JPH0843487A

JPH0843487A - 搬送装置

Info

Publication number: JPH0843487A
Application number: JP20013894A
Authority: JP
Inventors: Takeshi Ariga; 剛有賀; Kunihiro Furuya; 邦浩古屋
Original assignee: Tokyo Electron Ltd; Tokyo Electron Yamanashi Ltd
Current assignee: Tokyo Electron Ltd; Tokyo Electron Yamanashi Ltd
Priority date: 1994-08-01
Filing date: 1994-08-01
Publication date: 1996-02-16

Abstract

(57)【要約】【目的】静電気による被搬送物（あるいは被検査物）
の破壊を防止し、耐久性が大きく、被搬送物（あるいは
被検査物）の姿勢に影響されずに安定して吸着、解放動
作を行うことができる。【構成】例えばリード端子Ｒを備えたデバイス１０を
吸着保持してソケット部２に搬送し、搬送装置によりデ
バイス１０をソケット部２に装着したままデバイス１０
を検査するにあたって、吸着保持部本体４０の下面にガ
イド面７３を形成すると共に、ガイド面７３の中央部か
ら吸引孔８３を備えた金属製の吸着パッド８をガイド面
７３より僅かに突出させ、吸着パッドがガイド体７２に
対して圧縮バネ８２の弾性力に抗して上下動可能にかつ
軸芯に対して傾倒可能な構造とする。また吸着保持部本
体４０の第１部分４に加熱部６３を設け、その熱が第２
部分５を介してデバイス１０に伝熱するように構成す
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、例えばパッケージング
されたデバイスを検査などのために搬送する搬送装置に
関する。

【０００２】

【従来の技術】パッケージングされたデバイスは、電気
的特性について試験されるが、この種の検査装置として
は、デバイスの電気的特性を試験するテスタとデバイス
をハンドリングする装置とを組み合わせたシステムが用
いられている。そしてデバイスを検査する方式として
は、ソケット部にデバイスのリード端子（ピン）を装着
し、ソケット部側の電極を介してソケット部の下方のテ
ストヘッドとデバイスとを電気的に接続する方式が知ら
れている。ソケット方式の検査装置では、デバイスを搬
入側トレーから予備加熱部へ搬送して予備加熱し、次い
で供給用整列部へ一旦移載した後ソケット部へ搬送し、
ここで所定の電気的特性を試験した後収納用整列部へ一
旦移載し、その後検査結果に応じて搬出用トレーに分類
搬送するようにしている。

【０００３】ここで供給用整列部からソケット部へデバ
イスを吸着して搬送する搬送装置は、Ｘ、Ｙ、Ｚ方向に
移動自在な移動機構を検査装置の上部に設け、この移動
機構の下方側に吸着保持部を取り付けて構成されてい
る。吸着保持部は、吸引孔が形成されたゴム製の吸着パ
ッドや金属ベローズなどを下面に備え、デバイスの上面
に密着して前記吸引孔による吸引によりデバイスを吸着
保持するように構成されており、デバイスを吸着保持し
たままソケット部に装着し試験が行われる。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら従来の搬
送装置において、ゴム製の吸着パッドを吸着保持部とし
て用いる場合にはデバイスのパッケージが樹脂のモール
ド体であるため、吸着パッドとパッケージとの接触によ
り静電気が発生し、デバイスが静電破壊することがあっ
たし、また吸着パッドが柔らかいため収納用整列部にて
デバイスが着地したときにデバイスの姿勢が大きく崩れ
その状態で解放されるため、デバイスの姿勢が、整列す
ることのできる許容範囲を越えてしまいその後の搬送に
支障をきたすという問題があった。

【０００５】一方金属ベローズを用いた場合には、吸着
面に柔軟性がないためデバイスが傾いていると吸着でき
ずに取りそこなうことがあったし、また繰り返し使用す
ると復元力が低下し、デバイスがわずかに傾いていても
吸着面がデバイスの上面に密着しなくなるのでデバイス
の吸着失敗のおそれが大きかった。更にはデバイスを加
熱するにあたって、金属ベローズに加熱部を設け、金属
ベローズを通じてデバイスを加熱するようにしているた
め、デバイスの外形が大きくなると金属ベローズの外径
も大きくする必要があった。

【０００６】本発明は、このような事情のもとになされ
たものであり、その目的は静電気による被搬送物または
被検査物の破壊のおそれがなくて、耐久性が大きくしか
も被搬送物または被検査物の姿勢に影響されずに安定し
て吸着、解放動作を行うことができる搬送装置を提供す
ることにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】請求項１の発明は、被搬
送物を吸着保持して搬送する搬送装置において、下面が
被搬送物の上面をガイドするガイド面をなす吸着保持部
本体と、この吸着保持部本体内に、下限位置が規制さ
れ、下限位置にあるときには前記ガイド面より下方側に
僅かに突出し、上下動可能にかつ吸着保持部本体の軸芯
に対して傾倒可能に嵌入されると共に、吸着機能を備え
た金属製の吸着パッドと、前記吸着保持部本体及び吸着
パッド間の隙間に設けられた導電性の弾性体と、を備え
たことを特徴とする。

【０００８】請求項２の発明は、端子部を備えた被検査
物を吸着保持して、前記端子部が検査位置の電極に接触
する位置まで搬送し、被検査物を検査位置にて吸着保持
したまま被検査物の検査が行われる搬送装置において、
下面が被検査物の上面をガイドするガイド面をなす吸着
保持部本体と、この吸着保持部本体内に、下限位置が規
制され、下限位置にあるときには前記ガイド面より下方
側に僅かに突出し、上下動可能にかつ吸着保持部本体の
軸芯に対して傾倒可能に嵌入されると共に、吸着機能を
備えた金属製の吸着パッドと、前記吸着保持部本体及び
吸着パッド間の隙間に設けられた導電性の弾性体と、を
備え、前記吸着パッドが被検査物を吸着したときに、ガ
イド面が被検査物の上面に接触する位置まで吸着パッド
が後退することを特徴とする。ことを特徴とする。

【０００９】請求項３の発明は、請求項２記載の発明に
おいて、被検査物の端子部はリード端子であり、吸着保
持部本体は、吸着保持した被検査物のリード端子をガイ
ドするガイド部を備えていることを特徴とする。請求項
４の発明は、請求項２または３記載の発明において、吸
着保持部本体内に加熱部を設け、この加熱部よりの熱を
前記吸着保持部本体を介して被検査物に伝熱する構造と
したことを特徴とする。

【００１０】請求項５の発明は、請求項１、２、３また
は４記載の発明において、吸着保持部本体は、上部側の
第１部分と、この下面が被検査物の上面をガイドするガ
イド面をなし、前記第１部分の下部側に位置する第２部
分とに分割され、前記第２部分は第１部分に対し、軸芯
方向及び軸芯に直交する方向に僅かな遊びをもって嵌合
された状態で連結されると共に、前記第１部分が第２部
分を相対的に押圧していないときにはこれらの相対位置
を所定の位置に復帰させるために第１部分及び第２部分
間に弾性体を介装したことを特徴とする。

【００１１】請求項６の発明は、請求項１、２、３、４
または５記載の発明において、ガイド面の周縁部には被
検査物の上縁部をガイドする段部が形成されていること
を特徴とする。請求項７の発明は、請求項１、２、３、
４、５または６記載の発明において、吸着パッドは吸着
面に開口する吸引孔を備えていることを特徴とする。

【００１２】

【作用】請求項１の発明では、吸着パッドが被搬送物の
上面に接触し、このとき被搬送物が吸着パッドの吸着面
に対して傾いている場合吸着パッドが弾性体の弾性力に
抗して被搬送物の上面に沿って傾き、当該上面に密着す
る。請求項２の発明では吸着パッドが被検査物を吸着保
持して検査位置例えばソケット部まで搬送し、吸着保持
部本体は被検査物を検査位置に対して押圧する。これに
より被検査物の例えばリード端子が電極と確実に接触
し、電気的測定が行われる。

【００１３】このような吸着パッドを用いることにより
被搬送物あるいは被検査物の姿勢にかかわらず確実に吸
着することができ、静電気による破壊も起こらない。ま
た吸着解放時も吸着パッドが硬いため常に一定の姿勢で
解放される。そして請求項５の発明のように第１部分及
び第２部分が相対的に微少量動くようにすれば移動機構
の位置精度を緩和することができる。更に被検査物の加
熱を行う場合ガイド面を介して加熱することにより被検
査物の外形によらず安定した加熱が行える。

【００１４】

【実施例】以下に本発明を、半導体集積回路チップをパ
ッケージングしてなるデバイスの検査装置に適用した一
例について述べる。図１はデバイスの検査装置の全体構
成を示す図であり、本発明の実施例に係る搬送装置を説
明する前に検査装置の概要について簡単に述べると、装
置の正面側（図１では裏側）には４個のトレー載置部１
Ａ〜１ＤがＸ方向に沿って配置されている。ただし実際
には各トレー載置部１Ａ〜１Ｄには複数のトレーが載置
されている。

【００１５】前記トレー載置部１Ａ、１Ｂの奥側にはこ
れらに対向して予備加熱板１１が設けられ、予備加熱板
１１の横には、供給用整列部１２及び収納用整列部１３
が一体的にＸレール１４にガイドされつつ図示しない駆
動機構に移動されるようになっている。なおトレーＴ及
び予備加熱板１１には夫々デバイス１０を収納する凹部
Ｔａ、１１ａが形成されており、前記整列部１２、１３
は、凹部１５を備えていて、この中にデバイス１０が入
れられると自動的に水平姿勢で所定の向きにアライメン
ト（位置合わせ）された状態に置かれることになる。

【００１６】トレー載置部１Ａ上のトレーＴ内のデバイ
ス１０は、４個の吸着保持部１６ａを備えたローダ１６
により４個同時に予備加熱板１１に移載されて予備加熱
され、次いで供給整列部１２に搬送される。前記整列部
１２、１３の移動領域からトレー載置部１Ａ〜１Ｄとは
反対側のＹ方向に離れた検査位置には、リング状の保持
体２０に保持され、電極２１を備えたソケット部２が設
けられると共に（図１、図２参照）、デバイス１０を上
面から保持し、このソケット部２と整列部１２、１３と
の間で搬送する本発明の実施例である搬送装置３が設け
られている。前記ソケット部２は、デバイス１０のリー
ド端子Ｒが接触してその下方のテストヘッド（図示せ
ず）にリード端子Ｒを電気的に接続する役割を有するも
のである。検査後のデバイス１０は収納用整列部１３に
搬送された後、前記ローダ１６と同様に４個の吸着保持
部１７ａを備えたアンローダ１７により検査結果に応じ
てトレー載置部１Ｃ、１Ｄ上のトレーＴに分類して搬送
される。

【００１７】次に本発明の実施例である搬送装置３につ
いて詳述すると、この搬送装置は図示しないＸ−Ｙ移動
機構により各々独立してＸ、Ｙ方向に移動可能な搬送部
３Ａ、３Ｂを有し、各搬送部３Ａ、３Ｂは２個同時にデ
バイス１０を吸着保持し、かつ昇降させることができる
ように構成されている。即ち図２は搬送部３Ａ（３Ｂ）
の概観を示す図であり、３１は、図示しないＸ−Ｙ移動
機構に設けられたシリンダ取り付け板である。このシリ
ンダ取り付け板３１には、夫々ピストン部３０が貫通さ
れている２本のエアシリンダ３２、３２が固定され、こ
のピストン部３０の下端には、図３、図４に示すように
下端部にフランジ４１が形成された、吸着保持部本体４
０の上側部分である筒状の第１部分４が設けられてい
る。

【００１８】シリンダ取り付け板３１は、図示しないが
鉛直方向に伸縮する引張りバネを介して、搬送部３Ａ
（３Ｂ）の一部３１ｂに固定された固定板３１ａに結合
されており、図示しない押圧手段によりピストン３０の
ヘッドが押圧されたときに固定板３１ａに対して引張り
バネに抗して押し下げられるように構成されている。

【００１９】この第１部分４には、軸芯方向及び軸芯に
直交する方向に僅かな遊びをもって嵌合された状態で、
吸着保持部本体４０の下側部分である第２部分５が連結
されている。即ち第２部分５は、前記フランジ４１が嵌
入される凹部５１が形成された受け部５２と、前記凹部
５１の開口縁を塞いでフランジ４１が抜けないようにす
るための蓋部５３とを有している。

【００２０】前記凹部５１の口径はフランジ４１の外径
よりも例えば０．１５ｍｍ大きく設定され、深さはフラ
ンジ４１の高さよりも例えば０．２ｍｍ大きく設定され
ている。また前記凹部５１の側壁部には、直径方向に互
いに対向する位置（２ヶ所）に図５に示すように上部が
Ｖ字形の溝５４が形成される一方、フランジ４１の側周
面には、前記溝５４内に突出し、その溝幅よりも僅かに
小さい直径の円柱状のピン４２が設けられている。この
ピン４２の径は、第１部分４が第２部分５に対して例え
ば±１度回転できる大きさに設定されている。

【００２１】前記受け部５２とフランジ４１との間に
は、フランジ４１の底面の周方向４等分の位置にて弾性
体例えば圧縮バネ６１が介装されており、第１部分４及
び第２部分５が相対的に押圧されていないときには圧縮
バネ６１の復元力により図６（ａ）に示すようにピン４
２が溝５４のＶ字形の上部に係入して、第２部分５が第
１部分４に対して規定位置に置かれる一方、両者が相対
的に押圧されたときには、受け部５２が浮上して既述し
た隙間の範囲で図６（ｂ）に示すように第１部分４が第
２部分５に対して揺動できることとなる。

【００２２】前記受け部５２の下部側には、外周面にネ
ジ部を有する小径部６２が形成され、この小径部６２の
中には例えば抵抗発熱体よりなる加熱部６３が設けられ
ている。小径部６２は下端に角形の突起部６４が形成さ
れており、この突起部６４には中間リング６５が密に外
嵌されている。そして小径部６２の周面には取り付けリ
ング６６が螺合しており、中間リング６５の上部のフラ
ンジが取り付けリング６６の下部の突縁部により小径部
６２に押し付けられている。

【００２３】前記中間リング６５の下部側には、中央に
軸方向に貫通孔７１が形成された角形のガイドブロック
７２が固定されており、このガイドブロック７２におけ
る貫通孔７１を囲む下面は、デバイス１０の上面をガイ
ドするガイド面７３を形成すると共に、ガイド面７３の
周縁にはデバイス１０の上縁部をガイドする段部７４が
形成されている。前記貫通孔７１内には、中間リング６
５の小径部６７が嵌入されると共に、小径部６７の下方
側には、金属製例えばステンレスよりなる円柱状の吸着
パッド８が小径部６７との間に例えば０．３ｍｍ程度の
隙間を介して上下動自在に貫通孔７１内に嵌入されてい
る。

【００２４】吸着パッド８の上端部にはフランジ８１が
形成されており、このフランジ８１が貫通孔７１内壁の
段部に係合し、これにより吸着パッド８の下限位置が規
制されると共に、吸着パッド８の外周面と貫通孔７１の
内壁との間にも僅かに隙間が形成され、吸着パッド８が
軸芯（吸着保持部本体４０の長手方向の軸）に対して傾
倒できるようになっている。吸着パッド８は下限位置に
あるときには前記ガイド面７２より僅かに例えば０．２
ｍｍ下方に突出している。また吸着パッド８と前記小径
部６７との間には弾性体である圧縮バネ８２が例えば周
方向に４等分した位置に夫々介装されている。図３中Ｏ
１、Ｏ２はＯリングである。

【００２５】前記ガイドブロックの下面側には、前記段
部７４を囲むようにデバイス１０のリード端子Ｒのガイ
ド部７５をなす突条部が形成されており、ガイド部７５
はリード端子Ｒの先端部に当接して、リード端子Ｒがソ
ケット部２に接触したときにその位置ずれを防止する役
割をもっている。前記吸着パッド８から受け部５２に亘
って吸着保持部本体４０の軸芯位置にて吸引孔８３が形
成されており、その下端は吸着パッド８の下面に開口す
ると共に上端は吸引管８４に連通している。吸引管８４
は図示しない真空ポンプに接続され、吸着パッド８がデ
バイス１０を真空吸着するようになっている。

【００２６】次に上述の搬送装置の作用について述べ
る。先ず図１にて既述したように搬送部３Ａ（３Ｂ）が
検査装置の天井部の図示しない移動機構により供給用整
列部１２内のデバイス１０を吸着保持する。この動作は
吸着保持部本体４０が降下して吸着パッド８がデバイス
１０の上面に密接し、吸引孔８３を通じて真空引きによ
りデバイス１０の上面が吸着パッド８に真空吸着され
る。この時吸着パッド８も圧縮バネ８２の弾性力に抗し
て吸引されデバイス１０の上面がガイド面７３と面一に
なる位置まで後退する。この場合加熱部６３の熱が中間
リング６５及びガイド体７２を介してデバイス１０に伝
熱され、デバイス１０が加熱される。その後搬送部３Ａ
（３Ｂ）がソケット部２の上まで移動し、エアシリンダ
３２（図２参照）により吸着保持部本体４０が降下して
デバイス１０が図３の鎖線の如くソケット部２の受け台
２２の上に載せられる。

【００２７】そして例えば図示しない押圧手段によりピ
ストン部３０の上端を押圧し、これにより吸着保持部本
体４０が吸着パッド８を介してデバイス１０をソケット
２側に押圧する。この結果リード端子Ｒの先端がソケッ
ト部２の電極２１に押し付けられて電気的接触がとられ
る。これによってデバイス１０がソケット部２を介して
図示しないテストヘッドと電気的に接続され、この状態
でつまり搬送部３Ａ（３Ｂ）によりデバイス１０をソケ
ット部２に装着したまま電気的測定が行われてデバイス
１０の良否が検査される。

【００２８】続いて吸着保持部本体４０は押圧が解除さ
れた後上昇し、搬送部３Ａ（３Ｂ）が収納用整列部１３
の上方まで移動し、吸着保持部本体４０が降下して真空
吸着を解除し、デバイス１０が収納用整列部１３内に受
け渡される。ただし実際には搬送部３Ａ（３Ｂ）はデバ
イス１０を２個保持しているので、順次ソケット部２に
て検査を行った後収納用整列部１３に搬送される。

【００２９】上述実施例によれば、デバイス１０が多少
傾いていても吸着パッド８がデバイス１０の上面に沿っ
て傾き、密着するため安定して吸着することができ、ま
た吸着パッド８自体は変形しないため吸着解放時にもデ
バイス１０の姿勢が安定し、このため次の搬送工程即ち
アンローダ１７による吸着保持工程も安定して行われ
る。そしてデバイス１０のソケット部２への装着時に
は、ガイド面７３、段部７４により夫々デバイスの上
面、上縁部がガイドされると共にリード端子Ｒもガイド
部７５をなす突条部によりガイドされているので、デバ
イス１０は水平姿勢かつ所定の向きで受け台２２の上に
載せられ各リード端子Ｒが確実に、対応する電極２１に
接触する。

【００３０】更に吸着パッド８は金属製であるから静電
気によるデバイス１０の破壊のおそれもないし、耐久性
も大きい。また加熱部６３から中間リング６５及びガイ
ド体７２を介して伝熱された熱によりデバイス１０が加
熱されるので、デバイス１０の外形が変わっても吸着パ
ッド８の径を変更することなく安定した加熱を行うこと
ができる。なおデバイス１０の外形が変わる場合、受け
部５２よりも下側の部分を交換するので、加熱部６３は
交換されずに各サイズのデバイスに対して共通であり、
従ってデバイス１０の温度測定データは初めに得ておけ
ばデバイス１０の外形の変更の度にとらなくて済む。

【００３１】また供給用整列部１２、ソケット部２及び
収納用整列部１３におけるデバイス１０の受け取り位
置、解放位置は高い精度が要求され、このため搬送部３
Ａ（３Ｂ）を正確にＸ、Ｙ方向に移動制御しなければな
らないが、吸着保持部本体４０を第１部分４及び第２部
分５に分割し、これらが相対的に僅かに揺動できかつ回
転できるように連結されているので、移動機構側とデバ
イスのアクセス位置との間で位置ずれが生じてもその位
置ずれを第１部分４と第２部分５との間の隙間で吸収さ
れるから、移動機構のＸ、Ｙガイド部の加工精度や停止
位置の精度を緩和することができる。

【００３２】以上において吸着保持部本体４０を押圧し
てデバイス１０をソケット部２に確実に接触させる押圧
手段としては、搬送部３Ａ（３Ｂ）とは別個のものであ
ってもよいし、搬送部３Ａ（３Ｂ）に組込んだものであ
ってもよい。また吸着保持部本体４０からデバイス１０
を吸着解除して吸着保持部本体４０をソケット部２から
退避させ、別個の押圧手段でデバイス１０を押圧しても
よい。なお被検査物としては半導体集積回路をパッケー
ジングしたデバイスに限定されず、液晶基板であっても
よいし、また搬送装置は被検査物の検査に限らずその他
の被搬送物を搬送するものに適用できる。

【００３３】

【発明の効果】本発明によれば、静電気による被搬送物
あるいは被検査物の破壊のおそれがなくて、耐久性が大
きく、しかも被搬送物あるいは被検査物の姿勢に大きく
影響されずに安定して吸着、解放動作を行うことができ
る。また請求項４のように加熱部よりの熱を吸着保持部
本体を介して被検査物に伝熱させるように構成すれば、
被検査物の外形にかかわらず安定して被検査物を加熱す
ることができる。更に請求項５のように吸着保持部本体
を第１部分と第２部分とに分割して互いに揺動、回転で
きるようにすれば、搬送装置の移動制御の精度を緩和す
ることができ、製作上有利である。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例を適用したデバイスの検査装置
の全体を示す概略斜視図である。

【図２】本発明の実施例の搬送装置の搬送部の外観を示
す斜視図である。

【図３】吸着保持部本体及びソケット部を示す断面図で
ある。

【図４】吸着保持部本体を示す分解斜視図である。

【図５】吸着保持部本体の第１部分及び第２部分の嵌合
部分の一部を示す斜視図である。

【図６】吸着保持部本体の第１部分が第２部分に対して
規定位置にあるときのピン４２の位置及び揺動可能状態
にあるときのピン４２の位置を示す説明図である。

【符号の説明】

１０デバイス２ソケット部２１電極１００搬送装置３Ａ、３Ｂ搬送部４０吸着保持部本体４第１部分５第２部分４１フランジ４２ピン６１圧縮バネ６５中間リング７２ガイド体７３ガイド面７４段部８吸着パッド８２圧縮バネ８３吸引孔

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】被搬送物を吸着保持して搬送する搬送装
置において、下面が被搬送物の上面をガイドするガイド面をなす吸着
保持部本体と、この吸着保持部本体内に、下限位置が規制され、下限位
置にあるときには前記ガイド面より下方側に僅かに突出
し、上下動可能にかつ吸着保持部本体の軸芯に対して傾
倒可能に嵌入されると共に、吸着機能を備えた金属製の
吸着パッドと、前記吸着保持部本体及び吸着パッド間の隙間に設けられ
た導電性の弾性体と、を備えたことを特徴とする搬送装
置。
【請求項２】端子部を備えた被検査物を吸着保持し
て、前記端子部が検査位置の電極に接触する位置まで搬
送し、被検査物を検査位置にて吸着保持したまま被検査
物の検査が行われる搬送装置において、下面が被検査物の上面をガイドするガイド面をなす吸着
保持部本体と、この吸着保持部本体内に、下限位置が規制され、下限位
置にあるときには前記ガイド面より下方側に僅かに突出
し、上下動可能にかつ吸着保持部本体の軸芯に対して傾
倒可能に嵌入されると共に、吸着機能を備えた金属製の
吸着パッドと、前記吸着保持部本体及び吸着パッド間の
隙間に設けられた導電性の弾性体と、を備え、前記吸着パッドが被検査物を吸着したときに、ガイド面
が被検査物の上面に接触する位置まで吸着パッドが後退
することを特徴とする搬送装置。
【請求項３】被検査物の端子部はリード端子であり、
吸着保持部本体は、吸着保持した被検査物のリード端子
をガイドするガイド部を備えていることを特徴とする請
求項２記載の搬送装置。
【請求項４】吸着保持部本体内に加熱部を設け、この
加熱部よりの熱を前記吸着保持部本体を介して被検査物
に伝熱する構造としたことを特徴とする請求項２または
３記載の搬送装置。
【請求項５】吸着保持部本体は、上部側の第１部分
と、この下面が被検査物の上面をガイドするガイド面を
なし、前記第１部分の下部側に位置する第２部分とに分
割され、前記第２部分は第１部分に対し、軸芯方向及び軸芯に直
交する方向に僅かな遊びをもって嵌合された状態で連結
されると共に、前記第１部分が第２部分を相対的に押圧
していないときにはこれらの相対位置を所定の位置に復
帰させるために第１部分及び第２部分間に弾性体を介装
したことを特徴とする請求項１、２、３または４記載の
搬送装置。
【請求項６】ガイド面の周縁部には被検査物の上縁部
をガイドする段部が形成されていることを特徴とする請
求項１、２、３、４または５記載の搬送装置。
【請求項７】吸着パッドは吸着面に開口する吸引孔を
備えていることを特徴とする請求項１、２、３、４、５
または６記載の搬送装置。