JPH085490A - Pressure difference detector - Google Patents
Pressure difference detectorInfo
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- JPH085490A JPH085490A JP16292994A JP16292994A JPH085490A JP H085490 A JPH085490 A JP H085490A JP 16292994 A JP16292994 A JP 16292994A JP 16292994 A JP16292994 A JP 16292994A JP H085490 A JPH085490 A JP H085490A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 構造がシンプルで、ON−OFF動作用、あ
るいはある程度の定量的圧力差検出にも適用可能な圧力
差検出器を提供することを目的とする。
【構成】 本発明の圧力差検出器1は、圧力媒体を受容
するシリンダ14と、このシリンダ14内部を圧密に区
切るピストン17であって、シリンダ14内を摺動可能
に設けられたピストン17と、各々独立に圧力媒体を取
込み・吐出し可能な2つのポート13、19と、ピスト
ン17をシリンダ14に対して弾性支持するピストン支
持部材15と、ピストン17のシリンダ14内における
変位を検出するピストン変位検出手段29、27と、を
具備する。
(57) [Abstract] [Purpose] An object of the present invention is to provide a pressure difference detector which has a simple structure and is applicable to ON-OFF operation or to some extent quantitative pressure difference detection. A pressure difference detector 1 of the present invention includes a cylinder 14 that receives a pressure medium, and a piston 17 that divides the inside of the cylinder 14 in a pressure-tight manner and that is slidably provided in the cylinder 14. , Two ports 13 and 19 capable of independently taking in and discharging a pressure medium, a piston support member 15 for elastically supporting the piston 17 with respect to the cylinder 14, and a piston for detecting displacement of the piston 17 in the cylinder 14. Displacement detection means 29 and 27 are provided.
Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、二つの圧力媒体系統の
圧力の差及びその差の変化を検出する圧力差検出器に関
する。特には、構造がシンプルで気密容器の気密度の検
査等に適した圧力差検出器に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a pressure difference detector for detecting a pressure difference between two pressure medium systems and a change in the pressure difference. In particular, the present invention relates to a pressure difference detector having a simple structure and suitable for inspecting the airtightness of an airtight container.
【0002】[0002]
【従来の技術】圧力差を検出する計器として、従来より
代表的なものは、ダイヤフラム型の圧力差検出器であ
る。この圧力差検出器は、ダイヤフラムの両面に比較す
べき二系統の流体圧を導入し、ダイヤフラムの表面に張
ったストレンゲージでダイヤフラムの歪みを測定し、こ
の歪みを圧力差に換算するものである。2. Description of the Related Art As a measuring instrument for detecting a pressure difference, a diaphragm type pressure difference detector has hitherto been representative. This pressure difference detector introduces two systems of fluid pressure to be compared on both sides of the diaphragm, measures the strain of the diaphragm with a strain gauge stretched on the surface of the diaphragm, and converts this strain into a pressure difference. .
【0003】また、複数の圧力スイッチを用い、そのO
N−OFFにより圧力差を段階的に検出することも行わ
れていた。Further, a plurality of pressure switches are used, and
It was also performed to detect the pressure difference stepwise by N-OFF.
【0004】[0004]
【発明が解決しようとする課題】上述の従来の圧力差検
出器においては、以下のような問題点があった。 1.構造が複雑で高価であった。 2.特に、圧力差があるしきい値を越えたときにON−O
FF動作し、その信号を出力するだけの機能があればよ
い場合において、それに適した経済的な圧力差検出器が
なかった。The above-mentioned conventional pressure difference detector has the following problems. 1. The structure was complicated and expensive. 2. Especially, when the pressure difference exceeds a certain threshold value, ON-O
There was no economical pressure difference detector suitable for FF operation and the function of outputting the signal.
【0005】本発明は、構造がシンプルで、ON−OF
F動作用、あるいはある程度の定量的圧力差検出にも適
用可能な圧力差検出器を提供することを目的とする。さ
らに、本発明は、気密容器の気密度の検査用に適した圧
力差検出器を提供することをも目的とする。The present invention has a simple structure and is an ON-OF.
An object of the present invention is to provide a pressure difference detector applicable to F operation or applicable to quantitative pressure difference detection to some extent. Another object of the present invention is to provide a pressure difference detector suitable for inspecting the airtightness of an airtight container.
【0006】[0006]
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明の圧力差検出器は、圧力媒体を受容するシリ
ンダと、このシリンダ内部を圧密に区切るピストンであ
って、シリンダ内を摺動可能に設けられたピストンと、
シリンダのピストンをはさんだ両端部に設けられた、各
々独立に圧力媒体を取込み・吐出し可能な2つのポート
と、ピストンをシリンダに対して弾性支持するピストン
支持部材と、ピストンのシリンダ内における変位を検出
するピストン変位検出手段と、を具備することを特徴と
する。In order to solve the above-mentioned problems, a pressure difference detector of the present invention comprises a cylinder for receiving a pressure medium and a piston for partitioning the inside of the cylinder in a pressure-tight manner, and sliding in the cylinder. A piston that can be installed,
Two ports provided at both ends of the cylinder that sandwich the piston and capable of independently taking in and discharging the pressure medium, a piston support member that elastically supports the piston with respect to the cylinder, and displacement of the piston in the cylinder And a piston displacement detecting means for detecting.
【0007】[0007]
【作用】本発明の圧力差検出器のシリンダの内部には、
シリンダ内部を摺動するピストンが設けられている。こ
のピストンは、シリンダの内部を二つの部分に圧密に区
切る。またピストンは、シリンダの区切られた各部分に
存在する圧力媒体の圧力を、その両面に受け、それらの
圧力の合力によって駆動されてシリンダ内を摺動する。
一方、シリンダの両端部(間にはピストンが存在する)
には、圧力媒体がシリンダに出入りする口である2つの
ポートが設けられている。なお“2つの”とは最低2つ
のという意味であって、3つ以上のポートの存在を排除
する意味ではない。この2つのポートは、各々独立に圧
力媒体を取込み、吐出し可能である。さらに、上記ピス
トンはシリンダに対して弾性支持されており、圧力媒体
の圧力差に起因するピストン駆動力が消失した場合に
は、ピストンを原点近傍に復帰させる作用をする。In the cylinder of the pressure difference detector of the present invention,
A piston that slides inside the cylinder is provided. The piston divides the interior of the cylinder into two parts in a compact manner. Further, the piston receives the pressure of the pressure medium existing in each divided part of the cylinder on both sides thereof, and is driven by the resultant force of the pressures to slide in the cylinder.
On the other hand, both ends of the cylinder (there is a piston between them)
Is provided with two ports, which are the ports through which the pressure medium enters and leaves the cylinder. Note that "two" means at least two and does not mean that the existence of three or more ports is excluded. The two ports can independently take in and discharge the pressure medium. Further, the piston is elastically supported with respect to the cylinder, and has an action of returning the piston to the vicinity of the origin when the piston driving force due to the pressure difference of the pressure medium disappears.
【0008】ピストンの変位は、ピストン変位検出手段
によって検出される。この検出はステップ状の検出(変
位があるしきい値を越えたときON又はOFF)であっ
てもよいし、定量性のある検出であってもよい。ピスト
ン両面の圧力媒体の圧力差とピストンの変位との間には
ある因果関係が存在する(両者はリニアでなくともよ
い)。したがって、ピストンの変位を検出することによ
って、圧力差を定量的に検出することもできる。The displacement of the piston is detected by the piston displacement detecting means. This detection may be stepwise detection (ON or OFF when the displacement exceeds a certain threshold value), or may be quantitative detection. There is a causal relationship between the pressure difference of the pressure medium on both sides of the piston and the displacement of the piston (both need not be linear). Therefore, the pressure difference can be quantitatively detected by detecting the displacement of the piston.
【0009】本発明に言う圧力媒体とは、気体、液体、
粘性物質、スラッジ、流動性のある粉粒体等、ある程度
流動性のある圧力を伝達する媒体を意味する。シリンダ
及びピストンは、いわゆる油空圧シリンダやその中を動
くピストンのような物に限定されるわけではない。形状
も円筒や円板に限定されるものではない。ピストン支持
部材の例としてはコイル、バネ、板バネ、ゴム、空気バ
ネ等が挙げられる。なお、ピストン支持部材の“弾性”
の特性は、かならずしもリニア(力と変形にリニア関係
があること)でなくてもよい。The pressure medium referred to in the present invention means gas, liquid,
It means a medium that transmits a pressure having a certain degree of fluidity, such as a viscous substance, sludge, and a fluid granular material. Cylinders and pistons are not limited to so-called hydro-pneumatic cylinders and such things as pistons moving in them. The shape is not limited to a cylinder or a disc. Examples of the piston support member include a coil, a spring, a leaf spring, rubber, and an air spring. The "elasticity" of the piston support member
The characteristic of does not necessarily have to be linear (there is a linear relationship between force and deformation).
【0010】本発明の一態様の圧力差検出器において
は、上記ピストン変位検出手段が、ピストンの変位が一
定のしきい値を越えた場合にONまたはOFFの電気信
号を発するものとしている。In the pressure difference detector according to one aspect of the present invention, the piston displacement detecting means emits an ON or OFF electric signal when the displacement of the piston exceeds a certain threshold value.
【0011】このような圧力差検出器は、特に簡単な構
造とすることができ、また、そのような作用さえ果せば
十分用いることのできる用途は多い。従来は、前述のよ
うに、そのような用途においてもオーバースペックの圧
力差検出器や圧力検出システムを用いざるをえなかった
のである。Such a pressure difference detector can be made to have a particularly simple structure, and there are many applications in which it can be sufficiently used if only such an action is achieved. Conventionally, as described above, even in such an application, an over-spec pressure difference detector or pressure detection system had to be used.
【0012】上述の本発明の一態様の圧力差検出器にお
いては、上記ピストン変位検出手段が、シリンダ内部に
付設されたシリンダ側電気接点と、ピストン上に付設さ
れた、ピストンの移動に伴って上記シリンダ側電気接点
と接触可能なピストン側電気接点と、両接点の接触時に
導通するピストン変位検出回路と、を有するものとして
よい。In the above-mentioned pressure difference detector according to one aspect of the present invention, the piston displacement detecting means is provided with the cylinder side electrical contact provided inside the cylinder and the movement of the piston provided on the piston. A piston-side electric contact that can contact the cylinder-side electric contact and a piston displacement detection circuit that conducts when both contacts are in contact may be provided.
【0013】このような圧力差検出器のピストン変位検
出手段は、特に簡単な構造とすることができる。なお、
このタイプの圧力差検出器は、導電性の圧力媒体に対し
て用いることは、一般的には不能である。なお、電気接
点の接触により信号を得る方式の他、さまざまな方式の
ものを用いることもできる。The piston displacement detecting means of such a pressure difference detector can have a particularly simple structure. In addition,
This type of pressure difference detector is generally not possible for use with electrically conductive pressure media. In addition to the method of obtaining a signal by the contact of an electric contact, various methods can be used.
【0014】本発明の他の一態様の圧力差検出器におい
ては、上記ピストン変位検出手段が、上記ピストンの変
位をアナログ値として検出する手段と、この検出値を伝
送可能な信号に変換する手段と、を有するものとしてい
る。In a pressure difference detector according to another aspect of the present invention, the piston displacement detecting means detects the displacement of the piston as an analog value, and means for converting the detected value into a transmittable signal. And, it is supposed to have.
【0015】ここで、“ピストンの変位をアナログ値と
して検出する”とは、しきい値通過に伴うON−OFF
認識ではなく、ピストンの変位をある程度定量的に把握
するという意味である。このような手段の例としては、
静電容量型の変位センサや、等を挙げることができる。
これらの中で、静電容量型の変位センサが、安価かつ信
頼性が高いので、好適である。Here, "to detect the displacement of the piston as an analog value" means ON-OFF when the threshold value is passed.
It does not mean recognition, but rather means that the displacement of the piston is grasped quantitatively to some extent. Examples of such means are:
A capacitance type displacement sensor, etc. can be mentioned.
Among these, the capacitance type displacement sensor is preferable because it is inexpensive and highly reliable.
【0016】本発明の圧力差検出器においては、上記2
つのポートの圧力をエコライズするポート圧エコライズ
手段をさらに具備することとしてよい。In the pressure difference detector of the present invention, the above-mentioned 2
A port pressure equalizing means for equalizing the pressure of one port may be further provided.
【0017】“エコライズする”とは、両ポートの圧力
を実質的に同一にする、あるいは同一であることを確認
するという意味である。圧力差検出器の0点(圧力差が
0の点)を調整あるいは認識するために、このようなポ
ート圧エコライズ手段が役に立つ。"Equalize" means to make the pressure of both ports substantially the same, or to confirm that they are the same. Such port pressure equalizing means is useful for adjusting or recognizing the 0 point (point where the pressure difference is 0) of the pressure difference detector.
【0018】このようなポート圧エコライズ手段の例と
して、上記圧力媒体が通過可能な上記2つのポート間を
短絡する短絡管路と、この短絡管路を開閉するバルブ
と、を有するものが挙げられる。An example of such a port pressure equalizing means is one having a short-circuit pipe for short-circuiting the two ports through which the pressure medium can pass, and a valve for opening and closing the short-circuit pipe. .
【0019】上記バルブを開いて、両ポート間の圧力媒
体の流通をほぼ自由にしてやれば、両ポートにおける圧
力媒体の圧力差はほぼ0になる。このようにして圧力を
エコライズさせて圧力差検出器の0点を調整した後、バ
ルブを閉め、圧力差の変化を測定すれば、精度の良い圧
力差測定をすることができる。When the valve is opened to allow the pressure medium to flow between the ports substantially freely, the pressure medium pressure difference between the ports becomes almost zero. By thus equalizing the pressure to adjust the zero point of the pressure difference detector, then closing the valve and measuring the change in the pressure difference, the pressure difference can be measured with high accuracy.
【0020】本発明の圧力差検出器においては、両ポー
トの圧力が等しいことを示す信号の入力を受け、このと
きのピストンの位置信号を零点として記憶する記憶手段
をさらに具備することとしてよい。The pressure difference detector of the present invention may further comprise a storage means for receiving a signal indicating that the pressures at both ports are equal and storing the piston position signal at this time as a zero point.
【0021】ここで、“両ポートの圧力が等しいことを
示す信号”は、例えば、両ポートに付けた別途の圧力計
を人間が見てその圧力が等しいことを確認し、それを手
動で圧力差検出器(あるいはその上位制御システム)に
入力することにより生起されるものであってもよい。あ
るいは上述の短絡管路中のバルブが開したことをセンサ
で検出し、一定時間経過したことをもって、自動的にそ
のような信号を圧力差検出器に与えることとしてもよ
い。Here, the "signal indicating that the pressures of both ports are equal" is, for example, when a person looks at the separate pressure gauges attached to both ports to confirm that the pressures are equal, and the pressure is manually applied. It may be generated by inputting to the difference detector (or its upper control system). Alternatively, the sensor may detect that the valve in the short-circuit pipe is opened, and such a signal may be automatically given to the pressure difference detector when a certain time has elapsed.
【0022】また、本発明の他の一態様の圧力差検出器
においては、予め測定されたピストン変位検出手段の出
力信号と2つのポートの圧力差との関係が記憶され、こ
の記憶されたデータが任意に読み出し可能な記憶手段
と、ピストン変位検出手段の出力信号と前記記憶手段の
記憶データとから2つのポートの圧力差を判定する判定
手段と、を具備するものとしてもよい。Further, in the pressure difference detector according to another aspect of the present invention, the relationship between the pre-measured output signal of the piston displacement detecting means and the pressure difference between the two ports is stored, and the stored data is stored. May be arbitrarily read, and determination means for determining the pressure difference between the two ports from the output signal of the piston displacement detection means and the storage data of the storage means.
【0023】[0023]
【実施例】以下図面を参照しつつ本発明の実施例を説明
する。図1は、本発明の一実施例に係る圧力差検出器
と、その圧力差検出器を用いて気密容器の洩れ検査を行
っている状態を示す図である。図1において、図の上部
の符号3は洩れ検査対象の気密容器を示す。符号1は圧
力差検出器を示す。符号5は検査圧力供給手段(ガスボ
ンベ等)を示す。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a diagram showing a pressure difference detector according to an embodiment of the present invention and a state in which a leak inspection of an airtight container is performed using the pressure difference detector. In FIG. 1, reference numeral 3 at the upper part of the drawing indicates an airtight container to be leak-checked. Reference numeral 1 indicates a pressure difference detector. Reference numeral 5 indicates an inspection pressure supply means (gas cylinder or the like).
【0024】図1の圧力差検出器1は、大まかに分け
て、検出器本体11とピストン変位検出手段21とから
構成されている。検出器本体11は、中空円筒状のシリ
ンダ14を有する。このシリンダ14の上下端面には、
ガス(圧力媒体)がシリンダ14に出入りする出入口
(ポートA13、ポートB19)が設けられている。シ
リンダ14の内部には、シリンダの長手方向(軸方向)
にシリンダ内を摺動するピストン17が組込まれてい
る。ピストンは、外径がシリンダ内径よりわずかに小さ
い円板状をしている。ピストン17の外径面にはシール
18(0リング等)が取り付けられている。したがっ
て、シリンダ14内部は、ピストン17を境にして2つ
の室に区切られており、両室内のガスがピストン17を
越えて行き交うことはない。The pressure difference detector 1 shown in FIG. 1 is roughly composed of a detector body 11 and a piston displacement detecting means 21. The detector body 11 has a hollow cylindrical cylinder 14. On the upper and lower end surfaces of the cylinder 14,
An inlet / outlet (port A13, port B19) through which gas (pressure medium) enters and leaves the cylinder 14 is provided. Inside the cylinder 14, the longitudinal direction of the cylinder (axial direction)
A piston 17 that slides in the cylinder is incorporated in the cylinder. The piston has a disc shape whose outer diameter is slightly smaller than the inner diameter of the cylinder. A seal 18 (0 ring or the like) is attached to the outer diameter surface of the piston 17. Therefore, the inside of the cylinder 14 is divided into two chambers with the piston 17 as a boundary, and the gas in both chambers does not cross the piston 17 and go back and forth.
【0025】ピストン17は、ピストン支持バネ15
(ピストン支持部材)によって一端に連結されている。
ピストン支持バネ15の他端は、シリンダ14の上部に
連結されている。したがって、ピストン17はシリンダ
14に弾性支持されている。ピストン17の上下面にか
かる圧力が等しいときは、ピストン17はピストン支持
バネ15の中立位置に存在する。上下面にかかる圧力に
差が生じれば、その圧力差に伴う合力とピストン支持バ
ネ15のバネ力とが釣り合う位置までピストン17は移
動する。The piston 17 has a piston support spring 15
It is connected to one end by (piston support member).
The other end of the piston support spring 15 is connected to the upper portion of the cylinder 14. Therefore, the piston 17 is elastically supported by the cylinder 14. When the pressures applied to the upper and lower surfaces of the piston 17 are equal, the piston 17 exists in the neutral position of the piston support spring 15. If there is a difference in pressure applied to the upper and lower surfaces, the piston 17 moves to a position where the resultant force due to the pressure difference and the spring force of the piston support spring 15 are balanced.
【0026】ピストン17の上面端部にはピストン側電
気接点29が取り付けられている。このピストン側電気
接点29の上方のシリンダ14内面には、シリンダ側電
気接点27が取り付けられている。ピストン17が圧力
差で上方へ移動すると、ピストン側電気接点29とシリ
ンダ側電気接点27が接触するようになっている。この
ピストン側電気接点29とシリンダ側電気接点27と
は、外部配線39a,39bを介して2つの電気接点2
7,29と共にピストン変位検出手段21を構成するピ
ストン変位検出回路23に接続されている。A piston-side electric contact 29 is attached to the upper end of the piston 17. A cylinder-side electric contact 27 is attached to the inner surface of the cylinder 14 above the piston-side electric contact 29. When the piston 17 moves upward due to the pressure difference, the piston side electrical contact 29 and the cylinder side electrical contact 27 come into contact with each other. The piston-side electric contact 29 and the cylinder-side electric contact 27 are connected to each other via the external wirings 39a and 39b.
7 and 29 are connected to a piston displacement detection circuit 23 that constitutes a piston displacement detection means 21.
【0027】このピストン変位検出回路23は、上述の
2つの電気接点27,29で生ずるいわゆる接点信号を
適宜な電圧信号に変化するもので、その出力信号は制御
器25に接続され、圧力変化に対する警報の発生及び表
示に供されるようになっている。図2には、これらピス
トン変位検出回路23及び制御器25の一構成例が示さ
れており、同図を参照しつつこの一構成例について説明
すれば、先ず、ピストン変位検出回路23は、信号変換
回路23a及び比較器23bとを有して構成されてい
る。The piston displacement detection circuit 23 changes a so-called contact signal generated at the above-mentioned two electric contacts 27, 29 into an appropriate voltage signal, the output signal of which is connected to the controller 25 and responds to a pressure change. It is designed to be used for alarm generation and display. FIG. 2 shows a configuration example of the piston displacement detection circuit 23 and the controller 25. The configuration example of the piston displacement detection circuit 23 will be described with reference to FIG. It is configured to have a conversion circuit 23a and a comparator 23b.
【0028】信号変換回路23aは、2つの電気接点2
7,29で生ずるいわゆる接点信号を適宜な電圧信号に
変換するための回路で、接点のいわゆるチャタリング等
により生ずるノイズを除去する波形成形機能と接点信号
を電圧信号に変換する機能とを有しているなるものであ
る。比較器23bは、信号変換回路23aから先のピス
トン側電気接点29とシリンダ側電気接点27が接触し
たことに対応する電圧信号が出力された否かを判定する
もので、ピストン側電気接点29とシリンダ側電気接点
27が接触したと判定された時には、一定レベルの信号
を制御器25に出力するようになっている。The signal conversion circuit 23a includes two electric contacts 2
A circuit for converting a so-called contact signal generated at 7, 29 into an appropriate voltage signal, and having a waveform shaping function for removing noise caused by so-called chattering of the contact and a function for converting the contact signal into a voltage signal. It must be The comparator 23b determines whether or not a voltage signal corresponding to the contact between the piston side electric contact 29 and the cylinder side electric contact 27 is output from the signal conversion circuit 23a. When it is determined that the cylinder side electrical contact 27 is in contact, a signal of a constant level is output to the controller 25.
【0029】一方、制御器25は、警報駆動回路25a
及びこの駆動警報回路25aによって駆動される警報灯
(又は警報ブザー)25bから構成されており、警報駆
動回路25aに上述した比較器23bから一定レベルの
電圧信号が入力されることにより、警報灯(又は警報ブ
ザー)25bに通電が行われ警報灯25bが点灯し(又
は警報ブザーが鳴動し)、使用者に所定の圧力変化が生
じたことが解るようになっている。On the other hand, the controller 25 includes an alarm drive circuit 25a.
And a warning light (or a warning buzzer) 25b driven by the driving warning circuit 25a. When the voltage signal of a constant level is input from the comparator 23b described above to the warning driving circuit 25a, the warning light ( Alternatively, the alarm buzzer 25b is energized and the alarm lamp 25b is turned on (or the alarm buzzer sounds), so that the user can know that a predetermined pressure change has occurred.
【0030】図1に示されている気密容器3の気密検査
について説明する。まず、被検査気密容器3に圧力差検
出器1の上端をつなぐ。なお、この圧力差検出器1に
は、ポート短絡管路31が付設されている。ポート短絡
管路31は、圧力差検出器本体11のAポート13とB
ポート19とを結ぶ管路である。このポート短絡管路3
1の途中には、エコライジングバルブ33が取り付けら
れている。エコライズライジングバルブ33を開くと、
検出器本体11のポートA13とポートB19とは、ほ
ぼ無抵抗で連結される。エコライジングバルブ33を閉
じると、両ポートの連絡はなくなる。一方、圧力差検出
器1の下端にも検査圧力供給手段5(ガスボンベ等)が
連結される。The airtightness inspection of the airtight container 3 shown in FIG. 1 will be described. First, the upper end of the pressure difference detector 1 is connected to the airtight container 3 to be inspected. A port short-circuit pipe 31 is attached to the pressure difference detector 1. The port short-circuit conduit 31 is connected to the A port 13 and the B
It is a conduit connecting to the port 19. This port short circuit line 3
In the middle of 1, an eco-raising valve 33 is attached. When the Equalize Rising Valve 33 is opened,
The port A13 and the port B19 of the detector body 11 are connected with almost no resistance. When the eco-rising valve 33 is closed, there is no communication between both ports. On the other hand, the inspection pressure supply means 5 (gas cylinder or the like) is also connected to the lower end of the pressure difference detector 1.
【0031】このようにしておいて、エコライジングバ
ルブ33を開いて、検査圧力を被検査気密容器3に導入
する。圧力導入が終了した時点でエコライズライジング
バルブ33を閉じ、その後一定検査時間の経過を待つ。
その間に、もし被検査気密容器3に圧力もれがあるよう
であれば、それに連通している圧力差検出器1のシリン
ダ14上部室の圧力が下がる。そうすると、ピストン1
7が上に移動して、電気接点29と27とが接し、圧力
差発生を検出する。そのような事態となれば、被検査気
密容器3は気密検査不合格となる。In this way, the eco-raising valve 33 is opened and the inspection pressure is introduced into the airtight container 3 to be inspected. When the pressure introduction is completed, the equalizing rising valve 33 is closed, and then a certain inspection time elapses.
In the meantime, if there is a pressure leak in the airtight container 3 to be inspected, the pressure in the upper chamber of the cylinder 14 of the pressure difference detector 1 communicating therewith is lowered. Then, piston 1
7 moves upward, the electric contacts 29 and 27 come into contact with each other, and the pressure difference occurrence is detected. In such a case, the airtight container 3 to be inspected fails the airtight inspection.
【0032】ここで説明した検査方法によれば、圧力の
測定・記録を行うことなく、自動的に多数の被検査気密
容器の気密検査を行うことができる。したがって検査に
かかる労力を著しく低減できる。According to the inspection method described here, it is possible to automatically perform the airtight inspection of a large number of airtight containers to be inspected without measuring and recording the pressure. Therefore, the labor required for the inspection can be significantly reduced.
【0033】次に、図2の実施例について説明する。図
2は、アナログ量としてのピストン変位検出が可能なタ
イプの圧力差検出器の一実施例を示す図である。なお、
図1に示された実施例と同一の構成要素については、同
一の符号を付すこととし、その詳細な説明を省略し、以
下、異なる点を中心に説明するものとする。Next, the embodiment shown in FIG. 2 will be described. FIG. 2 is a diagram showing an embodiment of a pressure difference detector of the type capable of detecting piston displacement as an analog quantity. In addition,
The same components as those of the embodiment shown in FIG. 1 are designated by the same reference numerals, detailed description thereof will be omitted, and different points will be mainly described below.
【0034】この実施例は、ピストン変位検出手段とし
て静電容量式非接触変位センサを用いたものである。す
なわち、本実施例における静電容量式非接触変位センサ
35は、ピストン17の上面端部に設けられたピストン
側電極36と、シリンダ14の内周面に突設された支持
片38に固着された固定側電極37とを有してなるもの
で、ピストン側電極36及び固定側電極37とも、平板
電極に形成されており、ピストン側電極36と固定側電
極37との距離に応じて静電容量が変化するようになっ
ているものである。In this embodiment, a capacitance type non-contact displacement sensor is used as the piston displacement detecting means. That is, the capacitance-type non-contact displacement sensor 35 in the present embodiment is fixed to the piston-side electrode 36 provided on the upper end of the piston 17 and the supporting piece 38 protruding from the inner peripheral surface of the cylinder 14. The fixed-side electrode 37 and the fixed-side electrode 37 are formed. Both the piston-side electrode 36 and the fixed-side electrode 37 are formed as flat plate electrodes, and electrostatic charges are generated according to the distance between the piston-side electrode 36 and the fixed-side electrode 37. The capacity is designed to change.
【0035】そして、ピストン側電極36は、図示され
ない接続線を介して外部配線39aに接続され、この外
部配線39aを介してピストン変位検出回路40に接続
される一方、シリンダ側電極37は他の外部配線39b
を介してピストン変位検出回路40に接続されている。
ピストン変位検出回路40は、静電容量式非接触変位セ
ンサ35の静電容量変化を電圧信号の変化に変換するも
ので、例えば、図3に一例が示されたように、この種の
センサに一般的に用いられている回路構成を有するもの
である。The piston side electrode 36 is connected to an external wiring 39a via a connection line (not shown), and is connected to the piston displacement detection circuit 40 via this external wiring 39a, while the cylinder side electrode 37 is connected to the other side. External wiring 39b
It is connected to the piston displacement detection circuit 40 via.
The piston displacement detection circuit 40 converts a change in capacitance of the capacitance-type non-contact displacement sensor 35 into a change in voltage signal. For example, as shown in FIG. It has a commonly used circuit configuration.
【0036】図3に示された回路例を概略的に説明すれ
ば、本実施例のピストン変位検出回路40は、ダイオー
ドD1 〜D4 及び発振器41を用いていわゆるリング回
路が構成されてなるもので、静電容量式非接触変位セン
サ35と直列に接続された調整用コンデンサC2 を調節
することで、出力レベルを変え得るようになっているも
のである。To briefly explain the circuit example shown in FIG. 3, the piston displacement detection circuit 40 of this embodiment is a so-called ring circuit constructed by using the diodes D1 to D4 and the oscillator 41. The output level can be changed by adjusting the adjusting capacitor C2 connected in series with the capacitance type non-contact displacement sensor 35.
【0037】具体的な調整の仕方としては、先ず、既に
説明したように、エコライジングバルブ33を調整して
気密容器3と検査圧力供給手段5との圧力が等しくなる
ようにする。同時に調節用コンデンサC2 を調節し、ピ
ストン変位検出回路40の出力レベルが零となるように
する。そして、この後、もし被検査気密容器3に圧力も
れが生じ、その圧力もれの度合に応じてピストン17が
移動することにより、ピストン変位検出回路40の出力
レベルが零から変化することとなり、そのレベルの大き
さによってピストン17の変位量、すなわち、被検査気
密容器3の圧力変化量を知ることができるようになって
いる。As a concrete adjustment method, first, as already described, the ecological valve 33 is adjusted so that the pressures of the airtight container 3 and the inspection pressure supply means 5 become equal. At the same time, the adjusting capacitor C2 is adjusted so that the output level of the piston displacement detection circuit 40 becomes zero. After that, if a pressure leak occurs in the airtight container 3 to be inspected and the piston 17 moves according to the degree of the pressure leak, the output level of the piston displacement detection circuit 40 changes from zero. The amount of displacement of the piston 17, that is, the amount of change in pressure of the airtight container 3 to be inspected can be known by the magnitude of the level.
【0038】図4には本実施例における制御器42の一
例が示されており、以下、同図を参照しつつこの制御器
42について説明する。この制御器42は、ピストン変
位検出回路40の出力信号を後段の回路における処理に
適した信号形式及びレベルに変換する電圧変換回路43
と、この電圧変換回路43の出力レベルと予め設定され
た閾値との比較を行う比較器44と、この比較器44か
ら一定の出力信号が出力された時に警報灯(又は警報ブ
ザー)46を駆動する警報駆動回路45と、先の電圧変
換回路43の出力信号をアナログ・ディジタル変換する
アナログ・ディジタル変換器(図4においては「A/
D」と略記すると共に、以下、「A/D変換器」と言
う。)47と、予め調べた被検査気密容器3における圧
力変化とA/D変換器47を介したピストン変位検出回
路40の出力変化との関係が記憶された記憶回路48
と、A/D変換器47の出力データと記憶回路48との
データに基づいて圧力の変化量を判定し、個々の変化量
に対応した信号を出力する判定回路49と、この判定回
路49の出力データに応じて判定回路49において判定
された圧力変化量を数値表示するための表示駆動回路5
0と、を具備してなるものである。FIG. 4 shows an example of the controller 42 in this embodiment, and the controller 42 will be described below with reference to the figure. This controller 42 converts the output signal of the piston displacement detection circuit 40 into a signal format and level suitable for processing in the circuit at the subsequent stage.
And a comparator 44 that compares the output level of the voltage conversion circuit 43 with a preset threshold value, and drives a warning lamp (or a warning buzzer) 46 when a constant output signal is output from the comparator 44. Alarm driving circuit 45 and an analog / digital converter for analog-digital converting the output signal of the voltage conversion circuit 43 (in FIG. 4, "A /
It is abbreviated as "D" and hereinafter referred to as "A / D converter". ) 47 and a storage circuit 48 in which the relationship between the pressure change in the airtight container 3 to be inspected and the output change of the piston displacement detection circuit 40 via the A / D converter 47 is stored.
And a determination circuit 49 that determines the amount of change in pressure based on the output data of the A / D converter 47 and the data of the storage circuit 48 and outputs a signal corresponding to each amount of change. Display drive circuit 5 for numerically displaying the pressure change amount determined by the determination circuit 49 according to the output data.
0 is provided.
【0039】比較器44に設定される閾値は、電圧変換
回路43を介してピストン変位検出回路40により検出
された被検査気密容器3の圧力変化量が、許容される量
を越えることとなる際の値が設定されており、電圧変換
回路43の出力電圧がこの閾値をこえると比較器44
は、例えば、ワンショットトリガー信号を出力するよう
になっているものである。そして、警報駆動回路45
は、比較器44からワンショットトリガー信号が入力さ
れた時に、警報灯46を点灯(又は警報ブザーを鳴ら
す)するため必要な駆動電流を通電するようになってい
るものである。The threshold value set in the comparator 44 is used when the pressure change amount of the inspected hermetic container 3 detected by the piston displacement detection circuit 40 via the voltage conversion circuit 43 exceeds the allowable amount. Is set, and when the output voltage of the voltage conversion circuit 43 exceeds this threshold value, the comparator 44
Is, for example, one that outputs a one-shot trigger signal. And the alarm drive circuit 45
When a one-shot trigger signal is input from the comparator 44, the drive current required to turn on the alarm lamp 46 (or sound the alarm buzzer) is supplied.
【0040】記憶手段としての記憶回路48は例えば、
RAMやEEPROMに代表される記憶素子からなるも
ので、先に概説したように、被検査気密容器3の圧力が
変化した際における、ピストン変位検出回路40の出力
変化を、A/D変換器47の出力データで予め調べてお
き、このA/D変換器47の出力データと圧力変化量を
対応づけた対応表に相当するデータを記憶させておくも
のである。The storage circuit 48 as storage means is, for example,
It is composed of a memory element represented by RAM or EEPROM, and as outlined above, changes in the output of the piston displacement detection circuit 40 when the pressure of the airtight container 3 to be inspected changes are detected by the A / D converter 47. The data corresponding to the output data of the A / D converter 47 and the pressure change amount are associated with each other and stored in advance.
【0041】判定手段としての判定回路49は、記憶回
路48に記憶されたデータを読み出し、A/D変換器4
7の出力データと比較することによって、被検査気密容
器3の圧力変化量が記憶回路48に記憶された圧力変化
量のいずれに該当するかを判定するもので、対応する圧
力変化量に応じた電圧信号(又はディジタル信号)を出
力するようになっているものである。そして、表示駆動
回路50は、判定回路49から出力された信号に基づい
て、例えば、図示されない液晶表示素子に圧力変化量を
数値表示するようになっているものである。The judging circuit 49 as a judging means reads the data stored in the memory circuit 48 and outputs the data to the A / D converter 4
By comparing the output data of No. 7 with the output data of No. 7, it is determined which of the pressure change amounts stored in the storage circuit 48 the pressure change amount of the inspected hermetic container 3 corresponds to. A voltage signal (or a digital signal) is output. Then, the display drive circuit 50 is configured to numerically display the pressure change amount on a liquid crystal display element (not shown) based on the signal output from the determination circuit 49.
【0042】尚、上述の実施例においては、ピストン変
位検出回路40における出力レベルを調整用コンデンサ
C2 を調節することにより、被検査気密容器3の圧力変
化がない状態において零となるようにしたが、必ずしも
零である必要はなく、零以外の一定値を基準レベルとす
るようにしても良いことは勿論であり、この場合、当然
に記憶回路48におけるデータも基準レベルのシフトに
対応して変えなければならないものである。In the above embodiment, the output level in the piston displacement detection circuit 40 is adjusted to zero by adjusting the adjusting capacitor C2, while there is no pressure change in the airtight container 3 to be inspected. Of course, it is not always necessary to set the reference level to zero, and it goes without saying that a constant value other than zero may be set as the reference level. It must be.
【0043】[0043]
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
は以下の効果を発揮する。 1. 本発明圧力差検出器は、構造がシンプルで、安価に
製造することができる。 2. ON−OFF動作用、あるいはある程度の定量的圧
力差検出にも適用可能な圧力差検出器を提供できる。 3. 気密容器の気密度の検査用に適した圧力差検出器を
提供できる。 4. ポート圧エコライズ手段を具備する圧力差検出器に
おいては、零点を調整あるいは認識するのが容易にな
る。As is apparent from the above description, the present invention exhibits the following effects. 1. The pressure difference detector of the present invention has a simple structure and can be manufactured at low cost. 2. It is possible to provide a pressure difference detector applicable for ON-OFF operation or to some extent quantitative pressure difference detection. 3. A pressure difference detector suitable for checking the airtightness of an airtight container can be provided. 4. In the pressure difference detector equipped with the port pressure equalizing means, it becomes easy to adjust or recognize the zero point.
【図1】本発明の一実施例に係る圧力差検出器と、その
圧力差検出器を用いて気密容器の洩れ検査を行っている
状態を示す図である。FIG. 1 is a diagram showing a pressure difference detector according to an embodiment of the present invention and a state in which a leak inspection of an airtight container is performed using the pressure difference detector.
【図2】図1におけるピストン変位検出回路及び制御器
の一構成例を示す構成図である。FIG. 2 is a configuration diagram showing a configuration example of a piston displacement detection circuit and a controller in FIG.
【図3】アナログ量としてのピストン変位検出が可能な
タイプの圧力差検出器の一実施例を示す図である。FIG. 3 is a diagram showing an embodiment of a pressure difference detector of a type capable of detecting piston displacement as an analog amount.
【図4】図3におけるピストン変位検出回路の一回路例
を示す回路図である。FIG. 4 is a circuit diagram showing a circuit example of a piston displacement detection circuit in FIG.
【図5】図3における制御器の一構成例を示す構成図で
ある。5 is a configuration diagram showing a configuration example of a controller in FIG.
1 圧力差検出器 31 ポート短絡管
路 3 被検査機密容器 33 エコライズラ
イジングバルブ 5 検査圧力供給手段 35 静電容量式非
接触変位センサ 11 検出器本体 36 ピストン側
電極 13 Aポート 37 シリンダ側
電極 14 シリンダ 40 ピストン変
位検出回路 15 ピストン支持バネ (図3の実
施例) 17 ピストン 42 制御器 18 シール (図3の実
施例) 19 Bポート 43 電圧変換回
路 21 ピストン変位検出手段 44 比較器 23 ピストン変位検出回路 45 警報駆動回
路 25 制御器 48 記憶回路 27 シリンダ側電気接点 49 判定回路 29 ピストン側電気接点1 Pressure Difference Detector 31 Port Short Circuit Pipe 3 Confidential Container to be Inspected 33 Equalizing Rising Valve 5 Inspection Pressure Supply Means 35 Capacitance Non-Contact Displacement Sensor 11 Detector Main Body 36 Piston Side Electrode 13 A Port 37 Cylinder Side Electrode 14 Cylinder 40 Piston displacement detection circuit 15 Piston support spring (Example of FIG. 3) 17 Piston 42 Controller 18 Seal (Example of FIG. 3) 19 B port 43 Voltage conversion circuit 21 Piston displacement detection means 44 Comparator 23 Piston displacement detection Circuit 45 Alarm drive circuit 25 Controller 48 Memory circuit 27 Cylinder side electrical contact 49 Judgment circuit 29 Piston side electrical contact
Claims (8)
リンダ内を摺動可能に設けられたピストンと、 シリンダのピストンをはさんだ両端部に設けられた、各
々独立に圧力媒体を取込み・吐出し可能な2つのポート
と、 ピストンをシリンダに対して弾性支持するピストン支持
部材と、 ピストンのシリンダ内における変位を検出するピストン
変位検出手段と、 を具備することを特徴とする圧力差検出器。1. A cylinder for receiving a pressure medium, a piston for partitioning the interior of the cylinder in a pressure-tight manner, the piston being slidably provided in the cylinder, and the pistons provided at both ends sandwiching the piston of the cylinder. , Two ports capable of independently taking in and discharging the pressure medium, a piston support member for elastically supporting the piston with respect to the cylinder, and a piston displacement detection means for detecting displacement of the piston in the cylinder A pressure difference detector characterized in that
の変位が一定のしきい値を越えた場合にONまたはOF
Fの電気信号を発するものである請求項1記載の圧力差
検出器。2. The piston displacement detection means is ON or OF when the piston displacement exceeds a certain threshold value.
The pressure difference detector according to claim 1, which emits an electric signal of F.
シリンダ側電気接点と接触可能なピストン側電気接点
と、 両接点の接触時に一定レベルの信号を出力するピストン
変位検出回路と、 を有するものである請求項1記載の圧力差検出器。3. A piston side electrical contact, wherein the piston displacement detecting means is provided inside the cylinder, and a piston side electrical contact provided on the piston and capable of contacting the cylinder side electrical contact as the piston moves. 2. The pressure difference detector according to claim 1, further comprising: a piston displacement detection circuit that outputs a signal of a constant level when both contacts are in contact.
と、 この検出値を伝送可能な信号に変換する手段と、 を有するものである請求項1記載の圧力差検出器。4. The pressure according to claim 1, wherein the piston displacement detecting means includes means for detecting the displacement of the piston as an analog value and means for converting the detected value into a transmittable signal. Difference detector.
るポート圧エコライズ手段をさらに具備する請求項1記
載の圧力差検出器。5. The pressure difference detector according to claim 1, further comprising port pressure equalizing means for equalizing the pressures of the two ports.
る短絡管路と、 この短絡管路を開閉するバルブと、 を有するものである請求項1記載の圧力差検出器。6. The port pressure equalizing means has a short circuit conduit for short-circuiting the two ports through which the pressure medium can pass, and a valve for opening and closing the short circuit conduit. The pressure difference detector described.
の入力を受け、このときのピストンの位置信号を零点と
して記憶する記憶手段をさらに具備する請求項1記載の
圧力差検出器。7. The pressure difference detector according to claim 1, further comprising storage means for receiving a signal indicating that the pressures of both ports are equal and storing the piston position signal at this time as a zero point.
出力信号と2つのポートの圧力差との関係が記憶され、
この記憶されたデータが任意に読み出し可能な記憶手段
と、ピストン変位検出手段の出力信号と前記記憶手段の
記憶データとから2つのポートの圧力差を判定する判定
手段と、を具備してなる請求項1記載の圧力差検出器。8. A relationship between a pre-measured output signal of the piston displacement detecting means and a pressure difference between the two ports is stored,
A storage means capable of arbitrarily reading the stored data, and a determination means for determining a pressure difference between two ports from an output signal of the piston displacement detection means and the storage data of the storage means. Item 1. The pressure difference detector according to item 1.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16292994A JPH085490A (en) | 1994-06-22 | 1994-06-22 | Pressure difference detector |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16292994A JPH085490A (en) | 1994-06-22 | 1994-06-22 | Pressure difference detector |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH085490A true JPH085490A (en) | 1996-01-12 |
Family
ID=15763925
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16292994A Pending JPH085490A (en) | 1994-06-22 | 1994-06-22 | Pressure difference detector |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH085490A (en) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015535915A (en) * | 2012-10-09 | 2015-12-17 | ガズトランスポール エ テクニガズGaztransport Et Technigaz | Sealed insulation tank for containing pressurized cryogenic fluid |
| CN105424270A (en) * | 2015-12-03 | 2016-03-23 | 山西汾西重工有限责任公司 | Underwater detector overpressure alarm device |
| CN107607269A (en) * | 2017-09-20 | 2018-01-19 | 双良节能系统股份有限公司 | A kind of oily salt heat exchanger tube head leakage or the detection means and detection method of booster |
| CN108692892A (en) * | 2018-06-28 | 2018-10-23 | 芜湖泰和管业股份有限公司 | A kind of device for detecting airtightness of corrugated tube and detection method |
| CN111840089A (en) * | 2020-08-05 | 2020-10-30 | 南京法迈特科技发展有限公司 | Monitoring device for nutrition conveying pipe blocking |
-
1994
- 1994-06-22 JP JP16292994A patent/JPH085490A/en active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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