JPH08201477A - Ｉｃテスタ用ハンドラのデバイス搬送ステージの構造。 - Google Patents
Ｉｃテスタ用ハンドラのデバイス搬送ステージの構造。Info
- Publication number
- JPH08201477A JPH08201477A JP2744595A JP2744595A JPH08201477A JP H08201477 A JPH08201477 A JP H08201477A JP 2744595 A JP2744595 A JP 2744595A JP 2744595 A JP2744595 A JP 2744595A JP H08201477 A JPH08201477 A JP H08201477A
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- Japan
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- stage
- transfer stage
- vacuum suction
- measured
- arm
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- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Specific Conveyance Elements (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 ＩＣテスタ用のハンドラ内でハンドリングす
る搬送ステージの構造が、被測定対象デバイスの品種や
外形寸法が変わっても、搬送ステージを変更することの
ない、また傾斜面の必要のないポケット構造を提供す
る。 【構成】 被測定対象デバイス１の外形より大きな収容
ポケット７を設け、真空吸着アーム３から受け取った被
測定対象デバイス１を吸着して受け取り、以降の搬送ス
テージ６の搬送中、及び他の真空吸着アーム３でピック
アップする迄吸着し続ける真空吸着ノズル４を設ける。
る搬送ステージの構造が、被測定対象デバイスの品種や
外形寸法が変わっても、搬送ステージを変更することの
ない、また傾斜面の必要のないポケット構造を提供す
る。 【構成】 被測定対象デバイス１の外形より大きな収容
ポケット７を設け、真空吸着アーム３から受け取った被
測定対象デバイス１を吸着して受け取り、以降の搬送ス
テージ６の搬送中、及び他の真空吸着アーム３でピック
アップする迄吸着し続ける真空吸着ノズル４を設ける。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ＩＣテスタ用ハンドラ
内で被測定対象デバイスをハンドリングするための搬送
ステージの構造に関する。
内で被測定対象デバイスをハンドリングするための搬送
ステージの構造に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のＩＣテスタ用ハンドラ内の被測定
対象デバイス搬送ステージの構造は、図４に示すように
なっている。また、図５にはその構成によって被測定対
象デバイス１をハンドリングする搬送ステージＢ８の搬
送動作順序を示す。即ち、従来技術による搬送ステージ
Ｂ８には、その基準面５上の所定位置へ被測定対象デバ
イス１を搬入するために、被測定対象デバイス１を真空
吸着アーム３で吸着しながら搬入してくると、搬送ステ
ージＢ８上方部で下降させて吸着を停止し２１、このデ
バイスを落下させる２２ためのポケットＢ９が形成され
ている。
対象デバイス搬送ステージの構造は、図４に示すように
なっている。また、図５にはその構成によって被測定対
象デバイス１をハンドリングする搬送ステージＢ８の搬
送動作順序を示す。即ち、従来技術による搬送ステージ
Ｂ８には、その基準面５上の所定位置へ被測定対象デバ
イス１を搬入するために、被測定対象デバイス１を真空
吸着アーム３で吸着しながら搬入してくると、搬送ステ
ージＢ８上方部で下降させて吸着を停止し２１、このデ
バイスを落下させる２２ためのポケットＢ９が形成され
ている。
【０００３】（１）このポケットＢ９には、４方に傾斜
面が付いており、被測定対象デバイス１がリード端子２
部でその面を滑落していって所定位置である搬送ステー
ジＢ８の基準面に正しく配置される。そして真空吸着ア
ーム３を上昇させて２３、最後に搬送ステージＢ８に設
けた真空吸着用のノズル４で吸着して搬送する２４。 （２）従って、このポケットＢ９の寸法は、被測定対象
デバイス１の種類によるリード端子２の出る方向や外形
形状の大きさによって変更せねばならず、搬送ステージ
Ｂ８を交換可能な治具である“チェンジキット”と称し
ている。
面が付いており、被測定対象デバイス１がリード端子２
部でその面を滑落していって所定位置である搬送ステー
ジＢ８の基準面に正しく配置される。そして真空吸着ア
ーム３を上昇させて２３、最後に搬送ステージＢ８に設
けた真空吸着用のノズル４で吸着して搬送する２４。 （２）従って、このポケットＢ９の寸法は、被測定対象
デバイス１の種類によるリード端子２の出る方向や外形
形状の大きさによって変更せねばならず、搬送ステージ
Ｂ８を交換可能な治具である“チェンジキット”と称し
ている。
【０００４】（３）しかしハンドラの構成方式が変化
したりデバイス形状、種類が多様化したり高速処理
のために真空吸着アーム３が複雑化した、ことに伴い
“チェンジキット”としての搬送ステージＢ８の種類
も、また全体の数も多くなっている。このため（Ａ）方
式の変化によっては、“チェンジキット”としての搬送
ステージＢ８を交換する作業が非常に困難となってしま
った（Ｂ）品種、サイズが変更される度毎に交換せねば
ならない、段取り替え時間、つまりセットアップ時間が
多く必要とするようになり（Ｃ）搬送ステージＢ８の上
方部から落下して、ポケットＢ９の傾斜面を落下させる
ことで、リード端子２を変形してしまう危険性を内在し
た構造である、といった問題点を有していた。
したりデバイス形状、種類が多様化したり高速処理
のために真空吸着アーム３が複雑化した、ことに伴い
“チェンジキット”としての搬送ステージＢ８の種類
も、また全体の数も多くなっている。このため（Ａ）方
式の変化によっては、“チェンジキット”としての搬送
ステージＢ８を交換する作業が非常に困難となってしま
った（Ｂ）品種、サイズが変更される度毎に交換せねば
ならない、段取り替え時間、つまりセットアップ時間が
多く必要とするようになり（Ｃ）搬送ステージＢ８の上
方部から落下して、ポケットＢ９の傾斜面を落下させる
ことで、リード端子２を変形してしまう危険性を内在し
た構造である、といった問題点を有していた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】本発明が解決しようと
する課題は、ＩＣテスタ用のハンドラの方式の変化して
も、また被測定対象デバイスの品種や外形寸法が変わっ
ても被測定対象デバイスをハンドリングする搬送ステ
ージを“チェンジキット”としてその都度変更する必要
のないものとすることまた、リード端子変形の原因と
なる、搬送ステージの傾斜面を、被測定対象デバイスが
滑走して落とし込む構成の、ポケット構造をやめること
である。
する課題は、ＩＣテスタ用のハンドラの方式の変化して
も、また被測定対象デバイスの品種や外形寸法が変わっ
ても被測定対象デバイスをハンドリングする搬送ステ
ージを“チェンジキット”としてその都度変更する必要
のないものとすることまた、リード端子変形の原因と
なる、搬送ステージの傾斜面を、被測定対象デバイスが
滑走して落とし込む構成の、ポケット構造をやめること
である。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決する為
に、本発明では、被測定対象デバイス１の外形より大き
な収容ポケット７を設け、真空吸着アーム３から受け取
った被測定対象デバイス１を吸着して受け取り、以降の
搬送ステージ６の搬送中、及び他の真空吸着アーム３で
ピックアップする迄吸着し続ける真空吸着ノズル４を設
ける手段としている。これにより、被測定対象デバイス
１を搬送ステージ６に収容して搬送するデバイス搬送ス
テージを実現する。
に、本発明では、被測定対象デバイス１の外形より大き
な収容ポケット７を設け、真空吸着アーム３から受け取
った被測定対象デバイス１を吸着して受け取り、以降の
搬送ステージ６の搬送中、及び他の真空吸着アーム３で
ピックアップする迄吸着し続ける真空吸着ノズル４を設
ける手段としている。これにより、被測定対象デバイス
１を搬送ステージ６に収容して搬送するデバイス搬送ス
テージを実現する。
【０００７】即ち、本発明においては、搬送ステージ
のポケットの構造には、被測定対象デバイスのリード端
子で滑走させ落とし込む傾斜面を無くし被測定対象デ
バイスを真空吸着アームで吸着したまま搬送ステージの
基準面まで下降させて基準面に到達したら搬送ステー
ジの真空吸着ノズルで被測定対象デバイスの下底面部か
らの吸着を開始した後真空吸着アームによる被測定対
象デバイスの吸着を停止し真空吸着アームを上昇させ
真空吸着ノズルによって吸着しながら搬送ステージに
よって被測定対象デバイスを搬送する、構成とした。
のポケットの構造には、被測定対象デバイスのリード端
子で滑走させ落とし込む傾斜面を無くし被測定対象デ
バイスを真空吸着アームで吸着したまま搬送ステージの
基準面まで下降させて基準面に到達したら搬送ステー
ジの真空吸着ノズルで被測定対象デバイスの下底面部か
らの吸着を開始した後真空吸着アームによる被測定対
象デバイスの吸着を停止し真空吸着アームを上昇させ
真空吸着ノズルによって吸着しながら搬送ステージに
よって被測定対象デバイスを搬送する、構成とした。
【０００８】
（１）本発明においては、搬送ステージの傾斜面を不要
なものとできる構成としたことで、被測定対象デバイス
の種類、形状寸法の異なるものに各個に対応した寸法や
形状のポケットを持つ搬送ステージを、多種多様な“チ
ェンジキット”として準備し、保管することが不要とな
った。
なものとできる構成としたことで、被測定対象デバイス
の種類、形状寸法の異なるものに各個に対応した寸法や
形状のポケットを持つ搬送ステージを、多種多様な“チ
ェンジキット”として準備し、保管することが不要とな
った。
【０００９】（２）また、本発明においては、被測定対
象デバイスを搬送ステージの所定位置に正しく精度良く
配置するのには、先ず、真空吸着アームによって直接搬
入する。それは真空吸着アームの動作精度を向上するこ
とで可能とした。次に、その真空吸着アームによって被
測定対象デバイスが下降し、搬送ステージの所定位置で
ある基準面に達すると、搬送ステージの真空吸着用のノ
ズルで吸着を開始した後、真空吸着アームによる吸着を
停止して開放することで、真空吸着アームの動作精度を
保持したまま搬送ステージによる搬送を可能とした。
象デバイスを搬送ステージの所定位置に正しく精度良く
配置するのには、先ず、真空吸着アームによって直接搬
入する。それは真空吸着アームの動作精度を向上するこ
とで可能とした。次に、その真空吸着アームによって被
測定対象デバイスが下降し、搬送ステージの所定位置で
ある基準面に達すると、搬送ステージの真空吸着用のノ
ズルで吸着を開始した後、真空吸着アームによる吸着を
停止して開放することで、真空吸着アームの動作精度を
保持したまま搬送ステージによる搬送を可能とした。
【００１０】
【実施例】図１は、本発明の実施例による搬送ステージ
の構造の概念を示す断面図である。図２は、本発明の実
施例による搬送ステージの構成における動作順序を示す
フローチャートである。更に図３は、本発明の構造によ
って、類似する範囲での複数の種類、形状寸法のもの用
とした実施例である。
の構造の概念を示す断面図である。図２は、本発明の実
施例による搬送ステージの構成における動作順序を示す
フローチャートである。更に図３は、本発明の構造によ
って、類似する範囲での複数の種類、形状寸法のもの用
とした実施例である。
【００１１】（１）図１に示すように、本発明のＩＣテ
スタ用のハンドラのデバイス搬送ステージの構造は、被
測定対象デバイス１を真空吸着して搬入する真空吸着ア
ーム３に対抗して、被測定対象デバイス１の配置位置の
基準面５であり、かつ被測定対象デバイス１を真空吸着
する構造のノズル４を持つ。さらには、搬送ステージ６
に被測定対象デバイス１を搬入するときには、そのリー
ド端子２には、接触しない搬入ステージ６におけるポケ
ット７の構造とした。
スタ用のハンドラのデバイス搬送ステージの構造は、被
測定対象デバイス１を真空吸着して搬入する真空吸着ア
ーム３に対抗して、被測定対象デバイス１の配置位置の
基準面５であり、かつ被測定対象デバイス１を真空吸着
する構造のノズル４を持つ。さらには、搬送ステージ６
に被測定対象デバイス１を搬入するときには、そのリー
ド端子２には、接触しない搬入ステージ６におけるポケ
ット７の構造とした。
【００１２】また、図３に示すような構造とすれば、被
測定対象デバイス１の種類、形状寸法が類似している範
囲内であれば、複数種のものを１つの搬送ステージ６を
用いて搬入したり、搬送する構成とすることができるば
かりか、小さい形状寸法のものは、複数個同時に処理す
ることができる構造とすることができた。
測定対象デバイス１の種類、形状寸法が類似している範
囲内であれば、複数種のものを１つの搬送ステージ６を
用いて搬入したり、搬送する構成とすることができるば
かりか、小さい形状寸法のものは、複数個同時に処理す
ることができる構造とすることができた。
【００１３】（２）図２には、本発明の実施例による搬
送ステージ６の構成による動作順序を示すフローチャー
チを示すが、ＩＣテスタ用のハンドラの被測定対象デバ
イス１のハンドリング動作においては、（Ａ）被測定対
象デバイス１を真空吸着アーム３によって吸着したまま
対向する搬送ステージ６に向かって下降させる１１、
（Ｂ）そして、被測定対象デバイス１の下底面が搬送ス
テージ６のノズル４によって真空吸着を開始し１２、
（Ｃ）次に、真空吸着アーム３による被測定対象デバイ
ス１の吸着を停止し１３、（Ｄ）真空吸着を停止して、
被測定対象デバイス１から切り離した真空吸着アーム３
を上昇させて１４、（Ｅ）搬送ステージ６のノズル４に
よって真空吸着しながら、被測定対象デバイス１を搬送
する１５、構成とした。
送ステージ６の構成による動作順序を示すフローチャー
チを示すが、ＩＣテスタ用のハンドラの被測定対象デバ
イス１のハンドリング動作においては、（Ａ）被測定対
象デバイス１を真空吸着アーム３によって吸着したまま
対向する搬送ステージ６に向かって下降させる１１、
（Ｂ）そして、被測定対象デバイス１の下底面が搬送ス
テージ６のノズル４によって真空吸着を開始し１２、
（Ｃ）次に、真空吸着アーム３による被測定対象デバイ
ス１の吸着を停止し１３、（Ｄ）真空吸着を停止して、
被測定対象デバイス１から切り離した真空吸着アーム３
を上昇させて１４、（Ｅ）搬送ステージ６のノズル４に
よって真空吸着しながら、被測定対象デバイス１を搬送
する１５、構成とした。
【００１４】
【発明の効果】本発明は、以上説明したように構成され
ているので、以下に記載されるような効果を奏する。 （１）被測定対象デバイスの種類や形状寸法毎に対応で
きる搬送ステージを持つことが不要となった。 （２）そのために、各種の搬送ステージを保有して、被
測定対象デバイスの各種形状寸法の変化に対応できる
“チェンジキット”としての搬送ステージを交換するた
めのセットアップ時間が極めて少なくなった。
ているので、以下に記載されるような効果を奏する。 （１）被測定対象デバイスの種類や形状寸法毎に対応で
きる搬送ステージを持つことが不要となった。 （２）そのために、各種の搬送ステージを保有して、被
測定対象デバイスの各種形状寸法の変化に対応できる
“チェンジキット”としての搬送ステージを交換するた
めのセットアップ時間が極めて少なくなった。
【００１５】（３）また、本発明の構造としたことで、
複数の種類、形状寸法のもので類似している範囲内のも
のを１つの搬送ステージとしてまとめることができ、か
つ、複数個同時に１つの搬送ステージで処理することが
容易となったので、“チェンジキット”としての搬送ス
テージの種類を各段に削減することができた。 （４）被測定対象デバイスを搬送ステージの所定位置に
配置する際に、ポケットの傾斜面を被測定対象デバイス
のリード端子によって滑落させて落とし込むことのない
構造としたことで、リード端子の変形が皆無となった。
複数の種類、形状寸法のもので類似している範囲内のも
のを１つの搬送ステージとしてまとめることができ、か
つ、複数個同時に１つの搬送ステージで処理することが
容易となったので、“チェンジキット”としての搬送ス
テージの種類を各段に削減することができた。 （４）被測定対象デバイスを搬送ステージの所定位置に
配置する際に、ポケットの傾斜面を被測定対象デバイス
のリード端子によって滑落させて落とし込むことのない
構造としたことで、リード端子の変形が皆無となった。
【図１】本発明の実施例による搬送ステージの構造の概
念を示す断面図である。
念を示す断面図である。
【図２】本発明の実施例による動作順序を示すフローチ
ャートである。
ャートである。
【図３】本発明の他の実施例を示す平面図である。
【図４】従来技術の搬送ステージの構造の概念を示す断
面図である。
面図である。
【図５】従来技術の搬送ステージの構成による動作順序
を示すフローチャートである。
を示すフローチャートである。
１ 被測定対象デバイス ２ リード端子 ３ 真空吸着アーム ４ ノズル ５ 基準面 ６ 搬送ステージ ７ ポケット ８ 搬送ステージＢ ９ ポケットＢ １１ 真空吸着アームを下降 １２ 真空吸着ノズルで吸着を開始 １３ 真空吸着アームの吸着を停止 １４ 真空吸着アームを上昇 １５ 搬送ステージで吸着しながら搬送 ２１ 真空吸着アームを下降させ吸着を停止 ２２ 被測定対象デバイスを落下 ２３ 真空吸着アームを上昇 ２４ 真空吸着ノズルで吸着して搬送
Claims (1)
- 【請求項１】 被測定対象デバイス（１）を搬送ステー
ジ（６）に収容して搬送するデバイス搬送ステージの構
造において、 被測定対象デバイス（１）の外形より大きな収容ポケッ
ト（７）を設け、 真空吸着アーム（３）から受け取った被測定対象デバイ
ス（１）を吸着して受け取り、以降の搬送ステージ
（６）の搬送中、及び他の真空吸着アーム（３）でピッ
クアップする迄吸着し続ける真空吸着ノズル（４）を設
け、 以上を具備することを特徴とする、ＩＣテスタ用ハンド
ラのデバイス搬送ステージの構造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2744595A JPH08201477A (ja) | 1995-01-24 | 1995-01-24 | Ｉｃテスタ用ハンドラのデバイス搬送ステージの構造。 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2744595A JPH08201477A (ja) | 1995-01-24 | 1995-01-24 | Ｉｃテスタ用ハンドラのデバイス搬送ステージの構造。 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08201477A true JPH08201477A (ja) | 1996-08-09 |
Family
ID=12221322
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2744595A Pending JPH08201477A (ja) | 1995-01-24 | 1995-01-24 | Ｉｃテスタ用ハンドラのデバイス搬送ステージの構造。 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08201477A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007003261A (ja) * | 2005-06-22 | 2007-01-11 | Hioki Ee Corp | 回路基板検査装置 |
| JP4825133B2 (ja) * | 2004-10-08 | 2011-11-30 | 株式会社アドバンテスト | 電子部品ハンドリング装置および電子部品の位置ずれ修正方法 |
-
1995
- 1995-01-24 JP JP2744595A patent/JPH08201477A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4825133B2 (ja) * | 2004-10-08 | 2011-11-30 | 株式会社アドバンテスト | 電子部品ハンドリング装置および電子部品の位置ずれ修正方法 |
| JP2007003261A (ja) * | 2005-06-22 | 2007-01-11 | Hioki Ee Corp | 回路基板検査装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20040406 |