JPH0840776A - Si3N4/BNを基にした焼結された物質及びそれらの製造方法 - Google Patents
Si3N4/BNを基にした焼結された物質及びそれらの製造方法Info
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Abstract
AlONから成る群から選ばれた少なくとも一種の化合
物を含んで成り、そしてBN成分が≦2μmの平均粒径
を有する結晶性粒子の形で存在しそしてBN含量が0.
1〜34容量%である、焼結された物質、並びにこれら
の焼結された物質の製造方法が提供される。 【効果】 従来の製造方法で作られたこの種の焼結され
た物質と比較して機械的特性及びプレス特性が優れてい
る。
Description
AlON/BNを基にした焼結された物質にそしてまた
それらの製造方法に関する。
3N4、BN及び酸化物粒子境界相から成る複合セラミッ
クは、二元粉末成分Si3N4、BN及び酸化物焼結助剤
から1,600〜2,000℃の高温で圧力なしの焼
結、圧力焼結、ホットプレス又はホット等圧プレスによ
って製造される。しかしながら、この従来の粉末冶金製
造方法は多数の欠点を有する。
加剤を含むSi3N4粉末への六方晶系BN粉末の添加
は、焼結添加剤を含むSi3N4粉末のプレス特性の悪化
を導く。BN含量が増加するにつれて、プレスされた物
品は、成形後の増加したクリープ回復及びプレスされた
状態での減少した密度を示す。
を損ないそして複合セラミックにおけるより高い多孔度
を結果としてもたらす。高品質圧縮粉セラミックを製造
することができるためには、高価な製造方法例えばホッ
トプレス又はホット等圧プレスを採用しなければならな
い(JA−A 01 083 507、Asanoら、
Taikabutsu Overseas,Vol.1
1,1991,No.3,3〜11頁、及びDoche
ら、Key Engineering Materia
ls Vol.89〜91,1994、449〜454
頁、スイス)。
び悪い機械的特性を有する複合物を結果としてもたらす
(Isomuraら、Kawasaki Steel
Technical Report,No.23、19
90年10月、5〜11頁)。複合セラミックの物理的
特性に関しては、BNがSi3N4マトリックス内に均一
に分配されることが非常に重要である。高品質複合物の
ためには、均一な初期粉末混合物が要求される。しか
し、手の込んだ粉砕手順によってさえも、初期粉末混合
物の十分な均一性を達成することは困難である。
ば、単相無定形窒化ホウ素ケイ素セラミック(Si3B3
N7)を製造することが可能であることが更にまた知ら
れている。Baldusら(Better Ceram
ics Through Chemistry V,V
ol.271,1992、821〜826頁)は、圧力
なし焼結によって90重量%のSi3B3N7粉末、5重
量%のAl2O3粉末及び5重量%のY2O3粉末から成る
粉末混合物から製造されるセラミック成形物品の製造を
述べている。粉砕される前には、Si3B3N7粉末は6
0m2/gの比表面積を有する。しかし、このやり方で
製造されたセラミックは殆ど40%の多孔度を有し、そ
の結果高い機械的荷重のある応用におけるそれらの使用
は除外される。
状の上で述べた欠点を示さない焼結された物質の提供で
あった。
はSiAlON/BNを基にした、そしてBN成分が≦
2μmの平均粒径を有する結晶性粒子の形で存在しそし
てBN含量が0.1〜34容量%である、焼結された物
質によって満足される。平均粒径は、REM写真で最大
粒径を計ることによって測定される。
物質は、非反応性金属炭化物、窒化物及び/又はケイ化
物を0.1〜35容量%の量で含む。本発明の意味にお
ける特に適切な非反応性金属炭化物、窒化物及び/又は
ケイ化物は、SiC、B4C、TiC、ZrC、Nb
C、TaC、TiN、HfN、MoSi2である。
は酸化物及び/又は窒化物焼結添加剤を1〜20重量%
の量で含む。これに関係する特に適切な焼結添加剤は、
MgO、Al2O3、SiO2、TiO2、ZrO2、Hf
O2、Sc2O3、Y2O3、La2O及びまたその他の希土
類酸化物及び/又はAlN又はこれらの組み合わせであ
る。少なくとも5容量%の量の液相が焼結の条件下で生
成される時に、本発明による焼結された物質によって、
特に良好な物理的特性が示される。
は、圧力なしで焼結される従来のようにして製造された
Si3N4/BN複合物の強さを5の係数(facto
r)だけ越え、そしてホットプレスされたSi3N4/B
N複合物の曲げ強さに匹敵する。それ故、本発明による
焼結された物質は、通常圧力又はガス圧力焼結によって
理論密度の≧85%の密度に高密度化することができ
る。
は、構造体の改善された均一性及び焼結された状態での
より高い密度によって確立される。BN含量に依存し
て、焼結された物質の曲げ強さは、200MPa〜1,
400MPa、好ましくは400〜1,400MPaで
ある。Si3N4/BN焼結された物質のビッカース硬度
は、2〜20GPa、有利には3〜20GPaである。
焼結された物質の製造方法である。焼結助剤と組み合わ
せた≦1.5m2/gの比表面積を有する単一相無定形
Si−B−N成分例えばSi3B3N7の使用によって、
焼結によって高密度のセラミック物品を得ることが可能
であることが驚くべきことに見い出された。結果とし
て、本発明の一つの目的は、酸化物及び/又は窒化物焼
結添加剤の添加を受ける、≦1.5m2/gの比表面積
を有する単一相無定形Si−B−N成分及び、必要に応
じて、Si3N4粉末から出発して、混合物を製造し、必
要に応じてこの混合物から粉砕し、成形された物品を生
成させ、そしてこれをN2を含む雰囲気中で1,450
℃〜2,100℃の範囲の温度で焼結する、焼結された
物質の製造方法である。
焼結された物質の製造は、手の込んだ製造方法例えばホ
ットプレス又はホット等圧プレスなしで処理することが
可能であるようなやり方で改善することができる。
のSi/B比を有する混合物を使用するようなやり方で
有利に履行される。このSi/B比は、2つのやり方で
Siのより高い割合に向かってシフトさせることができ
る:一方では、単相無定形Si−B−N成分中のSi/
Bの比によって、そして他方では、Si−B−N成分へ
のSi3N4粉末の添加によって。Si3N4粉末の添加の
場合には、α相及び/若しくはβ相を示す並びに/又は
無定形Si3N4構成成分を含む鉱物学的相組成を有する
粉末を有利に使用することができる。
が主要な構成成分として少なくとも75容量%のSi3
N4及びBNを含み、そして100%までの残りの割合
が酸化物及び/又は窒化物粒子境界相から成る場合に
は、特に良好な機械的特性がこれらの焼結された物質に
よって示される。この粒子境界相は、無定形及び/又は
結晶性である数種の相から成って良い。対応する条件は
また、非反応性炭化物、窒化物及び/又はケイ化物相を
更にまた示す本発明による焼結された物質にも当てはま
る。
発明による方法に関して使用される単相無定形Si−B
−N成分の球状ないし平らな粒子形態は、焼結すること
ができそして成形のために非常に適切である粉末混合物
の製造を可能にする。減少した比表面積を有するSi−
B−N成分の使用によって、単に圧力なしの焼結によっ
て又はガス圧力焼結によって高いBN含量及び、同時
に、焼結された状態での高い密度を有する焼結された物
質を製造することが可能であるようなやり方で焼結活性
が増加される。結果として、本発明による方法は、5b
arまでのガス圧力で焼結することによって有利に履行
することができる。これに関して、ガスは窒素から成り
そして貴ガス及び/又は不活性ガス例えば二酸化炭素の
添加を含んで良い。Si3N4のSi及びN2への熱分解
は、ガスによって防止される。焼結はまた、5〜200
barの範囲の圧力でのガス圧力焼結として有利に履行
することができる。
益を受けることなく、1:1のSi/B比に対応する3
4重量%になる高いBN含量までの、焼結された物質の
自由に調節可能なBN含量のために、焼結された物質の
物理的特性は広い範囲内で影響されることができる。
均一性に関して単相無定形Si−B−N成分及びSi3
N4の粉末混合物の場合に起きる。好ましいSi3B3N7
においては、B、N及びSiは分子レベルで均一に分布
されていて、これは成分の予備混合に対応する。加え
て、化合物Si3B3N7の形の中の1モルのBNは38
cm3の体積を有し、一方六方晶系BNの形の中ではそ
れは僅かに11cm3の体積しか持たない。大きな体積
のSi3B3N7の形の中の規定された粒径の与えられた
モル量のBNは、僅かに29%の体積しか持たない同じ
モル量の六方晶系BNよりも、機械的混合によってSi
3N4粉末内にもっと均一に分布され得ることは明らかで
ある。大きな体積は小さな体積よりも容易に適量に分け
ることができることもまた有利である。
範囲のガス圧力での焼結の場合に経済に関して特別な利
点を有するけれども、それはこのような焼結方法に限定
されない。本発明の焼結はまた、ホットプレス又はHI
P焼結方法又はHIPカプセル方法の形で有利に履行す
ることができる。
が、何ら限定を意味しない。
を有する9gのSi3B3N7粉末を遊星形ボールミル中
で6時間の間イソプロパノール中で粉砕し、そして同時
に0.5gのY2O3粉末及び0.5gのAl2O3粉末と
混合した。このプロセスにおいて、Si3B3N7粉末は
約10m2/gの比表面積まで粉砕された。この粉末
を、10mmの径及び15mmの高さを有するシリンダ
ーに冷間等圧のやり方で成形した。この未加工物品を窒
素中で24℃/分の速度で1,900℃まで加熱し、そ
してこの温度で1時間維持した。生成した一体式のクラ
ックのない物品は、理論密度の89%に対応する、2,
540kg/m3の最終密度を有していた。X線回折測
定は、単相Si3B3N7のSi3N4及びBNへの相分離
が起きたことを示す。粉砕された時に、微細構造体は、
57%のSi3N4、27.5%のBN及び15.5%の
酸化物粒子境界相のそれぞれ割合を有する3つの相を示
す。BNは、REM写真で最大粒径を計ることによって
測定された、1μmの平均径を有する島(island
s)を形成する小さな微結晶の集積として存在する。こ
れらのBN濃度(concentrations)は、
Si3N4マトリックス内に均一に分布される。複合物質
のビッカース硬度はHV2=3.9GPaでありそして
曲げ強さは410MPaである。
有する9gのSi3B3N7粉末を遊星形ボールミル中で
6時間の間イソプロパノール中で粉砕し、そして同時に
0.5gのY2O3粉末及び0.5gのAl2O3粉末と混
合した。この粉末を、10mmの径及び15mmの高さ
を有するシリンダーに冷間等圧のやり方で成形した。こ
の未加工物品を窒素中で24℃/分の速度で1,900
℃まで加熱し、そしてこの温度で1時間維持した。生成
した一体式のクラックのない物品は、理論密度の70%
に対応する、2,010kg/m3の最終密度を有して
いた。
粉末及び13m2/gの比表面積を有する3.14gの
BN粉末を遊星形ボールミル中で6時間の間イソプロパ
ノール中で粉砕し、そして同時に0.5gのY2O3粉末
及び0.5gのAl2O3粉末と混合した。この粉末を、
10mmの径及び15mmの高さを有するシリンダーに
冷間等圧のやり方で成形した。この未加工物品を窒素中
で24℃/分の速度で1,900℃まで加熱し、そして
この温度で1時間維持した。生成した一体式のクラック
のない物品は、理論密度の65%に対応する、1,85
0kg/m3の最終密度を有し、そしてチョークのよう
なコンシステンシー(consistency)を有し
ていた。
を有する3gのSi3B3N7粉末を遊星形ボールミル中
で6時間の間イソプロパノール中で粉砕し、そして同時
に6gのSi3N4、0.5のY2O3粉末及び0.5gの
Al2O3粉末と混合した。この粉末を、10mmの径及
び15mmの高さを有するシリンダーに冷間等圧のやり
方で成形した。この未加工物品を窒素中で24℃/分の
速度で1,900℃まで加熱し、そしてこの温度で1時
間維持した。生成した一体式のクラックのない物品は、
理論密度の97%に対応する、3,070kg/m3の
最終密度を有していた。粉砕された時に、研磨された微
細構造体は、83%のSi3N4、11%のBN及び6%
の酸化物粒子境界相のそれぞれ割合を有する3つの相を
示す。BNは、0.8μmの平均径を有する島を形成す
る小さな微結晶の集積として存在する。これらのBN濃
度は、Si3N4マトリックス内に均一に分布される。物
質のビッカース硬度はHV2=3.9GPaである。
を有する3gのSi3B3N7粉末を遊星形ボールミル中
で6時間の間イソプロパノール中で粉砕し、そして同時
に6gのSi3N4、0.5のY2O3粉末及び0.5gの
Al2O3粉末と混合した。この粉末を、10mmの径及
び15mmの高さを有するシリンダーに冷間等圧のやり
方で成形した。この未加工物品を窒素中で24℃/分の
速度で1,900℃まで加熱し、そして80barの窒
素によってこの温度で1時間ガス圧力焼結した。生成し
た一体式のクラックのない物品は、理論密度の98%に
対応する、3,100kg/m3の最終密度を有してい
た。粉砕された時に、微細構造体は、83%のSi
3N4、11%のBN及び6%の酸化物粒子境界相のそれ
ぞれ割合を有する3つの相を示す。BNは、0.8μm
の平均径を有する島を形成する小さな微結晶の集積とし
て存在する。これらのBN濃度は、Si3N4マトリック
ス内に均一に分布される。物質のビッカース硬度はHV
2=3.9GPaであり、そして曲げ強さは800MP
aである。
Paで一軸プレスした。実施例2からのプレスされた物
品の密度は、理論密度の57%に対応する1,140k
g/m3であった。金型からの取出しの後で、プレスさ
れた物品のクリープ回復は1.5%であった。他方、実
施例3からのプレスされた物品は、理論密度の47%に
対応する1,440kg/m3の密度を有していた。サ
ンプルのクリープ回復は僅かに0.4%であった。
理的特性を、当該技術の最も進んだ現状に対応するもの
と並置する。
Steel TechnicalReport,No.
23、1990年10月、5〜11頁。
ering MaterialsVol.89〜91,
1994、449〜454頁、スイス。
Overseas,Vol.11,1991,No.
3,3〜11頁。
である。
及びSiAlONから成る群から選ばれた少なくとも一
種の化合物を含んで成り、そしてBN成分が≦2μmの
平均粒径を有する結晶性粒子の形で存在しそしてBN含
量が0.1〜34容量%である、焼結された物質。
属炭化物、窒化物及び/又はケイ化物を0.1〜35容
量%の量で含む、上記1記載の焼結された物質。
窒化物焼結添加剤を1〜20重量%の量で含む、上記1
記載の焼結された物質。
る単一相無定形Si−B−N成分及び必要に応じてSi
3N4粉末を、酸化物及び/又は窒化物焼結添加剤と混合
して混合物を生成させ、この混合物を成形された物品に
成形し、そして成形された物品をN2を含む雰囲気中で
1,450℃〜2,100℃の範囲の温度で焼結する、
上記1記載の焼結された物質の製造方法。
0:1である、上記4記載の方法。
施する、上記4記載の方法。
ス圧力焼結として焼結を履行する、上記4記載の方法。
る、上記4記載の方法。
る、上記4記載の方法。
履行する、上記4記載の方法。
る、上記4記載の方法。
(b)酸化物焼結添加剤、(c)窒化物焼結添加剤、及
び(d)充填剤物質から成る群から選ばれた少なくとも
一種の物質を含んで成る、上記4記載の方法。
2O3、SiO2、TiO2、ZrO2、HfO2、Sc
2O3、Y2O3及びLa2Oから成る群から選ばれる、上
記12記載の方法。
む、上記12記載の方法。
化物及び金属ケイ化物から成る群から選ばれる、上記1
2記載の方法。
Claims (2)
- 【請求項1】 BN、焼結添加剤、並びにSi3N4及び
SiAlONから成る群から選ばれた少なくとも一種の
化合物を含んで成り、そしてBN成分が≦2μmの平均
粒径を有する結晶性粒子の形で存在しそしてBN含量が
0.1〜34容量%である、焼結された物質。 - 【請求項2】 ≦1.5m2/gの比表面積を有する単
一相無定形Si−B−N成分及び必要に応じてSi3N4
粉末を、酸化物及び/又は窒化物焼結添加剤と混合して
混合物を生成させ、この混合物を成形された物品に成形
し、そして成形された物品をN2を含む雰囲気中で1,
450℃〜2,100℃の範囲の温度で焼結する、請求
項1記載の焼結された物質の製造方法。
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