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JPH0827064A - 新規プロピオン酸エステル類およびその利用 - Google Patents

新規プロピオン酸エステル類およびその利用

Info

Publication number
JPH0827064A
JPH0827064A JP6165601A JP16560194A JPH0827064A JP H0827064 A JPH0827064 A JP H0827064A JP 6165601 A JP6165601 A JP 6165601A JP 16560194 A JP16560194 A JP 16560194A JP H0827064 A JPH0827064 A JP H0827064A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
acid
general formula
methyl
solvent
ester
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP6165601A
Other languages
English (en)
Inventor
Eiji Taniyama
英二 谷山
Mitsuko Nakamura
晃子 中村
Takasumi Kanekiyo
隆純 金清
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Chemical Corp
Original Assignee
Mitsubishi Chemical Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitsubishi Chemical Corp filed Critical Mitsubishi Chemical Corp
Priority to JP6165601A priority Critical patent/JPH0827064A/ja
Publication of JPH0827064A publication Critical patent/JPH0827064A/ja
Pending legal-status Critical Current

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  • Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
  • Organic Low-Molecular-Weight Compounds And Preparation Thereof (AREA)
  • Paints Or Removers (AREA)
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Abstract

(57)【要約】 【構成】 下記一般式(1)で表される3−メトキシプ
ロピオン酸エステル類 【化1】 と該化合物を有効成分とする溶剤 【効果】 本発明の新規な3−メトキシプロピオン酸エ
ステル類は中ないし高沸点の溶剤として有用である

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は新規な3−メトキシプロ
ピオン酸エステルに関する。詳しくは精密電子分野に於
ける、例えばレジスト用樹脂の溶剤及び剥離剤等の化工
用溶剤、または、塗料、インキ分野等での遅乾性溶剤と
して有用な、中ないし高沸点の溶剤に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、上記産業分野では中ないし高沸点
の溶剤の一つとして、例えばエチレングリコ−ルモノブ
チルエ−テルアセテ−ト、ジエチレングリコ−ルモノエ
チルエ−テルアセテ−ト、ジエチレングリコ−ルモノブ
チルエ−テルアセテ−ト、等のエチレングリコ−ル、ジ
エチレングリコ−ルを基本骨格とする溶剤が多用されて
きた。しかしながら、これらのエチレングリコ−ル、ジ
エチレングリコ−ルのエ−テルを骨格とする化合物に関
しては、近年になり長期毒性が見出され、その使用が制
限、または停止されつつある現状にある。
【0003】かかる状況下、代替溶剤の開発が切望さ
れ、各種の化合物が提案されている。代替溶剤として
は、乳酸エステル系(日経マテリアル、93.12)、
3−メトキシプロピオン酸メチル、3−エトキシプロピ
オン酸エチル、3−ブトキシプロピオン酸ブチル等のア
ルコキシプロピオン酸エステル系(特開平4−4252
3、特開平3−284651号公報)または、それらの
混合物等が提案されているが、沸点、溶解力、蒸発速度
等の各種物性にいまだ満足すべき性能が見出されていな
い。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】本発明は上記問題点を
解決した新規な3−メトキシプロピオン酸エステル類を
提供しようとするものである。
【0005】
【課題を解決するための手段】本発明は上記課題を解決
した、下記一般式(1)で表される新規な3−メトキシ
プロピオン酸エステル類を提供するものであり、中ない
し高沸点溶剤として180〜280℃の沸点範囲を有
し、工業的にも容易に入手できる原料より容易に製造し
得る溶剤を提供しようとするものである。
【0006】
【化2】
【0007】本発明の化合物は、一般式(I)で表さ
れ、R1、R2はそれぞれ水素原子またはメチル基を、R
3はメチル基またはエチル基を示し、R4はメチル基、エ
チル基、n−プロピル基、イソプロピル基、n−ブチル
基、s−ブチル基、t−ブチル基等の炭素数1〜4の直
鎖または分枝のアルキル基を示す。
【0008】化合物の具体例としては、 3−メトキシプロピオン酸 1−メチル−2−メトキシ
エチルエステル 3−メトキシプロピオン酸 1−メチル−2−エトキシ
エチルエステル 3−メトキシプロピオン酸 1−(メトキシメチル)プ
ロピルエステル 3−メトキシ−2−メチルプロピオン酸 1−メチル−
2−メトキシエチルエステル 3−メトキシプロピオン酸 1−メチル−2−(n−プ
ロポキシ)エチルエステル 3−メトキシ−3−メチルプロピオン酸 1−メチル−
2−メトキシエチルエステル 3−メトキシプロピオン酸 1−メチル−2−n−ブト
キシエチルエステル 3−メトキシ−2−メチルプロピオン酸 1−メチル−
2−イソプロポキシエチルエステル 3−メトキシプロピオン酸 1−メチル−2−s−ブト
キシエチルエステル 3−メトキシ−2−メチルプロピオン酸 1−メチル−
2−メトキシエチルエステル 3−メトキシ−2,3−ジメチルプロピオン酸 1−メ
チル−2−メトキシエチルエステル等を挙げることがで
きる。
【0009】これらの化合物を製造するに当たり、一般
式(2)で表される3−メトキシプロピオン酸類
【0010】
【化3】 (但し式中R1、R2は前記一般式(1)と同じ)
【0011】と、一般式(3)で表される1−アルキル
−2−アルコキシエチルアルコ−ル類
【0012】
【化4】 (但し式中R3、R4は前記一般式(1)と同じ)
【0013】を、有機合成的に知られている手法、具体
的には硫酸、塩酸等の無機酸、p−トルエンスルホン酸
等の有機酸の酸触媒を用いる脱水エステル化反応を用い
ることができる。具体的には、これらの酸触媒を一般式
(2)で表される3−メトキシプロピオン酸類に対し
0.001〜1倍モル、好ましくは0.01〜0.3倍
モル用いる。一般式(3)で表される1−アルキル−2
−アルコキシエチルアルコ−ル類は一般式(2)で表さ
れる3−メトキシプロピオン酸類に対し0.1〜10倍
モル、好ましくは1〜5倍モルを用い、無溶媒、または
溶媒中で反応させるものである。使用する溶媒は反応に
不活性なものであれば何でもよいが、例えばヘキサン、
トルエン等の炭化水素、1,2−ジクロロエタン、四塩
化炭素等のハロゲン化炭化水素が使用される。また、一
般式(3)で表されるアルコ−ル自身が溶媒を兼ねこと
も可能である。 反応温度は室温から200℃、好まし
くは60〜150℃であり、反応で副生する水を共沸留
去することにより反応系外に除去するのが好ましい。
【0014】また、カルボジイミド等の脱水縮合剤を用
いて反応を行うことも可能である。また、一般式(2)
で表される3−メトキシプロピオン酸類を酸塩化物等の
酸ハロゲン化物に変え、塩基の存在または非存在下、一
般式(3)で表されるアルコ−ルと反応させる方法も可
能である。
【0015】また、異なる製造法として、例えば一般式
(4)で表される3−メトキシプロピオン酸メチルエス
テル類
【0016】
【化5】 (但し式中R1、R2,は前記一般式(1)と同じ)
【0017】と、前記一般式(3)で表される1−アル
キル−2−アルコキシエチルアルコ−ル類を、エステル
交換反応等により合成することができる。具体的には硫
酸、塩酸等の無機酸、p−トルエンスルホン酸等の有機
酸あるいはチタンテトラアルコキシド、ジアルキルスズ
オキシド等のルイス酸触媒を用いて反応を行うことがで
きる。これらの酸触媒を一般式(4)で表される3−メ
トキシプロピオン酸メチルエステル類に対し0.000
1〜1倍モル、好ましくは0.002〜0.3倍モル、
一般式(3)で表される1−アルキル−2−アルコキシ
エチルアルコ−ル類を一般式(4)で表される3−メト
キシプロピオン酸メチルエステル類に対し0.5〜20
倍モル好ましくは1〜10倍モルを用い、無溶媒、また
は溶媒中で反応させる。使用する溶媒、反応温度等は前
記エステル化反応と同様であり、また、反応は平衡反応
であるから、副生するメタノ−ルを蒸留留去等の手段で
系外に除去することにより転化率を向上させることがで
きる。
【0018】反応終了後の溶液から、用いた反応溶媒お
よび/または過剰の一般式(3)で表される1−アルキ
ル−2−アルコキシエチルアルコールを留去した後、常
圧または減圧下で精製蒸留を行うことにより目的物を得
ることができる。このようにして得られた3−メトキシ
プロピオン酸エステル類は単独または2種類以上を組み
合わせて、溶剤として用いることができ、それにより溶
解度や蒸発速度の制御が可能になる。併用溶剤は特に限
定されないが、例えば、N−メチルピロリドン、3−エ
トキシプロピオン酸エチル、3−ブトキシプロピオン酸
ブチル、プロピオン酸 1−メチル−2−メトキシエチ
ルエステル等を挙げることができる。
【0019】
【実施例】以下、実施例を挙げて本発明を説明する。 実施例1 3−メトキシプロピオン酸メチルエステル118g
(1.0モル)と、チタンテトライソプロポキシド8.
5g(0.03モル)を1−メトキシ−2−プロパノー
ル540g(6.0モル)に溶解し、加熱還流した。反
応中、生成するメタノ−ルを1−メトキシ−2−プロパ
ノールと共に少量ずつ留去した。22時間後、反応を終
了させそのまま1−メトキシ−2−プロパノールを留去
した後、減圧蒸留したところ、沸点116度/32mm
Hgの成分として3−メトキシプロピオン酸1−メチル
−2−メトキシエチルエステル162g(3−メトキシ
プロピオン酸メチルエステルより収率92%)を得た。
得られた3−メトキシプロピオン酸1−メチル−2−メ
トキシエチルエステルの屈折率及びプロトンNMRスペ
クトルを示す。
【0020】nD25 1.4159 1H−NMR(CDCl3)δppm;1.24(3H,d)、2.59
(2H,t)、3.35(3H,s)、3.37(3H,s)、3.36〜3.49(2H,m)、
3.66(2H,t)、5.03〜5.18(1H,m)
フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 H01L 21/027

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 一般式(1)で表される3−メトキシプ
    ロピオン酸エステル類 【化1】 (但し式中、R1、R2はそれぞれ水素原子またはメチル
    基を、R3はメチル基またはエチル基を、R4は炭素数1
    〜4の直鎖または分枝のアルキル基を示す)
  2. 【請求項2】 一般式(1)で表される3−メトキシプ
    ロピオン酸エステル類を有効成分とする溶剤
JP6165601A 1994-07-18 1994-07-18 新規プロピオン酸エステル類およびその利用 Pending JPH0827064A (ja)

Priority Applications (1)

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JP6165601A JPH0827064A (ja) 1994-07-18 1994-07-18 新規プロピオン酸エステル類およびその利用

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JP6165601A JPH0827064A (ja) 1994-07-18 1994-07-18 新規プロピオン酸エステル類およびその利用

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JPH0827064A true JPH0827064A (ja) 1996-01-30

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JP6165601A Pending JPH0827064A (ja) 1994-07-18 1994-07-18 新規プロピオン酸エステル類およびその利用

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JP (1) JPH0827064A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2002068547A1 (en) * 2001-02-22 2002-09-06 Valspar Sourcing, Inc. Coating compositions containing low voc compounds
US7812079B2 (en) 2001-02-22 2010-10-12 Valspar Sourcing, Inc. Coating compositions containing low VOC compounds

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