JPH0880996A - 半導体用薬液タンク - Google Patents
半導体用薬液タンクInfo
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- JPH0880996A JPH0880996A JP6243315A JP24331594A JPH0880996A JP H0880996 A JPH0880996 A JP H0880996A JP 6243315 A JP6243315 A JP 6243315A JP 24331594 A JP24331594 A JP 24331594A JP H0880996 A JPH0880996 A JP H0880996A
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- sheet
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- chemical liquid
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- Encapsulation Of And Coatings For Semiconductor Or Solid State Devices (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 タンク内の薬液の金属汚染を確実に防ぐこと
ができる半導体用薬液タンクを提供する。 【構成】 金属缶体にライニング材を設けて構成する半
導体用薬液タンクにおいて、缶体部ａ1に、例えばポリ
エチレンコーティング１等の汎用樹脂ライニング材と、
ＰＦＡシート２等の耐薬品性に優れたふっ素樹脂ライニ
ングシート材とを設けて２層ライニング構造とする。下
蓋部ａ2および上蓋部ａ3も前記と同様な２層ライニング
構造とする。 【効果】 ふっ素樹脂ライニングシート材に不具合（ピ
ンホールやクラック）が生じた場合、中間層の汎用樹脂
に薬液が接触し、金属缶体に接触しないため、タンク内
の薬液の金属汚染が防げる。
ができる半導体用薬液タンクを提供する。 【構成】 金属缶体にライニング材を設けて構成する半
導体用薬液タンクにおいて、缶体部ａ1に、例えばポリ
エチレンコーティング１等の汎用樹脂ライニング材と、
ＰＦＡシート２等の耐薬品性に優れたふっ素樹脂ライニ
ングシート材とを設けて２層ライニング構造とする。下
蓋部ａ2および上蓋部ａ3も前記と同様な２層ライニング
構造とする。 【効果】 ふっ素樹脂ライニングシート材に不具合（ピ
ンホールやクラック）が生じた場合、中間層の汎用樹脂
に薬液が接触し、金属缶体に接触しないため、タンク内
の薬液の金属汚染が防げる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体の製造工程で使
用される半導体用薬液タンクの改良に関する。
用される半導体用薬液タンクの改良に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、半導体の製造工程で使用される薬
液タンク（加圧によって送液する加圧薬液タンクを含
む）にあっては、金属缶体の内面に、耐熱性、耐化学薬
品性、非粘着性、純粋性などの点において、他の合成樹
脂と比較して著しく優れた特性を有するふっ素樹脂シー
トをライニング材として設けたふっ素樹脂シートライニ
ング薬液タンクが多用されている。
液タンク（加圧によって送液する加圧薬液タンクを含
む）にあっては、金属缶体の内面に、耐熱性、耐化学薬
品性、非粘着性、純粋性などの点において、他の合成樹
脂と比較して著しく優れた特性を有するふっ素樹脂シー
トをライニング材として設けたふっ素樹脂シートライニ
ング薬液タンクが多用されている。
【０００３】前記ライニング用ふっ素樹脂シート材とし
ては、シート片面にガラスクロスを溶着したタイプ、シ
ート片面をエッチング（金属缶体との接着性を良くする
ために表面を活性化する）したタイプ等の接着ライニン
グシート材、および金属缶体に接着しないタイプのふっ
素樹脂シート材がある。
ては、シート片面にガラスクロスを溶着したタイプ、シ
ート片面をエッチング（金属缶体との接着性を良くする
ために表面を活性化する）したタイプ等の接着ライニン
グシート材、および金属缶体に接着しないタイプのふっ
素樹脂シート材がある。
【０００４】ライニング法としては、金属缶体によって
接着剤を介してふっ素樹脂シート材を貼り付け、シート
材継目の目地部を溶着してライニングする接着ライニン
グ法、あるいは予め金属缶体の形状に合わせるようにシ
ート材を筒形状に溶着し、このものを金属缶体に挿入す
るルーズライニング法（接着しない）がある。
接着剤を介してふっ素樹脂シート材を貼り付け、シート
材継目の目地部を溶着してライニングする接着ライニン
グ法、あるいは予め金属缶体の形状に合わせるようにシ
ート材を筒形状に溶着し、このものを金属缶体に挿入す
るルーズライニング法（接着しない）がある。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上記構成の薬液タンク
によれば、金属缶体はふっ素樹脂ライニングシート材に
より薬液から保護される。しかしながら、ライニングシ
ート材同士の継目に溶着不良部分があったり、経年劣化
等により、この溶着部にピンホールやクラックを生じる
ことがある。
によれば、金属缶体はふっ素樹脂ライニングシート材に
より薬液から保護される。しかしながら、ライニングシ
ート材同士の継目に溶着不良部分があったり、経年劣化
等により、この溶着部にピンホールやクラックを生じる
ことがある。
【０００６】ライニングシート材にピンホールやクラッ
クが生じると、タンク内の薬液が金属缶体に触れ、ライ
ニングシート材のピンホールやクラック部分を介して逆
流してくる。逆流した液は金属との反応や金属表面の汚
れにより汚染されており、その結果、タンク内の薬液は
汚染される。
クが生じると、タンク内の薬液が金属缶体に触れ、ライ
ニングシート材のピンホールやクラック部分を介して逆
流してくる。逆流した液は金属との反応や金属表面の汚
れにより汚染されており、その結果、タンク内の薬液は
汚染される。
【０００７】特に半導体産業のウエハー洗浄用の薬液供
給タンクにおいては、上記のような流体の金属汚染は、
ウエハーにとって致命的な欠陥となるため、絶対に避け
なければならない。
給タンクにおいては、上記のような流体の金属汚染は、
ウエハーにとって致命的な欠陥となるため、絶対に避け
なければならない。
【０００８】
【発明の目的】本発明は、タンク内のふっ素樹脂ライニ
ングシート材に万一ピンホールやクラックが生じた場合
でも、タンク内の薬液の金属汚染を防ぐことができる半
導体用薬液タンクを提供することを主たる目的としてい
る。
ングシート材に万一ピンホールやクラックが生じた場合
でも、タンク内の薬液の金属汚染を防ぐことができる半
導体用薬液タンクを提供することを主たる目的としてい
る。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明は、金属缶体にラ
イニングシート材を設けて構成する半導体用薬液タンク
において、接液側にふっ素樹脂ライニングシート材を設
け、その裏側にふっ素樹脂を除く汎用樹脂ライニング材
を設けて２層ライニング構造としたことを要旨としてい
る。
イニングシート材を設けて構成する半導体用薬液タンク
において、接液側にふっ素樹脂ライニングシート材を設
け、その裏側にふっ素樹脂を除く汎用樹脂ライニング材
を設けて２層ライニング構造としたことを要旨としてい
る。
【００１０】前記ふっ素子樹脂ライニングシート材に
は、ＰＴＦＥシート（ポリテトラフルオロエチレン樹脂
シート）、ＰＦＡ（四弗化エチレン−パープルオロアル
キルビニルエーテル共重合体樹脂シート）、およびシー
ト片面にガラスクロスを熱溶着したＰＴＦＥシート、Ｐ
ＦＡシート、または接着性を良くするために片面に金属
ナトリウムで表面処理したＰＴＦＥシート、さらにカー
ボンクロスを熱溶着したＰＴＦＥシート、ＰＦＡシート
が挙げられる。
は、ＰＴＦＥシート（ポリテトラフルオロエチレン樹脂
シート）、ＰＦＡ（四弗化エチレン−パープルオロアル
キルビニルエーテル共重合体樹脂シート）、およびシー
ト片面にガラスクロスを熱溶着したＰＴＦＥシート、Ｐ
ＦＡシート、または接着性を良くするために片面に金属
ナトリウムで表面処理したＰＴＦＥシート、さらにカー
ボンクロスを熱溶着したＰＴＦＥシート、ＰＦＡシート
が挙げられる。
【００１１】前記シート材のうち、ガラスクロスを熱溶
着したふっ素樹脂シートはガラスを侵さない塩酸、アン
モニア、過酸化水素水等に用いられ、カーボンクロスを
熱溶着したシートは内部液体がふっ酸の場合に用いられ
る。
着したふっ素樹脂シートはガラスを侵さない塩酸、アン
モニア、過酸化水素水等に用いられ、カーボンクロスを
熱溶着したシートは内部液体がふっ酸の場合に用いられ
る。
【００１２】ふっ素樹脂を除く汎用樹脂ライニング材に
は、金属成分を含まないポリエチレン、ポリプロピレ
ン、塩化ビニル、ＦＲＰ（繊維強化樹脂：使用樹脂はポ
リエステル、ビニルエステル、エポキシ、フェノール等
がある）の樹脂ライニングシートが挙げられる。これら
のライニング材は、ふっ素樹脂ライニングシート材に較
べて耐薬品性に劣るが、安価に得られる。
は、金属成分を含まないポリエチレン、ポリプロピレ
ン、塩化ビニル、ＦＲＰ（繊維強化樹脂：使用樹脂はポ
リエステル、ビニルエステル、エポキシ、フェノール等
がある）の樹脂ライニングシートが挙げられる。これら
のライニング材は、ふっ素樹脂ライニングシート材に較
べて耐薬品性に劣るが、安価に得られる。
【００１３】実際のシートライニング施工では、ポリエ
チレン、ポリプロピレンを金属缶体に施工した場合に
は、ふっ素樹脂シート材との接着は難しいため、ＰＴＦ
Ｅシート、ＰＦＡシートによるルーズライニングにな
る。
チレン、ポリプロピレンを金属缶体に施工した場合に
は、ふっ素樹脂シート材との接着は難しいため、ＰＴＦ
Ｅシート、ＰＦＡシートによるルーズライニングにな
る。
【００１４】また、塩化ビニル、ＦＲＰを金属缶体に施
工した場合には、接着可能であるため、ガラスクロスま
たはカーボンクロスをふっ素樹脂シートの片面に熱溶着
したシートが用いられる。また、その場合、金属ナトリ
ウムで片面をエッチングしたシートを使うことができ
る。なお、この時に使う接着剤は、金属成分のないゴム
接着剤、エポキシ樹脂接着剤およびＦＲＰの繊維強化用
樹脂がある。
工した場合には、接着可能であるため、ガラスクロスま
たはカーボンクロスをふっ素樹脂シートの片面に熱溶着
したシートが用いられる。また、その場合、金属ナトリ
ウムで片面をエッチングしたシートを使うことができ
る。なお、この時に使う接着剤は、金属成分のないゴム
接着剤、エポキシ樹脂接着剤およびＦＲＰの繊維強化用
樹脂がある。
【００１５】
【作用】上記構成によれば、万一、接液側にあるふっ素
樹脂ライニングシート材にピンホールまたはクラックが
生じ、その欠陥部分を通って薬液が裏側に流入しても、
そこに汎用樹脂ライニング材があるので、薬液の金属缶
体への接触は阻止され、薬液汚染は防止される。
樹脂ライニングシート材にピンホールまたはクラックが
生じ、その欠陥部分を通って薬液が裏側に流入しても、
そこに汎用樹脂ライニング材があるので、薬液の金属缶
体への接触は阻止され、薬液汚染は防止される。
【００１６】
【実施例】図１〜図２に、本発明の一実施例を示す。同
図において、Ａは金属缶体であり、缶体部ａ1と下蓋部
ａ2と上蓋部ａ3とで形成されている。缶体部ａ1には、
汎用樹脂ライニングシート材として、ポリエチレンコー
ティング１［厚さ１mm］がピンホールのない状態でコー
ティングされており、ふっ素樹脂ライニングシート材と
して、ＰＦＡシート２［厚さ２mm］が設けられている。
図において、Ａは金属缶体であり、缶体部ａ1と下蓋部
ａ2と上蓋部ａ3とで形成されている。缶体部ａ1には、
汎用樹脂ライニングシート材として、ポリエチレンコー
ティング１［厚さ１mm］がピンホールのない状態でコー
ティングされており、ふっ素樹脂ライニングシート材と
して、ＰＦＡシート２［厚さ２mm］が設けられている。
【００１７】本実施例では、前記ＰＦＡシート２は、図
２に示すように、複数の長方形シート材２ａを溶接して
予め円筒状に加工しておき、これを缶体部内に挿入した
あと、その上下筒口が缶体部のつば部分ａ’にてつば返
し加工され、缶体部はポリエチレンコーティングとＰＦ
Ａシートにより２層ライニング構造とされている。な
お、図中、２ｂは溶接部を示す。前記下蓋部ａ2および
上蓋部ａ3にも、前記缶体部ａ1と同様なポリエチレンコ
ーティング１とＰＦＡシート２とがライニングされ、２
層ライニング構造とされている。
２に示すように、複数の長方形シート材２ａを溶接して
予め円筒状に加工しておき、これを缶体部内に挿入した
あと、その上下筒口が缶体部のつば部分ａ’にてつば返
し加工され、缶体部はポリエチレンコーティングとＰＦ
Ａシートにより２層ライニング構造とされている。な
お、図中、２ｂは溶接部を示す。前記下蓋部ａ2および
上蓋部ａ3にも、前記缶体部ａ1と同様なポリエチレンコ
ーティング１とＰＦＡシート２とがライニングされ、２
層ライニング構造とされている。
【００１８】図２に、本発明の他の実施例を示す。な
お、前記と同一または類似する部材には、同じ符号が付
されている。即ち、Ａは金属缶体、ａ1は缶体部、ａ2は
下蓋部、ａ3は上蓋部である。本実施例では、汎用樹脂
ライニング材として、ＦＲＰ３［ガラス繊維強化ポリエ
ステル樹脂ライニング、［厚さ３mm］］が用いられ、ふ
っ素樹脂ライニングシート材として、片面にガラスクロ
スを溶着したＰＴＦＥシート４［厚さ２mm］が用いら
れ、ポリエステル樹脂によりＦＲＰ３に接着されてい
る。
お、前記と同一または類似する部材には、同じ符号が付
されている。即ち、Ａは金属缶体、ａ1は缶体部、ａ2は
下蓋部、ａ3は上蓋部である。本実施例では、汎用樹脂
ライニング材として、ＦＲＰ３［ガラス繊維強化ポリエ
ステル樹脂ライニング、［厚さ３mm］］が用いられ、ふ
っ素樹脂ライニングシート材として、片面にガラスクロ
スを溶着したＰＴＦＥシート４［厚さ２mm］が用いら
れ、ポリエステル樹脂によりＦＲＰ３に接着されてい
る。
【００１９】
【発明の効果】以上、詳述したように、本発明の半導体
用薬液タンクの構成によれば、ふっ素樹脂ライニングシ
ート材に不具合（ピンホールやクラック）が生じた場
合、中間層の汎用樹脂ライニング材に薬液が接触し、金
属缶体に接触しないため、タンク内の薬液の金属汚染を
確実に防げる。
用薬液タンクの構成によれば、ふっ素樹脂ライニングシ
ート材に不具合（ピンホールやクラック）が生じた場
合、中間層の汎用樹脂ライニング材に薬液が接触し、金
属缶体に接触しないため、タンク内の薬液の金属汚染を
確実に防げる。
【００２０】もし、前記中間層の汎用樹脂ライニング材
がない場合には、強酸、強アルカリと金属缶体との反応
により金属汚染が生じ、製品の汚染による歩留りの低下
につながるが、本発明の薬液タンクの使用によれば、そ
のような問題は生じない。
がない場合には、強酸、強アルカリと金属缶体との反応
により金属汚染が生じ、製品の汚染による歩留りの低下
につながるが、本発明の薬液タンクの使用によれば、そ
のような問題は生じない。
【００２１】半導体産業における薬液供給タンクは、圧
力が高く、第二種圧力容器に該当するため、前述した汎
用樹脂シートライニング単体タンクは使用できないが、
本発明のように、ふっ素樹脂ライニングシート材と汎用
樹脂ライニング材との２層ライニング構造とすれば、圧
力容器に適用できると共に半導体産業の高純度薬液供給
タンクのように、薬液に金属汚染がないことを要求され
るタンクに適用できる。
力が高く、第二種圧力容器に該当するため、前述した汎
用樹脂シートライニング単体タンクは使用できないが、
本発明のように、ふっ素樹脂ライニングシート材と汎用
樹脂ライニング材との２層ライニング構造とすれば、圧
力容器に適用できると共に半導体産業の高純度薬液供給
タンクのように、薬液に金属汚染がないことを要求され
るタンクに適用できる。
【図１】本発明の一実施例を示す半導体用薬液タンクの
一部切断側面図である。
一部切断側面図である。
【図２】円筒状に加工したふっ素樹脂ライニングシート
材の斜視図である。
材の斜視図である。
【図３】本発明の他の実施例を示す半導体用薬液タンク
の一部切断側面図である。
の一部切断側面図である。
Ａ 金属缶体 ａ1 缶体部 ａ2 下蓋部 ａ3 上蓋部 ａ’ つば部分 １ ポリエチレンコーティング ２ ＰＦＡシート ３ ＦＲＰ ４ ＰＴＦＥシート
Claims (1)
- 【請求項１】 金属缶体にライニングシート材を設けて
構成する半導体用薬液タンクにおいて、接液側にふっ素
樹脂ライニングシート材を設け、その裏側にふっ素樹脂
を除く汎用樹脂ライニング材を設けて２層ライニング構
造としたことを特徴とする半導体用薬液タンク。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6243315A JPH0880996A (ja) | 1994-09-12 | 1994-09-12 | 半導体用薬液タンク |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6243315A JPH0880996A (ja) | 1994-09-12 | 1994-09-12 | 半導体用薬液タンク |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0880996A true JPH0880996A (ja) | 1996-03-26 |
Family
ID=17102013
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6243315A Pending JPH0880996A (ja) | 1994-09-12 | 1994-09-12 | 半導体用薬液タンク |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0880996A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001151826A (ja) * | 1999-11-29 | 2001-06-05 | Daikin Ind Ltd | 薬液透過抑制剤、該抑制剤を含んでなる薬液透過抑制性含フッ素樹脂組成物 |
| WO2003018439A1 (en) * | 2001-08-22 | 2003-03-06 | Sumitomo Chemical Company, Limited | Chemical resistant sheet lined tank |
| JP4719975B2 (ja) * | 1998-05-29 | 2011-07-06 | ダイキン工業株式会社 | 結晶性含フッ素樹脂の球晶微小化剤、該微小化剤を含んでなる結晶性含フッ素樹脂組成物 |
| WO2018101423A1 (ja) | 2016-12-01 | 2018-06-07 | サンフロロシステム株式会社 | 半導体製品の製造用の薬液を流動させる際に薬液と接触する部材 |
| JP2018090323A (ja) * | 2016-12-01 | 2018-06-14 | サンフロロシステム株式会社 | 半導体製品の製造用の薬液を流動させる際に薬液と接触する部材 |
| CN110775453A (zh) * | 2019-11-11 | 2020-02-11 | 衡阳凯美科化工有限公司 | 一种化工原料存储设备 |
| JP2022176944A (ja) * | 2016-06-03 | 2022-11-30 | 富士フイルム株式会社 | 処理液、基板洗浄方法およびレジストの除去方法 |
| KR102710667B1 (ko) * | 2023-05-31 | 2024-09-26 | 후성정공 주식회사 | 탱크 맨홀용 피복 시트 및 이를 이용한 라이닝 방법 |
-
1994
- 1994-09-12 JP JP6243315A patent/JPH0880996A/ja active Pending
Cited By (12)
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| KR20190091276A (ko) | 2016-12-01 | 2019-08-05 | 선 플루오로 시스템 컴퍼니, 리미티드. | 반도체 제품 제조용의 약액을 유동시킬 때 약액과 접촉하는 부재 |
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| EP3549885A4 (en) * | 2016-12-01 | 2020-07-15 | Sun Fluoro System Co., Ltd. | ELEMENT WITH CONTACTING A CHEMICAL LIQUID FOR PRODUCING A SEMICONDUCTOR PRODUCT IN THE CHALLENGED FLOW OF THE CHEMICAL LIQUID |
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