JPH08166355A - 欠陥検査装置 - Google Patents
欠陥検査装置Info
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- JPH08166355A JPH08166355A JP6313304A JP31330494A JPH08166355A JP H08166355 A JPH08166355 A JP H08166355A JP 6313304 A JP6313304 A JP 6313304A JP 31330494 A JP31330494 A JP 31330494A JP H08166355 A JPH08166355 A JP H08166355A
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- 230000007547 defect Effects 0.000 title claims abstract description 43
- 238000007689 inspection Methods 0.000 title claims description 12
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 claims description 7
- 238000003708 edge detection Methods 0.000 claims description 4
- 238000000605 extraction Methods 0.000 abstract description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 10
- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 3
- 230000000717 retained effect Effects 0.000 description 2
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 239000000284 extract Substances 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
- Image Processing (AREA)
- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
- Image Analysis (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 処理すべき画像のデータ量を少なくし、短い
処理時間で欠陥を検出することを目的とする。 【構成】 ビデオカメラ３によって液晶表示パネルの絶
縁ストライプ２を撮影し、エッジ抽出部４によってノイ
ズ成分を除去した後、画像信号から絶縁ストライプ２の
一端側と他端側とで幅方向のエッジを検出し、各エッジ
の中心座標を検出して両者を結び、その中心線上で欠陥
を判別する。
処理時間で欠陥を検出することを目的とする。 【構成】 ビデオカメラ３によって液晶表示パネルの絶
縁ストライプ２を撮影し、エッジ抽出部４によってノイ
ズ成分を除去した後、画像信号から絶縁ストライプ２の
一端側と他端側とで幅方向のエッジを検出し、各エッジ
の中心座標を検出して両者を結び、その中心線上で欠陥
を判別する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は欠陥検査装置に関し、
特に、液晶表示パネルの電極パターン間を絶縁する帯状
の絶縁ストライプが電気的に短絡するような欠陥を検出
する欠陥検査装置に関する。
特に、液晶表示パネルの電極パターン間を絶縁する帯状
の絶縁ストライプが電気的に短絡するような欠陥を検出
する欠陥検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】液晶表示パネルは、各種電子機器への用
途が増加し、ますます表示密度の高いものが要求されて
いる。表示密度を高めるためには、液晶表示パネルの電
極パターンを細くして密度を高める必要がある。ところ
が、電極パターンの密度を高めると、パターンのエッチ
ング不良などを生じ、図１０に示すように隣接する電極
パターン１，１との間の絶縁ストライプ２の一部に電極
が完全にエッチングされずに残ってしまい、隣接する電
極１と１との間が電気的に短絡してしまう場合がある。
途が増加し、ますます表示密度の高いものが要求されて
いる。表示密度を高めるためには、液晶表示パネルの電
極パターンを細くして密度を高める必要がある。ところ
が、電極パターンの密度を高めると、パターンのエッチ
ング不良などを生じ、図１０に示すように隣接する電極
パターン１，１との間の絶縁ストライプ２の一部に電極
が完全にエッチングされずに残ってしまい、隣接する電
極１と１との間が電気的に短絡してしまう場合がある。
【０００３】このような欠陥パターンを検出する装置の
一例として、液晶表示パネルの電極パターンの画像をＣ
ＣＤカメラで撮像し、画像処理装置を用いて、パターン
マッチングによって欠陥を検出するものがある。
一例として、液晶表示パネルの電極パターンの画像をＣ
ＣＤカメラで撮像し、画像処理装置を用いて、パターン
マッチングによって欠陥を検出するものがある。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
検査装置では、図６に示すような絶縁ストライプ２のす
べての面積を対象として欠陥検査を行なっているため、
画像のデータ量が非常に多くなり、処理時間が長くなっ
てしまうという欠点があった。
検査装置では、図６に示すような絶縁ストライプ２のす
べての面積を対象として欠陥検査を行なっているため、
画像のデータ量が非常に多くなり、処理時間が長くなっ
てしまうという欠点があった。
【０００５】それゆえに、この発明の主たる目的は、処
理すべき画像のデータ量を少なくし、短い処理時間で欠
陥を検出し得る欠陥検査装置を提供することである。
理すべき画像のデータ量を少なくし、短い処理時間で欠
陥を検出し得る欠陥検査装置を提供することである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】請求項１に係る発明は、
液晶表示パネルの電極パターン間を絶縁する帯状の絶縁
ストライプが電気的に短絡しているような欠陥を検査す
るための欠陥検査装置であって、絶縁ストライプを撮像
するための撮像手段と、撮像手段の画像出力に基づい
て、帯状の絶縁ストライプにおける長手方向に延びる中
線上の欠陥を判別する判別手段とを備えて構成される。
液晶表示パネルの電極パターン間を絶縁する帯状の絶縁
ストライプが電気的に短絡しているような欠陥を検査す
るための欠陥検査装置であって、絶縁ストライプを撮像
するための撮像手段と、撮像手段の画像出力に基づい
て、帯状の絶縁ストライプにおける長手方向に延びる中
線上の欠陥を判別する判別手段とを備えて構成される。
【０００７】請求項２に係る発明では、請求項１の撮像
手段は、絶縁ストライプの長手方向に直交する方向に一
端側から他端側に向けて順次走査して絶縁ストライプを
撮像し、判別手段は、撮像手段の画像出力に含まれるノ
イズ成分を除去するノイズ除去手段と、ノイズ除去手段
の出力に基づいて、絶縁ストライプの一端側および他端
側の幅方向のエッジを検出するエッジ検出手段と、検出
された一端側および他端側のそれぞれのエッジ間の中点
を求める中点算出手段と、算出された一端側の中点と他
端側の中点とを結ぶ直線を求める直線算出手段と、算出
された直線上の欠陥を判別する欠陥判別手段とを備えて
構成される。
手段は、絶縁ストライプの長手方向に直交する方向に一
端側から他端側に向けて順次走査して絶縁ストライプを
撮像し、判別手段は、撮像手段の画像出力に含まれるノ
イズ成分を除去するノイズ除去手段と、ノイズ除去手段
の出力に基づいて、絶縁ストライプの一端側および他端
側の幅方向のエッジを検出するエッジ検出手段と、検出
された一端側および他端側のそれぞれのエッジ間の中点
を求める中点算出手段と、算出された一端側の中点と他
端側の中点とを結ぶ直線を求める直線算出手段と、算出
された直線上の欠陥を判別する欠陥判別手段とを備えて
構成される。
【０００８】請求項３に係る発明では、請求項２の判別
手段は、絶縁ストライプの一端側の中点と他端側の中点
とを結ぶ直線と、幅方向の一方側のエッジとの間の中線
および直線と幅方向の他端側のエッジとの間の中線を求
め、求めたそれぞれの直線上の欠陥を判別する。
手段は、絶縁ストライプの一端側の中点と他端側の中点
とを結ぶ直線と、幅方向の一方側のエッジとの間の中線
および直線と幅方向の他端側のエッジとの間の中線を求
め、求めたそれぞれの直線上の欠陥を判別する。
【０００９】
【作用】この発明に係る欠陥検査装置は、絶縁ストライ
プを撮像し、絶縁ストライプにおける長手方向に延びる
中線上の欠陥を判別するようにしたので、絶縁ストライ
プのすべての画像データを必要とせず、データ量を少な
くして短時間に欠陥を判別できる。
プを撮像し、絶縁ストライプにおける長手方向に延びる
中線上の欠陥を判別するようにしたので、絶縁ストライ
プのすべての画像データを必要とせず、データ量を少な
くして短時間に欠陥を判別できる。
【００１０】
【実施例】図１はこの発明の一実施例の概略ブロック図
である。図１において、ビデオカメラ３は液晶表示パネ
ルの電極パターン１と絶縁パターン２の画像を撮像する
ものであり、その画像信号はエッジ抽出部４に与えられ
る。エッジ抽出部４は後述の図４に示すフローチャート
に基づく処理を行なって、出力信号を欠陥判別部５に与
える。欠陥判別部５はエッジ抽出部４からの信号に基づ
いて絶縁ストライプ２の欠陥を判別する。
である。図１において、ビデオカメラ３は液晶表示パネ
ルの電極パターン１と絶縁パターン２の画像を撮像する
ものであり、その画像信号はエッジ抽出部４に与えられ
る。エッジ抽出部４は後述の図４に示すフローチャート
に基づく処理を行なって、出力信号を欠陥判別部５に与
える。欠陥判別部５はエッジ抽出部４からの信号に基づ
いて絶縁ストライプ２の欠陥を判別する。
【００１１】図２はこの発明の一実施例の動作を説明す
るための図であり、図３は図２に示した絶縁ストライプ
を拡大して示した図であり、図４はこの発明の一実施例
の具体的な動作を説明するためのフローチャートであ
り、図５〜図８はノイズを除去する方法を説明するため
の図である。
るための図であり、図３は図２に示した絶縁ストライプ
を拡大して示した図であり、図４はこの発明の一実施例
の具体的な動作を説明するためのフローチャートであ
り、図５〜図８はノイズを除去する方法を説明するため
の図である。
【００１２】次に、図１〜図８を参照して、この発明の
一実施例の具体的な動作について説明する。ビデオカメ
ラ３は図２（ａ）に示すように、電極パターン１と帯状
の絶縁ストライプ２の画像を撮像する。このとき、ビデ
オカメラ３は絶縁ストライプ２の長手方向に直交する方
向に、一端側から他端側に向けて順次走査する。エッジ
抽出部４はビデオカメラ３からの画像信号に基づいてエ
ッジを抽出する。すなわち、図４に示すフローチャート
に従って、まずＸ方向のエッジを抽出するために、図２
（ａ），（ｂ）に示すｙ＝ｙ0 におけるエッジＡ，Ｂを
求める。このとき、図２（ｇ）に示すように、ｙ＝ｙ0
上にノイズが存在する場合は、ノイズによる濃度変化を
拾ってしまい、正常なエッジを検出できない。そこで、
図５〜図８に示すノイズ除去処理を施す。すなわち、図
５に示すように、Ｙ方向に走査したときの領域６におい
て、ノイズの含まれている部分７と、電極１と絶縁部２
との境界が含まれている部分８があるとすると、図６
（ａ）に示すように、ノイズはＸ方向またはＹ方向に連
続したエッジを持たないため除去し、図６（ｂ）に示す
ようにＹ方向に連続してエッジを有する境界は保持す
る。
一実施例の具体的な動作について説明する。ビデオカメ
ラ３は図２（ａ）に示すように、電極パターン１と帯状
の絶縁ストライプ２の画像を撮像する。このとき、ビデ
オカメラ３は絶縁ストライプ２の長手方向に直交する方
向に、一端側から他端側に向けて順次走査する。エッジ
抽出部４はビデオカメラ３からの画像信号に基づいてエ
ッジを抽出する。すなわち、図４に示すフローチャート
に従って、まずＸ方向のエッジを抽出するために、図２
（ａ），（ｂ）に示すｙ＝ｙ0 におけるエッジＡ，Ｂを
求める。このとき、図２（ｇ）に示すように、ｙ＝ｙ0
上にノイズが存在する場合は、ノイズによる濃度変化を
拾ってしまい、正常なエッジを検出できない。そこで、
図５〜図８に示すノイズ除去処理を施す。すなわち、図
５に示すように、Ｙ方向に走査したときの領域６におい
て、ノイズの含まれている部分７と、電極１と絶縁部２
との境界が含まれている部分８があるとすると、図６
（ａ）に示すように、ノイズはＸ方向またはＹ方向に連
続したエッジを持たないため除去し、図６（ｂ）に示す
ようにＹ方向に連続してエッジを有する境界は保持す
る。
【００１３】この動作を図７および図８を参照して詳細
に説明する。図７は図６（ｂ）の場合の濃度値を示し、
図８は図６（ａ）の場合の濃度値を示している。図７に
おいて、ｂ行おきの計ａ行のデータにおいて、同じＸ座
標を持つ画素の濃度値を加算して平均化する。図７にお
けるｉ−１列，ｉ列，ｉ＋１列の計算結果は次のように
なる。
に説明する。図７は図６（ｂ）の場合の濃度値を示し、
図８は図６（ａ）の場合の濃度値を示している。図７に
おいて、ｂ行おきの計ａ行のデータにおいて、同じＸ座
標を持つ画素の濃度値を加算して平均化する。図７にお
けるｉ−１列，ｉ列，ｉ＋１列の計算結果は次のように
なる。
【００１４】ｉ−１列：（２＋１＋０）÷３＝１ ｉ列：（５０＋４６＋６０）÷３＝５２ ｉ＋１列：（２＋１＋０）÷３＝１ 上述の計算結果により、ｉ列の濃度値からＹ方向に連続
しているものと判別でき、その値を保持する。
しているものと判別でき、その値を保持する。
【００１５】一方、図８に示した例では、その計算結果
が次のようになる。 ｉ−１列：（４＋５０＋１）÷３＝１８ ｉ列：（０＋４８＋１）÷３＝１６ ｉ＋１列：（１＋４６＋０）÷３＝１６ 上述の計算結果と予め定める基準値とを比較し、基準値
以下であるため、Ｙ方向に連続していないことを判別
し、ｊ行目のエッジが小さくなる。
が次のようになる。 ｉ−１列：（４＋５０＋１）÷３＝１８ ｉ列：（０＋４８＋１）÷３＝１６ ｉ＋１列：（１＋４６＋０）÷３＝１６ 上述の計算結果と予め定める基準値とを比較し、基準値
以下であるため、Ｙ方向に連続していないことを判別
し、ｊ行目のエッジが小さくなる。
【００１６】上述のごとくして、ノイズ除去処理が行な
われ、図２（ｇ）に示すようなノイズが除去されると、
図２（ｃ），（ｄ）に示すような信号となる。
われ、図２（ｇ）に示すようなノイズが除去されると、
図２（ｃ），（ｄ）に示すような信号となる。
【００１７】次に、図４に示すフローチャートに従っ
て、まずＸ方向のエッジを抽出するために、図２
（ａ），（ｂ）に示すｙ＝ｙ0 におけるエッジＡ，Ｂを
求める。ｙ＝ｙ0 におけるＸ方向の濃度は図２（ｃ）に
示すようになる。この画像信号を微分すると、図２
（ｅ）に示すようなエッジＡ，Ｂを示す信号が得られ
る。同様にして、ｙ＝ｙ1 におけるエッジＣ，Ｄを求め
る。ｙ＝ｙ1 における画像信号は図２（ｄ）に示すよう
になり、この画像信号を微分すると図２（ｆ）に示すよ
うなエッジＣ，Ｄを示す信号が得られる。
て、まずＸ方向のエッジを抽出するために、図２
（ａ），（ｂ）に示すｙ＝ｙ0 におけるエッジＡ，Ｂを
求める。ｙ＝ｙ0 におけるＸ方向の濃度は図２（ｃ）に
示すようになる。この画像信号を微分すると、図２
（ｅ）に示すようなエッジＡ，Ｂを示す信号が得られ
る。同様にして、ｙ＝ｙ1 におけるエッジＣ，Ｄを求め
る。ｙ＝ｙ1 における画像信号は図２（ｄ）に示すよう
になり、この画像信号を微分すると図２（ｆ）に示すよ
うなエッジＣ，Ｄを示す信号が得られる。
【００１８】次に、エッジ抽出部４はエッジＡ，Ｂ間の
中心座標Ｃ0 を求め、エッジＣ，Ｄ間の中心座標Ｃ1 を
求める。さらに、図３に示すように、中心座標Ｃ0 とＣ
1 とを結ぶセンターラインＬを求め、センターラインＬ
の近傍をｙ方向に微分し、センターラインＬに沿った一
端側から他端側に向けて順次走査することによって、エ
ッジＥ，Ｆを検出する。そして、エッジＥ，Ｆのｙ座標
の中点Ｇを求める。この中点Ｇが求められれば、欠陥判
別部５は絶縁ストライプ２に欠陥があることを判別す
る。もし、絶縁ストライプ２上に欠陥がなければ、セン
ターラインＬに沿った一端側から他端側に走査しても、
エッジＥ，Ｆが検出されず、これらのエッジＥ，Ｆのｙ
座標の中点Ｇも求められない。したがって、欠陥判別部
５はエッジ抽出部４によって中点Ｇが求められなけれ
ば、絶縁ストライプ２が正常であると判別する。
中心座標Ｃ0 を求め、エッジＣ，Ｄ間の中心座標Ｃ1 を
求める。さらに、図３に示すように、中心座標Ｃ0 とＣ
1 とを結ぶセンターラインＬを求め、センターラインＬ
の近傍をｙ方向に微分し、センターラインＬに沿った一
端側から他端側に向けて順次走査することによって、エ
ッジＥ，Ｆを検出する。そして、エッジＥ，Ｆのｙ座標
の中点Ｇを求める。この中点Ｇが求められれば、欠陥判
別部５は絶縁ストライプ２に欠陥があることを判別す
る。もし、絶縁ストライプ２上に欠陥がなければ、セン
ターラインＬに沿った一端側から他端側に走査しても、
エッジＥ，Ｆが検出されず、これらのエッジＥ，Ｆのｙ
座標の中点Ｇも求められない。したがって、欠陥判別部
５はエッジ抽出部４によって中点Ｇが求められなけれ
ば、絶縁ストライプ２が正常であると判別する。
【００１９】なお、図９に示すように、絶縁ストライプ
２上に隣接する電極パターン１，１同士を短絡すること
はなくとも、エッチング不良により、電極パターン１，
１からそれぞれ絶縁ストライプ２上にエッチングの残り
が突出するように形成されてしまうことがある。この場
合、前述の説明のようにセンターラインＬに沿って走査
しても、中点Ｇを求めることはできない。
２上に隣接する電極パターン１，１同士を短絡すること
はなくとも、エッチング不良により、電極パターン１，
１からそれぞれ絶縁ストライプ２上にエッチングの残り
が突出するように形成されてしまうことがある。この場
合、前述の説明のようにセンターラインＬに沿って走査
しても、中点Ｇを求めることはできない。
【００２０】そこで、他の実施例では、一方側のエッジ
とセンターラインＬとの中線Ｌ２および他方側のエッジ
とセンターラインＬとの間の中線Ｌ３に沿って一端側か
ら他端側に走査し、前述の図４と同様の処理を行なえ
ば、エッジを検出でき、そのエッジが検出されれば、ｙ
座標の中点を求め、欠陥であると判別すればよい。この
ようにすれば、欠陥判別を高速かつ高精度に誤判定なく
確実に行なうことが可能となる。
とセンターラインＬとの中線Ｌ２および他方側のエッジ
とセンターラインＬとの間の中線Ｌ３に沿って一端側か
ら他端側に走査し、前述の図４と同様の処理を行なえ
ば、エッジを検出でき、そのエッジが検出されれば、ｙ
座標の中点を求め、欠陥であると判別すればよい。この
ようにすれば、欠陥判別を高速かつ高精度に誤判定なく
確実に行なうことが可能となる。
【００２１】
【発明の効果】以上のように、この発明によれば、電極
パターン間を絶縁する帯状の絶縁ストライプを撮像し、
その画像出力に基づいて絶縁ストライプにおける長手方
向に延びる中線上の欠陥を判別するようにしたので、絶
縁ストライプ全面の画像データを処理する必要がなくな
り、欠陥を判別するための処理時間を短縮できる。
パターン間を絶縁する帯状の絶縁ストライプを撮像し、
その画像出力に基づいて絶縁ストライプにおける長手方
向に延びる中線上の欠陥を判別するようにしたので、絶
縁ストライプ全面の画像データを処理する必要がなくな
り、欠陥を判別するための処理時間を短縮できる。
【図１】この発明の一実施例の概略ブロック図である。
【図２】この発明の一実施例の動作を説明するための図
である。
である。
【図３】図２の絶縁パターンを拡大して示した図であ
る。
る。
【図４】この発明の一実施例の具体的な動作を説明する
ためのフローチャートである。
ためのフローチャートである。
【図５】この発明の一実施例においてノイズを除去する
方法を説明するための図である。
方法を説明するための図である。
【図６】ノイズの画像と境界部の画像を示す図である。
【図７】境界部の濃度値を計算する方法を示す図であ
る。
る。
【図８】ノイズ部分の濃度値を示す図である。
【図９】この発明の他の実施例を示す図である。
【図１０】絶縁パターンの一部に欠陥がある状態を示す
図である。
図である。
１ 電極パターン ２ 絶縁ストライプ ３ ビデオカメラ ４ エッジ検出部 ５ 欠陥検出部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｇ０９Ｆ 9/00 ３５２ 7426−5Ｈ
Claims (3)
- 【請求項１】 液晶表示パネルの電極パターン間を絶縁
する帯状の絶縁ストライプが電気的に短絡しているよう
な欠陥を検査するための欠陥検査装置であって、 前記絶縁ストライプを撮像するための撮像手段、および
前記撮像手段の画像出力に基づいて、前記帯状の絶縁ス
トライプにおける長手方向に延びる中線上の欠陥を判別
する判別手段を備えた、欠陥検査装置。 - 【請求項２】 前記撮像手段は、前記絶縁ストライプの
長手方向に直交する方向に一端側から他端側に向けて順
次走査して、該絶縁ストライプを撮像し、 前記判別手段は、 前記撮像手段の画像出力に含まれるノイズ成分を除去す
るノイズ除去手段、 前記ノイズ除去手段の出力に基づいて、前記絶縁ストラ
イプの一端側および他端側の幅方向のエッジを検出する
エッジ検出手段、 前記エッジ検出手段によって検出された一端側および他
端側のそれぞれのエッジ間の中点を求める中点算出手
段、 前記中点算出手段によって算出された一端側の中点と他
端側の中点とを結ぶ直線を求める直線算出手段、および
前記直線算出手段によって算出された直線上の欠陥を判
別する欠陥判別手段を備えた、欠陥検査装置。 - 【請求項３】 さらに、前記判別手段は前記絶縁ストラ
イプの一端側の中点と他端側の中点とを結ぶ直線と、幅
方向の一方側のエッジとの間の中線および前記直線と幅
方向の他端側のエッジとの間の中線を求め、求めたそれ
ぞれの直線上の欠陥を判別することを特徴とする、請求
項２の欠陥検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6313304A JPH08166355A (ja) | 1994-12-16 | 1994-12-16 | 欠陥検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6313304A JPH08166355A (ja) | 1994-12-16 | 1994-12-16 | 欠陥検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08166355A true JPH08166355A (ja) | 1996-06-25 |
Family
ID=18039613
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6313304A Withdrawn JPH08166355A (ja) | 1994-12-16 | 1994-12-16 | 欠陥検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08166355A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007273581A (ja) * | 2006-03-30 | 2007-10-18 | Toray Eng Co Ltd | 半導体ウエーハ検査方法およびその装置 |
| CN103529050A (zh) * | 2013-10-16 | 2014-01-22 | 东南大学 | 动力锂离子电池极片缺陷自动检测线及检测方法 |
| CN103885216A (zh) * | 2014-02-10 | 2014-06-25 | 北京京东方显示技术有限公司 | 一种基板检测装置及方法 |
| CN104730084A (zh) * | 2013-10-16 | 2015-06-24 | 东南大学 | 动力锂离子电池极片缺陷自动检测方法 |
-
1994
- 1994-12-16 JP JP6313304A patent/JPH08166355A/ja not_active Withdrawn
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007273581A (ja) * | 2006-03-30 | 2007-10-18 | Toray Eng Co Ltd | 半導体ウエーハ検査方法およびその装置 |
| CN103529050A (zh) * | 2013-10-16 | 2014-01-22 | 东南大学 | 动力锂离子电池极片缺陷自动检测线及检测方法 |
| CN104730084A (zh) * | 2013-10-16 | 2015-06-24 | 东南大学 | 动力锂离子电池极片缺陷自动检测方法 |
| CN103885216A (zh) * | 2014-02-10 | 2014-06-25 | 北京京东方显示技术有限公司 | 一种基板检测装置及方法 |
| US9689807B2 (en) | 2014-02-10 | 2017-06-27 | Boe Technology Group Co., Ltd. | Substrate detection device and method |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
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| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20020305 |