JPH08203956A - Electronic component and manufacture - Google Patents
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Landscapes
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- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、第1,第2のケース材
からなるパッケージ内に電子部品素子が収納されてお
り、かつ半田付けにより固定されている電子部品の製造
方法に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method of manufacturing an electronic component in which an electronic component element is housed in a package consisting of first and second case members and fixed by soldering.
【0002】[0002]
【従来の技術】従来、弾性表面波(以下、SAW)素子
をパッケージ化してSAW装置を得るにあたって、種々
の方法が採用されている。このようなSAW素子のパッ
ケージ化の方法の一例を、図1〜図3を参照して説明す
る。2. Description of the Related Art Conventionally, various methods have been adopted for packaging a surface acoustic wave (hereinafter, SAW) element to obtain a SAW device. An example of a method of packaging such a SAW element will be described with reference to FIGS.
【0003】図1は、SAW素子の一例を示す平面図で
ある。SAW素子1は、表面波基板2の上面にインター
デジタルトランスデューサ(以下、IDT)3,4を所
定距離隔てて形成した構造を有する、トランスバーサル
型表面波フィルタである。SAW素子1には、外部接続
用の端子電極1a〜1dが形成されている。FIG. 1 is a plan view showing an example of a SAW element. The SAW element 1 is a transversal type surface acoustic wave filter having a structure in which interdigital transducers (hereinafter, IDTs) 3 and 4 are formed on an upper surface of a surface acoustic wave substrate 2 with a predetermined distance therebetween. Terminal electrodes 1a to 1d for external connection are formed on the SAW element 1.
【0004】SAW素子1のパッケージ化にあたって
は、図2に示すケース基板5及びキャップ6が用いられ
る。すなわち、ケース基板5の上面には、電極ランド
7,8が形成されている。他方、SAW素子1は、ID
T3,4が形成されている側の面を下面として、すなわ
ちフェイスダウン方式で、ケース基板5上に取り付けら
れている。When packaging the SAW element 1, the case substrate 5 and the cap 6 shown in FIG. 2 are used. That is, the electrode lands 7 and 8 are formed on the upper surface of the case substrate 5. On the other hand, the SAW element 1 has an ID
It is mounted on the case substrate 5 with the surface on which the T3 and T4 are formed as the lower surface, that is, in a face-down manner.
【0005】図2から明らかなように、端子電極1a,
1bは、半田9,10により電極ランド7,8に電気的
に接続されている。また、半田9,10により、端子電
極1a,1bが電極ランド7,8に接合されることによ
り、SAW素子1がケース基板5上に固定されている。
なお、図1の端子電極1c,1dも同様に、図示されな
い半田によりケース基板5上の図示されない電極ランド
に接合されている。As is apparent from FIG. 2, the terminal electrodes 1a,
1b is electrically connected to the electrode lands 7 and 8 by solders 9 and 10. Further, the SAW element 1 is fixed on the case substrate 5 by joining the terminal electrodes 1 a and 1 b to the electrode lands 7 and 8 with the solders 9 and 10.
Similarly, the terminal electrodes 1c and 1d in FIG. 1 are also joined to the electrode lands (not shown) on the case substrate 5 by solder (not shown).
【0006】キャップ6は、金属などの導電性材料より
なり、下方に開いた開口を有する。このキャップ6の下
端が、ケース基板5上において角環状に形成された金属
パッド5aに半田11により接合されて、ケース基板5
とキャップ6とが一体化されている。従って、SAW素
子1が、ケース基板5とキャップ6からなるパッケージ
の内部空間内に封止されている。The cap 6 is made of a conductive material such as metal and has an opening opened downward. The lower end of the cap 6 is joined to the metal pad 5a formed in a square ring shape on the case substrate 5 with the solder 11 to form the case substrate 5
And the cap 6 are integrated. Therefore, the SAW element 1 is sealed in the internal space of the package including the case substrate 5 and the cap 6.
【0007】ところで、上記電極ランド7,8と端子電
極1a,1bの半田9,10による接合に際しては、ま
ず、電極ランド7,8上に所定の大きさの半田バンプを
付与する。しかる後、図3に示すように、半田バンプ9
a,10a上に、端子電極1a,1bが正確に位置する
ようにSAW素子1を配置する。次に、半田バンプ9
a,10aをリフロー半田付け法により加熱により溶融
し、次に冷却し、SAW素子1とケース基板5との半田
9,10による接合を行っていた。When the electrode lands 7 and 8 and the terminal electrodes 1a and 1b are joined by the solders 9 and 10, first, solder bumps of a predetermined size are provided on the electrode lands 7 and 8. After that, as shown in FIG. 3, the solder bump 9
The SAW element 1 is arranged so that the terminal electrodes 1a and 1b are accurately positioned on the a and 10a. Next, solder bump 9
The a and 10a are melted by heating by the reflow soldering method and then cooled, and the SAW element 1 and the case substrate 5 are joined by the solders 9 and 10.
【0008】上記接合方法では、端子電極1a,1bの
中心が、半田バンプ9a,10aの中心に正確に位置さ
れないと、端子電極1a,1bと、電極ランド7,8と
が確実に接合され難い。従って、従来、高価な位置決め
装置13を用い、SAW素子1の位置決めを行ってい
た。In the above joining method, unless the centers of the terminal electrodes 1a and 1b are accurately located at the centers of the solder bumps 9a and 10a, it is difficult to reliably join the terminal electrodes 1a and 1b to the electrode lands 7 and 8. . Therefore, conventionally, the expensive positioning device 13 has been used to position the SAW element 1.
【0009】次に、上記SAW素子1をケース基板5上
に接合した後に、図2に示したキャップ6をケース基板
5上に被せ、再度リフロー半田付け法により、キャップ
6とケース基板5との接合を行う。Next, after the SAW element 1 is bonded to the case substrate 5, the cap 6 shown in FIG. 2 is covered on the case substrate 5, and the cap 6 and the case substrate 5 are joined again by the reflow soldering method. Join.
【0010】[0010]
【発明が解決しようとする課題】上記のように、従来の
SAW装置12(図2)の製造に際しては、高価な位置
決め装置13を用いて、SAW素子1のケース基板5に
対する位置決めを行わねばならず、操作が煩雑であるだ
けでなく、コストが高くつくという問題があった。As described above, when manufacturing the conventional SAW device 12 (FIG. 2), the expensive positioning device 13 must be used to position the SAW element 1 with respect to the case substrate 5. However, there is a problem that not only the operation is complicated but also the cost is high.
【0011】しかも、SAW素子1をケース基板5上に
半田付けした後に、キャップ6を接合しなければなら
ず、従って、半田9,10による接合作業と、半田11
による接合作業との2段階の接合作業を実施しなければ
ならなかった。Moreover, the cap 6 must be joined after the SAW element 1 is soldered on the case substrate 5, and therefore the joining work with the solders 9 and 10 and the solder 11 are required.
It was necessary to carry out a two-step joining work including the joining work according to.
【0012】本発明の目的は、高価な位置決め装置を必
要とすることなく、SAW素子のケース材への位置決め
を容易に行うことができ、かつケース材同士の接合をS
AW素子のケース材への接合と同一工程で行い得る、S
AW装置の製造方法及びそのようなSAW装置を提供す
ることにある。An object of the present invention is to easily position a SAW element on a case material without requiring an expensive positioning device, and to bond the case materials to each other by S.
S that can be performed in the same process as the joining of the AW element to the case material
An object of the present invention is to provide a method for manufacturing an AW device and such a SAW device.
【0013】また、本発明の他の目的は、SAW素子の
サイズを統一することなく、各SAW素子に適したパッ
ケージ構造を構成し得るSAW装置の製造方法及びその
ようなSAW装置を提供することにある。Another object of the present invention is to provide a method of manufacturing a SAW device which can form a package structure suitable for each SAW device without unifying the size of the SAW device, and a SAW device such as this. It is in.
【0014】[0014]
【課題を解決するための手段】本願発明者らは、上述し
た課題を達成するために、溶融半田の表面張力を利用し
てSAW素子のケース材への位置決めを行うことによ
り、高価な位置決め装置の使用を省略し得る方法を先に
提案した。この方法を、図4及び図5を参照して説明す
る。In order to achieve the above-mentioned object, the inventors of the present invention use the surface tension of the molten solder to position the SAW element on the case material, thereby making an expensive positioning device. I have proposed a method that can omit the use of. This method will be described with reference to FIGS. 4 and 5.
【0015】この方法では、絶縁性セラミックスよりな
るケース基板21の上面にSAW素子と接続するための
電極ランド22,23と、キャップ25を接合するため
の角環状の金属パッド26とを形成する。In this method, the electrode lands 22 and 23 for connecting to the SAW element and the rectangular metal pad 26 for joining the cap 25 are formed on the upper surface of the case substrate 21 made of insulating ceramics.
【0016】次に、電極ランド22,23上に半田バン
プ28a,29aを形成し、該半田バンプ28a,29
aの上方からSAW素子24をフェイスダウン方式で載
置する。この場合の位置決めは、SAW素子24の端子
電極27a,27bの少なくとも一部が、半田バンプ2
8a,29aの上方に位置するように行う。Next, solder bumps 28a and 29a are formed on the electrode lands 22 and 23, and the solder bumps 28a and 29a are formed.
The SAW element 24 is mounted face down from above a. In this case, at least a part of the terminal electrodes 27a and 27b of the SAW element 24 is positioned so that the solder bump 2
It is performed so that it is located above 8a and 29a.
【0017】次に、金属パッドの26上に半田バンプ3
0を付与し、キャップ25を被せる。さらに、全体を加
熱することにより、半田バンプ28a,29a,30a
を溶融し、しかる後冷却することにより半田付けを行
う。この場合、半田バンプ28a,29aが溶融する
と、その表面張力により、SAW素子24が、図4の矢
印A方向に移動することになる。すなわち、端子電極2
7a,27bの中心が電極ランド22,23に対して正
確に位置決めされるように、SAW素子24が移動する
ことになる。Next, the solder bumps 3 are formed on the metal pads 26.
0 is applied and the cap 25 is covered. Further, by heating the whole, the solder bumps 28a, 29a, 30a
Is melted and then cooled to perform soldering. In this case, when the solder bumps 28a and 29a are melted, the SAW element 24 moves in the direction of arrow A in FIG. 4 due to the surface tension thereof. That is, the terminal electrode 2
The SAW element 24 is moved so that the centers of 7a and 27b are accurately positioned with respect to the electrode lands 22 and 23.
【0018】その結果、SAW素子24をケース基板2
1に対して粗く位置決めした場合であっても、図5に示
すように、SAW素子24の端子電極27a,27bの
電極ランド22,23に対する正確な位置決めが果たさ
れ、半田28,29により接合される。また、半田30
による金属キャップ25のケース基板21に対する接合
も、上記SAW素子24のケース基板21への接合と同
一工程で行うことが可能とされる。As a result, the SAW element 24 is attached to the case substrate 2
Even when the positioning is roughly performed with respect to No. 1, as shown in FIG. 5, accurate positioning of the terminal electrodes 27a and 27b of the SAW element 24 with respect to the electrode lands 22 and 23 is achieved, and the solder 28 and 29 are used for joining. To be done. Also, solder 30
The bonding of the metal cap 25 to the case substrate 21 by means of the above can be performed in the same step as the bonding of the SAW element 24 to the case substrate 21.
【0019】しかしながら、上記の方法では、半田の表
面張力を利用することにより、いわゆるセルフアライメ
ント効果によりSAW素子24の位置決めが果たされる
が、上記効果を利用する場合には、SAW素子24の側
面24bと、キャップ25の内側壁25aとの間のクリ
アランスを、半田バンプ28a,29aの直径以下にし
なければならない。However, in the above method, the SAW element 24 is positioned by the so-called self-alignment effect by utilizing the surface tension of the solder, but in the case of utilizing the above effect, the side surface 24b of the SAW element 24 is used. And the clearance between the inner wall 25a of the cap 25 and the solder bumps 28a, 29a must be equal to or less than the diameter of the solder bumps 28a, 29a.
【0020】他方、SAW素子24の寸法は、目的とす
るSAW装置によって大きく異なる。従って、上記方法
を利用する場合には、ケース基板21及びキャップ25
で構成されるパッケージの内側壁とSAW素子24の側
面との間のクリアランスを半田バンプ28a,29aの
直径以下とするために、様々な大きさのSAW素子に応
じて、様々な大きさのケース基板21及びキャップ25
を用意しなければならなかった。従って、パッケージを
構成するための金型費用が高くつき、かつSAW素子の
大きさに応じて種々の製造設備を用意しなければならな
いという問題があった。On the other hand, the size of the SAW element 24 greatly differs depending on the target SAW device. Therefore, when the above method is used, the case substrate 21 and the cap 25
In order to keep the clearance between the inner side wall of the package formed by and the side surface of the SAW element 24 to be equal to or less than the diameter of the solder bumps 28a, 29a, cases of various sizes depending on various sizes of SAW elements. Substrate 21 and cap 25
Had to prepare. Therefore, there has been a problem that a die cost for constructing the package is high and various manufacturing facilities must be prepared according to the size of the SAW element.
【0021】もっとも、IDTの数やIDTを構成して
いる電極指の数の如何に関わらず、最も大きなサイズの
SAW素子の表面波基板に合わせて、全てのSAW素子
の基板サイズを統一すれば、上記の問題は解消すること
ができる。しかしながら、その場合には、小さな表面波
基板で構成し得るSAW素子についても、チップサイズ
を大きくしなければならないため、表面波基板材料が高
くつくという問題が生じる。However, regardless of the number of IDTs or the number of electrode fingers forming the IDTs, if the surface acoustic wave substrate of the largest size SAW element is used, the substrate size of all SAW elements is unified. The above problems can be solved. However, in that case, the SAW element that can be configured with a small surface wave substrate also needs to have a large chip size, which causes a problem that the surface wave substrate material is expensive.
【0022】そこで、本願発明者は、上記溶融半田のセ
ルフアライメント効果を利用してSAW素子の位置決め
を果たし得る方法において、さらに種々多様な寸法のパ
ッケージや製造設備を要することなく、種々の寸法のS
AW素子に適用し得る方法を提供しようとして、本発明
をなすに至った。Therefore, the inventor of the present invention, in the method capable of performing the positioning of the SAW element by utilizing the self-alignment effect of the molten solder described above, does not require packages of various various sizes and manufacturing equipments of various sizes. S
The present invention has been accomplished in an attempt to provide a method applicable to an AW element.
【0023】すなわち、本発明の電子部品の製造方法
は、複数の電極ランドが上面に形成された第1のケース
材を用意する工程と、前記複数の電極ランド上に半田バ
ンプを付与する工程と、前記第1のケース材の上面に、
前記半田バンプの上方に外部接続用電極の少なくとも一
部が位置するように、外部電極接続用電極を有する電子
部品素子を載置する工程と、前記第1のケース材と接合
されて前記電子部品素子を収納する内部空間を有するパ
ッケージを構成する第2のケース材を、前記第1のケー
ス材上に組み合わせる工程と、前記パッケージ内におけ
る電子部品素子の横方向の移動を規制するために、内側
面の電子部品素子の側面との間のクリアランスが前記半
田バンプの径以下となるように位置決め用ガイドを配置
する工程と、加熱により前記半田バンプを溶融し、前記
第1のケース材の電極ランドと、前記電子部品素子の外
部接続用電極とを半田付けする工程とを備えることを特
徴とする、電子部品の製造方法である。That is, the method of manufacturing an electronic component of the present invention comprises the steps of preparing a first case member having a plurality of electrode lands formed on the upper surface thereof, and providing solder bumps on the plurality of electrode lands. , On the upper surface of the first case material,
A step of placing an electronic component element having an electrode for external electrode connection so that at least a part of the electrode for external connection is located above the solder bump; and the electronic component bonded to the first case member. A step of combining a second case member, which constitutes a package having an internal space for accommodating the element, with the first case member; and an internal component for restricting a lateral movement of the electronic component element in the package. The step of arranging the positioning guide so that the clearance between the side surface and the side surface of the electronic component element is equal to or smaller than the diameter of the solder bump, and the solder bump is melted by heating, and the electrode land of the first case member is melted. And a step of soldering the electrode for external connection of the electronic component element, the method for manufacturing an electronic component.
【0024】なお、上記横方向とは、SAW素子の主面
に平行な方向をいい、矩形の電子部品素子の場合には、
長辺方向または短辺方向である。また、電子部品素子の
横方向寸法及びパッケージ内部空間の横方向寸法なる表
現における両者の横方向は、同一方向である。The lateral direction is a direction parallel to the main surface of the SAW element, and in the case of a rectangular electronic component element,
Long-side direction or short-side direction. Further, in the expressions of the lateral dimension of the electronic component element and the lateral dimension of the package internal space, the both lateral directions are the same direction.
【0025】なお、上記電子部品素子の横方向の移動を
規制するための位置決め用ガイドを配置する工程は、可
能である限り、いずれの段階において行われてもよい。
すなわち、予め用意された第1のケース材の上面に位置
決め用ガイドを固定してもよく、あるいは第1のケース
材と同一材料で一体的に位置決め用ガイドを構成してお
いてもよい。さらに、第2のケース材に上記位置決め用
ガイドを予め固着しておいてもよく、あるいは第2のケ
ース材と同一材料により一体的に位置決め用ガイドを構
成してもよい。さらに、第1、第2のケース部材とは別
部材の位置決め用ガイドを、第1、第2のケース材を組
み合わせるに際しパッケージの内部空間に配置してもよ
い。もっとも、位置決め用ガイドは、電子部品素子を第
1のケース材の上面に載置する工程の前までに、パッケ
ージの内部空間に配置される必要がある。The step of arranging the positioning guide for regulating the lateral movement of the electronic component element may be carried out at any stage as long as possible.
That is, the positioning guide may be fixed to the upper surface of the first case material prepared in advance, or the positioning guide may be integrally formed of the same material as the first case material. Further, the positioning guide may be fixed to the second case material in advance, or the positioning guide may be integrally formed of the same material as the second case material. Furthermore, a positioning guide, which is a member separate from the first and second case members, may be arranged in the internal space of the package when the first and second case members are combined. However, the positioning guide needs to be arranged in the internal space of the package before the step of mounting the electronic component element on the upper surface of the first case member.
【0026】また、本発明の特定的な局面では、上記電
子部品素子は、第1の対向二側面及び第2の対向二側面
を有する矩形板状の形状を有し、上記位置決め用ガイド
が、第1の対向二側面を結ぶ第1の方向及び第1の方向
に直交する第2の方向の双方における電子部品素子の移
動を規制するように、該位置決め用ガイドの内側面が、
上記第1の対向二側面の一方及び第2の対向二側面の一
方と上記クリアランスを隔てて配置される。Further, in a specific aspect of the present invention, the electronic component element has a rectangular plate-like shape having a first opposing two side surface and a second opposing two side surface, and the positioning guide includes: The inner side surface of the positioning guide is arranged so that the movement of the electronic component element in both the first direction connecting the first opposing two side surfaces and the second direction orthogonal to the first direction is restricted.
The clearance is arranged so as to be separated from one of the first opposite two side surfaces and one of the second opposite two side surfaces.
【0027】また、上記位置決め用ガイドは、角環状の
単一のガイド部材により構成されていてもよい。あるい
は、上記位置決め用ガイドは、第1,第2のガイド部材
を少なくとも有するように構成されてもよく、その場合
には、第1,第2のガイド部材が矩形板状の電子部品素
子の対向し合う一対のコーナー部分に分散されて配置さ
れる。Further, the positioning guide may be composed of a single rectangular annular guide member. Alternatively, the positioning guide may be configured to have at least first and second guide members, and in that case, the first and second guide members are opposed to the rectangular plate-shaped electronic component element. It is arranged in a distributed manner at a pair of corners that meet each other.
【0028】また、上記位置決め用ガイドは、第1のケ
ース部材及び第2のケース部材の少なくとも一方に固着
され得る。この場合、位置決め用ガイドが複数の部材で
構成されている場合には、第1,第2のケース部材に分
散して位置決め用ガイドが固着されていてもよい。The positioning guide may be fixed to at least one of the first case member and the second case member. In this case, when the positioning guide is composed of a plurality of members, the positioning guides may be dispersed and fixed to the first and second case members.
【0029】上記位置決め用ガイドは、第1、第2のケ
ース部材の少なくとも一方に同じ材料により一体的に構
成されていてもよい。この場合においても、位置決め用
ガイドが複数のガイド部材からなる場合には、第1、第
2のケース部材に分散されていてもよい。The positioning guide may be integrally formed of at least one of the first and second case members with the same material. Also in this case, when the positioning guide is composed of a plurality of guide members, the positioning guides may be dispersed in the first and second case members.
【0030】さらに、本発明の特定的な局面では、上記
電子部品素子はSAW素子であり、該SAW素子がフェ
イスダウン方式で第1のケース材上に載置される。ま
た、本発明の電子部品は、本発明の電子部品の製造方法
により得られるものであり、複数の電極ランドが上面に
形成された第1のケース材と、前記第1のケース材の電
極ランドに半田により接合された外部接続用電極を有す
る電子部品素子と、前記第1のケース材と接合されて前
記電子部品素子を内部に収納する空間を有するパッケー
ジを構成する第2のケース材と、前記パッケージの内部
空間内において前記電子部品素子の横方向の移動を規制
するために、内側面の前記電子部品素子の側面との間の
クリアランスが前記半田バンプの径以下となるように配
置された位置決め用ガイドとを備える、電子部品であ
る。Further, according to a specific aspect of the present invention, the electronic component element is a SAW element, and the SAW element is mounted on the first case member in a face-down manner. The electronic component of the present invention is obtained by the method of manufacturing an electronic component of the present invention, and includes a first case member having a plurality of electrode lands formed on its upper surface, and an electrode land of the first case member. An electronic component element having an external connection electrode joined by solder to the second case member, and a second case member that is joined to the first case member to form a package having a space for accommodating the electronic component element inside; In order to regulate the lateral movement of the electronic component element in the internal space of the package, the clearance between the inner side surface and the side surface of the electronic component element is arranged to be equal to or smaller than the diameter of the solder bump. An electronic component including a positioning guide.
【0031】[0031]
【作用】本発明の製造方法では、上記位置決め用ガイド
が配置された後に、電子部品素子が第1のケース材の上
面に載置される。この場合、位置決め用ガイドの内側面
と、電子部品素子の側面との間のクリアランスが半田バ
ンプの径以下となるように構成されているため、電子部
品素子の外部接続用電極の少なくとも一部が、確実に半
田バンプの上方に位置することになる。従って、加熱に
より半田が溶融した際の半田の表面張力により、外部接
続電極が半田、ひいては第1のケース材の電極ランドの
直上に位置するように、電子部品素子が移動することに
なる。すなわち、半田の表面張力によるセルフアライメ
ント効果を利用して、第1のケース材上の電極ランドに
対し、電子部品素子の外部接続用電極が正確に位置決め
される。In the manufacturing method of the present invention, the electronic component element is placed on the upper surface of the first case member after the positioning guide is arranged. In this case, since the clearance between the inner side surface of the positioning guide and the side surface of the electronic component element is configured to be equal to or smaller than the diameter of the solder bump, at least a part of the external connection electrode of the electronic component element is formed. , Surely located above the solder bumps. Therefore, due to the surface tension of the solder when the solder is melted by heating, the electronic component element is moved so that the external connection electrode is located directly above the solder, and by extension, the electrode land of the first case material. That is, the external connection electrode of the electronic component element is accurately positioned with respect to the electrode land on the first case material by utilizing the self-alignment effect due to the surface tension of the solder.
【0032】よって、予め電子部品素子を高価な位置決
め装置を用いて正確に一義メッキすることなく、電子部
品素子の外部接続用電極を上記電極ランドに確実に接合
する事ができる。Therefore, the external connection electrode of the electronic component element can be reliably bonded to the electrode land without accurately and uniquely plating the electronic component element in advance by using an expensive positioning device.
【0033】しかも、本発明の製造方法では、上記位置
決め用ガイドがパッケージの内部空間に配置されている
ため、該位置決め用ガイドで囲まれた領域内に電子部品
素子を挿入しさえすれば、半田バンプの上方に外部接続
用電極の少なくとも一部が位置するように上記位置決め
が果たされる。Further, in the manufacturing method of the present invention, since the positioning guide is arranged in the internal space of the package, the solder can be used as long as the electronic component element is inserted into the area surrounded by the positioning guide. The positioning is performed so that at least a part of the external connection electrode is located above the bump.
【0034】また、上記位置決め用ガイドの外側面と、
電子部品素子の側面との間のクリアランスを半田バンプ
の径以下とし得るように位置決め用ガイドを構成しさえ
すれば、種々の大きさの電子部品素子に対応することも
できる。すなわち、パッケージの寸法を変えることな
く、上記位置決め用ガイドの寸法を変更するだけで、種
々の大きさの電子部品素子に対応することができるた
め、多種多様なパッケージを構成するために多種多様な
金型を用意する必要がない。さらに、電子部品素子の大
きさを揃える必要もないため、電子部品素子を構成する
圧電基板などの材料費を低減することも可能となる。Also, an outer surface of the positioning guide,
As long as the positioning guide is configured so that the clearance between the side surface of the electronic component element and the diameter of the solder bump can be set to be equal to or smaller than the diameter of the solder bump, the electronic component element of various sizes can be accommodated. That is, since it is possible to deal with electronic component elements of various sizes simply by changing the dimension of the positioning guide without changing the dimension of the package, it is possible to configure various types of packages for various types of packages. There is no need to prepare a mold. Further, since it is not necessary to make the sizes of the electronic component elements uniform, it is possible to reduce the material cost of the piezoelectric substrate or the like which constitutes the electronic component element.
【0035】また、本発明の製造方法では、上記半田の
表面張力により電子部品素子の位置決めを行い得るた
め、第1、第2のケース材の接合を、電子部品素子の第
1のケース材に対する接合と同一工程で行うこともでき
る。すなわち、電子部品素子を第1のケース材上に載置
した状態において、さらに第2のケース材を第1のケー
ス材に半田や熱硬化性樹脂製接着剤を介して組み合わ
せ、加熱により電子部品素子と第1のケース材との接合
及び第1、第2のケース材間の接合の双方を同一工程で
行うことも可能である。In the manufacturing method of the present invention, since the electronic component element can be positioned by the surface tension of the solder, the first and second case members are joined to the first case member of the electronic component element. It can also be performed in the same step as the joining. That is, in a state in which the electronic component element is placed on the first case member, the second case member is further combined with the first case member through solder or thermosetting resin adhesive, and the electronic component is heated. It is also possible to perform both the joining of the element and the first case material and the joining of the first and second case materials in the same step.
【0036】また、本発明の電子部品では、内側面が上
記電子部品素子の側面に対して所定のクリアランスを有
する位置決め用ガイドが、パッケージ内部空間に配置さ
れているため、第1のケース材上の電極ランドに対し
て、電子部品素子の外部接続電極が確実に位置決めされ
て半田付けされている。よって、外部との電気的接続の
信頼性に優れている電子部品を提供することができる。Further, in the electronic component of the present invention, since the positioning guide having the inner side surface having a predetermined clearance with respect to the side surface of the electronic component element is arranged in the package inner space, the first case member top The external connection electrodes of the electronic component element are reliably positioned and soldered to the electrode lands. Therefore, it is possible to provide an electronic component having excellent reliability of electrical connection with the outside.
【0037】[0037]
【実施例の説明】以下、図面を参照しつつ実施例を説明
することにより、本発明を明らかにする。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention will be clarified by describing embodiments with reference to the drawings.
【0038】本発明の一実施例の製造方法では、先ず、
図6に示すケース基板41を第1のケース材として用意
する。ケース基板41としては、アルミナなどの絶縁性
セラミックスまたは表面を絶縁被覆された金属板などの
適宜の表面が絶縁性の材料を用いることができる。In the manufacturing method of one embodiment of the present invention, first,
The case substrate 41 shown in FIG. 6 is prepared as a first case material. As the case substrate 41, an insulating ceramic such as alumina or a material having an appropriate insulating surface such as a metal plate having an insulating surface coated can be used.
【0039】ケース基板41の上面には、SAW素子2
4を接合するための電極ランド42,43が形成されて
いる。さらに、ケース基板41の上面外周縁近傍には、
第2のケース材としてのキャップ45を接合するための
金属パッド46が角環状に形成されている。On the upper surface of the case substrate 41, the SAW element 2
Electrode lands 42 and 43 for joining 4 are formed. Further, near the outer peripheral edge of the upper surface of the case substrate 41,
A metal pad 46 for joining the cap 45 as the second case member is formed in a square ring shape.
【0040】SAW素子24は、本発明の電子部品素子
を構成するものであり、図1に示したSAW素子1と同
様に構成されている。すなわち、SAW素子24は、表
面波基板24aの図6に示した下面側に一対のIDT
と、4つの外部接続用電極としての端子電極を形成した
構造を有する。もっとも、図6では、4つの端子電極の
うち、端子電極27a,27bのみが図示されている。
従って、SAW素子24は、上記のようにフェイスダウ
ン方式でケース基板41に固定される。The SAW element 24 constitutes the electronic component element of the present invention, and has the same configuration as the SAW element 1 shown in FIG. That is, the SAW element 24 includes a pair of IDTs on the lower surface side of the surface acoustic wave substrate 24a shown in FIG.
And a structure in which four terminal electrodes as external connection electrodes are formed. However, in FIG. 6, among the four terminal electrodes, only the terminal electrodes 27a and 27b are shown.
Therefore, the SAW element 24 is fixed to the case substrate 41 by the face-down method as described above.
【0041】また、本実施例では、ケース基板41の上
面に、ケース基板41と一体に位置決め用ガイド47が
形成されている。位置決め用ガイド47は、ケース基板
41の上面において上方に突出形成されている。また、
位置決め用ガイド47の平面形状は、ケース基板41の
平面図である図7から明らかなように、角環状である。Further, in this embodiment, a positioning guide 47 is formed integrally with the case substrate 41 on the upper surface of the case substrate 41. The positioning guide 47 is formed so as to project upward on the upper surface of the case substrate 41. Also,
The planar shape of the positioning guide 47 is a square ring shape, as is clear from FIG. 7, which is a plan view of the case substrate 41.
【0042】このように、位置決め用ガイドを単一の環
状部材で構成する場合、電子部品素子の角外周の形状に
応じて、角環状あるいは円環状等の形状とすることがで
きる。As described above, when the positioning guide is composed of a single annular member, it can be formed in a square ring shape or a circular ring shape depending on the shape of the corner outer circumference of the electronic component element.
【0043】位置決め用ガイド47の内側面47aと、
該内側面47aに対向し合っているSAW素子24の側
面24bとの間のクリアランスは、後述の半田バンプの
直径φ以下とされている。なお、この場合、位置決め用
ガイド47とSAW素子24の側面24bとの間の横方
向におけるクリアランスとは、位置決め用ガイド47の
内側面と、その内側面に対向し合っているSAW素子2
4の側面との間のクリアランスをいう。従って、図7に
示す位置決め用ガイド47の長辺側の内側面47bは、
SAW素子24の長辺側の側面24bとの間のクリアラ
ンスが後述する半田バンプの直径φよりも小さくされて
いる。An inner surface 47a of the positioning guide 47,
The clearance between the inner side surface 47a and the side surface 24b of the SAW element 24 facing each other is set to a diameter φ or less of a solder bump described later. In this case, the lateral clearance between the positioning guide 47 and the side surface 24b of the SAW element 24 is the inner side surface of the positioning guide 47 and the SAW element 2 facing the inner side surface.
4 It is the clearance between the sides. Therefore, the inner side surface 47b on the long side of the positioning guide 47 shown in FIG.
The clearance between the SAW element 24 and the side surface 24b on the long side is smaller than the diameter φ of the solder bump described later.
【0044】本実施例では、SAW素子24のケース基
板41への固定は、以下のようにして行われる。まず、
ケース基板41の電極ランド42,43上に図6に示す
ように半田バンプ28a,29aを付与する。半田バン
プ28a,29aは、本実施例では、半球状の形状を有
し、その直径がφとされている。半田バンプ28a,2
9aの直径φは、電極ランド42,43の径とほぼ等し
くされている。In the present embodiment, the SAW element 24 is fixed to the case substrate 41 as follows. First,
Solder bumps 28a and 29a are provided on the electrode lands 42 and 43 of the case substrate 41 as shown in FIG. In the present embodiment, the solder bumps 28a, 29a have a hemispherical shape and have a diameter of φ. Solder bumps 28a, 2
The diameter φ of 9a is made substantially equal to the diameter of the electrode lands 42 and 43.
【0045】また、金属パッド46上に、半田バンプ3
0aを塗布する。この半田バンプ30は、金属パッド4
6の上面の全面を覆うように、すなわち角環状に付与さ
れている。Further, the solder bump 3 is formed on the metal pad 46.
Apply 0a. The solder bump 30 is formed on the metal pad 4
It is provided so as to cover the entire upper surface of 6, that is, in the shape of a square ring.
【0046】次に、図6に示すように、SAW素子24
を位置決め用ガイド47で囲まれた領域内に挿入し、配
置する。この場合、SAW素子24の正確な位置決めは
必要ではなく、上記位置決め用ガイド47で囲まれた領
域内に配置さえすればよい。すなわち、位置決め用ガイ
ド47の内側面47aは、該内側面と対向し合うSAW
素子24の側面と上記クリアランスを隔てて配置されて
いるため、SAW素子24を位置決め用ガイド47で囲
まれた領域内に挿入するだけで、端子電極27a,27
bの少なくとも一部が、半田バンプ48,49の上方に
位置するようにSAW素子24が位置決めされることに
なる。Next, as shown in FIG. 6, the SAW element 24
Is inserted and arranged in the area surrounded by the positioning guide 47. In this case, the accurate positioning of the SAW element 24 is not necessary, and it is sufficient if the SAW element 24 is arranged within the area surrounded by the positioning guide 47. That is, the inner side surface 47a of the positioning guide 47 is a SAW that faces the inner side surface.
Since the side surface of the element 24 and the clearance are arranged apart from each other, the SAW element 24 is simply inserted into the area surrounded by the positioning guide 47, so that the terminal electrodes 27a, 27 are formed.
The SAW element 24 is positioned so that at least a part of b is located above the solder bumps 48 and 49.
【0047】図6に示した状態では、端子電極27a,
27bの中心は、図4に示した場合と同様に、半田バン
プ48,49の中心から左側にずれている。次に、第2
のケース材としての金属キャップ45をケース基板41
に被せる。この場合、半田バンプ30a上に金属キャッ
プ45の下方端面が当接するように金属キャップ45が
ケース基板41に被せられる。In the state shown in FIG. 6, the terminal electrodes 27a,
The center of 27b is displaced to the left from the centers of the solder bumps 48 and 49, as in the case shown in FIG. Then the second
The metal cap 45 as the case material of the case substrate 41
Cover. In this case, the metal cap 45 is covered on the case substrate 41 so that the lower end surface of the metal cap 45 contacts the solder bump 30a.
【0048】しかる後、リフロー半田付け法により、半
田バンプ48a,49a,30を溶融し、しかる後、冷
却することにより、半田付けを行う。この場合、半田バ
ンプ48a,49aが溶融すると、半田の表面張力によ
り、端子電極27a,27bが半田バンプ48a,49
aの直上に位置するように、すなわち電極ランド42,
43の直上に位置するようにSAW素子24が移動され
る。After that, the solder bumps 48a, 49a, 30 are melted by the reflow soldering method, and then cooled to perform soldering. In this case, when the solder bumps 48a and 49a are melted, the surface tension of the solder causes the terminal electrodes 27a and 27b to move to the solder bumps 48a and 49a.
so as to be located immediately above a, that is, the electrode lands 42,
The SAW element 24 is moved so as to be located directly above 43.
【0049】その結果、図8に示したように、SAW素
子24の端子電極27a,27bが電極ランド22,2
3に対して、互いの中心がほぼ一致するように位置決め
された状態で、半田48,49によりSAW素子24が
ケース基板41に対して固定される。また、半田48,
49により、端子電極27a,27bと電極ランド4
2,43との間の電気的接続が果たされることになる。As a result, as shown in FIG. 8, the terminal electrodes 27a and 27b of the SAW element 24 become the electrode lands 22 and 2.
The SAW element 24 is fixed to the case substrate 41 by the solders 48 and 49 while being positioned so that the centers thereof are substantially aligned with each other. Also, the solder 48,
49, the terminal electrodes 27a and 27b and the electrode land 4
The electrical connection between 2, 43 will be established.
【0050】さらに、上記半田付けにより金属キャップ
45についても、半田30によりケース基板41に対し
て接合される。上記のように、本実施例の製造方法によ
れば、位置決め用ガイド47で囲まれた領域内にSAW
素子24を載置するだけで、半田の表面張力により、S
AW素子24が移動することになり、SAW素子24の
端子電極27a,27bの電極ランド42,43に対す
る正確な位置決めが果たされる。Further, the metal cap 45 is also joined to the case substrate 41 by the solder 30 by the above soldering. As described above, according to the manufacturing method of this embodiment, the SAW is set in the area surrounded by the positioning guide 47.
Just by mounting the element 24, the surface tension of the solder causes S
Since the AW element 24 moves, the accurate positioning of the terminal electrodes 27a and 27b of the SAW element 24 with respect to the electrode lands 42 and 43 is achieved.
【0051】しかも、SAW素子24として、表面波基
板24aのサイズが異なるものを用いた場合には、該表
面波基板の寸法に応じて、位置決め用ガイド47の寸法
を変更するだけでよい。すなわち、位置決め用ガイド4
7の内側面47bと、該内側面に対向する新たに用意さ
れたSAW素子の側面との間のクリアランスが半田バン
プの直径φ以下となるように、位置決め用ガイド47の
寸法を変更するだけで対応することができる。よって、
位置決め用ガイド47を変更するだけで、種々の寸法の
SAW素子に対応することができる。Moreover, when SAW elements 24 having different sizes of the surface acoustic wave substrate 24a are used, it is only necessary to change the dimension of the positioning guide 47 according to the dimension of the surface acoustic wave substrate. That is, the positioning guide 4
The dimension of the positioning guide 47 is simply changed so that the clearance between the inner side surface 47b of No. 7 and the side surface of the newly prepared SAW element facing the inner side surface is equal to or less than the diameter φ of the solder bump. Can respond. Therefore,
By changing the positioning guide 47, SAW elements of various sizes can be dealt with.
【0052】また、位置決め用ガイド47の寸法や形成
位置を変更した場合でも、ケース基板41の外形寸法は
変更しなくともよい。よって、第1、第2のケース材と
しての、ケース基板41やキャップ45を得るための金
型を大きく変更する必要がない。Further, even when the size or forming position of the positioning guide 47 is changed, the outer size of the case substrate 41 does not have to be changed. Therefore, it is not necessary to greatly change the dies for obtaining the case substrate 41 and the cap 45 as the first and second case materials.
【0053】変形例 上記実施例では、位置決め用ガイド47が角環状の形状
を有するように構成されており、かつケース基板41に
一体に構成されていたが、本発明の位置決め用ガイドは
種々変形し得る。 Modifications In the above embodiment, the positioning guide 47 is configured to have a rectangular ring shape and is integrated with the case substrate 41, but the positioning guide of the present invention is variously modified. You can
【0054】図9は、位置決め用ガイドの第1の変形例
を示すケース基板の平面図である。ここでは、ケース基
板41の上面にコーナー部分の内側においてガイド部材
51〜54が配置されている。各ガイド部材51〜54
は、ケース基板41の上面から上方に突出するようにケ
ース基板41の上面に固着されている。また、各ガイド
部材51〜54は、その平面形状が略L字状とされてお
り、従って、矩形のSAW素子24の第1の対向二側面
を結ぶ第1の方向及び第1の方向に直交する第2の方向
の双方の方向におけるSAW素子24の移動を規制する
ように構成されている。すなわち、各ガイド部材51〜
54の内側面が、上記第1の対向二側面の一方及び第2
の対向二側面の一方と上記クリアランスを隔てて配置さ
れるように構成されている。FIG. 9 is a plan view of a case substrate showing a first modification of the positioning guide. Here, the guide members 51 to 54 are arranged on the upper surface of the case substrate 41 inside the corners. Each guide member 51-54
Are fixed to the upper surface of the case substrate 41 so as to project upward from the upper surface of the case substrate 41. In addition, each of the guide members 51 to 54 has a substantially L-shaped planar shape, and therefore, is orthogonal to the first direction and the first direction connecting the first two opposite side surfaces of the rectangular SAW element 24. It is configured to regulate the movement of the SAW element 24 in both the first and second directions. That is, each guide member 51 to
The inner side surface of 54 is one of the first opposing two side surfaces and the second side surface.
Is arranged so as to be separated from one of the two opposite side surfaces of the above-mentioned clearance.
【0055】なお、図9に示した例では、ケース基板4
1のコーナー部分にガイド部材51〜54が配置されて
いるが、ガイド部材51,54のみ、あるいはガイド部
材52,53のみを設けてもよい。すなわち、矩形板状
のSAW素子の対向し合う一対のコーナー部分に分散し
て配置された上記一組のガイド部材51,54のみまた
は他の組のガイド部材52,53のみを形成してもよ
い。In the example shown in FIG. 9, the case substrate 4
Although the guide members 51 to 54 are arranged at the corners of No. 1, only the guide members 51 and 54 or only the guide members 52 and 53 may be provided. That is, only one set of the guide members 51, 54 or another set of the guide members 52, 53 dispersedly arranged at a pair of facing corner portions of the rectangular plate-shaped SAW element may be formed. .
【0056】図10は、位置決め用ガイドの第2の変形
例を説明するためのSAW装置の断面図である。図10
に示した変形例では、位置決め用ガイド55が、第2の
ケース材としての金属キャップ45の下面に形成されて
いる。すなわち、本発明の位置決め用ガイドは、パッケ
ージを構成する第2のケース材側に構成されていてもよ
い。FIG. 10 is a sectional view of a SAW device for explaining a second modification of the positioning guide. Figure 10
In the modification shown in (1), the positioning guide 55 is formed on the lower surface of the metal cap 45 as the second case member. That is, the positioning guide of the present invention may be configured on the side of the second case member that constitutes the package.
【0057】図11は、本発明の位置決め用ガイドのさ
らに他の例を説明するための分解断面図である。本実施
例では、ケース基板41上に、絶縁性セラミックス、合
成樹脂もしくは適宜の合成材料よりなる位置決め用ガイ
ド56が別部材として用意され、かつケース基板41上
に絶縁性接着剤を用いて固着される。その他の点につい
ては、図6に示した実施例と同様である。このように、
本発明の位置決め用ガイドは、第1、第2のケース材と
別の部材で構成されてもよい。FIG. 11 is an exploded sectional view for explaining still another example of the positioning guide of the present invention. In this embodiment, a positioning guide 56 made of insulating ceramics, synthetic resin or an appropriate synthetic material is prepared as a separate member on the case substrate 41, and is fixed on the case substrate 41 using an insulating adhesive. It The other points are similar to those of the embodiment shown in FIG. in this way,
The positioning guide of the present invention may be composed of a member different from the first and second case members.
【0058】なお、上述した実施例では、第1,第2の
ケース材の接合は半田により行っていたが、エポキシ樹
脂などの熱硬化性樹脂よりなる接着剤を用いて第1、第
2のケース材を接合してもよい。その場合においても、
熱硬化性樹脂よりなる接着剤を硬化させるための加熱処
理において、上記SAW素子の第1のケース材に対する
半田による接合工程を同時に実施することができる。In the above-described embodiment, the first and second case members are joined by soldering, but the first and second case members are joined by using an adhesive made of a thermosetting resin such as epoxy resin. You may join case materials. Even in that case,
In the heat treatment for curing the adhesive made of the thermosetting resin, the step of joining the SAW element to the first case member with solder can be simultaneously performed.
【0059】また、上記実施例では、電子部品素子とし
てSAW素子24を用いた場合につき説明したが、本発
明は、SAW素子以外の他の電子部品素子をパッケージ
内に収納してなる構造にも一般的に適用することができ
る。Further, in the above embodiment, the case where the SAW element 24 is used as the electronic component element has been described, but the present invention also has a structure in which the electronic component element other than the SAW element is housed in the package. Generally applicable.
【0060】[0060]
【発明の効果】以上のように、本発明の製造方法では、
電子部品素子を位置決め用ガイドで囲まれた領域内にお
いて、第1のケース材上に載置し、加熱処理を施すだけ
で、電子部品素子の外部接続用電極を第1のケース材上
の電極ランドに対して確実に接合することができる。従
って、従来必要であった高価な位置決め装置を必要とし
ないため、電子部品の製造コストを低減することができ
る。As described above, in the production method of the present invention,
By placing the electronic component element on the first case material in a region surrounded by the positioning guide and performing heat treatment, the external connection electrode of the electronic component element is formed on the first case material. It can be reliably bonded to the land. Therefore, an expensive positioning device which has been required in the past is not required, so that the manufacturing cost of electronic components can be reduced.
【0061】しかも、電子部品素子の第1のケース材に
対する半田による接合と、第1、第2のケース材の加熱
による接合を同一工程で実施することも可能である。よ
って、電子部品素子を第1、第2のケース材で構成され
るパッケージ内に封止した構造を有する電子部品の製造
工程を簡略化することができる。Moreover, it is also possible to carry out the joining of the electronic component element to the first case member by soldering and the joining of the first and second case members by heating in the same step. Therefore, it is possible to simplify the manufacturing process of the electronic component having a structure in which the electronic component element is sealed in the package formed of the first and second case materials.
【0062】加えて、本発明では、上記電子部品素子の
サイズに応じた位置決め用ガイドを用意するだけで、種
々の大きさの電子部品素子を用いた電子部品の製造に適
用することができる。In addition, the present invention can be applied to the manufacture of electronic parts using electronic part elements of various sizes simply by preparing a positioning guide according to the size of the electronic part element.
【0063】よって、パッケージを構成するための第
1、第2のケース材の外形寸法を変えることなく、種々
の大きさの電子部品素子に対応することができる。よっ
て、パッケージ構成部材を得るための金型費用を節減す
ることができる。Therefore, it is possible to deal with electronic component elements of various sizes without changing the outer dimensions of the first and second case members for forming the package. Therefore, the die cost for obtaining the package constituent member can be reduced.
【0064】本発明の電子部品では、上記のように電子
部品素子が第1のケース材上の電極ランドに正確に位置
決めされるため、電子部品素子と外部との電気的接続の
信頼性を高めることができ、よって、信頼性に優れたパ
ッケージ収納型の電子部品を安価に提供することが可能
となる。In the electronic component of the present invention, since the electronic component element is accurately positioned on the electrode land on the first case member as described above, the reliability of the electrical connection between the electronic component element and the outside is improved. Therefore, it is possible to provide a highly reliable packaged electronic component at low cost.
【図1】SAW素子の平面図。FIG. 1 is a plan view of a SAW element.
【図2】従来の電子部品の構造を説明するための断面
図。FIG. 2 is a sectional view for explaining the structure of a conventional electronic component.
【図3】従来の製造方法において電子部品素子を位置決
めする工程を説明するための断面図。FIG. 3 is a sectional view for explaining a step of positioning an electronic component element in a conventional manufacturing method.
【図4】本発明をなす前提となった製造方法において、
SAW素子及びキャップをケース基板に対して組み合わ
せた状態を示す断面図。FIG. 4 is a manufacturing method based on which the present invention is made,
Sectional drawing which shows the state which combined the SAW element and the cap with the case substrate.
【図5】図4に示した工程の後に得られた電子部品とし
てSAW装置を示す断面図。5 is a cross-sectional view showing a SAW device as an electronic component obtained after the step shown in FIG.
【図6】本発明の第1の実施例においてSAW素子及び
キャップをケース基板に組み合わせた状態を示す断面
図。FIG. 6 is a sectional view showing a state in which the SAW element and the cap are combined with the case substrate in the first embodiment of the present invention.
【図7】ケース基板の平面図。FIG. 7 is a plan view of a case substrate.
【図8】本発明の第1の実施例により得られた電子部品
としてのSAW装置を示す断面図。FIG. 8 is a sectional view showing a SAW device as an electronic component obtained according to the first embodiment of the present invention.
【図9】位置決め用ガイドの第1の変形例を説明するた
めのケース基板の平面図。FIG. 9 is a plan view of a case substrate for explaining a first modified example of the positioning guide.
【図10】位置決め用ガイドの第2の変形例を説明するた
めのSAW装置の断面図。FIG. 10 is a sectional view of a SAW device for explaining a second modification of the positioning guide.
【図11】位置決め用ガイドの第3の変形例を説明するた
めのSAW装置の分解断面図。FIG. 11 is an exploded cross-sectional view of a SAW device for explaining a third modification of the positioning guide.
24…SAW素子(電子部品素子) 27a,27b…端子電極(外部接続用電極) 41…ケース基板(第1のケース材) 42,43…電極ランド 45…金属キャップ(第2のケース材) 46…金属パッド 47…位置決め用ガイド 48a,49a…半田バンプ 48,49…半田 51〜54…ガイド部材 55…位置決め用ガイド 56…位置決め用ガイド 24 ... SAW element (electronic component element) 27a, 27b ... Terminal electrode (external connection electrode) 41 ... Case substrate (first case material) 42, 43 ... Electrode land 45 ... Metal cap (second case material) 46 ... Metal pad 47 ... Positioning guide 48a, 49a ... Solder bump 48, 49 ... Solder 51-54 ... Guide member 55 ... Positioning guide 56 ... Positioning guide
Claims (8)
1のケース材を用意する工程と、 前記複数の電極ランド上に半田バンプを付与する工程
と、 前記第1のケース材の上面に、前記半田バンプの上方に
外部接続用電極の少なくとも一部が位置するように、外
部電極接続用電極を有する電子部品素子を載置する工程
と、 前記第1のケース材と接合されて前記電子部品素子を収
納する内部空間を有するパッケージを構成する第2のケ
ース材を、前記第1のケース材上に組み合わせる工程
と、 前記パッケージ内における電子部品素子の横方向の移動
を規制するために、内側面の電子部品素子の側面との間
のクリアランスが前記半田バンプの径以下となるように
位置決め用ガイドを配置する工程と、 加熱により前記半田バンプを溶融し、前記第1のケース
材の電極ランドと、前記電子部品素子の外部接続用電極
とを半田付けする工程とを備えることを特徴とする、電
子部品の製造方法。1. A step of preparing a first case material having a plurality of electrode lands formed on an upper surface thereof, a step of applying a solder bump on the plurality of electrode lands, and a step of providing a first case material on the upper surface of the first case material. A step of placing an electronic component element having an electrode for external electrode connection so that at least a part of the electrode for external connection is located above the solder bump, and the electronic component bonded to the first case member A step of combining a second case member constituting a package having an internal space for accommodating a component element on the first case element, and for restricting lateral movement of the electronic component element in the package, A step of arranging a positioning guide so that a clearance between the inner side surface and the side surface of the electronic component element is equal to or smaller than a diameter of the solder bump; And the electrode lands of the case member, characterized in that it comprises the step of soldering the external connection electrode of the electronic component element, the method of manufacturing an electronic component.
び第2の対向二側面を有する矩形板状の形状を有し、 前記位置決め用ガイドが、前記第1の対向二側面を結ぶ
第1の方向及び第1の方向に直交する第2の方向におけ
る前記電子部品素子の移動を規制するように、該位置決
め用ガイドの内側面が、前記第1の対向二側面の一方及
び第2の対向二側面の一方と前記クリアランスを隔てて
配置されている、請求項1に記載の電子部品の製造方
法。2. The electronic component element has a rectangular plate shape having a first two opposite side surfaces and a second two opposite side surfaces, and the positioning guide connects the first two opposite side surfaces. In order to restrict the movement of the electronic component element in the first direction and the second direction orthogonal to the first direction, the inner side surface of the positioning guide has one of the first opposing two side surfaces and the second side surface. The method of manufacturing an electronic component according to claim 1, wherein the clearance is disposed so as to be separated from one of the two opposite side surfaces.
ドにより構成されている、請求項2に記載の電子部品の
製造方法。3. The method of manufacturing an electronic component according to claim 2, wherein the positioning guide is configured by a rectangular guide.
ガイド部材を少なくとも有し、 前記第1,第2のガイド部材が、矩形板状の前記電子部
品素子の対向し合う一対のコーナー部分に分散して配置
されている、請求項2に記載の電子部品の製造方法。4. The positioning guide includes at least first and second guide members, and the first and second guide members are a pair of corners of the rectangular plate-shaped electronic component element facing each other. The method for manufacturing an electronic component according to claim 2, wherein the electronic components are arranged so as to be dispersed in parts.
ース部材及び第2のケース部材の少なくとも一方に固着
されている、請求項1〜4の何れかに記載の電子部品の
製造方法。5. The method of manufacturing an electronic component according to claim 1, wherein the positioning guide is fixed to at least one of the first case member and the second case member.
2のケース部材の少なくとも一方と一体に構成されてい
る、請求項1〜4の何れかに記載の電子部品の製造方
法。6. The method of manufacturing an electronic component according to claim 1, wherein the positioning guide is integrally formed with at least one of the first and second case members.
り、該弾性表面波素子がフェイスダウン方式で第1のケ
ース材に載置されている、請求項1〜6の何れかに記載
の電子部品の製造方法。7. The electronic component element is a surface acoustic wave element, and the surface acoustic wave element is mounted on a first case member by a face-down method. Electronic component manufacturing method.
1のケース材と、 前記第1のケース材の電極ランドに半田により接合され
た外部接続用電極を有する電子部品素子と、 前記第1のケース材と接合されて前記電子部品素子を内
部に収納する空間を有するパッケージを構成する第2の
ケース材と、 前記パッケージの内部空間内において前記電子部品素子
の横方向の移動を規制するために、内側面の前記電子部
品素子の側面との間のクリアランスが前記半田バンプの
径以下となるように配置された位置決め用ガイドとを備
える、請求項1に記載の電子部品の製造方法により得ら
れる電子部品。8. An electronic component element having a first case member having a plurality of electrode lands formed on an upper surface thereof, an external connection electrode joined to the electrode lands of the first case member by soldering, and A second case member that is joined to one case member to form a package having a space for accommodating the electronic component element inside; and a lateral movement of the electronic component element within the internal space of the package. Therefore, according to the method of manufacturing an electronic component according to claim 1, further comprising: a positioning guide arranged such that a clearance between an inner surface of the electronic component element and a side surface of the electronic component element is equal to or smaller than a diameter of the solder bump. Electronic components obtained.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7009252A JPH08203956A (en) | 1995-01-24 | 1995-01-24 | Electronic component and manufacture |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7009252A JPH08203956A (en) | 1995-01-24 | 1995-01-24 | Electronic component and manufacture |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08203956A true JPH08203956A (en) | 1996-08-09 |
Family
ID=11715231
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7009252A Pending JPH08203956A (en) | 1995-01-24 | 1995-01-24 | Electronic component and manufacture |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08203956A (en) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6471111B1 (en) * | 1998-01-20 | 2002-10-29 | Allen D. Hertz | Method and apparatus for acoustic pressure assisted wave soldering |
| WO2006114957A1 (en) * | 2005-04-18 | 2006-11-02 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Electronic component module |
| KR100893028B1 (en) * | 2002-10-24 | 2009-04-15 | 엘지이노텍 주식회사 | Semiconductor device package and manufacturing method thereof |
| JP2011066650A (en) * | 2009-09-17 | 2011-03-31 | Kyocera Kinseki Corp | Piezoelectric device |
| JP2011066651A (en) * | 2009-09-17 | 2011-03-31 | Kyocera Kinseki Corp | Piezoelectric device |
| JP2012216671A (en) * | 2011-03-31 | 2012-11-08 | Toshiba Corp | Electronic apparatus, electronic component, and manufacturing method of substrate assembly |
| JP2013051432A (en) * | 2012-10-25 | 2013-03-14 | Toshiba Corp | Electronic apparatus, electronic component, and manufacturing method of substrate assembly |
| US12051680B2 (en) | 2021-10-20 | 2024-07-30 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Semiconductor package aligning interposer and substrate |
-
1995
- 1995-01-24 JP JP7009252A patent/JPH08203956A/en active Pending
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