由端を変位させ、該
変位に応じて前記吐出口の方へ成長することにより、液
体を吐出することを特徴とする液体吐出方法。
【請求項９】前記発熱面を有する基板と前記吐出口と
が実質的に平行に対面していることを特徴とする請求項
８に記載の液体吐出方法。
【請求項１０】前記発熱面が発生する熱によって液体
に膜沸騰が生じ、該膜沸騰によって前記気泡が生じるこ
とを特徴とする請求項８に記載の液体吐出方法。
【請求項１１】前記気泡は前記可動部材の初期位置を
越えて前記吐出口の方へ成長することを特徴とする請求
項８に記載の液体吐出方法。
【請求項１２】前記可動部材が変位しているときに、
前記気泡は前記可動部材に接触することを特徴とする請
求項８に記載の液体吐出方法。
【請求項１３】前記可動部材を境として前記発熱面側
と前記吐出口側とで互いに異なる液体が供給されること
を特徴とする請求項８に記載の液体吐出方法。
【請求項１４】前記可動部材を境として前記発熱面側
と前記吐出口側とで同じ液体が供給されることを特徴と
する請求項８に記載の液体吐出方法。
【請求項１５】液体の吐出口と対面して配された、液
体に気泡を生じさせるための熱を発生する発熱面を有す
る基板と、前記発熱面と前記吐出口との間に介在する様に設けられ
た、前記気泡によって変位する自由端を有する可動部材
と、該可動部材の前記自由端が前記気泡によって変位した変
位時に前記可動部材の前記発熱面側の面と対向する対向
部材であって、前記変位時に前記可動部材と協働して前
記気泡を前記吐出口の方へ導くための当該対向部材と、
を有することを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項１６】前記吐出口部材と前記発熱面とが実質
的に平行に対面していることを特徴とする請求項１５に
記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１７】前記対向部材は自由端を有する第２の
可動部材であり、複数の可動部材の自由端同士が間隙を
挟んで対向して配されていることを特徴とする請求項１
５に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１８】前記発熱面の中心を通って前記発熱面
に垂直な垂線と、前記複数の可動部材の自由端の間の間
隙領域の中心を通って該間隙領域に垂直な垂線と、が近
接していることを特徴とする請求項１７に記載の液体吐
出ヘッド。
【請求項１９】前記両垂線が実質的に重なることを特
徴とする請求項１８に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項２０】前記発熱面の中心を通って前記発熱面
に垂直な垂線が、前記吐出口を貫くことを特徴とする請
求項１７に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項２１】前記発熱面の中心を通って前記発熱面
に垂直な垂線と、前記吐出口の中心を通って前記吐出口
に垂直な垂線と、が実質的に重なることを特徴とする請
求項２０に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項２２】前記対向部材は障壁であることを特徴
とする請求項１５に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項２３】前記発熱面の中心を通って前記発熱面
に垂直な垂線が、前記可動部材を貫くことを特徴とする
請求項２２に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項２４】前記発熱面の中心を通って前記発熱面
に垂直な垂線が、前記吐出口を貫くことを特徴とする請
求項２２に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項２５】前記発熱面の中心を通って前記発熱面
に垂直な垂線と、前記吐出口の中心を通って前記吐出口
に垂直な垂線と、が実質的に重なることを特徴とする請
求項２４に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項２６】前記可動部材を境として前記発熱面側
と前記吐出口側とにそれぞれ液体を供給するための複数
の液流路が設けられていることを特徴とする請求項１５
に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項２７】前記可動部材は前記複数の液流路を互
いに分離するための分離壁の一部として形成されている
ことを特徴とする請求項２６に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項２８】前記複数の液流路は互いに、実質的に
密閉した状態であることを特徴とする請求項２６に記載
の液体吐出ヘッド。
【請求項２９】前記複数の液流路には互いに異なる液
体が供給されることを特徴とする請求項２６に記載の液
体吐出ヘッド。
【請求項３０】前記複数の液流路には同じ液体が供給
されることを特徴とする請求項２６に記載の液体吐出ヘ
ッド。
【請求項３１】前記発熱面に対して面一にもしくはな
だらかにつながる内壁に沿って前記発熱面上に液体が供
給されることを特徴とする請求項１５に記載の液体吐出
ヘッド。
【請求項３２】前記可動部材の前記発熱面側の面積は
前記発熱面の面積より大きいことを特徴とする請求項１
５に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項３３】前記可動部材の支点は前記発熱面の直
上領域を外れた位置に配されていることを特徴とする請
求項１５に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項３４】前記可動部材は板状であることを特徴
とする請求項１５に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項３５】前記可動部材は金属からなることを特
徴とする請求項１５に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項３６】前記金属はニッケルもしくは金である
ことを特徴とする請求項３５に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項３７】前記可動部材は樹脂からなることを特
徴とする請求項１５に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項３８】前記可動部材はセラミックスからなる
ことを特徴とする請求項１５に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項３９】前記複数の液流路のそれぞれに供給さ
れる液体を貯溜するための複数の共通液室が設けられて
いることを特徴とする請求項２６に記載の液体吐出ヘッ
ド。
【請求項４０】前記発熱面は電気を熱に変換するため
の電気熱変換体からなることを特徴とする請求項１５に
記載の液体吐出ヘッド。
【請求項４１】前記発熱面が発生する熱によって液体
に膜沸騰が生じ、該膜沸騰によって前記気泡が生じるこ
とを特徴とする請求項１５に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項４２】液体の吐出口が設けられた吐出口部材
と対面して配された、液体に気泡を生じさせるための熱
を発生する発熱面と、該発熱面と前記吐出口部材との間に介在する様に設けら
れた、前記気泡によって変位する自由端を有する可動部
材と、該可動部材の前記自由端が前記気泡によって変位した変
位時に前記可動部材の前記発熱面側の面と対向する対向
部材であって、前記変位時に前記可動部材と協働して前
記気泡を前記吐出口の方へ導くための当該対向部材と、
を有することを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項４３】前記吐出口部材と前記発熱面とが実質
的に平行に対面していることを特徴とする請求項４２に
記載の液体吐出ヘッド。
【請求項４４】前記対向部材は自由端を有する第２の
可動部材であり、複数の可動部材の自由端同士が間隙を
挟んで対向して配されていることを特徴とする請求項４
２に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項４５】前記発熱面の中心を通って前記発熱面
に垂直な垂線と、前記複数の可動部材の自由端の間の間
隙領域の中心を通って該間隙領域に垂直な垂線と、が近
接していることを特徴とする請求項４４に記載の液体吐
出ヘッド。
【請求項４６】前記両垂線が実質的に重なることを特
徴とする請求項４５に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項４７】前記発熱面の中心を通って前記発熱面
に垂直な垂線が、前記吐出口を貫くことを特徴とする請
求項４４に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項４８】前記発熱面の中心を通って前記発熱面
に垂直な垂線と、前記吐出口の中心を通って前記吐出口
に垂直な垂線と、が実質的に重なることを特徴とする請
求項４７に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項４９】前記対向部材は障壁であることを特徴
とする請求項４２に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項５０】前記発熱面の中心を通って前記発熱面
に垂直な垂線が、前記可動部材を貫くことを特徴とする
請求項４９に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項５１】前記発熱面の中心を通って前記発熱面
に垂直な垂線が、前記吐出口を貫くことを特徴とする請
求項４９に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項５２】前記発熱面の中心を通って前記発熱面
に垂直な垂線と、前記吐出口の中心を通って前記吐出口
に垂直な垂線と、が実質的に重なることを特徴とする請
求項５１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項５３】前記可動部材を境として前記発熱面側
と前記吐出口側とにそれぞれ液体を供給するための複数
の液流路が設けられていることを特徴とする請求項４２
に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項５４】前記可動部材は前記複数の液流路を互
いに分離するための分離壁の一部として形成されている
ことを特徴とする請求項５３に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項５５】前記複数の液流路は互いに、実質的に
密閉した状態であることを特徴とする請求項５３に記載
の液体吐出ヘッド。
【請求項５６】前記複数の液流路には互いに異なる液
体が供給されることを特徴とする請求項５３に記載の液
体吐出ヘッド。
【請求項５７】前記複数の液流路には同じ液体が供給
されることを特徴とする請求項５３に記載の液体吐出ヘ
ッド。
【請求項５８】前記発熱面に対して面一にもしくはな
だらかにつながる内壁に沿って前記発熱面上に液体が供
給されることを特徴とする請求項５３に記載の液体吐出
ヘッド。
【請求項５９】前記可動部材の前記発熱面側の面積は
前記発熱面の面積より大きいことを特徴とする請求項５
３に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項６０】前記可動部材の支点は前記発熱面の直
上領域を外れた位置に配されていることを特徴とする請
求項５３に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項６１】前記可動部材は板状であることを特徴
とする請求項５３に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項６２】前記可動部材は金属からなることを特
徴とする請求項５３に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項６３】前記金属はニッケルもしくは金である
ことを特徴とする請求項６２に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項６４】前記可動部材は樹脂からなることを特
徴とする請求項５３に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項６５】前記可動部材はセラミックスからなる
ことを特徴とする請求項５３に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項６６】前記複数の液流路のそれぞれに供給さ
れる液体を貯溜するための複数の共通液室が設けられて
いることを特徴とする請求項５３に記載の液体吐出ヘッ
ド。
【請求項６７】前記発熱面は電気を熱に変換するため
の電気熱変換体からなることを特徴とする請求項４２に
記載の液体吐出ヘッド。
【請求項６８】前記発熱面が発生する熱によって液体
に膜沸騰が生じ、該膜沸騰によって前記気泡が生じるこ
とを特徴とする請求項５３に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項６９】液体の吐出口と対面して配された、液
体に気泡を生じさせるための熱を発生する発熱面を有す
る基板と、前記発熱面と前記吐出口部材との間に介在す
る様に設けられた、前記気泡によって変位する自由端を
有する可動部材と、該可動部材の前記自由端が前記気泡
によって変位した変位時に前記可動部材の前記発熱面側
の面と対向する対向部材であって、前記変位時に前記可
動部材と協働して前記気泡を前記吐出口の方へ導くため
の当該対向部材と、を有する液体吐出ヘッドと、該液体吐出ヘッドに供給される液体を貯溜するための液
体貯留部と、を具備することを特徴とするヘッドカート
リッジ。
【請求項７０】前記液体吐出ヘッドと前記液体貯溜部
とは分離可能であることを特徴とする請求項６９のヘッ
ドカートリッジ。
【請求項７１】前記液体貯溜部には液体が再充填され
ていることを特徴とする請求項６９のヘッドカートリッ
ジ。
【請求項７２】前記液体貯溜部には液体を再充填する
ための液体注入口が設けられていることを特徴とする請
求項６９のヘッドカートリッジ。
【請求項７３】液体の吐出口が設けられた吐出口部材
と対面して配された、液体に気泡を生じさせるための熱
を発生する発熱面と、該発熱面と前記吐出口部材との間
に介在する様に設けられた、前記気泡によって変位する
自由端を有する可動部材と、該可動部材の前記自由端が
前記気泡によって変位した変位時に前記可動部材の前記
発熱面側の面と対向する対向部材であって、前記変位時
に前記可動部材と協働して前記気泡を前記吐出口の方へ
導くための当該対向部材と、を有する液体吐出ヘッド
と、該液体吐出ヘッドに供給される液体を貯溜するための液
体貯留部と、を具備することを特徴とするヘッドカート
リッジ。
【請求項７４】前記液体吐出ヘッドと前記液体貯溜部
とは分離可能であることを特徴とする請求項７３のヘッ
ドカートリッジ。
【請求項７５】前記液体貯溜部には液体が再充填され
ていることを特徴とする請求項７３のヘッドカートリッ
ジ。
【請求項７６】前記液体貯溜部には液体を再充填する
ための液体注入口が設けられていることを特徴とする請
求項７３のヘッドカートリッジ。
【請求項７７】液体の吐出口と対面して配された、液
体に気泡を生じさせるための熱を発生する発熱面を有す
る基板と、前記発熱面と前記吐出口部材との間に介在す
る様に設けられた、前記気泡によって変位する自由端を
有する可動部材と、該可動部材の前記自由端が前記気泡
によって変位した変位時に前記可動部材の前記発熱面側
の面と対向する対向部材であって、前記変位時に前記可
動部材と協働して前記気泡を前記吐出口の方へ導くため
の当該対向部材と、を有する液体吐出ヘッドと、該液体吐出ヘッドから液体を吐出させるための駆動信号
を供給するための駆動信号供給手段と、を具備すること
を特徴とする液体吐出装置。
【請求項７８】液体の吐出口と対面して配された、液
体に気泡を生じさせるための熱を発生する発熱面を有す
る基板と、前記発熱面と前記吐出口部材との間に介在す
る様に設けられた、前記気泡によって変位する自由端を
有する可動部材と、該可動部材の前記自由端が前記気泡
によって変位した変位時に前記可動部材の前記発熱面側
の面と対向する対向部材であって、前記変位時に前記可
動部材と協働して前記気泡を前記吐出口の方へ導くため
の当該対向部材と、を有する液体吐出ヘッドと、該液体吐出ヘッドから吐出された液体を受ける被記録媒
体を搬送するための搬送手段と、を具備することを特徴
とする液体吐出装置。
【請求項７９】前記液体吐出ヘッドから複数色の記録
液体を吐出し、被記録媒体に前記複数色の記録液体を付
着させることでカラー記録を行うことを特徴とする請求
項７８に記載の液体吐出装置。
【請求項８０】前記吐出口が被記録媒体の記録可能領
域の全幅に渡って複数配されていることを特徴とする請
求項７８に記載の液体吐出装置。
【請求項８１】液体の吐出口が設けられた吐出口部材
と対面して配された、液体に気泡を生じさせるための熱
を発生する発熱面と、該発熱面と前記吐出口部材との間
に介在する様に設けられた、前記気泡によって変位する
自由端を有する可動部材と、該可動部材の前記自由端が
前記気泡によって変位した変位時に前記可動部材の前記
発熱面側の面と対向する対向部材であって、前記変位時
に前記可動部材と協働して前記気泡を前記吐出口の方へ
導くための当該対向部材と、を有する液体吐出ヘッド
と、該液体吐出ヘッドから液体を吐出させるための駆動信号
を供給するための駆動信号供給手段と、を具備すること
を特徴とする液体吐出装置。
【請求項８２】液体の吐出口が設けられた吐出口部材
と対面して配された、液体に気泡を生じさせるための熱
を発生する発熱面と、該発熱面と前記吐出口部材との間
に介在する様に設けられた、前記気泡によって変位する
自由端を有する可動部材と、該可動部材の前記自由端が
前記気泡によって変位した変位時に前記可動部材の前記
発熱面側の面と対向する対向部材であって、前記変位時
に前記可動部材と協働して前記気泡を前記吐出口の方へ
導くための当該対向部材と、を有する液体吐出ヘッド
と、該液体吐出ヘッドから吐出された液体を受ける被記録媒
体を搬送するための搬送手段と、を具備することを特徴
とする液体吐出装置。
【請求項８３】前記液体吐出ヘッドから複数色の記録
液体を吐出し、被記録媒体に前記複数色の記録液体を付
着させることでカラー記録を行うことを特徴とする請求
項８２に記載の液体吐出装置。
【請求項８４】前記吐出口が被記録媒体の記録可能領
域の全幅に渡って複数配されていることを特徴とする請
求項８２に記載の液体吐出装置。
【請求項８５】請求項７７，７８，８１及び８２のい
ずれかに記載の液体吐出装置と、記録後の被記録媒体に対して液体の定着を促すための後
処理装置と、を有することを特徴とする記録システム。
【請求項８６】請求項７７，７８，８１及び８２のい
ずれかに記載の液体吐出装置と、記録前の被記録媒体に対して液体の定着を増すための前
処理装置と、を有することを特徴とする記録システム。
【請求項８７】液体の吐出口と対面して配された、液
体に気泡を生じさせるための熱を発生する発熱面を有す
る基板と、前記発熱面と前記吐出口部材との間に介在す
る様に設けられた、前記気泡によって変位する自由端を
有する可動部材と、該可動部材の前記自由端が前記気泡
によって変位した変位時に前記可動部材の前記発熱面側
の面と対向する対向部材であって、前記変位時に前記可
動部材と協働して前記気泡を前記吐出口の方へ導くため
の当該対向部材と、を有する液体吐出ヘッドと、該液体吐出ヘッドに供給される液体を貯溜した液体容器
と、を内包したことを特徴とする液体吐出ヘッドキッ
ト。
【請求項８８】前記液体容器に対して液体を充填する
ための液体充填手段を更に有することを特徴とする請求
項８７に記載の液体吐出ヘッドキット。
【請求項８９】液体の吐出口が設けられた吐出口部材
と対面して配された、液体に気泡を生じさせるための熱
を発生する発熱面と、該発熱面と前記吐出口部材との間
に介在する様に設けられた、前記気泡によって変位する
自由端を有する可動部材と、該可動部材の前記自由端が
前記気泡によって変位した変位時に前記可動部材の前記
発熱面側の面と対向する対向部材であって、前記変位時
に前記可動部材と協働して前記気泡を前記吐出口の方へ
導くための当該対向部材と、を有する液体吐出ヘッド
と、該液体吐出ヘッドに供給される液体を貯溜した液体容器
と、を内包したことを特徴とする液体吐出ヘッドキッ
ト。
【請求項９０】前記液体容器に対して液体を充填する
ための液体充填手段を更に有することを特徴とする請求
項８９に記載の液体吐出ヘッドキット。
【請求項９１】液体に気泡を生じさせるための熱を発
生する発熱面を有する基板と、液体の吐出口が設けられ
た吐出口部材と、が自由端を有する可動部材を介して対
面することにより、前記基板と前記吐出口部材との間に
液流路が形成されており、前記基板の前記液流路側の面
と前記吐出口部材の前記液流路側の面とが前記液流路内
において交差せず、前記吐出口から前記気泡に基づいて
液体を吐出する液体吐出方法であって、前記液流路における前記吐出口への液体の供給方向に関
して下流側に前記可動部材の前記自由端が配され、前記気泡が、前記可動部材の前記自由端を変位させ、該
変位に応じて前記吐出口の方へ成長することにより、液
体を吐出することを特徴とする液体吐出方法。
【請求項９２】前記可動部材の固定端が、前記供給方
向に関して前記自由端より上流側に配されていることを
特徴とする請求項９１に記載の液体吐出方法。
【請求項９３】前記可動部材の前記自由端が前記気泡
によって変位したときに、前記気泡は前記自由端を越え
て前記吐出口の方へ成長することを特徴とする請求項９
１に記載の液体吐出方法。
【請求項９４】前記発熱面が発生する熱によって液体
に膜沸騰が生じ、該膜沸騰によって前記気泡が生じるこ
とを特徴とする請求項９１に記載の液体吐出方法。
【請求項９５】液体に気泡を生じさせるための熱を発
生する発熱面を有する基板と、該基板と対面して配されることにより前記基板との間に
液流路を形成し、該液流路内において前記基板の前記液
流路側の面と交差しないところの、液体の吐出口が設け
られた吐出口部材と、前記基板と前記吐出口部材との間に介在する様に設けら
れた、前記気泡によって変位する自由端を有する可動部
材と、該可動部材の前記自由端が前記気泡によって変位した変
位時に前記可動部材の前記発熱面側の面と対向する対向
部材であって、前記変位時に前記可動部材と協働して前
記気泡を前記吐出口の方へ導くための当該対向部材と、
を有することを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項９６】前記可動部材の固定端が、前記供給方
向に関して前記自由端より上流側に配されていることを
特徴とする請求項９５に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項９７】前記可動部材の前記自由端が前記気泡
によって変位したときに、前記気泡は前記自由端を越え
て前記吐出口の方へ成長することを特徴とする請求項９
５に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項９８】前記発熱面が発生する熱によって液体
に膜沸騰が生じ、該膜沸騰によって前記気泡が生じるこ
とを特徴とする請求項９５に記載の液体吐出方法。
【請求項９９】前記対向部材は自由端を有する第２の
可動部材であり、複数の可動部材の自由端同士が間隙を
挟んで対向して配されていることを特徴とする請求項９
５に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１００】前記対向部材は障壁であることを特
徴とする請求項９５に記載の液体吐出ヘッド。