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JPH081811A - Method for molding substrate for optical information recording medium and stamper for optical information recording medium - Google Patents

Method for molding substrate for optical information recording medium and stamper for optical information recording medium

Info

Publication number
JPH081811A
JPH081811A JP6144629A JP14462994A JPH081811A JP H081811 A JPH081811 A JP H081811A JP 6144629 A JP6144629 A JP 6144629A JP 14462994 A JP14462994 A JP 14462994A JP H081811 A JPH081811 A JP H081811A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
stamper
roll
information recording
recording medium
optical information
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP6144629A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Hiroshi Tanabe
浩 田邊
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Canon Inc
Original Assignee
Canon Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Canon Inc filed Critical Canon Inc
Priority to JP6144629A priority Critical patent/JPH081811A/en
Publication of JPH081811A publication Critical patent/JPH081811A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29CSHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C48/00Extrusion moulding, i.e. expressing the moulding material through a die or nozzle which imparts the desired form; Apparatus therefor
    • B29C48/25Component parts, details or accessories; Auxiliary operations
    • B29C48/92Measuring, controlling or regulating
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29CSHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C2948/00Indexing scheme relating to extrusion moulding
    • B29C2948/92Measuring, controlling or regulating
    • B29C2948/92504Controlled parameter
    • B29C2948/92704Temperature
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29CSHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C2948/00Indexing scheme relating to extrusion moulding
    • B29C2948/92Measuring, controlling or regulating
    • B29C2948/92819Location or phase of control
    • B29C2948/92923Calibration, after-treatment or cooling zone

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Extrusion Moulding Of Plastics Or The Like (AREA)
  • Shaping Of Tube Ends By Bending Or Straightening (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 低複屈折で転写率の高いシート成形を可能と
し、かつシートの流れ方向と垂直の縞模様や離型の際に
発生する複屈折を防止できる光情報記録媒体用基板の成
形方法及び光情報記録媒体用スタンパーを提供する。 【構成】 スタンパーを取り付けた冷却ロール中に複数
系統の熱媒を流し、数段階にロールの温度制御をするか
スタンパーを取り付けた冷却ロールの回転方向と垂直に
複数個のブロックを設けロールの温度調節を行う機構と
は別系統の内蔵したヒーターによってスタンパー表面の
温度をブロック別にコントロールする光情報記録媒体用
基板の成形方法及びスタンパーの一部分或は全体が発熱
体からなる光情報記録媒体用スタンパー。
(57) [Abstract] [Purpose] An optical information recording medium that enables sheet formation with low birefringence and a high transfer rate, and that prevents birefringence that occurs at the time of striped pattern perpendicular to the sheet flow direction and release. Provided is a method for molding a substrate for use with a stamper for an optical information recording medium. [Structure] Multiple systems of heat medium are made to flow through the cooling roll equipped with a stamper to control the temperature of the roll in several stages, or multiple blocks are provided perpendicular to the rotation direction of the cooling roll equipped with a stamper. (EN) A method for molding a substrate for an optical information recording medium in which the temperature of the stamper surface is controlled in blocks by a built-in heater separate from a mechanism for adjusting, and a stamper for an optical information recording medium in which a part or the whole of the stamper is a heating element.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は光学的に情報の記録/再
生を行う光情報記録媒体用基板の成形方法および光情報
記録媒体用スタンパーに関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for molding a substrate for an optical information recording medium for optically recording / reproducing information and a stamper for the optical information recording medium.

【0002】[0002]

【従来の技術】光学的に情報の記録/再生を行う光記録
媒体用基板には、トラッキング用の案内溝の凹凸や、ア
ドレス情報ビット等の微細なプリフォーマットパターン
が刻設されている。従来これらのプリフォーマットパタ
ーンの付いた基板を形成する方法として、インジェクシ
ョン成形法やコンプレッション成形法が知られている。
また、プリフォーマットパターンの付いた基板を高速か
つ大量に成形する方法として、連続押し出し成形による
ローラーグルーピング法がある。これは熱可塑性樹脂を
押し出し機により加熱・溶融してTダイより押し出し、
鏡面ロールとスタンパーロールの間を通し、シート化す
ると同時にプリフォーマットの凹凸パターンを樹脂表面
に転写して、光ディスク、光カード、光テープ等の光学
的情報記録媒体用の基板を連続的に成形する方法であ
る。
2. Description of the Related Art An optical recording medium substrate for optically recording / reproducing information is provided with unevenness of a guide groove for tracking and fine preformat patterns such as address information bits. Conventionally, an injection molding method and a compression molding method are known as methods for forming a substrate having these preformat patterns.
Further, there is a roller grouping method by continuous extrusion molding as a method for molding a substrate having a preformat pattern at a high speed and in a large amount. This is a thermoplastic resin that is heated and melted by an extruder and extruded from a T-die.
It is passed between a mirror surface roll and a stamper roll to form a sheet, and at the same time, the preformatted concavo-convex pattern is transferred to the resin surface to continuously form a substrate for an optical information recording medium such as an optical disk, an optical card or an optical tape. Is the way.

【0003】具体的に、図3はローラーグルーピング法
として、3本ロール方式により成形樹脂に案内溝やプリ
フォーマットパターン等の凹凸形状に転写し、光学的記
録媒体用基板を成形する製造装置を示す模式図であり、
1は押し出し機、2はTダイ、3は成形用第1ロール、
4は第2ロール(スタンパーロール)、5は第3ロー
ル、6は熱溶融状態の樹脂シート、7はプリフォーマッ
トパターンが転写された成形シートである。
Specifically, FIG. 3 shows, as a roller grouping method, a manufacturing apparatus for molding a substrate for an optical recording medium by transferring to a molding resin an uneven shape such as a guide groove or a preformat pattern by a three-roll method. It is a schematic diagram,
1 is an extruder, 2 is a T die, 3 is a first roll for molding,
4 is a second roll (stamper roll), 5 is a third roll, 6 is a heat-melted resin sheet, and 7 is a molded sheet to which a preformat pattern is transferred.

【0004】押し出し機1のTダイ2からシート状に押
し出された熱溶融状態の樹脂シート6は第1ロール3と
スタンパーロール(第2ロール)4の間に導かれ、ここ
で両ロール3,4により押圧されると共に、スタンパー
ロール4の外周面に取り付けられたスタンパー8の形状
が転写される。転写が終わった樹脂シート7は、第3ロ
ール5とスタンパーロール4の間を通った後、引き取り
機9によって引き取られる。この様な方法で成形された
樹脂シートを光記録媒体用の基板として用いる場合、基
板の複屈折が極力小さいことが望まれる。
The heat-melted resin sheet 6 extruded in a sheet form from the T die 2 of the extruder 1 is guided between a first roll 3 and a stamper roll (second roll) 4, and here, both rolls 3, While being pressed by 4, the shape of the stamper 8 attached to the outer peripheral surface of the stamper roll 4 is transferred. After the transfer, the resin sheet 7 passes between the third roll 5 and the stamper roll 4, and is then taken by the take-up machine 9. When the resin sheet molded by such a method is used as a substrate for an optical recording medium, it is desired that the birefringence of the substrate be as small as possible.

【0005】複屈折の低い基板を成形するためには、第
1ロール、第2ロール間に溶融状態の樹脂を挟み込む
際、樹脂温度をできるだけ高くし、樹脂の粘度を下げる
ことが望ましい。
In order to form a substrate having a low birefringence, it is desirable to raise the resin temperature as much as possible and lower the resin viscosity when sandwiching the molten resin between the first roll and the second roll.

【0006】このため、3本のロールの温度を熱可塑性
樹脂の軟化点温度にできるだけ近づけて成形すること
や、更に、スタンパーとロールの間に断熱層を設けるこ
とによって、転写性が良好で、かつ低複屈折の基板を製
造することができる。
For this reason, the transferability is improved by forming the temperature of the three rolls as close as possible to the softening point temperature of the thermoplastic resin, and further by providing a heat insulating layer between the stamper and the roll. In addition, a substrate having low birefringence can be manufactured.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来例では第1ロール、第2ロールに樹脂を挟み込む際の
樹脂温度が樹脂の軟化点温度よりもはるかに高く、また
各ロールの温度も樹脂の軟化点温度に近いため、第2ロ
ール(スタンパー)上でのシートの冷却が不十分なま
ま、第2ロールから第3ロールへ成形シートが移行して
しまう。この際、成形されたシートがスタンパーに粘着
して剥離しにくくなり、シートの流れ方向と垂直に縞模
様が入ったり、剥離の際に新たな複屈折が発生する原因
となった。比熱の大きい断熱層が介在すると、この現象
が顕著に現れていた。
However, in the above conventional example, the resin temperature at the time of sandwiching the resin between the first roll and the second roll is much higher than the softening point temperature of the resin, and the temperature of each roll is also different from that of the resin. Since the temperature is close to the softening point, the formed sheet is transferred from the second roll to the third roll with insufficient cooling of the sheet on the second roll (stamper). At this time, the formed sheet adhered to the stamper and became difficult to be peeled off, which caused a striped pattern in the direction perpendicular to the flow direction of the sheet or a new birefringence at the time of peeling. This phenomenon was conspicuous when the heat insulating layer having a large specific heat was interposed.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】本発明は上記課題を解決
しようとするもので、その要旨は本発明の光情報記録媒
体用基板の成形方法によれば、押し出し成形によって熱
可塑性樹脂をシート化すると同時に、凹凸のプリフォー
マットパターンを有するスタンパーを取り付けた冷却ロ
ールによって、該プリフォーマットパターンをシート上
に転写する押し出し成形法に於いて、該スタンパーを取
り付けた冷却ロール中に複数系統の熱媒を流し、数段階
にロールの温度制御をすることを特徴とする光情報記録
媒体用基板の成形方法および押し出し成形によって熱可
塑性樹脂をシート化すると同時に、プリフォーマットパ
ターンを有するスタンパーを取り付けた冷却ロールによ
って、該プリフォーマットパターンをシート上に転写す
る押し出し成形法に於いて、該スタンパーを取り付けた
冷却ロールの回転方向に垂直に数個ないし数十個のブロ
ックを設け、ロールの温度調節を行う機構とは別系統の
内蔵したヒーターによってロールスタンパー表面の温度
をブロック別にコントロールしながらシート成形を行う
ことを特徴とする光情報記録媒体用基板の成形方法およ
び前記2発明の押し出し成形用の冷却ロールにおいて、
シートの導入部分が導出部分よりも高温であることを特
徴とする光情報記録媒体用基板の成形方法および基板表
面に凹凸のプリフォーマットパターンを有する光情報記
録媒体用基板を製造するためのスタンパーに於いて、該
スタンパーの部分、或いは全体が発熱体からなることを
特徴とする光情報記録媒体用スタンパーおよびプリフォ
ーマットパターンを有する光情報記録媒体用の基板を製
造するためのスタンパーを、熱可塑性樹脂の押し出し成
形用ロールに巻き付け、シート成形と同時にスタンパー
上のプリフォーマットパターンをシート上に転写する押
し出し成形法(ローラーグルーピング法)に用いること
を特徴とする光情報記録媒体用のスタンパーおよびスタ
ンパー表面を可逆的に温度を変化させながら成形するこ
とを特徴とする光情報記録媒体用のスタンパーである。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention is intended to solve the above-mentioned problems, and the gist of the method of forming a substrate for an optical information recording medium of the present invention is to extrude a thermoplastic resin into a sheet. At the same time, in an extrusion molding method of transferring the preformat pattern onto a sheet by a cooling roll having a stamper having a concavo-convex preformat pattern, a plurality of heating mediums are placed in the cooling roll having the stamper attached. The thermoplastic resin is formed into a sheet by a molding method and an extrusion molding method for a substrate for an optical information recording medium, which is characterized in that the temperature of the roll is controlled in several steps, and at the same time, by a cooling roll equipped with a stamper having a preformat pattern. Extrusion molding method for transferring the preformat pattern onto a sheet In this case, several to several tens of blocks are provided perpendicularly to the rotation direction of the cooling roll having the stamper attached, and the temperature of the roll stamper surface is blocked by a built-in heater separate from the mechanism for adjusting the temperature of the roll. In the molding method of a substrate for an optical information recording medium, which is characterized in that the sheet molding is performed while controlling separately, and the cooling roll for extrusion molding of the above-mentioned 2 invention,
A method for molding an optical information recording medium substrate, characterized in that the introduced portion of the sheet is at a higher temperature than the derived portion, and a stamper for producing the optical information recording medium substrate having an uneven preformat pattern on the substrate surface. Wherein, the stamper for producing an optical information recording medium substrate having a preformat pattern and a stamper for an optical information recording medium, characterized in that a part or the whole of the stamper is made of a thermoplastic resin Of the stamper and stamper surface for optical information recording media, which are used for the extrusion molding method (roller grouping method) in which the pre-format pattern on the stamper is transferred onto the sheet at the same time as the sheet is formed. Light characterized by molding while reversibly changing temperature A stamper for the broadcast recording medium.

【0009】以下本発明を詳細に説明する。The present invention will be described in detail below.

【0010】図1は第1発明である本発明の光情報記録
媒体用基板の成形方法に用いる装置の一例を示す説明図
である。
FIG. 1 is an explanatory view showing an example of an apparatus used in the method for molding a substrate for an optical information recording medium according to the first invention.

【0011】図1では、スタンパーを取り付けたロール
中の熱媒の流れる筒を2つに分け、2系統の熱媒を同一
ロール中に流した。
In FIG. 1, the cylinder in which the heat medium flows in the roll to which the stamper is attached is divided into two, and two systems of heat medium are flowed into the same roll.

【0012】成形用ロールは一般に、外殻を形成する外
筒と温調機構を有する内筒とに分かれている。外筒の基
材としては、一般的に用いられているあらゆる金属、カ
ーボン等が用いられるが、表面は硬度が必要なことから
炭素鋼、ジェラルミン等の金属を用いるのが良い。ロー
ルの表面にはクロム等でメッキし、鏡面に研磨してあっ
ても良く、また、フッ素樹脂等で表面処理を施してあっ
ても良い。ロールに温度勾配を十分につけるためには、
ロールの中を流れる熱媒の熱が速やかにロール表面に伝
わらなければならず、そのためにはロール基材の肉厚は
薄い方が良い。しかし、薄すぎるとロール強度が弱くな
り、ロールが変形する恐れがあるので、ロールの肉厚は
25mm以下、好ましくは15〜20mmが良い。
The forming roll is generally divided into an outer cylinder forming an outer shell and an inner cylinder having a temperature control mechanism. As the base material of the outer cylinder, all commonly used metals, carbon, and the like are used, but it is preferable to use metals such as carbon steel and duralumin because the surface requires hardness. The surface of the roll may be plated with chrome or the like and polished to a mirror surface, or may be surface-treated with a fluororesin or the like. To give the roll a sufficient temperature gradient,
The heat of the heat medium flowing through the roll must be quickly transferred to the roll surface, and for that purpose, it is preferable that the thickness of the roll base material is thin. However, if the roll is too thin, the roll strength becomes weak and the roll may be deformed. Therefore, the wall thickness of the roll is 25 mm or less, preferably 15 to 20 mm.

【0013】図1において、10は高温温調ゾーン、1
1は低温温調ゾーンであり、スタンパーを取り付けたロ
ールの内筒を2分割している。分割の際に必要なこと
は、熱溶融状態の樹脂が入り込み、2本のロールに挟み
込む瞬間には、スタンパー表面の温度を高くし、一方、
スタンパー上で固化し、パターンが転写したシートがス
タンパーから剥れる際にはスタンパー表面の温度を低く
することである。
In FIG. 1, 10 is a high temperature control zone, 1
Reference numeral 1 denotes a low temperature control zone, which divides the inner cylinder of the roll having the stamper into two. What is necessary when dividing is that the temperature of the stamper surface is raised at the moment when the resin in a heat-melted state enters and is sandwiched between the two rolls,
This is to lower the temperature of the stamper surface when the sheet solidified on the stamper and having the pattern transferred thereto is peeled off from the stamper.

【0014】即ち、シートがスタンパーから離れた直後
から熱溶融状態の樹脂が挟み込まれるまでの間は高温の
熱媒が、樹脂を挟み込んだ直後からシートがスタンパー
から離れるまでの間は低温の熱媒が流れるように2分割
すれば上記問題点を解決した基板成形が可能となる。
That is, a high-temperature heat medium is generated immediately after the sheet is separated from the stamper until the heat-melted resin is sandwiched, and a low-temperature heat medium is formed immediately after the resin is sandwiched and the sheet is separated from the stamper. If it is divided into two parts so that the flow will flow, it becomes possible to form a substrate that solves the above problems.

【0015】図2は成形用ロール中に2系統の熱媒を流
す手段の一例を示した概略図である。成形用ロールの内
筒12には、ロールの温度を調節する熱媒が流れてお
り、中央の熱媒導入口13より入った熱媒は伝達管15
を通じロール表面側へ流れ、ロールの回転方向と垂直に
数回往復した後、別の伝達管を通じて中央の排出口より
排出される。
FIG. 2 is a schematic view showing an example of means for flowing two systems of heat medium in the forming roll. A heat medium for adjusting the temperature of the roll is flowing through the inner cylinder 12 of the forming roll, and the heat medium entering from the heat medium introducing port 13 at the center is transferred to the transfer pipe 15.
To the surface side of the roll, reciprocates several times perpendicularly to the rotation direction of the roll, and then is discharged from the central discharge port through another transmission pipe.

【0016】ここで、同図の様に熱媒の導入口13を熱
媒分割壁14によって2系統に分割されている。これら
はロールの回転によらず固定されており、常に特定の位
置が特定の温度になるようにしてある。伝達管15、内
筒12、外筒16は一体となって回転するようにする。
これにより、ロールの回転とは無関係に特定の位置で特
定の温度にコントロールすることが可能となる。熱媒の
排出口側にも同様の機構を設けることで、熱媒の温度コ
ントロールをより効果的に行うことができる。
Here, as shown in the figure, the heat medium inlet port 13 is divided into two systems by a heat medium dividing wall 14. These are fixed regardless of the rotation of the roll so that a specific position always has a specific temperature. The transmission pipe 15, the inner cylinder 12, and the outer cylinder 16 are made to rotate integrally.
This makes it possible to control the temperature to a specific temperature at a specific position regardless of the rotation of the roll. By providing a similar mechanism on the heat medium discharge port side, the temperature of the heat medium can be controlled more effectively.

【0017】次に、このような機構を有するロール表面
に光情報記録媒体用の凹凸プリフォーマットパターンを
有するスタンパーを貼り付ける。
Next, a stamper having a concavo-convex preformat pattern for an optical information recording medium is attached to the roll surface having such a mechanism.

【0018】スタンパー表面の光情報記録媒体用の凹凸
プリフォーマットパターンは、従来公知のフォトリソグ
ラフィー法や直接刻印する等の従来公知の方法で作成さ
れる。また、これらをマスクとして基材上にプリフォー
マットパターンを転写する方式(図7)や、プレス法や
電鋳法によって基材とプリフォーマットパターンを同時
に形成、転写する方式でスタンパーを作製しても良い
(図8)。ロール上に直接刻印等の加工を施したプリフ
ォーマットパターンを設けても良い。
The concavo-convex preformat pattern for the optical information recording medium on the stamper surface is prepared by a conventionally known method such as a conventionally known photolithography method or direct engraving. Further, even if the stamper is manufactured by a method of transferring the preformat pattern onto the base material using these as a mask (FIG. 7) or a method of simultaneously forming and transferring the base material and the preformat pattern by a pressing method or an electroforming method. Good (Figure 8). It is also possible to directly provide a preformat pattern on the roll, which is subjected to processing such as engraving.

【0019】図4は本発明の第2発明の光情報記録媒体
用基板の成形方法に用いる押し出し成形用ロールの一例
を示した図であり、図5(a)はその断面図である。
FIG. 4 is a view showing an example of an extrusion molding roll used in the method for molding an optical information recording medium substrate of the second invention of the present invention, and FIG. 5 (a) is a sectional view thereof.

【0020】成形用ロール1の基材としては、一般的に
用いられているあらゆる金属、カーボン等が用いられる
が、表面は硬さが必要なことから炭素鋼、ジェラルミン
等の金属を用いるのが良い。ロールの表面にはクロム等
でメッキし、鏡面に研磨してあっても良く、また、フッ
素樹脂等で表面処理を施してあっても良い。
As the base material of the molding roll 1, all commonly used metals, carbon and the like are used. However, since the surface requires hardness, carbon steel, duralumin and other metals are used. good. The surface of the roll may be plated with chrome or the like and polished to a mirror surface, or may be surface-treated with a fluororesin or the like.

【0021】ロールの内部にはロール全体の温度調節機
構42を有しており、本例においては熱媒が流れる機構
が設けてある。
A temperature adjusting mechanism 42 for the entire roll is provided inside the roll, and in this example, a mechanism for flowing a heat medium is provided.

【0022】そしてロール表面の近傍には、本発明に係
る、ロールの回転方向と垂直に分けられたブロックごと
のヒーター43が埋め込まれている。本例では、光情報
記録媒体のパターンに応じてブロックを分割し、8分割
とした。
In the vicinity of the roll surface, a heater 43 according to the present invention, which is divided into blocks perpendicular to the rotation direction of the roll, is embedded. In this example, the block is divided into eight according to the pattern of the optical information recording medium.

【0023】これらのヒーターはブロックごとに温度調
節が可能であり、ロールの回転に応じてon−offで
きるようにしてあっても良い。
These heaters can be temperature-controlled for each block and may be turned on / off in accordance with the rotation of the roll.

【0024】本例では、各ブロックのヒーターかから導
線45によって、ロール側面に設けた集電用の接点46
につなぎ、ロールの回転に応じて集電ブラシ47から電
流を取り入れられるようにして、ロールの回転によって
特定の位置で、ヒーターのon−offを可能とした。
具体的には、各々のブロック上で、シートがスタンパー
から離れた直後から、熱溶融状態の樹脂が挟み込まれる
までの間はロールに内蔵したヒーターに電流を流し、樹
脂を挟み込んだ直後からシートがスタンパーから離れる
までの間はロールに内蔵したヒーターには電流が流れな
いように集電ブラシの位置を設定した。
In the present embodiment, a current collecting contact 46 provided on the side surface of the roll is provided by a conductor 45 from the heater of each block.
It is possible to turn on the heater at a specific position by rotating the roll so that the current can be taken from the current collecting brush 47 according to the rotation of the roll.
Specifically, on each block, an electric current is passed through the heater built into the roll from immediately after the sheet is separated from the stamper until the heat-melted resin is sandwiched, and the sheet is immediately inserted after the resin is sandwiched. The position of the current collecting brush was set so that no current would flow through the heater built into the roll until it was separated from the stamper.

【0025】このようにして、ブロック別に、かつ局部
的にスタンパー表面の温度を上昇させることができるた
め、ロール自体の設定温度を従来よりも10〜40℃低
く設定することができ、成形シートの離型性に関して有
利となる。
In this way, the temperature of the stamper surface can be raised locally for each block, so that the set temperature of the roll itself can be set lower by 10 to 40 ° C. than the conventional temperature, and the temperature of the formed sheet can be reduced. It is advantageous in terms of releasability.

【0026】次に、上記のロールを用いて、ロール状ス
タンパーを作製する。スタンパー表面の光情報記録媒体
用の凹凸プリフォーマットパターンは、前記の図1乃至
4に示す第1発明と同様の方法で作製される。
Next, a roll-shaped stamper is manufactured using the above rolls. The concavo-convex preformat pattern for the optical information recording medium on the stamper surface is produced by the same method as the first invention shown in FIGS.

【0027】本例では、光情報記録媒体用の凹凸のプリ
フォーマットパターンを有するマザーマスク上のパター
ン面にニッケルを電鋳し、電鋳層をマザーマスクから離
型することで得られた、厚み150ミクロンの図6のよ
うなニッケル製スタンパーをロール上に巻き付け、機械
的に固定してロール状スタンパーを得た。
In this example, the thickness obtained by electroforming nickel on the pattern surface on the mother mask having the uneven preformat pattern for the optical information recording medium and releasing the electroformed layer from the mother mask A 150 micron nickel stamper as shown in FIG. 6 was wound on a roll and mechanically fixed to obtain a roll stamper.

【0028】次に第3の発明である光情報媒体用スタン
パーを説明する。
Next, a stamper for an optical information medium according to the third invention will be described.

【0029】スタンパー表面の光情報記録媒体用の凹凸
プリフォーマットパターンは前記の図1乃至図3の第1
発明および図4乃至図6の第2発明と同様の方法で作成
すればよい。
The concavo-convex preformat pattern for the optical information recording medium on the stamper surface is the first pattern shown in FIGS.
It may be produced by a method similar to that of the invention and the second invention of FIGS.

【0030】スタンパーの基材としては、電気抵抗率の
大きな金属、例えば、Bi,Ni−Cr合金、Ni−C
r−Fr合金、Cu−Mn−Fe合金や、酸化スズ、酸
化インジウム酸化カドミウムスズ等の金属酸化物等を用
いることができる。
As the base material of the stamper, a metal having a large electric resistivity, for example, Bi, Ni-Cr alloy, Ni-C is used.
An r-Fr alloy, a Cu-Mn-Fe alloy, a metal oxide such as tin oxide, indium oxide, cadmium tin oxide, or the like can be used.

【0031】これらの材料によって作製したスタンパー
を図5に示す様にロール上に取り付けた自己発熱性のス
タンパーロールを作製する。この際、スタンパーのブロ
ック別に温度コントロールを可能とするために、スタン
パーの長さはロールの周方向の長さよりも小さくしてス
タンパーを数枚または数十枚ロールの周方向に並べられ
るようにする。また、スタンパーの個々のブロックを独
立して温度コントロールするため、冷却ロール表面また
はスタンパー裏面を絶縁層にしておく必要がある。ポリ
イミド等のシートをロールとスタンパーの間に介しても
良い。なおロール側面に集電用の接点46を設け、ロー
ルの回転に応じて集電ブラシ47から電流を取り入れら
れるようにしてある。
A stamper roll made of these materials is mounted on the roll as shown in FIG. 5 to produce a self-heating stamper roll. At this time, in order to enable temperature control for each block of the stamper, the length of the stamper should be smaller than the length of the roll in the circumferential direction so that several or dozens of stampers can be arranged in the circumferential direction of the roll. . Further, in order to control the temperature of each block of the stamper independently, it is necessary to make the surface of the cooling roll or the back surface of the stamper an insulating layer. A sheet of polyimide or the like may be interposed between the roll and the stamper. A contact 46 for current collection is provided on the side surface of the roll so that current can be taken in from the current collecting brush 47 according to the rotation of the roll.

【0032】このようにして設けられた、ロールスタン
パー上の各温調ブロックをロールの回転に応じて制御す
る。
Each temperature control block on the roll stamper thus provided is controlled in accordance with the rotation of the roll.

【0033】図5において、熱溶融状態の樹脂が入り込
み、2本のロールに挟み込む瞬間には、スタンパー表面
の温度を高くし、一方、スタンパー上で硬化したシート
がスタンパーから剥がれる際にはスタンパー表面の温度
を低くすることが望ましい。
In FIG. 5, the temperature of the stamper surface is raised at the moment when the resin in the heat-melted state enters and is sandwiched between the two rolls, while the sheet cured on the stamper is peeled from the stamper surface. It is desirable to lower the temperature of.

【0034】そこで、シートがスタンパーから離れる直
後から熱溶融状態の樹脂が挟み込まれるまでの間は熱源
として用いるスタンパーに電流を流し、樹脂を挟み込ん
だ直後からシートがスタンパーから離れるまでの間はス
タンパーに電流が流れないようにする。電流のon−o
ffはロール側面に設けた集電ブラシを用い、ロールの
回転位置に合わせて制御するのが簡単である。
Therefore, an electric current is applied to the stamper used as a heat source from immediately after the sheet is separated from the stamper until the heat-melted resin is sandwiched, and the stamper is provided from immediately after the resin is sandwiched until the sheet is separated from the stamper. Prevent current from flowing. Current on-o
It is easy to control ff according to the rotation position of the roll by using a current collecting brush provided on the side surface of the roll.

【0035】このように、ロールの表面に設けたヒータ
ー状のスタンパーは熱容量が小さいため、局部的に、し
かも急速にスタンパー表面の温度を変化させることがで
きる。スタンパーを取り付けたロール自体にも樹脂の軟
化点温度よりもやや低い、例えば10〜40℃低い温度
に常に設定しておくことにより2つの熱源を併用した効
果的な基板成形が可能となる。
As described above, since the heater-like stamper provided on the surface of the roll has a small heat capacity, the temperature of the stamper surface can be locally and rapidly changed. It is possible to effectively form a substrate using two heat sources together by always setting a temperature slightly lower than the softening point temperature of the resin, for example, 10 to 40 ° C. even on the roll itself to which the stamper is attached.

【0036】[0036]

【実施例】【Example】

実施例1 フレキシブルスタンパーの取り付けられたロール状スタ
ンパーを先に述べた押し出し成形機(図3)の第2ロー
ルとして用い、口径65mmの押出し機(300mm幅
のTダイ)によりシートを押出し、基板を成形した。こ
のときの押し出し機内部の温度は270℃、Tダイの温
度は300℃であった。
Example 1 A roll stamper having a flexible stamper attached was used as the second roll of the extrusion molding machine (FIG. 3) described above, and a sheet was extruded by an extruder having a diameter of 65 mm (300 mm width T die) to form a substrate. Molded. At this time, the temperature inside the extruder was 270 ° C and the temperature of the T die was 300 ° C.

【0037】第1ロール温度は135℃、第2ロール温
度は高温温調ゾーンで170℃、低温温調ゾーンで11
0℃、第3ロール温度は110℃に設定して熱溶融した
ポリカーボネート樹脂(帝人化成、パンライトL−12
25)をTダイより押出し、引き取り速度4.0m/m
inで成形を行い、光情報記録媒体用プリフォーマット
パターンを有するポリカーボネート樹脂基板(厚さ0.
4mm)を得た。
The first roll temperature is 135.degree. C., the second roll temperature is 170.degree. C. in the high temperature control zone and 11 in the low temperature control zone.
0 ° C, the temperature of the third roll was set to 110 ° C, and the heat-melted polycarbonate resin (Teijin Kasei, Panlite L-12
25) is extruded from the T-die and the take-up speed is 4.0 m / m
in, and a polycarbonate resin substrate having a preformat pattern for an optical information recording medium (thickness: 0.
4 mm) was obtained.

【0038】成形中、スタンパー表面の温度を放射温度
計によって設定したところ、樹脂を挟み込む直前で17
0℃、シートがスタンパーから離れた直後で115℃で
あり、ほぼ熱媒の設定温度と等しくなっていた。
During molding, the temperature of the stamper surface was set by a radiation thermometer.
The temperature was 0 ° C., which was 115 ° C. immediately after the sheet was separated from the stamper, which was almost equal to the set temperature of the heat medium.

【0039】得られた光記録媒体用のシート状基板は複
屈折がシングルパスで20nm以下であり転写も完全で
あった。また、シートがスタンパーから離れるまでに、
成形シートのパターン転写面がロールの低温側の設定温
度まで冷却されるため、シートがスタンパーへ粘着する
ことによって発生していた、縞模様の発生を防止するこ
とができ、離型時に発生していた新たな複屈折の発生も
防止できた。
The sheet-like substrate for an optical recording medium thus obtained had a single path with a birefringence of 20 nm or less, and the transfer was also complete. Also, by the time the seat leaves the stamper,
Since the pattern transfer surface of the molded sheet is cooled to the set temperature on the low temperature side of the roll, it is possible to prevent the occurrence of the striped pattern caused by the sheet adhering to the stamper, and it is possible to prevent it from occurring at the time of mold release. It also prevented the occurrence of new birefringence.

【0040】また、これらの効果により、より高温、高
速での基板成形が可能となった。
Further, by these effects, it becomes possible to mold the substrate at a higher temperature and a higher speed.

【0041】実施例2 前記図5のようにして得られた、フレキシブルスタンパ
ーが取り付けられ、スタンパーのパターンに対応した8
つのヒーターをロールの内部に内蔵したロールを、先に
述べた押し出し成形機(図3)の第2ロールとして用
い、口径65mmの押し出し機(300mm幅のTダ
イ)によりシートを押し出し、基板を成形した。このと
きの押し出し機内部の温度は270℃、Tダイの温度は
300℃に設定して溶融したポリカーボネート樹脂(帝
人化成、パンライトL−1225)を押し出し、また、
第1〜第3ロール温度は循環式の温調油により125℃
に設定し、引き取り速度4.0m/minで成形を行
い、光情報記録媒体用プリフォーマットパターンを有す
るポリカーボネート樹脂基板(厚さ0.4mm)を得
た。
Example 2 A flexible stamper obtained as shown in FIG. 5 was attached, and 8 corresponding to the pattern of the stamper was attached.
A roll with two heaters inside is used as the second roll of the extrusion molding machine (Fig. 3) described above, and a sheet is extruded by an extrusion machine (T die of 300 mm width) with a diameter of 65 mm to form a substrate. did. At this time, the temperature inside the extruder was set to 270 ° C. and the temperature of the T die was set to 300 ° C., and the melted polycarbonate resin (Teijin Kasei, Panlite L-1225) was extruded, and
The temperature of the first to third rolls is 125 ° C due to the circulation type temperature control oil.
Was set, and molding was performed at a take-up speed of 4.0 m / min to obtain a polycarbonate resin substrate (thickness 0.4 mm) having a preformat pattern for an optical information recording medium.

【0042】同時に、シートがスタンパーから離れた直
後から熱溶融状態の樹脂を挟み込むまでの間、この区間
にあるロールの表面近傍に内蔵したヒーターを加熱し
た。ヒーターの存在する部分のスタンパー表面は、局部
的に温度のコントロールができ、樹脂を挟み込む直前の
スタンパー表面の温度は170℃、シートがスタンパー
から離れた瞬間のスタンパー表面温度は、120℃であ
った。
At the same time, the heater built in near the surface of the roll in this section was heated from immediately after the sheet was separated from the stamper until the heat-melted resin was sandwiched. The temperature of the stamper surface where the heater is present can be locally controlled. The temperature of the stamper surface immediately before sandwiching the resin was 170 ° C, and the stamper surface temperature at the moment when the sheet separated from the stamper was 120 ° C. .

【0043】得られた光記録媒体用のシート状基板は複
屈折がシングルパスで20nm以下であり転写も完全で
あった。また、熱溶融状態の樹脂を挟み込んだ直後、ロ
ールに内蔵したヒーターをoffにすることによって、
シートがスタンパーから離れる前にロールの温調油で設
定した温度に戻るため、離型時にシートがスタンパーに
粘着することによって発生していた縞模様の発生が防止
でき、また、離型時に新たな複屈折が発生することも防
止できた。
The sheet-like substrate for an optical recording medium thus obtained had a birefringence of 20 nm or less in a single pass and was completely transferred. Immediately after sandwiching the heat-melted resin, the heater built into the roll is turned off,
Before the sheet leaves the stamper, it returns to the temperature set by the temperature control oil of the roll, so it is possible to prevent the occurrence of the striped pattern that was caused by the sheet sticking to the stamper at the time of release, and a new It was also possible to prevent birefringence from occurring.

【0044】また、これらの効果により、より高温、高
速での基板成形が可能となった。
Further, by these effects, it becomes possible to mold the substrate at a higher temperature and a higher speed.

【0045】実施例3 まず図9(a)に示すように、厚さ100ミクロンの板
状にしたNi−Cr−Fe合金20上に厚さ25ミクロ
ンのポリイミドシート21を貼り合わせた。次いで、合
金20の面上にフォトレジスト(WAYCOAT HP
R204 富士ハンドエレクトロニクステクノロジー社
製)を滴下し、スピナーで3000オングストロームの
膜厚に塗布した後、100℃、20分の条件でプレベー
クを行い、フォトレジスト層22を形成した。
Example 3 First, as shown in FIG. 9 (a), a 25-micron-thick polyimide sheet 21 was bonded onto a Ni-Cr-Fe alloy 20 having a 100-micron-thick plate shape. Then, a photoresist (WAYCOAT HP
R204 (manufactured by Fuji Hand Electronics Technology Co., Ltd.) was dropped and applied with a spinner to a film thickness of 3000 Å, and then prebaked at 100 ° C. for 20 minutes to form a photoresist layer 22.

【0046】次に、レーザー露光装置[ミラープロジェ
クターマスクアライナー。MPA−1500(キヤノン
社製)]等の露光装置を用い、複数個の情報記録媒体の
所定パターン(ストライブ状)を露光した(図9
(b))。
Next, a laser exposure device [mirror projector mask aligner. An exposure apparatus such as MPA-1500 (manufactured by Canon Inc.)] was used to expose a predetermined pattern (striped pattern) of a plurality of information recording media (FIG. 9).
(B)).

【0047】次いで、LSI現像液(富士ハンドエレク
トロニクステクノロジー社製)で現像すると、紫外光の
当たったところのフォトレジスト23は流れ去り、当た
らない部分のレジスト24が残り、トラッキング用溝、
情報用ビット等の凹凸の微細パターンを合金20上に形
成し、最後に外周を120×120mmの長方形に切断
することにより、幅3μmピッチ12μmの直線状の光
カード用トラッキングトラックのパターンを有するフレ
キシブルスタンパー8が得られた。(図9(c))この
スタンパーを8枚用意し、図10に示すように外周10
00mmのロール周上に並べて貼り付けた。なお、スタ
ンパーは両端をネジ止めして固定し、片側には導電性の
ネジ、もう一方には絶縁ネジを用いた。導電性のネジ側
はロールへのアースがあり、絶縁側ネジ側からはスタン
パーから導線45を配し、ロール側面に集電用の接点4
6を設け、ロールの回転に応じて集電ブラシ47から電
流を取り入れられるようにした。なお、これらの配線は
すべてアース電極であるロールと絶縁してある。
Next, when developed with an LSI developer (manufactured by Fuji Hand Electronics Technology Co., Ltd.), the photoresist 23 where the ultraviolet light hits flows away, and the resist 24 where the ultraviolet light does not hit remains, and the tracking groove,
A flexible pattern having a linear tracking track pattern for optical cards with a width of 3 μm and a pitch of 12 μm is formed by forming a fine pattern of unevenness such as information bits on the alloy 20 and finally cutting the outer periphery into a rectangle of 120 × 120 mm. Stamper 8 was obtained. (FIG. 9C) Eight stampers were prepared, and as shown in FIG.
They were attached side by side on a roll circumference of 00 mm. The stamper was fixed by screwing both ends, and a conductive screw was used on one side and an insulating screw was used on the other side. The conductive screw side has the ground to the roll, the insulating side screw side has the conductor 45 from the stamper, and the side of the roll has a contact 4 for collecting electricity.
6 is provided so that the current can be taken from the current collecting brush 47 according to the rotation of the roll. All of these wirings are insulated from the roll which is the ground electrode.

【0048】このようにして、8つのブロック別にスタ
ンパー表面の温度をコントロールできるようにした。
In this way, the temperature of the stamper surface can be controlled for each of the eight blocks.

【0049】以上のようにして得られた、自己発熱性を
有するフレキシブルスタンパーの取り付けられたロール
状スタンパーを先に述べた押出し成形機(図3)の第2
ロールとして用い、口径65mmの押し出し機(300
mm幅のTダイ)によりシートを押し出し、基板を成形
した。このときの押し出し機内部の温度は270℃、T
ダイの温度は300℃に設定して溶融したポリカーボネ
ート樹脂(帝人化成、パンライトL−1225)を押し
出し、また、第1〜第3ロール温度は循環式の温調油に
より125℃に設定し、引き取り速度3.0m/min
で成形を行い、光情報記録媒体用プリフォーマットパタ
ーンを有するポリカーボネート樹脂基板(厚さ0.4m
m)を得た。
The roll-shaped stamper to which the flexible stamper having a self-heating property is attached, which is obtained as described above, is used as the second member of the above-mentioned extruder (FIG. 3).
Extruder with a diameter of 65 mm (300
The sheet was extruded by a T-die having a width of mm) to form a substrate. At this time, the temperature inside the extruder is 270 ° C, T
The temperature of the die was set to 300 ° C. and the melted polycarbonate resin (Teijin Kasei, Panlite L-1225) was extruded, and the temperature of the first to third rolls was set to 125 ° C. by the circulation type temperature control oil, Pickup speed 3.0m / min
And a polycarbonate resin substrate having a preformat pattern for an optical information recording medium (thickness 0.4 m
m) was obtained.

【0050】同時にスタンパー上に100ボルト、6ア
ンペアーの電流を流し、シートがスタンパーから離れた
直後から熱溶融状態の樹脂を挟み込むまでの間、この区
間にあるスタンパーを加熱した。このように、ロールの
表面に設けたヒーター状のスタンパーは熱容量が小さい
ため、局部的に、しかも急速にスタンパー表面の温度を
変化させることができ、樹脂を挟み込む直前のスタンパ
ー表面の温度が170℃、シートがスタンパーから離れ
た瞬間のスタンパー表面温度は、125℃であった。
At the same time, a current of 100 V and 6 amperes was applied to the stamper, and the stamper in this section was heated immediately after the sheet was separated from the stamper until the heat-melted resin was sandwiched. In this way, since the heater-like stamper provided on the surface of the roll has a small heat capacity, the temperature of the stamper surface can be locally and rapidly changed, and the temperature of the stamper surface immediately before the resin is sandwiched is 170 ° C. The surface temperature of the stamper at the moment when the sheet separated from the stamper was 125 ° C.

【0051】得られた光記録媒体用のシート状基板は複
屈折がシングルパスで20nm以下であり転写も完全で
あった。また、熱溶融状態の樹脂を挟み込んだ直後、ス
タンパーの自己発熱機構をoffにすることによって、
シートがスタンパーから離れる前にロールの温調油で設
定した温度に戻るため、シートのスタンパーへの粘着に
よって発生していた、縞模様の発生が防止でき、離型時
に新たな複屈折が発生することも防止できた。
The sheet-like substrate for an optical recording medium obtained had a birefringence of 20 nm or less in a single pass and the transfer was perfect. Immediately after sandwiching the heat-melted resin, by turning off the self-heating mechanism of the stamper,
Before the sheet leaves the stamper, it returns to the temperature set by the temperature control oil of the roll, so it is possible to prevent the occurrence of striped pattern that was caused by the sticking of the sheet to the stamper, and new birefringence occurs at the time of release. I was able to prevent that.

【0052】[0052]

【発明の効果】以上述べたようにスタンパーを取り付け
た冷却ロール中に複数系統の熱媒を流し数段階にロール
の温度制御をするか、スタンパーのを取り付けた冷却ロ
ールの回転方向と垂直に数個ないし数十個のブロックを
設けロールの温度調節を行う機構とは別系統の内蔵した
ヒーターによってロールスタンパー表面の温度をブロッ
ク別にコントロールすることにより樹脂を挟み込む際の
樹脂の温度を高くし、しかも、同一のロール上からシー
トが離れる際にはシートを効率良く冷却できるため、低
複屈折で転写率の高いシート成形が可能とし、かつ第2
ロールから第3ロールへ成形シートが移行する際に起き
ていた粘着、即ちシートの流れ方向と垂直の縞模様や、
離型の際に新たに発生する複屈折を防止できるといった
効果がある。また、基板表面に凹凸のプリフォーマット
用の基板を製造するためのスタンパーの一部分、或い
は全体を発熱体としたことによって、同様に樹脂を挟み
込む際の樹脂温度を高くすることが可能となった。しか
も発熱体のon−offをコントロールするだけで、ス
タンパー上でシートの冷却ができるため、第2ロールか
ら第3ロールへの成形シートが移行する際に起きていた
粘着、即ちシートの流れ方向と垂直の縞模様や、剥離の
際に新たに発生する複屈折を防止できるといった効果が
ある。
EFFECTS OF THE INVENTION As described above, the heating medium of a plurality of systems is caused to flow through the cooling roll having the stamper to control the temperature of the roll in several stages, or the cooling roll having the stamper attached thereto can be operated in a direction perpendicular to the rotating direction of the cooling roll. The temperature of the roll stamper surface is controlled for each block by a built-in heater of a system different from the mechanism for adjusting the temperature of the roll by providing one to several tens of blocks, and the temperature of the resin when sandwiching the resin is raised, and Since the sheet can be efficiently cooled when it separates from the same roll, it is possible to form the sheet with low birefringence and high transfer rate, and
Adhesion that occurred when the formed sheet was transferred from the roll to the third roll, that is, a striped pattern perpendicular to the sheet flow direction,
There is an effect that birefringence newly generated at the time of releasing the mold can be prevented. Further, by using a part or the whole of the stamper for manufacturing a substrate for preformatting unevenness on the substrate surface as a heating element, it is possible to similarly raise the resin temperature when sandwiching the resin. Moreover, since the sheet can be cooled on the stamper only by controlling the on-off of the heating element, the sticking that occurs when the molded sheet is transferred from the second roll to the third roll, that is, the sheet flow direction, There is an effect that vertical stripes and birefringence newly generated at the time of peeling can be prevented.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の光情報記録媒体用基板の成形方法に係
る装置の一例を示した説明図。
FIG. 1 is an explanatory view showing an example of an apparatus according to a method for molding a substrate for an optical information recording medium of the present invention.

【図2】図2(a)、(b)は本発明の光情報記録媒体
用基板の成形方法に係る成形用ロール中に、複数系統の
熱媒を流す手段の一例を示したA−A′断面図及びB−
B′断面図。
2 (a) and 2 (b) show an example of means for flowing a plurality of heating mediums in a molding roll according to the method for molding a substrate for an optical information recording medium of the present invention. ′ Sectional view and B-
B'sectional view.

【図3】本発明の光情報記録媒体用基板の成形方法に係
るローラーグルーピング成形法の模式図。
FIG. 3 is a schematic diagram of a roller grouping molding method according to a molding method of a substrate for an optical information recording medium of the present invention.

【図4】本発明の成形方法に係る成形ロールの一実施例
を示す模式図。
FIG. 4 is a schematic view showing an example of a forming roll according to the forming method of the present invention.

【図5】図5(a)、(b)は本発明の成形方法に係る
成形ロールの一実施例を示す断面図及び側面図。
5 (a) and 5 (b) are a sectional view and a side view showing an embodiment of a forming roll according to the forming method of the present invention.

【図6】本発明の第2発明の実施例に用いたスタンパー
を示した図。
FIG. 6 is a view showing a stamper used in an embodiment of the second invention of the present invention.

【図7】本発明に係るスタンパーの形態を示す断面図。FIG. 7 is a sectional view showing a form of a stamper according to the present invention.

【図8】本発明にスタンパーの別の形態を示す断面図。FIG. 8 is a cross-sectional view showing another form of the stamper according to the present invention.

【図9】本発明に係るスタンパーの製造方法を示す工程
図。
FIG. 9 is a process drawing showing the method of manufacturing a stamper according to the present invention.

【図10】図10(a)(b)(c)は本発明に係るス
タンパーを成形ロールの取り付けた一例を示した斜視図
および側面図およびB−B断面図。
10 (a), (b) and (c) are a perspective view, a side view and a BB sectional view showing an example in which a stamper according to the present invention is attached to a molding roll.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 押し出し機 2 Tダイ 3 成形用第1ロール 4 第2ロール(スタンパーロール) 5 第3ロール 6 熱溶融状態の樹脂シート 7 プリフォーマットパターンが転写された成形シー
ト 8 スタンパー 9 引き取り機 10 高温温調ゾーン 11 低温温調ゾーン 12 内筒 13 熱媒導入口 14 熱媒分割壁 15 伝達管 16 外筒 17 プリフォーマットパターン 18 スタンパー固定具 19 発熱性基材 20 発熱性合金 21 耐熱性シート 22 フォトレジスト層 23 露光部 24 非露光部 41 成形ロール 42 ロール温度調節機構 43 ロール内蔵ヒーター 44 温調ブロック 45 導線 46 集電用の接点 47 集電ブラシ 48 ヒーター作動領域 49 ヒーター非作動領域
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Extruder 2 T die 3 1st roll for molding 4 2nd roll (stamper roll) 5 3rd roll 6 Resin sheet in a heat-melted state 7 Molded sheet to which a preformat pattern is transferred 8 Stamper 9 Take-off machine 10 High temperature temperature control Zone 11 Low-temperature control zone 12 Inner cylinder 13 Heat medium inlet port 14 Heat medium dividing wall 15 Heat transfer pipe 16 Outer cylinder 17 Preformat pattern 18 Stamper fixture 19 Exothermic base material 20 Exothermic alloy 21 Heat resistant sheet 22 Photoresist layer 23 Exposed part 24 Non-exposed part 41 Forming roll 42 Roll temperature adjusting mechanism 43 Roll built-in heater 44 Temperature control block 45 Conductor wire 46 Current collecting contact 47 Current collecting brush 48 Heater operating area 49 Heater inactive area

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 B29C 59/04 Z 9446−4F // B29K 101:12 B29L 17:00 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (51) Int.Cl. 6 Identification code Office reference number FI technical display location B29C 59/04 Z 9446-4F // B29K 101: 12 B29L 17:00

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 基板表面に凹凸のプリフォーマットパタ
ーンを有する光情報記録媒体用の基板の成形方法であっ
て、押し出し成形によって熱可塑性樹脂をシート化する
と同時に、該プリフォーマットパターンを有するスタン
パーを取り付けた冷却ロールによって、該プリフォーマ
ットパターンをシート上に転写する押し出し成形法に於
いて、該スタンパーを取り付けた冷却ロール中に複数系
統の熱媒を流し、数段階にロールの温度制御をすること
を特徴とする光情報記録媒体用基板の成形方法。
1. A method for molding a substrate for an optical information recording medium having a concavo-convex preformat pattern on a substrate surface, wherein a thermoplastic resin is formed into a sheet by extrusion molding, and at the same time, a stamper having the preformat pattern is attached. In an extrusion molding method in which the preformat pattern is transferred onto a sheet by a cooling roll, it is possible to control the temperature of the roll in several steps by flowing a plurality of systems of heating medium into the cooling roll equipped with the stamper. A method for molding a substrate for an optical information recording medium, which is characterized.
【請求項2】 基板表面に凹凸のプリフォーマットパタ
ーンを有する光情報記録媒体用の基板の成形方法であっ
て、押し出し成形によって熱可塑性樹脂をシート化する
と同時に、該プリフォーマットパターンを有するスタン
パーを取り付けた冷却ロールによって、該プリフォーマ
ットパターンをシート上に転写する押し出し成形法に於
いて、該スタンパーを取り付けた冷却ロールの回転方向
に垂直に数個ないし数十個のブロックを設け、ロールの
温度調節を行う機構とは別系統の内蔵したヒーターによ
ってロールスタンパー表面の温度をブロック別にコント
ロールしながらシート成形を行うことを特徴とする光情
報記録媒体用基板の成形方法。
2. A method for molding a substrate for an optical information recording medium having a concavo-convex preformat pattern on the surface of the substrate, wherein the thermoplastic resin is formed into a sheet by extrusion molding and, at the same time, a stamper having the preformat pattern is attached. In the extrusion molding method in which the preformat pattern is transferred onto a sheet by a cooling roll, several to several tens of blocks are provided perpendicularly to the rotation direction of the cooling roll with the stamper, and the temperature of the roll is adjusted. A method for forming a substrate for an optical information recording medium, characterized in that sheet formation is performed while controlling the temperature of the roll stamper surface in blocks by a built-in heater separate from the mechanism for performing the above.
【請求項3】 請求項1又は2に記載の押し出し成形用
の冷却ロールにおいて、シートの導入部分が導出部分よ
りも高温であることを特徴とする請求項1又は2記載の
光情報記録媒体用基板の成形方法。
3. An optical information recording medium according to claim 1, wherein the cooling roll for extrusion molding according to claim 1 or 2, wherein the introduction portion of the sheet has a higher temperature than the extraction portion. Substrate molding method.
【請求項4】 基板表面に凹凸のプリフォーマットパタ
ーンを有する光情報記録媒体用の基板を製造するための
スタンパーに於いて、該スタンパーの部分、或いは全体
が発熱体からなることを特徴とする光情報記録媒体用ス
タンパー。
4. A stamper for manufacturing a substrate for an optical information recording medium having a concavo-convex preformat pattern on the surface of the substrate, characterized in that part or the whole of the stamper comprises a heating element. Stamper for information recording media.
【請求項5】 プリフォーマットパターンを有する光情
報記録媒体用の基板を製造するためのスタンパーを、熱
可塑性樹脂の押し出し成形用ロールに巻き付け、シート
成形と同時にスタンパー上のプリフォーマットパターン
をシート上に転写する押し出し成形法に用いることを特
徴とする請求項4記載の光情報記録媒体用のスタンパ
ー。
5. A stamper for producing a substrate for an optical information recording medium having a preformat pattern is wound around an extrusion molding roll of a thermoplastic resin, and the preformat pattern on the stamper is formed on the sheet simultaneously with sheet formation. The stamper for an optical information recording medium according to claim 4, which is used in an extrusion molding method for transferring.
【請求項6】 スタンパー表面を可逆的に温度を変化さ
せながら成形することを特徴とする請求項4記載の光情
報記録媒体用のスタンパー。
6. The stamper for an optical information recording medium according to claim 4, wherein the stamper surface is molded while reversibly changing the temperature.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2007519538A (en) * 2004-01-30 2007-07-19 カルク・アクチェンゲゼルシャフト Apparatus and method for forming a filmstrip
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