JPH0830336A

JPH0830336A - 電子機器の異常温度制御装置

Info

Publication number: JPH0830336A
Application number: JP6185485A
Authority: JP
Inventors: Toshio Yabe; 利男矢部
Original assignee: Advantest Corp
Current assignee: Advantest Corp
Priority date: 1994-07-14
Filing date: 1994-07-14
Publication date: 1996-02-02

Abstract

(57)【要約】【目的】温度ヒューズを用いた電子機器の異常温度制
御において、温度ヒューズの使用数が最小限にでき、か
つ、温度ヒューズの溶断の発生直後、直ちに全てのヒー
タラインへの電源供給を停止し得る装置を提供する。【構成】温度ヒューズ３を、ヒータライン２とは別の
ライン内に挿入して、ヒータ１による発熱温度を感知で
きる位置に配置し、異常温度で温度ヒューズ３が溶断す
ると、リレー４回路がONとなり、ブレーカ５を動作させ
て OFFとし、全てのヒータライン２を OFFとすること
で、ヒータ１への電源９の供給を停止する回路構成によ
る電子機器の異常温度制御装置。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は電子機器の異常温度制
御装置、とりわけ温度ヒューズを用いて異常温度を検知
し電子機器を制御する装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】例えば、半導体試験装置及びそのハンド
ラーを用いて、被測定対象の半導体デバイスの温度特性
を試験、測定してデータを取得するためには、当該試験
装置が持つ温度恒温槽を使用して行う。図３に示すよう
に、通常は、SSR(Solid StateRelay)のような半導体リ
レー等による制御回路によって、電気ヒータをコントロ
ールするが、何らかの原因で異常に温度が上昇してしま
った場合には、電気ヒータのラインに直列に挿入された
温度ヒューズが溶断して、電源の供給を止める方法が採
られている。

【０００３】従来技術の、この方法によれば、単相電源
によるヒータでは温度ヒューズは、１つでよいが、３相
電源によるヒータでは、１個のヒータ内のヒータライン
に対し２個づつの温度ヒューズが必要となる。また、そ
れぞれの電源の場合でも、ヒータが増えれば、温度ヒュ
ーズの数も比例して増やさねばならない。さらに、３相
電源の場合には、１つの温度ヒューズが溶断してヒータ
ラインの電流が切れても、他のヒータラインは動作した
ままであるという欠点を有していた。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】従来技術では、例えば
温度恒温槽を構成するヒータの各ヒータラインに直列に
挿入される温度ヒューズの数は、必要とするヒータライ
ンに比例して増えていってしまう。さらに、３相電源の
場合のヒータのように、ある１つのヒータラインの温度
ヒューズが溶断して電源の供給が止まっても、他のヒー
タラインは動作したままであるという問題点を有してい
た。

【０００５】そこで、本発明の電子制御装置の温度恒温
槽におけるヒータラインの温度ヒューズの使用方法にお
いては、３相電源の場合でも、ヒータに対する温度ヒ
ューズの使用数を減らす。また、何らかの異常によっ
て、温度ヒューズの溶断が発生したら、全てのヒータラ
インへの電源供給を止め得る方法を提供することを目的
とした。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の、温度恒温槽におけるヒータラインへの温
度ヒューズの使用方法においては、図１に示すように、
温度ヒューズは、各ヒータラインに直接に直列挿入は
せず、ヒータによる温度を感知できる位置に配置し、
その温度ヒューズは、ヒータラインとは別ライン内に設
け、ブレーカを制御するリレーの励磁コイルを経由させ
る。異常温度を感知すると、温度ヒューズが溶断し、
リレー回路がONとなり、ブレーカの励磁コイルに電圧が
加わる。すると、ブレーカが働いてOFFとなり、全て
のヒータラインをOFFとすることで、ヒータへの電源の
供給を停止する、という方法を採った。

【０００７】

【作用】

(1)本発明によれば、従来技術のように、ヒータライン
を各個に直列に温度ヒューズを入れ、直接にヒータライ
ンを制御するのではなく、異常温度をセンシングし、温
度ヒューズを溶断してヒータラインの電源供給を停止す
る回路は、ヒータラインとは別に設けることとした。そ
のことで、温度ヒューズの使用方法・配置において、極
めて自由な構成が可能となった。 (2)つまり、ヒータ又はヒータラインが、いくつであっ
ても、構成する温度ヒューズ及び温度ヒューズライン
は、１個でよく、これはまた、単相電源及び３相電源の
方式の場合でも同様である。 (3)さらに、恒温槽の構造や大きさ、また、それに伴う
ヒータの数や配置によっては、何個でも直列に温度ヒュ
ーズを使用する方法も採れるので、構造を設計する上で
の自由度が著しく向上した。

【０００８】

【実施例】図１に、本発明の実施例の原理概念を説明す
るための回路構成を示す。 (1)電源は、ブレーカ５、SSR ８等を経由するヒータラ
イン２によって、ヒータ１に供給される。また、ブレー
カ５の励磁コイルは、リレー４回路に組み込まれてお
り、リレー４の接点を経由して、電源Ｂ・７から電流が
供給され、制御されるようになっている。 (2)また、そのリレー４の励磁コイルを経由するライン
に、温度ヒューズ３が組み込まれ、電源Ａ・６が接続さ
れている。つまり、温度ヒューズ３は、ヒータライン２
とは別のラインに構成するものである。

【０００９】次に、回路の動作原理を説明する。 (3)リレー４は、コイルに電圧が加えられていると、接
点は OFFになっているノーマルクローズの状態のものに
設定されているので、異常温度をセンスして温度ヒュー
ズが溶断すると、リレー４の接点がONとなる。 (4)すると、ブレーカ５の励磁コイルに、電源Ｂ・７に
よって電圧が加えられ、ブレーカ５の接点は OFFとな
る。このようにして、ヒータライン２のための電源Ｃ・
９を、大元のブレーカ５によって OFFにすることで、全
てのヒータライン２、すなわち全ヒータ１を、OFFにす
ることが可能となった。 (5)また、図２に示すように、ヒータ１が N個あって１
ユニットを構成している場合でも、温度ヒューズ３は１
個で良い。さらに、数ユニットあれば、例えば、４ユニ
ットあれば、温度ヒューズ３は４個だけで済む。その場
合には、温度ヒューズ３は直列に接続される。

【００１０】今まで電源Ａ・６と電源Ｂ・７とは理解し
やすいように、別電源として説明してきたが、同一電源
を利用してもよい。つまり電源Ａ・６のラインと電源Ｂ
・７のラインとを並列に接続して動作させるとよい。

【００１１】また今までは半導体試験装置に用いる温度
恒温槽を例にとり詳述してきたが、この発明はこれに限
るものでは無く、温度ヒューズを使用する全ての電子機
器の異常温度制御装置に及ぶものである。

【００１２】

【発明の効果】本発明は、以上説明したように構成され
ているので、以下に記載されるような効果を奏する。 (1)本発明の方法では、ヒータラインに直接に温度ヒュ
ーズを直列に挿入せず、ヒータラインとは分離して設け
た回路としたことにより、温度ヒューズの使用数を減ら
すことができた。例えば、３相電源の方式では、従来技
術では、少なくともヒータ１ヶに対し温度ヒューズが２
個必要だった。従って、１ユニットに N個のヒータがあ
れば、２×N 個の温度ヒューズが使用されていたのが、
１個で済むことになった。 (2)本発明の温度ヒューズの回路では、異常温度を感知
したハードウェアのリミッタである温度ヒューズが溶断
したら、その１度の動作で、全てのヒータラインへの電
源供給を止めることが可能となった。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例の概念を示す回路構成図であ
る。

【図２】本発明の他の実施例で、複数ヒータ、多ユニッ
トの場合の構成図を示す。

【図３】従来技術のヒータラインの温度ヒューズ使用に
よる回路構成図である。

【符合の説明】

１ヒータ２ヒータライン３温度ヒューズ４リレー５ブレーカ６電源Ａ７電源Ｂ８ SSR ９電源Ｃ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】電子機器の内部において、電源Ｃ（９）からのヒータライン（２）上にブレーカ
（５）を通して設けられたヒータ（１）と、電源Ｂ（７）からのライン上に上記ブレーカ（５）の励
磁コイルと直列に接続されたリレー（４）と、電源Ａ（６）からのライン上に上記リレー（４）の励磁
コイルと直列に接続され、上記ヒータ（１）の発熱温度
を感知しつつ異常温度に達したとき溶断する温度ヒュー
ズ（３）と、を具備することを特徴とする電子機器の異
常温度制御装置。
【請求項２】電源Ａ（６）と電源Ｂ（７）とは共用さ
れて、並列に接続された電源Ａ（６）又は電源Ｂ（７）
である請求項１記載の電子機器の異常温度制御装置。