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JPH0886707A - 応力複合化センサ及びこれを用いた構造体の応力測定装置 - Google Patents

応力複合化センサ及びこれを用いた構造体の応力測定装置

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JPH0886707A
JPH0886707A JP6257715A JP25771594A JPH0886707A JP H0886707 A JPH0886707 A JP H0886707A JP 6257715 A JP6257715 A JP 6257715A JP 25771594 A JP25771594 A JP 25771594A JP H0886707 A JPH0886707 A JP H0886707A
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measuring device
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JP6257715A
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Osao Miyazaki
長生 宮崎
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Nihon Denshi Kogyo KK
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Abstract

(57)【要約】 【目的】複数個の応力センサを複合もしくは集積して一
体化し、単一のパッケージとした応力複合化センサを用
いて、構造体に生じるＸ軸方向及びＸ・Ｚ軸方向又はＸ
・Ｙ・Ｚ軸方向の応力信号を出力するか、もしくは選択
した方向の応力信号を出力して応力を測定できる構造体
の応力測定装置を提供することを目的とする。 【構成】応力を計測する構造体の応力集中部に孔を設
け、この孔に一方向のみの応力信号を出力する一方向の
応力複合化センサ、もしくは２方向の応力信号を出力す
る２方向の応力複合化センサ、又は３方向の応力信号を
出力する３方向の応力複合化センサを選択装着し、構造
体に生じるＸ軸方向もしくはＸ・Ｚ軸方向又はＸ・Ｙ・
Ｚ軸方向のせん断歪を、選択した応力複合化センサに対
応した応力を選択測定できる

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、自動車、航空機、鉄道
車両や起重機、ロボット等の構造体に生じるせん断歪な
どの応力を計測する応力複合化センサ及びこれを用いた
構造体の応力測定装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】自動車、航空機、鉄道車両や起重機、ロ
ボット等の構造体に生じるせん断歪などの応力を計測す
るための計測方法としては、光弾性法、応力塗料膜法、
コースティックス法、ホログラフィ法、歪ゲージ法等が
あり、一般的には歪ゲージ法が多用されている。このよ
うな機械量センサは種類が豊富て扱い易いが、反面応力
計測用としては変換器にしなければならず、又歪ゲージ
法では歪ゲージに加わるあらゆる方向の応力を受けてし
まうために解折が必要である。歪ゲージ等の従来の機械
量センサからなる応力センサは、構造体に単体で使用す
る場合、取付け位置により主応力に対してその他の応力
の混入量が大きくなるので、複数個用いねばならず、又
構造体に存在する主応力以外の応力を伝達しないもしく
は減少したニュートラルポイントに応力センサを取付け
ねばならず、構造体が持っているニュートラルポイント
を探す必要があり、しかもそのニュートラルポイントに
応力センサを精度よく取着させる必要があった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】かかる点に鑑み本発明
は、歪ゲージからなる応力センサ（機械量センサ）を単
独で使用するものでなく、複数個の応力センサを複合も
しくは集積して一体化した応力複合化センサを自動車等
の応力を測定する構造体に装着して、単一のパケージと
した応力複合化センサから得られるＸ・Ｙ・Ｚ軸方向の
応力信号を選択して応力を測定するものである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】請求項１に記載の本発明
は、基板の同一平面上に間隔を置いて歪ゲージからなる
応力センサを複数個もしくは複数列取着して一体化し、
各応力センサが夫々一方向のみの応力信号を出力する
か、又は選択した応力センサが一方向のみの応力信号を
出力するようにした構成になっている。請求項２に記載
の本発明は、直交する２軸面を有する基板の各面に歪ゲ
ージからなる応力センサを夫々取着したセンサセグメン
トを複数個もしくは複数列連結するか又は複数層重合連
結して一体化し、各センサセグメントが夫々２方向の応
力信号を出力するか、もしくは選択したセンサセグメン
トが２方向の応力信号を出力するようにした構成になっ
ている。請求項３に記載の本発明は、３軸面を有する基
板の各面に歪ゲージからなる応力センサを夫々取着した
センサセグメントを複数個もしくは複数列連結するか、
又は複数層重合連結して一体化し、各センサセグメント
が３方向の応力信号を夫々出力するかもしくは選択した
方向の応力信号を出力するか、又は選択したセンサセグ
メントが３方向の応力信号を出力するようにした構成に
なっている。請求項４に記載の本発明は、請求項１乃至
３に記載の応力複合化センサの同一基板に、歪ゲージの
ブリッジ回路や増幅回路などの信号処理回路を形成し一
体化した構成になっている。
【０００５】請求項５に記載の本発明は、応力を計測す
る構造体の応力集中部に孔を設け、この孔に請求項１乃
至４に記載の応力複合化センサを選択装着し、構造体に
生じるＸ軸方向もしくはＸ・Ｚ軸方向又はＸ・Ｙ・Ｚ軸
方向のせん断歪を、選択した応力復合化センサに対応し
た応力を選択測定できるようにした構成になっている。
請求項６に記載の本発明は、請求項５に記載の構造体の
応力測定装置に於て、構造体に生じるせん断歪をセンシ
ングするとき、応力複合化センサの必要な応力センサも
しくはセンサセグメントを少なくとも１個もしくはそれ
以上選別して、応力を測定する構成になっている。請求
項７に記載の本発明は、請求項１乃至４に記載の応力複
合化センサを、応力を計測する構造体の応力集中部に設
けた孔に選択装着し、構造体のＸ・Ｚ軸方向もしくはＸ
・Ｙ・Ｚ軸方向の選別した各応力信号により、特定方向
の応力もしくは選別した複数のセンサセグメントの加算
応力信号を測定できるようにした構成になっている。請
求項８に記載の本発明は、請求項１乃至４に記載の応力
複合化センサを、応力を計測する構造体の応力集中部に
設けた孔に装着し、構造体のＸ，Ｘ・Ｙ，Ｘ・Ｙ・Ｚ，
軸方向の選択した複数個のセンサセグメントの応力セン
サのみセンシングさせた応力信号をそれぞれＸ軸・Ｙ軸
・Ｚ軸方向に分離し、その分離した応力信号をそれぞれ
加算合成した応力信号を比較演算して応力を測定するよ
うにした構成になっている。請求項９に記載の本発明
は、請求項７及び８に記載の構造体の応力測定装置に於
て、必要なセンサセグメントを選別して応力を計測する
とき、構造体に生じる他の応力の混入が少ない応力層に
添ったセンサセグメントの応力信号をそれぞれ複数個取
り出しそれらを合成して、応力を測定するようにした構
成になっている。請求項１０に記載の本発明は、請求項
７乃至９に記載の構造体の応力測定装置に於て、構造体
のＸ・Ｚ軸方向もしくはＸ・Ｙ・Ｚ軸方向の応力を選別
して、必要な方向の応力を測定してこの応力信号を制御
バラメータとして使用する構成になっている。
【０００６】
【作用】請求項１に記載の本発明は、歪ゲージからなる
応力センサを同一基板上に複数個もしくは複数列取着し
て一体化することにより、単一バッケージの各応力セン
サで夫々一方向のみの応力信号を出力するか、又は選択
した応力センサで一方向のみの応力信号を出力させ、一
方向の応力を計測することができる。請求項２に記載の
本発明は、歪ゲージからなる応力センサを直交する２軸
面を有する基板の各軸面に夫々取着したセンサセグメン
トを複数個もしくは複数列連結するか、又は複数層重合
連結して一体化することにより、単一パッケージの各セ
ンサセグメントで夫々２方向の応力信号を出力するか、
もしくは選択したセンサセグメントで２方向のみの応力
信号を出力させ、２方向の応力を計測することができ
る。請求項３に記載の本発明は、歪ゲージからなる応力
センサを３軸面を有する基板の各軸面に夫々取着したセ
ンサセグメントを、複数個もしくは複数列連結するか、
又は複数層重合連結して一体化することにより、単一パ
ッケージの各センサンセグメントで夫々３方向の応力信
号を出力するか、もしくは選択した方向のみの応力信号
を出力させるか、又は選択したセンサセグメントで３方
向の応力信号を出力させ、３方向の応力を計測すること
ができる。請求項４に記載の本発明は、応力センサもし
くはセンサセグメントの基板に、歪ゲージのブリッジ回
路や増幅回路などの信号処理回路を一体形成することに
より、計測機能を向上して信頼性を高めることができ
る。
【０００７】請求項５に記載の本発明は、構造体の応力
集中部に設けた孔に、請求項１乃至４に記載した単一の
パッケージに構成された応力複合化センサを選択装着す
ることにより、構造体に生じるＸ軸方向もしくはＸ・Ｚ
軸方向又はＸ・Ｙ・Ｚ軸方向のせん断歪を、選択した応
力複合化センサに対応した一方向もしくは２方向又は３
方向の応力を選択して取り出し測定することができる。
請求項６に記載の本発明は、構造体に生じるせん断歪を
センシングするとき、応力複合化センサの必要な応力セ
ンサもしくはセンサセグメントを少なくとも１個もしく
はそれ以上選択して応力を測定することにより、任意方
向の応力及びその応力変化量のみを取り出し精度よく測
定することができる。請求項７に記載の本発明は、単一
方向又は複数方向の応力を計測できる応力複合化センサ
を構造体の応力集中部に設けた孔に選択装着することに
より、構造体のＸ軸もしくはＸ・Ｚ軸又はＸ・Ｙ・Ｚ軸
方向の選別した各応力信号によって、特定方向の応力も
しくは選別した複数のセンサセグメントの加算応力信号
を取り出して応力を測定することができる。請求項８に
記載の本発明は、構造体の応力集中部に設けた孔に、単
一方向又は複数う方向の応力を計測できる応力複合化セ
ンサを装着して、Ｘ，Ｘ・Ｙ，Ｘ・Ｙ・Ｚ軸方向の選択
した複数個のセンサセグメントの応力センサのみセンシ
ングさせ、その応力信号をそれぞれＸ軸・Ｙ軸・Ｚ軸方
向に分離し、その分離した応力信号をそれぞれ加算合成
した応力信号を比較演算することにより、計測精度を向
上させて応力を測定することができる。請求項９に記載
の本発明は、請求項７及び８に記載の構造体の応力測定
装置に於て、必要なセンサセグメントを選別して応力を
計測するとき、構造体に生じる他の応力の混入の少ない
応力層のセンサセグメントの応力信号を取り出して、応
力を計測することにより、クロストークの影響を受けな
い応力を簡易に測定することがえきる。請求項１０に記
載の本発明は、請求項７乃至９に記載の構造体の応力測
定装置に於て、構造体のＸ・Ｚ軸方向もしくはＸ・Ｙ・
Ｚ軸方向の応力を選別して、必要な方向の応力を測定し
てこの応力信号を制御パラメータとして使用することに
より、必要な方向の応力のみを精度よく取り出して信頼
性の高い制御システムを構成することができる。
【０００８】
【実施例】ここに示すものは好ましい実施形態の一例で
あって、特許請求の範囲はここに示す実施例に限定され
るものではない。以下に車両とくに自動車に適用した応
力測定装置の例を図示の実施例に基づいて本発明を説明
する。図１は１方向の応力複合化センサの基本構成例
て、エポキシ樹脂などのプラスチック又は金属やシリコ
ン材などからなる基板１の両面に金属抵抗箔からなる歪
ゲージａ，ｂ，ｃ，ｄを２個宛クロスさせて取着して応
力センサＳを形成したセンサエレメントｅを複数個同一
平面上に連結し一体化してセンサセグメントｇを構成
し、各応力センサＳで夫々一方向の応力を計測するか、
もしくは選択した応力センサで１方向の応力を計測でき
るものである。図２は基板１に上記図１て示したような
センサセグメントｇを複数列設けると共に同一基板に応
力センサＳのブリッジ回路、増幅回路などの信号処理回
路Ｇを一体に形成し単一のパッケージ化して応力複合化
センサＰを構成し、センサセグメントｇの各応力センサ
Ｓの各々もしくは選択したセンサセグメントｇの応力セ
ンサＳのみが一方向の応力を計測するものである。
【０００９】図３は２方向の応力複合化センサの基本構
成例で、応力センサＳを取着したセンサエレメントｅ１
とｅ２とを直角に連結して一体化してセンサセグメント
ｇを構成してＸ軸方向とＺ軸方向の２方向の応力を計測
できるように構成したものである。図４は上記図３で示
したよう２方向のセンサセグメントｇを複数涸（横列に
４個、縦列に３個）連結し一体化して２方向の応力複合
化センサＰを構成し、Ｘ・Ｚ軸方向のセンサセグメント
の各センサエレメントｅもしくは選択したセンサエレメ
ントｅの応力センサＳで２方向の応力を計測できるよう
にしたものである。図５は上記図４で示した２方向の応
力複合化センサを多層（２段）に積層連結して２方向の
応力複合化センサＰを単一のバッケージ化したものであ
る。
【００１０】図６は３方向の応力複合化センサの基本構
成例で、基板１に応力センサＳを取着したセンサエレメ
ント３個をＸ・Ｙ・Ｚ軸の３方向に連結し一体化してセ
ンサセグメントｇを構成し、各応力センサＳで各々応力
を計測して３方向の応力を計測できるものである。図７
は上記図６で示したような３方向センサセグメントｇを
複数個（横列に４個、縦列に３個）連結し一体化して３
方向の応力複合化センサＰを構成し、Ｘ・Ｙ・Ｚ軸方向
のセンサセグメントｇの各センサエレメントｅもしくは
選択したセンサエレメントｅの応力センサで３方向の応
力を計測できるようにしたものである。図８は上記図７
て示した３方向の応力複合化センサを多層（２段）に積
層連結して３方向の応力の応力複合化センサＰを単一の
パッケージ化したものである。
【００１１】上記の２方向のセンサセグメントｇ及び２
方向の応力複合化センサＰや３方向のセンサセグメント
ｇ及び３方向の応力複合化センサＰは、半導体プロセス
又はセラミック等の材料で製造することにより図２示の
ものと同様に応力センサＳのブリッジ回路や増幅回路な
どの信号処理回路Ｇをメタルベースや半導体ベースなど
の同一基板に一体形成し単一のパッケージ化することが
容易である。又、図２に示すセンサセグメントｇの基板
１に信号処理回路を一体形成する場合は、図９に示すよ
うに各センサエレメントｅの歪ゲージａ，ｂ，ｃ，ｄを
調整抵抗ｒとブリッジ回路を組み増幅回路ＡＰを介して
演算回路Ａ及びＢに接続した論理回路Ｌを形成し、各論
理回路Ｌ１〜Ｌ３の出力を演算回路Ｃ及びＣ’に接続し
て応力信号を取り出すようにする。図１０はセンサセグ
メントｇを２列連結した１方向の応力復合化センサの信
号処理回路の構成例を示したもので、２方向及び３方向
の応力複合化センサの場合の信号処理回路は上記した１
方向の応力複合化センサの信号処理回路の考え方を応用
することにより形成可能である。なお、応力センサＳの
歪ゲージとして金属抵抗線歪ゲージを用いたものを示し
たが、本発明はこれに限定されるものでなく、ピエゾ効
果による歪ゲージ、結晶構造による歪ゲージ、半導体歪
ゲージ等を用いてもよい。
【００１２】図１１は自動車（構造体）Ｋに本発明の応
力測定装置を適用した構成例であって、車軸２の車両の
進行方向と同じＸ軸方向に孔３を設け、この孔に上記の
１方向のみの応力もしくは２方向の応力又は３方向の応
力を計測てきる応力複合化センサＰを選択して装着し応
力測定装置を構成する。この場合、車両の進行方向と同
じＸ軸方向は摩擦力Ｆを測定でき、横方向のＹ軸方向は
横力を測定でき、垂直方向のＺ軸方向は垂直抗力（垂直
荷重）Ｎを測定できるものである。図１２は図２に示す
１方向のみの応力を計測する応力複合化センサＰを車軸
２の孔３に装着した応力計測手段の拡大図で、応力複合
化センサＰはその基板１の長手方向側縁を孔３の周壁に
接触させて装着埋設され、必要に応じて空間部分に充填
材を充填し防水構造にしてもよい。この応力測定装置で
は、等間隔に平面的に復数列配置されたセンサセグメン
トｇの各応力センサＳが、車軸２に生じるＸ軸方向のみ
のせん断歪に対応して各々センシングして応力信号を出
力させ、摩擦力Ｆを測定することができる。又、図１３
に示すように１方向の応力複合センサＰを円板型に形成
して車軸の孔３にＸ軸方向と直角になるよう装着すると
垂直方向のみの応力信号が出力され垂直荷重Ｎを測定す
ることができる。図１４は１方向の応力複合化センサＰ
３個を車軸２の孔３に間隔を置いて装着した応力測定装
置の例で、この場合は車軸２に生じるせん断歪に対応し
てメインセンサＰ１及びサブセンサＰ２、Ｐ３がセンシ
ングしてＸ軸方向のみにセンシングして応力信号を出力
し、これらの信号からブレーキ制御のパラメータに最適
な１方向の応力信号を選択して摩擦力Ｆを測定すること
ができる。
【００１３】又図４及び図５に示す２方向の応力複合化
センサＰを、車軸２の孔３に装着して応力測定装置を構
成すれば、車軸２に生じるＸ軸方向及びＺ軸方向の２方
向のせん断歪に相応して、多数のセンサエレメントの応
力センサＳが各々センシングして応力信号を出力し、こ
れらの応力信号からブレーキ制御のパラメーターに最適
なＸ軸方向の応力信号値とＺ軸方向の応力信号を選択し
て摩擦力Ｆと垂直荷重Ｎが測定でき、これらの出力値を
演算処理することにより路面摩擦係数μを容易に得るこ
とができる。
【００１４】更に図７及び８に示す３方向の応力復合化
センサＰを車軸２の孔３に装着して応力測定装置を構成
すれば、車軸２に生じるＸ軸方向及びＹ軸方向並びにＺ
軸方向の３方向のせん断歪に相応して、多数のセンサセ
グメントｇの応力センサＳが各々センシングして応力信
号を出力し、これらの応力信号からブレーキ制御のパラ
メータに最適なＸ軸方向・Ｙ軸方向・Ｚ軸方向の応力信
号を選択して、摩擦力Ｆ、垂直荷重Ｎ、横力を計測で
き、しかもＸ・Ｙ軸方向或はＸ・Ｙ・Ｚ軸方向の選別し
た各応力信号により、特定方向の応力をその応力方向及
び応力値を測定することもでき、又選択した摩擦力Ｆと
垂直荷重Ｎを演算処理することにより最適な路面摩擦係
数μを容易に得ることができる。
【００１５】１方向、２方向、３方向の応力複合化セン
サＰを選択して応力測定装置を構成する場合、図１５に
示すように２方向の応力複合化センサＰ２を車軸の孔３
に装着してＸ軸方向の応力信号及びＺ軸方向の応力信号
とを選択計測できるように構成してもよく、又は図１６
に示すように１方向の応力複合化センサＰ１と２方向応
力複合化センサＰ２とを、車軸の孔３に間隔置いて装着
して、１方向応力複合化センサＰ１でＸ軸方向のみの応
力信号である摩擦力Ｆを測定し、２方向の応力複合化セ
ンサＰ２の応力信号で路面摩擦係数μを測定できるよう
に構成してもよく、又図１７に示すように３方向の応力
複合化センサＰ３を、車軸の孔３に装着してＸ軸方向の
応力信号、Ｙ軸方向の応力信号、Ｚ軸方向の応力信号を
夫々各別にもしくは選択して摩擦力Ｆ、垂直荷重Ｎ、横
力を各別にもしくは選択して測定できるように構成すれ
ばよく、要は応力信号を得るために１方向の応力複合化
センサＰ１、２方向の応力複合化センサＰ２、３方向の
応力複合化センサＰ３を単独もしくは組合せて応力測定
手段を構成すればよく、複数個の応力センサを単一のパ
ツケージ化した単一方向又は複数方向の応力を計測でき
る応力複合化センサを、単独に又は組み合わせて、構造
体のＸ軸，Ｘ・Ｙ軸，Ｘ・Ｙ・Ｚ軸方向の選択した複数
個のセンサセグメントの応力センサのみセンシングさ
せ、その応力信号を夫々Ｘ軸，Ｙ軸，Ｚ軸方向に分離
し、その分離した応力信号をそれぞれ加算合成した応力
信号を比較演算するように構成してもよい。なお応力複
合化センサを装着する車軸の孔３は必ずしも丸孔でな
く、図１８に示すように角孔に形成してもよく、角孔に
した場合は応力複合化センサの基板周縁と角孔の周壁と
の接触接合状態が密となり、車軸に生じるせん断歪が応
力複合化センサに伝わり易く、精渡よく応力を測定でき
るという利点を有する。なお応力複合化センサＰを小型
の単一パッケージに形成した場合は、図１９に示すよう
に車軸の孔３に応力複合化セシサＰを挿入して、空間部
にエポキシ樹脂などの充填材Ｈを充填して固定し、防水
構造の応力測定装置を構成してもよい。以上は本発明の
応力複合化センサを車両の車軸に埋設した場合について
述べたが、車両のストラット部分に埋設した場合にも同
様の機能効果を得ることが可能であり、又本発明は車両
に限定されるものでなく、その他の構造体にも適用でき
るものである。
【００１６】
【効果】本発明によれば、１センサで１次元的、２次元
的、３次元的な応力方向や応力値を計測する応力複合化
センサを実現でき、この応力複合化センサを用いて２次
元的もしくは３次元的に複雑な応力が発生する構造体に
埋設して、必要とする応力方向や応力値を選択して測定
することができる。とくに本発明による応力複合化セン
サは３次元的に複雑な応力が発生する車両の車軸に適用
することにより、クロストークの影響を受けない選択し
た応力を測定することができ、安全性の高いブレーキ制
御システムを提供することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】１方向センサセグメントの斜視図。
【図２】１方向の応力複合化センサの斜視図。
【図３】２方向センサセグメントの斜視図。
【図４】２方向の応力複合化センサの斜視図。
【図５】積層した２方向の応力複合化センサの斜視図。
【図６】３方向センサセグメントの斜視図。
【図７】３方向の応力複合化センサの斜視図。
【図８】積層した３方向の応力復合化センサの斜視図。
【図９】１方向センサエレメントの信号処理回路の構成
例を示す図。
【図１０】センサセグメントを２列連結した場合の信号
処理回路の構成例を示す図。
【図１１】１方向の応力複合化センサを車両の車軸の孔
に装着した例を示す斜視図。
【図１２】図１１の応力複合化センサの装着部分の拡大
図。
【図１３】円板型の１方向の応力複合化センサを車両の
車軸の孔に装着した状態を示す図。
【図１４】１方向の応力複合化センサ複数個を車両の車
軸の同一孔に装着した状態を示す図。
【図１５】２方向の応力複合化センサを車軸の孔に装着
した状態を示す図。
【図１６】１方向の応力複合化センサと２方向の応力複
合化センサとを車軸の同一孔に装着した状態を示す図。
【図１７】３方向の応力複合化センサを車軸の孔に装着
した状態を示す図。
【図１８】２方向の応力複合化センサを車軸の角孔に装
着した状態を示す図。
【図１９】応力複合化センサを車軸の孔に挿入し充填材
で充填固定した状態を示す図。
【符号の説明】
ａ，ｂ，ｃ，ｄ 歪ゲージ １ 基板 Ｓ 応力センサ ｅ センサエレメント ｇ センサセグメント Ｇ 信号処理回路 Ｐ 応力複合化センサ Ｋ 構造体 ２ 車軸 ３ 孔 Ｐ１ １方向の応力複合化センサ Ｐ２ ２方向の応力複合化センサ Ｐ３ ３方向の応力複合化センサ

Claims (10)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】基板の同一平面上に間隔を置いて歪ゲージ
    からなる応力センサを複数個もしくは複数列取着して一
    体化し、各応力センサが夫々一方向のみの応力信号を出
    力するか、又は選択した応力センサが一方向のみの応力
    信号を出力するようにしたことを特徴とする応力複合化
    センサ。
  2. 【請求項２】直交する２軸面を有する基板の各面に歪ゲ
    ージからなる応力センサを夫々取着したセンサセグメン
    トを複数個もしくは複数列連結するか又は複数層重合連
    結して一体化し、各センサセグメントが夫々２方向の応
    力信号を出力するか、もしくは選択したセンサセグメン
    トが２方向の応力信号を出力するようにしたことを特徴
    とする応力複合化センサ。
  3. 【請求項３】３軸面を有する基板の各面に歪ゲージから
    なる応力センサを夫々取着したセンサセグメントを複数
    個もしくは複数列連結するか、又は複数層重合連結して
    一体化し、各センサセグメントが３方向の応力信号を夫
    々出力するかもしくは選択した方向の応力信号を出力す
    るか、又は選択したセンサセグメントが３方向の応力信
    号を出力するようにしたことを特徴とする応力複合化セ
    ンサ。
  4. 【請求項４】請求項１乃至３に記載の応力複合化センサ
    の同一基板に、歪ゲージのブリッジ回路や増幅回路など
    の信号処理回路を形成し一体化したことを特徴とする応
    力複合化センサ。
  5. 【請求項５】応力を計測する構造体の応力集中部に孔を
    設け、この孔に請求項１乃至４に記載の応力複合化セン
    サを選択装着し、構造体に生じるＸ軸方向もしくはＸ・
    Ｚ軸方向又はＸ・Ｙ・Ｚ軸方向のせん断歪を、選択した
    応力複合化センサに対応した応力を選択測定できるよう
    にしたことを特徴とする構造体の応力測定装置。
  6. 【請求項６】請求項５に記載の構造体の応力測定装置に
    於て、構造体に生じるせん断歪をセンシングするとき、
    応力複合化センサの必要な応力センサもしくはセンサセ
    グメントを少なくとも１個もしくはそれ以上選別して、
    応力を測定することを特徴とする構造体の応力測定装
    置。
  7. 【請求項７】請求項１乃至４に記載の応力復合化センサ
    を、応力を計測する構造体の応力集中部に設けた孔に選
    択装着し、構造体のＸ・Ｚ軸方向もしくはＸ・Ｙ・Ｚ軸
    方向の選別した各応力信号により、特定方向の応力もし
    くは選別した複数のセンサセグメントの加算応力信号を
    測定できるようにしたことを特徴とする構造体の応力測
    定装置。
  8. 【請求項８】請求項１乃至４に記載の応力複合化センサ
    を、応力を計測する構造体の応力集中部に設けた孔に装
    着し、構造体のＸ，Ｘ・Ｙ，Ｘ・Ｙ・Ｚ，軸方向の選択
    した複数個のセンサセグメントの応力センサのみセンシ
    ングさせた応力信号をそれぞれＸ軸・Ｙ軸・Ｚ軸方向に
    分離し、その分離した応力信号をそれぞれ加算合成した
    応力信号を比較演算して応力を測定するようにしたこと
    を特徴とする構造体の応力測定装置。
  9. 【請求項９】請求項７に記載の構造体の応力測定装置に
    於て、必要なセンサセグメントを選別して応力を計測す
    るとき、構造体に生じる他の応力の混入が少ない応力層
    に添ったセンサセグメントの応力信号をそれぞれ複数個
    取り出しそれらを合成して、応力を測定するようにした
    ことを特徴とする構造体の応力測定装置。
  10. 【請求項１０】請求項７及び８に記載の構造体の応力測
    定装置に於て、構造体のＸ・Ｚ軸方向もしくはＸ・Ｙ・
    Ｚ軸方向の応力を選別して、必要な方向の応力を測定し
    てこの応力信号を制御パラメータとして使用することを
    特徴とする構造体の応力測定装置。
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